JP2021120946A - Photosensitive resin composition for forming partition wall, partition wall, organic electroluminescent element, image display device and illumination - Google Patents

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和裕 中谷
明日香 木村
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明日香 木村
達格 土谷
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Abstract

To provide a photosensitive resin composition for forming a partition wall, which allows formation of a partition wall having a large taper angle.SOLUTION: The photosensitive resin composition for forming a partition wall comprises: (A) a photopolymerization initiator; (B) an ethylenically unsaturated compound; (C) an alkali-soluble resin, in which the (A) photopolymerization initiator comprises a hexaaryl biimidazole compound; and further (D) a sensitizer.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、隔壁を形成するために用いられる隔壁形成用感光性樹脂組成物に関し、特に隔壁形成用感光性組成物で構成される隔壁や、該隔壁を備える有機電界発光素子、該有機電界素子を含む画像表示装置及び照明に関する。 The present invention relates to a partition wall forming photosensitive resin composition used for forming a partition wall, in particular, a partition wall composed of the partition wall forming photosensitive composition, an organic electroluminescent device provided with the partition wall, and the organic electroluminescent device. The present invention relates to an image display device and lighting including.

従来より、有機電界ディスプレイや有機電界照明などに含まれる有機電界発光素子、カラーフィルター、有機TFTアレイ等の光学素子は、基板上に、隔壁(バンク)を形成した後に、隔壁に囲まれた領域内に、種々の機能層を積層して製造されている。このような隔壁を容易に形成する方法として、感光性樹脂組成物を用いるフォトリソグラフィー法により形成する方法が知られている(特許文献1参照)。 Conventionally, optical elements such as organic electroluminescent elements, color filters, and organic TFT arrays included in organic electroluminescent displays and organic field lighting have formed a partition wall (bank) on a substrate and then have a region surrounded by the partition wall. It is manufactured by laminating various functional layers inside. As a method for easily forming such a partition wall, a method of forming such a partition wall by a photolithography method using a photosensitive resin composition is known (see Patent Document 1).

また、隔壁に囲まれた領域内に種々の機能層を積層する方法としては、まず機能層を構成する材料を含むインクを調製し、次いで、調製したインクを隔壁に囲まれた領域内に注入する方法が知られている。この方法の中でも、所定量のインクを所定の箇所に正確に注入しやすいことから、インクジェット法が採用されることが多い。 Further, as a method of laminating various functional layers in the region surrounded by the partition wall, first, an ink containing the material constituting the functional layer is prepared, and then the prepared ink is injected into the region surrounded by the partition wall. There are known ways to do this. Among these methods, the inkjet method is often adopted because it is easy to accurately inject a predetermined amount of ink into a predetermined location.

さらに、インクを用いて機能層を形成する場合、隔壁へのインクの付着の予防や、隣接する領域間に注入されるインクが混合されることを防ぐ目的等で、隔壁に撥インク性を付与することが求められる。隔壁に撥インク性を付与する方法としては、例えば、隔壁にフッ素系樹脂を含有させる方法が知られている(特許文献2参照)。 Further, when the functional layer is formed by using ink, the partition wall is provided with ink repellency for the purpose of preventing the ink from adhering to the partition wall and preventing the ink injected between the adjacent regions from being mixed. Is required to do. As a method of imparting ink repellency to a partition wall, for example, a method of incorporating a fluororesin into the partition wall is known (see Patent Document 2).

一方で近年、隔壁には撥インク性以外にも種々の特性が要求されており、種々の感光性樹脂組成物が開発されている。例えば特許文献3には、特定の紫外線吸収剤と重合禁止剤を使用することで、微細で精度の高いパターンを形成可能であると記載されている。 On the other hand, in recent years, various properties other than ink repellency are required for partition walls, and various photosensitive resin compositions have been developed. For example, Patent Document 3 describes that a fine and highly accurate pattern can be formed by using a specific ultraviolet absorber and a polymerization inhibitor.

また、特許文献4及び5には、特定の重合体を使用することで、基板表面のぬれ性が高く、隔壁上面の撥液性が高いパターンを形成可能であると記載されている。 Further, Patent Documents 4 and 5 describe that by using a specific polymer, it is possible to form a pattern having high wettability on the substrate surface and high liquid repellency on the upper surface of the partition wall.

他方、例えば特許文献6には、カラーフィルター用の感光性着色組成物において、増感剤を使用することで、着色パターンのテーパー形状が変化することが記載されている。 On the other hand, for example, Patent Document 6 describes that the taper shape of a coloring pattern is changed by using a sensitizer in a photosensitive coloring composition for a color filter.

特開2010−262940号公報JP-A-2010-262940 国際公開第2008/149498号パンフレットInternational Publication No. 2008/149498 Pamphlet 特開2015−172742号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-172742 特開2015−161894号公報JP 2015-161894 特開2015−161895号公報JP 2015-161895 特開2012−163769号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-163769

近年、インクジェット法を用いた有機電界発光素子の消費電力特性向上の要求にともなって、隔壁に囲まれた機能層の輝度向上が要求されている。
インクを用いて機能層を形成する際、機能層を囲う隔壁の形状は重要であり、隔壁のテーパー角度が低いと発光部分の面積が小さくなり、隔壁のテーパー角度が高いと発光部分の面積は大きくなることから、隔壁のテーパー角度を高くして輝度向上させることが要求されている。
本発明者らが特許文献3〜5に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物について検討したところ、隔壁のテーパー角度が低く、輝度向上が十分ではないことが見出された。
一方で、特許文献6に記載の感光性樹脂組成物は着色剤を含むものであって、隔壁形成用に用いることについて記載がなく、テーパー形状がどのように変化するか不明である。
そこで、本発明は、テーパー角度の大きい隔壁を形成することが可能な、隔壁形成用感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
また、本発明は、当該隔壁形成用感光性樹脂組成物を用いて形成された隔壁、当該隔壁を備える有機電界発光素子、該有機電界発光素子を含む画像表示装置及び照明を提供することを目的とする。
In recent years, with the demand for improving the power consumption characteristics of organic electroluminescent devices using the inkjet method, there is a demand for improving the brightness of the functional layer surrounded by the partition wall.
When forming a functional layer using ink, the shape of the partition wall surrounding the functional layer is important. If the taper angle of the partition wall is low, the area of the light emitting portion is small, and if the taper angle of the partition wall is high, the area of the light emitting portion is large. Since it becomes large, it is required to increase the taper angle of the partition wall to improve the brightness.
When the present inventors examined the photosensitive resin compositions for forming a partition wall described in Patent Documents 3 to 5, it was found that the taper angle of the partition wall was low and the improvement in brightness was not sufficient.
On the other hand, the photosensitive resin composition described in Patent Document 6 contains a colorant, and there is no description about its use for partition wall formation, and it is unclear how the tapered shape changes.
Therefore, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition for forming a partition wall capable of forming a partition wall having a large taper angle.
Another object of the present invention is to provide a partition wall formed by using the photosensitive resin composition for forming a partition wall, an organic electroluminescent element provided with the partition wall, an image display device including the organic electroluminescent element, and lighting. And.

本発明者らが鋭意検討した結果、光重合開始剤、エチレン性不飽和化合物、アルカリ可溶性樹脂を含有する隔壁形成用感光性樹脂組成物において、特定の光重合開始剤を使用し、増感剤を併用することで上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。
即ち本発明の要旨は以下の通りである。
As a result of diligent studies by the present inventors, a sensitizer using a specific photopolymerization initiator in a photosensitive resin composition for forming a partition wall containing a photopolymerization initiator, an ethylenically unsaturated compound, and an alkali-soluble resin. We have found that the above-mentioned problems can be solved by using the above-mentioned substances in combination with each other, and have completed the present invention.
That is, the gist of the present invention is as follows.

[1] (A)光重合開始剤、(B)エチレン性不飽和化合物及び(C)アルカリ可溶性樹脂を含有する隔壁形成用感光性樹脂組成物であって、
前記(A)光重合開始剤がヘキサアリールビイミダゾール化合物を含有し、
さらに(D)増感剤を含有することを特徴とする隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[2] 前記(D)増感剤が、チオキサントン系化合物を含有する、[1]に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[3] さらに(E)撥液剤を含有する、[1]又は[2]に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[4] さらに(F)チオール化合物を含有する、[1]〜[3]のいずれかに記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[5] さらに(G)重合禁止剤を含有する、[1]〜[4]のいずれかに記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[6] さらに(H)紫外線吸収剤を含有する、[1]〜[5]のいずれかに記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[7] [1]〜[6]のいずれかに記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物で構成される隔壁。
[8] [7]に記載の隔壁を備える有機電界発光素子。
[9] [8]に記載の有機電界発光素子を含む画像表示装置。
[10] [8]に記載の有機電界発光素子を含む照明。
[1] A photosensitive resin composition for forming a partition wall containing (A) a photopolymerization initiator, (B) an ethylenically unsaturated compound, and (C) an alkali-soluble resin.
The (A) photopolymerization initiator contains a hexaarylbiimidazole compound, and the photopolymerization initiator is contained.
(D) A photosensitive resin composition for forming a partition wall, which comprises a sensitizer.
[2] The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to [1], wherein the sensitizer (D) contains a thioxanthone-based compound.
[3] The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to [1] or [2], which further contains (E) a liquid repellent.
[4] The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to any one of [1] to [3], which further contains (F) a thiol compound.
[5] The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to any one of [1] to [4], which further contains (G) a polymerization inhibitor.
[6] The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to any one of [1] to [5], which further contains (H) an ultraviolet absorber.
[7] A partition wall composed of the photosensitive resin composition for forming a partition wall according to any one of [1] to [6].
[8] An organic electroluminescent device including the partition wall according to [7].
[9] An image display device including the organic electroluminescent device according to [8].
[10] Lighting including the organic electroluminescent device according to [8].

本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物によれば、テーパー角度の大きい隔壁を形成することができ、有機電界発光素子の輝度を向上させることができる。 According to the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention, a partition wall having a large taper angle can be formed, and the brightness of the organic electroluminescent element can be improved.

図1は、隔壁のテーパー角度の評価方法の説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a method for evaluating a taper angle of a partition wall.

以下、本発明を詳細に説明する。なお、以下の記載は本発明の実施形態の一例であり、本発明はその要旨を超えない限り、これらに特定されない。
なお、本発明において、「(メタ)アクリル」とは、「アクリル及び/又はメタクリル」を意味するものとし、また、「全固形分」とは、溶剤を除く感光性樹脂組成物の成分の全量を意味するものとする。さらに、本発明において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
また、本発明において、「(共)重合体」とは、単一重合体(ホモポリマー)と共重合体(コポリマー)の双方を含むことを意味し、また、「(酸)無水物」、「(無水)…酸」とは、酸とその無水物の双方を含むことを意味する。
本発明において、隔壁材とはバンク材、壁材、ウォール材をさし、同様に、隔壁とはバンク、壁、ウォールをさす。
本発明において、重量平均分子量とは、GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)によるポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)をさす。
Hereinafter, the present invention will be described in detail. The following description is an example of an embodiment of the present invention, and the present invention is not specified in these unless the gist thereof is exceeded.
In the present invention, "(meth) acrylic" means "acrylic and / or methacryl", and "total solid content" means the total amount of the components of the photosensitive resin composition excluding the solvent. Shall mean. Further, the numerical range represented by using "~" in the present invention means a range including the numerical values before and after "~" as the lower limit value and the upper limit value.
Further, in the present invention, the "(co) polymer" means that both a homopolymer and a copolymer are included, and "(acid) anhydride" and "(acid) anhydride" and ". (Anhydrous) ... Acid "means that it contains both an acid and an anhydride thereof.
In the present invention, the partition wall material refers to a bank material, a wall material, and a wall material, and similarly, the partition wall material refers to a bank, a wall, and a wall.
In the present invention, the weight average molecular weight refers to the polystyrene-equivalent weight average molecular weight (Mw) obtained by GPC (gel permeation chromatography).

[1]隔壁形成用感光性樹脂組成物
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(A)光重合開始剤、(B)エチレン性不飽和化合物及び(C)アルカリ可溶性樹脂を含有する隔壁形成用感光性樹脂組成物であって、前記(A)光重合開始剤がヘキサアリールビイミダゾール化合物を含有し、さらに(D)増感剤を含有することを特徴とする。必要に応じてさらにその他の成分を含んでいてもよく、例えば(E)撥液剤、(F)チオール化合物、(G)重合禁止剤、(H)紫外線吸収剤を含んでいてもよい。
[1] Photosensitive resin composition for forming a partition wall The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention contains (A) a photopolymerization initiator, (B) an ethylenically unsaturated compound, and (C) an alkali-soluble resin. The photosensitive resin composition for forming a partition wall is characterized in that the (A) photopolymerization initiator contains a hexaarylbiimidazole compound and (D) a sensitizer. If necessary, other components may be further contained, and for example, (E) a liquid repellent, (F) a thiol compound, (G) a polymerization inhibitor, and (H) an ultraviolet absorber may be contained.

本発明において隔壁とは、例えば、アクティブ駆動型有機電界発光素子における機能層(有機層)を区画するためのものであり、区画された領域に機能層を構成するための材料であるインクを吐出、乾燥することで、機能層及び隔壁からなる画素等を形成させていくために使用されるものである。 In the present invention, the partition wall is for partitioning the functional layer (organic layer) in the active drive type organic electroluminescent element, and ejects ink which is a material for forming the functional layer in the partitioned region. It is used to form pixels and the like composed of a functional layer and a partition wall by drying.

[1−1]隔壁形成用感光性樹脂組成物の成分及び組成
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物を構成する成分及びその組成について説明する。
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物(以下、単に「感光性樹脂組成物」という場合がある)は、(A)光重合開始剤、(B)エチレン性不飽和化合物及び(C)アルカリ可溶性樹脂を含有し、さらに(D)増感剤を含有する。通常は、さらに溶剤も含有する。また、本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、撥液性の隔壁を形成するために用いることが好ましく、係る観点からは(E)撥液剤を含有していることが好ましく、また、前記(A)〜(D)成分として撥液剤としての作用を示すものを用いてもよい。
[1-1] Components and Composition of Photosensitive Resin Composition for Separation Form The components and composition thereof constituting the photosensitive resin composition for partition wall formation of the present invention will be described.
The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention (hereinafter, may be simply referred to as “photosensitive resin composition”) is (A) a photopolymerization initiator, (B) an ethylenically unsaturated compound and (C) an alkali. It contains a soluble resin and also contains (D) a sensitizer. Usually, it also contains a solvent. Further, the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention is preferably used for forming a liquid-repellent partition wall, and from such a viewpoint, it is preferable that the photosensitive resin composition contains (E) a liquid-repellent agent. As the components (A) to (D), those exhibiting an action as a liquid repellent may be used.

[1−1−1](A)成分;光重合開始剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(A)光重合開始剤を含有し、該光重合開始剤は、ヘキサアリールビイミダゾール化合物を含む。ヘキサアリールビイミダゾール化合物は、吸光度が高いことから表面硬化性が高いため、高いテーパー角度が得られると考えられる。特に、エネルギー移動を受けやすいエネルギー順位を有することから、(D)増感剤を用いることによって表面硬化性が高くなり、高いテーパー角度が得られると考えられる。
また、ヘキサアリールビイミダゾールは、チオール化合物と共に用いた際には、チオールからチイルラジカルの生成が効率的に起こる傾向がある。チイルラジカルは酸素によって、失活されにくいため、通常酸素失活の影響を受けやすい表面においても十分に硬化するために、テーパー角度が大きくなる傾向がある。
[1-1-1] Component (A); Photopolymerization Initiator The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention contains (A) a photopolymerization initiator, and the photopolymerization initiator is hexaarylbi. Contains imidazole compounds. Since the hexaarylbiimidazole compound has high absorbance and therefore has high surface curability, it is considered that a high taper angle can be obtained. In particular, since it has an energy rank that is susceptible to energy transfer, it is considered that the surface curability is increased and a high taper angle can be obtained by using the (D) sensitizer.
In addition, hexaarylbiimidazole tends to efficiently generate thiyl radicals from thiols when used with thiol compounds. Since the chile radical is not easily deactivated by oxygen, the taper angle tends to be large because it is sufficiently cured even on a surface that is normally susceptible to oxygen deactivation.

ヘキサアリールビイミダゾール化合物としては、テーパー角度増大の観点から、下記一般式(1−1)及び/又は下記一般式(1−2)で表されるヘキサアリールビイミダゾール系光ラジカル開始剤が好ましい。 As the hexaarylbiimidazole compound, a hexaarylbiimidazole-based photoradical initiator represented by the following general formula (1-1) and / or the following general formula (1-2) is preferable from the viewpoint of increasing the taper angle.

Figure 2021120946
Figure 2021120946

上記式中、R1〜R3は、各々独立に置換基を有してもよい炭素数1〜4のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数1〜4のアルコキシ基、又はハロゲン原子を表し、l、m及びnは、各々独立に0〜5の整数を表す。 In the above formula, R 1 to R 3 are an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms which may independently have a substituent, an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms which may have a substituent, or a halogen. Representing an atom, l, m and n each independently represent an integer of 0-5.

1〜R3のアルキル基の炭素数は1〜4の範囲内であれば特に限定されないが、テーパー角度増大の観点から、好ましくは3以下、より好ましくは2以下である。アルキル基は鎖状のものでも、環状のものでもよい。アルキル基の具体例としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基が挙げられ、中でもメチル基、エチル基が好ましい。R1〜R3の炭素数1〜4のアルキル基が有してもよい置換基としては、水素を除く1価の非金属原子団の基が用いられ、好ましい例としては、ハロゲン原子(−F、−Br、−Cl、−I)、ヒドロキシル基、アルコキシ基が挙げられる。 The number of carbon atoms of the alkyl groups of R 1 to R 3 is not particularly limited as long as it is in the range of 1 to 4, but from the viewpoint of increasing the taper angle, it is preferably 3 or less, more preferably 2 or less. The alkyl group may be chain-like or cyclic. Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group and an isopropyl group, and among them, a methyl group and an ethyl group are preferable. As the substituent which the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms of R 1 to R 3 may have, a group of a monovalent non-metal atomic group excluding hydrogen is used, and a halogen atom (-) is a preferable example. Examples thereof include F, -Br, -Cl, -I), a hydroxyl group and an alkoxy group.

また、R1〜R3のアルコキシ基の炭素数は1〜4の範囲内であれば特に限定されないが、テーパー角度増大の観点から、好ましくは3以下、より好ましくは2以下である。アルコキシ基のアルキル基部分は鎖状のものでも、環状のものでもよい。アルコキシ基の具体例とは、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロピルオキシ基、ブトキシ基が挙げられ、中でもメトキシ基、エトキシ基が好ましい。R1〜R3の炭素数1〜4のアルコキシ基が有してもよい置換基としてはアルキル基、アルコキシ基が挙げられるが、好ましくはアルキル基である。 The number of carbon atoms of the alkoxy groups of R 1 to R 3 is not particularly limited as long as it is within the range of 1 to 4, but is preferably 3 or less, more preferably 2 or less, from the viewpoint of increasing the taper angle. The alkyl group portion of the alkoxy group may be chain-like or cyclic. Specific examples of the alkoxy group include, for example, a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, an isopropyloxy group, and a butoxy group, and among them, a methoxy group and an ethoxy group are preferable. Examples of the substituent that the alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms of R 1 to R 3 may have include an alkyl group and an alkoxy group, and an alkyl group is preferable.

また、R1〜R3のハロゲン原子とは、例えば、塩素原子、ヨウ素原子、臭素原子、フッ素原子が挙げられ、中でも合成容易性の観点から、塩素原子又はフッ素原子が好ましく、塩素原子がより好ましい。
これらの中でも、感度や合成容易性の観点から、R1〜R3は各々独立にハロゲン原子であることが好ましく、塩素原子であることがより好ましい。
Examples of the halogen atoms of R 1 to R 3 include chlorine atom, iodine atom, bromine atom, and fluorine atom. Among them, chlorine atom or fluorine atom is preferable, and chlorine atom is more preferable from the viewpoint of easiness of synthesis. preferable.
Among these, from the viewpoint of sensitivity and ease of synthesis, R 1 to R 3 are preferably halogen atoms independently, and more preferably chlorine atoms.

m、n及びlは、各々独立に0〜5の整数を表すが、合成容易性の観点から、m、n及びlの少なくとも1つが1以上の整数であることが好ましく、m、n及びlのうちいずれか2つが0であり、かつ、残りの1つが1であることがより好ましい。 Although m, n and l each independently represent an integer of 0 to 5, from the viewpoint of ease of synthesis, at least one of m, n and l is preferably an integer of 1 or more, and m, n and l. It is more preferable that any two of them are 0 and the remaining one is 1.

一般式(1−1)及び/又は一般式(1−2)で表されるヘキサアリールビイミダゾール化合物としては、例えば、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,5,4’,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−メチルフェニル)−4,5,4’,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(o,p−ジクロロフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(o,p−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(o,p−ジクロロフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(p−フルオロフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(o,p−ジブロモフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(o−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(o,p−ジクロロフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(p−クロロナフチル)ビイミダゾール等が挙げられる。中でも、ヘキサフェニルビイミダゾール化合物が好ましく、そのイミダゾール環上の2,2’−位に結合したベンゼン環のo−位がメチル基、メトキシ基、又はハロゲン原子で置換されたものが更に好ましく、そのイミダゾール環上の4,4’,5,5’−位に結合したベンゼン環が無置換、又は、ハロゲン原子若しくはメトキシ基で置換されたもの等が好ましい。 Examples of the hexaarylbiimidazole compound represented by the general formula (1-1) and / or the general formula (1-2) include 2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4,5,4', 5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o-methylphenyl) -4,5,4', 5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4, 4', 5,5'-tetra (o, p-dichlorophenyl) biimidazole, 2,2'-bis (o, p-dichlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra (o, p-dichlorophenyl) ) Biimidazole, 2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra (p-fluorophenyl) biimidazole, 2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4, 4', 5,5'-tetra (o, p-dibromophenyl) biimidazole, 2,2'-bis (o-bromophenyl) -4,4', 5,5'-tetra (o, p-dichlorophenyl) ) Biimidazole, 2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra (p-chloronaphthyl) biimidazole and the like. Of these, a hexaphenylbiimidazole compound is preferable, and a compound in which the o-position of the benzene ring bonded to the 2,2'-position on the imidazole ring is replaced with a methyl group, a methoxy group, or a halogen atom is more preferable. It is preferable that the benzene ring bonded to the 4,4', 5,5'-position on the imidazole ring is unsubstituted or substituted with a halogen atom or a methoxy group.

(A)光重合開始剤として、一般式(1−1)で表されるヘキサアリールビイミダゾール化合物と一般式(1−2)で表されるヘキサアリールビイミダゾール化合物のいずれかを用いても良く、両者を併用して用いても良い。併用して用いる場合には、その比率については特に限定されない。なお、実施例で用いた(A−1)は、一般式(1−1)を満足する構造を有する。 As the photopolymerization initiator (A), either a hexaarylbiimidazole compound represented by the general formula (1-1) or a hexaarylbiimidazole compound represented by the general formula (1-2) may be used. , Both may be used in combination. When used in combination, the ratio is not particularly limited. Note that (A-1) used in the examples has a structure satisfying the general formula (1-1).

本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物の(A)光重合開始剤は、ヘキサアリールビイミダゾール化合物以外のその他の光重合性開始剤を含有していてもよい。 The photopolymerization initiator (A) of the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention may contain other photopolymerization initiators other than the hexaarylbiimidazole compound.

その他の光重合開始剤としては、この分野で通常用いられている光重合開始剤を使用することができる。このような光重合開始剤としては、例えば、アシルホスフィンオキサイド系光ラジカル開始剤、オキシム系光ラジカル開始剤、トリアジン系光ラジカル開始剤、アセトフェノン系光ラジカル開始剤、ベンゾフェノン系光ラジカル開始剤、ヒドロキシベンゼン系光ラジカル開始剤、チオキサントン系光ラジカル開始剤、アントラキノン系光ラジカル開始剤、ケタール系光ラジカル開始剤、チタノセン系光ラジカル開始剤、ハロゲン化炭化水素誘導体系光ラジカル開始剤、有機硼素酸塩系光ラジカル開始剤、オニウム塩系光ラジカル開始剤、スルホン化合物系光ラジカル開始剤、カルバミン酸誘導体系光ラジカル開始剤、スルホンアミド系光ラジカル開始剤、トリアリールメタノール系光ラジカル開始剤が挙げられる。 As the other photopolymerization initiator, a photopolymerization initiator usually used in this field can be used. Examples of such photopolymerization initiators include acylphosphine oxide-based photoradical initiators, oxime-based photoradical initiators, triazine-based photoradical initiators, acetophenone-based photoradical initiators, benzophenone-based photoradical initiators, and hydroxy. Benzene-based photoinitiator, thioxanthone-based photoinitiator, anthraquinone-based photoradical initiator, ketal-based photoradical initiator, titanosen-based photoradical initiator, halogenated hydrocarbon derivative-based photoradical initiator, organic boronic acid salt Examples thereof include system photoradical initiators, onium salt-based photoradical initiators, sulfone compound-based photoradical initiators, carbamate derivative-based photoradical initiators, sulfonamide-based photoradical initiators, and triarylmethanol-based photoradical initiators. ..

アシルホスフィンオキサイド系光ラジカル開始剤としては、例えば、下記に示す化合物を挙げることができる。 Examples of the acylphosphine oxide-based photoradical initiator include the compounds shown below.

Figure 2021120946
Figure 2021120946

(上記構造式中、Meはメチル基を示す。)
上記化合物のなかではビスアシルホスフィンオキサイド誘導体が好ましく、より好ましくはビスアシルフェニルホスフィンオキサイド誘導体であり、最も好ましいのは長波長に吸収領域をもつ(a−1)に示す化合物である。
(In the above structural formula, Me represents a methyl group.)
Among the above compounds, a bisacylphosphine oxide derivative is preferable, a bisacylphenylphosphine oxide derivative is more preferable, and the compound shown in (a-1) having an absorption region at a long wavelength is most preferable.

オキシム系光ラジカル開始剤としては、特表2004−534797号公報、特開2000−80068号公報、特開2006−36750号公報、特開2008−179611号公報、特表2012−526185号公報、特表2012−519191号公報等に記載されているオキシムエステル化合物が挙げられる。中でも感度の観点からN−アセトキシ−N−{4−アセトキシイミノ−4−[9−エチル−6−(o−トルオイル)−9H−カルバゾール−3−イル]ブタン−2−イル}アセトアミド、N−アセトキシ−N−{3−(アセトキシイミノ)−3−[9−エチル−6−(1−ナフトイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−メチルプロピル}アセトアミド、4−アセトキシイミノ−5−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−5−オキソペンタン酸メチルが、また製品名として、OXE−01、OXE−02(BASF社製)、TR−PBG−304、TR−PBG−305(常州強力電子新材料社製)、NCI−831、NCI−930(ADEKA社製)等を好ましいものとして挙げることができる。 Examples of the oxime-based photoinitiator include JP-A-2004-534797, JP-A-2000-80068, JP-A-2006-36750, JP-A-2008-179611, JP-A-2012-526185, and JP-A-2012-526185. Examples thereof include oxime ester compounds described in Table 2012-591191. Among them, from the viewpoint of sensitivity, N-acetoxy-N- {4-acetoxyimino-4- [9-ethyl-6- (o-toluoil) -9H-carbazole-3-yl] butane-2-yl} acetamide, N- Acetoxy-N- {3- (acetoxyimino) -3- [9-ethyl-6- (1-naphthoyl) -9H-carbazole-3-yl] -1-methylpropyl} acetamide, 4-acetoxyimino-5- [9-Ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3-yl] -methyl 5-oxopentanoate is also available as product names such as OXE-01, OXE-02 (manufactured by BASF), TR. -PBG-304, TR-PBG-305 (manufactured by Changshu Powerful Electronics New Materials Co., Ltd.), NCI-831, NCI-930 (manufactured by ADEKA) and the like can be mentioned as preferable ones.

トリアジン系光ラジカル開始剤としては、感度の観点から2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシカルボニルナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等を好ましいものとして挙げることができる。 As triazine-based photoradical initiators, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine and 2- (4-methoxynaphthyl) -4,6-bis are used from the viewpoint of sensitivity. (Trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxycarbonylnaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine and the like can be mentioned as preferable ones.

アセトフェノン系光ラジカル開始剤としては、例えば、2,2−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、1−ヒドロキシ−1−(p−ドデシルフェニル)ケトン、1−ヒドロキシ−1−メチルエチル−(p−イソプロピルフェニル)ケトン、1−トリクロロメチル−(p−ブチルフェニル)ケトン、α−ヒドロキシ−2−メチルフェニルプロパノン、及びαーアミノアセトフェノン等が、また、ベンゾフェノン系光ラジカル開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、2−メチルベンゾフェノン、3−メチルベンゾフェノン、4−メチルベンゾフェノン、2−カルボキシベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、4−ブロモベンゾフェノン、ミヒラーケトン等が、また、ヒドロキシベンゼン系光ラジカル開始剤としては、例えば、2−ヒドロキシ−4−n−オクトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−ベンジルベンゾフェノン、2−(2−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、4−ジ−t−ブチルフェニル−3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンゾエート等が、また、チオキサントン系光ラジカル開始剤としては、例えば、チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン等が、また、アントラキノン系光ラジカル開始剤としては、例えば、2−メチルアントラキノン等が、また、ケタール系光ラジカル開始剤としては、例えば、ベンジルジメチルケタール等が、それぞれ挙げられる。 Examples of the acetophenone-based photoinitiator include 2,2-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, and 1-hydroxy-1- (p-dodecylphenyl) ketone. , 1-Hydroxy-1-methylethyl- (p-isopropylphenyl) ketone, 1-trichloromethyl- (p-butylphenyl) ketone, α-hydroxy-2-methylphenylpropanone, α-aminoacetophenone, etc. Examples of the benzophenone-based photoinitiator include benzophenone, 2-methylbenzophenone, 3-methylbenzophenone, 4-methylbenzophenone, 2-carboxybenzophenone, 2-chlorobenzophenone, 4-bromobenzophenone, and Michler ketone. As the hydroxybenzene-based photoinitiator, for example, 2-hydroxy-4-n-octoxybenzophenone, 2-hydroxy-4-benzylbenzophenone, 2- (2-hydroxy-5-methylphenyl) benzotriazole, 4 -Di-t-butylphenyl-3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzoate and the like, and examples of the thioxanthone-based photoinitiator are thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, and the like. 2,4-Dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone and the like, and examples of the anthraquinone-based photoradical initiator include 2-methylanthraquinone and the like. Examples of the ketal-based photoinitiator include benzyldimethyl ketal and the like.

チタノセン系光ラジカル開始剤としては、例えば、ジシクロペンタジエニルチタニウムジクロライド、ジシクロペンタジエニルチタニウムビスフェニル、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,4−ジフルオロフェニル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,6−ジフルオロフェニル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,4,6−トリフルオロフェニル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,3,5,6−テトラフルオロフェニル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニル)、ジ(メチルシクロペンタジエニル)チタニウムビス(2,6−ジフルオロフェニル)、ジ(メチルシクロペンタジエニル)チタニウムビス(2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス〔2,6−ジフルオロ−3−(1−ピロリル)フェニル〕等が挙げられる。中でも、感度の観点からジシクロペンタジエニル構造とビスフェニル構造を有するチタン化合物が好ましく、ビスフェニル環のo−位がハロゲン原子で置換されたものが特に好ましい。 Examples of the titanosen-based photoinitiator include dicyclopentadienyltitanium dichloride, dicyclopentadienyltitanium bisphenyl, dicyclopentadienyltitanium bis (2,4-difluorophenyl), and dicyclopentadienyltitanium. Bis (2,6-difluorophenyl), dicyclopentadienyltitanium bis (2,4,6-trifluorophenyl), dicyclopentadienyltitanium bis (2,3,5,6-tetrafluorophenyl), Dicyclopentadienyl Titanium bis (2,3,4,5,6-pentafluorophenyl), di (methylcyclopentadienyl) Titanium bis (2,6-difluorophenyl), di (methylcyclopentadienyl) Examples thereof include titanium bis (2,3,4,5,6-pentafluorophenyl) and dicyclopentadienyl titanium bis [2,6-difluoro-3- (1-pyrrolill) phenyl]. Among them, a titanium compound having a dicyclopentadienyl structure and a bisphenyl structure is preferable from the viewpoint of sensitivity, and a compound in which the o-position of the bisphenyl ring is substituted with a halogen atom is particularly preferable.

ハロゲン化炭化水素誘導体系光ラジカル開始剤としては、ハロメチル化s−トリアジン誘導体類が挙げられ、例えば、2,4,6−トリス(モノクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(ジクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−n−プロピル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(α,α,β−トリクロロエチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(3,4−エポキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−クロロフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔1−(p−メトキシフェニル)−2,4−ブタジエニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−スチリル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシ−m−ヒドロキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−i−プロピルオキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−トリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−エトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−エトキシカルボニルナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニルチオ−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ベンジルチオ−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(ジブロモメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(トリブロモメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリブロモメチル)−s−トリアジン、2−メトキシ−4,6−ビス(トリブロモメチル)−s−トリアジン等のハロメチル化s−トリアジン誘導体類が挙げられ、中でも感度の観点から、ビス(トリハロメチル)−s−トリアジン類が好ましい。 Examples of the halogenated hydrocarbon derivative-based photoradical initiator include halomethylated s-triazine derivatives, for example, 2,4,6-tris (monochromomethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (1,4,6-tris). Dichloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-n-propyl-4, 6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (α, α, β-trichloroethyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloro) Methyl) -s-triazine, 2- (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (3,4-epoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2- (p-chlorophenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [1- (p-methoxyphenyl) -2,4-butadienyl] -4,6- Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-styryl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine , 2- (p-methoxy-m-hydroxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (pi-propyloxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl)- s-triazine, 2- (p-tolyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2 -(P-ethoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-ethoxycarbonylnaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-phenylthio- 4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-benzylthio-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (dibromomethyl) -s-triazine, 2, 4,6-Tris (tribromomethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (tribromomethyl) -s-triazine, 2-methoxy-4,6-bis (tribromomethyl) -s -Halomethylated s-triazine derivatives such as triazine can be mentioned, and among them, from the viewpoint of sensitivity, bi Su (trihalomethyl) -s-triazines are preferred.

また、有機硼素酸塩系光ラジカル開始剤としては、例えば、有機硼素アンモニウム錯体、有機硼素ホスホニウム錯体、有機硼素スルホニウム錯体、有機硼素オキソスルホニウム錯体、有機硼素ヨードニウム錯体、有機硼素遷移金属配位錯体等が挙げられ、その有機硼素アニオンとしては、例えば、n−ブチル−トリフェニル硼素アニオン、n−ブチル−トリス(2,4,6−トリメチルフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(p−メトキシフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(p−フルオロフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(m−フルオロフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(3−フルオロ−4−メチルフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(2,6−ジフルオロフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(2,4,6−トリフルオロフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(p−クロロフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(2,6−ジフルオロ−3−ピロリルフェニル)硼素アニオン等のアルキル−トリフェニル硼素アニオンが感度の観点から好ましく、又、対カチオンとしては、アンモニウムカチオン、ホスホニウムカチオン、スルホニウムカチオン、ヨードニウムカチオン等のオニウム化合物が感度の観点から好ましく、テトラアルキルアンモニウム等の有機アンモニウムカチオンが感度の観点から特に好ましい。 Examples of the organic boronic acid salt-based photoradical initiator include an organic boron ammonium complex, an organic boron phosphonium complex, an organic boron sulfonium complex, an organic boron oxosulfonium complex, an organic boron iodonium complex, and an organic boron transition metal coordination complex. Examples of the organic boron anion include n-butyl-triphenylborone anion, n-butyl-tris (2,4,6-trimethylphenyl) boron anion, and n-butyl-tris (p-methoxyphenyl). ) Borone anion, n-butyl-tris (p-fluorophenyl) boron anion, n-butyl-tris (m-fluorophenyl) boron anion, n-butyl-tris (3-fluoro-4-methylphenyl) boron anion, n-butyl-tris (2,6-difluorophenyl) boron anion, n-butyl-tris (2,4,6-trifluorophenyl) boron anion, n-butyl-tris (2,3,4,5,6) Alkyl-triphenylborone anion such as −pentafluorophenyl) boron anion, n-butyl-tris (p-chlorophenyl) boron anion, n-butyl-tris (2,6-difluoro-3-pyrrolylphenyl) boron anion As the counter cation, an onium compound such as an ammonium cation, a phosphonium cation, a sulfonium cation, and an iodonium cation is preferable from the viewpoint of sensitivity, and an organic ammonium cation such as tetraalkylammonium is particularly preferable from the viewpoint of sensitivity. ..

また、オニウム塩系光ラジカル開始剤としては、例えば、テトラメチルアンモニウムブロマイド、テトラエチルアンモニウムブロマイド等のアンモニウム塩、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ジフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、ジフェニルヨードニウムp−トルエンスルホネート、ジフェニルヨードニウムカンファースルホネート、ジシクロヘキシルヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ジシクロヘキシルヨードニウムテトラフルオロボレート、ジシクロヘキシルヨードニウムp−トルエンスルホネート、ジシクロヘキシルヨードニウムカンファースルホネート等のヨードニウム塩、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリフェニルスルホニウムテトラフルオロボレート、トリフェニルスルホニウムp−トルエンスルホネート、トリフェニルスルホニウムカンファースルホネート、トリシクロヘキシルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリシクロヘキシルスルホニウムテトラフルオロボレート、トリシクロヘキシルスルホニウムp−トルエンスルホネート、トリシクロヘキシルスルホニウムカンファースルホネート等のスルホニウム塩等が挙げられる。 Examples of the onium salt-based photoradical initiator include ammonium salts such as tetramethylammonium bromide and tetraethylammonium bromide, diphenyliodonium hexafluoroarsenate, diphenyliodonium tetrafluoroborate, diphenyliodonium p-toluenesulfonate, and diphenyliodonium camphor. Iodonium salts such as sulfonate, dicyclohexyliodonium hexafluoroarsenate, dicyclohexyliodonium tetrafluoroborate, dicyclohexyliodonium p-toluenesulfonate, dicyclohexyliodonium camphorsulfonate, triphenylsulfonium hexafluoroarsenate, triphenylsulfonium tetrafluoroborate, triphenylsulfonium p -Sulfonium salts such as toluene sulfonate, triphenyl sulfonium camphor sulfonate, tricyclohexyl sulfonium hexafluoroarsenate, tricyclohexyl sulfonium tetrafluoroborate, tricyclohexyl sulfonium p-toluene sulfonate, tricyclohexyl sulfonium camphor sulfonate and the like can be mentioned.

また、スルホン化合物系光ラジカル開始剤としては、例えば、ビス(フェニルスルホニル)メタン、ビス(p−ヒドロキシフェニルスルホニル)メタン、ビス(p−メトキシフェニルスルホニル)メタン、ビス(α−ナフチルスルホニル)メタン、ビス(β−ナフチルスルホニル)メタン、ビス(シクロヘキシルスルホニル)メタン、ビス(t−ブチルスルホニル)メタン、フェニルスルホニル(シクロヘキシルスルホニル)メタン等のビス(スルホニル)メタン化合物、フェニルカルボニル(フェニルスルホニル)メタン、ナフチルカルボニル(フェニルスルホニル)メタン、フェニルカルボニル(ナフチルスルホニル)メタン、シクロヘキシルカルボニル(フェニルスルホニル)メタン、t−ブチルカルボニル(フェニルスルホニル)メタン、フェニルカルボニル(シクロヘキシルスルホニル)メタン、フェニルカルボニル(t−ブチルカルボニル)メタン等のカルボニル(スルホニル)メタン化合物、ビス(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(p−ヒドロキシフェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(p−メトキシフェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(α−ナフチルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(β−ナフチルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(t−ブチルスルホニル)ジアゾメタン、フェニルスルホニル(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(スルホニル)ジアゾメタン化合物、フェニルカルボニル(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、ナフチルカルボニル(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、フェニルカルボニル(ナフチルスルホニル)ジアゾメタン、シクロヘキシルカルボニル(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、t−ブチルカルボニル(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、フェニルカルボニル(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、フェニルカルボニル(t−ブチルカルボニル)ジアゾメタン等のカルボニル(スルホニル)ジアゾメタン化合物等が挙げられる。 Examples of the sulfonyl compound-based photoradical initiator include bis (phenylsulfonyl) methane, bis (p-hydroxyphenylsulfonyl) methane, bis (p-methoxyphenylsulfonyl) methane, and bis (α-naphthylsulfonyl) methane. Bis (sulfonyl) methane compounds such as bis (β-naphthylsulfonyl) methane, bis (cyclohexylsulfonyl) methane, bis (t-butylsulfonyl) methane, phenylsulfonyl (cyclohexylsulfonyl) methane, phenylcarbonyl (phenylsulfonyl) methane, naphthyl Carbonyl (phenylsulfonyl) methane, phenylcarbonyl (naphthylsulfonyl) methane, cyclohexylcarbonyl (phenylsulfonyl) methane, t-butylcarbonyl (phenylsulfonyl) methane, phenylcarbonyl (cyclohexylsulfonyl) methane, phenylcarbonyl (t-butylcarbonyl) methane Carbonyl (sulfonyl) methane compounds such as bis (phenylsulfonyl) diazomethane, bis (p-hydroxyphenylsulfonyl) diazomethane, bis (p-methoxyphenylsulfonyl) diazomethane, bis (α-naphthylsulfonyl) diazomethane, bis (β-naphthyl) Sulfonyl) diazomethane, bis (cyclohexylsulfonyl) diazomethane, bis (t-butylsulfonyl) diazomethane, phenylsulfonyl (cyclohexylsulfonyl) diazomethane, bis (sulfonyl) diazomethane compound, phenylcarbonyl (phenylsulfonyl) diazomethane, naphthylcarbonyl (phenylsulfonyl) diazomethane , Phenylcarbonyl (naphthylsulfonyl) diazomethane, cyclohexylcarbonyl (phenylsulfonyl) diazomethane, t-butylcarbonyl (phenylsulfonyl) diazomethane, phenylcarbonyl (cyclohexylsulfonyl) diazomethane, phenylcarbonyl (t-butylcarbonyl) diazomethane and other carbonyl (sulfonyl) Examples include diazomethane compounds.

また、カルバミン酸誘導体系光ラジカル開始剤としては、例えば、ベンゾイルシクロヘキシルカルバメート、2−ニトロベンジルシクロヘキシルカルバメート、3,5−ジメトキシベンジルシクロヘキシルカルバメート、3−ニトロフェニルシクロヘキシルカルバメート等が、又、そのスルホンアミド系光ラジカル開始剤としては、例えば、N−シクロヘキシル−4−メチルフェニルスルホンアミド、N−シクロヘキシル−2−ナフチルスルホンアミド等が、又、そのトリアリールメタノール系光ラジカル開始剤としては、例えば、トリフェニルメタノール、トリ(4−クロロフェニル)メタノール等が、それぞれ挙げられる。 Examples of the carbamate derivative-based photoinitiator include benzoylcyclohexylcarbamate, 2-nitrobenzylcyclohexylcarbamate, 3,5-dimethoxybenzylcyclohexylcarbamate, 3-nitrophenylcyclohexylcarbamate, and the like. Examples of the photoradical initiator include N-cyclohexyl-4-methylphenylsulfone amide and N-cyclohexyl-2-naphthylsulfonamide, and examples of the triarylmethanol-based photoradical initiator thereof include triphenyl. Examples thereof include methanol, tri (4-chlorophenyl) methanol and the like.

これらの光重合開始剤は、感光性樹脂組成物中にその1種が単独で含まれていてもよく、2種以上が含まれていてもよい。ヘキサアリールビイミダゾール化合物を2種以上用いてもよいし、その他の光重合開始剤を2種以上用いてもよい。 One of these photopolymerization initiators may be contained alone in the photosensitive resin composition, or two or more of these photopolymerization initiators may be contained. Two or more kinds of hexaarylbiimidazole compounds may be used, and two or more kinds of other photopolymerization initiators may be used.

本発明の感光性樹脂組成物中の(A)光重合開始剤の含有割合としては、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常0.01質量%以上、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、さらに好ましくは1質量%以上、特に好ましくは2質量%以上であり、通常25質量%以下、好ましくは10質量%以下、より好ましくは8質量%以下、さらに好ましくは5質量%以下、特に好ましくは4質量%以下である。前記下限値以上とすることで表面が十分に硬化し、テーパー角度が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすること内部硬化性が抑制され、テーパー角度が高くなる傾向がある。 The content ratio of the (A) photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 0.01% by mass or more, preferably 0.1% by mass, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. % Or more, more preferably 0.5% by mass or more, still more preferably 1% by mass or more, particularly preferably 2% by mass or more, and usually 25% by mass or less, preferably 10% by mass or less, more preferably 8% by mass. Hereinafter, it is more preferably 5% by mass or less, and particularly preferably 4% by mass or less. When it is set to the lower limit value or more, the surface is sufficiently hardened and the taper angle tends to be high, and when it is set to the upper limit value or less, the internal curability is suppressed and the taper angle tends to be high.

本発明の感光性樹脂組成物中のヘキサアリールビイミダゾール化合物の含有割合は特に限定されないが、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常25質量%以下、好ましくは10質量%以下、より好ましくは8質量%以下、さらに好ましくは5質量%以下、特に好ましくは4質量%以下であり、また、通常0.01質量%以上、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、さらに好ましくは1質量%以上、特に好ましくは2質量%以上である。前記下限値以上とすることで表面が十分に硬化し、テーパー角度が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで内部硬化性が抑制され、テーパー角度が高くなる傾向がある。 The content ratio of the hexaarylbiimidazole compound in the photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited, but is usually 25% by mass or less, preferably 10% by mass or less, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. It is more preferably 8% by mass or less, further preferably 5% by mass or less, particularly preferably 4% by mass or less, and usually 0.01% by mass or more, preferably 0.1% by mass or more, more preferably 0% by mass. It is 5% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, and particularly preferably 2% by mass or more. When it is set to the lower limit value or more, the surface is sufficiently hardened and the taper angle tends to be high, and when it is set to the upper limit value or less, the internal curability is suppressed and the taper angle tends to be high.

また、感光性樹脂組成物中の(B)エチレン性不飽和化合物に対する(A)光重合開始剤の配合比としては、(B)エチレン性不飽和化合物100質量部に対して、1質量部以上が好ましく、2質量部以上がより好ましく、4質量部以上がさらに好ましく、また、200質量部以下が好ましく、100質量部以上がより好ましく、50質量部以下がさらに好ましく、20質量部以下がよりさらに好ましく、10質量部以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで表面が十分に硬化し、テーパー角度が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで内部硬化性が抑制され、テーパー角度が高くなる傾向がある。 The compounding ratio of the (A) photopolymerization initiator to the (B) ethylenically unsaturated compound in the photosensitive resin composition is 1 part by mass or more with respect to 100 parts by mass of the (B) ethylenically unsaturated compound. Is preferable, 2 parts by mass or more is more preferable, 4 parts by mass or more is further preferable, 200 parts by mass or less is preferable, 100 parts by mass or more is more preferable, 50 parts by mass or less is further preferable, and 20 parts by mass or less is more preferable. More preferably, 10 parts by mass or less is particularly preferable. When it is set to the lower limit value or more, the surface is sufficiently hardened and the taper angle tends to be high, and when it is set to the upper limit value or less, the internal curability is suppressed and the taper angle tends to be high.

[1−1−2](B)成分;エチレン性不飽和化合物
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(B)エチレン性不飽和化合物を含有する。(B)エチレン性不飽和化合物を含むことで、高感度となると考えられる。
ここで使用されるエチレン性不飽和化合物としては、エチレン性不飽和結合を分子内に1個以上有する化合物を意味するが、重合性、架橋性、およびそれに伴う露光部と非露光部の現像液溶解性の差異を拡大できる等の点から、エチレン性不飽和結合を分子内に2個以上有する化合物であることが好ましく、また、その不飽和結合は(メタ)アクリロイルオキシ基に由来するもの、つまり、(メタ)アクリレート化合物であることがさらに好ましい。
[1-1-2] Component (B); Ethylene Unsaturated Compound The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention contains (B) an ethylenically unsaturated compound. (B) It is considered that the sensitivity becomes high by containing the ethylenically unsaturated compound.
The ethylenically unsaturated compound used here means a compound having one or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule, but it is polymerizable, crosslinkable, and a developing solution for exposed and non-exposed parts. A compound having two or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule is preferable from the viewpoint of expanding the difference in solubility, and the unsaturated bond is derived from a (meth) acryloyloxy group. That is, it is more preferably a (meth) acrylate compound.

本発明においては、特に、1分子中にエチレン性不飽和結合を2個以上有する多官能エチレン性単量体を使用することが望ましい。多官能エチレン性単量体が有するエチレン性不飽和基の数は特に限定されないが、通常2個以上、好ましくは3個以上、より好ましくは4個以上であり、また、好ましくは15個以下、より好ましくは10個以下である。前記下限値以上とすることで重合性が向上して高感度となる傾向があり、前記上限値以下とすることで現像性がより良好となる傾向がある。
多官能エチレン性単量体の例としては、例えば脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル;芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル;脂肪族ポリヒドロキシ化合物、芳香族ポリヒドロキシ化合物等の多価ヒドロキシ化合物と、不飽和カルボン酸及び多塩基性カルボン酸とのエステル化反応により得られるエステルなどが挙げられる。
In the present invention, it is particularly desirable to use a polyfunctional ethylenic monomer having two or more ethylenically unsaturated bonds in one molecule. The number of ethylenically unsaturated groups contained in the polyfunctional ethylenic monomer is not particularly limited, but is usually 2 or more, preferably 3 or more, more preferably 4 or more, and preferably 15 or less. More preferably, the number is 10 or less. When it is set to the lower limit value or more, the polymerizable property tends to be improved and the sensitivity tends to be high, and when it is set to the upper limit value or less, the developability tends to be improved.
Examples of polyfunctional ethylenic monomers include, for example, esters of aliphatic polyhydroxy compounds and unsaturated carboxylic acids; esters of aromatic polyhydroxy compounds and unsaturated carboxylic acids; aliphatic polyhydroxy compounds, aromatic polys. Examples thereof include an ester obtained by an esterification reaction between a polyvalent hydroxy compound such as a hydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid and a polybasic carboxylic acid.

前記脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルとしては、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、グリセロールアクリレート等の脂肪族ポリヒドロキシ化合物のアクリル酸エステル、これら例示化合物のアクリレートをメタクリレートに代えたメタクリル酸エステル、同様にイタコネートに代えたイタコン酸エステル、クロネートに代えたクロトン酸エステルもしくはマレエートに代えたマレイン酸エステル等が挙げられる。 Examples of the ester of the aliphatic polyhydroxy compound and the unsaturated carboxylic acid include ethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, trimethyl propantriacrylate, trimethylol ethanetriacrylate, pentaerythritol diacrylate, and pentaerythritol triacrylate. Acrylic acid esters of aliphatic polyhydroxy compounds such as pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and glycerol acrylate, and methacrylic acid esters in which the acrylates of these exemplified compounds are replaced with methacrylates. Similarly, an itaconic acid ester in place of itaconate, a crotonic acid ester in place of clonate, a maleic acid ester in place of maleate, and the like can be mentioned.

芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルとしては、ハイドロキノンジアクリレート、ハイドロキノンジメタクリレート、レゾルシンジアクリレート、レゾルシンジメタクリレート、ピロガロールトリアクリレート等の芳香族ポリヒドロキシ化合物のアクリル酸エステル及びメタクリル酸エステル等が挙げられる。
多塩基性カルボン酸及び不飽和カルボン酸と、多価ヒドロキシ化合物のエステル化反応により得られるエステルとしては必ずしも単一物ではないが、代表的な具体例を挙げれば、アクリル酸、フタル酸、及びエチレングリコールの縮合物、アクリル酸、マレイン酸、及びジエチレングリコールの縮合物、メタクリル酸、テレフタル酸及びペンタエリスリトールの縮合物、アクリル酸、アジピン酸、ブタンジオール及びグリセリンの縮合物等が挙げられる。
Examples of the ester of the aromatic polyhydroxy compound and the unsaturated carboxylic acid include an acrylic acid ester and a methacrylic acid ester of an aromatic polyhydroxy compound such as hydroquinone diacrylate, hydroquinone dimethacrylate, resorcin diacrylate, resorcin dimethacrylate, and pyrogallol triacrylate. And so on.
The ester obtained by the esterification reaction of a polybasic carboxylic acid and an unsaturated carboxylic acid with a polyvalent hydroxy compound is not necessarily a single ester, but typical specific examples include acrylic acid, phthalic acid, and Examples thereof include a condensate of ethylene glycol, a condensate of acrylic acid, maleic acid and diethylene glycol, a condensate of methacrylic acid, terephthalic acid and pentaerythritol, a condensate of acrylic acid, adipic acid, butanediol and glycerin.

その他、本発明に用いられる多官能エチレン性単量体の例としては、ポリイソシアネート化合物と水酸基含有(メタ)アクリル酸エステル又はポリイソシアネート化合物とポリオール及び水酸基含有(メタ)アクリル酸エステルを反応させて得られるようなウレタン(メタ)アクリレート類;多価エポキシ化合物とヒドロキシ(メタ)アクリレート又は(メタ)アクリル酸との付加反応物のようなエポキシアクリレート類;エチレンビスアクリルアミド等のアクリルアミド類;フタル酸ジアリル等のアリルエステル類;ジビニルフタレート等のビニル基含有化合物等が有用である。
上記ウレタン(メタ)アクリレート類としては、例えば、DPHA−40H、UX−5000、UX−5002D−P20、UX−5003D、UX−5005(日本化薬社製)、U−2PPA、U−6LPA、U−10PA、U−33H、UA−53H、UA−32P、UA−1100H(新中村化学工業社製)、UA−306H、UA−510H、UF−8001G(協栄社化学社製)、UV−1700B、UV−7600B、UV−7605B、UV−7630B、UV7640B(日本合成化学社製)等が挙げられる。
In addition, as an example of the polyfunctional ethylenic monomer used in the present invention, a polyisocyanate compound and a hydroxyl group-containing (meth) acrylic acid ester or a polyisocyanate compound and a polyol and a hydroxyl group-containing (meth) acrylic acid ester are reacted. Urethane (meth) acrylates as obtained; epoxy acrylates such as an addition reaction product of a polyvalent epoxy compound and hydroxy (meth) acrylate or (meth) acrylic acid; acrylamides such as ethylenebisacrylamide; diallyl phthalate Allyl esters such as; vinyl group-containing compounds such as divinyl phthalate are useful.
Examples of the urethane (meth) acrylates include DPHA-40H, UX-5000, UX-5002D-P20, UX-5003D, UX-5005 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), U-2PPA, U-6LPA, U. -10PA, U-33H, UA-53H, UA-32P, UA-1100H (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd.), UA-306H, UA-510H, UF-8001G (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), UV-1700B , UV-7600B, UV-7605B, UV-7630B, UV7640B (manufactured by Nippon Kayaku Chemical Co., Ltd.) and the like.

これらの中でも、適正なテーパー角度と感度の観点から(B)エチレン性不飽和化合物として、エステル(メタ)アクリレート類又はウレタン(メタ)アクリレート類を用いることが好ましく、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、2−トリスアクリロイロキシメチルエチルフタル酸、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートの二塩基酸無水物付加物、ペンタエリスリトールトリアクリレートの二塩基酸無水物付加物等を用いることがより好ましい。
これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
Among these, ester (meth) acrylates or urethane (meth) acrylates are preferably used as the (B) ethylenically unsaturated compound from the viewpoint of an appropriate taper angle and sensitivity, and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate. , Dipentaerythritol penta (meth) acrylate, 2-trisacryloyloxymethylethylphthalic acid, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol triacrylate, dibasic acid anhydride adduct of dipentaerythritol pentaacrylate, pentaerythritol triacrylate It is more preferable to use a dibasic acid anhydride additive or the like.
One of these may be used alone, or two or more thereof may be used in combination.

本発明において、(B)エチレン性不飽和化合物の分子量は特に限定されないが、感度、撥液性、テーパー角度の観点から、好ましくは100以上、より好ましくは150以上で、さらに好ましくは200以上、よりさらに好ましくは300以上、特に好ましくは400以上、最も好ましくは500以上であり、好ましくは1000以下、より好ましくは700以下である。また、(B)エチレン性不飽和化合物の炭素数は特に限定されないが、感度、撥液性、テーパー角度の観点から、好ましくは7以上、より好ましくは10以上、さらに好ましくは15以上、よりさらに好ましくは20以上、特に好ましくは25以上であり、好ましくは50以下、より好ましくは40以下、さらに好ましくは35以下、特に好ましくは30以下である。
また、感度、撥液性、テーパー角度の観点から、エステル(メタ)アクリレート類、エポキシ(メタ)アクリレート類、およびウレタン(メタ)アクリレート類が好ましく、中でも、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートなど4官能以上のエステル(メタ)アクリレート類、2−トリスアクリロイロキシメチルエチルフタル酸、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートの二塩基酸無水物付加物等の4官能以上のエステル(メタ)アクリレート類への酸無水物の付加物が、感度、撥液性、テーパー角度の面でさらに好ましい。
In the present invention, the molecular weight of the (B) ethylenically unsaturated compound is not particularly limited, but is preferably 100 or more, more preferably 150 or more, still more preferably 200 or more, from the viewpoint of sensitivity, liquid repellency, and taper angle. It is even more preferably 300 or more, particularly preferably 400 or more, most preferably 500 or more, preferably 1000 or less, and even more preferably 700 or less. The carbon number of the (B) ethylenically unsaturated compound is not particularly limited, but is preferably 7 or more, more preferably 10 or more, still more preferably 15 or more, and even more, from the viewpoint of sensitivity, liquid repellency, and taper angle. It is preferably 20 or more, particularly preferably 25 or more, preferably 50 or less, more preferably 40 or less, still more preferably 35 or less, and particularly preferably 30 or less.
From the viewpoints of sensitivity, liquid repellency, and taper angle, ester (meth) acrylates, epoxy (meth) acrylates, and urethane (meth) acrylates are preferable, and among them, pentaerythritol tetraacrylate and dipentaerythritol hexa ( Meta) acrylates, dipentaerythritol penta (meth) acrylates and other tetrafunctional ester (meth) acrylates, 2-trisacryloyloxymethylethylphthalic acid, dipentaerythritol pentaacrylate dibasic acid anhydride adducts, etc. Additives of acid anhydrides to tetrafunctional or higher functional ester (meth) acrylates are more preferred in terms of sensitivity, liquid repellency and taper angle.

本発明の感光性樹脂組成物中の(B)エチレン性不飽和化合物の含有割合は、全固形分に対して通常10質量%以上、好ましくは20質量%以上、より好ましくは30質量%以上、さらに好ましくは40質量%以上、通常80質量%以下、好ましくは70質量%以下、より好ましくは60質量%以下、さらに好ましくは55質量%以下である。前記下限値以上とすることで露光時の感度やテーパー角度が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることで現像性やテーパー角度が良好となる傾向がある。 The content ratio of the (B) ethylenically unsaturated compound in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 10% by mass or more, preferably 20% by mass or more, more preferably 30% by mass or more, based on the total solid content. It is more preferably 40% by mass or more, usually 80% by mass or less, preferably 70% by mass or less, more preferably 60% by mass or less, still more preferably 55% by mass or less. When it is set to the lower limit value or more, the sensitivity and the taper angle at the time of exposure tend to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the developability and the taper angle tend to be improved.

また、(C)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対する(B)エチレン性不飽和化合物の含有割合は、通常15質量部以上、好ましくは30質量部以上、より好ましくは50質量部以上、さらに好ましくは80質量部以上、特に好ましくは100質量部以上、通常150質量部以下、好ましくは140質量部以下、より好ましくは130質量部以下、さらに好ましくは125質量部以下であることが好ましい。前記上限値以下とすることでテーパー角度が良好となり、有機EL素子としたときの電極の断線の発生を抑制できる傾向があり、前記下限値以上とすることで露光時に感度が良好となり、テーパー角度が良好となる傾向がある。 The content ratio of (B) ethylenically unsaturated compound to 100 parts by mass of (C) alkali-soluble resin is usually 15 parts by mass or more, preferably 30 parts by mass or more, more preferably 50 parts by mass or more, still more preferably 80 parts by mass. It is preferably parts by mass or more, particularly preferably 100 parts by mass or more, usually 150 parts by mass or less, preferably 140 parts by mass or less, more preferably 130 parts by mass or less, still more preferably 125 parts by mass or less. When it is set to the upper limit value or less, the taper angle becomes good, and there is a tendency that the occurrence of electrode disconnection when the organic EL element is used. Tends to be good.

[1−1−3](C)成分;アルカリ可溶性樹脂
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(C)アルカリ可溶性樹脂を含有する。本発明において、アルカリ可溶性樹脂としては現像液で現像可能なものであれば特に限定されないが、現像液としてはアルカリ現像液が好ましいため、本発明においてはアルカリ可溶性樹脂を用いる。アルカリ可溶性樹脂としては、カルボキシル基又は水酸基含有の各種樹脂などが挙げられる。中でも、適度なテーパー角度の隔壁が得られること及び隔壁の熱溶融による流出が抑えられ撥液性を保持できることなどより、カルボキシル基を有するのが好ましく、エチレン性不飽和基を有するものであることがより好ましい。
以下に、(C−1)カルボキシル基含有(共)重合体、(C−2)側鎖にエチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有(共)重合体、(C−3)カルボキシル基及びエチレン性不飽和基含有樹脂について詳述する。
[1-1-3] Component (C); Alkali-soluble resin The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention contains (C) an alkali-soluble resin. In the present invention, the alkali-soluble resin is not particularly limited as long as it can be developed with a developing solution, but since an alkali developing solution is preferable as the developing solution, an alkali-soluble resin is used in the present invention. Examples of the alkali-soluble resin include various resins containing a carboxyl group or a hydroxyl group. Among them, it is preferable to have a carboxyl group and to have an ethylenically unsaturated group because a partition wall having an appropriate taper angle can be obtained and the outflow of the partition wall due to thermal melting can be suppressed and the liquid repellency can be maintained. Is more preferable.
The following are (C-1) carboxyl group-containing (co) polymer, (C-2) carboxyl group-containing (co) polymer having an ethylenically unsaturated group in the side chain, (C-3) carboxyl group and ethylene. The sex unsaturated group-containing resin will be described in detail.

[1−1−3−a](C−1)カルボキシル基含有(共)重合体
[1−1−3−a−1]カルボキシル基含有(共)重合体(1)
カルボキシル基含有(共)重合体の代表的なものとしては、具体的には、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、シトラコン酸などの不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、ヒドロキシスチレンなどのスチレン類、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、ドデシル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ヒドロキシメチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、N,N−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、N−(メタ)アクリロイルモルホリンなどの(メタ)アクリル酸エステル類、(メタ)アクリロニトリルなどの(メタ)アクリロニトリル類、(メタ)アクリルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリルアミドなどの(メタ)アクリルアミド類、酢酸ビニルなどのビニル化合物類、などとの共重合体が挙げられる。
[1-1-3-a] (C-1) Carboxyl group-containing (co) polymer [1-1-3-a-1] Carboxyl group-containing (co) polymer (1)
Specific examples of the carboxyl group-containing (co) polymer include non-residuals such as (meth) acrylic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid, maleic anhydride, itaconic acid, and citraconic acid. Saturated carboxylic acid and styrenes such as styrene, α-methylstyrene and hydroxystyrene, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, hexyl (Meta) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, adamantyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, hydroxymethyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) (Meta) acrylates, glycidyl (meth) acrylates, benzyl (meth) acrylates, N, N-dimethylaminoethyl (meth) acrylates, (meth) acrylic acid esters such as N- (meth) acryloylmorpholine, (meth) acrylonitrile, etc. (Meta) acrylonitriles, (meth) acrylamide, N-methylol (meth) acrylamide, N, N-dimethyl (meth) acrylamide, N, N-dimethylaminoethyl (meth) acrylamide and other (meth) acrylamides, acetic acid Examples thereof include copolymers with vinyl compounds such as vinyl.

これらの中で、感度の観点から、(メタ)アクリレート−(メタ)アクリル酸共重合体、スチレン−(メタ)アクリレート−(メタ)アクリル酸共重合体が好ましい。そして、(メタ)アクリレート−(メタ)アクリル酸共重合体においては、(メタ)アクリレート5〜80モル%と、(メタ)アクリル酸20〜95モル%とからなる共重合体が更に好ましく、(メタ)アクリレート10〜70モル%と、(メタ)アクリル酸30〜90モル%とからなる共重合体が特に好ましい。また、スチレン−(メタ)アクリレート−(メタ)アクリル酸共重合体においては、スチレン3〜60モル%、(メタ)アクリレート10〜70モル%、(メタ)アクリル酸10〜60モル%からなる共重合体がさらに好ましく、スチレン5〜50モル%、(メタ)アクリレート20〜60モル%、(メタ)アクリル酸15〜55モル%からなる共重合体が特に好ましい。 Among these, (meth) acrylate- (meth) acrylic acid copolymer and styrene- (meth) acrylate- (meth) acrylic acid copolymer are preferable from the viewpoint of sensitivity. In the (meth) acrylate- (meth) acrylic acid copolymer, a copolymer composed of 5 to 80 mol% of (meth) acrylate and 20 to 95 mol% of (meth) acrylic acid is more preferable. A copolymer composed of 10 to 70 mol% of meta) acrylate and 30 to 90 mol% of (meth) acrylic acid is particularly preferable. The styrene- (meth) acrylate- (meth) acrylic acid copolymer is composed of 3 to 60 mol% of styrene, 10 to 70 mol% of (meth) acrylate, and 10 to 60 mol% of (meth) acrylic acid. Polymers are more preferred, and copolymers consisting of 5-50 mol% styrene, 20-60 mol% (meth) acrylates, and 15-55 mol% (meth) acrylic acid are particularly preferred.

[1−1−3−a−2]カルボキシル基含有(共)重合体(2)
また、前記の不飽和カルボン酸に代えて、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートに多塩基酸(無水物)を付加させた化合物と、前記のスチレン類、(メタ)アクリル酸エステル類、(メタ)アクリロニトリル類、(メタ)アクリルアミド類、ビニル化合物類、などとの共重合体が挙げられる。
[1-1-3-a-2] Carboxyl group-containing (co) polymer (2)
Further, instead of the unsaturated carboxylic acid, a compound obtained by adding a polybasic acid (anhydrous) to hydroxyalkyl (meth) acrylate, and the above-mentioned styrenes, (meth) acrylic acid esters, and (meth) acrylonitrile. Examples include copolymers with (meth) acrylamides, vinyl compounds, and the like.

そのヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートとしては、ヒドロキシメチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレートなどが挙げられ、また、多塩基酸(無水物)としては、コハク酸(無水物)、アジピン酸(無水物)、フタル酸(無水物)、テトラヒドロフタル酸(無水物)、ヘキサヒドロフタル酸(無水物)、マレイン酸(無水物)などが挙げられ、両者の反応化合物としては、コハク酸〔2−(メタ)アクリロイルエチル〕エステル、アジピン酸〔2−(メタ)アクリロイルエチル〕エステル、フタル酸〔2−(メタ)アクリロイルエチル〕エステル、ヘキサヒドロフタル酸〔2−(メタ)アクリロイルエチル〕エステル、マレイン酸〔2−(メタ)アクリロイルエチル〕エステル、コハク酸〔2−(メタ)アクリロイルプロピル〕エステル、アジピン酸〔2−(メタ)アクリロイルプロピル〕エステル、フタル酸〔2−(メタ)アクリロイルプロピル〕エステル、ヘキサヒドロフタル酸〔2−(メタ)アクリロイルプロピル〕エステル、マレイン酸〔2−(メタ)アクリロイルプロピル〕エステル、コハク酸〔2−(メタ)アクリロイルブチル〕エステル、アジピン酸〔2−(メタ)アクリロイルブチル〕エステル、フタル酸〔2−(メタ)アクリロイルブチル〕エステル、ヘキサヒドロフタル酸〔2−(メタ)アクリロイルブチル〕エステル、マレイン酸〔2−(メタ)アクリロイルブチル〕エステルなどが挙げられる。 Examples of the hydroxyalkyl (meth) acrylate include hydroxymethyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, and hydroxybutyl (meth) acrylate, and examples of the polybasic acid (anhydrous) include succinic acid (succinic acid (meth) acrylate). (Esters), adipic acid (anhydrous), phthalic acid (anhydrous), tetrahydrophthalic acid (anhydrous), hexahydrophthalic acid (anhydrous), maleic acid (anhydrous), etc. Examples include succinic acid [2- (meth) acryloyl ethyl] ester, adipic acid [2- (meth) acryloyl ethyl] ester, phthalic acid [2- (meth) acryloyl ethyl] ester, and hexahydrophthalic acid [2-( Meta) acryloyl ethyl] ester, maleic acid [2- (meth) acryloyl ethyl] ester, succinic acid [2- (meth) acryloyl propyl] ester, adipic acid [2- (meth) acryloyl propyl] ester, phthalic acid [2 -(Meta) acryloylpropyl] ester, hexahydrophthalic acid [2- (meth) acryloylpropyl] ester, maleic acid [2- (meth) acryloylpropyl] ester, succinic acid [2- (meth) acryloylbutyl] ester, Adiponic acid [2- (meth) acryloyl butyl] ester, phthalic acid [2- (meth) acryloyl butyl] ester, hexahydrophthalic acid [2- (meth) acryloyl butyl] ester, maleic acid [2- (meth) acryloyl] Butyl] ester and the like can be mentioned.

これらのカルボキシル基含有(共)重合体は、現像溶解性の観点から、酸価が50〜500mg・KOH/gであることが好ましく、現像溶解性の観点から、ポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が1,000〜300,000であるのが好ましい。 From the viewpoint of development solubility, these carboxyl group-containing (co) polymers preferably have an acid value of 50 to 500 mg · KOH / g, and from the viewpoint of development solubility, the polystyrene-equivalent weight average molecular weight (Mw). ) Is preferably 1,000 to 300,000.

[1−1−3−b](C−2)側鎖にエチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有(共)重合体
[1−1−3−b−1]不飽和カルボン酸と2種以上のエチレン性不飽和基を有する化合物との共重合体
側鎖にエチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有(共)重合体として、例えば、アリル(メタ)アクリレート、3−アリルオキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、シンナミル(メタ)アクリレート、クロトニル(メタ)アクリレート、メタリル(メタ)アクリレート、N,N−ジアリル(メタ)アクリルアミドなどの2種以上のエチレン性不飽和基を有する化合物、または、ビニル(メタ)アクリレート、1−クロロビニル(メタ)アクリレート、2−フェニルビニル(メタ)アクリレート、1−プロペニル(メタ)アクリレート、ビニルクロトネート、ビニル(メタ)アクリルアミドなどの2種以上のエチレ性不飽和基を有する化合物と、(メタ)アクリル酸などの不飽和カルボン酸、またはさらに不飽和カルボン酸エステルなどとを、前者のエチレン性不飽和基を有する化合物の全体に占める割合を10〜90モル%、好ましくは30〜80モル%程度となるように共重合させて得られた共重合体などが挙げられる。
[1-1-3-b] (C-2) A carboxyl group-containing (co) polymer having an ethylenically unsaturated group in the side chain [1-1-3-b-1] Unsaturated carboxylic acid and two types Copolymer with the above compound having an ethylenically unsaturated group As a carboxyl group-containing (co) polymer having an ethylenically unsaturated group in the side chain, for example, allyl (meth) acrylate, 3-allyloxy-2-hydroxy. Compounds having two or more ethylenically unsaturated groups such as propyl (meth) acrylate, cinnamyl (meth) acrylate, crotonyl (meth) acrylate, metharyl (meth) acrylate, N, N-diallyl (meth) acrylamide, or Two or more unsaturated non-ethyles such as vinyl (meth) acrylate, 1-chlorovinyl (meth) acrylate, 2-phenylvinyl (meth) acrylate, 1-propenyl (meth) acrylate, vinyl crotonate, vinyl (meth) acrylamide The ratio of the compound having a saturated group, an unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid, or an unsaturated carboxylic acid ester to the total of the former compound having an ethylenically unsaturated group is 10 to 90 mol. %, preferably a copolymer obtained by copolymerizing so as to be about 30 to 80 mol%.

なお、この不飽和カルボン酸と2種以上のエチレン性不飽和基を有する化合物との共重合体の酸価は、現像溶解性の観点から、好ましくは30〜250mg・KOH/gであり、重量平均分子量(Mw)は、現像溶解性の観点から、好ましくは1,000〜300,000である。 The acid value of the copolymer of this unsaturated carboxylic acid and the compound having two or more ethylenically unsaturated groups is preferably 30 to 250 mg · KOH / g from the viewpoint of development solubility, and the weight. The average molecular weight (Mw) is preferably 1,000 to 300,000 from the viewpoint of development solubility.

[1−1−3−b−2]エポキシ基含有不飽和化合物変性カルボキシル基含有(共)重合体
また、側鎖にエチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有(共)重合体として、例えば、カルボキシル基含有(共)重合体に、エポキシ基含有不飽和化合物を反応させて、カルボキシル基含有(共)重合体のカルボキシル基の一部にエポキシ基含有不飽和化合物のエポキシ基を付加させて変性した変性カルボキシル基含有(共)重合体が挙げられる。
そのカルボキシル基含有(共)重合体としては、感度の観点から、前述したカルボキシル基含有(共)重合体の(メタ)アクリレート−(メタ)アクリル酸共重合体、及び、スチレン−(メタ)アクリレート−(メタ)アクリル酸共重合体などが好ましい。
また、そのエポキシ基含有不飽和化合物としては、アリルグリシジルエーテル、グリシジル(メタ)アクリレート、α−エチルグリシジル(メタ)アクリレート、グリシジルクロトネート、グリシジルイソクロトネート、クロトニルグリシジルエーテル、イタコン酸モノアルキルモノグリシジルエステル、フマル酸モノアルキルモノグリシジルエステル、マレイン酸モルアルキルモノグリシジルエステルなどの脂肪族エポキシ基含有不飽和化合物、および、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、2,3−エポキシシクロペンチルメチル(メタ)アクリレート、7,8−エポキシ〔トリシクロ[5.2.1.0]デシ−2−イル〕オキシエチル(メタ)アクリレートなどの脂環式エポキシ基含有不飽和化合物が挙げられる。
そして、これらのエポキシ基含有不飽和化合物を、カルボキシル基含有(共)重合体の有するカルボキシル基の5〜90モル%、好ましくは30〜70モル%程度を反応させることにより得られる。なお、反応は公知の方法により実施することができる。
[1-1-3-b-2] Epoxide group-containing unsaturated compound Modified carboxyl group-containing (co) polymer Further, as a carboxyl group-containing (co) polymer having an ethylenically unsaturated group in the side chain, for example, An epoxy group-containing unsaturated compound is reacted with a carboxyl group-containing (co) polymer, and an epoxy group of an epoxy group-containing unsaturated compound is added to a part of the carboxyl groups of the carboxyl group-containing (co) polymer to modify it. Examples thereof include modified carboxyl group-containing (co) polymers.
The carboxyl group-containing (co) copolymer includes the (meth) acrylate- (meth) acrylic acid copolymer of the above-mentioned carboxyl group-containing (co) polymer and styrene- (meth) acrylate from the viewpoint of sensitivity. -A (meth) acrylic acid copolymer or the like is preferable.
The epoxy group-containing unsaturated compounds include allyl glycidyl ether, glycidyl (meth) acrylate, α-ethyl glycidyl (meth) acrylate, glycidyl crotonate, glycidyl isocrotonate, crotonyl glycidyl ether, and monoalkyl monoalkyl itaconate. Unsaturated compounds containing aliphatic epoxy groups such as glycidyl ester, monoalkyl monoglycidyl ester of fumaric acid, molalkyl monoglycidyl ester of maleic acid, and 3,4-epoxide cyclohexylmethyl (meth) acrylate, 2,3-epoxide cyclopentylmethyl. Examples thereof include alicyclic epoxy group-containing unsaturated compounds such as (meth) acrylate and 7,8-epoxide [tricyclo [5.2.1.0] deci-2-yl] oxyethyl (meth) acrylate.
Then, it is obtained by reacting these epoxy group-containing unsaturated compounds with 5 to 90 mol%, preferably about 30 to 70 mol% of the carboxyl groups of the carboxyl group-containing (co) polymer. The reaction can be carried out by a known method.

なお、このエポキシ基含有不飽和化合物変性カルボキシル基含有(共)重合体の酸価は、現像性の観点から、好ましくは30〜250mg・KOH/gであり、現像性の観点から、重量平均分子量(Mw)は、好ましくは1,000〜300,000である。 The acid value of this epoxy group-containing unsaturated compound-modified carboxyl group-containing (co) polymer is preferably 30 to 250 mg · KOH / g from the viewpoint of developability, and the weight average molecular weight from the viewpoint of developability. (Mw) is preferably 1,000 to 300,000.

[1−1−3−b−3]不飽和カルボン酸変性エポキシ基およびカルボキシル基含有(共)重合体
また、側鎖にエチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有(共)重合体として、例えば、(メタ)アクリル酸などの不飽和カルボン酸と、前述の脂肪族エポキシ基含有不飽和化合物または脂環式エポキシ基含有不飽和化合物、またはさらに不飽和カルボン酸エステルやスチレンなどとを、前者のカルボキシル基含有不飽和化合物の全体に占める割合を10〜90モル%、好ましくは30〜80モル%程度となるように共重合させて得られた共重合体に、(メタ)アクリル酸などの不飽和カルボン酸を反応させて、該共重合体のエポキシ基に不飽和カルボン酸のカルボキシル基を付加させて変性した変性エポキシ基およびカルボキシル基含有(共)重合体が挙げられる。
[1-1-3-b-3] Unsaturated carboxylic acid-modified epoxy group and carboxyl group-containing (co) polymer Further, as a carboxyl group-containing (co) polymer having an ethylenically unsaturated group in the side chain, for example. , (Meta) acrylic acid and other unsaturated carboxylic acids, and the above-mentioned aliphatic epoxy group-containing unsaturated compounds or alicyclic epoxy group-containing unsaturated compounds, or further unsaturated carboxylic acid esters, styrene, etc. The copolymer obtained by copolymerizing the carboxyl group-containing unsaturated compound so as to account for 10 to 90 mol%, preferably about 30 to 80 mol%, in an unsaturated compound such as (meth) acrylic acid. Examples thereof include a modified epoxy group modified by reacting a saturated carboxylic acid and adding a carboxyl group of an unsaturated carboxylic acid to the epoxy group of the copolymer, and a carboxyl group-containing (co) polymer.

なお、この不飽和カルボン酸変性エポキシ基およびカルボキシル基含有(共)重合体の酸価は、現像性の観点から、好ましくは30〜250mg・KOH/gであり、現像性の観点から、重量平均分子量(Mw)は、好ましくは1,000〜300,000である。 The acid value of the unsaturated carboxylic acid-modified epoxy group and the carboxyl group-containing (co) polymer is preferably 30 to 250 mg · KOH / g from the viewpoint of developability, and is weight average from the viewpoint of developability. The molecular weight (Mw) is preferably 1,000 to 300,000.

[1−1−3−b−4]酸変性エポキシ基含有(共)重合体
また、側鎖にエチレン性不飽和基を有するカルボキシル基含有(共)重合体として、エポキシ基含有(メタ)アクリレートとエチレン性不飽和化合物との共重合体に対し、該共重合体が有するエポキシ基の少なくとも一部にエチレン性不飽和モノカルボン酸を付加し、さらに付加により生じた水酸基の少なくとも一部に多塩基酸(無水物)を付加して得られる酸変性エポキシ基含有(共)重合体が挙げられる。
具体的には、グリシジル(メタ)アクリレートなどのエポキシ基含有(メタ)アクリレート5〜99モル%と、(メタ)アクリル酸エステルなどのエチレン性不飽和化合物通常2〜95モル%との共重合体を、共重合体に含まれるエポキシ基の通常10〜100モル%に、エチレン性不飽和モノカルボン酸を付加し、さらに付加したときに生成する水酸基の通常10〜100モル%に、多塩基酸(無水物)を付加して得られる酸変性エポキシ基含有(共)重合体が挙げられる。
[1-1-3-b-4] Acid-modified epoxy group-containing (co) polymer Also, as a carboxyl group-containing (co) polymer having an ethylenically unsaturated group in the side chain, an epoxy group-containing (meth) acrylate To a copolymer of an ethylenically unsaturated compound and an ethylenically unsaturated compound, an ethylenically unsaturated monocarboxylic acid is added to at least a part of the epoxy group of the copolymer, and a large amount is added to at least a part of the hydroxyl groups generated by the addition. Examples thereof include an acid-modified epoxy group-containing (co) polymer obtained by adding a basic acid (anhydrous).
Specifically, a copolymer of 5 to 99 mol% of an epoxy group-containing (meth) acrylate such as glycidyl (meth) acrylate and 2 to 95 mol% of an ethylenically unsaturated compound such as a (meth) acrylic acid ester. Is added to an ethylenically unsaturated monocarboxylic acid in an amount of usually 10 to 100 mol% of the epoxy group contained in the copolymer, and a polybasic acid is added to an amount of usually 10 to 100 mol% of the hydroxyl group generated when the ethylenically unsaturated monocarboxylic acid is further added. Examples thereof include an acid-modified epoxy group-containing (co) polymer obtained by adding (anhydrous).

ここで、前記共重合体におけるエポキシ基含有(メタ)アクリレートの共重合割合は特に限定されないが、通常5モル%以上、好ましくは20モル%以上、より好ましくは40モル%以上、さらに好ましくは60モル%以上、よりさらに好ましくは80モル%以上、特に好ましくは90モル%以上であり、通常99モル%以下、好ましくは98モル%以下、より好ましくは95モル%以下である。前記下限値以上とすることで高感度となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで適度な現像溶解性となる傾向がある。
一方、前記共重合体におけるエチレン性不飽和化合物の共重合割合は特に限定されないが、通常1モル%以上、好ましくは3モル%以上、より好ましくは5モル%以上であり、通常90モル%以下、好ましくは70モル%以下、より好ましくは50モル%以下、さらに好ましくは30モル%以下、特に好ましくは10モル%以下である。前記下限値以上とすることで高感度となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで適度な現像溶解性となる傾向がある。
Here, the copolymerization ratio of the epoxy group-containing (meth) acrylate in the copolymer is not particularly limited, but is usually 5 mol% or more, preferably 20 mol% or more, more preferably 40 mol% or more, still more preferably 60. It is mol% or more, more preferably 80 mol% or more, particularly preferably 90 mol% or more, and usually 99 mol% or less, preferably 98 mol% or less, more preferably 95 mol% or less. When it is set to the lower limit value or more, the sensitivity tends to be high, and when it is set to the upper limit value or less, the developing solubility tends to be appropriate.
On the other hand, the copolymerization ratio of the ethylenically unsaturated compound in the copolymer is not particularly limited, but is usually 1 mol% or more, preferably 3 mol% or more, more preferably 5 mol% or more, and usually 90 mol% or less. It is preferably 70 mol% or less, more preferably 50 mol% or less, still more preferably 30 mol% or less, and particularly preferably 10 mol% or less. When it is set to the lower limit value or more, the sensitivity tends to be high, and when it is set to the upper limit value or less, the developing solubility tends to be appropriate.

エポキシ基含有(メタ)アクリレートとしては、グリシジル(メタ)アクリレート、α−エチルグリシジル(メタ)アクリレートなどの脂肪族エポキシ基含有(メタ)アクリレート;3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、2,3−エポキシシクロペンチルメチル(メタ)アクリレート、7,8−エポキシ〔トリシクロ[5.2.1.0]デシ−2−イル〕オキシエチル(メタ)アクリレートなどの脂環式エポキシ基含有(メタ)アクリレートが挙げられる。 Examples of the epoxy group-containing (meth) acrylate include aliphatic epoxy group-containing (meth) acrylates such as glycidyl (meth) acrylate and α-ethylglycidyl (meth) acrylate; 3,4-epoxide cyclohexylmethyl (meth) acrylate, 2, Alicyclic epoxy group-containing (meth) acrylates such as 3-epoxide cyclopentylmethyl (meth) acrylate and 7,8-epoxide [tricyclo [5.2.1.0] deci-2-yl] oxyethyl (meth) acrylate Can be mentioned.

ここで、エチレン性不飽和化合物としては、例えば、下記式(II)で表される部分構造を有するモノ(メタ)アクリレートの1種または2種以上を用いることが好ましい。 Here, as the ethylenically unsaturated compound, for example, it is preferable to use one or more mono (meth) acrylates having a partial structure represented by the following formula (II).

Figure 2021120946
Figure 2021120946

式(II)中、R1d〜R4dは、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜10のアルキル基を表し、R5d及びR6dは、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜10のアルキル基を表す。また、R5dとR6dとは連結して環を形成していてもよい。R5dとR6dとが連結して形成される環は、好ましくは脂肪族環であり、飽和又は不飽和の何れでもよく、該環の炭素数は好ましくは5〜6である。 In formula (II), R 1d to R 4d independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and R 5d and R 6d independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, respectively. Represents the alkyl group of. Further, R 5d and R 6d may be connected to form a ring. The ring formed by connecting R 5d and R 6d is preferably an aliphatic ring, which may be saturated or unsaturated, and the number of carbon atoms in the ring is preferably 5 to 6.

1d〜R4dにおけるアルキル基の炭素数は通常1以上であり、通常10以下、好ましくは8以下、より好ましくは5以下である。前記上限値以下とすることで適切な現像溶解性となる傾向がある。
これらの中でも、溶解性の観点から、R1d〜R4dは水素原子であることが好ましい。
The number of carbon atoms of the alkyl group in R 1d to R 4d is usually 1 or more, usually 10 or less, preferably 8 or less, and more preferably 5 or less. When it is set to the upper limit or less, the development solubility tends to be appropriate.
Among these, from the viewpoint of solubility, R 1d to R 4d are preferably hydrogen atoms.

5d及びR6dにおけるアルキル基の炭素数は通常1以上であり、また、通常10以下、好ましくは8以下、より好ましくは5以下である。前記下限値以上とすることで適切な溶解性を示す傾向があり、また、前記上限値以下とすることで親水性が保持される傾向がある。
これらの中でも、現像溶解性の観点から、R5d及びR6dが水素原子であるか、R5dとR6dとが連結して炭素数5〜6の脂肪族環を形成していることが好ましい。
The number of carbon atoms of the alkyl group in R 5d and R 6d is usually 1 or more, and usually 10 or less, preferably 8 or less, and more preferably 5 or less. When it is at least the above lower limit value, it tends to show appropriate solubility, and when it is at least the above upper limit value, it tends to maintain hydrophilicity.
Among these, from the viewpoint of development solubility, it is preferable that R 5d and R 6d are hydrogen atoms, or that R 5d and R 6d are linked to form an aliphatic ring having 5 to 6 carbon atoms. ..

上記式(II)の中では、下記式(IIa)、(IIb)、または(IIc)で表される構造を有するモノ(メタ)アクリレートが好ましい。これらの部分構造を導入することによって、モノ(メタ)アクリレートの耐熱性や強度を増すことが可能である。なお、これらのモノ(メタ)アクリレートは、1種を用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせおよび比率で併用してもよい。 Among the above formulas (II), mono (meth) acrylates having a structure represented by the following formulas (IIa), (IIb), or (IIc) are preferable. By introducing these partial structures, it is possible to increase the heat resistance and strength of the mono (meth) acrylate. As these mono (meth) acrylates, one type may be used, or two or more types may be used in combination in any combination and ratio.

Figure 2021120946
Figure 2021120946

前記の式(II)で表される部分構造を有するモノ(メタ)アクリレートとしては、公知の各種のものが使用できるが、硬化性の観点から、特に次の式(III)で表されるものが好ましい。 As the mono (meth) acrylate having a partial structure represented by the above formula (II), various known mono (meth) acrylates can be used, but from the viewpoint of curability, those represented by the following formula (III) in particular. Is preferable.

Figure 2021120946
Figure 2021120946

式(III)中、R9dは水素原子又はメチル基を表し、R10dは前記式(II)の部分構造を表す。
前記式(II)で表される部分構造を有するモノ(メタ)アクリレートを含有する場合、その共重合割合は、通常1モル%以上、好ましくは2モル%以上、また、通常、70モル%以下、好ましくは50モル%以下、より好ましくは30モル%以下、さらに好ましくは10モル%以下、特に好ましくは5モル%以下である。前記下限値以上とすることで残膜率が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が少なくなる傾向がある。
In formula (III), R 9d represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 10d represents a partial structure of the formula (II).
When a mono (meth) acrylate having a partial structure represented by the formula (II) is contained, the copolymerization ratio thereof is usually 1 mol% or more, preferably 2 mol% or more, and usually 70 mol% or less. It is preferably 50 mol% or less, more preferably 30 mol% or less, still more preferably 10 mol% or less, and particularly preferably 5 mol% or less. When it is set to the lower limit value or more, the residual film ratio tends to be high, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

一方で、エチレン性不飽和化合物としては、上述した式(II)で表される部分構造を有するモノ(メタ)アクリレート以外のエチレン性不飽和化合物(以下、「その他のエチレン性不飽和化合物」と称することがある)、例えば、スチレンのα−、o−、m−、p−アルキル、ニトロ、シアノ、アミド、エステル誘導体などのスチレン類、ブタジエン、2,3−ジメチルブタジエン、イソプレン、クロロプレンなどのジエン類、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸−n−プロピル、(メタ)アクリル酸−iso−プロピル、(メタ)アクリル酸−n−ブチル、(メタ)アクリル酸−sec−ブチル、(メタ)アクリル酸−tert−ブチル、(メタ)アクリル酸ペンチル、(メタ)アクリル酸ネオペンチル、(メタ)アクリル酸イソアミル、(メタ)アクリル酸ヘキシル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸ラウリル、(メタ)アクリル酸ドデシル、(メタ)アクリル酸シクロペンチル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸2−メチルシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸ジシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸イソボロニル、(メタ)アクリル酸アダマンチル、(メタ)アクリル酸アリル、(メタ)アクリル酸プロパギル、(メタ)アクリル酸フェニル、(メタ)アクリル酸ナフチル、(メタ)アクリル酸アントラセニル、(メタ)アクリル酸アントラニノニル、(メタ)アクリル酸ピペロニル、(メタ)アクリル酸サリチル、(メタ)アクリル酸フリル、(メタ)アクリル酸フルフリル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフリル、(メタ)アクリル酸ピラニル、(メタ)アクリル酸ベンジル、(メタ)アクリル酸フェネチル、(メタ)アクリル酸クレジル、(メタ)アクリル酸−1,1,1−トリフルオロエチル、(メタ)アクリル酸パーフルオルエチル、(メタ)アクリル酸パーフルオロ−n−プロピル、(メタ)アクリル酸パーフルオロ−iso−プロピル、(メタ)アクリル酸トリフェニルメチル、(メタ)アクリル酸クミル、(メタ)アクリル酸3−(N,N−ジメチルアミノ)プロピル、(メタ)アクリル酸−2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸−2−ヒドロキシプロピルなどの(メタ)アクリル酸エステル類、(メタ)アクリル酸アミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジメチルアミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジエチルアミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジプロピルアミド、(メタ)アクリル酸N,N−ジ−iso−プロピルアミド、(メタ)アクリル酸アントラセニルアミドなどの(メタ)アクリル酸アミド類、(メタ)アクリル酸アニリド、(メタ)アクリロイルニトリル、アクロレイン、塩化ビニル、塩化ビニリデン、フッ化ビニル、フッ化ビニリデン、N−ビニルピロリドン、ビニルピリジン、酢酸ビニルなどのビニル化合物類、シトラコン酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチルなどの不飽和ジカルボン酸ジエステル類、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ラウリルマレイミド、N−(4−ヒドロキシフェニル)マレイミドなどのモノマレイミド類、N−(メタ)アクリロイルフタルイミドなどのようなラジカル重合性化合物も挙げられる。 On the other hand, as the ethylenically unsaturated compound, an ethylenically unsaturated compound other than mono (meth) acrylate having a partial structure represented by the above-mentioned formula (II) (hereinafter, "other ethylenically unsaturated compound") is used. (Sometimes referred to as), for example, styrenes such as α-, o-, m-, p-alkyl, nitro, cyano, amide, ester derivatives of styrene, butadiene, 2,3-dimethylbutadiene, isoprene, chloroprene and the like. Dienes, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, -n-propyl (meth) acrylate, -iso-propyl (meth) acrylate, -n-butyl (meth) acrylate, (meth) Acrylic acid-sec-butyl, (meth) acrylate-tert-butyl, (meth) acrylate pentyl, (meth) acrylate neopentyl, (meth) acrylate isoamyl, (meth) acrylate hexyl, (meth) acrylate 2-ethylhexyl, lauryl (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, cyclopentyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, 2-methylcyclohexyl (meth) acrylate, dicyclohexyl (meth) acrylate, ( Isobolonyl acrylate, (meth) adamantyl acrylate, allyl (meth) acrylate, propagil (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, naphthyl (meth) acrylate, anthracelyl (meth) acrylate, (meth) ) Anthraninonyl acrylate, (meth) piperonyl acrylate, (meth) salicyl acrylate, (meth) acrylate frill, (meth) acrylate flufuryl, (meth) acrylate tetrahydrofuryl, (meth) acrylate pyranyl, Benzyl (meth) acrylate, phenethyl (meth) acrylate, cresyl (meth) acrylate, -1,1,1-trifluoroethyl (meth) acrylate, perfluorethyl (meth) acrylate, (meth) Perfluoro-n-propyl acrylate, perfluoro-iso-propyl (meth) acrylate, triphenylmethyl (meth) acrylate, cumyl (meth) acrylate, 3- (N, N-dimethyl) (meth) acrylate (Meta) acrylates such as amino) propyl, -2-hydroxyethyl (meth) acrylate, -2-hydroxypropyl (meth) acrylate, (meth) acrylate amide, (meth) acrylate N, N -Dimethylamide, (meth) acrylic (Meta) such as acid N, N-diethylamide, (meth) acrylic acid N, N-dipropylamide, (meth) acrylic acid N, N-di-iso-propylamide, (meth) acrylic acid anthracenylamide. Acrylic acid amides, (meth) acrylic acid anilide, (meth) acryloylnitrile, acrolein, vinyl chloride, vinylidene chloride, vinyl fluoride, vinylidene fluoride, N-vinylpyrrolidone, vinylpyridine, vinyl acetate and other vinyl compounds, Unsaturated dicarboxylic acid diesters such as diethyl citraconate, diethyl maleate, diethyl fumarate, diethyl itacone, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-laurylmaleimide, N- (4-hydroxyphenyl) maleimide and the like. Radical polymerizable compounds such as monomaleimides, N- (meth) acryloylphthalimide and the like can also be mentioned.

これらの中でも、より優れた耐熱性および強度を付与させるためには、その他のエチレン性不飽和化合物としては、スチレン、ベンジル(メタ)アクリレートおよびモノマレイミドから選択された少なくとも1種を使用することが有効である。この場合、耐熱性の観点から、スチレン、ベンジル(メタ)アクリレートおよびモノマレイミドから選択された少なくとも1種の共重合割合は、通常1モル%以上、好ましくは3モル%以上、また、通常、70モル%以下、好ましくは50モル%以下、より好ましくは30モル%以下、さらに好ましくは10モル%以下である。 Among these, in order to impart better heat resistance and strength, at least one selected from styrene, benzyl (meth) acrylate and monomaleimide may be used as the other ethylenically unsaturated compound. It is valid. In this case, from the viewpoint of heat resistance, the copolymerization ratio of at least one selected from styrene, benzyl (meth) acrylate and monomaleimide is usually 1 mol% or more, preferably 3 mol% or more, and usually 70. It is mol% or less, preferably 50 mol% or less, more preferably 30 mol% or less, still more preferably 10 mol% or less.

エポキシ基含有(メタ)アクリレートとエチレン性不飽和化合物との共重合体に含まれるエポキシ基に付加させるエチレン性不飽和モノカルボン酸としては、公知のものを使用することができ、硬化性の観点から、(メタ)アクリル酸が好ましい。前記共重合体に含まれるエポキシ基にエチレン性不飽和モノカルボン酸を付加させる量は、該共重合体に含まれるエポキシ基の通常10モル%以上、好ましくは30モル%以上、より好ましくは50モル%以上であり、さらに好ましくは70モル%以上であり、通常100モル%以下である。エチレン性不飽和モノカルボン酸の付加割合を前記下限値以上とすることで、硬化性を高めることができる傾向がある。なお、前記共重合体にエチレン性不飽和モノカルボン酸を付加させる方法としては公知の方法を採用することができる。 As the ethylenically unsaturated monocarboxylic acid to be added to the epoxy group contained in the copolymer of the epoxy group-containing (meth) acrylate and the ethylenically unsaturated compound, known ones can be used, and from the viewpoint of curability. Therefore, (meth) acrylic acid is preferable. The amount of the ethylenically unsaturated monocarboxylic acid added to the epoxy group contained in the copolymer is usually 10 mol% or more, preferably 30 mol% or more, more preferably 50 mol% or more of the epoxy group contained in the copolymer. It is mol% or more, more preferably 70 mol% or more, and usually 100 mol% or less. By setting the addition ratio of the ethylenically unsaturated monocarboxylic acid to the above lower limit value or more, the curability tends to be improved. A known method can be adopted as a method for adding an ethylenically unsaturated monocarboxylic acid to the copolymer.

前記共重合体にエチレン性不飽和モノカルボン酸を付加させたときに生成する水酸基に付加させる多塩基酸(無水物)としては、特に限定されず公知のものを用いることができ、例えば、フタル酸(無水物)、テトラヒドロフタル酸(無水物)、ヘキサヒドロフタル酸(無水物)、コハク酸(無水物)、トリメリット酸(無水物)等が挙げられる。アウトガス低減の観点からはコハク酸(無水物)が好ましく、一方で、残膜率向上と残渣低減の観点からは、テトラヒドロフタル酸(無水物)が好ましい。多塩基酸(無水物)は1種を単独で用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせおよび比率で併用してもよい。このような成分を付加させることにより、共重合体にアルカリ可溶性を付与することができる。 The polybasic acid (anhydride) to be added to the hydroxyl group generated when the ethylenically unsaturated monocarboxylic acid is added to the copolymer is not particularly limited, and known ones can be used, for example, phthalic acid. Examples thereof include acid (anhydride), tetrahydrophthalic acid (anhydride), hexahydrophthalic acid (anhydride), succinic acid (anhydride), trimellitic acid (anhydride) and the like. From the viewpoint of reducing outgas, succinic acid (anhydride) is preferable, while from the viewpoint of improving the residual film ratio and reducing the residue, tetrahydrophthalic acid (anhydride) is preferable. One type of polybasic acid (anhydride) may be used alone, or two or more types may be used in combination in any combination and ratio. By adding such a component, alkali solubility can be imparted to the copolymer.

多塩基酸(無水物)を付加させる量は、前記共重合体にエチレン性不飽和モノカルボン酸を付加させたときに生成する水酸基の、通常5モル%以上、好ましくは10モル%以上である。また、通常100モル%以下、好ましくは、90モル%以下、より好ましくは80モル%以下である。前記下限値以上とすることで現像性を付与できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像が進みすぎ膜溶解するのを抑制する傾向がある。なお、前記共重合体にエチレン性不飽和モノカルボン酸を付加させたときに生成する水酸基に多塩基酸(無水物)を付加させる方法としては、公知の方法を任意に採用することができる。 The amount of the polybasic acid (anhydrous) added is usually 5 mol% or more, preferably 10 mol% or more, of the hydroxyl group generated when the ethylenically unsaturated monocarboxylic acid is added to the copolymer. .. Further, it is usually 100 mol% or less, preferably 90 mol% or less, and more preferably 80 mol% or less. When it is set to the lower limit value or more, the developability tends to be imparted, and when it is set to the upper limit value or less, the development tends to proceed excessively and the film dissolution tends to be suppressed. As a method for adding a polybasic acid (anhydrous) to the hydroxyl group generated when the ethylenically unsaturated monocarboxylic acid is added to the copolymer, a known method can be arbitrarily adopted.

以上のエポキシ基含有(共)重合体のエチレン性不飽和モノカルボン酸および多塩基酸(無水物)による変性物には、多塩基酸(無水物)付加後に生成したカルボキシル基の一部に、グリシジル(メタ)アクリレートやエチレン不飽和基を有するグリシジルエーテル化合物を付加させることにより、さらに光感度を向上させることができる。また、多塩基酸(無水物)付加後に生成したカルボキシル基の一部にエチレン性不飽和基を有さないグリシジルエーテル化合物を付加させることにより、現像性を向上させることもできる。さらに、多塩基酸(無水物)付加後にこれらの両者を付加させてもよい。 The above-mentioned modified products of the epoxy group-containing (co) polymer with ethylenically unsaturated monocarboxylic acid and polybasic acid (anhydrous) include a part of the carboxyl groups generated after the addition of the polybasic acid (anhydrous). The photosensitivity can be further improved by adding a glycidyl (meth) acrylate or a glycidyl ether compound having an ethylene unsaturated group. Further, the developability can be improved by adding a glycidyl ether compound having no ethylenically unsaturated group to a part of the carboxyl groups generated after the addition of the polybasic acid (anhydrous). Further, both of these may be added after the addition of the polybasic acid (anhydride).

なお、上述したエポキシ基含有(共)重合体のエチレン性不飽和モノカルボン酸および多塩基酸(無水物)による変性物としては、例えば、特開平8−297366号公報や特開2001−89533号公報に記載の樹脂が挙げられる。 Examples of the modified product of the epoxy group-containing (co) polymer described above with an ethylenically unsaturated monocarboxylic acid and a polybasic acid (anhydrous) include JP-A-8-297366 and JP-A-2001-89533. Examples thereof include the resins described in the publication.

また、酸変性エポキシ基含有(共)重合体の重量平均分子量(Mw)は、特に限定されないが、通常3,000以上、好ましくは5,000以上、また、通常100,000以下、好ましくは50,000以下、より好ましくは30,000以下、さらに好ましくは20,000以下、よりさらに好ましくは15,000以下、特に好ましくは10,000以下である。前記下限値以上とすることで相溶性を向上できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで溶解性を確保できる傾向がある。また、分子量分布〔重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)〕は、硬化性の観点から、2.0〜5.0が好ましい。
また、酸変性エポキシ基含有(共)重合体の酸価は特に限定されないが、5mg・KOH/g以上が好ましく、10mg・KOH/g以上がより好ましく、20mg・KOH/g以上がさらに好ましく、また、150mg・KOH/g以下が好ましく、100mg・KOH/g以下がより好ましく、50mg・KOH/g以下がさらに好ましく。前記下限値以上とすることで溶解性を担保できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで減膜を向上させることができる傾向がある。
The weight average molecular weight (Mw) of the acid-modified epoxy group-containing (co) polymer is not particularly limited, but is usually 3,000 or more, preferably 5,000 or more, and usually 100,000 or less, preferably 50. It is 000 or less, more preferably 30,000 or less, still more preferably 20,000 or less, still more preferably 15,000 or less, and particularly preferably 10,000 or less. The compatibility tends to be improved by setting the value to the lower limit value or more, and the solubility tends to be ensured by setting the value to the upper limit value or less. The molecular weight distribution [weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)] is preferably 2.0 to 5.0 from the viewpoint of curability.
The acid value of the acid-modified epoxy group-containing (co) polymer is not particularly limited, but is preferably 5 mg · KOH / g or more, more preferably 10 mg · KOH / g or more, further preferably 20 mg · KOH / g or more. Further, 150 mg / KOH / g or less is preferable, 100 mg / KOH / g or less is more preferable, and 50 mg / KOH / g or less is further preferable. When it is at least the lower limit value, solubility tends to be ensured, and when it is at least the upper limit value, film thinning tends to be improved.

[1−1−3−c](C−3)カルボキシル基及びエチレン性不飽和基含有樹脂
[1−1−3−c−1]酸変性エポキシ樹脂
カルボキシル基およびエチレン性不飽和基含有樹脂として、例えば、エポキシ樹脂のエチレン性不飽和基モノカルボン酸付加体に、多塩基酸(無水物)が付加された、カルボキシル基およびエチレン性不飽和基含有エポキシ樹脂、つまりいわゆるエポキシ(メタ)アクリレート樹脂が挙げられる。即ち、エポキシ樹脂のエポキシ基に、エチレン性不飽和モノカルボン酸のカルボキシ基が開環付加されることにより、エポキシ樹脂にエステル結合(−COO−)を介してエチレン性不飽和結合が付加されると共に、その際生じた水酸基に、多塩基酸(無水物)の一方のカルボキシ基が付加されたものが挙げられる。
[1-1-3-c] (C-3) Carboxyl group and ethylenically unsaturated group-containing resin [1-1-3-c-1] Acid-modified epoxy resin As a carboxyl group and ethylenically unsaturated group-containing resin For example, a carboxyl group- and ethylenically unsaturated group-containing epoxy resin in which a polybasic acid (anhydrous) is added to an ethylenically unsaturated group monocarboxylic acid adduct of an epoxy resin, that is, a so-called epoxy (meth) acrylate resin. Can be mentioned. That is, by opening and adding a carboxy group of an ethylenically unsaturated monocarboxylic acid to the epoxy group of the epoxy resin, an ethylenically unsaturated bond is added to the epoxy resin via an ester bond (-COO-). At the same time, there is a case where one carboxy group of a polybasic acid (anhydrous) is added to the hydroxyl group generated at that time.

ここで、エポキシ樹脂とは、熱硬化により樹脂を形成する以前の原料化合物をも含めて言うこととし、そのエポキシ樹脂としては、公知のエポキシ樹脂の中から適宜選択して用いることができる。具体的には、例えば、ビスフェノールAエポキシ樹脂、ビスフェノールFエポキシ樹脂、ビスフェノールSエポキシ樹脂、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、ビフェニルノボラックエポキシ樹脂、トリスフェノールエポキシ樹脂、フェノールとジシクロペンタンとの重合エポキシ樹脂、ジハイドロオキシルフルオレン型エポキシ樹脂、ジハイドロオキシルアルキレンオキシルフルオレン型エポキシ樹脂、9,9−ビス(4’−ヒドロキシフェニル)フルオレンのジグリシジルエーテル化物、1,1−ビス(4’−ヒドロキシフェニル)アダマンタンのジグリシジルエーテル化物、などが挙げられる。中でも、高い硬化膜強度の観点から、ビスフェノールAエポキシ樹脂、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、フェノールとジシクロペンタジエンとの重合エポキシ樹脂、9,9−ビス(4’−ヒドロキシフェニル)フルオレンのジグリシジルエーテル化物、などが好ましく、ビスフェノールAエポキシ樹脂が更に好ましい。 Here, the epoxy resin includes a raw material compound before forming the resin by thermosetting, and the epoxy resin can be appropriately selected from known epoxy resins and used. Specifically, for example, bisphenol A epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, bisphenol S epoxy resin, phenol novolac epoxy resin, cresol novolac epoxy resin, biphenyl novolac epoxy resin, trisphenol epoxy resin, polymerization of phenol and dicyclopentane. Epoxy resin, dihydrooxylfluorene type epoxy resin, dihydrooxylalkyleneoxylfluorene type epoxy resin, 9,9-bis (4'-hydroxyphenyl) fluorene diglycidyl etherified product, 1,1-bis (4'-hydroxy) Examples thereof include a diglycidyl etherified product of phenyl) adamantan. Among them, from the viewpoint of high cured film strength, bisphenol A epoxy resin, phenol novolac epoxy resin, cresol novolac epoxy resin, polymerized epoxy resin of phenol and dicyclopentadiene, and 9,9-bis (4'-hydroxyphenyl) fluorene. Diglycidyl etherified products and the like are preferable, and bisphenol A epoxy resin is more preferable.

また、エチレン性不飽和モノカルボン酸としては、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸等、および、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート無水琥珀酸付加物、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートテトラヒドロ無水フタル酸付加物、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート無水琥珀酸付加物、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート無水フタル酸付加物、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートテトラヒドロ無水フタル酸付加物、(メタ)アクリル酸とε−カプロラクトンとの反応生成物などが挙げられる。中でも、感度の観点から、(メタ)アクリル酸が好ましい。 Examples of the ethylenically unsaturated monocarboxylic acid include (meth) acrylic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, citraconic acid and the like, and pentaerythritol tri (meth) acrylate acrylate anhydride adduct. , Pentaerythritol tri (meth) acrylate tetrahydrophthalic acid anhydride adduct, dipentaerythritol penta (meth) acrylate acrylic anhydride adduct, dipentaerythritol penta (meth) acrylate phthalic acid anhydride adduct, dipentaerythritol penta (meth) Examples thereof include acrylate tetrahydrophthalic anhydride adducts, reaction products of (meth) acrylic acid and ε-caprolactone. Of these, (meth) acrylic acid is preferable from the viewpoint of sensitivity.

また、多塩基酸(無水物)としては、例えば、琥珀酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、3−メチルテトラヒドロフタル酸、4−メチルテトラヒドロフタル酸、3−エチルテトラヒドロフタル酸、4−エチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、3−メチルヘキサヒドロフタル酸、4−メチルヘキサヒドロフタル酸、3−エチルヘキサヒドロフタル酸、4−エチルヘキサヒドロフタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、およびそれらの無水物などが挙げられる。中でも、画像再現性、現像性の観点から、コハク酸無水物、マレイン酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、またはヘキサヒドロフタル酸無水物が好ましく、コハク酸無水物又はテトラヒドロフタル酸無水物がより好ましく、コハク酸無水物が更に好ましい。 Examples of the polybasic acid (anhydrous) include amber acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, 3-methyltetrahydrophthalic acid, 4-methyltetrahydrophthalic acid, and 3-ethyltetrahydrophthalic acid. , 4-Ethyltetrahydrophthalic acid, Hexahydrophthalic acid, 3-Methylhexahydrophthalic acid, 4-Methylhexahydrophthalic acid, 3-Ethylhexahydrophthalic acid, 4-Ethylhexahydrophthalic acid, Trimellitic acid, Pyro Examples thereof include merit acid, benzophenone tetracarboxylic acid, biphenyltetracarboxylic acid, and anhydrides thereof. Among them, succinic anhydride, maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, or hexahydrophthalic anhydride is preferable, and succinic anhydride or tetrahydrophthalic anhydride is more preferable from the viewpoint of image reproducibility and developability. Preferably, succinic anhydride is more preferred.

本発明における酸変性エポキシ樹脂の酸価は特に限定されないが、10mg・KOH/g以上が好ましく、20KOH/g以上がより好ましく、30mg・KOH/g以上がさらに好ましく、また、200mg・KOH/g以下が好ましく、180mg・KOH/g以下がより好ましく、150mg・KOH/g以下がさらに好ましく、100mg・KOH/g以下がよりさらに好ましく、80mg・KOH/g以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで密着性を向上できる傾向があり、また、前記上限値以下とすること溶解性を向上できる傾向がある。
また、酸変性エポキシ樹脂の重量平均分子量(Mw)は特に限定されないが、通常1,000以上、好ましくは2,000以上、より好ましくは3,000以上、さらに好ましくは4,000以上、よりさらに好ましくは5,000以上、特に好ましくは6,000以上であり、また、通常30,000以下、好ましくは20,000以下、より好ましくは15,000以下、さらに好ましくは10,000以下である。前記下限値以上とすることで密着性を向上できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで適正な溶解性を維持できる傾向がある。
The acid value of the acid-modified epoxy resin in the present invention is not particularly limited, but is preferably 10 mg · KOH / g or more, more preferably 20 KOH / g or more, further preferably 30 mg · KOH / g or more, and 200 mg · KOH / g. The following is preferable, 180 mg / KOH / g or less is more preferable, 150 mg / KOH / g or less is further preferable, 100 mg / KOH / g or less is further preferable, and 80 mg / KOH / g or less is particularly preferable. When it is at least the lower limit value, the adhesion tends to be improved, and when it is at least the upper limit value, the solubility tends to be improved.
The weight average molecular weight (Mw) of the acid-modified epoxy resin is not particularly limited, but is usually 1,000 or more, preferably 2,000 or more, more preferably 3,000 or more, still more preferably 4,000 or more, and even more. It is preferably 5,000 or more, particularly preferably 6,000 or more, and usually 30,000 or less, preferably 20,000 or less, more preferably 15,000 or less, still more preferably 10,000 or less. Adhesion tends to be improved by setting the value to the lower limit value or more, and proper solubility tends to be maintained by setting the value to the upper limit value or less.

上記酸変性エポキシ樹脂は、従来公知の方法により合成することができる。具体的には、前記エポキシ樹脂を有機溶剤に溶解させ、触媒と熱重合禁止剤の共存下、前記エチレン性不飽和モノカルボン酸を加えて付加反応させ、更に多塩基酸(無水物)を加えて反応を続ける方法を用いることができる。 The acid-modified epoxy resin can be synthesized by a conventionally known method. Specifically, the epoxy resin is dissolved in an organic solvent, and in the coexistence of a catalyst and a thermal polymerization inhibitor, the ethylenically unsaturated monocarboxylic acid is added for an addition reaction, and a polybasic acid (anhydrous) is further added. A method of continuing the reaction can be used.

ここで、反応に用いる有機溶剤としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ジエチレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどの有機溶剤の1種または2種以上が挙げられる。また、上記触媒としては、トリエチルアミン、ベンジルジメチルアミン、トリベンジルアミン等の第3級アミン類、テトラメチルアンモニウムクロライド、メチルトリエチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライド、テトラブチルアンモニウムクロライド、トリメチルベンジルアンモニウムクロライドなどの第4級アンミニウム塩類、トリフェニルホスフィンなどの燐化合物、トリフェニルスチビンなどのスチビン類などの1種または2種以上が挙げられる。更に、熱重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、メチルハイドロキノンなどの1種または2種以上が挙げられる。 Here, examples of the organic solvent used in the reaction include one or more organic solvents such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, diethylene glycol ethyl ether acetate, and propylene glycol monomethyl ether acetate. Examples of the catalyst include tertiary amines such as triethylamine, benzyldimethylamine and tribenzylamine, tetramethylammonium chloride, methyltriethylammonium chloride, tetraethylammonium chloride, tetrabutylammonium chloride and trimethylbenzylammonium chloride. One or more kinds such as quaternary ammonium salts, phosphorus compounds such as triphenylphosphine, and stibins such as triphenylstibin can be mentioned. Further, examples of the thermal polymerization inhibitor include one or more of hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, methyl hydroquinone and the like.

また、エチレン性不飽和モノカルボン酸の使用量としては、エポキシ樹脂のエポキシ基の1化学当量に対して通常0.7〜1.3化学当量、好ましくは0.9〜1.1化学当量となる量とすることができる。また、付加反応時の温度としては、通常60〜150℃、好ましくは80〜120℃の温度とすることができる。更に、多塩基酸(無水物)の使用量としては、前記付加反応で生じた水酸基の1化学当量に対して、通常0.1〜1.2化学当量、好ましくは0.2〜1.1化学当量となる量とすることができる。 The amount of the ethylenically unsaturated monocarboxylic acid used is usually 0.7 to 1.3 chemical equivalents, preferably 0.9 to 1.1 chemical equivalents, relative to one chemical equivalent of the epoxy group of the epoxy resin. Can be an amount. The temperature at the time of the addition reaction can be usually 60 to 150 ° C., preferably 80 to 120 ° C. Further, the amount of the polybasic acid (anhydrous) used is usually 0.1 to 1.2 chemical equivalents, preferably 0.2 to 1.1, relative to one chemical equivalent of the hydroxyl group generated in the addition reaction. It can be an amount that is a chemical equivalent.

本発明における前記酸変性エポキシ樹脂について、構成繰返し単位の具体例を以下に示す。 Specific examples of the structural repetition unit of the acid-modified epoxy resin in the present invention are shown below.

Figure 2021120946
Figure 2021120946

Figure 2021120946
Figure 2021120946

[1−1−3−c−2]変性フェノール樹脂
カルボキシル基及びエチレン性不飽和基含有樹脂として、例えば、フェノール樹脂のエチレン性不飽和基含有エポキシ化合物付加体に、多塩基酸(無水物)が付加された、カルボキシル基およびエチレン性不飽和基含有フェノール樹脂が挙げられる。即ち、フェノール樹脂のフェノール性水酸基に、エチレン性不飽和基含有エポキシ化合物のエポキシ基が開環付加されることにより、フェノール樹脂にエステル結合(−COO−)を介してエチレン性不飽和結合が付加されると共に、その際生じた水酸基に、多塩基酸(無水物)の一方のカルボキシ基が付加されたものが挙げられる。
[1-1-3-c-2] Modified phenol Resin As a resin containing a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group, for example, a polybasic acid (anhydrous) is added to an ethylenically unsaturated group-containing epoxy compound adduct of a phenol resin. Examples thereof include a phenol resin containing a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group to which the above is added. That is, by opening and adding the epoxy group of the ethylenically unsaturated group-containing epoxy compound to the phenolic hydroxyl group of the phenolic resin, an ethylenically unsaturated bond is added to the phenolic resin via an ester bond (-COO-). At the same time, a hydroxyl group generated at that time to which one carboxy group of a polybasic acid (anhydrous) is added can be mentioned.

ここで、フェノール樹脂としては、例えば、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、2,5−キシレノール、3,5−キシレノール、o−エチルフェノール、m−エチルフェノール、p−エチルフェノール、プロピルフェノール、n−ブチルフェノール、t−ブチルフェノール、1−ナフトール、2−ナフトール、4,4’−ビフェニルジオール、ビスフェノール−A、ピロカテコール、レゾルシノール、ハイドロキノン、ピロガロール、1,2,4−ベンゼントリオール、安息香酸、4−ヒドロキシフェニル酢酸、サリチル酸、フロログルシノールなどのフェノール類の少なくとも1種を、酸触媒下、例えば、ホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、パラアルデヒド、プロピオンアルデヒド、ベンズアルデヒド、サリチルアルデヒド、フルフラールなどのアルデヒド類、または、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン類、の少なくとも1種と重縮合させたノボラック樹脂、および、その重縮合における酸触媒に代えてアルカリ触媒を用いる以外は同様にして重縮合させたレゾール樹脂などが挙げられる。ここで、上記フェノール類とアルデヒド類との縮合反応は、無溶剤下または溶剤中で行われる。 Here, examples of the phenolic resin include phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, 2,5-xylenol, 3,5-xylenol, o-ethylphenol, m-ethylphenol, and p-ethylphenol. , Propropylphenol, n-butylphenol, t-butylphenol, 1-naphthol, 2-naphthol, 4,4'-biphenyldiol, bisphenol-A, pyrocatechol, resorcinol, hydroquinone, pyrogallol, 1,2,4-benzenetriol, At least one of the phenols such as benzoic acid, 4-hydroxyphenylacetic acid, salicylic acid, fluoroglucolcinol, etc. under acid catalyst, for example, formaldehyde, paraformaldehyde, acetaldehyde, paraaldehyde, propionaldehyde, benzaldehyde, salicylaldehyde, furfural, etc. In the same manner except that a novolak resin polycondensed with at least one of the aldehydes of the above or ketones such as acetone, methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone, and an alkali catalyst is used instead of the acid catalyst in the polycondensation. Examples thereof include polycondensed resol resin. Here, the condensation reaction between the phenols and the aldehydes is carried out in the absence of a solvent or in a solvent.

これらのノボラック樹脂、レゾール樹脂の重量平均分子量(Mw)は通常1,000〜20,000であり、好ましくは1,000〜10,000であり、更に好ましくは1,000〜8,000である。重量平均分子量を前記下限値以上とすることで画像強度が確保しやすい傾向があり、前記上限値以下とすることで現像性が確保しやすい傾向がある。 The weight average molecular weight (Mw) of these novolak resins and resole resins is usually 1,000 to 20,000, preferably 1,000 to 10,000, and more preferably 1,000 to 8,000. .. When the weight average molecular weight is set to the lower limit value or more, the image intensity tends to be easily secured, and when the weight average molecular weight is set to the upper limit value or less, the developability tends to be easily secured.

また、エチレン性不飽和基含有エポキシ化合物としては、グリシジル(メタ)アクリレート、(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチル(メタ)アクリレート、グリシジルオキシ(ポリ)アルキレングリコール(メタ)アクリレート、メチルグリシジル(メタ)アクリレート、(3,4−エポキシシクロヘキシル)ビニルなどが挙げられる。これらのうち、特にグリシジル(メタ)クリレート、(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチル(メタ)アクリレートが好ましい。 Examples of the ethylenically unsaturated group-containing epoxy compound include glycidyl (meth) acrylate, (3,4-epoxycyclohexyl) methyl (meth) acrylate, glycidyloxy (poly) alkylene glycol (meth) acrylate, and methylglycidyl (meth). Acrylate, (3,4-epoxycyclohexyl) vinyl and the like can be mentioned. Of these, glycidyl (meth) clearate and (3,4-epoxycyclohexyl) methyl (meth) acrylate are particularly preferable.

ノボラック樹脂、レゾール樹脂などとエチレン性不飽和基含有エポキシ化合物との反応には公知の方法を用いることができる。例えばトリエチルアミン、ベンジルメチルアミンなどの3級アミン、ドデシルトリメチルアンモニウムクロライド、テトラメチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライド、ベンジルトリエチルアンモニウムクロライドなどの4級アンモニウム塩、ピリジン、トリフェニルホスフィンなどの1種または2種以上を触媒として、有機溶剤中、反応温度50〜150℃で数〜数十時間反応させることにより、ノボラック樹脂、レゾール樹脂などにエチレン性不飽和基含有エポキシ化合物を付加することができる。 A known method can be used for the reaction of the novolak resin, the resole resin and the like with the ethylenically unsaturated group-containing epoxy compound. For example, tertiary amines such as triethylamine and benzylmethylamine, quaternary ammonium salts such as dodecyltrimethylammonium chloride, tetramethylammonium chloride, tetraethylammonium chloride and benzyltriethylammonium chloride, and one or more such as pyridine and triphenylphosphine. An ethylenically unsaturated group-containing epoxy compound can be added to a novolak resin, a resole resin, or the like by reacting with an organic solvent at a reaction temperature of 50 to 150 ° C. for several to several tens of hours.

該触媒の使用量は、反応原料混合物(ノボラック樹脂、レゾール樹脂とエチレン性不飽和基含有エポキシ化合物との合計)に対して好ましくは0.01〜10質量%、特に好ましくは0.3〜5質量%である。また反応中の重合を防止するために、重合防止剤(例えばメトキノン、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ピロガロール、tert−ブチルカテコール、ジブチルヒドロキシトルエン、フェノチアジンなどの1種または2種以上)を使用することが好ましく、その使用量は、反応原料混合物に対して好ましくは0.01〜10質量%、特に好ましくは0.03〜5質量%である。
なお、ノボラック樹脂、レゾール樹脂などのフェノール性水酸基にエチレン性不飽和基含有エポキシ化合物を付加させる好ましい割合は、1〜99モル%である。この割合はフェノール性水酸基に対して加えるエチレン性不飽和基含有エポキシ化合物の量で調整できる。
The amount of the catalyst used is preferably 0.01 to 10% by mass, particularly preferably 0.3 to 5%, based on the reaction raw material mixture (total of novolak resin, resole resin and ethylenically unsaturated group-containing epoxy compound). It is mass%. In addition, in order to prevent polymerization during the reaction, a polymerization inhibitor (for example, one or more of methquinone, hydroquinone, methylhydroquinone, p-methoxyphenol, pyrogallol, tert-butylcatechol, dibutylhydroxytoluene, phenothiazine, etc.) is used. It is preferably used, and the amount used is preferably 0.01 to 10% by mass, particularly preferably 0.03 to 5% by mass, based on the reaction raw material mixture.
The preferable ratio of adding the ethylenically unsaturated group-containing epoxy compound to the phenolic hydroxyl group of the novolak resin, the resole resin, etc. is 1 to 99 mol%. This ratio can be adjusted by the amount of the ethylenically unsaturated group-containing epoxy compound added to the phenolic hydroxyl group.

また、多塩基酸(無水物)としては、例えば、公知のものが使用でき、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸、メチル−5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸などの二塩基性カルボン酸またはその無水物、トリメリット酸、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸などの多塩基性カルボン酸またはその無水物などが挙げられる。中でも好ましくは、テトラヒドロ無水フタル酸または無水コハク酸が挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を混合して用いてもよい。 As the polybasic acid (anhydride), for example, known ones can be used, and maleic acid, succinic acid, itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, methylendomethylenetetrahydrophthalic acid, and chlorend. Dibasic carboxylic acids such as acids, methyltetrahydrophthalic acid, 5-norbornene-2,3-dicarboxylic acid, methyl-5-norbornen-2,3-dicarboxylic acid or anhydrides thereof, trimellitic acid, pyromellitic acid, Examples thereof include polybasic carboxylic acids such as benzophenone tetracarboxylic acid and biphenyl tetracarboxylic acid, or anhydrides thereof. Of these, tetrahydrophthalic anhydride or succinic anhydride is preferred. One of these may be used alone, or two or more thereof may be mixed and used.

多塩基酸(無水物)の付加率は、ノボラック樹脂、レゾール樹脂などとエチレン性不飽和基含有エポキシ化合物の反応物の水酸基の、通常10〜100モル%、好ましくは20〜100モル%、より好ましくは30〜100モル%である。この付加率を前記範囲内とすることで現像性が確保しやすい傾向がある。 The addition rate of the polybasic acid (anhydrous) is usually 10 to 100 mol%, preferably 20 to 100 mol%, more than the hydroxyl group of the reaction product of the novolak resin, the resole resin and the like and the ethylenically unsaturated group-containing epoxy compound. It is preferably 30 to 100 mol%. By setting this addition rate within the above range, developability tends to be easily ensured.

[1−1−3−d]その他のアルカリ可溶性樹脂
その他、アルカリ現像液に対して劣化しやすい基板の有機電界素子に隔壁を設けようとする場合であって、弱アルカリ性のアルカリ性化合物の現像液、或いはアルカリ性化合物を含有しない現像液を用いる場合においては、アルカリ可溶性樹脂として、ポリビニルアルコール、あるいは前記[1−1−3−a−1]カルボキシル基含有(共)重合体(1)で挙げた共単量体(好ましい例としては、酢酸ビニルなど)を0.1〜40モル%、好ましくは1〜30モル%共重合させたビニルアルコール共重合体、あるいは前記[1−1−3−a−1]カルボキシル基含有(共)重合体(1)で挙げた共重合体をエステル化反応により0.1〜40モル%、好ましくは1〜30モル%導入した変性ポリビニルアルコールが好ましく用いられる。
また、さらに、適度なテーパー角形成と撥液性の保持を目的として、前記[1−1−3−c−1]酸変性エポキシ樹脂で挙げたエチレン性不飽和モノカルボン酸(好ましい例としては、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸とε−カプロラクトンとの反応物など)、あるいはさらに多塩基酸(無水物)(好ましい例としては、テトラヒドロフタル酸無水物など)をエステル化反応により0.1〜30モル%、好ましくは0.5〜20モル%導入した変性ポリビニルアルコール、または、特開2008−45047号公報に記載の、(メタ)アクリロイル(オキシ)基あるいは(メタ)アクリルアミド基を有しアルデヒド基を有する化合物(好ましい例としては、4−アクリロイルオキシブタナールなど)、あるいはジアルキルアセタール基を有する化合物(好ましい例としては、N−(2,2−ジメトキシエチル)メタクリルアミドなど)をフォルマール反応により0.1〜30モル%、好ましくは0.5〜20モル%導入した変性ポリビニルアルコール、などが好ましく用いられる。
[1-1-3-d] Other alkali-soluble resins In addition, when it is intended to provide a partition wall on an organic electric field element of a substrate that is easily deteriorated by an alkaline developing solution, a developing solution of a weakly alkaline alkaline compound. Alternatively, when a developing solution containing no alkaline compound is used, polyvinyl alcohol or the above-mentioned [1-1-3-a-1] carboxyl group-containing (co) polymer (1) is mentioned as the alkali-soluble resin. A vinyl alcohol copolymer obtained by copolymerizing 0.1 to 40 mol%, preferably 1 to 30 mol% of a comonomer (preferably vinyl acetate or the like), or the above-mentioned [1-1-3-a]. -1] Carboxyl group-containing (co) polymer A modified polyvinyl alcohol in which the copolymer described in (1) is introduced by an esterification reaction in an amount of 0.1 to 40 mol%, preferably 1 to 30 mol% is preferably used.
Further, for the purpose of forming an appropriate taper angle and maintaining liquid repellency, the ethylenically unsaturated monocarboxylic acid mentioned in the above-mentioned [1-1-3-c-1] acid-modified epoxy resin (as a preferable example). , (Meta) acrylic acid, (meth) acrylic acid and ε-caprolactone reaction, etc.), or even polybasic acids (anhydrous) (preferably tetrahydrophthalic acid anhydride, etc.) by esterification reaction. A modified polyvinyl alcohol introduced in an amount of 0.1 to 30 mol%, preferably 0.5 to 20 mol%, or a (meth) acryloyl (oxy) group or a (meth) acrylamide group described in JP-A-2008-45047. A compound having an aldehyde group having a A modified polyvinyl alcohol in which 0.1 to 30 mol%, preferably 0.5 to 20 mol% of the above is introduced by a formal reaction is preferably used.

(C)アルカリ可溶性樹脂として、上述のものの中でも、テーパー角度の観点から、(C−2)側鎖にエチレン性不飽和基を有するカルボシキル基含有(共)重合体又は(C−3)カルボキシル基及びエチレン性不飽和基含有樹脂が好ましく、(C−2)側鎖にエチレン性不飽和基を有するカルボシキル基含有(共)重合体がより好ましく、酸変性エポキシ基含有(共)重合体がさらに好ましい。 Among the above-mentioned alkali-soluble resins as the (C) alkali-soluble resin, a carbosyl group-containing (co) polymer having an ethylenically unsaturated group in the (C-2) side chain or a (C-3) carboxyl group from the viewpoint of the taper angle. And an ethylenically unsaturated group-containing resin are preferable, a carbosyl group-containing (co) polymer having an ethylenically unsaturated group in the (C-2) side chain is more preferable, and an acid-modified epoxy group-containing (co) polymer is further preferable. preferable.

以上の(C)成分のアルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(Mw)は特に限定されないが、2,000以上が好ましく、3,000以上がより好ましく、5,000以上がさらに好ましく、7,000以上が特に好ましく、また、50,000以下が好ましく、30,000以下がより好ましく、20,000以下がさらに好ましく、10,000以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像が進みすぎ膜溶解するのを抑制する傾向があり、前記上限値以下とすることで適度な現像溶解性を示す傾向がある。
また、(C)成分のアルカリ可溶性樹脂の酸価は特に限定されないが、10mg・KOH/g以上が好ましく、20mg・KOH/g以上がより好ましく30mg・KOH/g以上が好ましく、また、200mg・KOH/g以下が好ましく、150mg・KOH/g以下がより好ましく、100mg・KOH/g以下がさらに好ましく、70mg・KOH/g以下がよりさらに好ましく、50mg・KOH/g以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで適度な現像溶解性が得られる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像が進みすぎ膜溶解するのを抑制する傾向がある。
特には、剛直、高耐熱性、疎水性に優れる前記式(IIa)、(IIb)、(IIc)等の多環脂環骨格を有し側鎖にエチレン性不飽和基を有するアクリレート樹脂、具体的には、スチレン/グリシジルメタクリレート/トリシクロデカン骨格を有するモノメタアクリレート共重合体〔後記実施例に記載のアルカリ可溶性バインダー(C−1)〕が好ましい。
The weight average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin of the above component (C) is not particularly limited, but is preferably 2,000 or more, more preferably 3,000 or more, further preferably 5,000 or more, and 7,000 or more. Is particularly preferable, 50,000 or less is preferable, 30,000 or less is more preferable, 20,000 or less is further preferable, and 10,000 or less is particularly preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development tends to proceed excessively and the film dissolution tends to be suppressed, and when it is set to the upper limit value or less, an appropriate development solubility tends to be exhibited.
The acid value of the alkali-soluble resin of the component (C) is not particularly limited, but is preferably 10 mg · KOH / g or more, more preferably 20 mg · KOH / g or more, more preferably 30 mg · KOH / g or more, and 200 mg · KOH / g or more. KOH / g or less is preferable, 150 mg / KOH / g or less is more preferable, 100 mg / KOH / g or less is further preferable, 70 mg / KOH / g or less is further preferable, and 50 mg / KOH / g or less is particularly preferable. When it is set to the lower limit value or more, appropriate development solubility tends to be obtained, and when it is set to the upper limit value or less, the development tends to proceed excessively and the film dissolution tends to be suppressed.
In particular, an acrylate resin having a polycyclic alicyclic skeleton such as the above formulas (IIa), (IIb) and (IIc) having excellent rigidity, high heat resistance and hydrophobicity and having an ethylenically unsaturated group in the side chain, specifically Specifically, a monomethacrylate copolymer having a styrene / glycidyl methacrylate / tricyclodecane skeleton [alkaline-soluble binder (C-1) described in Examples below] is preferable.

本発明の感光性樹脂組成物中における(C)アルカリ可溶性樹脂の含有割合は、全固形分に対して、通常5質量%以上、好ましくは10質量%以上、より好ましくは20質量%以上、さらに好ましくは30質量%以上、特に好ましくは40質量%以上、また、通常90質量%以下、好ましくは70質量%以下、より好ましくは60質量%以下、特に好ましくは50質量%以下である。前記下限値以上とすることで適度な現像溶解性と感度にできる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで適度な現像溶解性と感度にできる傾向がある。 The content ratio of the (C) alkali-soluble resin in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 5% by mass or more, preferably 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, and further, with respect to the total solid content. It is preferably 30% by mass or more, particularly preferably 40% by mass or more, and usually 90% by mass or less, preferably 70% by mass or less, more preferably 60% by mass or less, and particularly preferably 50% by mass or less. When it is at least the above lower limit value, it tends to be possible to obtain appropriate development solubility and sensitivity, and when it is at least the above upper limit value, it tends to be possible to obtain appropriate development solubility and sensitivity.

また、全固形分中における(B)エチレン性不飽和化合物及び(C)アルカリ可溶性樹脂の含有割合は、全固形分に対して、通常5質量%以上、好ましくは10質量%以上、より好ましくは30質量%以上、さらに好ましくは50質量%以上、よりさらに好ましくは70質量%以上、特に好ましくは80質量%以上であり、また、通常99質量%以下、好ましくは97質量%以下、より好ましくは95質量%以下である。前記下限値以上とすることで適度な現像溶解性と感度にできる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで適度な現像溶解性と感度にできる傾向がある。 The content of the (B) ethylenically unsaturated compound and (C) alkali-soluble resin in the total solid content is usually 5% by mass or more, preferably 10% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, based on the total solid content. It is 30% by mass or more, more preferably 50% by mass or more, still more preferably 70% by mass or more, particularly preferably 80% by mass or more, and usually 99% by mass or less, preferably 97% by mass or less, more preferably. It is 95% by mass or less. When it is at least the above lower limit value, it tends to be possible to obtain appropriate development solubility and sensitivity, and when it is at least the above upper limit value, it tends to be possible to obtain appropriate development solubility and sensitivity.

[1−1−4](D)成分;増感剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(D)増感剤を含有する。増感剤により感度が向上すると同時に、感光性樹脂組成物内部への光透過率が減少することで、テーパー角度が大きくなる傾向がある。特に、本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、ヘキサアリールビイミダゾール化合物を含有するものであるため、表面硬化性が大きくなり、テーパー角度が大きくなると考えられる。
[1-1-4] Component (D); Sensitizer The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention contains (D) a sensitizer. The sensitizer improves the sensitivity and at the same time reduces the light transmittance inside the photosensitive resin composition, so that the taper angle tends to increase. In particular, since the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention contains a hexaarylbiimidazole compound, it is considered that the surface curability is increased and the taper angle is increased.

本発明の感光性樹脂組成物は、(D)増感剤として、この分野で通常用いられている増感剤を使用することができる。このような増感剤としては、例えば、カルコン誘導体やジベンザルアセトン等に代表される不飽和ケトン類、ベンジルやカンファーキノン等に代表される1,2−ジケトン系化合物、ベンゾイン系化合物、フルオレン系化合物、ナフトキノン系化合物、アントラキノン系化合物、キサンテン系化合物、チオキサンテン系化合物、キサントン系化合物、チオキサントン系化合物、クマリン系化合物、ケトクマリン系化合物、シアニン系化合物、メロシアニン系化合物、オキソノ−ル誘導体等のポリメチン色素、アクリジン系化合物、アジン系化合物、チアジン系化合物、オキサジン系化合物、インドリン系化合物、アズレン系化合物、アズレニウム系化合物、スクアリリウム系化合物、ポルフィリン系化合物、テトラフェニルポルフィリン系化合物、トリアリールメタン系化合物、テトラベンゾポルフィリン系化合物、テトラピラジノポルフィラジン系化合物、フタロシアニン系化合物、テトラアザポルフィラジン系化合物、テトラキノキサリロポルフィラジン系化合物、ナフタロシアニン系化合物、サブフタロシアニン系化合物、ピリリウム系化合物、チオピリリウム系化合物、テトラフィリン系化合物、アヌレン系化合物、スピロピラン系化合物、スピロオキサジン系化合物、チオスピロピラン系化合物、金属アレーン錯体、有機ルテニウム錯体、ベンゾフェノン系化合物等が挙げられる。
これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
In the photosensitive resin composition of the present invention, a sensitizer usually used in this field can be used as the (D) sensitizer. Examples of such a sensitizer include unsaturated ketones represented by chalcone derivatives and dibenzalacetone, 1,2-diketone compounds represented by benzyl and camphorquinone, benzoin compounds, and fluorene. Systems compounds, naphthoquinone compounds, anthraquinone compounds, xanthene compounds, thioxanthene compounds, xanthone compounds, thioxanthone compounds, coumarin compounds, ketocoumarin compounds, cyanine compounds, merocyanine compounds, oxonoal derivatives, etc. Polymethine dyes, aclysin compounds, azine compounds, thiazine compounds, oxazine compounds, indolin compounds, azulene compounds, azurenium compounds, squarylium compounds, porphyrin compounds, tetraphenylporphyrin compounds, triarylmethane compounds , Tetrabenzoporphyrin-based compounds, tetrapyrazinoporphyrazine-based compounds, phthalocyanine-based compounds, tetraazaporphyrazine-based compounds, tetraquinoxalyloporphyrazine-based compounds, naphthalocyanine-based compounds, subphthalocyanine-based compounds, pyririum-based compounds, thiopyrilium Examples thereof include system compounds, tetraphyllin system compounds, anurene compounds, spiropyran compounds, spirooxazine compounds, thiospiropirane compounds, metal arene complexes, organic ruthenium complexes, benzophenone compounds and the like.
One of these may be used alone, or two or more thereof may be used in combination.

これらの中でも、感度向上とテーパー角度増大の観点から、チオキサントン系化合物、ベンゾフェノン系化合物が好ましい。 Among these, thioxanthone-based compounds and benzophenone-based compounds are preferable from the viewpoint of improving sensitivity and increasing the taper angle.

チオキサントン系化合物としては、チオキサントン、2−メチルチオキサントン、4−メチルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2−エチルチオキサントン、4−エチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、4−クロロチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントンなどが挙げられる。これらの中でも、感度向上とテーパー角度増大の観点から2,4−ジエチルチオキサントンが好ましい。 Examples of the thioxanthone compound include thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 4-methylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 4-ethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone and 4-isopropyl. Examples thereof include thioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 4-chlorothioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone and the like. Among these, 2,4-diethylthioxanthone is preferable from the viewpoint of improving sensitivity and increasing the taper angle.

ベンゾフェノン系化合物としては、ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられる。これらの中でも、感度向上とテーパー角度増大の観点から4,4'−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。 Examples of the benzophenone compound include benzophenone, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, and 4,4'-bis (ethylmethylamino) benzophenone. Among these, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone is preferable from the viewpoint of improving sensitivity and increasing the taper angle.

感光性樹脂組成物中の増感剤の含有割合は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常0.1質量%以上、好ましくは0.3質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、さらに好ましくは0.8質量%以上、よりさらに好ましくは1質量%以上、特に好ましくは1.2質量%以上であり、また通常10質量%以下、好ましくは7質量%以下、より好ましくは5質量%以下、さらに好ましくは3質量%以下である。前記下限値以上とすることで感度を向上し、テーパー角度を高くすることができる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望のパターンを形成しやすくなる傾向がある。 The content ratio of the sensitizer in the photosensitive resin composition is usually 0.1% by mass or more, preferably 0.3% by mass or more, more preferably 0.% by mass, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. 5% by mass or more, more preferably 0.8% by mass or more, still more preferably 1% by mass or more, particularly preferably 1.2% by mass or more, and usually 10% by mass or less, preferably 7% by mass or less. It is more preferably 5% by mass or less, still more preferably 3% by mass or less. When it is set to the lower limit value or more, the sensitivity tends to be improved and the taper angle tends to be increased, and when it is set to the upper limit value or less, a desired pattern tends to be easily formed.

[1−1−5](E)成分;撥液剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(F)撥液剤を含有していてもよい。特に、インクジェット法で有機電界発光素子を作成する場合には(E)撥液剤を含有することが好ましく、(E)撥液剤を含有することでそれが隔壁の表面に撥液性を付与できることから、得られる隔壁を有機層の画素ごとの混色を防ぐものとすることができると考えられる。
撥液剤としては、シリコーン含有化合物やフッ素系化合物が挙げられ、好ましくは、架橋基を含有する撥液剤(以下、「架橋基含有撥液剤」と称す場合がある。)が挙げられる。架橋基としては、エポキシ基又はエチレン性不飽和基が挙げられ、現像液の撥液成分の流出抑制の観点から、好ましくはエチレン性不飽和基である。
架橋基含有撥液剤を用いる場合には、形成した塗布膜を露光する際にその表面での架橋反応を加速することができ、撥液剤が現像処理で流出しにくくなり、その結果、得られる隔壁を高い撥液性を示すものとすることができると考えられる。
[1-1-5] Component (E); Liquid Repellent The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention may contain (F) a liquid repellent. In particular, when an organic electroluminescent device is produced by an inkjet method, it is preferable to contain (E) a liquid repellent, and by containing (E) a liquid repellent, it can impart liquid repellency to the surface of the partition wall. It is considered that the obtained partition wall can prevent color mixing for each pixel of the organic layer.
Examples of the liquid repellent include silicone-containing compounds and fluorine-based compounds, and preferably, a liquid repellent containing a cross-linking group (hereinafter, may be referred to as a “cross-linking group-containing liquid repellent”). Examples of the cross-linking group include an epoxy group and an ethylenically unsaturated group, and an ethylenically unsaturated group is preferable from the viewpoint of suppressing the outflow of a liquid-repellent component of a developing solution.
When a cross-linking group-containing liquid repellent is used, the cross-linking reaction on the surface of the formed coating film can be accelerated when the coating film is exposed, and the liquid repellent is less likely to flow out during the development process, resulting in a partition wall. Is considered to be able to exhibit high liquid repellency.

撥液剤としてフッ素系化合物を用いた場合には、当該フッ素化合物が隔壁の表面に配向して、インキのにじみや混色を防止する働きをする傾向がある。さらに詳しくは、フッ素原子を有する基が、インキをはじき、インキが隔壁を越えて隣接する領域に進入することによるインキのにじみや混色を防ぐ働きをする傾向がある。 When a fluorine-based compound is used as the liquid repellent, the fluorine compound tends to be oriented on the surface of the partition wall to prevent ink bleeding and color mixing. More specifically, the group having a fluorine atom tends to repel the ink and prevent the ink from bleeding or mixing due to the ink entering the adjacent region beyond the partition wall.

架橋基含有撥液剤、特にエチレン性不飽和基含有フッ素系化合物の具体例としては、例えばパーフルオロアルキルスルホン酸、パーフルオロアルキルカルボン酸、パーフルオロアルキルアルキレンオキシド付加物、パーフルオロアルキルトリアルキルアンモニウム塩、パーフルオロアルキル基と親水基を含むオリゴマー、パーフルオロアルキル基と親油基を含むオリゴマー、パーフルオロアルキル基と親水基と新油基を含むオリゴマー、パーフルオロアルキルと親水基を含むウレタン、パーフルオロアルキルエステル、パーフルオロアルキル燐酸エステルなどのフッ素含有有機化合物を挙げることができる。これらのフッ素含有化合物の市販品としては、DIC社製「メガファックF116」、「同F120」、「同F142D」、「同F144D」、「同F150」、「同F160」、「同F171」、「同F172」、「同F173」、「同F177」、「同F178A」、「同F178K」、「同F179」、「同F183」、「同F184」、「同F191」、「同F812」、「同F815」、「同F824」、「同F833」、「DEFENSAMCF300」、「同MCF310」、「同MCF312」、「同MCF323」、「同RS72K」、「同RS304」、「同RS202」、「同RS201」、「同RS102」、「同RS101」、「同RS105」、「同RS401」、「同RS402」、「同RS501」、「同RS502」、「同RS301」、「同RS303」、スリーエムジャパン社製「フロラードFC430」、「同FC431」、「ノベックFC−4430」、「同FC4432」、旭硝子社製「アサヒガードAG710」、「サーフロンS−382」、「同SC−101」、「同SC−102」、「同SC−103」、「同SC−104」、「同SC−105」、「同SC−106」、ダイキン工業社製「オブツールDAC―HP」などの商品名で市販されている含フッ素有機化合物を使用することができる。 Specific examples of the cross-linking group-containing liquid repellent, particularly the ethylenically unsaturated group-containing fluorine-based compound, include, for example, perfluoroalkyl sulfonic acid, perfluoroalkylcarboxylic acid, perfluoroalkylalkylene oxide adduct, and perfluoroalkyltrialkylammonium salt. , Oligomers containing perfluoroalkyl groups and hydrophilic groups, oligomers containing perfluoroalkyl groups and base oil groups, oligomers containing perfluoroalkyl groups and hydrophilic groups and new oil groups, urethanes containing perfluoroalkyl and hydrophilic groups, per Examples thereof include fluorine-containing organic compounds such as fluoroalkyl esters and perfluoroalkyl phosphate esters. Commercially available products of these fluorine-containing compounds include "Megafuck F116", "F120", "F142D", "F144D", "F150", "F160", and "F171" manufactured by DIC. "Same F172", "Same F173", "Same F177", "Same F178A", "Same F178K", "Same F179", "Same F183", "Same F184", "Same F191", "Same F812", "Same F815", "Same F824", "Same F833", "Same FENSAMCF300", "Same MCF310", "Same MCF312", "Same MCF323", "Same RS72K", "Same RS304", "Same RS202", "Same RS202" RS201, RS102, RS101, RS105, RS401, RS402, RS501, RS502, RS301, RS303, 3M Japan's "Fluorard FC430", "FC431", "Novec FC-4430", "FC4432", Asahi Glass's "Asahi Guard AG710", "Surflon S-382", "SC-101", "Same" Commercially available under trade names such as "SC-102", "SC-103", "SC-104", "SC-105", "SC-106", and "Obtool DAC-HP" manufactured by Daikin Industries, Ltd. Fluorine-containing organic compounds that have been used can be used.

このように、撥液剤としてフッ素系化合物を用いる場合において、撥液剤中のF原子含有量は特に制限されないが、好ましくはフッ素原子含有量が1質量%以上が好ましく、5質量%以上がより好ましく、また、50質量%以下が好ましく、25質量%以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで画素部への流出を抑制できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで高い接触角を示す傾向がある。 As described above, when a fluorine-based compound is used as the liquid repellent, the F atom content in the liquid repellent is not particularly limited, but the fluorine atom content is preferably 1% by mass or more, more preferably 5% by mass or more. Further, 50% by mass or less is preferable, and 25% by mass or less is more preferable. When it is set to the lower limit value or more, the outflow to the pixel portion tends to be suppressed, and when it is set to the upper limit value or less, a high contact angle tends to be exhibited.

撥液剤の分子量は特に制限されず、低分子量の化合物でも、高分子量体であってもよい。高分子量体の撥液剤の方が、焼成による撥液剤の流動性が抑えられるため、バンクから撥液剤の流出を抑えることができるため好ましく、係る観点から撥液剤の数平均分子量は、100以上が好ましく、500以上がより好ましく、100000以下が好ましく、10000以下がより好ましい。 The molecular weight of the liquid repellent is not particularly limited, and it may be a low molecular weight compound or a high molecular weight substance. A high molecular weight liquid repellent is preferable because the fluidity of the liquid repellent due to firing can be suppressed and the outflow of the liquid repellent can be suppressed from the bank. From this viewpoint, the number average molecular weight of the liquid repellent is 100 or more. Preferably, 500 or more is more preferable, 100,000 or less is preferable, and 10,000 or less is more preferable.

本発明の感光性樹脂組成物中の(E)撥液剤の含有割合は、全固形分に対して通常0.01質量%以上、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.2質量%以上、通常1質量%以下、好ましくは0.5質量%以下、より好ましくは0.35質量%以下である。前記下限値以上とすることで高い撥液性を示す傾向があり、また、前記上限値以下とすることで画素部への流出を抑制できる傾向がある。 The content ratio of the liquid repellent (E) in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 0.01% by mass or more, preferably 0.1% by mass or more, and more preferably 0.2% by mass with respect to the total solid content. % Or more, usually 1% by mass or less, preferably 0.5% by mass or less, and more preferably 0.35% by mass or less. When it is set to the lower limit value or more, it tends to show high liquid repellency, and when it is set to the upper limit value or less, it tends to suppress outflow to the pixel portion.

一方で、本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(E)撥液剤と共に界面活性剤を用いてもよく、また、(E)撥液剤に代えて界面活性剤を用いてもよい。界面活性剤は、隔壁形成用感光性樹脂組成物の塗布液としての塗布性、および塗布膜の現像性の向上などを目的として用いることができ、中でもフッ素系又はシリコーン系の界面活性剤が好ましい。
特に、現像の際、未露光部から感光性樹脂組成物の残渣を除去する作用があり、また、濡れ性を発現する機能を有することから、シリコーン系界面活性剤が好ましく、ポリエーテル変性シリコーン系界面活性剤がさらに好ましい。
On the other hand, in the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention, a surfactant may be used together with the (E) liquid repellent, and a surfactant may be used instead of the (E) liquid repellent. The surfactant can be used for the purpose of improving the coatability of the photosensitive resin composition for forming a partition wall as a coating liquid and the developability of the coating film, and among them, a fluorine-based or silicone-based surfactant is preferable. ..
In particular, a silicone-based surfactant is preferable because it has an action of removing the residue of the photosensitive resin composition from the unexposed portion and a function of exhibiting wettability during development, and a polyether-modified silicone-based one is preferable. Surfactants are even more preferred.

フッ素系界面活性剤としては、末端、主鎖および側鎖の少なくとも何れかの部位にフルオロアルキルまたはフルオロアルキレン基を有する化合物が好適である。具体的には、1,1,2,2−テトラフロロオクチル(1,1,2,2−テトラフロロプロピル)エーテル、1,1,2,2−テトラフロロオクチルヘキシルエーテル、オクタエチレングリコールジ(1,1,2,2−テトラフロロブチル)エーテル、ヘキサエチレングリコールジ(1,1,2,2,3,3−ヘキサフロロペンチル)エーテル、オクタプロピレングリコールジ(1,1,2,2−テトラフロロブチル)エーテル、ヘキサプロピレングリコールジ(1,1,2,2,3,3−ヘキサフロロペンチル)エーテル、パーフロロドデシルスルホン酸ナトリウム、1,1,2,2,8,8,9,9,10,10−デカフロロドデカン、1,1,2,2,3,3−ヘキサフロロデカンなどを挙げることができる。これらの市販品としては、例えば、BM Chemie社製「BM−1000」、「BM−1100」、DIC社製「メガファックF142D」、「メガファックF17F172」、「メガファックF173」、「メガファックF183」、「メガファックF470」、「メガファックF475」、スリーエムジャパン社製「FC430」、ネオス社製「DFX−18」などを挙げることができる。 As the fluorine-based surfactant, a compound having a fluoroalkyl or fluoroalkylene group at at least one of the terminal, main chain and side chain is suitable. Specifically, 1,1,2,2-tetrafluorooctyl (1,1,2,2-tetrafluoropropyl) ether, 1,1,2,2-tetrafluorooctylhexyl ether, octaethylene glycol di (1,1,2,2-tetrafluorooctylhexyl ether). 1,1,2,2-tetrafluorobutyl) ether, hexaethylene glycol di (1,1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether, octapropylene glycol di (1,1,2,2- Tetrafluorobutyl) ether, hexapropylene glycol di (1,1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether, sodium perfluorododecylsulfonate, 1,1,2,2,8,8,9, 9,10,10-decafluorodecane, 1,1,2,2,3,3-hexafluorodecane and the like can be mentioned. Examples of these commercially available products include "BM-1000" and "BM-1100" manufactured by BM Chemie, "Mega Fvck F142D", "Mega Fvck F17 F172", "Mega Fvck F173" and "Mega Fvck F183" manufactured by DIC Corporation. , "Mega Fvck F470", "Mega Fvck F475", "FC430" manufactured by 3M Japan Ltd., "DFX-18" manufactured by Neos Co., Ltd., and the like.

また、シリコーン系界面活性剤としては、例えば、東レ・ダウコーニング社製「DC3PA」、「SH7PA」、「DC11PA」、「SH21PA」、「SH28PA」、「SH29PA」、「8032Additive」、「SH8400」、ビックケミー社製「BYK323」、「BYK330」などの市販品を挙げることができる。
界面活性剤として、フッ素系界面活性剤及びシリコーン系界面活性剤以外のものを含んでいてもよく、その他、界面活性剤としては、ノニオン性、アニオン性、カチオン性、両性界面活性剤などが挙げられる。
Examples of the silicone-based surfactant include "DC3PA", "SH7PA", "DC11PA", "SH21PA", "SH28PA", "SH29PA", "8032Adaptive", "SH8400", manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd. Commercially available products such as "BYK323" and "BYK330" manufactured by Big Chemie can be mentioned.
The surfactant may contain a surfactant other than the fluorine-based surfactant and the silicone-based surfactant, and other surfactants include nonionic, anionic, cationic, amphoteric surfactants and the like. Be done.

上記ノニオン性界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルエステル類、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル類、グリセリン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレングリセリン脂肪酸エステル類、ペンタエリスリット脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンペンタエリスリット脂肪酸エステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル類、ソルビット脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンソルビット脂肪酸エステル類などが挙げられる。これらの市販品としては、例えば、花王社製の「エマルゲン104P」、「エマルゲンA60」などのポリオキシエチレン系界面活性剤などが挙げられる。 Examples of the nonionic surfactant include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene polyoxypropylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl phenyl ethers, polyoxyethylene alkyl esters, and polyoxyethylene fatty acid esters. Glycerin fatty acid esters, polyoxyethylene glycerin fatty acid esters, pentaerythlit fatty acid esters, polyoxyethylene pentaerythlit fatty acid esters, sorbitan fatty acid esters, polyoxyethylene sorbitan fatty acid esters, sorbit fatty acid esters, polyoxy Examples thereof include ethylene sorbit fatty acid esters. Examples of these commercially available products include polyoxyethylene-based surfactants such as "Emargen 104P" and "Emargen A60" manufactured by Kao Corporation.

また、上記アニオン性界面活性剤としては、例えば、アルキルスルホン酸塩類、アルキルベンゼンスルホン酸塩類、アルキルナフタレンスルホン酸塩類、ポリオキシエチレンアルキルエーテルスルホン酸塩類、アルキル硫酸塩類、アルキル硫酸エステル塩類、高級アルコール硫酸エステル塩類、脂肪族アルコール硫酸エステル塩類、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル硫酸塩類、アルキル燐酸エステル塩類、ポリオキシエチレンアルキルエーテル燐酸塩類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル燐酸塩類、特殊高分子系界面活性剤などが挙げられる。中でも、特殊高分子系界面活性剤が好ましく、特殊ポリカルボン酸型高分子系界面活性剤がさらに好ましい。このようなアニオン性界面活性剤としては市販品を用いることができ、例えば、アルキル硫酸エステル塩類では、花王社製「エマール10」等、アルキルナフタレンスルホン酸塩類では花王社製「ペレックスNB−L」など、特殊高分子系界面活性剤では花王社製「ホモゲノールL−18」、「ホモゲノールL−100」などが挙げられる。 Examples of the anionic surfactant include alkyl sulfonates, alkyl benzene sulfonates, alkyl naphthalene sulfonates, polyoxyethylene alkyl ether sulfonates, alkyl sulfates, alkyl sulfate esters, and higher alcohol sulfates. Ester salts, aliphatic alcohol sulfate esters, polyoxyethylene alkyl ether sulfates, polyoxyethylene alkyl phenyl ether sulfates, alkyl phosphate esters, polyoxyethylene alkyl ether phosphates, polyoxyethylene alkyl phenyl ether phosphates, special Examples include high molecular weight surfactants. Of these, special polymer-based surfactants are preferable, and special polycarboxylic acid-type polymer-based surfactants are even more preferable. Commercially available products can be used as such anionic surfactants. For example, for alkyl sulfates, "Emar 10" manufactured by Kao Corporation, and for alkylnaphthalene sulfonates, "Perex NB-L" manufactured by Kao Corporation. Examples of the special polymer-based surfactant include "Homogenol L-18" and "Homogenol L-100" manufactured by Kao Corporation.

さらに、上記カチオン性界面活性剤としては、第4級アンモニウム塩類、イミダゾリン誘導体類、アルキルアミン塩類などが、また、両性界面活性剤としては、ベタイン型化合物類、イミダゾリウム塩類、イミダゾリン類、アミノ酸類などが挙げられる。これらのうち、第4級アンモニウム塩類が好ましく、ステアリルトリメチルアンモニウム塩類がさらに好ましい。市販のものとしては、例えば、アルキルアミン塩類では花王社製「アセタミン24」など、第4級アンモニウム塩類では花王社製「コータミン24P」、「コータミン86W」などが挙げられる。
また、界面活性剤は2種類以上の組み合わせで用いてもよく、例えば、シリコーン系界面活性剤/フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤/特殊高分子系界面活性剤、フッ素系界面活性剤/特殊高分子系界面活性剤の組み合わせなどが挙げられる。中でも、シリコーン系界面活性剤/フッ素系界面活性剤の組み合わせが好ましい。このシリコーン系界面活性剤/フッ素系界面活性剤の組み合わせでは、例えば、/ネオス社製「DFX−18」、ビックケミー社製「BYK−300」または「BYK−330」/AGCセイミケミカル社製「S−393」、信越シリコーン社製「KP340」/DIC社製「F−478」または「F−475」、東レ・ダウコーニング社製「SH7PA」/ダイキン社製「DS−401」、NUC社製「L−77」/スリーエムジャパン社製「FC4430」などが挙げられる。
Further, as the above-mentioned cationic surfactant, quaternary ammonium salts, imidazoline derivatives, alkylamine salts and the like are used, and as amphoteric surfactants, betaine-type compounds, imidazolium salts, imidazolines, amino acids and the like. And so on. Of these, quaternary ammonium salts are preferred, and stearyltrimethylammonium salts are even more preferred. Examples of commercially available products include "Acetamine 24" manufactured by Kao Corporation for alkylamine salts, and "Kotamin 24P" and "Cotamin 86W" manufactured by Kao Corporation for quaternary ammonium salts.
Further, the surfactant may be used in a combination of two or more types, for example, a silicone-based surfactant / fluorine-based surfactant, a silicone-based surfactant / special polymer-based surfactant, and a fluorine-based surfactant. / Examples include a combination of special polymer-based surfactants. Of these, a combination of a silicone-based surfactant / a fluorine-based surfactant is preferable. In this combination of silicone-based surfactant / fluorine-based surfactant, for example, / Neos's "DFX-18", Big Chemie's "BYK-300" or "BYK-330" / AGC Seimi Chemical's "S" -393 ", Shinetsu Silicone" KP340 "/ DIC" F-478 "or" F-475 ", Toray Dow Corning" SH7PA "/ Daikin" DS-401 ", NUC" Examples include "L-77" / "FC4430" manufactured by 3M Japan.

[1−1−6](F)成分;チオール化合物
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(F)チオール化合物を含有してもよい。チオール化合物のS−H結合は、エネルギーが小さいことによって、結合開裂が起こりやすく、水素引抜移動や連鎖移動反応が生じやすいため、感度や表面硬化性が高くなる傾向にある。
[1-1-6] Component (F); Thiol Compound The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention may contain a (F) thiol compound. Since the SH bond of a thiol compound has a small energy, bond cleavage is likely to occur, and a hydrogen abstraction transfer or a chain transfer reaction is likely to occur, so that the sensitivity and surface curability tend to be high.

チオール化合物としては、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、2−メルカプト−4(3H)−キナゾリン、β−メルカプトナフタレン、1,4−ジメチルメルカプトベンゼン、へキサンジチオール、デカンジチオール、ブタンジオールビス(3−メルカプトプロピオネート)、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビス(3−メルカプトプロピオネート)、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールトリス(3−メルカプトプロピオネート)、ブタンジオールビス(3−メルカプトブチレート)、エチレングリコールビス(3−メルカプトブチレート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールトリス(3−メルカプトブチレート)、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、等が挙げられる。 Examples of thiol compounds include 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, 3-mercapto-1,2,4-triazole, 2-mercapto-4 (3H) -quinazoline, and β-mercaptonaphthalene. , 1,4-dimethylmercaptobenzene, hexanedithiol, decandithiol, butanediol bis (3-mercaptopropionate), butanediol bisthioglycolate, ethylene glycol bis (3-mercaptopropionate), ethylene glycol bis Thioglycolate, trimethylolpropanetris (3-mercaptopropionate), trimethylolpropanetris thioglycolate, trishydroxyethyltristhiopropionate, pentaerythritoltetrakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritoltris ( 3-Mercaptopropionate), Butanediolbis (3-Mercaptobutyrate), Ethethyleneglycolbis (3-Mercaptobutyrate), Trimethylol Propantris (3-Mercaptobutyrate), Pentaerythritol Tetrakiss (3-Mercaptobutyrate) Rate), pentaerythritol tris (3-mercaptobutyrate), 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -Trion, etc.

このうち、テーパー角度及び感度を高める観点から、芳香族環をもつ化合物の中では、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾールが好ましく、脂肪族系化合物の中では、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールトリス(3−メルカプトプロピオネート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールトリス(3−メルカプトブチレート)、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオンが好ましい。 Of these, 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzimidazole are preferable among the compounds having an aromatic ring from the viewpoint of increasing the taper angle and sensitivity, and trimethylpropanthritol (3) is preferable among the aliphatic compounds. -Mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tris (3-mercaptopropionate), trimethylolpropanthris (3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tetrakis (3-mercapto) Butyrate), pentaerythritol tris (3-mercaptobutyrate), 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) ) -Trione is preferred.

また感度の面から、脂肪族多官能化合物がより好ましく、具体的には、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールトリス(3−メルカプトプロピオネート)、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールトリス(3−メルカプトブチレート)、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオンが好ましく、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)がより好ましい。
これらは種々のものが1種を単独で、或いは2種以上を混合して使用できる。
From the viewpoint of sensitivity, aliphatic polyfunctional compounds are more preferable, and specifically, trimethylolpropanthris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), and pentaerythritol tris (3). -Mercaptopropionate), Trimethylolpropanthris (3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), pentaerythritoltris (3-mercaptobutyrate), 1,3,5-tris (3) -Mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -Trione is preferred, pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3- Mercaptobutyrate) is more preferred.
These can be used alone or in admixture of two or more.

これらの中でも、テーパー角度を高める観点から、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、及び2−メルカプトベンゾオキサゾールよりなる群から選択された1又は2以上と、光重合開始剤とを組み合わせて、光重合開始剤系として使用することが好適である。例えば、2−メルカプトベンゾチアゾールを用いても良く、2−メルカプトベンゾイミダゾールを用いても良く、2−メルカプトベンゾチアゾールと2−メルカプトベンゾイミダゾールとを併用して用いても良い。
また、感度の観点から、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)よりなる群から選択された1又は2を用いることが好ましい。さらに、感度の観点から、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、及び2−メルカプトベンゾオキサゾールよりなる群から選択された1又は2以上と、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)よりなる群から選択された1又は2以上と、光重合開始剤とを組み合わせて用いることが好ましい。
Among these, from the viewpoint of increasing the taper angle, one or two or more selected from the group consisting of 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzimidazole, and 2-mercaptobenzoxazole are combined with a photopolymerization initiator. , It is preferable to use it as a photopolymerization initiator system. For example, 2-mercaptobenzothiazole may be used, 2-mercaptobenzimidazole may be used, or 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzimidazole may be used in combination.
From the viewpoint of sensitivity, it is preferable to use 1 or 2 selected from the group consisting of pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate) and pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate). Further, from the viewpoint of sensitivity, one or more selected from the group consisting of 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzimidazole, and 2-mercaptobenzoxazole, and pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), It is preferable to use one or two or more selected from the group consisting of pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate) in combination with a photopolymerization initiator.

本発明の感光性組成物中の、(F)チオール化合物の含有割合としては、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常0.01質量%以上、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、さらに好ましくは1質量%以上、特に好ましくは1.5質量%以上であり、通常5質量%以下、好ましくは4質量%以下、より好ましくは3質量%以下である。前記下限値以上とすることで感度が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望のパターンを形成しやすくなる傾向がある。 The content ratio of the (F) thiol compound in the photosensitive composition of the present invention is usually 0.01% by mass or more, preferably 0.1% by mass or more, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. , More preferably 0.5% by mass or more, further preferably 1% by mass or more, particularly preferably 1.5% by mass or more, usually 5% by mass or less, preferably 4% by mass or less, more preferably 3% by mass. It is as follows. When it is at least the lower limit value, the sensitivity tends to be high, and when it is at least the upper limit value, it tends to be easy to form a desired pattern.

また、感光性樹脂組成物中の(A)光重合開始剤に対する(F)チオール化合物の配合比としては、(A)光重合開始剤100質量部に対して、10質量部以上が好ましく、25質量部以上がより好ましく、50質量部以上がさらに好ましく、また、500質量部以下が好ましく、400質量部以上がより好ましく、300質量部以下がさらに好ましく、200質量部以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで高感度となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望のパターンを形成しやすくなる傾向がある。 The blending ratio of the (F) thiol compound to the (A) photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition is preferably 10 parts by mass or more, preferably 25 parts by mass or more, based on 100 parts by mass of the (A) photopolymerization initiator. More than parts by mass is more preferable, 50 parts by mass or more is further preferable, 500 parts by mass or less is preferable, 400 parts by mass or more is more preferable, 300 parts by mass or less is further preferable, and 200 parts by mass or less is particularly preferable. When it is at least the lower limit value, the sensitivity tends to be high, and when it is at least the upper limit value, it tends to be easy to form a desired pattern.

[1−1−7](G)成分;重合禁止剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(G)重合禁止剤を含有してもよい。(G)重合禁止剤を含有することでそれがラジカル重合を阻害することから、得られる隔壁のテーパー角度を大きくすることができると考えられる。
重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、メチルヒドロキノン、メトキシフェノール、2,6−ジ−tert−ブチル−4−クレゾール(BHT)などが挙げられる。これらの中でも重合禁止能力の観点から、ハイドロキノン又はメトキシフェノールが好ましく、メチルハイドロキノンがより好ましい。
[1-1-7] Component (G); Polymerization Inhibitor The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention may contain (G) a polymerization inhibitor. It is considered that the taper angle of the obtained partition wall can be increased because the inclusion of the (G) polymerization inhibitor inhibits radical polymerization.
Examples of the polymerization inhibitor include hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, methylhydroquinone, methoxyphenol, 2,6-di-tert-butyl-4-cresol (BHT) and the like. Among these, hydroquinone or methoxyphenol is preferable, and methylhydroquinone is more preferable, from the viewpoint of polymerization inhibitory ability.

重合禁止剤は、1種又は2種以上を含有することが好ましい。通常、(C)アルカリ可溶性樹脂を製造する際に、当該樹脂中に重合禁止剤が含まれることがあり、それを本発明の(G)重合禁止剤として用いてもよいし、樹脂中に重合禁止剤の他に、それと同一、又は異なる重合禁止剤を感光性樹脂組成物製造時に添加してもよい。 The polymerization inhibitor preferably contains one kind or two or more kinds. Usually, when producing (C) an alkali-soluble resin, a polymerization inhibitor may be contained in the resin, which may be used as the (G) polymerization inhibitor of the present invention, or polymerized in the resin. In addition to the banning agent, the same or different polymerization banning agent may be added at the time of producing the photosensitive resin composition.

感光性樹脂組成物中の重合禁止剤の含有割合は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常0.0005質量%以上、好ましくは0.001質量%以上、より好ましくは0.01質量%以上であり、また通常0.3質量%以下、好ましくは0.2質量%以下、より好ましくは0.1質量%以下である。前記下限値以上とすることでテーパー角度を高くすることができる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで高感度を保つことができる傾向がある。 The content ratio of the polymerization inhibitor in the photosensitive resin composition is usually 0.0005% by mass or more, preferably 0.001% by mass or more, more preferably 0.% by mass, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. It is 01% by mass or more, and usually 0.3% by mass or less, preferably 0.2% by mass or less, and more preferably 0.1% by mass or less. When it is set to the lower limit value or more, the taper angle tends to be increased, and when it is set to the upper limit value or less, high sensitivity tends to be maintained.

[1−1−8](H)成分;紫外線吸収剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(H)紫外線吸収剤を含有してもよい。紫外線吸収剤は、露光に用いられる光源の特定の波長を紫外線吸収剤によって吸収させることにより、光硬化分布を制御する目的で添加されるものである。紫外線吸収剤の添加により、現像後のテーパー角度形状を改善したり、現像後に非露光部に残る残渣をなくしたりするなどの効果が得られる。紫外線吸収剤としては、開始剤の光吸収の阻害の観点から、例えば、波長250nmから400nmの間に吸収極大を有する化合物を用いることができる。
紫外線吸収剤の例としては、ベンゾトリアゾール系化合物、トリアジン系化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾエート化合物、桂皮酸誘導体、ナフタレン誘導体、アントラセン及びその誘導体、ジナフタレン化合物、フェナントロリン化合物、染料等が挙げられる。
これらの紫外線吸収剤は、単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。
[1-1-8] Component (H); Ultraviolet absorber The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention may contain (H) an ultraviolet absorber. The ultraviolet absorber is added for the purpose of controlling the photocuring distribution by absorbing a specific wavelength of the light source used for exposure by the ultraviolet absorber. By adding the ultraviolet absorber, effects such as improving the taper angle shape after development and eliminating the residue remaining in the unexposed portion after development can be obtained. As the ultraviolet absorber, for example, a compound having an absorption maximum between the wavelengths of 250 nm and 400 nm can be used from the viewpoint of inhibiting the light absorption of the initiator.
Examples of the ultraviolet absorber include benzotriazole compounds, triazine compounds, benzophenone compounds, benzoate compounds, cinnamic acid derivatives, naphthalene derivatives, anthracene and its derivatives, dinaphthalene compounds, phenanthroline compounds, dyes and the like.
These UV absorbers can be used alone or in combination of two or more.

これらの中でも、テーパー角度を高める観点から、ベンゾトリアゾール化合物及び/又はヒドロキシフェニルトリアジン化合物が好ましく、ベンゾトリアゾール化合物が特に好ましい。 Among these, a benzotriazole compound and / or a hydroxyphenyltriazine compound is preferable, and a benzotriazole compound is particularly preferable, from the viewpoint of increasing the taper angle.

ベンゾトリアゾール系化合物としては、2−(5メチル−2−ヒドロキシフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2−ヒドロキシ−5−t−ブチルフェニル)−2H−ベンゾトリアゾール、オクチル−3[3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−(5−クロロ−2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)フェニル]プロピオネートと2−エチルヘキシル−3−[3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−(5−クロロ−2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)フェニル]プロピオネートの混合物、2−[2−ヒドロキシ−3,5−ビス(α,α−ジメチルベンジル)フェニル]−2H−ベンゾトリアゾール、2−(3−tブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、2−(3,5−ジ−t−アミル−2−ヒドロキシフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−5’−t−オクチルフェニル)ベンゾトリアゾール、ベンゼンプロパン酸,3−(2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)−(1,1−ジメチルエチル)−4−ヒドロキシ,C7−9側鎖及び直鎖アルキルエステルの化合物、2−(2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)−4,6−ビス(1−メチル−1−フェニルエチル)フェノール、2−(2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)−6−(1−メチル−1−フェニルエチル)−4−(1,1,3,3−テトラメチルブチル)フェノール、が挙げられる。 Examples of the benzotriazole compound include 2- (5-methyl-2-hydroxyphenyl) benzotriazole, 2- (2-hydroxy-5-t-butylphenyl) -2H-benzotriazole, and octyl-3 [3-tert-butyl. -4-Hydroxy-5- (5-chloro-2H-benzotriazole-2-yl) phenyl] propionate and 2-ethylhexyl-3- [3-tert-butyl-4-hydroxy-5- (5-chloro-2H) -Phenyl-benzotriazole-2-yl) phenyl] propionate mixture, 2- [2-hydroxy-3,5-bis (α, α-dimethylbenzyl) phenyl] -2H-benzotriazole, 2- (3-t butyl- 5-Methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole, 2- (3,5-di-t-amyl-2-hydroxyphenyl) benzotriazole, 2- (2'-hydroxy-5'-t- Octylphenyl) benzotriazole, benzenepropanoic acid, 3- (2H-benzotriazole-2-yl)-(1,1-dimethylethyl) -4-hydroxy, C7-9 side chain and linear alkyl ester compound, 2 -(2H-benzotriazole-2-yl) -4,6-bis (1-methyl-1-phenylethyl) phenol, 2- (2H-benzotriazole-2-yl) -6- (1-methyl-1) −Phenylethyl) -4- (1,1,3,3-tetramethylbutyl) phenol.

市販されているベンゾトリアゾール系化合物としては例えば、スミソーブ200、スミソーブ250、スミソーブ300、スミソーブ340、スミソーブ350(住友化学製)、JF77、JF78、JF79、JF80、JF83(城北化学工業製)、TINUVIN PS、TINUVIN99−2、TINUVIN109、TINUVIN384−2、TINUVIN 326、TINUVIN900、「TINUVIN 928」、TINUVIN928、TINUVIN1130(BASF製)、EVERSORB70、EVERSORB71、EVERSORB72、EVERSORB73、EVERSORB74、EVERSORB75、EVERSORB76、EVERSORB234、EVERSORB77、EVERSORB78、EVERSORB80、EVERSORB81(台湾永光化学工業製)、トミソーブ100、トミソーブ600(エーピーアイコーポレーション製)、SEESORB701、SEESORB702、SEESORB703、SEESORB704、SEESORB706、SEESORB707、SEESORB709(シプロ化成製)、RUVA−93(大塚化学株式会社)などが挙げられる。 Examples of commercially available benzotriazole compounds include Sumisorb 200, Sumisorb 250, Sumisorb 300, Sumisorb 340, Sumisorb 350 (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), JF77, JF78, JF79, JF80, JF83 (manufactured by Johoku Chemical Industry Co., Ltd.), and TINUVIN PS. , TINUVIN99-2, TINUVIN109, TINUVIN384-2, TINUVIN 326, TINUVIN900, "TINUVIN 928", TINUVIN928, TINUVIN1130 (manufactured by BASF), EVERSORB70, EVERSORB71, EVERSORB72, EVERSORB73, EVERSORB74, EVERSORB75, EVERSORB76, EVERSORB234, EVERSORB77, EVERSORB78, EVERSORB80 , EVERSORB81 (manufactured by Taiwan Yongkou Chemical Co., Ltd.), Tomisorb 100, Tomisorb 600 (manufactured by AP Corporation), SEESORB701, SEESORB702, SEESORB703, SEESORB704, SEESORB706, SEESORB707, SEESORB709 (manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd.), RUV And so on.

トリアジン系化合物としては、2−[4,6−ジ(2,4−キシリル)−1,3,5−トリアジン−2−イル]−5−オクチルオキシフェノール、2‐[4,6‐ビス(2,4‐ジメチルフェニル)‐1,3,5‐トリアジン‐2‐イル]‐5‐[3‐(ドデシルオキシ)‐2‐ヒドロキシプロポキシ]フェノール、2−(2,4−ジヒドロキシフェニル)−4,6−ビス(2,4−ジメチルフェニル)−1,3,5−トリアジンと(2−エチルヘキシル−グリシド酸エステルの反応生成物、2,4−ビス「2−ヒドロキシ−4−ブトキシフェニル」−6−(2,4−ジブトキシフェニル)−1,3−5−トリアジン等が挙げられる。これらの中でも、テーパー角度と露光感度の観点から、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物が好ましい。
市販されているトリアジン系化合物としては例えば、TINUVIN400、TINUVIN405、TINUVIN460、TINUVIN477、TINUVIN479(BASF製)などを挙げることができる。
Examples of triazine compounds include 2- [4,6-di (2,4-kisilyl) -1,3,5-triazine-2-yl] -5-octyloxyphenol, 2- [4,6-bis (4,6-bis). 2,4-Dimethylphenyl) -1,3,5-triazine-2-yl] -5- [3- (dodecyloxy) -2-hydroxypropoxy] phenol, 2- (2,4-dihydroxyphenyl) -4 , 6-Bis (2,4-dimethylphenyl) -1,3,5-triazine and (2-ethylhexyl-glycidate ester reaction product, 2,4-bis "2-hydroxy-4-butoxyphenyl"- Examples thereof include 6- (2,4-dibutoxyphenyl) -1,3-5-triazine. Among these, a hydroxyphenyltriazine compound is preferable from the viewpoint of taper angle and exposure sensitivity.
Examples of commercially available triazine compounds include TINUVIN400, TINUVIN405, TINUVIN460, TINUVIN477, and TINUVIN479 (manufactured by BASF).

その他の紫外線吸収剤としては、例えば、スミソーブ130(住友化学製)、EVERSORB10、EVERSORB11、EVERSORB12(台湾永光化学工業製)、トミソーブ800(エーピーアイコーポレーション製)、SEESORB100、SEESORB101、SEESORB101S、SEESORB102、SEESORB103、SEESORB105、SEESORB106、SEESORB107、SEESORB151(シプロ化成製)などのベンゾフェノン化合物;スミソーブ400(住友化学製)、サリチル酸フェニルなどのベンゾエート化合物;桂皮酸2−エチルヘキシル、パラメトキシ桂皮酸2−エチルヘキシル、メトキシケイ皮酸イソプロピル、メトキシケイ皮酸イソアミル等の桂皮酸誘導体;α−ナフトール、β−ナフトール、α−ナフトールメチルエーテル、α−ナフトールエチルエーテル、1,2−ジヒドロキシナフタレン、1,3−ジヒドロキシナフタレン、1,4−ジヒドロキシナフタレン、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、1,7−ジヒドロキシナフタレン、1,8−ジヒドロキシナフタレン、2,3−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、2,7−ジヒドロキシナフタレン等のナフタレン誘導体;アントラセン、9,10−ジヒドロキシアントラセン等のアントラセン及びその誘導体;アゾ系染料、ベンゾフェノン系染料、アミノケトン系染料、キノリン系染料、アントラキノン系染料、ジフェニルシアノアクリレート系染料、トリアジン系染料、p−アミノ安息香酸系染料等の染料;等が挙げられる。これらの中でも、露光感度の観点から、桂皮酸誘導体、ナフタレン誘導体を用いることが好ましく、桂皮酸誘導体を用いることが特に好ましい。 Examples of other ultraviolet absorbers include Sumisorb 130 (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), EVERSORB10, EVERSORB11, EVERSORB12 (manufactured by Taiwan Eiko Chemical Industry Co., Ltd.), Tomisorb 800 (manufactured by AP Corporation), SEESORB100, SEESORB101, SEESORB101S, SEESORB102, SEESORB102. Benzophenone compounds such as SEESORB105, SEESORB106, SEESORB107, SEESORB151 (manufactured by Cipro Chemicals); benzoate compounds such as Sumisorb 400 (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), phenyl salicylate; , Chorusic acid derivatives such as isoamyl methoxycinnamate; α-naphthal, β-naphthol, α-naphthal methyl ether, α-naphthal ethyl ether, 1,2-dihydroxynaphthalene, 1,3-dihydroxynaphthalene, 1,4- Dihydroxynaphthalene, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 1,7-dihydroxynaphthalene, 1,8-dihydroxynaphthalene, 2,3-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, 2,7-dihydroxy Naphthalene derivatives such as naphthalene; anthracene such as anthracene and 9,10-dihydroxyanthracene and their derivatives; azo dyes, benzophenone dyes, aminoketone dyes, quinoline dyes, anthraquinone dyes, diphenylcyanoacrylate dyes, triazine dyes , Dyes such as p-aminobenzoic acid dyes; and the like. Among these, from the viewpoint of exposure sensitivity, it is preferable to use a cinnamic acid derivative and a naphthalene derivative, and it is particularly preferable to use a cinnamic acid derivative.

本発明の感光性樹脂組成物中の(H)紫外線吸収剤の含有割合は、全固形分に対して、通常0.01質量%以上、好ましくは0.05質量%以上、より好ましくは0.1質量%以上、さらに好ましくは0.5質量%以上、特に好ましくは1質量%以上であり、また、通常15質量%以下、好ましくは10質量%以下、より好ましくは5質量%以下、さらに好ましくは3質量%以下である。前記下限値以上とすることでテーパー角度は大きくなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで高感度となる傾向がある。 The content ratio of the (H) ultraviolet absorber in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 0.01% by mass or more, preferably 0.05% by mass or more, more preferably 0. 1% by mass or more, more preferably 0.5% by mass or more, particularly preferably 1% by mass or more, and usually 15% by mass or less, preferably 10% by mass or less, more preferably 5% by mass or less, still more preferable. Is 3% by mass or less. When it is at least the lower limit value, the taper angle tends to be large, and when it is at least the upper limit value, the sensitivity tends to be high.

また、(A)光重合開始剤に対する配合比としては、(A)光重合開始剤100質量部に対する(H)紫外線吸収剤の配合量として、通常1質量部以上、好ましくは10質量部以上、より好ましくは30質量部以上、さらに好ましくは50質量部以上、特に好ましくは80質量部以上であり、通常500質量部以下、好ましくは300質量部以下、より好ましくは200質量部以下、さらに好ましくは150質量部以下である。前記下限値以上とすることでテーパー角度が大きくなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで高感度となる傾向がある。 The blending ratio of (A) to the photopolymerization initiator is usually 1 part by mass or more, preferably 10 parts by mass or more, as the blending amount of (H) ultraviolet absorber to 100 parts by mass of (A) photopolymerization initiator. More preferably 30 parts by mass or more, further preferably 50 parts by mass or more, particularly preferably 80 parts by mass or more, usually 500 parts by mass or less, preferably 300 parts by mass or less, more preferably 200 parts by mass or less, still more preferably. It is 150 parts by mass or less. When it is at least the lower limit value, the taper angle tends to be large, and when it is at least the upper limit value, the sensitivity tends to be high.

[1−1−9]熱重合開始剤
さらに、本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物には、熱重合開始剤が含有されていてもよい。熱重合開始剤を含有することで、膜の架橋度を高くできる傾向がある。このような熱重合開始剤の具体例としては、例えば、アゾ系化合物、有機過酸化物および過酸化水素などが挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
[1-1-9] Thermal Polymerization Initiator Further, the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention may contain a thermal polymerization initiator. By containing the thermal polymerization initiator, the degree of cross-linking of the film tends to be increased. Specific examples of such a thermal polymerization initiator include azo compounds, organic peroxides, hydrogen peroxide and the like. One of these may be used alone, or two or more thereof may be used in combination.

なお、光重合開始剤に感度向上や膜の架橋密度の増大を期待して熱重合開始剤を併用する場合、これらの含有割合の合計が、前述の感光性樹脂組成物中の光重合開始剤の含有割合となるようにすることが好ましく、また、光重合開始剤と熱重合開始剤との併用割合としては、感度の観点から、光重合開始剤100質量部に対して熱重合開始剤を5〜300質量部とすることが好ましい。 When a thermal polymerization initiator is used in combination with the photopolymerization initiator in anticipation of an increase in sensitivity and a crosslink density of the film, the total content of these photopolymerization initiators in the above-mentioned photosensitive resin composition is calculated. The content ratio of the photopolymerization initiator is preferably such that the content ratio of the photopolymerization initiator and the thermal polymerization initiator is such that, from the viewpoint of sensitivity, the thermal polymerization initiator is used with respect to 100 parts by mass of the photopolymerization initiator. It is preferably 5 to 300 parts by mass.

[1−1−10]アミノ化合物
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物には、熱硬化を促進するためにアミノ化合物が含まれていてもよい。この場合、感光性樹脂組成物中のアミノ化合物の含有量としては、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常40質量%以下、好ましくは30質量%以下である。また、通常0.5質量%以上、好ましくは1質量%以上である。前記上限値以下とすることで保存安定性を維持できる傾向があり、前記下限値以上とすることで十分な熱硬化性を確保できる傾向がある。
[1-1-10] Amino Compound The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention may contain an amino compound in order to promote thermosetting. In this case, the content of the amino compound in the photosensitive resin composition is usually 40% by mass or less, preferably 30% by mass or less, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. Further, it is usually 0.5% by mass or more, preferably 1% by mass or more. When it is set to the upper limit value or less, the storage stability tends to be maintained, and when it is set to the lower limit value or more, sufficient thermosetting property tends to be secured.

アミノ化合物としては、例えば、官能基としてメチロール基、それを炭素数1〜8のアルコール縮合変性したアルコキシメチル基を少なくとも2個有するアミノ化合物が挙げられる。具体的には、例えば、メラミンとホルムアルデヒドとを重縮合させたメラミン樹脂;ベンゾグアナミンとホルムアルデヒドとを重縮合させたベンゾグアナミン樹脂;グリコールウリルとホルムアルデヒドとを重縮合させたグリコールウリル樹脂;尿素とホルムアルデヒドとを重縮合させた尿素樹脂;メラミン、ベンゾグアナミン、グリコールウリル、または尿素などの2種以上とホルムアルデヒドとを共重縮合させた樹脂;上述の樹脂のメチロール基をアルコール縮合変性した変性樹脂などが挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。アミノ化合物としては中でも、メラミン樹脂およびその変性樹脂が好ましく、メチロール基の変性割合が、70%以上の変性樹脂が更に好ましく、80%以上の変性樹脂が特に好ましい。 Examples of the amino compound include an amino compound having a methylol group as a functional group and at least two alkoxymethyl groups obtained by alcohol condensation modification having 1 to 8 carbon atoms thereof. Specifically, for example, a melamine resin obtained by polycondensing melamine and formaldehyde; a benzoguanamine resin obtained by polycondensing benzoguanamine and formaldehyde; a glycoluryl resin obtained by polycondensing glycoluryl and formaldehyde; urea and formaldehyde are combined. Polycondensation urea resin; resin obtained by polycondensation of two or more kinds such as melamine, benzoguanamine, glycoluryl, or urea and formaldehyde; modified resin obtained by alcohol condensation modification of the methylol group of the above-mentioned resin and the like. One of these may be used alone, or two or more thereof may be used in combination. Among the amino compounds, a melamine resin and a modified resin thereof are preferable, a modified resin having a methylol group modification ratio of 70% or more is more preferable, and a modified resin having a modification ratio of 80% or more is particularly preferable.

上記アミノ化合物の具体例として、メラミン樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「サイメル」(登録商標)300、301、303、350、736、738、370、771、325、327、703、701、266、267、285、232、235、238、1141、272、254、202、1156、1158、および、三和ケミカル社製の「ニカラック」(登録商標)MW−390、MW−100LM、MX−750LM、MW−30M、MX−45、MX−302などが挙げられる。また、上記ベンゾグアナミン樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「サイメル」(登録商標)1123、1125、1128などが挙げられる。また、上記グリコールウリル樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「サイメル」(登録商標)1170、1171、1174、1172、および、三和ケミカル社製の「ニカラック」(登録商標)MX−270などが挙げられる。また、上記尿素樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「UFR」(登録商標)65、300、および、三和ケミカル社製の「ニカラック」(登録商標)MX−290などが挙げられる。 As specific examples of the above amino compounds, examples of the melamine resin and its modified resin include "Simel" (registered trademark) 300, 301, 303, 350, 736, 738, 370, 771, 325, 327 manufactured by Cytec. 703, 701, 266, 267, 285, 232, 235, 238, 1141, 272, 254, 202, 1156, 1158, and "Nikalac" (registered trademark) MW-390, MW-100LM manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd. , MX-750LM, MW-30M, MX-45, MX-302 and the like. Examples of the benzoguanamine resin and its modified resin include "Simel" (registered trademark) 1123, 1125, 1128 manufactured by Cytec. Examples of the glycoluril resin and its modified resin include "Simel" (registered trademark) 1170, 1171, 1174, 1172 manufactured by Cytec Co., Ltd. and "Nicarac" (registered trademark) MX manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd. -270 and the like. Examples of the urea resin and its modified resin include "UFR" (registered trademark) 65 and 300 manufactured by Cytec Co., Ltd. and "Nicarac" (registered trademark) MX-290 manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd. Be done.

[1−1−11]着色剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物には、隔壁を着色させる目的で着色剤が含まれていてもよい。着色剤としては、顔料、染料等公知の着色剤を用いることができる。また、例えば、顔料を用いる際に、その顔料が凝集したりせずに安定して感光性組成物中に存在できるように、公知の分散剤や分散助剤が併用されてもよい。特に撥液性隔壁を黒色に着色することで、鮮明な画素表示が得られる効果がある。黒色着色剤としては黒色染料や黒色顔料、カーボンブラック、チタンブラックなどの他、有機顔料を混合させて黒く着色することも低導電性を持たせる効果として有効である。着色剤の含有量としては製版性と色特性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常60質量%以下、好ましくは40質量%以下である。
一方で、隔壁からのアウトガスを低減させる目的の場合、隔壁を透明にするのが望ましく、その場合の着色剤の含有割合は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、好ましくは10質量%以下、より好ましくは5質量%以下である。
[1-1-11] Colorant The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention may contain a colorant for the purpose of coloring the partition wall. As the colorant, known colorants such as pigments and dyes can be used. Further, for example, when a pigment is used, a known dispersant or dispersion aid may be used in combination so that the pigment can stably exist in the photosensitive composition without agglomeration. In particular, coloring the liquid-repellent partition wall in black has the effect of obtaining a clear pixel display. As the black colorant, in addition to black dyes, black pigments, carbon black, titanium black, etc., mixing organic pigments to color black is also effective as an effect of imparting low conductivity. The content of the colorant is usually 60% by mass or less, preferably 40% by mass or less, based on the total solid content of the photosensitive resin composition from the viewpoint of plate-making property and color characteristics.
On the other hand, for the purpose of reducing the outgas from the partition wall, it is desirable to make the partition wall transparent, and the content ratio of the colorant in that case is preferably 10% by mass with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition. % Or less, more preferably 5% by mass or less.

[1−1−12]塗布性向上剤、現像改良剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物には、塗布性や現像溶解性を向上するために塗布性向上剤や現像改良剤が含まれていてもよい。塗布性向上剤あるいは現像改良剤としては、例えば公知の、カチオン性、アニオン性、ノニオン性、フッ素系、シリコーン系界面活性剤を用いることができる。また、現像改良剤として、有機カルボン酸或いはその無水物など公知のものを用いることもできる。また、その含有量は、感度の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常20質量%以下、好ましくは10質量%以下である。
[1-1-12] Coatability improver and development improver The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention contains a coatability improver and a development improver in order to improve coatability and development solubility. It may be. As the coatability improver or the development improver, for example, known cationic, anionic, nonionic, fluorine-based, and silicone-based surfactants can be used. Further, as the development improving agent, a known substance such as an organic carboxylic acid or an anhydride thereof can also be used. The content thereof is usually 20% by mass or less, preferably 10% by mass or less, based on the total solid content of the photosensitive resin composition from the viewpoint of sensitivity.

[1−1−13]シランカップリング剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物には、基板との密着性を改善するため、シランカップリング剤を添加することも好ましい。シランカップリング剤の種類としては、エポキシ系、メタクリル系、アミノ系、イミダゾール系など種々の物が使用できるが、密着性向上の観点から、特にエポキシ系、イミダゾール系のシランカップリング剤が好ましい。その含有量は、密着性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常20質量%以下、好ましくは15質量%以下である。
[1-1-13] Silane Coupling Agent It is also preferable to add a silane coupling agent to the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention in order to improve the adhesion to the substrate. Various types of silane coupling agents such as epoxy-based, methacrylic-based, amino-based, and imidazole-based agents can be used, but from the viewpoint of improving adhesion, epoxy-based and imidazole-based silane coupling agents are particularly preferable. The content thereof is usually 20% by mass or less, preferably 15% by mass or less, based on the total solid content of the photosensitive resin composition from the viewpoint of adhesion.

[1−1−14]リン酸系密着向上剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物には、基板との密着性を改善するため、リン酸系密着向上剤を添加することも好ましい。リン酸系密着向上剤としては、(メタ)アクリロイルオキシ基含有ホスフェート類が好ましく、中でも下記一般式(Va)、(Vb)、(Vc)で表されるものが好ましい。
[1-1-14] Phosphoric acid-based adhesion improver It is also preferable to add a phosphoric acid-based adhesion improver to the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention in order to improve the adhesion to the substrate. As the phosphoric acid-based adhesion improver, (meth) acryloyloxy group-containing phosphates are preferable, and among them, those represented by the following general formulas (Va), (Vb) and (Vc) are preferable.

Figure 2021120946
Figure 2021120946

上記一般式(Va)、(Vb)、(Vc)において、R8は水素原子又はメチル基を示し、r及びr’は1〜10の整数、sは1、2又は3である。 In the above general formulas (Va), (Vb), and (Vc), R 8 represents a hydrogen atom or a methyl group, r and r'are integers of 1 to 10, and s is 1, 2 or 3.

[1−1−15]無機充填剤
また、本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、さらに、硬化物としての強度の向上と共に、アルカリ可溶性樹脂との適度な相互作用(マトリックス構造の形成)による塗布膜の優れた平坦性とテーパー角の向上等を目的として、無機充填剤を含有していてもよい。そのような無機充填剤としては、例えば、タルク、シリカ、アルミナ、硫酸バリウム、酸化マグネシウム、或いは、これらを各種シランカップリング剤により表面処理したものなどが挙げられる。
[1-1-15] Inorganic filler In addition, the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention further improves the strength as a cured product and has an appropriate interaction with an alkali-soluble resin (formation of a matrix structure). ) May contain an inorganic filler for the purpose of improving the flatness of the coating film and improving the taper angle. Examples of such an inorganic filler include talc, silica, alumina, barium sulfate, magnesium oxide, and those surface-treated with various silane coupling agents.

これら無機充填剤の平均粒子径としては、通常0.005〜20μm、好ましくは0.01〜10μmである。ここで本実施の形態にいう平均粒子径とは、ベックマン・コールター社製などのレーザ回折散乱粒度分布測定装置にて測定した値である。これらの無機充填剤のうち、特に、シリカゾルおよびシリカゾル変性物は、分散安定性と共にテーパー角の向上効果に優れる傾向があるため、好ましく配合される。本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物がこれらの無機充填剤を含む場合、その含有量としては、感度の観点から、全固形分に対して、通常5質量%以上、好ましくは10質量%以上であり、通常80質量%以下、好ましくは70質量%以下である。 The average particle size of these inorganic fillers is usually 0.005 to 20 μm, preferably 0.01 to 10 μm. Here, the average particle size referred to in the present embodiment is a value measured by a laser diffraction scattering particle size distribution measuring device manufactured by Beckman Coulter or the like. Among these inorganic fillers, silica sol and silica sol modified product are preferably blended because they tend to be excellent in the effect of improving the taper angle as well as the dispersion stability. When the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention contains these inorganic fillers, the content thereof is usually 5% by mass or more, preferably 10% by mass, based on the total solid content from the viewpoint of sensitivity. It is usually 80% by mass or less, preferably 70% by mass or less.

[1−1−16]溶剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、通常溶剤を含有し、前述の各成分を溶剤に溶解または分散させた状態で使用される(以下、溶剤を含む感光性樹脂組成物を「感光性樹脂組成物溶液」と記すことがある)。その溶剤としては、特に制限は無いが、例えば、以下に記載する有機溶剤が挙げられる。
[1-1-16] Solvent The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention usually contains a solvent and is used in a state where each of the above-mentioned components is dissolved or dispersed in a solvent (hereinafter, contains a solvent). The photosensitive resin composition may be referred to as "photosensitive resin composition solution"). The solvent is not particularly limited, and examples thereof include the organic solvents described below.

エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、プロピレングリコール−t−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、メトキシメチルペンタノール、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、3−メチル−3−メトキシブタノール、3−メトキシ−1−ブタノール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテルのようなグリコールモノアルキルエーテル類;エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテルのようなグリコールジアルキルエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メトキシ−1−ブチルアセテートのようなグリコールアルキルエーテルアセテート類;エチレングリコールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、1,6−ヘキサノールジアセテートなどのグリコールジアセテート類;シクロヘキサノールアセテートなどのアルキルアセテート類;アミルエーテル、ジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジアミルエーテル、エチルイソブチルエーテル、ジヘキシルエーテルのようなエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソアミルケトン、ジイソプロピルケトン、ジイソブチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、エチルアミルケトン、メチルブチルケトン、メチルヘキシルケトン、メチルノニルケトン、メトキシメチルペンタノンのようなケトン類;メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリエチレングリコール、メトキシメチルペンタノール、グリセリン、ベンジルアルコールのような1価又は多価アルコール類;n−ペンタン、n−オクタン、ジイソブチレン、n−ヘキサン、ヘキセン、イソプレン、ジペンテン、ドデカンのような脂肪族炭化水素類;シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、メチルシクロヘキセン、ビシクロヘキシルのような脂環式炭化水素類;ベンゼン、トルエン、キシレン、クメンのような芳香族炭化水素類;アミルホルメート、エチルホルメート、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸プロピル、酢酸アミル、メチルイソブチレート、エチレングリコールアセテート、エチルプロピオネート、プロピルプロピオネート、酪酸ブチル、酪酸イソブチル、イソ酪酸メチル、エチルカプリレート、ブチルステアレート、エチルベンゾエート、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチル、γ−ブチロラクトンのような鎖状又は環状エステル類;3−メトキシプロピオン酸、3−エトキシプロピオン酸のようなアルコキシカルボン酸類;ブチルクロライド、アミルクロライドのようなハロゲン化炭化水素類;メトキシメチルペンタノンのようなエーテルケトン類;アセトニトリル、ベンゾニトリルのようなニトリル類:テトラヒドロフラン、ジメチルテトラヒドロフラン、ジメトキシテトラヒドロフランのようなテトラヒドロフラン類などである。 Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether, propylene glycol-t-butyl ether, diethylene glycol monomethyl Ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, methoxymethylpentanol, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, 3-methyl-3-methoxybutanol, 3-methoxy-1-butanol, tri Glycol monoalkyl ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, tripropylene glycol methyl ether; ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether , Glycol dialkyl ethers such as dipropylene glycol dimethyl ether; ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol mono-n-butyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol Monopropyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate, methoxybutyl acetate, 3-methoxybutyl acetate, methoxypentyl acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol mono-n-butyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate Glycolalkyl ether acetates such as triethylene glycol monomethyl ether acetate, triethylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methoxy-1-butyl acetate; ethylene glycol diacetate, 1 , 3-butylene glycol diacetate, glycol diacetates such as 1,6-hexanol diacetate; alkyl acetates such as cyclohexanol acetate; amyl ether, diethyl ether, dipropyl ether, diisopropyl ether, dibutyl ether, diamyl ether , Ethylisobutyl ethers, ethers such as dihexyl ethers; acetone, methylethylketone, methylamylketone, methylisopropylketone, methylisoamylketone, diisopropylketone, diisobutylketone, methylisobutylketone, cyclohexanone, ethylamylketone, methylbutylketone, methyl Ketones such as hexyl ketone, methylnonyl ketone, methoxymethylpentanone; methanol, ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, propylene glycol, butanediol, diethylene glycol, dipropylene glycol, triethylene glycol, methoxy Monovalent or polyhydric alcohols such as methylpentanol, glycerin, benzyl alcohol; aliphatic hydrocarbons such as n-pentane, n-octane, diisobutylene, n-hexane, hexene, isoprene, dipentene, dodecane; Alicyclic hydrocarbons such as cyclohexane, methylcyclohexane, methylcyclohexene, bicyclohexyl; aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene, cumene; amylformate, ethylformate, ethyl acetate, butyl acetate, Ppropyl acetate, amyl acetate, methyl isobutyrate, ethylene glycol acetate, ethyl propionate, propyl propionate, butyl butyrate, isobutyl butyrate, methyl isobutyrate, ethyl caprilate, butyl stearate, ethyl benzoate, 3-ethoxypropion Chain or cyclic esters such as methyl acid, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, propyl 3-methoxypropionate, butyl 3-methoxypropionate, γ-butyrolactone Alkoxycarboxylic acids such as 3-methoxypropionic acid, 3-ethoxypropionic acid; halogenated hydrocarbons such as butyl chloride and amilk loride; ether ketones such as methoxymethylpentanone; acetonitrile, benzonitrile. Una nitriles: tetrahydrofurans such as tetrahydrofuran, dimethyl tetrahydrofuran, dimethoxytetrahydrofuran and the like.

上記に該当する市販の溶剤としては、ミネラルスピリット、バルソル#2、アプコ#18ソルベント、アプコシンナー、ソーカルソルベントNo.1およびNo.2、ソルベッソ#150、シェルTS28 ソルベント、カルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート、ジグライム(いずれも商品名)などが挙げられる。 Commercially available solvents corresponding to the above include Mineral Spirit, Barsol # 2, Apco # 18 Solvent, Apco Thinner, Socal Solvent No. 1 and No. 2. Solbesso # 150, Shell TS28 solvent, carbitol, ethyl carbitol, butyl carbitol, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, ethyl cellosolve acetate, methyl cellosolve acetate, jiglime (all trade names) and the like can be mentioned.

上記溶剤は、感光性樹脂組成物中の各成分を溶解または分散させることができるもので、本発明の感光性樹脂組成物の使用方法に応じて選択されるが、塗布性の観点から、大気圧下における沸点が60〜280℃の範囲のものを選択するのが好ましい。より好ましくは70℃以上、260℃以下の沸点をもつものであり、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテル、3−メトキシ−1−ブタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシ−1−ブチルアセテート、が好ましい。 The solvent can dissolve or disperse each component in the photosensitive resin composition, and is selected according to the method of using the photosensitive resin composition of the present invention, but is large from the viewpoint of coatability. It is preferable to select one having a boiling point in the range of 60 to 280 ° C. under atmospheric pressure. More preferably, it has a boiling point of 70 ° C. or higher and 260 ° C. or lower, and for example, propylene glycol monomethyl ether, 3-methoxy-1-butanol, propylene glycol monomethyl ether acetate, and 3-methoxy-1-butyl acetate are preferable.

これらの溶剤は1種を単独でもしくは2種以上を混合して使用することができる。また、これらの溶剤は、感光性樹脂組成物溶液中の全固形分の割合が、通常10質量%以上、好ましくは15質量%以上、より好ましくは20質量%以上、通常90質量%以下、好ましくは50質量%以下、より好ましくは40質量%以下、さらに好ましくは30質量%以下となるように使用されることが好ましい。前記下限値以上とすることで適度な塗布均一性が得られる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで適度な塗布均一性が得られる傾向がある。 These solvents may be used alone or in admixture of two or more. Further, in these solvents, the ratio of the total solid content in the photosensitive resin composition solution is usually 10% by mass or more, preferably 15% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, and usually 90% by mass or less. Is preferably used so as to be 50% by mass or less, more preferably 40% by mass or less, still more preferably 30% by mass or less. When it is set to the lower limit value or more, an appropriate coating uniformity tends to be obtained, and when it is set to the upper limit value or less, an appropriate coating uniformity tends to be obtained.

[1−2]隔壁形成用感光性樹脂組成物の調製方法
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、上記の各成分を撹拌機で混合することにより調製される。なお、調製された感光性樹脂組成物が均一なものとなるよう、メンブランフィルタ等を用いて濾過してもよい。
[1-2] Method for preparing a photosensitive resin composition for forming a partition wall The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention is prepared by mixing each of the above components with a stirrer. In addition, you may filter using a membrane filter or the like so that the prepared photosensitive resin composition becomes uniform.

[2]隔壁及び隔壁の形成方法
本発明の感光性樹脂組成物は隔壁、特に有機電界発光素子の有機層を区画するための隔壁を形成するために好適に用いることができる。
以上説明した隔壁形成用感光性樹脂組成物を用いて隔壁(バンク)を形成する方法は特に限定されず、従来公知の方法を採用することができる。隔壁の形成方法としては、例えば、隔壁形成用感光性樹脂組成物を、基板上に塗布し、感光性樹脂組成物層を形成する塗布工程と、感光性樹脂組成物層を露光する露光工程と、を含む方法が挙げられる。このようなバンクの形成方法の具体例としては、インクジェット法とフォトリソグラフィー法とが挙げられる。
[2] Partition and partition wall forming method The photosensitive resin composition of the present invention can be suitably used for forming a partition wall, particularly a partition wall for partitioning an organic layer of an organic electroluminescent device.
The method of forming a partition wall (bank) using the photosensitive resin composition for forming a partition wall described above is not particularly limited, and a conventionally known method can be adopted. Examples of the method for forming the partition wall include a coating step of applying a photosensitive resin composition for forming a partition wall on a substrate to form a photosensitive resin composition layer, and an exposure step of exposing the photosensitive resin composition layer. , Including methods. Specific examples of such a bank forming method include an inkjet method and a photolithography method.

インクジェット法では、溶剤による希釈等により粘度調整された隔壁形成用感光性樹脂組成物をインクとして用い、所定の隔壁のパターンに沿ってインクジェット法によりインク液滴を基板上に吐出することで感光性樹脂組成物を基板上に塗布して未硬化の隔壁のパターンを形成する。そして、未硬化の隔壁のパターンを露光して、基板上に硬化した隔壁を形成する。未硬化の隔壁のパターンの露光は、マスクを用いないことの他は、後述するフォトリソグラフィー法における露光工程と同様に行われる。 In the inkjet method, a photosensitive resin composition for forming a partition wall whose viscosity has been adjusted by dilution with a solvent is used as an ink, and ink droplets are ejected onto a substrate by an inkjet method according to a predetermined partition pattern to be photosensitive. The resin composition is applied onto the substrate to form a pattern of uncured partition walls. Then, the pattern of the uncured partition wall is exposed to form a cured partition wall on the substrate. The exposure of the pattern of the uncured partition wall is performed in the same manner as the exposure step in the photolithography method described later, except that a mask is not used.

フォトリソグラフィー法では、隔壁形成用感光性樹脂組成物を、基板の隔壁が形成される領域全面に塗布して感光性樹脂組成物層を形成する。形成された感光性樹脂組成物層を、所定の隔壁のパターンに応じて露光した後、露光された感光性樹脂組成物層を現像して、基板上に隔壁が形成される。 In the photolithography method, the photosensitive resin composition for forming a partition wall is applied to the entire surface of the region where the partition wall of the substrate is formed to form the photosensitive resin composition layer. The formed photosensitive resin composition layer is exposed according to a predetermined partition wall pattern, and then the exposed photosensitive resin composition layer is developed to form a partition wall on the substrate.

フォトリソグラフィー法における、感光性樹脂組成物を基板上に塗布する塗布工程では、隔壁が形成されるべき基板上に、ロールコーター、リバースコーター、バーコーター等の接触転写型塗布装置やスピンナー(回転式塗布装置)、カーテンフローコーター等の非接触型塗布装置を用いて感光性樹脂組成物を塗布し、必要に応じて、乾燥により溶媒を除去して、感光性樹脂組成物層を形成する。 In the coating process of applying the photosensitive resin composition on a substrate in the photolithography method, a contact transfer type coating device such as a roll coater, a reverse coater, or a bar coater or a spinner (rotary type) is applied on the substrate on which a partition wall should be formed. The photosensitive resin composition is applied using a non-contact coating device such as a coating device) or a curtain flow coater, and if necessary, the solvent is removed by drying to form a photosensitive resin composition layer.

次いで、露光工程では、ネガ型のマスクを利用して、感光性樹脂組成物に紫外線、エキシマレーザー光等の活性エネルギー線を照射し、感光性樹脂組成物層をバンクのパターンに応じて部分的に露光する。露光には、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、カーボンアーク灯等の紫外線を発する光源を用いることができる。露光量は感光性樹脂組成物の組成によっても異なるが、例えば10〜400mJ/cm2程度が好ましい。 Next, in the exposure step, the photosensitive resin composition is irradiated with active energy rays such as ultraviolet rays and excimer laser light using a negative mask, and the photosensitive resin composition layer is partially divided according to the bank pattern. To expose to. For the exposure, a light source that emits ultraviolet rays such as a high-pressure mercury lamp, an ultra-high pressure mercury lamp, a xenon lamp, and a carbon arc lamp can be used. The amount of exposure varies depending on the composition of the photosensitive resin composition, but is preferably about 10 to 400 mJ / cm 2, for example.

次いで、現像工程では、隔壁のパターンに応じて露光された感光性樹脂組成物層を現像液で現像することにより隔壁を形成する。現像方法は特に限定されず、浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液の具体例としては、ジメチルベンジルアミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系のものや、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、4級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。又、現像液には、消泡剤や界面活性剤を添加することもできる。 Next, in the developing step, the partition wall is formed by developing the photosensitive resin composition layer exposed according to the pattern of the partition wall with a developing solution. The developing method is not particularly limited, and a dipping method, a spraying method, or the like can be used. Specific examples of the developing solution include organic ones such as dimethylbenzylamine, monoethanolamine, diethanolamine and triethanolamine, and aqueous solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, ammonia and quaternary ammonium salts. Can be mentioned. Further, an antifoaming agent or a surfactant can be added to the developing solution.

その後、現像後の隔壁にポストベークを施して加熱硬化する。ポストベークは、150〜250℃で15〜60分間が好ましい。 Then, the partition wall after development is post-baked and heat-cured. Post-baking is preferably at 150-250 ° C. for 15-60 minutes.

隔壁の形成に用いる基板は特に限定されず、隔壁が形成された基板を用いて製造される有機電界発光素子の種類に合わせて適宜選択される。好適な基板の材料としては、ガラスや、各種の樹脂材料が挙げられる。樹脂材料の具体例としては、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル;ポリエチレン、及びポリプロピレン等のポリオレフィン;ポリカーボネート;ポリ(メタ)メタアクリル樹脂;ポリスルホン;ポリイミドが挙げられる。これらの基板の材料の中では、耐熱性に優れることからガラス、及びポリイミドが好ましい。また、製造される有機電界発光素子の種類に応じて、隔壁が形成される基板の表面には、予めITOやZnO等の透明電極層を設けておいてもよい。 The substrate used for forming the partition wall is not particularly limited, and is appropriately selected according to the type of the organic electroluminescent element manufactured by using the substrate on which the partition wall is formed. Suitable substrate materials include glass and various resin materials. Specific examples of the resin material include polyesters such as polyethylene terephthalate; polyethylene and polyolefins such as polypropylene; polycarbonates; poly (meth) metaacrylic resins; polysulfones; polyimides. Among these substrate materials, glass and polyimide are preferable because they have excellent heat resistance. Further, depending on the type of the organic electroluminescent element to be manufactured, a transparent electrode layer such as ITO or ZnO may be provided in advance on the surface of the substrate on which the partition wall is formed.

[3]有機電界発光素子
本発明の有機電界発光素子は、前述の隔壁形成用感光性樹脂組成物で構成される隔壁を備える。
以上説明した方法により製造された隔壁パターンを備える基板を用いて、種々の光学素子が製造される。有機電界発光素子を形成する方法は特に限定されないが、好ましくは、上記方法により基板上に隔壁のパターンを形成した後に、基板上の隔壁により囲まれた領域内にインクを注入して画素等の有機層を形成することによって、有機電界発光素子が製造される。
[3] Organic electroluminescent device The organic electroluminescent device of the present invention includes a partition wall composed of the above-mentioned photosensitive resin composition for forming a partition wall.
Various optical elements are manufactured using the substrate having the partition wall pattern manufactured by the method described above. The method for forming the organic electroluminescent element is not particularly limited, but preferably, after forming the pattern of the partition wall on the substrate by the above method, ink is injected into the region surrounded by the partition wall on the substrate to form a pixel or the like. By forming the organic layer, an organic electroluminescent device is manufactured.

隔壁がすそ引き形状である場合、有機層形成用のインクが隔壁のすそ部分で弾かれるため、隔壁により囲まれた領域内が有機層形成用のインクにより十分に被覆されない場合がある。それに対して、すそ引きのない良好な形状とすることで、隔壁により囲まれた領域内を有機層形成用のインクにより十分に被覆することができる。これにより、例えば、有機EL表示素子におけるハレーションの問題を解消することができる。 When the partition wall has a skirt shape, the ink for forming the organic layer is repelled by the skirt portion of the partition wall, so that the area surrounded by the partition wall may not be sufficiently covered with the ink for forming the organic layer. On the other hand, by forming a good shape without skirting, the area surrounded by the partition wall can be sufficiently covered with the ink for forming an organic layer. Thereby, for example, the problem of halation in the organic EL display element can be solved.

有機層形成用のインクを形成する際に使用される溶媒としては、水、有機溶剤、及びこれらの混合溶剤を用いることができる。有機溶剤は、インクの注入後に形成された皮膜から除去可能であれば特に限定されない。有機溶剤の具体例としては、トルエン、キシレン、アニソール、メシチレン、テトラリン、シクロヘキシルベンゼン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、及び酢酸ブチル、3−フェノキシトルエン、等が挙げられる。また、インクには、界面活性剤、酸化防止剤、粘度調整剤、紫外線吸収剤等を添加することができる。 As the solvent used when forming the ink for forming the organic layer, water, an organic solvent, and a mixed solvent thereof can be used. The organic solvent is not particularly limited as long as it can be removed from the film formed after the injection of the ink. Specific examples of the organic solvent include toluene, xylene, anisole, mesityrene, tetraline, cyclohexylbenzene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, ethyl acetate, and butyl acetate, 3-phenoxytoluene. And so on. Further, a surfactant, an antioxidant, a viscosity modifier, an ultraviolet absorber and the like can be added to the ink.

隔壁により囲まれた領域内にインクを注入する方法としては、少量のインクを所定の個所に容易に注入可能であることから、インクジェット法が好ましい。有機層の形成に使用されるインクは、製造される有機電界発光素子の種類に応じて適宜選択される。インクをインクジェット法により注入する場合、インクの粘度はインクをインクジェットヘッドから良好に吐出できる限り特に限定されないが、4〜20mPa・sが好ましく、5〜10mPa・sがより好ましい。インクの粘度は、インク中の固形分含有量の調整、溶媒の変更、粘度調整剤の添加等により調整することができる。 As a method of injecting ink into the region surrounded by the partition wall, an inkjet method is preferable because a small amount of ink can be easily injected into a predetermined place. The ink used to form the organic layer is appropriately selected according to the type of organic electroluminescent device to be manufactured. When the ink is injected by the inkjet method, the viscosity of the ink is not particularly limited as long as the ink can be satisfactorily ejected from the inkjet head, but 4 to 20 mPa · s is preferable, and 5 to 10 mPa · s is more preferable. The viscosity of the ink can be adjusted by adjusting the solid content in the ink, changing the solvent, adding a viscosity modifier, and the like.

[4]画像表示装置
本発明の画像表示装置は、前述の有機電界発光素子を含むものである。有機電界発光素子を含むものであれば、画像表示装置の型式や構造については特に制限はなく、例えばアクティブ駆動型有機電界発光素子を用いて常法に従って組み立てることができる。例えば、「有機ELディスプレイ」(オーム社、平成16年8月20日発行、時任静士、安達千波矢、村田英幸著)に記載されているような方法で、本発明の画像表示装置を形成することができる。例えば、白色光を発光する有機電界発光素子とカラーフィルターとを組み合わせて画像表示させてもよいし、RGB等の発光色の異なる有機電界発光素子を組み合わせて画像表示させてもよい。
[4] Image Display Device The image display device of the present invention includes the above-mentioned organic electroluminescent element. As long as it includes an organic electroluminescent element, the model and structure of the image display device are not particularly limited, and for example, an active drive type organic electroluminescent element can be used for assembly according to a conventional method. For example, the image display device of the present invention is formed by a method as described in "Organic EL Display" (Ohmsha, published on August 20, 2004, by Shizushi Tokito, Chihaya Adachi, Hideyuki Murata). can do. For example, an organic electroluminescent element that emits white light and a color filter may be combined to display an image, or an organic electroluminescent element having a different emission color such as RGB may be combined to display an image.

[5]照明
本発明の照明は、前述の有機電界発光素子を含むものである。型式や構造については特に制限はなく、本発明の有機電界発光素子を用いて常法に従って組み立てることができる。有機電界発光素子としては、単純マトリックス駆動方式としてもよいし、アクティブマトリックス駆動方式としてもよい。
本発明の照明が白色光を発光するものとするために、白色光を発光する有機電界発光素子を用いてもよい。また、発光色の異なる有機電界発光素子を組み合わせて、各色が混色して白色となるよう構成してもよいし、混色比率を調整できるように構成して調色機能を付与してもよい。
[5] Lighting The lighting of the present invention includes the above-mentioned organic electroluminescent device. The model and structure are not particularly limited, and the organic electroluminescent device of the present invention can be used for assembly according to a conventional method. The organic electroluminescent element may be a simple matrix drive system or an active matrix drive system.
In order for the illumination of the present invention to emit white light, an organic electroluminescent device that emits white light may be used. Further, organic electroluminescent elements having different emission colors may be combined so that each color is mixed to be white, or the color mixing ratio may be adjusted to provide a toning function.

以下、本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物について、具体的な実施例を挙げて説明するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention will be described with reference to specific examples, but the present invention is not limited to the following examples as long as the gist of the present invention is not exceeded.

[1] 隔壁形成用感光性樹脂組成物の作製
各成分を表1に記載の配合割合(質量部)で用い、かつ、全固形分の含有割合が25質量%となるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用いて各成分を均一になるまで撹拌して、実施例及び比較例の隔壁形成用感光性樹脂組成物を調製した。
なお、表中の記号は以下のものを表す。
[1] Preparation of Photosensitive Resin Composition for Separation Forming Propylene glycol monomethyl ether so that each component is used in the blending ratio (parts by mass) shown in Table 1 and the content ratio of the total solid content is 25% by mass. Each component was stirred with acetate until uniform to prepare photosensitive resin compositions for partition wall formation in Examples and Comparative Examples.
The symbols in the table represent the following.

A−1:2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール(保土谷化学工業社製) A-1: 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole (manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.)

Figure 2021120946
Figure 2021120946

A−2:2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン(IRGACURE907)(BASF社製)
B−1:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(DPHA)(日本化薬社製)
A-2: 2-Methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one (IRGACURE907) (manufactured by BASF)
B-1: Dipentaerythritol hexaacrylate (DPHA) (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

C−1:以下のアクリル共重合樹脂
ジシクロペンタニルメタクリレート/スチレン/グリシジルメタクリレート(モル比0.02/0.05/0.93)を構成モノマーとする共重合樹脂に、アクリル酸をグリシジルメタクリレートと等量付加反応させ、さらに無水テトラヒドロフタル酸を上記の共重合樹脂1モルに対してモル比0.1になるように付加した、アルカリ可溶性のアクリル共重合樹脂。重量平均分子量は7,700、固形分酸価は28.5mg−KOH/g。
C-1: The following acrylic copolymer resin Dicyclopentanyl methacrylate / styrene / glycidyl methacrylate (molar ratio 0.02 / 0.05 / 0.93) is a copolymer resin containing the constituent monomer, and acrylic acid is glycidyl methacrylate. An alkali-soluble acrylic copolymer resin obtained by adding an equal amount of the above-mentioned tetrahydrophthalic anhydride to 1 mol of the above-mentioned copolymer resin so as to have a molar ratio of 0.1. The weight average molecular weight is 7,700, and the solid acid value is 28.5 mg-KOH / g.

D−1:2,4−ジエチルチオキサントン(DETX−S)(日本化薬社製) D-1: 2,4-Diethylthioxanthone (DETX-S) (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

Figure 2021120946
Figure 2021120946

E−1:RS72K(DIC社製、フッ素系、エチレン性二重結合を有するオリゴマー)
F−1:2−メルカプトベンゾイミダゾール(東京化成社製)
F−2:ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオナート)(淀化学社製)
G−1:メチルヒドロキノン(精工化学社製)
H−1:TINUVIN384−2(BASF社製)
I−1:PM21(日本化薬社製)
E-1: RS72K (manufactured by DIC, fluorine-based, oligomer having an ethylenic double bond)
F-1: 2-Mercaptobenzimidazole (manufactured by Tokyo Kasei Co., Ltd.)
F-2: Pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate) (manufactured by Yodo Kagaku Co., Ltd.)
G-1: Methyl hydroquinone (manufactured by Seiko Kagaku Co., Ltd.)
H-1: TINUVIN 384-2 (manufactured by BASF)
I-1: PM21 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

Figure 2021120946
Figure 2021120946

[2] 隔壁の形成及び評価
以下に性能評価の方法を説明する。
[2] Formation and evaluation of partition walls The method of performance evaluation will be described below.

(接触角測定用基板作成)
表面にITO膜を形成したガラス基板の該ITO膜上にスピナーを用いて、焼成後に2.0μmの厚みになるように塗布液(前記隔壁形成用感光性樹脂組成物)を塗布した。その後100℃で2分間ホットプレート上で加熱乾燥し、得られた塗膜をマスクを使用せずに、露光量を50〜1150mJ/cm2の範囲で振って露光した(100mJ未満は10mJおき、100〜500mJは20mJおき、500mJ超過は50mJおき)。この時の波長365nmにおける強度は25mW/cm2であった。次いで24℃の2.38質量%TMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)水溶液で60秒間スプレー現像した後、純水で10秒間洗浄した。この基板を、オーブン中230℃で30分間加熱硬化させ、硬化物を形成した各種の接触角測定用基板を得た。
(Creation of substrate for contact angle measurement)
A coating liquid (the photosensitive resin composition for forming a partition wall) was applied to a thickness of 2.0 μm after firing using a spinner on the ITO film of a glass substrate having an ITO film formed on its surface. Then, it was heated and dried on a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes, and the obtained coating film was exposed by shaking the exposure amount in the range of 50 to 1150 mJ / cm 2 without using a mask (every 10 mJ for less than 100 mJ). 100-500mJ is every 20mJ, and over 500mJ is every 50mJ). At this time, the intensity at a wavelength of 365 nm was 25 mW / cm 2 . Then, it was spray-developed with a 2.38 mass% TMAH (tetramethylammonium hydroxide) aqueous solution at 24 ° C. for 60 seconds, and then washed with pure water for 10 seconds. This substrate was heat-cured in an oven at 230 ° C. for 30 minutes to obtain various contact angle measuring substrates on which a cured product was formed.

(接触角の評価)
組成物の感度により硬化性が異なるため、撥液性が生じる露光量は組成物の組成により異なる。ここで撥液性が生じる露光量とは接触角が10度以上になる露光量のことを表す。露光量が異なる各種の接触角測定用基板を用いて、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに対する接触角を測定し、撥液性が生じる最小露光量を求め、表1に記載した。なお、接触角は、協和界面科学(株)製Drop Master 500接触角測定装置により、23℃、湿度50%の条件下で測定した。
(Evaluation of contact angle)
Since the curability differs depending on the sensitivity of the composition, the amount of exposure that causes liquid repellency differs depending on the composition of the composition. Here, the exposure amount at which liquid repellency is generated means an exposure amount at which the contact angle is 10 degrees or more. The contact angle with respect to propylene glycol monomethyl ether acetate was measured using various contact angle measuring substrates having different exposure amounts, and the minimum exposure amount at which liquid repellency was generated was determined and is shown in Table 1. The contact angle was measured by a Drop Master 500 contact angle measuring device manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd. under the conditions of 23 ° C. and 50% humidity.

(隔壁の作成)
表面にITO膜を形成したガラス基板の該ITO膜上にスピナーを用いて、焼成後に2.0μmの厚みになるように塗布液(前記隔壁形成用感光性樹脂組成物)を塗布した。その後100℃で2分間ホットプレート上で加熱乾燥した。得られた塗膜をフォトマスクを用いて露光を行った。露光量は撥液性が生じる最小露光量とし、露光ギャップは16μmにした。フォトマスクは格子状の開口部を有するマスク(80μm×280μmの被覆部を40μm間隔で複数有するマスク)を使用した。次いで、接触角測定用基板作成と同様に、TMAH水溶液で現像を行った後、加熱硬化を行い、格子状の隔壁が得られた。
(Creation of partition wall)
A coating liquid (the photosensitive resin composition for forming a partition wall) was applied to a thickness of 2.0 μm after firing using a spinner on the ITO film of a glass substrate having an ITO film formed on its surface. Then, it was heated and dried on a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes. The obtained coating film was exposed using a photomask. The exposure amount was set to the minimum exposure amount at which liquid repellency was generated, and the exposure gap was set to 16 μm. As the photomask, a mask having a grid-like opening (a mask having a plurality of 80 μm × 280 μm covering portions at 40 μm intervals) was used. Then, in the same manner as in preparing the substrate for measuring the contact angle, development was carried out with an aqueous solution of TMAH and then heat curing was carried out to obtain a grid-like partition wall.

(隔壁のテーパ角度測定)
断面観察用のSEM観察サンプルを作成し、走査型電子顕微鏡(SEM、キーエンス社製)を用いて隔壁の断面形状を観察し、そのテーパー角度を測定した。その結果を表1に記載した。
この断面において、図1のように隔壁1とITO膜2との境界面をS、隔壁の高さをHとした。隔壁の斜辺においてHの1/2となる高さの点をAとし、点Aにおける斜辺との接線をTとし、接線Tと境界面Sのなす角を測定し、テーパー角度とした。
(Measurement of bulkhead taper angle)
An SEM observation sample for cross-sectional observation was prepared, the cross-sectional shape of the partition wall was observed using a scanning electron microscope (SEM, manufactured by KEYENCE CORPORATION), and the taper angle thereof was measured. The results are shown in Table 1.
In this cross section, as shown in FIG. 1, the boundary surface between the partition wall 1 and the ITO film 2 is S, and the height of the partition wall is H. A point at a height that is 1/2 of H on the hypotenuse of the partition wall is defined as A, a tangent line with the hypotenuse at point A is defined as T, and the angle formed by the tangent line T and the boundary surface S is measured and used as a taper angle.

表1より、光重合開始剤としてヘキサアリールビイミダゾール化合物を用い、さらに増感剤を用いた実施例の感光性樹脂組成物から得られた隔壁物は、テーパー角度が大きく良好であった。これは、ヘキサヘキサアリールビイミダゾール化合物による高い表面硬化性に加えて、増感剤により感光性樹脂組成物内部への光透過率が減少することによる低い内部硬化性が組み合わされたためであると考えられる。一方、比較例の各感光性樹脂組成物は、テーパー角度が低くなったが、これは表面硬化性の低い開始剤を使用したことや、増感剤を用いず内部硬化が抑制されなかったことが原因と考えられる。 From Table 1, the partition wall obtained from the photosensitive resin composition of the example in which the hexaarylbiimidazole compound was used as the photopolymerization initiator and further used the sensitizer was good with a large taper angle. It is considered that this is because the high surface curability of the hexahexaarylbiimidazole compound is combined with the low internal curability of the photosensitive resin composition due to the reduction of the light transmittance inside the photosensitive resin composition. Be done. On the other hand, each photosensitive resin composition of the comparative example had a low taper angle, which was due to the use of an initiator having low surface curability and the fact that internal curing was not suppressed without using a sensitizer. Is thought to be the cause.

1:隔壁
2:ITO膜
3:ガラス基板
A:隔壁の斜辺においてHの1/2となる高さの点
H:隔壁の高さ
S:隔壁とITO膜との境界面
T:点Aにおける斜辺との接線
1: Partition 2: ITO film 3: Glass substrate A: Point of height that is 1/2 of H on the hypotenuse of partition wall H: Height of partition wall S: Boundary surface between partition wall and ITO film T: Hypotenuse at point A Tangent with

Claims (10)

(A)光重合開始剤、(B)エチレン性不飽和化合物及び(C)アルカリ可溶性樹脂を含有する隔壁形成用感光性樹脂組成物であって、
前記(A)光重合開始剤がヘキサアリールビイミダゾール化合物を含有し、
さらに(D)増感剤及び(E)撥液剤を含有することを特徴とする隔壁形成用感光性樹脂組成物。
A photosensitive resin composition for forming a partition wall containing (A) a photopolymerization initiator, (B) an ethylenically unsaturated compound, and (C) an alkali-soluble resin.
The (A) photopolymerization initiator contains a hexaarylbiimidazole compound, and the photopolymerization initiator is contained.
A photosensitive resin composition for forming a partition wall, which further contains (D) a sensitizer and (E) a liquid repellent.
前記(E)撥液剤が架橋基を含有する、請求項1に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to claim 1, wherein the liquid repellent (E) contains a cross-linking group. 前記(D)増感剤が、チオキサントン系化合物を含有する、請求項1又は2に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to claim 1 or 2, wherein the sensitizer (D) contains a thioxanthone-based compound. さらに(F)チオール化合物を含有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to any one of claims 1 to 3, further containing (F) a thiol compound. さらに(G)重合禁止剤を含有する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to any one of claims 1 to 4, further containing (G) a polymerization inhibitor. さらに(H)紫外線吸収剤を含有する、請求項1〜5のいずれか1項に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to any one of claims 1 to 5, further comprising (H) an ultraviolet absorber. 請求項1〜6のいずれか1項に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物で構成される隔壁。 A partition wall composed of the photosensitive resin composition for forming a partition wall according to any one of claims 1 to 6. 請求項7に記載の隔壁を備える有機電界発光素子。 The organic electroluminescent device having the partition wall according to claim 7. 請求項8に記載の有機電界発光素子を含む画像表示装置。 An image display device including the organic electroluminescent element according to claim 8. 請求項8に記載の有機電界発光素子を含む照明。 Lighting including the organic electroluminescent device according to claim 8.
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