JP7211885B2 - 演算装置、演算方法及びガス検出システム - Google Patents
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Description
上記算出部は、ガスの吸着により共振周波数変化を生じる検出素子から上記検出素子の劣化状態における湿度変化に伴う共振周波数変化量と、予め取得されている上記検出素子の初期状態における湿度変化に伴う共振周波数変化量とから補正係数を算出し、上記補正係数を用いて劣化状態の上記検出素子の共振周波数変化量を補正する。
ガスの吸着により共振周波数変化を生じる検出素子の劣化状態における湿度変化に伴う共振周波数変化量を算出し、
劣化状態の上記検出素子の湿度変化に伴う共振周波数変化量と、予め取得されている上記検出素子の初期状態における湿度変化に伴う共振周波数変化量とから補正係数を算出し、
上記補正係数を用いて劣化状態の上記検出素子の共振周波数変化量を補正する。
上記ガスセンサは、ガスの吸着により共振周波数変化を生じる検出素子を備える。
上記演算装置は、上記検出素子の劣化状態における湿度変化に伴う共振周波数変化量と、予め取得されている上記検出素子の初期状態における湿度変化に伴う共振周波数変化量とから補正係数を算出し、上記補正係数を用いて劣化状態の上記検出素子の共振周波数変化量を補正する算出部を備える。
以下の説明において、匂い検出をまだ行っていない状態のQCM、吸着膜を、初期状態のQCM、初期状態の吸着膜と称する。匂い検出を行い、ある程度の時間が経過した経時劣化後のQCM、吸着膜を、便宜的に劣化状態のQCM、劣化状態の吸着膜と称して説明する。
図1は、第1の実施形態に係るガス検出システム1の概略模式図である。
図1に示すように、ガス検出システム1は、ガスセンサ2と、演算装置4と、表示装置5とを具備する。
吸気口21から吸気されたガスは4つの流路24~27の少なくとも1つの流路に導かれることが可能に構成される。
各流路24~27は、検出対象ガス23を第5の流路28上に配置されるマルチアレイセンサ6に導くことが可能に構成される。
このように、脱湿・脱臭フィルタ32を設けることにより、標準ガスを用意せずとも、検出対象ガス23をゼロ点のガスとして利用することができる。
温湿度センサ30には、例えばセンシリオン社製のデジタル温湿度センサ(型番:SHT21)を用いることができる。
マルチアレイセンサ6は、第1の検出素子としての第1のQCMセンサ素子(以下、第1のQCMと称す)10aと、第2の検出素子としての第2のQCMセンサ素子(以下、第2のQCMと称す)10bと、第3の検出素子としての第3のQCMセンサ素子(以下、第3のQCMと称す)10cと、第4の検出素子としての第4のQCMセンサ素子(以下、第4のQCMと称す)10dと、第5の検出素子としての第5のQCMセンサ素子(以下、第5のQCMと称す)10eと、第6の検出素子としての第6のQCMセンサ素子(以下、第6のQCMと称す)10fと、を具備する。
リード14Aは、一端がリードランド16Aを介して一方の面に形成された電極11と電気的に接続し、他端がピン端子19Aに接続する。リード14Bは一端がリードランド16Bを介して他方の面に形成された電極11と電気的に接続し、他端がピン端子19Bに接続する。
第2の吸着膜12bは、フッ素含有両極性ポリマー材料(製品名:FS-6130(フロロテクノロジー製))の吸着膜であり、親水性ガス、親油性ガスを選択的に吸着する。
第3の吸着膜12cは、油性炭化水素材料Squalene(富士フイルム和光純薬製)の吸着膜であり、親水性ガス、親油性ガスを選択的に吸着する。
第4の吸着膜12dは、Cellulose Acetate Propionate(CAP-482、EASTMAN製)の吸着膜であり、親水性ガスを選択的に吸着する。
第5の吸着膜12eは、Poly(3,4-ethylenedioxythiophene)(製品名:PEDOT687316、Ardrich製)の吸着膜であり、親水性ガスを選択的に吸着する。
第6の吸着膜12fは、セルロースCellulose Acetate Butyrate(CAB-553、EASTMAN製)の吸着膜であり、親水性ガスを選択的に吸着する。
図4(A)、(B)、(C)は、それぞれ第4のQCM10d、第5のQCM10e、第6のQCM10fにおける検出するガスの湿度変化に伴う共振周波数変化を説明するための図である。
いずれの図においても各QCMに達するガスの湿度を変えて測定した共振周波数をプロットしたものの近似線を図示している。
上記初期状態のQCM10で検出される共振周波数は、外部のガスが第1の流路24を通過して脱湿・脱臭されたクリーンなガス(ゼロ点のガス)が膜劣化のない初期状態のQCM10に達した時に検出される共振周波数である。この共振周波数はQCM10a~10f毎に予め取得され、記憶される。
上記湿度変化に伴う共振周波数変化量は、外部のガスが第1の流路24を通過したゼロ点のガスが初期状態のQCM10に達した時に検出される共振周波数と、外部のガスが第2の流路25を通過して脱臭されたガスが初期状態のQCM10に達した時に検出される共振周波数と、外部のガスが第4の流路27を通過し温湿度センサ30により検出された湿度情報を基に予め算出された、相対湿度1%の変化に対するQCM10における共振周波数変化量である。この共振周波数変化量はQCM10a~10f毎に予め算出され、記憶される。
また、記憶部45は、各種のガスをマルチアレイセンサ6で検出したときの参照用検出パターンを異なる種類のガス毎に予め記憶する。
取得部41は、検出対象ガス23が第2の流路25を通過して脱臭されたガスが達した劣化状態の各QCM10a~10fで検出された共振周波数を取得する。
取得部41は、第3の流路26を通過した検出対象ガス23が達した劣化状態の各QCM0a~10fで検出された共振周波数を取得する。
取得部41は、第4の流路27の温湿度センサ30で検出された温度及び湿度情報を取得する。
式中、ΔF(a)は、劣化状態の吸着膜での相対湿度1%の変化に対する共振周波数変化(Hz)であり、ΔF(0)は、初期状態の吸着膜での相対湿度1%の変化に対する共振周波数変化(Hz)である。
補正係数Rcの算出は、QCM10a~10f毎に算出される。算出された補正係数Rcは記憶部45に記憶される。
更に、算出部42は、補正係数Rcを用いて、第3の流路26を通過した検出対象ガス23が達した劣化状態の各QCM0a~10fの共振周波数変化量を補正する。
より具体的には、第3の流路26を通過した検出対象ガス23が達した劣化状態の各QCM0a~10fでの共振周波数変化量の値に補正係数Rcを乗じて共振周波数変化量を補正する。これにより、初期状態とほぼ同じセンサ感度レベルでの出力値に共振周波数変化量を補正することができる。具体的な例については図5を用いて後述する。
補正係数Rcの算出及び補正係数Rcを用いた共振周波数変化量の補正は、劣化状態のQCMによる出力値を初期状態とほぼ同じ感度レベルでの出力値となるようにキャリブレーションする工程といえる。
そして、キャリブレーション工程で算出された各QCM10a~10fにおける補正係数Rcが記憶部45に記憶されることにより、次回の補正係数Rcの算出までは、記憶部45に記憶された直近で算出された補正係数Rcを用いて、共振周波数変化量の補正が行われる。
図8に示すように、共振周波数の変化に伴い負性抵抗は直線的に変化する。図8に示す例では、QCMの負性抵抗が500Ωを越えるとQCMは安定した発振ができなくなる。負性抵抗が500Ωを超えたときが寿命とした場合、劣化状態と初期状態での共振周波数の差が閾値である200,000Hzより大きい場合、QCMは寿命に達したと判定される。
初期状態のエタノール(100ppm)の共振周波数変化量は、初期状態のQCM10のエタノール検出時の共振周波数変化量である。経時劣化後(劣化状態)のエタノール(100ppm)の共振周波数変化量は、劣化状態のQCM10のエタノール検出時の共振周波数変化量である。
補正後の共振周波数変化量は、経時劣化後(劣化状態)のエタノール(100ppm)の共振周波数変化量に補正係数Rcを乗じた値である。
出力一致率は、初期状態のQCM10のエタノール検出時の共振周波数変化量に対する補正後の共振周波数変化量の一致率を示す。
図7に示すように、取得部41により、周波数カウンタ回路31により検出されたゼロ点のガスが達した劣化状態のQCM10の共振周波数が取得される(St11)。
第1の実施形態では、脱湿・脱臭フィルタを有する第1の流路と脱臭フィルタを有する第2の流路を設けて、ガスセンサ2の出力値をキャリブレーションするための補正係数を求める例をあげたが、これに限定されない。脱湿・脱臭フィルタや脱臭フィルタを設けず、湿度の異なる少なくとも2種類の標準ガスを用いて補正係数を求める構成としてもよい。以下、図9を用いて説明する。以下の説明について、上述と同様の構成については同様の符号を付し説明を省略する。
図9に示すように、ガス検出システム101は、ガスセンサ102と、演算装置4と、表示装置5とを具備する。
吸気口21から吸気されたガスは2つの流路126、127に導かれることが可能に構成される。
各流路126、127は、検出対象ガス23を流路128上に配置されるマルチアレイセンサ6に導くことが可能に構成される。
上記初期状態の各QCM10a~10fで検出される共振周波数は、第1の標準ガスがモニタ用流路126を通過し初期状態の各QCM10a~10fに達した時に検出される共振周波数であり、予め記憶部45に記憶される。
上記湿度変化に伴う共振周波数変化量は、上記のモニタ用流路126を通過した第1の標準ガスが初期状態の各QCM10a~10fに達した時に検出される共振周波数と、モニタ用流路126を通過した第2の標準ガスが初期状態の各QCM10a~10fに達した時に検出される共振周波数と、第1及び第2の標準ガスが温湿度検出用流路127を通過し温湿度センサ30により検出された湿度情報を基に予め算出された、相対湿度1%の変化に対する各QCM10における共振周波数変化量である。尚、第1及び第2の標準ガスの湿度が既知の場合、温湿度センサ30の湿度情報は特に用いなくてもよい。
また、記憶部45は、各種のガスをマルチアレイセンサ6で検出したときの参照用検出パターンを異なる種類のガス毎に予め記憶する。
取得部41は、モニタ用流路26を通過した検出対象ガス23が達した劣化状態の各QCM10a~10fで検出された共振周波数を取得する。
取得部41は、温湿度検出用流路127の温湿度センサ30で検出された温度及び湿度情報を取得する。
式中、ΔF(a)は、劣化状態のQCMでの相対湿度1%の変化に対する共振周波数変化(Hz)であり、ΔF(0)は、初期状態のQCMでの相対湿度1%の変化に対する共振周波数変化(Hz)である。
補正係数の算出は、QCM10a~10f毎に算出される。
更に、算出部42は、補正係数Rcを用いて、モニタ用流路126を通過した検出対象ガス23が達した劣化状態の各QCM0a~10fの共振周波数変化量を補正して、初期状態の感度レベルに換算した共振周波数変化量を算出する。
より具体的には、モニタ用流路126を通過した検出対象ガス23が達した劣化状態の各QCM0a~10fの共振周波数変化量の値に補正係数Rcを乗じて共振周波数変化量を算出する。これにより、初期状態とほぼ同じ感度レベルでの出力値に補正することができる。
尚、第1の実施形態においては、脱湿・脱臭フィルタを有する第1の流路と脱臭フィルタを有する第2の流路を設けているので、補正係数Rcの算出にあたって標準ガスを準備する必要がない。
従って、本実施形態では、数時間必要な加熱工程によるリフレッシュを行なってキャリブレーションする場合と比較して、はるかに短い時間でキャリブレーションすることができ、時間効率が向上する。
2、102…ガスセンサ
4…演算装置
10a…第1のQCM(検出素子)
10b…第2のQCM(検出素子)
10c…第3のQCM(検出素子)
10d…第4のQCM(検出素子)
10e…第5のQCM(検出素子)
10f…第6のQCM(検出素子)
12…吸着膜
13…振動子
23…検出対象ガス
24…第1の流路
25…第2の流路
26…第3の流路
32…脱湿・脱臭フィルタ(脱湿及び脱臭手段)
33…脱臭フィルタ(脱臭手段)
42…算出部
43…判定部
44…記憶部
Claims (11)
- ガスの吸着により共振周波数変化を生じる検出素子から前記検出素子の劣化状態における湿度変化に伴う共振周波数変化量と、予め取得されている前記検出素子の初期状態における湿度変化に伴う共振周波数変化量とから補正係数を算出し、前記補正係数を用いて劣化状態の前記検出素子の共振周波数変化量を補正する算出部
を具備する演算装置。 - 請求項1に記載の演算装置であって、
前記検出素子の初期状態における湿度変化に伴う共振周波数変化量を記憶する記憶部
を更に具備する演算装置。 - 請求項2に記載の演算装置であって、
前記記憶部は、前記補正係数を記憶する
演算装置。 - 請求項2又は請求項3に記載の演算装置であって、
前記検出素子は、振動子と、前記振動子上に設けられた前記ガスを吸着する吸着膜とを備え、
前記記憶部は、前記吸着膜の種類が互いに異なる複数の検出素子それぞれの初期状態における湿度変化に伴う共振周波数変化量を記憶する
演算装置。 - 請求項1~請求項4のいずれか一項に記載の演算装置であって、
ゼロ点のガスが達した劣化状態の前記検出素子から検出された共振周波数と、予め取得されている前記ゼロ点のガスが達した初期状態の前記検出素子から検出された共振周波数との差に基づいて、前記検出素子の寿命を判定する判定部
を更に具備する演算装置。 - ガスの吸着により共振周波数変化を生じる検出素子の劣化状態における湿度変化に伴う共振周波数変化量を算出し、
劣化状態の前記検出素子の湿度変化に伴う共振周波数変化量と、予め取得されている前記検出素子の初期状態における湿度変化に伴う共振周波数変化量とから補正係数を算出し、
前記補正係数を用いて劣化状態の前記検出素子の共振周波数変化量を補正する
演算方法。 - 請求項6に記載の演算方法であって、
前記検出素子の湿度変化に伴う共振周波数変化量の算出は、ゼロ点のガスと前記セロ点のガスと異なる湿度のガスがそれぞれ達した前記検出素子で検出された共振周波数を基に算出する
演算方法。 - 請求項7に記載の演算方法であって、
前記ゼロ点のガスは、脱湿及び脱臭されたガスである
演算方法。 - 請求項7又は請求項8に記載の演算方法であって、
前記ゼロ点のガスが達した劣化状態の前記検出素子から検出された共振周波数と、予め取得されている前記ゼロ点のガスが達した初期状態の前記検出素子から検出された共振周波数との差に基づいて、前記検出素子の寿命を判定する
演算方法。 - ガスの吸着により共振周波数変化を生じる検出素子を備えるガスセンサと、
前記検出素子の劣化状態における湿度変化に伴う共振周波数変化量と、予め取得されている前記検出素子の初期状態における湿度変化に伴う共振周波数変化量とから補正係数を算出し、前記補正係数を用いて劣化状態の前記検出素子の共振周波数変化量を補正する算出部を備える演算装置と
を具備するガス検出システム。 - 請求項10記載のガス検出システムであって、
前記ガスセンサは、
脱湿及び脱臭手段が配置され、前記脱湿及び脱臭手段を通過した前記検出対象ガスを前記検出素子に導く第1の流路と、
脱臭手段が配置され、前記脱臭手段を通過した前記検出対象ガスを前記検出素子に導く第2の流路と、
前記検出対象ガスを前記検出素子に直接導く第3の流路
を備える
ガス検出システム。
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