JP7235378B2 - 弾性表面波センサおよびそれを用いた計測システム - Google Patents
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Claims (3)
- 検知素子としてSAW素子を備えた弾性表面波センサにおいて、
前記SAW素子は、本体部と蓋部とで構成された無機材料からなるパッケージの前記本体部に一方の端部側のみ接合して実装されていることと、
前記パッケージは、取付部材に接合していることと、
前記SAW素子と前記本体部との接合、前記本体部と前記蓋部との接合、および前記本体部と前記取付部材との接合が、焼結層を介した接合であることを特徴とする弾性表面波センサ。 - 請求項1記載の弾性表面波センサにおいて、
前記取付部材は、変形して設置位置に密着接合する取付部を有することを特徴とする弾性表面波センサ。 - 電気信号を出力する送信機と、該送信機から送信された電気信号を受信し、応答信号を出力する弾性表面波センサと、該弾性表面波センサから出力される応答信号を受信する受信機とを備えた計測システムにおいて、
前記弾性表面波センサは、検知素子としてSAW素子を備え、該SAW素子は、本体部と蓋部とで構成された無機材料からなるパッケージの前記本体部に一方の端部側のみ接合して実装されていることと、
前記パッケージは、取付部材に接合していることと、
前記SAW素子と前記本体部との接合、前記本体部と蓋部との接合、および前記本体部と前記取付部材との接合が、焼結層を介した接合であることを特徴とする計測システム。
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