JP7208098B2 - 光アイソレータ及び光源装置 - Google Patents

Description

本開示は、光アイソレータ及び光アイソレータを搭載した光源装置に関する。

光通信等の分野において、光源から出射したレーザ光の一部が戻り光となって光源に入射すると、光源の損傷、不安定化及び干渉によるノイズ等が発生することがある。このため、一方向の光のみを伝搬させ逆方向の光を伝搬させない光アイソレータが用いられる。光アイソレータとしては、非相反性を有するファラデー回転子を使用するものが知られている（例えば、特許文献１参照。）

特表２０１８－５１３５５６号公報

従来の光アイソレータは、光源から出射した光が通る光導波路中、又は、光導波路と光ファイバ等の光伝送路との間の空間に、偏光子、ファラデー回転子及び半波長板等の各構成要素を設けている。光導波路中に光アイソレータを設ける場合、光導波路を外部の光ファイバ又は光源等と接続するために接続機構が必要となる。光アイソレータは、容易に光ファイバ又は光源と接続でき、より少ない部品で構成できることが好ましい。

本開示の目的は、光伝送路又は光源との接続が容易な光アイソレータ及びこれを用いた光源装置を提供することにある。

本開示の光アイソレータは、基板と、前記基板上に位置する光導波路とを備える。前記光導波路は、第１端部、アレー状に配列された複数の第２端部、及び、前記第１端部と前記複数の第２端部との間に位置する少なくとも１つの分岐部を含む。前記光導波路は、部分的に非相反性を有し、前記第１端部と少なくとも２つの前記第２端部との間に異なる非相反性の移相量を与える。

本開示の光源装置は、光アイソレータと光源とを備える。光アイソレータは、基板、及び、前記基板上に位置する光導波路を備える。前記光導波路は、第１端部、アレー状に配列された複数の第２端部、及び、前記第１端部と前記複数の第２端部との間に位置する分岐部を含む。前記光導波路は、部分的に非相反性を有し、前記第１端部と少なくとも２つの前記第２端部との間に異なる非相反性の移相量を与える。前記光源は、前記光アイソレータの前記第１端部又は前記複数の第２端部に、出射光が入射するように配置される。

本開示の実施形態によれば、光伝送路又は光源との接続が容易な光アイソレータ及びこれを用いた光源装置を提供することができる。

第１実施形態に係る光アイソレータの平面図である。 図１の光アイソレータを第１ポート側から見た図である。 図１の光アイソレータを第２ポート側から見た図である。 図１のＡ－Ａ断面図である。 図１の光アイソレータを含む光源装置の平面図である。 図５の光源及び光アイソレータの第１端部近傍を示す断面図である。 図１の光アイソレータの光伝送路との接続形態の一例を示す平面図である。 図１の光アイソレータの光伝送路との接続形態の他の一例を示す平面図である。 光導波路の第２端部の端面の形状と出射光の強度分布とを示す図である。 光導波路の第２端部の端面の形状が平坦な場合の端面の形状と出射光の強度分布とを示す図である。 第２実施形態に係る光アイソレータの平面図である。 図１１の光アイソレータを伝搬する送信光及び受信光の第２ポートにおける角度に対する強度分布を示す図である。 図１１と異なる非相反性部材の配置を有する光アイソレータの平面図である。 第３実施形態に係る光アイソレータの平面図である。 図１４の光アイソレータの戻り光の光路を示す図である。 第４実施形態に係る光アイソレータの平面図である。 図１６の光アイソレータを第１ポート側から見た図である。 図１６の光アイソレータを第２ポート側から見た図である。 図１６の光アイソレータを、第１ポートを左端且つ第２ポートを右端に見る側面図である。 第５実施形態に係る光アイソレータを第２ポート側から見た図である。 第５実施形態に係る光アイソレータを、第１ポートを左端且つ第２ポートを右端に見る側面図である。 図２１のＢ－Ｂ断面図である。 図２１のＣ－Ｃ線に沿う断面図である。

以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して説明する。以下の説明で用いられる図は模式的な図である。図面上の寸法比率等は現実のものとは一致していない。

（第１実施形態）
図１～図４に示されるように、第１実施形態に係る光アイソレータ１０は、基板１１と基板１１上に位置する光導波路１２を含む。

基板１１は、一方向に長い板状の部材である。以下の説明及び図において、Ｘ軸方方向は、基板１１の表面の長手方向とする。Ｙ軸方向は、基板１１の表面内でＸ軸方向に直交する方向とする。Ｚ軸方向は、基板１１の表面の法線方向とする。図１に示すように、基板１１は平面視において隣り合う２辺がＸ軸方向及びＹ軸方向に沿う長方形であってよい。基板１１の形状はこれに限られない。

基板は種々の材料により構成されうる。例えば、基板１１は、金属の導体、シリコン等の半導体、ガラス、又は樹脂等を含む材料から選択された材料により構成されてよい。

光導波路１２は、基板１１に沿ってＸ軸の負の方向の端に位置する第１端部１３、及びＸ軸の正の方向の端に位置する複数の第２端部１４ａ～１４ｄを含む。以下、複数の第２端部１４ａ～１４ｄは、纏めて第２端部１４と表記される。第２端部１４は、一次元のアレー状に配列されている。図１において、第２端部１４は簡単のために４つのみ図示している。第２端部１４の数は、２以上の任意の数とすることができる。例えば、第２端部１４の数は、２０、３０又は５０等とすることができる。

第１端部１３は、光が入出力される第１ポート１５を構成する。第２端部１４は、光が入出力される第２ポート１６を構成する。光導波路１２は、第１ポート１５及び第２ポート１６の間で概ねＸ軸方向に沿って延在する。本願において光は、可視光の領域に限られず、赤外線から紫外線までの波長範囲の任意の波長の光を含む。第１ポート１５から光導波路１２に入力される光は、第２ポート１６に向けて進む。第２ポート１６から光導波路１２に入力される光は、第１ポート１５に向けて進む。第１ポート１５及び第２ポート１６はそれぞれ、光導波路１２の端面として構成されてよい。

図２～図４に示すように、光導波路１２（図２および図３においてはその第１端部１３及び第２端部１４が示されている）は、延在方向に沿って周囲を第１媒質１７ａ及び第２媒質１７ｂによって覆われている。第１媒質１７ａは基板１１上に形成される。基板１１が誘電体の場合、基板１１が第１媒質１７ａを兼ねてよい。第１媒質１７ａ及び第２媒質１７ｂは、光導波路１２の外周に接している。光導波路１２及び第１媒質１７ａ、及び第２媒質１７ｂは、誘電体である。光導波路１２は、第１媒質１７ａ及び第２媒質１７ｂよりも高い誘電率を有する。第１媒質１７ａ及び第２媒質１７ｂは同じ媒質でよい。第１媒質１７ａ及び第２媒質１７ｂは一体の一つの媒質であってよい。

第１媒質１７ａ及び第２媒質１７ｂは、例えば、石英ガラス（二酸化ケイ素：ＳｉＯ₂）により構成される。光導波路１２は、例えば、シリコン（Ｓｉ）により構成される。シリコン及び石英ガラスの比誘電率はそれぞれ、約１２及び約２である。シリコンは、約１．２μｍ～約６μｍの近赤外光を低損失で伝搬させうる。これにより、第１端部１３又は第２端部１４から入射した光は、大部分が光導波路１２内部を伝搬される。光導波路１２は、シリコンで構成される場合、光通信で使用される１．３μｍ帯又は１．５５μｍ帯の波長を有する赤外光を低損失で伝搬させうる。光導波路１２は、コアと言い換えることができる。第１媒質１７ａ及び第２媒質１７ｂは、クラッドと言い換えることができる。

光導波路１２並びに第１媒質１７ａ及び第２媒質１７ｂの材料は、上記の材料に限られない。第１媒質１７ａ及び第２媒質１７ｂの一部、例えば、第２媒質１７ｂの部分は、空気であってよい。すなわち、石英ガラスの第１媒質１７ａ上に、光導波路１２のみが形成されることも可能である。

光導波路１２は、第１端部１３と複数の第２端部１４との間に、１つ以上の分岐部１８を有する。分岐部１８は、光導波路１２の一部を成す第１端部１３側の１つの線路を、第２端部１４側の２以上の複数の線路に分岐させる。例えば、分岐部１８は、１本の線路を２本の線路に分岐するＹ分岐光導波路を採用しうる。分岐部１８は、光導波路１２の第２端部１４側の複数の線路を、第１端部１３側の一つの線路に結合させる。分岐部１８は、第１端部１３と第２端部１４との間に、多段階に配置されてよい。分岐部１８は、光導波路１２の第１端部１３側の線路から入射した光を、第２端部１４側の複数の線路に略等しい光量で分波させることができる。分岐部１８は、光導波路１２の第２端部１４側の複数の線路から入射した光を、第１端部１３側の線路に合波させることができる。

図１の例では、光導波路１２は、第１分岐部１８ａ、第２分岐部１８ｂ及び第３分岐部１８ｃを有する。第１分岐部１８ａは、第１端部１３と、第２分岐部１８ｂ及び第３分岐部１８ｃとの間に位置する。第２分岐部１８ｂは、第１分岐部１８ａと第２端部１４ａ及び１４ｂとの間に位置する。第３分岐部１８ｃは、第１分岐部１８ａと第２端部１４ｃ及び１４ｄとの間に位置する。分岐部１８の数は３つに限られず、第２端部１４の数に応じて、任意の複数の分岐部１８が設けられる。第１分岐部１８ａ，第２分岐部１８ｂ及び第３分岐部１８ｃは、適宜纏めて分岐部１８と表記される。

図１に図示する分岐部１８において、光導波路１２の第１端部１３側の線路は、第２端部１４側の２つの線路と物理的に連続的に繋がっている。分岐部１８における光導波路１２の第１端部１３側の線路と第２端部１４側の線路とは、公知の光方向性結合器のように、近接して平行となる部分を介して光学的に結合していればよく、物理的に連続的に繋がっていなくともよい。光導波路１２を近接して配置すると、エバネッセント波による第１端部１３側の線路と第２端部側１４側の線路との間での光の乗り移りが生じる。

光導波路１２は、非相反性を有する部分を含む。光導波路１２の非相反性を有する部分は、移相器１９とも呼ばれる。移相器１９は、少なくとも１つの分岐部１８と第２端部１４との間の光導波路１２上の何れかの部分に設けられる。非相反性を有するとは、光導波路１２を伝搬する光が受ける効果が、光の伝搬方向によって異なることを意味する。光の伝搬方向は、第１端部１３から第２端部１４に向かう第１方向と、第２端部１４から第１端部１３に向かう第２方向を含む。移相器１９では、磁気光学効果により、第１方向に伝搬する光と第２方向に伝搬する光とでは、位相の変化する量が異なる非相反移相効果が生じる。位相が変化する量のことを移相量と呼ぶ。移相器１９は、第１端部１３と第２端部１４との間に非相反性の移相量を与える。

移相器１９は、非相反性を有する第１非相反性部材２０ａ及び第２非相反性部材２０ｂを含む。以下において、第１非相反性部材２０ａ及び第２非相反性部材２０ｂを纏めて非相反性部材２０と表記することがある。非相反性部材２０は、光導波路１２の一部に対し面的に接して配置される。本願において、接して配置されることには、任意の手段で接合されることを含む。非相反性部材２０は、例えば、磁性ガーネット、フェライト、鉄、コバルト等の非相反性材料を含んで構成されてよい。非相反性部材２０は、光導波路１２の接している部分を伝搬する光に対して非相反移相効果を生じる。

移相器１９は、第１分岐部１８ａと第２分岐部１８ｂとの間の第１非相反線路２１ａ、及び、第１分岐部１８ａと第３分岐部１８ｃとの間の第２非相反線路２１ｂを含む。第１非相反線路２１ａ及び第２非相反線路２１ｂは、光導波路１２の一部である。第１非相線路２１ａ及び第２非相反線路２１ｂには、それぞれ上述の第１非相反性部材２０ａ及び第２非相反性部材２０ｂが接して配置されている。光導波路１２の一側面に第１非相反性部材２０ａ及び第２非相反性部材２０ｂが接している部分を、それぞれ第１非相反線路２１ａ及び第２非相反線路２１ｂと呼ぶ。以下において、第１非相反線路２１ａ及び第２非相反線路２１ｂを纏めて非相反線路２１と表記する場合がある。非相反線路２１は、光導波路１２の非相反性を有する部分である。

図４の断面図において非相反性部材２０の面積は、それぞれ、対応する非相反線路２１の面積の半分以下である。すなわち、非相反性部材２０が占める体積は、非相反線路２１の体積の半分以下である。

光導波路１２は、光をシングルモードで伝搬するように構成される。光導波路１２に接して配置される非相反性部材２０の体積を大きくすると、光導波路１２中に不所望なモードが発生し、光導波路１２の伝送特性を劣化させることがある。非相反性部材２０は、光導波路１２を伝搬する光のモードに影響を与えないように小さい方が好ましい。非相反性部材２０が占める体積を、非相反線路２１の体積の半分以下とすることにより、伝送特性の劣化が低減または抑制される。

第１非相反性部材２０ａは、第１分岐部１８ａと第２分岐部１８ｂとの間の光導波路１２の部分（すなわち、第１非相反線路２１ａ）のＹ軸方向の正側の側面に接して配置することができる。第２非相反性部材２０ｂは、第１分岐部１８ａと第３分岐部１８ｃとの間の光導波路１２の部分（すなわち、第２非相反線路２１ｂ）のＹ軸方向の負側の側面に接して配置することができる。

非相反性部材２０の磁化方向、又は、非相反性部材２０に非相反性を生じせしめる外部磁場の方向と、光導波路１２へ入射する入射光の偏光方向とは、互いに略直交するように構成される。

具体的には、光導波路１２へ入射する入射光の偏光方向は、基板１１の表面（基板面）に対して略平行（すなわち、Ｙ軸方向）とする。この場合、図４に示すように、Ｚ軸方向の成分を有する外部磁場を印加することにより、第１非相反性部材２０ａと第２非相反性部材２０ｂとは、光導波路１２に対して異なる非相反位相効果を生じる。言い換えれば、第１非相反線路２１ａと第２非相反線路２１ｂとは、異なる非相反性の移相量を有する。外部磁場の大きさが一定のとき、略Ｚ軸方向の外部磁場を印加することにより、非相反性の移相量は最も大きくなる。

第１非相反性部材２０ａ及び第２非相反性部材２０ｂが強磁性体の場合、第１非相反線路２１ａ及び第２非相反線路２１ｂは、外部磁場を加えなくとも非相反移相効果を有する。光導波路１２へ入射する光の偏向方向がＹ軸方向の場合、第１非相反性部材２０ａ及び第２非相反性部材２０ｂは、磁化方向をＺ軸方向の成分を有するように配置される。好ましくは、第１非相反性部材２０ａ及び第２非相反性部材２０ｂは、磁化方向を略Ｚ軸方向となるように配置される。

一例として、第１非相反線路２１ａを第１方向に伝搬する光と第２方向に伝搬する光との間で、＋９０°の移相量の差が生じるものとする。また、第２非相反線路２１ｂを第１方向に伝搬する光と第２方向に伝搬する光との間で、－９０°の移相量の差が生じるものとする。

第１端部１３から光導波路１２に入射した光は、第１分岐部１８ａで分波される。分波された光は、それぞれ、第１非相反線路２１ａ及び第２非相反線路２１ｂを伝搬する。第１非相反線路２１ａを伝搬した光は、第２分岐部１８ｂで分波され、第２端部１４ａ及び１４ｂから出力される。第２非相反線路２１ｂを伝搬した光は、第３分岐部１８ｃで分波され、第２端部１４ｃ及び１４ｄから出力される。第１端部１３から入射し、それぞれの第２端部１４から出射する光は、第１端部１３から各第２端部１４に至る光導波路１２の長さを調整すること等により、同位相とすることができる。この場合、複数の第２端部１４から出射される光は、フェーズドアレーアンテナと類似の原理により、位相の揃う方向であるＸ軸方向の狭い角度範囲に指向性を有する光ビームとして出射される。

一方、第２端部１４ａ及び１４ｂから入射した光は、第２分岐部１８ｂで合波され、第１非相反線路２１ａを伝搬する。第２端部１４ｃ及び１４ｄから入射した光は、第３分岐部１８ｃで合波され、第２非相反線路２１ｂを伝搬する。第１非相反線路２１ａ及び第２非相反線路２１ｂを伝搬した光は、第１分岐部１８ａで合波され、第１端部１３から出力される。このとき、第１非相反線路２１ａと第２非相反線路２１ｂとが有する非相反性により、第１非相反線路２１ａを伝搬した光と第２非相反線路２１ｂを伝搬した光との間には、１８０°の位相差が生じうる。このため、第２端部１４に対してＸ軸の正の方向から負の方向に向かって入射し、光アイソレータ１０を第２方向に伝搬し第１端部１３から出射する光の強度は、複数の第２端部１４から入射した光の強度の合計よりもはるかに弱くなる。すなわち、第２端部１４に対しＸ軸の負の方向に沿って入射しようとする光と、光導波路１２との結合はし難くなる。

従って、光アイソレータ１０は、第１方向に進む光を伝搬し易く、第２方向に進む光を伝搬し難い。

図１～図４に示した例は、簡単のため、第２端部１４を４つとし、２つの光導波路１２の部分が非相反性を有するものとした。しかし、第１端部１３との間で非相反性の移相量の異なる多数の第２端部１４を有することによって、第２方向へ進む光が第２端部１４で光導波路１２に更に結合し難くなる。一方、第１端部１３からそれぞれの第２端部１４に伝搬する光の移相量を揃えることにより、光アイソレータ１０を第１方向に伝搬して第２端部１４から出射する光の指向性が更に高まる。

第１ポート１５は、光の入射側のポートとすることができる。光アイソレータ１０は、光を入力する構成と組み合わされて使用されうる。光アイソレータ１０と、光を入力する構成とを組み合わせて光源装置３０を構成することができる。図５及び図６に示されるように、光源装置３０は、光アイソレータ１０と、光源３１と、光源３１に電力を供給する電源３２と、レンズ３３とを含む。光源３１は、例えば、ＬＤ（Laser Diode）又はＶＣＳＥＬ（Vertical Cavity Surface Emitting LASER）等の半導体レーザを用いることができる。

光源３１は、レンズ３３を介して光導波路１２の第１端部１３に光学的に結合される。光源３１、レンズ３３、及び、光導波路１２の第１端部１３は、位置ずれを生じないように相互の位置関係が固定されてよい。光源３１及びレンズ３３は、光導波路１２及び媒質１７と共に、基板１１の上に一体として集積されてよい。光源３１は、偏光方向がＹ軸方向となるような直線偏光の光を、第１ポート１５に入力してよい。光源装置３０は、レンズ３３を有しなくてもよい。光源装置３０は、レンズ３３を有しない場合、光源３１から出射した光を第１端部１３に直接入力してよい。

光源３１から光導波路１２の第１端部１３への光の入力方法は、光源３１の光を直接又はレンズ３３を介して入力する方法に限られない。光源３１は、光ファイバを介して第１端部１３に結合してよい。光ファイバを伝搬する光を第１端部１３に入力する方法は、レンズ等を介して自由空間を接続する方法、光ファイバの出射面と第１端部１３とを直接突き合わせる方法、又は、接続導波路を用いる方法等、種々の方法を含んでよい。

光源装置３０は、光源３１と光アイソレータ１０とを備えることによって、光源３１から射出される光を、光アイソレータ１０を通して第１方向に向けて伝搬させる。一方、光源装置３０は、光アイソレータ１０によって、第２方向に戻る光を低減又は抑制して、光源３１が戻り光の影響を受けにくくする。

図７に示すように、光アイソレータ１０の第２端部１４を含む第２ポート１６は、光伝送路４０Ａと光学的に結合される。光伝送路４０Ａは、光を伝送する線路である。具体的には、光伝送路４０Ａは、コア４１及びクラッド４２を有する光ファイバを用いることができる。光アイソレータ１０の第２ポート１６と、光伝送路４０Ａのコア４１とは、空間を介してＸ軸方向に離れて対向する。第２ポート１６を出射してＸ軸方向に進む光は、コア４１と高い結合効率で結合する。図７の光伝送路４０Ａのコア径は、光導波路１２の断面の寸法よりも大きい。図７の光伝送路４０Ａのコア径は、例えば約５０μｍとすることができる。光伝送路４０Ａは、光アイソレータ１０から出射した光を、マルチモードで伝送することができる。

他の実施形態において、図８に示すように、光アイソレータ１０の第２ポート１６は、レンズ４３を介して光伝送路４０Ｂのコア４１に光学的に結合されてよい。光アイソレータ１０の各第２端部１４から出射した光は、空間に配置されたレンズ４３によりシングルモード光ファイバである光伝送路４０Ｂのコア４１の端面に集光され、光伝送路４０Ｂに入射してよい。この場合、光伝送路４０Ｂのコア径は約１０μｍ程度とすることができる。

光導波路１２の各第２端部１４の端部は、光導波路１２の長手方向（すなわち、Ｘ軸方向）に先細の形状の端面を有することができる。図９は、光導波路１２の第２端部１４の端面の形状（図９下側）と出射光の径方向の強度分布（図９上側）の一例を示す。第２端部１４の端面は、略錐状の側面の形状を有する。他の実施形態において、第２端部１４の端面は、Ｘ軸方向に凸の半球面状の形状を有してよい。光導波路１２の第２端部１４の端面は、Ｘ軸方向に伝搬する光の波長よりも長く、Ｘ軸の正方向に徐々に先細となる形状とすることができる。光導波路１２の第２端部１４の端面を、光導波路１２の長手方向に先細の形状とすることによって、個々の第２端部１４から出射する光の強度が強くなる。

図１０は、比較のために、光導波路１２の第２端部１４の端面の形状が平坦な場合の端面の形状（図１０下側）と出射光の強度分布（図１０上側）の一例を示す。この場合、光導波路１２を伝搬してきたシングルモード光は、第２端部１４の平坦な端面で、図９の先細の端面を有する第２端部１４を用いた場合よりも多くの部分が反射される。このため、図１０の平坦な端面を有する第２端部１４から出射する出射光の強度は、図９の先細の形状の端面を有する場合の第２端部１４から出射する出射光の強度と比較して弱くなる。

図７及び図８の何れの場合も、光伝送路４０Ａ及び４０Ｂは、第２端部１４からＸ軸方向に指向性を有して進行する光を入射させる。光アイソレータ１０を第２ポート１６から出射する光は、第２端部１４で出射光の位相が揃っていることによって、Ｘ軸方向に高い指向性を有する。さらに、光アイソレータ１０を第２ポート１６から出射する光は、第２端部１４の端面を先細の形状とすることによって、さらに強度が強くなる。これによって、光アイソレータ１０を第２ポート１６から出射する光は、光伝送路４０Ａ，４０Ｂに対して高い結合効率で結合することができる。一方、光伝送路４０Ａ，４０Ｂ側から光アイソレータ１０の第２ポート１６に入射しようとする光に対しては、光導波路１２の有する非相反性によって、各第２端部１４から第１端部１３へ伝搬する光の移相量が異なる。このため、第２ポート１６に入射する戻り光は、第１端部１３において同位相となる条件が崩れるので、光アイソレータ１０の光導波路１２に結合し難くなる。

以上説明したように、光アイソレータ１０は、基板１１上に光導波路１２を備え、非相反性を有する非相反性部材２０が光導波路１２に接して配置されることにより、第１端部１３と複数の第２端部１４との間に異なる非相反性の移相量を与える。これによって、光アイソレータ１０は、第１方向の光を伝搬させ、第２方向の光の伝搬を低減又は抑制する光アイソレータの機能を有することができる。

また、光アイソレータ１０は、第２ポート１６から出射する光の指向性が高いので光伝送路４０との接続が容易である。このため、光導波路１２内部又は空間内に独立した光アイソレータを構成する場合に比べて、光アイソレータ１０は、少ない部品で光伝送路４０と接続することができる。

さらに、本実施形態に係る光アイソレータ１０によれば、第２ポート１６と光伝送路４０との間を接続するビームの角度をＸ軸方向の狭い角度範囲とすることによって、非相反性の移相量が小さくてもアイソレータとして機能することができる。言い換えると、光アイソレータ１０は、各第２端部１４に入射する第２方向の光の受ける非相反性の移相量の差が小さくとも、各第２端部１４から入射した光の位相が、第１端部１３で同位相となる条件を崩すことにより、アイソレータとしての機能が得られる。

具体的には、上述の説明においては、光が第２方向に伝搬するとき、第１非相反線路２１ａと第２非相反線路２１ｂとが有する非相反性により、第１非相反線路２１ａと第２非相反線路２１ｂとを伝搬した光には、１８０°の位相差が生じるものとした。しかし、この位相差は、１８０°ではない値、例えば、１２０°又は９０°等になるように設定されてよい。そのような場合でも、第２方向に伝搬して第１端部１３から出射される光は、大幅に減少する。また、このような場合、光アイソレータ１０の第２ポート１６は、移相器１９により生じる位相差及び複数の第２端部１４の配置等に依存して、Ｘ軸の負の方向よりもＸＹ平面内の角度方向に広がった受信強度分布を有する。従って、第２ポート１６にＸ軸の負の方向に入射しようとする光に対して、光アイソレータ１０は、低減又は抑制する効果を有する。

非相反性の移相量を小さくできるので、本実施形態に係る光アイソレータ１０は、非相反性部材２０の光導波路１２と接する部分の長さを比較的短くすることができる。これによって、非相反性部材２０の長さに起因する光導波路１２の損失を低減することが可能になる。

また、本実施形態に係る光源装置３０は、光アイソレータ１０を有するので、光源３１から出射した光の戻り光が、光源３１に入射して光源３１を損傷すること、光源３１を不安定化させること、又は、ノイズ等を発生させることを防止することができる。

第１実施形態では、２つの光導波路１２の部分に対して、それぞれ、第１非相反性部材２０ａ及び第２非相反性部材２０ｂを接して配置して、２つの非相反性を有する部分である第１非相反線路２１ａ及び第２非相反線路２１ｂとした。しかし、第１非相反線路２１ａ及び第２非相反線路２１ｂの一方を設けなくても、光を第１方向に伝搬する場合と第２方向に伝搬する場合との間で、移相量の関係に変化が生じるので、本実施形態の効果を得ることができる。

（第２実施形態）
図１１を参照して、第２実施形態に係る光アイソレータ５０について説明する。図１１は、光アイソレータ５０の平面図である。光アイソレータ５０は、第１実施形態の光アイソレータ１０と類似しているので、光アイソレータ１０の構成要素と同一又は類似の構成要素には同一の符号を付して、適宜説明を省略する。

光アイソレータ５０の光導波路１２の形状は、第１実施形態の光導波路１２の形状と類似する。光アイソレータ５０では、第１実施形態とは異なり、光導波路１２の第１分岐部１８ａと第２分岐部１８ｂ及び第３分岐部１８ｃとの間には、移相器１９が設けられていない。代わりに、光導波路１２の第２分岐部１８ｂ及び第３分岐部１８ｃと、それぞれの第２端部１４ａ～１４ｄとの間の部分が、非相反性を有する移相器５１となっている。移相器５１は、第１端部１３と、それぞれの第２端部１４との間に互いに異なる非相反性の移相量を与える。

移相器５１は、非相反性を有する非相反性部材５２ａ～５２ｄを含む。以下において、非相反性部材５２ａ～５２ｄは、纏めて非相反性部材５２と表記される場合がある。非相反性部材５２は、光導波路１２の一部に対し面的に接して配置される。非相反性部材５２は、光導波路１２を伝搬する光に対して非相反移相効果を生じる。非相反性部材５２ａ～５２ｄは、それぞれ、第２端部１４ａ～１４ｄに繋がる光導波路１２の部分に接している。非相反性部材５２ａ～５２ｄが接している光導波路１２の部分を、それぞれ、非相反線路５３ａ～５３ｄとする。非相反線路５３ａ～５３ｄは、纏めて非相反線路５３と表記される場合がある。

非相反性部材５２ａ，５２ｂは、非相反線路５３ａ，５３ｂのＹ軸方向の正側の側面に接する。非相反性部材５２ｃ，５２ｄは、非相反線路５３ｃ，５３ｄのＹ軸方向の負側の側面に接する。非相反線路５３ａ，５３ｂと、非相反線路５３ｃ，５３ｄとは、接合される非相反性部材５２の側面の位置が異なることによって反対の符号の非相反性の移相量を生じる。

非相反性部材５２ａと非相反性部材５２ｂとは、Ｘ軸方向の長さが異なることによって、異なる非相反性を生じる。同じ磁場を印加した場合、非相反性部材５２ａの方が非相反性部材５２ｂよりも大きな非相反性の移相量を生じる。非相反性部材５２ｃと非相反性部材５２ｄとは、Ｘ軸方向の長さが異なることによって、異なる非相反性を生じる。同じ磁場を印加した場合、非相反性部材５２ｄの方が非相反性部材５２ｃよりも大きな非相反性の移相量を生じる。非相反性部材５２ａと非相反性部材５２ｄとの長さは、等しくすることができる。非相反性部材５２ｂと非相反性部材５２ｃとの長さは、等しくすることができる。

図１１は、第２端部１４が４つの場合の簡略化した例である。第２端部１４の数はこれよりも多い数、例えば、２０、３０又は５０等とすることができる。第２端部１４は、所定のピッチで等間隔に配置される。全ての第２端部１４は、異なる非相反性の移相量を有する非相反線路５３に接続される。非相反線路５３による非相反性の移相量は、隣り合う第２端部１４ごとに規則的に異なる量とすることができる。

第１端部１３から入力され、光導波路１２を第１方向に伝搬し、それぞれの第２端部１４から出射する光は、第１端部１３から各第２端部１４に至る光導波路１２の長さを調整すること等により、同じ移相量とすることができる。このため、光アイソレータ５０の第１端部１３からＸ軸方向に入射した光Ｌ₁は、それぞれの第２端部１４から同じ位相で出射する。光アイソレータ５０の第２ポート１６から出射する光は、Ｘ軸方向に狭い角度範囲に指向性を有する光Ｌ₂となる。

それぞれの非相反性部材５２の位置及び長さは、それぞれの第２端部１４から入射して光導波路を第２方向に伝搬し、第１端部１３から出射する光が、それぞれ異なる所定の位相差を有するように設定される。例えば、２０個の第２端部１４がＹ軸方向に等間隔で配列された場合、それぞれの第２端部１４から第１端部１３に至る光導波路１２の移相量を、１０°ずつ異ならせることができる。それぞれの第２端部１４が、隣り合う第２端部１４との間で異なる非相反性の移相量を有する場合、第１端部１３から出射するとき同位相となる第２端部１４への入射光の波面は、光導波路１２の延在方向（すなわち、Ｘ軸方向）に垂直な方向から傾く。このため、第２ポート１６は、第２ポート１６に対してＸ軸方向から傾いた所定の方向から入射する光Ｌ₃に対して、結合効率が高くなる。一方、光Ｌ₃の入射する所定の方向と異なる方向から入射する光は、第２ポート１６から光アイソレータ１０に入射し難くなる。

図１２の実線は、第１ポート１５に入射し、光アイソレータ５０を第１方向に伝搬して、第２ポート１６から外部の空間へ送信される送信光の強度の、第２ポート１６における角度分布を示す。図１２の破線は、外部の空間から第２ポート１６に入射し、光アイソレータ５０を第２方向に伝搬して、第１ポート１５から出力される受信光の強度の、第２ポート１６における入射角度に対する依存性を示す。図１２において、横軸はＸ軸及びＹ軸が形成するＸＹ平面における、Ｙ軸方向に対する角度を示している。実線及び破線は、何れもシミュレーションにより求めた結果を示している。

シミュレーションの対象とする光アイソレータ５０は、７５０ｎｍのピッチでＸ軸方向に一次元に配列された２４個の第２端部１４を有すると仮定した。また、第１端部１３から第２端部１４へ第１方向に伝搬する光に対しては、位相差は生じないものとした。逆に第２端部１４から第１端部１３へ第２方向に伝搬する光は、隣り合う第２端部から入射する光毎に１０°の位相差が生じるものとした。さらに、光アイソレータ５０を伝搬される光の波長は、１５００ｎｍとした。

図１２によれば、送信光の強度は、角度θが９０°（すなわち、Ｘ軸方向）のとき最も強い。送信光の規格化強度は、角度θが９０°のときの強度を０ｄＢとするｄＢ単位で表示している。また、受信光の強度は、第２ポート１６に入射する光線の角度θが１００°（すなわち、Ｘ軸方向から１０°ずれた角度）のとき最も強い。受信光の規格化強度は、角度θが１００°のときの強度を０ｄＢとするｄＢ単位で表示している。

図１２から分かるように、光アイソレータ５０に第１ポート１５から入射し、第２ポート１６から出射する光は、角度９０°（Ｘ軸方向）近傍の狭い範囲に強い指向性を有する。これに対して、光アイソレータ５０に第２ポート１６から入射する光は、角度１００°近傍の狭い範囲から入射する場合に、最も入射し易い。光アイソレータ５０に対して、角度９０°（Ｘ軸方向）から入射する光は、第１ポート１５における出射光の強度が、角度１００°から入射する光の第１ポート１５における出射光の強度に対して２５ｄＢ以上小さい。これによって、光アイソレータ５０は、図１１の光Ｌ₂の反対方向に進む戻り光を僅かにしか伝搬させない。例えば、第１実施形態の図７及び図８に示したように、第２ポート１６が空間を介して光伝送路４０Ａ，４０Ｂと接続されている場合、戻り光は出射光と略反対向きの光路をたどり、第２ポート１６にＸ軸の負の方向に入射する。このような戻り光は、第２ポート１６から光アイソレータ５０に僅かしか入射することができない。

以上説明したように、本実施形態に係る光アイソレータ５０は、第１実施形態と類似して第１の方向の光を伝搬させ、第２の方向の光の伝搬を低減または抑制する光アイソレータの機能を実現することができる。また、光アイソレータ５０は、第２端部１４を所定のピッチで配列し、第１端部１３とそれぞれの第２端部１４との間ごとに規則的に異なる移相量を与えるように構成されている。これにより、外部から第２ポート１６に入射することのできる光の方向は、第２ポート１６から出射する光の方向とは異なる狭い方向に限定される。その結果、第２ポート１６から出射した光の戻り光が、光アイソレータ５０に入射し伝搬することを、第２ポート１６の部分でより確実に低減または抑制することができる。

図１１では、非相反性部材５２ａ，５２ｂと非相反性部材５２ｃ，５２ｄとは、光導波路１２の一部である非相反線路５３のＹ軸方向の異なる側に配置していた。図１３に示す光アイソレータ６０のように、移相器６１は、大きさの異なる非相反性部材６２ａ～６２ｃを、光導波路１２の一部である非相反線路６３ａ～６３ｃの一方の側のみに配置して構成することができる。非相反性部材６２ａ～６２ｃは、隣接する第２端部１４ａ～１４ｃの間で規則的に異なる非相反性の移相量を与えるように構成される。図１３に図示する例では、第１端部１３と第２端部１４ｄとの間には、非相反性を有する部分を設けていない。このような構成によっても、複数の第２端部１４から第１端部１３に第２方向に伝搬した光が、異なる位相差を有するようにすることができる。これによって、図１１の光アイソレータ５０と類似の作用、効果を有することができる。

（第３実施形態）
第１実施形態及び第２実施形態の光アイソレータ１０，５０及び６０は、１つの第１端部１３から入射して複数の第２端部１４から出射する第１方向の光を伝搬させ、これと逆方向の第２方向の光を伝搬させないように構成された。しかし、光アイソレータは、第２方向の光を伝搬させ、第１方向の光を伝搬させないように構成することも可能である。このような光アイソレータ７０を用いた光源装置７１について、図１４及び図１５を参照して説明する。

図１４に示すように、光源装置７１は、光アイソレータ７０、光アイソレータ７０に入射させる光を射出する光源７２、光源７２に電力を供給する電源７３、光源７２からの光をコリメートして第２ポート１６に入射させる少なくとも１つのレンズ７４を含む。光源７２は、第１実施形態の光源装置３０の光源３１と類似の半導体レーザを用いることができる。光源７２からの光が平行光線の場合、レンズ７４は無くてもよい。また、光源７２からの光のビーム径を調整するため、複数のレンズ７４が組み合わせて使用されてよい。第１実施形態の光源装置３０と類似に、光源７２及びレンズ７４は、光アイソレータ７０の基板１１上に集積されてよい。光源７２、電源７３及びレンズ７４は、光アイソレータ７０とは分離可能な構成要素とすることもできる。

光アイソレータ７０は、第２実施に係る光アイソレータ５０，６０と類似して、第１端部１３とそれぞれの第２端部１４との間ごとに規則的に異なる非相反性の移相量を与えるように構成される。図１４，１５においては光アイソレータ７０の内部の構造は記載を省略している。第２実施形態の光アイソレータ５０，６０とは異なり、光アイソレータ７０の第１端部１３と各第２端部１４との間の光導波路１２の長さは、それぞれの第２端部１４から入力された同位相の光が、第１端部１３から同位相の光として出射するように調整される。これにより、光源７２から出射されコリメートされた光は、光アイソレータ７０の第２ポート１６に容易に入射する。すなわち、光源７２と光アイソレータ７０との接続が容易である。光源７２と光アイソレータ７０とは、結合効率が高くなるように構成しうる。

図１４は、光源装置７１の構成とともに、光源７２から出射した光が、第２ポート１６から光アイソレータ７０に入射するときの光線を破線により示している。第２ポート１６の複数の第２端部１４に対してＸ軸方向に入射した光は、光アイソレータ７０内で光導波路１２を通り結合され、第１ポート１５の第１端部１３からＸ軸方向に進行する光Ｌ₄として出射される。

図１５は、光源装置７１の構成とともに、光源装置７１に対する戻り光Ｌ₅が第１ポート１５の第１端部１３に入射した場合の光線を破線により示している。戻り光Ｌ₅は、第１端部１３を出射した光Ｌ₄の進行方向とは逆方向である、Ｘ軸の負の方向に第１端部１３に入射する。この戻り光Ｌ５は、光アイソレータ７０の内部で光導波路１２を通り複数に分波され、複数の第２端部１４から出射する。それぞれの第２端部１４から出射する光は、非相反性により位相が規則的に異なっている。例えば、隣り合う第２端部１４毎に出射される光は、位相が１０°ずつ異なる。これにより、第２端部１４から出射する複数の光は、波面の法線方向がＸ軸の負の方向から傾いた光となって出射される。従って、戻り光は、第２端部１４からＸ軸の負の方向に対して傾いた方向に進行し、光源７２に入射しない。これによって、光源７２から出射した光の戻り光が、光源７２に入射して光源７２を損傷し、不安定化し、又は、干渉によるノイズ等を発生させることを防止することができる。

（第４実施形態）
図１６～図１９を参照して、第４実施形態に係る光アイソレータ８０について説明する。図１６は、光アイソレータ８０の平面図である。図１７は、光アイソレータ８０を第１ポート１５側から見た図である。図１８は、光アイソレータ８０を第２ポート１６側から見た図である。図１９は、光アイソレータ８０の側面図である。光アイソレータ８０は、第１実施形態の光アイソレータ１０と部分的に類似しているので、光アイソレータ１０の構成要素と同一又は類似の構成要素には同一の符号を付して、適宜説明を省略する。

光アイソレータ８０の光導波路１２は、ＸＹ平面内でのＹ軸方向の分岐に加え、Ｚ軸方向にも分岐している。光導波路１２は、非相反性部材２０ａ～２０ｄと接する部分以外の任意の位置でＺ軸方向に分岐してよい。例えば、図１６及び図１９に示すように、光導波路１２は、第１分岐部１８ａでＹ軸方向及びＺ軸方向それぞれ２つずつ分岐し合計４つに分岐してよい。第１分岐部１８ａで４つに分岐した光導波路１２は、それぞれ第２～第５分岐部１８ｂ～１８ｅでＹ軸方向に２つずつ分岐する。その結果、光アイソレータ８０のＸ軸の正の方向の端部では、図１８に示すように、光導波路１２の８つの第２端部１４が２層に配列された２次元アレー状に配列される。また、第１分岐部１８ａと、第２～第５分岐部１８ｂ～１８ｅとの間には、それぞれ非相反性部材２０ａ～２０ｄが接して配置される。

図１６～図１９に示す光アイソレータ８０の構成は例示に過ぎない。光アイソレータ８０の光導波路１２は、光の伝搬する方向であるＸ軸方向に直交するＹ軸方向及びＺ軸方向に、任意の位置に配置した複数の分岐部１８により複数の光導波路１２に分岐してよい。第２端部１４は、Ｚ軸方向に２層に限らず３層以上で配列されてよい。第２端部１４の数は８に限らず、任意の数とすることができる。

以上のような構成によって、光アイソレータ８０の第２ポート１６には、第２端部１４が２次元に配列される。このため、光アイソレータ８０は、第２ポート１６において単位面積あたりにより多くの第２端部１４を配置することが可能になる。例えば、光アイソレータ８０では、第２端部１４をＹ軸方向にｍ個、Ｚ軸方向にｎ個（ｍ，ｎは２以上の任意の整数）アレー状に配列することができる。これは、第１実施形態の光アイソレータ１０において、同じ面積の領域に第２端部１４をＹ軸方向にｍ個のみ配列した場合に比べて、ｎ倍の密度となる。従って、図７と類似して、光アイソレータ８０の第２ポート１６からの出射光を光伝送路４０Ａに入射させる場合、同じコア径に対してより多くの光を入射させることができる。また、図８と類似して、光アイソレータ８０の第２ポート１６からの出射光を、光伝送路４０Ｂのコア４１にレンズ４３を介して結合させる場合、同数の第２端部１４に対してレンズ４３の径を小さくすることができる。さらに、第３実施形態のように、光アイソレータ８０の第２ポート１６を入射側とし第１ポート１５を出射側とするとき、第２ポート１６の第２端部１４の密度が高いので、第２ポート１６における光の損失を低減することが可能になる。

（第５実施形態）
図２０～図２３を参照して、第５実施形態に係る光アイソレータ９０について説明する。各図において、第４実施形態の構成要素と同一又は類似の構成要素には、同じ参照符号が付されている。

図１８に示した第４実施形態において、複数の第２端部１４は、Ｘ軸方向に見たときＹ軸方向及びＺ軸方向に格子状に並んで配列されていた。第５実施形態では、Ｚ軸方向の正側にＹ軸方向に並んで配列された第２端部１４の配列と、Ｚ軸方向の負側にＹ軸方向に並んで配列された第２端部１４の配列とを、Ｙ軸方向にずらして配置する。すなわち、第２端部１４は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の互いに直交する２次元方向の格子配置から少なくとも一方向においてずらして配置される。図２０は、第５実施形態における、Ｘ軸方向の正側から見た第２端部１４の配列の一例を示している。第２端部１４を、このように配置することによって、上下の第２端部間での干渉の発生を低減することができる。

図２１に示すように、本実施形態は光導波路１２として、第１光導波路１２ａ及び第２光導波路１２ｂを有することができる。第１光導波路１２ａは、第１端部１３を有する。第２光導波路１２ｂは、光アイソレータ９０の第１端部１３側で、第１光導波路１２ａと方向性結合器９１により結合される。方向性結合器９１は、分岐部１８の一つを構成する。図２２及び図２３に示すように、第１光導波路１２ａ及び第２光導波路１２ｂは、それぞれ、方向性結合器９１と４つの第２端部１４との間で２回分岐する。これにより、光アイソレータ９０のＸ軸方向の正側の端部では、８つの第２端部１４がＺ軸方向に２層に配列される。Ｚ軸方向の正側に配列される複数の第２端部１４と、Ｚ軸方向の負側に配列される複数の第２端部１４とをずらして配置するため、図２２及び図２３に示すように、第１光導波路１２ａと第２光導波路１２ｂとの形状は異なっている。

第１光導波路１２ａ及び第２光導波路１２ｂのそれぞれの第２端部１４に繋がる部分は、非相反性を有する移相器１９となっている。移相器１９は、非相反性を有する複数の非相反性部材２０を含む。それぞれの非相反性部材２０は、第１光導波路１２ａまたは第２光導波路１２ｂに接して配置される。複数の非相反性部材２０は、それぞれ異なる移相量を与えるため、異なる配置、及び、異なるＸ方向の長さを有する。非相反性部材２０の配置及びＸ方向の長さは、それぞれの対応する第２端部１４の位置に応じて、狙った移相量を与えるように決定される。

本実施形態によれば、第４実施形態の光アイソレータ８０と同様の効果が得られることに加え、複数の第２端部１４間での干渉の発生を低減することができる。なお、第２端部１４は、Ｚ軸方向に２層に限られず、３層以上配置してよい。

本開示に係る実施形態について、諸図面及び実施例に基づき説明してきたが、当業者であれば本開示に基づき種々の変形又は修正を行うことが容易であることに注意されたい。従って、これらの変形又は修正は本開示の範囲に含まれることに留意されたい。本開示において、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は、説明の便宜上設けられたものであり、互いに入れ替えられてよい。

１０ 光アイソレータ
１１ 基板
１２ 光導波路
１３ 第１端部
１４，１４ａ，１４ｂ，１４ｃ 第２端部
１５ 第１ポート
１６ 第２ポート
１７，１７ａ，１７ｂ 媒質
１８ 分岐部
１９ 移相器
２０，２０ａ，２０ｂ 非相反性部材
２１ 非相反線路
３０ 光源装置
３１ 光源
３２ 電源
３３ レンズ
４０，４０Ａ，４０Ｂ 光伝送路
４１ コア
４２ クラッド
４３ レンズ
５０ 光アイソレータ
５１ 移相器
５２，５２ａ～５２ｄ 非相反性部材
５３，５３ａ～５３ｄ 非相反線路
６０ 光アイソレータ
６１ 移相器
６２，６２ａ～６２ｄ 非相反性部材
６３，６３ａ～６３ｄ 非相反線路
７０ 光アイソレータ
７１ 光源装置
８０ 光アイソレータ
９０ 光アイソレータ
９１ 方向性結合器

Claims (14)

1. レーザ光源に使用される光アイソレータであって、
   基板と、
   前記基板上に位置する光導波路とを備え、
   前記光導波路は、第１端部、アレー状に配列された複数の第２端部、及び、前記第１端部と前記複数の第２端部との間に位置する少なくとも１つの分岐部を含み、
   前記光導波路は、部分的に非相反性を有し、前記第１端部と少なくとも２つの前記第２端部との間に異なる非相反性の移相量を与え、前記複数の第２端部は前記レーザ光源からの光の入射側に配置される光アイソレータ。
2. 前記光導波路の前記非相反性を有する部分に接して配置される非相反性の部材を含む、請求項１に記載の光アイソレータ。
3. 前記非相反性の部材の磁化方向、又は、前記非相反性の部材に非相反性を生じせしめる外部磁場の方向と、前記光導波路へ入射する入射光の偏光方向とが、略直交する請求項２に記載の光アイソレータ。
4. 前記非相反性の部材の磁化方向、又は、前記非相反性の部材に非相反性を生じせしめる外部磁場の方向が、前記基板の前記光導波路が位置する基板面に略垂直な方向であり、且つ、前記光導波路へ入射する入射光の偏光方向が、前記基板面に対して略平行である請求項２または３に記載の光アイソレータ。
5. 前記非相反性の部材が占める体積は、前記光導波路の前記非相反性を有する部分の体積の半分以下である請求項２から４の何れか一項に記載の光アイソレータ。
6. 前記複数の第２端部は、前記レーザ光源と空間を介して光学的に結合される、請求項１から５の何れか一項に記載の光アイソレータ。
7. 前記光導波路は、該光導波路の延在方向に沿って、該光導波路の周囲を覆って接する媒質の誘電率よりも高い誘電率を有する請求項１から６の何れか一項に記載の光アイソレータ。
8. 前記第２端部は、前記光導波路の長手方向に先細の形状の端面を有する請求項１から７の何れか一項に記載の光アイソレータ。
9. 前記複数の第２端部は所定のピッチで配列され、前記非相反性の移相量は、隣り合う前記第２端部の間で規則的に異なる量が与えられる、請求項１から８の何れか一項に記載の光アイソレータ。
10. 前記複数の第２端部は、２次元アレー状に配列される請求項１から９の何れか一項に記載の光アイソレータ。
11. 前記第２端部は、互いに直交する２次元方向の格子配置から少なくとも一方向においてずらして配置される請求項１０に記載の光アイソレータ。
12. 前記複数の第２端部から入射した前記レーザ光源からの光を前記第１端部から同位相の光として出射させ、前記第１端部から入射して前記第２端部から出射する前記レーザ光源からの光の戻り光を、前記レーザ光源に入射しない方向に傾けるように、前記第１端部と少なくとも２つの前記第２端部との間に異なる非相反性の移相量を与える、請求項１から１１の何れか一項に記載の光アイソレータ。
13. 基板、及び、前記基板上に位置する光導波路を備える光アイソレータであって、前記光導波路は、第１端部、アレー状に配列された複数の第２端部、及び、前記第１端部と前記複数の第２端部との間に位置する分岐部を含み、前記光導波路は、部分的に非相反性を有し、前記第１端部と少なくとも２つの前記第２端部との間に異なる非相反性の移相量を与える光アイソレータと、
    前記光アイソレータの前記複数の第２端部に、出射光が入射するように配置されたレーザ光源と、
    を備える光源装置。
14. 前記光源に電力を供給する電源を更に備える、請求項１３に記載の光源装置。

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