JP7207945B2 - アトマイズノズル、アトマイズ装置、及び金属粉末の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の第一実施形態について、図1と図2を参照して説明する。本実施形態に係るアトマイズノズル装置90は、一例として3Dプリンタによる部品の造形に用いられる金属粉末を生成するための装置である。図1に示すように、このアトマイズ装置90は、アトマイズノズル100と、ガス供給部3と、を備えている。アトマイズノズル100は、溶湯ノズル1と、ガスノズル2と、を有している。
なお、ガス吐出口25Pの直径をDとした場合、ガス吐出口25Pと溶湯吐出口13Pとの上下方向の間隔H(軸線Am上の間隔)は、1D<H<2Dの寸法に設定されていることが好ましい。ここで、ガス吐出口25Pでは旋回流によってガスが半径方向外側に拡散する。上記のように、間隔Hを1Dよりも大きくすることで、カバー24内の流れにこの影響が伝搬することを抑制することが可能となる。その結果、溶湯Mにより大きな流体力を与えることができる。
さらに、上記第一実施形態では、導入部23が周方向に間隔をあけて複数配列されている例について説明した。しかしながら、導入部23の構成は上記に限定されず、周方向に隣接するように周方向全域にわたって複数の導入部23を連続的に配置することも可能である。
次に、本発明の第二実施形態について、図3と図4を参照して説明する。なお、上記第一実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。本実施形態に係るアトマイズノズル200では、カバー224の構成が上記第一実施形態と異なっている。図3に示すように、カバー224は、上記第一実施形態で説明した縮径部25と、当該縮径部25の下方に接続された拡径部26と、を有している。拡径部26は、縮径部25の下端部から下方に向かうに従って、径方向の寸法が次第に増加するように形成されている。拡径部26の内周面(拡径面26S)は、下方に向かうに従って拡径している。
続いて、本発明の第三実施形態について、図5を参照して説明する。なお、上記の各実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。本実施形態に係るアトマイズノズル300では、カバー324の構成が上記の各実施形態と異なっている。カバー324は、上記第一実施形態で説明した縮径部25(第一縮径部25Aとする)と、当該第一縮径部25Aの下方に設けられた第二縮径部25Bと、軸方向ガス導入部4と、第二チャンバ222と、を有している。
2…ガスノズル
3…ガス供給部
4…軸方向ガス導入部
11…溶湯収容部
12…円筒部
13…先端部
21…環状部
22…チャンバ
23…導入部
24,224,324…カバー
25…縮径部
26…拡径部
27…のど部
31…ガス供給源
32…圧縮機(ガス圧送部)
33…供給配管
100,200,300…アトマイズノズル
222…第二チャンバ
13P…溶湯吐出口
22S…チャンバ内周面
23A…第一端部
23B…第二端部
25A…第一縮径部
25B…第二縮径部
25P…ガス吐出口
25S…テーパ内周面
26S…拡径面
33B…第二供給配管
Am…軸線
M…溶湯
S1…溶湯流下ステップ
S2…ガス導入ステップ
S3…微粒化ステップ
Claims (8)
- 上下方向に延びて下端から溶湯が流下される溶湯ノズルと、
前記溶湯ノズルを外周側から囲う内周面を有するチャンバ、該チャンバ内に前記溶湯ノズルの周方向に向かってガスを導入する導入部、及び、前記チャンバから前記溶湯ノズルを囲いながら該溶湯ノズルの下端よりも下方まで延びるカバーであって、前記チャンバの内周面に接続されて下方に向かうに従って縮径するテーパ内周面が形成されたカバーを有するガスノズルと、
を備え、
前記テーパ内周面の径寸法の減少率は、上下方向の全域にわたって単調変化であり、
前記カバーは、前記テーパ内周面の下方に設けられ、下方に向かうに従って縮径する第二縮径部と、前記第二縮径部の内側に、下方に向かう成分を含むガスの流れを導入する軸方向ガス導入部と、をさらに有し、
前記第二縮径部の上方の端部は、前記テーパ内周面の下方の端部よりも大きな径寸法を有することで、前記上方の端部及び前記下方の端部との間に、前記軸方向ガス導入部としての開口が形成され、
前記第二縮径部の下端部は、前記溶湯ノズルの下端部よりも下方に位置している
アトマイズノズル。 - 前記導入部は、前記チャンバに対し斜め下方に向けて前記ガスを導入する請求項1に記載のアトマイズノズル。
- 前記カバーは、前記テーパ内周面の下方に接続されて下方に向かうに従って拡径する拡径面をさらに有する請求項1又は2に記載のアトマイズノズル。
- 前記チャンバは、上下方向を中心軸とする円環状をなしている請求項1から3のいずれか一項に記載のアトマイズノズル。
- 前記導入部は、前記チャンバに対して該チャンバの接線方向から接続されている請求項4に記載のアトマイズノズル。
- 前記カバーは、前記周方向に間隔をあけて配列された複数の前記導入部を有する請求項1から5のいずれか一項に記載のアトマイズノズル。
- 請求項1から6のいずれか一項に記載のアトマイズノズルを含むアトマイズ装置。
- アトマイズノズルを用いて金属粉末を製造する方法であって、
上下方向に延びる溶湯ノズルの下端から溶湯を流下させるステップと、
前記溶湯ノズルを外周側から囲う内周面を有するチャンバ内に、前記溶湯ノズルの周方向に向かってガスを導入する導入部からガスを導入するステップと、
前記チャンバから前記溶湯ノズルを囲いながら該溶湯ノズルの下端よりも下方まで延びるカバーであって、前記チャンバの内周面に接続されて下方に向かうに従って縮径するテーパ内周面が形成されたカバーにより導入された前記ガスに旋回流を付与し、該ガスを前記溶湯に接触させて、前記溶湯を微粒化するステップと、
を含み、
前記テーパ内周面の径寸法の減少率は、上下方向の全域にわたって単調変化であり、
前記カバーは、前記テーパ内周面の下方に設けられ、下方に向かうに従って縮径する第二縮径部と、前記第二縮径部の内側に、下方に向かう成分を含むガスの流れを導入する軸方向ガス導入部と、をさらに有し、
前記第二縮径部の上方の端部は、前記テーパ内周面の下方の端部よりも大きな径寸法を有することで、前記上方の端部及び前記下方の端部との間に、前記軸方向ガス導入部としての開口が形成され、
前記第二縮径部の下端部は、前記溶湯ノズルの下端部よりも下方に位置している
金属粉末の製造方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018201273A JP7207945B2 (ja) | 2018-10-25 | 2018-10-25 | アトマイズノズル、アトマイズ装置、及び金属粉末の製造方法 |
CN201980069291.0A CN112888518B (zh) | 2018-10-25 | 2019-10-23 | 雾化喷嘴、雾化装置、金属粉末的制造方法以及金属粉末 |
PCT/JP2019/041438 WO2020085355A1 (ja) | 2018-10-25 | 2019-10-23 | アトマイズノズル、アトマイズ装置、金属粉末の製造方法、及び金属粉末 |
EP19874981.4A EP3871810A4 (en) | 2018-10-25 | 2019-10-23 | ATOMIZING NOZZLE, ATOMIZING DEVICE, METAL POWDER MANUFACTURING METHOD AND METAL POWDER |
TW108138518A TWI723596B (zh) | 2018-10-25 | 2019-10-25 | 霧化噴嘴、霧化裝置、金屬粉末的製造方法以及金屬粉末 |
US17/238,889 US12090555B2 (en) | 2018-10-25 | 2021-04-23 | Atomizer nozzle, atomizing device, method for producing metal powder, and metal powder |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018201273A JP7207945B2 (ja) | 2018-10-25 | 2018-10-25 | アトマイズノズル、アトマイズ装置、及び金属粉末の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020066783A JP2020066783A (ja) | 2020-04-30 |
JP7207945B2 true JP7207945B2 (ja) | 2023-01-18 |
Family
ID=70331449
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018201273A Active JP7207945B2 (ja) | 2018-10-25 | 2018-10-25 | アトマイズノズル、アトマイズ装置、及び金属粉末の製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US12090555B2 (ja) |
EP (1) | EP3871810A4 (ja) |
JP (1) | JP7207945B2 (ja) |
CN (1) | CN112888518B (ja) |
TW (1) | TWI723596B (ja) |
WO (1) | WO2020085355A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2018-10-25 JP JP2018201273A patent/JP7207945B2/ja active Active
-
2019
- 2019-10-23 EP EP19874981.4A patent/EP3871810A4/en active Pending
- 2019-10-23 WO PCT/JP2019/041438 patent/WO2020085355A1/ja unknown
- 2019-10-23 CN CN201980069291.0A patent/CN112888518B/zh active Active
- 2019-10-25 TW TW108138518A patent/TWI723596B/zh active
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CN112888518B (zh) | 2023-05-02 |
EP3871810A4 (en) | 2022-07-27 |
CN112888518A (zh) | 2021-06-01 |
TWI723596B (zh) | 2021-04-01 |
EP3871810A1 (en) | 2021-09-01 |
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US20210237155A1 (en) | 2021-08-05 |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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