JP7242176B2 - 少なくとも1つのスペクトル選択素子を含む光学機器 - Google Patents
少なくとも1つのスペクトル選択素子を含む光学機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7242176B2 JP7242176B2 JP2017236188A JP2017236188A JP7242176B2 JP 7242176 B2 JP7242176 B2 JP 7242176B2 JP 2017236188 A JP2017236188 A JP 2017236188A JP 2017236188 A JP2017236188 A JP 2017236188A JP 7242176 B2 JP7242176 B2 JP 7242176B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- working surface
- optical
- incidence
- detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 263
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 197
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 153
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 claims description 97
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 72
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 52
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 21
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 21
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 21
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 19
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 18
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 17
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 13
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 13
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 claims description 9
- 210000000887 face Anatomy 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 4
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 4
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000004624 confocal microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000799 fluorescence microscopy Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000000399 optical microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/16—Microscopes adapted for ultraviolet illumination ; Fluorescence microscopes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0052—Optical details of the image generation
- G02B21/0064—Optical details of the image generation multi-spectral or wavelength-selective arrangements, e.g. wavelength fan-out, chromatic profiling
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0052—Optical details of the image generation
- G02B21/0076—Optical details of the image generation arrangements using fluorescence or luminescence
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/36—Microscopes arranged for photographic purposes or projection purposes or digital imaging or video purposes including associated control and data processing arrangements
- G02B21/361—Optical details, e.g. image relay to the camera or image sensor
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/14—Beam splitting or combining systems operating by reflection only
- G02B27/142—Coating structures, e.g. thin films multilayers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/285—Interference filters comprising deposited thin solid films
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Description
z≦-2・(DE/DL)・Θ・[sin(90°+φ0-Θ)/sin(Θ)]
が満足されるように予め定められ、ここで、DEは、作用面への光の入射角に依存したスペクトルエッジの変化を表す入射角分散度であり、DLは、作用面への光の入射位置に依存したスペクトルエッジの変化を表す長手方向分散度であり、Θは、光の主ビームと光路の光軸とが瞳像の位置でなす角度を表し、φ0は、光路の光軸に対する作用面の面法線の予め定められた傾斜角度を表す。上掲の式については後に詳述する。
x=z[sin(φ0-θ)/sin(90°+θ)] (1)
のように計算される。
x・DL=-(φ0-θ)・DE (2)
によって記述される。
Θ=φ0-θ (3)
のように計算される。式(1)は、式(3)を用いて、
x=z[sin(Θ)/sin(90°+φ0-Θ)] (4)
のように書き換え可能である。式(2),(3),(4)から、
z=-(DE/DL)・Θ・[sin(90°+φ0-Θ)/sin(Θ)] (5)
が得られる。
z=-(DE/DL)・Θ0・[sin(90°+φ0-Θ0)/sin(Θ0)] (6)
を満足する角度Θ0を有する主ビームが存在する。入射角DEおよび長手方向分散度DLは異なる符号を有する。つまり、角度Θ0は、入射位置の変化によるエッジ位置のシフトが入射角に依存するエッジ位置のシフトによって補償され、同時に主ビームの全角度領域において、所望の補償からの偏差が最小となる、主ビームの角度である。
z≦-2・(DE/DL)・Θ・[sin(90°+φ0-Θ)/sin(Θ)] (7)
が当てはまる。
x=z・k・(φ0-θ) (10)
のようなテイラー展開を用いて、近似することができる。
λkante(x,θ0)=λ0・exp[(-α/(z・k))・x] (12)
となる。ここで、λ0は開始波長、すなわちx座標のゼロ点での波長である。
Claims (23)
- 光学装置と、検出光路に沿って伝搬する光のスペクトルを制御するために前記検出光路に配置された少なくとも1つのスペクトル選択素子と、を含む、広視野顕微鏡検査のための光学機器であって、
前記スペクトル選択素子は、少なくとも1つのスペクトルエッジを有する作用面を有し、前記作用面は、前記作用面自身への光の入射位置を変化させる光学機器において、
前記検出光路内で、前記作用面への光の入射角の変化によって生じる前記作用面でのスペクトルエッジの変化が、前記作用面への光の入射位置の変化によって生じる前記作用面でのスペクトルエッジの対抗変化によって少なくとも部分的に補償される位置に、前記スペクトル選択素子の前記作用面が配置されており、前記入射角の前記変化は、前記光の走査運動によって、または、主ビームが前記検出光路の光軸に対して種々の傾角を有する種々の光束から前記光を構成することによってもたらされるか、または
前記検出光路内で、前記光学装置の瞳像の位置に、前記作用面が配置されており、
前記少なくとも1つのスペクトル選択素子は、少なくとも2つのビームスプリッタを含み、
前記2つのビームスプリッタのうち、一方は、前記検出光路において前記瞳像の上流に配置されており、他方は、前記瞳像の下流に配置されている、
ことを特徴とする光学機器。 - 光学装置と、検出光路に沿って伝搬する光のスペクトルを制御するために前記検出光路に配置された少なくとも1つのスペクトル選択素子と、を含む、広視野顕微鏡検査のための光学機器であって、
前記スペクトル選択素子は、少なくとも1つのスペクトルエッジを有する作用面を有し、前記作用面は、前記作用面自身への光の入射位置を変化させる光学機器において、
前記検出光路内で、前記作用面への光の入射角の変化によって生じる前記作用面でのスペクトルエッジの変化が、前記作用面への光の入射位置の変化によって生じる前記作用面でのスペクトルエッジの対抗変化によって少なくとも部分的に補償される位置に、前記スペクトル選択素子の前記作用面が配置されており、前記入射角の前記変化は、前記光の走査運動によって、または、主ビームが前記検出光路の光軸に対して種々の傾角を有する種々の光束から前記光を構成することによってもたらされるか、または
前記検出光路内で、前記光学装置の瞳像の位置に、前記作用面が配置されており、
前記少なくとも1つのスペクトル選択素子は、少なくとも2つのビームスプリッタを含み、
前記少なくとも2つのビームスプリッタは、前記検出光路において、双方とも前記瞳像の上流に配置されているかまたは双方とも前記瞳像の下流に配置されている、
ことを特徴とする光学機器。 - 前記光学機器は、好ましくは蛍光顕微鏡、明視野顕微鏡、シート面照明部を含むもしくは含まない光シート顕微鏡、広視野多光子顕微鏡、暗視野顕微鏡、位相差顕微鏡または微分干渉顕微鏡の形態の広視野顕微鏡である、
請求項1または2記載の光学機器。 - 光学装置と、検出光路に沿って伝搬する試料照明用の光のスペクトルを制御するために前記検出光路に配置された少なくとも1つのスペクトル選択素子と、を含む光学機器であって、
前記スペクトル選択素子は、少なくとも1つのスペクトルエッジを有する作用面を有し、前記作用面は、前記作用面自身への光の入射位置を変化させる光学機器において、
前記検出光路内で、前記作用面への光の入射角の変化によって生じる前記作用面でのスペクトルエッジの変化が、前記作用面への光の入射位置の変化によって生じる前記作用面でのスペクトルエッジの対抗変化によって少なくとも部分的に補償される位置に、前記スペクトル選択素子の前記作用面が配置されており、前記入射角の前記変化は、前記光の走査運動によって、または、主ビームが前記検出光路の光軸に対して種々の傾角を有する種々の光束から前記光を構成することによってもたらされるか、または
前記検出光路内で、前記光学装置の瞳像の位置に、前記作用面が配置されており、
前記少なくとも1つのスペクトル選択素子は、少なくとも2つのビームスプリッタを含み、
前記2つのビームスプリッタのうち、一方は、前記検出光路において前記瞳像の上流に配置されており、他方は、前記瞳像の下流に配置されている、
ことを特徴とする光学機器。 - 光学装置と、検出光路に沿って伝搬する試料照明用の光のスペクトルを制御するために前記検出光路に配置された少なくとも1つのスペクトル選択素子と、を含む光学機器であって、
前記スペクトル選択素子は、少なくとも1つのスペクトルエッジを有する作用面を有し、前記作用面は、前記作用面自身への光の入射位置を変化させる光学機器において、
前記検出光路内で、前記作用面への光の入射角の変化によって生じる前記作用面でのスペクトルエッジの変化が、前記作用面への光の入射位置の変化によって生じる前記作用面でのスペクトルエッジの対抗変化によって少なくとも部分的に補償される位置に、前記スペクトル選択素子の前記作用面が配置されており、前記入射角の前記変化は、前記光の走査運動によって、または、主ビームが前記検出光路の光軸に対して種々の傾角を有する種々の光束から前記光を構成することによってもたらされるか、または
前記検出光路内で、前記光学装置の瞳像の位置に、前記作用面が配置されており、
前記少なくとも1つのスペクトル選択素子は、少なくとも2つのビームスプリッタを含み、
前記少なくとも2つのビームスプリッタは、前記検出光路において、双方とも前記瞳像の上流に配置されているかまたは双方とも前記瞳像の下流に配置されている、
ことを特徴とする光学機器。 - 光学装置と、検出光路に沿って伝搬する光のスペクトルを制御するために前記検出光路に配置された少なくとも1つのスペクトル選択素子と、を含む広視野顕微鏡検査のための光学機器であって、
前記スペクトル選択素子は、少なくとも1つのスペクトルエッジを有する作用面を定める多層構造体から形成されており、前記作用面は、前記作用面自身への光の入射位置を変化させる光学機器において、
前記検出光路内で、前記作用面への光の入射角の変化によって生じる前記作用面でのスペクトルエッジの変化が、前記作用面への光の入射位置の変化によって生じる前記作用面でのスペクトルエッジの対抗変化によって少なくとも部分的に補償される位置に、前記スペクトル選択素子の前記作用面が配置されており、前記入射角の前記変化は、前記光の走査運動によって、または、主ビームが前記検出光路の光軸に対して種々の傾角を有する種々の光束から前記光を構成することによってもたらされるか、または
前記検出光路内で、前記光学装置の瞳像の位置に、前記作用面が配置されており、
前記少なくとも1つのスペクトル選択素子は、少なくとも2つのビームスプリッタを含み、
前記2つのビームスプリッタのうち、一方は、前記検出光路において前記瞳像の上流に配置されており、他方は、前記瞳像の下流に配置されている、
ことを特徴とする光学機器。 - 光学装置と、検出光路に沿って伝搬する光のスペクトルを制御するために前記検出光路に配置された少なくとも1つのスペクトル選択素子と、を含む広視野顕微鏡検査のための光学機器であって、
前記スペクトル選択素子は、少なくとも1つのスペクトルエッジを有する作用面を定める多層構造体から形成されており、前記作用面は、前記作用面自身への光の入射位置を変化させる光学機器において、
前記検出光路内で、前記作用面への光の入射角の変化によって生じる前記作用面でのスペクトルエッジの変化が、前記作用面への光の入射位置の変化によって生じる前記作用面でのスペクトルエッジの対抗変化によって少なくとも部分的に補償される位置に、前記スペクトル選択素子の前記作用面が配置されており、前記入射角の前記変化は、前記光の走査運動によって、または、主ビームが前記検出光路の光軸に対して種々の傾角を有する種々の光束から前記光を構成することによってもたらされるか、または
前記検出光路内で、前記光学装置の瞳像の位置に、前記作用面が配置されており、
前記少なくとも1つのスペクトル選択素子は、少なくとも2つのビームスプリッタを含み、
前記少なくとも2つのビームスプリッタは、前記検出光路において、双方とも前記瞳像の上流に配置されているかまたは双方とも前記瞳像の下流に配置されている、
ことを特徴とする光学機器。 - 前記多層構造体は、ファブリペロー装置を形成している、
請求項6または7記載の光学機器。 - 少なくとも3つの検出モジュール(80,210,221,228)が設けられており、
前記少なくとも2つのビームスプリッタ(118,203)がビームスプリッタカスケードを形成しており、
前記ビームスプリッタカスケードの第1のビームスプリッタ(118)は、光をスペクトル分割して、透過により第1の検出モジュール(80)へ供給し、反射により前記ビームスプリッタカスケードの第2のビームスプリッタ(203)へ供給し、
ついで、前記第2のビームスプリッタ(203)は、前記第1のビームスプリッタ(118)が反射した光を、透過により第2の検出モジュール(210)へ供給し、反射により直接にまたは別のビームスプリッタ(214)を介して間接に、第3の検出モジュール(221,228)へ供給する、
請求項1、4または6記載の光学機器。 - 光学装置と、前記光学装置が配置された共通光路に照明光路と検出光路とを統合する少なくとも1つのビームスプリッタと、を含む広視野顕微鏡検査のための光学機器であって、
前記ビームスプリッタは、前記照明光路および前記検出光路に沿って伝搬する光のスペクトルを制御するスペクトル選択素子である光学機器において、
前記スペクトル選択素子は、少なくとも1つのスペクトルエッジを有する少なくとも1つの作用面を有し、前記作用面は、前記作用面自身への光の入射位置を変化させ、
前記共通光路内で、前記作用面への光の入射角の変化によって生じる前記作用面でのスペクトルエッジの変化が、前記作用面への光の入射位置の変化によって生じる前記作用面でのスペクトルエッジの対抗変化によって少なくとも部分的に補償される位置に、前記スペクトル選択素子の前記作用面が配置されているか、または
前記共通光路内で、前記光学装置の瞳像の位置に、前記作用面が配置されている、
ことを特徴とする光学機器。 - 光学装置と、光路に沿って伝搬する光のスペクトルを制御するために前記光路に配置された少なくとも1つのスペクトル選択素子と、を含む光学機器であって、
前記光路は、顕微鏡のノンデスキャン検出光路ではなく、
前記スペクトル選択素子は、スペクトルエッジを有する少なくとも1つの作用面を有し、前記作用面は、前記作用面自身への光の入射位置を変化させる光学機器において、
前記光路内で、前記作用面への光の入射角の変化によって生じる前記作用面でのスペクトルエッジの変化が、前記作用面への光の入射位置の変化によって生じる前記作用面でのスペクトルエッジの対抗変化によって少なくとも部分的に補償される位置に、前記スペクトル選択素子の前記作用面が配置されているか、または
前記光路内で、前記光学装置の瞳像の位置に、前記スペクトル選択素子の前記作用面が配置されており、
前記スペクトル選択素子の前記作用面は、その面法線が前記光路の光軸に対して予め定められた角度で傾斜するように前記光路に配置されており、
前記作用面は、前記光路の前記光軸に沿って、光の入射角の変化に依存して予め定められた瞳像の位置までの距離を有する、
ことを特徴とする光学機器。 - 前記距離zは、式
z≦-2・(DE/DL)・Θ・[sin(90°+φ0-Θ)/sin(Θ)]
が満足されるように予め定められており、ここで、
DEは、前記作用面への光の入射角に依存したスペクトルエッジの変化を表す入射角分散度であり、
DLは、前記作用面への光の入射位置に依存したスペクトルエッジの変化を表す長手方向分散度であり、
Θは、光の主ビームと前記光路の前記光軸とが前記瞳像の位置でなすゼロでない角度を表し、
φ0は、前記光路の前記光軸に対する前記作用面の面法線の予め定められた傾斜角度を表す、
請求項11記載の光学機器。 - 前記光路の前記光軸に対する前記作用面の面法線の予め定められた傾斜角度は、65°以下である、
請求項11または12記載の光学機器。 - 前記スペクトル選択素子の前記作用面のスペクトルエッジは、光の入射位置にともなって単調に変化する、
請求項1から13までのいずれか1項記載の光学機器。 - 前記作用面への光の入射位置が調整可能となるように、前記光路内で前記スペクトル選択素子を移動させる駆動機構が設けられている、
請求項1から14までのいずれか1項記載の光学機器。 - 前記スペクトル選択素子は、前記駆動機構により変化軸に沿って移動可能であり、前記変化軸に沿って前記作用面のスペクトルエッジが変化する、
請求項15記載の光学機器。 - 少なくとも1つの前記スペクトル選択素子が配置された前記光路は、照明光路、または検出光路、または前記照明光路および前記検出光路に共通の光路区間によって形成されている、
請求項1から16までのいずれか1項記載の光学機器。 - 前記少なくとも1つのスペクトル選択素子は、少なくとも1つのビームスプリッタおよび/または少なくとも1つのエッジフィルタを含む、
請求項11から13までのいずれか1項記載の光学機器。 - 前記少なくとも1つのスペクトル選択素子は、少なくとも1つのエッジフィルタを含み、
前記少なくとも1つのエッジフィルタは、少なくとも1つのショートパスフィルタ、少なくとも1つのロングパスフィルタおよび/または少なくとも1つのバンドパスフィルタを含む、
請求項11から13までのいずれか1項記載の光学機器。 - 前記少なくとも1つのスペクトル選択素子は、少なくとも1つのエッジフィルタを含み、
前記少なくとも1つのエッジフィルタは、少なくとも1つのバンドパスフィルタを含み、
前記バンドパスフィルタは、前記光路の前記光軸に沿って相前後するように配置されたショートパスフィルタおよびロングパスフィルタから形成されている、
請求項11から13までのいずれか1項記載の光学機器。 - 少なくとも1つの第1の検出モジュールおよび第2の検出モジュールが設けられており、
前記少なくとも1つのスペクトル選択素子は、少なくとも1つのビームスプリッタを含み、
前記ビームスプリッタは、光をスペクトル分割して、反射により前記第1の検出モジュールへ供給し、透過により前記第2の検出モジュールへ供給する、
請求項11から13までのいずれか1項記載の光学機器。 - 前記第1および第2の検出モジュールに共通利用される検出器が設けられており、前記検出器は、2つの検出器部分を含み、前記2つの検出器部分のうち、一方は、前記ビームスプリッタが反射した光を検出し、他方は、前記ビームスプリッタが透過した光を検出する、
請求項21記載の光学機器。 - 前記光学装置は、結像光学素子または対物レンズである、
請求項1から22までのいずれか1項記載の光学機器。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102016124004.4 | 2016-12-09 | ||
DE102016124004.4A DE102016124004A1 (de) | 2016-12-09 | 2016-12-09 | Optisches Gerät mit mindestens einem spektral selektiven Bauelement |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018097366A JP2018097366A (ja) | 2018-06-21 |
JP7242176B2 true JP7242176B2 (ja) | 2023-03-20 |
Family
ID=60627556
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017236188A Active JP7242176B2 (ja) | 2016-12-09 | 2017-12-08 | 少なくとも1つのスペクトル選択素子を含む光学機器 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3333611B1 (ja) |
JP (1) | JP7242176B2 (ja) |
CN (1) | CN108227059B (ja) |
DE (1) | DE102016124004A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102018119712A1 (de) * | 2018-08-14 | 2020-02-20 | Universität Leipzig | Vorrichtung zur leitung von strahlung, eine photodetektor-anordnung und ein verfahren zur ortsaufgelösten spektralanalyse |
DE102018124714B3 (de) * | 2018-10-08 | 2019-10-17 | Abberior Instruments Gmbh | Bandpassfilter für Licht mit variabler unterer und oberer Grenzwellenlänge |
US11762151B2 (en) * | 2018-11-07 | 2023-09-19 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical radar device |
EP4100764A1 (en) * | 2020-02-06 | 2022-12-14 | ams-OSRAM International GmbH | A light pixel projection module |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008268519A (ja) | 2007-04-19 | 2008-11-06 | Sanyo Electric Co Ltd | 照明装置及び投写型映像表示装置 |
JP2009175571A (ja) | 2008-01-28 | 2009-08-06 | Seiko Epson Corp | 画像表示装置及び光学特性の調整方法 |
JP2010525313A (ja) | 2007-04-18 | 2010-07-22 | ザ サイエンス アンド テクノロジー ファシリティーズ カウンシル | 蛍光測定 |
JP2011023450A (ja) | 2009-07-14 | 2011-02-03 | Sun Tec Kk | 波長可変光源 |
JP2012108370A (ja) | 2010-11-18 | 2012-06-07 | Denso Corp | 波長選択フィルタ |
WO2013118666A1 (ja) | 2012-02-06 | 2013-08-15 | 株式会社ニコン | 分光器及び顕微分光システム |
JP2014202799A (ja) | 2013-04-01 | 2014-10-27 | キヤノン株式会社 | 撮像装置およびその制御方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050017197A1 (en) * | 2003-07-26 | 2005-01-27 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Scanning microscope and method for scanning microscopy |
DE102006034908B4 (de) | 2006-07-28 | 2023-01-26 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Laser-Scanning-Mikroskop |
JP5541978B2 (ja) * | 2010-06-21 | 2014-07-09 | オリンパス株式会社 | レーザ走査型顕微鏡 |
DE102010045856A1 (de) * | 2010-09-17 | 2012-03-22 | Carl Zeiss Ag | Optisches Abbildungssystem zur multispektralen Bildgebung |
DE102013227104B4 (de) * | 2013-09-03 | 2018-05-30 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Scanmikroskop und akustooptischer Hauptstrahlteiler für ein Scanmikroskop |
DE102014008098A1 (de) * | 2014-05-31 | 2015-12-03 | Carl Zeiss Ag | Spektral flexible, schnell umschaltbare optische Filtervorrichtung |
LU92740B1 (de) * | 2015-06-11 | 2016-12-12 | Leica Microsystems | Abtastmikroskop |
-
2016
- 2016-12-09 DE DE102016124004.4A patent/DE102016124004A1/de active Pending
-
2017
- 2017-12-07 EP EP17205928.9A patent/EP3333611B1/de active Active
- 2017-12-08 JP JP2017236188A patent/JP7242176B2/ja active Active
- 2017-12-11 CN CN201711308872.4A patent/CN108227059B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010525313A (ja) | 2007-04-18 | 2010-07-22 | ザ サイエンス アンド テクノロジー ファシリティーズ カウンシル | 蛍光測定 |
JP2008268519A (ja) | 2007-04-19 | 2008-11-06 | Sanyo Electric Co Ltd | 照明装置及び投写型映像表示装置 |
JP2009175571A (ja) | 2008-01-28 | 2009-08-06 | Seiko Epson Corp | 画像表示装置及び光学特性の調整方法 |
JP2011023450A (ja) | 2009-07-14 | 2011-02-03 | Sun Tec Kk | 波長可変光源 |
JP2012108370A (ja) | 2010-11-18 | 2012-06-07 | Denso Corp | 波長選択フィルタ |
WO2013118666A1 (ja) | 2012-02-06 | 2013-08-15 | 株式会社ニコン | 分光器及び顕微分光システム |
JP2014202799A (ja) | 2013-04-01 | 2014-10-27 | キヤノン株式会社 | 撮像装置およびその制御方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102016124004A1 (de) | 2018-06-14 |
CN108227059A (zh) | 2018-06-29 |
CN108227059B (zh) | 2022-04-08 |
EP3333611B1 (de) | 2022-02-02 |
EP3333611A1 (de) | 2018-06-13 |
JP2018097366A (ja) | 2018-06-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7242176B2 (ja) | 少なくとも1つのスペクトル選択素子を含む光学機器 | |
US11131840B2 (en) | Microscope system and method for microscopic imaging | |
EP2720075B1 (en) | Total internal reflectance fluorescence (TIRF) microscopy across multiple wavelengths simultaneously | |
CN107924048B (zh) | 扫描显微镜 | |
US11067783B2 (en) | Light sheet microscope and method for imaging a sample by light sheet microscopy | |
JP6096814B2 (ja) | スペクトル検出を伴う光走査型顕微鏡 | |
US8988753B2 (en) | Optical filter device, in particular for microscopes | |
US10514533B2 (en) | Method for creating a microscope image, microscopy device, and deflecting device | |
US7633622B2 (en) | Method for analyzing a sample and microscope for evanescently illuminating the sample | |
US20060250689A1 (en) | Objective for evanescent illumination and microscope | |
US20090073552A1 (en) | Laser scanning microscope | |
JP5032754B2 (ja) | 光走査型顕微鏡およびそれの使用 | |
US11366312B2 (en) | Microscope device with enhanced contrast formed by light illumination transmitted in two different spectral ranges | |
JP2001356274A (ja) | 二重共焦点走査型顕微鏡 | |
US10317659B2 (en) | Laser microscope | |
US10459209B2 (en) | Method and microscope for examining a sample | |
US11269122B2 (en) | Optical device having at least one spectrally selective component | |
US8471218B2 (en) | Detecting device and optical apparatus including the detecting device | |
JP5583515B2 (ja) | レーザ顕微鏡用照明装置およびレーザ顕微鏡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201201 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211206 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20220304 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20220506 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220531 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220914 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221212 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230207 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230308 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7242176 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |