JP7263111B2 - スパッタ成膜装置 - Google Patents
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- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
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Description
本発明では、前記遮熱部材が、前記磁石装置の前記アースシールド及び前記バッキングプレート側の部分を覆うように設けられている場合にも効果的である。
本発明では、前記遮熱部材が、前記磁石装置に取り付けられている場合にも効果的である。
本発明では、前記遮熱部材が、前記アースシールドに取り付けられている場合にも効果的である。
2……真空槽
6……基板
7……ターゲット
7a…スパッタ面
8……バッキングプレート
9……アースシールド
10…磁石装置
11…中心磁石
12…外周磁石
14…遮熱部材
15…保持部材
Claims (3)
- スパッタリングによって基板上に成膜を行うスパッタ成膜装置であって、
真空槽と、
前記真空槽内において、バッキングプレートに電気的に接続されて並べられた複数のターゲットと、
前記複数のターゲットの隣接するターゲットの間にそれぞれ配置されたアースシールドと、
前記真空槽内において前記複数のターゲットの背面側に設けられた複数の磁石装置とを有し、
前記アースシールドと前記磁石装置との間に、当該磁石装置に対する前記アースシールドからの放射熱を遮る遮熱部材が設けられ、
前記遮熱部材が、前記磁石装置の前記アースシールド及び前記バッキングプレート側の部分を覆うように設けられているスパッタ成膜装置。 - 前記遮熱部材が、前記磁石装置に取り付けられている請求項1記載のスパッタ成膜装置。
- 前記遮熱部材が、前記アースシールドに取り付けられている請求項1記載のスパッタ成膜装置。
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JP2019090393A JP7263111B2 (ja) | 2019-05-13 | 2019-05-13 | スパッタ成膜装置 |
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JP2019090393A JP7263111B2 (ja) | 2019-05-13 | 2019-05-13 | スパッタ成膜装置 |
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JP2020186426A JP2020186426A (ja) | 2020-11-19 |
JP7263111B2 true JP7263111B2 (ja) | 2023-04-24 |
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Family Applications (1)
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JP2019090393A Active JP7263111B2 (ja) | 2019-05-13 | 2019-05-13 | スパッタ成膜装置 |
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---|---|---|---|---|
JP2000345337A (ja) | 1999-06-03 | 2000-12-12 | Ulvac Japan Ltd | カソード電極装置及びスパッタリング装置 |
JP2009057608A (ja) | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Ulvac Japan Ltd | スパッタリング装置 |
JP2015092025A (ja) | 2010-03-01 | 2015-05-14 | 株式会社アルバック | スパッタリング方法 |
JP2017133065A (ja) | 2016-01-27 | 2017-08-03 | 株式会社アルバック | 成膜方法 |
-
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- 2019-05-13 JP JP2019090393A patent/JP7263111B2/ja active Active
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