JP7237532B2 - 配線基板 - Google Patents

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Description

本開示は配線基板に関する。
自動車業界では、近年、衝突防止等の目的でミリ波レーダが急速に普及している。高周波信号を伝送するための伝送線路には、小型で伝送損失が小さいことが求められる。そのような伝送線路の例として、ストリップ線路、マイクロストリップ線路およびコプレーナ線路等がある。これらの伝送線路の中で、例えば、マイクロストリップ線路は、絶縁層の一方側の主面に矩形状のパッチ導体を配置し、反対側の主面にグラウンド(接地)導体とを備えた構成となっている。このような伝送線路は誘電損失による伝送信号の減衰を抑制するために、低い比誘電率および低い誘電正接を有する絶縁層が要求される。例えば、テフロン(登録商標)等の有機樹脂を主成分とする絶縁層を挙げることができる(特許文献1、2および3を参照)。
特開2017-187379号公報 特開2003-37420号公報 国際公開第2005/013418号公報
本開示の配線基板は、有機樹脂を主成分とし、無機粒子を含み、第1面と該第1面の反対側の第2面とを両面として有する1層の絶縁層と、該絶縁層の前記第1面に配置された第1金属層と、前記第2面に配置された第2金属層とを有しており、前記第1金属層が設けられた前記第1面側の前記絶縁層の表面部は、前記第2金属層が設けられた前記第2面側の前記絶縁層の表面部よりも有機樹脂の割合が高いものである。
本開示の一実施形態に係る配線基板の斜視図である。 図1のii-ii線断面図である。 本開示の配線基板の他の態様を示す斜視図である。 本開示の配線基板の他の態様を示す斜視図である。 本開示の配線基板の他の態様を示す斜視図である。 本開示の配線基板の他の態様を示す斜視図である。 本開示の配線基板の他の態様を示す断面図である。 図6のviii-viii線断面図である。 本開示の配線基板の他の態様を示す断面図である。 図6のx-x線断面における部分断面図である。
上記した従来の配線基板を構成している有機樹脂は、元々、貯蔵弾性率が低い。このため絶縁層の両主面に設けられる矩形状のパッチ導体およびグラウンド(接地)導体のサイズや配置によっては、配線基板が反りやすくなる。本開示は、このような課題に対処したものであり、反りを小さくできる配線基板を得ることを目的とする。
図1は、本開示の一実施形態に係る配線基板の斜視図である。図2は、図1のii-ii線断面図である。本開示の配線基板Aは、絶縁層1の第1面1aに配置された第1金属層3aと、第1面1aの反対側の第2面1bに配置された第2金属層3bとを有している。絶縁層1は有機樹脂を主成分とし、無機粒子を含む。
本開示では、絶縁層1、第1金属層3aおよび第2金属層3bが、以下の条件を満たすときに、反りの小さい配線基板Aを得ることができる。この場合の反りの値は、配線基板Aを製造した直後の他、当該配線基板Aが一般的な信頼性試験の条件に晒された後にも満足するものとなる。
配線基板Aを構成する各部材の条件としては、絶縁層1は、その厚みが75μm以上1000μm以下、貯蔵弾性率が4GPa以上7GPa以下である。第1金属層3aは、その厚みが1.5μm以上10μm以下、被覆率が5%以上25%以下である。ここで、被覆率とは、絶縁層1の第1面1aに対する第1金属層3aの面積割合のことである。第2金属層3bの厚みは3μm以上10μm以下または25μm以上100μm以下であり、被覆率が85%以上である。この場合の被覆率は、絶縁層1の第2面1bに対する第2金属層3bの面積割合のことである。
さらに、この配線基板Aでは、第1金属層3aが設けられた側の絶縁層1の表面部1cは第2金属層3bが設けられた側の絶縁層1の表面部1dよりも有機樹脂の割合が高い。
絶縁層1の第1面1a、第2面1bにそれぞれ設けられる第1金属層3aおよび第2金属層3bの厚みおよび被覆率の条件に加えて、絶縁層1の両面で有機樹脂の割合が異なる場合に、有機樹脂の割合が高い表面部1cに被覆率の低い金属層を配置することで、配線基板Aの反りを小さくすることができる。反りの水準としては、一例として、配線基板Aの平面の面積が50mm×50mmである場合に、反りは2mm以下となる。ここで、配線基板Aの反りは、当該配線基板Aが矩形状である場合、交差する2つの対角線上を走査して反りを測定したときの最大値の平均値とする。反りの測定は例えば3次元レーザー変位計を用いる。
ここで、有機樹脂を主成分とするとは、絶縁層1の中で有機樹脂の体積割合が最も多い状態であることを意味する。無機粒子としては、種々の無機粒子の中で比誘電率が低いという点から粒子状のシリカが好適である。この場合、有機樹脂の熱膨張率は無機粒子の熱膨張率よりも高い方が良い。また、第1金属層3a、第2金属層3bの材料としては銅が好適である。銅は電気抵抗が比較的低く、例えば、金属箔を転写する方法の他、めっき膜による形成が可能であり、さらには、安価であるという点で適している。ここで、絶縁層1の表面部1c、1dは、表面からの深さが10μmまでの範囲とする。絶縁層1の表面部1c、1dにおける無機粒子の割合は、作製した配線基板Aの断面を、分析器を備えた走査型電子顕微鏡を用いて観察し、撮影した断面写真の単位面積の領域に占める無機粒子の面積割合から求める。有機樹脂の割合は撮影した断面写真の単位面積から無機粒子の面積割合を引いた値とする。
図3は、本開示の配線基板の他の態様を示す斜視図である。図3に示す配線基板Bは、第1金属層3aとしてマイクロストリップ型のアンテナパターン10を有している。アンテナパターン10は、パッチ導体11と線状導体13と給電部15とを有する。第2金属層3bはグラウンド導体17である。
図3に示す配線基板Bにおけるアンテナパターン10は、線状導体13に複数のパッチ導体11が並列に接続された形状である。給電部15は線状導体13の端部に設けられている。配線基板Bは、絶縁層1の主面1a上に2つのアンテナパターン10a、10bを有する。この場合、2つのアンテナパターン10a、10bの面積は、絶縁層1の第1面1aの面積に対する比率が同等である。ここで、面積の比率が同等とは、2つのアンテナパターン10a、10b間の面積が%表示の差で10ポイント以内である場合とする。図3に示す2つのアンテナパターン10a、10bは、第1面1a上において、アンテナパターン10(10a、10b)の長手方向がX方向を向いている。2つのアンテナパターン10a、10bは、長手方向に対して垂直な方向(Y方向)に並んでいる。
図4は、本開示の配線基板の他の態様を示す斜視図である。図4に示した配線基板Cは、絶縁層1の第1面1aに3つのアンテナパターン10a、10b、10cを有する。アンテナパターン10は、パッチ導体11と線状導体13と給電部15とを有する。第2金属層3bはグラウンド導体17である。アンテナパターン10a、10b、10cは、線状導体13が2つに分岐している。分岐したそれぞれの線状導体13には、複数のパッチ導体11が並列に接続されている。この場合も、3つのアンテナパターン10a、10b、10cの面積は、上記した配線基板Bの場合と同様、3つのアンテナパターン10a、10b、10c間の面積が%表示の差で10ポイント以内である。
配線基板Cでは、3つのアンテナパターン10a、10b、10cうち、2つのアンテナパターン10a、10bが、第1面1aにおいてY方向に並ぶように配置されている。もう1つのアンテナパターン10cは、2つのアンテナパターン10a、10bからX方向の位置に離間して配置されている。絶縁層1の第1面1aにおける平面の方向を互いに直角に向くX方向およびY方向としたときに、少なくとも一つの方向に非線対称の配置となっている。
さらに詳細に説明する。まず、配線基板Cの第1面1aが矩形状である。その第1面1a上に仮想線Lを設定する。仮想線Lは第1面1aの1つの辺に対して直角の方向を向いている。また、仮想線Lは第1面1aの中央を通るように描かれている。配線基板C(絶縁層1)の左側の領域を1Aとし、右側の領域を1Bとする。左側の領域1Aには3つのアンテナパターン10a、10b、10cのうち、2つのアンテナパターン10a、10bが配置されている。一方、右側の領域1Bには、1つのアンテナパターン10cが配置されている。左側の領域1Aと右側の領域1Bとでは、アンテナパターン10の数が異なる。アンテナパターン10a、10bと、アンテナパターン10cとは、仮想線Lに対して非線対称の配置となっている。言い換えると、配線基板Cの左側の領域1Aと、右側の領域1Bでは、アンテナパターン10(10a、10b)の面積、あるいは、絶縁層1の第1面1aの面積に対するアンテナパターン10の面積比が異なる。
本開示は、図4に配線基板Cを例として示したように、配線基板Cの第1面1c上で、アンテナパターン10が均等な配置となっていない場合でも、配線基板Cの反りを小さくできる。その結果、アンテナ特性の低下を小さくすることができる。
図5は、本開示の配線基板の他の態様を示す斜視図である。図5に示す配線基板Dは、図4に示した配線基板Cに対して、複数配置されたアンテナパターン10a、10b、10cのうちの1つのアンテナパターン(この場合、符号10cのアンテナパターン)の向
きが90°回転した向きとなっている。図4に示した配線基板Cにおけるアンテナパターン10cを形成している線状導体13の長手方向の向きはX方向である。これに対し、図5に示した配線基板Dでは、アンテナパターン10cを形成している線状導体13の長手方向はY方向である。つまり、図5に示した配線基板Dは、絶縁層1上にアンテナパターン10が複数配置されたときに、そのうちの少なくとも一つのアンテナパターン10(この場合、符号10c)が他のアンテナパターン10とは異なる方向に向く配置となっている。本開示は、絶縁層1上に複数のアンテナパターン10が形成されたときに、そのうちの少なくとも一つのアンテナパターン10(この場合、符号10c)が他のアンテナパターン10とは異なる方向に向く配置となっている場合にも配線基板の反りを小さくすることができる。この場合、絶縁層1上に形成された複数のアンテナパターン10の中で、他のアンテナパターン10とは異なる向きになるように配置されたアンテナパターン10の割合は、アンテナパターンの全面積を100%としたときに、20%以上45%以下の範囲であると良い。
配線基板C、Dは、第1面1aを矩形状とし、第1面1aの1つの辺に対して直角で、第1面1aの中央に仮想線Lを設定したときに、複数のアンテナパターン10a、10b、10cは、仮想線Lを挟む2つの領域1A、1B間で、数、面積および向きのうちの少なくとも1つが異なる。
図6は、さらに、本開示の配線基板の他の態様を示す斜視図である。図6には配線基板Eを示している。配線基板Eに設けられたアンテナパターン10は、図3に示した配線基板Bにおけるアンテナパターン10を基本的な形状として、線状導体13の形状を変化させたものである。
図6に示した配線導体Eは、アンテナパターン10の中で、線状導体13が平面的に湾曲した形状である。線状導体13がこのような湾曲した形状であると、第1面1aの面積に制限がある場合でも隣接する線状導体13間に、より多くのパッチ導体3aを配置させることが可能になる。
また、線状導体13を湾曲した形状にすると、パッチ導体13間の間隔を調整することが可能になる。これにより複数のパッチ導体13からそれぞれ放射される電波の位相のずれを小さくすることができるようになる。
また、配線基板B、C、Dのように、線状導体13が直角に曲がった形状である場合には、給電部15からパッチ導体13へ電界を供給するときに、直角に曲がった部分から電界が空間へ放射しやすい。
これに対し、線状導体13が湾曲した形状であると、電界が空間へ放射するのを抑制することができる。その結果、アンテナパターン10からの放射特性を高めることができる。
図7は、本開示の配線基板の他の態様を示す斜視図である。図7に示した配線基板Fは、図5に示した配線基板Dにおけるアンテナパターン10を基本的な形状とし、線状導体13の形状を変化させたものである。
図7に示した配線基板Fについても、図6に示した配線基板Eと同様、線状導体13が湾曲した形状である。配線基板Fの場合もパッチ導体13間の間隔を調整できる形状である。これにより複数のパッチ導体13からそれぞれ放射される電波の位相のずれを小さくすることができる。また、線状導体13が湾曲した形状であるため、電界が空間へ放射するのを抑制することができる。配線基板Fは配線基板Eに比較して、アンテナパターン1
0からの放射特性を高めることができる。
図8は、図6のviii-viii線断面図である。図9は、本開示の配線基板の他の態様を示す断面図である。図9に示した配線基板Gは、図6および図8に示した配線基板Eに対して、第2金属層3bが厚み方向に層状になっている状態を示す断面図である。
図6、8に示した配線基板Eは、グラウンド導体17である第2金属層3bが単層の構造である。これに対して、図9に断面図で示した配線基板Gは、グラウンド導体17である第2金属層3bが厚み方向に層状である。この場合、第2金属層3bは界面を介した構造を成している。第2金属層3bが層状であるか否かは、走査型電子顕微鏡などの微視的観察によって判定する。この場合、第2金属層3bの厚みは、25μm以上100μm以下、特に、25μm以上50μm以下であるのが良い。
グラウンド導体17を成す第2金属層3bは絶縁層1の第2面1bに対して占有面積が大きい。第2金属層3bが層状を成す構造であると、第2金属層3bが層状を成すものである場合に比較して、厚み方向への結合が弱いため、第2金属層3bはこの界面でずり変形しやすくなる。その結果、配線基板Gは高い屈曲性を示すようになる。また、配線基板Fが曲げられた際にも配線基板Fの表面にクラックが発生し難くなる。
図10は、図6のx-x線断面における部分断面図である。図10は、図6に示した配線基板Eの給電部15を部分的に断面図として示したものである。図10に示しているように、配線基板Eにおいて、アンテナパターン10を構成している給電部15は、配線基板Eを厚み方向に貫通する貫通ビア18を有している。図10において、貫通ビア18は一点鎖線で囲った領域である。貫通ビア18は、貫通孔19と金属膜とで構成されている。以下、絶縁層1が露出した内壁19aに設けられた金属膜のことを第3金属層21と表記する。第3金属層21は、配線基板Eにおいてビア導体としての役割を担うものとなる。つまり、貫通ビア18は、絶縁層1が露出した内壁19aに第3金属層21を有している。貫通ビア18は、図10に示しているように、配線基板Eを断面視したときに、貫通孔19が埋まらずに、貫通した構造を部分的に残した状態となっている。この場合、第3金属層21は、貫通孔19の内壁19aから絶縁層1の表面まで及ぶように配置されている。つまり、第3金属層21は、貫通孔19を埋めずに、絶縁層1上において、第1金属層3aおよび第2金属層3bとは層状を成すように形成されている。
配線基板Eにおいては、貫通ビア18の導体部としての役割を担う第3金属層21が貫通孔19を充填したものとならずに、貫通孔19の内壁19aから第1金属層3aおよび第2金属層3bのそれぞれの表面上に及ぶ構造である。つまり、第3金属層21が第1金属層3aまたは第2金属層3bとの間で層状を成す構造であるため、第3金属層21と、第1金属層3aまたは第2金属層3bとが一体化した構造に比べて層間の結合が弱くなっている。このため第3金属層21も第1金属層3aとの間の界面および第2金属層3bとの間の界面のそれぞれにおいてずり変形しやすい。その結果、配線基板Eは、貫通ビア18を有していても高い屈曲性を示すものとなり、配線基板Eが曲げられた際にも配線基板Eの表面にクラックが発生し難いものとなる。なお、第3金属層21を有する配線基板として、図6に示した配線基板Eを例として示したが、本開示はこれに限らず、配線基板B、C、D、FおよびGについても同様の効果が得られることは言うまでもない。
本開示の配線基板(A~G)を構成する絶縁層1に含まれる有機樹脂は、比誘電率および誘電正接が低い有機材料であれば好適なものとして適用することができる。この場合、熱硬化型の有機樹脂が良い。有機樹脂の例としては、環状オレフィンコポリマー、ポリフェニレンエーテルおよびポリテトラフルオロエチレンの群から選ばれる1種が良い。
無機粒子は、絶縁層1中に体積割合で5%以上50%以下であればよい。この他に、難燃剤や応力緩和剤などの助剤を含んでいても良い。これらの助剤の割合は絶縁層1中に体積割合でそれぞれ2%以上20%以下であるのが良い。
配線基板A~Gは、例えば、上記した絶縁層1となる樹脂組成物を調製する工程、この樹脂組成物をシート状に成形して、半硬化の絶縁シートを形成する工程、この絶縁シートの表面に第1金属層および第2金属層となる金属箔を被着させる工程、第1金属層および第2金属層が形成された絶縁シートを所定の条件(温度、圧力および雰囲気)にて加熱加圧を行う工程、金属箔を所定のパターンにエッチングする工程、を経て得ることができる。この後、必要に応じて、金型またはレーザー加工機などを用いて配線基板A~Fに貫通孔を形成する。また、貫通孔19にメッキを行うことによって貫通ビア18となる第3金属層21を形成する。
なお、第2金属層3bを層状とする場合には、第2金属層3bの最表面側の金属層を形成する際のめっき速度を通常よりも早い条件にすると良い。また、第1金属層3aおよび第2金属層3b上に第3金属層21を層状に形成する場合も同様である。この場合、めっきを施す金属膜の表面に対する洗浄、脱脂および還元処理などは通常の条件を適用することは言うまでもない。
まず、シート状成形体を作製した。シート状成形体は、有機樹脂として、熱硬化型に変性された環状オレフィンコポリマーを用いた。無機粒子としてシリカ(比重:2)を用いた。難燃剤として「SAYTEX8010(アルベマール社製)」(比重:2.8)を使用した。無機粒子は有機樹脂100質量部に対して20質量部添加した。難燃剤は有機樹脂100質量部に対して30質量部添加した。
次に、得られた樹脂組成物をキシレンに溶解させて樹脂ワニスを得た。樹脂組成物とキシレンとの質量比は40:60とした。次に、得られた樹脂ワニスを、バーコーターを用いてシート状に成形し、150℃にて乾燥させた。乾燥時間はシート状成形体の厚みに応じて3分から60分まで変化させて、半硬化状態のシート状成形体を得た。
次に、半硬化状態のシート状成形体の両主面に銅箔を貼り付け、加圧加熱処理を行って、銅張積層板を得た。次に、得られた銅張積層板にレジスト加工を行い、エッチング処理を施すことによってアンテナパターンを形成した。配線基板の平面の面積は50mm×50mmとした。第2金属層を2層構造に形成するときには、第2金属層が1層構造の配線基板を作製するときのメッキの速度の2倍の速度にして行った。めっきは3A/dmの50分にて行った。
絶縁層の表面部における有機樹脂および無機粒子の割合は、作製した配線基板の断面を、分析器を備えた走査型電子顕微鏡を用いて観察し、撮影した断面写真の単位面積の領域に占める無機粒子の面積割合から求めた。断面写真を撮影した領域は表面からの深さが10μm、横幅が50μmの範囲とした。断面写真を撮影した箇所は、各試料について両主面の中央部をそれぞれ1ヵ所撮影した。
貯蔵弾性率は、得られた配線基板から金属箔を剥がして、絶縁層を縦50mm×横8mmに加工し、動的粘弾性測定(DMA)を行って、室温(25℃)における値を求めた。
表に示した評価項目の中で、配線基板の反りおよび屈曲性の測定には、図1に示したアンテナパターンを用いた。図1は、絶縁層の両主面の中央の位置に第1金属層および第2金属層がそれぞれ配置された構造である。
配線基板の反りは、加圧加熱処理後に得られた銅張積層板に対して、3Dレーザー変位計を用いて測定した。この場合、配線基板の第1金属層側の表面を交差する2つの対角線に沿って測定した。試料数は5個とし、平均値を求めた。
配線基板の屈曲性は、得られた配線基板を切断して試料(2mm×20mm)を作製した。3mm、3.5mm、4mmおよび4.5mmの直径を有するステンレス製(SUS304)のロッドを準備し、得られた試料を各ロッドに置いて180°折り曲げた。折れ曲がった部分を目視で観察して、クラックの有無を確認した。クラックが発生したロッドの最小径を表1~3に示した。4mm以下の場合に屈曲性に優れていると判断した。表1~3には、屈曲性を測定した試料のみ値を記した。
アンテナ特性は、表12~14に示した試料に対してネットワークアナライザを用いて放射特性を測定して利得を評価した。この場合、表12~14にそれぞれ示したように、同様の形状をしたアンテナパターン毎に利得の値が最大であった試料の値を1として規格化した値を求めた。表12~14に示したアンテナ特性を評価した試料には、絶縁層の厚みが100μm、貯蔵弾性率が5GPa、第1金属層の被覆率が17%、第2金属層の被覆率が95%、厚みが50μmであり、絶縁層において有機樹脂の割合の高い側の表面に第1金属層を形成した配線基板を用いた。なお、第1金属層の厚み、第2金属層の層数を変化させた試料を用いた。また、アンテナ特性を測定した後の各試料についても配線基板の反りを測定した。
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表1~11の結果から明らかなように、有機樹脂を主成分とし、無機粒子を含む絶縁層の第1面に第1金属層を設け、第1面の反対側の第2面に第2金属層を設けた構成において、絶縁層の厚みを75μm以上1000μm以下、貯蔵弾性率を4GPa以上7GPa
以下の範囲とし、第1金属層の厚みを1.5μm以上10μm以下、その被覆率を5%以上25%以下とし、第2金属層の厚みを3μm以上10μm以下または25μm以上100μm以下とし、その被覆率を85%以上の範囲とし、さらに、第1金属層が配された側の絶縁層の表面部が第2金属層が配された側の絶縁層の表面部よりも有機樹脂の割合を高くした配線基板(試料No.I-53~I-243、I-306~I-311およびI-313)は、いずれの試料も反りの値が2mm以下であった。また、第2金属層を2層構造に形成した試料は第2金属層の厚みが同じである場合に、第2金属層が1層構造である試料に比べて高い屈曲性を示した。
また、表12から明らかなように、図3および図6に示したアンテナパターンの配線基板においては、線状導体を湾曲させた試料(試料No.II-5)は、線状導体を直線状に形成した試料(試料No.II-1~4)に比べて放射特性が高いことが認められた。
また、表13に示した試料からも、線状導体を湾曲させた試料No.III-2の方が試料No.III-1に比べて高い放射特性が認められた。
さらに、表14からは、アンテナパターンを3つ設けた配線基板において、そのうち1つを他のアンテナパターンを構成している線状導体の向きに対して90°向きを変えて非対称とした試料(試料No.IV-2)は、3つのアンテナパターンがすべて同じ方向を向くようにした試料(試料No.IV-1)に比べて高い放射特性が認められた。
A、B、C、D、E、F、G・・・・・・・配線基板
1・・・・・・・・・・・・・・・・・・・絶縁層
1a・・・・・・・・・・・・・・・・・・第1面
1b・・・・・・・・・・・・・・・・・・第2面
1c、1d・・・・・・・・・・・・・・・表面部
3・・・・・・・・・・・・・・・・・・・金属層
3a・・・・・・・・・・・・・・・・・・第1金属層
3b・・・・・・・・・・・・・・・・・・第2金属層
10、10a、10b、10c・・・・・・アンテナパターン
11・・・・・・・・・・・・・・・・・・パッチ導体
13・・・・・・・・・・・・・・・・・・線状導体
15・・・・・・・・・・・・・・・・・・給電部
17・・・・・・・・・・・・・・・・・・グラウンド導体
18・・・・・・・・・・・・・・・・・・貫通ビア
19・・・・・・・・・・・・・・・・・・貫通孔
19a・・・・・・・・・・・・・・・・・内壁
21・・・・・・・・・・・・・・・・・・第3金属層

Claims (6)

  1. 有機樹脂を主成分とし、無機粒子を含み、第1面と該第1面の反対側の第2面とを両面として有する1層の絶縁層と、該絶縁層の前記第1面に配置された第1金属層と、前記第2面に配置された第2金属層とを有しており、
    前記第1金属層が設けられた前記第1面側の前記絶縁層の表面部は、前記第2金属層が設けられた前記第2面側の前記絶縁層の表面部よりも有機樹脂の割合が高い、配線基板。
  2. 前記絶縁層は、厚みが75μm以上1000μm以下、貯蔵弾性率が4GPa以上7GPa以下であり、
    前記第1金属層は、厚みが1.5μm以上10μm以下、被覆率が5%以上25%以下であり、
    前記第2金属層は、厚みが3μm以上10μm以下、または25μm以上100μm以下、被覆率が85%以上である、
    請求項1に記載の配線基板。
  3. 前記第1金属層が、パッチ導体と線状導体とを備えた複数のアンテナパターンを有しており、前記第1面が矩形状であり、該第1面の1つの辺に対して直角で、前記第1面の中央に仮想線を設定したときに、前記複数のアンテナパターンは、前記仮想線を挟む2つの領域間で、数、面積および向きのうちの少なくとも1つが異なる、請求項1または2に記載の配線基板。
  4. 前記線状導体は、隣接する2つの前記パッチ導体の間で曲がっている、請求項3に記載の配線基板。
  5. 前記第2金属層の厚みが25μm以上100μm以下であるとき、前記第2金属層は、層状を成している、請求項2乃至4のうちいずれかに記載の配線基板。
  6. 前記絶縁層、前記第1金属層および前記第2金属層は、厚み方向に貫く貫通孔を有しており、該貫通孔は、前記絶縁層が露出した内壁に第3金属層を有しており、該第3金属層は、前記内壁から延びて、前記絶縁層上において、前記第1金属層および前記第2金属層とそれぞれ層状を成している、請求項1乃至5のうちいずれかに記載の配線基板。
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