JP7219056B2 - 変位測定装置 - Google Patents
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Description
図1に示す例では、変位測定装置1は、複数のセンサヘッド2と、子機アンプ3と、親機アンプ4と、設定機器5としてのモニタ装置5Aまたはパーソナルコンピュータ5Bとを備えている。センサヘッド2は1つであってもよく、設定機器5が不要な場合の最小構成としては、1つのセンサヘッド2と1つの親機アンプ4である。子機アンプ3と親機アンプ4が統合されたシステムであってもよい。
モニタ装置5A及びパーソナルコンピュータ5Bは、それぞれ、液晶ディスプレイや有機ELディスプレイ等の表示デバイスで構成された表示部8を備えている。表示部8には、後述するように、センサヘッド2で撮像された画像や、子機アンプ3や親機アンプ4で生成された画像、各種インターフェース等を表示することができるようになっている。
図3や図4に示すように、センサヘッド2は、測定光を測定対象物Wに照射するための投光モジュール10と、角度検知センサ22と、測定対象物に一様な照明光を照射するための照明部30と、測定対象物Wから反射した測定光を受光する変位測定用受光部40と、ハウジング50とを備えている。投光モジュール10、角度検知センサ22、照明部30及び受光部40は、ハウジング50の内部に収容されている。図2~図5ではセンサヘッド2の上下方向を規定しているが、これは説明の便宜を図るためだけであり、運用時のセンサヘッド2の姿勢を限定するものではなく、どのような向き及び姿勢でセンサヘッド2を使用してもよい。
図2~図3に示すように、ハウジング50は全体として細長い形状とされている。投光モジュール10は、ハウジング50の内部において長手方向一方側に偏位した状態で該ハウジング50に固定されている。ハウジング50の長手方向一方側とは図4の右側である。照明部30及び変位測定用受光部40は、ハウジング50の内部において長手方向他方側に偏位した状態で該ハウジング50に固定されている。ハウジング50の長手方向他方側とは図4の左側である。
図6に示すように、ハウジング50は、受光窓51bのうち、集光光学系41と対向する第1領域と、発光ダイオード31~34と対向する第2領域とに、それぞれ偏光成分が90度異なるように偏光フィルタ52aが取付可能に構成されている。図6に示す例では、偏光フィルタ52aを有する偏光フィルタアタッチメント52がハウジング50の端壁部51を覆うように取り付けられる例である。偏光フィルタアタッチメント52は、爪嵌合による固定方法やネジのような締結部材による固定方法等、ハウジング50に対して着脱自在な方法で取り付けられる。偏光フィルタアタッチメント52は、周囲の環境や測定対象物Wの表面状態等に応じて使用することができ、特にハレーションが起こる場合に偏光フィルタアタッチメント52を使用することで、ハレーションを除去することができる。
図3に示すように、投光モジュール10は、投光部10aと、走査部としてのMEMSミラー15と、これらが取り付けられるモジュール化部材10bとを有している。投光部10aは、測定光源としてのレーザー出力器12と、該レーザー出力器12からの光が入射するコリメートレンズ13及びシリンドリカルレンズ14とを有しており、図3等に示す第1方向に延びる帯状の測定光を生成して測定対象物Wに照射する部分である。測定光源はレーザー出力器12以外の光源であってもよい。
MEMSミラー15は、投光部10aのシリンドリカルレンズ14から出射された測定光を、第1方向と交差する第2方向(図3等に示す)に走査することが可能に構成された部材である。この実施形態では、第2方向が第1方向に対して直交しているが、これに限られるものではなく、第1方向と第2方向との交差角度は任意に設定することができる。また、図1において第1方向を搬送用ベルトコンベアBの幅方向とし、第2方向を搬送用ベルトコンベアBによる搬送方向とすることもできるし、その逆にすることもできる。
図3に示すように、変位測定用受光部40は、測定対象物Wから反射した測定光を受光し、変位測定用の受光量分布を出力するとともに、測定対象物Wから反射した照明光(照明部30から照射された光)を受光し、輝度測定用の受光量分布を出力する2次元の受光素子からなるイメージセンサで構成することができる。この実施形態では、集光光学系41を有しており、測定光及び照明光は集光系光学系41を通して変位測定用受光部40の受光素子に達することになる。変位測定用受光部40の受光素子は特に限定されるものではないが、集光系光学系41を通して得られた光の強度を電気信号に変換するCCD(charge-coupled device)イメージセンサやCMOS(complementary metal oxide semiconductor)イメージセンサ等である。集光系光学系41は、外部から入射する光を集光するための光学系であり、典型的には一以上の光学レンズを有している。集光系光学系41の光軸と、投光部10aの光軸とは交差する関係となっている。
照明部30は、第1方向または第2方向に互いに離れて配設された複数の発光ダイオードを有しており、測定対象物Wに対して異なる方向から光を照射可能に構成されている。具体的には、図3や図5に示すように、照明部30は、第1発光ダイオード31、第2発光ダイオード32、第3発光ダイオード33及び第4発光ダイオード34と、これら発光ダイオード31~34が取り付けられる板状の取付部材30aとを有している。取付部材30aは、ハウジング50の端壁部51に沿うようにかつ受光窓51bに臨むように配設されている。取付部材30aの中央部には、該取付部材30aを上下方向に貫通する貫通孔30bが形成されている。この貫通孔30bと一致するように、集光系光学系41の入射側が配置されており、測定対象物Wで反射した測定光及び照明光は取付部材30aの貫通孔30bを通って集光系光学系41に入射するようになっている。
図5に示すように、角度検知センサ22は、測定対象物Wの測定位置を含む領域に測定光が照射されたときのMEMSミラー15による測定光の走査角度を検出するためのセンサである。角度検知センサ22は、MEMSミラー15の走査ミラーにより走査される測定光の第1方向端部の光が受光可能な位置に設けられており、第2方向に並んだ複数の画素を有する1次元の受光素子22aと、演算処理を行う角度検出部22bとを有している。測定光の第1方向端部の光を受光素子22aに入射させると、第2方向に並んだ複数の画素のうち、いずれかの画素及びその画素近傍の画素に該光が当たることになり、画素間で受光量に明確な差が生じることになる。第2方向に並んだ複数の画素のうち、受光量が最も高くなる画素と、測定光の走査ミラーからの出射角度とを予め得ておけば、角度検出部22bが受光素子22aから出力された受光量分布に基づいて測定光の走査ミラーからの出射角度を検出することができる。測定光の走査ミラーからの出射角度は、走査ミラーの照射角度を検出するということもできるので、角度検出部22bは走査ミラーの照射角度を検出する部分でもある。受光素子22aは、1次元のCMOSセンサであってもよいし、1次元の光位置センサ(PSD:Position Sensitive Detector)であってもよい。
図7に示すように、センサヘッド2には、各種メモリ等で構成された設定情報記憶部23が設けられている。設定情報記憶部23には、子機アンプ3や親機アンプ4から送信された様々な設定情報を記憶することができるようになっている。設定情報記憶部23に記憶される具体的な内容については後述する。設定情報記憶部23は、子機アンプ3や親機アンプ4に搭載されていてもよいし、センサヘッド2 と子機アンプ3の両方に搭載されていてもよい。
ここでセンサヘッド2により得られた各情報に基づいて測定対象物Wの所定位置の変位を測定する原理について説明する。基本的には三角測距の原理を用いており、図9に模式的に示している。図9Aは、本実施形態で採用している方式であり、図9Bは、変形例となる方式であるが、いずれを採用しても構わない。図9A及び図9Bにおいて、投光部10aから照射された測定光はMEMSミラー15の動作によって第2方向に走査されて測定対象物Wに照射される。符号W1は、測定対象物Wの相対的に高い面を示し、符号W2は、測定対象物Wの相対的に低い面を示している。以下、図9Aの測定原理と、図9Bの測定原理(変形例)について詳述する。
図7は子機アンプ3の構成について示している。以下の説明では、子機アンプ3が各機能を実行するものとして説明するが、これら機能の全てを子機アンプ3が備えていてもよいし、一部または全部を親機アンプ4が備えていてもよい。また、子機アンプ3の機能の一部または全部をセンサヘッド2が備えていてもよい。さらに、子機アンプ3の機能の一部または全部をモニタ装置5Aまたはパーソナルコンピュータ5Bが備えていてもよい。
図7に示す例では、子機アンプ3は、輝度画像生成部302も備えている。輝度画像生成部302は、測定対象物Wから反射した照明光をセンサヘッド2の変位測定用受光部40が受光したときに変位測定用受光部40から出力される輝度測定用の受光量を得て、その輝度測定用の受光量分布に基づいて測定対象物の輝度画像を生成するように構成されている。輝度画像生成部302は、図8A及び図8Bに示す例の場合、輝度測定用の受光部40Bから出力される輝度測定用の受光量分布に基づいて測定対象物の輝度画像を生成する。生成される輝度画像は、変位測定用受光部40から出力される輝度値が低いほど黒く、輝度値が高いほど白くなる画像することができ、白黒画像であってもよいし、カラー画像であってもよい。なお、輝度画像の生成方法については、如何なる方法を採用しても構わない。例えば、輝度測定用の受光量分布をそのまま輝度画像として採用してもよいし、或いは、センサヘッド2における前処理として、FPN補正やHDR補正などの各種処理を行ってもよいし、子機アンプ3における前処理として、ハレーション除去を実行するための合成処理を行ってもよい。
図7に示すように、子機アンプ3は、設定部304も備えている。設定部304は、表示部8に表示された輝度画像上で、変位の測定を行う測定位置の設定を受け付ける部分である。使用者が、測定対象物Wの中で変位の測定を行いたい部分があるとき、その部分を表示部8に表示された輝度画像上でタッチ操作すると、設定部304がタッチ操作された位置を例えばXY座標で特定し、特定された位置を測定位置として設定する。つまり、測定位置の入力操作が行われたことを検出して測定位置を特定する。これにより、使用者による測定位置の設定を受け付けることができる。測定位置が設定されると、図11に示すようにユーザーインターフェース70の画像表示領域71に、測定位置を示す目印72を輝度画像に重畳させて表示する。目印72は測定ポイントと呼ぶこともできる。目印72は、例えばドラッグ操作によって別の箇所に移動させることもできる。
図7に示すように、子機アンプ3は、エッジ抽出部306も備えている。エッジ抽出部306は、輝度画像における測定対象物Wのエッジを抽出するように構成された部分である。エッジとは、広義には測定対象物Wの輪郭、外形線と定義できる。エッジ抽出処理自体は従来から周知の手法を用いることができ、例えば、輝度画像上の各画素の画素値を取得し、輝度画像上の画素値の変化がエッジ検出用のしきい値以上となる領域が存在する場合に、その境界部分がエッジであるとして抽出する。エッジ抽出の閾値は使用者が任意に調整することができる。
図7に示すように、子機アンプ3は補正情報記憶部320aも備えている。補正情報記憶部320aは、設定部304により設定された領域74(図11等に示す)内の位置補正用情報を、設定部304により設定される測定位置との相対位置情報とともに記憶する部分であり、子機アンプ3の記憶部320の一部として構成することができる。領域74内の位置補正用情報とは、後述する位置補正部307で測定対象物Wの位置補正を行う際に必要な情報であり、位置補正の基準となり得る情報である。位置補正の基準となり得る情報としては、例えば、輝度画像生成部302で生成された輝度画像の一部、輝度画像の輝度情報、エッジ抽出部306で抽出されたエッジに関するエッジ情報(エッジの点群を含む)等を挙げることができる。位置補正用情報を輝度画像の一部とする場合、その画像をテンプレート画像と呼ぶこともできる。
図7に示すように、子機アンプ3は位置補正部307も備えている。位置補正部307は、変位測定装置1が走査モードで運転している時に、輝度画像生成部302により新たに生成された輝度画像上で、補正用情報記憶部320aに記憶された位置補正用情報を用いて測定対象物Wの位置及び姿勢を特定し、相対位置情報を用いて測定位置の補正を行うように構成されている。
図7に示すように、子機アンプ3は測定ツール選択部308も備えている。測定ツール選択部308は、複数の測定ツールの中から1つまたは複数を選択可能にする部分であり、図15に示すような測定ツール選択用インターフェース80をUI生成部303に生成させて表示部8に表示させる。測定ツールは、例えば測定対象物Wの段差の大きさを測定する段差ツール、測定対象物Wの所定位置の高さを測定する高さツール、後述する高さ面積ツール、測定対象物Wの位置を補正する位置補正ツール、測定対象物Wの所定範囲内の最小、最大高さを求めるMAX/MINツール等があるが、これら以外の測定ツールを設けてもよい。
測定制御部305は、設定部304により設定された測定位置及び設定部304により設定された変位測定範囲に測定光が照射されるように投光部10a及びMEMSミラー15を制御するように構成されており、このとき、設定部304で受け付けた領域のみに測定光が照射されるように投光部10a及びMEMSミラー15を制御するようにしてもよい。また、測定制御部305は、測定位置の輝度画像上におけるY座標に基づいて、MEMSミラー15による測定光の走査範囲を変更するように構成することができ、具体的には、測定位置のY座標と、変位測定を行う変位測定範囲とに基づいて、MEMSミラー15による走査範囲を当該MEMSミラー15により走査が可能な走査可能範囲よりも狭く設定する。
図7に示すように子機アンプ3はモード選択部309も備えている。モード選択部309は、変位測定装置1の運転時におけるモードの選択を可能にする部分であり、MEMSミラー15による走査を行わずに測定光を測定対象物Wに照射するラインモードと、測定光をMEMSミラー15によって走査して測定対象物Wに照射する走査モードとのうち、任意のモードを使用者が選択できる。ラインモードで変位を測定可能な場合には、測定光を走査しない分、高速に測定を完了することができる。一方、広い範囲を測定する場合には走査モードで対応することができる。ラインモードと走査モードの選択手段は、例えばUI生成部303でモード選択用のユーザーインターフェース(図示せず)を生成して表示部8に表示させ、使用者の選択をユーザーインターフェース上の操作によって受け付ける構成とすることができる。
図7に示すように子機アンプ3は出射方向調整部310も備えている。出射方向調整部310は、モード選択部309によりラインモードが選択されている場合に、測定光の出射方向を第2方向について調整するための部分である。出射方向の調整は例えば使用者がユーザーインターフェース上で行うことができる。
図7に示すように子機アンプ3は照射角度特定部311も備えている。照射角度特定部311は、変位測定用受光部40から出力される測定位置に対応する受光素子の画素位置の受光量を連続的に取得し、測定光が測定位置に照射されたときの走査ミラーの照射角度を特定する部分である。測定対象物Wの測定位置を含む領域に測定光が照射されたときのMEMSミラー15による測定光の走査角度は、上述した角度検知センサ22で取得することができ、この角度検知センサ22からの出力値に基づいて、測定光が測定位置に照射されたときの走査ミラーの照射角度を算出することができる。得られた走査ミラーの照射角度は、測定光が測定位置に照射されたときの走査ミラーの照射角度として特定される。特定された走査ミラーの照射角度は記憶部320に記憶される。なお、測定光の照射角度を特定するにあたり、角度検知センサ22を用いなくても、MEMSミラー15への駆動信号に基づいて大まかな照射角度は特定することができる。しかし、温度特性の変化や経時変化などを考慮すると、正確な照射角度を知るためには、角度検知センサ22等によって角度測定することが好ましい。
図7に示すように子機アンプ3は変位測定部312も備えている。変位測定部312が用いている測定原理は、上述した三角測距の原理である。変位測定部312は、設定部304により設定された測定位置に照射された測定光が該測定位置から反射して変位測定用受光部40で受光されることによって変位測定用受光部40から出力された変位測定用の受光量分布に基づいて、該測定位置の変位を測定する。また、変位測定部312は、測定位置から反射した測定光だけでなく、測定位置を含む領域から反射した測定光に基づいて変位を測定することもできる。すなわち、設定部304により設定された測定位置を含む領域に測定光が照射されたときに変位測定用受光部40から出力された変位測定用の受光量分布に基づいて、当該測定位置の変位を測定するように構成することができる。測定結果は、図7に示す測定データ記憶部320eに記憶させることができる。なお、変位測定部312の機能は、センサヘッド2と子機アンプ3とに分割させるようにしてもよい。
図7に示すように子機アンプ3は良否判定部313を備えている。良否判定部313は、輝度画像生成部302により生成された輝度画像に基づいて測定対象物Wの状態を判定した判定結果と、変位測定部312で測定した変位に基づいて測定対象物Wの状態を判定した判定結果とを組み合わせて測定対象物Wの良否判定を行うように構成されている。例えば、輝度画像上で一部が欠落しているか否かを検出し、欠落していない場合であっても、変位測定部312で測定した変位が基準値を外れている場合には、測定対象物Wが不良品であると判定することができる。反対に、変位測定部312で測定した変位が基準値であっても、輝度画像上で一部が欠落していると判定される場合には、測定対象物Wが不良品であると判定することができる。処理結果は、図7に示す処理結果記憶部320cに記憶させることができる。
設定情報記憶部320fには、図22~図24に示すようなプログラムが記憶されている。プログラムは、複数の設定情報からなるものであり、複数通り記憶させておくことができる。各プログラムに含まれる設定情報としては、例えば走査モード(スキャンモード)とラインモードのいずれが選択されているか、トリガ関連の設定、撮像関連の設定(明るさ、感度等)、マスターデータの有無、ヘッド傾き補正、適用される測定ツール及びそのパラメータ等が含まれている。使用者は、設定情報記憶部320fに記憶されているプログラムの中から任意のプログラムを選択して変位測定装置1の運転時に適用することができる。
次に、変位測定装置1の設定時及び運転時の具体例について説明する。図25は、変位測定装置1の走査モードの設定時に行う手順を示すフローチャートである。
走査モードの設定時のフローチャートにおけるステップSA1は、外部トリガや内部トリガ等を設定するステップであり、どのようなトリガ信号でどのように動作するかを設定する。トリガ条件の設定が行われると子機アンプ3やセンサヘッド2に設定情報が送られ、センサヘッド2はこの条件で動作するようになる。
次に、走査モードの設定時のマスター登録について詳細に説明する。図26に示すユーザーインターフェース70のマスター登録開始ボタン70bを押すことでマスター登録が開始される。図27に示すマスター登録フローチャートのステップSB1では、照明部30の第1~第4発光ダイオード31~34を点灯させる。ステップSB2では、輝度画像を撮像する。画像データは、例えば子機アンプ3の画像データ記憶部320d(図7に示す)に記憶される。
次に、マスター高さデータ1~3の使用時について図29に示すフローチャートに基づいて説明する。マスター高さデータ1~3は、測定ツールの選択時に使用することができ、ステップSC1では、マスター高さデータ1~3の中から、測定ツール種別、測定ツール設定に応じて使用するマスター高さデータを選択する。ステップSC2では、選択されたマスター高さデータと、測定ツールの測定位置及び範囲から測定値を算出する。ステップSC3では、ステップSC2で測定した値を表示部8に表示する。
出力割り当て設定では、図34に示すように、外部への出力ピンに何を割り当てるか設定する。OFF/総合判定/ビジー/エラ/ツール1結果等を選択することができるが、これ以外を選択可能にしてもよい。
図35に示すように、判定条件設定領域70gにおいて、測定ツールが「すべてOK」か「いずれかOK」を選択することができる。その他にも、測定ツール1がOKかつ測定ツール2がNGなら総合判定がOKとするような組み合わせパターンを出力することも可能である。
変位測定装置1は、輝度画像の白飛びを低減するハレーション低減機能を有している。すなわち、発光ダイオードを使って輝度画像を撮像すると、正反射する測定対象物Wなどではハレーションが発生することがある。このことに対して、上述した偏光フィルタアタッチメント52を装着して対応することもできるが、偏光フィルタ52aを入れると測定光の受光量が下がってしまう。また、ドーム照明を利用してハレーションを低減する方法もあるが、ドーム照明は大きくなるので測定の邪魔になることがある。
図37は、測定光が測定対象物Wの測定位置に照射されたときの受光量分布のピーク位置を取得する手順を示すフローチャートである。ステップSE1では、測定対象物Wの測定位置の指定を受け付ける。これは設定部304により行うことができる。ステップSE2では、測定位置を含む近傍の撮像範囲(変位測定範囲)を指定する。ステップSE3では、測定位置を含む変位測定範囲の変位を測定可能となるようにMEMSミラー15を制御する。ステップSE4では、レーザー出力器12から発光させて帯状の測定光を測定対象物Wに照射する。
変位測定装置1は、平坦な基準面の傾きを補正する傾き補正機能を有している。傾き補正機能は、子機アンプ3が有していてもよいし、センサヘッド2が有していてもよい。図38に示すように、ユーザーインターフェース70に輝度画像が表示された状態で、基準面設定ボタン70hを押すと、図39に示すようにユーザーインターフェース70に高さ画像が表示される。高さ画像は、高さに応じて色を変えた画像であり、例えば高いほど白く、低いほど黒く表示した画像にしたり、高いほど赤く、低いほど青く表示した画像にすることができる。図39に示す高さ画像では、基準面が表示部6の下に行くほど低くなるように傾斜している様子が分かる。
図41は、基準面方向に応じて測定光の照射ピッチを最適化する方法を説明する図である。符号200は基準面を示しており、また、符号201は変位測定範囲を示しており、また、符号202は測定光を示している。
図42は、基準面高さ補正の概要を説明する図である。符号200は基準面を示しており、また、符号201は変位測定範囲を示しており、また、符号202は測定光を示しており、また、符号203は測定レンジを示している。ここで、測定対象物Wが台座に置かれた状態を想定する。測定対象物Wの天面を測定すると考えたときに、台座から見た測定対象物Wの相対的な高さ変動は、上下両方向で例えば5mmのように小さいが、台座の高さ変動が上下両方向で例えば20mmあった場合には、合計で上下両方向に25mmの測定レンジを設定する必要があり、測定時間が長くなるおそれがある。
高さ面積ツールは、測定ツール用の領域内の高さを測定し、指定した高さ範囲内に入っていれば面積として抽出し、表示するツールである。測定ツール用の領域内の高さを測定しようとすると、測定光の走査範囲が広くなりがちで、測定時間が長くなるという問題があるが、高さ面積ツールは、測定ツール用の領域内の全ての高さを測定し、指定した高さ範囲内に入っているかチェックする必要はなく、指定した高さ範囲内だけを測定し、測定できたところを面積として抽出する。これを利用し、指定した高さ範囲内だけ測定することで測定速度を高める。
図47は、変位測定装置1の走査モードの運転時に行う手順を示すフローチャートである。走査モードの運転時のフローチャートにおけるステップSG1では、外部機器6等から外部トリガを受け付ける。ステップSG2では、照明部30の第1~第4発光ダイオード31~34を点灯させる。ステップSG3では、輝度画像を撮像する。画像データは、例えば子機アンプ3の画像データ記憶部320d(図7に示す)に記憶される。
図48は、粗サーチ及び精密測定処理の基本フローチャートであり、図18に示すように実線で表される測定光による粗サーチ処理を行った後に、破線で表される測定光による精密測定を行う。
5では、精密測定を実行する。ステップSN6では、ステップSN3で得られた粗サーチの高さ情報と、ステップSN5で得られた精密測定の結果から測定対象物の高さを特定する。
図54はラインモード設定時のフローチャートである。外部トリガや内部トリガ等を設定するステップは省略している。ステップSP1では、輝度画像の明るさ設定が行われる。ステップSP2では、マスター登録を行う。ステップSP3では、測定ツールの選択を行い、測定ツールを選択すると、ステップSP4に進み各ツールの設定を行う。ステップSP5において測定ツールの追加が完了したか否かを判定し、測定ツールの追加が完了していない場合には、ステップSP3、SP4を経て測定ツールを追加する。測定ツールの追加が完了すると、ステップSP6に進む。ステップSP6では、出力割り当てを設定する。その後、ステップSP7において総合判定条件を設定する。なお、上述した走査モード(スキャンモード)と同様に、ステップSP2のマスター登録は省略してもよい。
次に、ラインモードの設定時のマスター登録について詳細に説明する。図58に示すマスター登録フローチャートのステップSQ1では、照明部30の第1~第4発光ダイオード31~34を点灯させる。ステップSQ2では、輝度画像を撮像する。ステップSQ3では、輝度画像全体の変位を測定可能となるようにMEMSミラー15を制御する。ステップSQ4では、レーザー出力器12から発光させて帯状の測定光を測定対象物Wに照射する。ステップSQ5で撮像し、ステップSB6で変位を測定する。
図59は、変位測定装置1のラインモードの運転時に行う手順を示すフローチャートである。ラインモードの運転時のフローチャートにおけるステップSR1では周期的にトリガ信号を出力する。ステップSR2では、照明部30の第1~第4発光ダイオード31~34を点灯させる。ステップSR3では、輝度画像を撮像する。ステップSR4では、測定位置を含む変位測定範囲の変位を測定可能となるようにMEMSミラー15を制御する。ステップSR5では、レーザー出力器12から発光させて帯状の測定光を測定対象物Wに照射する。ステップSR6で撮像し、ステップSR7で変位を測定する。
この実施形態によれば、表示部8に表示された輝度画像上で変位の測定を行う測定位置を設定することにより、該測定位置に測定光を照射し、該測定位置から反射して変位測定用受光部40で受光された変位測定用の受光量分布に基づいて該測定位置の変位を測定することができるので、測定光を測定対象物Wの全体に走査して測定対象物Wの三次元形状測定を行うことなく、測定対象物Wの所定位置の変位を短時間で測定できる。
2 センサヘッド
3 子機アンプ
4 親機アンプ
5A モニタ装置
5B パーソナルコンピュータ
8 表示部
10a 投光部
12 レーザー出力器(測定光源)
13 コリメートレンズ(投光レンズ)
14 シリンドリカルレンズ(投光レンズ)
15 MEMSミラー(走査部)
22a 一次元の受光素子
22b 角度検出部
23 設定情報記憶部
30 照明部
31~34 第1~第4発光ダイオード
40 測定用受光部(2次元の受光素子)
51a 測定光投光窓
51b 受光窓
52a 偏光フィルタ
302 輝度画像生成部
304 設定部
305 測定制御部
306 エッジ抽出部
307 位置補正部
308 測定ツール選択部
309 モード選択部
310 出射方向調整部
312 変位測定部
313 良否判定部
320 記憶部
320a 補正用情報記憶部
320b 高さデータ記憶部
320f 設定情報記憶部
W 測定対象物
Claims (9)
- 測定対象物の所定位置の変位を測定する変位測定装置において、
測定光源と、該測定光源からの光が入射する投光レンズとを有し、第1方向に延びる帯状の測定光を測定対象物に照射するための投光部と、
前記測定光を、前記第1方向と交差する第2方向に走査可能な走査ミラーを有する走査部と、
前記測定対象物から反射した前記測定光を受光し、変位測定用の受光量分布を出力するとともに、前記測定対象物から反射した光を受光し、画像生成用の受光量分布を出力する2次元の受光素子からなり、前記第1方向及び前記第2方向と直交する高さ方向に受光軸を有する受光部と、
前記画像生成用の受光量分布に基づいて、前記測定対象物の輝度画像を生成する輝度画像生成部と、
前記走査部による走査可能範囲内で変位の測定を行う測定位置の設定を受け付けるとともに、前記輝度画像生成部により生成された輝度画像上で、前記測定位置の補正を行う位置補正用の領域の設定を受け付ける設定部と、
前記領域内の位置補正用情報を、前記設定部により設定される設定位置との相対位置情報とともに記憶する補正用情報記憶部と、
前記変位測定装置の運転時に、前記輝度画像生成部により新たに生成された輝度画像上で、前記補正用情報記憶部に記憶された前記位置補正用情報を用いて前記測定対象物の位置及び姿勢を特定し、前記相対位置情報を用いて前記測定位置の補正を行う位置補正部と、
前記位置補正部により補正された測定位置の変位が前記高さ方向に沿った所定の変位測定範囲内にあるとき該測定位置に前記測定光が照射されるように、前記投光部及び前記走査部の前記第2方向の走査範囲の幅を制御する測定制御部と、
前記位置補正部により補正された測定位置に照射された前記測定光が該測定位置から反射して前記受光部で受光されることによって該受光部から出力された前記変位測定用の受光量分布を取得し、該測定位置に前記測定光が照射されたときの前記走査ミラーの照射角度と、該測定位置の前記第2方向の位置とに基づいて、該測定位置の変位を測定する変位測定部とを備えていることを特徴とする変位測定装置。 - 請求項1に記載の変位測定装置において、
前記位置補正用情報は、前記輝度画像の一部であることを特徴とする変位測定装置。 - 請求項1または2に記載の変位測定装置において、
前記位置補正用情報は、前記輝度画像のエッジ情報であることを特徴とする変位測定装置。 - 請求項1から3のいずれか1つに記載の変位測定装置において、
前記輝度画像における前記測定対象物のエッジを抽出するエッジ抽出部を備え、
前記位置補正用情報は、前記エッジ抽出部で抽出されたエッジに関するエッジ情報であることを特徴とする変位測定装置。 - 請求項4に記載の変位測定装置において、
前記エッジ抽出部で抽出されたエッジを前記輝度画像に重畳表示する表示部を備えていることを特徴とする変位測定装置。 - 請求項1から5のいずれか1つに記載の変位測定装置において、
前記設定部は、前記測定位置の変位測定を行う変位測定範囲の設定が可能に構成され、
前記輝度画像上のX座標が前記第1方向の座標となり、前記輝度画像上のY座標が前記第2方向の座標となるように、該輝度画像を表示するように構成された表示部を備え、
前記測定制御部は、前記位置補正部により補正された前記測定位置のY座標と、前記設定部により設定された変位測定範囲とに基づいて、前記位置補正部により補正された測定位置に前記測定光が照射されるように、前記投光部及び前記走査部の前記第2方向の走査範囲の幅を制御するように構成されていることを特徴とする変位測定装置。 - 請求項6に記載の変位測定装置において、
前記測定制御部は、さらに、前記位置補正部により補正された前記測定位置のX座標と、前記設定部により設定された変位測定範囲とに基づいて、前記投光部及び前記走査部の前記第2方向の走査範囲の幅を制御するように構成されていることを特徴とする変位測定装置。 - 請求項1から7のいずれか1つに記載の変位測定装置において、
前記測定対象物に一様な照明光を照射する照明部を備え、
前記照明部により前記測定対象物に一様な照明光が照射されて前記輝度画像生成部により前記測定対象物の輝度画像が生成された後に、前記投光部により前記測定対象物に前記測定光が照射されて前記受光部が変位測定用の受光量分布を出力するように構成され、
前記位置補正部が、前記輝度画像生成部により新たに生成された輝度画像上で、前記補正用情報記憶部に記憶された前記位置補正用情報を用いて前記測定対象物の位置及び姿勢を特定し、前記相対位置情報を用いて前記測定位置の補正をしてから、前記位置補正部により補正された位置に前記測定光が照射されるように、前記測定制御部が前記投光部及び前記走査部の前記第2方向の走査範囲の幅を制御するように構成されていることを特徴とする変位測定装置。 - 請求項1から8のいずれか1つに記載の変位測定装置において、
前記輝度画像生成部により生成された輝度画像を表示可能な表示部を備え、
前記設定部は、前記表示部に表示された前記輝度画像上で、変位の測定を行う測定位置の設定を受け付けるとともに、前記測定位置の補正を行う位置補正用の領域の設定を受け付けるように構成されていることを特徴とする変位測定装置。
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