JP7216506B2 - Photosensitive resin composition for plating resist, method for producing dry film and printed wiring board - Google Patents

Photosensitive resin composition for plating resist, method for producing dry film and printed wiring board Download PDF

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Description

本発明は、めっきレジスト用感光性樹脂組成物、ドライフィルムおよびプリント配線板の製造方法に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a photosensitive resin composition for plating resist, a dry film, and a method for producing a printed wiring board.

近年、モバイル機器などに代表される携帯情報通信端末は、その使用用途から軽量でコンパクトな商品が好まれている。そのため、このような携帯情報通信端末の内部に使用されているプリント配線板では、部品実装数の増加や多品種化が進行し、一枚のプリント配線板の中で多様な部品接続ができることが求められている。 2. Description of the Related Art In recent years, portable information communication terminals typified by mobile devices and the like are favored as lightweight and compact products because of their intended use. As a result, the printed wiring board used inside such portable information communication terminals has seen an increase in the number of parts mounted and a wide variety of products, and it has become possible to connect various parts on a single printed wiring board. It has been demanded.

これに対し従来、部品が接続される導体パッドにおいて、はんだめっき処理やニッケル/金めっき処理などの表面処理を部分的に施す方法が提案されている(特許文献1参照)。この特許文献によれば、めっきレジストを部分的に形成することにより、ニッケル/金めっき処理をする箇所と、しない箇所とを任意に選択することができ、多様な部品接続が可能となる。 Conventionally, there has been proposed a method of partially applying surface treatment such as solder plating or nickel/gold plating to a conductor pad to which a component is connected (see Patent Document 1). According to this patent document, by partially forming a plating resist, it is possible to arbitrarily select a portion to be nickel/gold-plated and a portion not to be plated, and various parts can be connected.

一方で、部分的にニッケル/金めっき処理を行う技術では、主に露光・現像タイプのめっきレジストが用いられ、かかるめっきレジストでは、生産性の問題や剥離性の問題、さらにはニッケルめっき液への溶出の問題がある旨が、特許文献1に記載されている。
これに対し、この特許文献では、熱硬化型または紫外線硬化型のめっきレジストを使用し、短い工程数かつ製造時間で処理する方法を提案し、かかる問題を解決している。
On the other hand, in the technique of partially nickel/gold plating treatment, exposure/development type plating resist is mainly used. Patent Document 1 describes that there is a problem of elution of
On the other hand, this patent document proposes a method of using a thermosetting or ultraviolet curing plating resist and performing processing in a short number of steps and in a short manufacturing time, thereby solving this problem.

特開2007-12735号公報JP 2007-12735 A

そこで本発明は、露光・現像タイプのめっきレジストであっても、ニッケルめっき液への溶出やめっき析出速度低下についての抑止効果が十分であり、かつ、めっき処理後の剥離性が十分であり生産性の高いめっきレジスト用感光性樹脂組成物を提供することを主たる目的とする。
また、本発明の他の目的は、上記めっきレジスト用感光性樹脂組成物を用いたドライフィルムおよびプリント配線板の製造方法を提供することにある。
Therefore, the present invention provides an exposure/development type plating resist that has a sufficient inhibitory effect on elution into the nickel plating solution and a decrease in the plating deposition rate, and has sufficient peelability after plating, so that it can be produced. A main object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition for a plating resist with high resistance.
Another object of the present invention is to provide a method for producing a dry film and a printed wiring board using the above photosensitive resin composition for plating resist.

発明者らは、ニッケルめっき液への溶出成分がめっきレジスト中の光重合開始剤であることを突き止め、上記目的実現に向け鋭意検討を行った。その結果、光重合開始剤としてチタノセン系光重合開始剤を用いることで、めっきレジスト成分のニッケルめっき液への溶出やめっき析出速度低下についての十分な抑止効果と、めっき処理後の十分な剥離性の両立が図れることを見出し、本発明を完成するに至った。 The inventors have found that the component eluted into the nickel plating solution is the photopolymerization initiator in the plating resist, and have made earnest studies to achieve the above object. As a result, by using a titanocene-based photopolymerization initiator as a photopolymerization initiator, it is possible to sufficiently suppress the elution of the plating resist component into the nickel plating solution and the decrease in the plating deposition rate, as well as the sufficient peelability after the plating treatment. The present inventors have found that both of the above can be achieved, and have completed the present invention.

すなわち、本発明のめっきレジスト用感光性樹脂組成物は、(A)アルカリ可溶性樹脂と、(B)光重合性モノマーと、(C)チタノセン系光重合開始剤と、を含むことを特徴とするものである。 That is, the photosensitive resin composition for a plating resist of the present invention is characterized by comprising (A) an alkali-soluble resin, (B) a photopolymerizable monomer, and (C) a titanocene-based photopolymerization initiator. It is.

本発明のめっきレジスト用感光性樹脂組成物は、さらに、(D)チタノセン系光重合開始剤(C)を除く光重合開始剤を含むことが望ましく、また、その配合量が、前記(B)光重合性モノマーに対し、2質量%以下であることが望ましく、さらにまた、前記(D)チタノセン系光重合開始剤(C)を除く光重合開始剤が、オキシムエステル系光重合開始剤であることが望ましい。 The photosensitive resin composition for a plating resist of the present invention preferably further contains (D) a photopolymerization initiator other than the titanocene-based photopolymerization initiator (C), and the amount thereof is It is preferably 2% by mass or less with respect to the photopolymerizable monomer, and the photopolymerization initiator excluding (D) the titanocene photopolymerization initiator (C) is an oxime ester photopolymerization initiator. is desirable.

本発明のドライフィルムは、フィルム上に前記めっきレジスト用感光性樹脂組成物からなる樹脂層を形成してなるものである。 The dry film of the present invention is obtained by forming a resin layer comprising the photosensitive resin composition for plating resist on a film.

本発明のプリント配線板の製造方法は、導体回路または導体回路上にソルダーレジストを有するプリント配線基板上に、前記めっきレジスト用感光性樹脂組成物または前記ドライフィルムの樹脂層からなる被膜を形成する工程、前記被膜に光照射部と光未照射部を設ける工程、現像液により前記被膜の光未照射部を除去して導体回路を露出する工程、前記露出した導体回路にめっき処理を施した後、剥離液により前記被膜の光照射部を除去する工程、を有するものである。 The method for producing a printed wiring board of the present invention forms a coating made of the photosensitive resin composition for plating resist or the resin layer of the dry film on a printed wiring board having a conductor circuit or a solder resist on the conductor circuit. a step of providing a light-irradiated portion and a light-unirradiated portion in the film; a step of removing the light-unirradiated portion of the film with a developer to expose a conductor circuit; and after plating the exposed conductor circuit. and a step of removing the light-irradiated portion of the coating with a stripping solution.

本発明によれば、露光・現像タイプのめっきレジストであっても、めっきレジスト成分のニッケルめっき液への溶出やめっき析出速度低下についての抑止効果が高く、かつ、めっき処理後の剥離性が高い、生産性の高いめっきレジスト用感光性樹脂組成物を提供することができる。 According to the present invention, even if it is an exposure/development type plating resist, it has a high inhibitory effect on the elution of the plating resist component into the nickel plating solution and the decrease in the plating deposition rate, and the peelability after the plating treatment is high. , a photosensitive resin composition for a plating resist with high productivity can be provided.

本発明のめっきレジスト用感光性樹脂組成物は、光重合開始剤としてチタノセン系光重合開始剤を用いた点に最大の特徴を有する。
発明者らは、めっき浴汚染の原因成分が光重合開始剤であることを突き止め、分子量が影響していること、特に自己開裂型の光重合開始剤では、光照射によって低分子量化することで、めっき液への溶出が促進されると推察し、光重合開始剤としてチタノセン系光重合開始剤を用いることを見出した。すなわち、分子量が比較的大きく、非自己開裂型(フォトブリーチング型)の光重合開始剤であるチタノセン系光重合開始剤を用いることで、露光・現像タイプのめっきレジストであっても、ニッケルめっき液への溶出やめっき析出速度低下についての抑止効果と、めっき処理後の十分な剥離性との両立を図ることが可能となる。
The photosensitive resin composition for plating resist of the present invention is most characterized in that a titanocene-based photopolymerization initiator is used as the photopolymerization initiator.
The inventors have identified that the causative component of plating bath contamination is the photopolymerization initiator, and have found that the molecular weight has an effect. Inferred that the elution into the plating solution is accelerated, the inventors have found that a titanocene-based photopolymerization initiator is used as the photopolymerization initiator. That is, by using a titanocene-based photopolymerization initiator, which has a relatively large molecular weight and is a non-self-cleavage (photobleaching) photopolymerization initiator, nickel plating can be achieved even with an exposure/development type plating resist. It is possible to achieve both an effect of suppressing elution into the liquid and a decrease in plating deposition rate, and sufficient peelability after plating.

また、本発明においては、少量でも光硬化性が得られるオキシムエステル系光重合開始剤をさらに特定量組合せて配合することで、塗膜表面の光硬化性の観点からチタノセン系光重合開始剤の機能を補うことができ、上述した効果をさらに優れたものにすることができる。 In addition, in the present invention, by further combining a specific amount of an oxime ester photopolymerization initiator that can obtain photocurability even in a small amount, the titanocene photopolymerization initiator can be used from the viewpoint of the photocurability of the coating film surface. The function can be supplemented, and the effects described above can be further enhanced.

次に、本発明のめっきレジスト用感光性樹脂組成物の各成分について説明する。
なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレートおよびそれらの混合物を総称する用語であり、他の類似の表現についても同様である。
Next, each component of the photosensitive resin composition for plating resist of the present invention will be described.
In this specification, (meth)acrylate is a generic term for acrylate, methacrylate and mixtures thereof, and the same applies to other similar expressions.

[(A)アルカリ可溶性樹脂]
(A)アルカリ可溶性樹脂としては、分子中にカルボキシル基を有している従来公知の 各種カルボキシル基含有樹脂を使用できる。めっきレジスト用感光性樹脂組成物が、(A)アルカリ可溶性樹脂を含むことにより、めっきレジスト用感光性樹脂組成物のアルカリ剥離性を向上することができる。また、(A)アルカリ可溶性樹脂は、分子中にエチレン性不飽和二重結合を有してもよく、エチレン性不飽和二重結合を有することにより、めっきレジスト用感光性樹脂組成物の光硬化性が向上し、めっき耐性を向上することができる。
(A)アルカリ可溶性樹脂の具体例としては、以下のような化合物(オリゴマー及びポリマーのいずれでもよい)を挙げることができる。
[(A) alkali-soluble resin]
(A) As the alkali-soluble resin, conventionally known various carboxyl group-containing resins having a carboxyl group in the molecule can be used. When the photosensitive resin composition for plating resists contains (A) an alkali-soluble resin, the alkali releasability of the photosensitive resin composition for plating resists can be improved. Further, (A) the alkali-soluble resin may have an ethylenically unsaturated double bond in the molecule, and by having the ethylenically unsaturated double bond, the photocurable resin composition for the plating resist is It is possible to improve the durability and improve the plating resistance.
(A) Specific examples of the alkali-soluble resin include the following compounds (both oligomers and polymers).

(1)(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α-メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレン等の不飽和基含有化合物との共重合により得られるカルボキシル基含有樹脂。 (1) A carboxyl group-containing resin obtained by copolymerizing an unsaturated carboxylic acid such as (meth)acrylic acid and an unsaturated group-containing compound such as styrene, α-methylstyrene, lower alkyl (meth)acrylate, isobutylene, or the like.

(2)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等のカルボキシル基含有ジアルコール化合物及びポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基及びアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (2) Diisocyanates such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, and aromatic diisocyanates; Carboxyl group-containing urethane resins obtained by polyaddition reaction of diol compounds such as polyols, polyester polyols, polyolefin polyols, acrylic polyols, bisphenol A alkylene oxide adduct diols, and compounds having phenolic hydroxyl groups and alcoholic hydroxyl groups.

(3)ジイソシアネートと、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物、カルボキシル基含有ジアルコール化合物及びジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。 (3) Diisocyanate and bifunctional epoxy resin such as bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin ( A carboxyl group-containing photosensitive urethane resin produced by a polyaddition reaction of a meth)acrylate or its partial acid anhydride modified product, a carboxyl group-containing dialcohol compound and a diol compound.

(4)前記(2)又は(3)の樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子内に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。 (4) During the synthesis of the resin (2) or (3), a compound having one hydroxyl group and one or more (meth)acryloyl groups in the molecule such as hydroxyalkyl (meth)acrylate is added, and the terminal ( Meta) acrylated carboxyl group-containing photosensitive urethane resin.

(5)前記(2)又は(3)の樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物など、分子内に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有感光性ウレタン樹脂。 (5) During the synthesis of the resin of (2) or (3), one isocyanate group and one or more (meth)acryloyl groups are added in the molecule, such as an equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate. A carboxyl group-containing photosensitive urethane resin that is terminally (meth)acrylated by adding a compound having

(6)2官能又はそれ以上の多官能(固形)エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。 (6) A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting (meth)acrylic acid with a polyfunctional (solid) epoxy resin having a functionality of 2 or more and adding a dibasic acid anhydride to the hydroxyl group present in the side chain.

(7)2官能(固形)エポキシ樹脂の水酸基をさらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。 (7) A carboxyl obtained by reacting (meth)acrylic acid with a polyfunctional epoxy resin obtained by further epoxidizing the hydroxyl group of a bifunctional (solid) epoxy resin with epichlorohydrin, and adding a dibasic acid anhydride to the resulting hydroxyl group. Group-containing photosensitive resin.

(8)2官能オキセタン樹脂にアジピン酸、フタル酸、ヘキサヒドロフタル酸等のジカルボン酸を反応させ、生じた1級の水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有ポリエステル樹脂。 (8) A bifunctional oxetane resin is reacted with a dicarboxylic acid such as adipic acid, phthalic acid, and hexahydrophthalic acid, and the resulting primary hydroxyl group is treated with a dibasic such as phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, and hexahydrophthalic anhydride. Carboxyl group-containing polyester resin to which acid anhydride is added.

(9)1分子中に複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、p-ヒドロキシフェネチルアルコール等の1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物と、(メタ)アクリル酸等の不飽和基含有モノカルボン酸とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (9) an epoxy compound having a plurality of epoxy groups in one molecule, a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule, such as p-hydroxyphenethyl alcohol; Maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, adipic acid to the alcoholic hydroxyl group of the reaction product obtained by reacting with a monocarboxylic acid containing an unsaturated group such as acrylic acid. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a polybasic acid anhydride such as an acid.

(10)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシド等のアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (10) A reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide and reacting an unsaturated group-containing monocarboxylic acid to obtain a reaction product A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a polybasic acid anhydride with a substance.

(11)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (11) A reaction obtained by reacting a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate with a monocarboxylic acid containing an unsaturated group. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting the product with a polybasic acid anhydride.

(12)前記(1)~(11)の樹脂にさらに1分子内に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (12) A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by further adding a compound having one epoxy group and one or more (meth)acryloyl groups in one molecule to the resins of (1) to (11).

(A)アルカリ可溶性樹脂の酸価は、20~400mgKOH/gであることが好ましい。(A)アルカリ可溶性樹脂の酸価が20mgKOH/g以上とすることにより、アルカリ現像性と剥離性が向上する。また、酸価を400mgKOH/gを以下とすることで、めっき液の被膜への浸透を抑制することができる。より好ましくは80~300mgKOH/g、さらにより好ましくは100~250mgKOH/gである。 (A) The acid value of the alkali-soluble resin is preferably 20 to 400 mgKOH/g. (A) By setting the acid value of the alkali-soluble resin to 20 mgKOH/g or more, alkali developability and peelability are improved. Further, by setting the acid value to 400 mgKOH/g or less, it is possible to suppress the penetration of the plating solution into the film. More preferably 80-300 mgKOH/g, still more preferably 100-250 mgKOH/g.

(A)アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、一般的に5000~150000であることが好ましい。重量平均分子量が5000以上とすることにより、被膜強度を向上させることができる。また、重量平均分子量が150000以下とすることで、アルカリ現像性や剥離性を向上させることができる。より好ましくは10000~120000、さらにより好ましくは、20000~100000である。 (A) The weight average molecular weight of the alkali-soluble resin varies depending on the resin skeleton, but is generally preferably from 5,000 to 150,000. By setting the weight average molecular weight to 5000 or more, the film strength can be improved. Further, by setting the weight average molecular weight to 150,000 or less, alkali developability and peelability can be improved. More preferably 10,000 to 120,000, still more preferably 20,000 to 100,000.

(A)アルカリ可溶性樹脂の配合量は、感光性樹脂組成物中において、固形分換算で、10~90質量%であることが好ましい。10質量%以上とすることにより塗布性や被膜強度、アルカリ現像性や剥離性を向上させることができる。また90質量%以下とすることでめっき耐性が向上する。より好ましくは20~80質量%、さらにより好ましくは、30~70質量%である。 (A) The content of the alkali-soluble resin is preferably 10 to 90% by mass in terms of solid content in the photosensitive resin composition. By making it 10% by mass or more, coatability, film strength, alkali developability and releasability can be improved. Moreover, plating resistance improves by making it 90 mass % or less. More preferably 20 to 80% by mass, still more preferably 30 to 70% by mass.

これら(A)アルカリ可溶性樹脂は、前記列挙したものに限らず使用することができ、1種類を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよいが、めっき処理中における密着性やめっき処理後の剥離性のバランスの観点から(1)の化合物を含むことが好ましい。 These (A) alkali-soluble resins can be used without being limited to those listed above. One type may be used alone, or two or more types may be used in combination. It is preferable that the compound (1) is included from the viewpoint of the balance of adhesion and peelability after plating.

[(B)光重合性モノマー]
本発明のめっきレジスト用感光性樹脂組成物は光重合性モノマーを含む。光重合性モノマーは、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物である。このような光重合性モノマーとしては、例えば、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート等のアルキル(メタ)アクリレート類;2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等のヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類;エチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール等のアルキレンオキシド誘導体のモノまたはジ(メタ)アクリレート類;ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジトリメチロールプロパン、ジペンタエリスリトール、トリスヒドロキシエチルイソシアヌレート等の多価アルコールまたはこれらのエチレンオキシドあるいはプロピレンオキシド付加物の多価(メタ)アクリレート類;フェノキシエチル(メタ)アクリレート、ビスフェノールAのポリエトキシジ(メタ)アクリレート等のフェノール類のエチレンオキシドあるいはプロピレンオキシド付加物の(メタ)アクリレート類;グリセリンジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレートなどのグリジジルエーテルの(メタ)アクリレート類;およびメラミン(メタ)アクリレートが挙げられる。
[(B) Photopolymerizable Monomer]
The photosensitive resin composition for plating resist of the present invention contains a photopolymerizable monomer. A photopolymerizable monomer is a compound having an ethylenically unsaturated double bond. Examples of such photopolymerizable monomers include alkyl (meth)acrylates such as 2-ethylhexyl (meth)acrylate and cyclohexyl (meth)acrylate; 2-hydroxyethyl (meth)acrylate and 2-hydroxypropyl (meth)acrylate; Hydroxyalkyl (meth)acrylates such as acrylates; mono- or di(meth)acrylates of alkylene oxide derivatives such as ethylene glycol, propylene glycol, diethylene glycol and dipropylene glycol; hexanediol, trimethylolpropane, pentaerythritol, ditrimethylolpropane , dipentaerythritol, polyhydric alcohols such as trishydroxyethyl isocyanurate, or polyhydric (meth)acrylates of ethylene oxide or propylene oxide adducts thereof; phenoxyethyl (meth)acrylate, polyethoxydi(meth)acrylate of bisphenol A, etc. (Meth)acrylates of ethylene oxide or propylene oxide adducts of phenols; (meth)acrylates of glycidyl ethers such as glycerol diglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether and triglycidyl isocyanurate; and melamine (meth)acrylates is mentioned.

光重合性モノマーは、前記列挙したものに限らず公知慣用のものをいずれも使用することができ、1種類を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよいが、エトキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレートのいずれか1種以上を含むことが好ましく、これら3種類すべてを含むことがより好ましい。エトキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレートおよびポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレートを含むことで金めっき処理における密着性と剥離性が、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレートを含むことで金めっき処理への耐性が向上する。 The photopolymerizable monomers are not limited to those listed above, and any known and commonly used monomers may be used. One type may be used alone, or two or more types may be used in combination, It preferably contains one or more of ethoxylated bisphenol A di(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, and polyethylene glycol di(meth)acrylate, more preferably all three. The inclusion of ethoxylated bisphenol A di(meth)acrylate and polyethylene glycol di(meth)acrylate improves adhesion and peelability in gold plating, and the inclusion of trimethylolpropane tri(meth)acrylate provides resistance to gold plating. improves.

光重合性モノマーの含有量は、(A)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、好ましくは1~60質量部の割合である。配合量が、1質量部以上の場合、光硬化性が良好であり、活性エネルギー線照射後のアルカリ現像において、パターン形成がしやすい。一方、60質量部以下の場合、ハレーションが生じにくく良好な解像性が得られる。より好ましくは10~50質量部の割合である。 The content of the photopolymerizable monomer is preferably 1 to 60 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the alkali-soluble resin (A). When the blending amount is 1 part by mass or more, the photocurability is good, and pattern formation is facilitated in alkali development after irradiation with active energy rays. On the other hand, when the content is 60 parts by mass or less, halation is less likely to occur and good resolution can be obtained. More preferably, the ratio is 10 to 50 parts by mass.

[(C)チタノセン系光重合開始剤]
本発明のめっきレジスト用感光性樹脂組成物は、(C)チタノセン系光重合開始剤を含有する。チタノセン系光重合開始剤(C) としては、ビス( シクロペンタジエニル)-ジ-クロロ-チタニウム、ビス( シクロペンタジエニル)-ジ-フェニル-チタニウム、ビス( シクロペンタジエニル)-ビス( 2,3,4,5,6ペンタフルオロフェニル)チタニウム、ビス(シクロペンタジエニル)-ビス(2,6ジフルオロフェニル)チタニウム、ビス( η5-シクロペンタジエニル)-ビス(2,6-ジフルオロ-3-(1H-ピロール-1-イル)フェニル)チタニウムなどが挙げられ、これらの中で、下記式( 1 )

Figure 0007216506000001
で示されるビス(η5-シクロペンタジエニル)-ビス(2,6-ジフルオロ-3-(1H-ピロール-1-イル)フェニル)チタニウムが光硬化性、供給体制の面から好ましい。チタノセン系光重合開始剤は、前記列挙したものに限らず公知慣用のものをいずれも使用することができ、1種類を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。 [(C) Titanocene-based photopolymerization initiator]
The photosensitive resin composition for a plating resist of the present invention contains (C) a titanocene-based photopolymerization initiator. Titanocene-based photopolymerization initiators (C) include bis(cyclopentadienyl)-di-chloro-titanium, bis(cyclopentadienyl)-di-phenyl-titanium, bis(cyclopentadienyl)-bis( 2,3,4,5,6 pentafluorophenyl)titanium, bis(cyclopentadienyl)-bis(2,6difluorophenyl)titanium, bis(η5-cyclopentadienyl)-bis(2,6-difluoro -3-(1H-pyrrol-1-yl)phenyl)titanium and the like, among which the following formula ( 1 )
Figure 0007216506000001
Bis(η5-cyclopentadienyl)-bis(2,6-difluoro-3-(1H-pyrrol-1-yl)phenyl)titanium represented by is preferable in terms of photocurability and supply system. The titanocene-based photopolymerization initiator is not limited to those listed above, and any known and commonly used one can be used, and one type may be used alone, or two or more types may be used in combination. .

これらチタノセン系光重合開始剤(C)の配合量は、(B)光重合性モノマー100質量部に対して、好ましくは0.1~2.0質量部の割合である。配合量が、0.1質量部以上の場合、光硬化性が向上し、形状が良好である。一方、2.0質量部以下の場合、形状と剥離性のバランスが良好である。より好ましくは0.2~1.0質量部の割合である。 The blending amount of these titanocene-based photopolymerization initiators (C) is preferably 0.1 to 2.0 parts by mass per 100 parts by mass of the photopolymerizable monomer (B). When the blending amount is 0.1 part by mass or more, the photocurability is improved and the shape is good. On the other hand, when the content is 2.0 parts by mass or less, the balance between shape and releasability is good. More preferably, the ratio is 0.2 to 1.0 parts by mass.

[(D)チタノセン系光重合開始剤(C)を除く光重合開始剤]
本発明のめっきレジスト用感光性樹脂組成物は(C)チタノセン系光重合開始剤とともに、(D)チタノセン系光重合開始剤(C)を除く光重合開始剤を併用することができる。(D)チタノセン系光重合開始剤(C)を除く光重合開始剤は、公知慣用のものをいずれも使用することができ、1種類を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよいが、少量でも、チタノセン系光重合開始剤を塗膜表面の光硬化性の観点から補うことができるとの理由からオキシム系光重合開始剤が好ましい。
[(D) Photopolymerization initiator other than titanocene-based photopolymerization initiator (C)]
The photosensitive resin composition for a plating resist of the present invention can use (C) a titanocene-based photopolymerization initiator together with (D) a photopolymerization initiator other than the titanocene-based photopolymerization initiator (C). (D) Photopolymerization initiators other than the titanocene-based photopolymerization initiator (C) can be any known and commonly used ones, and one type may be used alone, or two or more types may be used in combination. Although they may be used, oxime-based photopolymerization initiators are preferred because even a small amount can supplement the titanocene-based photopolymerization initiators from the viewpoint of photocuring of the coating film surface.

オキシムエステル系光重合開始剤としては、(B)光重合開始剤としては、具体的には例えば、ビス-(2,6-ジクロロベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジクロロベンゾイル)-2,5-ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジクロロベンゾイル)-4-プロピルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジクロロベンゾイル)-1-ナフチルフォスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジメトキシベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,4,4-トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,5-ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス-(2,4,6-トリメチルベンゾイル)-フェニルフォスフィンオキサイド等のビスアシルフォスフィンオキサイド類;2,6-ジメトキシベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,6-ジクロロベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,4,6-トリメチルベンゾイルフェニルフォスフィン酸メチルエステル、2-メチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ピバロイルフェニルフォスフィン酸イソプロピルエステル、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド等のモノアシルフォスフィンオキサイド類;フェニル(2,4,6-トリメチルベンゾイル)ホスフィン酸エチル、1-ヒドロキシ-シクロヘキシルフェニルケトン、1-[4-(2-ヒドロキシエトキシ)-フェニル]-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オン、2-ヒドロキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)-ベンジル]フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン等のヒドロキシアセトフェノン類;ベンゾイン、ベンジル、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインn-プロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインn-ブチルエーテル等のベンゾイン類;ベンゾインアルキルエーテル類;ベンゾフェノン、p-メチルベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、メチルベンゾフェノン、4,4’-ジクロロベンゾフェノン、4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;アセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、2,2-ジエトキシ-2-フェニルアセトフェノン、1,1-ジクロロアセトフェノン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノ-1-プロパノン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタノン-1、2-(ジメチルアミノ)-2-[(4-メチルフェニル)メチル)-1-[4-(4-モルホリニル)フェニル]-1-ブタノン、N,N-ジメチルアミノアセトフェノン等のアセトフェノン類;チオキサントン、2-エチルチオキサントン、2-イソプロピルチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2-クロロチオキサントン、2,4-ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類;アントラキノン、クロロアントラキノン、2-メチルアントラキノン、2-エチルアントラキノン、2-tert-ブチルアントラキノン、1-クロロアントラキノン、2-アミルアントラキノン、2-アミノアントラキノン等のアントラキノン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;エチル-4-ジメチルアミノベンゾエート、2-(ジメチルアミノ)エチルベンゾエート、p-ジメチル安息香酸エチルエステル等の安息香酸エステル類;1,2-オクタンジオン,1-[4-(フェニルチオ)-,2-(O-ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-(O-アセチルオキシム)等のオキシムエステル類;ビス(η5-2,4-シクロペンタジエン-1-イル)-ビス(2,6-ジフルオロ-3-(1H-ピロール-1-イル)フェニル)チタニウム、ビス(シクロペンタジエニル)-ビス[2,6-ジフルオロ-3-(2-(1-ピル-1-イル)エチル)フェニル]チタニウム等のチタノセン類;フェニルジスルフィド2-ニトロフルオレン、ブチロイン、アニソインエチルエーテル、アゾビスイソブチロニトリル、テトラメチルチウラムジスルフィド等を挙げることができる。オキシムエステル系光重合開始剤は、前記列挙したものに限らず公知慣用のものをいずれも使用することができ、1種類を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。 Specific examples of the oxime ester-based photopolymerization initiator (B) as the photopolymerization initiator include bis-(2,6-dichlorobenzoyl)phenylphosphine oxide and bis-(2,6-dichlorobenzoyl )-2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)-4-propylphenylphosphine oxide, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)-1-naphthylphosphine oxide, bis -(2,6-dimethoxybenzoyl)phenylphosphine oxide, bis-(2,6-dimethoxybenzoyl)-2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide, bis-(2,6-dimethoxybenzoyl)-2, Bisacylphosphine oxides such as 5-dimethylphenylphosphine oxide, bis-(2,4,6-trimethylbenzoyl)-phenylphosphine oxide; 2,6-dimethoxybenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,6-dichloro Benzoyldiphenylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoylphenylphosphinic acid methyl ester, 2-methylbenzoyldiphenylphosphine oxide, pivaloylphenylphosphinic acid isopropyl ester, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine monoacylphosphine oxides such as fin oxide; ethyl phenyl(2,4,6-trimethylbenzoyl)phosphinate, 1-hydroxy-cyclohexylphenyl ketone, 1-[4-(2-hydroxyethoxy)-phenyl]-2 -hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2-hydroxy-1-{4-[4-(2-hydroxy-2-methyl-propionyl)-benzyl]phenyl}-2-methyl-propane- Hydroxyacetophenones such as 1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one; benzoin, benzyl, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin n-propyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin n -benzoins such as butyl ether; benzoin alkyl ethers; benzophenone, p-methylbenzophenone, Michler's ketone, methylbenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone and other benzophenones; phenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, 2-methyl-1-[4-(methylthio) Phenyl]-2-morpholino-1-propanone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butanone-1,2-(dimethylamino)-2-[(4-methylphenyl) Acetophenones such as methyl)-1-[4-(4-morpholinyl)phenyl]-1-butanone and N,N-dimethylaminoacetophenone; thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone , 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone; anthraquinone, chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tert-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone , 2-amyl anthraquinone, 2-aminoanthraquinone, and other anthraquinones; acetophenone dimethyl ketal, benzyl dimethyl ketal, and other ketals; ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2-(dimethylamino)ethylbenzoate, ethyl p-dimethylbenzoate Benzoates such as esters; 1,2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)-, 2-(O-benzoyloxime)], ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methyl) benzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-,1-(O-acetyloxime) and other oxime esters; bis(η5-2,4-cyclopentadien-1-yl)-bis(2,6-difluoro -3-(1H-pyrrol-1-yl)phenyl)titanium, bis(cyclopentadienyl)-bis[2,6-difluoro-3-(2-(1-pyrr-1-yl)ethyl)phenyl] titanocenes such as titanium; phenyl disulfide 2-nitrofluorene, butyroin, anisoine ethyl ether, azobisisobutyronitrile, tetramethylthiuram disulfide and the like. The oxime ester photopolymerization initiator is not limited to those listed above, and any known and commonly used one can be used, and one type may be used alone, or two or more types may be used in combination. good.

(D)チタノセン系光重合開始剤(C)を除く光重合開始剤の配合量は、(B)光重合性モノマー100質量部に対して、0.1~15質量部であることが好ましい。0.1質量部以上の場合、樹脂組成物の光硬化性が良好となり、めっき液等の耐薬品性が向上する。一方、15質量部以下の場合、めっき液の汚染やアウトガスの低減効果が得られ、さらにめっきレジスト塗膜表面での光吸収が良好となり、深部硬化性が低下しにくい。より好ましくは0.2~10質量部、さらにより好ましくは0.3~5質量部である。中でも、オキシムエステル系光重合開始剤は少量で、上記効果を得ることができるため好ましく、オキシムエステル系光重合開始剤の配合量は、(B)光重合性モノマー100質量部に対して、0.3~2.0質量部とすることが好ましい。 The amount of the photopolymerization initiator (D) other than the titanocene-based photopolymerization initiator (C) is preferably 0.1 to 15 parts by weight per 100 parts by weight of the photopolymerizable monomer (B). When the content is 0.1 parts by mass or more, the resin composition has good photocurability and improved chemical resistance to plating solutions and the like. On the other hand, when the amount is 15 parts by mass or less, the effect of reducing contamination and outgassing of the plating solution is obtained, and the light absorption on the surface of the plating resist coating film is improved, and the deep-part curability is less likely to deteriorate. More preferably 0.2 to 10 parts by mass, still more preferably 0.3 to 5 parts by mass. Among them, a small amount of the oxime ester photopolymerization initiator is preferable because the above effect can be obtained. .3 to 2.0 parts by mass.

[その他の添加成分]
本発明のめっきレジスト用感光性樹脂組成物には、本発明の効果が阻害されない範囲においてさらに、光開始助剤、増感剤、熱硬化成分、熱硬化触媒、シアネート化合物、エラストマー、メルカプト化合物、ウレタン化触媒、チキソ化剤、密着促進剤、ブロック共重合体、連鎖移動剤、重合禁止剤、銅害防止剤、酸化防止剤、防錆剤、硫酸バリウム、シリカ、タルク、酸化チタン、金属酸化物、金属水酸化物等の無機充填剤、顔料、染料等の着色剤、微粉シリカ、有機ベントナイト、モンモリロナイト等の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系等の消泡剤および/またはレベリング剤、イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系等のシランカップリング剤、ホスフィン酸塩、燐酸エステル誘導体、フォスファゼン化合物等のリン化合物等の難燃剤などの成分を配合することができる。これらは、電子材料の分野において公知の物を使用することができる。
[Other additive ingredients]
The photosensitive resin composition for a plating resist of the present invention further contains a photoinitiator auxiliary, a sensitizer, a thermosetting component, a thermosetting catalyst, a cyanate compound, an elastomer, a mercapto compound, Urethane catalyst, thixotropic agent, adhesion promoter, block copolymer, chain transfer agent, polymerization inhibitor, copper damage inhibitor, antioxidant, rust inhibitor, barium sulfate, silica, talc, titanium oxide, metal oxide materials, inorganic fillers such as metal hydroxides, coloring agents such as pigments and dyes, thickeners such as finely divided silica, organic bentonite, and montmorillonite, antifoaming agents such as silicone, fluorine, and polymers, and/or Components such as leveling agents, imidazole-based, thiazole-based, triazole-based silane coupling agents, phosphinates, phosphoric acid ester derivatives, and phosphorus compounds such as phosphazene compounds can be blended. As these, those known in the field of electronic materials can be used.

感光性樹脂組成物における着色剤の含有量は特に限定されるものではないが、固形分換算で、(A)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、0.1~5.0質量部とすることができる。 The content of the coloring agent in the photosensitive resin composition is not particularly limited, but is 0.1 to 5.0 parts by mass based on 100 parts by mass of the (A) alkali-soluble resin in terms of solid content. be able to.

本発明のめっきレジスト用感光性樹脂組成物には、組成物の調製や、基板やフィルムに塗布する際の粘度調整等の目的で、有機溶剤を含有させることができる。有機溶剤としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、炭酸プロピレン等のエステル類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素類;石油エーテル、石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤など、公知慣用の有機溶剤が使用できる。これらの有機溶剤は、1種類を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。 The photosensitive resin composition for a plating resist of the present invention can contain an organic solvent for the purpose of preparing the composition and adjusting the viscosity when applied to a substrate or film. Examples of organic solvents include ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether; , dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether acetate, tripropylene glycol monomethyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, butyl lactate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, butyl carbi Esters such as tall acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, and propylene carbonate; aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; petroleum solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, and solvent naphtha; Conventional organic solvents can be used. These organic solvents may be used singly or in combination of two or more.

有機溶剤の揮発乾燥は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等(蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用い乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方法およびノズルより支持体に吹き付ける方式)を用いて行うことができる。 Volatilization drying of organic solvents is carried out by using a hot air circulating drying furnace, IR furnace, hot plate, convection oven, etc. (equipped with a heat source that heats the air using steam), and a method in which the hot air in the dryer is brought into contact with the counter current and supported by a nozzle. method of spraying on the body) can be used.

感光性樹脂組成物における有機溶剤の含有量は、感光性樹脂組成物を構成する材料に応じ適宜変更することが好ましいが、例えば、固形分換算で、(A)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して50~300質量部とすることができる。 The content of the organic solvent in the photosensitive resin composition is preferably changed as appropriate according to the materials constituting the photosensitive resin composition. 50 to 300 parts by mass.

本発明のめっきレジスト用感光性樹脂組成物は、ドライフィルム化して用いても液状として用いてもよい。また、液状として用いる場合は、1液性でも2液性以上でもよい。 The photosensitive resin composition for plating resist of the present invention may be used as a dry film or as a liquid. Moreover, when it is used as a liquid, it may be one-liquid or two-liquid or more.

(ドライフィルム)
本発明のめっきレジスト用感光性樹脂組成物は、支持(キャリア)フィルムと、この支持フィルム上に形成された上記めっきレジスト用感光性樹脂組成物からなる樹脂層とを備えたドライフィルムの形態とすることもできる。ドライフィルム化に際しては、本発明のめっきレジスト用感光性樹脂組成物を上記有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整し、コンマコーター、ブレードコーター、リップコーター、ロッドコーター、スクイズコーター、リバースコーター、トランスファロールコーター、グラビアコーター、スプレーコーター等でキャリアフィルム上に均一な厚さに塗布し、通常、50~130℃の温度で1~30分間乾燥して膜を得ることができる。塗布膜厚については特に制限はないが、一般に、乾燥後の膜厚で、1~150μm、好ましくは10~60μmの範囲で適宜選択される。
(dry film)
The photosensitive resin composition for plating resists of the present invention is in the form of a dry film comprising a support (carrier) film and a resin layer formed on the support film and made of the photosensitive resin composition for plating resists. You can also When forming a dry film, the photosensitive resin composition for a plating resist of the present invention is diluted with the above organic solvent to adjust the viscosity to an appropriate value, and is coated with a comma coater, blade coater, lip coater, rod coater, squeeze coater, reverse coater, A film can be obtained by coating a carrier film with a uniform thickness using a transfer roll coater, gravure coater, spray coater or the like and drying at a temperature of 50 to 130° C. for 1 to 30 minutes. The coating thickness is not particularly limited, but is generally selected appropriately within the range of 1 to 150 μm, preferably 10 to 60 μm, in terms of film thickness after drying.

支持フィルムとしては、プラスチックフィルムが用いられ、ポリエチレンテレフタレート(PET)等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等のプラスチックフィルムを用いることが好ましい。支持フィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、10~150μmの範囲で適宜選択される。 A plastic film is used as the support film, and it is preferable to use a plastic film such as a polyester film such as polyethylene terephthalate (PET), a polyimide film, a polyamideimide film, a polypropylene film, or a polystyrene film. The thickness of the support film is not particularly limited, but is generally selected appropriately within the range of 10 to 150 μm.

支持フィルムとしては、公知のものであれば特に制限なく使用することができ、例えば、ポリエチレンテレフタレートやポリエチレンナフタレート等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等の熱可塑性樹脂からなるフィルムを好適に使用することができる。これらの中でも、耐熱性、機械的強度、取扱性等の観点から、ポリエステルフィルムが好ましい。また、これらフィルムの積層体を支持フィルムとして使用することもできる。 As the support film, any known one can be used without particular limitation. Examples include thermoplastic resins such as polyester films such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate, polyimide films, polyamideimide films, polypropylene films, and polystyrene films. A film consisting of can be preferably used. Among these, a polyester film is preferable from the viewpoint of heat resistance, mechanical strength, handleability, and the like. A laminate of these films can also be used as a support film.

また、上記したような熱可塑性樹脂フィルムは、機械的強度向上の観点から、一軸方向または二軸方向に延伸されたフィルムであることが好ましい。 From the viewpoint of improving mechanical strength, the thermoplastic resin film as described above is preferably a uniaxially or biaxially stretched film.

支持フィルムの厚さは、特に制限されるものではないが、例えば、10μm~150μmとすることができる。 The thickness of the support film is not particularly limited, but can be, for example, 10 μm to 150 μm.

支持フィルム上に本発明のめっきレジスト用感光性樹脂組成物の樹脂層を形成した後、さらに、樹脂層の表面に塵が付着するのを防ぐなどの目的で、樹脂層の表面に剥離可能な保護(カバー)フィルムを積層することが好ましい。剥離可能な保護フィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができ、保護フィルムを剥離するときに樹脂層と支持フィルムとの接着力よりも樹脂層と保護フィルムとの接着力がより小さいものであればよい。 After the resin layer of the photosensitive resin composition for plating resist of the present invention is formed on the support film, the surface of the resin layer can be peeled off for the purpose of preventing dust from adhering to the surface of the resin layer. It is preferred to laminate a protective (cover) film. As the peelable protective film, for example, a polyethylene film, a polytetrafluoroethylene film, a polypropylene film, a surface-treated paper, or the like can be used. It is sufficient that the adhesive force between the resin layer and the protective film is smaller.

保護フィルムの厚さは、特に限定されるものではないが、例えば、10μm~150μmとすることができる。 The thickness of the protective film is not particularly limited, but can be, for example, 10 μm to 150 μm.

なお、本発明においては、上記保護フィルム上に本発明のめっきレジスト用感光性樹脂組成物を塗布、乾燥させることにより樹脂層を形成して、その表面に支持フィルムを積層するものであってもよい。すなわち、本発明においてドライフィルムを製造する際に本発明のめっきレジスト用感光性樹脂組成物を塗布するフィルムとしては、支持フィルムおよび保護フィルムのいずれを用いてもよい。 In the present invention, the photosensitive resin composition for plating resist of the present invention is coated on the protective film and dried to form a resin layer, and a support film is laminated on the surface thereof. good. That is, as a film to which the photosensitive resin composition for plating resist of the present invention is applied when producing a dry film in the present invention, either a support film or a protective film may be used.

(硬化物)
本発明の硬化物は、上記本発明のめっきレジスト用感光性樹脂組成物、または、上記本発明のドライフィルムの樹脂層を硬化して得られるものであり、めっきレジストのニッケルめっき液への溶出やめっき析出速度低下についての抑止効果が高く、かつ、めっき処理後の剥離性が高いとの特性を有する。
(cured product)
The cured product of the present invention is obtained by curing the photosensitive resin composition for a plating resist of the present invention or the resin layer of the dry film of the present invention. It has the characteristics of being highly effective in suppressing a decrease in plating deposition rate and having high releasability after plating.

(プリント配線板)
本発明のプリント配線板は、本発明のめっきレジスト用感光性樹脂組成物またはドライフィルムの樹脂層から得られる硬化物を有するものである。本発明のプリント配線板の製造方法としては、例えば、本発明のめっきレジスト用感光性樹脂組成物を、上記有機溶剤を用いて塗布方法に適した粘度に調整して、基材上に、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法等の方法により塗布した後、60~100℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥(仮乾燥)させることで、タックフリーの樹脂層を形成する。また、ドライフィルムの場合、ラミネーター等により樹脂層が基材と接触するように基材上に貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥がすことにより、基材上に樹脂層を形成する。
(Printed wiring board)
The printed wiring board of the present invention has a cured product obtained from the photosensitive resin composition for plating resist or the resin layer of the dry film of the present invention. As a method for producing the printed wiring board of the present invention, for example, the photosensitive resin composition for plating resist of the present invention is adjusted to a viscosity suitable for the coating method using the above organic solvent, and is dipped on the substrate. After coating by a method such as coating method, flow coating method, roll coating method, bar coating method, screen printing method, curtain coating method, etc., the organic solvent contained in the composition is evaporated and dried at a temperature of 60 to 100 ° C. (temporary drying) to form a tack-free resin layer. In the case of a dry film, the resin layer is formed on the substrate by laminating it on the substrate with a laminator or the like so that the resin layer is in contact with the substrate, and then peeling off the carrier film.

上記基材としては、あらかじめ銅等の回路や回路上にソルダーレジスト等の保護膜が形成されたプリント配線板やフレキシブルプリント配線板の他、紙フェノール、紙エポキシ、ガラス布エポキシ、ガラスポリイミド、ガラス布/不繊布エポキシ、ガラス布/紙エポキシ、合成繊維エポキシ等の材質からなる銅張積層板、フッ素樹脂・ポリエチレン・ポリフェニレンエーテル,ポリフェニレンオキシド・シアネート等の高周波回路用の材質からなる銅張積層板、その他、金属基板、ポリイミドフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム、ガラス基板、セラミック基板、ウエハ板等を挙げることができる。 Examples of the base material include printed wiring boards and flexible printed wiring boards in which a protective film such as a solder resist is formed on a circuit made of copper or the like in advance, as well as paper phenol, paper epoxy, glass cloth epoxy, glass polyimide, and glass. Copper-clad laminates made of cloth/non-woven epoxy, glass cloth/paper epoxy, synthetic fiber epoxy, etc. Copper-clad laminates made of high-frequency circuit materials such as fluororesin, polyethylene, polyphenylene ether, polyphenylene oxide, cyanate, etc. , metal substrates, polyimide films, polyethylene terephthalate films, polyethylene naphthalate (PEN) films, glass substrates, ceramic substrates, wafer plates and the like.

ドライフィルムの基材上への貼合は、真空ラミネーター等を用いて、加圧および加熱下で行うことが好ましい。このような真空ラミネーターを使用することにより、回路形成された基板を用いた場合に、回路基板表面に凹凸があっても、ドライフィルムが回路基板に密着するため、気泡の混入がなく、また、基板表面の凹部の穴埋め性も向上する。加圧条件は、0.1~2.0MPa程度であることが好ましく、また、加熱条件は、40~140℃であることが好ましい。 The lamination of the dry film onto the substrate is preferably carried out under pressure and heat using a vacuum laminator or the like. By using such a vacuum laminator, when using a circuit-formed substrate, even if the surface of the circuit substrate has unevenness, the dry film adheres to the circuit substrate, so there is no entrapment of air bubbles. It also improves the ability to fill recesses on the substrate surface. The pressure condition is preferably about 0.1 to 2.0 MPa, and the heating condition is preferably 40 to 140°C.

本発明のめっきレジスト用感光性樹脂組成物を塗布した後に行う揮発乾燥は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等(蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用いて乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方法およびノズルより支持体に吹き付ける方式)を用いて行うことができる。 Volatilization drying performed after coating the photosensitive resin composition for plating resist of the present invention can be performed using a hot air circulation drying oven, an IR oven, a hot plate, a convection oven, etc. A method of contacting hot air in a dryer in a countercurrent manner and a method of blowing hot air from a nozzle onto the support can be used.

基材上に樹脂層を形成後、所定のパターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光し、未露光部を希アルカリ水溶液(例えば、0.3~3質量%炭酸ソーダ水溶液)により現像して硬化物のパターンを形成する。ドライフィルムの場合には、露光後、ドライフィルムから支持フィルムを剥離して現像を行うことにより、基材上にパターニングされた硬化物を形成する。なお、特性を損なわない範囲であれば、露光前にドライフィルムから支持フィルムを剥離して、露出した樹脂層を露光および現像しても良い。 After forming a resin layer on the substrate, it is selectively exposed to active energy rays through a photomask having a predetermined pattern, and the unexposed area is treated with a dilute alkaline aqueous solution (eg, 0.3 to 3% by mass aqueous solution of sodium carbonate). to form a pattern of the cured product. In the case of a dry film, after exposure, the support film is peeled off from the dry film and developed to form a patterned cured product on the substrate. Before exposure, the support film may be peeled off from the dry film, and the exposed resin layer may be exposed and developed as long as the properties are not impaired.

上記活性エネルギー線照射に用いられる露光機としては、高圧水銀灯ランプ、超高圧水銀灯ランプ、メタルハライドランプ、水銀ショートアークランプ等を搭載し、350~450nmの範囲で紫外線を照射する装置であればよく、さらに、直接描画装置(例えば、コンピューターからのCADデータにより直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置)も用いることができる。直描機のランプ光源またはレーザー光源としては、最大波長が350~450nmの範囲にあるものでよい。画像形成のための露光量は膜厚等によって異なるが、一般には10~1000mJ/cm、好ましくは20~800mJ/cmの範囲内とすることができる。 The exposure machine used for the active energy ray irradiation may be any device equipped with a high-pressure mercury lamp, ultra-high pressure mercury lamp, metal halide lamp, mercury short arc lamp, etc., and irradiating ultraviolet rays in the range of 350 to 450 nm. In addition, a direct writing device (eg, a laser direct imaging device that draws an image with a laser directly from CAD data from a computer) can also be used. The lamp light source or laser light source of the direct drawing machine may have a maximum wavelength in the range of 350 to 450 nm. The amount of exposure for image formation varies depending on the film thickness and the like, but can generally be in the range of 10-1000 mJ/cm 2 , preferably in the range of 20-800 mJ/cm 2 .

上記現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等によることができ、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類等のアルカリ水溶液が使用できる。 Examples of the developing method include a dipping method, a shower method, a spray method, a brush method, and the like. Alkaline aqueous solutions such as ammonia and amines can be used.

次いで、めっき処理を行う。ここでのめっき処理は、無電解ニッケル/ 金めっき処理、無電解ニッケル/パラジウム/金めっき処理、電解ニッケル/ 金めっき処理、無電解銅めっきおよび電解銅めっきの何れも使用できるが、特に多品種の部品を高密度に実装するプリント配線板にニッケル/ 金めっき処理する際には、無電解ニッケル/ 金めっき処理や無電解ニッケル/パラジウム/金めっき処理が好適に使用される。 Then, plating treatment is performed. Any of electroless nickel/gold plating, electroless nickel/palladium/gold plating, electrolytic nickel/gold plating, electroless copper plating and electrolytic copper plating can be used for the plating treatment here. Electroless nickel/gold plating or electroless nickel/palladium/gold plating is preferably used when nickel/gold plating is applied to a printed wiring board on which components are mounted at high density.

無電解ニッケル/ 金めっき処理は、例えば次のような条件の下に行なわれる。始めに、前記めっきレジスト の硬化が終了したプリント配線板を主に洗浄する目的で、脱脂、水洗、酸洗、ソフトエッチング、水洗を順に行なう。次いで、触媒を表面に処理した後に、90℃のニッケルめっき液の浴槽に投入し、1μmあたり3~5分のめっき速度にて5 μm程度の無電解ニッケルめっきを付着させる。次いで、水洗後に90 ℃程度の金めっき液の浴槽に投入し、0.03μm程度の無電解金めっきを3~5 分のめっき速度にて付着させる。ここで、本発明のめっきレジストは、ニッケルめっき液への溶出やめっき析出速度低下についての抑止効果が高く、めっき液を汚染することはない。 Electroless nickel/gold plating is performed under the following conditions, for example. First, degreasing, washing with water, pickling, soft etching, and washing with water are carried out in this order mainly for the purpose of cleaning the printed wiring board on which the plating resist has been cured. Next, after treating the surface with a catalyst, it is placed in a bath of a nickel plating solution at 90° C., and electroless nickel plating of about 5 μm is deposited at a plating rate of 3 to 5 minutes per 1 μm. Then, after washing with water, it is placed in a bath of gold plating solution at about 90° C., and electroless gold plating of about 0.03 μm is applied at a plating speed of 3 to 5 minutes. Here, the plating resist of the present invention has a high inhibitory effect on elution into the nickel plating solution and a decrease in plating deposition rate, and does not contaminate the plating solution.

次いで、めっきレジストを、例えば約3%の水酸化ナトリウム水溶液を使用して剥離する。ここでも、本発明のめっきレジストは、めっき処理後の剥離性が高く、剥離作業が容易となる。 The plating resist is then stripped using, for example, about 3% sodium hydroxide aqueous solution. Here, too, the plating resist of the present invention has high releasability after plating, and the stripping work becomes easy.

以下に実施例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定されるものではない。尚、以下において「部」および「%」とあるのは、特に断りのない限り全て質量基準である。 EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples, but the present invention is not limited to the following examples. In the following description, "parts" and "%" are based on mass unless otherwise specified.

((A)アルカリ可溶性樹脂A-1の合成)
攪拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えた2リットル容セパラブルフラスコに、ジエチレングリコールジメチルエーテル900g、およびt-ブチルパーオキシ2-エチルヘキサノエート(日本油脂(株)製パーブチルO)21.4gを仕込み、90℃に昇温後、メタクリル酸309.9g、メタクリル酸メチル116.4g、及び一般式(I)で示されるラクトン変性2-ヒドロキシエチルメタクリレート(ダイセル化学工業(株)製プラクセルFM1)109.8gをビス(4-t-ブチルシクロヘキシル)パーオキシジカーボネート(日本油脂(株)製パーロイルTCP)21.4gと共にジエチレングリコールジメチルエーテル中に3時間かけて滴下し、さらに6時間熟成することによってカルボキシル基含有共重合樹脂溶液を得た。反応は、窒素雰囲気下で行った。
次に上記カルボキシル基含有共重合樹脂溶液に、3,4-エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート(ダイセル化学(株)製サイクロマーA200)363.9g、ジメチルベンジルアミン3.6g、ハイドロキノンモノメチルエーテル1.80gを加え、100℃に昇温し、撹拌することによってエポキシの開環付加反応を行った。16時間後、固形分酸価=108.9mgKOH/g、重量平均分子量=25,000(スチレン換算)のカルボキシル基含有共重合樹脂を、53.8%(不揮発分)含む溶液を得た。
((A) Synthesis of alkali-soluble resin A-1)
900 g of diethylene glycol dimethyl ether and t-butylperoxy 2-ethylhexanoate (perbutyl O) 21.4 g was charged, and after heating to 90° C., 309.9 g of methacrylic acid, 116.4 g of methyl methacrylate, and lactone-modified 2-hydroxyethyl methacrylate represented by general formula (I) (Daicel Chemical Industries, Ltd. ) 109.8 g of bis(4-t-butylcyclohexyl)peroxydicarbonate (perloyl TCP manufactured by NOF Corporation) was added dropwise to diethylene glycol dimethyl ether over 3 hours, followed by 6 hours. A carboxyl group-containing copolymer resin solution was obtained by aging. The reaction was performed under nitrogen atmosphere.
Next, 363.9 g of 3,4-epoxycyclohexylmethyl acrylate (Cycromer A200 manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), 3.6 g of dimethylbenzylamine, and 1.80 g of hydroquinone monomethyl ether are added to the carboxyl group-containing copolymer resin solution. , the temperature was raised to 100° C., and the ring-opening addition reaction of the epoxy was performed by stirring. After 16 hours, a solution containing 53.8% (nonvolatile matter) of a carboxyl group-containing copolymer resin having a solid content acid value of 108.9 mgKOH/g and a weight average molecular weight of 25,000 (in terms of styrene) was obtained.

(実施例1~4および比較例1~3)
上記で合成した(A)末端不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂A-1 100質量部に対して、(B)光重合性モノマー、(C)チタノセン系光重合開始剤、(D)チタノセン系光重合開始剤(C)を除く光重合開始剤、青色顔料および染料を表1に記載の配合量に従い配合して、実施例1~4および比較例1~3の感光性樹脂組成物を調整した。なお、表1中の配合量はすべて固形物換算の数値である。
(Examples 1-4 and Comparative Examples 1-3)
With respect to 100 parts by mass of (A) the alkali-soluble resin A-1 having a terminal unsaturated group synthesized above, (B) a photopolymerizable monomer, (C) a titanocene photopolymerization initiator, (D) a titanocene-based light Photopolymerization initiators excluding the polymerization initiator (C), blue pigments and dyes were blended according to the blending amounts shown in Table 1 to prepare photosensitive resin compositions of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 3. . In addition, all compounding amounts in Table 1 are numerical values in terms of solid matter.

このようにして調製した実施例1~4および比較例1~3の感光性樹脂組成物について、感度評価、解像性評価および無電解金めっき耐性評価により光硬化性の評価を、ニッケル液への溶出量評価およびリーチング評価によりニッケルめっき液への溶出やめっき析出速度の評価を、剥離性評価によって剥離性の評価を行った。これらの評価結果を表1に併せて示す。 For the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 3 prepared in this manner, photocurability was evaluated by sensitivity evaluation, resolution evaluation, and electroless gold plating resistance evaluation, to nickel solution. Elution into the nickel plating solution and plating deposition rate were evaluated by the elution amount evaluation and leaching evaluation, and peelability was evaluated by the peelability evaluation. These evaluation results are also shown in Table 1.

(感度評価)
各実施例及び比較例の感光性樹脂組成物を、銅べた基板上に、乾燥膜厚が10μmになるようにスクリーン印刷で全面塗布し、80℃の熱風循環乾燥炉内で30分乾燥した。乾燥後の塗膜にStouffer社製T4105Cのステップタブレットをのせて、オーク製作所社製メタルハライドランプで70mJ/cmの露光を行い、30℃で1質量%の炭酸ナトリウム水溶液を90秒間スプレーすることにより未露光部分を除去することで感度評価基板を作製した。感光性樹脂組成物の光感度は、感度評価基板上に形成された光硬化膜のステップタブレットの段数を測定することにより評価した。(このステップタブレットの段数が高いほど光感度が高いことを示している。)
(Sensitivity evaluation)
The photosensitive resin composition of each example and comparative example was applied to the entire surface of a flat copper substrate by screen printing so that the dry film thickness was 10 μm, and dried in a hot air circulating drying oven at 80° C. for 30 minutes. A step tablet of Stouffer T4105C was placed on the dried coating film, exposed to light with a metal halide lamp manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. at 70 mJ/cm 2 , and a 1% by weight sodium carbonate aqueous solution was sprayed at 30 ° C. for 90 seconds. A sensitivity evaluation substrate was produced by removing the unexposed portion. The photosensitivity of the photosensitive resin composition was evaluated by measuring the step number of the step tablet of the photocurable film formed on the sensitivity evaluation substrate. (The higher the step tablet number, the higher the photosensitivity.)

(解像性評価)
各実施例及び比較例の感光性樹脂組成物を、パターン形成された銅箔基板上に、乾燥膜厚が10μmになるようにスクリーン印刷で全面塗布し、80℃の熱風循環乾燥炉内で30分乾燥した。乾燥後、所定のフォトマスク(ライン30μm~100μmのもの)を介して、オーク製作所社製メタルハライドランプ40mJ/cmの露光を行い、30℃で1質量%の炭酸ナトリウム水溶液を90秒間スプレーすることにより未露光部分を除去することで解像性評価基板を作製した。感光性樹脂組成物の解像性は、解像性評価基板の露光部のラインの残存の状態を目視にて判定した。評価基準は以下の通りとした。
○:すべてのラインが残存した。
△:40μm~100μmのラインが残存した。
×:ラインが残存しなかった。
(Resolution evaluation)
The photosensitive resin composition of each example and comparative example was applied to the entire surface of a patterned copper foil substrate by screen printing so that the dry film thickness was 10 μm, and dried for 30 minutes in a hot air circulating drying oven at 80°C. minutes dried. After drying, expose to metal halide lamp 40 mJ/cm 2 manufactured by Oak Manufacturing Co. through a predetermined photomask (those with lines of 30 μm to 100 μm), and spray 1% by weight aqueous sodium carbonate solution at 30° C. for 90 seconds. A resolution evaluation substrate was produced by removing the unexposed portion by. The resolution of the photosensitive resin composition was determined by visually observing the state of the lines remaining in the exposed areas of the resolution evaluation substrate. The evaluation criteria were as follows.
◯: All lines remained.
Δ: A line of 40 μm to 100 μm remained.
x: No line remained.

(無電解金めっき耐性評価)
上述の解像性評価基板と同じ条件で作製した各基板を市販の無電解ニッケルめっき浴及び無電解金めっき浴を用いて、ニッケル0.5μm、金0.03μmの条件でめっき処理を行い、金めっき耐性評価基板を作製した。感光性樹脂組成物の金めっき耐性は、金めっき耐性評価基板の感光性樹脂組成物をテープピーリングし、硬化塗膜の剥がれの有無やめっきのしみ込みの有無を評価した。評価基準は以下の通りとした。
○:剥がれやしみ込みが全くない。
△:ほんの僅かに剥がれやしみ込みがある。
×:硬化塗膜に剥がれやしみ込みがある。
(Evaluation of resistance to electroless gold plating)
Each substrate prepared under the same conditions as the above resolution evaluation substrate was plated using a commercially available electroless nickel plating bath and an electroless gold plating bath under the conditions of 0.5 μm nickel and 0.03 μm gold, A gold plating resistance evaluation substrate was produced. For the gold plating resistance of the photosensitive resin composition, the photosensitive resin composition on the gold plating resistance evaluation substrate was subjected to tape peeling, and the presence or absence of peeling of the cured coating film and the presence or absence of penetration of the plating were evaluated. The evaluation criteria were as follows.
◯: There is no peeling or penetration.
Δ: Slight peeling and penetration.
x: Peeling and penetration are observed in the cured coating film.

(ニッケル液への溶出量評価)
各実施例及び比較例の感光性樹脂組成物を、銅板上に、乾燥膜厚が10μmになるようにスクリーン印刷で全面塗布し、80℃の熱風循環乾燥炉内で30分乾燥した。乾燥後、オーク製作所社製メタルハライドランプで40mJ/cmの全面露光を行い、30℃で1質量%の炭酸ナトリウム水溶液を90秒間スプレーすることで溶出量評価用基板を作製した。各溶出量評価用基板をニッケルめっき液に0.3m/l、90℃の条件で6時間浸漬させ、塗膜から溶出成分を溶出させることで、溶出評価用めっき液を作製した。各溶出評価用めっき液をクロロホルムで抽出し、GC-MSにて溶出成分の定量を行った。溶出量が多いほど、めっきの析出スピードが低下することになる。
(Evaluation of elution amount in nickel solution)
The photosensitive resin composition of each example and comparative example was applied to the entire surface of a copper plate by screen printing so that the dry film thickness was 10 μm, and dried in a hot air circulating drying oven at 80° C. for 30 minutes. After drying, the entire surface was exposed to light at 40 mJ/cm 2 with a metal halide lamp manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd., and a 1% by mass sodium carbonate aqueous solution was sprayed at 30° C. for 90 seconds to prepare a substrate for evaluating the amount of elution. Each substrate for evaluating the amount of elution was immersed in a nickel plating solution under the conditions of 0.3 m 2 /l and 90° C. for 6 hours to elute the eluted component from the coating film, thereby preparing a plating solution for elution evaluation. Each plating solution for elution evaluation was extracted with chloroform, and eluted components were quantified by GC-MS. As the elution amount increases, the plating deposition speed decreases.

(リーチング評価)
上述の各溶出評価用めっき液を用いて、銅べた基板に80℃時間30分間の処理条件でニッケルめっきを行い、めっきの厚みを測定する。めっきの厚みが厚いほどめっき析出スピードが低下していないことになる。評価基準は以下の通りとした。
◎:めっき厚み6μm以上。
〇:めっき厚み4μm以上。
×:めっき厚み4μm未満。
(Reaching evaluation)
Using each of the plating solutions for elution evaluation described above, nickel plating is performed on a solid copper substrate under the treatment conditions of 80° C. for 30 minutes, and the thickness of the plating is measured. The thicker the plating, the less the plating deposition speed. The evaluation criteria were as follows.
A: Plating thickness of 6 μm or more.
◯: Plating thickness of 4 μm or more.
x: Plating thickness less than 4 μm.

(剥離性評価)
上述の解像性評価基板と同じ条件で作製した各基板を50℃の3%の水酸化ナトリウム水溶液に浸漬し、各試料の基板から塗膜が完全に剥離するまでの時間を測定した。評価基準は以下の通りとした。
◎:120秒以内。
○:180秒以内。
△:240秒以内。
×:240秒超。
(Peelability evaluation)
Each substrate prepared under the same conditions as the resolution evaluation substrate was immersed in a 3% sodium hydroxide aqueous solution at 50° C., and the time required for the coating film to completely peel off from the substrate of each sample was measured. The evaluation criteria were as follows.
A: Within 120 seconds.
○: Within 180 seconds.
△: Within 240 seconds.
x: more than 240 seconds.

Figure 0007216506000002
Figure 0007216506000002

(*1):前記方法で合成したアルカリ可溶性樹脂A-1
(*2):新中村化学工業株式会社製 BPE-1300N
(*3):新中村化学工業株式会社製 TMPT
(*4):新中村化学工業株式会社製 4G
(*5):BASFジャパン株式会社製 Irgacure 784
(*6):BASFジャパン株式会社製 Irgacure OXE02
(*7):黒金化成株式会社製 ビイミダゾール(2,2’-ビス(o-クロロフェニ ル)-4,5,4’,5’,-テトラフェニル-1,2’-ビイミダゾール)
(*8):BASFジャパン株式会社製 Irgacure 369
(*9):BASFジャパン株式会社製 Irgacure TPO
(*10):B5380
(*11):ロイコクリスタルバイオレッド
(*1): Alkali-soluble resin A-1 synthesized by the above method
(*2): BPE-1300N manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.
(*3): TMPT manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.
(*4): 4G manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.
(*5): Irgacure 784 manufactured by BASF Japan Ltd.
(*6): Irgacure OXE02 manufactured by BASF Japan Ltd.
(*7): Biimidazole (2,2'-bis(o-chlorophenyl)-4,5,4',5',-tetraphenyl-1,2'-biimidazole) manufactured by Kurogane Kasei Co., Ltd.
(*8): Irgacure 369 manufactured by BASF Japan Ltd.
(* 9): Irgacure TPO manufactured by BASF Japan Ltd.
(*10): B5380
(*11): Leuco Crystal Violet

本発明によれば、めっきレジストのニッケルめっき液への溶出やめっき析出速度低下についての抑止効果が高く、かつ、めっき処理後の剥離性が高い、生産性の高いめっきレジスト用感光性樹脂組成物、ドライフィルムおよびプリント配線板の製造方法を提供することができる。
According to the present invention, a highly productive photosensitive resin composition for a plating resist that has a high inhibitory effect on elution of the plating resist into the nickel plating solution and a decrease in the plating deposition rate, and has high peelability after plating treatment. , dry films and printed wiring board manufacturing methods.

Claims (6)

部品を実装するプリント配線板にニッケル/金めっき処理するためのめっきレジスト用感光性樹脂組成物であって、
(A)アルカリ可溶性樹脂と、(B)光重合性モノマーと、(C)チタノセン系光重合開始剤とを含み、
前記ニッケル/金めっき処理は、無電解ニッケル/金めっき処理、または無電解ニッケル/パラジウム/金めっき処理であり、
前記(A)アルカリ可溶性樹脂は、不飽和カルボン酸と不飽和基含有化合物との共重合により得られるカルボキシル基含有樹脂を含み、
前記(B)光重合性モノマーは、エトキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレートおよびポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレートを含み、
前記(C)チタノセン系光重合開始剤は、ビス(η5-シクロペンタジエニル)-ビス(2,6-ジフルオロ-3-(1H-ピロール-1-イル)フェニル)チタニウムであることを特徴とするめっきレジスト用感光性樹脂組成物。
A photosensitive resin composition for a plating resist for nickel/gold plating on a printed wiring board on which parts are mounted,
(A) an alkali-soluble resin, (B) a photopolymerizable monomer, and (C) a titanocene-based photopolymerization initiator ,
The nickel/gold plating treatment is electroless nickel/gold plating treatment or electroless nickel/palladium/gold plating treatment,
The (A) alkali-soluble resin includes a carboxyl group-containing resin obtained by copolymerization of an unsaturated carboxylic acid and an unsaturated group-containing compound,
The (B) photopolymerizable monomer includes ethoxylated bisphenol A di(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate and polyethylene glycol di(meth)acrylate,
The titanocene-based photopolymerization initiator (C) is bis(η5-cyclopentadienyl)-bis(2,6-difluoro-3-(1H-pyrrol-1-yl)phenyl)titanium. A photosensitive resin composition for plating resists.
さらに、(D)チタノセン系光重合開始剤(C)を除く光重合開始剤を含むことを特徴とする請求項1に記載のめっきレジスト用感光性樹脂組成物。 2. The photosensitive resin composition for a plating resist according to claim 1, further comprising (D) a photopolymerization initiator other than the titanocene-based photopolymerization initiator (C). 前記(D)チタノセン系光重合開始剤(C)を除く光重合開始剤の配合量が、前記(B)光重合性モノマーに対し、2質量%以下である請求項2に記載のめっきレジスト用感光性樹脂組成物。 3. The plating resist according to claim 2, wherein the amount of the photopolymerization initiator excluding the (D) titanocene-based photopolymerization initiator (C) is 2% by mass or less with respect to the (B) photopolymerizable monomer. A photosensitive resin composition. 前記(D)チタノセン系光重合開始剤(C)を除く光重合開始剤が、オキシムエステル系光重合開始剤であることを特徴とする請求項2または3に記載のめっきレジスト用感光性樹脂組成物。 4. The photosensitive resin composition for a plating resist according to claim 2, wherein the (D) photopolymerization initiator other than the titanocene-based photopolymerization initiator (C) is an oxime ester-based photopolymerization initiator. thing. 請求項1~4のいずれか一項に記載のめっきレジスト用感光性樹脂組成物を、フィルム上に塗布、乾燥させてなる樹脂層を有するドライフィルム。 A dry film having a resin layer obtained by applying the photosensitive resin composition for a plating resist according to any one of claims 1 to 4 on a film and drying the composition. 導体回路または導体回路上にソルダーレジストを有するプリント配線基板上に請求項1~5のいずれか一項に記載のめっきレジスト用感光性樹脂組成物またはドライフィルムの樹脂層からなる被膜を形成する工程、
前記被膜に光照射部と光未照射部を設ける工程、
現像液により前記被膜の光未照射部を除去して導体回路を露出する工程、
前記露出した導体回路にニッケル/金めっき処理を施した後、剥離液により前記被膜の光照射部を除去する工程、
を有することを特徴とするプリント配線板の製造方法。
A step of forming a coating comprising the resin layer of the photosensitive resin composition for plating resist or dry film according to any one of claims 1 to 5 on a printed wiring board having a conductor circuit or a solder resist on the conductor circuit ,
providing a light-irradiated portion and a non-light-irradiated portion on the coating;
removing the unirradiated portion of the film with a developer to expose the conductive circuit;
After subjecting the exposed conductor circuit to nickel/gold plating treatment , removing the light-irradiated portion of the coating with a stripping solution;
A method for manufacturing a printed wiring board, comprising:
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