JP7256684B2 - インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法 - Google Patents
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Description
Ty=k2+k4y+k6x+k8y2+k10xy+k12x2 ・・・式(2)
ここで、k1、k2はシフト成分であり、基板操作機構4および/または型操作機構3によって基板10と型8とのアライメントを行うことによってシフト成分k1、k2を0にすることができる。k3、k4、k5、k6は1次の成分であり、k3、k4は倍率成分、k5、k6は回転成分、ひし形成分である。k7以上は2次以上の成分(高次成分)である。基板10のショット領域と型8のパターン領域8aとの間の形状差は、ショット領域のパターンとパターン領域8aのパターンとの重ね合わせ誤差をもたらしうる。該形状差は、基板10に設けられたマークと型8に設けられたマークとの相対位置をアライメント計測部6を用いて計測することによって特定されうる。あるいは、該形状差は、インプリント装置1の外部装置を用いて計測されてもよい。
Claims (16)
- 基板のショット領域の上のインプリント材と型のパターン領域とを接触させ前記インプリント材を硬化させることによって前記インプリント材の硬化物からなるパターンを形成するインプリント装置であって、
前記型に力を加えることによって前記パターン領域の形状を制御する複数のアクチュエータと、
前記複数のアクチュエータを制御する制御部と、を備え、
前記複数のアクチュエータの各々は、前記ショット領域と前記パターン領域との形状差の1次の成分を補正するための第1指令値と、前記形状差の2次以上の成分を補正するための第2指令値との和で定まる、許容指令値範囲内の指令値を与えるように制御され、
前記制御部は、
(1)前記複数のアクチュエータの各々について、前記第1指令値を決定し、
(2)前記複数のアクチュエータの各々について、前記第1指令値に基づいて前記第2指令値の調整範囲を決定し、
(3)前記複数のアクチュエータの各々について、決定された前記第2指令値の前記調整範囲を制約として、前記第2指令値を決定し、
(4)前記第1指令値と前記第2指令値とを合計することにより、各アクチュエータに与える前記指令値を決定する、
ことを特徴とするインプリント装置。 - 前記制御部は、前記複数のアクチュエータの各々について、前記第1指令値と各アクチュエータの前記許容指令値範囲とに基づいて、前記第2指令値の前記調整範囲を決定することを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記第1指令値は、前記許容指令値範囲に属する任意の値をとりうる、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のインプリント装置。 - 前記1次の成分は、倍率成分、回転成分、および、ひし形成分の少なくとも1つを含む、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記基板に熱を与えることによって前記ショット領域の形状を制御する基板加熱部を更に備え、
前記制御部は、前記基板加熱部に与える第3指令値を前記形状差が小さくなるように決定する、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記第1指令値を決定した後、前記第1指令値に基づいて前記第2指令値の調整範囲を決定し、前記第2指令値の調整範囲を制約として、前記第2指令値および前記第3指令値を決定する、
ことを特徴とする請求項5に記載のインプリント装置。 - 前記基板に設けられたマークと前記型に設けられたマークとの相対位置を計測するアライメント計測部を更に備え、
前記制御部は、前記アライメント計測部の出力に基づいて前記形状差を特定する、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 基板のショット領域の上のインプリント材と型のパターン領域とを接触させ前記インプリント材を硬化させることによって前記インプリント材の硬化物からなるパターンを形成するインプリント装置であって、
前記型に力を加えることによって前記パターン領域の形状を制御する複数のアクチュエータと、
前記基板に熱を与えることによって前記ショット領域の形状を制御する基板加熱部と、
前記複数のアクチュエータを制御する制御部と、を備え、
前記複数のアクチュエータの各々には、前記ショット領域と前記パターン領域との形状差の1次の成分を補正するための第1指令値と、前記形状差の2次以上の成分を補正するための第2指令値との和で定まる指令値が与えられ、
前記制御部は、前記基板加熱部に与える第3指令値を前記形状差が小さくなるように決定し、
前記制御部は、前記複数のアクチュエータの各々について、前記第1指令値が許容指令値範囲に収まるように前記第1指令値を決定し、その後、前記第1指令値と前記第2指令値との合計が前記許容指令値範囲または前記許容指令値範囲より狭い範囲に収まるように前記第2指令値を決定し、
前記制御部は、前記第1指令値を決定した後、前記第1指令値に基づいて前記第2指令値の調整範囲を決定し、前記調整範囲を制約として、前記第2指令値および前記第3指令値を決定する、
ことを特徴とするインプリント装置。 - 基板のショット領域の上のインプリント材と型のパターン領域とを接触させ前記インプリント材を硬化させるインプリント処理によって前記インプリント材の硬化物からなるパターンを形成するインプリント方法であって、
前記型に力を加えることによって前記パターン領域の形状を制御する複数のアクチュエータをそれぞれ制御する複数の指令値を決定する決定工程と、
前記決定工程で決定された複数の指令値に基づいて前記複数のアクチュエータを制御して前記パターン領域の形状を制御する制御工程と、を含み、
前記複数の指令値の各々は、前記ショット領域と前記パターン領域との形状差の1次の成分を補正するための第1指令値と、前記形状差の2次以上の成分を補正するための第2指令値との和で定まり、かつ、許容指令値範囲内の指令値であり、
前記決定工程では、
(1)前記複数のアクチュエータの各々について、前記第1指令値を決定し、
(2)前記複数のアクチュエータの各々について、前記第1指令値に基づいて前記第2指令値の調整範囲を決定し、
(3)前記複数のアクチュエータの各々について、決定された前記第2指令値の前記調整範囲を制約として、前記第2指令値を決定し、
(4)前記第1指令値と前記第2指令値とを合計することにより、各アクチュエータに与える前記指令値を決定する、
ことを特徴とするインプリント方法。 - 前記決定工程では、前記複数のアクチュエータの各々について、前記第1指令値と各アクチュエータの前記許容指令値範囲とに基づいて、前記第2指令値の前記調整範囲を決定することを特徴とする請求項9に記載のインプリント方法。
- 前記第1指令値は、前記許容指令値範囲に属する任意の値をとりうる、
ことを特徴とする請求項9又は10に記載のインプリント方法。 - 前記1次の成分は、倍率成分、回転成分、および、ひし形成分の少なくとも1つを含む、
ことを特徴とする請求項9乃至11のいずれか1項に記載のインプリント方法。 - 前記基板に熱を与えることによって前記ショット領域の形状を制御する基板加熱部に与える第3指令値を前記形状差が小さくなるように決定する工程を更に含む、
ことを特徴とする請求項9乃至12のいずれか1項に記載のインプリント方法。 - 前記決定工程では、前記第1指令値を決定した後、前記第1指令値に基づいて前記第2指令値の調整範囲を決定し、前記第2指令値の調整範囲を制約として、前記第2指令値および前記第3指令値を決定する、
ことを特徴とする請求項13に記載のインプリント方法。 - 基板のショット領域の上のインプリント材と型のパターン領域とを接触させ前記インプリント材を硬化させるインプリント処理によって前記インプリント材の硬化物からなるパターンを形成するインプリント方法であって、
前記型に力を加えることによって前記パターン領域の形状を制御する複数のアクチュエータをそれぞれ制御する複数の指令値、および、前記基板に熱を与えることによって前記ショット領域の形状を制御する基板加熱部に与える第3指令値を決定する決定工程と、
前記決定工程で決定された複数の指令値に基づいて前記複数のアクチュエータを制御して前記パターン領域の形状を制御する制御工程と、を含み、
前記複数の指令値の各々は、前記ショット領域と前記パターン領域との形状差の1次の成分を補正するための第1指令値と、前記形状差の2次以上の成分を補正するための第2指令値との和で定まり、
前記決定工程では、前記複数のアクチュエータの各々について、前記第1指令値が許容指令値範囲に収まるように前記第1指令値を決定し、その後、前記第1指令値と前記第2指令値との合計が前記許容指令値範囲または前記許容指令値範囲より狭い範囲に収まるように前記第2指令値を決定し、
前記決定工程では、前記第1指令値を決定した後、前記第1指令値に基づいて前記第2指令値の調整範囲を決定し、前記調整範囲を制約として、前記第2指令値および前記第3指令値を決定する、
ことを特徴とするインプリント方法。 - 請求項1乃至8のいずれか1項に記載のインプリント装置を用いて基板の上にパターンを形成する工程と、
前記工程において前記パターンが形成された基板の加工を行う工程と、
を含み、前記加工が行われた前記基板から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。
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