JP7224937B2 - 光学検査装置 - Google Patents
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Description
[第1実施形態]
導光体15の形状としては、長方形、正方形に限定されるものでなく、平行四辺形、その他、互いに辺の長さが異なる四角形であってもよい。
[第2の実施形態]
[第3の実施形態]
[第4の実施形態]
[比較例]
以下、願書に最初に添付した特許請求の範囲を付記する。
[付記]
[1]
検査対象と対向する撮像光学系と、
前記撮像光学系の光軸に沿って延びるとともに、複数の角部を有する多角形の筒状をなした導光体と、
前記複数の角部に対応する位置で前記導光体の端面に対向した複数の光源と、
前記導光体の前記端面に対向する第2端面に前記光軸に対して斜めに設けられ、前記光源から前記導光体内に入射された光を前記検査対象に向けて反射可能なミラー面と、
を備える光学検査装置。
[2]
前記ミラー面は、前記端面から遠ざかるにつれて、前記導光体の内面に近づくように斜めである[1]に記載の光学検査装置。
[3]
前記導光体の内面で前記ミラー面と対向する位置に設けられる透過面と、
前記透過面から外れた位置で前記導光体の内面を覆った遮光板と、
を備える[1]に記載の光学検査装置。
[4]
前記ミラー面は、前記導光体の前記検査対象側の端部と、前記導光体の外面と、が交差する位置にある稜線を除去するように面取りした面取り面で構成される[1]に記載の光学検査装置。
[5]
前記ミラー面と前記光軸とがなす角度は、30~70°である[1]に記載の光学検査装置。
[6]
前記導光体から前記検査対象に向けて射出される光の前記検査対象の表面における入射角は、60~80°である[1]に記載の光学検査装置。
[7]
前記導光体の外側を覆うカバーを備える[1]に記載の光学検査装置。
[8]
前記撮像光学系の光軸は、前記導光体の内側の中空領域内を通る[1]に記載の光学検査装置。
[9]
前記導光体は、四角以上、八角以下の多角形である[1]に記載の光学検査装置。
[10]
前記複数の光源は、前記撮像光学系の周囲に設けられる[1]に記載の光学検査装置。
[11]
前記複数の光源と熱的に接続されたヒートシンクを備える[1]に記載の光学検査装置。
Claims (9)
- 検査対象と対向する撮像光学系と、
前記撮像光学系の光軸に沿って延びるとともに、第1端面及び前記第1端面に対向する第2端面に複数の角部を有する多角形の筒状をなした導光体と、
前記導光体の前記第1端面の前記複数の角部に対応する位置で前記第1端面に対向するようにLEDを配置し、前記LEDはそれぞれがレンズレスのLEDチップで構成された複数の光源と、
前記複数の光源が実装された基板と、
前記第2端面に前記光軸に対して斜めに設けられ、前記光源から前記導光体内に入射された光を前記検査対象に向けて反射可能なミラー面と、
を備え、
前記導光体は、
前記第1端面から前記導光体内に入射された光を内部全反射させる、平坦な全反射面と、
前記全反射面よりも前記第1端面に対して離間し、前記全反射面に連続し、前記ミラー面に対向し、前記ミラー面で反射させた光を前記検査対象に向けて屈折・透過させる平坦な透過面と
を有し、前記撮像光学系の前記光軸に近い側の内周面と、
前記光源から前記導光体内に入射された光を内部全反射させる、平坦な第2の全反射面を有し、前記撮像光学系の前記光軸から前記内周面に対して遠い側の外周面と
を有し、
前記透過面から外れた位置で前記導光体の前記内周面の前記全反射面を覆うとともに、前記基板に当接する遮光板を備え、
前記導光体の中心軸は、前記撮像光学系の前記光軸と一致する光学検査装置。 - 前記ミラー面は、前記第1端面から遠ざかるにつれて、前記導光体の前記内周面に近づくように斜めである請求項1に記載の光学検査装置。
- 前記ミラー面は、前記導光体の前記検査対象側の端部と、前記導光体の前記外周面と、が交差する位置にある稜線を除去するように面取りした面取り面で構成される請求項1に記載の光学検査装置。
- 前記ミラー面と前記光軸とがなす角度は、30~70°である請求項1に記載の光学検査装置。
- 前記導光体から前記検査対象に向けて射出される光の前記検査対象の表面における入射角は、前記検査対象の表面の法線を0°とするとき、60~80°である請求項1に記載の光学検査装置。
- 前記導光体の外側を覆うカバーを備える請求項1に記載の光学検査装置。
- 前記撮像光学系の前記光軸は、前記導光体の内側の中空領域内を通る請求項1に記載の光学検査装置。
- 前記導光体は、四角以上、八角以下の多角形である請求項1に記載の光学検査装置。
- 前記複数の光源は、前記撮像光学系の周囲に設けられる請求項1に記載の光学検査装置。
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