JP2008032496A - 光学式測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基準線を有するスクリーンと、移動可能な載物台と、この載物台に載置された測定対象物の光学画像を前記スクリーン上に結像させる光学系と、前記スクリーン上の任意位置において前記光学画像内の測定エッジ部の通過を検出するエッジ検出センサ112とを備える光学式測定装置において、前記基準線から前記エッジ検出センサ112までの距離をオフセット値として記憶したオフセット値記憶部143と、前記基準線と前記エッジ検出センサ112とを用いて測定した測定データに対して、前記オフセット値を用いて補正する補正データ算出部144とを備える光学式測定装置。
【選択図】図2
Description
また、スクリーン上に設けられ光学画像の測定エッジ部の通過を検出するエッジ検出センサと、測定エッジ部がエッジ検出センサを通過した時の載物台の二次元座標を記録するデータ処理装置とを用いれば、自動的に測定エッジ部の通過を検出し、その時の載物台の二次元座標を読み取ることができる。測定エッジ部をエッジ検出センサにより検出するので、測定者の感覚の違いによる測定データの個人差を排除することができる。
このような場合でも、上述のように、目視で光学画像の測定エッジ部をスクリーン上の基準点に合わせて測定エッジ部を指定し、測定を行うことができるが、以下のような問題が生じる。
通常、エッジ検出センサは、スクリーン上の基準点とは異なる位置に設けられている。これは、基準点と同じ位置にエッジ検出センサが設けられていると、エッジ検出センサが邪魔になり、基準点を視認することができないからである。このため、目視での測定データとエッジ検出センサでの測定データとの間には、スクリーン上の基準点とエッジ検出センサとが離れている距離の分だけずれが生じてしまう。
したがって、複数の測定エッジ部を測定して測定対象物の寸法や形状などを得るには、全ての測定を目視およびエッジ検出センサのいずれか一方で行う必要があり、目視での測定とエッジ検出センサでの測定とを混在させることはできなかった。
すなわち、目視での測定データとエッジ検出センサでの測定データとの間には、スクリーン上の基準線とエッジ検出センサとが離れている距離の分だけずれが生じるが、オフセット値記憶部が、予め基準点とエッジ検出センサとの距離をオフセット値として記憶しており、補正データ算出部が、オフセット値記憶部からオフセット値を読み込み、目視での測定データまたはエッジ検出センサでの測定データからオフセット値を差し引くので、測定データのずれがなくなり、測定データの整合性をとることができる。
したがって、エッジ検出センサを備える光学式測定装置において、目視での測定とエッジ検出センサでの測定とを混在させた測定が可能となる。
このような構成によれば、通常のXY座標系における二次元測定において、目視での測定データとエッジ検出センサでの測定データ間に生じるずれを補正し、測定データの整合性をとることができる。よって、目視での測定とエッジ検出センサでの測定とを混在させた測定が可能となる。
このような構成によれば、基準線とエッジ検出センサの、どちらを用いて測定を行うかを指定して測定を行うことができるので、個々の測定エッジ部ごとの状況に応じて、目視またはエッジ検出センサで測定を行うことができる。
図1は、本実施形態の光学式測定装置1の斜視図である。
図1に示すように、光学式測定装置1は、本体10と、スクリーン11と、測定対象物が載置される載物台12と、測定対象物に光を照射しその光に基づく測定対象物の光学画像をスクリーン11に結像させる光学系を備えた投影機13と、データ処理装置14とを備える。
十字線111は、円形のスクリーン11の中心において直交する二本の直線からなる。
円柱状のエッジ検出センサ112は、光学センサを内蔵しており、スクリーン11上の任意位置においてスクリーン11上に結像された測定対象物の光学画像内の測定エッジ部の通過を検出する。エッジ検出センサ112は、スクリーン11に垂直に固定され、一端がスクリーン11に当接し、他端が接続ケーブル115を介してデータ処理装置14に接続されている。
なお、図1において前後方向がY方向に、左右方向がX方向に、上下方向がZ方向に対応する。スクリーン11上においては、左右方向がX方向に、上下方向がY方向に対応する。
(1)キャリブレーション
測定に先立ってキャリブレーション、すなわち、オフセット値の記憶を行う。図3にキャリブレーションの操作手順を示す。
直方体形状の基準ワークを載物台12に載置する。この時、基準ワークの各辺がX、Y、Z方向に平行になるように載置する。データ処理装置14の操作ボタン142を操作して前回測定時のオフセット値を消去する(設定初期化)。
スクリーン11上に結像された基準ワークの光学画像の一辺が、十字線111のうちY方向の直線と重なるように載物台12をX方向に移動させる。その状態で、データ処理装置14の操作ボタン142を操作し、この時の載物台のX方向の位置をゼロとして記憶させる(X軸端面ゼロセット)。
続いて、基準ワークの光学画像の同じ一辺をエッジ検出センサ112で検出し(X軸端面エッジ検出)、この時の載物台のX方向の位置(a)をオフセット値記憶部143に記憶させる(X軸オフセット記憶)。
スクリーン11上に結像された基準ワークの光学画像の一辺が、十字線111のうちX方向の直線と重なるように載物台12をY方向に移動させる。その状態で、データ処理装置14の操作ボタン142を操作し、この時の載物台のY方向の位置をゼロとして記憶させる(Y軸端面ゼロセット)。
続いて、基準ワークの光学画像の同じ一辺をエッジ検出センサ112で検出し(Y軸端面エッジ検出)、この時の載物台のY方向の位置(b)をオフセット値記憶部143に記憶させる(Y軸オフセット記憶)。
測定の手順を図4に示す。
はじめに、データ処理装置14の操作ボタン142を操作し、寸法測定や形状測定などの測定項目を選択する(測定項目を選択)。
載物台12に測定対象物を載置し、載物台12を移動してスクリーン11上に結像された測定対象物の光学画像の測定エッジ部を、十字線111の交点あるいはエッジ検出センサ112付近まで移動させる(ワークを移動)。
十字線111を用いる場合(エッジ検出しない)、補正データ算出部144が、そのときの載物台12の位置の測定データを、三つのリニアエンコーダ121、122、123から接続ケーブル124を介して受信し(XYカウンタ値入力)、この測定データを測定値として記憶および出力する(測定値の決定)。
(1) 十字線111からエッジ検出センサ112までの距離をオフセット値として記憶したオフセット値記憶部143と、十字線111とエッジ検出センサ112とを用いて測定した測定データに対して、前記オフセット値を用いて補正する補正データ算出部144とを備えるので、目視での測定データとエッジ検出センサ112での測定データとの整合性をとることができる。つまり、目視での測定とエッジ検出センサ112での測定とを混在させた測定が可能となる。
(i)前記実施形態において、測定毎に毎回測定方法を指定する手順を示したが、これに限らない。たとえば、測定方法を指定しなかった場合には、自動的に直前の測定と同様の測定方法で測定が行われるようにしてもよい。このような設定によれば、同じ方法で何度も測定を行う場合に、毎回測定方法を指定する手間が省け、測定時間を短縮することができる。
たとえば、載物台12を移動させる光学式測定装置1を示したが、載物台12を固定したままとして、投影機13を移動させる光学式測定装置1であってもいい。
また、前記実施形態において、光学式測定装置1の本体10と別に、データ処理装置14を設けたが、データ処理装置14は、本体10に内蔵されていてもよい。この場合、別途スタンド145を用意する必要がないなどの利点がある。
10 本体
11 スクリーン
12 載物台
13 投影機
14 データ処理装置
111 十字線
112 エッジ検出センサ
142 操作ボタン
143 オフセット値記憶部
144 補正データ算出部
Claims (3)
- 基準線を有するスクリーンと、移動可能な載物台と、この載物台に載置された測定対象物の光学画像を前記スクリーン上に結像させる光学系と、前記スクリーン上の任意位置において前記光学画像内の測定エッジ部の通過を検出するエッジ検出センサとを備える光学式測定装置であって、
前記基準線から前記エッジ検出センサまでの距離をオフセット値として記憶したオフセット値記憶部と、前記基準線と前記エッジ検出センサとを用いて測定した測定データに対して、前記オフセット値を用いて補正する補正データ算出部とを備える光学式測定装置。 - 請求項1に記載の光学式測定装置において、
前記基準線が、直交する二本の直線からなる十字線であり、前記オフセット値が前記十字線の二本の直線に沿った二方向の二次元情報として記憶されることを特徴とする光学式測定装置。 - 請求項1または2に記載の光学式測定装置において、
前記基準線と前記エッジ検出センサの、どちらを用いて測定を行うかを指定する測定方法指定手段を備える光学式測定装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006205243A JP4778855B2 (ja) | 2006-07-27 | 2006-07-27 | 光学式測定装置 |
US11/878,543 US7646492B2 (en) | 2006-07-27 | 2007-07-25 | Optical measuring machine |
DE602007000517T DE602007000517D1 (de) | 2006-07-27 | 2007-07-26 | Optisches Messgerät |
EP07014692A EP1882894B1 (en) | 2006-07-27 | 2007-07-26 | Optical measuring machine |
CN2007101381354A CN101113891B (zh) | 2006-07-27 | 2007-07-26 | 光学式测量装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006205243A JP4778855B2 (ja) | 2006-07-27 | 2006-07-27 | 光学式測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008032496A true JP2008032496A (ja) | 2008-02-14 |
JP4778855B2 JP4778855B2 (ja) | 2011-09-21 |
Family
ID=38370432
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006205243A Active JP4778855B2 (ja) | 2006-07-27 | 2006-07-27 | 光学式測定装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7646492B2 (ja) |
EP (1) | EP1882894B1 (ja) |
JP (1) | JP4778855B2 (ja) |
CN (1) | CN101113891B (ja) |
DE (1) | DE602007000517D1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7777962B2 (en) * | 2008-05-30 | 2010-08-17 | The Invention Science Fund I, Llc | Negatively-refractive focusing and sensing apparatus, methods, and systems |
KR101158323B1 (ko) * | 2010-10-14 | 2012-06-26 | 주식회사 고영테크놀러지 | 기판 검사방법 |
EP3488179A4 (en) * | 2016-07-20 | 2020-08-12 | Arun Kumar | DIGITAL FAST MULTI-PURPOSE PROFILE PROJECTOR |
CN107084697B (zh) * | 2017-04-20 | 2019-06-28 | 武汉新芯集成电路制造有限公司 | 存储单元扭曲测量方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0335106A (ja) | 1989-06-30 | 1991-02-15 | Y S Denshi Kogyo Kk | 光学式測定装置 |
US5590060A (en) | 1992-03-20 | 1996-12-31 | Metronics, Inc. | Apparatus and method for an object measurement system |
JP2678127B2 (ja) | 1992-07-15 | 1997-11-17 | 株式会社ミツトヨ | 光学式測定装置 |
JP3035106B2 (ja) * | 1993-03-11 | 2000-04-17 | 株式会社東芝 | 大規模情報認識回路 |
JP4652717B2 (ja) * | 2004-04-26 | 2011-03-16 | 株式会社ミツトヨ | 画像処理装置及び方法並びにプログラム |
-
2006
- 2006-07-27 JP JP2006205243A patent/JP4778855B2/ja active Active
-
2007
- 2007-07-25 US US11/878,543 patent/US7646492B2/en active Active
- 2007-07-26 DE DE602007000517T patent/DE602007000517D1/de active Active
- 2007-07-26 EP EP07014692A patent/EP1882894B1/en active Active
- 2007-07-26 CN CN2007101381354A patent/CN101113891B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101113891A (zh) | 2008-01-30 |
JP4778855B2 (ja) | 2011-09-21 |
DE602007000517D1 (de) | 2009-03-19 |
US7646492B2 (en) | 2010-01-12 |
EP1882894B1 (en) | 2009-02-04 |
CN101113891B (zh) | 2011-06-29 |
EP1882894A1 (en) | 2008-01-30 |
US20080024791A1 (en) | 2008-01-31 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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