JP7205089B2 - Photosensitive resin composition, partition wall, organic electroluminescence device, image display device and lighting - Google Patents

Photosensitive resin composition, partition wall, organic electroluminescence device, image display device and lighting Download PDF

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本発明は、感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物で構成される隔壁、該隔壁を備える有機電界発光素子、該有機電界発光素子を含む画像表示装置及び照明に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a photosensitive resin composition, a partition made of the photosensitive resin composition, an organic electroluminescence device comprising the partition, an image display device and illumination comprising the organic electroluminescence device.

従来から、有機電界ディスプレイや有機電界照明などに含まれる有機電界発光素子は、基板上に、隔壁(バンク)を形成した後に、隔壁に囲まれた領域内に、種々の機能層を積層して製造されている。このような隔壁を容易に形成する方法として、感光性樹脂組成物を用いるフォトリソグラフィー法により形成する方法が知られている。 Conventionally, organic electroluminescence elements included in organic electric field displays and organic electric field lighting have been formed by forming partitions (banks) on a substrate and then laminating various functional layers in the region surrounded by the partitions. manufactured. As a method for easily forming such partition walls, a method of forming them by photolithography using a photosensitive resin composition is known.

また、隔壁に囲まれた領域内に種々の機能層を積層する方法としては、まず機能層を構成する材料を含むインクを調製し、次いで、調製したインクを隔壁に囲まれた領域内に注入する方法が知られている。この方法の中でも、所定量のインクを所定の箇所に正確に注入しやすいことから、インクジェット法が採用されることが多い。 In addition, as a method of laminating various functional layers in the region surrounded by the partition walls, first, an ink containing the materials constituting the functional layers is prepared, and then the prepared ink is injected into the region surrounded by the partition walls. It is known how to Among these methods, the inkjet method is often adopted because it is easy to accurately inject a predetermined amount of ink into a predetermined location.

さらに、インクを用いて機能層を形成する場合、隔壁へのインクの付着の予防や、隣接する領域間に注入されるインク同士が混合されることを防ぐ目的等で、隔壁に撥インク性(撥液性)を付与することが求められる場合がある。隔壁に撥インク性を付与する方法としては、例えば、隔壁にフッ素系化合物を含有させる方法が知られている(特許文献1及び2参照)。 Furthermore, when the functional layer is formed using ink, the partition wall should be made ink-repellent ( liquid repellency) may be required. As a method of imparting ink repellency to the partition walls, for example, a method of incorporating a fluorine-based compound into the partition walls is known (see Patent Documents 1 and 2).

また、特許文献3、には、特定のフッ素樹脂を用いることで、高い撥インク性を有する硬化物が形成可能であると記載されており、また特許文献4には、特定のフッ素樹脂を用いることで、防汚性、擦傷性、平滑性が良好な硬化物を形成可能であることが記載されている。 Further, Patent Document 3 describes that a cured product having high ink repellency can be formed by using a specific fluororesin, and Patent Document 4 describes the use of a specific fluororesin. It is described that a cured product having good antifouling properties, scratch resistance, and smoothness can be formed by this.

国際公開第2013/161829号WO2013/161829 特開2017-227771号公報JP 2017-227771 A 特開2012-092308号公報JP 2012-092308 A 特開2018-025687号公報JP 2018-025687 A

感光性樹脂組成物を用いて隔壁を形成する場合、隔壁で囲まれた画素部分に該組成物の残渣が発生すると、画素部分の一部が発光しなくなる場合がある。そのため、隔壁形成後に残渣の除去等を目的としてUV洗浄処理を行うことがあるが、本発明者らが検討したところ、UV洗浄処理によって残渣が除去される一方で、隔壁の撥インク性が低下するという問題があることが見出された。
本発明者らが検討したところ、特許文献1及び2に記載の感光性樹脂組成物では、UV洗浄処理後の撥インク性が十分ではないことがわかった。
また、特許文献3及び4に記載の感光性樹脂組成物では、撥インク性が十分ではないことがわかった。
When a partition wall is formed using a photosensitive resin composition, if residue of the composition is generated in a pixel portion surrounded by the partition wall, part of the pixel portion may not emit light. For this reason, UV cleaning treatment is sometimes performed for the purpose of removing residues after forming the partition walls. However, the present inventors have investigated and found that while UV cleaning treatment removes residues, the ink repellency of the partition walls is reduced. It was found that there is a problem that
As a result of investigation by the present inventors, it was found that the photosensitive resin compositions described in Patent Documents 1 and 2 do not have sufficient ink repellency after UV cleaning treatment.
In addition, it was found that the photosensitive resin compositions described in Patent Documents 3 and 4 do not have sufficient ink repellency.

そこで、本発明では、UV照射後も撥インク性が良好なパターンを形成可能な感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
また本発明は、当該感光性樹脂組成物で構成される隔壁や、該隔壁を備える有機電界発光素子、該有機電界発光素子を含む画像表示装置及び照明を提供することを目的とする。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition capable of forming a pattern having good ink repellency even after UV irradiation.
Another object of the present invention is to provide a partition made of the photosensitive resin composition, an organic electroluminescence element including the partition, and an image display device and lighting including the organic electroluminescence element.

本発明者らが鋭意検討した結果、感光性樹脂組成物において、特定の構造を有する撥液剤を用い、光重合性化合物に対するアルカリ可溶性樹脂の含有割合を特定範囲とすることで上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。
即ち本発明の要旨は以下の通りである。
As a result of intensive studies by the present inventors, it was found that the above problems can be solved by using a liquid-repellent agent having a specific structure in the photosensitive resin composition and by setting the content ratio of the alkali-soluble resin to the photopolymerizable compound within a specific range. and completed the present invention.
That is, the gist of the present invention is as follows.

[1] (A)撥液剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)光重合性化合物、及び(D)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、
前記(A)撥液剤が、アダマンタン骨格及びエチレン性二重結合を有するフッ素原子含有アクリル樹脂(a)を含み、
前記(C)光重合性化合物100質量部に対する前記(B)アルカリ可溶性樹脂の含有割合が500質量部以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
[1] A photosensitive resin composition containing (A) a liquid repellent agent, (B) an alkali-soluble resin, (C) a photopolymerizable compound, and (D) a photopolymerization initiator,
The (A) liquid repellent agent contains a fluorine atom-containing acrylic resin (a) having an adamantane skeleton and an ethylenic double bond,
A photosensitive resin composition, wherein the content ratio of the alkali-soluble resin (B) is 500 parts by mass or less relative to 100 parts by mass of the photopolymerizable compound (C).

[2] 前記フッ素原子含有アクリル樹脂(a)が、下記一般式(2)で表される部分構造を有する、[1]に記載の感光性樹脂組成物。 [2] The photosensitive resin composition according to [1], wherein the fluorine atom-containing acrylic resin (a) has a partial structure represented by the following general formula (2).

Figure 0007205089000001
Figure 0007205089000001

(式(2)中、R4及びR5は各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。
4はパーフルオロアルキレン基を表す。式(2)中に含まれる複数のX4は同一のものでも異なるものでもよく、異なるものの場合にはランダム状に存在してもブロック状に存在していてもよい。
5は各々独立に直接結合又は任意の2価の連結基を表す。
nは1以上の整数である。
*は結合手を表す。)
(In Formula (2), R 4 and R 5 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group.
X4 represents a perfluoroalkylene group. A plurality of X 4 contained in formula (2) may be the same or different, and in the case of different ones, they may exist randomly or in blocks.
Each X 5 independently represents a direct bond or any divalent linking group.
n is an integer of 1 or more.
* represents a bond. )

[3] 前記(B)アルカリ可溶性樹脂が、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1)を含有する、[1]又は[2]に記載の感光性樹脂組成物。
[4] 前記(A)撥液剤の含有割合が、全固形分中に2質量%以下である、[1]~[3]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[5] 隔壁形成用である[1]~[4]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[3] The photosensitive resin composition according to [1] or [2], wherein the alkali-soluble resin (B) contains an epoxy (meth)acrylate resin (b1).
[4] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [3], wherein the content of (A) the liquid repellent agent is 2% by mass or less in the total solid content.
[5] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [4], which is used for forming partition walls.

[6] [1]~[5]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物で構成される隔壁。
[7] [6]に記載の隔壁を備える有機電界発光素子。
[8] [7]に記載の有機電界発光素子を含む画像表示装置。
[9] [7]に記載の有機電界発光素子を含む照明。
[6] A partition made of the photosensitive resin composition according to any one of [1] to [5].
[7] An organic electroluminescence device comprising the partition according to [6].
[8] An image display device comprising the organic electroluminescence device of [7].
[9] Lighting including the organic electroluminescent device according to [7].

本発明により、UV照射後も撥インク性が良好なパターンを形成可能な感光性樹脂組成物を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION By this invention, the photosensitive resin composition which can form a pattern with favorable ink repellency after UV irradiation can be provided.

以下、本発明を詳細に説明する。なお、以下の記載は本発明の実施形態の一例であり、本発明はその要旨を超えない限り、これらに特定されない。
なお、本発明において、「(メタ)アクリル」とは、「アクリル及び/又はメタクリル」を意味するものとし、また、「全固形分」とは、感光性樹脂組成物における溶剤以外の全成分を意味するものとする。さらに、本発明において「~」を用いて表される数値範囲は、「~」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
また、本発明において、「(共)重合体」とは、単一重合体(ホモポリマー)と共重合体(コポリマー)の双方を含むことを意味し、また、「多塩基酸(無水物)」とは、「多塩基酸及び/又は多塩基酸無水物」を意味する。
本発明において、重量平均分子量とは、GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)によるポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)をさす。
本発明において酸価とは、有効固形分換算の酸価を表し、中和滴定により算出される。
The present invention will be described in detail below. It should be noted that the following description is an example of the embodiment of the present invention, and the present invention is not specified as long as it does not exceed the gist thereof.
In the present invention, "(meth)acrylic" means "acrylic and/or methacrylic", and "total solid content" means all components other than the solvent in the photosensitive resin composition. shall mean. Furthermore, in the present invention, a numerical range represented by "-" means a range including the numerical values before and after "-" as lower and upper limits.
Further, in the present invention, "(co)polymer" means including both a single polymer (homopolymer) and a copolymer (copolymer), and "polybasic acid (anhydride)" means "polybasic acid and/or polybasic acid anhydride".
In the present invention, the weight average molecular weight refers to the polystyrene equivalent weight average molecular weight (Mw) by GPC (gel permeation chromatography).
In the present invention, the acid value represents an acid value in terms of effective solid content, and is calculated by neutralization titration.

本発明において、隔壁材とはバンク材、壁材、ウォール材をさし、同様に、隔壁とはバンク、壁、ウォールをさす。
また本発明において、発光部とは電気エネルギーを与えた場合に光を放出する部分をさす。
In the present invention, a partition wall material means a bank material, a wall material, and a wall material, and similarly, a partition wall means a bank, a wall, and a wall.
In the present invention, the light-emitting portion means a portion that emits light when electrical energy is applied.

[1]感光性樹脂組成物
本発明の感光性樹脂組成物は、(A)撥液剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)光重合性化合物、及び(D)光重合開始剤を含有し、前記(A)撥液剤がアダマンタン骨格及びエチレン性二重結合を有し、前記(C)光重合性化合物100質量部に対する前記(B)アルカリ可溶性樹脂の含有割合が500質量部以下であることを特徴とする。必要に応じてさらにその他の成分を含んでいてもよく、例えば連鎖移動剤や、紫外線吸収剤、重合禁止剤等を含んでいてもよい。
[1] Photosensitive resin composition The photosensitive resin composition of the present invention contains (A) a liquid repellent agent, (B) an alkali-soluble resin, (C) a photopolymerizable compound, and (D) a photopolymerization initiator. , The (A) liquid repellent agent has an adamantane skeleton and an ethylenic double bond, and the content ratio of the (B) alkali-soluble resin with respect to 100 parts by mass of the (C) photopolymerizable compound is 500 parts by mass or less. characterized by If necessary, it may further contain other components such as a chain transfer agent, an ultraviolet absorber, a polymerization inhibitor, and the like.

本発明において隔壁とは、例えば、アクティブ駆動型有機電界発光素子における機能層(有機層、発光部)を区画するためのものであり、区画された領域(画素領域)に機能層を構成するための材料であるインクを吐出、乾燥することで、機能層及び隔壁を含む画素等を形成させていくために使用されるものである。 In the present invention, the partition is, for example, for partitioning the functional layers (organic layer, light-emitting portion) in the active drive type organic electroluminescent device, and for configuring the functional layer in the partitioned region (pixel region). It is used to form pixels and the like including functional layers and partition walls by ejecting and drying the ink, which is the material of .

[1-1]感光性樹脂組成物の成分及び組成
本発明の感光性樹脂組成物を構成する成分およびその組成について説明する。
本発明の感光性樹脂組成物は、(A)撥液剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)光重合性化合物、及び(D)光重合開始剤を含有し、通常は溶剤も含有する。
[1-1] Components and Composition of Photosensitive Resin Composition Components constituting the photosensitive resin composition of the present invention and their composition will be described.
The photosensitive resin composition of the present invention contains (A) a liquid-repellent agent, (B) an alkali-soluble resin, (C) a photopolymerizable compound, and (D) a photopolymerization initiator, and usually also contains a solvent.

[1-1-1](A)成分;撥液剤
本発明の感光性樹脂組成物は、(A)撥液剤を含有する。(A)撥液剤を含有することで、得られる隔壁の表面に撥インク性(撥液性)を付与できることから、インクジェット法で有機電界発光素子を作成する際には、隔壁へのインクの付着が予防され、また、隣接する領域間に注入されるインク同士が混合されることを予防できると考えられる。
[1-1-1] Component (A); Liquid Repellent The photosensitive resin composition of the present invention contains (A) a liquid repellent. (A) By containing a liquid-repellent agent, it is possible to impart ink repellency (liquid repellency) to the surface of the resulting partition walls. is prevented, and mixing of inks injected between adjacent regions can be prevented.

本発明の感光性樹脂組成物における(A)撥液剤は、アダマンタン骨格及びエチレン性二重結合を有するフッ素原子含有アクリル樹脂(以下、「アクリル樹脂(a)」と称する場合がある。)を含む。UV照射により、硬化物中の樹脂等の吸収による発熱で硬化物表層温度は上昇する傾向にあるが、アクリル樹脂(a)はフッ素原子を含有することでより表層に偏析するため発熱の影響を受けやすい。アクリル樹脂(a)は、耐熱性の高い脂肪族多環構造であるアダマンタン骨格を有することで、UV照射におけるアクリル樹脂(a)の熱分解が抑制され、UV照射後においても隔壁表面におけるフッ素原子の存在量を維持でき、UV照射後の接触角の低下率が低く、IJ塗布適性が良好になると考えられる。また、エチレン性二重結合を有することで、塗布膜を露光した際にその表面にアクリル樹脂(a)が固定されるため、アクリル樹脂(a)が現像処理時に流出しにくくなり、その結果、得られる隔壁の撥インク性を高くすることができると考えられる。
また、アクリル樹脂(a)がアクリル樹脂構造であることによって、(B)アルカリ可溶性樹脂や(C)光重合性化合物との相溶性を高めることができ、感光性樹脂組成物の保存性も高めることができるととともに、画素部の残渣発生を抑制できて濡れ広がり性が良好になると考えられる。
(A) the liquid repellent agent in the photosensitive resin composition of the present invention contains a fluorine atom-containing acrylic resin having an adamantane skeleton and an ethylenic double bond (hereinafter sometimes referred to as "acrylic resin (a)"). . Due to UV irradiation, the surface temperature of the cured product tends to increase due to the heat generated by the absorption of the resin, etc. in the cured product, but the acrylic resin (a) contains fluorine atoms and segregates more on the surface layer, so the effect of heat generation is suppressed. easy to receive. The acrylic resin (a) has an adamantane skeleton, which is an aliphatic polycyclic structure with high heat resistance, so that the thermal decomposition of the acrylic resin (a) during UV irradiation is suppressed, and even after UV irradiation, fluorine atoms on the partition wall surface can be maintained, the rate of decrease in the contact angle after UV irradiation is low, and the IJ coating suitability is considered to be good. In addition, by having an ethylenic double bond, the acrylic resin (a) is fixed on the surface of the coating film when it is exposed to light. It is thought that the ink repellency of the resulting partition walls can be enhanced.
In addition, since the acrylic resin (a) has an acrylic resin structure, the compatibility with (B) the alkali-soluble resin and (C) the photopolymerizable compound can be improved, and the storage stability of the photosensitive resin composition is also improved. In addition, it is thought that the generation of residues in the pixel portion can be suppressed, and the wetting and spreading property can be improved.

アクリル樹脂(a)はアダマンタン骨格を有するものであるが、アダマンタン骨格は、1価の基でもよく、2価以上の基でもよい。また、無置換でもよいし、置換基を有するものでもよい。
アダマンタン骨格はアクリル樹脂(a)の化学構造のどこにあってもよく、例えば、アクリル樹脂の主鎖中にあってもよく、側鎖中にあってもよい。合成しやすさの観点から、側鎖中にあることが好ましい。
The acrylic resin (a) has an adamantane skeleton, and the adamantane skeleton may be a monovalent group or a divalent or higher group. Further, it may be unsubstituted or may have a substituent.
The adamantane skeleton can be anywhere in the chemical structure of acrylic resin (a), for example, it can be in the main chain or side chain of the acrylic resin. From the viewpoint of ease of synthesis, it is preferably in the side chain.

アクリル樹脂(a)におけるアダマンタン環の含有割合は特に限定されないが、10質量%以上が好ましく、20質量%以上がより好ましく、25質量%以上がさらに好ましく、30質量%以上が特に好ましく、また、50質量%以下が好ましく、45質量%以下がより好ましく、40質量%以下がさらに好ましく、35質量%以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることでUV照射時の接触角の低下が抑えられる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで撥インク性が高くなる傾向がある。なお、アダマンタン環の含有割合を算出する際のアダマンタン環は、アダマンタン骨格が置換基を有する場合には置換基を除いて計算する、つまり、置換基を水素原子に置き換えて計算する。また、アダマンタン骨格が1価の基の場合には1個の結合手を水素原子に置き換えて計算し、2価の基の場合にも同様に2個の結合手を水素原子に置き換えて計算する。 The content of the adamantane ring in the acrylic resin (a) is not particularly limited, but is preferably 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, further preferably 25% by mass or more, particularly preferably 30% by mass or more, and 50% by mass or less is preferable, 45% by mass or less is more preferable, 40% by mass or less is even more preferable, and 35% by mass or less is particularly preferable. When the content is at least the above lower limit, the contact angle tends to be suppressed from decreasing during UV irradiation. When the adamantane skeleton has a substituent, the adamantane ring when calculating the content of the adamantane ring is calculated by excluding the substituent, that is, by replacing the substituent with a hydrogen atom. In addition, when the adamantane skeleton is a monovalent group, the calculation is performed by replacing one bond with a hydrogen atom, and in the case of a divalent group, similarly, the calculation is performed by replacing two bonds with a hydrogen atom. .

アクリル樹脂(a)の二重結合当量は特に限定されないが、700以下が好ましく、600以下がより好ましく、550以下がさらに好ましく、500以下が特に好ましく、また、200以上が好ましく、300以上がより好ましく、400以上がさらに好ましく、450以上が特に好ましい。前記上限値以下とすることで、現像時の画素部分への撥液剤の流出が抑制され、インクジェット液の塗布性が良化する傾向があり、また、前記下限値以上とすることで撥インク性が高くなる傾向がある。
アクリル樹脂(a)の二重結合当量は下記式から算出することができる。
(アクリル樹脂(a)の二重結合当量)
= (アクリル樹脂(a)の分子量)/(アクリル樹脂(a)1分子あたりのエチレン性不飽和二重結合の数)
The double bond equivalent of the acrylic resin (a) is not particularly limited, but is preferably 700 or less, more preferably 600 or less, further preferably 550 or less, particularly preferably 500 or less, and preferably 200 or more, more preferably 300 or more. It is preferably 400 or more, more preferably 450 or more. When the upper limit value or less is used, the outflow of the liquid-repellent agent to the pixel portion during development is suppressed, and the applicability of the inkjet liquid tends to be improved. tends to be higher.
The double bond equivalent of acrylic resin (a) can be calculated from the following formula.
(Double bond equivalent of acrylic resin (a))
= (molecular weight of acrylic resin (a))/(number of ethylenically unsaturated double bonds per molecule of acrylic resin (a))

アクリル樹脂(a)はフッ素原子を含有するものである。アクリル樹脂(a)におけるフッ素原子の含有割合は特に限定されないが、1質量%以上が好ましく、5質量%以上がより好ましく、7質量%以上がさらに好ましく、8質量%以上が特に好ましく、また、30質量%以下が好ましく、20質量%以下がより好ましく、15質量%以下がさらに好ましく、12質量%以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで撥インク性が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで樹脂合成が容易になる傾向がある。 The acrylic resin (a) contains fluorine atoms. The content of fluorine atoms in the acrylic resin (a) is not particularly limited, but is preferably 1% by mass or more, more preferably 5% by mass or more, further preferably 7% by mass or more, particularly preferably 8% by mass or more, and 30% by mass or less is preferable, 20% by mass or less is more preferable, 15% by mass or less is even more preferable, and 12% by mass or less is particularly preferable. When the content is equal to or higher than the lower limit, the ink repellency tends to be enhanced, and when the content is equal to or lower than the upper limit, resin synthesis tends to be facilitated.

アクリル樹脂(a)の化学構造は特に限定されないが、UV照射後の撥インク性の観点から、アダマンタン骨格を含む部分構造として、下記一般式(1)で表される部分構造を有することが好ましい。 Although the chemical structure of the acrylic resin (a) is not particularly limited, it preferably has a partial structure represented by the following general formula (1) as a partial structure containing an adamantane skeleton from the viewpoint of ink repellency after UV irradiation. .

Figure 0007205089000002
Figure 0007205089000002

式(1)中、R1は水素原子又はメチル基を表す。R2は置換基を有していてもよい1価のアダマンチル基を表す。 In formula (1), R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group. R 2 represents a monovalent adamantyl group which may have a substituent.

(R2
式(1)中、R2は置換基を有していてもよい1価のアダマンチル基を表す。
2におけるアダマンチル基が有していてもよい置換基としては、水酸基、アルコキシ基、ハロゲン原子、エチレン性二重結合を有する1価の基などが挙げられる。
( R2 )
In formula (1), R 2 represents a monovalent adamantyl group which may have a substituent.
Examples of the substituent that the adamantyl group in R 2 may have include a hydroxyl group, an alkoxy group, a halogen atom, and a monovalent group having an ethylenic double bond.

アクリル樹脂(a)が前記一般式(1)で表される部分構造を有する場合、その含有割合は特に限定されないが、60モル%以上が好ましく、80モル%以上がより好ましく、90モル%以上がさらに好ましく、93モル%以上が特に好ましく、また、99モル%以下が好ましく、98モル%以下がより好ましく、97モル%以下がさらに好ましく、96モル%以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることでUV照射後の撥インク性の低下が十分に抑制される傾向があり、また、前記上限値以下とすることで撥インク性が高くなる傾向がある。 When the acrylic resin (a) has a partial structure represented by the general formula (1), the content is not particularly limited, but is preferably 60 mol% or more, more preferably 80 mol% or more, and 90 mol% or more. is more preferable, 93 mol% or more is particularly preferable, 99 mol% or less is preferable, 98 mol% or less is more preferable, 97 mol% or less is more preferable, and 96 mol% or less is particularly preferable. When it is at least the above lower limit, the decrease in ink repellency after UV irradiation tends to be sufficiently suppressed, and when it is at most the above upper limit, the ink repellency tends to increase.

前記一般式(1)で表される部分構造の中でも、現像時の画素部分への撥液剤の流出を抑制しインクジェット液の塗布性が良化される観点から、下記一般式(1-1)で表される部分構造を含むことが好ましい。 Among the partial structures represented by the general formula (1), from the viewpoint of suppressing the outflow of the liquid-repellent agent to the pixel portion during development and improving the coatability of the inkjet liquid, the following general formula (1-1) It is preferable that the partial structure represented by is included.

Figure 0007205089000003
Figure 0007205089000003

式(1-1)中、R1及びR3は各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。
1は置換基を有していてもよいアダマンチレン基を表す。
2はウレタン結合又はエステル結合を表す。
3は2価の炭化水素基を表す。
*は結合手を表す。
In formula (1-1), R 1 and R 3 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group.
X 1 represents an adamantylene group optionally having a substituent.
X2 represents a urethane bond or an ester bond.
X3 represents a divalent hydrocarbon group.
* represents a bond.

(X1
前記式(1-1)中、X1は置換基を有していてもよいアダマンチレン基を表す。
1におけるアダマンチレン基が有していてもよい置換基としては、水酸基、アルコキシ基、ハロゲン原子などが挙げられる。これらの中でも、合成容易性の観点からは無置換であることが好ましい。
( X1 )
In formula (1-1) above, X 1 represents an adamantylene group which may have a substituent.
Examples of the substituent that the adamantylene group in X 1 may have include a hydroxyl group, an alkoxy group, and a halogen atom. Among these, unsubstituted groups are preferred from the viewpoint of ease of synthesis.

(X2
前記式(1-1)中、X2はウレタン結合(-O-CO-NH-)又はエステル結合(-O-CO-)を表す。これらの中でもUV照射後の撥インク性の低下抑制の観点から、ウレタン結合が好ましい。
( X2)
In the formula (1-1), X 2 represents a urethane bond (--O--CO--NH--) or an ester bond (--O--CO--). Among these, a urethane bond is preferable from the viewpoint of suppressing a decrease in ink repellency after UV irradiation.

(X3
前記式(1-1)中、X3は2価の炭化水素基を表す。
2価の炭化水素基としては、2価の脂肪族基、2価の芳香族環基が挙げられる。
( X3)
In formula (1-1) above, X 3 represents a divalent hydrocarbon group.
Divalent hydrocarbon groups include divalent aliphatic groups and divalent aromatic ring groups.

2価の脂肪族基としては、直鎖状、分岐鎖状、又は環状のアルキレン基や、直鎖状、分岐鎖状、又は環状のアルケニレン基が挙げられる。
2価の脂肪族基の炭素数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、また10以下が好ましく、8以下がより好ましく、5以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることでUV照射後の撥インク性の低下が抑制できる傾向があり、前記上限値以下とすることで撥インク性が高くなる傾向がある。
2価の脂肪族基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、エテニレン基、プロピレン基、プロペニレン基、ブチレン基、ブテニレン基、シクロヘキシレン基、アダマンチレン基などが挙げられる。
2価の脂肪族基が有していてもよい置換基としては、水酸基、アルコキシ基、ハロゲン原子などが挙げられる。
Divalent aliphatic groups include linear, branched, or cyclic alkylene groups and linear, branched, or cyclic alkenylene groups.
Although the number of carbon atoms in the divalent aliphatic group is not particularly limited, it is generally preferably 1 or more and 2 or more, preferably 10 or less, more preferably 8 or less, and even more preferably 5 or less. When it is at least the above lower limit, there is a tendency to suppress the decrease in ink repellency after UV irradiation, and when it is at most the above upper limit, the ink repellency tends to increase.
Specific examples of divalent aliphatic groups include methylene, ethylene, ethenylene, propylene, propenylene, butylene, butenylene, cyclohexylene and adamantylene groups.
A hydroxyl group, an alkoxy group, a halogen atom, etc. are mentioned as a substituent which the divalent aliphatic group may have.

2価の芳香族環基としては、2価の芳香族炭化水素環基、2価の芳香族複素環基が挙げられる。
2価の芳香族環基の炭素数は特に限定されないが、通常4以上、5以上が好ましく、6以上がより好ましく、また、30以下が好ましく、20以下がより好ましく、15以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることでUV照射後の撥インク性の低下が抑制できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで撥インク性が高くなる傾向がある。
2価の芳香族炭化水素環基としては、例えば、2個の遊離原子価を有する、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などの基が挙げられる。
また、2価の芳香族複素環基としては、例えば、2個の遊離原子価を有する、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などの基が挙げられる。
2価の芳香族環基が有していてもよい置換基としては、水酸基、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子などが挙げられる。
The divalent aromatic ring group includes a divalent aromatic hydrocarbon ring group and a divalent aromatic heterocyclic group.
Although the number of carbon atoms in the divalent aromatic ring group is not particularly limited, it is generally preferably 4 or more, 5 or more, more preferably 6 or more, and preferably 30 or less, more preferably 20 or less, and even more preferably 15 or less. When the content is at least the above lower limit, there is a tendency to suppress the decrease in ink repellency after UV irradiation.
The divalent aromatic hydrocarbon ring group includes, for example, benzene ring, naphthalene ring, anthracene ring, phenanthrene ring, perylene ring, tetracene ring, pyrene ring, benzpyrene ring, chrysene ring, which have two free valences, Groups such as triphenylene ring, acenaphthene ring, fluoranthene ring, and fluorene ring can be mentioned.
Further, the divalent aromatic heterocyclic group includes, for example, a furan ring, a benzofuran ring, a thiophene ring, a benzothiophene ring, a pyrrole ring, a pyrazole ring, an imidazole ring, and an oxadiazole ring having two free valences. , indole ring, carbazole ring, pyrroloimidazole ring, pyrrolopyrazole ring, pyrrolopyrrole ring, thienopyrrole ring, thienothiophene ring, furopyrrole ring, furofuran ring, thienofuran ring, benzisoxazole ring, benzisothiazole ring, benzimidazole ring, pyridine groups such as ring, pyrazine ring, pyridazine ring, pyrimidine ring, triazine ring, quinoline ring, isoquinoline ring, shinoline ring, quinoxaline ring, phenanthridine ring, benzimidazole ring, perimidine ring, quinazoline ring, quinazolinone ring, and azulene ring; mentioned.
Examples of substituents that the divalent aromatic ring group may have include hydroxyl groups, alkyl groups, alkoxy groups, and halogen atoms.

これらの中でも、撥インク性確保の観点、及び現像時の画素部分における撥液剤の残存抑制の観点からは、2価の脂肪族基が好ましく、メチレン基、エチレン基がより好ましく、エチレン基がさらに好ましい。 Among these, a divalent aliphatic group is preferable, a methylene group and an ethylene group are more preferable, and an ethylene group is further preferable, from the viewpoint of ensuring ink repellency and suppressing the residual liquid repellent agent in the pixel portion during development. preferable.

アクリル樹脂(a)が前記一般式(1-1)で表される部分構造を有する場合、その含有割合は特に限定されないが、50モル%以上が好ましく、60モル%以上がより好ましく、70モル%以上がさらに好ましく、80モル%以上が特に好ましく、また、95モル%以下が好ましく、93モル%以下がより好ましく、92モル%以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることでUV照射後の撥インク性の低下が抑制できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで撥インク性が高く、現像時の画素部分への撥液剤の流出を抑制しインクジェット液の塗布性が良化される傾向がある。 When the acrylic resin (a) has a partial structure represented by the general formula (1-1), the content is not particularly limited, but is preferably 50 mol% or more, more preferably 60 mol% or more, and 70 mol. % or more, particularly preferably 80 mol % or more, preferably 95 mol % or less, more preferably 93 mol % or less, and even more preferably 92 mol % or less. When the value is at least the above lower limit, there is a tendency to suppress the decrease in ink repellency after UV irradiation. It tends to suppress the outflow and improve the applicability of the inkjet liquid.

一方で、アクリル樹脂(a)は、UV照射後の撥インク性の観点から、フッ素原子を含む部分構造として、下記一般式(2)で表される部分構造を含むことが好ましい。下記一般式(2)ではポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖が2以上の主鎖と結合するので、UV洗浄によってもポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖がアクリル樹脂(a)から脱離しにくく、隔壁表面に十分な量のフッ素原子を存在させることができ、その結果、UV洗浄処理後も撥インク性が良好となると考えられる。 On the other hand, from the viewpoint of ink repellency after UV irradiation, the acrylic resin (a) preferably contains a partial structure represented by the following general formula (2) as a partial structure containing a fluorine atom. In the following general formula (2), since the poly(perfluoroalkylene ether) chain is bonded to two or more main chains, the poly(perfluoroalkylene ether) chain is difficult to detach from the acrylic resin (a) even by UV washing, and the partition wall It is believed that a sufficient amount of fluorine atoms can be present on the surface, resulting in good ink repellency even after UV cleaning treatment.

Figure 0007205089000004
Figure 0007205089000004

式(2)中、R4及びR5は各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。X4はパーフルオロアルキレン基を表す。式(2)中に含まれる複数のX4は同一のものでも異なるものでもよく、異なるものの場合にはランダム状に存在してもブロック状に存在していてもよい。X5は各々独立に、直接結合又は任意の2価の連結基を表す。nは1以上の整数である。*は結合手を表す。 In formula ( 2 ), R4 and R5 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group. X4 represents a perfluoroalkylene group. A plurality of X 4 contained in formula (2) may be the same or different, and in the case of different ones, they may exist randomly or in blocks. Each X 5 independently represents a direct bond or any divalent linking group. n is an integer of 1 or more. * represents a bond.

(X4
前記式(2)において、X4はパーフルオロアルキレン基を表す。
パーフルオロアルキレン基の炭素数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、また、5以下が好ましく、3以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで十分な撥インク性を示す傾向があり、前記上限値以下とすることで他の材料との相溶性が良好となる傾向がある。
パーフルオロアルキレン基の具体例としては、下記一般式(2-a)~(2-e)で表される基が挙げられる。
( X4 )
In Formula (2) above, X 4 represents a perfluoroalkylene group.
Although the number of carbon atoms in the perfluoroalkylene group is not particularly limited, it is generally preferably 1 or more and 2 or more, preferably 5 or less, and more preferably 3 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, there is a tendency to exhibit sufficient ink repellency, and when the content is equal to or lower than the upper limit, compatibility with other materials tends to be good.
Specific examples of perfluoroalkylene groups include groups represented by the following general formulas (2-a) to (2-e).

Figure 0007205089000005
Figure 0007205089000005

式(2-a)~(2-e)中、*は結合手を表す。 In formulas (2-a) to (2-e), * represents a bond.

前記式(2-a)~(2-e)の中でも、高い撥インク性が得られるとの観点から、前記式(2-a)で表される基、前記式(2-b)で表される基が好ましい。 Among the above formulas (2-a) to (2-e), from the viewpoint of obtaining high ink repellency, the group represented by the above formula (2-a) and the group represented by the above formula (2-b) are preferred.

また、撥インク性の観点から、式(2)のX4として、前記式(2-a)で表される基と前記式(2-b)で表される基との両者が含まれることがより好ましい。前記式(2)中に含まれる前記式(2-a)で表される基と前記式(2-b)で表される基のモル比は特に限定されないが、撥インク性の観点から、1:10~10:1が好ましく、1:4~4:1がより好ましく、1:2~2:1がさらに好ましい。 Moreover, from the viewpoint of ink repellency, both the group represented by the formula (2-a) and the group represented by the formula (2-b) should be included as X 4 in the formula (2). is more preferred. Although the molar ratio between the group represented by the formula (2-a) and the group represented by the formula (2-b) contained in the formula (2) is not particularly limited, from the viewpoint of ink repellency, 1:10 to 10:1 is preferred, 1:4 to 4:1 is more preferred, and 1:2 to 2:1 is even more preferred.

(X5
前記式(2)中、X5は直接結合又は任意の2価連結基を表す。
任意の2価の連結基としては、-O-、-CO-O-、-CO-NH-、-O-CO-NH-、置換基を有していてもよい2価の炭化水素基が挙げられる。該炭化水素基中に含まれる-CH2-の一部が、-O-、-CO-O-、-CO-NH-、及び-O-CO-NH-からなる群から選ばれる少なくとも1種で置き換えられていてもよい。
( X5 )
In formula (2), X 5 represents a direct bond or any divalent linking group.
The optional divalent linking group includes -O-, -CO-O-, -CO-NH-, -O-CO-NH-, and a divalent hydrocarbon group which may have a substituent. mentioned. at least one selected from the group consisting of -O-, -CO-O-, -CO-NH-, and -O-CO-NH-, at least one of -CH 2 - contained in the hydrocarbon group; may be replaced with

2価の炭化水素基としては、2価の脂肪族基、2価の芳香族環基が挙げられる。
2価の脂肪族基としては、直鎖状、分岐鎖状、又は環状のアルキレン基や、直鎖状、分岐鎖状、又は環状のアルケニレン基が挙げられる。
2価の脂肪族基の炭素数は特に限定されないが、通常1以上、また5以下が好ましく、3以下がより好ましく、2以下がさらに好ましい。前記上限値以下とすることで撥インク性が高くなる傾向がある。
2価の脂肪族基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、エテニレン基、プロピレン基、プロペニレン基、ブチレン基、ブテニレン基などが挙げられる。
2価の脂肪族基が有していてもよい置換基としては、水酸基、アルコキシ基などが挙げられる。
Divalent hydrocarbon groups include divalent aliphatic groups and divalent aromatic ring groups.
Divalent aliphatic groups include linear, branched, or cyclic alkylene groups and linear, branched, or cyclic alkenylene groups.
Although the number of carbon atoms in the divalent aliphatic group is not particularly limited, it is generally preferably 1 or more and 5 or less, more preferably 3 or less, and even more preferably 2 or less. The ink repellency tends to be enhanced by making it equal to or less than the above upper limit.
Specific examples of the divalent aliphatic group include methylene group, ethylene group, ethenylene group, propylene group, propenylene group, butylene group and butenylene group.
A hydroxyl group, an alkoxy group, etc. are mentioned as a substituent which the divalent aliphatic group may have.

2価の芳香族環基としては、2価の芳香族炭化水素環基、2価の芳香族複素環基が挙げられる。
2価の芳香族環基の炭素数は特に限定されないが、通常4以上、5以上が好ましく、6以上がより好ましく、また、30以下が好ましく、20以下がより好ましく、15以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで他の材料との相溶性が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで撥インク性が高くなる傾向がある。
2価の芳香族炭化水素環基としては、例えば、2個の遊離原子価を有する、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などの基が挙げられる。
また、2価の芳香族複素環基としては、例えば、2個の遊離原子価を有する、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などの基が挙げられる。
2価の芳香族環基が有していてもよい置換基としては、水酸基、アルキル基、アルコキシ基などが挙げられる。
The divalent aromatic ring group includes a divalent aromatic hydrocarbon ring group and a divalent aromatic heterocyclic group.
Although the number of carbon atoms in the divalent aromatic ring group is not particularly limited, it is generally preferably 4 or more, 5 or more, more preferably 6 or more, and preferably 30 or less, more preferably 20 or less, and even more preferably 15 or less. When the content is at least the above lower limit, compatibility with other materials tends to be improved, and when the content is at most the above upper limit, ink repellency tends to be enhanced.
The divalent aromatic hydrocarbon ring group includes, for example, benzene ring, naphthalene ring, anthracene ring, phenanthrene ring, perylene ring, tetracene ring, pyrene ring, benzpyrene ring, chrysene ring, which have two free valences, Groups such as triphenylene ring, acenaphthene ring, fluoranthene ring, and fluorene ring can be mentioned.
Further, the divalent aromatic heterocyclic group includes, for example, a furan ring, a benzofuran ring, a thiophene ring, a benzothiophene ring, a pyrrole ring, a pyrazole ring, an imidazole ring, and an oxadiazole ring having two free valences. , indole ring, carbazole ring, pyrroloimidazole ring, pyrrolopyrazole ring, pyrrolopyrrole ring, thienopyrrole ring, thienothiophene ring, furopyrrole ring, furofuran ring, thienofuran ring, benzisoxazole ring, benzisothiazole ring, benzimidazole ring, pyridine groups such as ring, pyrazine ring, pyridazine ring, pyrimidine ring, triazine ring, quinoline ring, isoquinoline ring, shinoline ring, quinoxaline ring, phenanthridine ring, benzimidazole ring, perimidine ring, quinazoline ring, quinazolinone ring, and azulene ring; mentioned.
Examples of the substituent that the divalent aromatic ring group may have include a hydroxyl group, an alkyl group, and an alkoxy group.

5の具体例としては、以下のものが挙げられる。 Specific examples of X 5 include the following.

Figure 0007205089000006
Figure 0007205089000006

これらの中でも、撥インク性確保の観点、及び現像時の画素部分における撥液剤の残存抑制の観点からは、2価の脂肪族基が好ましく、メチレン基、エチレン基がより好ましく、メチレン基がさらに好ましい。 Among these, a divalent aliphatic group is preferable, a methylene group and an ethylene group are more preferable, and a methylene group is further preferable, from the viewpoint of ensuring ink repellency and suppressing the residual liquid repellent agent in the pixel portion during development. preferable.

(n)
前記式(2)中、nは1以上の整数であるが、撥インク性の観点から、3~40の整数であることが好ましく、6~30の整数であることがより好ましく、10~20の整数であることがさらに好ましい。
(n)
In the formula (2), n is an integer of 1 or more, but from the viewpoint of ink repellency, it is preferably an integer of 3 to 40, more preferably an integer of 6 to 30, and 10 to 20. is more preferably an integer of

アクリル樹脂(a)が前記一般式(2)で表される部分構造を有する場合、その含有割合は特に限定されないが、0.1モル%以上が好ましく、0.5モル%以上がより好ましく、1モル%以上がさらに好ましく、2モル%以上が特に好ましく、また、50モル%以下が好ましく、30モル%以下がより好ましく、10モル%以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることでUV洗浄処理後の撥液インク性の低下が抑制できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像時の画素部分への撥液剤の流出を抑制しインクジェット液の塗布性が良化される傾向がある。 When the acrylic resin (a) has a partial structure represented by the general formula (2), the content is not particularly limited, but is preferably 0.1 mol% or more, more preferably 0.5 mol% or more, 1 mol % or more is more preferable, 2 mol % or more is particularly preferable, 50 mol % or less is preferable, 30 mol % or less is more preferable, and 10 mol % or less is even more preferable. When it is above the lower limit, there is a tendency to suppress the deterioration of the liquid-repellent ink property after UV cleaning treatment, and when it is below the above-mentioned upper limit, it is possible to suppress the outflow of the liquid-repellent agent to the pixel portion during development. There is a tendency for the coatability of the inkjet liquid to be improved.

アクリル樹脂(a)が前記一般式(1)及び(2)からなる群から選ばれる2種以上の部分構造を含む場合、アクリル樹脂(a)はランダム共重合体であってもよく、ブロック共重合体であってもよい。ブロック共重合体である場合、撥インク性の観点から、前記一般式(1)で表される部分構造を含むAブロックと、前記一般式(2)で表される部分構造を含むBブロックとを含む、ABブロック共重合体であることが好ましい。 When the acrylic resin (a) contains two or more partial structures selected from the group consisting of the general formulas (1) and (2), the acrylic resin (a) may be a random copolymer or a block copolymer. It may be a polymer. When it is a block copolymer, from the viewpoint of ink repellency, the A block containing the partial structure represented by the general formula (1) and the B block containing the partial structure represented by the general formula (2) It is preferably an AB block copolymer containing.

アクリル樹脂(a)の重量平均分子量は特に制限されず、低分子量の化合物でも、高分子量体であってもよい。アクリル樹脂(a)の重量平均分子量は、1,000以上が好ましく、5,000以上がより好ましく、8,000以上がよりさらに好ましく、9,000以上がさらに好ましく、また100,000以下が好ましく、50,000以下がより好ましく、30,000以下がさらに好ましく、25,000以下がよりさらに好ましく、20,000以下が特に好ましく、15,000以下が最も好ましい。前記範囲内とすることで、ポストベークによる撥液剤の流動性が抑えられ、隔壁から撥液剤が流出するのを抑制できる傾向がある。 The weight average molecular weight of the acrylic resin (a) is not particularly limited, and may be a low molecular weight compound or a high molecular weight compound. The weight average molecular weight of the acrylic resin (a) is preferably 1,000 or more, more preferably 5,000 or more, even more preferably 8,000 or more, still more preferably 9,000 or more, and preferably 100,000 or less. , is more preferably 50,000 or less, more preferably 30,000 or less, even more preferably 25,000 or less, particularly preferably 20,000 or less, and most preferably 15,000 or less. Within the above range, the fluidity of the liquid-repellent agent due to post-baking is suppressed, and there is a tendency to suppress the outflow of the liquid-repellent agent from the partition walls.

本発明の感光性樹脂組成物における(A)撥液剤の含有割合は特に限定されないが、感光性樹脂組成物の全固形中に0.01質量%以上が好ましく、0.1質量%以上がより好ましく、0.2質量%以上がさらに好ましく、また、2質量%以下が好ましく、1質量%以下がより好ましく、0.7質量%以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで高い撥インク性を示す傾向があり、また、前記上限値以下とすることで撥液剤の画素部への流出を抑制できる傾向がある。 The content of (A) the liquid repellent agent in the photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited, but is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.1% by mass or more, in the total solid of the photosensitive resin composition. It is preferably 0.2% by mass or more, more preferably 2% by mass or less, more preferably 1% by mass or less, and even more preferably 0.7% by mass or less. When the concentration is equal to or higher than the lower limit, high ink repellency tends to be exhibited.

本発明の感光性樹脂組成物におけるアクリル樹脂(a)の含有割合も特に限定されないが、感光性樹脂組成物の全固形分中に0.01質量%以上が好ましく、0.1質量%以上がより好ましく、0.2質量%以上がさらに好ましく、また、2質量%以下が好ましく、1質量%以下がより好ましく、0.7質量%以下がさらに好ましい。UV照射後の撥インク性の低下が十分に抑制できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることでアクリル樹脂(a)の画素部への流出を抑制できる傾向がある。 The content of the acrylic resin (a) in the photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited, but it is preferably 0.01% by mass or more in the total solid content of the photosensitive resin composition, and 0.1% by mass or more. It is more preferably 0.2% by mass or more, more preferably 2% by mass or less, more preferably 1% by mass or less, and even more preferably 0.7% by mass or less. There is a tendency that the decrease in ink repellency after UV irradiation can be sufficiently suppressed, and by making it equal to or less than the above upper limit, there is a tendency that the outflow of the acrylic resin (a) into the pixel portion can be suppressed.

本発明の感光性樹脂組成物における(A)撥液剤は、アクリル樹脂(a)以外のその他の撥液剤を含有してもよい。 The (A) liquid repellent agent in the photosensitive resin composition of the present invention may contain a liquid repellent agent other than the acrylic resin (a).

その他の撥液剤の具体例としては、例えばパーフルオロアルキルスルホン酸、パーフルオロアルキルカルボン酸、パーフルオロアルキルアルキレンオキシド付加物、パーフルオロアルキルトリアルキルアンモニウム塩、パーフルオロカルボン酸エステル、パーフルオロアルキル燐酸エステル、パーフルオロアルキル基を含むオリゴマー、パーフルオロアルキレン基を含むオリゴマーなどのフッ素原子含有有機化合物を挙げることができる。 Specific examples of other liquid-repellent agents include perfluoroalkylsulfonic acids, perfluoroalkylcarboxylic acids, perfluoroalkylalkylene oxide adducts, perfluoroalkyltrialkylammonium salts, perfluorocarboxylic acid esters, and perfluoroalkylphosphoric acid esters. , perfluoroalkyl group-containing oligomers, and perfluoroalkylene group-containing fluorine atom-containing organic compounds.

これらのフッ素原子含有有機化合物の市販品としては、DIC社製「メガファックF116」、「メガファックF120」、「メガファックF142D」、「メガファックF144D」、「メガファックF150」、「メガファックF160」、「メガファックF171」、「メガファックF172」、「メガファックF173」、「メガファックF177」、「メガファックF178A」、「メガファックF178K」、「メガファックF179」、「メガファックF183」、「メガファックF184」、「メガファックF191」、「メガファックF812」、「メガファックF815」、「メガファックF824」、「メガファックF833」、「メガファックRS101」、「メガファックRS102」「メガファックRS105」、「メガファックRS201」、「メガファックRS202」、「メガファックRS301」、「メガファックRS303」「メガファックRS304」、「メガファックRS401」、「メガファックRS402」、「メガファックRS501」、「メガファックRS502」、「メガファックRS-56」、「メガファックRS-72-K」、「DEFENSA MCF300」、「DEFENSA MCF310」、「DEFENSA MCF312」、「DEFENSA MCF323」、スリーエムジャパン社製「フロラードFC-430」、「フロラードFC-431」、「FC-4430」、「FC-4432」、AGCセイミケミカル社製「アサヒガードAG-710」、「サーフロンS-382」、「サーフロンSC-101」、「サーフロンSC-102」、「サーフロンSC-103」、「サーフロンSC-104」、「サーフロンSC-105」、「サーフロンSC-106」、ダイキン工業社製「オプツールDAC―HP」などの商品名で市販されているフッ素原子含有有機化合物を使用することができる。 Commercially available products of these fluorine atom-containing organic compounds include "Megafac F116", "Megafac F120", "Megafac F142D", "Megafac F144D", "Megafac F150" and "Megafac F160" manufactured by DIC. ”, “Megafuck F171”, “Megafuck F172”, “Megafuck F173”, “Megafuck F177”, “Megafuck F178A”, “Megafuck F178K”, “Megafuck F179”, “Megafuck F183”, "Megafuck F184", "Megafuck F191", "Megafuck F812", "Megafuck F815", "Megafuck F824", "Megafuck F833", "Megafuck RS101", "Megafuck RS102", "Megafuck" RS105", "Megafuck RS201", "Megafuck RS202", "Megafuck RS301", "Megafuck RS303", "Megafuck RS304", "Megafuck RS401", "Megafuck RS402", "Megafuck RS501", "Megafac RS502", "Megafac RS-56", "Megafac RS-72-K", "DEFENSA MCF300", "DEFENSA MCF310", "DEFENSA MCF312", "DEFENSA MCF323", 3M Japan's "Florado" FC-430", "Florado FC-431", "FC-4430", "FC-4432", AGC Seimi Chemical Co., Ltd. "Asahiguard AG-710", "Surflon S-382", "Surflon SC-101" , "Surflon SC-102", "Surflon SC-103", "Surflon SC-104", "Surflon SC-105", "Surflon SC-106", and "Optool DAC-HP" manufactured by Daikin Industries, Ltd. Fluorine atom-containing organic compounds commercially available from

(A)撥液剤中のアクリル樹脂(a)の含有割合も特に限定されないが、50質量%以上が好ましく、80質量%以上がより好ましく、90質量%以上がさらに好ましく、また、通常100質量%以下である。前記下限値以上とすることでUV照射後の撥インク性の低下が抑制される傾向がある。 (A) The content of the acrylic resin (a) in the liquid repellent agent is not particularly limited, but it is preferably 50% by mass or more, more preferably 80% by mass or more, further preferably 90% by mass or more, and usually 100% by mass. It is below. When the content is equal to or higher than the lower limit, there is a tendency that the decrease in ink repellency after UV irradiation is suppressed.

(A)撥液剤がその他の撥液剤を含有する場合、(A)撥液剤中のその他の撥液剤の含有割合は特に限定されないが、10質量%以上が好ましく、15質量%以上がより好ましく、20質量%以上がさらに好ましく、また、50質量%以下が好ましく、40質量%以下がより好ましく、30質量%以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで画素部の残渣が抑制できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることでUV照射後の撥インク性の低下が抑制される傾向がある。 When (A) the liquid repellent agent contains another liquid repellent agent, the content ratio of the other liquid repellent agent in (A) the liquid repellent agent is not particularly limited, but is preferably 10% by mass or more, more preferably 15% by mass or more, 20% by mass or more is more preferable, 50% by mass or less is preferable, 40% by mass or less is more preferable, and 30% by mass or less is even more preferable. When it is at least the above lower limit, there is a tendency to suppress residue in the pixel portion, and when it is at most the above upper limit, there is a tendency to suppress a decrease in ink repellency after UV irradiation.

[1-1-2](B)成分;アルカリ可溶性樹脂
本発明の感光性樹脂組成物は、(B)アルカリ可溶性樹脂を含有する。アルカリ可溶性樹脂としてはアルカリ現像液で現像可能な樹脂であれば特に限定されない。アルカリ可溶性樹脂としては、カルボキシル基及び/又は水酸基を含有する各種樹脂が挙げられる。その中でも、適度なテーパー角の隔壁が得られ、ポストベーク時の隔壁表面の熱溶融による撥液剤の流出が抑えられて撥インク性を保持できるなどの観点から、カルボキシル基を含有する樹脂が好ましい。
[1-1-2] Component (B): Alkali-Soluble Resin The photosensitive resin composition of the present invention contains (B) an alkali-soluble resin. The alkali-soluble resin is not particularly limited as long as it is a resin that can be developed with an alkali developer. Alkali-soluble resins include various resins containing carboxyl groups and/or hydroxyl groups. Among them, a resin containing a carboxyl group is preferable from the viewpoint of obtaining partition walls with an appropriate taper angle and suppressing the outflow of the liquid-repellent agent due to thermal melting of the partition wall surface during post-baking and maintaining the ink repellency. .

(B)アルカリ可溶性樹脂の中でも、感度及び撥インク性の観点から、エチレン性二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂(b)(以下、「アルカリ可溶性樹脂(b)」と略記する場合がある。)を含むことが好ましい。 (B) Among the alkali-soluble resins, from the viewpoint of sensitivity and ink repellency, an alkali-soluble resin (b) having an ethylenic double bond (hereinafter sometimes abbreviated as "alkali-soluble resin (b)"). is preferably included.

[エチレン性二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂(b)]
エチレン性二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂(b)の具体的構造は特に限定されないが、現像溶解性の観点から、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1)及び/又はアクリル共重合樹脂(b2)が好ましく、アウトガス低減の観点からはエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1)がより好ましい。
以下に、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1)について詳述する。
[Alkali-soluble resin (b) having an ethylenic double bond]
Although the specific structure of the alkali-soluble resin (b) having an ethylenic double bond is not particularly limited, from the viewpoint of development solubility, epoxy (meth)acrylate resin (b1) and/or acrylic copolymer resin (b2) Preferably, the epoxy (meth)acrylate resin (b1) is more preferable from the viewpoint of reducing outgassing.
The epoxy (meth)acrylate resin (b1) is described in detail below.

[エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1)]
エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1)は、エポキシ樹脂にエチレン性不飽和結合(エチレン性二重結合)を有する酸又はエステル化合物を付加し、更に多塩基酸又はその無水物を付加させた樹脂である。例えば、エポキシ樹脂のエポキシ基に、エチレン性不飽和結合を有する酸のカルボキシル基が開環付加されることにより、エポキシ樹脂にエステル結合(-COO-)を介してエチレン性不飽和結合が付加されると共に、その際生じた水酸基に、多塩基酸無水物の一方のカルボキシ基が付加されたものが挙げられる。また多塩基酸無水物を付加するときに、多価アルコールを同時に添加して付加されたものも挙げられる。さらに、上記反応で得られた樹脂のカルボキシル基に、更に反応し得る官能基を有する化合物を反応させて得られる樹脂も、上記エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1)に含まれる。
このように、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂は化学構造上、実質的にエポキシ基を有さず、かつ「(メタ)アクリレート」に限定されるものではないが、エポキシ化合物(エポキシ樹脂)が原料であり、かつ、「(メタ)アクリレート」が代表例であるので慣用に従いこのように命名されている。
[Epoxy (meth)acrylate resin (b1)]
Epoxy (meth)acrylate resin (b1) is a resin obtained by adding an acid or ester compound having an ethylenically unsaturated bond (ethylenic double bond) to an epoxy resin, and further adding a polybasic acid or its anhydride. be. For example, an ethylenically unsaturated bond is added to the epoxy resin via an ester bond (-COO-) by ring-opening addition of a carboxyl group of an acid having an ethylenically unsaturated bond to the epoxy group of the epoxy resin. In addition, one carboxyl group of the polybasic acid anhydride is added to the hydroxyl group generated at that time. Moreover, when adding a polybasic acid anhydride, the thing added by adding a polyhydric alcohol simultaneously is mentioned. Furthermore, the epoxy (meth)acrylate resin (b1) also includes a resin obtained by reacting the carboxyl group of the resin obtained by the above reaction with a compound having a reactive functional group.
Thus, the epoxy (meth)acrylate resin has substantially no epoxy group due to its chemical structure, and is not limited to "(meth)acrylate", but an epoxy compound (epoxy resin) is a raw material. and "(meth)acrylate" is a typical example, so it is named in this way according to common practice.

ここでエポキシ樹脂とは、熱硬化により樹脂を形成する以前の原料化合物をも含めて言うこととし、そのエポキシ樹脂としては、公知のエポキシ樹脂の中から適宜選択して用いることができる。また、エポキシ樹脂は、フェノール性化合物とエピハロヒドリンとを反応させて得られる化合物を用いることができる。フェノール性化合物としては、2価もしくは2価以上のフェノール性水酸基を有する化合物が好ましく、単量体でも重合体でもよい。
具体的には、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、ビフェニルノボラックエポキシ樹脂、トリスフェノールエポキシ樹脂、フェノールとジシクロペンタンとの重合体のエポキシ化物、ジハイドロオキシルフルオレン型エポキシ樹脂、ジハイドロオキシルアルキレンオキシルフルオレン型エポキシ樹脂、9,9-ビス(4’-ヒドロキシフェニル)フルオレンのジグリシジルエーテル化物、1,1-ビス(4’-ヒドロキシフェニル)アダマンタンのジグリシジルエーテル化物などが挙げられ、このように主鎖に芳香族環を有するものを好適に用いることができる。
Here, the term "epoxy resin" includes raw material compounds before forming a resin by thermosetting, and the epoxy resin can be appropriately selected from known epoxy resins and used. As the epoxy resin, a compound obtained by reacting a phenolic compound and epihalohydrin can be used. The phenolic compound is preferably a compound having a divalent or more divalent phenolic hydroxyl group, and may be a monomer or a polymer.
Specifically, for example, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol novolak epoxy resin, cresol novolak epoxy resin, biphenyl novolak epoxy resin, trisphenol epoxy resin, phenol and dicyclopentane. epoxidized polymer with dihydroxylfluorene type epoxy resin, dihydroxylalkyleneoxylfluorene type epoxy resin, 9,9-bis(4'-hydroxyphenyl)fluorene diglycidyl etherate, 1,1-bis Diglycidyl etherified products of (4′-hydroxyphenyl)adamantane and the like can be mentioned, and those having an aromatic ring in the main chain can be preferably used.

中でも、硬化膜強度の観点から、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、フェノールとジシクロペンタジエンとの重合体のエポキシ化物、9,9-ビス(4’-ヒドロキシフェニル)フルオレンのエポキシ化物、などが好ましく、ビスフェノールA型エポキシ樹脂が更に好ましい。 Among them, from the viewpoint of cured film strength, bisphenol A type epoxy resin, phenol novolak epoxy resin, cresol novolak epoxy resin, epoxidized polymer of phenol and dicyclopentadiene, 9,9-bis(4'-hydroxyphenyl) Fluorene epoxidized products are preferred, and bisphenol A type epoxy resins are more preferred.

エチレン性不飽和結合を有する酸としては、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸等、および、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート無水コハク酸付加物、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートテトラヒドロ無水フタル酸付加物、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート無水コハク酸付加物、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート無水フタル酸付加物、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートテトラヒドロ無水フタル酸付加物、(メタ)アクリル酸とε-カプロラクトンとの反応生成物などが挙げられる。中でも、感度の観点から、(メタ)アクリル酸が好ましい。 Acids having an ethylenically unsaturated bond include, for example, (meth)acrylic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, pentaerythritol tri(meth)acrylate succinic anhydride adduct, pentaerythritol tri (Meth)acrylate tetrahydrophthalic anhydride adduct, dipentaerythritol penta(meth)acrylate succinic anhydride adduct, dipentaerythritol penta(meth)acrylate phthalic anhydride adduct, dipentaerythritol penta(meth)acrylate tetrahydrophthalic anhydride Examples include acid adducts and reaction products of (meth)acrylic acid and ε-caprolactone. Among them, (meth)acrylic acid is preferable from the viewpoint of sensitivity.

多塩基酸(無水物)としては、例えば、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、3-メチルテトラヒドロフタル酸、4-メチルテトラヒドロフタル酸、3-エチルテトラヒドロフタル酸、4-エチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、3-メチルヘキサヒドロフタル酸、4-メチルヘキサヒドロフタル酸、3-エチルヘキサヒドロフタル酸、4-エチルヘキサヒドロフタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、およびそれらの無水物などが挙げられる。これらは1種を単独でも用いてもよく、2種以上を併用して用いてもよい。これらの中でも、現像後の画素部分の残渣低減の観点から、コハク酸無水物、マレイン酸無水物、イタコン酸無水物が好ましく、コハク酸無水物がより好ましい。 Examples of polybasic acids (anhydrides) include succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, 3-methyltetrahydrophthalic acid, 4-methyltetrahydrophthalic acid, 3-ethyltetrahydrophthalic acid, 4 - ethyltetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, 3-methylhexahydrophthalic acid, 4-methylhexahydrophthalic acid, 3-ethylhexahydrophthalic acid, 4-ethylhexahydrophthalic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid , benzophenonetetracarboxylic acid, biphenyltetracarboxylic acid, and their anhydrides. These may be used singly or in combination of two or more. Among these, succinic anhydride, maleic anhydride, and itaconic anhydride are preferred, and succinic anhydride is more preferred, from the viewpoint of reducing residues on pixel portions after development.

多価アルコールを用いることで、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1)の分子量を増大させ、分子中に分岐を導入することが出来、分子量と粘度のバランスをとることができる傾向がある。また、分子中への酸基の導入率を増やすことができ、感度や密着性等のバランスがとれやすい傾向がある。
多価アルコールとしては、例えばトリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリメチロールエタン、1,2,3-プロパントリオールの中から選ばれる1種又は2種以上の多価アルコールであることが好ましい。
The use of a polyhydric alcohol tends to increase the molecular weight of the epoxy (meth)acrylate resin (b1), introduce branches into the molecule, and balance the molecular weight and viscosity. In addition, the rate of introduction of acid groups into the molecule can be increased, and there is a tendency to easily balance sensitivity, adhesion, and the like.
The polyhydric alcohol is, for example, one or more polyhydric alcohols selected from trimethylolpropane, ditrimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, trimethylolethane, and 1,2,3-propanetriol. Preferably.

エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1)の酸価は特に限定されないが、10mg-KOH/g以上が好ましく、20mg-KOH/g以上がより好ましく、40mg-KOH/g以上がさらに好ましく、50mg-KOH/g以上がよりさらに好ましく、また、200mg-KOH/g以下が好ましく、180mg-KOH/g以下がより好ましく、150mg-KOH/g以下がさらに好ましく、120mg-KOH/g以下がよりさらに好ましく、100mg-KOH/g以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで残渣が低減し、テーパー角が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで素子発光時のアウトガスが低減する傾向がある。 The acid value of the epoxy (meth)acrylate resin (b1) is not particularly limited, but is preferably 10 mg-KOH/g or more, more preferably 20 mg-KOH/g or more, still more preferably 40 mg-KOH/g or more, and 50 mg-KOH. / g or more is more preferable, 200 mg-KOH/g or less is preferable, 180 mg-KOH/g or less is more preferable, 150 mg-KOH/g or less is more preferable, 120 mg-KOH/g or less is even more preferable, 100 mg-KOH/g or less is particularly preferred. When the content is equal to or higher than the lower limit, the amount of residue tends to be reduced and the taper angle tends to increase.

エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1)の重量平均分子量(Mw)は特に限定されないが、通常1,000以上、好ましくは2,000以上、より好ましくは3,000以上、さらに好ましくは4,000以上、よりさらに好ましくは5,000以上、特に好ましくは6,000以上、最も好ましくは7,000以上であり、また、通常30,000以下、好ましくは20,000以下、より好ましくは15,000以下、さらに好ましくは10,000以下である。前記下限値以上とすることで素子発光時のアウトガスが低減する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Although the weight average molecular weight (Mw) of the epoxy (meth)acrylate resin (b1) is not particularly limited, it is usually 1,000 or more, preferably 2,000 or more, more preferably 3,000 or more, and still more preferably 4,000 or more. , More preferably 5,000 or more, particularly preferably 6,000 or more, most preferably 7,000 or more, and usually 30,000 or less, preferably 20,000 or less, more preferably 15,000 or less , more preferably 10,000 or less. When the concentration is equal to or higher than the above lower limit, outgassing during light emission of the device tends to be reduced, and when the concentration is equal to or lower than the upper limit, there is a tendency to reduce residue.

(B)アルカリ可溶性樹脂に含まれるエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1)の含有割合は特に限定されないが、30質量%以上が好ましく、50質量%以上がより好ましく、70質量%以上がさらに好ましく、80質量%以上がよりさらに好ましく、90質量%以上が特に好ましく、また、通常100質量%以下である。前記下限値以上とすることでアウトガスが低減する傾向がある。 (B) The content of the epoxy (meth)acrylate resin (b1) contained in the alkali-soluble resin is not particularly limited, but is preferably 30% by mass or more, more preferably 50% by mass or more, and further preferably 70% by mass or more. More preferably 80% by mass or more, particularly preferably 90% by mass or more, and usually 100% by mass or less. Outgassing tends to be reduced by making it equal to or higher than the lower limit.

エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1)は、従来公知の方法により合成することができる。具体的には、前記エポキシ樹脂を有機溶剤に溶解させ、触媒と熱重合禁止剤の共存下、前記エチレン性不飽和結合を有する酸又はエステル化合物を加えて付加反応させ、更に多塩基酸又はその無水物を加えて反応を続ける方法を用いることができる。 The epoxy (meth)acrylate resin (b1) can be synthesized by a conventionally known method. Specifically, the epoxy resin is dissolved in an organic solvent, and in the presence of a catalyst and a thermal polymerization inhibitor, the acid or ester compound having the ethylenically unsaturated bond is added for an addition reaction, and further polybasic acid or its A method of continuing the reaction by adding anhydride can be used.

ここで、反応に用いる有機溶剤としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ジエチレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどの有機溶剤の1種又は2種以上が挙げられる。また、上記触媒としては、トリエチルアミン、ベンジルジメチルアミン、トリベンジルアミン等の第3級アミン類、テトラメチルアンモニウムクロライド、メチルトリエチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライド、テトラブチルアンモニウムクロライド、トリメチルベンジルアンモニウムクロライドなどの第4級アンモニウム塩類、トリフェニルホスフィンなどの燐化合物、トリフェニルスチビンなどのスチビン類などの1種又は2種以上が挙げられる。更に、熱重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、メチルハイドロキノンなどの1種又は2種以上が挙げられる。 Here, the organic solvent used for the reaction includes one or more organic solvents such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, diethylene glycol ethyl ether acetate, and propylene glycol monomethyl ether acetate. Examples of the catalyst include tertiary amines such as triethylamine, benzyldimethylamine and tribenzylamine; One or more of quaternary ammonium salts, phosphorus compounds such as triphenylphosphine, and stibines such as triphenylstibine can be used. Furthermore, the thermal polymerization inhibitor includes one or more of hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, methylhydroquinone, and the like.

また、エチレン性不飽和結合を有する酸又はエステル化合物としては、エポキシ樹脂のエポキシ基の1化学当量に対して通常0.7~1.3化学当量、好ましくは0.9~1.1化学当量となる量とすることができる。また、付加反応時の温度としては、通常60~150℃、好ましくは80~120℃の温度とすることができる。更に、多塩基酸(無水物)の使用量としては、前記付加反応で生じた水酸基の1化学当量に対して、通常0.1~1.2化学当量、好ましくは0.2~1.1化学当量となる量とすることができる。 The acid or ester compound having an ethylenically unsaturated bond is usually 0.7 to 1.3 chemical equivalents, preferably 0.9 to 1.1 chemical equivalents, relative to 1 chemical equivalent of the epoxy group of the epoxy resin. It can be an amount that becomes The temperature during the addition reaction is usually 60 to 150°C, preferably 80 to 120°C. Furthermore, the amount of polybasic acid (anhydride) used is usually 0.1 to 1.2 chemical equivalents, preferably 0.2 to 1.1 chemical equivalents, relative to 1 chemical equivalent of the hydroxyl groups generated in the addition reaction. It can be an amount that provides a chemical equivalent.

エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1)は、素子発光時のアウトガス低減の観点から、下記一般式(i)で表される部分構造を含むエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1-1)、下記一般式(ii)で表される部分構造を含むエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1-2)、及び下記一般式(iii)で表される部分構造を含むエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1-3)からなる群から選ばれる少なくとも1種を含有することが好ましい。 The epoxy (meth)acrylate resin (b1) is an epoxy (meth)acrylate resin (b1-1) containing a partial structure represented by the following general formula (i), from the viewpoint of reducing outgassing when the device emits light. From an epoxy (meth)acrylate resin (b1-2) containing a partial structure represented by (ii) and an epoxy (meth)acrylate resin (b1-3) containing a partial structure represented by the following general formula (iii) It is preferable to contain at least one selected from the group consisting of:

エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1)は、これらの中でも素子発光時のアウトガス低減の観点から、下記一般式(i)で表される部分構造を含むエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1-1)であることが好ましい。理由の一つとしては、剛直な主骨格を有することで熱に対して分解しづらいことなどが推測される。 Among these, the epoxy (meth)acrylate resin (b1) is an epoxy (meth)acrylate resin (b1-1) containing a partial structure represented by the following general formula (i) from the viewpoint of reducing outgassing when the device emits light. Preferably. One of the reasons is presumed that it is difficult to decompose by heat due to having a rigid main skeleton.

Figure 0007205089000007
Figure 0007205089000007

式(i)中、Raは水素原子又はメチル基を表し、Rbは置換基を有していてもよい2価の炭化水素基を表す。式(i)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。*は結合手を表す。 In formula (i), R a represents a hydrogen atom or a methyl group, and R b represents a divalent hydrocarbon group which may have a substituent. The benzene ring in formula (i) may be further substituted with any substituent. * represents a bond.

(Rb
前記式(i)において、Rbは置換基を有していてもよい2価の炭化水素基を表す。
2価の炭化水素基としては、2価の脂肪族基、2価の芳香族環基、1以上の2価の脂肪族基と1以上の2価の芳香族環基とを連結した基が挙げられる。
(R b )
In formula (i) above, R b represents a divalent hydrocarbon group which may have a substituent.
The divalent hydrocarbon group includes a divalent aliphatic group, a divalent aromatic ring group, and a group in which one or more divalent aliphatic groups and one or more divalent aromatic ring groups are linked. mentioned.

2価の脂肪族基は、直鎖状、分岐鎖状、環状のものが挙げられる。これらの中でも現像溶解性の観点からは直鎖状のものが好ましく、一方で露光部への現像液の浸透低減の観点からは環状のものが好ましい。その炭素数は通常1以上であり、3以上が好ましく、6以上がより好ましく、また、20以下が好ましく、15以下がより好ましく、10以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 The divalent aliphatic group includes linear, branched and cyclic ones. Among these, linear ones are preferable from the viewpoint of developing solubility, while cyclic ones are preferable from the viewpoint of reducing permeation of the developer into the exposed area. The number of carbon atoms is usually 1 or more, preferably 3 or more, more preferably 6 or more, and preferably 20 or less, more preferably 15 or less, and even more preferably 10 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.

2価の直鎖状脂肪族基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、n-プロピレン基、n-ブチレン基、n-ヘキシレン基、n-ヘプチレン基等が挙げられる。これらの中でも残渣低減の観点から、メチレン基が好ましい。
2価の分岐鎖状脂肪族基の具体例としては、前述の2価の直鎖状脂肪族基に、側鎖としてメチル基、エチル基、n-プロピル基、iso-プロピル基、n-ブチル基、iso-ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基等を有する構造が挙げられる。
2価の環状の脂肪族基が有する環の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、また、通常10以下、5以下が好ましい。前記下限値以上とすることで残膜率が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。2価の環状の脂肪族基の具体例としては、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロデカン環、シクロドデカン環、ノルボルナン環、イソボルナン環、アダマンタン環、シクロドデカン環等の環から水素原子を2つ除した基が挙げられる。これらの中でも現像密着性の観点から、アダマンタン環から水素原子を2つ除した基が好ましい。
Specific examples of divalent linear aliphatic groups include methylene, ethylene, n-propylene, n-butylene, n-hexylene and n-heptylene groups. Among these, a methylene group is preferable from the viewpoint of residue reduction.
Specific examples of the divalent branched aliphatic group include the divalent straight-chain aliphatic group described above and a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an iso-propyl group, and n-butyl as a side chain. groups, iso-butyl groups, sec-butyl groups, tert-butyl groups, and the like.
Although the number of rings possessed by the divalent cyclic aliphatic group is not particularly limited, it is generally preferably 1 or more and 2 or more, and generally 10 or less and 5 or less. When the concentration is equal to or higher than the lower limit, the residual film ratio tends to be improved, and when the concentration is equal to or lower than the upper limit, the amount of residue tends to be reduced. Specific examples of divalent cyclic aliphatic groups include a ring such as cyclohexane ring, cycloheptane ring, cyclodecane ring, cyclododecane ring, norbornane ring, isobornane ring, adamantane ring, and cyclododecane ring in which two hydrogen atoms are removed. The group which carried out is mentioned. Among these, a group obtained by removing two hydrogen atoms from an adamantane ring is preferable from the viewpoint of development adhesion.

2価の脂肪族基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基等の炭素数1~5のアルコキシ基;水酸基;ニトロ基;シアノ基;カルボキシル基等が挙げられる。これらの中でも合成容易性の観点から、無置換であることが好ましい。 Substituents which the divalent aliphatic group may have include alkoxy groups having 1 to 5 carbon atoms such as methoxy group and ethoxy group; hydroxyl group; nitro group; cyano group; and carboxyl group. Among these, unsubstituted groups are preferred from the viewpoint of ease of synthesis.

また、2価の芳香族環基としては、2価の芳香族炭化水素環基及び2価の芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は通常4以上であり、5以上が好ましく、6以上がより好ましく、また、20以下が好ましく、15以下がより好ましく、10以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Moreover, a bivalent aromatic-hydrocarbon ring group and a bivalent aromatic heterocyclic group are mentioned as a bivalent aromatic ring group. The number of carbon atoms is usually 4 or more, preferably 5 or more, more preferably 6 or more, and preferably 20 or less, more preferably 15 or less, and even more preferably 10 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.

2価の芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよい。2価の芳香族炭化水素環基としては、例えば、2個の遊離原子価を有する、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などの基が挙げられる。
また、2価の芳香族複素環基における芳香族複素環としては、単環であっても縮合環であってもよい。2価の芳香族複素環基としては、例えば、2個の遊離原子価を有する、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などの基が挙げられる。これらの中でも光硬化性の観点から、2個の遊離原子価を有するベンゼン環又はナフタレン環が好ましく、2個の遊離原子価を有するベンゼン環がより好ましい。
The aromatic hydrocarbon ring in the divalent aromatic hydrocarbon ring group may be a monocyclic ring or a condensed ring. The divalent aromatic hydrocarbon ring group includes, for example, benzene ring, naphthalene ring, anthracene ring, phenanthrene ring, perylene ring, tetracene ring, pyrene ring, benzpyrene ring, chrysene ring, which have two free valences, Groups such as triphenylene ring, acenaphthene ring, fluoranthene ring, and fluorene ring can be mentioned.
In addition, the aromatic heterocycle in the divalent aromatic heterocyclic group may be a monocyclic ring or a condensed ring. Examples of divalent aromatic heterocyclic groups include furan ring, benzofuran ring, thiophene ring, benzothiophene ring, pyrrole ring, pyrazole ring, imidazole ring, oxadiazole ring, and indole ring having two free valences. ring, carbazole ring, pyrroloimidazole ring, pyrrolopyrazole ring, pyrrolopyrrole ring, thienopyrrole ring, thienothiophene ring, furopyrrole ring, furofuran ring, thienofuran ring, benzisoxazole ring, benzisothiazole ring, benzimidazole ring, pyridine ring, groups such as pyrazine ring, pyridazine ring, pyrimidine ring, triazine ring, quinoline ring, isoquinoline ring, shinoline ring, quinoxaline ring, phenanthridine ring, benzimidazole ring, perimidine ring, quinazoline ring, quinazolinone ring and azulene ring; . Among these, from the viewpoint of photocurability, a benzene ring or a naphthalene ring having two free valences is preferred, and a benzene ring having two free valences is more preferred.

2価の芳香族環基が有していてもよい置換基としては、ヒドロキシル基、メチル基、メトキシ基、エチル基、エトキシ基、プロピル基、プロポキシ基、グリシジルエーテル基等が挙げられる。これらの中でも硬化性の観点から、無置換が好ましい。 Examples of substituents that the divalent aromatic ring group may have include hydroxyl group, methyl group, methoxy group, ethyl group, ethoxy group, propyl group, propoxy group, glycidyl ether group and the like. Among these, unsubstituted is preferred from the viewpoint of curability.

また、1以上の2価の脂肪族基と1以上の2価の芳香族環基とを連結した基としては、前述の2価の脂肪族基を1以上と、前述の2価の芳香族環基を1以上とを連結した基が挙げられる。
2価の脂肪族基の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、通常10以下、5以下が好ましく、3以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
2価の芳香族環基の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、通常10以下、5以下が好ましく、3以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
Further, as the group in which one or more divalent aliphatic groups and one or more divalent aromatic ring groups are linked, one or more of the above-mentioned divalent aliphatic groups and the above-mentioned divalent aromatic Groups in which one or more cyclic groups are linked can be mentioned.
Although the number of divalent aliphatic groups is not particularly limited, it is generally preferably 1 or more and 2 or more, generally 10 or less and 5 or less, and more preferably 3 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.
The number of divalent aromatic ring groups is not particularly limited, but is usually 1 or more, preferably 2 or more, usually 10 or less, preferably 5 or less, and more preferably 3 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.

1以上の2価の脂肪族基と1以上の2価の芳香族環基とを連結した基の具体例としては、下記式(i-A)~(i-F)で表される基等が挙げられる。これらの中でも骨格の剛直性と膜の疎水化の観点から、下記式(i-A)で表される基が好ましい。化学式中の*は結合手を表す。 Specific examples of groups in which one or more divalent aliphatic groups and one or more divalent aromatic ring groups are linked include groups represented by the following formulas (iA) to (iF), etc. is mentioned. Among these, a group represented by the following formula (iA) is preferable from the viewpoint of rigidity of the skeleton and hydrophobicity of the membrane. * in the chemical formula represents a bond.

Figure 0007205089000008
Figure 0007205089000008

前記のとおり、式(i)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。該置換基としては、例えば、ヒドロキシル基、メチル基、メトキシ基、エチル基、エトキシ基、プロピル基、プロポキシ基等が挙げられる。置換基の数も特に限定されず、1つでもよいし、2つ以上でもよい。
これらの中でも硬化性の観点から、無置換であることが好ましい。
As described above, the benzene ring in formula (i) may be further substituted with optional substituents. Examples of the substituent include hydroxyl group, methyl group, methoxy group, ethyl group, ethoxy group, propyl group, propoxy group and the like. The number of substituents is also not particularly limited, and may be one or two or more.
Among these, from the viewpoint of curability, unsubstituted is preferred.

また、前記式(i)で表される部分構造は、現像溶解性の観点から、下記一般式(i-1)で表される部分構造であることが好ましい。 Further, the partial structure represented by the formula (i) is preferably a partial structure represented by the following general formula (i-1) from the viewpoint of developing solubility.

Figure 0007205089000009
Figure 0007205089000009

式(i-1)中、Ra及びRbは、前記式(i)のものと同義である。RXは水素原子又は多塩基酸残基を表す。*は結合手を表す。式(i-1)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。 In formula (i-1), R a and R b have the same definitions as in formula (i) above. R X represents a hydrogen atom or a polybasic acid residue. * represents a bond. The benzene ring in formula (i-1) may be further substituted with any substituent.

(RX
(i-1)中、Rxの多塩基酸残基とは、多塩基酸又はその無水物からOH基を1つ除した1価の基を意味する。多塩基酸としては、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸から選ばれた1種又は2種以上が挙げられる。中でも、アウトガス低減の観点から、コハク酸無水物、マレイン酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、又はヘキサヒドロフタル酸無水物が好ましく、コハク酸無水物又はテトラヒドロフタル酸無水物がより好ましく、コハク酸無水物が更に好ましい。
( RX )
In (i-1), the polybasic acid residue of R x means a monovalent group obtained by removing one OH group from a polybasic acid or its anhydride. Polybasic acids include maleic acid, succinic acid, itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, pyromellitic acid, trimellitic acid, benzophenonetetracarboxylic acid, methylhexahydrophthalic acid, and endomethylenetetrahydrophthalic acid. One or more selected from acids, chlorendic acid, methyltetrahydrophthalic acid, and biphenyltetracarboxylic acid can be mentioned. Among them, from the viewpoint of reducing outgassing, succinic anhydride, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, or hexahydrophthalic anhydride is preferable, succinic anhydride or tetrahydrophthalic anhydride is more preferable, and succinic acid Anhydrides are more preferred.

エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1-1)1分子中に含まれる、前記式(i-1)で表される部分構造は、1種でも2種以上でもよい。例えば、RXが水素原子のものと、RXが多塩基酸残基のものが混在していてもよい。 The partial structure represented by the formula (i-1) contained in one molecule of the epoxy (meth)acrylate resin (b1-1) may be one type or two or more types. For example, one in which R X is a hydrogen atom and one in which R X is a polybasic acid residue may be mixed.

また、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1-1)1分子中に含まれる、前記式(i)で表される部分構造の数は特に限定されないが、1以上が好ましく、2以上がより好ましく、3以上がさらに好ましく、また、10以下が好ましく、8以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 The number of partial structures represented by the formula (i) contained in one molecule of the epoxy (meth)acrylate resin (b1-1) is not particularly limited, but is preferably 1 or more, more preferably 2 or more, 3 or more is more preferable, 10 or less is preferable, and 8 or less is more preferable. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.

また、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1-1)1分子中に含まれる、前記式(i-1)で表される部分構造の数は特に限定されないが、1以上が好ましく、2以上がより好ましく、3以上がさらに好ましく、また、10以下が好ましく、8以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 The number of partial structures represented by the formula (i-1) contained in one molecule of the epoxy (meth)acrylate resin (b1-1) is not particularly limited, but is preferably 1 or more, more preferably 2 or more. It is preferably 3 or more, more preferably 10 or less, and even more preferably 8 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.

以下にエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1-1)の具体例を挙げる。 Specific examples of the epoxy (meth)acrylate resin (b1-1) are given below.

Figure 0007205089000010
Figure 0007205089000010

Figure 0007205089000011
Figure 0007205089000011

Figure 0007205089000012
Figure 0007205089000012

Figure 0007205089000013
Figure 0007205089000013

Figure 0007205089000014
Figure 0007205089000014

Figure 0007205089000015
Figure 0007205089000015

Figure 0007205089000016
Figure 0007205089000016

また一方で、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1)は、現像密着性の観点から、下記一般式(ii)で表される部分構造を含むエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1-2)であることが好ましい。 On the other hand, the epoxy (meth)acrylate resin (b1) is an epoxy (meth)acrylate resin (b1-2) containing a partial structure represented by the following general formula (ii) from the viewpoint of development adhesion. is preferred.

Figure 0007205089000017
Figure 0007205089000017

式(ii)中、Rcは各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。Rdは、環状炭化水素基を側鎖として有する2価の炭化水素基を表す。*は結合手を表す。 In formula (ii), each R c independently represents a hydrogen atom or a methyl group. R d represents a divalent hydrocarbon group having a cyclic hydrocarbon group as a side chain. * represents a bond.

(Rd
前記式(ii)において、Rdは、環状炭化水素基を側鎖として有する2価の炭化水素基を表す。
環状炭化水素基としては、脂肪族環基又は芳香族環基が挙げられる。
( Rd )
In formula (ii) above, R d represents a divalent hydrocarbon group having a cyclic hydrocarbon group as a side chain.
The cyclic hydrocarbon group includes an aliphatic ring group or an aromatic ring group.

脂肪族環基が有する環の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、また、通常10以下、5以下が好ましく、3以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
また、脂肪族環基の炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、8以上がより好ましく、また、40以下が好ましく、30以下がより好ましく、20以下がさらに好ましく、15以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
脂肪族環基における脂肪族環の具体例としてはシクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロデカン環、シクロドデカン環、ノルボルナン環、イソボルナン環、アダマンタン環、シクロドデカン環等が挙げられる。これらの中でも現像密着性の観点から、アダマンタン環が好ましい。
Although the number of rings possessed by the aliphatic ring group is not particularly limited, it is usually preferably 1 or more and 2 or more, and is usually 10 or less and 5 or less, preferably 3 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.
The number of carbon atoms in the aliphatic ring group is usually 4 or more, preferably 6 or more, more preferably 8 or more, preferably 40 or less, more preferably 30 or less, further preferably 20 or less, and particularly 15 or less. preferable. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.
Specific examples of the aliphatic ring in the aliphatic ring group include cyclohexane ring, cycloheptane ring, cyclodecane ring, cyclododecane ring, norbornane ring, isobornane ring, adamantane ring, cyclododecane ring and the like. Among these, an adamantane ring is preferable from the viewpoint of development adhesion.

一方で、芳香族環基が有する環の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、3以上がより好ましく、また、通常10以下、5以下が好ましく、4以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで残渣が低減する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像密着性が向上する傾向がある。
芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基、芳香族複素環基が挙げられる。また、芳香族環基の炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、8以上がより好ましく、10以上がよりさらに好ましく、12以上が特に好ましく、また、40以下が好ましく、30以下がより好ましく、20以下がさらに好ましく、15以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで残渣が低減する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像密着性が向上する傾向がある。
芳香族環基における芳香族環の具体例としては、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環等が挙げられる。これらの中でもパターニング特性の観点から、フルオレン環が好ましい。
On the other hand, the number of rings possessed by the aromatic ring group is not particularly limited, but is usually 1 or more, preferably 2 or more, more preferably 3 or more, and usually 10 or less, preferably 5 or less, and more preferably 4 or less. When the concentration is equal to or higher than the lower limit, the amount of residue tends to be reduced, and when the concentration is equal to or lower than the upper limit, the development adhesion tends to be improved.
Aromatic ring groups include aromatic hydrocarbon ring groups and aromatic heterocyclic groups. The number of carbon atoms in the aromatic ring group is usually 4 or more, preferably 6 or more, more preferably 8 or more, even more preferably 10 or more, particularly preferably 12 or more, and preferably 40 or less, and 30 or less. It is more preferably 20 or less, and particularly preferably 15 or less. When the concentration is equal to or higher than the lower limit, the amount of residue tends to be reduced, and when the concentration is equal to or lower than the upper limit, the development adhesion tends to be improved.
Specific examples of the aromatic ring in the aromatic ring group include benzene ring, naphthalene ring, anthracene ring, phenanthrene ring, perylene ring, tetracene ring, pyrene ring, benzpyrene ring, chrysene ring, triphenylene ring, acenaphthene ring, fluoranthene ring, A fluorene ring and the like can be mentioned. Among these, a fluorene ring is preferable from the viewpoint of patterning properties.

また、環状炭化水素基を側鎖として有する2価の炭化水素基における、2価の炭化水素基は特に限定されないが、例えば、2価の脂肪族基、2価の芳香族環基、1以上の2価の脂肪族基と1以上の2価の芳香族環基とを連結した基が挙げられる。 In addition, the divalent hydrocarbon group in the divalent hydrocarbon group having a cyclic hydrocarbon group as a side chain is not particularly limited. and a group in which a divalent aliphatic group and one or more divalent aromatic ring groups are linked.

2価の脂肪族基は、直鎖状、分岐鎖状、環状のものが挙げられる。これらの中でも現像溶解性の観点からは直鎖状のものが好ましく、一方で露光部への現像液の浸透低減の観点からは環状のものが好ましい。その炭素数は通常1以上であり、3以上が好ましく、6以上がより好ましく、また、25以下が好ましく、20以下がより好ましく、15以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 The divalent aliphatic group includes linear, branched and cyclic ones. Among these, linear ones are preferable from the viewpoint of developing solubility, while cyclic ones are preferable from the viewpoint of reducing permeation of the developer into the exposed area. The number of carbon atoms is usually 1 or more, preferably 3 or more, more preferably 6 or more, and preferably 25 or less, more preferably 20 or less, and even more preferably 15 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.

2価の直鎖状脂肪族基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、n-プロピレン基、n-ブチレン基、n-ヘキシレン基、n-ヘプチレン基等が挙げられる。これらの中でも残渣の観点から、メチレン基が好ましい。
2価の分岐鎖状脂肪族基の具体例としては、前述の2価の直鎖状脂肪族基に、側鎖としてメチル基、エチル基、n-プロピル基、iso-プロピル基、n-ブチル基、iso-ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基等を有する構造が挙げられる。
2価の環状の脂肪族基が有する環の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、また、通常10以下、5以下が好ましく、3以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。2価の環状の脂肪族基の具体例としては、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロデカン環、シクロドデカン環、ノルボルナン環、イソボルナン環、アダマンタン環、シクロドデカン環等の環から水素原子を2つ除した基が挙げられる。これらの中でも現像密着性の観点から、アダマンタン環から水素原子を2つ除した基が好ましい。
Specific examples of divalent linear aliphatic groups include methylene, ethylene, n-propylene, n-butylene, n-hexylene and n-heptylene groups. Among these, a methylene group is preferable from the viewpoint of residue.
Specific examples of the divalent branched aliphatic group include the divalent straight-chain aliphatic group described above and a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an iso-propyl group, and n-butyl as a side chain. groups, iso-butyl groups, sec-butyl groups, tert-butyl groups, and the like.
Although the number of rings possessed by the divalent cyclic aliphatic group is not particularly limited, it is generally preferably 1 or more and 2 or more, and generally 10 or less and 5 or less, and more preferably 3 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced. Specific examples of divalent cyclic aliphatic groups include a ring such as cyclohexane ring, cycloheptane ring, cyclodecane ring, cyclododecane ring, norbornane ring, isobornane ring, adamantane ring, and cyclododecane ring in which two hydrogen atoms are removed. The group which carried out is mentioned. Among these, a group obtained by removing two hydrogen atoms from an adamantane ring is preferable from the viewpoint of development adhesion.

2価の脂肪族基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基等の炭素数1~5のアルコキシ基;水酸基;ニトロ基;シアノ基;カルボキシル基等が挙げられる。これらの中でも合成容易性の観点から、無置換であることが好ましい。 Substituents which the divalent aliphatic group may have include alkoxy groups having 1 to 5 carbon atoms such as methoxy group and ethoxy group; hydroxyl group; nitro group; cyano group; and carboxyl group. Among these, unsubstituted groups are preferred from the viewpoint of ease of synthesis.

また、2価の芳香族環基としては、2価の芳香族炭化水素環基及び2価の芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は通常4以上であり、5以上が好ましく、6以上がより好ましく、また、30以下が好ましく、20以下がより好ましく、15以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Moreover, a bivalent aromatic-hydrocarbon ring group and a bivalent aromatic heterocyclic group are mentioned as a bivalent aromatic ring group. The number of carbon atoms is usually 4 or more, preferably 5 or more, more preferably 6 or more, and preferably 30 or less, more preferably 20 or less, and even more preferably 15 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.

2価の芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよい。2価の芳香族炭化水素環基としては、例えば、2個の遊離原子価を有する、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などの基が挙げられる。
また、2価の芳香族複素環基における芳香族複素環としては、単環であっても縮合環であってもよい。2価の芳香族複素環基としては、例えば、2個の遊離原子価を有する、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などの基が挙げられる。これらの中でも光硬化性の観点から、2個の遊離原子価を有するベンゼン環又はナフタレン環が好ましく、2個の遊離原子価を有するベンゼン環がより好ましい。
The aromatic hydrocarbon ring in the divalent aromatic hydrocarbon ring group may be a monocyclic ring or a condensed ring. The divalent aromatic hydrocarbon ring group includes, for example, benzene ring, naphthalene ring, anthracene ring, phenanthrene ring, perylene ring, tetracene ring, pyrene ring, benzpyrene ring, chrysene ring, which have two free valences, Groups such as triphenylene ring, acenaphthene ring, fluoranthene ring, and fluorene ring can be mentioned.
In addition, the aromatic heterocycle in the divalent aromatic heterocyclic group may be a monocyclic ring or a condensed ring. Examples of divalent aromatic heterocyclic groups include furan ring, benzofuran ring, thiophene ring, benzothiophene ring, pyrrole ring, pyrazole ring, imidazole ring, oxadiazole ring, and indole ring having two free valences. ring, carbazole ring, pyrroloimidazole ring, pyrrolopyrazole ring, pyrrolopyrrole ring, thienopyrrole ring, thienothiophene ring, furopyrrole ring, furofuran ring, thienofuran ring, benzisoxazole ring, benzisothiazole ring, benzimidazole ring, pyridine ring, groups such as pyrazine ring, pyridazine ring, pyrimidine ring, triazine ring, quinoline ring, isoquinoline ring, shinoline ring, quinoxaline ring, phenanthridine ring, benzimidazole ring, perimidine ring, quinazoline ring, quinazolinone ring and azulene ring; . Among these, from the viewpoint of photocurability, a benzene ring or a naphthalene ring having two free valences is preferred, and a benzene ring having two free valences is more preferred.

2価の芳香族環基が有していてもよい置換基としては、ヒドロキシル基、メチル基、メトキシ基、エチル基、エトキシ基、プロピル基、プロポキシ基等が挙げられる。これらの中でも硬化性の観点から、無置換が好ましい。 Examples of substituents that the divalent aromatic ring group may have include hydroxyl group, methyl group, methoxy group, ethyl group, ethoxy group, propyl group, propoxy group and the like. Among these, unsubstituted is preferred from the viewpoint of curability.

また、1以上の2価の脂肪族基と1以上の2価の芳香族環基とを連結した基としては、前述の2価の脂肪族基を1以上と、前述の2価の芳香族環基を1以上とを連結した基が挙げられる。
2価の脂肪族基の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、通常10以下、5以下が好ましく、3以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
2価の芳香族環基の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、通常10以下、5以下が好ましく、3以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
Further, as the group in which one or more divalent aliphatic groups and one or more divalent aromatic ring groups are linked, one or more of the above-mentioned divalent aliphatic groups and the above-mentioned divalent aromatic Groups in which one or more cyclic groups are linked can be mentioned.
Although the number of divalent aliphatic groups is not particularly limited, it is generally preferably 1 or more and 2 or more, generally 10 or less and 5 or less, and more preferably 3 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.
The number of divalent aromatic ring groups is not particularly limited, but is usually 1 or more, preferably 2 or more, usually 10 or less, preferably 5 or less, and more preferably 3 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.

1以上の2価の脂肪族基と1以上の2価の芳香族環基とを連結した基の具体例としては、前記式(i-A)~(i-F)で表される基等が挙げられる。これらの中でも残渣低減の観点から、前記式(i-C)で表される基が好ましい。 Specific examples of the group in which one or more divalent aliphatic groups and one or more divalent aromatic ring groups are linked include the groups represented by the above formulas (iA) to (iF), etc. is mentioned. Among these, the group represented by the above formula (iC) is preferable from the viewpoint of reducing residues.

これらの2価の炭化水素基に対して、側鎖である環状炭化水素基の結合態様は特に限定されないが、例えば、脂肪族基や芳香族環基の水素原子1つを該側鎖で置換した態様や、脂肪族基の炭素原子の1つを含めて側鎖である環状炭化水素基を構成した態様が挙げられる。 The bonding mode of the side chain cyclic hydrocarbon group to these divalent hydrocarbon groups is not particularly limited, but for example, one hydrogen atom of an aliphatic group or an aromatic ring group is substituted with the side chain. and a mode in which a cyclic hydrocarbon group, which is a side chain, is formed including one of the carbon atoms of the aliphatic group.

また、前記式(ii)で表される部分構造は、現像密着性の観点から、下記一般式(ii-1)で表される部分構造であることが好ましい。 Further, the partial structure represented by the formula (ii) is preferably a partial structure represented by the following general formula (ii-1) from the viewpoint of development adhesion.

Figure 0007205089000018
Figure 0007205089000018

式(ii-1)中、Rcは前記式(ii)と同義である。Rαは、置換基を有していてもよい1価の環状炭化水素基を表す。nは1以上の整数である。式(ii-1)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。 In formula (ii-1), R c has the same meaning as in formula (ii) above. R α represents a monovalent cyclic hydrocarbon group which may have a substituent. n is an integer of 1 or more. The benzene ring in formula (ii-1) may be further substituted with any substituent.

(Rα
前記式(ii-1)において、Rαは、置換基を有していてもよい1価の環状炭化水素基を表す。
環状炭化水素基としては、脂肪族環基又は芳香族環基が挙げられる。
(R α )
In formula (ii-1) above, R α represents a monovalent cyclic hydrocarbon group which may have a substituent.
The cyclic hydrocarbon group includes an aliphatic ring group or an aromatic ring group.

脂肪族環基が有する環の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、また、通常6以下、4以下が好ましく、3以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
また、脂肪族環基の炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、8以上がより好ましく、また、40以下が好ましく、30以下がより好ましく、20以下がさらに好ましく、15以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
脂肪族環基における脂肪族環の具体例としてはシクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロデカン環、シクロドデカン環、ノルボルナン環、イソボルナン環、アダマンタン環、シクロドデカン環等が挙げられる。これらの中でも現像密着性の観点から、アダマンタン環が好ましい。
Although the number of rings possessed by the aliphatic ring group is not particularly limited, it is generally preferably 1 or more and 2 or more, and generally 6 or less and 4 or less, and more preferably 3 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.
The number of carbon atoms in the aliphatic ring group is usually 4 or more, preferably 6 or more, more preferably 8 or more, preferably 40 or less, more preferably 30 or less, further preferably 20 or less, and particularly 15 or less. preferable. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.
Specific examples of the aliphatic ring in the aliphatic ring group include cyclohexane ring, cycloheptane ring, cyclodecane ring, cyclododecane ring, norbornane ring, isobornane ring, adamantane ring, cyclododecane ring and the like. Among these, an adamantane ring is preferable from the viewpoint of development adhesion.

一方で、芳香族環基が有する環の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、3以上がより好ましく、また、通常10以下、5以下が好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基、芳香族複素環基が挙げられる。また、芳香族環基の炭素数は通常4以上であり、5以上が好ましく、6以上がより好ましく、また、30以下が好ましく、20以下がより好ましく、15以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
芳香族環基における芳香族環の具体例としては、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、フルオレン環等が挙げられる。これらの中でも現像密着性の観点から、フルオレン環が好ましい。
On the other hand, although the number of rings possessed by the aromatic ring group is not particularly limited, it is usually 1 or more, preferably 2 or more, more preferably 3 or more, and usually 10 or less and 5 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.
Aromatic ring groups include aromatic hydrocarbon ring groups and aromatic heterocyclic groups. The number of carbon atoms in the aromatic ring group is usually 4 or more, preferably 5 or more, more preferably 6 or more, and preferably 30 or less, more preferably 20 or less, and even more preferably 15 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.
Specific examples of the aromatic ring in the aromatic ring group include benzene ring, naphthalene ring, anthracene ring, phenanthrene ring, fluorene ring and the like. Among these, a fluorene ring is preferable from the viewpoint of development adhesion.

環状炭化水素基が有していてもよい置換基としては、メチル基、エチル基、n-プロピル基、iso-プロピル基、n-ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、アミル基、iso-アミル基等の炭素数1~5のアルキル基;メトキシ基、エトキシ基等の炭素数1~5のアルコキシ基;水酸基;ニトロ基;シアノ基;カルボキシル基等が挙げられる。これらの中でも合成の容易性の観点から、無置換が好ましい。 Examples of substituents that the cyclic hydrocarbon group may have include methyl group, ethyl group, n-propyl group, iso-propyl group, n-butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, amyl group, Alkyl groups having 1 to 5 carbon atoms such as iso-amyl groups; alkoxy groups having 1 to 5 carbon atoms such as methoxy groups and ethoxy groups; hydroxyl groups; nitro groups; cyano groups; Among these, unsubstituted is preferred from the viewpoint of ease of synthesis.

nは1以上の整数を表すが、2以上が好ましく、また、3以下が好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Although n represents an integer of 1 or more, 2 or more is preferable, and 3 or less is preferable. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.

これらの中でも、強固な膜硬化度と電気特性の観点から、Rαが1価の脂肪族環基であることが好ましく、アダマンチル基であることがより好ましい。 Among these, R α is preferably a monovalent aliphatic cyclic group, more preferably an adamantyl group, from the viewpoint of strong film hardening degree and electrical properties.

前記のとおり、式(ii-1)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。該置換基としては、例えば、ヒドロキシル基、メチル基、メトキシ基、エチル基、エトキシ基、プロピル基、プロポキシ基等が挙げられる。置換基の数も特に限定されず、1つでもよいし、2つ以上でもよい。これらの中でも硬化性の観点から、無置換であることが好ましい。 As described above, the benzene ring in formula (ii-1) may be further substituted with optional substituents. Examples of the substituent include hydroxyl group, methyl group, methoxy group, ethyl group, ethoxy group, propyl group, propoxy group and the like. The number of substituents is also not particularly limited, and may be one or two or more. Among these, from the viewpoint of curability, unsubstituted is preferred.

以下に前記式(ii-1)で表される部分構造の具体例を挙げる。 Specific examples of the partial structure represented by formula (ii-1) are given below.

Figure 0007205089000019
Figure 0007205089000019

Figure 0007205089000020
Figure 0007205089000020

Figure 0007205089000021
Figure 0007205089000021

Figure 0007205089000022
Figure 0007205089000022

Figure 0007205089000023
Figure 0007205089000023

また、前記式(ii)で表される部分構造は、現像密着性の観点から、下記一般式(ii-2)で表される部分構造であることが好ましい。 Further, the partial structure represented by the formula (ii) is preferably a partial structure represented by the following general formula (ii-2) from the viewpoint of development adhesion.

Figure 0007205089000024
Figure 0007205089000024

式(ii-2)中、Rcは前記式(ii)と同義である。Rβは、置換基を有していてもよい2価の環状炭化水素基を表す。式(ii-2)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。 In formula (ii-2), R c has the same definition as in formula (ii) above. R β represents a divalent cyclic hydrocarbon group which may have a substituent. The benzene ring in formula (ii-2) may be further substituted with any substituent.

(Rβ
前記式(ii-2)において、Rβは、置換基を有していてもよい2価の環状炭化水素基を表す。
環状炭化水素基としては、脂肪族環基又は芳香族環基が挙げられる。
( )
In formula (ii-2) above, R β represents a divalent cyclic hydrocarbon group which may have a substituent.
The cyclic hydrocarbon group includes an aliphatic ring group or an aromatic ring group.

脂肪族環基が有する環の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、また、通常10以下、5以下が好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
また、脂肪族環基の炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、8以上がより好ましく、また、40以下が好ましく、35以下がより好ましく、30以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
脂肪族環基における脂肪族環の具体例としては、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロデカン環、シクロドデカン環、ノルボルナン環、イソボルナン環、アダマンタン環、シクロドデカン環等が挙げられる。これらの中でも現像密着性の観点から、アダマンタン環が好ましい。
Although the number of rings possessed by the aliphatic ring group is not particularly limited, it is generally preferably 1 or more and 2 or more, and is generally preferably 10 or less and 5 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.
The number of carbon atoms in the aliphatic ring group is generally 4 or more, preferably 6 or more, more preferably 8 or more, and preferably 40 or less, more preferably 35 or less, and even more preferably 30 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.
Specific examples of the aliphatic ring in the aliphatic ring group include cyclohexane ring, cycloheptane ring, cyclodecane ring, cyclododecane ring, norbornane ring, isobornane ring, adamantane ring, cyclododecane ring and the like. Among these, an adamantane ring is preferable from the viewpoint of development adhesion.

一方で、芳香族環基が有する環の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、3以上がより好ましく、また、通常10以下、5以下が好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基、芳香族複素環基が挙げられるまた、芳香族環基の炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、8以上がより好ましく、10以上がさらに好ましく、また、40以下が好ましく、30以下がより好ましく、20以下がさらに好ましく、15以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
芳香族環基における芳香族環の具体例としては、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、フルオレン環等が挙げられる。これらの中でも現像密着性の観点から、フルオレン環が好ましい。
On the other hand, although the number of rings possessed by the aromatic ring group is not particularly limited, it is usually 1 or more, preferably 2 or more, more preferably 3 or more, and usually 10 or less and 5 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.
Examples of the aromatic ring group include aromatic hydrocarbon ring groups and aromatic heterocyclic groups. The number of carbon atoms in the aromatic ring group is usually 4 or more, preferably 6 or more, more preferably 8 or more, and 10 40 or less is more preferable, 30 or less is more preferable, 20 or less is more preferable, and 15 or less is particularly preferable. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.
Specific examples of the aromatic ring in the aromatic ring group include benzene ring, naphthalene ring, anthracene ring, phenanthrene ring, fluorene ring and the like. Among these, a fluorene ring is preferable from the viewpoint of development adhesion.

環状炭化水素基が有していてもよい置換基としては、メチル基、エチル基、n-プロピル基、iso-プロピル基、n-ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、アミル基、iso-アミル基等の炭素数1~5のアルキル基;メトキシ基、エトキシ基等の炭素数1~5のアルコキシ基;水酸基;ニトロ基;シアノ基;カルボキシル基等が挙げられる。これらの中でも合成の簡易性の観点から、無置換が好ましい。 Examples of substituents that the cyclic hydrocarbon group may have include methyl group, ethyl group, n-propyl group, iso-propyl group, n-butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, amyl group, Alkyl groups having 1 to 5 carbon atoms such as iso-amyl groups; alkoxy groups having 1 to 5 carbon atoms such as methoxy groups and ethoxy groups; hydroxyl groups; nitro groups; cyano groups; Among these, non-substituted groups are preferred from the viewpoint of ease of synthesis.

これらの中でも、硬化性の観点から、Rβが2価の脂肪族環基であることが好ましく、2価のアダマンタン環基であることがより好ましい。
一方で、現像密着性の観点から、Rβが2価の芳香族環基であることが好ましく、2価のフルオレン環基であることがより好ましい。
Among these, from the viewpoint of curability, R β is preferably a divalent aliphatic cyclic group, more preferably a divalent adamantane cyclic group.
On the other hand, from the viewpoint of development adhesion, R β is preferably a divalent aromatic ring group, more preferably a divalent fluorene ring group.

前記のとおり、式(ii-2)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。該置換基としては、例えば、ヒドロキシル基、メチル基、メトキシ基、エチル基、エトキシ基、プロピル基、プロポキシ基等が挙げられる。置換基の数も特に限定されず、1つでもよいし、2つ以上でもよい。これらの中でも硬化性の観点から、無置換であることが好ましい。 As described above, the benzene ring in formula (ii-2) may be further substituted with optional substituents. Examples of the substituent include hydroxyl group, methyl group, methoxy group, ethyl group, ethoxy group, propyl group, propoxy group and the like. The number of substituents is also not particularly limited, and may be one or two or more. Among these, from the viewpoint of curability, unsubstituted is preferred.

以下に前記式(ii-2)で表される部分構造の具体例を挙げる。 Specific examples of the partial structure represented by formula (ii-2) are given below.

Figure 0007205089000025
Figure 0007205089000025

Figure 0007205089000026
Figure 0007205089000026

Figure 0007205089000027
Figure 0007205089000027

Figure 0007205089000028
Figure 0007205089000028

一方で、前記式(ii)で表される部分構造は、硬化性の観点から、下記一般式(ii-3)で表される部分構造であることが好ましい。 On the other hand, the partial structure represented by the formula (ii) is preferably a partial structure represented by the following general formula (ii-3) from the viewpoint of curability.

Figure 0007205089000029
Figure 0007205089000029

式(ii-3)中、Rc及びRdは前記式(ii)と同義である。RXは水素原子又は多塩基酸残基を表す。 In formula (ii-3), R c and R d have the same definitions as in formula (ii) above. R X represents a hydrogen atom or a polybasic acid residue.

(ii-3)中、RXの多塩基酸残基とは、多塩基酸又はその無水物からOH基を1つ除した1価の基を意味する。なお、さらにもう1つのOH基が除され、式(ii-3)で表される他の分子におけるRXと共用されていてもよく、つまり、RXを介して複数の式(ii-3)が連結していてもよい。
多塩基酸としては、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸から選ばれた1種又は2種以上が挙げられる。中でも、アウトガス低減の観点から、コハク酸無水物、マレイン酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、又はヘキサヒドロフタル酸無水物が好ましく、コハク酸無水物又はテトラヒドロフタル酸無水物がより好ましく、コハク酸無水物が更に好ましい。
In (ii-3), the polybasic acid residue of R X means a monovalent group obtained by removing one OH group from a polybasic acid or its anhydride. In addition, one more OH group may be removed and shared with R X in another molecule represented by formula (ii-3), that is, a plurality of formula (ii - 3 ) may be linked.
Polybasic acids include maleic acid, succinic acid, itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, pyromellitic acid, trimellitic acid, benzophenonetetracarboxylic acid, methylhexahydrophthalic acid, and endomethylenetetrahydrophthalic acid. One or more selected from acids, chlorendic acid, methyltetrahydrophthalic acid, and biphenyltetracarboxylic acid can be mentioned. Among them, from the viewpoint of reducing outgassing, succinic anhydride, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, or hexahydrophthalic anhydride is preferable, succinic anhydride or tetrahydrophthalic anhydride is more preferable, and succinic acid Anhydrides are more preferred.

エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1-2)1分子中に含まれる、前記式(ii-3)で表される部分構造は、1種でも2種以上でもよい。 The partial structure represented by the formula (ii-3) contained in one molecule of the epoxy (meth)acrylate resin (b1-2) may be one type or two or more types.

また、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1-2)1分子中に含まれる、前記式(ii)で表される部分構造の数は特に限定されないが、1以上が好ましく、3以上がより好ましく、また、20以下が好ましく、15以下がより好ましく、10以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 The number of partial structures represented by the formula (ii) contained in one molecule of the epoxy (meth)acrylate resin (b1-2) is not particularly limited, but is preferably 1 or more, more preferably 3 or more, Moreover, 20 or less are preferable, 15 or less are more preferable, and 10 or less are more preferable. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.

また一方で、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1)は、素子発光時のアウトガス低減の観点から、下記一般式(iii)で表される部分構造を含むエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1-3)であることが好ましい。 On the other hand, the epoxy (meth)acrylate resin (b1) is an epoxy (meth)acrylate resin (b1-3) containing a partial structure represented by the following general formula (iii) from the viewpoint of reducing outgassing when the device emits light. is preferably

Figure 0007205089000030
Figure 0007205089000030

式(iii)中、Reは水素原子又はメチル基を表し、γは単結合、-CO-、置換基を有していてもよいアルキレン基、又は置換基を有していてもよい2価の環状炭化水素基を表す。式(iii)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。*は結合手を表す。 In formula (iii), R e represents a hydrogen atom or a methyl group, γ is a single bond, —CO—, an optionally substituted alkylene group, or an optionally substituted divalent represents a cyclic hydrocarbon group. The benzene ring in formula (iii) may be further substituted with any substituent. * represents a bond.

(γ)
前記式(iii)において、γは単結合、-CO-、置換基を有していてもよいアルキレン基、又は置換基を有していてもよい2価の環状炭化水素基を表す。
(γ)
In the above formula (iii), γ represents a single bond, —CO—, an optionally substituted alkylene group, or an optionally substituted divalent cyclic hydrocarbon group.

アルキレン基は直鎖でも、分岐鎖でもよいが、現像溶解性の観点からは直鎖であることが好ましく、現像密着性の観点からは分岐鎖であることが好ましい。その炭素数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、また通常6以下、4以下が好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 The alkylene group may be linear or branched, but from the viewpoint of development solubility, it is preferably linear, and from the viewpoint of development adhesion, it is preferably branched. Although the number of carbon atoms is not particularly limited, it is usually preferably 1 or more and 2 or more, and usually 6 or less and 4 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.

アルキレン基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、へキシレン基、ヘプチレン基が挙げられ、現像密着性と現像溶解性の両立の観点から、メチレン基、エチレン基又はプロピレン基が好ましく、ジメチルメチレン基がより好ましい。 Specific examples of the alkylene group include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a butylene group, a hexylene group and a heptylene group. group is preferred, and dimethylmethylene group is more preferred.

アルキレン基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基等の炭素数1~5のアルコキシ基;水酸基;ニトロ基;シアノ基;カルボキシル基等が挙げられる。これらの中でも現像密着性と現像溶解性の両立の観点から、無置換であることが好ましい。 Examples of substituents which the alkylene group may have include alkoxy groups having 1 to 5 carbon atoms such as methoxy group and ethoxy group; hydroxyl group; nitro group; cyano group; Among these, non-substitution is preferred from the viewpoint of compatibility between development adhesion and development solubility.

2価の環状炭化水素基としては、2価の脂肪族環基又は2価の芳香族環基が挙げられる。 The divalent cyclic hydrocarbon group includes a divalent aliphatic ring group or a divalent aromatic ring group.

脂肪族環基が有する環の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、また、通常10以下、5以下が好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
また、脂肪族環基の炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、8以上がより好ましく、また、40以下が好ましく、35以下がより好ましく、30以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
脂肪族環基における脂肪族環の具体例としては、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロデカン環、シクロドデカン環、ノルボルナン環、イソボルナン環、アダマンタン環、シクロドデカン環等が挙げられる。これらの中でも現像密着性の観点から、アダマンタン環が好ましい。
Although the number of rings possessed by the aliphatic ring group is not particularly limited, it is generally preferably 1 or more and 2 or more, and is generally preferably 10 or less and 5 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.
The number of carbon atoms in the aliphatic ring group is generally 4 or more, preferably 6 or more, more preferably 8 or more, and preferably 40 or less, more preferably 35 or less, and even more preferably 30 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.
Specific examples of the aliphatic ring in the aliphatic ring group include cyclohexane ring, cycloheptane ring, cyclodecane ring, cyclododecane ring, norbornane ring, isobornane ring, adamantane ring, cyclododecane ring and the like. Among these, an adamantane ring is preferable from the viewpoint of development adhesion.

一方で、芳香族環基が有する環の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、3以上がより好ましく、また、通常10以下、5以下が好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基、芳香族複素環基が挙げられる。また、芳香族環基の炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、8以上がより好ましく、10以上がさらに好ましく、また、40以下が好ましく、30以下がより好ましく、20以下がさらに好ましく、15以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
芳香族環基における芳香族環の具体例としては、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、フルオレン環等が挙げられる。これらの中でも現像密着性の観点から、フルオレン環が好ましい。
On the other hand, although the number of rings possessed by the aromatic ring group is not particularly limited, it is usually 1 or more, preferably 2 or more, more preferably 3 or more, and usually 10 or less and 5 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.
Aromatic ring groups include aromatic hydrocarbon ring groups and aromatic heterocyclic groups. In addition, the number of carbon atoms in the aromatic ring group is usually 4 or more, preferably 6 or more, more preferably 8 or more, further preferably 10 or more, preferably 40 or less, more preferably 30 or less, and further preferably 20 or less. It is preferred, and 15 or less is particularly preferred. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.
Specific examples of the aromatic ring in the aromatic ring group include benzene ring, naphthalene ring, anthracene ring, phenanthrene ring, fluorene ring and the like. Among these, a fluorene ring is preferable from the viewpoint of development adhesion.

環状炭化水素基が有していてもよい置換基としては、メチル基、エチル基、n-プロピル基、iso-プロピル基、n-ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、アミル基、iso-アミル基等の炭素数1~5のアルキル基;メトキシ基、エトキシ基等の炭素数1~5のアルコキシ基;水酸基;ニトロ基;シアノ基;カルボキシル基等が挙げられる。これらの中でも合成の簡易性の観点から、無置換が好ましい。 Examples of substituents that the cyclic hydrocarbon group may have include methyl group, ethyl group, n-propyl group, iso-propyl group, n-butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, amyl group, Alkyl groups having 1 to 5 carbon atoms such as iso-amyl groups; alkoxy groups having 1 to 5 carbon atoms such as methoxy groups and ethoxy groups; hydroxyl groups; nitro groups; cyano groups; Among these, non-substituted groups are preferred from the viewpoint of ease of synthesis.

これらの中でも、残渣低減の観点から、γが置換基を有していてもよいアルキレン基であることが好ましく、ジメチルメチレン基であることがより好ましい。 Among these, from the viewpoint of reducing residues, γ is preferably an optionally substituted alkylene group, more preferably a dimethylmethylene group.

前記のとおり、式(iii)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。該置換基としては、例えば、ヒドロキシル基、メチル基、メトキシ基、エチル基、エトキシ基、プロピル基、プロポキシ基等が挙げられる。置換基の数も特に限定されず、1つでもよいし、2つ以上でもよい。これらの中でも硬化性の観点から、無置換であることが好ましい。 As described above, the benzene ring in formula (iii) may be further substituted with optional substituents. Examples of the substituent include hydroxyl group, methyl group, methoxy group, ethyl group, ethoxy group, propyl group, propoxy group and the like. The number of substituents is also not particularly limited, and may be one or two or more. Among these, from the viewpoint of curability, unsubstituted is preferred.

一方で、前記式(iii)で表される部分構造は、現像溶解性の観点から、下記一般式(iii-1)で表される部分構造であることが好ましい。 On the other hand, the partial structure represented by the formula (iii) is preferably a partial structure represented by the following general formula (iii-1) from the viewpoint of development solubility.

Figure 0007205089000031
Figure 0007205089000031

式(iii-1)中、Re及びγは前記式(iii)と同義である。RXは水素原子又は多塩基酸残基を表す。*は結合手を表す。式(iii-1)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。 In formula (iii-1), R e and γ have the same definitions as in formula (iii) above. R X represents a hydrogen atom or a polybasic acid residue. * represents a bond. The benzene ring in formula (iii-1) may be further substituted with any substituent.

式(iii-1)中、RXの多塩基酸残基とは、多塩基酸又はその無水物からOH基を1つ除した1価の基を意味する。多塩基酸としては、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸から選ばれた1種又は2種以上が挙げられる。中でも、アウトガス低減の観点から、コハク酸無水物、マレイン酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、又はヘキサヒドロフタル酸無水物が好ましく、コハク酸無水物又はテトラヒドロフタル酸無水物がより好ましく、コハク酸無水物が更に好ましい。 In formula (iii-1), the polybasic acid residue of R X means a monovalent group obtained by removing one OH group from a polybasic acid or its anhydride. Polybasic acids include maleic acid, succinic acid, itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, pyromellitic acid, trimellitic acid, benzophenonetetracarboxylic acid, methylhexahydrophthalic acid, and endomethylenetetrahydrophthalic acid. One or more selected from acids, chlorendic acid, methyltetrahydrophthalic acid, and biphenyltetracarboxylic acid can be mentioned. Among them, from the viewpoint of reducing outgassing, succinic anhydride, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, or hexahydrophthalic anhydride is preferable, succinic anhydride or tetrahydrophthalic anhydride is more preferable, and succinic acid Anhydrides are more preferred.

また、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1-3)1分子中に含まれる、前記式(iii)で表される部分構造の数は特に限定されないが、1以上が好ましく、5以上がより好ましく、10以上がさらに好ましく、また、18以下が好ましく、15以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 The number of partial structures represented by the formula (iii) contained in one molecule of the epoxy (meth)acrylate resin (b1-3) is not particularly limited, but is preferably 1 or more, more preferably 5 or more, 10 or more is more preferable, 18 or less is preferable, and 15 or less is more preferable. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.

また、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1-3)1分子中に含まれる、前記式(iii-1)で表される部分構造の数は特に限定されないが、1以上が好ましく、3以上がより好ましく、5以上がさらに好ましく、また、18以下が好ましく、15以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 In addition, the number of partial structures represented by the formula (iii-1) contained in one molecule of the epoxy (meth)acrylate resin (b1-3) is not particularly limited, but is preferably 1 or more, and more preferably 3 or more. It is preferably 5 or more, more preferably 18 or less, and still more preferably 15 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.

以下にエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1-3)の具体例を挙げる。 Specific examples of the epoxy (meth)acrylate resin (b1-3) are given below.

Figure 0007205089000032
Figure 0007205089000032

Figure 0007205089000033
Figure 0007205089000033

Figure 0007205089000034
Figure 0007205089000034

[アクリル共重合樹脂(b2)]
次に、アクリル共重合樹脂(b2)について詳述する。アクリル共重合樹脂(b2)は、硬化性の観点から、側鎖にエチレン性二重結合を有するものであることが好ましい。
[Acrylic copolymer resin (b2)]
Next, the acrylic copolymer resin (b2) will be described in detail. From the viewpoint of curability, the acrylic copolymer resin (b2) preferably has an ethylenic double bond in its side chain.

アクリル共重合樹脂(b2)の中でも、現像溶解性の観点から、下記一般式(I)で表される部分構造を含むアクリル共重合樹脂(b2-1)が好ましい。 Among acrylic copolymer resins (b2), acrylic copolymer resins (b2-1) containing a partial structure represented by the following general formula (I) are preferred from the viewpoint of developing solubility.

Figure 0007205089000035
Figure 0007205089000035

式(I)中、RA及びRBは各々独立に水素原子又はメチル基を表す。*は結合手を表す。 In formula (I), R A and R B each independently represent a hydrogen atom or a methyl group. * represents a bond.

また、前記式(I)で表される部分構造は、現像性の観点から、下記一般式(I-1)で表される部分構造であることが好ましい。 From the viewpoint of developability, the partial structure represented by formula (I) is preferably a partial structure represented by general formula (I-1) below.

Figure 0007205089000036
Figure 0007205089000036

式(I-1)中、RA及びRBは、前記式(I)のものと同義である。RZは水素原子又は多塩基酸残基を表す。 In formula (I-1), R A and R B have the same definitions as in formula (I) above. R Z represents a hydrogen atom or a polybasic acid residue.

(I-1)中、RZの多塩基酸残基とは、多塩基酸又はその無水物からOH基を1つ除した1価の基を意味する。多塩基酸としては、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸から選ばれた1種又は2種以上が挙げられる。中でも、アウトガス低減の観点から、コハク酸無水物、マレイン酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、又はヘキサヒドロフタル酸無水物が好ましく、コハク酸無水物又はテトラヒドロフタル酸無水物がより好ましく、コハク酸無水物が更に好ましい。 In (I-1), the polybasic acid residue of R Z means a monovalent group obtained by removing one OH group from a polybasic acid or its anhydride. Polybasic acids include maleic acid, succinic acid, itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, pyromellitic acid, trimellitic acid, benzophenonetetracarboxylic acid, methylhexahydrophthalic acid, and endomethylenetetrahydrophthalic acid. One or more selected from acids, chlorendic acid, methyltetrahydrophthalic acid, and biphenyltetracarboxylic acid can be mentioned. Among them, from the viewpoint of reducing outgassing, succinic anhydride, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, or hexahydrophthalic anhydride is preferable, succinic anhydride or tetrahydrophthalic anhydride is more preferable, and succinic acid Anhydrides are more preferred.

アクリル共重合樹脂(b2-1)に含まれる前記一般式(I)で表される部分構造の含有割合は特に限定されないが、5モル%以上が好ましく、20モル%以上がより好ましく、30モル%以上がさらに好ましく、50モル%以上がよりさらに好ましく、70モル%以上が特に好ましく、80モル%以上が最も好ましく、また、99モル%以下が好ましく、97モル%以下がより好ましく、95モル%以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで残渣が低減する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像密着性が向上する傾向がある。 The content ratio of the partial structure represented by the general formula (I) contained in the acrylic copolymer resin (b2-1) is not particularly limited, but is preferably 5 mol% or more, more preferably 20 mol% or more, and 30 mol. % or more, more preferably 50 mol% or more, particularly preferably 70 mol% or more, most preferably 80 mol% or more, preferably 99 mol% or less, more preferably 97 mol% or less, 95 mol % or less is more preferable. When the concentration is equal to or higher than the lower limit, the amount of residue tends to be reduced, and when the concentration is equal to or lower than the upper limit, the development adhesion tends to be improved.

アクリル共重合樹脂(b2-1)に含まれる前記一般式(I-1)で表される部分構造の含有割合は特に限定されないが、1モル%以上が好ましく、5モル%以上がより好ましく、10モル%以上がさらに好ましく、15モル%以上がよりさらに好ましく、20モル%以上が特に好ましく、また、99モル%以下が好ましく、60モル%以下がより好ましく、40モル%以下がさらに好ましく、30モル%以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで感度が高くなり、残渣が低減する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像密着性が向上する傾向がある。 The content of the partial structure represented by the general formula (I-1) contained in the acrylic copolymer resin (b2-1) is not particularly limited, but is preferably 1 mol% or more, more preferably 5 mol% or more, More preferably 10 mol% or more, still more preferably 15 mol% or more, particularly preferably 20 mol% or more, preferably 99 mol% or less, more preferably 60 mol% or less, further preferably 40 mol% or less, 30 mol % or less is particularly preferred. When the concentration is equal to or higher than the lower limit, the sensitivity tends to increase and the amount of residue tends to be reduced.

アクリル共重合樹脂(b2-1)が前記一般式(I)で表される部分構造を含む場合、他に含んでいてもよい部分構造は特に限定されないが、現像密着性の観点から、例えば、下記一般式(I’)で表される部分構造を含むことが好ましい。 When the acrylic copolymer resin (b2-1) contains a partial structure represented by the general formula (I), the other partial structure that may be contained is not particularly limited, but from the viewpoint of development adhesion, for example, It preferably contains a partial structure represented by the following general formula (I').

Figure 0007205089000037
Figure 0007205089000037

上記式(I’)中、RDは水素原子又はメチル基を表し、REは置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、又は置換基を有していてもよいアルケニル基を表す。 In the above formula (I'), R represents a hydrogen atom or a methyl group, and R represents an optionally substituted alkyl group, an optionally substituted aryl group, or a substituent. represents an alkenyl group which may be present.

(RE
前記式(I’)において、REは置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、又は置換基を有していてもよいアルケニル基を表す。
Eにおけるアルキル基としては直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が挙げられる。その炭素数は、1以上であることが好ましく、3以上であることがより好ましく、5以上であることがさらに好ましく、また、20以下であることが好ましく、18以下であることがより好ましく、16以下であることがさらに好ましく、14以下であることがよりさらに好ましく、12以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで膜強度が高くなり、現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
( RE )
In formula (I′) above, R E represents an optionally substituted alkyl group, an optionally substituted aryl group, or an optionally substituted alkenyl group.
Examples of the alkyl group for R E include linear, branched and cyclic alkyl groups. The number of carbon atoms is preferably 1 or more, more preferably 3 or more, further preferably 5 or more, preferably 20 or less, more preferably 18 or less, It is more preferably 16 or less, even more preferably 14 or less, and particularly preferably 12 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the film strength tends to increase and the development adhesion tends to be improved.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、シクロヘキシル基、ジシクロペンタニル基、ドデカニル基等が挙げられる。これらの中でも膜強度の観点から、ジシクロペンタニル基又はドデカニル基が好ましく、ジシクロペンタニル基がより好ましい。
また、アルキル基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。
Specific examples of alkyl groups include methyl, ethyl, cyclohexyl, dicyclopentanyl, and dodecanyl groups. Among these, from the viewpoint of film strength, a dicyclopentanyl group or a dodecanyl group is preferable, and a dicyclopentanyl group is more preferable.
Examples of substituents that the alkyl group may have include methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligoethylene glycol group, phenyl group, and carboxyl group. , an acryloyl group, a methacryloyl group, etc., and from the viewpoint of developability, a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferred.

Eにおけるアリール基としては、1価の芳香族炭化水素環基及び1価の芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は4以上であることが好ましく、6以上であることがより好ましく、また、24以下であることが好ましく、22以下であることがより好ましく、20以下であることがさらに好ましく、18以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などが挙げられる。
また、芳香族複素環基における芳香族複素環基としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などが挙げられる。これらの中でも硬化性の観点から、ベンゼン環基、又はナフタレン環基が好ましく、ベンゼン環基がより好ましい。
また、アリール基が有していてもよい置換基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。
The aryl group for R E includes a monovalent aromatic hydrocarbon ring group and a monovalent aromatic heterocyclic group. The number of carbon atoms is preferably 4 or more, more preferably 6 or more, preferably 24 or less, more preferably 22 or less, further preferably 20 or less, and 18 The following are particularly preferred. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.
The aromatic hydrocarbon ring in the aromatic hydrocarbon ring group may be a single ring or a condensed ring. Examples include benzene ring, naphthalene ring, anthracene ring, phenanthrene ring, perylene ring, tetracene ring, pyrene ring, benzpyrene ring, chrysene ring, triphenylene ring, acenaphthene ring, fluoranthene ring, fluorene ring and the like.
Further, the aromatic heterocyclic group in the aromatic heterocyclic group may be a monocyclic ring or a condensed ring. , imidazole ring, oxadiazole ring, indole ring, carbazole ring, pyrroloimidazole ring, pyrrolopyrazole ring, pyrrolopyrrole ring, thienopyrrole ring, thienothiophene ring, furopyrrole ring, furfuran ring, thienofuran ring, benzoisoxazole ring, benzoiso thiazole ring, benzimidazole ring, pyridine ring, pyrazine ring, pyridazine ring, pyrimidine ring, triazine ring, quinoline ring, isoquinoline ring, shinoline ring, quinoxaline ring, phenanthridine ring, benzimidazole ring, perimidine ring, quinazoline ring, quinazolinone ring, azulene ring, and the like. Among these, from the viewpoint of curability, a benzene ring group or a naphthalene ring group is preferred, and a benzene ring group is more preferred.
Examples of substituents that the aryl group may have include methyl, ethyl, propyl, methoxy, ethoxy, chloro, bromo, fluoro, hydroxy, amino, epoxy, oligo An ethylene glycol group, a phenyl group, a carboxyl group and the like can be mentioned, and from the viewpoint of developability, a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable.

Eにおけるアルケニル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルケニル基が挙げられる。その炭素数は、2以上であることが好ましく、また、22以下であることが好ましく、20以下であることがより好ましく、18以下であることがさらに好ましく、16以下であることがよりさらに好ましく、14以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Alkenyl groups for R E include linear, branched and cyclic alkenyl groups. The number of carbon atoms is preferably 2 or more, preferably 22 or less, more preferably 20 or less, further preferably 18 or less, and even more preferably 16 or less. , 14 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.

アルケニル基の具体例としては、エテニル基、プロペニル基、ブチレニル基、シクロヘキセニル基等が挙げられる。これらの中でも硬化性の観点から、エテニル基又はプロペニル基が好ましく、エテニル基がより好ましい。
また、アルケニル基が有していてもよい置換基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。
Specific examples of alkenyl groups include ethenyl, propenyl, butylenyl, cyclohexenyl and the like. Among these, from the viewpoint of curability, an ethenyl group or a propenyl group is preferable, and an ethenyl group is more preferable.
Examples of substituents that the alkenyl group may have include methyl group, ethyl group, propyl group, methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligo An ethylene glycol group, a phenyl group, a carboxyl group and the like can be mentioned, and from the viewpoint of developability, a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable.

このように、REは置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、又は置換基を有していてもよいアルケニル基を表すが、これらの中でも現像性の観点から、アルキル基又はアルケニル基が好ましく、アルキル基がより好ましく、ジシクロペンタニル基がさらに好ましい。 Thus, R E represents an optionally substituted alkyl group, an optionally substituted aryl group, or an optionally substituted alkenyl group. From the viewpoint of developability, an alkyl group or an alkenyl group is preferred, an alkyl group is more preferred, and a dicyclopentanyl group is even more preferred.

アクリル共重合樹脂(b2-1)に含まれる前記一般式(I’)で表される部分構造の含有割合は特に限定されないが、0.5モル%以上が好ましく、1モル%以上がより好ましく、1.5モル%以上がさらに好ましく、2モル%以上が特に好ましく、また、90モル%以下が好ましく、70モル%以下がより好ましく、50%モル以下がさらに好ましく、30モル%以下がよりさらに好ましく、10モル%以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 The content of the partial structure represented by the general formula (I′) contained in the acrylic copolymer resin (b2-1) is not particularly limited, but is preferably 0.5 mol % or more, more preferably 1 mol % or more. , more preferably 1.5 mol% or more, particularly preferably 2 mol% or more, preferably 90 mol% or less, more preferably 70 mol% or less, further preferably 50% mol or less, more preferably 30 mol% or less More preferably, 10 mol % or less is particularly preferable. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.

アクリル共重合樹脂(b2-1)が前記一般式(I)で表される部分構造を含む場合、耐熱性、膜強度の観点から、下記一般式(I’’)で表される部分構造をさらに含むことが好ましい。 When the acrylic copolymer resin (b2-1) contains a partial structure represented by the general formula (I), the partial structure represented by the following general formula (I'') is used from the viewpoint of heat resistance and film strength. It is preferable to further include.

Figure 0007205089000038
Figure 0007205089000038

上記式(I’’)中、RFは水素原子又はメチル基を表し、RGは置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ハロゲン原子、置換基を有していてもよいアルコキシ基、チオール基、又は置換基を有していてもよいアルキルスルフィド基を表す。tは0~5の整数を表す。 In the above formula (I''), R represents a hydrogen atom or a methyl group, R represents an optionally substituted alkyl group, an optionally substituted alkenyl group, a hydroxyl group, represents a carboxyl group, a halogen atom, an alkoxy group which may have a substituent, a thiol group, or an alkylsulfide group which may have a substituent; t represents an integer of 0 to 5;

(RG
前記式(I’’)においてRGは置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ハロゲン原子、置換基を有していてもよいアルコキシ基、チオール基、又は置換基を有していてもよいアルキルスルフィド基を表す。
Gにおけるアルキル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が挙げられる。その炭素数は、1以上であることが好ましく、3以上であることがより好ましく、5以上であることがさらに好ましく、また、20以下であることが好ましく、18以下であることがより好ましく、16以下であることがさらに好ましく、14以下であることがよりさらに好ましく、12以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
( RG )
In the above formula (I''), R G is an optionally substituted alkyl group, an optionally substituted alkenyl group, a hydroxyl group, a carboxyl group, a halogen atom, or a substituted group. represents an optionally substituted alkoxy group, a thiol group, or an optionally substituted alkylsulfide group.
Alkyl groups for R G include linear, branched and cyclic alkyl groups. The number of carbon atoms is preferably 1 or more, more preferably 3 or more, further preferably 5 or more, preferably 20 or less, more preferably 18 or less, It is more preferably 16 or less, even more preferably 14 or less, and particularly preferably 12 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、シクロヘキシル基、ジシクロペンタニル基、ドデカニル基等が挙げられる。これらの中でも現像密着性の観点から、ジシクロペンタニル基又はドデカニル基が好ましく、ジシクロペンタニル基がより好ましい。
また、アルキル基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。
Specific examples of alkyl groups include methyl, ethyl, cyclohexyl, dicyclopentanyl, and dodecanyl groups. Among these, a dicyclopentanyl group or a dodecanyl group is preferable, and a dicyclopentanyl group is more preferable, from the viewpoint of development adhesion.
Examples of substituents that the alkyl group may have include methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligoethylene glycol group, phenyl group, and carboxyl group. , an acryloyl group, a methacryloyl group, etc., and from the viewpoint of developability, a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferred.

Gにおけるアルケニル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルケニル基が挙げられる。その炭素数は、2以上であることが好ましく、また、22以下であることが好ましく、20以下であることがより好ましく、18以下であることがさらに好ましく、16以下であることがよりさらに好ましく、14以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Alkenyl groups for R G include linear, branched and cyclic alkenyl groups. The number of carbon atoms is preferably 2 or more, preferably 22 or less, more preferably 20 or less, further preferably 18 or less, and even more preferably 16 or less. , 14 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.

アルケニル基の具体例としては、エテニル基、プロペニル基、ブチレニル基、シクロヘキセニル基等が挙げられる。これらの中でも硬化性の観点から、エテニル基又はプロペニル基が好ましく、エテニル基がより好ましい。
また、アルケニル基が有していてもよい置換基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。
Specific examples of alkenyl groups include ethenyl, propenyl, butylenyl, cyclohexenyl and the like. Among these, from the viewpoint of curability, an ethenyl group or a propenyl group is preferable, and an ethenyl group is more preferable.
Examples of substituents that the alkenyl group may have include methyl group, ethyl group, propyl group, methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligo An ethylene glycol group, a phenyl group, a carboxyl group and the like can be mentioned, and from the viewpoint of developability, a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable.

Gにおけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられ、これらの中でも撥インク性の観点からはフッ素原子が好ましい。 The halogen atom in RG includes a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom, and among these, a fluorine atom is preferable from the viewpoint of ink repellency.

Gにおけるアルコキシ基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルコキシ基が挙げられる。その炭素数は、1以上であることが好ましく、また、20以下であることが好ましく、18以下であることがより好ましく、16以下であることがさらに好ましく、14以下であることがよりさらに好ましく、12以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 The alkoxy group for R G includes linear, branched or cyclic alkoxy groups. The number of carbon atoms is preferably 1 or more, preferably 20 or less, more preferably 18 or less, further preferably 16 or less, and even more preferably 14 or less. , 12 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.

また、アルコキシ基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。 Examples of substituents that the alkoxy group may have include a methoxy group, an ethoxy group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, a hydroxy group, an amino group, an epoxy group, an oligoethylene glycol group, a phenyl group, and a carboxyl group. , an acryloyl group, a methacryloyl group, etc., and from the viewpoint of developability, a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferred.

Gにおけるアルキルスルフィド基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキルスルフィド基が挙げられる。その炭素数は、1以上であることが好ましく、また、20以下であることが好ましく、18以下であることがより好ましく、16以下であることがさらに好ましく、14以下であることがよりさらに好ましく、12以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 The alkylsulfide group for R G includes linear, branched or cyclic alkylsulfide groups. The number of carbon atoms is preferably 1 or more, preferably 20 or less, more preferably 18 or less, further preferably 16 or less, and even more preferably 14 or less. , 12 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.

アルキルスルフィド基の具体例としては、メチルスルフィド基、エチルスルフィド基、プロピルスルフィド基、ブチルスルフィド基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、メチルスルフィド基又はエチルスルフィド基が好ましい。
また、アルキルスルフィド基におけるアルキル基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。
Specific examples of alkylsulfide groups include methylsulfide, ethylsulfide, propylsulfide, and butylsulfide groups. Among these, a methylsulfide group or an ethylsulfide group is preferable from the viewpoint of developability.
Substituents that the alkyl group in the alkylsulfide group may have include methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligoethylene glycol group, phenyl group, carboxyl group, acryloyl group, methacryloyl group, etc., and from the viewpoint of developability, hydroxy group and oligoethylene glycol group are preferred.

このように、RGは置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ハロゲン原子、アルコキシ基、ヒドロキシアルキル基、チオール基、又は置換基を有していてもよいアルキルスルフィド基を表すが、これらの中でも現像性の観点から、ヒドロキシル基又はカルボキシル基が好ましく、カルボキシル基がより好ましい。 Thus, R G is an optionally substituted alkyl group, an optionally substituted alkenyl group, a hydroxyl group, a carboxyl group, a halogen atom, an alkoxy group, a hydroxyalkyl group, a thiol group, or an optionally substituted alkyl sulfide group, but among these, from the viewpoint of developability, a hydroxyl group or a carboxyl group is preferred, and a carboxyl group is more preferred.

(t)
前記式(I’’)においてtは0~5の整数を表す。現像性の観点から、2以下が好ましく、1以下がより好ましく、0がさらに好ましい。
(t)
In the formula (I''), t represents an integer of 0-5. From the viewpoint of developability, it is preferably 2 or less, more preferably 1 or less, and still more preferably 0.

アクリル共重合樹脂(b2-1)に含まれる前記一般式(I’’)で表される部分構造の含有割合は特に限定されないが、1モル%以上が好ましく、2モル%以上がより好ましく、3モル%以上がさらに好ましく、5モル%以上が特に好ましく、また、90モル%以下が好ましく、70モル%以下がより好ましく、50モル%以下がさらに好ましく、30モル%以下がよりさらに好ましく、20モル%以下が特に好ましく、10モル%以下が最も好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 The content ratio of the partial structure represented by the general formula (I'') contained in the acrylic copolymer resin (b2-1) is not particularly limited, but is preferably 1 mol% or more, more preferably 2 mol% or more, More preferably 3 mol% or more, particularly preferably 5 mol% or more, preferably 90 mol% or less, more preferably 70 mol% or less, further preferably 50 mol% or less, and even more preferably 30 mol% or less, 20 mol % or less is particularly preferred, and 10 mol % or less is most preferred. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.

アクリル共重合樹脂(b2-1)が前記一般式(I)で表される部分構造を含む場合、現像性の観点から下記一般式(I’’’)で表される部分構造をさらに含むことが好ましい。 When the acrylic copolymer resin (b2-1) contains a partial structure represented by the general formula (I), it further contains a partial structure represented by the following general formula (I''') from the viewpoint of developability. is preferred.

Figure 0007205089000039
Figure 0007205089000039

上記式(I’’’)中、RHは水素原子又はメチル基を表す。 In formula (I''') above, R H represents a hydrogen atom or a methyl group.

アクリル共重合樹脂(b2-1)に含まれる前記一般式(I’’’)で表される部分構造の含有割合は特に限定されないが、5モル%以上が好ましく、10モル%以上がより好ましく、30モル%以上がさらに好ましく、また、90モル%以下が好ましく、80モル%以下がより好ましく、70モル%以下がさらに好ましく、50モル%以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで残渣が低減する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像密着性が向上する傾向がある。一方で、アウトガス低減の観点から、0%、つまり、前記一般式(I’’’)で表される部分構造を含まないことが好ましい。 The content of the partial structure represented by the general formula (I''') contained in the acrylic copolymer resin (b2-1) is not particularly limited, but is preferably 5 mol% or more, more preferably 10 mol% or more. , more preferably 30 mol % or more, preferably 90 mol % or less, more preferably 80 mol % or less, even more preferably 70 mol % or less, and particularly preferably 50 mol % or less. When the concentration is equal to or higher than the lower limit, the amount of residue tends to be reduced, and when the concentration is equal to or lower than the upper limit, the development adhesion tends to be improved. On the other hand, from the viewpoint of reducing outgassing, it is preferable that the partial structure represented by the general formula (I''') is not contained at 0%.

アクリル共重合樹脂(b2)の酸価は特に限定されないが、5mg-KOH/g以上が好ましく、10mg-KOH/g以上がより好ましく、20mg-KOH/g以上がさらに好ましく、25mg-KOH/g以上がよりさらに好ましく、また、100mg-KOH/g以下が好ましく、80mg-KOH/g以下がより好ましく、60mg-KOH/g以下がさらに好ましく、40mg-KOH/g以下がよりさらに好ましい。前記下限値以上とすることで残渣が低減する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像密着性が向上する傾向がある。 The acid value of the acrylic copolymer resin (b2) is not particularly limited, but is preferably 5 mg-KOH/g or more, more preferably 10 mg-KOH/g or more, still more preferably 20 mg-KOH/g or more, and 25 mg-KOH/g. The above is more preferable, and 100 mg-KOH/g or less is preferable, 80 mg-KOH/g or less is more preferable, 60 mg-KOH/g or less is more preferable, and 40 mg-KOH/g or less is even more preferable. When the concentration is equal to or higher than the lower limit, the amount of residue tends to be reduced, and when the concentration is equal to or lower than the upper limit, the development adhesion tends to be improved.

アクリル共重合樹脂(b2)の重量平均分子量(Mw)は特に限定されないが、好ましくは1,000以上、より好ましくは2,000以上、さらに好ましくは3,000以上、よりさらに好ましくは4,000以上、特に好ましくは5,000以上であり、また、通常30,000以下、好ましくは20,000以下、より好ましくは15,000以下、さらに好ましくは10,000以下である。特に好ましくは8,000以下である。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Although the weight average molecular weight (Mw) of the acrylic copolymer resin (b2) is not particularly limited, it is preferably 1,000 or more, more preferably 2,000 or more, still more preferably 3,000 or more, and even more preferably 4,000. More preferably, it is 5,000 or more, and usually 30,000 or less, preferably 20,000 or less, more preferably 15,000 or less, and still more preferably 10,000 or less. Especially preferably, it is 8,000 or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the development adhesion tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the residue tends to be reduced.

(B)アルカリ可溶性樹脂がアクリル共重合樹脂(b2)を含む場合、(B)アルカリ可溶性樹脂中におけるアクリル共重合樹脂(b2)の含有割合は特に限定されないが、5質量%以上が好ましく、10質量%以上がより好ましく、15質量%以上がさらに好ましく、20質量%以上が特に好ましく、また、通常100質量%以下が好ましく、80質量%以下がより好ましく、50質量%以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像溶解性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることでテーパー角が高くなる傾向がある。 (B) When the alkali-soluble resin contains the acrylic copolymer resin (b2), the content of the acrylic copolymer resin (b2) in the alkali-soluble resin (B) is not particularly limited, but is preferably 5% by mass or more. It is more preferably 15% by mass or more, particularly preferably 20% by mass or more, and generally preferably 100% by mass or less, more preferably 80% by mass or less, and even more preferably 50% by mass or less. When the content is equal to or higher than the lower limit, the solubility in development tends to be improved, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the taper angle tends to increase.

(B)アルカリ可溶性樹脂中には、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1)及びアクリル共重合樹脂(b2)のいずれかが単独で含まれていてもよく、両者が含まれていてもよい。さらに、(B)アルカリ可溶性樹脂中にはアルカリ可溶性樹脂(b)以外のアルカリ可溶性樹脂が含まれていてもよい。 The (B) alkali-soluble resin may contain either one of the epoxy (meth)acrylate resin (b1) and the acrylic copolymer resin (b2) alone, or both of them. Furthermore, the alkali-soluble resin (B) may contain an alkali-soluble resin other than the alkali-soluble resin (b).

本発明の感光性樹脂組成物における(B)アルカリ可溶性樹脂の含有割合は、全固形分中に、通常5質量%以上、好ましくは10質量%以上、より好ましくは20質量%以上、さらに好ましくは30質量%以上、特に好ましくは40質量%以上、また、通常90質量%以下、好ましくは70質量%以下、より好ましくは60質量%以下、特に好ましくは50質量%以下である。前記下限値以上とすることで現像性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで素子発光時のアウトガスを低減する傾向がある。 The content of (B) the alkali-soluble resin in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 5% by mass or more, preferably 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, in the total solid content. It is 30% by mass or more, particularly preferably 40% by mass or more, and usually 90% by mass or less, preferably 70% by mass or less, more preferably 60% by mass or less, and particularly preferably 50% by mass or less. When the concentration is equal to or higher than the lower limit, the developability tends to be improved, and when the concentration is equal to or lower than the upper limit, outgassing during device light emission tends to be reduced.

また、本発明の感光性樹脂組成物がエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1)を含む場合、全固形分中におけるエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1)の含有割合は特に限定されないが、通常5質量%以上、好ましくは10質量%以上、より好ましくは20質量%以上、さらに好ましくは30質量%以上、特に好ましくは40質量%以上、また、通常90質量%以下、好ましくは70質量%以下、より好ましくは60質量%以下、特に好ましくは50質量%以下である。前記下限値以上とすることで現像性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで素子発光時のアウトガスを低減する傾向がある。 Further, when the photosensitive resin composition of the present invention contains the epoxy (meth)acrylate resin (b1), the content of the epoxy (meth)acrylate resin (b1) in the total solid content is not particularly limited, but is usually 5 mass. % or more, preferably 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, still more preferably 30% by mass or more, particularly preferably 40% by mass or more, and usually 90% by mass or less, preferably 70% by mass or less, and more It is preferably 60% by mass or less, particularly preferably 50% by mass or less. When the concentration is equal to or higher than the lower limit, the developability tends to be improved, and when the concentration is equal to or lower than the upper limit, outgassing during device light emission tends to be reduced.

また、本発明の感光性樹脂組成物がアクリル共重合樹脂(b2)を含む場合、全固形分中におけるアクリル共重合樹脂(b2)の含有割合は特に限定されないが、通常5質量%以上、好ましくは10質量%以上、より好ましくは20質量%以上、さらに好ましくは30質量%以上、特に好ましくは40質量%以上、また、通常90質量%以下、好ましくは70質量%以下、より好ましくは60質量%以下、特に好ましくは50質量%以下である。前記下限値以上とすることで現像性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで素子発光時のアウトガスを低減する傾向がある。 Further, when the photosensitive resin composition of the present invention contains the acrylic copolymer resin (b2), the content of the acrylic copolymer resin (b2) in the total solid content is not particularly limited, but usually 5% by mass or more, preferably is 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, more preferably 30% by mass or more, particularly preferably 40% by mass or more, and usually 90% by mass or less, preferably 70% by mass or less, more preferably 60% by mass % or less, particularly preferably 50 mass % or less. When the concentration is equal to or higher than the lower limit, the developability tends to be improved, and when the concentration is equal to or lower than the upper limit, outgassing during device light emission tends to be reduced.

また、全固形分中における(B)アルカリ可溶性樹脂及び(C)光重合性化合物の含有割合の合計は、通常5質量%以上、好ましくは10質量%以上、より好ましくは30質量%以上、さらに好ましくは50質量%以上、よりさらに好ましくは70質量%以上、特に好ましくは80質量%以上であり、最も好ましくは90質量%以上であり、また、通常99質量%以下、好ましくは97質量%以下、より好ましくは95質量%以下である。前記下限値以上とすることで硬化性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで素子発光時のアウトガス低減する傾向がある。 In addition, the total content of (B) the alkali-soluble resin and (C) the photopolymerizable compound in the total solid content is usually 5% by mass or more, preferably 10% by mass or more, more preferably 30% by mass or more, and further It is preferably 50% by mass or more, more preferably 70% by mass or more, particularly preferably 80% by mass or more, most preferably 90% by mass or more, and usually 99% by mass or less, preferably 97% by mass or less. , more preferably 95% by mass or less. When the content is at least the lower limit, curability tends to improve, and when the content is at most the upper limit, outgassing during device light emission tends to be reduced.

本発明の感光性樹脂組成物は、(C)光重合性化合物100質量部に対する(B)アルカリ可溶性樹脂の含有割合が500質量部以下である。(C)光重合性化合物に対する(B)アルカリ可溶性樹脂の含有割合を前記上限値以下とすることで、光硬化性を高くでき、露光時に十分な量の撥液剤をパターン表面に固定することができ、その後の現像処理時に撥液剤が流出するのを抑制でき、UV照射前及び照射後の撥インク性を十分なものとできると考えられる。
(C)光重合性化合物100質量部に対する(B)アルカリ可溶性樹脂の含有割合は500質量部以下であれば特に限定されないが、400質量部以下が好ましく、300質量部以下がより好ましく、200質量部以下がさらに好ましく、150質量部以下が特に好ましく、また、50質量部以上が好ましく、60質量部以上がより好ましく、70質量部以上がさらに好ましく、80質量部以上が特に好ましい。前記上限値以下とすることで硬化性が向上する傾向があり、前記下限値以上とすることで残渣が生じにくい傾向がある。
In the photosensitive resin composition of the present invention, the content of (B) alkali-soluble resin is 500 parts by mass or less relative to 100 parts by mass of (C) photopolymerizable compound. By setting the content ratio of the alkali-soluble resin (B) to the photopolymerizable compound (C) to be equal to or less than the above upper limit, the photocurability can be increased, and a sufficient amount of the liquid repellent agent can be fixed to the pattern surface during exposure. It is thought that the outflow of the liquid-repellent agent can be suppressed during subsequent development processing, and sufficient ink repellency can be obtained before and after UV irradiation.
(C) The content of the alkali-soluble resin (B) with respect to 100 parts by mass of the photopolymerizable compound is not particularly limited as long as it is 500 parts by mass or less, preferably 400 parts by mass or less, more preferably 300 parts by mass or less, and 200 parts by mass. The amount is more preferably 150 parts by mass or less, more preferably 50 parts by mass or more, more preferably 60 parts by mass or more, still more preferably 70 parts by mass or more, and particularly preferably 80 parts by mass or more. Curability tends to be improved by setting the upper limit value or less, and residue tends to be less likely to occur when the value is set to the lower limit value or more.

[1-1-3](C)成分;光重合性化合物
本発明の感光性樹脂組成物は、(C)光重合性化合物を含有する。(C)光重合性化合物を含むことで、高感度となると考えられる。
ここで使用される光重合性化合物としては、エチレン性不飽和結合(エチレン性二重結合)を分子内に1個以上有する化合物を意味するが、重合性、架橋性、およびそれに伴う露光部と非露光部の現像液溶解性の差異を拡大できる等の点から、エチレン性不飽和結合を分子内に2個以上有する化合物であることが好ましく、また、その不飽和結合は(メタ)アクリロイルオキシ基に由来するもの、つまり、(メタ)アクリレート化合物であることがさらに好ましい。
[1-1-3] Component (C); Photopolymerizable Compound The photosensitive resin composition of the present invention contains (C) a photopolymerizable compound. (C) It is considered that the inclusion of the photopolymerizable compound results in high sensitivity.
The photopolymerizable compound used here means a compound having one or more ethylenically unsaturated bonds (ethylenic double bonds) in the molecule, and has polymerizability, crosslinkability, and the accompanying exposure area. A compound having two or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule is preferred, and the unsaturated bond is a (meth)acryloyloxy derived from a group, that is, a (meth)acrylate compound is more preferred.

本発明の感光性樹脂組成物においては、特に、1分子中にエチレン性不飽和結合を2個以上有する多官能エチレン性単量体を使用することが望ましい。多官能エチレン性単量体が有するエチレン性不飽和基の数は特に限定されないが、好ましくは2個以上、より好ましくは3個以上、さらに好ましくは4個以上、特に好ましくは5個以上であり、また、好ましくは15個以下、より好ましくは10個以下、さらに好ましくは8個以下、特に好ましくは7個以下である。前記下限値以上とすることで重合性が向上して高感度となる傾向があり、前記上限値以下とすることで現像性がより良好となる傾向がある。
光重合性化合物の具体例としては、脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル;芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル;脂肪族ポリヒドロキシ化合物、芳香族ポリヒドロキシ化合物等の多価ヒドロキシ化合物と、不飽和カルボン酸及び多塩基性カルボン酸とのエステル化反応により得られるエステルなどが挙げられる。
In the photosensitive resin composition of the present invention, it is particularly desirable to use a polyfunctional ethylenic monomer having two or more ethylenically unsaturated bonds in one molecule. The number of ethylenically unsaturated groups possessed by the polyfunctional ethylenic monomer is not particularly limited, but is preferably 2 or more, more preferably 3 or more, still more preferably 4 or more, and particularly preferably 5 or more. , and preferably 15 or less, more preferably 10 or less, still more preferably 8 or less, and particularly preferably 7 or less. When the content is at least the above lower limit, the polymerizability tends to be improved and the sensitivity tends to be high, and when the content is at most the above upper limit, the developability tends to be better.
Specific examples of photopolymerizable compounds include esters of aliphatic polyhydroxy compounds and unsaturated carboxylic acids; esters of aromatic polyhydroxy compounds and unsaturated carboxylic acids; aliphatic polyhydroxy compounds, aromatic polyhydroxy compounds, and the like. and esters obtained by an esterification reaction of polyhydric hydroxy compounds with unsaturated carboxylic acids and polybasic carboxylic acids.

前記脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルとしては、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、グリセロールアクリレート等の脂肪族ポリヒドロキシ化合物のアクリル酸エステル、これら例示化合物のアクリレートをメタクリレートに代えたメタクリル酸エステル、同様にイタコネートに代えたイタコン酸エステル、クロネートに代えたクロトン酸エステルもしくはマレエートに代えたマレイン酸エステル等が挙げられる。 Esters of the aliphatic polyhydroxy compounds and unsaturated carboxylic acids include ethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolethane triacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate, Acrylic acid esters of aliphatic polyhydroxy compounds such as pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and glycerol acrylate, and methacrylic acid esters obtained by replacing the acrylates of these exemplary compounds with methacrylates Similarly, itaconate instead of itaconate, crotonate instead of clonate, maleate instead of maleate, and the like.

芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルとしては、ハイドロキノンジアクリレート、ハイドロキノンジメタクリレート、レゾルシンジアクリレート、レゾルシンジメタクリレート、ピロガロールトリアクリレート等の芳香族ポリヒドロキシ化合物のアクリル酸エステル及びメタクリル酸エステル等が挙げられる。
脂肪族ポリヒドロキシ化合物、芳香族ポリヒドロキシ化合物等の多価ヒドロキシ化合物と、不飽和カルボン酸及び多塩基性カルボン酸とのエステル化反応により得られるエステルとしては必ずしも単一物ではないが、代表的な具体例を挙げれば、アクリル酸、フタル酸、及びエチレングリコールの縮合物、アクリル酸、マレイン酸、及びジエチレングリコールの縮合物、メタクリル酸、テレフタル酸及びペンタエリスリトールの縮合物、アクリル酸、アジピン酸、ブタンジオール及びグリセリンの縮合物等が挙げられる。
Esters of aromatic polyhydroxy compounds and unsaturated carboxylic acids include acrylic acid esters and methacrylic acid esters of aromatic polyhydroxy compounds such as hydroquinone diacrylate, hydroquinone dimethacrylate, resorcin diacrylate, resorcin dimethacrylate, and pyrogallol triacrylate. etc.
Esters obtained by the esterification reaction of polyhydroxy compounds such as aliphatic polyhydroxy compounds and aromatic polyhydroxy compounds with unsaturated carboxylic acids and polybasic carboxylic acids are not necessarily single substances, but are representative. Specific examples include condensates of acrylic acid, phthalic acid and ethylene glycol, condensates of acrylic acid, maleic acid and diethylene glycol, condensates of methacrylic acid, terephthalic acid and pentaerythritol, acrylic acid, adipic acid, Examples include condensates of butanediol and glycerin.

その他、本発明の感光性樹脂組成物に用いられる光重合性化合物の例としては、ポリイソシアネート化合物と水酸基含有(メタ)アクリル酸エステル又はポリイソシアネート化合物とポリオール及び水酸基含有(メタ)アクリル酸エステルを反応させて得られるようなウレタン(メタ)アクリレート類;多価エポキシ化合物とヒドロキシ(メタ)アクリレート又は(メタ)アクリル酸との付加反応物のようなエポキシアクリレート類;エチレンビスアクリルアミド等のアクリルアミド類;フタル酸ジアリル等のアリルエステル類;ジビニルフタレート等のビニル基含有化合物等が有用である。
上記ウレタン(メタ)アクリレート類としては、例えば、DPHA-40H、UX-5000、UX-5002D-P20、UX-5003D、UX-5005(日本化薬社製)、U-2PPA、U-6LPA、U-10PA、U-33H、UA-53H、UA-32P、UA-1100H(新中村化学工業社製)、UA-306H、UA-510H、UF-8001G(共栄社化学社製)、UV-1700B、UV-7600B、UV-7605B、UV-7630B、UV7640B(日本合成化学工業社製)等が挙げられる。
Other examples of the photopolymerizable compound used in the photosensitive resin composition of the present invention include a polyisocyanate compound and a hydroxyl group-containing (meth)acrylic acid ester or a polyisocyanate compound and a polyol and a hydroxyl group-containing (meth)acrylic acid ester. urethane (meth)acrylates such as those obtained by reacting them; epoxy acrylates such as addition reaction products of polyepoxy compounds and hydroxy (meth)acrylate or (meth)acrylic acid; acrylamides such as ethylenebisacrylamide; Allyl esters such as diallyl phthalate; and vinyl group-containing compounds such as divinyl phthalate are useful.
Examples of the urethane (meth)acrylates include, for example, DPHA-40H, UX-5000, UX-5002D-P20, UX-5003D, UX-5005 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), U-2PPA, U-6LPA, U -10PA, U-33H, UA-53H, UA-32P, UA-1100H (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), UA-306H, UA-510H, UF-8001G (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), UV-1700B, UV -7600B, UV-7605B, UV-7630B, UV7640B (manufactured by Nippon Synthetic Chemical Industry Co., Ltd.) and the like.

これらの中でも、適正なテーパー角と感度の観点から(C)光重合性化合物として、エステル(メタ)アクリレート類又はウレタン(メタ)アクリレート類を用いることが好ましく、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、2-トリス(メタ)アクリロイロキシメチルエチルフタル酸、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートの二塩基酸無水物付加物、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートの二塩基酸無水物付加物等を用いることがより好ましい。
これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
Among these, it is preferable to use ester (meth)acrylates or urethane (meth)acrylates as the (C) photopolymerizable compound from the viewpoint of an appropriate taper angle and sensitivity, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, 2-tris(meth)acryloyloxymethylethyl phthalate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate dibasic It is more preferable to use an acid anhydride adduct, a dibasic acid anhydride adduct of pentaerythritol tri(meth)acrylate, or the like.
These may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

本発明の感光性樹脂組成物において、(C)光重合性化合物の分子量は特に限定されないが、感度、撥インク性、テーパー角の観点から、好ましくは100以上、より好ましくは150以上で、さらに好ましくは200以上、よりさらに好ましくは300以上、特に好ましくは400以上、最も好ましくは500以上であり、好ましくは1000以下、より好ましくは700以下である。また、(A)エチレン性不飽和化合物の炭素数は特に限定されないが、感度、撥インク性、テーパー角の観点から、好ましくは7以上、より好ましくは10以上、さらに好ましくは15以上、よりさらに好ましくは20以上、特に好ましくは25以上であり、好ましくは50以下、より好ましくは40以下、さらに好ましくは35以下、特に好ましくは30以下である。
また、感度、撥インク性、テーパー角の観点から、エステル(メタ)アクリレート類、エポキシ(メタ)アクリレート類、およびウレタン(メタ)アクリレート類が好ましく、中でも、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートなど3官能以上のエステル(メタ)アクリレート類、2,2,2-トリス(メタ)アクリロイロキシメチルエチルフタル酸、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートの二塩基酸無水物付加物等の3官能以上のエステル(メタ)アクリレート類への酸無水物の付加物が、感度、撥インク性、テーパー角の観点でさらに好ましい。
In the photosensitive resin composition of the present invention, the molecular weight of the photopolymerizable compound (C) is not particularly limited, but is preferably 100 or more, more preferably 150 or more, and It is preferably 200 or more, more preferably 300 or more, particularly preferably 400 or more, most preferably 500 or more, preferably 1000 or less, more preferably 700 or less. The number of carbon atoms in (A) the ethylenically unsaturated compound is not particularly limited, but from the viewpoint of sensitivity, ink repellency, and taper angle, it is preferably 7 or more, more preferably 10 or more, still more preferably 15 or more, and still more preferably 15 or more. It is preferably 20 or more, particularly preferably 25 or more, preferably 50 or less, more preferably 40 or less, even more preferably 35 or less, particularly preferably 30 or less.
From the viewpoint of sensitivity, ink repellency, and taper angle, ester (meth)acrylates, epoxy (meth)acrylates, and urethane (meth)acrylates are preferred. Among them, pentaerythritol tetra (meth)acrylate and pentaerythritol tri(meth)acrylate dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate and other trifunctional or higher ester (meth)acrylates, 2,2,2-tris(meth)acryloyloxymethylethyl phthal Acid anhydride adducts to trifunctional or higher ester (meth)acrylates such as dibasic acid anhydride adducts of dipentaerythritol penta(meth)acrylate improve sensitivity, ink repellency, and taper angle. is more preferable.

本発明の感光性樹脂組成物における(C)光重合性化合物の含有割合は、全固形分中に通常5質量%以上、好ましくは10質量%以上、より好ましくは20質量%以上、さらに好ましくは30質量%以上、特に好ましくは40質量%以上、通常80質量%以下、好ましくは70質量%以下、より好ましくは60質量%以下、さらに好ましくは55質量%以下、特に好ましくは50質量%以下である。前記下限値以上とすることで露光時の感度やテーパー角が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることで現像性が良好となる傾向がある。 The content of (C) the photopolymerizable compound in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 5% by mass or more, preferably 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, more preferably 20% by mass or more in the total solid content. 30% by mass or more, particularly preferably 40% by mass or more, usually 80% by mass or less, preferably 70% by mass or less, more preferably 60% by mass or less, even more preferably 55% by mass or less, particularly preferably 50% by mass or less be. When it is at least the lower limit, the sensitivity and taper angle during exposure tend to be good, and when it is at most the upper limit, the developability tends to be good.

また、(B)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対する(C)光重合性化合物の含有割合は、20質量部以上であり、好ましくは30質量部以上、より好ましくは50質量部以上、さらに好ましくは80質量部以上、特に好ましくは90質量部以上であり、通常150質量部以下、好ましくは130質量部以下、より好ましくは120質量部以下、さらに好ましくは110質量部以下であることが好ましい。前記下限値以上とすることで露光時に感度が良好となり、テーパー角及び撥インク性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることで現像性が良好となる傾向がある。 The content of (C) the photopolymerizable compound relative to 100 parts by mass of the (B) alkali-soluble resin is 20 parts by mass or more, preferably 30 parts by mass or more, more preferably 50 parts by mass or more, and still more preferably 80 parts by mass. It is at least 150 parts by mass, preferably at most 130 parts by mass, more preferably at most 120 parts by mass, and even more preferably at most 110 parts by mass. When it is at least the above lower limit, sensitivity during exposure tends to be good, and the taper angle and ink repellency tend to be good, and when it is at most the upper limit, developability tends to be good.

[1-1-4](D)成分;光重合開始剤
本発明の感光性樹脂組成物は、(D)光重合開始剤を含有する。光重合開始剤は、活性光線により、前記(C)光重合性化合物が有するエチレン性不飽和結合を重合させる化合物であれば特に限定されるものではなく、公知の光重合開始剤を用いることができる。
[1-1-4] Component (D); Photopolymerization Initiator The photosensitive resin composition of the present invention contains (D) a photopolymerization initiator. The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it is a compound that polymerizes the ethylenically unsaturated bond of the (C) photopolymerizable compound by actinic rays, and a known photopolymerization initiator can be used. can.

本発明の感光性樹脂組成物は、(D)光重合開始剤として、この分野で通常用いられている光重合開始剤を使用することができる。このような光重合開始剤としては、例えば、ヘキサアリールビイミダゾール系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤、オキシムエステル系光重合開始剤、トリアジン系光重合開始剤、アセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、が挙げられる。 In the photosensitive resin composition of the present invention, a photopolymerization initiator commonly used in this field can be used as (D) the photopolymerization initiator. Examples of such photopolymerization initiators include hexaarylbiimidazole-based photopolymerization initiators, acylphosphine oxide-based photopolymerization initiators, oxime ester-based photopolymerization initiators, triazine-based photopolymerization initiators, and acetophenone-based photopolymerization initiators. Initiators, benzophenone-based photopolymerization initiators, and the like.

ヘキサアリールビイミダゾール系光重合開始剤としては、吸光度および感度、紫外線吸収剤の吸収波長とのマッチング性の観点から、下記一般式(1-1)及び/又は下記一般式(1-2)で表されるヘキサアリールビイミダゾール系化合物が好ましい。 The hexaarylbiimidazole-based photopolymerization initiator is represented by the following general formula (1-1) and/or the following general formula (1-2) from the viewpoint of absorbance and sensitivity, and matching with the absorption wavelength of the ultraviolet absorber. The represented hexaarylbiimidazole compounds are preferred.

Figure 0007205089000040
Figure 0007205089000040

上記式中、R11~R13は各々独立に、置換基を有してもよい炭素数1~4のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数1~4のアルコキシ基、又はハロゲン原子を表し、m、n及びlは、各々独立に0~5の整数を表す。 In the above formula, each of R 11 to R 13 is independently an optionally substituted alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms which may be substituted, or halogen represents an atom, and m, n and l each independently represents an integer of 0 to 5;

11~R13のアルキル基の炭素数は1~4の範囲内であれば特に限定されないが、感度の観点から、好ましくは3以下、より好ましくは2以下である。アルキル基は鎖状のものでも、環状のものでもよい。アルキル基の具体例としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基が挙げられ、中でもメチル基、エチル基が好ましい。R11~R13の炭素数1~4のアルキル基が有してもよい置換基としては、水素を除く1価の非金属原子団の基が用いられ、好ましい例としては、ハロゲン原子(-F、-Br、-Cl、-I)、ヒドロキシル基、アルコキシ基が挙げられる。 The number of carbon atoms in the alkyl group of R 11 to R 13 is not particularly limited as long as it is within the range of 1 to 4, but from the viewpoint of sensitivity, it is preferably 3 or less, more preferably 2 or less. Alkyl groups may be chain or cyclic. Specific examples of the alkyl group include, for example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group and an isopropyl group, of which a methyl group and an ethyl group are preferred. As the substituent which the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms represented by R 11 to R 13 may have, a monovalent non-metallic atomic group group excluding hydrogen is used, and a preferred example is a halogen atom (- F, —Br, —Cl, —I), hydroxyl groups, and alkoxy groups.

また、R11~R13のアルコキシ基の炭素数は1~4の範囲内であれば特に限定されないが、感度の観点から、好ましくは3以下、より好ましくは2以下である。アルコキシ基のアルキル基部分は鎖状のものでも、環状のものでもよい。アルコキシ基の具体例とは、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロピルオキシ基、ブトキシ基が挙げられ、中でもメトキシ基、エトキシ基が好ましい。R11~R13の炭素数1~4のアルコキシ基が有してもよい置換基としてはアルコキシ基が挙げられる。 The number of carbon atoms in the alkoxy groups of R 11 to R 13 is not particularly limited as long as it is within the range of 1 to 4, but from the viewpoint of sensitivity, it is preferably 3 or less, more preferably 2 or less. The alkyl group portion of the alkoxy group may be chain or cyclic. Specific examples of alkoxy groups include methoxy, ethoxy, propoxy, isopropyloxy, and butoxy groups, with methoxy and ethoxy groups being preferred. An alkoxy group can be mentioned as a substituent which the alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms represented by R 11 to R 13 may have.

また、R11~R13のハロゲン原子とは、例えば、塩素原子、ヨウ素原子、臭素原子、フッ素原子が挙げられ、中でも合成容易性の観点から、塩素原子又はフッ素原子が好ましく、塩素原子がより好ましい。
これらの中でも、感度や合成容易性の観点から、R11~R13は各々独立にハロゲン原子であることが好ましく、塩素原子であることがより好ましい。
Further, the halogen atoms represented by R 11 to R 13 include, for example, a chlorine atom, an iodine atom, a bromine atom, and a fluorine atom. Among them, from the viewpoint of ease of synthesis, a chlorine atom or a fluorine atom is preferable, and a chlorine atom is more preferable. preferable.
Among these, from the viewpoint of sensitivity and ease of synthesis, each of R 11 to R 13 is preferably independently a halogen atom, more preferably a chlorine atom.

m、n及びlは、各々独立に0~5の整数を表すが、合成容易性の観点から、m、n及びlの少なくとも1つが1以上の整数であることが好ましく、m、n及びlのうちいずれか1つが1であり、かつ、残りの2つが0であることがより好ましい。 m, n and l each independently represent an integer of 0 to 5, but from the viewpoint of ease of synthesis, at least one of m, n and l is preferably an integer of 1 or more, m, n and l It is more preferable that any one of is 1 and the remaining two are 0.

一般式(1-1)及び/又は一般式(1-2)で表されるヘキサアリールビイミダゾール系化合物としては、例えば、2,2’-ビス(o-クロロフェニル)-4,5,4’,5’-テトラフェニルビイミダゾール、2,2’-ビス(o-メチルフェニル)-4,5,4’,5’-テトラフェニルビイミダゾール、2,2’-ビス(o-クロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラ(o,p-ジクロロフェニル)ビイミダゾール、2,2’-ビス(o,p-ジクロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラ(o,p-ジクロロフェニル)ビイミダゾール、2,2’-ビス(o-クロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラ(p-フルオロフェニル)ビイミダゾール、2,2’-ビス(o-クロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラ(o,p-ジブロモフェニル)ビイミダゾール、2,2’-ビス(o-ブロモフェニル)-4,4’,5,5’-テトラ(o,p-ジクロロフェニル)ビイミダゾール、2,2’-ビス(o-クロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラ(p-クロロナフチル)ビイミダゾール等が挙げられる。中でも、ヘキサフェニルビイミダゾール化合物が好ましく、そのイミダゾール環上の2,2’-位に結合したベンゼン環のo-位がメチル基、メトキシ基、又はハロゲン原子で置換されたものが更に好ましく、そのイミダゾール環上の4,4’,5,5’-位に結合したベンゼン環が無置換、又は、ハロゲン原子若しくはメトキシ基で置換されたもの等が好ましい。 Examples of hexaarylbiimidazole compounds represented by general formula (1-1) and/or general formula (1-2) include 2,2'-bis(o-chlorophenyl)-4,5,4' ,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis(o-methylphenyl)-4,5,4′,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis(o-chlorophenyl)-4 ,4′,5,5′-tetra(o,p-dichlorophenyl)biimidazole, 2,2′-bis(o,p-dichlorophenyl)-4,4′,5,5′-tetra(o,p- dichlorophenyl)biimidazole, 2,2′-bis(o-chlorophenyl)-4,4′,5,5′-tetra(p-fluorophenyl)biimidazole, 2,2′-bis(o-chlorophenyl)-4 ,4′,5,5′-tetra(o,p-dibromophenyl)biimidazole, 2,2′-bis(o-bromophenyl)-4,4′,5,5′-tetra(o,p- dichlorophenyl)biimidazole, 2,2'-bis(o-chlorophenyl)-4,4',5,5'-tetra(p-chloronaphthyl)biimidazole and the like. Among them, hexaphenylbiimidazole compounds are preferred, and those in which the o-position of the benzene ring bonded to the 2,2'-position on the imidazole ring is substituted with a methyl group, a methoxy group, or a halogen atom are more preferred. Preferred are those in which the benzene rings bonded to the 4,4',5,5'-positions on the imidazole ring are unsubstituted or substituted with halogen atoms or methoxy groups.

(D)光重合開始剤として、一般式(1-1)で表されるヘキサアリールビイミダゾール系化合物と一般式(1-2)で表されるヘキサアリールビイミダゾール系化合物のいずれかを用いてもよく、両者を併用して用いてもよい。併用して用いる場合には、その比率については特に限定されない。なお、実施例で用いたd-1は、一般式(1-1)を満足する構造を有する。 (D) As a photopolymerization initiator, using either a hexaarylbiimidazole compound represented by general formula (1-1) or a hexaarylbiimidazole compound represented by general formula (1-2) may be used, or both may be used in combination. When used in combination, the ratio is not particularly limited. Note that d-1 used in the examples has a structure satisfying general formula (1-1).

また、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤としては、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド等を好ましいものとして挙げることができる。 Preferable acylphosphine oxide photopolymerization initiators include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide and bis(2,4,6-trimethylbenzoyl)phenylphosphine oxide. .

オキシムエステル系光重合開始剤としては、カルバゾール骨格やジフェニルスルフィド骨格を有するオキシムエステル系化合物を含むことが好ましく、ジフェニルスルフィド骨格を有するオキシムエステル系化合物がより好ましい。ジフェニルスルフィド骨格を有するオキシムエステル系化合物を含むことにより、短波長の光吸収が強く、表面硬化性が向上するため、撥液剤の現像時の流出を抑制し、撥インク性が高まると考えられる。 The oxime ester photopolymerization initiator preferably contains an oxime ester compound having a carbazole skeleton or a diphenyl sulfide skeleton, and more preferably an oxime ester compound having a diphenyl sulfide skeleton. By including an oxime ester compound having a diphenyl sulfide skeleton, short-wavelength light absorption is strong and surface curability is improved.

ジフェニルスルフィド骨格を有するオキシムエステル系化合物の化学構造は特に限定されないが、感度の観点から、下記一般式(D-I)で表されるものを用いることが好ましい。 The chemical structure of the oxime ester compound having a diphenyl sulfide skeleton is not particularly limited, but from the viewpoint of sensitivity, it is preferable to use one represented by the following general formula (DI).

Figure 0007205089000041
Figure 0007205089000041

上記一般式(D-I)において、R23は、置換基を有していてもよいアルキル基、又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
24は、置換基を有していてもよいアルキル基、又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
25は、水酸基、カルボキシル基又は下記一般式(D-II)で表される基を表し、hは0~5の整数を表す。
式(D-I)中に示されるベンゼン環はさらに置換基を有していてもよい。
In general formula (DI) above, R 23 represents an optionally substituted alkyl group or an optionally substituted aromatic ring group.
R 24 represents an optionally substituted alkyl group or an optionally substituted aromatic ring group.
R 25 represents a hydroxyl group, a carboxyl group or a group represented by the following general formula (D-II), and h represents an integer of 0-5.
The benzene ring shown in formula (DI) may further have a substituent.

Figure 0007205089000042
Figure 0007205089000042

式(D-II)中、R25aは、-O-、-S-、-OCO-又は-COO-を表す。
25bは、置換基を有していてもよいアルキレン基を表す。
25bのアルキレン部分は、-O-、-S-、-COO-又は-OCO-により1~5回中断されていてもよい。R25のアルキレン部分は分岐側鎖があってもよく、シクロヘキシレンであってもよい。
25cは、水酸基又はカルボキシル基を表す。
In formula (D-II), R 25a represents -O-, -S-, -OCO- or -COO-.
R 25b represents an optionally substituted alkylene group.
The alkylene portion of R 25b may be interrupted 1 to 5 times by -O-, -S-, -COO- or -OCO-. The alkylene portion of R 25 may have a branched side chain and may be cyclohexylene.
R 25c represents a hydroxyl group or a carboxyl group.

23におけるアルキル基の炭素数は特に限定されないが、溶剤への溶解性 の観点から1以上であることが好ましい。また、現像性の観点から20以下であることが好ましく、10以下であることがより好ましく、8以下であることがさらに好ましく、5以下であることがよりさらに好ましく、3以下であることが特に好ましい。 Although the number of carbon atoms in the alkyl group in R 23 is not particularly limited, it is preferably 1 or more from the viewpoint of solubility in solvents. From the viewpoint of developability, it is preferably 20 or less, more preferably 10 or less, even more preferably 8 or less, even more preferably 5 or less, and particularly preferably 3 or less. preferable.

アルキル基の具体例としては、メチル基、ヘキシル基、シクロペンチルメチル基などが挙げられ、これらの中でも現像性の観点から、メチル基又はヘキシル基が好ましく、メチル基がより好ましい。
アルキル基が有していてもよい置換基としては、芳香族環基、水酸基、カルボキシル基、ハロゲン原子、アミノ基、アミド基などが挙げられ、アルカリ現像性の観点から水酸基、カルボキシル基が好ましく、カルボキシル基がより好ましい。また、合成容易性の観点からは、無置換であることが好ましい。
Specific examples of the alkyl group include a methyl group, a hexyl group, a cyclopentylmethyl group, etc. Among these, from the viewpoint of developability, a methyl group or a hexyl group is preferable, and a methyl group is more preferable.
Examples of the substituent that the alkyl group may have include an aromatic ring group, a hydroxyl group, a carboxyl group, a halogen atom, an amino group, an amide group, and the like. From the viewpoint of alkali developability, a hydroxyl group and a carboxyl group are preferred. A carboxyl group is more preferred. Moreover, from the viewpoint of ease of synthesis, it is preferably unsubstituted.

23における芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基及び芳香族複素環基が挙げられる。芳香族環基の炭素数は特に限定されないが、溶剤への溶解性の観点から5以上であることが好ましい。また、現像性の観点から30以下であることが好ましく、20以下であることがより好ましく、12以下であることがさらに好ましい。 The aromatic ring group for R 23 includes aromatic hydrocarbon ring groups and aromatic heterocyclic groups. Although the number of carbon atoms in the aromatic ring group is not particularly limited, it is preferably 5 or more from the viewpoint of solubility in solvents. From the viewpoint of developability, it is preferably 30 or less, more preferably 20 or less, and even more preferably 12 or less.

芳香族環基の具体例としては、フェニル基、ナフチル基、ピリジル基、フリル基などが挙げられ、これらの中でも現像性の観点から、フェニル基又はナフチル基が好ましく、フェニル基がより好ましい。
芳香族環基が有していてもよい置換基としては、水酸基、カルボキシル基、ハロゲン原子、アミノ基、アミド基、アルキル基などが挙げられ、現像性の観点から水酸基、カルボキシル基が好ましく、カルボキシル基がより好ましい。
これらの中でも、現像性の観点から、R23が置換基を有していてもよいアルキル基であることが好ましく、無置換のアルキル基であることがより好ましく、メチル基であることがさらに好ましい。
Specific examples of the aromatic ring group include a phenyl group, a naphthyl group, a pyridyl group, a furyl group, and the like. Among these, from the viewpoint of developability, a phenyl group or a naphthyl group is preferable, and a phenyl group is more preferable.
Examples of substituents that the aromatic ring group may have include a hydroxyl group, a carboxyl group, a halogen atom, an amino group, an amide group, and an alkyl group. groups are more preferred.
Among these, from the viewpoint of developability, R 23 is preferably an optionally substituted alkyl group, more preferably an unsubstituted alkyl group, and even more preferably a methyl group. .

24におけるアルキル基の炭素数は特に限定されないが、感度の観点から1以上であることが好ましい。また、感度の観点から20以下であることが好ましく、10以下であることがより好ましく、5以下であることがさらに好ましく、3以下であることが特に好ましい。 Although the number of carbon atoms in the alkyl group in R 24 is not particularly limited, it is preferably 1 or more from the viewpoint of sensitivity. From the viewpoint of sensitivity, it is preferably 20 or less, more preferably 10 or less, even more preferably 5 or less, and particularly preferably 3 or less.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基などが挙げられ、これらの中でも感度の観点から、メチル基又はエチル基が好ましく、メチル基がより好ましい。
アルキル基が有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子、水酸基、カルボキシル基、アミノ基、アミド基などが挙げられ、アルカリ現像性の観点から水酸基、カルボキシル基が好ましく、カルボキシル基がより好ましく、他方合成容易性の観点からは無置換であることが好ましい。
Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, etc. Among these, from the viewpoint of sensitivity, a methyl group or an ethyl group is preferable, and a methyl group is more preferable.
Examples of the substituent that the alkyl group may have include a halogen atom, a hydroxyl group, a carboxyl group, an amino group, an amide group, etc. From the viewpoint of alkali developability, a hydroxyl group and a carboxyl group are preferred, and a carboxyl group is more preferred. On the other hand, it is preferably unsubstituted from the viewpoint of ease of synthesis.

24における芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基及び芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は30以下であることが好ましく12以下であることがより好ましく、通常4以上であり、6以上であることが好ましい。前記上限値以下とすることで、高感度となる傾向があり、前記下限値以上とすることで低昇華性となる傾向がある。 The aromatic ring group for R 24 includes aromatic hydrocarbon ring groups and aromatic heterocyclic groups. The number of carbon atoms is preferably 30 or less, more preferably 12 or less, usually 4 or more, preferably 6 or more. The sensitivity tends to be high when the concentration is equal to or less than the upper limit, and the sublimability tends to be low when the concentration is equal to or more than the lower limit.

芳香族炭化水素環基としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、1個の遊離原子価を有する、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などの基が挙げられる。
また、芳香族複素環基としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、1個の遊離原子価を有する、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などの基が挙げられる。
芳香族環基が有していてもよい置換基としては、アルキル基、ハロゲン原子、水酸基、カルボキシル基などが挙げられる。
これらの中でも、感度の観点から、R24が置換基を有していてもよいアルキル基であることが好ましく、無置換のアルキル基であることがより好ましく、メチル基であることがさらに好ましい。
他方、製版性の観点から、R24が置換基を有していてもよい芳香族環基であることが好ましく、置換基を有していてもよい芳香族炭化水素基であることがより好ましく、無置換の芳香族炭化水素基であることがさらに好ましく、フェニル基であることが特に好ましい。
The aromatic hydrocarbon ring group may be a monocyclic ring or a condensed ring group. groups such as ring, pyrene ring, benzpyrene ring, chrysene ring, triphenylene ring, acenaphthene ring, fluoranthene ring, and fluorene ring.
In addition, the aromatic heterocyclic group may be a monocyclic ring or a condensed ring. , pyrazole ring, imidazole ring, oxadiazole ring, indole ring, carbazole ring, pyrroloimidazole ring, pyrrolopyrazole ring, pyrrolopyrrole ring, thienopyrrole ring, thienothiophene ring, furopyrrole ring, furofuran ring, thienofuran ring, benzoisoxazole ring , benzisothiazole ring, benzimidazole ring, pyridine ring, pyrazine ring, pyridazine ring, pyrimidine ring, triazine ring, quinoline ring, isoquinoline ring, shinoline ring, quinoxaline ring, phenanthridine ring, benzimidazole ring, perimidine ring, quinazoline Groups such as rings, quinazolinone rings, and azulene rings can be mentioned.
Examples of substituents that the aromatic ring group may have include an alkyl group, a halogen atom, a hydroxyl group, and a carboxyl group.
Among these, from the viewpoint of sensitivity, R 24 is preferably an optionally substituted alkyl group, more preferably an unsubstituted alkyl group, and even more preferably a methyl group.
On the other hand, from the viewpoint of plate-making properties, R 24 is preferably an optionally substituted aromatic ring group, more preferably an optionally substituted aromatic hydrocarbon group. , more preferably an unsubstituted aromatic hydrocarbon group, and particularly preferably a phenyl group.

25は、水酸基、カルボキシル基又は前記一般式(D-II)で表される基であるが、これらの中でも、感度及び現像性の観点から、前記一般式(D-II)で表される基であることが好ましい。
前記一般式(D-II)において、前述のとおり、R25aは、-O-、-S-、-OCO-又は-COO-を表すが、これらの中でも、感度及び現像性の観点から、-O-又は-OCO-が好ましく、-O-がより好ましい。
R 25 is a hydroxyl group, a carboxyl group, or a group represented by the general formula (D-II). It is preferably a group.
In the general formula (D-II), as described above, R 25a represents -O-, -S-, -OCO- or -COO-. O- or -OCO- is preferred, and -O- is more preferred.

前述のとおり、R25bは、置換基を有していてもよいアルキレン基を表す。
25bにおけるアルキレン基の炭素数は特に限定されないが、感光性樹脂組成物への溶解性の観点から1以上であることが好ましく、2以上であることがより好ましく、また、20以下であることが好ましく、10以下であることがより好ましく、5以下であることがさらに好ましく、3以下であることが特に好ましい。
アルキレン基は、直鎖でもよく、分岐していてもよく、脂肪族環を含むものであってもよい。これらの中でも、感光性樹脂組成物への溶解性の観点から、直鎖であることが好ましい。
As described above, R 25b represents an optionally substituted alkylene group.
Although the number of carbon atoms in the alkylene group in R 25b is not particularly limited, it is preferably 1 or more, more preferably 2 or more, and 20 or less from the viewpoint of solubility in the photosensitive resin composition. is preferred, 10 or less is more preferred, 5 or less is even more preferred, and 3 or less is particularly preferred.
The alkylene group may be linear or branched, and may contain an aliphatic ring. Among these, from the viewpoint of solubility in the photosensitive resin composition, a linear chain is preferred.

アルキレン基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基などが挙げられ、これらの中でも感光性樹脂組成物への溶解性の観点から、エチレン基がより好ましい。 Specific examples of the alkylene group include a methylene group, an ethylene group, a propylene group and the like, and among these, an ethylene group is more preferable from the viewpoint of solubility in the photosensitive resin composition.

前述のとおりR25cは、水酸基又はカルボキシル基である。現像密着性の観点からは、R25cが水酸基であることが好ましい。 As mentioned above, R 25c is a hydroxyl group or a carboxyl group. From the viewpoint of development adhesion, R 25c is preferably a hydroxyl group.

前記一般式(D-I)において、hは0~5の整数を表す。特に、現像性の観点からはhは1以上であることが好ましく、また4以下であることが好ましく、3以下であることがより好ましく、2以下であることがさらに好ましく、1であることが最も好ましい。
他方、合成容易性の観点からは、hは0であることが好ましい。
In the general formula (DI), h represents an integer of 0-5. In particular, from the viewpoint of developability, h is preferably 1 or more, preferably 4 or less, more preferably 3 or less, further preferably 2 or less, and 1. Most preferred.
On the other hand, h is preferably 0 from the viewpoint of ease of synthesis.

トリアジン系光重合開始剤としては、ハロメチル化s-トリアジン誘導体類が挙げられ、例えば、2,4,6-トリス(モノクロロメチル)-s-トリアジン、2,4,6-トリス(ジクロロメチル)-s-トリアジン、2,4,6-トリス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-メチル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-n-プロピル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(α,α,β-トリクロロエチル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-フェニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-メトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(3,4-エポキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-クロロフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-〔1-(p-メトキシフェニル)-2,4-ブタジエニル〕-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-スチリル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-メトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-メトキシ-m-ヒドロキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-i-プロピルオキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-トリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-メトキシナフチル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-エトキシナフチル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-エトキシカルボニルナフチル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-フェニルチオ-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-ベンジルチオ-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2,4,6-トリス(ジブロモメチル)-s-トリアジン、2,4,6-トリス(トリブロモメチル)-s-トリアジン、2-メチル-4,6-ビス(トリブロモメチル)-s-トリアジン、2-メトキシ-4,6-ビス(トリブロモメチル)-s-トリアジン、2-(4-メトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン等のハロメチル化s-トリアジン誘導体類が挙げられ、中でも感度の観点から、ビス(トリハロメチル)-s-トリアジン類が好ましい。 Triazine-based photopolymerization initiators include halomethylated s-triazine derivatives such as 2,4,6-tris(monochloromethyl)-s-triazine, 2,4,6-tris(dichloromethyl)- s-triazine, 2,4,6-tris(trichloromethyl)-s-triazine, 2-methyl-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-n-propyl-4,6-bis( trichloromethyl)-s-triazine, 2-(α,α,β-trichloroethyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis(trichloromethyl)-s -triazine, 2-(p-methoxyphenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(3,4-epoxyphenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine , 2-(p-chlorophenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-[1-(p-methoxyphenyl)-2,4-butadienyl]-4,6-bis(trichloromethyl) )-s-triazine, 2-styryl-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(p-methoxystyryl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-( p-methoxy-m-hydroxystyryl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(pi-propyloxystyryl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(p-tolyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(p-methoxynaphthyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(p- ethoxynaphthyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(p-ethoxycarbonylnaphthyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-phenylthio-4,6- Bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-benzylthio-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2,4,6-tris(dibromomethyl)-s-triazine, 2,4,6- tris(tribromomethyl)-s-triazine, 2-methyl-4,6-bis(tribromomethyl)-s-triazine, 2-methoxy-4,6-bis(tribromomethyl)-s-triazine, 2 Halomethyl such as -(4-methoxyphenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine and bis(trihalomethyl)-s-triazine derivatives are preferred from the viewpoint of sensitivity.

アセトフェノン系光重合開始剤としては、例えば、2,2-ジエトキシアセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、1-ヒドロキシ-1-(p-ドデシルフェニル)ケトン、1-ヒドロキシ-1-メチルエチル-(p-イソプロピルフェニル)ケトン、1-トリクロロメチル-(p-ブチルフェニル)ケトン、α-ヒドロキシ-2-メチルフェニルプロパノン、2-メチル-1[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)ブタノン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)ブタン-1-オン、4-ジメチルアミノエチルベンゾエート、4-ジメチルアミノイソアミルベンゾエート、4-ジエチルアミノアセトフェノン、4-ジメチルアミノプロピオフェノン、2-エチルヘキシル-1,4-ジメチルアミノベンゾエート、2,5-ビス(4-ジエチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、4-(ジエチルアミノ)カルコン等が挙げられる。
ベンゾフェノン系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、2-メチルベンゾフェノン、3-メチルベンゾフェノン、4-メチルベンゾフェノン、2-カルボキシベンゾフェノン、2-クロロベンゾフェノン、4-ブロモベンゾフェノン、ミヒラーケトン等が挙げられる。
Acetophenone-based photopolymerization initiators include, for example, 2,2-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 1-hydroxy-1-(p-dodecylphenyl)ketone. , 1-hydroxy-1-methylethyl-(p-isopropylphenyl)ketone, 1-trichloromethyl-(p-butylphenyl)ketone, α-hydroxy-2-methylphenylpropanone, 2-methyl-1[4- (Methylthio)phenyl]-2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)butanone-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1 -(4-morpholinophenyl)butan-1-one, 4-dimethylaminoethylbenzoate, 4-dimethylaminoisoamylbenzoate, 4-diethylaminoacetophenone, 4-dimethylaminopropiophenone, 2-ethylhexyl-1,4-dimethyl aminobenzoate, 2,5-bis(4-diethylaminobenzal)cyclohexanone, 4-(diethylamino)chalcone and the like.
Examples of benzophenone-based photopolymerization initiators include benzophenone, 2-methylbenzophenone, 3-methylbenzophenone, 4-methylbenzophenone, 2-carboxybenzophenone, 2-chlorobenzophenone, 4-bromobenzophenone, and Michler's ketone.

これらの光重合開始剤は、感光性樹脂組成物中にその1種が単独で含まれていてもよく、2種以上が含まれていてもよい。これらの光重合開始剤の中で、ヘキサアリールビイミダゾール系光重合開始剤、オキシムエステル系光重合開始剤及びアセトフェノン系光重合開始剤からなる群から選ばれる少なくとも1種を含有することが好ましい。ヘキサアリールビイミダゾール化合物は、吸光度が高いことから表面硬化性が高く、また、高い撥インク性と高いテーパー角が得られる点で特に好ましい。また、オキシムエステル系化合物は感度が高く、低い露光量でも撥インク性が生じる点で特に好ましい。また、アセトフェノン系光重合開始剤は、内部硬化性が高く、高い撥インク性と高いテーパー角が得られる点で特に好ましい。 One of these photopolymerization initiators may be contained alone in the photosensitive resin composition, or two or more thereof may be contained. Among these photopolymerization initiators, it is preferable to contain at least one selected from the group consisting of hexaarylbiimidazole-based photopolymerization initiators, oxime ester-based photopolymerization initiators, and acetophenone-based photopolymerization initiators. Hexaarylbiimidazole compounds are particularly preferable because they have high absorbance and therefore have high surface curability, as well as high ink repellency and a high taper angle. In addition, oxime ester compounds are particularly preferable in that they have high sensitivity and exhibit ink repellency even at low exposure doses. Acetophenone-based photopolymerization initiators are particularly preferred because they have high internal curability, high ink repellency, and high taper angles.

本発明の感光性樹脂組成物における(D)光重合開始剤の含有割合は特に限定されないが、感光性樹脂組成物の全固形分中に通常0.01質量%以上、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、さらに好ましくは1質量%以上、特に好ましくは1.5質量%以上であり、通常25質量%以下、好ましくは10質量%以下、より好ましくは8質量%以下、さらに好ましくは5質量%以下、特に好ましくは3質量%以下である。前記下限値以上とすることで現像時に膜減りを生じず塗膜が形成され、また十分な撥インク性が生じる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望のパターン形状が形成しやすくなる傾向がある。 The content of (D) the photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited, but usually 0.01% by mass or more, preferably 0.1% by mass in the total solid content of the photosensitive resin composition % or more, more preferably 0.5 mass % or more, more preferably 1 mass % or more, particularly preferably 1.5 mass % or more, usually 25 mass % or less, preferably 10 mass % or less, more preferably 8 % by mass or less, more preferably 5% by mass or less, particularly preferably 3% by mass or less. When it is at least the above lower limit, a coating film is formed without causing film reduction during development, and there is a tendency for sufficient ink repellency to occur. tends to be easier.

また、感光性樹脂組成物中の(C)光重合性化合物に対する(D)光重合開始剤の配合比としては、(C)光重合性化合物100質量部に対して、1質量部以上が好ましく、2質量部以上がより好ましく、3質量部以上がさらに好ましく、また、200質量部以下が好ましく、100質量部以下がより好ましく、50質量部以下がさらに好ましく、20質量部以下がよりさらに好ましく、10質量部以下が特に好ましく、5質量部以下が最も好ましい。前記下限値以上とすることで適切な感度となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望のパターン形状が形成しやすくなる傾向がある。 Further, the mixing ratio of the (D) photopolymerization initiator to the (C) photopolymerizable compound in the photosensitive resin composition is preferably 1 part by weight or more with respect to 100 parts by weight of the (C) photopolymerizable compound. , More preferably 2 parts by mass or more, more preferably 3 parts by mass or more, preferably 200 parts by mass or less, more preferably 100 parts by mass or less, further preferably 50 parts by mass or less, and even more preferably 20 parts by mass or less , 10 parts by mass or less is particularly preferred, and 5 parts by mass or less is most preferred. Setting it to the above lower limit or more tends to provide an appropriate sensitivity, and setting it to the above upper limit or less tends to facilitate formation of a desired pattern shape.

また上記光重合開始剤と併用して、増感剤を用いてもよい。増感剤により感度が向上すると同時に、感光性樹脂組成物内部への光透過率が減少することで、テーパー角が大きくなる傾向がある。 A sensitizer may be used in combination with the photopolymerization initiator. The sensitizer improves the sensitivity and at the same time decreases the light transmittance into the photosensitive resin composition, which tends to increase the taper angle.

増感剤としては、この分野で通常用いられている増感剤を使用することができる。増感剤は、吸収して得たエネルギーを光重合開始剤に移行、もしくは光重合開始剤との電子の授受を起こし、効率よく反応ラジカル重合反応を促進させる特徴がある。このような増感剤としては、例えば、カルコン誘導体やジベンザルアセトン等に代表される不飽和ケトン類、ベンジルやカンファーキノン等に代表される1,2-ジケトン系化合物、ベンゾイン系化合物、フルオレン系化合物、ナフトキノン系化合物、アントラキノン系化合物、キサンテン系化合物、チオキサンテン系化合物、キサントン系化合物、チオキサントン系化合物、クマリン系化合物、ケトクマリン系化合物、シアニン系化合物、メロシアニン系化合物、オキソノ-ル誘導体等のポリメチン色素、アクリジン系化合物、アジン系化合物、チアジン系化合物、オキサジン系化合物、インドリン系化合物、アズレン系化合物、アズレニウム系化合物、スクアリリウム系化合物、ポルフィリン系化合物、テトラフェニルポルフィリン系化合物、トリアリールメタン系化合物、テトラベンゾポルフィリン系化合物、テトラピラジノポルフィラジン系化合物、フタロシアニン系化合物、テトラアザポルフィラジン系化合物、テトラキノキサリロポルフィラジン系化合物、ナフタロシアニン系化合物、サブフタロシアニン系化合物、ピリリウム系化合物、チオピリリウム系化合物、テトラフィリン系化合物、アヌレン系化合物、スピロピラン系化合物、スピロオキサジン系化合物、チオスピロピラン系化合物、金属アレーン錯体、有機ルテニウム錯体、ベンゾフェノン系化合物等が挙げられる。
これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
As a sensitizer, a sensitizer commonly used in this field can be used. The sensitizer has the characteristic of transferring the energy obtained by absorption to the photopolymerization initiator, or causing transfer of electrons with the photopolymerization initiator, thereby efficiently promoting the reactive radical polymerization reaction. Examples of such sensitizers include unsaturated ketones such as chalcone derivatives and dibenzalacetone; 1,2-diketone compounds such as benzyl and camphorquinone; benzoin compounds; compounds, naphthoquinone compounds, anthraquinone compounds, xanthene compounds, thioxanthene compounds, xanthone compounds, thioxanthone compounds, coumarin compounds, ketocoumarin compounds, cyanine compounds, merocyanine compounds, oxonol derivatives, etc. Polymethine dyes, acridine compounds, azine compounds, thiazine compounds, oxazine compounds, indoline compounds, azulene compounds, azulenium compounds, squarylium compounds, porphyrin compounds, tetraphenylporphyrin compounds, triarylmethane compounds , tetrabenzoporphyrin compounds, tetrapyrazinoporphyrazine compounds, phthalocyanine compounds, tetraazaporphyrazine compounds, tetraquinoxalyloporphyrazine compounds, naphthalocyanine compounds, subphthalocyanine compounds, pyrylium compounds, thiopyrylium tetraphyllin-based compounds, annulene-based compounds, spiropyran-based compounds, spirooxazine-based compounds, thiospiropyran-based compounds, metal arene complexes, organic ruthenium complexes, benzophenone-based compounds, and the like.
These may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

これらの中でも、感度向上とテーパー角増大の観点から、チオキサントン系化合物、ベンゾフェノン系化合物が好ましい。 Among these, thioxanthone-based compounds and benzophenone-based compounds are preferred from the viewpoint of improving sensitivity and increasing the taper angle.

チオキサントン系化合物としては、チオキサントン、2-メチルチオキサントン、4-メチルチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、2-エチルチオキサントン、4-エチルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2-イソプロピルチオキサントン、4-イソプロピルチオキサントン、2,4-ジイソプロピルチオキサントン、2-クロロチオキサントン、4-クロロチオキサントン、2,4-ジクロロチオキサントンなどが挙げられる。これらの中でも、感度向上とテーパー角増大の観点から2,4-ジエチルチオキサントンが好ましい。 Thioxanthone compounds include thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 4-methylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 4-ethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, and 4-isopropyl thioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 4-chlorothioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone and the like. Among these, 2,4-diethylthioxanthone is preferable from the viewpoint of improving the sensitivity and increasing the taper angle.

ベンゾフェノン系化合物としては、ベンゾフェノン、4,4’-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’-ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられる。これらの中でも、感度向上とテーパー角増大の観点から4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。 Benzophenone compounds include benzophenone, 4,4'-bis(dimethylamino)benzophenone, 4,4'-bis(diethylamino)benzophenone, 4,4'-bis(ethylmethylamino)benzophenone and the like. Among these, 4,4'-bis(diethylamino)benzophenone is preferable from the viewpoint of improving sensitivity and increasing taper angle.

感光性樹脂組成物が増感剤を含有する場合、感光性樹脂組成物の全固形分中における増感剤の含有割合は特に限定されないが、通常0.1質量%以上、好ましくは0.3質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、さらに好ましくは0.8質量%以上、よりさらに好ましくは1質量%以上、特に好ましくは1.2質量%以上であり、また通常10質量%以下、好ましくは7質量%以下、より好ましくは5質量%以下、さらに好ましくは3質量%以下である。前記下限値以上とすることで感度を向上し、テーパー角を高くすることができる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望のパターンを形成しやすくなる傾向がある。 When the photosensitive resin composition contains a sensitizer, the content of the sensitizer in the total solid content of the photosensitive resin composition is not particularly limited, but is usually 0.1% by mass or more, preferably 0.3. % by mass or more, more preferably 0.5% by mass or more, still more preferably 0.8% by mass or more, even more preferably 1% by mass or more, particularly preferably 1.2% by mass or more, and usually 10% by mass Below, it is preferably 7% by mass or less, more preferably 5% by mass or less, and still more preferably 3% by mass or less. When it is equal to or higher than the lower limit, there is a tendency that sensitivity can be improved and the taper angle can be increased, and when it is equal to or lower than the upper limit, it tends to be easier to form a desired pattern.

[1-1-5]連鎖移動剤
本発明の感光性樹脂組成物は、さらに連鎖移動剤を含んでもよい。連鎖移動剤を含むことで、表面近傍における酸素阻害等によるラジカル失活が改善されて表面硬化性を高めることができ、テーパー角が高くなる傾向がある。また、表面硬化性を高めることによって撥液剤の流出を抑制でき、撥液剤を隔壁の表面近傍に固定しやすく接触角が高くなる傾向がある。
連鎖移動剤としてはメルカプト基含有化合物や、四塩化炭素等が挙げられ、連鎖移動効果が高い傾向があることからメルカプト基を有する化合物を用いることがより好ましい。S-H結合エネルギーが小さいことによって結合開裂が起こりやすく、連鎖移動反応を起こしやすいため、表面硬化性を高めることができる傾向がある。
[1-1-5] Chain Transfer Agent The photosensitive resin composition of the present invention may further contain a chain transfer agent. By containing a chain transfer agent, radical deactivation due to oxygen inhibition or the like in the vicinity of the surface can be improved, surface curability can be improved, and the taper angle tends to increase. In addition, by increasing the surface curability, the outflow of the liquid-repellent agent can be suppressed, and the liquid-repellent agent tends to be easily fixed in the vicinity of the surface of the partition, increasing the contact angle.
Examples of chain transfer agents include mercapto group-containing compounds, carbon tetrachloride, and the like, and it is more preferable to use compounds having a mercapto group because they tend to have a high chain transfer effect. Since bond cleavage is likely to occur due to the small SH bond energy, and chain transfer reaction is likely to occur, surface curability tends to be enhanced.

連鎖移動剤の中でも、テーパー角、表面硬化性の観点から、芳香族環を有するメルカプト基含有化合物と脂肪族系のメルカプト基含有化合物が好ましい。 Among chain transfer agents, aromatic ring-containing mercapto group-containing compounds and aliphatic mercapto group-containing compounds are preferred from the viewpoint of taper angle and surface curability.

芳香族環を有するメルカプト基含有化合物としては、テーパー角の観点から、下記一般式(E-1)で表される化合物が好適に用いられる。 As the mercapto group-containing compound having an aromatic ring, a compound represented by the following general formula (E-1) is preferably used from the viewpoint of the taper angle.

Figure 0007205089000043
Figure 0007205089000043

式(E-1)中、Zは-O-、-S-又は-NH-を表し、R61、R62、R63及びR64は各々独立に、水素原子又は1価の置換基を表す。
このうち、テーパー角の観点から、Zは-S-又は-NH-が好ましく、-NH-がより好ましい。
またテーパー角の観点から、R61、R62、R63及びR64は各々独立に、水素原子、炭素数1~4のアルキル基又は炭素数1~4のアルコキシ基が好ましく、水素原子がより好ましい。
In formula (E-1), Z represents —O—, —S— or —NH—, and R 61 , R 62 , R 63 and R 64 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent substituent. .
Among these, from the viewpoint of the taper angle, Z is preferably -S- or -NH-, and more preferably -NH-.
From the viewpoint of the taper angle, R 61 , R 62 , R 63 and R 64 are each independently preferably a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, and more preferably a hydrogen atom. preferable.

具体的には、2-メルカプトベンゾチアゾール、2-メルカプトベンゾイミダゾール、2-メルカプトベンゾオキサゾール、3-メルカプト-1,2,4-トリアゾール、2-メルカプト-4(3H)-キナゾリン、β-メルカプトナフタレン、1,4-ジメチルメルカプトベンゼン等の芳香族環を有するメルカプト基含有化合物が挙げられ、テーパー角の観点から、2-メルカプトベンゾチアゾール、2-メルカプトベンゾイミダゾールが好ましい。 Specifically, 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, 3-mercapto-1,2,4-triazole, 2-mercapto-4(3H)-quinazoline, β-mercaptonaphthalene , 1,4-dimethylmercaptobenzene and the like, and 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzimidazole are preferred from the viewpoint of the taper angle.

一方で脂肪族系のメルカプト基含有化合物としては、表面硬化性の観点から、へキサンジチオール、デカンジチオール、又は下記一般式(E-2)で表される化合物が好適に用いられる。 On the other hand, as the aliphatic mercapto group-containing compound, hexanedithiol, decanedithiol, or a compound represented by the following general formula (E-2) is preferably used from the viewpoint of surface curability.

Figure 0007205089000044
Figure 0007205089000044

式(E-2)中、mは0~4の整数、nは2~4の整数を表す。R71及びR72は各々独立に、水素原子又は炭素数1~4のアルキル基を表す。Xはn価の基を表す。 In formula (E-2), m represents an integer of 0-4, and n represents an integer of 2-4. Each of R 71 and R 72 independently represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. X represents an n-valent group.

前記一般式(E-2)において、合成容易性の観点から、mは1又は2であることが好ましい。また、表面硬化性の観点から、nは3又は4であることが好ましい。
また、R71及びR72のアルキル基としては、表面硬化性の観点から、炭素数1~3のものが好ましい。表面硬化性の観点から、R71及びR72のうちの少なくとも一方、例えばR72は水素原子であることが好ましく、この場合において、R71は水素原子又は炭素数1~3のアルキル基であることが好ましい。
In general formula (E-2), m is preferably 1 or 2 from the viewpoint of ease of synthesis. Moreover, n is preferably 3 or 4 from the viewpoint of surface curability.
The alkyl groups for R 71 and R 72 preferably have 1 to 3 carbon atoms from the viewpoint of surface curability. From the viewpoint of surface curability, at least one of R 71 and R 72 , for example, R 72 is preferably a hydrogen atom, in which case R 71 is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms. is preferred.

nが2である場合、表面硬化性の観点から、Xはエーテル結合及び/又は枝分かれ部を有してもよい炭素数1~6のアルキレン基が好ましい。表面硬化性、合成容易性の観点から、中でも炭素数1~6のアルキレン基がより好ましく、炭素数4のアルキレン基がさらに好ましい。 When n is 2, from the viewpoint of surface curability, X is preferably an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms which may have an ether bond and/or a branched portion. From the viewpoint of surface curability and ease of synthesis, an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms is more preferable, and an alkylene group having 4 carbon atoms is even more preferable.

nが3である場合、表面硬化性、合成容易性の観点から、Xは下記一般式(E-2-1)又は(E-2-2)で表される構造であることが好ましい。 When n is 3, X preferably has a structure represented by the following general formula (E-2-1) or (E-2-2) from the viewpoint of surface curability and ease of synthesis.

Figure 0007205089000045
Figure 0007205089000045

式(E-2-1)中、R73は水素原子、炭素数1~6のアルキル基、又はメチロール基を表す。R73の中でも、テーパー角の観点から、エチル基が好ましい。 In formula (E-2-1), R 73 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or a methylol group. Among R 73 , an ethyl group is preferable from the viewpoint of the taper angle.

Figure 0007205089000046
Figure 0007205089000046

式(E-2-2)中、R74は炭素数1~4のアルキレン基を表す。R74の中でも、テーパー角の観点から、エチレン基が好ましい。 In formula (E-2-2), R 74 represents an alkylene group having 1 to 4 carbon atoms. Among R 74 , an ethylene group is preferable from the viewpoint of the taper angle.

一方で、nが4である場合、Xは下記一般式(E-2-3)で表される構造であることが好ましい。 On the other hand, when n is 4, X preferably has a structure represented by general formula (E-2-3) below.

Figure 0007205089000047
Figure 0007205089000047

具体的には、ブタンジオールビス(3-メルカプトプロピオネート)、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビス(3-メルカプトプロピオネート)、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールトリス(3-メルカプトプロピオネート)、ブタンジオールビス(3-メルカプトブチレート)、エチレングリコールビス(3-メルカプトブチレート)、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールトリス(3-メルカプトブチレート)、1,3,5-トリス(3-メルカプトブチルオキシエチル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6(1H,3H,5H)-トリオン等が挙げられる。 Specifically, butanediol bis(3-mercaptopropionate), butanediol bisthioglycolate, ethylene glycol bis(3-mercaptopropionate), ethylene glycol bisthioglycolate, trimethylolpropane tris(3- mercaptopropionate), trimethylolpropane tristhioglycolate, trishydroxyethyl tristhiopropionate, pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tris (3-mercaptopropionate), butanediol bis (3-mercaptobutyrate), ethylene glycol bis (3-mercaptobutyrate), trimethylolpropane tris (3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tris (3-mercaptobutyrate) rate), 1,3,5-tris(3-mercaptobutyloxyethyl)-1,3,5-triazine-2,4,6(1H,3H,5H)-trione and the like.

このうち、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールトリス(3-メルカプトプロピオネート)、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールトリス(3-メルカプトブチレート)、1,3,5-トリス(3-メルカプトブチルオキシエチル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6(1H,3H,5H)-トリオンが好ましく、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)がより好ましい。 Among these, trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tris (3-mercaptopropionate), trimethylolpropane tris (3-mercaptobutyrate) ), pentaerythritol tetrakis(3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tris(3-mercaptobutyrate), 1,3,5-tris(3-mercaptobutyloxyethyl)-1,3,5-triazine-2, 4,6(1H,3H,5H)-trione is preferred, and pentaerythritol tetrakis(3-mercaptopropionate) and pentaerythritol tetrakis(3-mercaptobutyrate) are more preferred.

これらは種々のものが1種を単独で、或いは2種以上を混合して使用できる。 These various things can be used individually by 1 type, or in mixture of 2 or more types.

これらの中でも、撥インク性を高める観点から、2-メルカプトベンゾチアゾール、2-メルカプトベンゾイミダゾール、及び2-メルカプトベンゾオキサゾールからなる群から選択された1以上と、光重合開始剤とを組み合わせて、光重合開始剤系として使用することが好適である。例えば、2-メルカプトベンゾチアゾールを用いてもよく、2-メルカプトベンゾイミダゾールを用いてもよく、2-メルカプトベンゾチアゾールと2-メルカプトベンゾイミダゾールとを併用して用いてもよい。
また、表面硬化性の観点から、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)、及びペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)からなる群から選択された1又は2以上を用いることが好ましい。
Among these, from the viewpoint of enhancing ink repellency, one or more selected from the group consisting of 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzimidazole, and 2-mercaptobenzoxazole are combined with a photopolymerization initiator, It is preferred for use as a photoinitiator system. For example, 2-mercaptobenzothiazole may be used, 2-mercaptobenzimidazole may be used, or 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzimidazole may be used in combination.
From the viewpoint of surface curability, it is preferable to use one or more selected from the group consisting of pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate) and pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate).

本発明の感光性樹脂組成物における連鎖移動剤の含有割合は特に限定されないが、感光性樹脂組成物の全固形分中に通常0.01質量%以上、好ましくは0.025質量%以上、より好ましくは0.05質量%以上、さらに好ましくは0.1質量%以上、特に好ましくは1質量%以上であり、通常5質量%以下、好ましくは4質量%以下、より好ましくは3質量%以下である。前記下限値以上とすることでテーパー角が高く、表面硬化性が高くなり、撥インク性が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望のパターンを形成しやすくなる傾向がある。 The content of the chain transfer agent in the photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited. It is preferably 0.05% by mass or more, more preferably 0.1% by mass or more, particularly preferably 1% by mass or more, and is usually 5% by mass or less, preferably 4% by mass or less, more preferably 3% by mass or less. be. When it is at least the above lower limit, the taper angle tends to be high, the surface curability is high, and the ink repellency tends to be high. be.

また連鎖移動剤として、芳香族環を有するメルカプト基含有化合物と脂肪族系のメルカプト基含有化合物を併用して使用するときのその含有割合としては、芳香族環を有するメルカプト基含有化合物100質量部に対して、脂肪族系のメルカプト基含有化合物を通常10質量部以上、好ましくは50質量部以上、より好ましくは80質量部以上であり、通常400質量部以下、好ましくは300質量部以下、より好ましくは200質量部以下、さらに好ましくは150質量部以下である。前記下限値以上とすることで撥インク性が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで感度が高くなる傾向がある。 Further, when a mercapto group-containing compound having an aromatic ring and an aliphatic mercapto group-containing compound are used in combination as a chain transfer agent, the content ratio is 100 parts by mass of the mercapto group-containing compound having an aromatic ring. On the other hand, the aliphatic mercapto group-containing compound is usually 10 parts by mass or more, preferably 50 parts by mass or more, more preferably 80 parts by mass or more, usually 400 parts by mass or less, preferably 300 parts by mass or less, and more It is preferably 200 parts by mass or less, more preferably 150 parts by mass or less. When the content is at least the lower limit, the ink repellency tends to be enhanced, and when the content is at or below the upper limit, the sensitivity tends to be enhanced.

また、感光性樹脂組成物中の(C)光重合性化合物に対する、連鎖移動剤の配合比としては、(C)光重合開始剤100質量部に対して、10質量部以上が好ましく、25質量部以上がより好ましく、50質量部以上がさらに好ましく、80質量部以上が特に好ましく、また、500質量部以下が好ましく、400質量部以下がより好ましく、300質量部以下がさらに好ましく、200質量部以下がよりさらに好ましく、150質量部以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることでテーパー角が高く、表面硬化性が高くなり、撥インク性が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望のパターンを形成しやすくなる傾向がある。 Further, the compounding ratio of the chain transfer agent to (C) the photopolymerizable compound in the photosensitive resin composition is preferably 10 parts by mass or more, and 25 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the photopolymerization initiator (C). More preferably 50 parts by mass or more, particularly preferably 80 parts by mass or more, preferably 500 parts by mass or less, more preferably 400 parts by mass or less, further preferably 300 parts by mass or less, 200 parts by mass The following is more preferable, and 150 parts by mass or less is particularly preferable. When it is at least the above lower limit, the taper angle tends to be high, the surface curability is high, and the ink repellency tends to be high. be.

[1-1-6]紫外線吸収剤
本発明の感光性樹脂組成物は、紫外線吸収剤を含有してもよい。紫外線吸収剤は、露光に用いられる光源の特定の波長を紫外線吸収剤によって吸収させることにより、光硬化分布を制御する目的で添加されるものである。紫外線吸収剤を含むことにより、現像後のテーパー角形状を改善したり、現像後に非露光部に残る残渣を低減するなどの効果が得られる傾向がある。紫外線吸収剤としては、光重合開始剤による光吸収を阻害するとの観点から、例えば、波長250nmから400nmの間に吸収極大を有する化合物を用いることができる。
紫外線吸収剤の例としては、ベンゾトリアゾール系化合物、トリアジン系化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾエート化合物、桂皮酸誘導体、ナフタレン誘導体、アントラセン及びその誘導体、ジナフタレン化合物、フェナントロリン化合物、染料等が挙げられる。
これらの紫外線吸収剤は、単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。
[1-1-6] Ultraviolet Absorber The photosensitive resin composition of the present invention may contain an ultraviolet absorber. The ultraviolet absorber is added for the purpose of controlling the photocuring distribution by absorbing a specific wavelength of the light source used for exposure by the ultraviolet absorber. By including an ultraviolet absorber, there is a tendency to obtain effects such as improving the taper angle shape after development and reducing residues remaining in non-exposed areas after development. As the ultraviolet absorber, for example, a compound having an absorption maximum between 250 nm and 400 nm can be used from the viewpoint of inhibiting light absorption by the photopolymerization initiator.
Examples of UV absorbers include benzotriazole compounds, triazine compounds, benzophenone compounds, benzoate compounds, cinnamic acid derivatives, naphthalene derivatives, anthracene and its derivatives, dinaphthalene compounds, phenanthroline compounds, and dyes.
These ultraviolet absorbers can be used singly or in combination of two or more.

これらの中でも、テーパー角を高める観点から、ベンゾトリアゾール化合物及び/又はヒドロキシフェニルトリアジン化合物が好ましく、ベンゾトリアゾール化合物が特に好ましい。 Among these, from the viewpoint of increasing the taper angle, benzotriazole compounds and/or hydroxyphenyltriazine compounds are preferred, and benzotriazole compounds are particularly preferred.

ベンゾトリアゾール系化合物の中でも、テーパー形状の点から、下記の一般式(Z1)で記載されるベンゾトリアゾール化合物が好ましい。 Among the benzotriazole-based compounds, a benzotriazole compound represented by the following general formula (Z1) is preferable from the point of tapered shape.

Figure 0007205089000048
Figure 0007205089000048

上記式(Z1)中、R1e及びR2eは各々独立に、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、下記一般式(Z2)で表される基、又は下記一般式(Z3)で表される基を表す。R3eは、水素原子又はハロゲン原子を表す。 In the above formula (Z1), R 1e and R 2e are each independently a hydrogen atom, an optionally substituted alkyl group, a group represented by the following general formula (Z2), or a group represented by the following general formula (Z3 ) represents a group represented by R 3e represents a hydrogen atom or a halogen atom.

Figure 0007205089000049
Figure 0007205089000049

上記式(Z2)中、R4eは置換基を有していてもよいアルキレン基を表し、R5eは置換基を有していてもよいアルキル基を表す。 In formula (Z2) above, R 4e represents an optionally substituted alkylene group, and R 5e represents an optionally substituted alkyl group.

Figure 0007205089000050
Figure 0007205089000050

上記式(Z3)中、R6eは置換基を有していてもよいアルキレン基を表し、R7eは水素原子又はメチル基を表す。 In formula (Z3) above, R 6e represents an optionally substituted alkylene group, and R 7e represents a hydrogen atom or a methyl group.

(R1e及びR2e
前記式(Z1)において、R1e及びR2eは各々独立に、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、一般式(Z2)で表される基、又は一般式(Z3)で表される基を表す。
アルキル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が挙げられる。その炭素数は、1以上であることが好ましく、2以上であることがより好ましく、4以上であることがさらに好ましく、また、10以下であることが好ましく、6以下であることがより好ましく、4以下であることがさらに好ましい。
(R 1e and R 2e )
In formula (Z1), R 1e and R 2e are each independently a hydrogen atom, an optionally substituted alkyl group, a group represented by general formula (Z2), or a group represented by general formula (Z3) represents the group represented.
Alkyl groups include linear, branched or cyclic alkyl groups. The number of carbon atoms is preferably 1 or more, more preferably 2 or more, further preferably 4 or more, preferably 10 or less, more preferably 6 or less, It is more preferably 4 or less.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert-ブチル基等が挙げられる。これらの中でもtert-ブチル基が好ましい。
また、アルキル基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられる。
Specific examples of alkyl groups include methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl, isobutyl and tert-butyl groups. Among these, a tert-butyl group is preferred.
Examples of substituents that the alkyl group may have include methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligoethylene glycol group, phenyl group, and carboxyl group. , an acryloyl group, a methacryloyl group, and the like.

(R3e
前記式(Z1)において、R3eは、水素原子又はハロゲン原子を表す。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子などが挙げられる。
これらの中でも合成の観点から、R3eが水素原子であることが好ましい。
( R3e )
In formula (Z1), R 3e represents a hydrogen atom or a halogen atom.
Halogen atoms include fluorine, chlorine, bromine, and iodine atoms.
Among these, from the viewpoint of synthesis, R 3e is preferably a hydrogen atom.

(R4e
前記式(Z2)において、R4eは置換基を有していてもよいアルキレン基を表す。
アルキレン基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキレン基が挙げられる。その炭素数は通常1以上であり、2以上が好ましく、また6以下が好ましく、4以下がより好ましく、3以下がさらに好ましい。
( R4e )
In formula (Z2) above, R 4e represents an optionally substituted alkylene group.
Alkylene groups include linear, branched and cyclic alkylene groups. The number of carbon atoms is usually 1 or more, preferably 2 or more, preferably 6 or less, more preferably 4 or less, and even more preferably 3 or less.

アルキレン基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、プロピレン基、ブチレン基等が挙げられる。これらの中でもエチレン基が好ましい。
また、アルキレン基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられる。
Specific examples of the alkylene group include methylene group, ethylene group, propylene group, propylene group, and butylene group. Among these, an ethylene group is preferred.
Examples of substituents that the alkylene group may have include a methoxy group, an ethoxy group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, a hydroxy group, an amino group, an epoxy group, an oligoethylene glycol group, a phenyl group, and a carboxyl group. , an acryloyl group, a methacryloyl group, and the like.

これらの中でも、R4eがエチレン基であることが好ましい。 Among these, R 4e is preferably an ethylene group.

(R5e
前記式(Z2)において、置換基を有していてもよいアルキル基を表す。
アルキル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が挙げられる。その炭素数は、4以上であることが好ましく、5以上であることがより好ましく、7以上であることがさらに好ましく、また、15以下であることが好ましく、10以下であることがより好ましく、9以下であることがさらに好ましい。
( R5e )
In the formula (Z2), represents an optionally substituted alkyl group.
Alkyl groups include linear, branched or cyclic alkyl groups. The number of carbon atoms is preferably 4 or more, more preferably 5 or more, further preferably 7 or more, preferably 15 or less, more preferably 10 or less, It is more preferably 9 or less.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプシル基、オクチル基、ノニル基等が挙げられる。
また、アルキル基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられる。
これらの中でもテーパー形状の観点から、R5eがヘプチル基、オクチル基、ノニル基であることが好ましい。
Specific examples of alkyl groups include methyl, ethyl, propyl, butyl, pentyl, hexyl, heptyl, octyl and nonyl groups.
Examples of substituents that the alkyl group may have include methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligoethylene glycol group, phenyl group, and carboxyl group. , an acryloyl group, a methacryloyl group, and the like.
Among these, R 5e is preferably a heptyl group, an octyl group, or a nonyl group from the viewpoint of a tapered shape.

(R6e
前記式(Z3)において、R6eは置換基を有していてもよいアルキレン基を表す。
アルキレン基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキレン基が挙げられる。その炭素数は通常1以上であり、2以上が好ましく、また6以下が好ましく、4以下がより好ましく、3以下がさらに好ましい。
( R6e )
In formula (Z3), R 6e represents an optionally substituted alkylene group.
Alkylene groups include linear, branched and cyclic alkylene groups. The number of carbon atoms is usually 1 or more, preferably 2 or more, preferably 6 or less, more preferably 4 or less, and even more preferably 3 or less.

アルキレン基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、プロピレン基、ブチレン基等が挙げられる。これらの中でもエチレン基が好ましい。
また、アルキレン基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられる。
Specific examples of the alkylene group include methylene group, ethylene group, propylene group, propylene group, and butylene group. Among these, an ethylene group is preferred.
Examples of substituents that the alkylene group may have include a methoxy group, an ethoxy group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, a hydroxy group, an amino group, an epoxy group, an oligoethylene glycol group, a phenyl group, and a carboxyl group. , an acryloyl group, a methacryloyl group, and the like.

これらの中でもテーパー形状の観点から、R1eがtert-ブチル基、R2eが前記式(Z2)で表される基(ただしR4eがエチレン基、及びR5eが炭素数7~9のアルキル基)、R3eが水素原子である化合物、又はR1eが水素原子、R2eが前記式(Z3)で表される基(ただしR6eがエチレン基、及びR7eがメチル基)、R3eが水素原子である化合物が好ましく、R1eがtert-ブチル基、R2eが前記式(Z2)で表される基(ただしR4eがエチレン基、及びR5eが炭素数7~9のアルキル基)、R3eが水素原子である化合物がより好ましい。 Among these, from the viewpoint of the tapered shape, R 1e is a tert-butyl group, R 2e is a group represented by the formula (Z2) (provided that R 4e is an ethylene group, and R 5e is an alkyl group having 7 to 9 carbon atoms) ), a compound in which R 3e is a hydrogen atom, or R 1e is a hydrogen atom, R 2e is a group represented by the formula (Z3) (provided that R 6e is an ethylene group and R 7e is a methyl group), R 3e is A compound having a hydrogen atom is preferable, and R 1e is a tert-butyl group and R 2e is a group represented by the above formula (Z2) (provided that R 4e is an ethylene group and R 5e is an alkyl group having 7 to 9 carbon atoms). , R 3e are hydrogen atoms.

ベンゾトリアゾール系化合物の具体例としては、2-(5メチル-2-ヒドロキシフェニル)ベンゾトリアゾール、2-(2-ヒドロキシ-5-t-ブチルフェニル)-2H-ベンゾトリアゾール、オクチル-3[3-tert-ブチル-4-ヒドロキシ-5-(5-クロロ-2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)フェニル]プロピオネートと2-エチルヘキシル-3-[3-tert-ブチル-4-ヒドロキシ-5-(5-クロロ-2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)フェニル]プロピオネートの混合物、2-[2-ヒドロキシ-3,5-ビス(α,α-ジメチルベンジル)フェニル]-2H-ベンゾトリアゾール、2-(3-tブチル-5-メチル-2-ヒドロキシフェニル)-5-クロロベンゾトリアゾール、2-(3,5-ジ-t-アミル-2-ヒドロキシフェニル)ベンゾトリアゾール、2-(2’-ヒドロキシ-5’-t-オクチルフェニル)ベンゾトリアゾール、ベンゼンプロパン酸,3-(2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)-(1,1-ジメチルエチル)-4-ヒドロキシ,C7-9側鎖及び直鎖アルキルエステルの化合物、2-(2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)-4,6-ビス(1-メチル-1-フェニルエチル)フェノール、2-(2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)-6-(1-メチル-1-フェニルエチル)-4-(1,1,3,3-テトラメチルブチル)フェノール、が挙げられる。これらの中でも、テーパー角と露光感度の観点から、3-(2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)-(1,1-ジメチルエチル)-4-ヒドロキシ,C7-9側鎖及び直鎖アルキルエステルの化合物が好ましい。 Specific examples of benzotriazole compounds include 2-(5methyl-2-hydroxyphenyl)benzotriazole, 2-(2-hydroxy-5-t-butylphenyl)-2H-benzotriazole, octyl-3[3- tert-butyl-4-hydroxy-5-(5-chloro-2H-benzotriazol-2-yl)phenyl]propionate and 2-ethylhexyl-3-[3-tert-butyl-4-hydroxy-5-(5- A mixture of chloro-2H-benzotriazol-2-yl)phenyl]propionate, 2-[2-hydroxy-3,5-bis(α,α-dimethylbenzyl)phenyl]-2H-benzotriazole, 2-(3- t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl)-5-chlorobenzotriazole, 2-(3,5-di-t-amyl-2-hydroxyphenyl)benzotriazole, 2-(2'-hydroxy-5' -t-octylphenyl)benzotriazole, benzenepropanoic acid, 3-(2H-benzotriazol-2-yl)-(1,1-dimethylethyl)-4-hydroxy, C7-9 side chain and linear alkyl esters of compound, 2-(2H-benzotriazol-2-yl)-4,6-bis(1-methyl-1-phenylethyl)phenol, 2-(2H-benzotriazol-2-yl)-6-(1- methyl-1-phenylethyl)-4-(1,1,3,3-tetramethylbutyl)phenol. Among these, from the viewpoint of taper angle and exposure sensitivity, 3-(2H-benzotriazol-2-yl)-(1,1-dimethylethyl)-4-hydroxy, C7-9 side chain and linear alkyl ester Compounds are preferred.

市販されているベンゾトリアゾール系化合物としては例えば、スミソーブ200、スミソーブ250、スミソーブ300、スミソーブ340、スミソーブ350(住友化学社製)、JF77、JF78、JF79、JF80、JF83(城北化学工業社製)、TINUVIN PS、TINUVIN99-2、TINUVIN109、TINUVIN384-2、TINUVIN 326、TINUVIN900、「TINUVIN 928」、TINUVIN928、TINUVIN1130(BASF社製)、EVERSORB70、EVERSORB71、EVERSORB72、EVERSORB73、EVERSORB74、EVERSORB75、EVERSORB76、EVERSORB234、EVERSORB77、EVERSORB78、EVERSORB80、EVERSORB81(台湾永光化学工業社製)、トミソーブ100、トミソーブ600(エーピーアイコーポレーション社製)、SEESORB701、SEESORB702、SEESORB703、SEESORB704、SEESORB706、SEESORB707、SEESORB709(シプロ化成社製)、RUVA-93(大塚化学社製)などが挙げられる。 Examples of commercially available benzotriazole compounds include Sumisorb 200, Sumisorb 250, Sumisorb 300, Sumisorb 340, Sumisorb 350 (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), JF77, JF78, JF79, JF80, JF83 (manufactured by Johoku Chemical Co., Ltd.), TINUVIN PS、TINUVIN99-2、TINUVIN109、TINUVIN384-2、TINUVIN 326、TINUVIN900、「TINUVIN 928」、TINUVIN928、TINUVIN1130(BASF社製)、EVERSORB70、EVERSORB71、EVERSORB72、EVERSORB73、EVERSORB74、EVERSORB75、EVERSORB76、EVERSORB234、EVERSORB77、 EVERSORB78, EVERSORB80, EVERSORB81 (manufactured by Taiwan Eikoh Chemical Co., Ltd.), Tomisorb 100, Tomisorb 600 (manufactured by API Corporation), SEESORB701, SEESORB702, SEESORB703, SEESORB704, SEESORB706, SEESORB707, SEESORB70SEE (manufactured by PROC) (manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd.).

トリアジン系化合物としては、2-[4,6-ジ(2,4-キシリル)-1,3,5-トリアジン-2-イル]-5-オクチルオキシフェノール、2‐[4,6‐ビス(2,4‐ジメチルフェニル)‐1,3,5‐トリアジン‐2‐イル]‐5‐[3‐(ドデシルオキシ)‐2‐ヒドロキシプロポキシ]フェノール、2-(2,4-ジヒドロキシフェニル)-4,6-ビス(2,4-ジメチルフェニル)-1,3,5-トリアジンと(2-エチルヘキシル-グリシド酸エステルの反応生成物、2,4-ビス「2-ヒドロキシ-4-ブトキシフェニル」-6-(2,4-ジブトキシフェニル)-1,3-5-トリアジン等が挙げられる。これらの中でも、テーパー角と露光感度の観点から、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物が好ましい。
市販されているトリアジン系化合物としては例えば、TINUVIN400、TINUVIN405、TINUVIN460、TINUVIN477、TINUVIN479(BASF社製)などを挙げることができる。
Triazine compounds include 2-[4,6-di(2,4-xylyl)-1,3,5-triazin-2-yl]-5-octyloxyphenol, 2-[4,6-bis( 2,4-dimethylphenyl)-1,3,5-triazin-2-yl]-5-[3-(dodecyloxy)-2-hydroxypropoxy]phenol, 2-(2,4-dihydroxyphenyl)-4 2,4-bis "2-hydroxy-4-butoxyphenyl"- 6-(2,4-dibutoxyphenyl)-1,3-5-triazine, etc. Among these, hydroxyphenyltriazine compounds are preferred from the viewpoint of taper angle and exposure sensitivity.
Commercially available triazine compounds include, for example, TINUVIN400, TINUVIN405, TINUVIN460, TINUVIN477, and TINUVIN479 (manufactured by BASF).

その他の紫外線吸収剤としては、例えば、スミソーブ130(住友化学社製)、EVERSORB10、EVERSORB11、EVERSORB12(台湾永光化学工業社製)、トミソーブ800(エーピーアイコーポレーション社製)、SEESORB100、SEESORB101、SEESORB101S、SEESORB102、SEESORB103、SEESORB105、SEESORB106、SEESORB107、SEESORB151(シプロ化成社製)などのベンゾフェノン化合物;スミソーブ400(住友化学社製)、サリチル酸フェニルなどのベンゾエート化合物;桂皮酸2-エチルヘキシル、パラメトキシ桂皮酸2-エチルヘキシル、メトキシケイ皮酸イソプロピル、メトキシケイ皮酸イソアミル等の桂皮酸誘導体;α-ナフトール、β-ナフトール、α-ナフトールメチルエーテル、α-ナフトールエチルエーテル、1,2-ジヒドロキシナフタレン、1,3-ジヒドロキシナフタレン、1,4-ジヒドロキシナフタレン、1,5-ジヒドロキシナフタレン、1,6-ジヒドロキシナフタレン、1,7-ジヒドロキシナフタレン、1,8-ジヒドロキシナフタレン、2,3-ジヒドロキシナフタレン、2,6-ジヒドロキシナフタレン、2,7-ジヒドロキシナフタレン等のナフタレン誘導体;アントラセン、9,10-ジヒドロキシアントラセン等のアントラセン及びその誘導体;アゾ系染料、ベンゾフェノン系染料、アミノケトン系染料、キノリン系染料、アントラキノン系染料、ジフェニルシアノアクリレート系染料、トリアジン系染料、p-アミノ安息香酸系染料等の染料;等が挙げられる。これらの中でも、露光感度の観点から、桂皮酸誘導体、ナフタレン誘導体を用いることが好ましく、桂皮酸誘導体を用いることが特に好ましい。 Other UV absorbers include, for example, Sumisorb 130 (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), EVERSORB10, EVERSORB11, EVERSORB12 (manufactured by Taiwan Eikoh Chemical Co., Ltd.), Tomisorb 800 (manufactured by API Corporation), SEESORB100, SEESORB101, SEESORB101S, SEESORB102. , SEESORB103, SEESORB105, SEESORB106, SEESORB107, SEESORB151 (manufactured by Shipro Kasei) and other benzophenone compounds; Sumisorb 400 (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), benzoate compounds such as phenyl salicylate; 2-ethylhexyl cinnamate, 2-ethylhexyl paramethoxycinnamate, Cinnamic acid derivatives such as isopropyl methoxycinnamate and isoamyl methoxycinnamate; , 1,4-dihydroxynaphthalene, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 1,7-dihydroxynaphthalene, 1,8-dihydroxynaphthalene, 2,3-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, Naphthalene derivatives such as 2,7-dihydroxynaphthalene; anthracene and its derivatives such as anthracene and 9,10-dihydroxyanthracene; azo dyes, benzophenone dyes, aminoketone dyes, quinoline dyes, anthraquinone dyes, diphenylcyanoacrylate Dyes such as dyes, triazine dyes and p-aminobenzoic acid dyes; Among these, from the viewpoint of exposure sensitivity, cinnamic acid derivatives and naphthalene derivatives are preferred, and cinnamic acid derivatives are particularly preferred.

本発明の感光性樹脂組成物が紫外線吸収剤を含有する場合、その含有割合は特に限定されないが、全固形分中に通常0.01質量%以上、好ましくは0.05質量%以上、より好ましくは0.1質量%以上、さらに好ましくは0.5質量%以上、特に好ましくは1質量%以上であり、また、通常15質量%以下、好ましくは10質量%以下、より好ましくは5質量%以下、さらに好ましくは3質量%以下である。前記下限値以上とすることでテーパー角が大きくなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで高感度となる傾向がある。 When the photosensitive resin composition of the present invention contains an ultraviolet absorber, the content is not particularly limited, but usually 0.01% by mass or more, preferably 0.05% by mass or more, more preferably 0.05% by mass or more in the total solid content is 0.1% by mass or more, more preferably 0.5% by mass or more, particularly preferably 1% by mass or more, and is usually 15% by mass or less, preferably 10% by mass or less, more preferably 5% by mass or less , more preferably 3% by mass or less. The taper angle tends to increase when the lower limit value or more is used, and the sensitivity tends to be high when the upper limit value or less is used.

また、(C)光重合開始剤に対する配合比としては、(C)光重合開始剤100質量部に対する紫外線吸収剤の配合量として、通常1質量部以上、好ましくは10質量部以上、より好ましくは30質量部以上、さらに好ましくは50質量部以上、特に好ましくは80質量部以上であり、通常500質量部以下、好ましくは300質量部以下、より好ましくは200質量部以下、さらに好ましくは150質量部以下である。前記下限値以上とすることでテーパー角が大きくなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで高感度となる傾向がある。 In addition, the blending ratio of (C) to the photopolymerization initiator is usually 1 part by mass or more, preferably 10 parts by mass or more, more preferably 10 parts by mass or more, as the blending amount of the ultraviolet absorber with respect to 100 parts by mass of the photopolymerization initiator (C). 30 parts by mass or more, more preferably 50 parts by mass or more, particularly preferably 80 parts by mass or more, usually 500 parts by mass or less, preferably 300 parts by mass or less, more preferably 200 parts by mass or less, further preferably 150 parts by mass It is below. The taper angle tends to increase when the lower limit value or more is used, and the sensitivity tends to be high when the upper limit value or less is used.

[1-1-7]重合禁止剤
本発明の感光性樹脂組成物は、重合禁止剤を含有してもよい。重合禁止剤を含有することでそれがラジカル重合を阻害することから、得られる隔壁のテーパー角を大きくすることができると考えられる。
重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、メチルハイドロキノン、メトキシフェノール、2,6-ジ-tert-ブチル-4-クレゾール(BHT)などが挙げられる。これらの中でも重合禁止能力の観点から、メチルハイドロキノン又はメトキシフェノールが好ましく、メチルハイドロキノンがより好ましい。
[1-1-7] Polymerization Inhibitor The photosensitive resin composition of the present invention may contain a polymerization inhibitor. It is thought that the inclusion of a polymerization inhibitor inhibits radical polymerization, and thus the taper angle of the obtained partition walls can be increased.
Polymerization inhibitors include hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, methylhydroquinone, methoxyphenol, 2,6-di-tert-butyl-4-cresol (BHT) and the like. Among these, methylhydroquinone or methoxyphenol is preferred, and methylhydroquinone is more preferred, from the viewpoint of the ability to inhibit polymerization.

重合禁止剤は、1種又は2種以上を含有することが好ましい。通常、(B)アルカリ可溶性樹脂を製造する際に、当該樹脂中に重合禁止剤が含まれることがあり、それを本発明の重合禁止剤として用いてもよいし、樹脂中に重合禁止剤の他に、それと同一、又は異なる重合禁止剤を感光性樹脂組成物製造時に添加してもよい。 It is preferable to contain one or more polymerization inhibitors. Normally, when producing the (B) alkali-soluble resin, the resin may contain a polymerization inhibitor, which may be used as the polymerization inhibitor of the present invention. In addition, the same or different polymerization inhibitor may be added during the production of the photosensitive resin composition.

感光性樹脂組成物が重合禁止剤を含有する場合、その含有割合は特に限定されないが、感光性樹脂組成物の全固形分中に通常0.0005質量%以上、好ましくは0.001質量%以上、より好ましくは0.01質量%以上であり、また通常0.3質量%以下、好ましくは0.2質量%以下、より好ましくは0.1質量%以下である。前記下限値以上とすることでテーパー角を高くすることができる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで高感度を保つことができる傾向がある。 When the photosensitive resin composition contains a polymerization inhibitor, the content ratio is not particularly limited, but usually 0.0005% by mass or more, preferably 0.001% by mass or more in the total solid content of the photosensitive resin composition , more preferably 0.01% by mass or more, and usually 0.3% by mass or less, preferably 0.2% by mass or less, and more preferably 0.1% by mass or less. The taper angle tends to be increased by making it equal to or greater than the lower limit, and the high sensitivity tends to be maintained by making it equal to or less than the upper limit.

[1-1-8]アミノ化合物
本発明の感光性樹脂組成物には、熱硬化を促進するためにアミノ化合物が含まれていてもよい。感光性樹脂組成物がアミノ化合物を含む場合、その含有割合は特に限定されないが、感光性樹脂組成物の全固形分中に通常40質量%以下、好ましくは30質量%以下である。また、通常0.5質量%以上、好ましくは1質量%以上である。前記上限値以下とすることで保存安定性を維持できる傾向があり、前記下限値以上とすることで十分な熱硬化性を確保できる傾向がある。
[1-1-8] Amino Compound The photosensitive resin composition of the present invention may contain an amino compound in order to accelerate thermosetting. When the photosensitive resin composition contains an amino compound, its content is not particularly limited, but is usually 40% by mass or less, preferably 30% by mass or less, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. Moreover, it is usually 0.5% by mass or more, preferably 1% by mass or more. When the content is equal to or less than the upper limit, storage stability tends to be maintained, and when the content is equal to or greater than the lower limit, sufficient thermosetting property tends to be ensured.

アミノ化合物としては、例えば、官能基としてメチロール基、それを炭素数1~8のアルコール縮合変性したアルコキシメチル基を少なくとも2個有するアミノ化合物が挙げられる。具体的には、例えば、メラミンとホルムアルデヒドとを重縮合させたメラミン樹脂;ベンゾグアナミンとホルムアルデヒドとを重縮合させたベンゾグアナミン樹脂;グリコールウリルとホルムアルデヒドとを重縮合させたグリコールウリル樹脂;尿素とホルムアルデヒドとを重縮合させた尿素樹脂;メラミン、ベンゾグアナミン、グリコールウリル、又は尿素などの2種以上とホルムアルデヒドとを共重縮合させた樹脂;上述の樹脂のメチロール基をアルコール縮合変性した変性樹脂などが挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。アミノ化合物としては中でも、メラミン樹脂およびその変性樹脂が好ましく、メチロール基の変性割合が、70%以上の変性樹脂が更に好ましく、80%以上の変性樹脂が特に好ましい。 Examples of amino compounds include amino compounds having a methylol group as a functional group and at least two alkoxymethyl groups obtained by subjecting the methylol group to condensation-denaturation with an alcohol having 1 to 8 carbon atoms. Specifically, for example, melamine resin obtained by polycondensation of melamine and formaldehyde; benzoguanamine resin obtained by polycondensation of benzoguanamine and formaldehyde; glycoluril resin obtained by polycondensation of glycoluril and formaldehyde; Examples include polycondensed urea resins; resins obtained by co-polycondensing two or more of melamine, benzoguanamine, glycoluril, or urea with formaldehyde; and modified resins obtained by modifying the methylol groups of the above resins by alcohol condensation. These may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together. Of these amino compounds, melamine resins and modified resins thereof are preferred, modified resins having a modified ratio of methylol groups of 70% or more are more preferred, and modified resins having a modified ratio of methylol groups of 80% or more are particularly preferred.

上記アミノ化合物の具体例として、メラミン樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「サイメル」(登録商標)300、301、303、350、736、738、370、771、325、327、703、701、266、267、285、232、235、238、1141、272、254、202、1156、1158、および、三和ケミカル社製の「ニカラック」(登録商標)MW-390、MW-100LM、MX-750LM、MW-30M、MX-45、MX-302などが挙げられる。また、上記ベンゾグアナミン樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「サイメル」(登録商標)1123、1125、1128などが挙げられる。また、上記グリコールウリル樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「サイメル」(登録商標)1170、1171、1174、1172、および、三和ケミカル社製の「ニカラック」(登録商標)MX-270などが挙げられる。また、上記尿素樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「UFR」(登録商標)65、300、および、三和ケミカル社製の「ニカラック」(登録商標)MX-290などが挙げられる。 Specific examples of the amino compounds include melamine resins and modified resins thereof; 703, 701, 266, 267, 285, 232, 235, 238, 1141, 272, 254, 202, 1156, 1158, and "Nikalac" (registered trademark) MW-390, MW-100LM manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd. , MX-750LM, MW-30M, MX-45, MX-302 and the like. Examples of the benzoguanamine resin and its modified resin include Cymel (registered trademark) 1123, 1125 and 1128 manufactured by Cytech. Examples of the glycoluril resin and modified resin thereof include "Cymel" (registered trademark) 1170, 1171, 1174, and 1172 manufactured by Cytec Co., Ltd., and "Nikalac" (registered trademark) MX manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd. -270 and the like. Examples of the urea resin and its modified resin include "UFR" (registered trademark) 65, 300 manufactured by Cytec Co., Ltd., and "Nikalac" (registered trademark) MX-290 manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd. be done.

[1-1-9]着色剤
本発明の感光性樹脂組成物には、隔壁を着色させる等の目的で、着色剤が含まれていてもよい。着色剤としては、顔料、染料等公知の着色剤を用いることができる。また、顔料を用いる際には例えば、その顔料が凝集したりせずに安定して感光性樹脂組成物中に存在できるように、公知の分散剤や分散助剤が併用されてもよい。
特に撥インク性の隔壁を黒色に着色することで、鮮明な画素表示が得られる効果があることから、黒色着色剤を使用することが好ましい。黒色着色剤としては黒色染料や黒色顔料、カーボンブラック、チタンブラックなどの他、有機黒色顔料が挙げられる。その他に、低導電性の観点からは、複数種の有機着色顔料を混合させて黒色着色剤としたものを用いることも好ましい。
[1-1-9] Colorant The photosensitive resin composition of the invention may contain a colorant for the purpose of coloring the partition walls. As the coloring agent, known coloring agents such as pigments and dyes can be used. Further, when using a pigment, for example, a known dispersant or dispersing aid may be used in combination so that the pigment can stably exist in the photosensitive resin composition without aggregating.
In particular, it is preferable to use a black colorant because it is effective to obtain a clear pixel display by coloring the ink-repellent partition walls black. Examples of black colorants include black dyes, black pigments, carbon black, titanium black, and organic black pigments. In addition, from the viewpoint of low conductivity, it is also preferable to use a black colorant obtained by mixing a plurality of kinds of organic color pigments.

本発明の感光性樹脂組成物が着色剤を含有する場合、その含有割合は特に限定されないが、製版性と色特性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分中に、通常60質量%以下、好ましくは40質量%以下である。
一方で、隔壁からのアウトガスを低減させる目的の場合、着色剤又は分散剤等に由来するアウトガスを抑制する観点からは、隔壁中の着色剤成分を少なくするのが望ましく、その場合の着色剤の含有割合は、感光性樹脂組成物の全固形分中に、10質量%以下が好ましく、5質量%以下がより好ましく、0質量%が特に好ましい。
When the photosensitive resin composition of the present invention contains a coloring agent, the content is not particularly limited, but from the viewpoint of plate-making properties and color characteristics, the total solid content of the photosensitive resin composition is usually 60% by mass. Below, preferably 40% by mass or less.
On the other hand, when the purpose is to reduce the outgassing from the partition walls, it is desirable to reduce the colorant component in the partition walls from the viewpoint of suppressing the outgassing derived from the colorant or the dispersant. The content is preferably 10% by mass or less, more preferably 5% by mass or less, and particularly preferably 0% by mass, based on the total solid content of the photosensitive resin composition.

[1-1-10]塗布性向上剤、現像改良剤
本発明の感光性樹脂組成物には、塗布性や現像溶解性を向上するために塗布性向上剤や現像改良剤が含まれていてもよい。塗布性向上剤あるいは現像改良剤としては、例えば公知の、カチオン性、アニオン性、ノニオン性、フッ素系、シリコーン系界面活性剤を用いることができる。界面活性剤は、感光性樹脂組成物の塗布液としての塗布性、および塗布膜の現像性の向上などを目的として用いることができ、中でもフッ素系又はシリコーン系の界面活性剤が好ましい。
特に、現像の際、未露光部から感光性樹脂組成物の残渣を除去する作用があり、また、濡れ性を発現する機能を有することから、シリコーン系界面活性剤が好ましく、ポリエーテル変性シリコーン系界面活性剤がさらに好ましい。
[1-1-10] Coatability improver, development improver The photosensitive resin composition of the present invention contains a coatability improver and a development improver to improve the coatability and development solubility. good too. Known cationic, anionic, nonionic, fluorine-based and silicone-based surfactants can be used as coatability improvers or development improvers. Surfactants can be used for the purpose of improving the applicability of the photosensitive resin composition as a coating liquid and the developability of the coating film. Among them, fluorine-based or silicone-based surfactants are preferred.
In particular, during development, there is an action to remove the residue of the photosensitive resin composition from the unexposed area, also, since it has a function to express the wettability, silicone-based surfactants are preferable, polyether-modified silicone-based Surfactants are more preferred.

フッ素系界面活性剤としては、末端、主鎖および側鎖の少なくとも何れかの部位にフルオロアルキル又はフルオロアルキレン基を有する化合物が好適である。具体的には、1,1,2,2-テトラフロロオクチル(1,1,2,2-テトラフロロプロピル)エーテル、1,1,2,2-テトラフロロオクチルヘキシルエーテル、オクタエチレングリコールジ(1,1,2,2-テトラフロロブチル)エーテル、ヘキサエチレングリコールジ(1,1,2,2,3,3-ヘキサフロロペンチル)エーテル、オクタプロピレングリコールジ(1,1,2,2-テトラフロロブチル)エーテル、ヘキサプロピレングリコールジ(1,1,2,2,3,3-ヘキサフロロペンチル)エーテル、パーフロロドデシルスルホン酸ナトリウム、1,1,2,2,8,8,9,9,10,10-デカフロロドデカン、1,1,2,2,3,3-ヘキサフロロデカンなどを挙げることができる。これらの市販品としては、例えば、BM Chemie社製「BM-1000」、「BM-1100」、DIC社製「メガファックF470」、「メガファックF475」、スリーエムジャパン社製「FC430」、ネオス社製「DFX-18」などを挙げることができる。 Compounds having a fluoroalkyl or fluoroalkylene group on at least one of the terminal, main chain and side chain are suitable as the fluorosurfactant. Specifically, 1,1,2,2-tetrafluorooctyl (1,1,2,2-tetrafluoropropyl) ether, 1,1,2,2-tetrafluorooctylhexyl ether, octaethylene glycol di( 1,1,2,2-tetrafluorobutyl) ether, hexaethylene glycol di(1,1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether, octapropylene glycol di(1,1,2,2- tetrafluorobutyl) ether, hexapropylene glycol di(1,1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether, sodium perfluorododecylsulfonate, 1,1,2,2,8,8,9, Examples include 9,10,10-decafluorododecane, 1,1,2,2,3,3-hexafluorodecane, and the like. These commercial products include, for example, "BM-1000" and "BM-1100" manufactured by BM Chemie, "Megafac F470" and "Megafac F475" manufactured by DIC, "FC430" manufactured by 3M Japan, and Neos. "DFX-18" manufactured by K.K.

また、シリコーン系界面活性剤としては、例えば、東レ・ダウコーニング社製「DC3PA」、「SH7PA」、「DC11PA」、「SH21PA」、「SH28PA」、「SH29PA」、「8032Additive」、「SH8400」、ビックケミー社製「BYK323」、「BYK330」などの市販品を挙げることができる。
界面活性剤として、フッ素系界面活性剤及びシリコーン系界面活性剤以外のものを含んでいてもよく、その他、界面活性剤としては、ノニオン性、アニオン性、カチオン性、両性界面活性剤などが挙げられる。
Examples of silicone surfactants include "DC3PA", "SH7PA", "DC11PA", "SH21PA", "SH28PA", "SH29PA", "8032Additive" and "SH8400" manufactured by Dow Corning Toray Co., Ltd. Commercial products such as "BYK323" and "BYK330" manufactured by BYK-Chemie can be mentioned.
Surfactants other than fluorine-based surfactants and silicone-based surfactants may be included, and other surfactants include nonionic, anionic, cationic, and amphoteric surfactants. be done.

上記ノニオン性界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルエステル類、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル類、グリセリン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレングリセリン脂肪酸エステル類、ペンタエリスリット脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンペンタエリスリット脂肪酸エステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル類、ソルビット脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンソルビット脂肪酸エステル類などが挙げられる。これらの市販品としては、例えば、花王社製の「エマルゲン104P」、「エマルゲンA60」などのポリオキシエチレン系界面活性剤などが挙げられる。 Examples of the nonionic surfactants include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene polyoxypropylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkylphenyl ethers, polyoxyethylene alkyl esters, polyoxyethylene fatty acid esters, Glycerin fatty acid esters, polyoxyethylene glycerin fatty acid esters, pentaerythrityl fatty acid esters, polyoxyethylene pentaerythritic fatty acid esters, sorbitan fatty acid esters, polyoxyethylene sorbitan fatty acid esters, sorbit fatty acid esters, polyoxy Ethylene sorbite fatty acid esters and the like can be mentioned. Examples of these commercially available products include polyoxyethylene-based surfactants such as "Emulgen 104P" and "Emulgen A60" manufactured by Kao Corporation.

また、上記アニオン性界面活性剤としては、例えば、アルキルスルホン酸塩類、アルキルベンゼンスルホン酸塩類、アルキルナフタレンスルホン酸塩類、ポリオキシエチレンアルキルエーテルスルホン酸塩類、アルキル硫酸塩類、アルキル硫酸エステル塩類、高級アルコール硫酸エステル塩類、脂肪族アルコール硫酸エステル塩類、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル硫酸塩類、アルキル燐酸エステル塩類、ポリオキシエチレンアルキルエーテル燐酸塩類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル燐酸塩類、特殊高分子系界面活性剤などが挙げられる。中でも、特殊高分子系界面活性剤が好ましく、特殊ポリカルボン酸型高分子系界面活性剤がさらに好ましい。このようなアニオン性界面活性剤としては市販品を用いることができ、例えば、アルキル硫酸エステル塩類では、花王社製「エマール10」等、アルキルナフタレンスルホン酸塩類では花王社製「ペレックスNB-L」など、特殊高分子系界面活性剤では花王社製「ホモゲノールL-18」、「ホモゲノールL-100」などが挙げられる。 Examples of the anionic surfactant include alkylsulfonates, alkylbenzenesulfonates, alkylnaphthalenesulfonates, polyoxyethylene alkylethersulfonates, alkylsulfates, alkylsulfates, and higher alcohol sulfuric acid. Ester salts, fatty alcohol sulfate ester salts, polyoxyethylene alkyl ether sulfates, polyoxyethylene alkyl phenyl ether sulfates, alkyl phosphate ester salts, polyoxyethylene alkyl ether phosphates, polyoxyethylene alkyl phenyl ether phosphates, special Examples include polymeric surfactants. Among them, a special polymeric surfactant is preferable, and a special polycarboxylic acid type polymeric surfactant is more preferable. As such anionic surfactants, commercially available products can be used. For example, for alkyl sulfate ester salts, "Emal 10" manufactured by Kao Corporation, etc., and for alkylnaphthalene sulfonates, "Pelex NB-L" manufactured by Kao Corporation. As special polymeric surfactants, Kao Corporation's "Homogenol L-18" and "Homogenol L-100" can be mentioned.

さらに、上記カチオン性界面活性剤としては、第4級アンモニウム塩類、イミダゾリン誘導体類、アルキルアミン塩類などが、また、両性界面活性剤としては、ベタイン型化合物類、イミダゾリウム塩類、イミダゾリン類、アミノ酸類などが挙げられる。これらのうち、第4級アンモニウム塩類が好ましく、ステアリルトリメチルアンモニウム塩類がさらに好ましい。市販のものとしては、例えば、アルキルアミン塩類では花王社製「アセタミン24」など、第4級アンモニウム塩類では花王社製「コータミン24P」、「コータミン86W」などが挙げられる。
また、界面活性剤は2種類以上の組み合わせで用いてもよく、例えば、シリコーン系界面活性剤/フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤/特殊高分子系界面活性剤、フッ素系界面活性剤/特殊高分子系界面活性剤の組み合わせなどが挙げられる。中でも、シリコーン系界面活性剤/フッ素系界面活性剤の組み合わせが好ましい。このシリコーン系界面活性剤/フッ素系界面活性剤の組み合わせでは、例えば、/ネオス社製「DFX-18」、ビックケミー社製「BYK-300」又は「BYK-330」/AGCセイミケミカル社製「S-393」、信越シリコーン社製「KP340」/DIC社製「メガファックF-478」又は「メガファックF-475」、東レ・ダウコーニング社製「SH7PA」/ダイキン社製「DS-401」、NUC社製「L-77」/スリーエムジャパン社製「FC4430」などが挙げられる。
Furthermore, examples of cationic surfactants include quaternary ammonium salts, imidazoline derivatives, and alkylamine salts, and examples of amphoteric surfactants include betaine compounds, imidazolium salts, imidazolines, and amino acids. etc. Among these, quaternary ammonium salts are preferred, and stearyltrimethylammonium salts are more preferred. Commercially available alkylamine salts include, for example, "Acetamine 24" manufactured by Kao Corporation, and quaternary ammonium salts such as "Cortamine 24P" and "Cortamine 86W" manufactured by Kao Corporation.
In addition, two or more surfactants may be used in combination. For example, silicone surfactant/fluorosurfactant, silicone surfactant/special polymer surfactant, fluorine surfactant / A combination of special polymeric surfactants. Among them, a combination of silicone surfactant/fluorosurfactant is preferable. In this combination of silicone surfactant / fluorosurfactant, for example, "DFX-18" manufactured by Neos, "BYK-300" or "BYK-330" manufactured by BYK Chemie / "S -393”, “KP340” manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd. / “Megafac F-478” or “Megafac F-475” manufactured by DIC, “SH7PA” manufactured by Dow Corning Toray / “DS-401” manufactured by Daikin, "L-77" manufactured by NUC and "FC4430" manufactured by 3M Japan.

また、界面活性剤を用いる場合、その含有割合は、感光性樹脂組成物中の全固形分中に通常0.001~10質量%、好ましくは0.005~1質量%、さらに好ましくは0.01~0.5質量%、最も好ましくは0.03~0.3質量%である。界面活性剤の含有割合を前記下限値以上とすることで塗布膜の平滑性、均一性が発現しやすい傾向があり、前記上限値以下とすることで塗布膜の平滑性、均一性が発現しやすく、他の特性の悪化も抑制できる傾向がある。 Further, when a surfactant is used, its content is usually 0.001 to 10% by mass, preferably 0.005 to 1% by mass, more preferably 0.005 to 1% by mass, based on the total solid content in the photosensitive resin composition. 01 to 0.5% by weight, most preferably 0.03 to 0.3% by weight. When the surfactant content is equal to or higher than the lower limit, the coating film tends to exhibit smoothness and uniformity, and when the content is equal to or lower than the upper limit, the coating film exhibits smoothness and uniformity. It tends to be easy and suppress the deterioration of other properties.

[1-1-11]シランカップリング剤
本発明の感光性樹脂組成物には、基板との密着性を改善するため、シランカップリング剤を添加することも好ましい。シランカップリング剤の種類としては、エポキシ系、メタクリル系、アミノ系、イミダゾール系など種々の物が使用できるが、密着性向上の観点から、特にエポキシ系、イミダゾール系のシランカップリング剤が好ましい。その含有割合は、密着性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分中に通常20質量%以下、好ましくは15質量%以下である。
[1-1-11] Silane Coupling Agent It is also preferable to add a silane coupling agent to the photosensitive resin composition of the invention in order to improve the adhesion to the substrate. Various types of silane coupling agents such as epoxy, methacrylic, amino, and imidazole can be used. From the viewpoint of improving adhesion, epoxy and imidazole silane coupling agents are particularly preferred. From the viewpoint of adhesion, the content is usually 20% by mass or less, preferably 15% by mass or less in the total solid content of the photosensitive resin composition.

[1-1-12]リン酸系密着向上剤
本発明の感光性樹脂組成物には、基板との密着性を改善するため、リン酸系密着向上剤を添加することも好ましい。リン酸系密着向上剤としては、(メタ)アクリロイルオキシ基含有ホスフェート類が好ましく、中でも下記一般式(Va)、(Vb)、(Vc)で表されるものが好ましい。
[1-1-12] Phosphoric Acid-Based Adhesion Improver It is also preferable to add a phosphoric acid-based adhesion improver to the photosensitive resin composition of the present invention in order to improve the adhesion to the substrate. (Meth)acryloyloxy group-containing phosphates are preferable as the phosphoric acid-based adhesion improver, and among them, those represented by the following general formulas (Va), (Vb), and (Vc) are preferable.

Figure 0007205089000051
Figure 0007205089000051

上記一般式(Va)、(Vb)、(Vc)において、R8は水素原子又はメチル基を表し、r及びr’は1~10の整数、sは1、2又は3を表す。 In general formulas (Va), (Vb) and (Vc) above, R 8 represents a hydrogen atom or a methyl group, r and r' are integers of 1 to 10, and s is 1, 2 or 3.

本発明の感光性樹脂組成物がリン酸系密着向上剤を含有する場合、その含有割合は特に限定されないが、全固形分中に0.1質量%以上が好ましく、0.3質量%以上がより好ましく、0.5質量%以上がさらに好ましく、また、5質量%以下が好ましく、3質量%以下がより好ましく、1質量%以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで基板との密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで表面硬化性が向上する傾向がある。 When the photosensitive resin composition of the present invention contains a phosphoric acid-based adhesion improver, the content is not particularly limited. It is more preferably 0.5% by mass or more, more preferably 5% by mass or less, more preferably 3% by mass or less, and even more preferably 1% by mass or less. Adhesion to the substrate tends to improve when the content is equal to or higher than the lower limit, and surface curability tends to improve when the content is equal to or lower than the upper limit.

[1-1-13]無機充填剤
また、本発明の感光性樹脂組成物は、硬化物としての強度の向上と共に、アルカリ可溶性樹脂との適度な相互作用(マトリックス構造の形成)による塗布膜の優れた平坦性とテーパー角の向上等を目的として、無機充填剤を含有していてもよい。そのような無機充填剤としては、例えば、タルク、シリカ、アルミナ、硫酸バリウム、酸化マグネシウム、或いは、これらを各種シランカップリング剤により表面処理したものなどが挙げられる。
[1-1-13] Inorganic filler In addition, the photosensitive resin composition of the present invention has improved strength as a cured product, and has an appropriate interaction (formation of a matrix structure) with an alkali-soluble resin to form a coating film. An inorganic filler may be contained for the purpose of improving flatness and taper angle. Examples of such inorganic fillers include talc, silica, alumina, barium sulfate, magnesium oxide, and those surface-treated with various silane coupling agents.

これら無機充填剤の平均粒子径としては、通常0.005~20μm、好ましくは0.01~10μmである。ここで本実施の形態にいう平均粒子径とは、ベックマン・コールター社製などのレーザ回折散乱粒度分布測定装置にて測定した値である。これらの無機充填剤のうち、特に、シリカゾルおよびシリカゾル変性物は、分散安定性と共にテーパー角の向上効果に優れる傾向があるため、好ましく配合される。本発明の感光性樹脂組成物がこれらの無機充填剤を含む場合、その含有割合としては、感度の観点から、全固形分中に通常5質量%以上、好ましくは10質量%以上であり、通常80質量%以下、好ましくは70質量%以下である。 The average particle size of these inorganic fillers is usually 0.005 to 20 μm, preferably 0.01 to 10 μm. Here, the average particle size referred to in the present embodiment is a value measured with a laser diffraction scattering particle size distribution analyzer manufactured by Beckman Coulter. Among these inorganic fillers, silica sol and silica sol-modified products tend to be excellent in the effect of improving the taper angle as well as the dispersion stability, so they are preferably blended. When the photosensitive resin composition of the present invention contains these inorganic fillers, the content is usually 5% by mass or more, preferably 10% by mass or more in the total solid content, from the viewpoint of sensitivity. 80% by mass or less, preferably 70% by mass or less.

[1-1-14]溶剤
本発明の感光性樹脂組成物は、通常溶剤を含有し、前述の各成分を溶剤に溶解又は分散させた状態で使用される(以下、溶剤を含む場合の感光性樹脂組成物を「感光性樹脂組成物溶液」と記すことがある。)。その溶剤としては、特に制限は無いが、例えば、以下に記載する有機溶剤が挙げられる。
[1-1-14] Solvent The photosensitive resin composition of the present invention usually contains a solvent, and is used in a state in which each of the above components is dissolved or dispersed in the solvent (hereinafter referred to as a photosensitive resin composition containing a solvent A photosensitive resin composition may be referred to as a “photosensitive resin composition solution”). The solvent is not particularly limited, but includes, for example, the organic solvents described below.

エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ-n-ブチルエーテル、プロピレングリコール-t-ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ-n-ブチルエーテル、メトキシメチルペンタノール、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、3-メチル-3-メトキシブタノール、3-メトキシ-1-ブタノール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテルのようなグリコールモノアルキルエーテル類;エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテルのようなグリコールジアルキルエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ-n-ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、3-メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノ-n-ブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルアセテート、3-メトキシ-1-ブチルアセテートのようなグリコールアルキルエーテルアセテート類;エチレングリコールジアセテート、1,3-ブチレングリコールジアセテート、1,6-ヘキサノールジアセテートなどのグリコールジアセテート類;シクロヘキサノールアセテートなどのアルキルアセテート類;アミルエーテル、ジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジアミルエーテル、エチルイソブチルエーテル、ジヘキシルエーテルのようなエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソアミルケトン、ジイソプロピルケトン、ジイソブチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、エチルアミルケトン、メチルブチルケトン、メチルヘキシルケトン、メチルノニルケトン、メトキシメチルペンタノンのようなケトン類;メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリエチレングリコール、メトキシメチルペンタノール、グリセリン、ベンジルアルコールのような1価又は多価アルコール類;n-ペンタン、n-オクタン、ジイソブチレン、n-ヘキサン、ヘキセン、イソプレン、ジペンテン、ドデカンのような脂肪族炭化水素類;シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、メチルシクロヘキセン、ビシクロヘキシルのような脂環式炭化水素類;ベンゼン、トルエン、キシレン、クメンのような芳香族炭化水素類;アミルホルメート、エチルホルメート、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸プロピル、酢酸アミル、メチルイソブチレート、エチレングリコールアセテート、エチルプロピオネート、プロピルプロピオネート、酪酸ブチル、酪酸イソブチル、イソ酪酸メチル、エチルカプリレート、ブチルステアレート、エチルベンゾエート、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、3-メトキシプロピオン酸メチル、3-メトキシプロピオン酸エチル、3-メトキシプロピオン酸プロピル、3-メトキシプロピオン酸ブチル、γ-ブチロラクトンのような鎖状又は環状エステル類;3-メトキシプロピオン酸、3-エトキシプロピオン酸のようなアルコキシカルボン酸類;ブチルクロライド、アミルクロライドのようなハロゲン化炭化水素類;メトキシメチルペンタノンのようなエーテルケトン類;アセトニトリル、ベンゾニトリルのようなニトリル類:テトラヒドロフラン、ジメチルテトラヒドロフラン、ジメトキシテトラヒドロフランのようなテトラヒドロフラン類などである。 Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether, propylene glycol-t-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, methoxymethylpentanol, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, 3-methyl-3-methoxybutanol, 3-methoxy-1-butanol, tri Glycol monoalkyl ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, tripropylene glycol methyl ether; ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether , glycol dialkyl ethers such as dipropylene glycol dimethyl ether; ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol mono-n-butyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate, methoxybutyl acetate, 3-methoxybutyl acetate, methoxypentyl acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol mono-n-butyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate , triethylene glycol monomethyl ether acetate, triethylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methoxy-1-butyl acetate; ethylene glycol diacetate, 1 ,3-butylene glycol diacetate, 1,6-hexanol diacetate and other glycol diacetates; cyclohexanol acetate and other alkyl acetates; amyl ether, diethyl ether, dipropyl ether, diisopropyl ether, dibutyl ether, diamyl ether , ethyl isobutyl ether, dihexyl ether; Ketones such as hexyl ketone, methyl nonyl ketone, methoxymethylpentanone; methanol, ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, propylene glycol, butanediol, diethylene glycol, dipropylene glycol, triethylene glycol, methoxy monohydric or polyhydric alcohols such as methylpentanol, glycerin, benzyl alcohol; aliphatic hydrocarbons such as n-pentane, n-octane, diisobutylene, n-hexane, hexene, isoprene, dipentene, dodecane; Alicyclic hydrocarbons such as cyclohexane, methylcyclohexane, methylcyclohexene and bicyclohexyl; aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene and cumene; amyl formate, ethyl formate, ethyl acetate, butyl acetate, Propyl acetate, amyl acetate, methyl isobutyrate, ethylene glycol acetate, ethyl propionate, propyl propionate, butyl butyrate, isobutyl butyrate, methyl isobutyrate, ethyl caprylate, butyl stearate, ethyl benzoate, 3-ethoxypropion Linear or cyclic esters such as methyl acid, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, propyl 3-methoxypropionate, butyl 3-methoxypropionate, γ-butyrolactone alkoxycarboxylic acids such as 3-methoxypropionic acid and 3-ethoxypropionic acid; halogenated hydrocarbons such as butyl chloride and amyl chloride; ether ketones such as methoxymethylpentanone; Nitriles such as tetrahydrofuran such as tetrahydrofuran, dimethyltetrahydrofuran, dimethoxytetrahydrofuran, and the like.

上記に該当する市販の溶剤としては、ミネラルスピリット、バルソル#2、アプコ#18ソルベント、アプコシンナー、ソーカルソルベントNo.1およびNo.2、ソルベッソ#150、シェルTS28 ソルベント、カルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート、ジグライム(いずれも商品名)などが挙げられる。 Commercially available solvents corresponding to the above include Mineral Spirit, Valsol #2, Apco #18 Solvent, Apco Thinner, Socal Solvent No. 1 and no. 2. Solvesso #150, Shell TS28 solvent, carbitol, ethyl carbitol, butyl carbitol, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, ethyl cellosolve acetate, methyl cellosolve acetate, diglyme (all trade names), and the like.

上記溶剤は、感光性樹脂組成物中の各成分を溶解又は分散させることができるもので、本発明の感光性樹脂組成物の使用方法に応じて選択されるが、塗布性の観点から、大気圧下(1013.25hPa)における沸点が60~280℃の範囲のものを選択するのが好ましい。より好ましくは70℃以上、260℃以下の沸点をもつものであり、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテル、3-メトキシ-1-ブタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3-メトキシ-1-ブチルアセテート、が好ましい。 The solvent is capable of dissolving or dispersing each component in the photosensitive resin composition, and is selected according to the method of using the photosensitive resin composition of the present invention. It is preferable to select one having a boiling point in the range of 60 to 280° C. under atmospheric pressure (1013.25 hPa). More preferably, it has a boiling point of 70° C. or higher and 260° C. or lower, such as propylene glycol monomethyl ether, 3-methoxy-1-butanol, propylene glycol monomethyl ether acetate and 3-methoxy-1-butyl acetate.

これらの溶剤は1種を単独でもしくは2種以上を混合して使用することができる。また、これらの溶剤は、感光性樹脂組成物溶液中の全固形分の含有割合が、通常10質量%以上、好ましくは15質量%以上、より好ましくは18質量%以上、通常90質量%以下、好ましくは50質量%以下、より好ましくは40質量%以下、さらに好ましくは30質量%以下となるように使用されることが好ましい。前記下限値以上とすることで高い膜厚に対しても塗膜が得られる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで適度な塗布均一性が得られる傾向がある。 These solvents can be used singly or in combination of two or more. Further, these solvents have a total solid content in the photosensitive resin composition solution of usually 10% by mass or more, preferably 15% by mass or more, more preferably 18% by mass or more, and usually 90% by mass or less. It is preferably used in an amount of 50% by mass or less, more preferably 40% by mass or less, and even more preferably 30% by mass or less. When it is at least the above lower limit, a coating film tends to be obtained even with a large film thickness, and when it is at most the above upper limit, there is a tendency that moderate coating uniformity can be obtained.

[1-2]感光性樹脂組成物の物性
本発明の感光性樹脂組成物の物性としては、例えば酸価が挙げられる。感光性樹脂組成物の全固形分に対する酸価は特に限定されないが、20mg-KOH/g以上が好ましく、22mg-KOH/g以上がより好ましく、24mg-KOH/g以上がさらに好ましく、26mg-KOH/g以上がよりさらに好ましく、28mg-KOH/g以上が特に好ましく、また、通常60mg-KOH/g以下、55mg-KOH/g以下が好ましく、50mg-KOH/g以下がより好ましく、40mg-KOH/g以下がさらに好ましく、35mg-KOH/g以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像液への溶解性が高く、未露光部が十分に溶解、除去できることでテーパー角が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像密着性が良好となる傾向がある。
[1-2] Physical Properties of Photosensitive Resin Composition Physical properties of the photosensitive resin composition of the present invention include, for example, acid value. The acid value relative to the total solid content of the photosensitive resin composition is not particularly limited, but is preferably 20 mg-KOH/g or more, more preferably 22 mg-KOH/g or more, further preferably 24 mg-KOH/g or more, and 26 mg-KOH. / g or more is more preferable, 28 mg-KOH / g or more is particularly preferable, and usually 60 mg-KOH / g or less, preferably 55 mg-KOH / g or less, more preferably 50 mg-KOH / g or less, 40 mg-KOH /g or less is more preferable, and 35 mg-KOH/g or less is particularly preferable. When it is at least the above lower limit, the solubility in the developer is high, and the taper angle tends to increase because the unexposed portion can be sufficiently dissolved and removed. tend to be better.

[1-3]感光性樹脂組成物の調製方法
本発明の感光性樹脂組成物は、上記の各成分を撹拌機で混合することにより調製される。なお、調製された感光性樹脂組成物が均一なものとなるよう、メンブランフィルタ等を用いて濾過してもよい。
[1-3] Method for Preparing Photosensitive Resin Composition The photosensitive resin composition of the present invention is prepared by mixing the above components with a stirrer. In addition, you may filter using a membrane filter etc. so that the prepared photosensitive resin composition may be uniform.

[2]隔壁及び隔壁の形成方法
本発明の感光性樹脂組成物は隔壁、特に有機電界発光素子の有機層(発光部)を区画するための隔壁を形成するために好適に用いることができる。本発明の隔壁は、本発明の感光性樹脂組成物で構成される。
以上説明した感光性樹脂組成物を用いて隔壁(バンク)を形成する方法は特に限定されず、従来公知の方法を採用することができる。隔壁の形成方法としては、例えば、感光性樹脂組成物を、基板上に塗布し、感光性樹脂組成物層を形成する塗布工程と、感光性樹脂組成物層を露光する露光工程と、を含む方法が挙げられる。このような隔壁の形成方法の具体例としては、フォトリソグラフィー法が挙げられる。
[2] Partitions and Method for Forming Partitions The photosensitive resin composition of the present invention can be suitably used for forming partitions, particularly partitions for partitioning the organic layers (light-emitting portions) of organic electroluminescence elements. The partition wall of the present invention is composed of the photosensitive resin composition of the present invention.
The method for forming the partition walls (banks) using the photosensitive resin composition described above is not particularly limited, and conventionally known methods can be employed. A method for forming the partition walls includes, for example, a coating step of applying a photosensitive resin composition onto a substrate to form a photosensitive resin composition layer, and an exposure step of exposing the photosensitive resin composition layer. method. A specific example of a method for forming such partition walls is a photolithographic method.

フォトリソグラフィー法では、感光性樹脂組成物を、基板の隔壁が形成される領域全面に塗布して感光性樹脂組成物層を形成する。形成された感光性樹脂組成物層を、所定の隔壁のパターンに応じて露光した後、露光された感光性樹脂組成物層を現像して、基板上に隔壁が形成される。 In the photolithography method, a photosensitive resin composition is applied to the entire area of the substrate where the partition walls are to be formed to form a photosensitive resin composition layer. After the formed photosensitive resin composition layer is exposed according to a predetermined pattern of barrier ribs, the exposed photosensitive resin composition layer is developed to form barrier ribs on the substrate.

フォトリソグラフィー法における、感光性樹脂組成物を基板上に塗布する塗布工程では、隔壁が形成されるべき基板上に、ロールコーター、リバースコーター、バーコーター等の接触転写型塗布装置やスピナー(回転式塗布装置)、カーテンフローコーター等の非接触型塗布装置を用いて感光性樹脂組成物を塗布し、必要に応じて、乾燥により溶媒を除去して、感光性樹脂組成物層を形成する。 In the coating step of applying a photosensitive resin composition onto a substrate in the photolithography method, a contact transfer type coating device such as a roll coater, reverse coater, bar coater, etc. or a spinner (rotary A photosensitive resin composition is applied using a non-contact type coating device such as a coating device) or a curtain flow coater, and if necessary, the solvent is removed by drying to form a photosensitive resin composition layer.

次いで、露光工程では、ネガ型のマスクを利用して、感光性樹脂組成物に紫外線、エキシマレーザー光等の活性エネルギー線を照射し、感光性樹脂組成物層を隔壁のパターンに応じて部分的に露光する。露光には、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、カーボンアーク灯等の紫外線を発する光源を用いることができる。露光量は感光性樹脂組成物の組成によっても異なるが、例えば10~400mJ/cm2程度が好ましい。 Next, in the exposure step, a negative mask is used to irradiate the photosensitive resin composition with active energy rays such as ultraviolet light and excimer laser light, and the photosensitive resin composition layer is partially exposed according to the partition wall pattern. exposed to For exposure, a light source that emits ultraviolet rays, such as a high-pressure mercury lamp, an extra-high pressure mercury lamp, a xenon lamp, or a carbon arc lamp, can be used. Although the amount of exposure varies depending on the composition of the photosensitive resin composition, it is preferably about 10 to 400 mJ/cm 2 , for example.

次いで、現像工程では、隔壁のパターンに応じて露光された感光性樹脂組成物層を現像液で現像することにより隔壁パターンを形成する。現像方法は特に限定されず、浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液の具体例としては、ジメチルベンジルアミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系のものや、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、4級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。又、現像液には、消泡剤や界面活性剤を添加することもできる。 Next, in the developing step, a partition pattern is formed by developing the exposed photosensitive resin composition layer according to the partition pattern with a developer. The development method is not particularly limited, and an immersion method, a spray method, or the like can be used. Specific examples of the developer include organic ones such as dimethylbenzylamine, monoethanolamine, diethanolamine and triethanolamine, and aqueous solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, ammonia and quaternary ammonium salts. mentioned. Moreover, an antifoaming agent or a surfactant can be added to the developer.

その後、現像後の隔壁パターンにポストベークを施して加熱硬化することで隔壁が得られる。ポストベークは、150~250℃で15~60分間が好ましい。 After that, the barrier ribs are obtained by subjecting the developed barrier rib pattern to post-baking and heat curing. Post-baking is preferably carried out at 150-250° C. for 15-60 minutes.

隔壁形成後に未露光部の洗浄を目的とした洗浄処理を行うこともできる。洗浄方法は、特に限定されず、プラズマ照射、エキシマ光照射、UV照射があげられる。エキシマ光照射やUV照射では、光照射によって活性酸素が画素部分に付着した有機物を分解して除去することができる。 A cleaning treatment may be performed for the purpose of cleaning the unexposed portions after the formation of the barrier ribs. The cleaning method is not particularly limited, and includes plasma irradiation, excimer light irradiation, and UV irradiation. In excimer light irradiation or UV irradiation, active oxygen can decompose and remove organic matter adhering to the pixel portion due to the light irradiation.

隔壁の形成に用いる基板は特に限定されず、隔壁が形成された基板を用いて製造される有機電界発光素子の種類に合わせて適宜選択される。好適な基板の材料としては、ガラスや、各種の樹脂材料が挙げられる。樹脂材料の具体例としては、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル;ポリエチレン、及びポリプロピレン等のポリオレフィン;ポリカーボネート;ポリ(メタ)メタアクリル樹脂;ポリスルホン;ポリイミドが挙げられる。これらの基板の材料の中では、耐熱性に優れることからガラス、及びポリイミドが好ましい。また、製造される有機電界発光素子の種類に応じて、隔壁が形成される基板の表面には、予めITOやZnO等の透明電極層を設けておいてもよい。 The substrate used for forming the partition is not particularly limited, and is appropriately selected according to the type of the organic electroluminescence device manufactured using the substrate on which the partition is formed. Suitable substrate materials include glass and various resin materials. Specific examples of the resin material include polyester such as polyethylene terephthalate; polyolefin such as polyethylene and polypropylene; polycarbonate; poly(meth)methacrylic resin; polysulfone; and polyimide. Among these substrate materials, glass and polyimide are preferable because of their excellent heat resistance. A transparent electrode layer such as ITO or ZnO may be provided in advance on the surface of the substrate on which the barrier ribs are formed, depending on the type of organic electroluminescence element to be manufactured.

[3]有機電界発光素子
本発明の有機電界発光素子は、前述の感光性樹脂組成物で構成される隔壁を備える。
以上説明した方法により製造された隔壁パターンを備える基板を用いて、種々の光学素子が製造される。有機電界発光素子を形成する方法は特に限定されないが、好ましくは、上記方法により基板上に隔壁のパターンを形成した後に、基板上の隔壁によって囲まれた領域内にインクを注入して画素等の有機層を形成することによって、有機電界発光素子が製造される。
有機電界発光素子のタイプとしては、ボトムエミッション型やトップエミッション型が挙げられる。
ボトムエミッション型では、例えば、透明電極を積層したガラス基板上に隔壁を形成し、隔壁で囲まれた開口部に正孔輸送層、発光層、電子輸送層、金属電極層を積層して作成される。一方でトップエミッション型では、例えば、金属電極層を積層したガラス基板上に隔壁を形成し、隔壁で囲まれた開口部に電子輸送層、発光層、正孔輸送層、透明電極層を積層して作成される。
なお、発光層としては、特開2009-146691号公報や特許第5734681号公報に記載されているような有機電界発光層が挙げられる。また、特許第5653387号公報や特許第5653101号公報に記載されているような量子ドットを用いてもよい。
[3] Organic electroluminescence device The organic electroluminescence device of the present invention comprises partition walls made of the photosensitive resin composition described above.
Various optical elements are manufactured using the substrate provided with the partition pattern manufactured by the method described above. The method for forming the organic electroluminescence device is not particularly limited, but preferably, after forming the partition pattern on the substrate by the above method, ink is injected into the region surrounded by the partition on the substrate to form pixels and the like. An organic electroluminescence device is manufactured by forming an organic layer.
Types of organic electroluminescence devices include bottom emission type and top emission type.
In the bottom emission type, for example, partition walls are formed on a glass substrate laminated with transparent electrodes, and a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and a metal electrode layer are laminated in an opening surrounded by the partition walls. be. On the other hand, in the top emission type, for example, barrier ribs are formed on a glass substrate laminated with a metal electrode layer, and an electron transport layer, a light emitting layer, a hole transport layer, and a transparent electrode layer are stacked in an opening surrounded by the barrier ribs. created by
Examples of the light-emitting layer include organic electroluminescent layers as described in JP-A-2009-146691 and Japanese Patent No. 5734681. Quantum dots as described in Japanese Patent No. 5653387 and Japanese Patent No. 5653101 may also be used.

有機層形成用のインクを形成する際に使用される溶媒としては、水、有機溶剤、及びこれらの混合溶剤を用いることができる。有機溶剤は、インクの注入後に形成された皮膜から除去可能であれば特に限定されない。有機溶剤の具体例としては、トルエン、キシレン、アニソール、メシチレン、テトラリン、シクロヘキシルベンゼン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、及び酢酸ブチル、3-フェノキシトルエン、等が挙げられる。また、インクには、界面活性剤、酸化防止剤、粘度調整剤、紫外線吸収剤等を添加することができる。 Water, an organic solvent, and a mixed solvent thereof can be used as the solvent used when forming the ink for forming the organic layer. The organic solvent is not particularly limited as long as it can be removed from the film formed after injecting the ink. Specific examples of organic solvents include toluene, xylene, anisole, mesitylene, tetralin, cyclohexylbenzene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, ethyl acetate and butyl acetate, 3-phenoxytoluene, etc. In addition, surfactants, antioxidants, viscosity modifiers, ultraviolet absorbers, and the like can be added to the ink.

隔壁により囲まれた領域内にインクを注入する方法としては、少量のインクを所定の箇所に容易に注入可能であることから、インクジェット法が好ましい。有機層の形成に使用されるインクは、製造される有機電界発光素子の種類に応じて適宜選択される。インクをインクジェット法により注入する場合、インクの粘度はインクをインクジェットヘッドから良好に吐出できる限り特に限定されないが、4~20mPa・sが好ましく、5~10mPa・sがより好ましい。インクの粘度は、インク中の固形分含有量の調整、溶媒の変更、粘度調整剤の添加等により調整することができる。 As a method for injecting the ink into the region surrounded by the partition wall, the inkjet method is preferable because a small amount of the ink can be easily injected into a predetermined location. The ink used for forming the organic layer is appropriately selected according to the type of organic electroluminescence element to be manufactured. When the ink is injected by an inkjet method, the viscosity of the ink is not particularly limited as long as the ink can be discharged well from the inkjet head, but is preferably 4 to 20 mPa·s, more preferably 5 to 10 mPa·s. The viscosity of the ink can be adjusted by adjusting the solid content in the ink, changing the solvent, adding a viscosity modifier, and the like.

[4]画像表示装置
本発明の画像表示装置は、前述の有機電界発光素子を含むものである。有機電界発光素子を含むものであれば、画像表示装置の型式や構造については特に制限はなく、例えばアクティブ駆動型有機電界発光素子を用いて常法に従って組み立てることができる。例えば、「有機ELディスプレイ」(オーム社、平成16年8月20日発行、時任静士、安達千波矢、村田英幸著)に記載されているような方法で、本発明の画像表示装置を形成することができる。例えば、白色光を発光する有機電界発光素子とカラーフィルターとを組み合わせて画像表示させてもよいし、RGB等の発光色の異なる有機電界発光素子を組み合わせて画像表示させてもよい。
[4] Image Display Device The image display device of the present invention includes the organic electroluminescence device described above. There are no particular restrictions on the type or structure of the image display device as long as it contains an organic electroluminescence element, and for example, it can be assembled according to a conventional method using an active drive type organic electroluminescence element. For example, the image display device of the present invention is formed by the method described in "Organic EL Display" (Ohmsha, August 20, 2004, Shizuo Tokito, Chihaya Adachi, Hideyuki Murata). can do. For example, an image may be displayed by combining an organic electroluminescent element that emits white light and a color filter, or an image may be displayed by combining organic electroluminescent elements emitting different colors such as RGB.

[5]照明
本発明の照明は、前述の有機電界発光素子を含むものである。型式や構造については特に制限はなく、本発明の有機電界発光素子を用いて常法に従って組み立てることができる。有機電界発光素子としては、単純マトリックス駆動方式としてもよいし、アクティブマトリックス駆動方式としてもよい。
本発明の照明が白色光を発光するものとするために、白色光を発光する有機電界発光素子を用いてもよい。また、発光色の異なる有機電界発光素子を組み合わせて、各色が混色して白色となるよう構成してもよいし、混色比率を調整できるように構成して調色機能を付与してもよい。
[5] Lighting Lighting of the present invention includes the organic electroluminescence device described above. There are no particular restrictions on the type and structure, and the organic electroluminescence device of the present invention can be assembled according to a conventional method. The organic electroluminescence element may be of a simple matrix drive system or an active matrix drive system.
In order for the illumination of the present invention to emit white light, an organic electroluminescent element that emits white light may be used. Alternatively, organic electroluminescence elements emitting different colors may be combined to form a white color by mixing the colors, or a color mixing ratio may be adjusted to provide a toning function.

以下、本発明の感光性樹脂組成物について、具体的な実施例を挙げて説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, the photosensitive resin composition of the present invention will be described with reference to specific examples, but the present invention is not limited to the following examples as long as the gist thereof is not exceeded.

[1] 感光性樹脂組成物の作製及び評価
各成分を表1に記載の配合割合(質量部)で用い、かつ、全固形分の含有割合が19質量%となるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用いて、各成分を均一になるまで撹拌して実施例及び比較例の感光性樹脂組成物を調製した。なお、表1中の各成分の配合割合(質量部)は固形分の値を意味する。
なお、表中の記号は以下のものを表す。
[1] Preparation and evaluation of photosensitive resin composition Propylene glycol monomethyl ether acetate was used so that each component was used at the blending ratio (parts by mass) shown in Table 1, and the total solid content was 19% by mass. was used to stir each component until uniform to prepare photosensitive resin compositions of Examples and Comparative Examples. In addition, the mixing ratio (mass part) of each component in Table 1 means the value of solid content.
The symbols in the table represent the following.

a-1:以下の手順で合成して得られた、アダマンタン骨格及びエチレン性二重結合を有するフッ素原子含有アクリル樹脂(撥液剤)
撹拌装置、温度計、冷却管、滴下装置を備えたガラスフラスコに、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート55質量部を仕込み、窒素気流下にて攪拌しながら105℃に昇温した。次いで、以下に示す化学構造を有するポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖を含む化合物(aa-1)20質量部と、3-ヒドロキシ-1-アダマンチルメタクリレート50.1質量部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート84.6質量部に溶解したモノマー溶液と、重合開始剤としてt-ブチルペルオキシ-2-エチルヘキサノエート10.6質量部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート10.6質量部に溶解した重合開始剤溶液との3種類の滴下液をそれぞれ別々の滴下装置にセットし、前記ガラスフラスコ内を105℃に保ちながら同時に2時間かけて滴下した。滴下終了後、105℃で5時間攪拌した後、減圧下で溶媒103.5質量部を留去することによって、重合体(aa-2)溶液を得た。
a-1: A fluorine atom-containing acrylic resin (liquid repellent agent) having an adamantane skeleton and an ethylenic double bond, obtained by synthesis according to the following procedure
A glass flask equipped with a stirrer, a thermometer, a condenser, and a dropping device was charged with 55 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent, and the temperature was raised to 105° C. while stirring under a nitrogen stream. Then, 20 parts by mass of a compound (aa-1) containing a poly(perfluoroalkylene ether) chain having the chemical structure shown below and 50.1 parts by mass of 3-hydroxy-1-adamantyl methacrylate were added to propylene glycol monomethyl ether acetate 84. .6 parts by mass of a monomer solution, and a polymerization initiator solution of 10.6 parts by mass of t-butylperoxy-2-ethylhexanoate as a polymerization initiator dissolved in 10.6 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate. The three types of dripping liquids were set in separate dripping devices, respectively, and were simultaneously dripped over 2 hours while the inside of the glass flask was kept at 105°C. After completion of dropping, the mixture was stirred at 105° C. for 5 hours, and 103.5 parts by mass of the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a polymer (aa-2) solution.

Figure 0007205089000052
Figure 0007205089000052

(式(aa-1)中、Xはパーフルオロメチレン基又はパーフルオロエチレン基であり、1分子あたり、パーフルオロメチレン基が平均7個、パーフルオロエチレン基が平均8個存在するものであり、フッ素原子の数が平均46個である。) (In the formula (aa-1), X is a perfluoromethylene group or a perfluoroethylene group, and an average of 7 perfluoromethylene groups and an average of 8 perfluoroethylene groups are present per molecule, The average number of fluorine atoms is 46.)

次いで、上記で得られた重合体(aa-2)溶液に、重合禁止剤としてp-メトキシフェノール0.1質量部、ウレタン化触媒としてオクチル酸錫0.03質量部を仕込み、空気気流下で攪拌を開始し、60℃を保ちながら、2-アクリロイルオキシエチルイソシアネート29.9質量部を1時間で滴下した。滴下終了後、60℃で2時間攪拌した後、80℃に昇温して10時間攪拌し、IRスペクトル測定でイソシアネート基の消失を確認し、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート53.3質量部を加えて、アダマンタン骨格及びエチレン性二重結合を有するアクリル樹脂(a-1)を50質量%含有するプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た。得られたアクリル樹脂(a-1)の、GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)は10,000であった。また二重結合当量は480であった。 Next, 0.1 parts by mass of p-methoxyphenol as a polymerization inhibitor and 0.03 parts by mass of tin octylate as a urethanization catalyst were added to the polymer (aa-2) solution obtained above, and the mixture was stirred under an air stream. Stirring was started, and 29.9 parts by mass of 2-acryloyloxyethyl isocyanate was added dropwise over 1 hour while maintaining the temperature at 60°C. After the completion of dropwise addition, the mixture was stirred at 60°C for 2 hours, then heated to 80°C and stirred for 10 hours. Disappearance of the isocyanate group was confirmed by IR spectrum measurement. , a propylene glycol monomethyl ether acetate solution containing 50% by mass of an acrylic resin (a-1) having an adamantane skeleton and an ethylenic double bond was obtained. The obtained acrylic resin (a-1) had a polystyrene-equivalent weight average molecular weight (Mw) of 10,000 measured by GPC. Also, the double bond equivalent was 480.

a-2:以下の手順で合成して得られた、エチレン性二重結合を有するフッ素原子含有アクリル樹脂(撥液剤)
撹拌装置、温度計、冷却管、滴下装置を備えたガラスフラスコに、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート35質量部を仕込み、窒素気流下にて攪拌しながら105℃に昇温した。次いで、前記化合物(aa-1)20質量部と、2-ヒドロキシエチルメタクリレート46.1質量部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート84.6質量部に溶解したモノマー溶液と、重合開始剤としてt-ブチルペルオキシ-2-エチルヘキサノエート10.6質量部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート10.6質量部に溶解した重合開始剤溶液との3種類の滴下液をそれぞれ別々の滴下装置にセットし、前記ガラスフラスコ内を105℃に保ちながら同時に2時間かけて滴下した。滴下終了後、105℃で5時間攪拌した後、減圧下で溶媒83.5質量部を留去することによって、重合体(ab-2)溶液を得た。
a-2: A fluorine atom-containing acrylic resin having an ethylenic double bond (liquid repellent agent), synthesized by the following procedure
A glass flask equipped with a stirrer, a thermometer, a condenser, and a dropping device was charged with 35 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent, and the temperature was raised to 105° C. while stirring under a nitrogen stream. Then, 20 parts by mass of the compound (aa-1), a monomer solution obtained by dissolving 46.1 parts by mass of 2-hydroxyethyl methacrylate in 84.6 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate, and t-butylperoxy as a polymerization initiator. Three types of dropping liquids, including a polymerization initiator solution in which 10.6 parts by mass of 2-ethylhexanoate is dissolved in 10.6 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate, are set in separate dropping devices, and the glass flask is While maintaining the inside at 105° C., the mixture was added dropwise over 2 hours. After completion of dropping, the mixture was stirred at 105° C. for 5 hours, and 83.5 parts by mass of the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a polymer (ab-2) solution.

次いで、上記で得られた重合体(ab-2)溶液に、重合禁止剤としてp-メトキシフェノール0.1質量部、ウレタン化触媒としてオクチル酸錫0.03質量部を仕込み、空気気流下で攪拌を開始し、60℃を保ちながら、2-アクリロイルオキシエチルイソシアネート33.3質量部を1時間で滴下した。滴下終了後、60℃で2時間攪拌した後、80℃に昇温して10時間攪拌し、IRスペクトル測定でイソシアネート基の消失を確認し、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50.0質量部を加えて、エチレン性二重結合を有するアクリル樹脂(a-2)を50質量%含有するプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た。得られたアクリル樹脂(a-2)の、GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)は12,000であった。また二重結合当量は340であった。 Next, 0.1 part by mass of p-methoxyphenol as a polymerization inhibitor and 0.03 part by mass of tin octylate as a urethanization catalyst were added to the polymer (ab-2) solution obtained above, and the mixture was stirred under an air stream. Stirring was started, and 33.3 parts by mass of 2-acryloyloxyethyl isocyanate was added dropwise over 1 hour while maintaining the temperature at 60°C. After the dropwise addition was completed, the mixture was stirred at 60°C for 2 hours, then heated to 80°C and stirred for 10 hours. After confirming disappearance of the isocyanate group by IR spectrum measurement, 50.0 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was added. , to obtain a propylene glycol monomethyl ether acetate solution containing 50% by mass of an acrylic resin (a-2) having an ethylenic double bond. The obtained acrylic resin (a-2) had a polystyrene equivalent weight average molecular weight (Mw) measured by GPC of 12,000. Also, the double bond equivalent was 340.

b-1:以下の手順で合成して得られた、エチレン性二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂(エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1-3)に相当)
下記式で表されるビスフェノールA型エポキシ化合物(エポキシ当量186g/eq、式中のm及びnが1~20のものの混合物)100質量部、アクリル酸40質量部、p-メトキシフェノール0.06質量部、トリフェニルホスフィン2.4質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート126質量部を反応容器に仕込み、酸価が5mg-KOH/g以下になるまで95℃で撹拌した。次いで、上記反応により得られた反応液80質量部にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート12質量部を加え、無水コハク酸を添加し、95℃で3時間反応させ、固形分酸価60mg-KOH/g、GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が8,000のアルカリ可溶性樹脂(b-1)溶液を得た。
b-1: Alkali-soluble resin having an ethylenic double bond (corresponding to epoxy (meth)acrylate resin (b1-3)) synthesized by the following procedure
Bisphenol A type epoxy compound represented by the following formula (epoxy equivalent: 186 g/eq, mixture of m and n in the formula from 1 to 20) 100 parts by mass, acrylic acid 40 parts by mass, p-methoxyphenol 0.06 mass 2.4 parts by mass of triphenylphosphine and 126 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate were charged into a reaction vessel and stirred at 95° C. until the acid value became 5 mg-KOH/g or less. Next, 12 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was added to 80 parts by mass of the reaction solution obtained by the above reaction, succinic anhydride was added, and the mixture was reacted at 95° C. for 3 hours to obtain a solid content acid value of 60 mg-KOH/g. An alkali-soluble resin (b-1) solution having a polystyrene equivalent weight average molecular weight (Mw) of 8,000 as measured by GPC was obtained.

Figure 0007205089000053
Figure 0007205089000053

c-1:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(KAYARAD DPHA、日本化薬社製)
d-1:2,2’-ビス(2-クロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラフェニル-1,2’-ビイミダゾール(保土ヶ谷化学社製)
d-2:イルガキュア369(BASF社製、下記の化学構造の化合物)
c-1: Dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARAD DPHA, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
d-1: 2,2'-bis(2-chlorophenyl)-4,4',5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole (manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.)
d-2: Irgacure 369 (manufactured by BASF, compound with the following chemical structure)

Figure 0007205089000054
Figure 0007205089000054

d-3:下記の化学構造の化合物(オキシムエステル化合物、前記一般式(D-1)を満足する) d-3: A compound having the following chemical structure (oxime ester compound, satisfying the general formula (D-1))

Figure 0007205089000055
Figure 0007205089000055

e-1:2-メルカプトベンゾイミダゾール(東京化成社製)
e-2:ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオナート)(淀化学社製)
f-1:TINUVIN384-2(BASF社製、紫外線吸収剤)
g-1:KAYAMER PM-21(日本化薬社製)
e-1: 2-mercaptobenzimidazole (manufactured by Tokyo Kasei Co., Ltd.)
e-2: Pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate) (manufactured by Yodo Chemical Co., Ltd.)
f-1: TINUVIN384-2 (manufactured by BASF, UV absorber)
g-1: KAYAMER PM-21 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

感光性樹脂組成物の物性評価は以下に記載の方法で行った。
(接触角の測定)
ガラス基板上にスピナーを用いて、加熱硬化後に1.7μmの厚みになるように各感光性樹脂組成物を塗布した。その後、115℃で2分間ホットプレート上で加熱乾燥し、得られた塗膜をマスクを使用せずに、大日本科研社製露光機MA-1100を用いて、露光量150mJ/cm2で全面露光した。この時の波長365nmにおける強度は40mW/cm2であった。次いで、24℃の2.38質量%TMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)水溶液で80秒間スプレー現像した後、純水で10秒間洗浄した。この基板を、オーブン中230℃で30分間加熱硬化させ、硬化物付きの接触角測定用基板が得られた。
The physical properties of the photosensitive resin composition were evaluated by the methods described below.
(Measurement of contact angle)
Each photosensitive resin composition was applied onto a glass substrate using a spinner so as to have a thickness of 1.7 μm after heat curing. After that, it was dried by heating on a hot plate at 115° C. for 2 minutes, and the entire surface of the resulting coating film was exposed to light of 150 mJ/cm 2 using an exposure machine MA-1100 manufactured by Dainippon Kaken Co., Ltd. without using a mask. exposed. At this time, the intensity at a wavelength of 365 nm was 40 mW/cm 2 . Next, after spray development with a 2.38% by mass TMAH (tetramethylammonium hydroxide) aqueous solution at 24° C. for 80 seconds, it was washed with pure water for 10 seconds. This substrate was heat-cured in an oven at 230° C. for 30 minutes to obtain a substrate for contact angle measurement with a cured product.

接触角の測定は協和界面科学社製Drop Master 500接触角測定装置を用いて、23℃湿度50%の条件下で行った。接触角測定用基板の硬化物上にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを0.7μL滴下し、1秒後の接触角を測定した。測定結果を表1に示す。接触角が大きい方が、撥インク性が高いことを表す。 The contact angle was measured using a Drop Master 500 contact angle measurement device manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd. under conditions of 23° C. and 50% humidity. 0.7 μL of propylene glycol monomethyl ether acetate was dropped on the cured substrate for contact angle measurement, and the contact angle was measured after 1 second. Table 1 shows the measurement results. A larger contact angle indicates higher ink repellency.

次に、前記接触角測定用基板に対して、オーク社製ドライプロッセサーVUM-3073を用いて、紫外線(UV)を3分間照射した。この時の波長254nmにおける強度は9mW/cm2であった。UV照射後の基板に対して、前述と同様の方法で接触角の測定を行った。結果を表1に示す。 Next, the substrate for contact angle measurement was irradiated with ultraviolet rays (UV) for 3 minutes using a dry processor VUM-3073 manufactured by ORC. At this time, the intensity at a wavelength of 254 nm was 9 mW/cm 2 . The contact angle of the UV-irradiated substrate was measured in the same manner as described above. Table 1 shows the results.

(UV照射による接触角の低下率の評価)
UV照射による接触角の低下率を下記式により導出し、以下の基準にて評価した。ただし、UV照射前の時点で接触角が30°未満のものは、接触角の低下率を算出せずNA(Not Available)とした。
接触角の低下率(%)
=100-{(UV照射後の接触角)/(UV照射前の接触角)}×100
A:UV照射前の接触角が30°以上を示し、UV照射後の接触角の低下率が35%未満を示した。
B:UV照射前の接触角が30°以上を示し、UV照射後の接触角の低下率が35%以上を示した。
C:UV照射前の接触角が30°以上を示さなかった。
Aが好ましい性能である。
(Evaluation of rate of decrease in contact angle due to UV irradiation)
The rate of decrease in contact angle due to UV irradiation was derived from the following formula and evaluated according to the following criteria. However, when the contact angle was less than 30° before the UV irradiation, NA (Not Available) was used without calculating the rate of decrease in the contact angle.
Reduction rate of contact angle (%)
= 100-{(contact angle after UV irradiation)/(contact angle before UV irradiation)} × 100
A: The contact angle before UV irradiation was 30° or more, and the rate of decrease in contact angle after UV irradiation was less than 35%.
B: The contact angle before UV irradiation was 30° or more, and the rate of decrease in contact angle after UV irradiation was 35% or more.
C: The contact angle before UV irradiation did not show 30° or more.
A is the preferred performance.

[2] 隔壁の形成及び評価
以下に記載した方法で隔壁の形成と性能評価を行った。
(隔壁の形成)
表面にITO膜を形成したガラス基板の該ITO膜上にスピナーを用いて、加熱硬化後に1.7μmの厚みになるように各感光性樹脂組成物を塗布した。その後、115℃で2分間ホットプレート上で加熱乾燥して、得られた塗膜に、フォトマスク(80μm×280μmの被覆部を40μm間隔で複数有するマスク)を用い、露光ギャップ16μmで、大日本科研社製露光機MA-1100を用いて露光した。この時の波長365nmにおける強度は40mW/cm2、露光量は150mJ/cm2、空気下で行った。次いで、24℃の2.38質量%TMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)水溶液で80秒間スプレー現像した後、純水で1分間洗浄した。これらの操作により、不要な部分が除去されてパターンが形成された基板を、オーブン中230℃で30分間加熱硬化させ、残渣のない、格子状の隔壁を有する基板を得た。
[2] Formation and evaluation of partition walls Formation of partition walls and performance evaluation were performed by the methods described below.
(Formation of partition wall)
Using a spinner, each photosensitive resin composition was applied onto the ITO film of a glass substrate having an ITO film formed thereon so as to have a thickness of 1.7 μm after heat curing. After that, it was dried by heating on a hot plate at 115 ° C. for 2 minutes, and a photomask (a mask having a plurality of 80 μm × 280 μm covering parts at 40 μm intervals) was used on the obtained coating film, and the exposure gap was 16 μm. Exposure was performed using an exposure machine MA-1100 manufactured by Kaken Co., Ltd. At this time, the intensity at a wavelength of 365 nm was 40 mW/cm 2 , the exposure amount was 150 mJ/cm 2 , and the exposure was performed in air. Next, after spray development with a 2.38% by mass TMAH (tetramethylammonium hydroxide) aqueous solution at 24° C. for 80 seconds, it was washed with pure water for 1 minute. By these operations, the substrate on which unnecessary portions were removed and the pattern was formed was cured by heating in an oven at 230° C. for 30 minutes to obtain a substrate having grid-like partition walls without residue.

(UV耐性評価(隔壁のインクジェット塗布適性))
前記格子状の隔壁を有する基板に対して、オーク社製ドライプロッセサーVUM-3073を用いて、紫外線(UV)を3分間照射した。この時の波長254nmにおける強度は9mW/cm2であった。
UV照射後の基板の格子状の隔壁で囲われた画素部分に対して、富士フィルム社製DMP-2831を用いてインクジェット塗布を行った。インクとして、溶剤(安息香酸イソアミル)を単独で使用し、1画素あたり480pLの塗布を行い、決壊(インクが隔壁を乗り越えて隣の画素部分に混入する現象)の有無の評価を行った。隔壁の撥インク性が高いほど、決壊が抑制される傾向がある。実施例1~5において、インクジェット塗布後の隔壁内の濡れ広がり性は良好であり、隔壁外へのあふれ出しはなかった。
(UV resistance evaluation (inkjet coating suitability of partition walls))
The substrate having the grid-like partition walls was irradiated with ultraviolet (UV) rays for 3 minutes using a dry processor VUM-3073 manufactured by ORC. At this time, the intensity at a wavelength of 254 nm was 9 mW/cm 2 .
Ink jet coating was performed using DMP-2831 manufactured by Fuji Film Co., Ltd. on the pixel portion surrounded by the grid-like partition walls of the substrate after the UV irradiation. A solvent (isoamyl benzoate) was used alone as the ink, and 480 pL of ink was applied per pixel, and the presence or absence of breakage (a phenomenon in which the ink crosses over the partition and mixes into the adjacent pixel portion) was evaluated. Breakage tends to be suppressed as the ink repellency of the partition wall increases. In Examples 1 to 5, the wetting and spreading property inside the partition walls after the inkjet coating was good, and there was no overflow to the outside of the partition walls.

Figure 0007205089000056
Figure 0007205089000056

実施例1~5の感光性樹脂組成物を用いた塗布基板は、UV照射後の接触角の低下率が低く、また、UV照射後のIJ塗布適性が良好であることが確認された。
これに対して比較例1の感光性樹脂組成物を用いた塗布基板は、UV照射後の接触角の低下が著しい結果となった。また、比較例2の感光性樹脂組成物を用いた塗布基板は、UV照射前から接触角が低かった。
It was confirmed that the coated substrates using the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 5 had a low rate of decrease in contact angle after UV irradiation and had good IJ coating suitability after UV irradiation.
On the other hand, the coated substrate using the photosensitive resin composition of Comparative Example 1 showed a significant decrease in the contact angle after UV irradiation. Further, the coated substrate using the photosensitive resin composition of Comparative Example 2 had a low contact angle even before UV irradiation.

本発明の効果に関して詳細な機構は明らかになっていないが、以下のように考えられる。
実施例1~5の感光性樹脂組成物は、撥液剤として、アダマンタン骨格及びエチレン性二重結合を有するフッ素原子含有アクリル樹脂(a-1)を含むものであるが、分解しづらい剛直なアダマンタン骨格を有することによって、UV照射における撥液剤の分解が抑制され、UV照射後の隔壁表面におけるフッ素原子の存在量を維持でき、UV照射後の接触角の低下率が低く、IJ塗布適性が良好になると考えられる。また、(C)光重合性化合物100質量部に対する(B)アルカリ可溶性樹脂の含有割合が500質量部以下であることにより、光硬化性を高くすることができ、露光処理時に十分な量の撥液剤をパターン表面に固定できており、それによってUV照射前から接触角が高くなっていると考えられる。
Although the detailed mechanism of the effect of the present invention has not been clarified, it is considered as follows.
The photosensitive resin compositions of Examples 1 to 5 contain a fluorine atom-containing acrylic resin (a-1) having an adamantane skeleton and an ethylenic double bond as a liquid-repellent agent. By having it, the decomposition of the liquid repellent agent in UV irradiation is suppressed, the abundance of fluorine atoms on the barrier rib surface after UV irradiation can be maintained, the contact angle decrease rate after UV irradiation is low, and the IJ coating suitability is improved. Conceivable. In addition, since the content of (B) the alkali-soluble resin relative to 100 parts by mass of the (C) photopolymerizable compound is 500 parts by mass or less, the photocurability can be increased, and a sufficient amount of repellency can be obtained during exposure processing. It is believed that the liquid agent can be fixed on the pattern surface, thereby increasing the contact angle even before the UV irradiation.

これに対して比較例1の感光性樹脂組成物は、撥液剤としてフッ素原子含有アクリル樹脂(a-2)を含むものの、アダマンタン骨格を有さないものであるため、UV照射によって分解してしまい、UV照射後の隔壁表面におけるフッ素原子の存在量が少なくなってしまい、UV照射後の接触角の低下率が低くなったと考えられる。 On the other hand, the photosensitive resin composition of Comparative Example 1 contains a fluorine atom-containing acrylic resin (a-2) as a liquid repellent agent, but does not have an adamantane skeleton, so it is decomposed by UV irradiation. It is thought that the amount of fluorine atoms present on the barrier rib surface after UV irradiation decreased, and the rate of decrease in the contact angle after UV irradiation decreased.

また、比較例2の感光性樹脂組成物は、撥液剤として、アダマンタン骨格及びエチレン性二重結合を有するフッ素原子含有アクリル樹脂(a-1)を含むものであるものの、(C)光重合性化合物100質量部に対する(B)アルカリ可溶性樹脂の含有割合が500質量部を超えるものであることによって、光硬化性が低く、露光処理時に十分な量の撥液剤をパターン表面に固定できず、その後の現像処理時に撥液剤が流出してしまい、UV照射前から接触角が低くなったと考えられる。 In addition, although the photosensitive resin composition of Comparative Example 2 contains a fluorine atom-containing acrylic resin (a-1) having an adamantane skeleton and an ethylenic double bond as a liquid repellent agent, (C) the photopolymerizable compound 100 When the content ratio of the alkali-soluble resin (B) exceeds 500 parts by mass, the photocurability is low, and a sufficient amount of the liquid-repellent agent cannot be fixed to the pattern surface during the exposure process, resulting in subsequent development. It is thought that the liquid-repellent agent flowed out during the treatment, and the contact angle became lower than before the UV irradiation.

Claims (8)

(A)撥液剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)光重合性化合物、及び(D)光重合
開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、
前記(A)撥液剤が、アダマンタン骨格及びエチレン性二重結合を有するフッ素原子含
有アクリル樹脂(a)を含み、
前記(C)光重合性化合物100質量部に対する前記(B)アルカリ可溶性樹脂の含有
割合が300質量部以下であり、
前記フッ素原子含有アクリル樹脂(a)が下記一般式(1-1)で表される部分構造及
び下記一般式(2)で表される部分構造を有し、
前記(C)光重合性化合物が、脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエ
ステルを含有し、
前記(C)光重合性化合物が、(メタ)アクリロイルオキシ基に由来するエチレン性不
飽和結合を5個以上有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
Figure 0007205089000057
(式(1-1)中、R 1 及びR 3 は各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。
1 は置換基を有していてもよいアダマンチレン基を表す。
2 はウレタン結合又はエステル結合を表す。
3 は2価の炭化水素基を表す。
*は結合手を表す。)
Figure 0007205089000058
(式(2)中、R4及びR5は各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。
4はパーフルオロアルキレン基を表す。式(2)中に含まれる複数のX4は同一のもの
でも異なるものでもよく、異なるものの場合にはランダム状に存在してもブロック状に存
在していてもよい。
5は各々独立に、直接結合又は任意の2価の連結基を表す。
nは1以上の整数である。
*は結合手を表す。)
A photosensitive resin composition containing (A) a liquid repellent agent, (B) an alkali-soluble resin, (C) a photopolymerizable compound, and (D) a photopolymerization initiator,
The (A) liquid repellent agent contains a fluorine atom-containing acrylic resin (a) having an adamantane skeleton and an ethylenic double bond,
The content ratio of the (B) alkali-soluble resin to 100 parts by mass of the (C) photopolymerizable compound is 300 parts by mass or less,
The fluorine atom - containing acrylic resin (a) has a partial structure represented by the following general formula (1-1) and a partial structure represented by the following general formula (2),
The (C) photopolymerizable compound contains an ester of an aliphatic polyhydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid ,
The (C) photopolymerizable compound is an ethylenically unsaturated compound derived from a (meth)acryloyloxy group.
A photosensitive resin composition characterized by having 5 or more saturated bonds .
Figure 0007205089000057
(In formula (1-1), R 1 and R 3 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group.
X 1 represents an adamantylene group optionally having a substituent.
X2 represents a urethane bond or an ester bond.
X3 represents a divalent hydrocarbon group.
* represents a bond. )
Figure 0007205089000058
(In Formula (2), R 4 and R 5 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group.
X4 represents a perfluoroalkylene group. A plurality of X 4 contained in formula (2) may be the same or different, and in the case of different ones, they may exist randomly or in blocks.
Each X 5 independently represents a direct bond or any divalent linking group.
n is an integer of 1 or more.
* represents a bond. )
前記(B)アルカリ可溶性樹脂が、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(b1)を含有
する、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
2. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the alkali-soluble resin (B) contains an epoxy (meth)acrylate resin (b1).
前記(A)撥液剤の含有割合が、全固形分中に2質量%以下である、請求項1又は2
記載の感光性樹脂組成物。
The photosensitive resin composition according to claim 1 or 2 , wherein the content of (A) the liquid repellent agent is 2% by mass or less in the total solid content.
隔壁形成用である請求項1~のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 4. The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3 , which is used for forming partition walls. 請求項1~のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物で構成される隔壁。 A partition made of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4 . 請求項に記載の隔壁を備える有機電界発光素子。 An organic electroluminescence device comprising the partition according to claim 5 . 請求項に記載の有機電界発光素子を含む画像表示装置。 An image display device comprising the organic electroluminescence device according to claim 6 . 請求項に記載の有機電界発光素子を含む照明。 A lighting comprising the organic electroluminescent device according to claim 6 .
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