JP7210182B2 - 半導体装置、インバータ回路、駆動装置、車両、及び、昇降機 - Google Patents
半導体装置、インバータ回路、駆動装置、車両、及び、昇降機 Download PDFInfo
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Description
第1の実施形態の半導体装置は、第1の方向及び第1の方向に垂直な第2の方向に平行な第1の面と、第1の面に平行な第2の面と、を有する炭化珪素層と、炭化珪素層の中に存在し、第1の面において第1の方向に延伸し、第1の側面と、第2の側面と、第1の側面と第2の側面との間の第1の底面とを有する第1のトレンチと、第1のトレンチの中に位置する第1のゲート電極と、第1のゲート電極と炭化珪素層との間に位置する第1のゲート絶縁層と、炭化珪素層の中に存在し、第1の面において第1の方向に延伸し、第2の側面に対向する第3の側面と、第4の側面と、第3の側面と第4の側面との間の第2の底面とを有する第2のトレンチと、第2のトレンチの中に位置する第2のゲート電極と、第2のゲート電極と炭化珪素層との間に位置する第2のゲート絶縁層と、炭化珪素層の中に位置するn型の第1の炭化珪素領域と、炭化珪素層の中に位置し、第1の炭化珪素領域と第1の面との間に位置し、第1のトレンチと第2のトレンチとの間に位置するp型の第2の炭化珪素領域と、炭化珪素層の中に位置し、第2の炭化珪素領域と第1の面との間に位置するn型の第3の炭化珪素領域と、炭化珪素層の中に位置し、第2の炭化珪素領域と第1の面との間に位置し、第1のトレンチとの間に第3の炭化珪素領域を挟むn型の第4の炭化珪素領域と、炭化珪素層の中に位置し、第1の炭化珪素領域と第1のトレンチとの間に位置し、第1の底面を覆うp型の第5の炭化珪素領域と、炭化珪素層の中に位置し、第1の炭化珪素領域と第2のトレンチとの間に位置し、第2の底面を覆い、第5の炭化珪素領域との間に第1の炭化珪素領域を挟むp型の第6の炭化珪素領域と、炭化珪素層の中に位置し、第5の炭化珪素領域と第2の炭化珪素領域との間に位置するn型の第7の炭化珪素領域と、炭化珪素層の中に位置し、第6の炭化珪素領域と第2の炭化珪素領域との間に位置するn型の第8の炭化珪素領域と、炭化珪素層の中に位置し、第5の炭化珪素領域と第2の炭化珪素領域との間に位置し、第5の炭化珪素領域及び第2の炭化珪素領域に接し、第1の方向に繰り返し配置された複数のp型の第9の炭化珪素領域と、炭化珪素層の中に位置し、第6の炭化珪素領域と第2の炭化珪素領域との間に位置し、第6の炭化珪素領域及び第2の炭化珪素領域に接し、第1の方向に繰り返し配置された複数のp型の第10の炭化珪素領域と、を備え、第9の炭化珪素領域と第10の炭化珪素領域とを結び、第1の面に平行な仮想的な線分は、第2の方向に対して斜行する。
第2の実施形態の半導体装置は、第9の炭化珪素領域と第14の炭化珪素領域とを結び、第1の面に平行な仮想的な線分は、第2の方向に平行であり、かつ、第10の炭化珪素領域と第18の炭化珪素領域とを結び、第1の面に平行な仮想的な線分は、第2の方向に平行である点で、第1の実施形態と異なる。以下、第1の実施形態と重複する内容については、一部記述を省略する。
第3の実施形態の半導体装置は、第7の炭化珪素領域と第8の炭化珪素領域との間に、第1の炭化珪素領域が挟まれる点で、第1の実施形態と異なる。以下、第1の実施形態と重複する内容については、一部記述を省略する。
第4の実施形態の半導体装置は、第9の炭化珪素領域と第2の側面との間に第7の炭化珪素領域が挟まれ、第10の炭化珪素領域と第3の側面との間に第8の炭化珪素領域が挟まれる点で、第1の実施形態と異なる。以下、第1の実施形態と重複する内容については、一部記述を省略する。
第5の実施形態の半導体装置は、第1の方向及び第2の方向に平行な第1の面と、第1の面に平行な第2の面と、を有する炭化珪素層と、炭化珪素層の中に存在し、第1の面において第1の方向に延伸し、第1の側面と、第2の側面と、第1の側面と第2の側面との間の第1の底面とを有する第1のトレンチと、第1のトレンチの中に位置する第1のゲート電極と、第1のゲート電極と炭化珪素層との間に位置する第1のゲート絶縁層と、炭化珪素層の中に存在し、第1の面において第1の方向に延伸し、第2の側面に対向する第3の側面と、第4の側面と、第3の側面と第4の側面との間の第2の底面とを有する第2のトレンチと、第2のトレンチの中に位置する第2のゲート電極と、第2のゲート電極と炭化珪素層との間に位置する第2のゲート絶縁層と、炭化珪素層の中に位置するn型の第1の炭化珪素領域と、炭化珪素層の中に位置し、第1の炭化珪素領域と第1の面との間に位置し、第1のトレンチと第2のトレンチとの間に位置するp型の第2の炭化珪素領域と、炭化珪素層の中に位置し、第2の炭化珪素領域と第1の面との間に位置するn型の第3の炭化珪素領域と、炭化珪素層の中に位置し、第2の炭化珪素領域と第1の面との間に位置し、第1のトレンチとの間に第3の炭化珪素領域を挟むn型の第4の炭化珪素領域と、炭化珪素層の中に位置し、第1の炭化珪素領域と第1のトレンチとの間に位置し、第1の底面を覆うp型の第5の炭化珪素領域と、炭化珪素層の中に位置し、第1の炭化珪素領域と第2のトレンチとの間に位置し、第2の底面を覆い、第5の炭化珪素領域との間に第1の炭化珪素領域を挟むp型の第6の炭化珪素領域と、炭化珪素層の中に位置し、第5の炭化珪素領域と第2の炭化珪素領域との間に位置するn型の第7の炭化珪素領域と、炭化珪素層の中に位置し、第6の炭化珪素領域と第2の炭化珪素領域との間に位置するn型の第8の炭化珪素領域と、炭化珪素層の中に位置し、第5の炭化珪素領域と第2の炭化珪素領域との間に位置し、第5の炭化珪素領域及び第2の炭化珪素領域に接し、第2の側面と第3の側面との間に位置し、第1の方向に繰り返し配置された複数のp型の第9の炭化珪素領域と、炭化珪素層の中に位置し、第6の炭化珪素領域と第2の炭化珪素領域との間に位置し、第6の炭化珪素領域及び第2の炭化珪素領域に接し、第1の方向に繰り返し配置された複数のp型の第10の炭化珪素領域と、を備え、第9の炭化珪素領域と第2の側面との間に第7の炭化珪素領域が挟まれ、第10の炭化珪素領域と第3の側面との間に第8の炭化珪素領域が挟まれる。
第6の実施形態のインバータ回路及び駆動装置は、第1の実施形態の半導体装置を備える駆動装置である。
第7の実施形態の車両は、第1の実施形態の半導体装置を備える車両である。
第8の実施形態の車両は、第1の実施形態の半導体装置を備える車両である。
第9の実施形態の昇降機は、第1の実施形態の半導体装置を備える昇降機である。
12 ソース電極
14 ドレイン電極
15 第1のトレンチ
15a 第1の側面
15b 第2の側面
15c 第1の底面
16 第1のゲート電極
17 第1のゲート絶縁層
25 第2のトレンチ
25a 第3の側面
25b 第4の側面
25c 第2の底面
26 第2のゲート電極
27 第2のゲート絶縁層
16 ゲート電極
18 ゲート絶縁層
28 層間絶縁層
30 ドレイン領域
32 ドリフト領域(第1の炭化珪素領域)
34a 第1のボディ領域(第2の炭化珪素領域)
34b 第2のボディ領域(第11の炭化珪素領域)
34c 第3のボディ領域(第15の炭化珪素領域)
36a 第1のソース領域(第3の炭化珪素領域)
36b 第2のソース領域(第4の炭化珪素領域)
36c 第3のソース領域(第12の炭化珪素領域)
36d 第4のソース領域(第16の炭化珪素領域)
38a 第1の電界緩和領域(第5の炭化珪素領域)
38b 第2の電界緩和領域(第6の炭化珪素領域)
40a 第1の電流分散領域(第7の炭化珪素領域)
40b 第2の電流分散領域(第8の炭化珪素領域)
40c 第3の電流分散領域(第13の炭化珪素領域)
40d 第4の電流分散領域(第17の炭化珪素領域)
42a 第1の接続領域(第9の炭化珪素領域)
42b 第2の接続領域(第10の炭化珪素領域)
42c 第3の接続領域(第14の炭化珪素領域)
42d 第4の接続領域(第18の炭化珪素領域)
44a 第1のコンタクト領域
44b 第2のコンタクト領域
44c 第3のコンタクト領域
100 MOSFET(半導体装置)
150 インバータ回路
200 MOSFET(半導体装置)
300 MOSFET(半導体装置)
400 MOSFET(半導体装置)
500 MOSFET(半導体装置)
1000 駆動装置
1100 車両
1200 車両
1300 昇降機
L1 線分
P1 第1の面
P2 第2の面
Q1 第1のピッチ
Q2 第2のピッチ
Claims (18)
- 第1の方向及び前記第1の方向に垂直な第2の方向に平行な第1の面と、前記第1の面に平行な第2の面と、を有する炭化珪素層と、
前記炭化珪素層の中に存在し、前記第1の面において前記第1の方向に延伸し、第1の側面と、第2の側面と、前記第1の側面と前記第2の側面との間の第1の底面とを有する第1のトレンチと、
前記第1のトレンチの中に位置する第1のゲート電極と、
前記第1のゲート電極と前記炭化珪素層との間に位置する第1のゲート絶縁層と、
前記炭化珪素層の中に存在し、前記第1の面において前記第1の方向に延伸し、前記第2の側面に対向する第3の側面と、第4の側面と、前記第3の側面と前記第4の側面との間の第2の底面とを有する第2のトレンチと、
前記第2のトレンチの中に位置する第2のゲート電極と、
前記第2のゲート電極と前記炭化珪素層との間に位置する第2のゲート絶縁層と、
前記炭化珪素層の中に位置するn型の第1の炭化珪素領域と、
前記炭化珪素層の中に位置し、前記第1の炭化珪素領域と前記第1の面との間に位置し、前記第1のトレンチと前記第2のトレンチとの間に位置するp型の第2の炭化珪素領域と、
前記炭化珪素層の中に位置し、前記第2の炭化珪素領域と前記第1の面との間に位置するn型の第3の炭化珪素領域と、
前記炭化珪素層の中に位置し、前記第2の炭化珪素領域と前記第1の面との間に位置し、前記第1のトレンチとの間に前記第3の炭化珪素領域を挟むn型の第4の炭化珪素領域と、
前記炭化珪素層の中に位置し、前記第1の炭化珪素領域と前記第1のトレンチとの間に位置し、前記第1の底面を覆うp型の第5の炭化珪素領域と、
前記炭化珪素層の中に位置し、前記第1の炭化珪素領域と前記第2のトレンチとの間に位置し、前記第2の底面を覆い、前記第5の炭化珪素領域との間に前記第1の炭化珪素領域を挟むp型の第6の炭化珪素領域と、
前記炭化珪素層の中に位置し、前記第5の炭化珪素領域と前記第2の炭化珪素領域との間に位置するn型の第7の炭化珪素領域と、
前記炭化珪素層の中に位置し、前記第6の炭化珪素領域と前記第2の炭化珪素領域との間に位置するn型の第8の炭化珪素領域と、
前記炭化珪素層の中に位置し、前記第5の炭化珪素領域と前記第2の炭化珪素領域との間に位置し、前記第5の炭化珪素領域及び前記第2の炭化珪素領域に接し、前記第1の方向に繰り返し配置された複数のp型の第9の炭化珪素領域と、
前記炭化珪素層の中に位置し、前記第6の炭化珪素領域と前記第2の炭化珪素領域との間に位置し、前記第6の炭化珪素領域及び前記第2の炭化珪素領域に接し、前記第1の方向に繰り返し配置された複数のp型の第10の炭化珪素領域と、
を備え、
前記第9の炭化珪素領域と前記第10の炭化珪素領域とを結び、前記第1の面に平行な仮想的な線分は、前記第2の方向に対して斜行し、
前記第9の炭化珪素領域と前記第10の炭化珪素領域は、前記第1の方向に一つずつ交互に配置され、
前記第9の炭化珪素領域の前記第2の方向の幅は、前記第1のトレンチと前記第2のトレンチとの間隔の4分の1以上であり、前記第10の炭化珪素領域の前記第2の方向の幅は、前記第1のトレンチと前記第2のトレンチとの間隔の4分の1以上であり、
前記第1のトレンチの前記第1の側面から前記第2のトレンチの前記第3の側面までの距離は6μm以下である半導体装置。 - 前記第9の炭化珪素領域と前記第2の側面との間に前記第7の炭化珪素領域が挟まれ、前記第10の炭化珪素領域と前記第3の側面との間に前記第8の炭化珪素領域が挟まれる請求項1記載の半導体装置。
- 前記第9の炭化珪素領域は前記第2の側面に接し、前記第10の炭化珪素領域は前記第3の側面に接する請求項1記載の半導体装置。
- 前記第9の炭化珪素領域の前記第2の方向の幅は、前記第1のトレンチと前記第2のトレンチとの間隔の3分の1以上であり、前記第10の炭化珪素領域の前記第2の方向の幅は、前記第1のトレンチと前記第2のトレンチとの間隔の3分の1以上である請求項1ないし請求項3いずれか一項記載の半導体装置。
- 前記第7の炭化珪素領域と前記第8の炭化珪素領域は、前記第1のトレンチと前記第2のトレンチとの間で接する請求項1ないし請求項4いずれか一項記載の半導体装置。
- 前記第7の炭化珪素領域のn型不純物濃度、及び、前記第8の炭化珪素領域のn型不純物濃度は、前記第1の炭化珪素領域のn型不純物濃度よりも高い請求項1ないし請求項5いずれか一項記載の半導体装置。
- 前記第9の炭化珪素領域の配置の前記第1の方向の第1のピッチは一定であり、前記第10の炭化珪素領域の配置の前記第1の方向の第2のピッチは一定であり、前記第1のピッチと前記第2のピッチは同一である請求項1ないし請求項6いずれか一項記載の半導体装置。
- 前記第9の炭化珪素領域のp型不純物濃度、及び、前記第10の炭化珪素領域のp型不純物濃度は、前記第2の炭化珪素領域のp型不純物濃度よりも高い請求項1ないし請求項7いずれか一項記載の半導体装置。
- 前記炭化珪素層の中に位置し、前記第1の炭化珪素領域と前記第1の面との間に位置し、前記第2の炭化珪素領域との間に前記第1のトレンチを挟むp型の第11の炭化珪素領域と、
前記炭化珪素層の中に位置し、前記第11の炭化珪素領域と前記第1の面との間に位置するn型の第12の炭化珪素領域と、
前記炭化珪素層の中に位置し、前記第5の炭化珪素領域と前記第11の炭化珪素領域との間に位置するn型の第13の炭化珪素領域と、
前記炭化珪素層の中に位置し、前記第5の炭化珪素領域と前記第11の炭化珪素領域との間に位置し、前記第5の炭化珪素領域及び前記第11の炭化珪素領域に接し、前記第1の方向に繰り返し配置された複数のp型の第14の炭化珪素領域と、を更に備える請求項1ないし請求項8いずれか一項記載の半導体装置。 - 前記第9の炭化珪素領域と前記第14の炭化珪素領域とを結び、前記第1の面に平行な仮想的な線分は、前記第2の方向に対して斜行する請求項9記載の半導体装置。
- 前記第9の炭化珪素領域と前記第14の炭化珪素領域とを結び、前記第1の面に平行な仮想的な線分は、前記第2の方向に平行な請求項9記載の半導体装置。
- 前記炭化珪素層の中に位置し、前記第1の炭化珪素領域と前記第1の面との間に位置し、前記第2の炭化珪素領域との間に前記第2のトレンチを挟むp型の第15の炭化珪素領域と、
前記炭化珪素層の中に位置し、前記第15の炭化珪素領域と前記第1の面との間に位置するn型の第16の炭化珪素領域と、
前記炭化珪素層の中に位置し、前記第6の炭化珪素領域と前記第15の炭化珪素領域との間に位置するn型の第17の炭化珪素領域と、
前記炭化珪素層の中に位置し、前記第6の炭化珪素領域と前記第15の炭化珪素領域との間に位置し、前記第6の炭化珪素領域及び前記第15の炭化珪素領域に接し、前記第1の方向に繰り返し配置された複数のp型の第18の炭化珪素領域と、を更に備える請求項9ないし請求項11いずれか一項記載の半導体装置。 - 前記第10の炭化珪素領域と前記第18の炭化珪素領域とを結び、前記第1の面に平行な仮想的な線分は、前記第2の方向に対して斜行する請求項12記載の半導体装置。
- 前記第10の炭化珪素領域と前記第18の炭化珪素領域とを結び、前記第1の面に平行な仮想的な線分は、前記第2の方向に平行な請求項12記載の半導体装置。
- 請求項1ないし請求項14いずれか一項記載の半導体装置を備えるインバータ回路。
- 請求項1ないし請求項14いずれか一項記載の半導体装置を備える駆動装置。
- 請求項1ないし請求項14いずれか一項記載の半導体装置を備える車両。
- 請求項1ないし請求項14いずれか一項記載の半導体装置を備える昇降機。
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