JP7231374B2 - 室内温熱環境解析方法 - Google Patents
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なお、数値流体力学とは、NS(Navier Stokes)方程式等の流体方程式をコンピュータで解くことで、流体をシミュレーションする手法である。
かかる室内温熱環境解析方法によれば、解析精度をより向上させることができる。
かかる室内温熱環境解析方法によれば、大規模な室内空間を有する半導体製造工場のクリーンルームにおいて、温熱環境の解析時間を短く、解析精度を高くすることができる。
[室内モデル、空調設備モデル]
以下、本発明の実施形態について適宜図面を参照しながら詳細に説明する。なお、実施形態において、同一の手段には同一の符号を付し、説明を省略した。
図1に示すように、室内モデル1及び空調設備モデル2は、コンピュータで室内空間の温熱環境を解析(シミュレーション)するために、室内空間及び空調設備をモデル化したものである。例えば、室内モデル1及び空調設備モデル2は、後記する室内温熱環境解析処理を実行するコンピュータに予め記憶させておく。
なお、この給気温度は、循環空調機20が吹き出した空気の温度であるから、吹き出し温度と呼ばれることもある。
以上の室内モデル1及び空調設備モデル2を用いることで、クリーンルーム10における温熱環境の解析精度をより向上させることができる。
参考文献:2018年度日本建築学会大会(東北)学術講演梗概集、第1419頁~第1422頁、一般社団法人日本建築学会
また、室内モデル1及び空調設備モデル2が前記したものに限定されないことは言うまでもない。
図2を参照し、本実施形態に係る室内温熱環境解析処理について説明する。本実施形態では、一般的なコンピュータが、図2の室内温熱環境解析処理を実行することとする。
また、数値流体力学の解析間隔とは、シミュレーション内の時間軸で、ステップS4からステップS9までの解析サイクルを実行する間隔のことである。例えば、数値流体力学の解析間隔が0.5秒の場合、シミュレーション内で0.5秒が経過する都度、数値流体力学が実行される。
ステップS4では、コンピュータが、解析カウンタtをインクリメントする。
なお、ステップS5A及びステップS5Bが、請求項に記載の解析ステップに相当する。
一方、解析結果が収束した場合(ステップS5BでYes)、コンピュータは、ステップS6の処理に進む。なお、コンピュータは、還気温度及び室内温度が収束せずとも、ステップS5Aの処理を予め設定した時間(例えば、1秒間)継続した場合、ステップS6の処理に進んでもよい。
一方、解析時間がサンプリングタイムの倍数でない場合(ステップS6でNo)、コンピュータは、カスケード制御のシミュレーションを行わないと判定し、ステップS9の処理に進む。
ここで、図1を参照し、カスケード制御のシミュレーションについて詳細に説明する。
従来の空調システムでは、以下のように、(1)マスタ側PI制御と(2)スレーブ側PI制御の2つを組み合わせたカスケード制御を行っている。なお、図1では、室内温度T1等を丸数字で図示した。
室内温度T1と目標室内温度SP1との関係から、第1制御値TC1をPI制御する。
(2)スレーブ側PI制御
マスタ側PI制御で求めた第1制御値TC1を目標給気温度SP2として設定する。そして、給気温度T2と目標給気温度SP2との関係から、冷水弁制御値CVCをPI制御する。
室内温度T1と目標室内温度SP1との関係から、第1制御値TC1をPI制御のシミュレーションにより求める。
(2´)スレーブ側PI制御
マスタ側PI制御で求めた第1制御値TC1を目標給気温度SP2として設定する。そして、給気温度T2と目標給気温度SP2との関係から、給気温度制御値TC2をPI制御のシミュレーションにより求める。
ステップS8では、コンピュータが、次回以降のステップS5Aで境界条件となる給気温度を、ステップS7で算出した給気温度制御値TC2で更新する(更新ステップ)。ここでは、ステップS7で算出した給気温度制御値TC2を、次回以降の解析サイクルの境界条件(循環空調機20の給気温度)として参照するため、記憶装置に書き込む。
一方、終了条件を満たした場合(ステップS9でYes)、コンピュータは、室内温熱環境解析処理を終了する。
図2の室内温熱環境解析処理によれば、ステップS5Aの数値流体力学とステップS7のカスケード制御とを連成解析することができる。さらに、室内温熱環境解析処理によれば、適切なサンプリングタイムでステップS7のカスケード制御のシミュレーションを行うことができる。これにより、室内温熱環境解析処理では、従来技術で時間を要していた空調システムシミュレーションを省略できるので、クリーンルーム10における温熱環境の解析時間を短く、解析精度を高くすることができる。すなわち、室内温熱環境解析処理では、サンプリングタイムの概念を導入し、カスケード制御の安定化と解析時間の大幅な短縮とを実現している。
以上、本発明の実施形態を詳述してきたが、本発明は前記した実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
前記した実施形態では、室内モデルが半導体製造工場のクリーンルームを表すこととして説明したが、これに限定されない。
前記した実施形態では、カスケード制御でPI制御を行うこととして説明したが、PID制御を行ってもよい。つまり、マスタ側PID制御とスレーブ側PID制御とを組み合わせたカスケード制御を行ってもよい。
以下、本発明の実施例について説明する。
この実施例では、以下のパラメータを用いて、図2の室内温熱環境解析処理を実行し、クリーンルームの温熱環境を解析した。
ここで、マスタ側PI制御のI値=400秒とスレーブ側PI制御のI値=120秒との最大公約数が40秒となる。この最大公約数40秒は、数値流体力学の解析間隔0.5秒で割り切れる値である。従って、カスケード制御のサンプリングタイムは、40秒となる。なお、割り切れるとは、除算をしたときに余りが発生しないことをいう。
図3には、サンプリングタイムが0.5秒及び40秒の場合における室内温度T1と給気温度T2の時間推移を図示した。
サンプリングタイムが0.5秒の場合、室内温度T1と給気温度T2が安定せず、オーバーシュートが発生していることがわかる(図3左)。一方、サンプリングタイムが40.0秒の場合、室内温度T1と給気温度T2が安定し、オーバーシュートが発生していないことがわかる(図3右)。このように、室内温熱環境解析処理では、適切なサンプリングタイムでカスケード制御を行うので、数値流体力学とカスケード制御とを連成する際に問題となるオーバーシュートを抑制することができる。さらに、室内温熱環境解析処理では、空調システムシミュレーションのトランザクションタイムを削減できるので、従来技術に比べて、解析時間を1/100~1/10程度に短縮することができる。
10 クリーンルーム
11 天井プレナムチャンバ
12 床下レタンチャンバ
13 室内温度センサ(室内温度計測位置)
14 レタンダクト
141 胴部
142,143 分岐路
144 導入路
14IN 還気孔
14OUT 給気孔
15 給気温度センサ(給気温度計測位置)
16 ファンフィルタユニット
2 空調設備モデル
20 循環空調機
30 半導体製造装置
Claims (5)
- 大規模な室内空間を表した室内モデルと、前記室内空間に空気を循環させる循環空調機を表した空調設備モデルとを用いて、前記室内空間の温熱環境を解析する室内温熱環境解析方法であって、
カスケード制御のシミュレーションにおけるサンプリングタイムを設定する設定ステップと、
前記室内空間の還気温度及び室内温度が収束するまで、前記室内モデルを用いて、前記循環空調機の給気温度を境界条件として、所定の解析間隔で前記室内空間の数値流体力学を行う解析ステップと、
前記解析間隔に解析サイクルを実行した回数を表す解析カウンタを乗じた解析時間が前記サンプリングタイムの倍数である場合、前記カスケード制御のシミュレーションを行うと判定する判定ステップと、
前記判定ステップで前記カスケード制御を行うと判定した場合、前記空調設備モデルを用いて、スレーブ側PI制御において前記循環空調機の給気温度制御値を算出する前記カスケード制御のシミュレーションを行う制御ステップと、
前記制御ステップで前記給気温度制御値を算出した場合、次回以降の前記解析ステップで前記境界条件として用いる給気温度を当該給気温度制御値で更新する更新ステップと、
予め設定された終了条件を満たしているか否かを判定し、前記終了条件を満たしていない場合、前記解析ステップの処理に戻り、前記終了条件を満たしている場合、処理を終了する終了ステップと、
を備えることを特徴とする室内温熱環境解析方法。 - 前記室内モデルは、前記室内空間と、天井プレナムチャンバと、床下レタンチャンバとを解析対象領域として表し、前記天井プレナムチャンバ及び前記床下レタンチャンバを接続するレタンダクトと、前記室内温度を計測する室内温度計測位置と、前記循環空調機の給気温度を計測する給気温度計測位置とを有し、
前記空調設備モデルは、前記レタンダクトから還気された空気を温度制御して前記レタンダクトに給気する前記循環空調機を表すことを特徴とする請求項1に記載の室内温熱環境解析方法。 - 前記解析ステップでは、前記カスケード制御のシミュレーションとして、
前記室内温度計測位置の室内温度と予め設定された目標室内温度との関係から第1制御値を算出するマスタ側PI制御と、
前記第1制御値を目標給気温度として設定し、前記給気温度計測位置の給気温度と前記目標給気温度との関係から前記給気温度制御値を算出する前記スレーブ側PI制御と、を実行することを特徴とする請求項2に記載の室内温熱環境解析方法。 - 前記設定ステップでは、
前記マスタ側PI制御のI値と前記スレーブ側PI制御のI値との最大公約数、かつ、前記最大公約数が前記数値流体力学の解析間隔で割り切れる値を前記サンプリングタイムとして設定することを特徴とする請求項3に記載の室内温熱環境解析方法。 - 前記室内空間は、半導体製造工場のクリーンルームであることを特徴とする請求項1から請求項4の何れか一項に記載の室内温熱環境解析方法。
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