JP7206744B2 - Conductive pattern substrate and method for manufacturing conductive pattern substrate - Google Patents
Conductive pattern substrate and method for manufacturing conductive pattern substrate Download PDFInfo
- Publication number
- JP7206744B2 JP7206744B2 JP2018179166A JP2018179166A JP7206744B2 JP 7206744 B2 JP7206744 B2 JP 7206744B2 JP 2018179166 A JP2018179166 A JP 2018179166A JP 2018179166 A JP2018179166 A JP 2018179166A JP 7206744 B2 JP7206744 B2 JP 7206744B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- layer
- low
- region
- base material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Position Input By Displaying (AREA)
Description
本発明は、導電性パターン基板及び導電性パターン基板の製造方法に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a conductive pattern substrate and a method for manufacturing a conductive pattern substrate.
メッシュタイプのタッチパネル基板や、移動体用メッシュアンテナや、電磁波シールド基板などの分野において、網目状に配置された導線から構成される配線パターンを備えた導電性パターン基板が利用されている。配線パターンは、端子部と電気的に接続され、端子部を介して、導電性パターン基板の外部の構成要素と電気的に接続される。 2. Description of the Related Art In fields such as mesh-type touch panel substrates, mesh antennas for moving bodies, and electromagnetic shielding substrates, conductive pattern substrates having wiring patterns made up of conductive wires arranged in a mesh pattern are used. The wiring pattern is electrically connected to the terminal portion, and is electrically connected to components outside the conductive pattern substrate via the terminal portion.
配線パターンを金属材料からなる導線によって構成する場合には、金属材料が有する金属光沢に起因して、配線パターンが観察者(ユーザー)に視認されてしまうおそれがあった。このような課題を解決するため、例えば引用文献1においては、配線パターンの観察者側に対し、配線パターンに対応したパターンの被覆層を設け、被覆層の表面を低反射処理することが提案されている。 When the wiring pattern is composed of conductive wires made of a metal material, the wiring pattern may be visually recognized by an observer (user) due to the metallic luster of the metal material. In order to solve such problems, for example, in Cited Document 1, it is proposed to provide a coating layer having a pattern corresponding to the wiring pattern on the side of the viewer of the wiring pattern, and to apply a low-reflection treatment to the surface of the coating layer. ing.
端子部を、配線パターンと同時に形成する場合には、端子部の観察者側にも被覆層が設けられることとなる。この場合、端子部に対して外部の構成要素を電気的に接続しようとすると、端子部と外部の構成要素との間に被覆層が介在してしまうことに起因して、接続部の抵抗値が高くなってしまう。 When the terminal portion is formed at the same time as the wiring pattern, the coating layer is also provided on the observer side of the terminal portion. In this case, when an attempt is made to electrically connect an external component to the terminal portion, the resistance value of the connection portion decreases due to the coating layer being interposed between the terminal portion and the external component. becomes higher.
本発明は、このような課題を効果的に解決し得る導電性パターン基板を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a conductive pattern substrate that can effectively solve such problems.
本発明は、導電性パターン基板であって、表示装置の表示領域に対応する第1領域と、前記第1領域の周辺に位置する第2領域と、に区画される基材と、前記基材の前記第1領域に網目状に配置され、遮光性及び導電性を有する複数の第1導線と、前記基材の前記第2領域に位置し、前記第1導線と電気的に接続された端子部と、前記第1導線上に位置する第1部分と、前記端子部のうち前記第1導線寄りの部分上に位置する第2部分と、を有する低反射層と、前記低反射層を覆うよう前記第1領域及び前記第2領域の一部に広がり、且つ、前記基材の法線方向に沿って見た場合に前記端子部を横切る端部を有するオーバーコート層と、を備え、前記低反射層の前記第2部分は、前記オーバーコート層の端部と一致する外側端部を有する、導電性パターン基板である。 The present invention is a conductive pattern substrate, comprising: a substrate partitioned into a first region corresponding to a display region of a display device and a second region positioned around the first region; A plurality of first conductors having light shielding properties and conductivity arranged in a mesh pattern in the first region of the substrate, and a terminal located in the second region of the base material and electrically connected to the first conductors a low-reflection layer having a portion, a first portion located on the first conductor, and a second portion located on a portion of the terminal portion closer to the first conductor; covering the low-reflection layer an overcoat layer that extends over a part of the first region and the second region and has an end portion that crosses the terminal portion when viewed along the normal direction of the base material; The second portion of the low-reflection layer is a conductive pattern substrate having an outer edge coinciding with an edge of the overcoat layer.
本発明による導電性パターン基板において、前記低反射層の全光線反射率が、20%以下であってもよい。 In the conductive pattern substrate according to the present invention, the low reflection layer may have a total light reflectance of 20% or less.
本発明による導電性パターン基板において、前記低反射層の前記第1部分の側面は、前記第1導線の側面と一致してもよい。 In the conductive pattern substrate according to the present invention, a side surface of the first portion of the low reflection layer may coincide with a side surface of the first conductor.
本発明による導電性パターン基板において、前記端子部と電気的に接続され、前記基材の法線方向に沿って見た場合に、前記端子部のうち、前記低反射層の前記第2部分と重ならない部分と重なる導電部を有するコネクタをさらに備えてもよい。 In the conductive pattern substrate according to the present invention, the terminal portion is electrically connected to the second portion of the low-reflection layer when viewed along the normal direction of the base material. A connector having a conductive portion that overlaps the non-overlapping portion may further be provided.
本発明は、導電性パターン基板の製造方法であって、表示装置の表示領域に対応する第1領域と、前記第1領域の周辺に位置する第2領域と、に区画される基材と、前記基材上に位置する金属層と、前記金属層上に位置する低反射層と、を含む積層体を準備する準備工程と、前記積層体の前記低反射層上に、レジストパターンを形成するレジストパターン形成工程と、前記レジストパターンをマスクとして用いて、前記金属層及び前記低反射層をエッチングすることにより、前記金属層をパターニングして、前記基材の前記第1領域に網目状に配置され、遮光性及び導電性を有する複数の第1導線と、前記基材の前記第2領域に位置し、前記第1導線と電気的に接続された端子部と、を作製し、前記低反射層をパターニングして、前記第1導線上に位置する第1部分と、前記端子部上に位置する第2部分と、を作製する、第1エッチング工程と、前記低反射層のうち、前記第1部分と、前記第2部分の前記第1導線寄りの部分とを覆うよう、前記第1領域及び前記第2領域の一部に広がるオーバーコート層を形成するオーバーコート層形成工程と、前記オーバーコート層をマスクとして用いて、前記低反射層の前記第2部分をエッチングすることにより、前記第2部分のうち前記オーバーコート層に覆われていない一部を除去する第2エッチング工程と、を備える、導電性パターン基板の製造方法である。 The present invention relates to a method for manufacturing a conductive pattern substrate, comprising: a substrate partitioned into a first region corresponding to a display region of a display device; and a second region positioned around the first region; A preparation step of preparing a laminate including a metal layer positioned on the base material and a low-reflection layer positioned on the metal layer, and forming a resist pattern on the low-reflection layer of the laminate. A step of forming a resist pattern, and etching the metal layer and the low-reflection layer using the resist pattern as a mask, thereby patterning the metal layer and arranging it in a mesh pattern on the first region of the base material. a plurality of light-shielding and conductive first conductors, and a terminal portion located in the second region of the base material and electrically connected to the first conductors, and the low reflection a first etching step of patterning a layer to fabricate a first portion located on the first conductor and a second portion located on the terminal portion; An overcoat layer forming step of forming an overcoat layer extending over a part of the first region and the second region so as to cover the first portion and the portion of the second portion near the first conductor; a second etching step of removing a portion of the second portion not covered with the overcoat layer by etching the second portion of the low-reflection layer using the coat layer as a mask; A method for manufacturing a conductive pattern substrate, comprising:
本発明による導電性パターン基板の製造方法において、前記第1エッチング工程は、前記金属層と前記低反射層とを、同一のエッチング手段を用いてエッチングする工程を含んでいてもよい。 In the method for manufacturing a conductive pattern substrate according to the present invention, the first etching step may include etching the metal layer and the low-reflection layer using the same etching means.
本発明によれば、端子部に対して外部の構成要素を電気的に接続する場合における接続部の抵抗値が低減された導電性パターン基板を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the conductive pattern board|substrate with which the resistance value of the connection part when electrically connecting an external component with respect to a terminal part was reduced can be provided.
以下、図1乃至図7を参照して、本発明の実施の形態の一例について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺及び縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。また本明細書において、「基板」や「基材」など用語は、呼称の違いのみに基づいて、互いから区別されるものではない。例えば、「基板」や「基材」は、シートやフィルムと呼ばれ得るような部材も含む概念である。さらに、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」や「直交」等の用語や長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。 An example of an embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 7. FIG. In the drawings attached to this specification, for the sake of ease of illustration and understanding, the scale, length-to-width ratio, etc. are appropriately changed and exaggerated from those of the real thing. Also, in this specification, terms such as "substrate" and "base material" are not to be distinguished from each other based only on the difference in designation. For example, "substrate" and "base material" are concepts that include members that can be called sheets and films. Furthermore, terms used herein to specify shapes and geometric conditions and their degrees, such as terms such as "parallel" and "perpendicular", length and angle values, etc., are bound by strict meanings. However, it is interpreted to include the extent to which similar functions can be expected.
本実施の形態においては、導電性パターン基板が、外部の導体の接近を検出するタッチパネル基板として機能するものである例について説明する。はじめに、導電性パターン基板によって構成されたタッチパネル基板が組み込まれた表示装置(以下、タッチ位置検出機能付き表示装置とも称する)について説明する。 In this embodiment, an example in which the conductive pattern substrate functions as a touch panel substrate that detects the approach of an external conductor will be described. First, a display device (hereinafter also referred to as a display device with a touch position detection function) in which a touch panel substrate configured by a conductive pattern substrate is incorporated will be described.
タッチパネル装置及びタッチ位置検出機能付き表示装置
図1に示すように、タッチ位置検出機能付き表示装置10は、液晶ディスプレイや有機ELディスプレイなどの表示装置15と、表示装置15の観察者側に配置されたタッチパネル基板30と、を組み合わせることによって構成されている。表示装置15は、表示面16aを有する表示パネル16と、表示パネル16に接続された表示制御部(図示せず)と、を有している。表示パネル16は、映像を表示することができる矩形状の表示領域A1と、表示領域A1を取り囲むようにして表示領域A1の周辺に配置された非表示領域A2と、を含んでいる。表示制御部は、表示されるべき映像に関する情報を処理し、映像情報に基づいて表示パネル16を駆動する。表示パネル16は、表示制御部の制御信号に基づいて、所定の映像を表示面16aに表示する。すなわち、表示装置15は、文字や図等の情報を映像として出力する出力装置としての役割を担っている。
Touch panel device and display device with touch position detection function As shown in FIG. and the
タッチパネル基板30は、表示装置15の表示面16aに、例えば接着層(図示せず)を介して接着されている。なお図示はしないが、タッチパネル基板30の観察者側には、タッチパネル基板30や表示装置15を保護するための保護カバーが設けられていてもよい。
The
タッチパネル基板
次に図2を参照して、タッチパネル基板30について説明する。図2は、観察者側から見た場合のタッチパネル基板30を示す平面図である。
Touch Panel Substrate Next, the
ここでは、タッチパネル基板30が、投影型の静電容量結合方式のタッチパネル基板として構成される例について説明する。なお、「容量結合」方式は、タッチパネルの技術分野において「静電容量」方式や「静電容量結合」方式等とも呼ばれており、本件では、これらの「静電容量」方式や「静電容量結合」方式等と同義の用語として取り扱う。典型的な静電容量結合方式のタッチパネル基板は、透光性を有する導電性のパターンを有しており、外部の導体(典型的には人間の指)がタッチパネル基板に接近することにより、外部の導体とタッチパネル基板の導電性のパターンとの間でコンデンサ(静電容量)が形成される。そして、このコンデンサの形成に伴った電気的な状態の変化に基づき、タッチパネル基板上において外部導体が接近している位置の位置座標が特定される。なお本実施の形態によるタッチパネル基板30において採用されている、後述する技術思想は、自己容量方式または相互容量方式のいずれにも対応可能である。
Here, an example in which the
タッチパネル基板30は、基材32、第1パターン41及び第2パターン42を備える。タッチパネル基板30は、ダミーパターン47を更に備えていてもよい。以下、タッチパネル基板30の各構成要素について説明する。
The
(基材)
基材32は、表示装置15側を向く第1面32a及び観察者側を向く第2面32bを含み、透光性を有する部材である。図2に示すように、基材32は、第1方向D1に延びる第1辺32cと、第1方向D1に対して直交する第2方向D2に延びる第2辺32dとを含む矩形の形状を有する。
(Base material)
The
図1及び図2に示すように、基材32は、表示装置15とタッチパネル基板30とを組み合わせてタッチ位置検出機能付き表示装置10を構成した場合において、表示装置15の表示領域A1に対応する第1領域33と、第1領域33の周辺に位置し、表示装置15の非表示領域A2に対応する第2領域34と、に区画される。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
基材32は、タッチパネル基板30において誘電体として機能するものである。基材32を構成する材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、シクロオレフィンポリマー(COP)やガラスなど、十分な透光性を有する材料が用いられる。なお第1パターン41及び第2パターン42を適切に保持することができる限りにおいて、基材32の具体的な構成が特に限られることはない。例えば基材32は、タッチパネル基板30における光の反射率や透過率を調整するためのインデックスマッチング層をさらに含んでいてもよい。他にも、PET層などの表面に設けられたハードコート層がさらに基材32に含まれていてもよい。すなわち本実施の形態において、基材32とは、何らかの具体的な構造や材料を意味するものではなく、タッチパネル基板30を構成する第1パターン41や第2パターン42などのパターンの下地となるものを意味するに過ぎない。
The
(第1パターン)
第1パターン41は、基材32の第1面32a上の第1領域33に位置する、導電性を有するパターンである。第1パターン41は、指等の外部導体のタッチパネル基板への接触又は接近を検出するための構成要素である。図2に示すように、複数の第1パターン41が、第1方向D1に帯状に延びている。また、複数の第1パターン41は、第1面32a上において、一定の配列ピッチで第2方向D2に並べられている。第1パターン41の配列ピッチは、タッチ位置の検出に関して求められる分解能に応じて定められるが、例えば数mmである。図2に示すように、基材32の第2面32b上にも第1パターン41が設けられていてもよい。第2面32b上に位置する第1パターン41は、第1面32a上に位置する第1パターン41とは異なる方向に、例えば第2方向D2に延びている。なお図2においては、基材32の第1面32a側に設けられている構成要素が実線で表され、基材32の第2面32b側に設けられている構成要素が点線で表されている。図示はしないが、基材32の第1面32a上に、第2方向D2に延びる第1パターン41が設けられ、基材32の第2面32b上に、第1方向D1に延びる第1パターン41が設けられていてもよい。
(first pattern)
The
(第2パターン)
第2パターン42は、基材32の第1面32a上の第2領域34に位置する、導電性を有するパターンである。第2パターン42は、第1領域33と第2領域34の境界において第1パターン41と電気的に接続されている。第2パターン42は、第1パターン41において検出した信号をタッチパネル基板30の外部に取り出すための構成要素である。図2に示すように、基材32の第2面32b上にも第1パターン41が設けられている場合には、第2パターン42もまた第2面32b上にも設けられ、第1パターン41に電気的に接続されていてもよい。
(second pattern)
The
図2に示すように、本実施の形態に係る第2パターン42は、第1パターン41に電気的に接続されている引出配線44、及び引出配線44に対して電気的に接続されていることにより引出配線44を介して第1パターン41に電気的に接続されている端子部45を有する。
As shown in FIG. 2, the
引出配線44は、第1パターン41において検出した信号を端子部45へ伝えるための構成要素である。また、端子部45は、第1パターン41において検出した信号をタッチパネル基板30の外部に伝えるための構成要素である。
The
(ダミーパターン)
ダミーパターン47は、第1領域33において隣り合う2つの第1パターン41の間に位置するパターンである。ダミーパターン47は、第1パターン41及び第2パターン42のいずれにも電気的に接続されていない。ダミーパターン47は、第1パターン41と同様のパターン及び構造を有する。ダミーパターン47を第1領域33に設けることにより、観察者によって第1パターン41が視認されることを抑制することができる。
(dummy pattern)
The
(第1パターン及び第2パターンの構成)
次に図3及び図4を参照して、第1パターン41及び第2パターン42の構成について詳細に説明する。図3は、図2において符号IIIが付された一点鎖線で囲まれた部分において第1面32a上に位置する第1パターン41及び第2パターン42を拡大して示す平面図である。また図4は、タッチパネル基板30を図3のIV線に沿って切断した場合を示す断面の一部を拡大した図である。
(Configuration of first pattern and second pattern)
Next, configurations of the
まず、第1パターン41の構成について説明する。本実施の形態において、第1パターン41は、網目状に配置され、遮光性及び導電性を有する複数の第1導線51を含んでいる。第1導線51が網目状に配置されていることにより、各第1導線51の間には、複数の第1導線開口部51aが画成されている。
First, the configuration of the
第1導線51の面積と第1導線開口部51aの面積とを合わせた面積のうち、第1導線開口部51aによって占められる面積の比率(以下、第1導線51の開口率と称する)が十分に高くなり、これによって、表示装置15からの映像光が、適切な透過率で、タッチパネル基板30のうち基材32の第1領域33に相当する領域を透過することができる限りにおいて、第1パターン41を構成する第1導線51の寸法や形状が特に限られることはない。例えば図3に示す例において、第1パターン41は、菱形に形成された第1導線51を第1方向D1に沿って並べることによって構成されている。図3に示す例においては、菱形の内角のうち鋭角になる内角が第1方向D1に沿って並ぶよう、第1導線51が並べられている。第1導線51の開口率の範囲は、表示装置15から放出される映像光の特性などに応じて適宜設定される。
The ratio of the area occupied by the
第1導線51の線幅は、求められる第1導線51の開口率などに応じて設定されるが、例えば第1導線51の幅は1μm以上10μm以下の範囲内、より好ましくは2μm以上7μm以下の範囲内に設定されている。これによって、観察者が視認する映像に対して第1導線51が及ぼす影響を、無視可能な程度まで低くすることができる。第1導線51の厚さは、第1パターン41に対して求められる電気抵抗値などに応じて適宜設定されるが、例えば0.1μm以上5μm以下の範囲内となっている。
The line width of the
次に、第1パターン41を構成する第1導線51の層構成について説明する。
図4に示すように、第1導線51は、密着層61と、密着層61上に設けられた金属層62と、を含んでいる。
Next, the layer structure of the
As shown in FIG. 4 , the
このうち密着層61は、例えば、金属層62と基材32との密着性を確保することができる層である。密着層61の材料は、例えば、金属層62と基材32との密着性を確保することができる材料である。好ましくは、密着層61の材料は、金属層62のためのエッチング液に対する溶解性を有する。この場合、同一のエッチング液を用いて金属層62及び密着層61を同時にエッチングすることが可能になる。密着層61は、例えばIn(インジウム)、Zn(亜鉛)、Ni(ニッケル)、Mn(マンガン)又はMo(モリブデン)を含む。In又はZnを含む密着層61の材料は、例えばインジウム錫酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)などの酸化膜系の材料である。
Among these, the
また、金属層62は、第1導線51における導電性を主に実現するための層である。本実施の形態における金属層62の材料は、導線に用いることのできる金属層であれば特に限定されないが、例えばAg系、Cu系又はAl系の合金若しくはCuを含むものである。このような構成の金属層62が第1導線51に設けられることにより、第1導線51における高い導電性を確保することができる。図示はしないが、第1導線51は、金属層62上に設けられ、金属層62を保護するキャップ層を含んでいてもよい。キャップ層の材料としては、例えば上述した密着層61の材料と同様の材料を用いることができる。
Moreover, the
図4に示すように、第1導線51上には低反射層63が設けられている。低反射層63は、金属層62に比べて金属光沢が抑制された層である。第1導線51上に低反射層63を設けることにより、第1導線51の金属光沢を軽減することができる。
As shown in FIG. 4, a low-
低反射層63の材料は、低反射層63によって第1導線51の金属光沢を抑制することができる限り、特に限定されないが、例えば金属の酸化物、金属の窒化物、又は金属の酸窒化物である。低反射層63の材料を金属の酸化物とする場合には、低反射層63の材料は、例えば酸化Mo(酸化モリブデン)、酸化Fe(酸化鉄)、酸化In(酸化インジウム)、又はこれらの複合酸化物焼結体である。
The material of the low-
低反射層63の全光線反射率は、特に限定されないが、20%以下であれば好ましく、5%以下であればより好ましい。低反射層63の全光線反射率を上記の範囲とすることにより、低反射層63によって、第1導線51の金属光沢をより抑制することができ、第1導線51をより視認されにくくすることができる。
Although the total light reflectance of the low-
ここで「全光線反射率」とは、正反射率と拡散反射率の合計である。全光線反射率は、JIS K7375の全光線反射率測定法に準拠して求められ得る。具体的には、全光線反射率は、金属層62上の低反射層63に対して角度をつけて光を入射させた場合の反射率を、分光光度計と、積分球試験台とを用いて光波長380nm~780nmにおいて10nm間隔で測定し、それらの平均値を算出することによって求められ得る。なお、全光線反射率は、硫酸バリウムを含む標準白色板の反射率を100%とした相対値として求められる。
Here, "total reflectance" is the sum of specular reflectance and diffuse reflectance. The total light reflectance can be determined according to the total light reflectance measurement method of JIS K7375. Specifically, the total light reflectance is measured using a spectrophotometer and an integrating sphere test stand when light is incident on the low-
低反射層63の厚さは、低反射層63によって第1導線51の金属光沢を抑制することができる限り限定されないが、好ましくは10nm以上500nm以下、より好ましくは30nm以上50nm以下である。低反射層63の幅は、第1導線51の幅以上である限り特に限定されないが、例えば第1導線51の幅と同一である。
The thickness of the low-
次に、第2パターン42の引出配線44及び端子部45の構成について説明する。引出配線44は、第1パターン41に接続された一端と、端子部45に接続された他端を有し、且つ遮光性及び導電性を有する配線である。図3に示すように、引出配線44は、第1パターン41から端子部45まで線状に延び、所定の幅W1を有する。また、端子部45は、引出配線44の他端に接続され、且つ遮光性及び導電性を有する部材である。図3に示す例において、端子部45は、引出配線44の幅W1よりも大きい幅W2を有する。
Next, the configuration of the
第2パターン42の引出配線44は、第1パターン41に含まれる第1導線51と同様の層構成を有する。例えば、図4に示すように、引出配線44は、密着層61と、密着層61上に設けられた金属層62と、を含んでいる。また、図4に示すように、引出配線44上には低反射層63が設けられている。以下の説明において、低反射層63のうち、第1パターン41の第1導線51上に位置する部分を第1部分63aと称し、第2パターン42の引出配線44及び端子部45上に位置する部分を第2部分63bとも称する。
The
次に、第2パターン42の端子部45の層構成について説明する。端子部45は、第1パターン41に含まれる第1導線51と同様の層構成を有する。例えば、図4に示すように、端子部45は、密着層61と、密着層61上に設けられた金属層62と、を含んでいる。
Next, the layer structure of the
また、図4に示すように、端子部45のうち第1導線51寄りの部分上には、低反射層63の第2部分63bが位置する。ここで、「端子部45のうち第1導線51寄りの部分」とは、端子部45のうち、第1導線51と端子部45との間の境界部又は引出配線44と端子部45との間の境界部を含む部分のことをいう。
Further, as shown in FIG. 4, the
一方、図4に示すように、端子部45のうち第1導線51とは反対側に位置する部分上には、低反射層63が位置していない。以下の説明において、端子部45のうち低反射層63が設けられていない部分のことを、露出部分とも称する。後述するように、端子部45の露出部分には、コネクタなどの、第1パターン41からの信号を外部に伝達するための部材が重ねられる。
On the other hand, as shown in FIG. 4 , the low-
(オーバーコート層)
次に、図3、図4及び図5を参照して、第1パターン41上、又は第2パターン42上に設けられる構成要素について説明する。図5は、図4において符号Vが付された一点鎖線で囲まれた部分を拡大して示す断面図である。本実施の形態に係るタッチパネル基板30は、図4及び図5に示すように、第1パターン41、並びに第2パターン42の引出配線44及び端子部45の一部の上に設けられた低反射層63を覆うように、基材32の第1領域33及び第2領域34の一部に広がるオーバーコート層71を有する。
(overcoat layer)
Next, components provided on the
オーバーコート層71は、図3において点線で示すように、基材32の法線方向に沿って見た場合に端子部45を横切る端部71aを有する。オーバーコート層71は、図3に示す端部71aよりも第1パターン41側の領域に広がっている。
The
オーバーコート層71と低反射層63との位置関係について説明する。図4及び図5に示すように、低反射層63の第2部分63bは、外側端部63cを有する。外側端部63cとは、低反射層63の第2部分63bの端部のうち、基材32の法線方向に沿って見た場合に、基材32の第1領域33から最も遠い部分における端部である。外側端部63cは、オーバーコート層71の端部71aと一致する。なお「一致」とは、低反射層63の第2部分63bとオーバーコート層71との間の界面において、第2部分63bの外側端部63cとオーバーコート層71の端部71aとの間の、端部71aが延びる方向に直交する方向(図3では第1方向D1)における距離が、10μm以下であることを意味する。
A positional relationship between the
オーバーコート層71の材料は、透光性及び絶縁性を有し、第1パターン41及び第2パターン42を保護することができる限り特に限定されないが、好ましくはアクリル系樹脂、より好ましくはアクリル系光硬化性樹脂である。オーバーコート層71の厚さは、表示装置15からの映像光が適切な透過率でオーバーコート層71を透過することができる透光性を確保でき、第1パターン41及び第2パターン42を保護することができる限り特に限定されないが、好ましくは0.5μm以上10μm以下である。
The material of the
(透明導電膜)
図4及び図5に示すように、本実施の形態に係るタッチパネル基板30は、透明導電膜72を更に備えていてもよい。図4及び図5に示すように、透明導電膜72は、端子部45のうちオーバーコート層71から露出している部分を覆っている。透明導電膜72は、図4及び図5に示すように、オーバーコート層71上にまで広がっていてもよい。透明導電膜72の材料は、例えばインジウム錫酸化物(ITO)等の透明導電性材料である。透明導電膜72の厚さは特に限定されないが、例えば0.1μm以上0.5μm以下である。端子部45を透明導電膜72によって覆うことにより、端子部45の酸化を抑制することができる。
(transparent conductive film)
As shown in FIGS. 4 and 5, the
図5及び図6を参照して、透明導電膜72の寸法について説明する。図6は、図2において符号VIが付された一点鎖線で囲まれた部分において第1面32a上に位置する第2パターン42を拡大して示し、かつ基材32の法線方向に沿って見た場合における透明導電膜72の輪郭線72aを表示した図である。図5及び図6に示す、基材32の法線方向に沿って見た場合に透明導電膜72とオーバーコート層71とが重なる幅W1は、特に限定されないが、例えば10μm以上である。また、図6に示すように、基材32の法線方向に沿って見た場合における1つの透明導電膜72は、端子部45の輪郭を超えて広がっていることが好ましい。この場合、透明導電膜72が、第1方向D1において、端子部45の輪郭を超えて広がる幅W2は、隣接する複数の端子部45上の透明導電膜72同士が導通しない限り、特に限定されないが、例えば5μm以上である。また、透明導電膜72が、第2方向D2において、端子部45の輪郭を超えて広がる幅W3は、特に限定されないが、例えば5μm以上である。
The dimensions of the transparent
(コネクタ)
次に、図7を参照して、端子部45に対して電気的に接続することができる構成要素について説明する。端子部45には、コネクタ73が電気的に接続されていてもよい。図7は、図5におけるタッチパネル基板30の端子部45に対してコネクタ73を電気的に接続した場合の断面図である。
(connector)
Next, components that can be electrically connected to the
コネクタ73は、第1パターン41からの信号を、端子部45を介して取り出して外部に伝える、又は、外部からの信号を、端子部45を介して第1パターン41へ入力するための構成要素である。コネクタ73は、端子部45と電気的に接続され、基材32の法線方向に沿って見た場合に、端子部45のうち、低反射層63の第2部分63bと重ならない部分(上述の露出部分)と重なる導電部を有する。図7に示すように、本実施の形態においては、透明導電膜72が端子部45の露出部分を覆っている。このため、本実施の形態においては、端子部45を覆う透明導電膜72に対して導電部を接続することにより、端子部45に対してコネクタ73を電気的に接続することができる。
The
端子部45に対してコネクタ73を電気的に接続する方法は、特に限定されないが、例えば、図7に示すように、コネクタ73と端子部45との間に導電性接着層74を設け、導電性接着層74を介してコネクタ73と端子部45とを電気的に接続することができる。
A method for electrically connecting the
端子部45に対してコネクタ73を接続する場合における、本実施の形態に係るタッチパネル基板30の効果について、図5及び図7を参照して説明する。上述のように、端子部45は、オーバーコート層71及び低反射層63から露出している露出部分を有する。これにより、図7に示すように、端子部45に対してコネクタ73を電気的に接続して電気信号を伝える際に、電気信号が通る経路に存在する層の界面の数を低減することができる。このため、端子部45とコネクタ73との間の接続部の電気抵抗を低減することができる。
Effects of the
端子部45の露出部分の、端部71aが延びる方向に直交する方向における長さL1は、端子部45とコネクタ73との間の安定な電気的な接続を確保できるよう設定されている。
A length L1 of the exposed portion of the
タッチパネル基板の製造方法
次に、以上のような構成からなるタッチパネル基板30を製造する方法について、図8乃至図13を参照して説明する。図8乃至図13は、本実施の形態に係るタッチパネル基板30の製造方法を説明するための図である。
Method for Manufacturing Touch Panel Substrate Next, a method for manufacturing the
(準備工程)
はじめに図8に示すように、タッチパネル基板30を作製するための元材としての積層体60を準備する。本実施の形態における積層体60は、基材32と、基材32の第1面32a上に設けられた密着層61と、密着層61上に設けられた金属層62と、金属層62上に設けられた低反射層63と、を備えている。密着層61上に金属層62を形成する方法は特に限定されることはなく、蒸着法やスパッタリング法などの公知の方法が適宜用いられ得る。金属層62上に低反射層63を形成する方法は特に限定されない。例えば低反射層63の材料を酸化モリブデン、酸化鉄、酸化インジウム、又はこれらの複合酸化物焼結体とする場合には、形成しようとする低反射層63の材料と同じ材料をターゲットとして、スパッタリング法によって、低反射層63を形成することができる。なお、基材32の第2面32b上にも第1パターン41及び第2パターン42を形成する場合には、第2面32b上にも密着層61、金属層62及び低反射層63を設けてもよい。
(Preparation process)
First, as shown in FIG. 8, a laminate 60 is prepared as a base material for fabricating the
(レジスト層形成工程)
積層体60を準備した後、図9に示すように、低反射層63上に、第1導線51、引出配線44及び端子部45に対応したパターンを有するレジスト層81を形成する。
(Resist layer forming step)
After preparing the
本実施の形態におけるレジスト層81の一例について説明する。レジスト層81は、例えば特定波長域の光、一例としては紫外線に対する感光性を有する感光層である。感光層のタイプが特に限られることはない。例えば光硬化型の感光層が用いられてもよく、若しくは光溶解型の感光層が用いられてもよい。ここでは、レジスト層81として光溶解型の感光層が用いられる例について説明する。
An example of resist
レジスト層81は、第1導線51、引出配線44及び端子部45に対応したパターンで形成されている。レジスト層81は、例えば、はじめに、積層体60の表面上にコーターを用いて感光性材料をコーティングし、次に、感光性材料を所定のパターンで露光して現像することによって形成される。
The resist
(第1エッチング工程)
レジスト層81の形成の後、図9に示すレジスト層81をマスクとして用いて、低反射層63をエッチングする。これによって、図10に示すように、低反射層63をパターニングして、第1部分63a及び第2部分63bを形成することができる。
(First etching step)
After forming the resist
また、図9に示すレジスト層81をマスクとして用いて、金属層62をエッチングする。また、図9に示すレジスト層81をマスクとして用いて、密着層61をエッチングする。これによって、図10に示すように、密着層61及び金属層62をパターニングして、第1導線51、引出配線44及び端子部45を形成することができる。
Also, using the resist
第1エッチング工程においては、低反射層63と金属層62とを、同一のエッチング手段を用いてエッチングしてもよく、別々の手段を用いてエッチングしてもよい。また、金属層62と密着層61とを、同一のエッチング手段を用いてエッチングしてもよく、別々の手段を用いてエッチングしてもよい。
In the first etching step, the low-
低反射層63と金属層62とを、同一のエッチング手段を用いて一括してエッチングする場合、図10に示すように、低反射層63の第1部分63aの側面は、第1導線51の金属層62の側面と一致する。低反射層63と金属層62とを一括してエッチングする場合のエッチング液は、低反射層63の材料及び金属層62の材料に応じて適宜選択される。例えば、低反射層63の材料が酸化モリブデン、酸化鉄、酸化インジウム、又はこれらの複合酸化物焼結体であり、金属層62の材料がAg系合金である場合、エッチング液として燐硝酢酸を用いることができる。また、同一のエッチング液を用いて密着層61のエッチングも行う場合、密着層61の材料は、例えばIn、Zn、Ni、Mn又はMoを含む材料である。一例として、インジウム錫酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)などの酸化膜系の材料が挙げられる。
When the low-
次に、金属層62上に残っているレジスト層81を、アルカリ剥離液を用いて除去する。レジスト層81の除去に用いられるアルカリ剥離液は、レジスト層81を剥離することができる限り特に限定されない。これによって、図11に示すように、レジスト層81を除去することができる。
Next, the resist
(オーバーコート層形成工程)
本実施の形態においては、エッチングの後、図12に示すように、低反射層63のうち、第1導線51上に位置する第1部分63aと、引出配線44上に位置する第2部分63bと、端子部45上に位置する第2部分63bの第1導線51寄りの部分とを覆うようにオーバーコート層71を形成する。基材32の法線方向に沿って見た場合、オーバーコート層71は、オーバーコート層71の端部71aが端子部45及び端子部45上の低反射層63の第2部分63bを横切るように、基材32の第1領域33及び第2領域34の一部に広がっている。オーバーコート層71は、例えば以下のように形成することができる。まず、低反射層63を覆うように、アクリル系光硬化性樹脂を含むオーバーコート層材料層を形成する。次に、所定のパターンで開口部が設けられた図示しないマスクを介して、オーバーコート層材料層に所定のパターンで露光光を照射する。これにより、オーバーコート層材料層のうちオーバーコート層71として残るべき部分を硬化させる。その後、オーバーコート層材料層を現像して、オーバーコート層材料層の不要分を除去する。これによって、図12に示すオーバーコート層71を形成することができる。
(Overcoat layer forming step)
In the present embodiment, after etching, as shown in FIG. 12, of the low-
(第2エッチング工程)
オーバーコート層71の形成の後、オーバーコート層71をマスクとして用いて、図13に示すように、低反射層63の第2部分63bのうちオーバーコート層71から露出している部分をエッチングする。これによって、端子部45のうち第1導線51とは反対側に位置する部分上の低反射層63を除去する。これにより、端子部45に、低反射層63が設けられていない露出部分を形成することができる。この場合、図13に示すように、低反射層63の第2部分63bの外側端部63cは、オーバーコート層71の端部71aと一致する。
(Second etching step)
After forming the
第2エッチング工程における低反射層63のエッチング手段は、低反射層63と接している金属層62を残しつつ、低反射層63をエッチングすることができる限り、特に限定されない。例えば、低反射層63の材料のみを選択的にエッチングすることが可能なエッチング液を用いて、低反射層63をエッチングすることができる。また、金属層62と低反射層63とのいずれもエッチング可能なエッチング手段を用いる場合であっても、エッチングの時間を、低反射層63の厚みに対応した時間に制限することによって、金属層62を残すことができる。
Etching means for the low-
(透明導電膜形成工程)
第2エッチング工程の後、図4に示すように、端子部45のうちオーバーコート層71から露出している部分を覆う透明導電膜72を形成してもよい。例えば、まず、スパッタリング法などの物理成膜法によって透明導電膜72を形成する。次に、透明導電膜72上に、得ようとする複数の透明導電膜72のパターンに対応したパターンを有するレジストを形成する。次に、レジストをマスクとして用いて、透明導電膜72をエッチングする。これにより、図4に示す透明導電膜72を得ることができる。
(Transparent conductive film forming step)
After the second etching step, as shown in FIG. 4, a transparent
(第1の変形例)
上述の実施の形態においては、低反射層63の第2部分63bの外側端部63cが、基材32に対して垂直な平面を構成する例を示したが、外側端部63cの形態はこれに限られることはない。上述の実施の形態とは異なる形状を有する外側端部63cについて説明する。図14は、本変形例に係るタッチパネル基板30の端子部45に対してコネクタ73を電気的に接続した場合における端子部45を拡大して示す断面図である。
(First modification)
In the above embodiment, the
例えば図14に示すように、低反射層63の第2部分63bの外側端部63cには、第2エッチング工程におけるサイドエッチング等に起因する凹部が形成されている場合がある。この場合であっても、上述の実施の形態の場合と同様に、低反射層63の第2部分63bとオーバーコート層71との間の界面においては、第2部分63bの外側端部63cとオーバーコート層71の端部71aとが一致している。なお「一致」とは、低反射層63の第2部分63bとオーバーコート層71との間の界面において、第2部分63bの外側端部63cとオーバーコート層71の端部71aとの間の、端部71aが延びる方向に直交する方向における距離が、10μm以下であることを意味する。
For example, as shown in FIG. 14, the
また、上述の実施の形態においては、オーバーコート層71が一定の厚さを有する例を示したが、オーバーコート層71の形態はこれに限られることはない。例えば図14に示すように、オーバーコート層71は、第1導線51側から基材32の外縁側に向かうにつれ厚さが小さくなる、いわゆる順テーパー形状を有していてもよい。この場合において、端子部45に対して導電性接着層74を介してコネクタ73を接続するとき、タッチパネル基板30は、基材32の法線方向に沿って見た場合に導電性接着層74がオーバーコート層71に対して重なる領域A3を有していてもよい。
Moreover, although the
(第2の変形例)
上述の実施の形態においては、第2パターン42が、金属層62のベタパターンを有する例を示したが、第2パターンの形態はこれに限られることはない。本変形例においては、第2パターン42の引出配線44及び端子部45が、網目状に配置された導線を含む例について説明する。図15は、本変形例に係るタッチパネル基板30の第1パターン41及び第2パターン42を拡大して示す平面図である。また、図16は、本変形例に係るタッチパネル基板30を図15のXVI線に沿って切断した場合を示す断面の一部を拡大した図である。
(Second modification)
Although the
例えば図15及び図16に示すように、第2パターン42の引出配線44及び端子部45は、網目状に配置され、遮光性及び導電性を有する複数の第2導線52を含んでいてもよい。この場合、第2導線52が網目状に配置されていることにより、各第2導線52の間には、複数の第2導線開口部52aが画成されている。
For example, as shown in FIGS. 15 and 16, the
本変形例においても、図16に示すように、端子部45を構成する第2導線52のうち第1導線51とは反対側に位置する部分の上には、低反射層63が設けられていない。例えば、端子部45を構成する第2導線52のうちオーバーコート層71によって覆われている部分の上には低反射層63が設けられているが、オーバーコート層71から露出している部分の上には低反射層63が設けられていない。これにより、上述の実施の形態の場合と同様に、端子部45とコネクタとの間の接続部の電気抵抗を低減することができる。
Also in this modification, as shown in FIG. 16, a low-
(第3の変形例)
上述の第2の変形例においては、第2パターン42が、第2導線52から構成される例を示したが、第2パターン42の形態はこれに限られることはない。本変形例においては、第2パターン42の端子部45が、第2導線52とベタ部とを有する例について説明する。図17は、本変形例に係るタッチパネル基板30の第1パターン41及び第2パターン42を拡大して示す平面図である。また、図18は、本変形例に係るタッチパネル基板30を図17のXVIII線に沿って切断した場合を示す断面の一部を拡大した図である。
(Third modification)
In the second modified example described above, an example in which the
例えば図17及び図18に示すように、第2パターン42の端子部45は、第2導線52と、第2導線52に接するよう配置された複数のベタ部53とを含んでいてもよい。図17及び図18においては、第2パターン42のうち端子部45がベタ部53を含む場合について示しているが、本変形例の範囲はこれに限定されるものではない。例えば、引出配線44と端子部45とのいずれもが、ベタ部53を含んでいてもよい。
For example, as shown in FIGS. 17 and 18 , the
第3の変形例における端子部45は、網目状の第2導線52に加えて、複数のベタ部53を更に有している。このため、第2の変形例の場合に比べて、端子部45と端子部45上に設けられるコネクタ等の構成要素とが接触する面積を大きくすることができ、両者の界面における電気抵抗を低くすることができる。
The
本変形例においても、図18に示すように、端子部45を構成する第2導線52及びベタ部53のうち第1導線51とは反対側に位置する部分の上には、低反射層63が設けられていない。例えば、端子部45を構成する第2導線52及びベタ部53のうちオーバーコート層71によって覆われている部分の上には低反射層63が設けられているが、オーバーコート層71から露出している部分の上には低反射層63が設けられていない。これにより、上述の実施の形態の場合と同様に、端子部45とコネクタとの間の接続部の電気抵抗を低減することができる。
Also in this modification, as shown in FIG. 18, the low-
(第4の変形例)
図19は、タッチパネル基板30の第4の変形例を示す図である。図19は、第4の変形例の第1領域33における部分断面図を示している。なお、図19においては、密着層61や金属層62などの第1導線51の層構成の図示は省略し、第1導線51の輪郭のみを図示している。また、図19においては、低反射層63の図示を省略している。また、図19においては、基材32の第2面32bが図中の上方を向くようにして、部分断面図を表示している。第4の変形例においては、タッチパネル基板30の一方の面に、異なる方向に延び、互いに接続されていない2種類の第1パターン41が設けられている。以下、タッチパネル基板30が、延びる方向などが異なる2種類の第1パターン41を備える場合に、2種類の第1パターン41の一方を、一方の第1パターン41aとも称し、他方を、他方の第1パターン41bとも称する。第4の変形例においては、図19に示すように、基材32の第2面32b上に一方の第1パターン41aが設けられている。そして、一方の第1パターン41aを覆うように、第1のオーバーコート層71bが設けられている。さらに、第1のオーバーコート層71b上に、他方の第1パターン41bが設けられ、他方の第1パターン41bを覆うように、第2のオーバーコート層71cが設けられている。図示はしないが、タッチパネル基板30の第2のオーバーコート層71c上には、保護カバーが設けられてもよい。
(Fourth modification)
FIG. 19 is a diagram showing a fourth modification of the
(第5の変形例)
図20及び図21は、第5の変形例を示す図である。図20は、第5の変形例の第1領域33における部分平面図を示している。なお、図20においては、第1導線開口部51aが正方形となるように形成された第1導線51によって第1パターン41が構成されている場合を示している。図21は、タッチパネル基板30を図20のXXI線に沿って切断した場合を示す部分断面図である。なお、図21においては、密着層61や金属層62などの導線の層構成の図示は省略し、導線の輪郭のみを図示している。また、図21においては、低反射層63の図示を省略している。また、図21においては、基材32の第2面32bが図中の上方を向くようにして、部分断面図を表示している。第5の変形例においては、基材32の平面視において、一方の第1パターン41aと、他方の第1パターン41bとが重なる部分に、オーバーコート層71が設けられている。そして、一方の第1パターン41aは、オーバーコート層71上を経由して延び、他方の第1パターン41bは、基材32とオーバーコート層71との間を経由して延びている。これによって、基材32の平面視において2種類の第1パターン41が重なる部分において、2種類の第1パターン41が電気的に接続されてしまうことを避けている。
(Fifth Modification)
20 and 21 are diagrams showing a fifth modification. FIG. 20 shows a partial plan view of the
図21に示す例において、一方の第1パターン41aは、オーバーコート層71上を経由して延びる一方の第1導線51cを有する。また、他方の第1パターン41bは、複数に分割された他方の第1導線51dと、基材32とオーバーコート層71との間を経由して延び、複数に分割された他方の第1導線51dを互いに接続する接続導線57とを有する。図示はしないが、低反射層63は、第1導線51上と同様に、接続導線57上にも設けられていてもよい。また、図示はしないが、第5の変形例において、一方の第1パターン41aが、基材32とオーバーコート層71との間を経由して延びる一方の第1導線51cを有し、他方の第1パターン41bが、複数に分割された他方の第1導線51dと、オーバーコート層71上を経由して延び、複数に分割された他方の第1導線51dを互いに接続する接続導線57とを有してもよい。
In the example shown in FIG. 21 , one
また、第5の変形例は、図22及び図23に示すように、基材32の第2面32b上に設けられた接続導線57と、接続導線57を部分的に露出させる溝部71dを有し、溝部71dが設けられた部分を除いて基材32の全体を覆うように設けられたオーバーコート層71と、を有していてもよい。この場合、一方の第1パターン41aは、オーバーコート層71上に設けられた第1導線51cを有する。また、他方の第1パターン41bは、上述の接続導線57と、オーバーコート層71上に設けられ、複数に分割された他方の第1導線51dと、を有する。図23に示すように、複数に分割された他方の第1導線51dは、それぞれ溝部71dを通して接続導線57に電気的に接続される。
Further, as shown in FIGS. 22 and 23, the fifth modification has a
第5の変形例においては、図示はしないが、オーバーコート層71上に設けられた導線を覆うように、さらに追加のオーバーコート層を設けてもよい。また、図示はしないが、タッチパネル基板30の追加オーバーコート層上には、保護カバーが設けられてもよい。
In the fifth modification, although not shown, an additional overcoat layer may be provided so as to cover the conductors provided on the
(第6の変形例)
第4の変形例、及び第5の変形例においては、基材32の第2面32b上に、異なる方向に延びる2種類の第1パターン41の両方を設ける場合について示した。しかしながら、これに限られることなく、基材32の第1面32a上に、異なる方向に延びる2種類の第1パターン41の両方を設けてもよい。この場合において、タッチパネル基板30を用いてタッチパネルを製造するときには、基材32は、タッチパネルの保護カバーとして利用されてもよい。
(Sixth modification)
In the fourth modification and the fifth modification, cases where both of the two types of
(第7の変形例)
第7の変形例において、タッチパネル基板30は、2枚の基材32を有する。そして、2枚の基材32の一方に一方の第1パターン41aが設けられ、基材32の他方に、他方の第1パターン41bが設けられている。図24は、タッチパネル基板30の第7の変形例を示す図である。図24は、第7の変形例の第1領域33における部分断面図を示している。なお、図24においては、密着層61や金属層62などの第1導線51の層構成の図示は省略し、第1導線51の輪郭のみを図示している。また、図24においては、低反射層63の図示を省略している。また、図24においては、基材32の第2面32bが図中の上方を向くようにして、部分断面図を表示している。図24に示すタッチパネル基板は、第1積層部66と、第2積層部64と、第1積層部66と第2積層部64とを接続する接続部65とを有する。第1積層部66は、基材32と、基材32の第2面32b上に設けられた一方の第1パターン41aと、一方の基材32及び一方の第1パターン41aを覆うオーバーコート層71と、を有する。また、第2積層部64は、基材32と、基材32の第2面32b上に設けられた他方の第1パターン41bと、基材32及び一方の第1パターン41aを覆うオーバーコート層71と、を有する。図24に示す例においては、第1積層部66のオーバーコート層71側と、第2積層部64の基材32側とが、接続部65によって接続されている。図24に示すタッチパネル基板30においては、第1積層部66側に表示装置15が配置される。なお、第7の変形例に係るタッチパネル基板30は、図24に示すタッチパネル基板30と同様の層構成を有し、第2積層部64側に表示装置15が配置されるタッチパネル基板30であってもよい。
(Seventh Modification)
In the seventh modification, the
(第8の変形例)
図25乃至図27は、第8の変形例を示す図である。図25は、第8の変形例の部分平面図を示している。なお、図25においては、第1パターン41に含まれる網目状の第1導線51の図示は省略し、第1パターン41の概形を示している。また、図25においては、ダミーパターン47の図示は省略している。図26は、図25において符号XXVIが付された一点鎖線で囲まれた部分を拡大して示す平面図である。図27は、タッチパネル基板30を図26のXXVII線に沿って切断した場合を示す部分断面図である。なお、図27においては、密着層61や金属層62などの導線の層構成の図示は省略し、導線の輪郭のみを図示している。また、図27においては、低反射層63の図示を省略している。図25に示す例において、一方の第1パターン41aは、一方向に延びている。また、図25に示す例において、他方の第1パターン41bは、一方の第1パターン41aが延びる方向に並べられた複数の第1パターン構成単位41b1~41b5を有する。図25及び図26に示すように、複数の第1パターン構成単位41b1~41b5は、それぞれ一方の第1パターン41aと対向している。図27に示すように、一方の第1パターン41a及び他方の第1パターン41bは、基材32の第1面32a上に設けられている。図示はしないが、一方の第1パターン41a及び他方の第1パターン41bは、基材32の第2面32b上に設けられていてもよい。第8の変形例においては、例えば、一方の第1パターン41aがタッチパネルの駆動パターンとして用いられ、他方の第1パターン41bがタッチパネルの検出パターンとして用いられる。
(Eighth modification)
25 to 27 are diagrams showing an eighth modification. FIG. 25 shows a partial plan view of the eighth modification. In FIG. 25, illustration of the mesh-like
(タッチパネル基板の第9の変形例)
上述の実施の形態及び各変形例においては、タッチパネル基板30が、表示装置15とは異なる構成要素となっている場合について示した。しかしながら、タッチパネル基板30の形態はこれに限られず、タッチパネル基板30は、表示装置15の一構成要素となっていてもよい。この場合において、第9の変形例に係るタッチパネル基板30を用いてタッチパネルを製造するときには、表示装置15の一構成要素となっているタッチパネル基板30と、表示装置15とは異なる構成要素となっているタッチパネル基板30とを組み合わせて、タッチパネルを製造してもよい。
(Ninth Modification of Touch Panel Substrate)
In the embodiment and each modified example described above, the case where the
導電性パターン基板のその他の用途
上述の実施の形態においては、導電性パターン基板をタッチパネル基板30として用いる例を示したが、導電性パターン基板の用途はこれに限られることはない。例えば図28に示すように、第1パターン41をループ状に形成して、メッシュアンテナとして用いることができる。図28に示す例において、第1パターン41は、基材32の第1面32a上に設けられている。図示はしないが、第1パターン41は、第2面32b上に設けられていてもよい。なお、図示はしないが、第1パターン41の間にはダミーパターンが形成されていてもよい。
Other Uses of Conductive Pattern Substrate In the above-described embodiment, an example of using the conductive pattern substrate as the
10 タッチ位置検出機能付き表示装置
15 表示装置
16 表示パネル
16a 表示面
30 タッチパネル基板
32 基材
32a 第1面
32b 第2面
32c 第1辺
32d 第2辺
33 第1領域
34 第2領域
41 第1パターン
42 第2パターン
44 引出配線
45 端子部
47 ダミーパターン
51 第1導線
51a 第1導線開口部
52 第2導線
52a 第2導線開口部
53 ベタ部
55 傾斜辺
57 接続導線
60 積層体
61 密着層
62 金属層
63 低反射層
63a 第1部分
63b 第2部分
63c 外側端部
71 オーバーコート層
71a 端部
72 透明導電膜
72a 輪郭線
73 コネクタ
74 導電性接着層
81 レジスト層
90 メッシュアンテナ
10 Display device with touch position detection function 15 Display device 16
Claims (6)
表示装置の表示領域に対応する第1領域と、前記第1領域の周辺に位置する第2領域と、に区画される基材と、
前記基材の前記第1領域に網目状に配置され、遮光性及び導電性を有する複数の第1導線と、
前記基材の前記第2領域に位置し、前記第1導線と電気的に接続された端子部と、
前記第1導線上に位置する第1部分と、前記端子部のうち前記第1導線寄りの部分上に位置する第2部分と、を有する低反射層と、
前記低反射層を覆うよう前記第1領域及び前記第2領域の一部に広がり、且つ、前記基材の法線方向に沿って見た場合に前記端子部を横切る端部を有するオーバーコート層と、を備え、
前記低反射層の前記第2部分は、前記オーバーコート層の端部と一致する外側端部を有し、
前記端子部は、網目状に配置された複数の第2導線を有し、
前記基材の法線方向に沿って見た場合に前記端子部の輪郭を超えて広がり、前記端子部の前記オーバーコート層から露出している部分を覆う透明導電膜をさらに備える、導電性パターン基板。 A conductive pattern substrate,
a base material partitioned into a first region corresponding to a display region of a display device and a second region positioned around the first region;
a plurality of first conductive wires arranged in a mesh pattern in the first region of the base material and having light shielding properties and conductivity;
a terminal portion located in the second region of the base material and electrically connected to the first conductor;
a low reflective layer having a first portion located on the first conductor and a second portion located on a portion of the terminal portion closer to the first conductor;
An overcoat layer that extends over a portion of the first region and the second region so as to cover the low-reflection layer and has an edge portion that crosses the terminal portion when viewed along the normal direction of the base material. and
the second portion of the low-reflection layer has an outer edge coinciding with an edge of the overcoat layer;
The terminal portion has a plurality of second conductors arranged in a mesh,
Conductive, further comprising a transparent conductive film that extends beyond the outline of the terminal when viewed along the normal direction of the base material and covers a portion of the terminal that is exposed from the overcoat layer . pattern board.
表示装置の表示領域に対応する第1領域と、前記第1領域の周辺に位置する第2領域と、に区画される基材と、前記基材上に位置する金属層と、前記金属層上に位置する低反射層と、を含む積層体を準備する準備工程と、
前記積層体の前記低反射層上に、レジストパターンを形成するレジストパターン形成工程と、
前記レジストパターンをマスクとして用いて、前記金属層及び前記低反射層をエッチングすることにより、
前記金属層をパターニングして、前記基材の前記第1領域に網目状に配置され、遮光性及び導電性を有する複数の第1導線と、前記基材の前記第2領域に位置し、前記第1導線と電気的に接続された端子部であって、網目状に配置された複数の第2導線を有する端子部と、を作製し、
前記低反射層をパターニングして、前記第1導線上に位置する第1部分と、前記端子部上に位置する第2部分と、を作製する、第1エッチング工程と、
前記低反射層のうち、前記第1部分と、前記第2部分の前記第1導線寄りの部分とを覆うよう、前記第1領域及び前記第2領域の一部に広がるオーバーコート層を形成するオーバーコート層形成工程と、
前記オーバーコート層をマスクとして用いて、前記低反射層の前記第2部分をエッチングすることにより、前記第2部分のうち前記オーバーコート層に覆われていない一部を除去する第2エッチング工程と、
前記基材の法線方向に沿って見た場合に前記端子部の輪郭を超えて広がり、前記端子部の前記オーバーコート層から露出している部分を覆う透明導電膜を形成する透明導電膜形成工程と、を備える、導電性パターン基板の製造方法。 A method for manufacturing a conductive pattern substrate,
A substrate partitioned into a first region corresponding to a display region of a display device and a second region positioned around the first region, a metal layer positioned on the base, and on the metal layer A preparation step of preparing a laminate including a low-reflection layer located in
a resist pattern forming step of forming a resist pattern on the low reflection layer of the laminate;
By etching the metal layer and the low-reflection layer using the resist pattern as a mask,
By patterning the metal layer, a plurality of first conductors having light shielding properties and conductivity, which are arranged in a mesh pattern in the first region of the base material, and located in the second region of the base material, the producing a terminal portion electrically connected to the first conducting wire, the terminal portion having a plurality of second conducting wires arranged in a mesh pattern ;
a first etching step of patterning the low-reflection layer to form a first portion located on the first conductor and a second portion located on the terminal portion;
Forming an overcoat layer that extends over a part of the first region and the second region so as to cover the first portion and a portion of the second portion near the first conductor line in the low-reflection layer an overcoat layer forming step;
a second etching step of removing a portion of the second portion not covered with the overcoat layer by etching the second portion of the low-reflection layer using the overcoat layer as a mask; ,
forming a transparent conductive film that extends beyond the outline of the terminal when viewed along the normal direction of the base material and covers the portion of the terminal that is exposed from the overcoat layer; A method for manufacturing a conductive pattern substrate , comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018179166A JP7206744B2 (en) | 2018-09-25 | 2018-09-25 | Conductive pattern substrate and method for manufacturing conductive pattern substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018179166A JP7206744B2 (en) | 2018-09-25 | 2018-09-25 | Conductive pattern substrate and method for manufacturing conductive pattern substrate |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020052551A JP2020052551A (en) | 2020-04-02 |
JP7206744B2 true JP7206744B2 (en) | 2023-01-18 |
Family
ID=69997113
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018179166A Active JP7206744B2 (en) | 2018-09-25 | 2018-09-25 | Conductive pattern substrate and method for manufacturing conductive pattern substrate |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7206744B2 (en) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013235315A (en) | 2012-05-07 | 2013-11-21 | Dainippon Printing Co Ltd | Touch panel sensor |
JP2015130007A (en) | 2014-01-06 | 2015-07-16 | 大日本印刷株式会社 | Touch panel sensor, manufacturing method of touch panel sensor and display unit having touch position detection function |
JP2015130083A (en) | 2014-01-08 | 2015-07-16 | グンゼ株式会社 | touch panel |
JP2015157392A (en) | 2014-02-24 | 2015-09-03 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Laminate for see-through type electrode and production method for the same, see-through type electrode material and device |
JP2016110380A (en) | 2014-12-05 | 2016-06-20 | 三菱電機株式会社 | Touch panel structure, method for manufacturing the structure, display device, and method for manufacturing the device |
JP2016118823A (en) | 2014-12-18 | 2016-06-30 | 大日本印刷株式会社 | Touch panel sensor |
JP2017102579A (en) | 2015-11-30 | 2017-06-08 | 株式会社ジャパンディスプレイ | Display device with sensor and sensor device |
-
2018
- 2018-09-25 JP JP2018179166A patent/JP7206744B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013235315A (en) | 2012-05-07 | 2013-11-21 | Dainippon Printing Co Ltd | Touch panel sensor |
JP2015130007A (en) | 2014-01-06 | 2015-07-16 | 大日本印刷株式会社 | Touch panel sensor, manufacturing method of touch panel sensor and display unit having touch position detection function |
JP2015130083A (en) | 2014-01-08 | 2015-07-16 | グンゼ株式会社 | touch panel |
JP2015157392A (en) | 2014-02-24 | 2015-09-03 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Laminate for see-through type electrode and production method for the same, see-through type electrode material and device |
JP2016110380A (en) | 2014-12-05 | 2016-06-20 | 三菱電機株式会社 | Touch panel structure, method for manufacturing the structure, display device, and method for manufacturing the device |
JP2016118823A (en) | 2014-12-18 | 2016-06-30 | 大日本印刷株式会社 | Touch panel sensor |
JP2017102579A (en) | 2015-11-30 | 2017-06-08 | 株式会社ジャパンディスプレイ | Display device with sensor and sensor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020052551A (en) | 2020-04-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101307296B1 (en) | Narrow-frame touch input sheet superior in anti-rusting property and production method thereof | |
US9189033B2 (en) | Touchscreen panel sensor film and manufacturing method thereof | |
KR101464818B1 (en) | Capacitance type input device and production method thereof | |
JP6032532B2 (en) | Front protective plate for touch panel integrated display device and display device | |
JP6324656B2 (en) | Touch panel substrate and display device | |
JP5594601B2 (en) | Touch panel sensor, method for manufacturing the touch panel sensor, and method for manufacturing an input / output device including the touch panel sensor | |
JP2014071734A (en) | Substrate for color filter integrated touch panel sensor, color filter integrated touch panel sensor, and color filter integrated touch panel module | |
JP5375692B2 (en) | Manufacturing method of touch panel sensor | |
TW201441892A (en) | Touch panel | |
TW201516815A (en) | Capacitive touch panel and method of fabricating the same | |
JP5892418B2 (en) | Touch panel sensor, touch panel sensor manufacturing method, and laminate for manufacturing touch panel sensor | |
TWI559199B (en) | Electrostatic capacitive touch panel substrate and display device | |
CN107608562A (en) | Contact panel, contact panel manufacture method and the electronic equipment using contact panel | |
JP6361106B2 (en) | Substrate with transparent conductive film, touch panel substrate, touch panel integrated front protective plate for display device, and display device | |
JP5707949B2 (en) | Touch panel sensor and method for manufacturing touch panel sensor | |
JP2015032214A (en) | Touch panel sensor and display unit with touch position detection function | |
JP7206744B2 (en) | Conductive pattern substrate and method for manufacturing conductive pattern substrate | |
CN106802736B (en) | Touch panel and manufacturing method thereof | |
JP6435901B2 (en) | Touch panel sensor, touch panel device, and conductive pattern substrate | |
JP7212854B2 (en) | Conductive pattern substrate and method for manufacturing conductive pattern substrate | |
JP6205995B2 (en) | Display device with touch panel sensor and touch position detection function | |
JP6232856B2 (en) | Front protective plate for display device and display device | |
JP6233024B2 (en) | Touch panel sensor, touch panel sensor manufacturing method, and display device with touch position detection function | |
JP2015046034A (en) | Touch panel sensor, manufacturing method of touch panel sensor and display unit with touch position detection function | |
JP6376430B2 (en) | Display device with touch panel sensor and touch position detection function |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210727 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220413 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220419 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20220615 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220812 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221206 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221219 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7206744 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |