JP7207860B2 - 試料観察装置 - Google Patents
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Description
(数1)
L=V/cosθ …(1)
(数2)
sinθ’=(n1/n2)sinθ …(2)
(数3)
V’=L/tanθ’ …(3)
(数4)
安定度(%)=((V’/V)θ+1-(V’/V)θ-1)/(V’/V)θ …(4)
図11には、観察軸P2の傾斜角度θが45°である場合を想定し、ウェッジプリズム18を結像光学系5に配置した場合と配置していない場合とで、試料深さが0μm(界面)から300μmに至るまでのTangential像面及びSagital像面のフォーカス位置がそれぞれプロットされている。
Claims (11)
- 試料を保持する試料容器であって、前記試料に照射される面状光が入力されると共に前記試料で発生した観察光が出力する平坦な底面を有する、試料容器と、
前記試料容器に保持された前記試料に前記面状光を照射する照射光学系と、
前記面状光の照射面を通過するように前記試料を一方向に走査する走査部と、
前記照射面に対して傾斜する観察軸を有し、前記面状光の照射によって前記試料で発生した前記観察光を結像する結像光学系と、
前記結像光学系によって結像された前記観察光の光像に対応する画像データを取得する画像取得部と、
前記画像取得部によって取得された前記画像データに基づいて前記試料の観察画像データを生成する画像生成部と、を備え、
前記試料容器における前記平坦な底面は、前記面状光の光軸と直交しており、
前記結像光学系は、前記観察光の一方軸の光線を曲げる一方で、前記一方軸に直交する他方軸の光線を曲げない非軸対称の光学素子を有している試料観察装置。 - 前記光学素子は、ウェッジプリズムである請求項1記載の試料観察装置。
- 前記光学素子は、シリンドリカルレンズである請求項1記載の試料観察装置。
- 前記結像光学系は、対物レンズを含み、
前記光学素子は、前記照射面と前記対物レンズとの間に配置されている請求項1~3のいずれか一項記載の試料観察装置。 - 前記結像光学系は、対物レンズを含み、
前記光学素子は、前記対物レンズと前記画像取得部との間に配置されている請求項1~3のいずれか一項記載の試料観察装置。 - 前記結像光学系は、対物レンズ及び結像レンズを含み、
前記光学素子は、前記結像レンズと前記画像取得部との間に配置されている請求項1~3のいずれか一項記載の試料観察装置。 - 前記結像光学系は、対物レンズ及び結像レンズを含み、
前記光学素子は、前記対物レンズと前記結像レンズとの間に配置されている請求項1~3のいずれか一項記載の試料観察装置。 - 前記面状光の照射面に対する前記結像光学系の前記観察軸の傾斜角度は、10°~80°となっている請求項1~7のいずれか一項記載の試料観察装置。
- 前記面状光の照射面に対する前記結像光学系の前記観察軸の傾斜角度は、20°~70°となっている請求項1~8のいずれか一項記載の試料観察装置。
- 前記面状光の照射面に対する前記結像光学系の前記観察軸の傾斜角度は、30°~65°となっている請求項1~9のいずれか一項記載の試料観察装置。
- 前記観察画像データを解析し、解析結果を生成する解析部を更に備える請求項1~10のいずれか一項記載の試料観察装置。
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