JP7244388B2 - 量子情報処理装置及び量子ビットアレイ - Google Patents
量子情報処理装置及び量子ビットアレイ Download PDFInfo
- Publication number
- JP7244388B2 JP7244388B2 JP2019143442A JP2019143442A JP7244388B2 JP 7244388 B2 JP7244388 B2 JP 7244388B2 JP 2019143442 A JP2019143442 A JP 2019143442A JP 2019143442 A JP2019143442 A JP 2019143442A JP 7244388 B2 JP7244388 B2 JP 7244388B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gate electrode
- layer
- qubits
- information processing
- quantum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 title claims description 179
- 230000010365 information processing Effects 0.000 title claims description 67
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims description 60
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 11
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 claims 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 description 20
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 20
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 15
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000003491 array Methods 0.000 description 3
- 230000027756 respiratory electron transport chain Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 2
- 240000004050 Pentaglottis sempervirens Species 0.000 description 1
- 235000004522 Pentaglottis sempervirens Nutrition 0.000 description 1
- 230000005699 Stark effect Effects 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06N—COMPUTING ARRANGEMENTS BASED ON SPECIFIC COMPUTATIONAL MODELS
- G06N10/00—Quantum computing, i.e. information processing based on quantum-mechanical phenomena
- G06N10/40—Physical realisations or architectures of quantum processors or components for manipulating qubits, e.g. qubit coupling or qubit control
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66977—Quantum effect devices, e.g. using quantum reflection, diffraction or interference effects, i.e. Bragg- or Aharonov-Bohm effects
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0657—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by the shape of the body
- H01L29/0665—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by the shape of the body the shape of the body defining a nanostructure
- H01L29/0669—Nanowires or nanotubes
- H01L29/0673—Nanowires or nanotubes oriented parallel to a substrate
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Evolutionary Computation (AREA)
- Artificial Intelligence (AREA)
- Mathematical Optimization (AREA)
- Pure & Applied Mathematics (AREA)
- Computing Systems (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Software Systems (AREA)
- Data Mining & Analysis (AREA)
- Mathematical Analysis (AREA)
- Computational Mathematics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
- Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
Description
まず、量子情報処理装置を構成する量子ビット列の構造を説明する。
図4A、図4B、図4Cに示すように、半導体(例えば結晶Si)の基盤の全面に半導体(例えば不純物を打ち込んで形成したp型Si)の初期化ゲート101を形成する。初期化ゲート101は量子ビット201の初期化に用いる。初期化ゲート101の上に絶縁体(例えばSiO2)の層402を形成する。絶縁体の層402の上に半導体(例えば結晶Si)のフィン102を形成する。フィン102の形状が最終的に各量子ビット同士の結合関係を決める。水平方向にはすべての列で一直線に結合するようにし、垂直方向にはいくつかの列において必要に応じて結合を形成する。最後に絶縁体(例えばSiO2)のゲート絶縁膜403を形成し、これ以降に形成するゲート電極とフィン102を絶縁する。
以下、図面を用いて実施例について説明する。
水平方向に並んだ量子ビット201の|↑>と|↓>のエネルギー差は異なるため、量子ビット列の中の任意の量子ビット201において回転ゲート操作を行うことができる。垂直方向に並んだ量子ビット201については、導線107が物理的に隔てられているため、選択的にRFパルスを加えることができる。これにより、量子ビット列の中の任意の量子ビット201を操作できる。
102…フィン
103…量子ビット制御ゲート
104…相互作用制御ゲート
105…量子ビット制御ゲート
106…相互作用制御ゲート
107…導線
108…磁石
201…量子ビット
202…相互作用
203…スイッチ
401…半導体結晶基板
402…絶縁体の層
403…ゲート絶縁膜
501…スペーサ
601…絶縁体の層
801…スペーサ
901…絶縁体の層
1001…絶縁体の層
1201…n型半導体の層
1202…絶縁体の層
1203…半導体の層
1301…量子ビット制御ゲート
1302…量子ビット制御ゲート
1303…量子ビット制御ゲート
Claims (14)
- フィンと、
前記フィンの上に設けられた第1の層と、
前記第1の層の上に設けられた第2の層と、を有する量子情報処理装置であって、
前記第1の層は、
第1の方向に延伸し、量子ビットを制御する第1のゲート電極列と、
前記第1の方向に延伸し、量子ビット間相互作用を制御する第2のゲート電極列と、を有し、
前記第2の層は、
前記第1の方向とは異なる第2の方向に延伸した第3のゲート電極列と、
前記第2の方向に延伸し、前記第3のゲート電極列に隣接して配置された第4のゲート電極列と、を有し、
前記第3のゲート電極列又は前記第4のゲート電極列により、複数の前記量子ビットの内の一部の量子ビット又は複数の前記量子ビット間相互作用の内の一部の量子ビット間相互作用を制御することを特徴とする量子情報処理装置。 - 前記第2の層は、
前記第3のゲート電極列及び前記第4のゲート電極列の一部が電極列として前記第1の方向に伸びており、
前記電極列が、前記一部の量子ビットと前記一部の量子ビット間相互作用をそれぞれ制御することを特徴とする請求項1に記載の量子情報処理装置。 - 前記電極列は、
前記量子ビットの数を2次元的に拡張するように、前記第2の方向に離散的に設けられていることを特徴とする請求項2に記載の量子情報処理装置。 - 前記電極列は、突出部を構成し、
前記突出部は前記フィンと接していることを特徴とする請求項2に記載の量子情報処理装置。 - 前記突出部は、
前記第1の層において、前記第1のゲート電極列と前記第2のゲート電極列が形成されていない部分で前記フィンと接することを特徴とする請求項4に記載の量子情報処理装置。 - 前記第2の層の上に設けられ、前記第2の方向に延伸した、前記量子ビットに高周波信号を加えるための導線列を更に有することを特徴とする請求項1に記載の量子情報処理装置。
- 前記導線列の上に設けられ、前記第2の方向に延伸した、前記量子ビットに静磁場を加えるための磁石列を更に有することを特徴とする請求項6に記載の量子情報処理装置。
- 前記フィンの下に、前記量子ビットを初期化するための初期化ゲート電極を更に有することを特徴とする請求項1に記載の量子情報処理装置。
- 前記第1の方向と前記第2の方向は、互いに交差する方向であることを特徴とする請求項1に記載の量子情報処理装置。
- 前記第1の方向は垂直方向であり、前記第2の方向は水平方向であることを特徴とする請求項9に記載の量子情報処理装置。
- 前記電極列は、
前記第2の方向に複数設けられていることを特徴とする請求項2に記載の量子情報処理装置。 - フィンと、
前記フィンの上に設けられた第1の層と、
前記第1の層の上に設けられた第2の層と、を有する量子情報処理装置であって、
前記フィンは、
第1の方向に、複数の量子ビットが一列に配置された量子ビット列と、
前記第1の方向に、複数の量子ビット間相互作用が一列に配置された相互作用列と、を有し、
前記量子ビット列と前記相互作用列とが前記第1の方向と異なる第2の方向に交互に配置され、
前記第1の層は、
前記第1の方向に配置され、前記量子ビット列の前記量子ビットを制御する第1のゲート電極列と、
前記第1の方向に配置され、前記相互作用列の前記量子ビット間相互作用を制御する第2のゲート電極列と、を有し、
前記第2の層は、
前記第2の方向に配置された第3のゲート電極列と、
前記第2の方向に前記第3のゲート電極列に隣接して配置された第4のゲート電極列と、を有し、
前記第3のゲート電極列と前記第4のゲート電極列により、前記複数の量子ビットの内の一部の量子ビットと、前記複数の量子ビット間相互作用の内の一部の量子ビット間相互作用をそれぞれ制御することを特徴とする量子情報処理装置。 - フィンと、
前記フィンの上に設けられた第1の層と、
前記第1の層の上に設けられた第2の層と、を有する量子情報処理装置であって、
前記第1の層は、
第1の方向に延伸し、量子ビットを制御する第1のゲート電極列と、
前記第1の方向に延伸し、量子ビット間相互作用を制御する第2のゲート電極列と、を有し、
前記第2の層は、
前記第1の方向とは異なる第2の方向に延伸した第3のゲート電極列と、
前記第2の方向に延伸し、前記第3のゲート電極列に隣接して配置された第4のゲート電極列と、を有し、
前記第3のゲート電極列及び前記第4のゲート電極列の一部に突出部と有し、前記突出部は、前記フィンと接していることを特徴とする量子情報処理装置。 - フィンと、
前記フィンの上に設けられた第1の層と、
前記第1の層の上に設けられた第2の層と、を有する量子ビットアレイであって、
前記第1の層は、
第1の方向に延伸し、量子ビットを制御する第1のゲート電極列と、
前記第1の方向に延伸し、量子ビット間相互作用を制御する第2のゲート電極列と、を有し、
前記第2の層は、
前記第1の方向とは異なる第2の方向に延伸した第3のゲート電極列と、
前記第2の方向に延伸し、前記第3のゲート電極列に隣接して配置された第4のゲート電極列と、を有し、
前記第3のゲート電極列又は前記第4のゲート電極列により、複数の前記量子ビットの内の一部の量子ビット又は複数の前記量子ビット間相互作用の内の一部の量子ビット間相互作用を制御することを特徴とする量子ビットアレイ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019143442A JP7244388B2 (ja) | 2019-08-05 | 2019-08-05 | 量子情報処理装置及び量子ビットアレイ |
PCT/JP2020/010935 WO2021024533A1 (ja) | 2019-08-05 | 2020-03-12 | 量子情報処理装置 |
US17/630,266 US20220292383A1 (en) | 2019-08-05 | 2020-03-12 | Quantum information processing device |
JP2023036248A JP2023067999A (ja) | 2019-08-05 | 2023-03-09 | 量子情報処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019143442A JP7244388B2 (ja) | 2019-08-05 | 2019-08-05 | 量子情報処理装置及び量子ビットアレイ |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023036248A Division JP2023067999A (ja) | 2019-08-05 | 2023-03-09 | 量子情報処理装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021027142A JP2021027142A (ja) | 2021-02-22 |
JP2021027142A5 JP2021027142A5 (ja) | 2022-10-04 |
JP7244388B2 true JP7244388B2 (ja) | 2023-03-22 |
Family
ID=74502575
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019143442A Active JP7244388B2 (ja) | 2019-08-05 | 2019-08-05 | 量子情報処理装置及び量子ビットアレイ |
JP2023036248A Pending JP2023067999A (ja) | 2019-08-05 | 2023-03-09 | 量子情報処理装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023036248A Pending JP2023067999A (ja) | 2019-08-05 | 2023-03-09 | 量子情報処理装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220292383A1 (ja) |
JP (2) | JP7244388B2 (ja) |
WO (1) | WO2021024533A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7430658B2 (ja) * | 2021-02-24 | 2024-02-13 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置 |
JP2022130893A (ja) * | 2021-02-26 | 2022-09-07 | 株式会社日立製作所 | 量子ビットアレイ及び量子コンピュータ |
JP2023119718A (ja) | 2022-02-17 | 2023-08-29 | 株式会社日立製作所 | 量子ビットの制御方法および量子コンピュータ |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070063182A1 (en) | 2005-03-17 | 2007-03-22 | The Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy | Enhancement mode single electron transistor |
US20130221330A1 (en) | 2010-11-05 | 2013-08-29 | Chungbuk National University Industry-Academic Cooperation Foundation | Multiple quantum dot device and a production method for the device |
WO2018031007A1 (en) | 2016-08-10 | 2018-02-15 | Intel Corporation | Quantum dot array devices |
JP2018532255A (ja) | 2015-08-05 | 2018-11-01 | ニューサウス イノベーションズ ピーティーワイ リミテッド | 先進処理装置 |
WO2019125348A1 (en) | 2017-12-18 | 2019-06-27 | Intel Corporation | Quantum dot devices with vertical quantum dot arrays |
-
2019
- 2019-08-05 JP JP2019143442A patent/JP7244388B2/ja active Active
-
2020
- 2020-03-12 WO PCT/JP2020/010935 patent/WO2021024533A1/ja active Application Filing
- 2020-03-12 US US17/630,266 patent/US20220292383A1/en active Pending
-
2023
- 2023-03-09 JP JP2023036248A patent/JP2023067999A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070063182A1 (en) | 2005-03-17 | 2007-03-22 | The Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy | Enhancement mode single electron transistor |
US20130221330A1 (en) | 2010-11-05 | 2013-08-29 | Chungbuk National University Industry-Academic Cooperation Foundation | Multiple quantum dot device and a production method for the device |
JP2018532255A (ja) | 2015-08-05 | 2018-11-01 | ニューサウス イノベーションズ ピーティーワイ リミテッド | 先進処理装置 |
WO2018031007A1 (en) | 2016-08-10 | 2018-02-15 | Intel Corporation | Quantum dot array devices |
WO2019125348A1 (en) | 2017-12-18 | 2019-06-27 | Intel Corporation | Quantum dot devices with vertical quantum dot arrays |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2023067999A (ja) | 2023-05-16 |
WO2021024533A1 (ja) | 2021-02-11 |
US20220292383A1 (en) | 2022-09-15 |
JP2021027142A (ja) | 2021-02-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2023067999A (ja) | 量子情報処理装置 | |
US7002197B2 (en) | Cross point resistive memory array | |
TWI749377B (zh) | 積體晶片、記憶體單元及其操作方法 | |
US9882112B2 (en) | Multi-qubit device and quantum computer including the same | |
US20130187247A1 (en) | Multi-bit magnetic tunnel junction memory and method of forming same | |
US10468293B2 (en) | Methods of forming perpendicular magnetic tunnel junction memory cells having vertical channels | |
CN110323247B (zh) | Mram器件及其制造方法及包括mram的电子设备 | |
US20220344565A1 (en) | Connection component for branching off a single electron motion | |
KR20200093720A (ko) | 자기 기억 소자 | |
US11676677B2 (en) | Magnetic storage device | |
US10186551B1 (en) | Buried tap for a vertical transistor used with a perpendicular magnetic tunnel junction (PMTJ) | |
KR20190108752A (ko) | 3차원 수직 교차점 구조의 다층 시냅스 가중치 소자 및 그 제조 방법 | |
US20190206938A1 (en) | Annular vertical si etched channel mos devices | |
US10355047B1 (en) | Fabrication methods of forming annular vertical SI etched channel MOS devices | |
TW202103339A (zh) | 量子資訊處理器之處理器元件 | |
JP7430658B2 (ja) | 半導体装置 | |
US11955566B2 (en) | Device for storing controlling and manipulating quantum information (qubits) on a semiconductor | |
US11804252B2 (en) | Word line structures for three-dimensional memory arrays | |
NL2028581B1 (en) | An addressable quantum dot array | |
US11930720B2 (en) | Voltage control of SOT-MRAM for deterministic writing | |
US20210098686A1 (en) | Magnetic memory device and method for manufacturing the same | |
KR20240066168A (ko) | 통합된 자기 터널 접합(mtj)을 갖는 1비트 3단자 레이스트랙 어레이 | |
US20150171094A1 (en) | Antifuse | |
WO2023277687A1 (en) | Quantum dot structures comprising an integrated single electron tunneling readout and single electron tunneling quantum dot readout structures | |
CN111799294A (zh) | 存储器装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211216 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220922 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230214 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230309 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7244388 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |