JP7243022B2 - レーザ走査装置 - Google Patents

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Description

本発明は、レーザ光を走査することによって物体の位置を検知するレーザ走査装置に関するものである。
車両の自動運転、又は車両の運転支援を行う機器が盛んに開発されている。また、車両などに搭載されるLIDAR(Light Detection and Ranging)が知られている(例えば、特許文献1)。LIDARは、レーザ光を用いて車両の周囲の物体を高精度に検知するセンサであり、自動運転の実用化に向けて有用なセンサの1つである。
米国特許第8767190号明細書
本発明は、レーザ光を2次元に走査可能で簡素な構成を有するレーザ走査装置を提供する。
本発明の一態様に係るレーザ走査装置は、レーザ光を投射位置に出射する光源部と、前記レーザ光の光路を変更する、スリット型回折格子である第1及び第2回折パターンを有する回転部と、前記回転部を回転させ、前記第1及び第2回折パターンを前記投射位置に移動させる駆動部と、前記レーザ光が前記第1及び第2回折パターンのいずれかを通過し、通過した回折パターンで光路変更されて二方向に生じた回折光が走査領域の対象物で反射された反射光を受光する受光部とを具備し、前記駆動部は、前記レーザ光が投射された前記投射位置に、前記回転部の前記第1及び第2回折パターンを順次移動する。
本発明によれば、レーザ光を2次元に走査可能で簡素な構成を有するレーザ走査装置を提供することができる。
第1実施形態のレーザ走査装置の構成を示すブロック図である。 第1実施形態のレーザ走査装置の構造を示す斜視図である。 第1実施形態におけるディスクの回折パターン群の配置を示す平面図である。 第1実施形態における回折パターンの平面図及び側面図である。 図4の(a)におけるA-A´線に沿った回折パターンの断面図である。 レーザ走査装置の基本動作を説明する概略図である。 レーザ走査装置のレーザ光の波形を示す図である。 回折パターンによる光路変更の様子を示す斜視図である。 ディスク上のレーザ投射位置に移動する回折パターンを示す図である。 回折パターンを通過したレーザ光の走査位置を示す図である。 第2実施形態のレーザ走査装置の構成を示すブロック図である。 第2実施形態のレーザ走査装置の構造を示す斜視図である。
以下、実施形態について図面を参照して説明する。ただし、図面は模式的または概念的なものであり、各図面の寸法および比率などは必ずしも現実のものと同一とは限らないことに留意すべきである。また、図面の相互間で同じ部分を表す場合においても、互いの寸法の関係や比率が異なって表される場合もある。特に、以下に示す幾つかの実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための装置および方法を例示したものであって、構成部品の形状、構造、配置などによって、本発明の技術思想が特定されるものではない。また、各機能ブロックは、ハードウェア(または、回路)、コンピュータソフトウェア(または、コード)のいずれかまたは両者を組み合わせたものとして実現することができる。各機能ブロックが以下の例のように区別されていることは必須ではない。例えば、一部の機能が例示の機能ブロックとは別の機能ブロックによって実行されてもよい。さらに、例示の機能ブロックがさらに細かい機能サブブロックに分割されていてもよい。なお、以下の説明において、同一の機能及び構成を有する要素については同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。
[1]第1実施形態
以下に、第1実施形態のレーザ走査装置について説明する。
[1-1]レーザ走査装置の構成
[1-1-1]ブロック構成
まず、図1を用いて、第1実施形態のレーザ走査装置のブロック構成について説明する。図1は、レーザ走査装置の構成を示すブロック図である。
レーザ走査装置10は、LIDAR(Light Detection and Ranging)とも呼ばれる。LIDARは、レーザ光(例えば、波長λ=905nm)を用いて、例えば車両前方のある範囲を走査し、その走査範囲にある対象物2によって反射されたレーザ光を検出する。そして、LIDARは、送信したレーザ光と受信したレーザ光とを用いて、対象物の検出、及び車両から対象物までの距離を測定する。
レーザ走査装置10は、車両の前側(例えば、フロントバンパー、又はフロントグリル)、車両の後ろ側(例えば、リアバンパー、又はリアグリル)、及び/又は、車両の側方(例えば、フロントバンパーの側方)に配置される。また、レーザ走査装置10は、ルーフやボンネット等、車両の上部に配置されてもよい。
図1に示すように、レーザ走査装置10は、光源部11、ディスク12、ディスク駆動部13、受光部14、パルスタイミング制御部15、距離演算部16、及び主制御部17を備える。
光源部11は、ディスク12に向けてレーザ光を発光するレーザ発振器から構成される。レーザ光としては、赤外線あるいは近赤外線(波長λ=800~2500nm)が用いられ、例えば905nmが用いられる。また、光源部11は、所定の周波数を有するパルス信号としてレーザ光を発生する。光源部11は、例えばレーザダイオードから構成される。
ディスク12は、例えば透明な円形の平面板から成り、回折パターン群を有する。ディスク12が有する回折パターン群は、光源部11からレーザ光を受け、レーザ光の光路を変更する。ディスク12上の回折パターン群は、レーザ光を走査領域へ出射し、走査領域内でレーザ光を走査する。ディスク12上の回折パターン群により、レーザ光を走査する機構については後述する。
ディスク駆動部13は、電動機から構成され、ディスク12を回転させる。
受光部14は、レーザ光11Aが対象物2によって反射されたレーザ光(以下、反射レーザ光)を受光(あるいは検出)する。レーザ光11Aは、ディスク12上の回折パターン群により光路変更され、対象物2に照射される。対象物2に照射されたレーザ光は、対象物2によって反射され、受光部14によって受光される。
受光部14は、例えば赤外線センサから構成される。赤外線センサは、フォトダイオードやCMOS(complementary metal oxide semiconductor)フォトセンサを含む。その他、受光部14として、アバランシェフォトダイオード(avalanche photodiode)、またはMPPC(Multi-Pixel Photon Counter)、赤外線カメラを用いてもよい。
パルスタイミング制御部15は、光源部11の動作を制御する。光源部11は、パルス信号としてレーザ光を発光する。パルスタイミング制御部15は、レーザ光に含まれるパルスのタイミングを制御する。パルスのタイミングには、パルス信号の周期、パルス信号の周波数、及びパルス幅が含まれる。
距離演算部16は、パルスタイミング制御部15からタイミング情報を受け、主制御部17から回折パターン群によるレーザ光の照射方向の情報を受け、さらに受信した反射レーザ光のタイミング情報及び光強度の情報を受光部14から受け取る。距離演算部16は、これらの情報を用いて、レーザ走査装置10(または、車両)から対象物2までの距離を算出する。具体的には、距離演算部16は、レーザ光の照射方向の情報及びタイミング情報と、受信した反射レーザ光のタイミング情報及び光強度の情報を用いて、対象物2までの直線距離、水平距離、及び垂直距離を算出する。また、距離演算部16は、これらの情報を用いて、対象物2の相対座標を算出する。距離演算部16によって算出された距離及び/又は相対座標は、例えばデータDOUTとして外部に出力される。
主制御部17は、レーザ走査装置10の全体動作を統括的に制御する。
[1-1-2]構造
図2を用いて、第1実施形態のレーザ走査装置10の構造について説明する。図2は、レーザ走査装置の構造を示す斜視図である。
ディスク12の中心部から所定距離の円周上に、回折パターン群121が配置される。回折パターン群121は複数の回折パターンを有する。回折パターン群121の詳細については後述する。
光源部11は、ディスク12上の回折パターン群121にレーザ光11Aを照射可能な位置に配置される。レーザ光11Aは、光源部11からディスク12の回折パターン群121の1つの回折パターンに対して垂直に投射され、回折パターンを通過する。
ディスク駆動部13は、回転軸(シャフト)13Aを有し、回転軸13Aを回転する。回転軸13Aは、ディスク12の中心部に取付けられている。ディスク駆動部13は、回転軸13Aを回転することにより、ディスク12に配置された回折パターン群121を回転させる。
受光部14は、受光素子14Aを有し、光源部11の近傍に配置される。受光素子14Aは、光源部11から発光されたレーザ光11Aの反射レーザ光を受光する。
図2では、パルスタイミング制御部15、距離演算部16、及び主制御部17を示すのを省略するが、これらの配置場所は任意である。例えば、パルスタイミング制御部15、距離演算部16、及び主制御部17は、光源部11、ディスク12、ディスク駆動部13、または受光部14の近傍に配置してもよく、離れた場所に配置してもよい。また、これらは、図2に示す光源部11または受光部14の内部に配置してもよい。
図3、図4及び図5を用いて、ディスク12が有する回折パターン群121について説明する。
図3は、ディスク12の回折パターン群121の配置を示す平面図である。回折パターン群121は、ディスク12の中心部から所定距離の円周上に配置された回折パターン121_1,121_2,121_3,…,121_n(nは1以上の自然数)を有する。
図4に示す(a)は、ディスク12に配置された回折パターン群121における1つの回折パターン121_nを示し、走査領域(または対象物2)側から見た回折パターン121_nの平面図である。図4に示す(b)は、回折パターン121_nの側面図である。
図4の(a)に示すように、回折パターン121_nは、X方向に沿って溝(またはスリット)の長辺方向が配置され、Y方向に沿って溝の短辺方向が配置されている。すなわち、Y方向に複数の溝が平行に等間隔で配列されている。Y方向における溝の配列の周期はPである。
また、図4の(b)に示すように、回折パターン121_nに入射されたレーザ光11Aは、レーザ光11Aの入射方向に対して回折角θで回折される。すなわち、レーザ光11Aは、入射方向に対して回折角θで光路変更される。
図5は、図4の(a)におけるA-A´線に沿った回折パターン121_nの断面を示す。回折パターン121_nは、例えば、透過型のブレーズド回折格子から構成される。回折パターン121_nに入射されたレーザ光11Aは、レーザ光の入射方向に対して回折角θで回折される。回折角θは、θ=sin-1(λ/P)で表される。λはレーザ光の波長であり、Pは前述したように溝の配列周期である。
[1-2]レーザ走査装置の動作
[1-2-1]基本動作
まず、レーザ走査装置10の基本動作について説明する。図6は、レーザ走査装置10の基本動作を説明する概略図である。なお、図6では、レーザ走査装置10は、車両1の前側に設けられ、レーザ走査装置10が車両1の前方を水平方向に走査する態様を一例として示している。
レーザ走査装置10に含まれる光源部11及びディスク12は、角度α(例えば、α=2θ)の範囲でレーザ光を送信する。受光素子14Aは、対象物2によって反射された反射レーザ光を検出する。想定する対象物までの距離をLとし、距離Lにおける走査の範囲をRとする。角度α、距離L、及び範囲Rは、レーザ走査装置10に求められる仕様に応じて任意に設計可能である。
図7は、レーザ走査装置10によるレーザ光の波形を示す図である。図7の上側が送信(発光)の波形、下側が受信(受光)の波形である。図7の横軸が時間であり、図7の縦軸が強度(光強度)である。
光源部11は、パルス信号からなるレーザ光11Aを出射する。すなわち、光源部11は、時分割でレーザ光を出射する。パルスタイミング制御部15は、光源部11の動作を制御し、レーザ光の周期、及びパルス幅を制御する。レーザ走査装置10は、パルス信号としてレーザ光を送信する。
パルス信号の周期をQ、パルス幅をWとする。1つのパルスを送信してから、このパルスが対象物2で反射され、反射されたパルスを受信するまでの時間である遅れ量をΔとし、光の速度をCとする。遅れ量Δは、“Δ=2L/C”で算出される。距離演算部16は、遅れ量Δを用いて、車両1から対象物2までの距離を算出する。
例えば、パルス幅W=10nsec、周期Q=10μsec(すなわち、周波数f=100kHz)とする。遅れ量Δ=67nsecの場合、距離L=10mが算出される。このような動作により、対象物が検出でき、また、対象物までの距離が算出できる。
[1-2-2]ディスク上の回折パターンによるレーザ光の走査
次に、ディスク12に配置された回折パターン121_nによって、レーザ光11Aの光路を変更し、レーザ光を走査する機構について説明する。
図8は、ディスク12上の回折パターン121_nによる光路変更の様子を示す斜視図である。図8では、レーザ光11Aの光路が水平方向に変更される様子を示す。
光源部11から発光されたレーザ光11Aは、ディスク12上の所定のレーザ投射位置に投射される。レーザ投射位置には、回折パターン群121が配置されている。
ディスク12の回転により、レーザ投射位置に、回折パターン121_1,121_2,…,121_nが順次移動する。これにより、レーザ光11Aは、レーザ投射位置に移動した回折パターン121_nに投射される。投射されたレーザ光11Aは、回折パターン121_nによる光の回折によって、光路が変更されて走査領域に照射される。
図9は、ディスク12上のレーザ投射位置に順次移動する回折パターン121_nを示す図である。図10は、回折パターン121_nを通過したレーザ光の走査位置を示す図である。なお、図9は走査領域(または対象物2)側から見た図であり、図10はディスク12(または光源部11)側から見た図である。
図9に示すように、ディスク12のレーザ投射位置に移動される回折パターン121_nは、ディスク12の回転によって順次変更される。これにより、回折パターン121_nによってレーザ光11Aの光路が順次変更され、回折パターン121_nにおける溝の配列周期、及び溝の長辺方向の角度(例えば、X方向に対する角度)に応じた方向にレーザ光が走査される。
例えば、図9に示す回折パターンと、図10に示す走査位置との対応関係は以下のようになる。図9の回折パターン121_1~121_5は、X方向に対して溝の長辺方向の角度が0度であり、さらに溝の配列周期が徐々に小さくなっている。この場合、回折パターン121_1~121_5を通過したレーザ光11Aは、図10に示すように、走査位置Aを矢印の方向に走査する。走査位置Aは、複数の走査点の集合である。走査点は、図7の1つのパルスに対応する。
回折パターン121_6~121_10は、X方向に対して溝の長辺方向の角度が0度より大きく90度より小さい第1角度であり、さらに溝の配列周期が徐々に小さくなっている。この場合、回折パターン121_6~121_10を通過したレーザ光11Aは、走査方向Bを矢印の方向に走査する。
回折パターン121_11~121_15は、X方向に対して溝の長辺方向の角度が第1角度より大きく90度より小さい第2角度であり、さらに溝の配列周期が徐々に小さくなっている。この場合、回折パターン121_11~121_15を通過したレーザ光11Aは、走査方向Cを矢印の方向に走査する。
さらに、回折パターン121_(k-4)~121_k(kは5以上n以下の自然数)は、X方向に対して溝の長辺方向の角度が90度であり、さらに溝の配列周期が徐々に小さくなっている。この場合、回折パターン121_(k-4)~121_kを通過したレーザ光11Aは、走査方向Xを矢印の方向に走査する。
このように、レーザ光11Aは、ディスク12上の回折パターン121_nにより光路が変更され、走査領域に2次元に走査される。
レーザ走査装置10によって走査領域に照射されたレーザ光は、対象物2によって反射される。対象物2によって反射された反射レーザ光の一部は、受光部14の受光素子14Aに受光される。
前述したように、レーザ光11Aの発光時と受光時の時間差から対象物2までの距離が検出される。さらに、主制御部17は、ディスク駆動部13によるディスク12の回転を制御することにより、ディスク12上のレーザ投射位置に移動されて、設定された回折パターン121_nの位置情報を取得する。主制御部17は、回折パターン121_nの位置情報から、レーザ光の回折角度等の情報を抽出することが可能である。回折パターン121_nの位置情報は、エンコーダ等によりディスク12の回転角度を検出することによって取得できる。
さらに、主制御部17が有するレーザ光の照射方向の情報から対象物2の3次元の座標が検出される。このような対象物2の検出を高速かつ連続して行うことにより、車両前方の3次元の障害物の情報が取得され、これらの情報が車両1の自動運転や運転支援などに利用される。
なおここでは、ディスク12上の回折パターン121_nが0度から90度まで回転する状態を示し、走査領域の左上1/4領域を走査する例を説明したが、さらに90度から360度まで回転する回折パターンをディスク12上に配置すれば、左下、右下、右上の3/4領域も走査することが可能である。また、1つの走査位置を5つの回折パターンをそれぞれ通過したレーザ光で走査したが、6つ以上の回折パターンを用意し、これらを通過したレーザ光で走査するようにしてもよい。
また、ここでは、回折パターン121_nにブレーズド回折格子を用いて一方向の回折光を発生させたが、スリット型の回折格子を用いて、二方向の回折光を発生させてもよい。二方向の回折光を発生させれば、例えば、走査位置Aの反対方向(180度回転させた位置)にもレーザ光を走査することができる。このため、スリット型の回折格子を用いれば、ブレーズド回折格子を用いた場合に比べて、回折パターン121_nの数を1/2に減らすことが可能である。
[1-3]効果
本実施形態によれば、レーザ光を2次元に走査可能で簡素な構成を有するレーザ走査装置を提供することができる。
以下に、本効果について詳述する。第1実施形態のレーザ走査装置10は、レーザ光11Aを投射位置に出射する光源部11と、レーザ光の光路を変更する複数の回折パターン(第1及び第2回折パターン)を有するディスク(回転部)12と、ディスクを回転させ、複数の回折パターンを投射位置に移動させるディスク駆動部13と、複数の回折パターンのいずれかを通過したレーザ光の反射光を受光する受光部14とを備える。ディスク駆動部13は、レーザ光が投射された投射位置に、ディスク12上の複数の回折パターンを順次移動する。
前記構成を備える第1実施形態では、投射位置に複数の回折パターン121_nを順次移動することにより、レーザ光は複数の回折パターンによって光路が変更される。複数の回折パターンは、回折格子としての複数の溝を有する。複数の溝の配列周期及び角度は、回折パターン毎に変更されている。このような構成を有する複数の回折パターンにより、レーザ光を走査領域に2次元に走査することが可能である。
また、レーザ走査装置10は、回折パターンを有するディスクとその駆動部、レーザ光の発光部及び受光部を備えた簡素な構成で実施可能であるため、製品コストを低減することができる。
[2]第2実施形態
次に、第2実施形態のレーザ走査装置について説明する。前述した第1実施形態では、円形の平板状のディスクに回折パターンを配置したが、第2実施形態では、円筒状の筒面に回折パターンを配置する例を説明する。以下に、第1実施形態と異なる点について主に述べる。
[2-1]レーザ走査装置の構成
[2-1-1]ブロック構成
図11を用いて、第2実施形態のレーザ走査装置のブロック構成について説明する。図11は、レーザ走査装置の構成を示すブロック図である。
レーザ走査装置20は、光源部11、ドラム21、ドラム駆動部22、受光部14、パルスタイミング制御部15、距離演算部16、及び主制御部17を備える。
ドラム21は、例えば透明な円筒形状の板状材から成り、回折パターン群を有する。ドラム21が有する回折パターン群は、光源部11からレーザ光を受け、レーザ光の光路を変更する。回折パターン群は、レーザ光を走査領域へ出射し、走査領域内でレーザ光を走査する。ドラム21により、レーザ光を走査する機構については後述する。
ドラム駆動部22は、電動機から構成され、ドラム21を回転させる。その他の構成は、前述した第1実施形態と同様である。
[2-1-2]構造
図12を用いて、第2実施形態のレーザ走査装置20の構造を説明する。図12は、レーザ走査装置の構造を示す斜視図である。
ドラム21の筒面の回転方向に沿った円周上に、回折パターン群121が配置される。ドラム21に配置される回折パターン群121は、回折パターン121_1,121_2,121_3,…,121_nを有する。
光源部11は、ドラム21上の回折パターン群121にレーザ光11Aを照射可能な位置に配置される。レーザ光11Aは、光源部11からドラム21の回折パターン群121の1つの回折パターンに対して垂直に投射され、回折パターンを通過する。
ドラム駆動部22は、回転軸(シャフト)22Aを有し、回転軸22Aを回転する。回転軸22Aは、ドラム21の底面の中心部に取付けられている。ドラム駆動部22は、回転軸22Aを回転することにより、ドラム21に配置された回折パターン群121を回転させる。
受光部14は、受光素子14Aを有し、光源部11の近傍に配置される。受光素子14Aは、光源部11から発光されたレーザ光11Aの反射レーザ光を受光する。その他の構成は、前述した第1実施形態と同様である。
[2-2]レーザ走査装置の動作
ドラム21に配置された回折パターン121_nによって、レーザ光11Aの光路を変更し、レーザ光を走査する機構は第1実施形態と同様である。
光源部11から発光されたレーザ光11Aは、ドラム21上の所定のレーザ投射位置に投射される。レーザ投射位置には、回折パターン群121が配置されている。
ドラム21の回転により、レーザ投射位置に、回折パターン121_1,121_2,…,121_nが順次移動する。これにより、レーザ光11Aは、レーザ投射位置に移動した回折パターン121_nに投射される。投射されたレーザ光11Aは、回折パターン121_nによる光の回折によって、光路が変更されて走査領域に照射される。
図9及び図10を用いて、ドラム21上の回折パターン121_nによるレーザ光の走査について説明する。
図9に示すように、ドラム21のレーザ投射位置に移動される回折パターン121_nは、ドラム21の回転によって順次変更される。これにより、回折パターン121_nによってレーザ光11Aの光路が順次変更され、回折パターン121_nにおける溝の配列周期、及び溝の長辺方向の角度(例えば、X方向に対する角度)に応じた方向にレーザ光が走査される。図9に示した回折パターンと、図10に示した走査位置との対応関係は、第1実施形態と同様である。
その他の構成及び動作は、前述した第1実施形態と同様である。
[2-3]効果
本実施形態によれば、レーザ光を2次元に走査可能で簡素な構成を有するレーザ走査装置を提供することができる。
第2本実施形態では、ドラム21の筒面の円周上に配置された複数の回折パターン121_nを有する。ドラム駆動部22は、レーザ光が投射された投射位置に、ドラム21上の複数の回折パターンを順次移動する。投射位置に複数の回折パターンを順次移動することにより、レーザ光は複数の回折パターンによって光路が変更される。これにより、レーザ光を走査領域に2次元に走査することが可能である。
また、レーザ走査装置20は、回折パターンを有するドラムとその駆動部、レーザ光の発光部及び受光部を備えた簡素な構成で実施可能であるため、製品コストを低減することができる。その他の効果及び作用は、前述した第1実施形態と同様である。
[3]その他
前記実施形態では、レーザ走査装置が扱うレーザ光として赤外線レーザを用いている。しかし、これに限定されず、本実施形態のレーザ走査装置は、赤外線以外の光にも適用可能である。前記実施形態では、レーザ光を回折する回折パターンとして、ブレーズド回折格子を用いている。しかし、これに限定されず、ブレーズド回折格子以外の回折格子、例えばスリット型の回折格子を用いることも可能である。また、前記実施形態では、車両に搭載されるレーザ走査装置について説明している。しかし、これに限定されず、レーザ光を走査する機能を有する様々な電子機器に適用できる。
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で、構成要素を変形して具体化することが可能である。さらに、上記実施形態には種々の段階の発明が含まれており、1つの実施形態に開示される複数の構成要素の適宜な組み合わせ、若しくは異なる実施形態に開示される構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を構成することができる。例えば、実施形態に開示される全構成要素から幾つかの構成要素が削除されても、発明が解決しようとする課題が解決でき、発明の効果が得られる場合には、これらの構成要素が削除された実施形態が発明として抽出されうる。
1…車両、2…対象物、10…レーザ走査装置、11…光源部、11A…レーザ光、12…ディスク、13…ディスク駆動部、13A…回転軸、14…受光部、14A…受光素子、15…パルスタイミング制御部、16…距離演算部、17…主制御部、21…ドラム、22…ドラム駆動部、22A…回転軸、121…回折パターン群、121_1,121_2,121_3,…,121_n…回折パターン。

Claims (5)

  1. レーザ光を投射位置に出射する光源部と、
    前記レーザ光の光路を変更する、スリット型回折格子である第1及び第2回折パターンを有する回転部と、
    前記回転部を回転させ、前記第1及び第2回折パターンを前記投射位置に移動させる駆動部と、
    前記レーザ光が前記第1及び第2回折パターンのいずれかを通過し、通過した回折パターンで光路変更されて二方向に生じた回折光が走査領域の対象物で反射された反射光を受光する受光部と、
    を具備し、
    前記駆動部は、前記レーザ光が投射された前記投射位置に、前記回転部の前記第1及び第2回折パターンを順次移動するレーザ走査装置。
  2. 前記回転部は円形のディスクを含み、前記第1及び第2回折パターンは前記ディスクの中心部から第1距離離れた円周上に配置されている請求項1に記載のレーザ走査装置。
  3. 前記回転部は円筒形状を有するドラムを含み、前記第1及び第2回折パターンは前記ドラムの筒面に配置されている請求項1に記載のレーザ走査装置。
  4. 前記第1回折パターンは複数の第1回折格子を有し、前記第2回折パターンは複数の第2回折格子を有し、前記第1回折格子と前記第2回折格子の配列周期が異なる請求項1乃至3のいずれかに記載のレーザ走査装置。
  5. 前記第1回折パターンは複数の第1回折格子を有し、前記第2回折パターンは複数の第2回折格子を有し、前記第1回折格子の長辺方向と前記第2回折格子の長辺方向は互いに異なる請求項1乃至3のいずれかに記載のレーザ走査装置。
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