JP2018018036A - Photosensitive resin composition for forming partition wall, partition wall, organic electroluminescent element, image display device and illumination - Google Patents

Photosensitive resin composition for forming partition wall, partition wall, organic electroluminescent element, image display device and illumination Download PDF

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JP2018018036A JP2016150608A JP2016150608A JP2018018036A JP 2018018036 A JP2018018036 A JP 2018018036A JP 2016150608 A JP2016150608 A JP 2016150608A JP 2016150608 A JP2016150608 A JP 2016150608A JP 2018018036 A JP2018018036 A JP 2018018036A
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達格 土谷
Tatsutada Tsuchiya
達格 土谷
和裕 中谷
Kazuhiro Nakatani
和裕 中谷
明日香 木村
Asuka Kimura
明日香 木村
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition for forming a partition wall that reduces an amount of outgas when operating a light emitting element, has high reliability, causes few residues, and secures excellent application properties in inkjet system.SOLUTION: A photosensitive resin composition for forming a partition wall contains (A) an ethylenic unsaturated compound, (B) a photopolymerization initiator and (C) an alkali-soluble resin, the (C) alkali-soluble resin containing (C1) an epoxy (meth) acrylate resin, and (C2) an acryl copolymer resin having an ethylenically unsaturated group in a side chain.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、隔壁を形成するために用いられる隔壁形成用感光性樹脂組成物に関し、特に隔壁形成用感光性樹脂組成物で構成される隔壁や、該隔壁を備える有機電界発光素子、該有機電界発光素子を含む画像表示装置及び照明に関する。   The present invention relates to a partition-forming photosensitive resin composition used for forming a partition, and in particular, a partition composed of the partition-forming photosensitive resin composition, an organic electroluminescence device including the partition, and the organic electric field. The present invention relates to an image display device including a light emitting element and illumination.

従来から、有機電界ディスプレイや有機電界照明などに含まれる有機電界発光素子は、基板上に、隔壁(バンク)を形成した後に、隔壁に囲まれた領域内に、種々の機能層を積層して製造されている。このような隔壁を容易に形成する方法として、感光性樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィー法により形成する方法が知られている(特許文献1参照)。   Conventionally, an organic electroluminescent device included in an organic electric field display or organic electric field illumination has a barrier rib (bank) formed on a substrate, and various functional layers are laminated in a region surrounded by the barrier rib. It is manufactured. As a method for forming such a partition easily, a method of forming by a photolithography method using a photosensitive resin composition is known (see Patent Document 1).

また、隔壁に囲まれた領域内に種々の機能層を積層する方法としては、まず機能層を構成する材料を含むインクを調製し、次いで、調製したインクを隔壁に囲まれた領域内に注入する方法が知られている。この方法の中でも、所定量のインクを所定の箇所に正確に注入しやすいことから、インクジェット法が採用されることが多い。   In addition, as a method for laminating various functional layers in the region surrounded by the partition walls, first, an ink containing a material constituting the functional layer is prepared, and then the prepared ink is injected into the region surrounded by the partition walls. How to do is known. Among these methods, an ink jet method is often employed because a predetermined amount of ink is easily injected accurately into a predetermined location.

さらに、インクを用いて機能層を形成する場合、隔壁へのインクの付着の予防や、隣接する領域間に注入されるインク同士が混合されることを防ぐ目的等で、隔壁に撥インク性を付与することが求められる場合がある。
また近年、隔壁には撥インク性以外にも種々の特性が要求されており、種々の感光性樹脂組成物が開発されている。例えば特許文献2には特定の光吸収に関する材料を選定することで開口部の残渣を低減する方法が記載されている。また一方で特許文献3のように、隔壁形成時に発生するアウトガスを低減するため、開始剤種を選択する方法が記載されている。また特許文献4には、分散性や保存性を改善するために異なる樹脂種を混合すること方法が記載されている。
Furthermore, when the functional layer is formed using ink, the partition wall has ink repellency for the purpose of preventing the ink from adhering to the partition wall or preventing the ink injected between adjacent regions from being mixed together. It may be required to grant.
In recent years, various properties in addition to ink repellency are required for the partition walls, and various photosensitive resin compositions have been developed. For example, Patent Document 2 describes a method of reducing the residue in the opening by selecting a material related to specific light absorption. On the other hand, as in Patent Document 3, a method for selecting an initiator species is described in order to reduce outgas generated during the formation of the partition walls. Patent Document 4 describes a method of mixing different resin types in order to improve dispersibility and storage stability.

特開2010−262940号公報JP 2010-262940 A 国際公開第2015/125787号パンフレットInternational Publication No. 2015/125787 Pamphlet 特開2011−146375号公報JP 2011-146375 A 国際公開第2013/069789号パンフレットInternational Publication No. 2013/069789 Pamphlet

近年、素子の駆動寿命を向上させるため、隔壁、素子形成後の素子発光時に隔壁から発生するアウトガスを低減する要望がある。
本発明者らが検討したところ、特許文献2及び4に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、残渣の低減、撥インク性と、長期間の発光素子稼働時のアウトガスの低減との両立が困難であることが見出された。さらに特許文献3に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、長期間の発光素子稼働時のアウトガスの低減が不十分であることが見出された。
そこで本発明は、発光素子稼働時のアウトガス量が少なく信頼性が高く、残渣が少なく、インクジェット法において良好な塗布性が得られる隔壁形成用感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
また、本発明は、当該隔壁形成用感光性樹脂組成物を用いて形成された隔壁、当該隔壁を備える有機電界発光素子、該有機電界発光素子を含む画像表示装置及び照明を提供することを目的とする
In recent years, in order to improve the drive life of an element, there is a demand for reducing outgas generated from the partition during light emission after the partition and element formation.
As a result of investigations by the present inventors, the photosensitive resin composition for forming a partition described in Patent Documents 2 and 4 achieves both reduction of residue, ink repellency, and reduction of outgas during long-time operation of the light emitting device. Has been found to be difficult. Furthermore, it has been found that the partition wall-forming photosensitive resin composition described in Patent Document 3 has insufficient reduction of outgas during long-term operation of the light-emitting device.
Therefore, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition for forming a partition wall, which has a small amount of outgas when operating a light emitting device, high reliability, little residue, and good coating properties in an ink jet method.
Another object of the present invention is to provide a partition formed using the photosensitive resin composition for forming a partition, an organic electroluminescent element including the partition, an image display apparatus including the organic electroluminescent element, and illumination. To

本発明者らが鋭意検討した結果、エチレン性不飽和化合物、光重合開始剤及びアルカリ可溶性樹脂を含有する隔壁形成用感光性樹脂組成物において、特定のアルカリ可溶性樹脂を併用することで上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。
即ち本発明の要旨は以下の通りである。
As a result of intensive studies by the present inventors, in the photosensitive resin composition for forming a partition wall containing an ethylenically unsaturated compound, a photopolymerization initiator, and an alkali-soluble resin, the above problem can be solved by using a specific alkali-soluble resin in combination. The inventors have found that this can be solved, and have completed the present invention.
That is, the gist of the present invention is as follows.

[1] (A)エチレン性不飽和化合物、(B)光重合開始剤及び(C)アルカリ可溶性樹脂を含有する隔壁形成用感光性樹脂組成物であって、
前記(C)アルカリ可溶性樹脂が、(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂、及び(C2)側鎖にエチレン性不飽和基を有するアクリル共重合樹脂を含有することを特徴とする隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[2] 前記(C2)アクリル共重合樹脂が、下記一般式(I)で示される部分構造含む、[1]に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[1] A partition-forming photosensitive resin composition comprising (A) an ethylenically unsaturated compound, (B) a photopolymerization initiator, and (C) an alkali-soluble resin,
The (C) alkali-soluble resin contains (C1) an epoxy (meth) acrylate resin, and (C2) an acrylic copolymer resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain. Resin composition.
[2] The partition wall-forming photosensitive resin composition according to [1], wherein the (C2) acrylic copolymer resin includes a partial structure represented by the following general formula (I).

Figure 2018018036
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(式(I)中、R1は水素原子又はメチル基を表す。R2は置換基を有していてもよいアルケニル基又は下記一般式(II)で表される基を表す。R3は水素原子又は下記一般式(III)で表される基を表す。) (In formula (I), R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group. R 2 represents an alkenyl group which may have a substituent or a group represented by the following general formula (II). R 3 represents Represents a hydrogen atom or a group represented by the following general formula (III).)

Figure 2018018036
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(式(II)中、R4は置換基を有していてもよいアルケニル基を表す。αは置換基を有していてもよいアルキレン基、置換基を有していてもよいアリーレン基、又は置換基を有していてもよいアルケニレン基を表す。*はカルボニル炭素との結合手を表す。) (In the formula (II), R 4 represents an alkenyl group which may have a substituent. Α represents an alkylene group which may have a substituent, an arylene group which may have a substituent, Or an alkenylene group which may have a substituent, * represents a bond to the carbonyl carbon.

Figure 2018018036
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(上記式(III)中、βはジカルボン酸の残基である。)
[3] 前記(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂が、以下の一般式(C1−1)〜(C1−6)で示される樹脂のうち少なくとも1種を含有する、[1]又は[2]に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
(In the above formula (III), β is a residue of a dicarboxylic acid.)
[3] The [C1] epoxy (meth) acrylate resin contains at least one of the resins represented by the following general formulas (C1-1) to (C1-6): [1] or [2] The photosensitive resin composition for barrier rib formation as described in 2.

Figure 2018018036
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(式(C1−1)中、R111は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、又はアリール基を表し、n111は0〜20の整数を表す。) (In formula (C1-1), R 111 represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group, or an aryl group, and n 111 represents an integer of 0 to 20.)

Figure 2018018036
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(式(C1−2)中、R121は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基を表し、n121は0〜20の整数を表す。) (In the formula (C1-2), R 121 represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group or an aryl group, and n 121 represents an integer of 0 to 20.)

Figure 2018018036
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(式(C1−3)中、R131は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基を表す。m131及びn131は各々独立に0〜20の整数を表す。γは単結合、−CO−、−CH2−、−C(CH32−、下記式(IV)に示す基、又は下記式(V)に示す基を表す。δは水素原子又は多塩基酸残基を表す。) (In the formula (C1-3), R 131 represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group or an aryl group. M 131 and n 131 each independently represents an integer of 0 to 20. γ is a single bond, —CO. —, —CH 2 —, —C (CH 3 ) 2 —, a group represented by the following formula (IV), or a group represented by the following formula (V): δ represents a hydrogen atom or a polybasic acid residue. )

Figure 2018018036
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(式(C1−4)中、R141はアルキル基又はハロゲン原子を表し、pは0〜4の整数を表す。) (In the formula (C1-4), R 141 represents an alkyl group or a halogen atom, and p represents an integer of 0 to 4.)

Figure 2018018036
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(式(C1−6)中、R161は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基を表し、n161は0〜20の整数を表す。
また式(C1−1)〜式(C1−6)中、Aは下記一般式(VI)に示す基を表す。)
(In the formula (C1-6), R 161 represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group or an aryl group, and n 161 represents an integer of 0 to 20.
In the formulas (C1-1) to (C1-6), A represents a group represented by the following general formula (VI). )

Figure 2018018036
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(式(VI)中、R171は水素原子又はメチル基を表し、R172はアルキレン基を表し、m171は0〜10の整数を表す。またδは、水素原子又は多塩基酸残基を表す。)
[4] 前記(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂が、エポキシ樹脂にエチレン性不飽和モノカルボン酸又はエステル化合物を付加し、更に多塩基酸又はその無水物を反応させた樹脂である、[1]〜[3]のいずれかに記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[5] 前記(C)アルカリ可溶性樹脂における(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂の含有割合が30〜95質量%である、[1]〜[4]のいずれかに記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[6] 前記(C)アルカリ可溶性樹脂の平均酸価が50mg−KOH/g以下である、[1]〜[5]のいずれかに記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[7] さらに(D)撥液剤を含有する、[1]〜[6]のいずれかに記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[8] 前記(D)撥液剤が架橋基を有する、[7]に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[9] さらに連鎖移動剤を含有する、[1]〜[8]のいずれかに記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
(In formula (VI), R 171 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 172 represents an alkylene group, m 171 represents an integer of 0 to 10. δ represents a hydrogen atom or a polybasic acid residue. Represents.)
[4] The (C1) epoxy (meth) acrylate resin is a resin obtained by adding an ethylenically unsaturated monocarboxylic acid or an ester compound to an epoxy resin and further reacting with a polybasic acid or an anhydride thereof. ] The photosensitive resin composition for partition formation in any one of [3].
[5] The barrier rib-forming photosensitivity according to any one of [1] to [4], wherein the content ratio of the (C1) epoxy (meth) acrylate resin in the (C) alkali-soluble resin is 30 to 95% by mass. Resin composition.
[6] The partition wall forming photosensitive resin composition according to any one of [1] to [5], wherein the (C) alkali-soluble resin has an average acid value of 50 mg-KOH / g or less.
[7] The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to any one of [1] to [6], further comprising (D) a liquid repellent.
[8] The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to [7], wherein the liquid repellent (D) has a crosslinking group.
[9] The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to any one of [1] to [8], further containing a chain transfer agent.

[10] さらに紫外線吸収剤を含有する、[1]〜[9]のいずれかに記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[11] [1]〜[10]のいずれかに記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物で構成される隔壁。
[12] [11]に記載の隔壁を備える有機電界発光素子。
[13] [12]に記載の有機電界発光素子を含む画像表示装置。
[14] [12]に記載の有機電界発光素子を含む照明。
[10] The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to any one of [1] to [9], further comprising an ultraviolet absorber.
[11] A partition composed of the photosensitive resin composition for forming a partition according to any one of [1] to [10].
[12] An organic electroluminescence device comprising the partition wall according to [11].
[13] An image display device comprising the organic electroluminescent element according to [12].
[14] An illumination including the organic electroluminescent element according to [12].

本発明により、発光素子稼働時のアウトガス量が少なく信頼性が高く、残渣が少なく、インクジェット法において良好な塗布性が得られる隔壁形成用感光性樹脂組成物を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a photosensitive resin composition for forming a partition wall, which has a small amount of outgas when operating a light emitting device, high reliability, little residue, and good coating properties in an inkjet method.

図1は、隔壁のテーパ角度の評価方法の説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a method for evaluating a taper angle of a partition wall.

以下、本発明を詳細に説明する。なお、以下の記載は本発明の実施形態の一例であり、本発明はその要旨を超えない限り、これらに特定されない。
なお、本発明において、「(メタ)アクリル」とは、「アクリル及び/又はメタクリル」を意味するものとし、また、「全固形分」とは、感光性樹脂組成物における溶剤以外の全成分を意味するものとする。さらに、本発明において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
また、本発明において、「(共)重合体」とは、単一重合体(ホモポリマー)と共重合体(コポリマー)の双方を含むことを意味し、また、「(酸)無水物」、「(無水)…酸」とは、酸とその無水物の双方を含むことを意味する。
本発明において、隔壁材とはバンク材、壁材、ウォール材をさし、同様に、隔壁とはバンク、壁、ウォールをさす。
本発明において、重量平均分子量とは、GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)によるポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)をさす。
Hereinafter, the present invention will be described in detail. In addition, the following description is an example of embodiment of this invention, and this invention is not specified to these, unless the summary is exceeded.
In the present invention, “(meth) acryl” means “acryl and / or methacryl”, and “total solids” means all components other than the solvent in the photosensitive resin composition. Shall mean. Furthermore, the numerical range represented using “to” in the present invention means a range including numerical values described before and after “to” as a lower limit value and an upper limit value.
In the present invention, the term “(co) polymer” means that both a single polymer (homopolymer) and a copolymer (copolymer) are included, and “(acid) anhydride”, “ The term “(anhydrous)... Acid” means to include both an acid and its anhydride.
In the present invention, the partition material refers to bank material, wall material, and wall material, and similarly, the partition material refers to bank, wall, and wall.
In the present invention, the weight average molecular weight refers to a polystyrene equivalent weight average molecular weight (Mw) by GPC (gel permeation chromatography).

[1]隔壁形成用感光性樹脂組成物
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(A)エチレン性不飽和化合物、(B)光重合開始剤及び(C)アルカリ可溶性樹脂を含有する隔壁形成用感光性樹脂組成物であって、前記(C)アルカリ可溶性樹脂が、(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂、及び(C2)側鎖にエチレン性不飽和基を有するアクリル共重合樹脂を含有することを特徴とする。さらに必要に応じてさらにその他の成分を含んでいてもよく、例えば(D)撥液剤や、連鎖移動剤や、紫外線吸収剤を含んでいてもよい。
[1] Photosensitive resin composition for forming a partition The photosensitive resin composition for forming a partition of the present invention contains (A) an ethylenically unsaturated compound, (B) a photopolymerization initiator, and (C) an alkali-soluble resin. A photosensitive resin composition for forming a partition, wherein the (C) alkali-soluble resin comprises (C1) an epoxy (meth) acrylate resin, and (C2) an acrylic copolymer resin having an ethylenically unsaturated group in a side chain. It is characterized by containing. Furthermore, other components may be further included as necessary, and for example, (D) a liquid repellent, a chain transfer agent, and an ultraviolet absorber may be included.

本発明において隔壁とは、例えば、アクティブ駆動型有機電界発光素子における機能層(有機層)を区画するためのものであり、区画された領域(画素領域)に機能層を構成するための材料であるインクを吐出、乾燥することで、機能層及び隔壁からなる画素等を形成させていくために使用されるものである。   In the present invention, the partition wall is, for example, a material for partitioning a functional layer (organic layer) in the active drive organic electroluminescence device, and is a material for forming the functional layer in the partitioned region (pixel region). It is used to form pixels and the like composed of functional layers and partition walls by ejecting and drying a certain ink.

[1−1]隔壁形成用感光性樹脂組成物の成分および組成
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物を構成する成分およびその組成について説明する。
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物(以下、単に「感光性樹脂組成物」という場合がある)は、(A)エチレン性不飽和化合物、(B)光重合開始剤及び(C)アルカリ可溶性樹脂を含有し、さらに通常は、さらに溶剤も含有する。また、本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、撥液性の隔壁を形成するために用いることが好ましく、係る観点からは(D)撥液剤を含有することが好ましく、また、前記(A)〜(C)成分として撥液剤としての作用を示すものを用いてもよい。
[1-1] Components and composition of the photosensitive resin composition for forming a partition The components and the composition of the photosensitive resin composition for forming a partition of the present invention will be described.
The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as “photosensitive resin composition”) includes (A) an ethylenically unsaturated compound, (B) a photopolymerization initiator, and (C) an alkali. It contains a soluble resin and usually further contains a solvent. Moreover, it is preferable to use the photosensitive resin composition for partition formation of this invention in order to form a liquid-repellent partition, It is preferable to contain (D) liquid repellent from the viewpoint which concerns, and the said ( You may use what shows the effect | action as a liquid repellent as A)-(C) component.

[1−1−1](A)成分;エチレン性不飽和化合物
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(A)エチレン性不飽和化合物を含有する。(A)エチレン性不飽和化合物を含むことで、高感度となると考えられる。
ここで使用されるエチレン性不飽和化合物としては、エチレン性不飽和結合を分子内に1個以上有する化合物を意味するが、重合性、架橋性、およびそれに伴う露光部と非露光部の現像液溶解性の差異を拡大できる等の点から、エチレン性不飽和結合を分子内に2個以上有する化合物であることが好ましく、また、その不飽和結合は(メタ)アクリロイルオキシ基に由来するもの、つまり、(メタ)アクリレート化合物であることがさらに好ましい。
[1-1-1] (A) component; ethylenically unsaturated compound The photosensitive resin composition for partition formation of the present invention contains (A) an ethylenically unsaturated compound. (A) It is thought that it becomes high sensitivity by including an ethylenically unsaturated compound.
As used herein, an ethylenically unsaturated compound means a compound having at least one ethylenically unsaturated bond in the molecule, but it is polymerizable, crosslinkable, and a developer solution for exposed and non-exposed areas associated therewith. In view of the ability to expand the difference in solubility, the compound is preferably a compound having two or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule, and the unsaturated bond is derived from a (meth) acryloyloxy group, That is, it is more preferable that it is a (meth) acrylate compound.

本発明においては、特に、1分子中にエチレン性不飽和結合を2個以上有する多官能エチレン性単量体を使用することが望ましい。多官能エチレン性単量体が有するエチレン性不飽和基の数は特に限定されないが、好ましくは2以上、より好ましくは3以上、さらに好ましくは5以上であり、また、好ましくは15以下、より好ましくは10以下である。前記下限値以上とすることで重合性が向上して高感度となる傾向があり、前記上限値以下とすることで現像性がより良好となる傾向がある。
エチレン性不飽和化合物の具体例としては、脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル;芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル;脂肪族ポリヒドロキシ化合物、芳香族ポリヒドロキシ化合物等の多価ヒドロキシ化合物と、不飽和カルボン酸及び多塩基性カルボン酸とのエステル化反応により得られるエステルなどが挙げられる。
In the present invention, it is particularly desirable to use a polyfunctional ethylenic monomer having two or more ethylenically unsaturated bonds in one molecule. The number of ethylenically unsaturated groups contained in the polyfunctional ethylenic monomer is not particularly limited, but is preferably 2 or more, more preferably 3 or more, still more preferably 5 or more, and preferably 15 or less, more preferably Is 10 or less. By setting it as the said lower limit or more, there exists a tendency for polymerizability to improve and to become high sensitivity, and there exists a tendency for developability to become more favorable by setting it as the said upper limit or less.
Specific examples of the ethylenically unsaturated compound include an ester of an aliphatic polyhydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid; an ester of an aromatic polyhydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid; an aliphatic polyhydroxy compound and an aromatic polyhydroxy compound And esters obtained by an esterification reaction of a polyvalent hydroxy compound such as an unsaturated carboxylic acid and a polybasic carboxylic acid.

前記脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルとしては、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、グリセロールアクリレート等の脂肪族ポリヒドロキシ化合物のアクリル酸エステル、これら例示化合物のアクリレートをメタクリレートに代えたメタクリル酸エステル、同様にイタコネートに代えたイタコン酸エステル、クロネートに代えたクロトン酸エステルもしくはマレエートに代えたマレイン酸エステル等が挙げられる。   Examples of the ester of the aliphatic polyhydroxy compound and the unsaturated carboxylic acid include ethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolethane triacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate, Acrylic acid esters of aliphatic polyhydroxy compounds such as pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, glycerol acrylate, etc. In the same way, itaconic acid ester instead of itaconate, Maleic acid esters in which instead of the crotonic acid ester or maleate was changed to and the like.

芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルとしては、ハイドロキノンジアクリレート、ハイドロキノンジメタクリレート、レゾルシンジアクリレート、レゾルシンジメタクリレート、ピロガロールトリアクリレート等の芳香族ポリヒドロキシ化合物のアクリル酸エステル及びメタクリル酸エステル等が挙げられる。
脂肪族ポリヒドロキシ化合物、芳香族ポリヒドロキシ化合物等の多価ヒドロキシ化合物と、不飽和カルボン酸及び多塩基性カルボン酸とのエステル化反応により得られるエステルとしては必ずしも単一物ではないが、代表的な具体例を挙げれば、アクリル酸、フタル酸、及びエチレングリコールの縮合物、アクリル酸、マレイン酸、及びジエチレングリコールの縮合物、メタクリル酸、テレフタル酸及びペンタエリスリトールの縮合物、アクリル酸、アジピン酸、ブタンジオール及びグリセリンの縮合物等が挙げられる。
Examples of the ester of an aromatic polyhydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid include acrylic acid esters and methacrylic acid esters of aromatic polyhydroxy compounds such as hydroquinone diacrylate, hydroquinone dimethacrylate, resorcin diacrylate, resorcin dimethacrylate, pyrogallol triacrylate and the like. Etc.
Esters obtained by esterification reaction of polyvalent hydroxy compounds such as aliphatic polyhydroxy compounds and aromatic polyhydroxy compounds with unsaturated carboxylic acids and polybasic carboxylic acids are not necessarily a single substance, but are representative. Specific examples include condensates of acrylic acid, phthalic acid, and ethylene glycol, condensates of acrylic acid, maleic acid, and diethylene glycol, condensates of methacrylic acid, terephthalic acid, and pentaerythritol, acrylic acid, adipic acid, Examples include butanediol and glycerin condensates.

その他、本発明に用いられる多官能エチレン性単量体の例としては、ポリイソシアネート化合物と水酸基含有(メタ)アクリル酸エステル又はポリイソシアネート化合物とポリオール及び水酸基含有(メタ)アクリル酸エステルを反応させて得られるようなウレタン(メタ)アクリレート類;多価エポキシ化合物とヒドロキシ(メタ)アクリレート又は(メタ)アクリル酸との付加反応物のようなエポキシアクリレート類;エチレンビスアクリルアミド等のアクリルアミド類;フタル酸ジアリル等のアリルエステル類;ジビニルフタレート等のビニル基含有化合物等が有用である。
上記ウレタン(メタ)アクリレート類としては、例えば、DPHA−40H、UX−5000、UX−5002D−P20、UX−5003D、UX−5005(日本化薬社製)、U−2PPA、U−6LPA、U−10PA、U−33H、UA−53H、UA−32P、UA−1100H(新中村化学工業社製)、UA−306H、UA−510H、UF−8001G(協栄社化学社製)、UV−1700B、UV−7600B、UV−7605B、UV−7630B、UV7640B(日本合成化学社製)等が挙げられる。
In addition, as an example of the polyfunctional ethylenic monomer used in the present invention, a polyisocyanate compound and a hydroxyl group-containing (meth) acrylate ester or a polyisocyanate compound and a polyol and a hydroxyl group-containing (meth) acrylate ester are reacted. Urethane (meth) acrylates as obtained; epoxy acrylates such as addition reaction product of polyvalent epoxy compound and hydroxy (meth) acrylate or (meth) acrylic acid; acrylamides such as ethylenebisacrylamide; diallyl phthalate Allyl esters such as: vinyl group-containing compounds such as divinyl phthalate are useful.
Examples of the urethane (meth) acrylates include DPHA-40H, UX-5000, UX-5002D-P20, UX-5003, UX-5005 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), U-2PPA, U-6LPA, U -10PA, U-33H, UA-53H, UA-32P, UA-1100H (made by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), UA-306H, UA-510H, UF-8001G (made by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), UV-1700B , UV-7600B, UV-7605B, UV-7630B, UV7640B (manufactured by Nippon Synthetic Chemical).

これらの中でも、適正なテーパ角度と感度の観点から(A)エチレン性不飽和化合物として、エステル(メタ)アクリレート類又はウレタン(メタ)アクリレート類を用いることが好ましく、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、2−トリス(メタ)アクリロイロキシメチルエチルフタル酸、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートの二塩基酸無水物付加物、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートの二塩基酸無水物付加物等を用いることがより好ましい。
これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
Among these, it is preferable to use ester (meth) acrylates or urethane (meth) acrylates as the ethylenically unsaturated compound (A) from the viewpoint of an appropriate taper angle and sensitivity, and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate. Dipentaerythritol penta (meth) acrylate, 2-tris (meth) acryloyloxymethylethylphthalic acid, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate More preferably, a basic acid anhydride adduct, a dibasic acid anhydride adduct of pentaerythritol tri (meth) acrylate, or the like is used.
These may be used alone or in combination of two or more.

本発明において、(A)エチレン性不飽和化合物の分子量は特に限定されないが、感度、撥液性、テーパ角度の観点から、好ましくは100以上、より好ましくは150以上で、さらに好ましくは200以上、よりさらに好ましくは300以上、特に好ましくは400以上、最も好ましくは500以上であり、好ましくは1000以下、より好ましくは700以下である。また、(A)エチレン性不飽和化合物の炭素数は特に限定されないが、感度、撥液性、テーパ角度の観点から、好ましくは7以上、より好ましくは10以上、さらに好ましくは15以上、よりさらに好ましくは20以上、特に好ましくは25以上であり、好ましくは50以下、より好ましくは40以下、さらに好ましくは35以下、特に好ましくは30以下である。
また、感度、撥液性、テーパ角度の観点から、エステル(メタ)アクリレート類、エポキシ(メタ)アクリレート類、およびウレタン(メタ)アクリレート類が好ましく、中でも、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートなど3官能以上のエステル(メタ)アクリレート類、2,2,2−トリス(メタ)アクリロイロキシメチルエチルフタル酸、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートの二塩基酸無水物付加物等の3官能以上のエステル(メタ)アクリレート類への酸無水物の付加物が、感度、撥液性、テーパ角の面でさらに好ましい。
In the present invention, the molecular weight of the (A) ethylenically unsaturated compound is not particularly limited, but is preferably 100 or more, more preferably 150 or more, and still more preferably 200 or more, from the viewpoint of sensitivity, liquid repellency, and taper angle. Even more preferably 300 or more, particularly preferably 400 or more, most preferably 500 or more, preferably 1000 or less, more preferably 700 or less. The number of carbon atoms of the (A) ethylenically unsaturated compound is not particularly limited, but is preferably 7 or more, more preferably 10 or more, still more preferably 15 or more, and still more from the viewpoint of sensitivity, liquid repellency, and taper angle. It is preferably 20 or more, particularly preferably 25 or more, preferably 50 or less, more preferably 40 or less, still more preferably 35 or less, and particularly preferably 30 or less.
Further, from the viewpoint of sensitivity, liquid repellency, and taper angle, ester (meth) acrylates, epoxy (meth) acrylates, and urethane (meth) acrylates are preferable. Among them, pentaerythritol tetra (meth) acrylate and pentaerythritol are preferable. Tri (meth) acrylate dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate and other trifunctional or more ester (meth) acrylates, 2,2,2-tris (meth) acryloyloxymethylethylphthal Acid, acid anhydride adducts to tri- or higher functional ester (meth) acrylates such as dibasic acid anhydride adducts of acid and dipentaerythritol penta (meth) acrylate are sensitive, liquid repellent and taper angle surfaces And more preferred.

本発明の感光性樹脂組成物中の(A)エチレン性不飽和化合物の含有割合は、全固形分に対して通常5質量%以上、好ましくは10質量%以上、より好ましくは20質量%以上、さらに好ましくは30質量%以上、特に好ましくは40質量%以上、通常80質量%以下、好ましくは70質量%以下、より好ましくは60質量%以下、さらに好ましくは55質量%以下、特に好ましくは50質量%以下である。前記下限値以上とすることで露光時の感度やテーパ角が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることで現像性が良好となる傾向がある。   The content ratio of the (A) ethylenically unsaturated compound in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 5% by mass or more, preferably 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, based on the total solid content. More preferably 30% by mass or more, particularly preferably 40% by mass or more, usually 80% by mass or less, preferably 70% by mass or less, more preferably 60% by mass or less, still more preferably 55% by mass or less, particularly preferably 50% by mass. % Or less. When it is at least the lower limit, the sensitivity and taper angle during exposure tend to be good, and when it is at most the upper limit, developability tends to be good.

また、(C)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対する(A)エチレン性不飽和化合物の含有割合は、通常15質量部以上、好ましくは30質量部以上、より好ましくは50質量部以上、さらに好ましくは80質量部以上、特に好ましくは90質量部以上であり、通常150質量部以下、好ましくは130質量部以下、より好ましくは120質量部以下、さらに好ましくは110質量部以下であることが好ましい。前記上限値以下とすることで現像性が良好となる傾向があり、前記下限値以上とすることで露光時に感度が良好となり、テーパ角が良好となる傾向がある。   Further, the content ratio of (A) the ethylenically unsaturated compound with respect to 100 parts by mass of (C) alkali-soluble resin is usually 15 parts by mass or more, preferably 30 parts by mass or more, more preferably 50 parts by mass or more, and further preferably 80 parts. It is preferably at least 90 parts by mass, particularly preferably at most 150 parts by mass, preferably at most 130 parts by mass, more preferably at most 120 parts by mass, even more preferably at most 110 parts by mass. When the amount is not more than the above upper limit value, the developability tends to be good, and when it is not less than the above lower limit value, the sensitivity is good at the time of exposure and the taper angle tends to be good.

[1−1−2](B)成分;光重合開始剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(B)光重合開始剤を含有する。光重合開始剤は、活性光線により、前記(A)エチレン性不飽和化合物が有するエチレン性不飽和結合を重合させる化合物であれば特に限定されるものではなく、公知の光重合開始剤を用いることができる。
[1-1-2] Component (B): Photopolymerization Initiator The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention contains (B) a photopolymerization initiator. The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it is a compound that polymerizes the ethylenically unsaturated bond of the (A) ethylenically unsaturated compound with actinic rays, and a known photopolymerization initiator is used. Can do.

本発明の感光性樹脂組成物は、(B)光重合開始剤として、この分野で通常用いられている光重合開始剤を使用することができる。このような光重合開始剤としては、例えば、ヘキサアリールビイミダゾール系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤、オキシム系光重合開始剤、トリアジン系光重合開始剤、アセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、ヒドロキシベンゼン系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤、アントラキノン系光重合開始剤、ケタール系光重合開始剤、チタノセン系光重合開始剤、ハロゲン化炭化水素誘導体系光重合開始剤、有機硼素酸塩系光重合開始剤、オニウム塩系光重合開始剤、スルホン化合物系光重合開始剤、カルバミン酸誘導体系光重合開始剤、スルホンアミド系光重合開始剤、トリアリールメタノール系光重合開始剤が挙げられる。   In the photosensitive resin composition of the present invention, a photopolymerization initiator that is usually used in this field can be used as the photopolymerization initiator (B). Examples of such photopolymerization initiators include hexaarylbiimidazole photopolymerization initiators, acylphosphine oxide photopolymerization initiators, oxime photopolymerization initiators, triazine photopolymerization initiators, and acetophenone photopolymerization initiators. Agent, benzophenone photopolymerization initiator, hydroxybenzene photopolymerization initiator, thioxanthone photopolymerization initiator, anthraquinone photopolymerization initiator, ketal photopolymerization initiator, titanocene photopolymerization initiator, halogenated hydrocarbon derivative Systemic photopolymerization initiator, organoborate photopolymerization initiator, onium salt photopolymerization initiator, sulfone compound photopolymerization initiator, carbamic acid derivative photopolymerization initiator, sulfonamide photopolymerization initiator, tria Examples include a reel methanol photopolymerization initiator.

ヘキサアリールビイミダゾール化合物としては、吸光度および感度、紫外線吸収剤の吸収波長とのマッチング性の観点から、下記一般式(1−1)及び/又は下記一般式(1−2)で表されるヘキサアリールビイミダゾール系光ラジカル開始剤が好ましい。   As the hexaarylbiimidazole compound, hexagonal compounds represented by the following general formula (1-1) and / or the following general formula (1-2) are used in terms of absorbance and sensitivity, and matching properties with the absorption wavelength of the ultraviolet absorber. Arylbiimidazole photoradical initiators are preferred.

Figure 2018018036

Figure 2018018036
Figure 2018018036

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上記式中、R11〜R13は、各々独立に水素原子、置換基を有してもよい炭素数1〜4のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数1〜4のアルコキシ基、又はハロゲン原子を表し、m、n及びlは、各々独立に0〜5の整数を表す。 In the above formulas, R 11 to R 13 are each independently a hydrogen atom, an optionally substituted alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, or an optionally substituted alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms. Or a halogen atom, and m, n and l each independently represents an integer of 0 to 5.

11〜R13のアルキル基の炭素数は1〜4の範囲内であれば特に限定されないが、感度の観点から、好ましくは3以下、より好ましくは2以下である。アルキル基は鎖状のものでも、環状のものでもよい。アルキル基の具体例としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基が挙げられ、中でもメチル基、エチル基が好ましい。R11〜R13の炭素数1〜4のアルキル基が有してもよい置換基としては、水素を除く1価の非金属原子団の基が用いられ、好ましい例としては、ハロゲン原子(−F、−Br、−Cl、−I)、ヒドロキシル基、アルコキシ基が挙げられる。 Although it will not specifically limit if carbon number of the alkyl group of R < 11 > -R < 13 > exists in the range of 1-4, Preferably it is 3 or less from a viewpoint of a sensitivity, More preferably, it is 2 or less. The alkyl group may be linear or cyclic. Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, and an isopropyl group. Among them, a methyl group and an ethyl group are preferable. As the substituent that the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms of R 11 to R 13 may have, a monovalent non-metallic atomic group other than hydrogen is used. As a preferable example, a halogen atom (— F, -Br, -Cl, -I), a hydroxyl group, and an alkoxy group.

また、R11〜R13のアルコキシ基の炭素数は1〜4の範囲内であれば特に限定されないが、感度の観点から、好ましくは3以下、より好ましくは2以下である。アルコキシ基のアルキル基部分は鎖状のものでも、環状のものでもよい。アルコキシ基の具体例とは、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロピルオキシ基、ブトキシ基が挙げられ、中でもメトキシ基、エトキシ基が好ましい。R11〜R13の炭素数1〜4のアルコキシ基が有してもよい置換基としてはアルキル基、アルコキシ基が挙げられるが、好ましくはアルキル基である。 The number of carbon atoms of the alkoxy group of R 11 to R 13 is not particularly limited as long as it is within the range of 1 to 4, but is preferably 3 or less, more preferably 2 or less from the viewpoint of sensitivity. The alkyl group part of the alkoxy group may be a chain or a ring. Specific examples of the alkoxy group include a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, an isopropyloxy group, and a butoxy group, and among them, a methoxy group and an ethoxy group are preferable. Examples of the substituent that the alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms of R 11 to R 13 may have include an alkyl group and an alkoxy group, and an alkyl group is preferable.

また、R11〜R13のハロゲン原子とは、例えば、塩素原子、ヨウ素原子、臭素原子、フッ素原子が挙げられ、中でも合成容易性の観点から、塩素原子又はフッ素原子が好ましく、塩素原子がより好ましい。
これらの中でも、感度や合成容易性の観点から、R11〜R13は各々独立にハロゲン原子であることが好ましく、塩素原子であることがより好ましい。
Examples of the halogen atom of R 11 to R 13 include a chlorine atom, an iodine atom, a bromine atom, and a fluorine atom. Among these, from the viewpoint of ease of synthesis, a chlorine atom or a fluorine atom is preferable, and a chlorine atom is more preferable. preferable.
Among these, from the viewpoints of sensitivity and ease of synthesis, R 11 to R 13 are preferably each independently a halogen atom, and more preferably a chlorine atom.

m、n及びlは、各々独立に0〜5の整数を表すが、合成容易性の観点から、m、n及びlの少なくとも1つが1以上の整数であることが好ましく、m、n及びlのうちいずれか1つが1であり、かつ、残りの2つが0であることがより好ましい。   m, n and l each independently represent an integer of 0 to 5, but from the viewpoint of ease of synthesis, at least one of m, n and l is preferably an integer of 1 or more, and m, n and l More preferably, one of them is 1 and the other two are 0.

一般式(1−1)及び/又は一般式(1−2)で表されるヘキサアリールビイミダゾール化合物としては、例えば、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,5,4’,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−メチルフェニル)−4,5,4’,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(o,p−ジクロロフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(o,p−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(o,p−ジクロロフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(p−フルオロフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(o,p−ジブロモフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(o−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(o,p−ジクロロフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(p−クロロナフチル)ビイミダゾール等が挙げられる。中でも、ヘキサフェニルビイミダゾール化合物が好ましく、そのイミダゾール環上の2,2’−位に結合したベンゼン環のo−位がメチル基、メトキシ基、又はハロゲン原子で置換されたものが更に好ましく、そのイミダゾール環上の4,4’,5,5’−位に結合したベンゼン環が無置換、又は、ハロゲン原子若しくはメトキシ基で置換されたもの等が好ましい。   Examples of the hexaarylbiimidazole compound represented by the general formula (1-1) and / or the general formula (1-2) include 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,5,4 ′, 5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o-methylphenyl) -4,5,4 ′, 5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4, 4 ', 5,5'-tetra (o, p-dichlorophenyl) biimidazole, 2,2'-bis (o, p-dichlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra (o, p-dichlorophenyl) ) Biimidazole, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (p-fluorophenyl) biimidazole, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4, 4 ', 5,5'-te La (o, p-dibromophenyl) biimidazole, 2,2′-bis (o-bromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (o, p-dichlorophenyl) biimidazole, 2,2 ′ -Bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (p-chloronaphthyl) biimidazole and the like. Among them, a hexaphenylbiimidazole compound is preferable, and a compound in which the o-position of the benzene ring bonded to the 2,2′-position on the imidazole ring is substituted with a methyl group, a methoxy group, or a halogen atom is more preferable. The benzene ring bonded to the 4,4 ′, 5,5′-position on the imidazole ring is preferably unsubstituted or substituted with a halogen atom or a methoxy group.

(B)光重合開始剤として、一般式(1−1)で表されるヘキサアリールビイミダゾール系化合物と一般式(1−2)で表されるヘキサアリールビイミダゾール系化合物のいずれかを用いても良く、両者を併用して用いても良い。併用して用いる場合には、その比率については特に限定されない。なお、実施例で用いたB−1は、一般式(1−1)を満足する構造を有する。   (B) As a photopolymerization initiator, either a hexaarylbiimidazole compound represented by general formula (1-1) or a hexaarylbiimidazole compound represented by general formula (1-2) is used. It is also possible to use both in combination. When used in combination, the ratio is not particularly limited. In addition, B-1 used in the Example has a structure that satisfies the general formula (1-1).

また、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤としては、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド等を好ましいものとして挙げることができる。   Examples of the acylphosphine oxide photopolymerization initiator include 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine oxide, and the like. .

オキシム系光重合開始剤としては、特表2004−534797号公報、特開2000−80068号公報、特開2006−36750号公報、特開2008−179611号公報、特表2012−526185号公報、特表2012−519191号公報等に記載されているオキシムエステル化合物が挙げられる。中でも感度の観点からN−アセトキシ−N−{4−アセトキシイミノ−4−[9−エチル−6−(o−トルオイル)−9H−カルバゾール−3−イル]ブタン−2−イル}アセトアミド、N−アセトキシ−N−{3−(アセトキシイミノ)−3−[9−エチル−6−(1−ナフトイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−メチルプロピル}アセトアミド、4−アセトキシイミノ−5−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−5−オキソペンタン酸メチルが、また製品名として、OXE−01、OXE−02、OXE−03(BASF社製)、TR−PBG−304、TR−PBG−305(常州強力社製)、NCI−831、NCI−930(ADEKA社製)等を好ましいものとして挙げることができる。   Examples of the oxime photopolymerization initiator include JP-T 2004-534797, JP-A 2000-80068, JP-A 2006-36750, JP-A 2008-179611, JP-A 2012-526185, Examples include oxime ester compounds described in Table 2012-519191. Among these, from the viewpoint of sensitivity, N-acetoxy-N- {4-acetoxyimino-4- [9-ethyl-6- (o-toluoyl) -9H-carbazol-3-yl] butan-2-yl} acetamide, N- Acetoxy-N- {3- (acetoxyimino) -3- [9-ethyl-6- (1-naphthoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1-methylpropyl} acetamide, 4-acetoxyimino-5 [9-Ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -5-oxopentanoic acid methyl has the product names OXE-01, OXE-02, OXE-03 (BASF Corporation). ), TR-PBG-304, TR-PBG-305 (manufactured by Changzhou Strong Company), NCI-831, NCI-930 (manufactured by ADEKA) and the like. be able to.

アセトフェノン系光重合開始剤としては、例えば、2,2−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、1−ヒドロキシ−1−(p−ドデシルフェニル)ケトン、1−ヒドロキシ−1−メチルエチル−(p−イソプロピルフェニル)ケトン、1−トリクロロメチル−(p−ブチルフェニル)ケトン、α−ヒドロキシ−2−メチルフェニルプロパノン、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、4−ジメチルアミノエチルベンゾエート、4−ジメチルアミノイソアミルベンゾエート、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオフェノン、2−エチルヘキシル−1,4−ジメチルアミノベンゾエート、2,5−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、7−ジエチルアミノ−3−(4−ジエチルアミノベンゾイル)クマリン、4−(ジエチルアミノ)カルコン等が挙げられる。
ベンゾフェノン系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、2−メチルベンゾフェノン、3−メチルベンゾフェノン、4−メチルベンゾフェノン、2−カルボキシベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、4−ブロモベンゾフェノン、ミヒラーケトン等が挙げられる。
Examples of the acetophenone photopolymerization initiator include 2,2-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, and 1-hydroxy-1- (p-dodecylphenyl) ketone. 1-hydroxy-1-methylethyl- (p-isopropylphenyl) ketone, 1-trichloromethyl- (p-butylphenyl) ketone, α-hydroxy-2-methylphenylpropanone, 2-methyl-1 [4- (Methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1 -(4-morpholinophenyl) butan-1-one, 4-dimethylaminoethyl Benzoate, 4-dimethylaminoisoamylbenzoate, 4-diethylaminoacetophenone, 4-dimethylaminopropiophenone, 2-ethylhexyl-1,4-dimethylaminobenzoate, 2,5-bis (4-diethylaminobenzal) cyclohexanone, 7- Examples include diethylamino-3- (4-diethylaminobenzoyl) coumarin, 4- (diethylamino) chalcone and the like.
Examples of the benzophenone photopolymerization initiator include benzophenone, 2-methylbenzophenone, 3-methylbenzophenone, 4-methylbenzophenone, 2-carboxybenzophenone, 2-chlorobenzophenone, 4-bromobenzophenone, Michler's ketone, and the like.

ヒドロキシベンゼン系光重合開始剤としては、例えば、2−ヒドロキシ−4−n−オクトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−ベンジルベンゾフェノン、2−(2−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、4−ジ−t−ブチルフェニル−3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンゾエート等が挙げられる。
チオキサントン系光重合開始剤としては、例えば、チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン等が挙げられる。
アントラキノン系光重合開始剤としては、例えば、2−メチルアントラキノン等が、また、ケタール系光重合開始剤としては、例えば、ベンジルジメチルケタール等が、それぞれ挙げられる。
Examples of the hydroxybenzene photopolymerization initiator include 2-hydroxy-4-n-octoxybenzophenone, 2-hydroxy-4-benzylbenzophenone, 2- (2-hydroxy-5-methylphenyl) benzotriazole, 4- Examples thereof include di-t-butylphenyl-3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzoate.
Examples of the thioxanthone photopolymerization initiator include thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, and the like. Can be mentioned.
Examples of the anthraquinone photopolymerization initiator include 2-methylanthraquinone, and examples of the ketal photopolymerization initiator include benzyldimethyl ketal.

チタノセン系光重合開始剤としては、例えば、ジシクロペンタジエニルチタニウムジクロライド、ジシクロペンタジエニルチタニウムビスフェニル、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,4−ジフルオロフェニル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,6−ジフルオロフェニル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,4,6−トリフルオロフェニル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,3,5,6−テトラフルオロフェニル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニル)、ジ(メチルシクロペンタジエニル)チタニウムビス(2,6−ジフルオロフェニル)、ジ(メチルシクロペンタジエニル)チタニウムビス(2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス〔2,6−ジフルオロ−3−(1−ピロリル)フェニル〕等が挙げられる。中でも、感度の観点からジシクロペンタジエニル構造とビスフェニル構造を有するチタン化合物が好ましく、ビスフェニル環のo−位がハロゲン原子で置換されたものが特に好ましい。   Examples of titanocene photopolymerization initiators include dicyclopentadienyl titanium dichloride, dicyclopentadienyl titanium bisphenyl, dicyclopentadienyl titanium bis (2,4-difluorophenyl), and dicyclopentadienyl titanium. Bis (2,6-difluorophenyl), dicyclopentadienyl titanium bis (2,4,6-trifluorophenyl), dicyclopentadienyl titanium bis (2,3,5,6-tetrafluorophenyl), Dicyclopentadienyl titanium bis (2,3,4,5,6-pentafluorophenyl), di (methylcyclopentadienyl) titanium bis (2,6-difluorophenyl), di (methylcyclopentadienyl) Titanium bis (2,3,4,5,6-pentafluoro Phenyl), dicyclopentadienyl titanium bis [2,6-difluoro-3- (1-pyrrolyl) phenyl], and the like. Of these, titanium compounds having a dicyclopentadienyl structure and a bisphenyl structure are preferable from the viewpoint of sensitivity, and those in which the o-position of the bisphenyl ring is substituted with a halogen atom are particularly preferable.

ハロゲン化炭化水素誘導体系光重合開始剤としては、ハロメチル化s−トリアジン誘導体類が挙げられ、例えば、2,4,6−トリス(モノクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(ジクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−n−プロピル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(α,α,β−トリクロロエチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(3,4−エポキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−クロロフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔1−(p−メトキシフェニル)−2,4−ブタジエニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−スチリル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシ−m−ヒドロキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−i−プロピルオキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−トリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−エトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−エトキシカルボニルナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニルチオ−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ベンジルチオ−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(ジブロモメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(トリブロモメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリブロモメチル)−s−トリアジン、2−メトキシ−4,6−ビス(トリブロモメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等のハロメチル化s−トリアジン誘導体類が挙げられ、中でも感度の観点から、ビス(トリハロメチル)−s−トリアジン類が好ましい。   Examples of the halogenated hydrocarbon derivative-based photopolymerization initiator include halomethylated s-triazine derivatives, such as 2,4,6-tris (monochloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris ( Dichloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-n-propyl-4, 6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (α, α, β-trichloroethyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloro Methyl) -s-triazine, 2- (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (3,4-epoxyphenyl) -4, -Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-chlorophenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [1- (p-methoxyphenyl) -2,4-butadienyl ] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-styryl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxystyryl) -4,6-bis (trichloro) Methyl) -s-triazine, 2- (p-methoxy-m-hydroxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (pi-propyloxystyryl) -4,6- Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-tolyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxynaphthyl) -4 6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-ethoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-ethoxycarbonylnaphthyl) -4,6-bis (Trichloromethyl) -s-triazine, 2-phenylthio-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-benzylthio-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2,4,6 -Tris (dibromomethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (tribromomethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (tribromomethyl) -s-triazine, 2-methoxy -4,6-bis (tribromomethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine Halomethylated s-triazine derivatives such as bis (trihalomethyl) -s-triazines are preferable from the viewpoint of sensitivity.

また、有機硼素酸塩系光重合開始剤としては、例えば、有機硼素アンモニウム錯体、有機硼素ホスホニウム錯体、有機硼素スルホニウム錯体、有機硼素オキソスルホニウム錯体、有機硼素ヨードニウム錯体、有機硼素遷移金属配位錯体等が挙げられ、その有機硼素アニオンとしては、例えば、n−ブチル−トリフェニル硼素アニオン、n−ブチル−トリス(2,4,6−トリメチルフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(p−メトキシフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(p−フルオロフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(m−フルオロフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(3−フルオロ−4−メチルフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(2,6−ジフルオロフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(2,4,6−トリフルオロフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(p−クロロフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(2,6−ジフルオロ−3−ピロリルフェニル)硼素アニオン等のアルキル−トリフェニル硼素アニオンが感度の観点から好ましく、また、対カチオンとしては、アンモニウムカチオン、ホスホニウムカチオン、スルホニウムカチオン、ヨードニウムカチオン等のオニウム化合物が感度の観点から好ましく、テトラアルキルアンモニウム等の有機アンモニウムカチオンが感度の観点から特に好ましい。   Examples of the organic boronate photopolymerization initiator include organic boron ammonium complexes, organic boron phosphonium complexes, organic boron sulfonium complexes, organic boron oxosulfonium complexes, organic boron iodonium complexes, and organic boron transition metal coordination complexes. Examples of the organic boron anion include n-butyl-triphenyl boron anion, n-butyl-tris (2,4,6-trimethylphenyl) boron anion, and n-butyl-tris (p-methoxyphenyl). ) Boron anion, n-butyl-tris (p-fluorophenyl) boron anion, n-butyl-tris (m-fluorophenyl) boron anion, n-butyl-tris (3-fluoro-4-methylphenyl) boron anion, n-butyl-tris (2,6-difluorophenyl) boron anion, n Butyl-tris (2,4,6-trifluorophenyl) boron anion, n-butyl-tris (2,3,4,5,6-pentafluorophenyl) boron anion, n-butyl-tris (p-chlorophenyl) Alkyl-triphenyl boron anions such as boron anion and n-butyl-tris (2,6-difluoro-3-pyrrolylphenyl) boron anion are preferred from the viewpoint of sensitivity, and the counter cation includes ammonium cation and phosphonium cation. In addition, onium compounds such as sulfonium cation and iodonium cation are preferable from the viewpoint of sensitivity, and organic ammonium cations such as tetraalkylammonium are particularly preferable from the viewpoint of sensitivity.

また、オニウム塩系光重合開始剤としては、例えば、テトラメチルアンモニウムブロマイド、テトラエチルアンモニウムブロマイド等のアンモニウム塩、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ジフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、ジフェニルヨードニウムp−トルエンスルホネート、ジフェニルヨードニウムカンファースルホネート、ジシクロヘキシルヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ジシクロヘキシルヨードニウムテトラフルオロボレート、ジシクロヘキシルヨードニウムp−トルエンスルホネート、ジシクロヘキシルヨードニウムカンファースルホネート等のヨードニウム塩、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリフェニルスルホニウムテトラフルオロボレート、トリフェニルスルホニウムp−トルエンスルホネート、トリフェニルスルホニウムカンファースルホネート、トリシクロヘキシルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリシクロヘキシルスルホニウムテトラフルオロボレート、トリシクロヘキシルスルホニウムp−トルエンスルホネート、トリシクロヘキシルスルホニウムカンファースルホネート等のスルホニウム塩等が挙げられる。   Examples of the onium salt photopolymerization initiator include ammonium salts such as tetramethylammonium bromide and tetraethylammonium bromide, diphenyliodonium hexafluoroarsenate, diphenyliodonium tetrafluoroborate, diphenyliodonium p-toluenesulfonate, and diphenyliodonium camphor. Iodonium salts such as sulfonate, dicyclohexyliodonium hexafluoroarsenate, dicyclohexyliodonium tetrafluoroborate, dicyclohexyliodonium p-toluenesulfonate, dicyclohexyliodonium camphorsulfonate, triphenylsulfonium hexafluoroarsenate, triphenylsulfonium tetrafluoroborate, triflate Sulfonyl sulfonium p- toluenesulfonate, triphenylsulfonium camphorsulfonate, tri-cyclohexyl hexafluoroarsenate, tri-cyclohexyl sulfonium tetrafluoroborate, tri-cyclohexyl sulfonium p- toluenesulfonate, sulfonium salts such as tri-cyclohexyl sulfonium camphorsulfonate, and the like.

また、スルホン化合物系光重合開始剤としては、例えば、ビス(フェニルスルホニル)メタン、ビス(p−ヒドロキシフェニルスルホニル)メタン、ビス(p−メトキシフェニルスルホニル)メタン、ビス(α−ナフチルスルホニル)メタン、ビス(β−ナフチルスルホニル)メタン、ビス(シクロヘキシルスルホニル)メタン、ビス(t−ブチルスルホニル)メタン、フェニルスルホニル(シクロヘキシルスルホニル)メタン等のビス(スルホニル)メタン化合物、フェニルカルボニル(フェニルスルホニル)メタン、ナフチルカルボニル(フェニルスルホニル)メタン、フェニルカルボニル(ナフチルスルホニル)メタン、シクロヘキシルカルボニル(フェニルスルホニル)メタン、t−ブチルカルボニル(フェニルスルホニル)メタン、フェニルカルボニル(シクロヘキシルスルホニル)メタン、フェニルカルボニル(t−ブチルカルボニル)メタン等のカルボニル(スルホニル)メタン化合物、ビス(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(p−ヒドロキシフェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(p−メトキシフェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(α−ナフチルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(β−ナフチルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(t−ブチルスルホニル)ジアゾメタン、フェニルスルホニル(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(スルホニル)ジアゾメタン化合物、フェニルカルボニル(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、ナフチルカルボニル(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、フェニルカルボニル(ナフチルスルホニル)ジアゾメタン、シクロヘキシルカルボニル(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、t−ブチルカルボニル(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、フェニルカルボニル(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、フェニルカルボニル(t−ブチルカルボニル)ジアゾメタン等のカルボニル(スルホニル)ジアゾメタン化合物等が挙げられる。   Examples of the sulfone compound photopolymerization initiator include bis (phenylsulfonyl) methane, bis (p-hydroxyphenylsulfonyl) methane, bis (p-methoxyphenylsulfonyl) methane, bis (α-naphthylsulfonyl) methane, Bis (sulfonyl) methane compounds such as bis (β-naphthylsulfonyl) methane, bis (cyclohexylsulfonyl) methane, bis (t-butylsulfonyl) methane, phenylsulfonyl (cyclohexylsulfonyl) methane, phenylcarbonyl (phenylsulfonyl) methane, naphthyl Carbonyl (phenylsulfonyl) methane, phenylcarbonyl (naphthylsulfonyl) methane, cyclohexylcarbonyl (phenylsulfonyl) methane, t-butylcarbonyl (phenylsulfonyl) methane, Carbonyl (sulfonyl) methane compounds such as phenylcarbonyl (cyclohexylsulfonyl) methane, phenylcarbonyl (t-butylcarbonyl) methane, bis (phenylsulfonyl) diazomethane, bis (p-hydroxyphenylsulfonyl) diazomethane, bis (p-methoxyphenylsulfonyl) ) Diazomethane, bis (α-naphthylsulfonyl) diazomethane, bis (β-naphthylsulfonyl) diazomethane, bis (cyclohexylsulfonyl) diazomethane, bis (t-butylsulfonyl) diazomethane, phenylsulfonyl (cyclohexylsulfonyl) diazomethane, bis (sulfonyl) diazomethane Compound, phenylcarbonyl (phenylsulfonyl) diazomethane, naphthylcarbonyl (phenylsulfonyl) diazometa Carbonyl (sulfonyl) such as phenyl, phenylcarbonyl (naphthylsulfonyl) diazomethane, cyclohexylcarbonyl (phenylsulfonyl) diazomethane, t-butylcarbonyl (phenylsulfonyl) diazomethane, phenylcarbonyl (cyclohexylsulfonyl) diazomethane, phenylcarbonyl (t-butylcarbonyl) diazomethane ) Diazomethane compounds and the like.

また、カルバミン酸誘導体系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイルシクロヘキシルカルバメート、2−ニトロベンジルシクロヘキシルカルバメート、3,5−ジメトキシベンジルシクロヘキシルカルバメート、3−ニトロフェニルシクロヘキシルカルバメート等が挙げられる。
スルホンアミド系光重合開始剤としては、例えば、N−シクロヘキシル−4−メチルフェニルスルホンアミド、N−シクロヘキシル−2−ナフチルスルホンアミド等が、また、トリアリールメタノール系光重合開始剤としては、例えば、トリフェニルメタノール、トリ(4−クロロフェニル)メタノール等が、それぞれ挙げられる。
Examples of the carbamic acid derivative-based photopolymerization initiator include benzoyl cyclohexyl carbamate, 2-nitrobenzyl cyclohexyl carbamate, 3,5-dimethoxybenzyl cyclohexyl carbamate, and 3-nitrophenyl cyclohexyl carbamate.
Examples of the sulfonamide photopolymerization initiator include N-cyclohexyl-4-methylphenylsulfonamide, N-cyclohexyl-2-naphthylsulfonamide and the like, and examples of the triarylmethanol photopolymerization initiator include Examples thereof include triphenylmethanol and tri (4-chlorophenyl) methanol.

これらの光重合開始剤は、感光性樹脂組成物中にその1種が単独で含まれていてもよく、2種以上が含まれていてもよい。これらの光重合開始剤の中で、ヘキサアリールビイミダゾール化合物は、吸光度が高いことから表面硬化性が高く、また、高い撥液性と高いテーパ角度が得られる面で特に好ましい。   One of these photopolymerization initiators may be included alone in the photosensitive resin composition, or two or more thereof may be included. Among these photopolymerization initiators, the hexaarylbiimidazole compound is particularly preferable in terms of high surface curability due to its high absorbance and high liquid repellency and high taper angle.

本発明の感光性樹脂組成物中の(B)光重合開始剤の含有割合としては、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常0.01質量%以上、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、さらに好ましくは1質量%以上、特に好ましくは1.5質量%以上であり、通常25質量%以下、好ましくは10質量%以下、より好ましくは8質量%以下、さらに好ましくは5質量%以下、特に好ましくは3質量%以下である。前記下限値以上とすることで現像時に膜減りを生じず塗膜が形成され、また十分な撥液性が生じる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望のパターン形状が形成しやすくなる傾向がある。   As a content rate of (B) photoinitiator in the photosensitive resin composition of this invention, it is 0.01 mass% or more normally with respect to the total solid of the photosensitive resin composition, Preferably it is 0.1 mass. % Or more, more preferably 0.5% by weight or more, further preferably 1% by weight or more, particularly preferably 1.5% by weight or more, and usually 25% by weight or less, preferably 10% by weight or less, more preferably 8% by weight. It is at most 5% by mass, more preferably at most 5% by mass, particularly preferably at most 3% by mass. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that a coating film is formed without developing film loss during development, and sufficient liquid repellency tends to occur, and when the amount is not more than the upper limit, a desired pattern shape is formed. It tends to be easier.

また、感光性樹脂組成物中の(A)エチレン性不飽和化合物に対する(B)光重合開始剤の配合比としては、(A)エチレン性不飽和化合物100質量部に対して、1質量部以上が好ましく、2質量部以上がより好ましく、3質量部以上がさらに好ましく、また、200質量部以下が好ましく、100質量部以下がより好ましく、50質量部以下がさらに好ましく、20質量部以下がよりさらに好ましく、10質量部以下が特に好ましく、6質量部以下が最も好ましい。前記下限値以上とすることで適切な感度となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望のパターン形状が形成しやすくなる傾向がある。   The blending ratio of (B) photopolymerization initiator to (A) ethylenically unsaturated compound in the photosensitive resin composition is 1 part by mass or more with respect to 100 parts by mass of (A) ethylenically unsaturated compound. Is preferably 2 parts by mass or more, more preferably 3 parts by mass or more, more preferably 200 parts by mass or less, more preferably 100 parts by mass or less, further preferably 50 parts by mass or less, and more preferably 20 parts by mass or less. More preferred is 10 parts by mass or less, and most preferred is 6 parts by mass or less. There exists a tendency for it to become suitable sensitivity by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency for a desired pattern shape to become easy to form by setting it as the said upper limit or less.

また上記光重合開始剤と併用して、連鎖移動剤を用いることが好ましい。連鎖移動剤としてはメルカプト基含有化合物や、四塩化炭素等が挙げられ、連鎖移動効果が高い傾向があることからメルカプト基を有する化合物を用いることがより好ましい。S−H結合エネルギーが小さいことによって結合開裂が起こりやすく、水素引きぬき反応や連鎖移動反応を起こしやすいためであると考えられる。感度向上や表面硬化性に有効である。   Moreover, it is preferable to use a chain transfer agent in combination with the photopolymerization initiator. Examples of the chain transfer agent include mercapto group-containing compounds, carbon tetrachloride, and the like, and since a chain transfer effect tends to be high, it is more preferable to use a compound having a mercapto group. This is probably because bond cleavage is likely to occur due to the small S—H bond energy, and hydrogen pulling reaction and chain transfer reaction are likely to occur. Effective for improving sensitivity and surface curability.

メルカプト基含有化合物としては、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、2−メルカプト−4(3H)−キナゾリン、β−メルカプトナフタレン、1,4−ジメチルメルカプトベンゼン等の芳香族環を有するメルカプト基含有化合物;へキサンジチオール、デカンジチオール、ブタンジオールビス(3−メルカプトプロピオネート)、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビス(3−メルカプトプロピオネート)、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールトリス(3−メルカプトプロピオネート)、ブタンジオールビス(3−メルカプトブチレート)、エチレングリコールビス(3−メルカプトブチレート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールトリス(3−メルカプトブチレート)、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン等の脂肪族系のメルカプト基含有化合物、特に、メルカプト基を複数有する化合物等が挙げられる。   Examples of the mercapto group-containing compound include 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, 3-mercapto-1,2,4-triazole, 2-mercapto-4 (3H) -quinazoline, β- Mercapto group-containing compounds having an aromatic ring such as mercaptonaphthalene and 1,4-dimethylmercaptobenzene; hexanedithiol, decanedithiol, butanediol bis (3-mercaptopropionate), butanediol bisthioglycolate, ethylene glycol Bis (3-mercaptopropionate), ethylene glycol bisthioglycolate, trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), trimethylolpropane tristhioglycolate, trishydroxyl Lutristhiopropionate, pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tris (3-mercaptopropionate), butanediol bis (3-mercaptobutyrate), ethylene glycol bis (3-mercaptobutyrate) Rate), trimethylolpropane tris (3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tris (3-mercaptobutyrate), 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxy) Examples thereof include aliphatic mercapto group-containing compounds such as ethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione, particularly compounds having a plurality of mercapto groups.

このうち好ましくは、芳香族環を有するメルカプト基含有化合物の中では2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾールが好ましく、脂肪族系のメルカプト基含有化合物の中では、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールトリス(3−メルカプトプロピオネート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールトリス(3−メルカプトブチレート)、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオンが好ましい。   Of these, 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzimidazole are preferable among the mercapto group-containing compounds having an aromatic ring, and trimethylolpropane tris (3- Mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tris (3-mercaptopropionate), trimethylolpropane tris (3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate) Rate), pentaerythritol tris (3-mercaptobutyrate), 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -Trion is Masui.

また感度の面からは、脂肪族系のメルカプト基含有化合物が好ましく、具体的には、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールトリス(3−メルカプトプロピオネート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールトリス(3−メルカプトブチレート)、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオンが好ましく、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)がより好ましい。
これらは種々のものが1種を単独で、或いは2種以上を混合して使用できる。
In terms of sensitivity, an aliphatic mercapto group-containing compound is preferable, and specifically, trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol. Tris (3-mercaptopropionate), trimethylolpropane tris (3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tris (3-mercaptobutyrate), 1,3,5- Tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione is preferred, pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3 Mercaptobutylate) is more preferable.
Various types of these can be used alone or in combination of two or more.

これらの中でも、テーパ角度を高める観点から、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、及び2−メルカプトベンゾオキサゾールよりなる群から選択された1又は2以上と、光重合開始剤とを組み合わせて、光重合開始剤系として使用することが好適である。例えば、2−メルカプトベンゾチアゾールを用いても良く、2−メルカプトベンゾイミダゾールを用いても良く、2−メルカプトベンゾチアゾールと2−メルカプトベンゾイミダゾールとを併用して用いても良い。
また、感度の観点から、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)よりなる群から選択された1又は2以上を用いることが好ましい。さらに、感度の観点から、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、及び2−メルカプトベンゾオキサゾールよりなる群から選択された1又は2以上と、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)よりなる群から選択された1又は2以上と、光重合開始剤とを組み合わせて用いることが好ましい。
Among these, from the viewpoint of increasing the taper angle, one or more selected from the group consisting of 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzimidazole, and 2-mercaptobenzoxazole, and a photopolymerization initiator are combined. It is preferred to use as a photopolymerization initiator system. For example, 2-mercaptobenzothiazole may be used, 2-mercaptobenzoimidazole may be used, and 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzimidazole may be used in combination.
From the viewpoint of sensitivity, it is preferable to use one or more selected from the group consisting of pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate) and pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate). Furthermore, from the viewpoint of sensitivity, 1 or 2 or more selected from the group consisting of 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoimidazole, and 2-mercaptobenzoxazole, pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), It is preferable to use one or two or more selected from the group consisting of pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate) and a photopolymerization initiator in combination.

本発明の感光性樹脂組成物中の、連鎖移動剤の含有割合としては、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常0.01質量%以上、好ましくは0.025質量%以上、より好ましくは0.05質量%以上、さらに好ましくは0.1質量%以上、特に好ましくは1質量%以上であり、通常5質量%以下、好ましくは4質量%以下、より好ましくは3質量%以下である。前記下限値以上とすることで感度が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望のパターンを形成しやすくなる傾向がある。   The content of the chain transfer agent in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 0.01% by mass or more, preferably 0.025% by mass or more, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. More preferably 0.05% by mass or more, further preferably 0.1% by mass or more, particularly preferably 1% by mass or more, and usually 5% by mass or less, preferably 4% by mass or less, more preferably 3% by mass or less. It is. The sensitivity tends to be increased by setting it to the lower limit value or more, and the desired pattern tends to be easily formed by setting the upper limit value or less.

また、感光性樹脂組成物中の(B)光重合開始剤に対する、連鎖移動剤の配合比としては、(B)光重合開始剤100質量部に対して、10質量部以上が好ましく、25質量部以上がより好ましく、50質量部以上がさらに好ましく、80質量部以上が特に好ましく、また、500質量部以下が好ましく、400質量部以下がより好ましく、300質量部以下がさらに好ましく、200質量部以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで高感度となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望のパターンを形成しやすくなる傾向がある。   Moreover, as a compounding ratio of the chain transfer agent to the (B) photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition, 10 parts by mass or more is preferable with respect to 100 parts by mass of the (B) photopolymerization initiator, and 25 masses. Is more preferably 50 parts by mass or more, more preferably 80 parts by mass or more, particularly preferably 500 parts by mass or less, more preferably 400 parts by mass or less, further preferably 300 parts by mass or less, and 200 parts by mass. The following are particularly preferred: When the value is not less than the lower limit value, the sensitivity tends to be high. When the value is not more than the upper limit value, a desired pattern tends to be easily formed.

[1−1−3](C)成分;アルカリ可溶性樹脂
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(C)アルカリ可溶性樹脂を含有する。本発明において、アルカリ可溶性樹脂としては現像液で現像可能なものであれば特に限定されないが、現像液としてはアルカリ現像液が好ましいため、本発明においてはアルカリ可溶性樹脂を用いる。アルカリ可溶性樹脂としては、カルボキシル基または水酸基含有の各種樹脂などが挙げられる。中でも、より現像性に優れるカルボキシル基を有するものが好ましく、また適度なテーパ角の隔壁が得られることおよび隔壁の熱溶融による流出が抑えられ撥液性を保持できることなどの理由より、さらにエチレン性不飽和基を有するものであることがより好ましい。
[1-1-3] Component (C); alkali-soluble resin The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention contains (C) an alkali-soluble resin. In the present invention, the alkali-soluble resin is not particularly limited as long as it can be developed with a developer, but an alkali developer is preferable as the developer, and therefore an alkali-soluble resin is used in the present invention. Examples of the alkali-soluble resin include various resins containing a carboxyl group or a hydroxyl group. Among them, those having a carboxyl group that is more excellent in developability are preferable. Further, because of the reason that a partition wall having an appropriate taper angle can be obtained and that the partition wall can be prevented from flowing out due to heat melting and liquid repellency can be maintained, it is more ethylenic. It is more preferable that it has an unsaturated group.

本発明において、アルカリ可溶性樹脂の中でも(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂を含有することでアウトガスの発生が少なく、発光層への影響が少なく発光効率が高く、且つ素子の駆動寿命に優れる。理由の一つとしては剛直な主骨格を有することで熱に対して分解しづらいことなどが類推される。また(C2)側鎖にエチレン性不飽和基を有するアクリル共重合樹脂を含有することで、現像性が良好であり、残渣等が少なく発光効率が高くなる。理由の一つとしては主骨格に芳香環等を含まないため、現像液が膜内に浸透しやすいことなどが類推される。
以下に、(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂について詳述する。
In the present invention, the (C1) epoxy (meth) acrylate resin among the alkali-soluble resins contains less outgas, has less influence on the light emitting layer, has high light emission efficiency, and has an excellent device driving life. One reason is that it has a rigid main skeleton and is difficult to decompose against heat. Moreover, (C2) By containing the acrylic copolymer resin which has an ethylenically unsaturated group in a side chain, developability is favorable, there are few residues etc. and luminous efficiency becomes high. One reason is that the main skeleton does not contain an aromatic ring or the like, so that the developer easily penetrates into the film.
The (C1) epoxy (meth) acrylate resin is described in detail below.

[(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂]
(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂は、エポキシ樹脂にエチレン性不飽和モノカルボン酸又はエステル化合物を付加し、更に多塩基酸又はその無水物を反応させた樹脂である。例えば、エポキシ樹脂のエポキシ基に、不飽和モノカルボン酸のカルボキシル基が開環付加されることにより、エポキシ化合物にエステル結合(−COO−)を介してエチレン性不飽和結合が付加されると共に、その際生じた水酸基に、多塩基酸無水物の一方のカルボキシ基が付加されたものが挙げられる。また多塩基酸無水物を付加するときに、多価アルコールを同時に添加して付加されたものも挙げられる。
[(C1) Epoxy (meth) acrylate resin]
(C1) The epoxy (meth) acrylate resin is a resin obtained by adding an ethylenically unsaturated monocarboxylic acid or an ester compound to an epoxy resin and further reacting with a polybasic acid or an anhydride thereof. For example, by ring-opening addition of a carboxyl group of an unsaturated monocarboxylic acid to an epoxy group of an epoxy resin, an ethylenically unsaturated bond is added to the epoxy compound via an ester bond (—COO—). The thing which one carboxy group of the polybasic acid anhydride was added to the hydroxyl group produced in that case is mentioned. Moreover, when adding a polybasic acid anhydride, what was added by adding a polyhydric alcohol simultaneously is also mentioned.

ここで、エポキシ樹脂とは、熱硬化により樹脂を形成する以前の原料化合物をも含めて言うこととし、そのエポキシ樹脂としては、公知のエポキシ樹脂の中から適宜選択して用いることができる。また、エポキシ樹脂は、フェノール性化合物とエピハロヒドリンとを反応させて得られる化合物を用いることができる。フェノール性化合物としては、2価もしくは2価以上のフェノール性水酸基を有する化合物が好ましく、単量体でも重合体でもよい。
具体的には、例えば、ビスフェノールAエポキシ樹脂、ビスフェノールFエポキシ樹脂、ビスフェノールSエポキシ樹脂、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、ビフェニルノボラックエポキシ樹脂、トリスフェノールエポキシ樹脂、フェノールとジシクロペンタンとの重合エポキシ樹脂、ジハイドロオキシルフルオレン型エポキシ樹脂、ジハイドロオキシルアルキレンオキシルフルオレン型エポキシ樹脂、9,9−ビス(4’−ヒドロキシフェニル)フルオレンのジグリシジルエーテル化物、1,1−ビス(4’−ヒドロキシフェニル)アダマンタンのジグリシジルエーテル化物、などが挙げられ、このように主鎖に芳香族環を有するものを好適に用いることができる。
Here, the epoxy resin includes the raw material compound before the resin is formed by thermosetting, and the epoxy resin can be appropriately selected from known epoxy resins. Moreover, the epoxy resin can use the compound obtained by making a phenolic compound and epihalohydrin react. The phenolic compound is preferably a compound having a divalent or divalent or higher phenolic hydroxyl group, and may be a monomer or a polymer.
Specifically, for example, bisphenol A epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, bisphenol S epoxy resin, phenol novolac epoxy resin, cresol novolac epoxy resin, biphenyl novolac epoxy resin, trisphenol epoxy resin, polymerization of phenol and dicyclopentane Epoxy resin, dihydroxyoxyfluorene type epoxy resin, dihydroxyalkyleneoxyl fluorene type epoxy resin, diglycidyl etherified product of 9,9-bis (4′-hydroxyphenyl) fluorene, 1,1-bis (4′-hydroxy) Phenyl) adamantane diglycidyl ether, and the like, and those having an aromatic ring in the main chain can be suitably used.

中でも、高い硬化膜強度の観点から、ビスフェノールAエポキシ樹脂、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、フェノールとジシクロペンタジエンとの重合エポキシ樹脂、9,9−ビス(4’−ヒドロキシフェニル)フルオレンのジグリシジルエーテル化物、などが好ましく、ビスフェノールAエポキシ樹脂が更に好ましい。   Among them, from the viewpoint of high cured film strength, bisphenol A epoxy resin, phenol novolac epoxy resin, cresol novolac epoxy resin, polymerized epoxy resin of phenol and dicyclopentadiene, 9,9-bis (4′-hydroxyphenyl) fluorene Diglycidyl etherified compounds are preferable, and bisphenol A epoxy resin is more preferable.

エチレン性不飽和モノカルボン酸としては、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸等、および、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート無水琥珀酸付加物、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートテトラヒドロ無水フタル酸付加物、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート無水琥珀酸付加物、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート無水フタル酸付加物、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートテトラヒドロ無水フタル酸付加物、(メタ)アクリル酸とε−カプロラクトンとの反応生成物などが挙げられる。中でも、感度の観点から、(メタ)アクリル酸が好ましい。   Examples of the ethylenically unsaturated monocarboxylic acid include (meth) acrylic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, citraconic acid and the like, and pentaerythritol tri (meth) acrylate succinic anhydride adduct, penta Erythritol tri (meth) acrylate tetrahydrophthalic anhydride adduct, dipentaerythritol penta (meth) acrylate succinic anhydride adduct, dipentaerythritol penta (meth) acrylate phthalic anhydride adduct, dipentaerythritol penta (meth) acrylate tetrahydro Examples include phthalic anhydride adducts, reaction products of (meth) acrylic acid and ε-caprolactone. Among these, (meth) acrylic acid is preferable from the viewpoint of sensitivity.

多塩基酸(無水物)としては、例えば、琥珀酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、3−メチルテトラヒドロフタル酸、4−メチルテトラヒドロフタル酸、3−エチルテトラヒドロフタル酸、4−エチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、3−メチルヘキサヒドロフタル酸、4−メチルヘキサヒドロフタル酸、3−エチルヘキサヒドロフタル酸、4−エチルヘキサヒドロフタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、およびそれらの無水物などが挙げられる。中でも、アウトガスの観点から、コハク酸無水物、マレイン酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、またはヘキサヒドロフタル酸無水物が好ましく、コハク酸無水物又はテトラヒドロフタル酸無水物がより好ましく、コハク酸無水物が更に好ましい。   Examples of the polybasic acid (anhydride) include succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, 3-methyltetrahydrophthalic acid, 4-methyltetrahydrophthalic acid, 3-ethyltetrahydrophthalic acid, 4 -Ethyltetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, 3-methylhexahydrophthalic acid, 4-methylhexahydrophthalic acid, 3-ethylhexahydrophthalic acid, 4-ethylhexahydrophthalic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid , Benzophenone tetracarboxylic acid, biphenyl tetracarboxylic acid, and anhydrides thereof. Among these, from the outgas viewpoint, succinic anhydride, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, or hexahydrophthalic anhydride is preferable, succinic anhydride or tetrahydrophthalic anhydride is more preferable, and succinic anhydride is preferable. The product is more preferable.

多価アルコールを用いることで、(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂の分子量を増大させ、分子中に分岐を導入することが出来、分子量と粘度のバランスをとることができる傾向がある。また、分子中への酸基の導入率を増やすことができ、感度や密着性等のバランスがとれやすい傾向がある。
多価アルコールとしては、例えばトリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリメチロールエタン、1,2,3−プロパントリオールの中から選ばれる1種又は2種以上の多価アルコールであることが好ましい。
By using a polyhydric alcohol, the molecular weight of the (C1) epoxy (meth) acrylate resin can be increased, branching can be introduced into the molecule, and the molecular weight and viscosity tend to be balanced. In addition, the rate of introduction of acid groups into the molecule can be increased, and there is a tendency that balance of sensitivity, adhesion, etc. is easily obtained.
Examples of the polyhydric alcohol include one or more polyhydric alcohols selected from trimethylolpropane, ditrimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, trimethylolethane, and 1,2,3-propanetriol. Preferably there is.

(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂の酸価は特に限定されないが、10mg−KOH/g以上が好ましく、20mg−KOH/g以上がより好ましく、30mg−KOH/g以上がさらに好ましく、40mg−KOH/g以上がよりさらに好ましく、50mg−KOH/g以上が特に好ましく、また、200mg−KOH/g以下が好ましく、180mg−KOH/g以下がより好ましく、150mg−KOH/g以下がさらに好ましく、100mg−KOH/g以下がよりさらに好ましく、80mg−KOH/g以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで未露光部の現像性を良化する傾向があり、また、前記上限値以下とすること膜減り等を生じない膜を生成できる傾向がある。   The acid value of the (C1) epoxy (meth) acrylate resin is not particularly limited, but is preferably 10 mg-KOH / g or more, more preferably 20 mg-KOH / g or more, still more preferably 30 mg-KOH / g or more, 40 mg-KOH / G or more is more preferable, 50 mg-KOH / g or more is particularly preferable, 200 mg-KOH / g or less is preferable, 180 mg-KOH / g or less is more preferable, 150 mg-KOH / g or less is more preferable, 100 mg -KOH / g or less is still more preferable, and 80 mg-KOH / g or less is especially preferable. When the amount is not less than the lower limit value, the developability of the unexposed portion tends to be improved, and when the value is not more than the upper limit value, there is a tendency that a film that does not cause film reduction or the like can be generated.

(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂の重量平均分子量(Mw)は特に限定されないが、通常1000以上、好ましくは2000以上、より好ましくは3000以上、さらに好ましくは4000以上、よりさらに好ましくは5000以上、特に好ましくは6000以上、最も好ましくは7000以上であり、また、通常30000以下、好ましくは20000以下、より好ましくは15000以下、さらに好ましくは10000以下である。前記下限値以上とすることで膜減り等を生じない膜を生成できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性を良化する傾向がある。   The weight average molecular weight (Mw) of the (C1) epoxy (meth) acrylate resin is not particularly limited, but is usually 1000 or more, preferably 2000 or more, more preferably 3000 or more, still more preferably 4000 or more, still more preferably 5000 or more, Particularly preferably, it is 6000 or more, most preferably 7000 or more, and usually 30000 or less, preferably 20000 or less, more preferably 15000 or less, and further preferably 10,000 or less. By setting it to the lower limit value or more, there is a tendency that a film that does not cause film reduction or the like can be generated, and by setting the upper limit value or less, the developability of the unexposed area tends to be improved.

(C)アルカリ可溶性樹脂に含まれる(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂の含有割合は特に限定されないが、30質量%以上が好ましく、40質量%以上がより好ましく、50質量%以上がさらに好ましく、60質量%以上が特に好ましく、また、95質量%以下が好ましく、90質量%以下がより好ましく、85質量%以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることでアウトガスの発生量を減少させる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性を良化させ、残渣を低減させ、インクジェット適正が良好となる傾向がある。   (C) The content ratio of the (C1) epoxy (meth) acrylate resin contained in the alkali-soluble resin is not particularly limited, but is preferably 30% by mass or more, more preferably 40% by mass or more, and further preferably 50% by mass or more, 60 mass% or more is especially preferable, 95 mass% or less is preferable, 90 mass% or less is more preferable, and 85 mass% or less is further more preferable. When the amount is not less than the lower limit, the amount of outgassing tends to be reduced, and when the amount is not more than the upper limit, developability of unexposed areas is improved, residue is reduced, and ink jet suitability is good. Tend to be.

(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂は、従来公知の方法により合成することができる。具体的には、前記エポキシ樹脂を有機溶剤に溶解させ、触媒と熱重合禁止剤の共存下、前記エチレン性不飽和結合を有する酸又はエステル化合物を加えて付加反応させ、更に多塩基酸又はその無水物を加えて反応を続ける方法を用いることができる。   (C1) The epoxy (meth) acrylate resin can be synthesized by a conventionally known method. Specifically, the epoxy resin is dissolved in an organic solvent, and in the presence of a catalyst and a thermal polymerization inhibitor, the acid or ester compound having an ethylenically unsaturated bond is added to cause addition reaction, and further a polybasic acid or its A method of continuing the reaction by adding an anhydride can be used.

ここで、反応に用いる有機溶剤としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ジエチレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどの有機溶剤の1種または2種以上が挙げられる。また、上記触媒としては、トリエチルアミン、ベンジルジメチルアミン、トリベンジルアミン等の第3級アミン類、テトラメチルアンモニウムクロライド、メチルトリエチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライド、テトラブチルアンモニウムクロライド、トリメチルベンジルアンモニウムクロライドなどの第4級アンミニウム塩類、トリフェニルホスフィンなどの燐化合物、トリフェニルスチビンなどのスチビン類などの1種または2種以上が挙げられる。更に、熱重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、メチルハイドロキノンなどの1種または2種以上が挙げられる。   Here, examples of the organic solvent used in the reaction include one or more organic solvents such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, diethylene glycol ethyl ether acetate, and propylene glycol monomethyl ether acetate. Examples of the catalyst include tertiary amines such as triethylamine, benzyldimethylamine, and tribenzylamine, and tertiary amines such as tetramethylammonium chloride, methyltriethylammonium chloride, tetraethylammonium chloride, tetrabutylammonium chloride, and trimethylbenzylammonium chloride. 1 type or 2 types or more, such as quaternary ammonium salts, phosphorus compounds, such as a triphenylphosphine, and stibines, such as a triphenylstibine, are mentioned. Furthermore, examples of the thermal polymerization inhibitor include one or more of hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, methyl hydroquinone and the like.

また、エチレン性不飽和結合を有する酸又はエステル化合物としては、エポキシ樹脂のエポキシ基の1化学当量に対して通常0.7〜1.3化学当量、好ましくは0.9〜1.1化学当量となる量とすることができる。また、付加反応時の温度としては、通常60〜150℃、好ましくは80〜120℃の温度とすることができる。更に、多塩基酸(無水物)の使用量としては、前記付加反応で生じた水酸基の1化学当量に対して、通常0.1〜1.2化学当量、好ましくは0.2〜1.1化学当量となる量とすることができる。   The acid or ester compound having an ethylenically unsaturated bond is usually 0.7 to 1.3 chemical equivalents, preferably 0.9 to 1.1 chemical equivalents, relative to one chemical equivalent of the epoxy group of the epoxy resin. The amount can be. Moreover, as temperature at the time of addition reaction, it is 60-150 degreeC normally, Preferably it can be set as the temperature of 80-120 degreeC. Further, the polybasic acid (anhydride) is used in an amount of usually 0.1 to 1.2 chemical equivalents, preferably 0.2 to 1.1 based on 1 chemical equivalent of the hydroxyl group generated in the addition reaction. The amount can be a chemical equivalent.

(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂の化学構造は特に限定されないが、アウトガスの観点から、以下の一般式(C1−1)〜(C1−6)で示される樹脂のうち少なくとも1種を含有することが好ましい。(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂は、1種の樹脂を含むものであってもよく、2種以上の樹脂を含むものであってもよい。   The chemical structure of the (C1) epoxy (meth) acrylate resin is not particularly limited, but contains at least one of the resins represented by the following general formulas (C1-1) to (C1-6) from the viewpoint of outgassing. It is preferable. (C1) The epoxy (meth) acrylate resin may contain one kind of resin, or may contain two or more kinds of resins.

Figure 2018018036
Figure 2018018036

式(C1−1)中、R111は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基を表し、n111は0〜20の整数を表す。 In formula (C1-1), R 111 represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group or an aryl group, and n 111 represents an integer of 0 to 20.

Figure 2018018036
Figure 2018018036

式(C1−2)中、R121は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基を表し、n121は0〜20の整数を表す。 In formula (C1-2), R 121 represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group or an aryl group, and n 121 represents an integer of 0 to 20.

Figure 2018018036
Figure 2018018036

式(C1−3)中、R131は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基を表し、m131及びn131は各々独立に0〜20の整数を表す。なお、m131及びn131は繰り返し単位の数を意味し、ブロック共重合体であることを示すものではない。γは単結合、−CO−、−CH2−、−C(CH32−、下記式(IV)に示す基、又は下記式(V)に示す基を表す。δは水素原子又は多塩基酸残基を表す。 In formula (C1-3), R 131 represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group or an aryl group, and m 131 and n 131 each independently represents an integer of 0 to 20. In addition, m131 and n131 mean the number of repeating units, and do not indicate that it is a block copolymer. γ represents a single bond, —CO—, —CH 2 —, —C (CH 3 ) 2 —, a group represented by the following formula (IV), or a group represented by the following formula (V). δ represents a hydrogen atom or a polybasic acid residue.

Figure 2018018036
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Figure 2018018036
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Figure 2018018036
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式(C1−4)中、R141はアルキル基又はハロゲン原子を表し、pは0〜4の整数を表す。 In formula (C1-4), R 141 represents an alkyl group or a halogen atom, and p represents an integer of 0 to 4.

Figure 2018018036
Figure 2018018036

Figure 2018018036
Figure 2018018036

式(C1−6)中、R161は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基を表し、n161は0〜20の整数を表す。 In formula (C1-6), R 161 represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group or an aryl group, and n 161 represents an integer of 0 to 20.

また、式(C1−1)〜式(C1−6)中、Aは下記一般式(VI)に示す基を表す。   In formulas (C1-1) to (C1-6), A represents a group represented by the following general formula (VI).

Figure 2018018036
Figure 2018018036

式(VI)中、R171は水素原子又はメチル基を表し、R172はアルキレン基を表し、m171は0〜10の整数を表す。またδは、水素原子又は多塩基酸残基を表す。 In formula (VI), R 171 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 172 represents an alkylene group, and m 171 represents an integer of 0 to 10. Δ represents a hydrogen atom or a polybasic acid residue.

(R111
前記式(C1−1)において、R111は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基を表す。
111におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。
また、R111におけるアルキル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が挙げられる。その炭素数は通常1以上であり、また、10以下が好ましく、5以下がより好ましく、2以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。
(R 111 )
In the above formula (C1-1), R 111 represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group or an aryl group.
Examples of the halogen atom for R 111 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.
In addition, examples of the alkyl group for R 111 include linear, branched, or cyclic alkyl groups. The carbon number is usually 1 or more, preferably 10 or less, more preferably 5 or less, and still more preferably 2 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、2−プロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基、シクロヘキシル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基、3−メチルブチル基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、メチル基またはエチル基が好ましい。   Specific examples of the alkyl group include methyl group, ethyl group, n-propyl group, 2-propyl group, n-butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, cyclohexyl group, cyclohexylmethyl group, cyclohexylethyl group, 3- A methylbutyl group etc. are mentioned. Among these, a methyl group or an ethyl group is preferable from the viewpoint of developability.

111におけるアリール基としては、芳香族炭化水素環基及び芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は通常4以上であり、また、15以下が好ましく、10以下がより好ましく、6以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。 Examples of the aryl group for R 111 include an aromatic hydrocarbon ring group and an aromatic heterocyclic group. The number of carbon atoms is usually 4 or more, preferably 15 or less, more preferably 10 or less, and even more preferably 6 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、1個の遊離原子価を有する、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などの基が挙げられる。また、芳香族複素環基における芳香族複素環としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、1個の遊離原子価を有する、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などの基が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、ベンゼン環がより好ましい。   The aromatic hydrocarbon ring in the aromatic hydrocarbon ring group may be a single ring or a condensed ring, for example, a benzene ring, naphthalene ring, anthracene ring, phenanthrene having one free valence. And groups such as a ring, a perylene ring, a tetracene ring, a pyrene ring, a benzpyrene ring, a chrysene ring, a triphenylene ring, an acenaphthene ring, a fluoranthene ring, and a fluorene ring. The aromatic heterocyclic ring in the aromatic heterocyclic group may be a monocyclic ring or a condensed ring. For example, a furan ring, a benzofuran ring, a thiophene ring, a benzoic ring having one free valence. Thiophene ring, pyrrole ring, pyrazole ring, imidazole ring, oxadiazole ring, indole ring, carbazole ring, pyrroloimidazole ring, pyrrolopyrazole ring, pyrrolopyrrole ring, thienopyrrole ring, thienothiophene ring, furopyrrole ring, furofuran ring, thienofuran ring , Benzisoxazole ring, benzoisothiazole ring, benzimidazole ring, pyridine ring, pyrazine ring, pyridazine ring, pyrimidine ring, triazine ring, quinoline ring, isoquinoline ring, cinoline ring, quinoxaline ring, phenanthridine ring, benzimidazole ring , Perimidine ring, Nazorin ring, quinazolinone ring, groups such as azulene ring. Among these, a benzene ring is more preferable from the viewpoint of developability.

これらの中でも、現像性の観点から、R111は水素原子又はメチル基であることが好ましく、水素原子であることがより好ましい。また、1つのベンゼン環に結合される2つのR111はいずれも水素原子であることがより好ましい。 Among these, from the viewpoint of developability, R 111 is preferably a hydrogen atom or a methyl group, and more preferably a hydrogen atom. More preferably, the two R 111 bonded to one benzene ring are both hydrogen atoms.

(n111
前記式(C1−1)において、n111は0〜20の整数を表すが、0以上が好ましく、1以上がより好ましく、2以上がさらに好ましく、また、15以下が好ましく、10以下がより好ましく、5以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。
(N 111 )
In the formula (C1-1), although n 111 represents an integer of 0 to 20, preferably 0 or more, more preferably 1 or more, more preferably 2 or more, preferably 15 or less, more preferably 10 or less 5 or less is more preferable. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

(R121
前記式(C1−2)において、R121は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基を表す。
121におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられ。
また、R121におけるアルキル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が挙げられる。その炭素数は通常1以上であり、また、10以下が好ましく、5以下がより好ましく、2以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。
( R121 )
In the above formula (C1-2), R 121 represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group or an aryl group.
Examples of the halogen atom for R 121 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.
In addition, examples of the alkyl group for R 121 include a linear, branched, or cyclic alkyl group. The carbon number is usually 1 or more, preferably 10 or less, more preferably 5 or less, and still more preferably 2 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、2−プロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基、シクロヘキシル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基、3−メチルブチル基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、メチル基、エチル基が好ましい。   Specific examples of the alkyl group include methyl group, ethyl group, n-propyl group, 2-propyl group, n-butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, cyclohexyl group, cyclohexylmethyl group, cyclohexylethyl group, 3- A methylbutyl group etc. are mentioned. Among these, a methyl group and an ethyl group are preferable from the viewpoint of developability.

121におけるアリール基としては、芳香族炭化水素環基及び芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、また、15以下が好ましく、10以下がより好ましく、6以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。 Examples of the aryl group for R 121 include an aromatic hydrocarbon ring group and an aromatic heterocyclic group. The number of carbon atoms is usually 4 or more, preferably 6 or more, preferably 15 or less, more preferably 10 or less, and still more preferably 6 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、1個の遊離原子価を有する、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などの基が挙げられる。また、芳香族複素環基における芳香族複素環としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、1個の遊離原子価を有する、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などの基が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、ベンゼン環が好ましい。   The aromatic hydrocarbon ring in the aromatic hydrocarbon ring group may be a single ring or a condensed ring, for example, a benzene ring, naphthalene ring, anthracene ring, phenanthrene having one free valence. And groups such as a ring, a perylene ring, a tetracene ring, a pyrene ring, a benzpyrene ring, a chrysene ring, a triphenylene ring, an acenaphthene ring, a fluoranthene ring, and a fluorene ring. The aromatic heterocyclic ring in the aromatic heterocyclic group may be a monocyclic ring or a condensed ring. For example, a furan ring, a benzofuran ring, a thiophene ring, a benzoic ring having one free valence. Thiophene ring, pyrrole ring, pyrazole ring, imidazole ring, oxadiazole ring, indole ring, carbazole ring, pyrroloimidazole ring, pyrrolopyrazole ring, pyrrolopyrrole ring, thienopyrrole ring, thienothiophene ring, furopyrrole ring, furofuran ring, thienofuran ring , Benzisoxazole ring, benzoisothiazole ring, benzimidazole ring, pyridine ring, pyrazine ring, pyridazine ring, pyrimidine ring, triazine ring, quinoline ring, isoquinoline ring, cinoline ring, quinoxaline ring, phenanthridine ring, benzimidazole ring , Perimidine ring, Nazorin ring, quinazolinone ring, groups such as azulene ring. Among these, a benzene ring is preferable from the viewpoint of developability.

これらの中でも、現像性の観点から、R121は水素原子又はメチル基であることが好ましく、水素原子であることがより好ましい。また、1つのベンゼン環に結合される2つのR121はいずれも水素原子であることがより好ましい。 Among these, from the viewpoint of developability, R 121 is preferably a hydrogen atom or a methyl group, and more preferably a hydrogen atom. More preferably, the two R 121 bonded to one benzene ring are both hydrogen atoms.

(n121
前記式(C1−2)において、n121は0〜20の整数を表すが、2以上が好ましく、3以上がより好ましく、5以上がさらに好ましく、また、16以下が好ましく、14以下がより好ましく、12以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化するとなる傾向がある。
(N 121 )
In the formula (C1-2), n 121 represents an integer of 0 to 20, preferably 2 or more, more preferably 3 or more, further preferably 5 or more, and preferably 16 or less, more preferably 14 or less. 12 or less is more preferable. When the amount is not less than the lower limit value, there is a tendency that the film is not reduced during development. When the value is not more than the upper limit value, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

(R131
前記式(C1−3)において、R131は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基を表す。
131におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。
また、R131におけるアルキル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が挙げられる。その炭素数は通常1以上であり、また15以下が好ましく、10以下がより好ましく、6以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化するとなる傾向がある。
(R 131 )
In the above formula (C1-3), R 131 represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group or an aryl group.
Examples of the halogen atom for R 131 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.
In addition, examples of the alkyl group for R 131 include a linear, branched, or cyclic alkyl group. The number of carbon atoms is usually 1 or more, preferably 15 or less, more preferably 10 or less, and still more preferably 6 or less. When the amount is not less than the lower limit value, there is a tendency that the film is not reduced during development. When the value is not more than the upper limit value, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、2−プロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基、シクロヘキシル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基、3−メチルブチル基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、メチル基、エチル基が好ましい。   Specific examples of the alkyl group include methyl group, ethyl group, n-propyl group, 2-propyl group, n-butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, cyclohexyl group, cyclohexylmethyl group, cyclohexylethyl group, 3- A methylbutyl group etc. are mentioned. Among these, a methyl group and an ethyl group are preferable from the viewpoint of developability.

131におけるアリール基としては、芳香族炭化水素環基及び芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、また15以下が好ましく、10以下がより好ましく、6以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。 Examples of the aryl group for R 131 include an aromatic hydrocarbon ring group and an aromatic heterocyclic group. The number of carbon atoms is usually 4 or more, preferably 6 or more, preferably 15 or less, more preferably 10 or less, and even more preferably 6 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、1個の遊離原子価を有する、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などの基が挙げられる。また、芳香族複素環基における芳香族複素環としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、1個の遊離原子価を有する、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などの基が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、ベンゼン環がより好ましい。   The aromatic hydrocarbon ring in the aromatic hydrocarbon ring group may be a single ring or a condensed ring, for example, a benzene ring, naphthalene ring, anthracene ring, phenanthrene having one free valence. And groups such as a ring, a perylene ring, a tetracene ring, a pyrene ring, a benzpyrene ring, a chrysene ring, a triphenylene ring, an acenaphthene ring, a fluoranthene ring, and a fluorene ring. The aromatic heterocyclic ring in the aromatic heterocyclic group may be a monocyclic ring or a condensed ring. For example, a furan ring, a benzofuran ring, a thiophene ring, a benzoic ring having one free valence. Thiophene ring, pyrrole ring, pyrazole ring, imidazole ring, oxadiazole ring, indole ring, carbazole ring, pyrroloimidazole ring, pyrrolopyrazole ring, pyrrolopyrrole ring, thienopyrrole ring, thienothiophene ring, furopyrrole ring, furofuran ring, thienofuran ring , Benzisoxazole ring, benzoisothiazole ring, benzimidazole ring, pyridine ring, pyrazine ring, pyridazine ring, pyrimidine ring, triazine ring, quinoline ring, isoquinoline ring, cinoline ring, quinoxaline ring, phenanthridine ring, benzimidazole ring , Perimidine ring, Nazorin ring, quinazolinone ring, groups such as azulene ring. Among these, a benzene ring is more preferable from the viewpoint of developability.

これらの中でも、現像性の観点から、R131は水素原子又はメチル基であることが好ましく、水素原子であることがより好ましい。また、1つのベンゼン環に結合される2つのR131はいずれも水素原子であることがより好ましい。 Among these, from the viewpoint of developability, R 131 is preferably a hydrogen atom or a methyl group, and more preferably a hydrogen atom. Further, it is more preferable that two R 131 bonded to one benzene ring are both hydrogen atoms.

(m131
前記式(C1−3)において、m131は0〜20の整数を表すが、2以上が好ましく、5以上がより好ましく、10以上がさらに好ましく、また、18以下が好ましく、16以下がより好ましく、14以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。
(M 131 )
In the formula (C1-3), m 131 represents an integer of 0 to 20, preferably 2 or more, more preferably 5 or more, still more preferably 10 or more, and preferably 18 or less, more preferably 16 or less. 14 or less is more preferable. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

(n131
前記式(C1−3)において、n131は0〜20の整数を表すが、1以上が好ましく、2以上がより好ましく、3以上がさらに好ましく、また、18以下が好ましく、16以下がより好ましく、14以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで未露光部の現像性が良化する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像時の膜減りを生じない傾向がある。
(N 131 )
In the formula (C1-3), n 131 represents an integer of 0 to 20, preferably 1 or more, more preferably 2 or more, further preferably 3 or more, and preferably 18 or less, more preferably 16 or less. 14 or less is more preferable. When the amount is not less than the lower limit, the developability of the unexposed area tends to be improved, and when the amount is not more than the upper limit, there is a tendency that no film reduction occurs during development.

(γ)
前記式(C1−3)において、γは単結合、−CO−、−CH2−、−C(CH32−、前記式(IV)に示す基、又は前記式(V)に示す基を表す。これらの中でも現像性、アウトガスの観点から、−C(CH32−が好ましい。
(Γ)
In the formula (C1-3), γ is a single bond, —CO—, —CH 2 —, —C (CH 3 ) 2 —, a group represented by the formula (IV), or a group represented by the formula (V). Represents. Among these, —C (CH 3 ) 2 — is preferable from the viewpoint of developability and outgas.

(R141
前記式(C1−4)において、R141はアルキル基又はハロゲン原子を表す。
141におけるアルキル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が挙げられる。その炭素数は通常1以上であり、また、10以下が好ましく、5以下がより好ましく、2以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。
(R 141 )
In the formula (C1-4), R 141 represents an alkyl group or a halogen atom.
Examples of the alkyl group for R 141 include a linear, branched or cyclic alkyl group. The carbon number is usually 1 or more, preferably 10 or less, more preferably 5 or less, and still more preferably 2 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、2−プロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基、シクロヘキシル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基、3−メチルブチル基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、メチル基、エチル基が好ましい。   Specific examples of the alkyl group include methyl group, ethyl group, n-propyl group, 2-propyl group, n-butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, cyclohexyl group, cyclohexylmethyl group, cyclohexylethyl group, 3- A methylbutyl group etc. are mentioned. Among these, a methyl group and an ethyl group are preferable from the viewpoint of developability.

141におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。 Examples of the halogen atom for R 141 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.

これらの中でも、現像性の観点から、R141は水素原子又はメチル基であることが好ましく、メチル基であることがより好ましい。 Among these, from the viewpoint of developability, R 141 is preferably a hydrogen atom or a methyl group, and more preferably a methyl group.

(p)
前記式(C1−4)において、pは各々独立に0〜4の整数を表す。現像性の観点から、0以上が好ましく、2以下が好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。
(P)
In said formula (C1-4), p represents the integer of 0-4 each independently. From the viewpoint of developability, 0 or more is preferable, and 2 or less is preferable. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

(R161
前記式(C1−6)において、R161は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基を表す。
161におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。
また、R161におけるアルキル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が挙げられる。その炭素数は通常1以上であり、また、10以下が好ましく、5以下がより好ましく、2以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。
(R 161 )
In the above formula (C1-6), R 161 represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group or an aryl group.
Examples of the halogen atom for R 161 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.
In addition, examples of the alkyl group for R 161 include a linear, branched, or cyclic alkyl group. The carbon number is usually 1 or more, preferably 10 or less, more preferably 5 or less, and still more preferably 2 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、2−プロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基、シクロヘキシル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基、3−メチルブチル基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、メチル基が好ましい。   Specific examples of the alkyl group include methyl group, ethyl group, n-propyl group, 2-propyl group, n-butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, cyclohexyl group, cyclohexylmethyl group, cyclohexylethyl group, 3- A methylbutyl group etc. are mentioned. Among these, a methyl group is preferable from the viewpoint of developability.

161におけるアリール基としては、芳香族炭化水素環基及び芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、また15以下が好ましく、10以下がより好ましく、6以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。 Examples of the aryl group for R 161 include an aromatic hydrocarbon ring group and an aromatic heterocyclic group. The number of carbon atoms is usually 4 or more, preferably 6 or more, preferably 15 or less, more preferably 10 or less, and even more preferably 6 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、1個の遊離原子価を有する、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などの基が挙げられる。また、芳香族複素環基における芳香族複素環としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、1個の遊離原子価を有する、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などの基が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、ベンゼン環が好ましい。   The aromatic hydrocarbon ring in the aromatic hydrocarbon ring group may be a single ring or a condensed ring, for example, a benzene ring, naphthalene ring, anthracene ring, phenanthrene having one free valence. And groups such as a ring, a perylene ring, a tetracene ring, a pyrene ring, a benzpyrene ring, a chrysene ring, a triphenylene ring, an acenaphthene ring, a fluoranthene ring, and a fluorene ring. The aromatic heterocyclic ring in the aromatic heterocyclic group may be a monocyclic ring or a condensed ring. For example, a furan ring, a benzofuran ring, a thiophene ring, a benzoic ring having one free valence. Thiophene ring, pyrrole ring, pyrazole ring, imidazole ring, oxadiazole ring, indole ring, carbazole ring, pyrroloimidazole ring, pyrrolopyrazole ring, pyrrolopyrrole ring, thienopyrrole ring, thienothiophene ring, furopyrrole ring, furofuran ring, thienofuran ring , Benzisoxazole ring, benzoisothiazole ring, benzimidazole ring, pyridine ring, pyrazine ring, pyridazine ring, pyrimidine ring, triazine ring, quinoline ring, isoquinoline ring, cinoline ring, quinoxaline ring, phenanthridine ring, benzimidazole ring , Perimidine ring, Nazorin ring, quinazolinone ring, groups such as azulene ring. Among these, a benzene ring is preferable from the viewpoint of developability.

これらの中でも、現像性の観点から、R161は水素原子又はメチル基であることが好ましく、メチル基であることがより好ましい。 Among these, from the viewpoint of developability, R 161 is preferably a hydrogen atom or a methyl group, and more preferably a methyl group.

(n161
前記式(C1−6)において、n161は0〜20の整数を表すが、1以上が好ましく、2以上がより好ましく、また、15以下が好ましく、10以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。
(N 161 )
In the formula (C1-6), n 161 represents an integer of 0 to 20, preferably 1 or more, more preferably 2 or more, and preferably 15 or less, more preferably 10 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

(R172
前記式(V)において、R172はアルキレン基を表す。
172におけるアルキレン基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキレン基が挙げられる。その炭素数は通常1以上であり、2以上が好ましく、また4以下が好ましく、3以下がより好ましく、2以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。
( R172 )
In the formula (V), R 172 represents an alkylene group.
Examples of the alkylene group for R 172 include a linear, branched or cyclic alkylene group. The number of carbon atoms is usually 1 or more, preferably 2 or more, preferably 4 or less, more preferably 3 or less, and still more preferably 2 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

アルキレン基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、イソプロピレン基、ブチレン基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、エチレン基、プロピレン基が好ましい。   Specific examples of the alkylene group include methylene group, ethylene group, propylene group, isopropylene group, butylene group and the like. Among these, an ethylene group and a propylene group are preferable from the viewpoint of developability.

(m171
前記式(V)において、m171は0〜10の整数を表すが、1以上が好ましく、また、5以下が好ましい。前記下限値以上とすることで未露光部の現像性が良化する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像時の膜減りを生じない傾向がある。
(M 171 )
In the formula (V), m 171 represents an integer of 0 to 10, preferably 1 or more, and more preferably 5 or less. When the amount is not less than the lower limit, the developability of the unexposed area tends to be improved, and when the amount is not more than the upper limit, there is a tendency that no film reduction occurs during development.

(δ)
前記式(C1−3)及び(V)において、δは水素原子又は多塩基酸残基を表す。
多塩基酸残基とは、多塩基酸からOH基を1つ除した1価の基を表す。
多塩基酸残基における多塩基酸としては、琥珀酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、3−メチルテトラヒドロフタル酸、4−メチルテトラヒドロフタル酸、3−エチルテトラヒドロフタル酸、4−エチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、3−メチルヘキサヒドロフタル酸、4−メチルヘキサヒドロフタル酸、3−エチルヘキサヒドロフタル酸、4−エチルヘキサヒドロフタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸などが挙げられ、現像性、信頼性、アウトガスの観点から、コハク酸無水物、マレイン酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、またはヘキサヒドロフタル酸無水物が好ましく、コハク酸無水物又はテトラヒドロフタル酸無水物がより好ましく、コハク酸無水物が更に好ましい。
(Δ)
In the formulas (C1-3) and (V), δ represents a hydrogen atom or a polybasic acid residue.
The polybasic acid residue represents a monovalent group obtained by removing one OH group from a polybasic acid.
Examples of the polybasic acid in the polybasic acid residue include succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, 3-methyltetrahydrophthalic acid, 4-methyltetrahydrophthalic acid, 3-ethyltetrahydrophthalic acid, 4 -Ethyltetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, 3-methylhexahydrophthalic acid, 4-methylhexahydrophthalic acid, 3-ethylhexahydrophthalic acid, 4-ethylhexahydrophthalic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid Benzophenone tetracarboxylic acid, biphenyl tetracarboxylic acid, and the like, from the viewpoint of developability, reliability, outgas, succinic anhydride, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, or hexahydrophthalic anhydride Preferably, succinic anhydride or tetrahydrophthal More preferably anhydride, succinic anhydride is more preferable.

前記一般式(C1−1)〜(C1−6)で示される樹脂の中でも、アウトガス量及びインクジェット塗布性の点から、前記一般式(C1−2)又は(C1−3)で示されるエポキシ(メタ)アクリレート樹脂が好ましく、前記一般式(C1−3)で示されるエポキシ(メタ)アクリレート樹脂がより好ましい。   Among the resins represented by the general formulas (C1-1) to (C1-6), the epoxy represented by the general formula (C1-2) or (C1-3) from the viewpoint of outgas amount and inkjet coating property. A (meth) acrylate resin is preferable, and an epoxy (meth) acrylate resin represented by the general formula (C1-3) is more preferable.

[(C2)側鎖にエチレン性不飽和基を有するアクリル共重合樹脂]
次に、(C2)側鎖にエチレン性不飽和基を有するアクリル共重合樹脂について詳述する。
(C2)アクリル共重合樹脂は、側鎖にエチレン性不飽和基を有する。エチレン性不飽和基を有するものとすることで、露光による光硬化が起こりより強固な膜となり、現像時に膜減り生じにくくなり、またポストベーク時に熱分解しにくくないアウトガス量が減少するという効果が得られると考えられる。
[(C2) Acrylic copolymer resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain]
Next, the (C2) acrylic copolymer resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain will be described in detail.
(C2) The acrylic copolymer resin has an ethylenically unsaturated group in the side chain. By having an ethylenically unsaturated group, photocuring occurs due to exposure, resulting in a stronger film, less film loss during development, and the effect of reducing the amount of outgas that is not easily thermally decomposed during post-baking. It is thought that it is obtained.

(一般式(I)で示される部分構造)
(C2)アクリル共重合樹脂に含まれる、エチレン性不飽和基を有する側鎖を含む部分構造は特に限定されないが、現像性の観点から、例えば、下記一般式(I)で示される部分構造を含むことが好ましい。
(Partial structure represented by general formula (I))
(C2) The partial structure containing a side chain having an ethylenically unsaturated group, contained in the acrylic copolymer resin, is not particularly limited. It is preferable to include.

Figure 2018018036
Figure 2018018036

式(I)中、R1は水素原子又はメチル基を表す。R2は置換基を有していてもよいアルケニル基又は下記一般式(II)で表される基を表す。R3は水素原子又は下記一般式(III)で表される基を表す。 In the formula (I), R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group. R 2 represents an alkenyl group which may have a substituent or a group represented by the following general formula (II). R 3 represents a hydrogen atom or a group represented by the following general formula (III).

Figure 2018018036
Figure 2018018036

式(II)中、R4は置換基を有していてもよいアルケニル基を表す。αは置換基を有していてもよいアルキレン基、置換基を有していてもよいアリーレン基、又は置換基を有していてもよいアルケニレン基を表す。*はカルボニル炭素との結合手を表す。 In formula (II), R 4 represents an alkenyl group which may have a substituent. α represents an alkylene group which may have a substituent, an arylene group which may have a substituent, or an alkenylene group which may have a substituent. * Represents a bond to the carbonyl carbon.

Figure 2018018036
式(III)中、βはジカルボン酸の残基である。
Figure 2018018036
In formula (III), β is a residue of a dicarboxylic acid.

(R2
前記式(I)において、R2は置換基を有していてもよいアルケニル基又は前記一般式(II)で表される基を表す。
(R 2 )
In the formula (I), R 2 represents an alkenyl group which may have a substituent or a group represented by the general formula (II).

2におけるアルケニル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルケニル基が挙げられる。その炭素数は、2以上であることが好ましくまた、20以下であることが好ましく、16以下であることがより好ましく、12以下であることがさらに好ましく、8以下であることがよりさらに好ましく、6以下であることが特に好ましく、4以下であることが最も好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。 Examples of the alkenyl group for R 2 include linear, branched or cyclic alkenyl groups. The carbon number is preferably 2 or more, preferably 20 or less, more preferably 16 or less, further preferably 12 or less, and still more preferably 8 or less, It is particularly preferably 6 or less, and most preferably 4 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development. When the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

アルケニル基の具体例としては、エテニル基、プロペニル基、ブチレニル基、シクロヘキセニル基等が挙げられる。これらの中でも現像性と硬化性の観点から、エテニル基又はプロペニル基が好ましく、エテニル基がより好ましい。   Specific examples of the alkenyl group include ethenyl group, propenyl group, butyryl group, cyclohexenyl group and the like. Among these, from the viewpoint of developability and curability, an ethenyl group or a propenyl group is preferable, and an ethenyl group is more preferable.

また、アルケニル基が有していてもよい置換基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、アルコキシ基、ヒドロキシアルキル基、チオール基、スルフィド基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、アルキル基又はアルケニル基が好ましく、アルキル基がより好ましい。置換基を2以上有する場合には、置換基同士が連結して環を形成していてもよい。   Examples of the substituent that the alkenyl group may have include an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, a hydroxyl group, a carboxyl group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, an alkoxy group, a hydroxyalkyl group, a thiol group, Examples thereof include a sulfide group. Among these, from the viewpoint of developability, an alkyl group or an alkenyl group is preferable, and an alkyl group is more preferable. When it has two or more substituents, the substituents may be linked to form a ring.

2としては、これらの中でも現像性と硬化性の観点から、エテニル基又はプロペニル基が好ましく、エテニル基がより好ましい。 Among these, R 2 is preferably an ethenyl group or a propenyl group, and more preferably an ethenyl group, from the viewpoints of developability and curability.

(R4
前記式(II)においてR4は置換基を有していてもよいアルケニル基を表す。
(R 4 )
In the formula (II), R 4 represents an alkenyl group which may have a substituent.

4におけるアルケニル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルケニル基が挙げられる。その炭素数は、2以上であることが好ましくまた、20以下であることが好ましく、16以下であることがより好ましく、12以下であることがさらに好ましく、8以下であることがよりさらに好ましく、6以下であることが特に好ましく、4以下であることが最も好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化すると硬化性を向上できる傾向がある。 Examples of the alkenyl group for R 4 include linear, branched or cyclic alkenyl groups. The carbon number is preferably 2 or more, preferably 20 or less, more preferably 16 or less, further preferably 12 or less, and still more preferably 8 or less, It is particularly preferably 6 or less, and most preferably 4 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development. When the amount is not more than the upper limit, if the developability of the unexposed portion is improved, the curability tends to be improved.

アルケニル基の具体例としては、エテニル基、プロペニル基、ブチレニル基、シクロヘキセニル基等が挙げられる。これらの中でも現像性と硬化性の観点から、エテニル基又はプロペニル基が好ましく、エテニル基がより好ましい。   Specific examples of the alkenyl group include ethenyl group, propenyl group, butyryl group, cyclohexenyl group and the like. Among these, from the viewpoint of developability and curability, an ethenyl group or a propenyl group is preferable, and an ethenyl group is more preferable.

また、アルケニル基が有していてもよい置換基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、アルコキシ基、ヒドロキシアルキル基、チオール基、スルフィド基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、アルキル基又はアルケニル基が好ましく、アルキル基がより好ましい。置換基を2以上有する場合には、置換基同士が連結して環を形成していてもよい。   Examples of the substituent that the alkenyl group may have include an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, a hydroxyl group, a carboxyl group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, an alkoxy group, a hydroxyalkyl group, a thiol group, Examples thereof include a sulfide group. Among these, from the viewpoint of developability, an alkyl group or an alkenyl group is preferable, and an alkyl group is more preferable. When it has two or more substituents, the substituents may be linked to form a ring.

このように、R4は置換基を有していてもよいアルケニル基を表すが、これらの中でも現像性の観点から、エテニル基又はプロペニル基であることが好ましく、エテニル基であることがより好ましい。 As described above, R 4 represents an alkenyl group which may have a substituent. Among these, from the viewpoint of developability, R 4 is preferably an ethenyl group or a propenyl group, and more preferably an ethenyl group. .

(α)
前記式(II)においてαは、置換基を有していてもよいアルキレン基、置換基を有していてもよいアリーレン基、又は置換基を有していてもよいアルケニレン基を表す。
αにおけるアルキレン基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキレン基が挙げられる。その炭素数は、1以上であることが好ましく、2以上であることがより好ましく、また、22以下であることが好ましく、20以下であることがより好ましく、18以下であることがさらに好ましく、16以下であることがよりさらに好ましく、14以下であることが特に好ましく、12以下であることが最も好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。
(Α)
In the formula (II), α represents an alkylene group which may have a substituent, an arylene group which may have a substituent, or an alkenylene group which may have a substituent.
Examples of the alkylene group for α include a linear, branched, or cyclic alkylene group. The number of carbon atoms is preferably 1 or more, more preferably 2 or more, and preferably 22 or less, more preferably 20 or less, and even more preferably 18 or less, It is more preferably 16 or less, particularly preferably 14 or less, and most preferably 12 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

アルキレン基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、シクロヘキシレン基、メチルシクロヘキシレン基、ビシクロ[2.2.1]ヘプタン基、メチルビシクロ[2.2.1]ヘプタン基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、エチレン基、シクロヘキシレン基又はメチルシクロヘキシレン基が好ましく、エチレン基がより好ましい。   Specific examples of the alkylene group include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a cyclohexylene group, a methylcyclohexylene group, a bicyclo [2.2.1] heptane group, and a methylbicyclo [2.2.1] heptane group. Can be mentioned. Among these, from the viewpoint of developability, an ethylene group, a cyclohexylene group or a methylcyclohexylene group is preferable, and an ethylene group is more preferable.

また、アルキレン基が有していてもよい置換基としては、アルケニル基、アルキニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、アルコキシ基、ヒドロキシアルキル基、チオール基、スルフィド基等が挙げられる。これらの中でも残膜率の観点から、アルケニルが好ましい。また、置換基を2以上有する場合には、置換基同士が連結して環を形成していてもよい。   Examples of the substituent that the alkylene group may have include an alkenyl group, an alkynyl group, a hydroxyl group, a carboxyl group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, an alkoxy group, a hydroxyalkyl group, a thiol group, and a sulfide group. Is mentioned. Among these, alkenyl is preferable from the viewpoint of the remaining film ratio. Moreover, when it has two or more substituents, substituents may connect and may form the ring.

また、αにおけるアリーレン基としては、2価の芳香族炭化水素環基及び2価の芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は6以上であることが好ましく、また、24以下であることが好ましく、22以下であることがより好ましく、20以下であることがさらに好ましく、18以下であることがよりさらに好ましく、16以下であることが特に好ましく、14以下であることが最も好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。
芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などの基が挙げられる。
また、芳香族複素環基における芳香族複素環基としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などの基が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、ベンゼン環基、又はナフタレン環基が好ましく、ベンゼン環基がより好ましい。
Examples of the arylene group for α include a divalent aromatic hydrocarbon ring group and a divalent aromatic heterocyclic group. The number of carbon atoms is preferably 6 or more, preferably 24 or less, more preferably 22 or less, further preferably 20 or less, and still more preferably 18 or less, It is particularly preferably 16 or less, and most preferably 14 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.
The aromatic hydrocarbon ring in the aromatic hydrocarbon ring group may be a single ring or a condensed ring, such as a benzene ring, naphthalene ring, anthracene ring, phenanthrene ring, perylene ring, tetracene ring, pyrene. And groups such as a ring, a benzpyrene ring, a chrysene ring, a triphenylene ring, an acenaphthene ring, a fluoranthene ring, and a fluorene ring.
In addition, the aromatic heterocyclic group in the aromatic heterocyclic group may be a single ring or a condensed ring, such as a furan ring, a benzofuran ring, a thiophene ring, a benzothiophene ring, a pyrrole ring, or a pyrazole ring. , Imidazole ring, oxadiazole ring, indole ring, carbazole ring, pyrroloimidazole ring, pyrrolopyrazole ring, pyrrolopyrrole ring, thienopyrrole ring, thienothiophene ring, furopyrrole ring, furofuran ring, thienofuran ring, benzoisoxazole ring, benzoiso Thiazole ring, benzimidazole ring, pyridine ring, pyrazine ring, pyridazine ring, pyrimidine ring, triazine ring, quinoline ring, isoquinoline ring, sinoline ring, quinoxaline ring, phenanthridine ring, benzimidazole ring, perimidine ring, quinazoline ring, quinazolino Rings include groups such as azulene ring. Among these, from the viewpoint of developability, a benzene ring group or a naphthalene ring group is preferable, and a benzene ring group is more preferable.

また、アリーレン基が有していてもよい置換基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、アルコキシ基、ヒドロキシアルキル基、チオール基、スルフィド基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、ヒドロキシル基又はカルボキシル基が好ましく、カルボキシル基がより好ましい。また、置換基を2以上有する場合には、置換基同士が連結して環を形成していてもよい。   Examples of the substituent that the arylene group may have include an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, a hydroxyl group, a carboxyl group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, an alkoxy group, a hydroxyalkyl group, a thiol group, Examples thereof include a sulfide group. Among these, from the viewpoint of developability, a hydroxyl group or a carboxyl group is preferable, and a carboxyl group is more preferable. Moreover, when it has two or more substituents, substituents may connect and may form the ring.

置換基を有するアリーレン基の具体例としては、カルボキシルベンゼン環基等が挙げられる。   Specific examples of the arylene group having a substituent include a carboxylbenzene ring group.

また、αにおけるアルケニレン基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルケニレン基が挙げられる。その炭素数は、2以上であることが好ましくまた、22以下であることが好ましく、20以下であることがより好ましく、18以下であることがさらに好ましく、16以下であることがよりさらに好ましく、14以下であることが特に好ましく、12以下であることが最も好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。   Moreover, as an alkenylene group in (alpha), a linear, branched or cyclic alkenylene group is mentioned. The number of carbon atoms is preferably 2 or more, preferably 22 or less, more preferably 20 or less, further preferably 18 or less, and still more preferably 16 or less, It is particularly preferably 14 or less, and most preferably 12 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

アルケニレン基の具体例としては、エテニレン基、プロペニレン基、シクロヘキセニレン基、メチルエテニレン基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、エテニレン基、シクロヘキセニレン基が好ましく、エテニレン基がより好ましい。   Specific examples of the alkenylene group include an ethenylene group, a propenylene group, a cyclohexenylene group, and a methylethenylene group. Among these, from the viewpoint of developability, an ethenylene group and a cyclohexenylene group are preferable, and an ethenylene group is more preferable.

また、アルケニレン基が有していてもよい置換基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、アルコキシ基、ヒドロキシアルキル基、チオール基、スルフィド基等が挙げられる。これらの中でも残膜率の観点から、アルキル基又はアルケニル基が好ましく、アルキル基がより好ましい。また、置換基を2以上有する場合には、置換基同士が連結して環を形成していてもよい。   Examples of the substituent that the alkenylene group may have include an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, a hydroxyl group, a carboxyl group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, an alkoxy group, a hydroxyalkyl group, a thiol group, Examples thereof include a sulfide group. Among these, from the viewpoint of the remaining film ratio, an alkyl group or an alkenyl group is preferable, and an alkyl group is more preferable. Moreover, when it has two or more substituents, substituents may connect and may form the ring.

このように、αは置換基を有していてもよいアルキレン基、置換基を有していてもよいアリーレン基、又は置換基を有していてもよいアルケニレン基を表すが、これらの中でも現像性の観点から、アルキレン基又はアルケニレン基であることが好ましく、アルキレン基であることがより好ましい。   As described above, α represents an alkylene group which may have a substituent, an arylene group which may have a substituent, or an alkenylene group which may have a substituent. From the viewpoint of properties, an alkylene group or an alkenylene group is preferable, and an alkylene group is more preferable.

(R3
前記式(I)においては水素原子又は下記一般式(III)で示される基を表す。
(R 3 )
The formula (I) represents a hydrogen atom or a group represented by the following general formula (III).

Figure 2018018036
Figure 2018018036

前記式(III)においてβはジカルボン酸の残基である。
3は、アルカリ現像性の観点から、一般式(III)で示される基であることが好ましい。
In the formula (III), β is a dicarboxylic acid residue.
R 3 is preferably a group represented by the general formula (III) from the viewpoint of alkali developability.

(β)
前記式(III)においてβはジカルボン酸の残基である。ジカルボン酸の残基とは、2価のカルボン酸から2つのCOOH基を除した2価の基を意味する。
ジカルボン酸の残基としては、例えば、置換基を有していてもよいアルキレン基、置換基を有していてもよいアリーレン基、又は置換基を有していてもよいアルケニレン基が挙げられる。
βにおけるアルキレン基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキレン基が挙げられる。その炭素数は、1以上であることが好ましく、2以上であることがより好ましく、また、20以下であることが好ましく、18以下であることがより好ましく、16以下であることがさらに好ましく、14以下であることがよりさらに好ましく、12以下であることが特に好ましく、10以下であることが最も好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。
(Β)
In the formula (III), β is a dicarboxylic acid residue. The dicarboxylic acid residue means a divalent group obtained by removing two COOH groups from a divalent carboxylic acid.
Examples of the residue of the dicarboxylic acid include an alkylene group which may have a substituent, an arylene group which may have a substituent, or an alkenylene group which may have a substituent.
Examples of the alkylene group for β include a linear, branched or cyclic alkylene group. The number of carbon atoms is preferably 1 or more, more preferably 2 or more, preferably 20 or less, more preferably 18 or less, and further preferably 16 or less, It is more preferably 14 or less, particularly preferably 12 or less, and most preferably 10 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

アルキレン基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、シクロヘキシレン基、メチルシクロヘキシレン基、ビシクロ[2.2.1]ヘプチレン基、メチルビシクロ[2.2.1]ヘプチレン基等が挙げられる。これらの中でも現像性、信頼性、アウトガスの観点から、エチレン基、シクロヘキシレン基又はメチルシクロヘキシレン基が好ましく、エチレン基がより好ましい。   Specific examples of the alkylene group include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a cyclohexylene group, a methylcyclohexylene group, a bicyclo [2.2.1] heptylene group, and a methylbicyclo [2.2.1] heptylene group. Can be mentioned. Among these, from the viewpoint of developability, reliability, and outgas, an ethylene group, a cyclohexylene group, or a methylcyclohexylene group is preferable, and an ethylene group is more preferable.

また、アルキレン基が有していてもよい置換基としては、アルケニル基、アルキニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、アルコキシ基、ヒドロキシアルキル基、チオール基、スルフィド基等が挙げられる。これらの中でも残膜率の観点から、アルケニル基が好ましい。また、置換基を2以上有する場合には、置換基同士が連結して環を形成していてもよい。   Examples of the substituent that the alkylene group may have include an alkenyl group, an alkynyl group, a hydroxyl group, a carboxyl group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, an alkoxy group, a hydroxyalkyl group, a thiol group, and a sulfide group. Is mentioned. Among these, an alkenyl group is preferable from the viewpoint of the remaining film ratio. Moreover, when it has two or more substituents, substituents may connect and may form the ring.

置換基を有するアルキレン基の具体例としては、メチレンエチレン基、オクテニルエチレン基、ドデセニルエチレン基などが挙げられる。   Specific examples of the alkylene group having a substituent include a methylene ethylene group, an octenyl ethylene group, and a dodecenyl ethylene group.

また、βにおけるアリーレン基としては、2価の芳香族炭化水素環基及び2価の芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は6以上であることが好ましく、また、24以下であることが好ましく、20以下であることがより好ましく、18以下であることがさらに好ましく、16以下であることがよりさらに好ましく、14以下であることが特に好ましく、12以下であることが最も好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。
芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などの基が挙げられる。
また、芳香族複素環基における芳香族複素環基としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などの基が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、ベンゼン環基、又はナフタレン環基が好ましく、ベンゼン環基がより好ましい。
Examples of the arylene group in β include a divalent aromatic hydrocarbon ring group and a divalent aromatic heterocyclic group. The number of carbon atoms is preferably 6 or more, preferably 24 or less, more preferably 20 or less, further preferably 18 or less, and still more preferably 16 or less, It is particularly preferably 14 or less, and most preferably 12 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.
The aromatic hydrocarbon ring in the aromatic hydrocarbon ring group may be a single ring or a condensed ring, such as a benzene ring, naphthalene ring, anthracene ring, phenanthrene ring, perylene ring, tetracene ring, pyrene. And groups such as a ring, a benzpyrene ring, a chrysene ring, a triphenylene ring, an acenaphthene ring, a fluoranthene ring, and a fluorene ring.
In addition, the aromatic heterocyclic group in the aromatic heterocyclic group may be a single ring or a condensed ring, such as a furan ring, a benzofuran ring, a thiophene ring, a benzothiophene ring, a pyrrole ring, or a pyrazole ring. , Imidazole ring, oxadiazole ring, indole ring, carbazole ring, pyrroloimidazole ring, pyrrolopyrazole ring, pyrrolopyrrole ring, thienopyrrole ring, thienothiophene ring, furopyrrole ring, furofuran ring, thienofuran ring, benzoisoxazole ring, benzoiso Thiazole ring, benzimidazole ring, pyridine ring, pyrazine ring, pyridazine ring, pyrimidine ring, triazine ring, quinoline ring, isoquinoline ring, sinoline ring, quinoxaline ring, phenanthridine ring, benzimidazole ring, perimidine ring, quinazoline ring, quinazolino Rings include groups such as azulene ring. Among these, from the viewpoint of developability, a benzene ring group or a naphthalene ring group is preferable, and a benzene ring group is more preferable.

また、アリーレン基が有していてもよい置換基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、アルコキシ基、ヒドロキシアルキル基、チオール基、スルフィド基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、水酸基又はカルボキシル基が好ましく、カルボキシル基がより好ましい。また、置換基を2以上有する場合には、置換基同士が連結して環を形成していてもよい。   Examples of the substituent that the arylene group may have include an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, a hydroxyl group, a carboxyl group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, an alkoxy group, a hydroxyalkyl group, a thiol group, Examples thereof include a sulfide group. Among these, from the viewpoint of developability, a hydroxyl group or a carboxyl group is preferable, and a carboxyl group is more preferable. Moreover, when it has two or more substituents, substituents may connect and may form the ring.

置換基を有するアリーレン基の具体例としては、カルボキシルベンゼン環基等が挙げられる。   Specific examples of the arylene group having a substituent include a carboxylbenzene ring group.

また、βにおけるアルケニレン基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルケニレン基が挙げられる。その炭素数は、2以上であることが好ましく、また、20以下であることが好ましく、16以下であることがより好ましく、10以下であることがさらに好ましく、8以下であることがよりさらに好ましく、6以下であることが特に好ましく、4以下であることが最も好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。   Examples of the alkenylene group in β include a linear, branched or cyclic alkenylene group. The number of carbon atoms is preferably 2 or more, preferably 20 or less, more preferably 16 or less, further preferably 10 or less, and still more preferably 8 or less. , Particularly preferably 6 or less, and most preferably 4 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

アルケニレン基の具体例としては、エテニレン基、プロペニレン基、シクロヘキセニレン基、メチルエテニレン基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、エテニレン基、又はシクロヘキセニレン基が好ましく、シクロヘキセニレン基がより好ましい。   Specific examples of the alkenylene group include an ethenylene group, a propenylene group, a cyclohexenylene group, and a methylethenylene group. Among these, from the viewpoint of developability, an ethenylene group or a cyclohexenylene group is preferable, and a cyclohexenylene group is more preferable.

また、アルケニレン基が有していてもよい置換基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、アルコキシ基、ヒドロキシアルキル基、チオール基、スルフィド基等が挙げられる。これらの中でも残膜率の観点から、アルキル基又はアルケニル基が好ましく、アルキル基がより好ましい。また、置換基を2以上有する場合には、置換基同士が連結して環を形成していてもよい。   Examples of the substituent that the alkenylene group may have include an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, a hydroxyl group, a carboxyl group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, an alkoxy group, a hydroxyalkyl group, a thiol group, Examples thereof include a sulfide group. Among these, from the viewpoint of the remaining film ratio, an alkyl group or an alkenyl group is preferable, and an alkyl group is more preferable. Moreover, when it has two or more substituents, substituents may connect and may form the ring.

このように、βとして、置換基を有していてもよいアルキレン基、置換基を有していてもよいアリーレン基、又は置換基を有していてもよいアルケニレン基が挙げられるが、これらの中でも現像性の観点から、アルキレン基またはアルケニレン基であることが好ましく、アルキレン基であることがより好ましい。   Thus, β includes an alkylene group which may have a substituent, an arylene group which may have a substituent, or an alkenylene group which may have a substituent. Among these, from the viewpoint of developability, an alkylene group or an alkenylene group is preferable, and an alkylene group is more preferable.

(C2)アクリル共重合樹脂に含まれる前記一般式(I)で示される部分構造の含有割合は特に限定されないが、5モル%以上が好ましく、20モル%以上がより好ましく、30モル%以上がさらに好ましく、50モル%以上が特に好ましく、また、99モル%以下が好ましく、97モル%以下がより好ましく、95モル%以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで高感度となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで適度な溶解現像性となる傾向がある。   (C2) The content ratio of the partial structure represented by the general formula (I) contained in the acrylic copolymer resin is not particularly limited, but is preferably 5 mol% or more, more preferably 20 mol% or more, and more preferably 30 mol% or more. More preferably, 50 mol% or more is particularly preferable, 99 mol% or less is preferable, 97 mol% or less is more preferable, and 95 mol% or less is more preferable. When the amount is not less than the lower limit value, the sensitivity tends to be high, and when the amount is not more than the upper limit value, there is a tendency that moderate dissolution developability is obtained.

(一般式(I’)で示される部分構造)
(C2)アクリル共重合樹脂が前記一般式(I)で示される部分構造を含む場合、他に含まれる部分構造は特に限定されないが、耐熱性や膜強度の観点から、例えば、下記一般式(I’)で示される部分構造が含まれることが好ましい。
(Partial structure represented by the general formula (I ′))
(C2) When the acrylic copolymer resin includes a partial structure represented by the general formula (I), the other partial structures included are not particularly limited. From the viewpoint of heat resistance and film strength, for example, the following general formula ( The partial structure represented by I ′) is preferably included.

Figure 2018018036
Figure 2018018036

上記式(I’)中、R5は水素原子又はメチル基を表し、R6は置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、又は置換基を有していてもよいアルケニル基を表す。 In the above formula (I ′), R 5 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 6 represents an alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent, or a substituent. An alkenyl group that may be present.

(R6
前記式(I’)において、R6は置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、又は置換基を有していてもよいアルケニル基を表す。
6におけるアルキル基としては直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が挙げられる。その炭素数は、1以上であることが好ましく、3以上であることがより好ましく、5以上であることがさらに好ましく、また、20以下であることが好ましく、18以下であることがより好ましく、16以下であることがさらに好ましく、14以下であることがよりさらに好ましく、12以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。
(R 6 )
In the formula (I ′), R 6 represents an alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent, or an alkenyl group which may have a substituent.
Examples of the alkyl group for R 6 include linear, branched or cyclic alkyl groups. The number of carbon atoms is preferably 1 or more, more preferably 3 or more, still more preferably 5 or more, and is preferably 20 or less, more preferably 18 or less, It is more preferably 16 or less, still more preferably 14 or less, and particularly preferably 12 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、シクロヘキシル基、ジシクロペンタニル基、ドデカニル基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、ジシクロペンタニル基又はドデカニル基が好ましく、ジシクロペンタニル基がより好ましい。
また、アルキル基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。
Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a cyclohexyl group, a dicyclopentanyl group, and a dodecanyl group. Among these, from the viewpoint of developability, a dicyclopentanyl group or a dodecanyl group is preferable, and a dicyclopentanyl group is more preferable.
The substituents that the alkyl group may have include methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligoethylene glycol group, phenyl group, carboxyl group , An acryloyl group, a methacryloyl group, and the like. From the viewpoint of developability, a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable.

6におけるアリール基としては、1価の芳香族炭化水素環基及び1価の芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は6以上であることが好ましく、また、24以下であることが好ましく、22以下であることがより好ましく、20以下であることがさらに好ましく、18以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。
芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などの基が挙げられる。
また、芳香族複素環基における芳香族複素環基としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などの基が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、ベンゼン環基、又はナフタレン環基が好ましく、ベンゼン環基がより好ましい。
また、アリール基が有していてもよい置換基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。
Examples of the aryl group for R 6 include a monovalent aromatic hydrocarbon ring group and a monovalent aromatic heterocyclic group. The number of carbon atoms is preferably 6 or more, preferably 24 or less, more preferably 22 or less, still more preferably 20 or less, and particularly preferably 18 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.
The aromatic hydrocarbon ring in the aromatic hydrocarbon ring group may be a single ring or a condensed ring, such as a benzene ring, naphthalene ring, anthracene ring, phenanthrene ring, perylene ring, tetracene ring, pyrene. And groups such as a ring, a benzpyrene ring, a chrysene ring, a triphenylene ring, an acenaphthene ring, a fluoranthene ring, and a fluorene ring.
In addition, the aromatic heterocyclic group in the aromatic heterocyclic group may be a single ring or a condensed ring, such as a furan ring, a benzofuran ring, a thiophene ring, a benzothiophene ring, a pyrrole ring, or a pyrazole ring. , Imidazole ring, oxadiazole ring, indole ring, carbazole ring, pyrroloimidazole ring, pyrrolopyrazole ring, pyrrolopyrrole ring, thienopyrrole ring, thienothiophene ring, furopyrrole ring, furofuran ring, thienofuran ring, benzoisoxazole ring, benzoiso Thiazole ring, benzimidazole ring, pyridine ring, pyrazine ring, pyridazine ring, pyrimidine ring, triazine ring, quinoline ring, isoquinoline ring, sinoline ring, quinoxaline ring, phenanthridine ring, benzimidazole ring, perimidine ring, quinazoline ring, quinazolino Rings include groups such as azulene ring. Among these, from the viewpoint of developability, a benzene ring group or a naphthalene ring group is preferable, and a benzene ring group is more preferable.
The substituents that the aryl group may have include methyl group, ethyl group, propyl group, methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligo group, Examples thereof include an ethylene glycol group, a phenyl group, and a carboxyl group, and a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable from the viewpoint of developability.

6におけるアルケニル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルケニル基が挙げられる。その炭素数は、2以上であることが好ましく、また、22以下であることが好ましく、20以下であることがより好ましく、18以下であることがさらに好ましく、16以下であることがよりさらに好ましく、14以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。 Examples of the alkenyl group for R 6 include linear, branched or cyclic alkenyl groups. The number of carbon atoms is preferably 2 or more, preferably 22 or less, more preferably 20 or less, further preferably 18 or less, and still more preferably 16 or less. 14 or less is particularly preferable. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

また、アルケニル基が有していてもよい置換基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。   Examples of the substituent that the alkenyl group may have include methyl group, ethyl group, propyl group, methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligo group Examples thereof include an ethylene glycol group, a phenyl group, and a carboxyl group, and a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable from the viewpoint of developability.

このように、R6は置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよい
アリール基、又は置換基を有していてもよいアルケニル基を表すが、これらの中でも現像性の観点から、アルキル基又はアルケニルが好ましく、アルキル基がより好ましい。
Thus, R 6 represents an alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent, or an alkenyl group which may have a substituent. From the viewpoint of developability, an alkyl group or alkenyl is preferable, and an alkyl group is more preferable.

(C2)アクリル共重合樹脂に含まれる前記一般式(I’)で示される部分構造の含有割合は特に限定されないが、1モル%以上が好ましく、2モル%以上がより好ましく、3モル%以上がさらに好ましく、また、95モル%以下が好ましく、80モル%以下がより好ましく、70%モル以下がさらに好ましく、50モル%以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで耐熱性や膜強度が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで適度な現像性となる傾向がある。   (C2) The content of the partial structure represented by the general formula (I ′) contained in the acrylic copolymer resin is not particularly limited, but is preferably 1 mol% or more, more preferably 2 mol% or more, and 3 mol% or more. Is more preferably 95 mol% or less, more preferably 80 mol% or less, still more preferably 70% mol or less, and particularly preferably 50 mol% or less. When it is at least the lower limit, heat resistance and film strength tend to be good, and when it is at most the upper limit, there is a tendency for moderate developability.

(一般式(I’’)で示される部分構造)
(C2)アクリル共重合樹脂が前記一般式(I)で示される部分構造を含む場合、他に含まれる部分構造として、耐熱性、膜強度の観点から下記一般式(I’’)で示される部分構造が含まれることが好ましい。
(Partial structure represented by general formula (I ''))
(C2) In the case where the acrylic copolymer resin includes a partial structure represented by the general formula (I), the partial structure included therein is represented by the following general formula (I ″) from the viewpoint of heat resistance and film strength A partial structure is preferably included.

Figure 2018018036
Figure 2018018036

上記式(I’’)中、R7は水素原子又はメチル基を表し、R8は置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基、置換基を有していてもよいアルキニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ハロゲン原子、置換基を有していてもよいアルコキシ基、チオール基、又は置換基を有していてもよいアルキルスルフィド基を表す。tは0〜5の整数を表す。 In the above formula (I ″), R 7 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 8 represents an alkyl group which may have a substituent, an alkenyl group which may have a substituent, or a substituent. The alkynyl group which may have, the hydroxyl group, the carboxyl group, the halogen atom, the alkoxy group which may have a substituent, the thiol group, or the alkyl sulfide group which may have a substituent is represented. t represents an integer of 0 to 5.

(R8
前記式(I’’)においてR8は置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基、置換基を有していてもよいアルキニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ハロゲン原子、置換基を有していてもよいアルコキシ基、チオール基、又は置換基を有していてもよいアルキルスルフィド基を表す。
8におけるアルキル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が挙げられる。その炭素数は、1以上であることが好ましく、3以上であることがより好ましく、5以上であることがさらに好ましく、また、20以下であることが好ましく、18以下であることがより好ましく、16以下であることがさらに好ましく、14以下であることがよりさらに好ましく、12以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。
(R 8)
In the formula (I ″), R 8 represents an alkyl group which may have a substituent, an alkenyl group which may have a substituent, an alkynyl group which may have a substituent, a hydroxyl group, A carboxyl group, a halogen atom, an optionally substituted alkoxy group, a thiol group, or an optionally substituted alkyl sulfide group is represented.
Examples of the alkyl group for R 8 include a linear, branched, or cyclic alkyl group. The number of carbon atoms is preferably 1 or more, more preferably 3 or more, still more preferably 5 or more, and is preferably 20 or less, more preferably 18 or less, It is more preferably 16 or less, still more preferably 14 or less, and particularly preferably 12 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、シクロヘキシル基、ジシクロペンタニル基、ドデカニル基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、ジシクロペンタニル基又はドデカニル基が好ましく、ジシクロペンタニル基がより好ましい。
また、アルキル基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。
Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a cyclohexyl group, a dicyclopentanyl group, and a dodecanyl group. Among these, from the viewpoint of developability, a dicyclopentanyl group or a dodecanyl group is preferable, and a dicyclopentanyl group is more preferable.
The substituents that the alkyl group may have include methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligoethylene glycol group, phenyl group, carboxyl group , An acryloyl group, a methacryloyl group, and the like. From the viewpoint of developability, a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable.

8におけるアルケニル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルケニル基が挙げられる。その炭素数は、2以上であることが好ましく、また、22以下であることが好ましく、20以下であることがより好ましく、18以下であることがさらに好ましく、16以下であることがよりさらに好ましく、14以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。 Examples of the alkenyl group for R 8 include linear, branched or cyclic alkenyl groups. The number of carbon atoms is preferably 2 or more, preferably 22 or less, more preferably 20 or less, further preferably 18 or less, and still more preferably 16 or less. 14 or less is particularly preferable. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

また、アルケニル基が有していてもよい置換基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。   Examples of the substituent that the alkenyl group may have include methyl group, ethyl group, propyl group, methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligo group Examples thereof include an ethylene glycol group, a phenyl group, and a carboxyl group, and a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable from the viewpoint of developability.

8におけるアルキニル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキニル基が挙げられる。その炭素数は、2以上であることが好ましく、また、22以下であることが好ましく、20以下であることがより好ましく、18以下であることがさらに好ましく、16以下であることがよりさらに好ましく、14以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。 Examples of the alkynyl group for R 8 include linear, branched or cyclic alkynyl groups. The number of carbon atoms is preferably 2 or more, preferably 22 or less, more preferably 20 or less, further preferably 18 or less, and still more preferably 16 or less. 14 or less is particularly preferable. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

また、アルキニル基が有していてもよい置換基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。   Examples of the substituent that the alkynyl group may have include methyl group, ethyl group, propyl group, methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligo group, Examples thereof include an ethylene glycol group, a phenyl group, and a carboxyl group, and a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable from the viewpoint of developability.

8におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられ、これらの中でも誘電率の観点からはフッ素原子が好ましい。 Examples of the halogen atom in R 8 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom. Among these, a fluorine atom is preferable from the viewpoint of dielectric constant.

8におけるアルコキシ基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルコキシ基が挙げられる。その炭素数は、1以上であることが好ましく、また、20以下であることが好ましく、18以下であることがより好ましく、16以下であることがさらに好ましく、14以下であることがよりさらに好ましく、12以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。 Examples of the alkoxy group for R 8 include linear, branched or cyclic alkoxy groups. The number of carbon atoms is preferably 1 or more, preferably 20 or less, more preferably 18 or less, further preferably 16 or less, and still more preferably 14 or less. , 12 or less is particularly preferable. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

また、アルコシ基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。   In addition, as the substituent that the alkoxy group may have, methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligoethylene glycol group, phenyl group, carboxyl group , An acryloyl group, a methacryloyl group, and the like. From the viewpoint of developability, a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable.

8におけるアルキルスルフィド基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキルスルフィド基が挙げられる。その炭素数は、1以上であることが好ましく、また、20以下であることが好ましく、18以下であることがより好ましく、16以下であることがさらに好ましく、14以下であることがよりさらに好ましく、12以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。 Examples of the alkyl sulfide group for R 8 include linear, branched or cyclic alkyl sulfide groups. The number of carbon atoms is preferably 1 or more, preferably 20 or less, more preferably 18 or less, further preferably 16 or less, and still more preferably 14 or less. , 12 or less is particularly preferable. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

また、アルキルスルフィド基におけるアルキル基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。   In addition, as the substituent that the alkyl group in the alkyl sulfide group may have, methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligoethylene glycol group, phenyl Group, carboxyl group, acryloyl group, methacryloyl group and the like, and from the viewpoint of developability, a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferred.

このように、R8は置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基、置換基を有していてもよいアルキニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ハロゲン原子、アルコキシ基、ヒドロキシアルキル基、チオール基、又は置換基を有していてもよいアルキルスルフィド基を表すが、これらの中でも現像性の観点から、ヒドロキシル基又はカルボキシル基が好ましく、カルボキシル基がより好ましい。 Thus, R 8 is an alkyl group which may have a substituent, an alkenyl group which may have a substituent, an alkynyl group which may have a substituent, a hydroxyl group, a carboxyl group, a halogen, An atom, an alkoxy group, a hydroxyalkyl group, a thiol group, or an alkyl sulfide group that may have a substituent is represented, but among these, from the viewpoint of developability, a hydroxyl group or a carboxyl group is preferred, and a carboxyl group is more preferred. preferable.

(C2)アクリル共重合樹脂に含まれる前記一般式(I’’)で示される部分構造の含有割合は特に限定されないが、1モル%以上が好ましく、2モル%以上がより好ましく、3モル%以上がさらに好ましく、5モル%以上が特に好ましく、また、90モル%以下が好ましく、70モル%以下がより好ましく、50モル%以下がさらに好ましく、30モル%以下がよりさらに好ましく、20モル%以下が特に好ましく、10モル%以下が最も好ましい。前記下限値以上とすることで耐熱性が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで適度な現像性となる傾向がある。   (C2) The content of the partial structure represented by the general formula (I '') contained in the acrylic copolymer resin is not particularly limited, but is preferably 1 mol% or more, more preferably 2 mol% or more, and 3 mol%. The above is more preferable, 5 mol% or more is particularly preferable, 90 mol% or less is preferable, 70 mol% or less is more preferable, 50 mol% or less is more preferable, 30 mol% or less is further more preferable, 20 mol%. The following is particularly preferable, and 10 mol% or less is most preferable. When it is at least the lower limit, the heat resistance tends to be good, and when it is at most the upper limit, there is a tendency for moderate developability.

(一般式(I’’’)で示される部分構造)
(C2)アクリル共重合樹脂が前記一般式(I)で示される部分構造を含む場合、他に含まれる部分構造として、耐熱性の観点から下記一般式(I’’’)で示される部分構造が含まれることが好ましい。
(Partial structure represented by general formula (I ′ ″))
(C2) When the acrylic copolymer resin includes the partial structure represented by the general formula (I), the partial structure represented by the following general formula (I ′ ″) from the viewpoint of heat resistance Is preferably included.

Figure 2018018036
Figure 2018018036

上記式(I’’’)中、R9は水素原子又はメチル基を表す。 In the above formula (I ′ ″), R 9 represents a hydrogen atom or a methyl group.

(C2)アクリル共重合樹脂に含まれる前記一般式(I’’’)で示される部分構造の含有割合は特に限定されないが、5モル%以上が好ましく、10モル%以上がより好ましく、30モル%以上がさらに好ましく、また、90モル%以下が好ましく、80モル%以下がより好ましく、70モル%以下がさらに好ましく、50モル%以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで耐熱性が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで適度な現像性となる傾向がある。一方で、アウトガスの観点から、0%、つまり、前記一般式(I’’’)で示される部分構造を含まないことが好ましい。   (C2) The content ratio of the partial structure represented by the general formula (I ′ ″) contained in the acrylic copolymer resin is not particularly limited, but is preferably 5 mol% or more, more preferably 10 mol% or more, and 30 mol. % Or more is more preferable, 90 mol% or less is preferable, 80 mol% or less is more preferable, 70 mol% or less is more preferable, and 50 mol% or less is especially preferable. When it is at least the lower limit, the heat resistance tends to be good, and when it is at most the upper limit, there is a tendency for moderate developability. On the other hand, from the viewpoint of outgassing, it is preferable that 0%, that is, the partial structure represented by the general formula (I ′ ″) is not included.

(C2)アクリル共重合樹脂の酸価は特に限定されないが、5mg−KOH/g以上が好ましく、10mg−KOH/g以上がより好ましく、15mg−KOH/g以上がさらに好ましく、20mg−KOH/g以上がよりさらに好ましく、また、100mg−KOH/g以下が好ましく、90mg−KOH/g以下がより好ましく、70mg−KOH/g以下がさらに好ましく、50mg−KOH/g以下がよりさらに好ましい。前記下限値以上とすることで未露光部の現像性が良化する傾向があり、また、前記上限値以下とすること現像時の膜減りを生じない傾向がある。   The acid value of the (C2) acrylic copolymer resin is not particularly limited, but is preferably 5 mg-KOH / g or more, more preferably 10 mg-KOH / g or more, further preferably 15 mg-KOH / g or more, and 20 mg-KOH / g. The above is more preferable, 100 mg-KOH / g or less is preferable, 90 mg-KOH / g or less is more preferable, 70 mg-KOH / g or less is more preferable, and 50 mg-KOH / g or less is more preferable. When the amount is not less than the lower limit, the developability of the unexposed area tends to be improved, and when the amount is not more than the upper limit, there is a tendency that the film is not reduced during development.

(C2)アクリル共重合樹脂の重量平均分子量(Mw)は特に限定されないが、通常1000以上、好ましくは1000以上、より好ましくは2000以上、さらに好ましくは3000以上、よりさらに好ましくは4000以上、特に好ましくは5000以上であり、また、通常30000以下、好ましくは20000以下、より好ましくは15000以下、さらに好ましくは10000以下である。前記下限値以上とすることで現像時の膜減りを生じない傾向があり、また、前記上限値以下とすることで未露光部の現像性が良化する傾向がある。   (C2) The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic copolymer resin is not particularly limited, but is usually 1000 or more, preferably 1000 or more, more preferably 2000 or more, further preferably 3000 or more, still more preferably 4000 or more, particularly preferably. Is 5000 or more, and usually 30000 or less, preferably 20000 or less, more preferably 15000 or less, and still more preferably 10,000 or less. When the amount is not less than the lower limit, there is a tendency that the film is not reduced during development, and when the amount is not more than the upper limit, the developability of the unexposed portion tends to be improved.

(C)アルカリ可溶性樹脂に含まれる(C2)アクリル共重合樹脂の含有割合は特に限定されないが、5質量%以上が好ましく、10質量%以上がより好ましく、15質量%以上がさらに好ましく、70質量%以上が特に好ましく、また、60質量%以下が好ましく、50質量%以下がより好ましく、40質量%以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで未露光部の現像性を良化させ、残渣を低減させ、インクジェット適正が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることでアウトガスの発生量を減少させる傾向がある。   (C) The content ratio of the (C2) acrylic copolymer resin contained in the alkali-soluble resin is not particularly limited, but is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, further preferably 15% by mass or more, and 70% by mass. % Or more is especially preferable, 60 mass% or less is preferable, 50 mass% or less is more preferable, and 40 mass% or less is further more preferable. When the amount is not less than the above lower limit value, the developability of the unexposed portion is improved, the residue is reduced, and the ink jet suitability tends to be good. There is a tendency to make it.

また、(C2)アクリル共重合樹脂は、(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂と(C2)アクリル共重合樹脂との合計質量に対して、5質量%以上が好ましく、10質量%がより好ましく、15質量%がさらに好ましく、また70質量%以下が好ましく、50質量%以下がより好ましく、30質量%以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで未露光部の現像性を良化させ、残渣を低減させ、インクジェット適正が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることでアウトガスの発生量を減少させる傾向がある。   Further, the (C2) acrylic copolymer resin is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass with respect to the total mass of the (C1) epoxy (meth) acrylate resin and the (C2) acrylic copolymer resin. 15 mass% is more preferable, 70 mass% or less is preferable, 50 mass% or less is more preferable, and 30 mass% or less is further more preferable. When the amount is not less than the above lower limit value, the developability of the unexposed portion is improved, the residue is reduced, and the ink jet suitability tends to be good. There is a tendency to make it.

以下に(C2)アクリル共重合樹脂の具体例を詳述する。(C2)アクリル共重合樹脂としては、例えば、(C2−a)側鎖にエチレン性不飽和基を有するカルボシキル基共重合体が挙げられる。   Specific examples of the (C2) acrylic copolymer resin will be described in detail below. Examples of the (C2) acrylic copolymer resin include a carboxyl group copolymer having an ethylenically unsaturated group in the (C2-a) side chain.

[C2−a]側鎖にエチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有共重合体
[C2−a−1]不飽和カルボン酸と2個以上のエチレン性不飽和基を含有する化合物との共重合体
側鎖にエチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有共重合体として、例えば、アリル(メタ)アクリレート、3−アリルオキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、シンナミル(メタ)アクリレート、クロトニル(メタ)アクリレート、メタリル(メタ)アクリレート、N,N−ジアリル(メタ)アクリルアミドなどの2個以上のエチレン性不飽和基を含有する化合物、または、ビニル(メタ)アクリレート、1−クロロビニル(メタ)アクリレート、2−フェニルビニル(メタ)アクリレート、1−プロペニル(メタ)アクリレート、ビニルクロトネート、ビニル(メタ)アクリルアミドなどの2個以上のエチレン性不飽和基を含有する化合物と、(メタ)アクリル酸などの不飽和カルボン酸、またはさらに不飽和カルボン酸エステルなどとを、前者の2個以上のエチレン性不飽和基を含有する化合物の全体に占める割合が10〜90モル%、好ましくは30〜80モル%程度となるように共重合させて得られた共重合体などが挙げられる。
[C2-a] Copolymer of carboxyl group-containing copolymer having ethylenically unsaturated group in side chain [C2-a-1] unsaturated carboxylic acid and compound containing two or more ethylenically unsaturated groups As a carboxyl group-containing copolymer having an ethylenically unsaturated group in the side chain, for example, allyl (meth) acrylate, 3-allyloxy-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, cinnamyl (meth) acrylate, crotonyl (meth) A compound containing two or more ethylenically unsaturated groups such as acrylate, methallyl (meth) acrylate, N, N-diallyl (meth) acrylamide, or vinyl (meth) acrylate, 1-chlorovinyl (meth) acrylate, 2-phenylvinyl (meth) acrylate, 1-propenyl (meth) acrylate, vinyl chloride A compound containing two or more ethylenically unsaturated groups such as rotonate and vinyl (meth) acrylamide, an unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid, or an unsaturated carboxylic acid ester, and the like. Examples thereof include a copolymer obtained by copolymerization so that the proportion of the compound containing at least one ethylenically unsaturated group is 10 to 90 mol%, preferably about 30 to 80 mol%. .

なお、この共重合体の酸価は、現像溶解性の観点から、好ましくは30〜250mg−KOH/gであり、重量平均分子量(Mw)は、現像溶解性の観点から、好ましくは1000〜300000である。   The acid value of this copolymer is preferably 30 to 250 mg-KOH / g from the viewpoint of development solubility, and the weight average molecular weight (Mw) is preferably 1000 to 300,000 from the viewpoint of development solubility. It is.

[C2−a−2]エポキシ基含有不飽和化合物変性カルボキシル基含有共重合体
また、側鎖にエチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有共重合体として、例えば、カルボキシル基含有共重合体に、エポキシ基含有不飽和化合物を反応させて、カルボキシル基含有共重合体のカルボキシル基の一部にエポキシ基含有不飽和化合物のエポキシ基を付加させて変性した変性カルボキシル基含有共重合体が挙げられる。
そのカルボキシル基含有共重合体としては、感度の観点から、前述したカルボキシル基含有共重合体の(メタ)アクリレート−(メタ)アクリル酸共重合体、及び、スチレン−(メタ)アクリレート−(メタ)アクリル酸共重合体などが好ましい。
また、そのエポキシ基含有不飽和化合物としては、アリルグリシジルエーテル、グリシジル(メタ)アクリレート、α−エチルグリシジル(メタ)アクリレート、グリシジルクロトネート、グリシジルイソクロトネート、クロトニルグリシジルエーテル、イタコン酸モノアルキルモノグリシジルエステル、フマル酸モノアルキルモノグリシジルエステル、マレイン酸モルアルキルモノグリシジルエステルなどの脂肪族エポキシ基含有不飽和化合物、および、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、2,3−エポキシシクロペンチルメチル(メタ)アクリレート、7,8−エポキシ〔トリシクロ[5.2.1.0]デシ−2−イル〕オキシエチル(メタ)アクリレートなどの脂環式エポキシ基含有不飽和化合物が挙げられる。
そして、これらのエポキシ基含有不飽和化合物を、カルボキシル基含有共重合体の有するカルボキシル基の5〜90モル%、好ましくは30〜70モル%程度を反応させることにより得られる。なお、反応は公知の方法により実施することができる。
[C2-a-2] Epoxy group-containing unsaturated compound-modified carboxyl group-containing copolymer As a carboxyl group-containing copolymer having an ethylenically unsaturated group in the side chain, for example, a carboxyl group-containing copolymer, A modified carboxyl group-containing copolymer modified by reacting an epoxy group-containing unsaturated compound and adding an epoxy group of the epoxy group-containing unsaturated compound to a part of the carboxyl group of the carboxyl group-containing copolymer may be mentioned.
As the carboxyl group-containing copolymer, from the viewpoint of sensitivity, the carboxyl group-containing copolymer (meth) acrylate- (meth) acrylic acid copolymer and styrene- (meth) acrylate- (meth) described above. Acrylic acid copolymers are preferred.
The epoxy group-containing unsaturated compounds include allyl glycidyl ether, glycidyl (meth) acrylate, α-ethyl glycidyl (meth) acrylate, glycidyl crotonate, glycidyl isocrotonate, crotonyl glycidyl ether, monoalkyl itaconate Aliphatic epoxy group-containing unsaturated compounds such as glycidyl esters, monoalkyl monoglycidyl esters of fumaric acid, and maleic acid alkyl monoglycidyl esters, and 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, 2,3-epoxycyclopentylmethyl And alicyclic epoxy group-containing unsaturated compounds such as (meth) acrylate and 7,8-epoxy [tricyclo [5.2.1.0] dec-2-yl] oxyethyl (meth) acrylate. That.
Then, these epoxy group-containing unsaturated compounds are obtained by reacting 5 to 90 mol%, preferably about 30 to 70 mol%, of the carboxyl groups of the carboxyl group-containing copolymer. In addition, reaction can be implemented by a well-known method.

なお、このエポキシ基含有不飽和化合物変性カルボキシル基含有共重合体の酸価は、現像性の観点から、好ましくは30〜250mg−KOH/gであり、現像性の観点から、重量平均分子量(Mw)は、好ましくは1000〜300000である。   The acid value of the epoxy group-containing unsaturated compound-modified carboxyl group-containing copolymer is preferably 30 to 250 mg-KOH / g from the viewpoint of developability, and from the viewpoint of developability, the weight average molecular weight (Mw ) Is preferably 1000 to 300,000.

[C2−a−3]不飽和カルボン酸変性エポキシ基およびカルボキシル基含有(共)重合体
また、側鎖にエチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有共重合体として、例えば、(メタ)アクリル酸などの不飽和カルボン酸と、前述の脂肪族エポキシ基含有不飽和化合物または脂環式エポキシ基含有不飽和化合物、またはさらに不飽和カルボン酸エステルやスチレンなどとを、前者のカルボキシル基含有不飽和化合物の全体に占める割合を10〜90モル%、好ましくは30〜80モル%程度となるように共重合させて得られた共重合体に、(メタ)アクリル酸などの不飽和カルボン酸を反応させて、該共重合体のエポキシ基に不飽和カルボン酸のカルボキシル基を付加させて変性した変性エポキシ基およびカルボキシル基含有共重合体が挙げられる。
[C2-a-3] Unsaturated carboxylic acid-modified epoxy group and carboxyl group-containing (co) polymer Further, as a carboxyl group-containing copolymer having an ethylenically unsaturated group in the side chain, for example, (meth) acrylic acid An unsaturated carboxylic acid such as the above-mentioned aliphatic epoxy group-containing unsaturated compound or alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound, or further an unsaturated carboxylic acid ester or styrene, the former carboxyl group-containing unsaturated compound Is reacted with an unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid to the copolymer obtained by copolymerization so that the proportion of the total amount of the polymer becomes 10 to 90 mol%, preferably about 30 to 80 mol%. A modified epoxy group and a carboxyl group-containing copolymer modified by adding a carboxyl group of an unsaturated carboxylic acid to the epoxy group of the copolymer, Can be mentioned.

なお、この不飽和カルボン酸変性エポキシ基およびカルボキシル基含有共重合体の酸価は、現像性の観点から、好ましくは30〜250mg−KOH/gであり、現像性の観点から、重量平均分子量(Mw)は、好ましくは1000〜300000である。   The acid value of the unsaturated carboxylic acid-modified epoxy group and carboxyl group-containing copolymer is preferably 30 to 250 mg-KOH / g from the viewpoint of developability, and from the viewpoint of developability, the weight average molecular weight ( Mw) is preferably 1000 to 300,000.

[C2−a−4]酸変性エポキシ基含有共重合体
また、側鎖にエチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有(共)重合体として、エポキシ基含有(メタ)アクリレートとエチレン性不飽和化合物との共重合体に対し、該共重合体が有するエポキシ基の少なくとも一部にエチレン性不飽和モノカルボン酸を付加し、さらに付加により生じた水酸基の少なくとも一部に多塩基酸(無水物)を付加して得られる酸変性エポキシ基含有(共)重合体が挙げられる。
具体的には、グリシジル(メタ)アクリレートなどのエポキシ基含有(メタ)アクリレート5〜99モル%と、(メタ)アクリル酸エステルなどのエチレン性不飽和化合物通常2〜95モル%との共重合体を、共重合体に含まれるエポキシ基の通常10〜100モル%に、エチレン性不飽和モノカルボン酸を付加し、さらに付加したときに生成する水酸基の通常10〜100モル%に、多塩基酸(無水物)を付加して得られる酸変性エポキシ基含有(共)重合体が挙げられる。
[C2-a-4] Acid-modified epoxy group-containing copolymer As a carboxyl group-containing (co) polymer having an ethylenically unsaturated group in the side chain, an epoxy group-containing (meth) acrylate and an ethylenically unsaturated compound In addition, an ethylenically unsaturated monocarboxylic acid is added to at least a part of the epoxy group of the copolymer, and a polybasic acid (anhydride) is added to at least a part of the hydroxyl group generated by the addition. An acid-modified epoxy group-containing (co) polymer obtained by adding.
Specifically, a copolymer of 5 to 99 mol% of an epoxy group-containing (meth) acrylate such as glycidyl (meth) acrylate and usually 2 to 95 mol% of an ethylenically unsaturated compound such as (meth) acrylic acid ester. Is added to an ethylenically unsaturated monocarboxylic acid to usually 10 to 100 mol% of the epoxy group contained in the copolymer, and a polybasic acid is added to usually 10 to 100 mol% of the hydroxyl group produced when the addition is added. An acid-modified epoxy group-containing (co) polymer obtained by adding (anhydride) is exemplified.

ここで、前記共重合体におけるエポキシ基含有(メタ)アクリレートの共重合割合は特に限定されないが、通常5モル%以上、好ましくは20モル%以上、より好ましくは40モル%以上、さらに好ましくは60モル%以上、よりさらに好ましくは80モル%以上、特に好ましくは90モル%以上であり、通常99モル%以下、好ましくは98モル%以下、より好ましくは95モル%以下である。前記下限値以上とすることで高感度となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで適度な現像溶解性となる傾向がある。
一方、前記共重合体におけるエチレン性不飽和化合物の共重合割合は特に限定されないが、通常1モル%以上、好ましくは3モル%以上、より好ましくは5モル%以上であり、通常90モル%以下、好ましくは70モル%以下、より好ましくは50モル%以下、さらに好ましくは30モル%以下、特に好ましくは10モル%以下である。前記下限値以上とすることで高感度となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで適度な現像溶解性となる傾向がある。
Here, the copolymerization ratio of the epoxy group-containing (meth) acrylate in the copolymer is not particularly limited, but is usually 5 mol% or more, preferably 20 mol% or more, more preferably 40 mol% or more, and still more preferably 60 mol%. It is at least mol%, more preferably at least 80 mol%, particularly preferably at least 90 mol%, and usually at most 99 mol%, preferably at most 98 mol%, more preferably at most 95 mol%. When the amount is not less than the lower limit value, the sensitivity tends to be high, and when the value is not more than the upper limit value, there is a tendency that appropriate development solubility is obtained.
On the other hand, the copolymerization ratio of the ethylenically unsaturated compound in the copolymer is not particularly limited, but is usually 1 mol% or more, preferably 3 mol% or more, more preferably 5 mol% or more, and usually 90 mol% or less. , Preferably 70 mol% or less, more preferably 50 mol% or less, still more preferably 30 mol% or less, and particularly preferably 10 mol% or less. When the amount is not less than the lower limit value, the sensitivity tends to be high, and when the value is not more than the upper limit value, there is a tendency that appropriate development solubility is obtained.

エポキシ基含有(メタ)アクリレートとしては、グリシジル(メタ)アクリレート、α−エチルグリシジル(メタ)アクリレートなどの脂肪族エポキシ基含有(メタ)アクリレート;3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、2,3−エポキシシクロペンチルメチル(メタ)アクリレート、7,8−エポキシ〔トリシクロ[5.2.1.0]デシ−2−イル〕オキシエチル(メタ)アクリレートなどの脂環式エポキシ基含有(メタ)アクリレートが挙げられる。   Examples of the epoxy group-containing (meth) acrylate include aliphatic epoxy group-containing (meth) acrylates such as glycidyl (meth) acrylate and α-ethylglycidyl (meth) acrylate; 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, 2, Alicyclic epoxy group-containing (meth) acrylates such as 3-epoxycyclopentylmethyl (meth) acrylate and 7,8-epoxy [tricyclo [5.2.1.0] dec-2-yl] oxyethyl (meth) acrylate Can be mentioned.

ここで、(メタ)アクリル酸エステルなどのエチレン性不飽和化合物としては、例えば、下記式(VI)で表される部分構造を有するモノ(メタ)アクリレートの1種または2種以上を用いることが好ましい。   Here, as an ethylenically unsaturated compound such as (meth) acrylic acid ester, for example, one or more mono (meth) acrylates having a partial structure represented by the following formula (VI) may be used. preferable.

Figure 2018018036
Figure 2018018036

式(VI)中、R1d〜R4dは、それぞれ独立に、水素原子、または、炭素数1〜10のアルキル基を表し、R5dとR6dは、それぞれ独立に、水素原子、または炭素数1〜10のアルキル基を表す。また、R5dとR6dは連結して環を形成していてもよい。R5dとR6dが連結して形成される環は、好ましくは脂肪族環であり、飽和または不飽和の何れでもよく、好ましくは炭素数5〜6である。 In formula (VI), R 1d to R 4d each independently represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and R 5d and R 6d each independently represent a hydrogen atom or carbon number. 1-10 alkyl groups are represented. R 5d and R 6d may be linked to form a ring. The ring formed by linking R 5d and R 6d is preferably an aliphatic ring, which may be saturated or unsaturated, and preferably has 5 to 6 carbon atoms.

1d〜R4dにおけるアルキル基の炭素数は通常1以上であり、通常10以下、好ましくは8以下、より好ましくは5以下である。前記上限値以下とすることで適切な現像溶解性となる傾向がある。
これらの中でも、溶解性の観点から、R1d〜R4dは水素原子であることが好ましい。
The carbon number of the alkyl group in R 1d to R 4d is usually 1 or more, usually 10 or less, preferably 8 or less, and more preferably 5 or less. There exists a tendency for it to become suitable image development solubility by setting it as the said upper limit or less.
Among these, from the viewpoint of solubility, R 1d to R 4d are preferably hydrogen atoms.

5d及びR6dにおけるアルキル基の炭素数は通常1以上であり、また、通常10以下、好ましくは8以下、より好ましくは5以下である。前記下限値以上とすることで適切な溶解性を示す傾向があり、また、前記上限値以下とすることで親水性が保持される傾向がある。
これらの中でも、現像溶解性の観点から、R5d及びR6dが水素原子であるか、R5d及びR6dが連結して炭素数5〜6の脂肪族環を形成していることが好ましい。
The carbon number of the alkyl group in R 5d and R 6d is usually 1 or more, and is usually 10 or less, preferably 8 or less, more preferably 5 or less. There exists a tendency which shows appropriate solubility by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency for hydrophilicity to be hold | maintained by setting it as the said upper limit or less.
Among these, from the viewpoint of development solubility, it is preferable that R 5d and R 6d are hydrogen atoms or R 5d and R 6d are connected to form an aliphatic ring having 5 to 6 carbon atoms.

上記式(VI)の中では、下記式(VIa)、(VIb)、または(VIc)で表される構造を有するモノ(メタ)アクリレートが好ましい。これらの部分構造を導入することによって、モノ(メタ)アクリレートの耐熱性や強度を増すことが可能となる傾向がある。なお、これらのモノ(メタ)アクリレートは、1種を用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせおよび比率で併用してもよい。   Among the above formulas (VI), mono (meth) acrylates having a structure represented by the following formula (VIa), (VIb), or (VIc) are preferable. By introducing these partial structures, it tends to be possible to increase the heat resistance and strength of mono (meth) acrylate. In addition, 1 type may be used for these mono (meth) acrylates and it may use 2 or more types together by arbitrary combinations and a ratio.

Figure 2018018036
Figure 2018018036

前記の式(VI)で表される部分構造を有するモノ(メタ)アクリレートとしては、公知の各種のものが使用できるが、硬化性の観点から、特に次の式(VII)で表されるものが好ましい。   As the mono (meth) acrylate having a partial structure represented by the above formula (VI), various known ones can be used, but those represented by the following formula (VII) in particular from the viewpoint of curability. Is preferred.

Figure 2018018036
Figure 2018018036

式(VII)中、R9dは水素原子またはメチル基を表し、R10dは前記の式(VI)を表す。 In formula (VII), R 9d represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 10d represents the formula (VI).

一方で、エチレン性不飽和化合物としては、上述した式(VI)で表される部分構造を有するモノ(メタ)アクリレート以外の、例えば、スチレンのα−、o−、m−、p−アルキル、ニトロ、シアノ、アミド、エステル誘導体などのスチレン類、ブタジエン、2,3−ジメチルブタジエン、イソプレン、クロロプレンなどのジエン類、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸−n−プロピル、(メタ)アクリル酸−iso−プロピル、(メタ)アクリル酸−n−ブチル、(メタ)アクリル酸−sec−ブチル、(メタ)アクリル酸−tert−ブチル、(メタ)アクリル酸ペンチル、(メタ)アクリル酸ネオペンチル、(メタ)アクリル酸イソアミル、(メタ)アクリル酸ヘキシル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸ラウリル、(メタ)アクリル酸ドデシル、(メタ)アクリル酸シクロペンチル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸2−メチルシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸ジシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸イソボロニル、(メタ)アクリル酸アダマンチル、(メタ)アクリル酸アリル、(メタ)アクリル酸プロパルギル、(メタ)アクリル酸フェニル、(メタ)アクリル酸ナフチル、(メタ)アクリル酸アントラセニル、(メタ)アクリル酸アントラニノニル、(メタ)アクリル酸ピペロニル、(メタ)アクリル酸サリチル、(メタ)アクリル酸フリル、(メタ)アクリル酸フルフリル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフリル、(メタ)アクリル酸ピラニル、(メタ)アクリル酸ベンジル、(メタ)アクリル酸フェネチル、(メタ)アクリル酸クレジル、(メタ)アクリル酸−1,1,1−トリフルオロエチル、(メタ)アクリル酸パーフルオルエチル、(メタ)アクリル酸パーフルオロ−n−プロピル、(メタ)アクリル酸パーフルオロ−iso−プロピル、(メタ)アクリル酸トリフェニルメチル、(メタ)アクリル酸クミル、(メタ)アクリル酸3−(N,N−ジメチルアミノ)プロピル、(メタ)アクリル酸−2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸−2−ヒドロキシプロピルなどの(メタ)アクリル酸エステル類、(メタ)アクリル酸アミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジメチルアミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジエチルアミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジプロピルアミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジ−iso−プロピルアミド、(メタ)アクリル酸アントラセニルアミドなどの(メタ)アクリル酸アミド類、(メタ)アクリル酸アニリド、(メタ)アクリロイルニトリル、アクロレイン、塩化ビニル、塩化ビニリデン、フッ化ビニル、フッ化ビニリデン、N−ビニルピロリドン、ビニルピリジン、酢酸ビニルなどのビニル化合物類、シトラコン酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチルなどの不飽和ジカルボン酸ジエステル類、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ラウリルマレイミド、N−(4−ヒドロキシフェニル)マレイミドなどのモノマレイミド類、N−(メタ)アクリロイルフタルイミドなどのようなラジカル重合性化合物も挙げられる。   On the other hand, as the ethylenically unsaturated compound, for example, α-, o-, m-, p-alkyl of styrene other than the mono (meth) acrylate having the partial structure represented by the formula (VI) described above, Styrenes such as nitro, cyano, amide and ester derivatives, dienes such as butadiene, 2,3-dimethylbutadiene, isoprene and chloroprene, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid n-propyl, (meth) acrylic acid-iso-propyl, (meth) acrylic acid-n-butyl, (meth) acrylic acid-sec-butyl, (meth) acrylic acid-tert-butyl, (meth) acrylic acid pentyl , Neopentyl (meth) acrylate, Isoamyl (meth) acrylate, Hexyl (meth) acrylate, (Meth) acrylic 2-ethylhexyl, lauryl (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, cyclopentyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, 2-methylcyclohexyl (meth) acrylate, dicyclohexyl (meth) acrylate, ( (Meth) acrylate isobornyl, (meth) acrylate adamantyl, (meth) acrylate allyl, (meth) acrylate propargyl, (meth) acrylate phenyl, (meth) acrylate naphthyl, (meth) acrylate anthracenyl, (meth) ) Anthraninonyl acrylate, piperonyl (meth) acrylate, salicyl (meth) acrylate, furyl (meth) acrylate, furfuryl (meth) acrylate, tetrahydrofuryl (meth) acrylate, pyranyl (meth) acrylate, (Meta) Acry Benzyl lurate, phenethyl (meth) acrylate, cresyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid-1,1,1-trifluoroethyl, perfluoroethyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid per Fluoro-n-propyl, perfluoro-iso-propyl (meth) acrylate, triphenylmethyl (meth) acrylate, cumyl (meth) acrylate, 3- (N, N-dimethylamino) propyl (meth) acrylate , (Meth) acrylic acid esters such as (meth) acrylic acid-2-hydroxyethyl, (meth) acrylic acid-2-hydroxypropyl, (meth) acrylic acid amide, (meth) acrylic acid N, N-dimethylamide , (Meth) acrylic acid N, N-diethylamide, (meth) acrylic acid N, N-dipropylamide, (meth) acrylic acid (Meth) acrylic acid amides such as N, N-di-iso-propylamide, (meth) acrylic acid anthracenylamide, (meth) acrylic acid anilide, (meth) acryloylnitrile, acrolein, vinyl chloride, Vinyl compounds such as vinylidene chloride, vinyl fluoride, vinylidene fluoride, N-vinyl pyrrolidone, vinyl pyridine, vinyl acetate, and unsaturated dicarboxylic acid diesters such as diethyl citraconic acid, diethyl maleate, diethyl fumarate, diethyl itaconate , N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-laurylmaleimide, monomaleimides such as N- (4-hydroxyphenyl) maleimide, and radically polymerizable compounds such as N- (meth) acryloylphthalimide.

これらの中でも、より優れた耐熱性および強度を付与させるためには、エチレン性不飽和化合物としては、スチレン、ベンジル(メタ)アクリレートおよびモノマレイミドから選択された少なくとも1種を使用することが有効である。この場合、耐熱性の観点から、スチレン、ベンジル(メタ)アクリレートおよびモノマレイミドから選択された少なくとも1種の共重合割合は、通常1モル%以上、好ましくは3モル%以上、また、通常、70モル%以下、好ましくは50モル%以下、より好ましくは30モル%以下、さらに好ましくは10モル%以下である。   Among these, in order to impart superior heat resistance and strength, it is effective to use at least one selected from styrene, benzyl (meth) acrylate and monomaleimide as the ethylenically unsaturated compound. is there. In this case, from the viewpoint of heat resistance, the copolymerization ratio of at least one selected from styrene, benzyl (meth) acrylate and monomaleimide is usually 1 mol% or more, preferably 3 mol% or more, and usually 70 It is not more than mol%, preferably not more than 50 mol%, more preferably not more than 30 mol%, still more preferably not more than 10 mol%.

エポキシ基含有(メタ)アクリレートとエチレン性不飽和化合物との共重合体に含まれるエポキシ基に付加させるエチレン性不飽和モノカルボン酸としては、公知のものを使用することができ、硬化性の観点から、(メタ)アクリル酸が好ましい。前記共重合体に含まれるエポキシ基にエチレン性不飽和モノカルボン酸を付加させる量は、該共重合体に含まれるエポキシ基の通常10モル%以上、好ましくは30モル%以上、より好ましくは50モル%以上であり、さらに好ましくは70モル%以上であり、通常100モル%以下である。エチレン性不飽和モノカルボン酸の付加割合を前記下限値以上とすることで、硬化性を高めることができる傾向がある。なお、前記共重合体にエチレン性不飽和モノカルボン酸を付加させる方法としては公知の方法を採用することができる。   As an ethylenically unsaturated monocarboxylic acid to be added to an epoxy group contained in a copolymer of an epoxy group-containing (meth) acrylate and an ethylenically unsaturated compound, a known one can be used, and a curable viewpoint Therefore, (meth) acrylic acid is preferable. The amount of the ethylenically unsaturated monocarboxylic acid added to the epoxy group contained in the copolymer is usually 10 mol% or more, preferably 30 mol% or more, more preferably 50 mol% of the epoxy group contained in the copolymer. It is at least mol%, more preferably at least 70 mol%, and usually at most 100 mol%. There exists a tendency which can improve sclerosis | hardenability by making the addition ratio of ethylenically unsaturated monocarboxylic acid more than the said lower limit. In addition, a well-known method can be employ | adopted as a method of adding ethylenically unsaturated monocarboxylic acid to the said copolymer.

前記共重合体にエチレン性不飽和モノカルボン酸を付加させたときに生成する水酸基に付加させる多塩基酸(無水物)としては、特に限定されず公知のもの1種を単独で用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせおよび比率で併用してもよい。このような成分を付加させることにより、共重合体にアルカリ可溶性を付与することができる。   The polybasic acid (anhydride) to be added to the hydroxyl group generated when ethylenically unsaturated monocarboxylic acid is added to the copolymer is not particularly limited, and one known one may be used alone. Two or more kinds may be used in any combination and ratio. By adding such a component, alkali solubility can be imparted to the copolymer.

多塩基酸(無水物)を付加させる量は、前記共重合体にエチレン性不飽和モノカルボン酸を付加させたときに生成する水酸基の、通常1モル%以上、好ましくは5モル%以上、より好ましくは10モル%以上、さらに好ましくは20モル%以上、特に好ましくは30モル%以上である。また、通常100モル%以下、好ましくは、90モル%以下、より好ましくは80モル%以下、さらに好ましくは50モル%以下である。前記下限値以上とすることで十分な現像性を付与できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像が進みすぎ膜溶解するのを抑制できる傾向がある。なお、前記共重合体にエチレン性不飽和モノカルボン酸を付加させたときに生成する水酸基に多塩基酸(無水物)を付加させる方法としては、公知の方法を任意に採用することができる。   The amount of polybasic acid (anhydride) added is usually 1 mol% or more, preferably 5 mol% or more of the hydroxyl group produced when ethylenically unsaturated monocarboxylic acid is added to the copolymer. Preferably it is 10 mol% or more, More preferably, it is 20 mol% or more, Most preferably, it is 30 mol% or more. Moreover, it is 100 mol% or less normally, Preferably, it is 90 mol% or less, More preferably, it is 80 mol% or less, More preferably, it is 50 mol% or less. There exists a tendency which can provide sufficient developability by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency which can suppress that development advances too much and film | membrane dissolution by setting it as the said upper limit or less. In addition, a well-known method can be arbitrarily employ | adopted as a method of adding a polybasic acid (anhydride) to the hydroxyl group produced | generated when an ethylenically unsaturated monocarboxylic acid is added to the said copolymer.

以上のエポキシ基含有共重合体のエチレン性不飽和モノカルボン酸および多塩基酸(無水物)による変性物には、多塩基酸(無水物)付加後に生成したカルボキシ基の一部に、グリシジル(メタ)アクリレートやエチレン不飽和基を有するグリシジルエーテル化合物を付加させることにより、さらに光感度を向上させることができる。また、多塩基酸(無水物)付加後に生成したカルボキシ基の一部にエチレン性不飽和基を有さないグリシジルエーテル化合物を付加させることにより、現像性を向上させることもできる。さらに、多塩基酸(無水物)付加後にこれらの両者を付加させてもよい。   The above epoxy group-containing copolymer modified with ethylenically unsaturated monocarboxylic acid and polybasic acid (anhydride) contains glycidyl (a part of carboxy group formed after addition of polybasic acid (anhydride)). Photosensitivity can be further improved by adding a glycidyl ether compound having a (meth) acrylate or an ethylenically unsaturated group. Moreover, developability can also be improved by adding the glycidyl ether compound which does not have an ethylenically unsaturated group to a part of carboxy group produced | generated after polybasic acid (anhydride) addition. Further, both of these may be added after the addition of the polybasic acid (anhydride).

なお、上述した酸変性エポキシ基含有共重合体としては、例えば、特開平8−297366号公報や特開2001−89533号公報に記載の樹脂が挙げられる。また、上記変性物の重量平均分子量(Mw)は、特に限定されないが、通常3,000以上、好ましくは5,000以上、また、通常100,000以下、好ましくは50,000以下、より好ましくは30,000以下、さらに好ましくは20,000以下、特に好ましくは15,000以下である。前記下限値以上とすることで相溶性を向上できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで溶解性を確保できる傾向がある。また、分子量分布〔重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)〕は、硬化性の観点から、2.0〜5.0が好ましい。
また、酸変性エポキシ基含有共重合体の酸価は特に限定されないが、5mg−KOH/g以上が好ましく、10mg−KOH/g以上がより好ましく、20mg−KOH/g以上がさらに好ましく、また、150mg−KOH/g以下が好ましく、120mg−KOH/g以下がより好ましく、100mg−KOH/g以下がさらに好ましく、80mg−KOH/g以下がよりさらに好ましく、50mg−KOH/g以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで溶解性を担保できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで減膜を向上させることができる傾向がある。
Examples of the acid-modified epoxy group-containing copolymer described above include resins described in JP-A-8-297366 and JP-A-2001-89533. The weight average molecular weight (Mw) of the modified product is not particularly limited, but is usually 3,000 or more, preferably 5,000 or more, and usually 100,000 or less, preferably 50,000 or less, more preferably 30,000 or less, more preferably 20,000 or less, and particularly preferably 15,000 or less. There exists a tendency which can improve compatibility by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency which can ensure solubility by setting it as the said upper limit or less. The molecular weight distribution [weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)] is preferably 2.0 to 5.0 from the viewpoint of curability.
The acid value of the acid-modified epoxy group-containing copolymer is not particularly limited, but is preferably 5 mg-KOH / g or more, more preferably 10 mg-KOH / g or more, further preferably 20 mg-KOH / g or more, 150 mg-KOH / g or less is preferable, 120 mg-KOH / g or less is more preferable, 100 mg-KOH / g or less is more preferable, 80 mg-KOH / g or less is more preferable, and 50 mg-KOH / g or less is particularly preferable. There exists a tendency which can ensure solubility by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency which can improve a film reduction by setting it as the said upper limit or less.

以上のとおり、本発明における(C)アルカリ可溶性樹脂は、(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂、及び(C2)アクリル共重合樹脂を含有するものであるが、それら以外にその他のアルカリ可溶性樹脂を含んでいてもよい。   As described above, the (C) alkali-soluble resin in the present invention contains (C1) an epoxy (meth) acrylate resin and (C2) an acrylic copolymer resin. May be included.

また、(C)成分のアルカリ可溶性樹脂の平均酸価は特に限定されないが、10mg−KOH/g以上が好ましく、20mg−KOH/g以上がより好ましく30mg−KOH/g以上が好ましく、また、200mg−KOH/g以下が好ましく、150mg−KOH/g以下がより好ましく、100mg−KOH/g以下がさらに好ましく、70mg−KOH/g以下がよりさらに好ましく、50mg−KOH/g以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで適度な現像溶解性が得られる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像が進みすぎ膜溶解するのを抑制する傾向がある。(C)成分のアルカリ可溶性樹脂の平均酸価は中和滴定により測定することができる。   Further, the average acid value of the alkali-soluble resin (C) is not particularly limited, but is preferably 10 mg-KOH / g or more, more preferably 20 mg-KOH / g or more, and preferably 30 mg-KOH / g or more, and 200 mg. -KOH / g or less is preferable, 150 mg-KOH / g or less is more preferable, 100 mg-KOH / g or less is more preferable, 70 mg-KOH / g or less is further more preferable, and 50 mg-KOH / g or less is particularly preferable. When the amount is not less than the lower limit value, moderate development solubility tends to be obtained, and when the value is not more than the upper limit value, development tends to proceed excessively and film dissolution tends to be suppressed. The average acid value of the alkali-soluble resin (C) can be measured by neutralization titration.

本発明の感光性樹脂組成物中における(C)アルカリ可溶性樹脂の含有割合は、全固形分に対して、通常5質量%以上、好ましくは10質量%以上、より好ましくは20質量%以上、さらに好ましくは30質量%以上、特に好ましくは40質量%以上、通常90重量%以下、好ましくは70重量%以下、より好ましくは60重量%以下である。前記下限値以上とすることで適度な現像溶解性と感度にできる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望のパターンを形成しやすい傾向がある。   The content ratio of the (C) alkali-soluble resin in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 5% by mass or more, preferably 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, based on the total solid content. The amount is preferably 30% by weight or more, particularly preferably 40% by weight or more, usually 90% by weight or less, preferably 70% by weight or less, more preferably 60% by weight or less. There exists a tendency which can be made into moderate development solubility and sensitivity by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency which forms a desired pattern easily by setting it as the said upper limit or less.

また、全固形分中における(A)エチレン性不飽和化合物及び(C)アルカリ可溶性樹脂の含有割合の総和は、10質量%以上が好ましく、30質量%以上がより好ましく、60質量%以上がさらに好ましく、90質量%以上が特に好ましく、また、100質量%以下が好ましく、99質量%以下がより好ましく、97質量%以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで適度な現像溶解性と感度にできる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望のパターンを形成しやすい傾向がある。   Further, the total content of (A) the ethylenically unsaturated compound and (C) the alkali-soluble resin in the total solid content is preferably 10% by mass or more, more preferably 30% by mass or more, and further preferably 60% by mass or more. Preferably, 90% by mass or more is particularly preferable, 100% by mass or less is preferable, 99% by mass or less is more preferable, and 97% by mass or less is more preferable. There exists a tendency which can be made into moderate development solubility and sensitivity by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency which forms a desired pattern easily by setting it as the said upper limit or less.

[1−1−4](D)成分;撥液剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(D)撥液剤を含有していてもよい。特に、インクジェット法で有機電界発光素子を作成する場合には(D)撥液剤を含有することが好ましく、(D)撥液剤を含有することでそれが隔壁の表面に撥液性を付与できることから、得られる隔壁を有機層の画素ごとの混色を防ぐものとすることができると考えられる。
撥液剤としては、シリコーン含有化合物やフッ素系化合物が挙げられ、好ましくは、架橋基を有する撥液剤(以下、「架橋基含有撥液剤」と称す場合がある。)が挙げられる。架橋基としては、エポキシ基又はエチレン性不飽和基が挙げられ、現像液の撥液成分の流出抑制の観点から、好ましくはエチレン性不飽和基である。
架橋基含有撥液剤を用いる場合には、形成した塗布膜を露光する際にその表面での架橋反応を加速することができ、撥液剤が現像処理で流出しにくくなり、その結果、得られる隔壁を高い撥液性を示すものとすることができると考えられる。
[1-1-4] Component (D); Liquid Repellent Agent The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention may contain (D) a liquid repellent agent. In particular, when an organic electroluminescent device is produced by an ink jet method, it is preferable to contain (D) a liquid repellent, and since (D) it contains liquid repellent, it can impart liquid repellency to the surface of the partition wall. It is considered that the obtained partition wall can prevent color mixing for each pixel of the organic layer.
Examples of the liquid repellent include a silicone-containing compound and a fluorine-based compound, and preferably include a liquid repellent having a crosslinking group (hereinafter sometimes referred to as “crosslinking group-containing liquid repellent”). Examples of the crosslinking group include an epoxy group or an ethylenically unsaturated group, and an ethylenically unsaturated group is preferable from the viewpoint of suppressing the outflow of the liquid repellent component of the developer.
When the crosslinkable group-containing liquid repellent is used, when the formed coating film is exposed, the cross-linking reaction on the surface can be accelerated, and the liquid repellent is less likely to flow out during the development process. Can be considered to exhibit high liquid repellency.

撥液剤としてフッ素系化合物を用いた場合には、当該フッ素化合物が隔壁の表面に配向して、インキのにじみや混色を防止する働きをする傾向がある。さらに詳しくは、フッ素原子を有する基が、インキをはじき、インキが隔壁を越えて隣接する領域に進入することによるインキのにじみや混色を防ぐ働きをする傾向がある。   When a fluorine-based compound is used as the liquid repellent, the fluorine compound tends to be oriented on the surface of the partition wall and function to prevent ink bleeding and color mixing. More specifically, the group having a fluorine atom tends to function to repel ink and prevent ink bleeding and color mixing due to the ink entering the adjacent region beyond the partition wall.

架橋基含有撥液剤、特にエチレン性不飽和基含有フッ素系化合物の具体例としては、例えばパーフルオロアルキルスルホン酸、パーフルオロアルキルカルボン酸、パーフルオロアルキルアルキレンオキシド付加物、パーフルオロアルキルトリアルキルアンモニウム塩、パーフルオロアルキル基と親水基を含むオリゴマー、パーフルオロアルキル基と親油基を含むオリゴマー、パーフルオロアルキル基と親水基と新油基を含むオリゴマー、パーフルオロアルキルと親水基を含むウレタン、パーフルオロアルキルエステル、パーフルオロアルキル燐酸エステルなどのフッ素含有有機化合物を挙げることができる。これらのフッ素含有化合物の市販品としては、DIC社製「メガファックF116」、「同F120」、「同F142D」、「同F144D」、「同F150」、「同F160」、「同F171」、「同F172」、「同F173」、「同F177」、「同F178A」、「同F178K」、「同F179」、「同F183」、「同F184」、「同F191」、「同F812」、「同F815」、「同F824」、「同F833」、「DEFENSAMCF300」、「同MCF310」、「同MCF312」、「同MCF323」、「同RS72K」、「同RS304」、「同RS202」、「同RS201」、「同RS102」、「同RS101」、「同RS105」、「同RS401」、「同RS402」、「同RS501」、「同RS502」、「同RS301」、「同RS303」、スリーエムジャパン社製「同FC431」、「FC−4430」、「同FC4432」、旭硝子社製「アサヒガードAG710」、「サーフロンS−382」、「同SC−101」、「同SC−102」、「同SC−103」、「同SC−104」、「同SC−105」、「同SC−106」、ダイキン工業社製「オプツールDAC―HP」、「HP−650」などの商品名で市販されている含フッ素有機化合物を使用することができる。   Specific examples of the crosslinkable group-containing liquid repellent, particularly the ethylenically unsaturated group-containing fluorine-based compound include, for example, perfluoroalkylsulfonic acid, perfluoroalkylcarboxylic acid, perfluoroalkylalkylene oxide adduct, perfluoroalkyltrialkylammonium salt. Oligomers containing perfluoroalkyl groups and hydrophilic groups, oligomers containing perfluoroalkyl groups and lipophilic groups, oligomers containing perfluoroalkyl groups, hydrophilic groups and new oil groups, urethanes containing perfluoroalkyl groups and hydrophilic groups, Mention may be made of fluorine-containing organic compounds such as fluoroalkyl esters and perfluoroalkyl phosphate esters. Commercially available products of these fluorine-containing compounds include “Megafac F116”, “Same F120”, “Same F142D”, “Same F144D”, “Same F150”, “Same F160”, “Same F171” manufactured by DIC, “Same F172”, “Same F173”, “Same F177”, “Same F178A”, “Same F178K”, “Same F179”, “Same F183”, “Same F184”, “Same F191”, “Same F812”, "Same F815", "Same F824", "Same F833", "DEFENSAMCF300", "Same MCF310", "Same MCF312", "Same MCF323", "Same RS72K", "Same RS304", "Same RS202", " “Same RS 201”, “Same RS 102”, “Same RS 101”, “Same RS 105”, “Same RS 401”, “Same RS 402”, “Same RS 501”, “Same "S502", "RS301", "RS303", "Mitsubishi FC431", "FC-4430", "Same FC4432" manufactured by 3M Japan, "Asahi Guard AG710", "Surflon S-382", "Asahi Glass" “SC-101”, “SC-102”, “SC-103”, “SC-104”, “SC-105”, “SC-106”, “OPTOOL DAC-HP” manufactured by Daikin Industries, Ltd. ”,“ HP-650 ”, and other commercially available fluorine-containing organic compounds can be used.

このように、撥液剤としてフッ素系化合物を用いる場合において、撥液剤中のF原子含有量は特に制限されないが、好ましくはフッ素原子含有量が1質量%以上が好ましく、5質量%以上がより好ましく、また、50質量%以下が好ましく、25質量%以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで画素部への流出を抑制できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで高い接触角を示す傾向がある。   As described above, when a fluorine-based compound is used as the liquid repellent, the F atom content in the liquid repellent is not particularly limited, but the fluorine atom content is preferably 1% by mass or more, and more preferably 5% by mass or more. Moreover, 50 mass% or less is preferable, and 25 mass% or less is more preferable. By setting it to the lower limit value or more, there is a tendency that the outflow to the pixel portion can be suppressed, and by setting the upper limit value or less, there is a tendency to show a high contact angle.

撥液剤の分子量は特に制限されず、低分子量の化合物でも、高分子量体であってもよい。高分子量体の撥液剤の方が、焼成による撥液剤の流動性が抑えられるため、バンクから撥液剤の流出を抑えることができるため好ましく、係る観点から撥液剤の数平均分子量は、100以上が好ましく、500以上がより好ましく、100000以下が好ましく、10000以下がより好ましい。   The molecular weight of the liquid repellent is not particularly limited, and may be a low molecular weight compound or a high molecular weight substance. The liquid repellent of high molecular weight is preferable because the flow of the liquid repellent by firing can be suppressed, and the outflow of the liquid repellent from the bank can be suppressed. From this viewpoint, the number average molecular weight of the liquid repellent is 100 or more. Preferably, 500 or more is more preferable, 100,000 or less is preferable, and 10,000 or less is more preferable.

本発明の感光性樹脂組成物中の(D)撥液剤の含有割合は、全固形分に対して通常0.01質量%以上、好ましくは0.05質量%以上、より好ましくは0.1質量%以上、通常1質量%以下、好ましくは0.5質量%以下、より好ましくは0.3質量%以下である。前記下限値以上とすることで高い撥液性を示す傾向があり、また、前記上限値以下とすることで画素部への流出を抑制できる傾向がある。   The content ratio of the liquid repellent (D) in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 0.01% by mass or more, preferably 0.05% by mass or more, more preferably 0.1% by mass with respect to the total solid content. % Or more, usually 1% by mass or less, preferably 0.5% by mass or less, more preferably 0.3% by mass or less. There exists a tendency which shows high liquid repellency by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency which can suppress the outflow to a pixel part by setting it as the said upper limit or less.

一方で、本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(D)撥液剤と共に界面活性剤を用いてもよく、また、(D)撥液剤に代えて界面活性剤を用いてもよい。界面活性剤は、隔壁形成用感光性樹脂組成物の塗布液としての塗布性、および塗布膜の現像性の向上などを目的として用いることができ、中でもフッ素系又はシリコーン系の界面活性剤が好ましい。
特に、現像の際、未露光部から感光性樹脂組成物の残渣を除去する作用があり、また、濡れ性を発現する機能を有することから、シリコーン系界面活性剤が好ましく、ポリエーテル変性シリコーン系界面活性剤がさらに好ましい。
On the other hand, in the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention, a surfactant may be used together with (D) the liquid repellent, and a surfactant may be used instead of (D) the liquid repellent. The surfactant can be used for the purpose of improving the coating property of the photosensitive resin composition for forming a partition wall as a coating solution and the developing property of the coating film, among which a fluorine-based or silicone-based surfactant is preferable. .
In particular, at the time of development, a silicone-based surfactant is preferable because it has an action of removing the residue of the photosensitive resin composition from the unexposed area and also has a function of expressing wettability. A surfactant is more preferred.

フッ素系界面活性剤としては、末端、主鎖および側鎖の少なくとも何れかの部位にフルオロアルキルまたはフルオロアルキレン基を有する化合物が好適である。具体的には、1,1,2,2−テトラフロロオクチル(1,1,2,2−テトラフロロプロピル)エーテル、1,1,2,2−テトラフロロオクチルヘキシルエーテル、オクタエチレングリコールジ(1,1,2,2−テトラフロロブチル)エーテル、ヘキサエチレングリコールジ(1,1,2,2,3,3−ヘキサフロロペンチル)エーテル、オクタプロピレングリコールジ(1,1,2,2−テトラフロロブチル)エーテル、ヘキサプロピレングリコールジ(1,1,2,2,3,3−ヘキサフロロペンチル)エーテル、パーフロロドデシルスルホン酸ナトリウム、1,1,2,2,8,8,9,9,10,10−デカフロロドデカン、1,1,2,2,3,3−ヘキサフロロデカンなどを挙げることができる。これらの市販品としては、例えば、BM Chemie社製「BM−1000」、「BM−1100」、DIC社製「メガファックF142D」、「メガファックF172」、「メガファックF173」、「メガファックF183」、「メガファックF470」、「メガファックF475」、「メガファックF554」、「メガファックF559」、スリーエムジャパン社製「FC430」、ネオス社製「DFX−18」などを挙げることができる。   As the fluorosurfactant, a compound having a fluoroalkyl or fluoroalkylene group in at least one of the terminal, main chain and side chain is suitable. Specifically, 1,1,2,2-tetrafluorooctyl (1,1,2,2-tetrafluoropropyl) ether, 1,1,2,2-tetrafluorooctyl hexyl ether, octaethylene glycol di ( 1,1,2,2-tetrafluorobutyl) ether, hexaethylene glycol di (1,1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether, octapropylene glycol di (1,1,2,2- Tetrafluorobutyl) ether, hexapropylene glycol di (1,1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether, sodium perfluorododecylsulfonate, 1,1,2,2,8,8,9, Examples include 9,10,10-decafluorododecane and 1,1,2,2,3,3-hexafluorodecane. Examples of these commercially available products include “BM-1000” and “BM-1100” manufactured by BM Chemie, “Megafuck F142D”, “Megafuck F172”, “Megafuck F173”, and “Megafuck F183” manufactured by DIC. ”,“ Megafuck F470 ”,“ Megafuck F475 ”,“ Megafuck F554 ”,“ Megafuck F559 ”,“ FC430 ”manufactured by 3M Japan,“ DFX-18 ”manufactured by Neos, and the like.

また、シリコーン系界面活性剤としては、例えば、東レ・ダウコーニング社製「DC3PA」、「SH7PA」、「DC11PA」、「SH21PA」、「SH28PA」、「SH29PA」、「8032Additive」、「SH8400」、ビックケミー社製「BYK323」、「BYK330」などの市販品を挙げることができる。
界面活性剤として、フッ素系界面活性剤及びシリコーン系界面活性剤以外のものを含んでいてもよく、その他、界面活性剤としては、ノニオン性、アニオン性、カチオン性、両性界面活性剤などが挙げられる。
Examples of the silicone surfactant include “DC3PA”, “SH7PA”, “DC11PA”, “SH21PA”, “SH28PA”, “SH29PA”, “8032Additive”, “SH8400” manufactured by Toray Dow Corning, Commercial products such as “BYK323” and “BYK330” manufactured by Big Chemie may be mentioned.
Surfactants may include those other than fluorosurfactants and silicone surfactants, and other surfactants include nonionic, anionic, cationic, and amphoteric surfactants. It is done.

上記ノニオン性界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルエステル類、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル類、グリセリン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレングリセリン脂肪酸エステル類、ペンタエリスリット脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンペンタエリスリット脂肪酸エステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル類、ソルビット脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンソルビット脂肪酸エステル類などが挙げられる。これらの市販品としては、例えば、花王社製の「エマルゲン104P」、「エマルゲンA60」などのポリオキシエチレン系界面活性剤などが挙げられる。   Examples of the nonionic surfactant include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene polyoxypropylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkylphenyl ethers, polyoxyethylene alkyl esters, polyoxyethylene fatty acid esters, Glycerin fatty acid esters, polyoxyethylene glycerin fatty acid esters, pentaerythritol fatty acid esters, polyoxyethylene pentaerythritol fatty acid esters, sorbitan fatty acid esters, polyoxyethylene sorbitan fatty acid esters, sorbit fatty acid esters, polyoxy And ethylene sorbite fatty acid esters. Examples of these commercially available products include polyoxyethylene surfactants such as “Emulgen 104P” and “Emulgen A60” manufactured by Kao Corporation.

また、上記アニオン性界面活性剤としては、例えば、アルキルスルホン酸塩類、アルキルベンゼンスルホン酸塩類、アルキルナフタレンスルホン酸塩類、ポリオキシエチレンアルキルエーテルスルホン酸塩類、アルキル硫酸塩類、アルキル硫酸エステル塩類、高級アルコール硫酸エステル塩類、脂肪族アルコール硫酸エステル塩類、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル硫酸塩類、アルキル燐酸エステル塩類、ポリオキシエチレンアルキルエーテル燐酸塩類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル燐酸塩類、特殊高分子系界面活性剤などが挙げられる。中でも、特殊高分子系界面活性剤が好ましく、特殊ポリカルボン酸型高分子系界面活性剤がさらに好ましい。このようなアニオン性界面活性剤としては市販品を用いることができ、例えば、アルキル硫酸エステル塩類では、花王社製「エマール10」等、アルキルナフタレンスルホン酸塩類では花王社製「ペレックスNB−L」など、特殊高分子系界面活性剤では花王社製「ホモゲノールL−18」、「ホモゲノールL−100」などが挙げられる   Examples of the anionic surfactant include alkyl sulfonates, alkyl benzene sulfonates, alkyl naphthalene sulfonates, polyoxyethylene alkyl ether sulfonates, alkyl sulfates, alkyl sulfate esters, and higher alcohol sulfates. Ester salts, aliphatic alcohol sulfates, polyoxyethylene alkyl ether sulfates, polyoxyethylene alkyl phenyl ether sulfates, alkyl phosphate esters, polyoxyethylene alkyl ether phosphates, polyoxyethylene alkyl phenyl ether phosphates, special Examples thereof include polymer surfactants. Among these, special polymer surfactants are preferable, and special polycarboxylic acid type polymer surfactants are more preferable. Commercially available products can be used as such anionic surfactants, such as “Emar 10” manufactured by Kao Corporation for alkyl sulfate esters, and “Perex NB-L” manufactured by Kao Corporation for alkylnaphthalene sulfonates. Examples of special polymer surfactants include “Homogenol L-18” and “Homogenol L-100” manufactured by Kao Corporation.

さらに、上記カチオン性界面活性剤としては、第4級アンモニウム塩類、イミダゾリン誘導体類、アルキルアミン塩類などが、また、両性界面活性剤としては、ベタイン型化合物類、イミダゾリウム塩類、イミダゾリン類、アミノ酸類などが挙げられる。これらのうち、第4級アンモニウム塩類が好ましく、ステアリルトリメチルアンモニウム塩類がさらに好ましい。市販のものとしては、例えば、アルキルアミン塩類では花王社製「アセタミン24」など、第4級アンモニウム塩類では花王社製「コータミン24P」、「コータミン86W」などが挙げられる。
また、界面活性剤は2種類以上の組み合わせで用いてもよく、例えば、シリコーン系界面活性剤/フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤/特殊高分子系界面活性剤、フッ素系界面活性剤/特殊高分子系界面活性剤の組み合わせなどが挙げられる。中でも、シリコーン系界面活性剤/フッ素系界面活性剤の組み合わせが好ましい。このシリコーン系界面活性剤/フッ素系界面活性剤の組み合わせでは、例えば、/ネオス社製「DFX−18」、ビックケミー社製「BYK−300」または「BYK−330」/AGCセイミケミカル社製「S−393」、信越シリコーン社製「KP340」/DIC社製「F−478」または「F−475」、東レ・ダウコーニング社製「SH7PA」/ダイキン社製「DS−401」、NUC社製「L−77」/スリーエムジャパン社製「FC4430」などが挙げられる。
Further, the cationic surfactants include quaternary ammonium salts, imidazoline derivatives, alkylamine salts and the like, and the amphoteric surfactants include betaine type compounds, imidazolium salts, imidazolines, amino acids. Etc. Of these, quaternary ammonium salts are preferred, and stearyltrimethylammonium salts are more preferred. Examples of commercially available products include “Acetamine 24” manufactured by Kao Corporation for alkylamine salts, and “Cotamine 24P” and “Cotamine 86W” manufactured by Kao Corporation for quaternary ammonium salts.
Further, the surfactant may be used in combination of two or more kinds, for example, silicone surfactant / fluorine surfactant, silicone surfactant / special polymer surfactant, fluorine surfactant. / Special polymer surfactant combinations and the like. Of these, a combination of silicone surfactant / fluorine surfactant is preferable. In this silicone surfactant / fluorine surfactant combination, for example, “DFX-18” manufactured by Neos, “BYK-300” or “BYK-330” manufactured by Big Chemie, and “S” manufactured by AGC Seimi Chemical Co., Ltd. -393 ", Shin-Etsu Silicone" KP340 "/ DIC" F-478 "or" F-475 ", Toray Dow Corning" SH7PA "/ Daikin" DS-401 ", NUC" L-77 "/" FC4430 "manufactured by 3M Japan.

[1−1−5]紫外線吸収剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、紫外線吸収剤を含有してもよい。紫外線吸収剤は、露光に用いられる光源の特定の波長を紫外線吸収剤によって吸収させることにより、光硬化分布を制御する目的で添加されるものである。紫外線吸収剤の添加により、現像後のテーパ角度及び形状を改善したり、現像後に非露光部に残る残渣をなくしたりするなどの効果が得られる。紫外線吸収剤としては、開始剤の光吸収の阻害の観点から、例えば、波長250nmから400nmの間に吸収極大を有する化合物を用いることができる。
紫外線吸収剤としては、ベンゾトリアゾール系化合物及び/又はトリアジン系化合物が望ましい。ベンゾトリアゾール系化合物及び/又はトリアジン系化合物を含むことで開始剤の膜底部での光吸収率が減少し、ボトムサイズが小さくなることによりテーパ角度の増大効果が得られると考えられる。
[1-1-5] Ultraviolet Absorber The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention may contain an ultraviolet absorber. The ultraviolet absorber is added for the purpose of controlling the photocuring distribution by absorbing a specific wavelength of a light source used for exposure by the ultraviolet absorber. By adding the ultraviolet absorber, it is possible to improve the taper angle and shape after development, and to eliminate residues remaining in the non-exposed area after development. As the ultraviolet absorber, from the viewpoint of inhibiting the light absorption of the initiator, for example, a compound having an absorption maximum between wavelengths of 250 nm to 400 nm can be used.
As the ultraviolet absorber, a benzotriazole compound and / or a triazine compound is desirable. By including a benzotriazole-based compound and / or a triazine-based compound, it is considered that the light absorption rate at the bottom of the film of the initiator is reduced, and the effect of increasing the taper angle is obtained by reducing the bottom size.

ベンゾトリアゾール系化合物の中でも、テーパ形状の点から、下記の一般式(Z1)で記載されるベンゾトリアゾール化合物が好ましい。   Among the benzotriazole compounds, a benzotriazole compound described by the following general formula (Z1) is preferable from the point of taper shape.

Figure 2018018036
Figure 2018018036

上記式(Z1)中、R1e及びR2eは各々独立に、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基又は下記一般式(Z2)、又は下記一般式(Z3)で表される基を表す。R3eは、水素原子又はハロゲン原子を表す。 In the formula (Z1), R 1e and R 2e are each independently represented by a hydrogen atom, an alkyl group which may have a substituent, the following general formula (Z2), or the following general formula (Z3). Represents a group. R 3e represents a hydrogen atom or a halogen atom.

Figure 2018018036
Figure 2018018036

上記式(Z2)中、R4eは置換基を有していてもよいアルキレン基を表し、R5eは置換基を有していてもよいアルキル基を表す。 In the above formula (Z2), R 4e represents an alkylene group which may have a substituent, and R 5e represents an alkyl group which may have a substituent.

Figure 2018018036
Figure 2018018036

上記式(Z3)中、R6eは置換基を有していてもよいアルキレン基を表し、R7eは水素原子またはメチル基を表す。
(R1e及びR2e
前記式(Z1)において、R1e及びR2eは各々独立に、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、一般式(Z2)または一般式(Z3)で表される基を表す。
アルキル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が挙げられる。その炭素数は、1以上であることが好ましく、2以上であることがより好ましく、4以上であることがさらに好ましく、また、10以下であることが好ましく、6以下であることがより好ましく、4以下であることがさらに好ましい。
In the above formula (Z3), R 6e represents an alkylene group which may have a substituent, and R 7e represents a hydrogen atom or a methyl group.
(R 1e and R 2e )
In the formula (Z1), R 1e and R 2e each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group which may have a substituent, a group represented by the general formula (Z2) or the general formula (Z3). .
Examples of the alkyl group include linear, branched or cyclic alkyl groups. The number of carbon atoms is preferably 1 or more, more preferably 2 or more, further preferably 4 or more, preferably 10 or less, more preferably 6 or less, More preferably, it is 4 or less.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基等が挙げられる。これらの中でもtert−ブチル基が好ましい。
また、アルキル基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられる。
Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, and a tert-butyl group. Among these, a tert-butyl group is preferable.
The substituents that the alkyl group may have include methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligoethylene glycol group, phenyl group, carboxyl group , Acryloyl group, methacryloyl group and the like.

(R3e
前記式(Z1)において、R3eは、水素原子又はハロゲン原子を表す。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子などが挙げらる。
これらの中でも合成の観点から、R3eが水素原子であることが好ましい。
(R 3e )
In the formula (Z1), R 3e represents a hydrogen atom or a halogen atom.
Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.
Among these, from the viewpoint of synthesis, R 3e is preferably a hydrogen atom.

(R4e
前記式(Z2)において、R4eは置換基を有していてもよいアルキレン基を表す。
アルキレン基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキレン基が挙げられる。その炭素数は通常1以上であり、2以上が好ましく、また6以下が好ましく、4以下がより好ましく、3以下がさらに好ましい。
(R 4e )
In the formula (Z2), R 4e represents an alkylene group which may have a substituent.
Examples of the alkylene group include linear, branched or cyclic alkylene groups. The number of carbon atoms is usually 1 or more, preferably 2 or more, preferably 6 or less, more preferably 4 or less, and still more preferably 3 or less.

アルキレン基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、プロピレン基、ブチレン基等が挙げられる。これらの中でもエチレン基が好ましい。
また、アルキレン基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられる。
Specific examples of the alkylene group include methylene group, ethylene group, propylene group, propylene group, butylene group and the like. Among these, an ethylene group is preferable.
In addition, as the substituent that the alkylene group may have, methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligoethylene glycol group, phenyl group, carboxyl group , Acryloyl group, methacryloyl group and the like.

これらの中でも、R4eがエチレン基であることが好ましい。 Among these, R 4e is preferably an ethylene group.

(R5e
前記式(Z2)において、置換基を有していてもよいアルキル基を表す。
アルキル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が挙げられる。その炭素数は、4以上であることが好ましく、5以上であることがより好ましく、7以上であることがさらに好ましく、また、15以下であることが好ましく、10以下であることがより好ましく、9以下であることがさらに好ましい。
(R 5e )
In the formula (Z2), an alkyl group which may have a substituent is represented.
Examples of the alkyl group include linear, branched or cyclic alkyl groups. The number of carbon atoms is preferably 4 or more, more preferably 5 or more, still more preferably 7 or more, and is preferably 15 or less, more preferably 10 or less, More preferably, it is 9 or less.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプシル基、オクチル基、ノニル基等が挙げられる。
また、アルキル基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられる。
これらの中でもテーパ形状の観点から、R5eがヘプチル基、オクチル基、ノニル基であることが好ましい。
Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, a hepsyl group, an octyl group, and a nonyl group.
The substituents that the alkyl group may have include methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligoethylene glycol group, phenyl group, carboxyl group , Acryloyl group, methacryloyl group and the like.
Among these, from the viewpoint of the tapered shape, R 5e is preferably a heptyl group, an octyl group, or a nonyl group.

(R6e
アルキレン基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキレン基が挙げられる。その炭素数は通常1以上であり、2以上が好ましく、また6以下が好ましく、4以下がより好ましく、3以下がさらに好ましい。
(R 6e )
Examples of the alkylene group include linear, branched or cyclic alkylene groups. The number of carbon atoms is usually 1 or more, preferably 2 or more, preferably 6 or less, more preferably 4 or less, and still more preferably 3 or less.

アルキレン基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、プロピレン基、ブチレン基等が挙げられる。これらの中でもエチレン基が好ましい。
また、アルキレン基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられる。
Specific examples of the alkylene group include methylene group, ethylene group, propylene group, propylene group, butylene group and the like. Among these, an ethylene group is preferable.
In addition, as the substituent that the alkylene group may have, methoxy group, ethoxy group, chloro group, bromo group, fluoro group, hydroxy group, amino group, epoxy group, oligoethylene glycol group, phenyl group, carboxyl group , Acryloyl group, methacryloyl group and the like.

これらの中でもテーパ形状の観点から、R1eがtert−ブチル基、R2eが(Z2)で表される基(ただしR4eがメチレン基、及びR5eが炭素数7〜9のアルキル基)、R3eが水素原子である化合物、またはR1eが水素原子、R2eが(Z3)で表される基(ただしR6eがメチレン基、及びR7eがメチル基)、R3eが水素原子である化合物が好ましく、R1eがtert−ブチル基、R2eが(Z2)で表される基(ただしR4eがメチレン基、及びR5eが炭素数7〜9のアルキル基)、R3eが水素原子である化合物がより好ましい。 Among these, from the viewpoint of the taper shape, R 1e is a tert-butyl group, R 2e is a group represented by (Z2) (where R 4e is a methylene group, and R 5e is an alkyl group having 7 to 9 carbon atoms), A compound in which R 3e is a hydrogen atom, or R 1e is a hydrogen atom, R 2e is a group represented by (Z3) (where R 6e is a methylene group, and R 7e is a methyl group), and R 3e is a hydrogen atom A compound is preferable, R 1e is a tert-butyl group, R 2e is a group represented by (Z2) (where R 4e is a methylene group, and R 5e is an alkyl group having 7 to 9 carbon atoms), and R 3e is a hydrogen atom The compound which is is more preferable.

その他のベンゾトリアゾール系化合物としては、2−(5メチル−2−ヒドロキシフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2−ヒドロキシ−5−t−ブチルフェニル)−2H−ベンゾトリアゾール、オクチル−3[3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−(5−クロロ−2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)フェニル]プロピオネートと2−エチルヘキシル−3−[3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−(5−クロロ−2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)フェニル]プロピオネートの混合物、2−[2−ヒドロキシ−3,5−ビス(α,α−ジメチルベンジル)フェニル]−2H−ベンゾトリアゾール、2−(3−tブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、2−(3,5−ジ−t−アミル−2−ヒドロキシフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−5’−t−オクチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)−4,6−ビス(1−メチル−1−フェニルエチル)フェノール、2−(2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)−6−(1−メチル−1−フェニルエチル)−4−(1,1,3,3−テトラメチルブチル)フェノール、が挙げられる。   Other benzotriazole compounds include 2- (5 methyl-2-hydroxyphenyl) benzotriazole, 2- (2-hydroxy-5-tert-butylphenyl) -2H-benzotriazole, octyl-3 [3-tert. -Butyl-4-hydroxy-5- (5-chloro-2H-benzotriazol-2-yl) phenyl] propionate and 2-ethylhexyl-3- [3-tert-butyl-4-hydroxy-5- (5-chloro -2H-benzotriazol-2-yl) phenyl] propionate, 2- [2-hydroxy-3,5-bis (α, α-dimethylbenzyl) phenyl] -2H-benzotriazole, 2- (3-t Butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole, 2- (3,5-di- t-amyl-2-hydroxyphenyl) benzotriazole, 2- (2′-hydroxy-5′-t-octylphenyl) benzotriazole, 2- (2H-benzotriazol-2-yl) -4,6-bis ( 1-methyl-1-phenylethyl) phenol, 2- (2H-benzotriazol-2-yl) -6- (1-methyl-1-phenylethyl) -4- (1,1,3,3-tetramethyl Butyl) phenol.

市販されているベンゾトリアゾール系化合物としては例えば、スミソーブ200、スミソーブ250、スミソーブ300、スミソーブ340、スミソーブ350(住友化学製)、JF77、JF78、JF79、JF80、JF83(城北化学工業製)、TINUVIN PS、TINUVIN99−2、TINUVIN109、TINUVIN384−2、TINUVIN 326、TINUVIN900、「TINUVIN 928」、TINUVIN928、TINUVIN1130(BASF製)、EVERSORB70、EVERSORB71、EVERSORB72、EVERSORB73、EVERSORB74、EVERSORB75、EVERSORB76、EVERSORB234、EVERSORB77、EVERSORB78、EVERSORB80、EVERSORB81(台湾永光化学工業製)、トミソーブ100、トミソーブ600(エーピーアイコーポレーション製)、SEESORB701、SEESORB702、SEESORB703、SEESORB704、SEESORB706、SEESORB707、SEESORB709(シプロ化成製)、RUVA−93(大塚化学株式会社)などが挙げられる。   Commercially available benzotriazole compounds include, for example, Sumisorb 200, Sumisorb 250, Sumisorb 300, Sumisorb 340, Sumisorb 350 (manufactured by Sumitomo Chemical), JF77, JF78, JF79, JF80, JF83 (Johoku Chemical Industries), TINUVIN PS , TINUVIN 99-2, TINUVIN 109, TINUVIN 384-2, TINUVIN 326, TINUVIN 900, "TINUVIN 928", TINUVIN 928, TINUVIN 1VERB, BORBER 76 B78, EVERSORB80, EVERSORB81 (manufactured by Eizo Chemical Industries, Taiwan), Tomisorb 100, Tomisorb 600 (manufactured by API Corporation), SEESORB701, SEESORB702, SEESORB703, SEESORB706, SEESORB707, SEESORB 709 Etc.).

トリアジン系化合物としては、2−[4,6−ジ(2,4−キシリル)−1,3,5−トリアジン−2−イル]−5−オクチルオキシフェノール、2‐[4,6‐ビス(2,4‐ジメチルフェニル)‐1,3,5‐トリアジン‐2‐イル]‐5‐[3‐(ドデシルオキシ)‐2‐ヒドロキシプロポキシ]フェノール、2−(2,4−ジヒドロキシフェニル)−4,6−ビス(2,4−ジメチルフェニル)−1,3,5−トリアジンと(2−エチルヘキシル−グリシド酸エステルの反応生成物、2,4−ビス「2−ヒドロキシ−4−ブトキシフェニル」−6−(2,4−ジブトキシフェニル)−1,3−5−トリアジン等が挙げられる。これらの中でも、テーパ角度と露光感度の観点から、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物が好ましい。
市販されているトリアジン系化合物としては例えば、TINUVIN400、TINUVIN405、TINUVIN460、TINUVIN477、TINUVIN479(BASF製)などを挙げることができる。
Examples of triazine compounds include 2- [4,6-di (2,4-xylyl) -1,3,5-triazin-2-yl] -5-octyloxyphenol, 2- [4,6-bis ( 2,4-Dimethylphenyl) -1,3,5-triazin-2-yl] -5- [3- (dodecyloxy) -2-hydroxypropoxy] phenol, 2- (2,4-dihydroxyphenyl) -4 , 6-Bis (2,4-dimethylphenyl) -1,3,5-triazine and (2-ethylhexyl-glycidic acid ester reaction product, 2,4-bis "2-hydroxy-4-butoxyphenyl"- 6- (2,4-dibutoxyphenyl) -1,3-5-triazine, etc. Among these, a hydroxyphenyl triazine compound is preferable from the viewpoint of taper angle and exposure sensitivity.
Examples of commercially available triazine compounds include TINUVIN 400, TINUVIN 405, TINUVIN 460, TINUVIN 477, and TINUVIN 479 (manufactured by BASF).

その他の紫外線吸収剤としては、ベンゾフェノン化合物、ベンゾエート化合物、桂皮酸誘導体、ナフタレン誘導体、アントラセン及びその誘導体、ジナフタレン化合物、フェナントロリン化合物、染料等が挙げられる。
より具体的には、例えば、スミソーブ130(住友化学製)、EVERSORB10、EVERSORB11、EVERSORB12(台湾永光化学工業製)、トミソーブ800(エーピーアイコーポレーション製)、SEESORB100、SEESORB101、SEESORB101S、SEESORB102、SEESORB103、SEESORB105、SEESORB106、SEESORB107、SEESORB151(シプロ化成製)などのベンゾフェノン化合物;スミソーブ400(住友化学製)、サリチル酸フェニルなどのベンゾエート化合物;桂皮酸2−エチルヘキシル、パラメトキシ桂皮酸2−エチルヘキシル、メトキシケイ皮酸イソプロピル、メトキシケイ皮酸イソアミル等の桂皮酸誘導体;α−ナフトール、β−ナフトール、α−ナフトールメチルエーテル、α−ナフトールエチルエーテル、1,2−ジヒドロキシナフタレン、1,3−ジヒドロキシナフタレン、1,4−ジヒドロキシナフタレン、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、1,7−ジヒドロキシナフタレン、1,8−ジヒドロキシナフタレン、2,3−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、2,7−ジヒドロキシナフタレン等のナフタレン誘導体;アントラセン、9,10−ジヒドロキシアントラセン等のアントラセン及びその誘導体;アゾ系染料、ベンゾフェノン系染料、アミノケトン系染料、キノリン系染料、アントラキノン系染料、ジフェニルシアノアクリレート系染料、トリアジン系染料、p−アミノ安息香酸系染料等の染料;等が挙げられる。これらの中でも、露光感度の観点から、桂皮酸誘導体、ナフタレン誘導体を用いることが好ましく、桂皮酸誘導体を用いることが特に好ましい。これらの光吸収剤は、単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。
Examples of other ultraviolet absorbers include benzophenone compounds, benzoate compounds, cinnamic acid derivatives, naphthalene derivatives, anthracene and derivatives thereof, dinaphthalene compounds, phenanthroline compounds, and dyes.
More specifically, for example, Sumisorb 130 (manufactured by Sumitomo Chemical), EVERSORB10, EVERSORB11, EVERSORB12 (manufactured by Yongkou Chemical Industries, Taiwan), Tomissorb 800 (manufactured by API Corporation), SESORB100, SESORB101, SESORB101S, SEESORB102, SEESORB103, SEESORB103, SEESORB103, SEESORB103 Benzophenone compounds such as SEESORB106, SEESORB107, and SEESORB151 (manufactured by Cypro Kasei); Sumitsorb 400 (manufactured by Sumitomo Chemical); benzoate compounds such as phenyl salicylate; 2-ethylhexyl cinnamate, 2-ethylhexyl paramethoxycinnamate, isopropyl methoxycinnamate, methoxy Cinnamic acid derivatives such as isoamyl cinnamate; α-naphthol β-naphthol, α-naphthol methyl ether, α-naphthol ethyl ether, 1,2-dihydroxynaphthalene, 1,3-dihydroxynaphthalene, 1,4-dihydroxynaphthalene, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene 1,7-dihydroxynaphthalene, 1,8-dihydroxynaphthalene, 2,3-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, naphthalene derivatives such as 2,7-dihydroxynaphthalene; anthracene, 9,10-dihydroxyanthracene, etc. Anthracene and its derivatives; azo dyes, benzophenone dyes, amino ketone dyes, quinoline dyes, anthraquinone dyes, diphenyl cyanoacrylate dyes, triazine dyes, p-aminobenzoic acid dyes, etc. And the like. Among these, from the viewpoint of exposure sensitivity, cinnamic acid derivatives and naphthalene derivatives are preferably used, and cinnamic acid derivatives are particularly preferably used. These light absorbers can be used alone or in combination of two or more.

これらの中でも、テーパ形状の観点から、ベンゾトリアゾール化合物及び/又はヒドロキシフェニルトリアジン化合物が好ましく、ベンゾトリアゾール化合物が特に好ましい。   Among these, from the viewpoint of the taper shape, a benzotriazole compound and / or a hydroxyphenyltriazine compound are preferable, and a benzotriazole compound is particularly preferable.

紫外線吸収剤としては1種類の化合物を単独で用いてもよいし、2種類以上の化合物を併用してもよい。 As the ultraviolet absorber, one type of compound may be used alone, or two or more types of compounds may be used in combination.

本発明の感光性樹脂組成物中の紫外線吸収剤の含有割合は、全固形分に対して、通常0.01質量%以上、好ましくは0.05質量%以上、より好ましくは0.1質量%以上、さらに好ましくは0.5質量%以上、特に好ましくは1質量%以上であり、また、通常15質量%以下、好ましくは10質量%以下、より好ましくは5質量%以下、さらに好ましくは3質量%以下である。前記下限値以上とすることでテーパ角度は大きくなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで高感度となる傾向がある。   The content ratio of the ultraviolet absorber in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 0.01% by mass or more, preferably 0.05% by mass or more, more preferably 0.1% by mass with respect to the total solid content. Or more, more preferably 0.5% by mass or more, particularly preferably 1% by mass or more, and usually 15% by mass or less, preferably 10% by mass or less, more preferably 5% by mass or less, and further preferably 3% by mass. % Or less. The taper angle tends to be increased by setting it to the lower limit value or more, and the sensitivity tends to be increased by setting the upper limit value or less.

また、(B)光重合開始剤に対する配合比としては、(B)光重合開始剤100質量部に対する(D)紫外線吸収剤の配合量として、通常1質量部以上、好ましくは10質量部以上、より好ましくは30質量部以上、さらに好ましくは50質量部以上であり、特に好ましくは80質量部以上、通常500質量部以下、好ましくは300質量部以下、より好ましくは200質量部以下、さらに好ましくは100質量部以下である。前記下限値以上とすることでテーパ角度が大きくなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで高感度となる傾向がある。   Moreover, (B) As a compounding ratio with respect to a photoinitiator, (B) As a compounding quantity of (D) ultraviolet absorber with respect to 100 mass parts of photoinitiators, it is 1 mass part or more normally, Preferably it is 10 mass parts or more, More preferably 30 parts by mass or more, further preferably 50 parts by mass or more, particularly preferably 80 parts by mass or more, usually 500 parts by mass or less, preferably 300 parts by mass or less, more preferably 200 parts by mass or less, still more preferably. 100 parts by mass or less. The taper angle tends to be increased by setting it to the lower limit value or more, and the sensitivity tends to be increased by setting the upper limit value or less.

[1−1−6]重合禁止剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、重合禁止剤を含有することが好ましい。(E)重合禁止剤を含有することでそれがラジカル重合を阻害することから、得られる隔壁のテーパ角度を大きくすることができる傾向がある。
重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、メチルハイドロキノン、メトキシフェノール、2,6−ジ−tert−ブチル−4−クレゾール(BHT)などが挙げられる。これらの中でも重合禁止能力の観点から、ハイドロキノン又はメトキシフェノールが好ましく、メチルハイドロキノンがより好ましい。
[1-1-6] Polymerization inhibitor The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention preferably contains a polymerization inhibitor. (E) Since it inhibits radical polymerization by containing a polymerization inhibitor, the taper angle of the resulting partition tends to be increased.
Examples of the polymerization inhibitor include hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, methyl hydroquinone, methoxyphenol, 2,6-di-tert-butyl-4-cresol (BHT) and the like. Among these, hydroquinone or methoxyphenol is preferable from the viewpoint of the ability to inhibit polymerization, and methylhydroquinone is more preferable.

重合禁止剤は、1種又は2種以上を含有することが好ましい。通常、(C)アルカリ可溶性樹脂を製造する際に、当該樹脂中に重合禁止剤が含まれることがあり、それを本発明の(E)重合禁止剤として用いてもよいし、樹脂中に含まれる重合禁止剤の他に、それと同一、又は異なる重合禁止剤を感光性樹脂組成物製造時に添加してもよい。   It is preferable that a polymerization inhibitor contains 1 type (s) or 2 or more types. Usually, when producing (C) an alkali-soluble resin, a polymerization inhibitor may be contained in the resin, and it may be used as the (E) polymerization inhibitor of the present invention or contained in the resin. In addition to the polymerization inhibitor used, the same or different polymerization inhibitor may be added during the production of the photosensitive resin composition.

感光性樹脂組成物中の重合禁止剤の含有割合は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常0.0005質量%以上、好ましくは0.001質量%以上、より好ましくは0.01質量%以上であり、また通常0.1質量%以下、好ましくは0.08質量%以下、より好ましくは0.05質量%以下である。前記下限値以上とすることでテーパ角度を高くすることができる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで高感度を保つことができる傾向がある。   The content of the polymerization inhibitor in the photosensitive resin composition is usually 0.0005% by mass or more, preferably 0.001% by mass or more, more preferably 0.005% by mass or more with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition. It is 01 mass% or more, and is usually 0.1 mass% or less, preferably 0.08 mass% or less, more preferably 0.05 mass% or less. There exists a tendency which can make a taper angle high by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency which can maintain a high sensitivity by setting it as the said upper limit or less.

[1−1−7]熱重合開始剤
さらに、本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物には、熱重合開始剤が含有されていてもよい。熱重合開始剤を含有することで、膜の架橋度を高くできる傾向がある。このような熱重合開始剤の具体例としては、例えば、アゾ系化合物、有機過酸化物および過酸化水素などが挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
[1-1-7] Thermal Polymerization Initiator Furthermore, the partition wall-forming photosensitive resin composition of the present invention may contain a thermal polymerization initiator. By containing a thermal polymerization initiator, there is a tendency that the degree of crosslinking of the film can be increased. Specific examples of such a thermal polymerization initiator include azo compounds, organic peroxides and hydrogen peroxide. These may be used alone or in combination of two or more.

なお、光重合開始剤に感度向上や膜の架橋密度の増大を期待して熱重合開始剤を併用する場合、これらの含有割合の合計が、前述の感光性樹脂組成物中の光重合開始剤の含有割合となるようにすることが好ましく、また、光重合開始剤と熱重合開始剤との併用割合としては、感度の観点から、光重合開始剤100質量部に対して熱重合開始剤を5〜300質量部とすることが好ましい。   When a thermal polymerization initiator is used in combination with the photopolymerization initiator in the hope of improving sensitivity and increasing the crosslink density of the film, the total content of these is the photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition described above. The combined proportion of the photopolymerization initiator and the thermal polymerization initiator is preferably a thermal polymerization initiator with respect to 100 parts by mass of the photopolymerization initiator from the viewpoint of sensitivity. It is preferable to set it as 5-300 mass parts.

[1−1−8]アミノ化合物
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物には、熱硬化を促進するためにアミノ化合物が含まれていてもよい。この場合、感光性樹脂組成物中のアミノ化合物の含有量としては、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常40質量%以下、好ましくは30質量%以下である。また、通常0.5質量%以上、好ましくは1質量%以上である。前記上限値以下とすることで保存安定性を維持できる傾向があり、前記下限値以上とすることで十分な熱硬化性を確保できる傾向がある。
[1-1-8] Amino Compound The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention may contain an amino compound in order to promote thermosetting. In this case, the content of the amino compound in the photosensitive resin composition is usually 40% by mass or less, preferably 30% by mass or less, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. Moreover, it is 0.5 mass% or more normally, Preferably it is 1 mass% or more. There exists a tendency which can maintain storage stability by setting it as the said upper limit or less, and there exists a tendency which can ensure sufficient thermosetting by setting it as the said lower limit or more.

アミノ化合物としては、例えば、官能基としてメチロール基、それを炭素数1〜8のアルコール縮合変性したアルコキシメチル基を少なくとも2個有するアミノ化合物が挙げられる。具体的には、例えば、メラミンとホルムアルデヒドとを重縮合させたメラミン樹脂;ベンゾグアナミンとホルムアルデヒドとを重縮合させたベンゾグアナミン樹脂;グリコールウリルとホルムアルデヒドとを重縮合させたグリコールウリル樹脂;尿素とホルムアルデヒドとを重縮合させた尿素樹脂;メラミン、ベンゾグアナミン、グリコールウリル、または尿素などの2種以上とホルムアルデヒドとを共重縮合させた樹脂;上述の樹脂のメチロール基をアルコール縮合変性した変性樹脂などが挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。アミノ化合物としては中でも、メラミン樹脂およびその変性樹脂が好ましく、メチロール基の変性割合が、70%以上の変性樹脂が更に好ましく、80%以上の変性樹脂が特に好ましい。   Examples of the amino compound include an amino compound having at least two methylol groups as functional groups and alkoxymethyl groups obtained by subjecting the methylol group to alcohol condensation modification having 1 to 8 carbon atoms. Specifically, for example, melamine resin obtained by polycondensation of melamine and formaldehyde; benzoguanamine resin obtained by polycondensation of benzoguanamine and formaldehyde; glycoluril resin obtained by polycondensation of glycoluril and formaldehyde; urea and formaldehyde Examples include polycondensed urea resins; resins obtained by copolycondensation of two or more of melamine, benzoguanamine, glycoluril, and urea with formaldehyde; modified resins obtained by alcohol condensation modification of methylol groups of the above-described resins. These may be used alone or in combination of two or more. Among the amino compounds, melamine resins and modified resins thereof are preferable, modified resins having a methylol group modification ratio of 70% or more are more preferable, and modified resins having 80% or more are particularly preferable.

上記アミノ化合物の具体例として、メラミン樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「サイメル」(登録商標)300、301、303、350、736、738、370、771、325、327、703、701、266、267、285、232、235、238、1141、272、254、202、1156、1158、および、三和ケミカル社製の「ニカラック」(登録商標)MW−390、MW−100LM、MX−750LM、MW−30M、MX−45、MX−302などが挙げられる。また、上記ベンゾグアナミン樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「サイメル」(登録商標)1123、1125、1128などが挙げられる。また、上記グリコールウリル樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「サイメル」(登録商標)1170、1171、1174、1172、および、三和ケミカル社製の「ニカラック」(登録商標)MX−270などが挙げられる。また、上記尿素樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「UFR」(登録商標)65、300、および、三和ケミカル社製の「ニカラック」(登録商標)MX−290などが挙げられる。   Specific examples of the amino compound include melamine resins and modified resins thereof, for example, “Cymel” (registered trademark) 300, 301, 303, 350, 736, 738, 370, 771, 325, 327 manufactured by Cytec Corporation, 703, 701, 266, 267, 285, 232, 235, 238, 1141, 272, 254, 202, 1156, 1158, and “Nikarak” (registered trademark) MW-390, MW-100LM manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd. MX-750LM, MW-30M, MX-45, MX-302 and the like. Examples of the benzoguanamine resin and modified resins thereof include “Cymel” (registered trademark) 1123, 1125, and 1128 manufactured by Cytec Corporation. Examples of the glycoluril resin and the modified resin thereof include “Cymel” (registered trademark) 1170, 1171, 1174, 1172 manufactured by Cytec, and “Nicarak” (registered trademark) MX manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd. -270 and the like. Examples of the urea resin and the modified resin thereof include “UFR” (registered trademark) 65 and 300 manufactured by Cytec, and “Nicarak” (registered trademark) MX-290 manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd. It is done.

[1−1−9]着色剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物には、隔壁を着色させる目的で着色剤が含まれていてもよい。着色剤としては、顔料、染料等公知の着色剤を用いることができる。また、例えば、顔料を用いる際に、その顔料が凝集したりせずに安定して感光性樹脂組成物中に存在できるように、公知の分散剤や分散助剤が併用されてもよい。特に撥液性隔壁を黒色に着色することで、鮮明な画素表示が得られる効果がある。黒色着色剤としては黒色染料や黒色顔料、カーボンブラック、チタンブラックなどの他、有機顔料を混合させて黒く着色することも低導電性を持たせる効果として有効である。着色剤の含有量としては製版性と色特性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常60質量%以下、好ましくは40質量%以下である。
[1-1-9] Colorant The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention may contain a colorant for the purpose of coloring the partition wall. As the colorant, known colorants such as pigments and dyes can be used. For example, when using a pigment, a known dispersant or dispersion aid may be used in combination so that the pigment can be stably present in the photosensitive resin composition without agglomeration. In particular, by coloring the liquid repellent partition wall black, there is an effect that a clear pixel display can be obtained. In addition to black dyes, black pigments, carbon black, titanium black, and the like as black colorants, mixing with organic pigments to color black is also effective as an effect of imparting low conductivity. The content of the colorant is usually 60% by mass or less, preferably 40% by mass or less, based on the total solid content of the photosensitive resin composition, from the viewpoints of plate making properties and color characteristics.

[1−1−10]塗布性向上剤、現像改良剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物には、塗布性や現像溶解性を向上するために塗布性向上剤や現像改良剤が含まれていてもよい。塗布性向上剤あるいは現像改良剤としては、例えば公知の、カチオン性、アニオン性、ノニオン性、フッ素系、シリコーン系界面活性剤を用いることができる。また、現像改良剤として、有機カルボン酸或いはその無水物など公知のものを用いることもできる。また、その含有量は、感度の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常20質量%以下、好ましくは10質量%以下である。
[1-1-10] Coating property improving agent and development improving agent The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention contains a coating property improving agent and a developing improving agent in order to improve coating property and development solubility. It may be. As the coatability improver or development improver, for example, known cationic, anionic, nonionic, fluorine-based, and silicone-based surfactants can be used. Further, as the development improver, known ones such as organic carboxylic acids or anhydrides thereof can be used. Moreover, the content is 20 mass% or less normally with respect to the total solid of the photosensitive resin composition from a viewpoint of a sensitivity, Preferably it is 10 mass% or less.

[1−1−11]シランカップリング剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物には、基板との密着性を改善するため、シランカップリング剤を添加することも好ましい。シランカップリング剤の種類としては、エポキシ系、メタクリル系、アミノ系、イミダゾール系など種々の物が使用できるが、密着性向上の観点から、特にエポキシ系、イミダゾール系のシランカップリング剤が好ましい。その含有量は、密着性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常20質量%以下、好ましくは15質量%以下である。
[1-1-11] Silane Coupling Agent It is also preferable to add a silane coupling agent to the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention in order to improve adhesion to the substrate. Various types of silane coupling agents such as epoxy, methacrylic, amino, and imidazole can be used, and epoxy and imidazole silane coupling agents are particularly preferable from the viewpoint of improving adhesion. The content is usually 20% by mass or less, preferably 15% by mass or less, based on the total solid content of the photosensitive resin composition, from the viewpoint of adhesion.

[1−1−12]無機充填剤
また、本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、さらに、硬化物としての強度の向上と共に、アルカリ可溶性樹脂との適度な相互作用(マトリックス構造の形成)による塗布膜の優れた平坦性とテーパ角の向上等を目的として、無機充填剤を含有していてもよい。そのような無機充填剤としては、例えば、タルク、シリカ、アルミナ、硫酸バリウム、酸化マグネシウム、或いは、これらを各種シランカップリング剤により表面処理したものなどが挙げられる。
[1-1-12] Inorganic filler Further, the photosensitive resin composition for forming a partition wall according to the present invention further improves the strength as a cured product and has a moderate interaction with an alkali-soluble resin (formation of a matrix structure). ) May contain an inorganic filler for the purpose of improving the flatness of the coating film and improving the taper angle. Examples of such inorganic fillers include talc, silica, alumina, barium sulfate, magnesium oxide, and those obtained by surface treatment with various silane coupling agents.

これら無機充填剤の平均粒子径としては、通常0.005〜20μm、好ましくは0.01〜10μmである。ここで本実施の形態にいう平均粒子径とは、ベックマン・コールター社製などのレーザ回折散乱粒度分布測定装置にて測定した値である。これらの無機充填剤のうち、特に、シリカゾルおよびシリカゾル変性物は、分散安定性と共にテーパー角の向上効果に優れる傾向があるため、好ましく配合される。本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物がこれらの無機充填剤を含む場合、その含有量としては、感度の観点から、全固形分に対して、通常5質量%以上、好ましくは10質量%以上であり、通常80質量%以下、好ましくは70質量%以下である。   The average particle size of these inorganic fillers is usually 0.005 to 20 μm, preferably 0.01 to 10 μm. Here, the average particle diameter referred to in the present embodiment is a value measured with a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring device such as manufactured by Beckman Coulter. Among these inorganic fillers, silica sol and silica sol-modified product are particularly preferably blended because they tend to be excellent in the effect of improving the taper angle as well as the dispersion stability. When the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention contains these inorganic fillers, the content thereof is usually 5% by mass or more, preferably 10% by mass, based on the total solid content, from the viewpoint of sensitivity. These are usually 80% by mass or less, preferably 70% by mass or less.

[1−1−13]溶剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、通常溶剤を含有し、前述の各成分を溶剤に溶解または分散させた状態で使用される(以下、溶剤を含む感光性樹脂組成物を「感光性樹脂組成物溶液」と記すことがある)。その溶剤としては、特に制限は無いが、例えば、以下に記載する有機溶剤が挙げられる。
[1-1-13] Solvent The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention usually contains a solvent and is used in a state where each of the above-mentioned components is dissolved or dispersed in the solvent (hereinafter, including the solvent). The photosensitive resin composition may be referred to as “photosensitive resin composition solution”). Although there is no restriction | limiting in particular as the solvent, For example, the organic solvent described below is mentioned.

エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、プロピレングリコール−t−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、メトキシメチルペンタノール、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、3−メチル−3−メトキシブタノール、3−メトキシ−1−ブタノール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテルのようなグリコールモノアルキルエーテル類;エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテルのようなグリコールジアルキルエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メトキシ−1−ブチルアセテートのようなグリコールアルキルエーテルアセテート類;エチレングリコールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、1,6−ヘキサノールジアセテートなどのグリコールジアセテート類;シクロヘキサノールアセテートなどのアルキルアセテート類;アミルエーテル、ジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジアミルエーテル、エチルイソブチルエーテル、ジヘキシルエーテルのようなエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソアミルケトン、ジイソプロピルケトン、ジイソブチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、エチルアミルケトン、メチルブチルケトン、メチルヘキシルケトン、メチルノニルケトン、メトキシメチルペンタノンのようなケトン類;メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリエチレングリコール、メトキシメチルペンタノール、グリセリン、ベンジルアルコールのような1価又は多価アルコール類;n−ペンタン、n−オクタン、ジイソブチレン、n−ヘキサン、ヘキセン、イソプレン、ジペンテン、ドデカンのような脂肪族炭化水素類;シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、メチルシクロヘキセン、ビシクロヘキシルのような脂環式炭化水素類;ベンゼン、トルエン、キシレン、クメンのような芳香族炭化水素類;アミルホルメート、エチルホルメート、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸プロピル、酢酸アミル、メチルイソブチレート、エチレングリコールアセテート、エチルプロピオネート、プロピルプロピオネート、酪酸ブチル、酪酸イソブチル、イソ酪酸メチル、エチルカプリレート、ブチルステアレート、エチルベンゾエート、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチル、γ−ブチロラクトンのような鎖状又は環状エステル類;3−メトキシプロピオン酸、3−エトキシプロピオン酸のようなアルコキシカルボン酸類;ブチルクロライド、アミルクロライドのようなハロゲン化炭化水素類;メトキシメチルペンタノンのようなエーテルケトン類;アセトニトリル、ベンゾニトリルのようなニトリル類:テトラヒドロフラン、ジメチルテトラヒドロフラン、ジメトキシテトラヒドロフランのようなテトラヒドロフラン類などである。   Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether, propylene glycol-t-butyl ether, diethylene glycol monomethyl Ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, methoxymethylpentanol, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, 3-methyl-3-methoxybutanol, 3-methoxy-1-butanol, tri Ethylene glycol monomethyl ether Glycol monoalkyl ethers such as triethylene glycol monoethyl ether and tripropylene glycol methyl ether; ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether Glycol dialkyl ethers such as dipropylene glycol dimethyl ether; ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol mono-n-butyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate , Propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate, methoxybutyl acetate, 3-methoxybutyl acetate, methoxypentyl acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol mono-n -Glycol alkyl ethers such as butyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, triethylene glycol monomethyl ether acetate, triethylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methoxy-1-butyl acetate Acete Glycol diacetates such as ethylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate and 1,6-hexanol diacetate; alkyl acetates such as cyclohexanol acetate; amyl ether, diethyl ether, dipropyl ether , Ethers such as diisopropyl ether, dibutyl ether, diamyl ether, ethyl isobutyl ether, dihexyl ether; acetone, methyl ethyl ketone, methyl amyl ketone, methyl isopropyl ketone, methyl isoamyl ketone, diisopropyl ketone, diisobutyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone , Ethyl amyl ketone, methyl butyl ketone, methyl hexyl ketone, methyl nonyl ketone, methoxymethyl pentano Ketones such as: methanol, ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, propylene glycol, butanediol, diethylene glycol, dipropylene glycol, triethylene glycol, methoxymethylpentanol, glycerin, benzyl alcohol, etc. Monohydric or polyhydric alcohols; aliphatic hydrocarbons such as n-pentane, n-octane, diisobutylene, n-hexane, hexene, isoprene, dipentene, dodecane; cyclohexane, methylcyclohexane, methylcyclohexene, bicyclohexyl Such as alicyclic hydrocarbons; aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene, cumene; amyl formate, ethyl formate, ethyl acetate, acetic acid Chill, propyl acetate, amyl acetate, methyl isobutyrate, ethylene glycol acetate, ethyl propionate, propyl propionate, butyl butyrate, isobutyl butyrate, methyl isobutyrate, ethyl caprylate, butyl stearate, ethyl benzoate, 3- Linear or cyclic such as methyl ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, propyl 3-methoxypropionate, butyl 3-methoxypropionate, γ-butyrolactone Esters; alkoxycarboxylic acids such as 3-methoxypropionic acid and 3-ethoxypropionic acid; halogenated hydrocarbons such as butyl chloride and amyl chloride; ether ketones such as methoxymethylpentanone Down like; acetonitrile, nitriles such as benzonitrile: is tetrahydrofuran, dimethyl tetrahydrofuran, tetrahydrofuran, such as dimethoxytetrahydrofuran.

上記に該当する市販の溶剤としては、ミネラルスピリット、バルソル#2、アプコ#18ソルベント、アプコシンナー、ソーカルソルベントNo.1およびNo.2、ソルベッソ#150、シェルTS28 ソルベント、カルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート、ジグライム(いずれも商品名)などが挙げられる。   Commercially available solvents corresponding to the above include mineral spirit, Barsol # 2, Apco # 18 Solvent, Apco thinner, Soal Solvent No. 1 and no. 2, Solvesso # 150, Shell TS28 Solvent, carbitol, ethyl carbitol, butyl carbitol, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, ethyl cellosolve acetate, methyl cellosolve acetate, diglyme (all trade names) and the like.

上記溶剤は、感光性樹脂組成物中の各成分を溶解または分散させることができるもので、本発明の感光性樹脂組成物の使用方法に応じて選択されるが、塗布性の観点から、大気圧下における沸点が60〜280℃の範囲のものを選択するのが好ましい。より好ましくは70℃以上、260℃以下の沸点をもつものであり、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテル、3−メトキシ−1−ブタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシ−1−ブチルアセテート、が好ましい。   The solvent is capable of dissolving or dispersing each component in the photosensitive resin composition, and is selected according to the method of using the photosensitive resin composition of the present invention. It is preferable to select one having a boiling point in the range of 60 to 280 ° C. under atmospheric pressure. More preferably, it has a boiling point of 70 ° C. or higher and 260 ° C. or lower. For example, propylene glycol monomethyl ether, 3-methoxy-1-butanol, propylene glycol monomethyl ether acetate, and 3-methoxy-1-butyl acetate are preferable.

これらの溶剤は1種を単独でもしくは2種以上を混合して使用することができる。また、これらの溶剤は、感光性樹脂組成物溶液中の全固形分の割合が、通常10質量%以上、好ましくは15質量%以上、より好ましくは20質量%以上、通常90質量%以下、好ましくは50質量%以下、より好ましくは40質量%以下、さらに好ましくは30質量%以下となるように使用されることが好ましい。前記下限値以上とすることで塗布ムラの発生を抑制できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで異物、ハジキ等の発生を抑制できる傾向がある。   These solvents can be used alone or in combination of two or more. These solvents have a total solid content in the photosensitive resin composition solution of usually 10% by mass or more, preferably 15% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, and usually 90% by mass or less, preferably Is preferably used in an amount of 50% by mass or less, more preferably 40% by mass or less, and still more preferably 30% by mass or less. There exists a tendency which can suppress generation | occurrence | production of a coating nonuniformity by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency which can suppress generation | occurrence | production of a foreign material, a repellency, etc. by setting it as the said upper limit or less.

[1−2]隔壁形成用感光性樹脂組成物の調製方法
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、上記の各成分を撹拌機で混合することにより調製される。なお、調製された感光性樹脂組成物が均一なものとなるよう、メンブランフィルタ等を用いて濾過してもよい。
[1-2] Preparation Method of Photosensitive Resin Composition for Partition Formation The photosensitive resin composition for partition formation of the present invention is prepared by mixing the above components with a stirrer. In addition, you may filter using a membrane filter etc. so that the prepared photosensitive resin composition may become uniform.

[2]隔壁及びその形成方法
本発明の感光性樹脂組成物は隔壁、特に有機電界発光素子の有機層を区画するための隔壁を形成するために好適に用いることができる。
以上説明した隔壁形成用感光性樹脂組成物を用いて隔壁を形成する方法は特に限定されず、従来公知の方法を採用することができる。隔壁の形成方法としては、例えば、隔壁形成用感光性樹脂組成物を、基板上に塗布し、感光性樹脂組成物層を形成する塗布工程と、感光性樹脂組成物層を露光する露光工程と、を含む方法が挙げられる。このようなバンクの形成方法の具体例としては、インクジェット法とフォトリソグラフィー法とが挙げられる。
[2] Partition Wall and Method for Forming the Partition The photosensitive resin composition of the present invention can be suitably used for forming a partition wall, particularly a partition wall for partitioning an organic layer of an organic electroluminescent element.
The method for forming the partition using the partition forming photosensitive resin composition described above is not particularly limited, and a conventionally known method can be employed. Examples of the method of forming the partition include, for example, a coating step of applying a photosensitive resin composition for partition formation on a substrate to form a photosensitive resin composition layer, and an exposure step of exposing the photosensitive resin composition layer. The method including these is mentioned. Specific examples of such a bank forming method include an inkjet method and a photolithography method.

インクジェット法では、溶剤による希釈等により粘度調整された隔壁形成用感光性樹脂組成物をインクとして用い、所定の隔壁のパターンに沿ってインクジェット法によりインク液滴を基板上に吐出することで感光性樹脂組成物を基板上に塗布して未硬化の隔壁のパターンを形成する。そして、未硬化の隔壁のパターンを露光して、基板上に硬化した隔壁を形成する。未硬化の隔壁のパターンの露光は、マスクを用いないことの他は、後述するフォトリソグラフィー法における露光工程と同様に行われる。   In the ink jet method, a photosensitive resin composition for forming a partition whose viscosity is adjusted by dilution with a solvent or the like is used as ink, and ink droplets are ejected onto a substrate by an ink jet method along a predetermined partition pattern. The resin composition is applied onto a substrate to form an uncured partition pattern. Then, an uncured partition wall pattern is exposed to form a cured partition wall on the substrate. The exposure of the uncured partition pattern is performed in the same manner as the exposure process in the photolithography method described later, except that a mask is not used.

フォトリソグラフィー法では、隔壁形成用感光性樹脂組成物を、基板の隔壁が形成される領域全面に塗布して感光性樹脂組成物層を形成する。形成された感光性樹脂組成物層を、所定の隔壁のパターンに応じて露光した後、露光された感光性樹脂組成物層を現像して、基板上に隔壁が形成される。   In the photolithography method, a photosensitive resin composition for forming a partition wall is applied to the entire surface of a substrate where a partition wall is formed to form a photosensitive resin composition layer. The formed photosensitive resin composition layer is exposed according to a predetermined partition wall pattern, and then the exposed photosensitive resin composition layer is developed to form partition walls on the substrate.

フォトリソグラフィー法における、感光性樹脂組成物を基板上に塗布する塗布工程では、隔壁が形成されるべき基板上に、ロールコーター、リバースコーター、バーコーター等の接触転写型塗布装置やスピンナー(回転式塗布装置)、カーテンフローコーター等の非接触型塗布装置を用いて感光性樹脂組成物を塗布し、必要に応じて、乾燥により溶媒を除去して、感光性樹脂組成物層を形成する。   In the coating process in which a photosensitive resin composition is applied onto a substrate in a photolithography method, a contact transfer type coating device such as a roll coater, a reverse coater, a bar coater, or a spinner (rotary type) is formed on the substrate on which a partition wall is to be formed. The photosensitive resin composition is applied using a non-contact type coating apparatus such as a coating apparatus or a curtain flow coater, and the solvent is removed by drying as necessary to form a photosensitive resin composition layer.

次いで、露光工程では、ネガ型のマスクを利用して、感光性樹脂組成物に紫外線、エキシマレーザー光等の活性エネルギー線を照射し、感光性樹脂組成物層をバンクのパターンに応じて部分的に露光する。露光には、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、カーボンアーク灯等の紫外線を発する光源を用いることができる。露光量は感光性樹脂組成物の組成によっても異なるが、例えば10〜400mJ/cm2程度が好ましい。 Next, in the exposure step, using a negative mask, the photosensitive resin composition is irradiated with active energy rays such as ultraviolet rays and excimer laser light, and the photosensitive resin composition layer is partially applied according to the bank pattern. To expose. For the exposure, a light source that emits ultraviolet rays such as a high-pressure mercury lamp, an ultra-high pressure mercury lamp, a xenon lamp, or a carbon arc lamp can be used. The amount of exposure varies depending on the composition of the photosensitive resin composition, but is preferably about 10 to 400 mJ / cm 2 , for example.

次いで、現像工程では、隔壁のパターンに応じて露光された感光性樹脂組成物層を現像液で現像することにより隔壁を形成する。現像方法は特に限定されず、浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液の具体例としては、ジメチルベンジルアミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系のものや、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、4級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。又、現像液には、消泡剤や界面活性剤を添加することもできる。   Next, in the developing step, the barrier ribs are formed by developing the exposed photosensitive resin composition layer with a developer according to the pattern of the barrier ribs. The development method is not particularly limited, and an immersion method, a spray method, or the like can be used. Specific examples of the developer include organic ones such as dimethylbenzylamine, monoethanolamine, diethanolamine, and triethanolamine, and aqueous solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, ammonia, and quaternary ammonium salts. Can be mentioned. An antifoaming agent or a surfactant can also be added to the developer.

その後、現像後の隔壁にポストベークを施して加熱硬化する。ポストベークは、150〜250℃で15〜60分間が好ましい。   Thereafter, the partition walls after development are post-baked and cured by heating. Post baking is preferably performed at 150 to 250 ° C. for 15 to 60 minutes.

隔壁の形成に用いる基板は特に限定されず、隔壁が形成された基板を用いて製造される有機電界発光素子の種類に合わせて適宜選択される。好適な基板の材料としては、ガラスや、各種の樹脂材料が挙げられる。樹脂材料の具体例としては、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル;ポリエチレン、及びポリプロピレン等のポリオレフィン;ポリカーボネート;ポリ(メタ)メタアクリル樹脂;ポリスルホン;ポリイミドが挙げられる。これらの基板の材料の中では、耐熱性に優れることからガラス、及びポリイミドが好ましい。また、製造される有機電界発光素子の種類に応じて、隔壁が形成される基板の表面には、予めITOやZnO等の透明電極層を設けておいてもよい。   The substrate used for forming the partition wall is not particularly limited, and is appropriately selected according to the type of the organic electroluminescence element manufactured using the substrate on which the partition wall is formed. Suitable materials for the substrate include glass and various resin materials. Specific examples of the resin material include polyesters such as polyethylene terephthalate; polyolefins such as polyethylene and polypropylene; polycarbonates; poly (meth) methacrylic resins; polysulfones; Among these substrate materials, glass and polyimide are preferable because of excellent heat resistance. Moreover, according to the kind of organic electroluminescent element manufactured, you may provide transparent electrode layers, such as ITO and ZnO, in advance on the surface of the board | substrate with which a partition is formed.

[3]有機電界発光素子
本発明の有機電界発光素子は、前述の隔壁形成用感光性樹脂組成物で構成される隔壁を備える。
以上説明した方法により製造された隔壁パターンを備える基板を用いて、種々の有機電界発光素子が製造される。有機電界発光素子を形成する方法は特に限定されないが、好ましくは、上記方法により基板上に隔壁のパターンを形成した後に、基板上の隔壁により囲まれた領域内にインクを注入して画素等の有機層を形成することによって、有機電界発光素子が製造される。
[3] Organic electroluminescent element The organic electroluminescent element of the present invention includes a partition composed of the above-described photosensitive resin composition for forming a partition.
Various organic electroluminescent elements are manufactured using the substrate provided with the barrier rib pattern manufactured by the method described above. The method for forming the organic electroluminescent element is not particularly limited, but preferably, after forming a partition pattern on the substrate by the above method, ink is injected into a region surrounded by the partition on the substrate to form a pixel or the like. An organic electroluminescent element is manufactured by forming an organic layer.

隔壁がすそ引き形状である場合、有機層形成用のインクが隔壁のすそ部分で弾かれるため、隔壁により囲まれた領域内が有機層形成用のインクにより十分に被覆されない場合がある。それに対して、すそ引きのない良好な形状とすることで、隔壁により囲まれた領域内を有機層形成用のインクにより十分に被覆することができる。これにより、例えば、有機EL表示素子におけるハレーションの問題を解消することができる。   In the case where the partition wall has a skirt shape, the ink for forming the organic layer is repelled by the skirt portion of the partition wall, so that the region surrounded by the partition wall may not be sufficiently covered with the ink for forming the organic layer. On the other hand, by forming a good shape without skirting, the region surrounded by the partition walls can be sufficiently covered with the ink for forming the organic layer. Thereby, for example, the problem of halation in the organic EL display element can be solved.

有機層形成用のインクを形成する際に使用される溶媒としては、水、有機溶剤、及びこれらの混合溶剤を用いることができる。有機溶剤は、インクの注入後に形成された皮膜から除去可能であれば特に限定されない。有機溶剤の具体例としては、トルエン、キシレン、アニソール、メシチレン、テトラリン、シクロヘキシルベンゼン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、及び酢酸ブチル、3−フェノキシトルエン、等が挙げられる。また、インクには、界面活性剤、酸化防止剤、粘度調整剤、紫外線吸収剤等を添加することができる。   As the solvent used when forming the ink for forming the organic layer, water, an organic solvent, and a mixed solvent thereof can be used. The organic solvent is not particularly limited as long as it can be removed from the film formed after the ink is injected. Specific examples of the organic solvent include toluene, xylene, anisole, mesitylene, tetralin, cyclohexylbenzene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, ethyl acetate, and butyl acetate, 3-phenoxytoluene, Etc. In addition, a surfactant, an antioxidant, a viscosity modifier, an ultraviolet absorber, and the like can be added to the ink.

隔壁により囲まれた領域内にインクを注入する方法としては、少量のインクを所定の個所に容易に注入可能であることから、インクジェット法が好ましい。有機層の形成に使用されるインクは、製造される有機電界発光素子の種類に応じて適宜選択される。インクをインクジェット法により注入する場合、インクの粘度はインクをインクジェットヘッドから良好に吐出できる限り特に限定されないが、4〜20mPa・sが好ましく、5〜10mPa・sがより好ましい。インクの粘度は、インク中の固形分含有量の調整、溶媒の変更、粘度調整剤の添加等により調整することができる。   As a method for injecting ink into the region surrounded by the partition wall, an ink jet method is preferable because a small amount of ink can be easily injected into a predetermined portion. The ink used for forming the organic layer is appropriately selected according to the type of the organic electroluminescent element to be produced. When the ink is injected by an ink jet method, the viscosity of the ink is not particularly limited as long as the ink can be discharged well from the ink jet head, but is preferably 4 to 20 mPa · s, and more preferably 5 to 10 mPa · s. The viscosity of the ink can be adjusted by adjusting the solid content in the ink, changing the solvent, adding a viscosity modifier, or the like.

[4]画像表示装置
本発明の画像表示装置は、前述の有機電界発光素子を含むものである。有機電界発光素子を含むものであれば、画像表示装置の型式や構造については特に制限はなく、例えばアクティブ駆動型有機電界発光素子を用いて常法に従って組み立てることができる。例えば、「有機ELディスプレイ」(オーム社、平成16年8月20日発行、時任静士、安達千波矢、村田英幸著)に記載されているような方法で、本発明の画像表示装置を形成することができる。例えば、白色光を発光する有機電界発光素子とカラーフィルターとを組み合わせて画像表示させてもよいし、RGB等の発光色の異なる有機電界発光素子を組み合わせて画像表示させてもよい。
[4] Image display device The image display device of the present invention includes the organic electroluminescence device described above. As long as it includes an organic electroluminescent element, the type and structure of the image display device are not particularly limited, and for example, it can be assembled according to a conventional method using an active drive type organic electroluminescent element. For example, the image display device of the present invention is formed by a method as described in “Organic EL Display” (Ohm, published on August 20, 2004, by Shizushi Tokito, Chiba Adachi, and Hideyuki Murata). can do. For example, an organic electroluminescent element that emits white light and a color filter may be combined to display an image, or organic electroluminescent elements having different emission colors such as RGB may be combined to display an image.

[5]照明
本発明の照明は、前述の有機電界発光素子を含むものである。型式や構造については特に制限はなく、本発明の有機電界発光素子を用いて常法に従って組み立てることができる。有機電界発光素子としては、単純マトリックス駆動方式としてもよいし、アクティブマトリックス駆動方式としてもよい。
本発明の照明が白色光を発光するものとするために、白色光を発光する有機電界発光素子を用いてもよい。また、発光色の異なる有機電界発光素子を組み合わせて、各色が混色して白色となるよう構成してもよいし、混色比率を調整できるように構成して調色機能を付与してもよい。
[5] Illumination The illumination of the present invention includes the above-described organic electroluminescent element. There is no restriction | limiting in particular about a model or a structure, It can assemble in accordance with a conventional method using the organic electroluminescent element of this invention. The organic electroluminescence element may be a simple matrix driving method or an active matrix driving method.
In order for the illumination of the present invention to emit white light, an organic electroluminescent element that emits white light may be used. In addition, organic electroluminescent elements having different emission colors may be combined so that each color is mixed to become white, or the color mixing ratio can be adjusted to provide a color adjustment function.

以下、本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物について、具体的な実施例を挙げて説明するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, although the specific example is given and demonstrated about the photosensitive resin composition for partition formation of this invention, this invention is not limited to a following example, unless the summary is exceeded.

[1] 隔壁形成用感光性樹脂組成物の作製
各成分を表1に記載の配合割合(質量部)で用い、かつ、全固形分の含有割合が25質量%となるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用いて、各成分を均一になるまで撹拌して実施例及び比較例の隔壁形成用感光性樹脂組成物を調製した。なお、表1中の数値は固形分の値を意味する。
なお、表中の記号は以下のものを表す。
[1] Production of barrier rib-forming photosensitive resin composition Each component was used in a blending ratio (parts by mass) shown in Table 1, and propylene glycol monomethyl ether so that the total solid content was 25% by mass. Each component was stirred until it became uniform using acetate, and the photosensitive resin composition for partition formation of an Example and a comparative example was prepared. In addition, the numerical value in Table 1 means the value of solid content.
In addition, the symbol in a table | surface represents the following.

a−1 :ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(DPHA)(日本化薬社製)
b−1 :2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール(保土ヶ谷化学社製)
a-1: Dipentaerythritol hexaacrylate (DPHA) (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
b-1: 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole (manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.)

d−1:RS72K(DIC社製、フッ素系、エチレン性二重結合を有するオリゴマー)
e−1:2−メルカプトベンゾイミダゾール(東京化成社製)
e−2:ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオナート)(淀化学社製)
f−1:TINUVIN384−2(BASF社製)
g−1:PM21(日本化薬社製)
d-1: RS72K (manufactured by DIC, fluorine-based, oligomer having an ethylenic double bond)
e-1: 2-mercaptobenzimidazole (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)
e-2: Pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate) (manufactured by Sakai Chemical Co., Ltd.)
f-1: TINUVIN 384-2 (manufactured by BASF)
g-1: PM21 (made by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

c−1:以下のエチレン性不飽和基含有樹脂(エポキシアクリレート樹脂/一般式(C1−2)で示される樹脂に相当)
下記式で表されるエポキシ化合物(重量平均分子量3900、式中のnが1〜20のものの混合物)400質量部、アクリル酸102質量部、p−メトキシフェノール0.3質量部、トリフェニルホスフィン5質量部、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート264質量部を反応容器に仕込み、95℃で酸価が3mgKOH/g以下になるまで撹拌した。次いで、更にテトラヒドロ無水フタル酸91質量部を添加し、95℃で4時間反応させ、固形分酸価60mg−KOH/g、GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)6800のアルカリ可溶性樹脂(c−1)溶液を得た。
c-1: The following ethylenically unsaturated group-containing resin (corresponding to epoxy acrylate resin / resin represented by the general formula (C1-2))
400 parts by mass of an epoxy compound represented by the following formula (a mixture of those having a weight average molecular weight of 3900, wherein n is 1 to 20), 102 parts by mass of acrylic acid, 0.3 parts by mass of p-methoxyphenol, triphenylphosphine 5 The reaction vessel was charged with parts by mass and 264 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate, and stirred at 95 ° C. until the acid value became 3 mgKOH / g or less. Next, 91 parts by mass of tetrahydrophthalic anhydride was further added and reacted at 95 ° C. for 4 hours. An alkali-soluble resin having a solid content acid value of 60 mg-KOH / g and a polystyrene-reduced weight average molecular weight (Mw) of 6800 measured by GPC. (C-1) A solution was obtained.

Figure 2018018036
Figure 2018018036

c−2:以下のエチレン性不飽和基含有樹脂(エポキシアクリレート樹脂/一般式(C1−3)で示される樹脂に相当)
下記式で表されるビスフェノールA型エポキシ化合物(エポキシ当量186g/eq、式中のnが1〜20のものの混合物)100質量部、アクリル酸40質量部、p−メトキシフェノール0.06質量部、トリフェニルホスフィン2.4質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート126質量部を反応容器に仕込み、酸価が5mg−KOH/g以下になるまで95℃で撹拌した。次いで、上記反応により得られた反応液80質量部にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート12質量部を加え、無水コハク酸5質量部を添加し、95℃で3時間反応させ、固形分酸価40mg−KOH/g、GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が8000のアルカリ可溶性樹脂(c−2)溶液を得た。
c-2: The following ethylenically unsaturated group-containing resin (equivalent to a resin represented by epoxy acrylate resin / general formula (C1-3))
100 parts by mass of a bisphenol A type epoxy compound represented by the following formula (epoxy equivalent 186 g / eq, a mixture of those in which n is 1 to 20), 40 parts by mass of acrylic acid, 0.06 parts by mass of p-methoxyphenol, The reaction vessel was charged with 2.4 parts by mass of triphenylphosphine and 126 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate, and stirred at 95 ° C. until the acid value became 5 mg-KOH / g or less. Subsequently, 12 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was added to 80 parts by mass of the reaction solution obtained by the above reaction, 5 parts by mass of succinic anhydride was added, and the mixture was reacted at 95 ° C. for 3 hours to obtain a solid content acid value of 40 mg-KOH. / G, an alkali-soluble resin (c-2) solution having a weight average molecular weight (Mw) in terms of polystyrene of 8000 measured by GPC was obtained.

Figure 2018018036
Figure 2018018036

c−3:以下のエチレン性不飽和基含有樹脂(エポキシアクリレート樹脂/一般式(C1−6)で示される樹脂に相当)
CCR−1332(日本化薬社製) クレゾールノボラックエポキシアクリレート樹脂溶液。GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)は6500、固形分酸価は60mg−KOH/g。
c-3: The following ethylenically unsaturated group-containing resin (epoxy acrylate resin / corresponding to the resin represented by the general formula (C1-6))
CCR-1332 (Nippon Kayaku Co., Ltd.) Cresol novolac epoxy acrylate resin solution. The weight average molecular weight (Mw) in terms of polystyrene measured by GPC was 6500, and the solid content acid value was 60 mg-KOH / g.

c−4:以下のアクリル共重合樹脂((C2)アクリル共重合樹脂に相当)
トリシクロデカンメタクリレート/スチレン/グリシジルメタクリレート(モル比:0.02/0.05/0.93)を構成モノマーとする共重合樹脂に、アクリル酸をグリシジルメタクリレートと等量付加反応させ、さらに無水テトラヒドロフタル酸を上記の共重合樹脂1モルに対してモル比0.1になるように付加した、アルカリ可溶性のアクリル共重合樹脂。GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)は9000、固形分酸価は24.3mg−KOH/g。
c-4: The following acrylic copolymer resin (equivalent to (C2) acrylic copolymer resin)
A copolymer resin containing tricyclodecane methacrylate / styrene / glycidyl methacrylate (molar ratio: 0.02 / 0.05 / 0.93) as a constituent monomer is subjected to an addition reaction of acrylic acid with an equal amount of glycidyl methacrylate, followed by anhydrous tetrahydro An alkali-soluble acrylic copolymer resin in which phthalic acid is added at a molar ratio of 0.1 to 1 mol of the above copolymer resin. The weight average molecular weight (Mw) in terms of polystyrene measured by GPC was 9000, and the solid content acid value was 24.3 mg-KOH / g.

Figure 2018018036
Figure 2018018036

[2] 隔壁の形成及び評価
以下に性能評価の方法を説明する。
[2] Formation and Evaluation of Partition Wall A performance evaluation method will be described below.

(接触角測定用基板作成)
表面にITO膜を形成したガラス基板の該ITO膜上にスピナーを用いて、加熱硬化後に2.0μmの厚みになるように塗布液(前記隔壁形成用感光性樹脂組成物)を塗布した。その後100℃で2分間ホットプレート上で加熱乾燥し、得られた塗膜をマスクを使用せずに、露光量を60〜140mJ/cm2の範囲で振って露光した(100mJ未満は10mJおき、100〜500mJは20mJおき、500mJ超過は50mJおき)。この時の波長365nmにおける強度は40mW/cm2であった。次いで24℃の2.38質量%TMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)水溶液で60秒間スプレー現像した後、純水で10秒間洗浄した。この基板を、オーブン中230℃で30分間加熱硬化させ、硬化物が得られた。
(Creation of contact angle measurement board)
Using a spinner, a coating solution (the photosensitive resin composition for forming a partition wall) was applied on the ITO film of a glass substrate having an ITO film formed on the surface so as to have a thickness of 2.0 μm after heat curing. Then, it was heated and dried on a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes, and the obtained coating film was exposed by shaking the exposure dose in the range of 60 to 140 mJ / cm 2 without using a mask (less than 100 mJ, every 10 mJ, 100 to 500 mJ is every 20 mJ, and over 500 mJ is every 50 mJ). At this time, the intensity at a wavelength of 365 nm was 40 mW / cm 2 . Subsequently, after spray development for 60 seconds with 2.38 mass% TMAH (tetramethylammonium hydroxide) aqueous solution of 24 degreeC, it wash | cleaned for 10 second with the pure water. This substrate was heat-cured in an oven at 230 ° C. for 30 minutes to obtain a cured product.

(硬化物の接触角の評価)
組成物の感度により硬化性が異なるため、硬化物において撥液性が生じるために必要な露光量は、組成により異なる。ここで撥液性が生じる露光量とは、得られる硬化物の安息香酸イソアミルに対する接触角が10度以上となるために必要な露光量のことを表す。具体的には、露光量を変えて作成した前述の接触角測定用基板上の硬化物の安息香酸イソアミルに対する接触角を測定し、撥液性が生じた基板の露光量の最小値を最小露光量とし、さらに最小露光量で作製した基板の接触角を表2に記載した。接触角は、協和界面科学(株)製Drop Master 500接触角測定装置により、23℃、湿度50%の条件下で測定した。接触角が大きい方が撥液性が高いことを表す。
(Evaluation of contact angle of cured product)
Since the curability varies depending on the sensitivity of the composition, the amount of exposure necessary for causing liquid repellency in the cured product varies depending on the composition. Here, the exposure amount at which liquid repellency is generated represents the exposure amount necessary for the contact angle of the resulting cured product to isoamyl benzoate to be 10 ° or more. Specifically, the contact angle to the isoamyl benzoate of the cured product on the contact angle measurement substrate prepared by changing the exposure amount is measured, and the minimum exposure value of the substrate having liquid repellency is determined as the minimum exposure. Table 2 shows the contact angle of the substrate prepared with the minimum exposure amount. The contact angle was measured using a Drop Master 500 contact angle measuring device manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd. under conditions of 23 ° C. and 50% humidity. A larger contact angle represents higher liquid repellency.

(隔壁の作成)
表面にITO膜を形成したガラス基板の該ITO膜上にスピナーを用いて、加熱硬化後に2.0μmの厚みになるように塗布液(前記隔壁形成用感光性樹脂組成物)を塗布した。その後100℃で2分間ホットプレート上で加熱乾燥した。得られた塗膜をフォトマスクを用いて露光を行った。露光量は、前述の評価で得た撥液性が生じる最小露光量とし、露光ギャップは16μmとした。フォトマスクは格子状の開口部を有するマスク(80μm×280μmの被覆部を40μm間隔で複数有する)を使用した。次いで、接触角測定用基板作成と同様に、TMAH水溶液で現像を行った後、加熱硬化を行い、格子状の隔壁が得られた。
(Create partition walls)
Using a spinner, a coating solution (the photosensitive resin composition for forming a partition wall) was applied on the ITO film of a glass substrate having an ITO film formed on the surface so as to have a thickness of 2.0 μm after heat curing. Thereafter, it was dried by heating on a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes. The obtained coating film was exposed using a photomask. The exposure amount was the minimum exposure amount at which the liquid repellency obtained in the above evaluation was generated, and the exposure gap was 16 μm. As the photomask, a mask having a lattice-like opening (having a plurality of covering portions of 80 μm × 280 μm at intervals of 40 μm) was used. Next, in the same manner as in the preparation of the contact angle measurement substrate, development was performed with a TMAH aqueous solution, followed by heat curing to obtain a lattice-like partition wall.

(隔壁のインクジェット塗布適正評価)
前述の格子状の隔壁を有する基板において、格子状の隔壁で囲われた画素部分に対して、富士フィルム社製DMP−2831にてインクジェット塗布を行った。インクとして、溶剤(安息香酸イソアミル)を単独で使用し、1画素あたり、120pL(条件1)及びさらに厳しい条件80pL(条件2)にて塗布して濡れ広がり性の評価をおこなった。画素内全域に濡れ広がるほど、隔壁作成時の残渣等が少なく、現像性が良好であることを示す。さらに、インクを160pLを塗布して、決壊(インクが隔壁を乗り越えて隣の画素部分に混入する現象)の有無の評価を行った。決壊しないほど撥液性が高いことを示す。
[濡れ広がり性評価(120pL(条件1)、80pL(条件2))]
〇:インクが画素内全域に広がった。
△:インクが広がらない部分が画素内に一部生じた。
×:インクが画素内に全く広がらなかった。
[決壊評価(160pL)]
〇:インクが画素内からあふれなかった。
△:インクが画素内から一部分が隔壁の上面にあふれ出してしまった。
×:インクが画素内から全面に隔壁の上面にあふれ出してしまった。
(Appropriate evaluation of barrier rib inkjet coating)
In the substrate having the grid-like partition walls described above, inkjet coating was performed on a pixel portion surrounded by the grid-like partition walls using DMP-2831 manufactured by Fuji Film. As the ink, a solvent (isoamyl benzoate) was used alone, and it was applied at 120 pL (condition 1) and more severe condition 80 pL (condition 2) per pixel to evaluate wettability. As the entire area of the pixel is wetted and spread, there are fewer residues at the time of creating the partition wall, and the developability is better. Furthermore, 160 pL of ink was applied, and the presence or absence of breakage (a phenomenon in which the ink crosses the partition wall and enters the adjacent pixel portion) was evaluated. The liquid repellency is so high that it does not break.
[Evaluation of wettability (120 pL (condition 1), 80 pL (condition 2))]
O: Ink spread throughout the pixel.
Δ: A portion where the ink did not spread partially occurred in the pixel.
X: Ink did not spread at all in the pixel.
[Fracture evaluation (160pL)]
○: Ink did not overflow from inside the pixel.
Δ: Ink partially overflowed from the inside of the pixel to the upper surface of the partition wall.
X: Ink overflowed from the inside of the pixel to the entire upper surface of the partition wall.

(隔壁のテーパ角度測定)
前述の格子状の隔壁をカットして断面観察用のSEM観察サンプルを作成し、走査型電子顕微鏡(SEM、キーエンス社製)を用いて隔壁の断面形状を観察し、そのテーパ角度を測定し、その結果を表2に記載した。
この断面図において、図1のように隔壁1とITO膜2との境界面をS、隔壁の高さをHとした。隔壁の斜辺においてHの1/2となる高さの点をAとし、点Aにおける斜辺との接線をTとし、接線Tと境界面Sのなす角を測定し、テーパ角とした。
テーパ角は高いほど現像性が良好で残渣が発生しにくい傾向があり、インクジェット塗布において、より濡れ広がりやすい傾向がある。
(Measurement of taper angle of bulkhead)
Cut the lattice-like partition wall described above to create a SEM observation sample for cross-sectional observation, observe the cross-sectional shape of the partition wall using a scanning electron microscope (SEM, manufactured by Keyence Corporation), measure the taper angle, The results are shown in Table 2.
In this sectional view, the boundary surface between the partition wall 1 and the ITO film 2 is S and the height of the partition wall is H as shown in FIG. A point having a height of ½ of H on the hypotenuse of the partition wall is A, a tangent to the hypotenuse at the point A is T, and an angle between the tangent T and the boundary surface S is measured to obtain a taper angle.
The higher the taper angle, the better the developability and the less likely the residue is generated.

(ガス量測定用基板の作成)
表面にITO膜を形成したガラス基板の該ITO膜上にスピナーを用いて、塗布液(前記隔壁形成用感光性樹脂組成物)を加熱硬化後に2.0μmの厚みになるように塗布した。その後100℃で2分間ホットプレート上で加熱乾燥し、得られた塗膜をマスクを使用せずに、前述の撥液性が生じる最小露光量で露光した。この時の波長365nmにおける強度は40mW/cm2であった。次いで、接触角測定用基板作成と同様に、TMAH水溶液で現像を行った後、オーブン中230℃で30分間加熱硬化を行い、硬化物が得られた。
(Creation of gas amount measurement substrate)
A spinner was used to apply a coating solution (the partition wall-forming photosensitive resin composition) to a thickness of 2.0 μm after heat-curing on the ITO film of a glass substrate having an ITO film formed on the surface. Thereafter, the film was heated and dried on a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes, and the obtained coating film was exposed without using a mask at the minimum exposure amount at which the liquid repellency described above was generated. At this time, the intensity at a wavelength of 365 nm was 40 mW / cm 2 . Next, as with the contact angle measurement substrate preparation, development was performed with a TMAH aqueous solution, followed by heat curing in an oven at 230 ° C. for 30 minutes to obtain a cured product.

(ガス量の測定)
作成したガス量測定用基板(40mm×8mm、4枚)を加熱炉内で230℃、20分間加熱した際のアウトガスをGC/MS(Agilent Technologies社製、商品名「5973N」)にて分析し、検出されたピーク全成分の面積の総和を計算した。次に、検出されたピーク面積の総和より検量線を用いてトルエン量に換算し、測定した基板面積で除し、単位面積あたりのトルエン換算のアウトガス量(ng/cm2)を算出した。なお検量線は、濃度既知のトルエンを用いてGC/MSを測定し、トルエン量と検出されるガスのピーク面積値をプロットして、検量線を作成した。
(Measurement of gas amount)
The gas out measurement substrate (40 mm x 8 mm, 4 sheets) was analyzed by GC / MS (Agilent Technologies, product name "5973N") when heated at 230 ° C for 20 minutes in a heating furnace. The total area of all detected peak components was calculated. Next, it converted into the amount of toluene using the calibration curve from the sum total of the detected peak area, and remove | divided by the measured board | substrate area, and calculated the outgas amount (ng / cm < 2 >) of toluene conversion per unit area. The calibration curve was prepared by measuring GC / MS using toluene having a known concentration, and plotting the amount of toluene and the peak area value of the detected gas.

Figure 2018018036
Figure 2018018036

表2より、比較例2の(C2)樹脂単独ではテーパ角が大きく、また濡れ広がり性も良好であるものの、アウトガス量が多い。一方で、比較例1の(C1)樹脂単独ではアウトガス量が少なく良好であるものの、テーパ角が小さく、また濡れ広がり性が悪い。これに対して、実施例1〜3の(C1)樹脂と(C2)樹脂を併用した系では、テーパ角が大きく、濡れ広がり性も良好であり、アウトガス量も少なくなっていることがわかる。   From Table 2, the (C2) resin alone of Comparative Example 2 has a large taper angle and good wetting and spreading properties, but has a large outgas amount. On the other hand, the (C1) resin alone of Comparative Example 1 has a small outgas amount and is good, but has a small taper angle and poor wettability. On the other hand, it can be seen that the systems using the (C1) resin and the (C2) resin in Examples 1 to 3 have a large taper angle, good wettability and a small outgas amount.

これは(C1)樹脂単独では、剛直な主骨格よりアウトガス量が低くなるものの、当該樹脂の主骨格中に芳香族環を有することに起因して現像液への溶解性が悪く、現像時の残膜除去が不十分となるからであると考えられる。一方で、(C2)樹脂単独では、現像液の浸透性が良好であり塗膜下部まで現像されテーパ角が高くなるものの、当該樹脂分子中の側鎖が熱により切れやすく熱分解性が高く、アウトガス量が多くなっていると考えられる。これに対して、(C1)樹脂と(C2)樹脂とを併用することで、十分な現像溶解性を確保しつつ、アウトガス量を抑えることが可能となったと考えられる。   This is because the (C1) resin alone has a lower outgas amount than the rigid main skeleton, but it has poor solubility in the developer due to the aromatic ring in the main skeleton of the resin. This is probably because the remaining film removal is insufficient. On the other hand, (C2) resin alone has good permeability of the developer and is developed to the lower part of the coating film and the taper angle is high, but the side chain in the resin molecule is easily broken by heat and has high thermal decomposability, The outgas amount is thought to be increasing. On the other hand, it is considered that by using the (C1) resin and the (C2) resin in combination, it is possible to suppress the outgas amount while ensuring sufficient development solubility.

また実施例1〜3を比較した場合、条件2の濡れ広がり性やテーパ角に示すように、(C1)樹脂の中でも(C1−3)樹脂(c−2樹脂)がさらに濡れ広がり性が良好となり、テーパ角も大きく良好であることが分かる。これは(C1−3)樹脂が、樹脂分子の主骨格内の疎水基(芳香族環)が他の樹脂に比べて少ないため、より現像性が良好になったためと考えられる。またアウトガス量も少なくなっていることが分かる。これは(C1−1)樹脂、(C1−3)樹脂で使用されている多塩基酸無水物がテトラヒドロ無水フタル酸であるのに対し、(C1−2)樹脂で使用されている多塩基酸無水物が無水コハク酸であるため、隔壁作成後のアウトガスがより少なくなったためと考えられる。   Further, when Examples 1 to 3 are compared, as shown in the wet spreading property and taper angle of Condition 2, among the (C1) resins, the (C1-3) resin (c-2 resin) has even better wet spreading properties. It can be seen that the taper angle is large and good. This is presumably because the (C1-3) resin has more developability because it has fewer hydrophobic groups (aromatic rings) in the main skeleton of the resin molecule than other resins. Moreover, it turns out that the amount of outgas is also decreasing. This is because the polybasic acid anhydride used in (C1-1) resin and (C1-3) resin is tetrahydrophthalic anhydride, whereas the polybasic acid used in (C1-2) resin. It is considered that because the anhydride is succinic anhydride, the outgas after the partition wall was made is less.

1:隔壁
2:ITO膜
3:ガラス基板
A:隔壁の斜辺においてHの1/2となる高さの点
H:隔壁の高さ
S:隔壁とITO膜との境界面
1: partition wall 2: ITO film 3: glass substrate A: point of height which becomes 1/2 of H on the oblique side of the partition wall H: height of the partition wall S: boundary surface between the partition wall and the ITO film

Claims (14)

(A)エチレン性不飽和化合物、(B)光重合開始剤及び(C)アルカリ可溶性樹脂を含有する隔壁形成用感光性樹脂組成物であって、
前記(C)アルカリ可溶性樹脂が、(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂、及び(C2)側鎖にエチレン性不飽和基を有するアクリル共重合樹脂を含有することを特徴とする隔壁形成用感光性樹脂組成物。
A photosensitive resin composition for forming a partition wall comprising (A) an ethylenically unsaturated compound, (B) a photopolymerization initiator, and (C) an alkali-soluble resin,
The (C) alkali-soluble resin contains (C1) an epoxy (meth) acrylate resin, and (C2) an acrylic copolymer resin having an ethylenically unsaturated group in the side chain. Resin composition.
前記(C2)アクリル共重合樹脂が、下記一般式(I)で示される部分構造含む、請求項1に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
Figure 2018018036
(式(I)中、R1は水素原子又はメチル基を表す。R2は置換基を有していてもよいアルケニル基又は下記一般式(II)で表される基を表す。R3は水素原子又は下記一般式(III)で表される基を表す。)
Figure 2018018036
(式(II)中、R4は置換基を有していてもよいアルケニル基を表す。αは置換基を有していてもよいアルキレン基、置換基を有していてもよいアリーレン基、又は置換基を有していてもよいアルケニレン基を表す。*はカルボニル炭素との結合手を表す。)
Figure 2018018036
(上記式(III)中、βはジカルボン酸の残基である。)
The photosensitive resin composition for partition formation according to claim 1, wherein the (C2) acrylic copolymer resin includes a partial structure represented by the following general formula (I).
Figure 2018018036
(In formula (I), R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group. R 2 represents an alkenyl group which may have a substituent or a group represented by the following general formula (II). R 3 represents Represents a hydrogen atom or a group represented by the following general formula (III).)
Figure 2018018036
(In the formula (II), R 4 represents an alkenyl group which may have a substituent. Α represents an alkylene group which may have a substituent, an arylene group which may have a substituent, Or an alkenylene group which may have a substituent, * represents a bond to the carbonyl carbon.
Figure 2018018036
(In the above formula (III), β is a residue of a dicarboxylic acid.)
前記(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂が、以下の一般式(C1−1)〜(C1−6)で示される樹脂のうち少なくとも1種を含有する、請求項1又は2に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
Figure 2018018036
(式(C1−1)中、R111は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、又はアリール基を表し、n111は0〜20の整数を表す。)
Figure 2018018036
(式(C1−2)中、R121は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基を表し、n121は0〜20の整数を表す。)
Figure 2018018036
(式(C1−3)中、R131は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基を表す。m131及びn131は各々独立に0〜20の整数を表す。γは単結合、−CO−、−CH2−、−C(CH32−、下記式(IV)に示す基、又は下記式(V)に示す基を表す。δは水素原子又は多塩基酸残基を表す。)
Figure 2018018036
Figure 2018018036
Figure 2018018036
(式(C1−4)中、R141はアルキル基又はハロゲン原子を表し、pは0〜4の整数を表す。)
Figure 2018018036
Figure 2018018036
(式(C1−6)中、R161は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基を表し、n161は0〜20の整数を表す。
また式(C1−1)〜式(C1−6)中、Aは下記一般式(VI)に示す基を表す。)
Figure 2018018036
(式(VI)中、R171は水素原子又はメチル基を表し、R172はアルキレン基を表し、m171は0〜10の整数を表す。またδは、水素原子又は多塩基酸残基を表す。)
The partition formation according to claim 1 or 2, wherein the (C1) epoxy (meth) acrylate resin contains at least one of the resins represented by the following general formulas (C1-1) to (C1-6). Photosensitive resin composition.
Figure 2018018036
(In formula (C1-1), R 111 represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group, or an aryl group, and n 111 represents an integer of 0 to 20.)
Figure 2018018036
(In the formula (C1-2), R 121 represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group or an aryl group, and n 121 represents an integer of 0 to 20.)
Figure 2018018036
(In the formula (C1-3), R 131 represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group or an aryl group. M 131 and n 131 each independently represents an integer of 0 to 20. γ is a single bond, —CO. —, —CH 2 —, —C (CH 3 ) 2 —, a group represented by the following formula (IV), or a group represented by the following formula (V): δ represents a hydrogen atom or a polybasic acid residue. )
Figure 2018018036
Figure 2018018036
Figure 2018018036
(In the formula (C1-4), R 141 represents an alkyl group or a halogen atom, and p represents an integer of 0 to 4.)
Figure 2018018036
Figure 2018018036
(In the formula (C1-6), R 161 represents a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group or an aryl group, and n 161 represents an integer of 0 to 20.
In the formulas (C1-1) to (C1-6), A represents a group represented by the following general formula (VI). )
Figure 2018018036
(In formula (VI), R 171 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 172 represents an alkylene group, m 171 represents an integer of 0 to 10. δ represents a hydrogen atom or a polybasic acid residue. Represents.)
前記(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂が、エポキシ樹脂にエチレン性不飽和モノカルボン酸又はエステル化合物を付加し、更に多塩基酸又はその無水物を反応させた樹脂である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。   The (C1) epoxy (meth) acrylate resin is a resin obtained by adding an ethylenically unsaturated monocarboxylic acid or an ester compound to an epoxy resin and further reacting with a polybasic acid or an anhydride thereof. The photosensitive resin composition for partition formation of any one of these. 前記(C)アルカリ可溶性樹脂における(C1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂の含有割合が30〜95質量%である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition for partition formation of any one of Claims 1-4 whose content rate of the (C1) epoxy (meth) acrylate resin in the said (C) alkali-soluble resin is 30-95 mass%. . 前記(C)アルカリ可溶性樹脂の平均酸価が50mg−KOH/g以下である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition for partition formation of any one of Claims 1-5 whose average acid value of said (C) alkali-soluble resin is 50 mg-KOH / g or less. さらに(D)撥液剤を含有する、請求項1〜6のいずれか1項に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。   Furthermore, (D) The photosensitive resin composition for partition formation of any one of Claims 1-6 containing a liquid repellent. 前記(D)撥液剤が架橋基を有する、請求項7に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition for partition formation according to claim 7, wherein the liquid repellent (D) has a crosslinking group. さらに連鎖移動剤を含有する、請求項1〜8のいずれか1項に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。   Furthermore, the photosensitive resin composition for partition formation of any one of Claims 1-8 containing a chain transfer agent. さらに紫外線吸収剤を含有する、請求項1〜9のいずれか1項に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。   Furthermore, the photosensitive resin composition for partition formation of any one of Claims 1-9 containing a ultraviolet absorber. 請求項1〜10のいずれか1項に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物で構成される隔壁。   The partition comprised with the photosensitive resin composition for partition formation of any one of Claims 1-10. 請求項11に記載の隔壁を備える有機電界発光素子。   An organic electroluminescent device comprising the partition wall according to claim 11. 請求項12に記載の有機電界発光素子を含む画像表示装置。   The image display apparatus containing the organic electroluminescent element of Claim 12. 請求項12に記載の有機電界発光素子を含む照明。   The illumination containing the organic electroluminescent element of Claim 12.
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