JP2007199135A - Photosensitive composition, photosensitive composition for blue-violet laser, image-forming base material using the same, image-forming material and image-forming method - Google Patents

Photosensitive composition, photosensitive composition for blue-violet laser, image-forming base material using the same, image-forming material and image-forming method Download PDF

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JP2007199135A JP2006014596A JP2006014596A JP2007199135A JP 2007199135 A JP2007199135 A JP 2007199135A JP 2006014596 A JP2006014596 A JP 2006014596A JP 2006014596 A JP2006014596 A JP 2006014596A JP 2007199135 A JP2007199135 A JP 2007199135A
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Toshiyoshi Urano
年由 浦野
Yasuhiro Kameyama
泰弘 亀山
Junji Mizukami
潤二 水上
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive composition having high sensitivity to lamp exposure and to laser light, particularly ultraviolet to blue-violet laser light, and excellent in chemical resistance and adhesion to a substrate, which is particularly a photosensitive composition suitable for use as a solder resist or a dry film and for use in direct drawing particularly with ultraviolet to blue-violet laser light, an image-forming base material using the same, an image-forming material and an image-forming method. <P>SOLUTION: The photosensitive composition contains (A) an ethylenically unsaturated group-containing compound, (B) a photopolymerization initiation system and (C) an alkali-soluble resin, wherein the photopolymerization initiation system (B) contains (b1) an oxime initiator having a specific structure and (b2) a benzophenone compound containing a sulfur atom. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、プリント配線板、液晶表示素子、プラズマディスプレイ、大規模集積回路、薄型トランジスタ、半導体パッケージ、カラーフィルター、フォトスペーサー、リブ材、保護膜、有機エレクトロルミネッセンス等における導体回路や電極加工基板等の形成のためのエッチングレジスト、メッキレジスト、ソルダーレジスト、ドライフィルム、カバーレイ等に使用される感光性組成物であって、特にドライフィルムおよびソルダーレジスト用として、又、特に紫外から青紫色レーザー光による直接描画に用いるに好適な感光性組成物、並びにそれを用いた画像形成材料、画像形成材、及び画像形成方法に関する。   The present invention includes a printed circuit board, a liquid crystal display element, a plasma display, a large scale integrated circuit, a thin transistor, a semiconductor package, a color filter, a photo spacer, a rib material, a protective film, a conductor circuit in an organic electroluminescence, an electrode processing substrate, etc. A photosensitive composition used for etching resist, plating resist, solder resist, dry film, coverlay, etc. for the formation of, especially for dry film and solder resist, and especially from ultraviolet to blue-violet laser light The present invention relates to a photosensitive composition suitable for use in direct drawing by an image forming apparatus, an image forming material using the same, an image forming material, and an image forming method.

従来より、プリント配線板、液晶表示素子、プラズマディスプレイ、大規模集積回路、薄型トランジスタ、半導体パッケージ、カラーフィルター、フォトスペーサー、リブレジスト、有機エレクトロルミネッセンス等における導体回路や電極加工基板等の形成には、リソグラフィー法という手法が広く用いられている。
リソグラフィー法には、通常(1)ドライフィルムレジスト材(仮支持フィルム上に感光性組成物の塗布液を塗布し乾燥させて感光性組成物層を形成し、その感光性組成物層表面を被覆フィルムで覆った画像形成材料)等を被加工基板上に積層することにより作製した感光性画像形成材や、(2)被加工基板上に直接に感光性組成物の塗布液を塗布し乾燥させて感光性組成物層を形成し、必要に応じてその感光性組成物層表面を保護層で覆うことにより作製した画像形成材が用いられる。
Conventionally, for forming printed circuit boards, liquid crystal display elements, plasma displays, large-scale integrated circuits, thin transistors, semiconductor packages, color filters, photo spacers, rib resists, organic electroluminescence, etc. A technique called lithography is widely used.
In the lithography method, usually, (1) a dry film resist material (a photosensitive composition coating solution is applied on a temporary support film and dried to form a photosensitive composition layer, and the surface of the photosensitive composition layer is coated). A photosensitive image-forming material produced by laminating an image-forming material covered with a film) on a substrate to be processed, or (2) applying a photosensitive composition coating solution directly onto the substrate to be processed and drying it. An image forming material prepared by forming a photosensitive composition layer and covering the surface of the photosensitive composition layer with a protective layer as necessary is used.

そして、以下の(1)〜(3)の手順で画像形成が行われる。(1)被加工基板上の感光性組成物層を、回路や電極パターンが描かれたマスクフィルムを通して画像露光する。(2)仮支持フィルム、或いは保護層を剥離し、露光部と非露光部の現像液に対する溶解性の差を利用して現像処理することによって回路パターンに対応したレジスト画像を形成する。(3)前記レジスト画像をレジストとして被加工基板をエッチング加工、メッキ加工、或いはソルダー加工等した後、レジスト画像を除去することにより、マスクフィルムに描かれた回路や電極パターンを基板上に形成する。   Then, image formation is performed according to the following procedures (1) to (3). (1) Image exposure of the photosensitive composition layer on a to-be-processed substrate is carried out through the mask film in which the circuit and the electrode pattern were drawn. (2) The temporary support film or the protective layer is peeled off, and a resist image corresponding to the circuit pattern is formed by developing using a difference in solubility between the exposed portion and the unexposed portion in the developer. (3) Form the circuit or electrode pattern drawn on the mask film on the substrate by removing the resist image after etching, plating, or soldering the substrate to be processed using the resist image as a resist. .

一方、近年、露光光源にレーザー光を用いることにより、マスクフィルムを用いずに、コンピューター等のデジタル情報から直接画像を形成するレーザー直接描画法が、生産性のみならず、解像性や位置精度等の向上も図れることから注目されるに到り、それに伴い、リソグラフィー法においてもレーザー光の利用が盛んに研究されている。
ところで、レーザー光は、紫外から赤外領域までの種々の光源が知られているが、画像露光に利用できるレーザー光としては、出力、安定性、感光能力、及びコスト等の点から、アルゴンイオンレーザー、ヘリウムネオンレーザー、YAGレーザー、及び半導体レーザー等の可視から赤外領域の光を発するものが主力となっており、例えば、波長488nmのアルゴンイオンレーザー、波長532nmのFD−YAGレーザーを用いたリソグラフィー法は既に実用化に到っている。
On the other hand, in recent years, a laser direct drawing method that directly forms an image from digital information such as a computer without using a mask film by using laser light as an exposure light source is not only productive, but also resolution and positional accuracy. As a result, the use of laser light has been actively studied in the lithography method.
By the way, various light sources from the ultraviolet to the infrared region are known as laser light. As laser light that can be used for image exposure, argon ions are used from the viewpoint of output, stability, photosensitive ability, cost, and the like. Lasers, helium neon lasers, YAG lasers, and semiconductor lasers that emit light in the visible to infrared region are the mainstays. For example, an argon ion laser having a wavelength of 488 nm and an FD-YAG laser having a wavelength of 532 nm were used. Lithography has already been put into practical use.

しかしながら、従来の感光性組成物は、レーザー光による直接描画法においては、未だ感度が充分とは言えなかった。又、近年のレーザー技術の著しい進歩により、青紫色領域で安定的に発振できる半導体レーザーも利用できるようになったものの、その出力が他の可視領域等に比して低いこともあって、それに対応する感光性組成物の感度、及び現像性等は、直接描画法においてはもとよりリソグラフィー法においても実用化できるレベルには達していないのが現状である。   However, the conventional photosensitive composition still cannot be said to have sufficient sensitivity in the direct drawing method using laser light. In addition, due to significant progress in laser technology in recent years, semiconductor lasers that can oscillate stably in the blue-violet region can be used, but the output is lower than other visible regions, etc. At present, the sensitivity, developability, and the like of the corresponding photosensitive composition have not reached a level at which they can be put into practical use not only in the direct drawing method but also in the lithography method.

上記課題に対しては、例えば感光性組成物の感度、現像性、及びそれにより形成された画像の耐久性等の改良を目的として、エポキシ樹脂のα,β−不飽和モノカルボン酸付加体に、多価カルボン酸若しくはその無水物を付加させた、アルカリ可溶性の変性エポキシアクリレート樹脂を含有させた感光性組成物、並びに、該感光性組成物をドライフィルムレジスト材として基板上に積層するか、或いはその組成物塗布液を基板上に塗布し乾燥させて感光性組成物層を形成したフォトレジスト用画像形成材を高圧水銀灯、或いは可視レーザー、或いは赤外レーザーで露光し現像処理する画像形成方法等が知られている。また、感度や解像性を改善する目的で特定のオキシム化合物と無機微粒子あるいはエポキシ樹脂のα,β−不飽和モノカルボン酸付加体に、多価カルボン酸若しくはその無水物を付加させた、アルカリ可溶性の変性エポキシアクリレート樹脂を含有させた組成物が提案されている(例えば、特許文献1〜6参照。)。また、表面硬化性(耐薬品性)の改善を目的として、オキシムエステル基を有する化合物と硫黄原子を含有するベンゾフェノン化合物を含む硬化性組成物が開示されている(特許文献7)   In order to improve the sensitivity of the photosensitive composition, the developability, and the durability of the image formed thereby, for example, an α, β-unsaturated monocarboxylic acid adduct of an epoxy resin can be used. A photosensitive composition containing an alkali-soluble modified epoxy acrylate resin to which a polyvalent carboxylic acid or an anhydride thereof is added, and the photosensitive composition is laminated on a substrate as a dry film resist material, Alternatively, an image forming method in which an image forming material for a photoresist formed by applying the composition coating liquid on a substrate and drying to form a photosensitive composition layer is exposed to a high-pressure mercury lamp, a visible laser, or an infrared laser and developed. Etc. are known. In addition, an alkali obtained by adding a polyvalent carboxylic acid or its anhydride to an α, β-unsaturated monocarboxylic acid adduct of a specific oxime compound and inorganic fine particles or epoxy resin for the purpose of improving sensitivity and resolution. A composition containing a soluble modified epoxy acrylate resin has been proposed (see, for example, Patent Documents 1 to 6). Further, for the purpose of improving surface curability (chemical resistance), a curable composition containing a compound having an oxime ester group and a benzophenone compound containing a sulfur atom is disclosed (Patent Document 7).

しかしながら、上記感光性組成物は感度、及び現像性において、依然として改良の余地を残すものであると共に、得られるレジスト材としての耐熱性、及び基板に対する密着性等も不十分であった。特に青紫色半導体レーザーに対応する感光性組成物の感度が不十分であった。さらに、ソルダーレジストに供する場合の耐薬品性の問題も、依然改良の余地があり、実用化には十分とはいえなかった。
特開平5−204150号公報 特開2000−147767号公報 特開2001−228611号公報 特開2002−105112号公報 特開2002−107926号公報 特開2003−280193号公報 特開2005−182004号公報
However, the photosensitive composition still leaves room for improvement in sensitivity and developability, and has insufficient heat resistance as a resist material to be obtained and adhesion to a substrate. In particular, the sensitivity of the photosensitive composition corresponding to the blue-violet semiconductor laser was insufficient. Furthermore, the problem of chemical resistance in the case of using the solder resist still has room for improvement, and it has not been sufficient for practical use.
JP-A-5-204150 JP 2000-147767 A JP 2001-228611 A JP 2002-105112 A JP 2002-107926 A JP 2003-280193 A JP 2005-182004 A

本発明は、前述の従来技術に鑑みてなされたものであって、従って、本発明は、ランプ露光はもとより、レーザー光、特に紫外から青紫色レーザー光に対して高感度であると共に、耐薬品性、及び基板に対する密着性に優れた感光性組成物であって、特に、ソルダーレジストあるいはドライフィルム用として、又、特に紫外から青紫色レーザー光による直接描画に用いるに好適な感光性組成物、並びにそれを用いた画像形成材料、画像形成材、及び画像形成方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described prior art. Accordingly, the present invention is highly sensitive to laser light, particularly ultraviolet to blue-violet laser light as well as lamp exposure, and is also resistant to chemicals. And a photosensitive composition excellent in adhesion to a substrate, and particularly suitable for use as a solder resist or dry film, and particularly for direct drawing with ultraviolet to blue-violet laser light, It is another object of the present invention to provide an image forming material, an image forming material, and an image forming method using the same.

本発明者等は、前記課題を解決すべく鋭意検討した結果、特定の構造を有するオキシムエステル系光重合開始剤(以下、「オキシム開始剤」と称することがある。)のうち、紫外から青紫光に高感度であるものは、一般に溶剤に難溶性であることを見出した。そこで上記オキシム開始剤のうち難溶性のものは、これを微細化し、平均粒子径を従来より小さいものとした。また、これら小粒系のオキシム開始剤にさらに硫黄原子を有するベンゾフェノン化合物を組合せて共存させたところ、これを含有する感光性組成物が紫外から青紫色レーザー光に対して高感度であるばかりでなく、耐薬品性、及び基板に対する密着性に格段に優れることを見出した。また、オキシム開始剤のうち、青紫光に高感度を有し、かつ溶剤に対して可溶性であるものを見出し、これを含有する感光性組成物も同様に、硫黄原子を有するベンゾフェノン化合物を組合せて共存させたところ、感度、耐薬品性、及び基板に対する密着性に優れることを見出した。即ち本発明は以下に示す複数の発明に存する。
(1)(A)エチレン性不飽和基含有化合物、(B)光重合開始系、及び(C)アルカリ可溶性樹脂を含有する感光性組成物であって、(B)光重合開始系が(b1)下記一般式(1)又は(2)で示される化合物、及び(b2)硫黄原子を含有するベンゾフェノン化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。
As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors, among oxime ester photopolymerization initiators having a specific structure (hereinafter sometimes referred to as “oxime initiators”), ultraviolet to blue. Those having high sensitivity to purple light have been found to be generally poorly soluble in solvents. Therefore, among the above oxime initiators, those which are hardly soluble are refined to have an average particle size smaller than that of the conventional oxime initiator. In addition, when these small-grain oxime initiators are further combined with a benzophenone compound having a sulfur atom, the photosensitive composition containing them is not only highly sensitive to ultraviolet to blue-violet laser light. The present inventors have found that the chemical resistance and the adhesion to the substrate are remarkably excellent. Further, among oxime initiators, those having high sensitivity to blue-violet light and being soluble in a solvent are found, and the photosensitive composition containing this is similarly combined with a benzophenone compound having a sulfur atom. As a result of coexistence, it was found that sensitivity, chemical resistance, and adhesion to the substrate were excellent. That is, this invention exists in the several invention shown below.
(1) A photosensitive composition containing (A) an ethylenically unsaturated group-containing compound, (B) a photopolymerization initiation system, and (C) an alkali-soluble resin, wherein (B) the photopolymerization initiation system is (b1 ) A photosensitive composition comprising a compound represented by the following general formula (1) or (2), and (b2) a benzophenone compound containing a sulfur atom.

Figure 2007199135
Figure 2007199135

(式中、R1aは、それぞれ置換されていてもよい炭素数2〜25のアルケニル基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルキル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数1〜20のヘテロアリールオキシカルボニルアルキル基もしくはヘテロアリールチオアルキル基、炭素数0〜20のアミノ基、又は炭素数1〜20のアミノアルキル基を示し、また、R1aは、R1'とと
もに環を形成してもよく、その連結基は、それぞれ置換基を有していてもよい炭素数1〜10のアルキレン基、−(CH=CH)n−、−(C≡C)n−あるいはその組み合わせであり(nは0〜3の整数)、 R2aは、それぞれ置換されていてもよい炭素数2〜12の
アルカノイル基、炭素数3〜25のアルケノイル基、炭素数3〜8のシクロアルカノイル基、炭素数7〜20のベンゾイル基、炭素数1〜20のヘテロアリーロイル基、炭素数2〜10のアルコキシカルボニル基又は炭素数7〜20のフェノキシカルボニル基を示し、R1'は芳香環あるいはヘテロ芳香環を含む任意の置換基を示す。):
Wherein R 1a is an optionally substituted alkenyl group having 2 to 25 carbon atoms, a heteroarylalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkoxycarbonylalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, and 8 to 8 carbon atoms. A phenoxycarbonylalkyl group having 20 carbon atoms, a heteroaryloxycarbonylalkyl group having 1 to 20 carbon atoms or a heteroarylthioalkyl group, an amino group having 0 to 20 carbon atoms, or an aminoalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, R 1a may form a ring together with R 1 ′, and the linking group is an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms that may have a substituent, — (CH═CH) n —, — ( C [identical to] C) n - or a combination thereof (n is an integer of 0 to 3), R 2a are each optionally substituted alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms, 3 carbon 5 alkenoyl group, C3-C8 cycloalkanoyl group, C7-C20 benzoyl group, C1-C20 heteroaryloyl group, C2-C10 alkoxycarbonyl group, or C7-C20 And R1 ′ represents an optional substituent containing an aromatic ring or a heteroaromatic ring.):

Figure 2007199135
Figure 2007199135

(式中、R1bは、それぞれ置換されていてもよい炭素数6〜20のフェニル基、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基、炭素数7〜20のベンゾイル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基もしくはフェノキシカルボニル基、炭素数1〜20のアミド基、ニトロ基、炭素数2〜25のアルケニル基、炭素数1〜10のヘテロアリールアルキル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数1〜20のヘテロアリールオキシカルボニルアルキル基もしくはヘテロアリールチオアルキル基、炭素数0〜20のアミノ基、又は炭素数1〜20のアミノアルキル基を示し、またR1bは、R1'とともに環を形成してもよく、その連結基は、それぞれ置換基を有していてもよい炭素数1〜10アルキレン基、−(CH=CH)n−、−(C≡C)n−あるいはその組み合わせであり(nは0〜3の整数)、R2bは、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜20のヘテロアリール基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルカノイル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルカノイル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルカノイル基、炭素数3〜20のヘテロアリ−ルオキシキシカルボニルアルカノイル基、又は炭素数2〜10のアミノカルボニル基を示し、R1'は芳香環あるいはヘテロ芳香環を含む任意の置換基を示す。)
(2)仮支持フィルム上に前記(1)に記載の感光性組成物の層が形成されてなることを特徴とする画像形成材料。
(3)被加工基板上に前記(2)に記載の画像形成材料が感光性組成物層側で積層されてなることを特徴とする画像形成材。
(4)前記(3)に記載の画像形成材の感光性組成物層を、波長340〜430nmのレーザー光により走査露光し、現像処理して画像を現出させることを特徴とする画像形成方法。
(In the formula, R 1b is a phenyl group having 6 to 20 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, and an alkanoyl having 2 to 20 carbon atoms, each of which may be substituted. Group, benzoyl group having 7 to 20 carbon atoms, alkoxycarbonyl group or phenoxycarbonyl group having 2 to 12 carbon atoms, amide group having 1 to 20 carbon atoms, nitro group, alkenyl group having 2 to 25 carbon atoms, 1 to carbon atoms 10 heteroarylalkyl group, C3-C20 alkoxycarbonylalkyl group, C8-C20 phenoxycarbonylalkyl group, C1-C20 heteroaryloxycarbonylalkyl group or heteroarylthioalkyl group, carbon number Represents an amino group having 0 to 20 or an aminoalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, and R 1b forms a ring together with R 1 ′. The linking group may be a C 1-10 alkylene group which may have a substituent, — (CH═CH) n —, — (C≡C) n — or a combination thereof ( n is an integer of 0 to 3), and R 2b is an optionally substituted heteroaryl group having 1 to 20 carbon atoms, a heteroarylalkanoyl group having 1 to 20 carbon atoms, and an alkoxycarbonylalkanoyl group having 3 to 20 carbon atoms. A phenoxycarbonylalkanoyl group having 8 to 20 carbon atoms, a heteroaryloxyxycarbonylalkanoyl group having 3 to 20 carbon atoms, or an aminocarbonyl group having 2 to 10 carbon atoms, and R1 ′ represents an aromatic ring or a heteroaromatic ring. Any optional substituents are included.)
(2) An image-forming material comprising a layer of the photosensitive composition as described in (1) above on a temporary support film.
(3) An image forming material, wherein the image forming material according to (2) is laminated on the substrate to be processed on the photosensitive composition layer side.
(4) An image forming method, wherein the photosensitive composition layer of the image forming material according to (3) is subjected to scanning exposure with a laser beam having a wavelength of 340 to 430 nm, and developed to reveal an image. .

本発明によれば、レーザー光に対して高感度であると共に、耐薬品性、及び基板に対する密着性に優れ、特に、ソルダーレジストあるいはドライフィルム用として、又、紫外から青紫色レーザー光による直接描画に用いるのに好適な感光性組成物、並びにそれを用いた画像形成材料、画像形成材、及び画像形成方法を提供することができる。   According to the present invention, it has high sensitivity to laser light, and is excellent in chemical resistance and adhesion to a substrate, particularly for solder resist or dry film, and direct drawing by ultraviolet to blue-violet laser light. It is possible to provide a photosensitive composition suitable for use in the present invention, and an image forming material, an image forming material, and an image forming method using the same.

以下に記載する本発明の構成要件は、本発明の実施態様の代表例であり、これらの内容には特定されない。
[1]感光性組成物
本発明の感光性組成物は、その構成要素として、(A)エチレン性不飽和基含有化合物、(B)光重合開始系、及び(C)アルカリ可溶性樹脂を必須成分として含有し、且つ(B)光重合開始系が(b1)特定構造を有するオキシム開始剤、及び(b2)硫黄原子を含有するベンゾフェノン化合物を含有することを必須とする。
また、本発明の感光性組成物は、要すれば、更に前記以外の成分を含有していても良い。
The constituent features of the present invention described below are representative examples of embodiments of the present invention and are not specified in these contents.
[1] Photosensitive composition
The photosensitive composition of the present invention contains (A) an ethylenically unsaturated group-containing compound, (B) a photopolymerization initiation system, and (C) an alkali-soluble resin as essential components, and (B ) It is essential that the photopolymerization initiation system contains (b1) an oxime initiator having a specific structure, and (b2) a benzophenone compound containing a sulfur atom.
Moreover, the photosensitive composition of this invention may contain the component other than the above further as needed.

以下に本発明の感光性組成物の構成成分を詳述する。尚、本発明において、「(メタ)アクリル」とは、「アクリル」又は/及び「メタクリル」を意味するものとする。   The constituent components of the photosensitive composition of the present invention are described in detail below. In the present invention, “(meth) acryl” means “acryl” and / or “methacryl”.

[1−1](A)エチレン性不飽和基含有化合物
本発明の感光性組成物を構成する(A)成分のエチレン性不飽和基含有化合物は、感光性組成物が活性光線の照射を受けたときに、後述する(B)成分の光重合開始剤を含む光重合開始系の作用により付加重合し、場合により架橋、硬化するようなラジカル重合性のエチレン性不飽和結合を分子内に少なくとも1個有する化合物である。
[1-1] (A) Ethylenically unsaturated group-containing compound
The ethylenically unsaturated group-containing compound of component (A) constituting the photosensitive composition of the present invention is a photopolymerization initiator of component (B) described later when the photosensitive composition is irradiated with actinic rays. Is a compound having at least one radically polymerizable ethylenically unsaturated bond in the molecule that undergoes addition polymerization by the action of a photopolymerization initiation system including

本発明におけるエチレン性不飽和基含有化合物としては、エチレン性不飽和結合を分子内に1個以上有する化合物であれば良いが、重合性、架橋性、及びそれに伴う露光部と非露光部の現像液溶解性の差異を拡大できる等の点から、エチレン性不飽和結合を分子内に2個以上有する化合物であるのが好ましく、又、その不飽和結合が(メタ)アクリロイルオキシ基に由来するアクリレート化合物が特に好ましい。   The ethylenically unsaturated group-containing compound in the present invention may be a compound having at least one ethylenically unsaturated bond in the molecule, but it is polymerizable, crosslinkable, and development of the exposed and non-exposed areas associated therewith. From the viewpoint that the difference in liquid solubility can be expanded, it is preferable that the compound has two or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule, and the unsaturated bond is derived from a (meth) acryloyloxy group. Compounds are particularly preferred.

エチレン性不飽和結合を分子内に1個以上有する化合物としては、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸、イタコン酸、シトラコン酸等の不飽和カルボン酸、及びそのアルキルエステル、(メタ)アクリロニトリル、(メタ)アクリルアミド、スチレン等が挙げられる。
エチレン性不飽和結合を分子内に2個以上有する化合物としては、例えば、不飽和カルボン酸とポリヒドロキシ化合物とのエステル類、(メタ)アクリロイルオキシ基含有ホスフェート類、ヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物とポリイソシアネート化合物とのウレタン(メタ)アクリレート類、及び、(メタ)アクリル酸又はヒドロキシ(メタ)アク
リレート化合物とポリエポキシ化合物とのエポキシ(メタ)アクリレート類等が挙げられる。
Examples of the compound having one or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule include unsaturated carboxylic acids such as (meth) acrylic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid, itaconic acid, citraconic acid, and alkyl esters thereof. , (Meth) acrylonitrile, (meth) acrylamide, styrene and the like.
Examples of compounds having two or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule include esters of unsaturated carboxylic acids and polyhydroxy compounds, (meth) acryloyloxy group-containing phosphates, hydroxy (meth) acrylate compounds and poly Examples include urethane (meth) acrylates with isocyanate compounds, and epoxy (meth) acrylates of (meth) acrylic acid or hydroxy (meth) acrylate compounds and polyepoxy compounds.

そのエステル類としては、例えば、前記の如き不飽和カルボン酸と、エチレングリコール、ポリエチレングリコール(付加数2〜14)、プロピレングリコール、ポリプロピレングリコール(付加数2〜14)、トリメチレングリコール、テトラメチレングリコール、ヘキサメチレングリコール、トリメチロールプロパン、グリセロール、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、及びそれらのエチレンオキサイド付加物、プロピレンオキサイド付加物、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の脂肪族ポリヒドロキシ化合物との反応物、具体的には、例えば、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキサイド付加トリ(メタ)アクリレート、グリセロールジ(メタ)アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、グリセロールプロピレンオキサイド付加トリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等、及び同様のクロトネート、イソクロトネート、マレエート、イタコネート、シトラコネート、及びカプロラクタンを複数開環付加させた骨格を有するジペンタエリスリトール(メタ)アクリレート系化合物(例えば日本化薬社製DPCA−30、DPCA−60、DPCA−120等)等が挙げられる。   Examples of the esters include unsaturated carboxylic acid as described above, ethylene glycol, polyethylene glycol (addition number 2-14), propylene glycol, polypropylene glycol (addition number 2-14), trimethylene glycol, tetramethylene glycol. , Hexamethylene glycol, trimethylolpropane, glycerol, pentaerythritol, dipentaerythritol, and their reactants with aliphatic polyhydroxy compounds such as ethylene oxide adduct, propylene oxide adduct, diethanolamine, triethanolamine, etc. For example, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, trimethylol pro Di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane ethylene oxide addition tri (meth) acrylate, glycerol di (meth) acrylate, glycerol tri (meth) acrylate, glycerol propylene oxide addition tri (meth) acrylate , Pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and similar crotonates, Dipentae having a skeleton with multiple ring-opening additions of crotonate, maleate, itaconate, citraconate, and caprolactan Suritoru (meth) acrylate compound (e.g. Nippon Kayaku Co., Ltd. DPCA-30, DPCA-60, DPCA-120, etc.) and the like.

更に、そのエステル類として、前記の如き不飽和カルボン酸と、ヒドロキノン、レゾルシン、ピロガロール、ビスフェノールF、ビスフェノールA等の芳香族ポリヒドロキシ化合物、或いはそれらのエチレンオキサイド付加物との反応物、具体的には、例えば、ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAビス〔オキシエチレン(メタ)アクリレート〕、ビスフェノールAビス〔グリシジルエーテル(メタ)アクリレート〕等、又、前記の如き不飽和カルボン酸と、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレート等の複素環式ポリヒドロキシ化合物との反応物、具体的には、例えば、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのジ(メタ)アクリレート、トリ(メタ)アクリレート等、又、不飽和カルボン酸と多価カルボン酸とポリヒドロキシ化合物との反応物、具体的には、例えば、(メタ)アクリル酸とフタル酸とエチレングリコールとの縮合物、(メタ)アクリル酸とマレイン酸とジエチレングリコールとの縮合物、(メタ)アクリル酸とテレフタル酸とペンタエリスリトールとの縮合物、(メタ)アクリル酸とアジピン酸とブタンジオールとグリセリンとの縮合物等が挙げられる。   Further, as the esters thereof, a reaction product of the unsaturated carboxylic acid as described above with an aromatic polyhydroxy compound such as hydroquinone, resorcin, pyrogallol, bisphenol F, bisphenol A, or their ethylene oxide adduct, specifically Are, for example, bisphenol A di (meth) acrylate, bisphenol A bis [oxyethylene (meth) acrylate], bisphenol A bis [glycidyl ether (meth) acrylate], etc., and unsaturated carboxylic acids such as those described above and tris ( Reaction products with heterocyclic polyhydroxy compounds such as 2-hydroxyethyl) isocyanurate, specifically, for example, di (meth) acrylate of tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate, tri (meth) acrylate, etc. Also, unsaturated carboxylic acid and A reaction product of a polyvalent carboxylic acid and a polyhydroxy compound, specifically, for example, a condensate of (meth) acrylic acid, phthalic acid and ethylene glycol, a condensate of (meth) acrylic acid, maleic acid and diethylene glycol, Examples include condensates of (meth) acrylic acid, terephthalic acid, and pentaerythritol, condensates of (meth) acrylic acid, adipic acid, butanediol, and glycerin.

また、その(メタ)アクリロイルオキシ基含有ホスフェート類としては、(メタ)アクリロイルオキシ基を含有するホスフェート化合物であれば特に限定されないが、中で、下記一般式(IVa)又は(IVb)で表されるものが好ましい。   The (meth) acryloyloxy group-containing phosphates are not particularly limited as long as they are phosphate compounds containing a (meth) acryloyloxy group, but are represented by the following general formula (IVa) or (IVb). Those are preferred.

Figure 2007199135
Figure 2007199135

〔式(IVa)及び(IVb)中、R51は水素原子又はメチル基を示し、nは1〜25の整数、mは1、2、又は3である。〕
ここで、nは1〜10、特に1〜4であるのが好ましく、これらの具体例としては、例えば、(メタ)アクリロイルオキシエチルホスフェート、ビス〔(メタ)アクリロイルオキシエチル〕ホスフェート、(メタ)アクリロイルオキシエチレングリコールホスフェート等が挙げられ、これらはそれぞれが単独で用いられても混合物として用いられてもよい。
[In the formulas (IVa) and (IVb), R 51 represents a hydrogen atom or a methyl group, n is an integer of 1 to 25, and m is 1, 2, or 3. ]
Here, n is preferably 1 to 10, and particularly preferably 1 to 4, and specific examples thereof include, for example, (meth) acryloyloxyethyl phosphate, bis [(meth) acryloyloxyethyl] phosphate, (meth) Examples include acryloyloxyethylene glycol phosphate, and these may be used alone or as a mixture.

また、そのウレタン(メタ)アクリレート類としては、例えば、ヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物とポリイソシアネート化合物との反応物等が挙げられる。
上記ヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物としては、例えば以下のものが挙げられる。
ヒドロキシメチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル( メタ)アクリレート、
テトラメチロールエタントリ( メタ) アクリレート。
上記ポリイソシアネート化合物としては、例えば以下のものが挙げられる。
ヘキサメチレンジイソシアネート、1,8−ジイソシアネート−4−イソシアネートメチルオクタン等の脂肪族ポリイソシアネート、シクロヘキサンジイソシアネート、ジメチルシクロヘキサンジイソシアネート、4,4’−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)、イソホロンジイソシアネート、ビシクロヘプタントリイソシアネート等の脂環式ポリイソシアネート、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、トリス(イソシアネートフェニル)チオホスフェート等の芳香族ポリイソシアネート、イソシアヌレート等の複素環式ポリイソシアネート。
中でも、ウレタン(メタ)アクリレート類としては、1分子中に4個以上のウレタン結合〔−NH−CO−O−〕及び4個以上の(メタ)アクリロイルオキシ基を有する化合物が好ましい。該化合物は、例えば、以下のものが挙げられる。
In addition, examples of the urethane (meth) acrylates include a reaction product of a hydroxy (meth) acrylate compound and a polyisocyanate compound.
As said hydroxy (meth) acrylate compound, the following are mentioned, for example.
Hydroxymethyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate,
Tetramethylolethane tri (meth) acrylate.
Examples of the polyisocyanate compound include the following.
Fatty acids such as hexamethylene diisocyanate, aliphatic polyisocyanates such as 1,8-diisocyanate-4-isocyanate methyloctane, cyclohexane diisocyanate, dimethylcyclohexane diisocyanate, 4,4'-methylenebis (cyclohexyl isocyanate), isophorone diisocyanate, bicycloheptane triisocyanate Aromatic polyisocyanates such as cyclic polyisocyanate, 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, tris (isocyanatephenyl) thiophosphate, and heterocyclic polyisocyanates such as isocyanurate.
Especially, as urethane (meth) acrylates, the compound which has 4 or more urethane bond [-NH-CO-O-] and 4 or more (meth) acryloyloxy group in 1 molecule is preferable. Examples of the compound include the following.

(i−1)1分子中に4個以上の水酸基を有する化合物に、ジイソシアネート化合物を反応させて得られた化合物。
上記「1分子中に4個以上の水酸基を有する化合物」としては、例えばペンタエリスリトール、ポリグリセリン等が挙げられる。上記ジイソシアネート化合物としては、例えばヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート等が挙げられる。
(I-1) A compound obtained by reacting a compound having 4 or more hydroxyl groups in one molecule with a diisocyanate compound.
Examples of the “compound having 4 or more hydroxyl groups in one molecule” include pentaerythritol and polyglycerin. Examples of the diisocyanate compound include hexamethylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, and tolylene diisocyanate.

(i−2)1分子中に2個以上の水酸基を有する化合物に、1分子中に3個以上のイソシアネート基を有する化合物を反応させて得られた化合物。
1分子中に2個以上の水酸基を有する化合物としては、例えばエチレングリコール等が挙げられる。
1分子中に3個以上のイソシアネート基を有する化合物としては、例えば、以下のもの
が挙げられる。
旭化成工業社製「デュラネート24A−100」、同「デュラネート22A−75PX」、同「デュラネート21S−75E」、同「デュラネート18H−70B」等ビウレットタイプ、同「デュラネートP−301−75E」、同「デュラネートE−402−90T」、同「デュラネートE−405−80T」等のアダクトタイプ。
(I-2) A compound obtained by reacting a compound having two or more hydroxyl groups in one molecule with a compound having three or more isocyanate groups in one molecule.
Examples of the compound having two or more hydroxyl groups in one molecule include ethylene glycol.
Examples of the compound having three or more isocyanate groups in one molecule include the following.
“Duranate 24A-100”, “Duranate 22A-75PX”, “Duranate 21S-75E”, “Duranate 18H-70B”, and the like “Duranate P-301-75E”, “A” Adduct types such as “Duranate E-402-90T” and “Duranate E-405-80T”.

(i−3)1分子中に4個以上、好ましくは6個以上のイソシアネート基を有する化合物。例えば、イソシアネートエチル(メタ)アクリレート等を重合若しくは共重合させて得られた化合物が挙げられる。
更に具体的には、例えば、旭化成工業社製「デュラネートME20−100」(i)と、1分子中に1個以上の水酸基及び2個以上、好ましくは3個以上の(メタ)アクリロイルオキシ基を有する化合物(ii)とを、反応させることにより得ることができる。
(ii)は、例えばペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート等が挙げられる。
(I-3) A compound having 4 or more, preferably 6 or more isocyanate groups in one molecule. For example, the compound obtained by superposing | polymerizing or copolymerizing isocyanate ethyl (meth) acrylate etc. is mentioned.
More specifically, for example, “Duranate ME20-100” (i) manufactured by Asahi Kasei Kogyo Co., Ltd. and one or more hydroxyl groups and two or more, preferably three or more (meth) acryloyloxy groups in one molecule. It can be obtained by reacting the compound (ii) having it.
Examples of (ii) include pentaerythritol di (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, and the like.

ここで、前記化合物(i)の重量平均分子量は、500〜200,000であるのが好ましく、1,000〜150,000であるのが特に好ましい。又、前記のようなウレタン(メタ)アクリレート類の分子量は、600〜150,000であるのが好ましい。又、ウレタン結合を6個以上有するのが好ましく、8個以上有するのが特に好ましく、(メタ)アクリロイルオキシ基を6個以上有するのが好ましく、8個以上有するのが特に好ましい。   Here, the weight average molecular weight of the compound (i) is preferably 500 to 200,000, and particularly preferably 1,000 to 150,000. The molecular weight of the urethane (meth) acrylates as described above is preferably 600 to 150,000. Further, it preferably has 6 or more urethane bonds, particularly preferably 8 or more, more preferably 6 or more (meth) acryloyloxy groups, and particularly preferably 8 or more.

尚、このようなウレタン(メタ)アクリレート類は、例えば、前記化合物(i)と前記化合物(ii)とを、トルエンや酢酸エチル等の有機溶媒中で、前者のイソシアネート基と後者の水酸基とのモル比を1/10〜10/1の割合として、必要に応じてジラウリン酸n−ブチル錫等の触媒を用いて、10〜150℃で5分〜3時間程度反応させる方法により製造することができる。   In addition, such urethane (meth) acrylates include, for example, the compound (i) and the compound (ii) between the former isocyanate group and the latter hydroxyl group in an organic solvent such as toluene and ethyl acetate. It can be produced by a method of reacting at a molar ratio of 1/10 to 10/1 at 10 to 150 ° C. for about 5 minutes to 3 hours using a catalyst such as n-butyltin dilaurate as necessary. it can.

本発明において、前記ウレタン(メタ)アクリレート類の中でも、下記一般式(V)で表されるものが特に好ましい。   In the present invention, among the urethane (meth) acrylates, those represented by the following general formula (V) are particularly preferable.

Figure 2007199135
Figure 2007199135

〔式(V)中、Raはアルキレンオキシ基又はアリーレンオキシ基の繰り返し構造を有し、且つRbと結合し得るオキシ基を4〜20個有する基を示し、Rb及びRcは各々独立して炭素数が1〜1 0のアルキレン基を示し、Rdは(メタ)アクリロイルオキシ基を1〜10個有する有機残基を示し、Ra、Rb、Rc、及びRdは置換基を有していてもよく、xは4〜20の整数、yは0〜1 5の整数、zは1〜15の整数である。〕
ここで、式(V)中のRaのアルキレンオキシ基の繰り返し構造としては、例えば、プロピレントリオール、グリセリン、ペンタエリスリトール等に由来するものが、又、アリーレンオキシ基の繰り返し構造としては、例えば、ピロガロール、1,3, 5−ベンゼントリオール等に由来するものが、それぞれ挙げられる。又、Rb及びRcのアルキレン基の炭素数は、各々独立して1〜5であるのが好ましく、又、Rdにおける(メタ)アクリロイルオキシ基は1〜7個であるのが好ましい。又、xは4〜15、yは1〜10、zは1〜10であるのが、それぞれ好ましい。
[In the formula (V), Ra represents a group having a repeating structure of an alkyleneoxy group or an aryleneoxy group and 4 to 20 oxy groups capable of bonding to Rb, and Rb and Rc are each independently carbon. An alkylene group having a number of 1 to 10, Rd represents an organic residue having 1 to 10 (meth) acryloyloxy groups, and Ra, Rb, Rc and Rd may have a substituent; , X is an integer of 4 to 20, y is an integer of 0 to 15, and z is an integer of 1 to 15. ]
Here, as the repeating structure of the alkyleneoxy group of Ra in the formula (V), for example, those derived from propylenetriol, glycerin, pentaerythritol and the like, and as the repeating structure of the aryleneoxy group, for example, pyrogallol , 1,3,5-benzenetriol and the like. Moreover, it is preferable that the carbon number of the alkylene group of Rb and Rc is respectively independently 1-5, and it is preferable that the (meth) acryloyloxy group in Rd is 1-7. Further, x is preferably 4 to 15, y is 1 to 10, and z is 1 to 10.

更に、Raとしては下記式〔尚、式中、kは2〜10の整数である。〕であるのが、又、Rb及びRcとしては各々独立して、ジメチレン基、モノメチルジメチレン基、又は、トリメチレン基であるのが、又、Rdとしては下記式であるのが、それぞれ特に好ましい。   Furthermore, as Ra, the following formula [wherein, k is an integer of 2 to 10. And Rb and Rc are each independently a dimethylene group, a monomethyldimethylene group or a trimethylene group, and Rd is particularly preferably represented by the following formula: .

Figure 2007199135
Figure 2007199135

また、そのエポキシ(メタ)アクリレート類としては、具体的には、例えば、(メタ)アクリル酸、又は前記の如きヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物と、(ポリ)エチレングリコールポリグリシジルエーテル、(ポリ)プロピレングリコールポリグリシジルエーテル、(ポリ)テトラメチレングリコールポリグリシジルエーテル、(ポリ)ペンタメチレングリコールポリグリシジルエーテル、(ポリ)ネオペンチルグリコールポリグリシジルエーテル、(ポリ)ヘキサメチレングリコールポリグリシジルエーテル、(ポリ)トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、(ポリ)グリセロールポリグリシジルエーテル、(ポリ)ソルビトールポリグリシジルエーテル等の脂肪族ポリエポキシ化合物、フェノールノボラックポリエポキシ化合物、ブロム化フェノールノボラックポリエポキシ化合物、(o −,m−,p−)クレゾールノボラックポリエポキシ化合物、ビスフェノールAポリエポキシ化合物、ビスフェノールFポリエポキシ化合物等の芳香族ポリエポキシ化合物、ソルビタンポリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレート、トリグリシジルトリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレート等の複素環式ポリエポキシ化合物、等のポリエポキシ化合物との反応物等が挙げられる。   Moreover, as the epoxy (meth) acrylates, specifically, for example, (meth) acrylic acid, or a hydroxy (meth) acrylate compound as described above, (poly) ethylene glycol polyglycidyl ether, (poly) propylene Glycol polyglycidyl ether, (poly) tetramethylene glycol polyglycidyl ether, (poly) pentamethylene glycol polyglycidyl ether, (poly) neopentyl glycol polyglycidyl ether, (poly) hexamethylene glycol polyglycidyl ether, (poly) trimethylol Aliphatic polyepoxy compounds such as propane polyglycidyl ether, (poly) glycerol polyglycidyl ether, (poly) sorbitol polyglycidyl ether, phenol novolac polyepoxy Aromatic compounds such as brominated phenol novolac polyepoxy compounds, (o-, m-, p-) cresol novolac polyepoxy compounds, bisphenol A polyepoxy compounds, bisphenol F polyepoxy compounds, sorbitan polyglycidyl ethers And a reaction product with a polyepoxy compound such as a heterocyclic polyepoxy compound such as triglycidyl isocyanurate and triglycidyl tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate.

また、その他のエチレン性不飽和基含有化合物として、前記以外に、例えば、エチレンビス(メタ)アクリルアミド等の(メタ)アクリルアミド類、フタル酸ジアリル等のアリルエステル類、ジビニルフタレート等のビニル基含有化合物類、エーテル結合含有エチレン性不飽和化合物のエーテル結合を5硫化燐等により硫化してチオエーテル結合に変えることにより架橋速度を向上せしめたチオエーテル結合含有化合物類、及び、例えば、特許
第3164407号公報及び特開平9−100111号公報等に記載の、多官能(メタ)アクリレート化合物と、粒子径5〜30nmのシリカゾル〔例えば、イソプロパノール分散オルガノシリカゾル(日産化学社製「IPA−ST」)、メチルエチルケトン分散オルガノシリカゾル(日産化学社製「MEK−ST」)、メチルイソブチルケトン分散オルガノシリカゾル(日産化学社製「MIBK−ST」)等〕とを、イソシアネート基或いはメルカプト基含有シランカップリング剤を用いて結合させた化合物等の、エチレン性不飽和化合物にシランカップリング剤を介してシリカゾルを反応させ結合させることにより硬化物としての強度や耐熱性を向上せしめた化合物類、等が挙げられる。
In addition to the above, other ethylenically unsaturated group-containing compounds include, for example, (meth) acrylamides such as ethylenebis (meth) acrylamide, allyl esters such as diallyl phthalate, and vinyl group-containing compounds such as divinyl phthalate. Thioether bond-containing compounds in which the ether bond of an ether bond-containing ethylenically unsaturated compound is sulfurized with phosphorous pentasulfide to convert it to a thioether bond to improve the crosslinking rate, and for example, Japanese Patent No. 3164407 and The polyfunctional (meth) acrylate compound described in JP-A-9-100111 and the like, and silica sol having a particle diameter of 5 to 30 nm [for example, isopropanol-dispersed organosilica sol (“IPA-ST” manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd.), methyl ethyl ketone-dispersed organo Silica sol (manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd.) MEK-ST "), methyl isobutyl ketone-dispersed organosilica sol (" MIBK-ST "manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd.)] and the like] using an isocyanate group or a mercapto group-containing silane coupling agent. Examples thereof include compounds in which the strength and heat resistance as a cured product are improved by reacting and bonding an unsaturated compound with a silica sol via a silane coupling agent.

以上のエチレン性不飽和化合物は、それぞれ単独で用いられても2種以上が併用されてもよい。本発明において、以上の(A)成分のエチレン性不飽和化合物として、エステル(メタ)アクリレート類、(メタ)アクリロイルオキシ基含有ホスフェート類、又は、ウレタン(メタ)アクリレート類が好ましく、エステル(メタ)アクリレート類が特に好ましく、そのエステル(メタ)アクリレート類の中でも、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、或いはビスフェノールA のポリエチレンオキサイド付加物等のポ
リオキシアルキレン基を含み、(メタ)アクリロイルオキシ基を2個以上含むエステル(メタ)アクリレート類が殊更好ましい。
The above ethylenically unsaturated compounds may be used alone or in combination of two or more. In the present invention, ester (meth) acrylates, (meth) acryloyloxy group-containing phosphates, or urethane (meth) acrylates are preferred as the ethylenically unsaturated compound of component (A) above, and ester (meth) is preferred. Acrylates are particularly preferred, and among their ester (meth) acrylates, they contain polyoxyalkylene groups such as polyethylene glycol, polypropylene glycol, or polyethylene oxide adducts of bisphenol A, and contain two or more (meth) acryloyloxy groups. Particularly preferred are ester (meth) acrylates.

[1−2](B)光重合開始系
本発明の感光性組成物を構成する(B)成分の光重合開始系は、(b1)特定構造を有するオキシム開始剤、及び(b2)硫黄原子を含有するベンゾフェノン化合物を含有することを必須とする。また、本発明の目的、効果を損なわない範囲で、他の光重合開始系成分を併用することも出来る。
[1-2] (B) Photopolymerization initiation system
It is essential that the photopolymerization initiation system of the component (B) constituting the photosensitive composition of the present invention contains (b1) an oxime initiator having a specific structure, and (b2) a benzophenone compound containing a sulfur atom. To do. In addition, other photopolymerization initiation system components can be used in combination as long as the objects and effects of the present invention are not impaired.

[1−2−1](b1)特定構造を有するオキシム開始剤
本発明に係る(b1)特定構造を有するオキシム開始剤は、感光性組成物が活性光線の照射を受けたときに、ラジカル、酸、又は塩基等の活性種を発生し、前記(A)成分のエチレン性不飽和化合物を重合に到らしめる活性化合物である。
本発明に係る(b1)特定構造を有するオキシム開始剤は、溶剤に難溶性である場合は、平均粒子径0.001μm以上150μm以下であることが好ましい。 また、紫外から青紫色半導体レーザー用に用いる場合は、340〜430nmの波長域に吸収極大を有することが好ましい。
[1-2-1] (b1) Oxime Initiator Having Specific Structure (b1) The oxime initiator having a specific structure according to the present invention is a radical, when the photosensitive composition is irradiated with actinic rays. It is an active compound that generates an active species such as an acid or a base and brings the ethylenically unsaturated compound of the component (A) into polymerization.
When the oxime initiator having the specific structure (b1) according to the present invention is hardly soluble in a solvent, the average particle diameter is preferably 0.001 μm or more and 150 μm or less. Moreover, when using for an ultraviolet to blue-violet semiconductor laser, it is preferable to have an absorption maximum in a wavelength range of 340 to 430 nm.

[1−2−1−1](b1)特定構造を有するオキシム開始剤の構造
また、本発明の感光性組成物に係る上記オキシム開始剤は下記一般式(1)又は(2)で表されることが特徴である。
[1-2-1-1] (b1) Structure of oxime initiator having a specific structure
The oxime initiator according to the photosensitive composition of the present invention is characterized by being represented by the following general formula (1) or (2).

Figure 2007199135
Figure 2007199135

(式中、R1aは、それぞれ置換されていてもよい炭素数2〜25のアルケニル基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルキル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数1〜20のヘテロアリールオキシカルボニルアルキル基もしくはヘテロアリールチオアルキル基、炭素数0〜20
のアミノ基、又は炭素数1〜20のアミノアルキル基を示し、また、R1aは、R1'とと
もに環を形成してもよく、その連結基は、それぞれ置換基を有していてもよい炭素数1〜10のアルキレン基、−(CH=CH)n−、−(C≡C)n−あるいはその組み合わせであり(nは0〜3の整数)、 R2aは、それぞれ置換されていてもよい炭素数2〜12の
アルカノイル基、炭素数3〜25のアルケノイル基、炭素数3〜8のシクロアルカノイル基、炭素数7〜20のベンゾイル基、炭素数1〜20のヘテロアリーロイル基、炭素数2〜10のアルコキシカルボニル基又は炭素数7〜20のフェノキシカルボニル基を示し、R1'は芳香環あるいはヘテロ芳香環を含む任意の置換基を示す。)
Wherein R 1a is an optionally substituted alkenyl group having 2 to 25 carbon atoms, a heteroarylalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkoxycarbonylalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, and 8 to 8 carbon atoms. 20 phenoxycarbonylalkyl groups, C1-C20 heteroaryloxycarbonylalkyl groups or heteroarylthioalkyl groups, C0-20
Or an aminoalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, R 1a may form a ring together with R1 ′, and each linking group may have a substituent. An alkylene group of 1 to 10,-(CH = CH) n -,-(C≡C) n -or a combination thereof (n is an integer of 0 to 3), and R 2a may be substituted. Good C2-C12 alkanoyl group, C3-C25 alkenoyl group, C3-C8 cycloalkanoyl group, C7-C20 benzoyl group, C1-C20 heteroaryloyl group, carbon A C2-C10 alkoxycarbonyl group or a C7-20 phenoxycarbonyl group is shown, R1 'shows the arbitrary substituents containing an aromatic ring or a heteroaromatic ring. )

一般式(1)中、好ましくは、R1aは、それぞれ置換されていてもよい炭素数2〜25のアルケニル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基又は炭素数1〜20のアミノアルキル基を示し、また、R1aは、R1'とともに環を形成してもよく、その連結基は、それぞれ置換基を有してい
てもよい炭素数1〜10のアルキレン基、−(CH=CH)n−、−(C≡C)n−あるいはその組み合わせであり(nは0〜3の整数)、R2aは、置換されていてもよい炭素数2〜12のアルカノイル基を示し、R1'は芳香環あるいはヘテロ芳香環を含む任意の置換
基を示す。
In general formula (1), R 1a is preferably an optionally substituted alkenyl group having 2 to 25 carbon atoms, an alkoxycarbonylalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, or a phenoxycarbonylalkyl having 8 to 20 carbon atoms. A group or an aminoalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, and R 1a may form a ring together with R 1 ′, and the linking group may have a substituent, each having 1 to 1 carbon atoms. 10 alkylene groups, — (CH═CH) n —, — (C≡C) n —, or a combination thereof (n is an integer of 0 to 3), and R 2a has 2 carbon atoms that may be substituted. R12 'shows the arbitrary substituents containing an aromatic ring or a heteroaromatic ring.

Figure 2007199135
Figure 2007199135

(式中、R1bは、それぞれ置換されていてもよい炭素数6〜20のフェニル基、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基、炭素数7〜20のベンゾイル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基もしくはフェノキシカルボニル基、炭素数1〜20のアミド基、ニトロ基、炭素数2〜25のアルケニル基、炭素数1〜10のヘテロアリールアルキル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数1〜20のヘテロアリールオキシカルボニルアルキル基もしくはヘテロアリールチオアルキル基、炭素数0〜20のアミノ基、又は炭素数1〜20のアミノアルキル基を示し、またR1bは、R1'とともに環を形成してもよく、その連結基は、それぞれ置換基を有していてもよい炭素数1〜10アルキレン基、−(CH=CH)n−、−(C≡C)n−あるいはその組み合わせであり(nは0〜3の整数)、R2bは、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜20のヘテロアリール基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルカノイル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルカノイル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルカノイル基、炭素数3〜20のヘテロアリ−ルオキシキシカルボニルアルカノイル基、又は炭素数2〜10のアミノカルボニル基を示し、R1'は芳香環あるいはヘテロ芳香環を含む任意の置換基を示す。) (In the formula, R 1b is a phenyl group having 6 to 20 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, and an alkanoyl having 2 to 20 carbon atoms, each of which may be substituted. Group, benzoyl group having 7 to 20 carbon atoms, alkoxycarbonyl group or phenoxycarbonyl group having 2 to 12 carbon atoms, amide group having 1 to 20 carbon atoms, nitro group, alkenyl group having 2 to 25 carbon atoms, 1 to carbon atoms 10 heteroarylalkyl group, C3-C20 alkoxycarbonylalkyl group, C8-C20 phenoxycarbonylalkyl group, C1-C20 heteroaryloxycarbonylalkyl group or heteroarylthioalkyl group, carbon number Represents an amino group having 0 to 20 or an aminoalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, and R 1b forms a ring together with R 1 ′. The linking group may be a C 1-10 alkylene group which may have a substituent, — (CH═CH) n —, — (C≡C) n — or a combination thereof ( n is an integer of 0 to 3), and R 2b is an optionally substituted heteroaryl group having 1 to 20 carbon atoms, a heteroarylalkanoyl group having 1 to 20 carbon atoms, and an alkoxycarbonylalkanoyl group having 3 to 20 carbon atoms. A phenoxycarbonylalkanoyl group having 8 to 20 carbon atoms, a heteroaryloxyxycarbonylalkanoyl group having 3 to 20 carbon atoms, or an aminocarbonyl group having 2 to 10 carbon atoms, and R1 ′ represents an aromatic ring or a heteroaromatic ring. Any optional substituents are included.)

一般式(2)中、好ましくは、R1bは、炭素数1〜20のアルキル基を示し、R2bは、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜20のヘテロアリール基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルカノイル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルカノイル基又は炭素数2〜10のアミノカルボニル基を示し、R1'は芳香環あるいはヘテロ芳
香環を含む任意の置換基を示す。
In general formula (2), Preferably, R <1b > shows a C1-C20 alkyl group, R <2b> is the C1-C20 heteroaryl group each substituted, C3-C3, respectively. 20 represents an alkoxycarbonylalkanoyl group, a phenoxycarbonylalkanoyl group having 8 to 20 carbon atoms, or an aminocarbonyl group having 2 to 10 carbon atoms, and R1 ′ represents an arbitrary substituent containing an aromatic ring or a heteroaromatic ring.

一般式(1)又は(2)で示されるオキシムエステル系化合物中、好ましい化合物は一般式(3)又は(4)で表される化合物である。   Among the oxime ester compounds represented by the general formula (1) or (2), preferred compounds are those represented by the general formula (3) or (4).

Figure 2007199135
Figure 2007199135

(式中、R1aは、それぞれ置換されていてもよい炭素数2〜25のアルケニル基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルキル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数1〜20のヘテロアリールオキシカルボニルアルキル基もしくはヘテロアリールチオアルキル基、炭素数0〜20のアミノ基、又は炭素数1〜20のアミノアルキル基を示し、また、R1aは、R3あるい
はR7とともに環を形成してもよく、その場合、R1aとR3あるいは/およびR7は互いに
結合してともに2価あるいは3価の連結基を形成し、その連結基はそれぞれ置換基を有してもよい炭素数1〜10のアルキレン基、−(CH=CH)n−、−(C≡C)n−あるいはその組み合わせであり(nは0〜3の整数)、R2aは、それぞれ置換されていてもよい炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数3〜25のアルケノイル基、炭素数3〜8のシクロアルカノイル基、炭素数7〜20のベンゾイル基、炭素数1〜20のヘテロアリーロイル基、炭素数2〜10のアルコキシカルボニル基又は炭素数7〜20のフェノキシカルボニル基を示し、R3、R4、R5、R6及びR7は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン
原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基、炭素数3〜12のアルケノイル基、炭素数1〜12のアルコキシ基、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数6〜20のフェニル基、炭素数7〜20のベンジル基、炭素数7〜20のベンゾイル基、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数1〜20のヘテロアリーロイル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルカノイル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルカノイル基、炭素数3〜20のヘテロアリ−ルオキシキシカルボニルアルカノイル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基もしくは炭素数7〜20のフェノキシカルボニル基又は、−OR8、−SR9、−SOR9、−SO29もしくは−NR1011を示し、
かつ、R3、R4、R5、R6及びR7の少なくとも一つは、−OR8、−SR9又は−NR10
11を示す。ただし、R8は、水素原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12
のアルキル基、炭素数2〜8のアルカノイル基、炭素数3〜12のアルケニル基、炭素数3〜20のアルケノイル基、炭素数6〜20のフェニル基、−(CH2CH2O)mH(m
は1〜20の整数)、又は炭素数3〜15のトリアルキルシリル基を示し、R9は、水素
原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜8のアルカノイル基、炭素数3〜12のアルケニル基、炭素数3〜15のシクロアルキル基、炭素数6〜20のフェニル基又は炭素数3〜15のトリアルキルシリル基を示し、R10およびR11は、互いに独立して水素原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜4のヒドロキシルアルキル基、炭素数3〜5のアルケニル基または炭素数6〜20のフェニル基を表し、R3〜R7は互いに結合して、またR1と共に環構造を
形成してもよい。)
Wherein R 1a is an optionally substituted alkenyl group having 2 to 25 carbon atoms, a heteroarylalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkoxycarbonylalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, and 8 to 8 carbon atoms. A phenoxycarbonylalkyl group having 20 carbon atoms, a heteroaryloxycarbonylalkyl group having 1 to 20 carbon atoms or a heteroarylthioalkyl group, an amino group having 0 to 20 carbon atoms, or an aminoalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, R 1a may form a ring with R 3 or R 7 , in which case R 1a and R 3 or / and R 7 are bonded together to form a divalent or trivalent linking group, linking groups each substituent alkylene group having 1 to 10 carbon atoms which may have a, - (CH = CH) n -, - (C≡C) n - or a combination thereof ( Is an integer of 0 to 3), R 2a are each optionally substituted alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms, alkenoyl of 3 to 25 carbon atoms, cycloalkanoyl group having 3 to 8 carbon atoms, 7 carbon atoms Represents a benzoyl group having 20 to 20 carbon atoms, a heteroaryloyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 10 carbon atoms, or a phenoxycarbonyl group having 7 to 20 carbon atoms, and R 3 , R 4 , R 5 , R 6 And R 7 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, an optionally substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkenoyl group having 3 to 12 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms, A cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, a phenyl group having 6 to 20 carbon atoms, a benzyl group having 7 to 20 carbon atoms, a benzoyl group having 7 to 20 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms, and 1 to 1 carbon atoms 20 Heteroaryloyl group, C3-C20 alkoxycarbonylalkanoyl group, C8-C20 phenoxycarbonylalkanoyl group, C3-C20 heteroaryloxyoxycarbonylalkanoyl group, C2-C12 alkoxycarbonyl group or or phenoxycarbonyl group having a carbon number of 7~20, -OR 8, -SR 9, -SOR 9, shows a -SO 2 R 9 or -NR 10 R 11,
And at least one of R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 is —OR 8 , —SR 9 or —NR 10.
R 11 is shown. However, R 8 is a hydrogen atom, carbon atoms which may each be substituted 1-12
Alkyl group, alkanoyl group having 2 to 8 carbon atoms, alkenyl group having 3 to 12 carbon atoms, alkenoyl group having 3 to 20 carbon atoms, phenyl group having 6 to 20 carbon atoms, — (CH 2 CH 2 O) m H (M
Represents an integer of 1 to 20), or a trialkylsilyl group having 3 to 15 carbon atoms, and R 9 is a hydrogen atom, an optionally substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or 2 to 8 carbon atoms. An alkanoyl group, an alkenyl group having 3 to 12 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 15 carbon atoms, a phenyl group having 6 to 20 carbon atoms or a trialkylsilyl group having 3 to 15 carbon atoms, R 10 and R 11 Are each independently a hydrogen atom, an optionally substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a hydroxyl alkyl group having 2 to 4 carbon atoms, an alkenyl group having 3 to 5 carbon atoms or a carbon atom having 6 to 20 carbon atoms. Represents a phenyl group, R 3 to R 7 may be bonded to each other and may form a ring structure together with R 1 ; )

一般式(3)中、好ましくは、R1aは、それぞれ置換されていてもよい炭素数2〜25のアルケニル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基又は炭素数1〜20のアミノアルキル基を示し、またR
1aは、R3あるいはR7とともに環を形成してもよく、その場合、R1とR3あるいは/およびR7は互いに結合してともに2価あるいは3価の連結基を形成し、その連結基はそれぞ
れ置換基を有してもよい炭素数1〜10のアルキレン基、−(CH=CH)n−、−(C
≡C)n−あるいはその組み合わせであり(nは0〜3の整数)、 R2aは、置換されていてもよい炭素数2〜12のアルカノイル基を示し、R3、R4、R5、R6及びR7は、互い
に独立して、水素原子、ハロゲン原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基、炭素数3〜12のアルケノイル基、炭素数6〜20のフェニル基、炭素数1〜20のヘテロアリーロイル基、−SR9又は−NR1011を示し、かつ、R3、R4、R5、R6及びR7の少なくとも一つは、−SR9又は−NR1011を示す。ただし、R9は、水素原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜8のアルカノイル基、炭素数3〜12のアルケニル基、炭素数3〜15のシクロアルキル基又は炭素数6〜20のフェニル基を示し、R10およびR11は、互いに独立して水素原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜4のヒドロキシルアルキル基、炭素数3〜5のアルケニル基または炭素数6〜20のフェニル基を表し、R3
〜R7は互いに結合して、またR1と共に環構造を形成してもよい。
In general formula (3), R 1a is preferably an optionally substituted alkenyl group having 2 to 25 carbon atoms, an alkoxycarbonylalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, or a phenoxycarbonylalkyl having 8 to 20 carbon atoms. A group or an aminoalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, and R
1a may form a ring together with R 3 or R 7 , in which case R 1 and R 3 or / and R 7 are bonded together to form a divalent or trivalent linking group, The groups each have an optionally substituted alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, — (CH═CH) n —, — (C
≡C) n -or a combination thereof (n is an integer of 0 to 3), R 2a represents an optionally substituted alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms, R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, an optionally substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkenoyl group having 3 to 12 carbon atoms, or phenyl having 6 to 20 carbon atoms. group, heteroarylthio acryloyl group having 1 to 20 carbon atoms, indicates -SR 9 or -NR 10 R 11, and at least one of R 3, R 4, R 5 , R 6 and R 7, -SR 9 or an -NR 10 R 11. However, R 9 is a hydrogen atom, an optionally substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 8 carbon atoms, an alkenyl group having 3 to 12 carbon atoms, or a cyclohexane having 3 to 15 carbon atoms. An alkyl group or a phenyl group having 6 to 20 carbon atoms, wherein R 10 and R 11 are each independently a hydrogen atom, an optionally substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or a carbon number having 2 to 4 carbon atoms; hydroxyl alkyl group, an alkenyl group or a phenyl group having 6 to 20 carbon atoms having 3 to 5 carbon atoms, R 3
˜R 7 may be bonded to each other and may form a ring structure together with R 1 .

Figure 2007199135
Figure 2007199135

(式中、R1bは、それぞれ置換されていてもよい炭素数6〜20のフェニル基、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基、炭素数7〜20のベンゾイル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基もしくはフェノキシカルボニル基、炭素数1〜20のアミド基、ニトロ基、炭素数2〜25のアルケニル基、炭素数1〜10のヘテロアリールアルキル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数1〜20のヘテロアリールオキシカルボニルアルキル基もしくはヘテロアリールチオアルキル基、炭素数0〜20のアミノ基、又は炭素数1〜20のアミノアルキル基を示し、またR1bは、R3あるいはR7とともに環を形成してもよく、その場合、R1bとR3あるいは/およ
びR7は互いに結合してともに2価あるいは3価の連結基を形成し、その連結基はそれぞ
れ置換基を有してもよい炭素数1〜10のアルキレン基、−(CH=CH)n−、−(C
≡C)n−あるいはその組み合わせであり(nは0〜3の整数)、 R2bは、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜20のヘテロアリール基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルカノイル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルカノイル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルカノイル基、炭素数3〜20のヘテロアリ−ルオキシキシカルボニルアルカノイル基、又は炭素数2〜10のアミノカルボニル基を示し、R3、R4、R5、R6及びR7は前記一般式(3)におけると同義である。)
(In the formula, R 1b is a phenyl group having 6 to 20 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, and an alkanoyl having 2 to 20 carbon atoms, each of which may be substituted. Group, benzoyl group having 7 to 20 carbon atoms, alkoxycarbonyl group or phenoxycarbonyl group having 2 to 12 carbon atoms, amide group having 1 to 20 carbon atoms, nitro group, alkenyl group having 2 to 25 carbon atoms, 1 to carbon atoms 10 heteroarylalkyl group, C3-C20 alkoxycarbonylalkyl group, C8-C20 phenoxycarbonylalkyl group, C1-C20 heteroaryloxycarbonylalkyl group or heteroarylthioalkyl group, carbon number A 0-20 amino group or a C1-C20 aminoalkyl group is shown, and R 1b together with R 3 or R 7 In this case, R 1b and R 3 or / and R 7 may be bonded to each other to form a divalent or trivalent linking group, and each of the linking groups has a substituent. A C1-C10 alkylene group,-(CH = CH) n -,-(C
≡C) n -or a combination thereof (n is an integer of 0 to 3), and R 2b is an optionally substituted heteroaryl group having 1 to 20 carbon atoms or heteroarylalkanoyl having 1 to 20 carbon atoms. Group, a C3-C20 alkoxycarbonylalkanoyl group, a C8-C20 phenoxycarbonylalkanoyl group, a C3-C20 heteroaryloxyoxycarbonylalkanoyl group, or a C2-C10 aminocarbonyl group , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 have the same meaning as in the general formula (3). )

一般式(4)中、好ましくはR1bは、置換されていてもよい炭素数1〜20のアルキル基であり、R2bは、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜20のヘテロアリール基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルカノイル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルカノイル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルカノイル基又は炭素数2〜10のアミノカルボニル基であり、R3、R4、R5、R6及びR7は、互いに独立して、
水素原子、ハロゲン原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基、
炭素数3〜12のアルケノイル基、炭素数6〜20のフェニル基、炭素数1〜20のヘテロアリーロイル基、−SR9又は−NR1011を示し、かつ、R3、R4、R5、R6及びR7の少なくとも一つは、−SR9又は−NR1011を示す。ただし、R9は、水素原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜8のアルカノイル基、炭素数3〜12のアルケニル基、炭素数3〜15のシクロアルキル基又は炭素数6〜20のフェニル基を示し、R10およびR11は、互いに独立して水素原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜4のヒドロキシルアルキル基、炭素数3〜5のアルケニル基または炭素数6〜20のフェニル基を表す)、R3〜R7は互いに結合して、またR1bと共に環構造を形成してもよい。
更に好ましいオキシムエステル系化合物は、下記一般式(5)〜(7)のいずれかで示される化合物である。
In general formula (4), R 1b is preferably an optionally substituted alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, and R 2b is an optionally substituted heteroaryl group having 1 to 20 carbon atoms. , A heteroarylalkanoyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkoxycarbonylalkanoyl group having 3 to 20 carbon atoms, a phenoxycarbonylalkanoyl group having 8 to 20 carbon atoms, or an aminocarbonyl group having 2 to 10 carbon atoms, R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 are independently of each other
A hydrogen atom, a halogen atom, an optionally substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms,
An alkenoyl group having 3 to 12 carbon atoms, a phenyl group having 6 to 20 carbon atoms, a heteroaryloyl group having 1 to 20 carbon atoms, -SR 9 or -NR 10 R 11 , and R 3 , R 4 , R At least one of 5 , R 6 and R 7 represents —SR 9 or —NR 10 R 11 . However, R 9 is a hydrogen atom, an optionally substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 8 carbon atoms, an alkenyl group having 3 to 12 carbon atoms, or a cyclohexane having 3 to 15 carbon atoms. An alkyl group or a phenyl group having 6 to 20 carbon atoms, wherein R 10 and R 11 are each independently a hydrogen atom, an optionally substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or a carbon number having 2 to 4 carbon atoms; A hydroxylalkyl group, an alkenyl group having 3 to 5 carbon atoms or a phenyl group having 6 to 20 carbon atoms), R 3 to R 7 may be bonded to each other and may form a ring structure together with R 1b .
Further preferred oxime ester compounds are compounds represented by any one of the following general formulas (5) to (7).

Figure 2007199135
Figure 2007199135

(式中、R1a、R2aは、前記一般式(3)におけると同義であり、 R3、R6、R7、R12〜R15は、水素原子、ハロゲン原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜12のアルケノイル基、炭素数6〜20のフェニル基、炭素数7〜20のベンジル基もしくはベンゾイル基、又は−NR1011であり、R3、R6、R7、R12〜R16は互いに結合して環構造を形成してもよい。Lは、直接結合又はケトン基であ
り、Lは、スルフィド結合又は−N(R16)−を表す。ただし、R16は、水素原子、ハロゲン原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜12のアルケニル基、炭素数2〜12のアルケノイル基、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数6〜20のフェニル基、炭素数3〜20のヘテロアリ−ル基、炭素数7〜20のベンジル基もしくは炭素数7〜12のベンゾイル基、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数3〜20のヘテロアリーロイル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数3〜20のヘテロアリ−ルオキシキシカルボニルアルキル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基もしくはフェノキシカルボニル基、炭素数3〜15のトリアルキルシリル基又は炭素数2〜4のヒドロキシルアルキル基を表し、R3、R6、R7、R12〜R15と互いに結合して環構造を形成してもよい。)
(In the formula, R 1a and R 2a have the same meaning as in the general formula (3), and R 3 , R 6 , R 7 and R 12 to R 15 are each substituted with a hydrogen atom or a halogen atom. An alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkenoyl group having 2 to 12 carbon atoms, a phenyl group having 6 to 20 carbon atoms, a benzyl group or benzoyl group having 7 to 20 carbon atoms, or —NR 10 R 11 ; R 3 , R 6 , R 7 , R 12 to R 16 may be bonded to each other to form a ring structure, L 1 is a direct bond or a ketone group, and L 2 is a sulfide bond or —N ( R 16 ) —, wherein R 16 is a hydrogen atom, a halogen atom, an optionally substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 12 carbon atoms, or an alkyl group having 2 to 12 carbon atoms. Alkenoyl group, C5-C8 cycloalkyl group, C6-C20 Phenyl group, C3-C20 heteroaryl group, C7-C20 benzyl group or C7-C12 benzoyl group, C2-C12 alkanoyl group, C3-C20 heteroarylloyl Group, an alkoxycarbonylalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, a phenoxycarbonylalkyl group having 8 to 20 carbon atoms, a heteroaryloxyoxycarbonylalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 12 carbon atoms or a phenoxycarbonyl group Represents a trialkylsilyl group having 3 to 15 carbon atoms or a hydroxylalkyl group having 2 to 4 carbon atoms, and is bonded to R 3 , R 6 , R 7 , R 12 to R 15 to form a ring structure. May be.)

好ましくは、R1aは、それぞれ置換されていてもよい炭素数2〜15のアルケニル基、炭素数1〜10のヘテロアリールアルキル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数1〜15のヘテロアリールチオアルキル基、炭素数2〜12のジアルキルアミノ基、炭素数1〜15のジアルキルアミノアルキル基、炭素数3〜15のN−アシルオキシ−N−アシルアミノアルキル基であるか、R1aとR3あるいは/およびR7が互いに結合してそれぞれ置換基を有して
いてもよい炭素数1〜15のアルキレン基、−(CH=CH)n−あるいはその組み合わ
せを形成する場合である。
Preferably, R 1a is an optionally substituted alkenyl group having 2 to 15 carbon atoms, a heteroarylalkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxycarbonylalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, or 8 to 20 carbon atoms. Phenoxycarbonylalkyl group, C1-C15 heteroarylthioalkyl group, C2-C12 dialkylamino group, C1-C15 dialkylaminoalkyl group, C3-C15 N-acyloxy-N An acylaminoalkyl group, or an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms, which R 1a and R 3 or / and R 7 may be bonded to each other and may have a substituent, — (CH═CH) n -Or a combination thereof.

さらに好ましくは、それぞれ置換されていてもよい炭素数2〜12のアルケニル基、炭素数3〜12のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数1〜10のヘテロアリールチオアルキル基、炭素数2〜8のアミノ基であるか、R1aとR3あるいは/およびR7が互いに結合してそれぞれ置換基を有していてもよい炭素数1〜10のアルキレン基、−(CH=CH)n−あるいはその組み合わせ
を形成する場合である。なお、上記においてnは0〜3の整数であるが、1又は2が好ましい。
More preferably, the alkenyl group having 2 to 12 carbon atoms, the alkoxycarbonylalkyl group having 3 to 12 carbon atoms, the phenoxycarbonylalkyl group having 8 to 20 carbon atoms, and the heteroaryl having 1 to 10 carbon atoms, each of which may be substituted. A ruthioalkyl group, an amino group having 2 to 8 carbon atoms, or an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms that R 1a and R 3 or / and R 7 may be bonded to each other, This is a case where-(CH = CH) n -or a combination thereof is formed. In addition, although n is an integer of 0-3 in the above, 1 or 2 is preferable.

好ましくは、R2aは、それぞれ置換されていてもよい炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数3〜12のアルケノイル基、炭素数3〜8のシクロアルカノイル基、炭素数7〜15のベンゾイル基、炭素数1〜15のヘテロアリーロイル基、炭素数2〜10のアルコキシカルボニル基又は炭素数7〜20のフェノキシカルボニル基、炭素数3〜12のジアルキルアミノカルボニル基又は炭素数7〜15のフェニルアミノカルボニル基を示す。 Preferably, R 2a is an optionally substituted alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms, an alkenoyl group having 3 to 12 carbon atoms, a cycloalkanoyl group having 3 to 8 carbon atoms, and a benzoyl group having 7 to 15 carbon atoms. , A heteroarylloyl group having 1 to 15 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 10 carbon atoms, a phenoxycarbonyl group having 7 to 20 carbon atoms, a dialkylaminocarbonyl group having 3 to 12 carbon atoms, or phenyl having 7 to 15 carbon atoms An aminocarbonyl group is shown.

好ましくは、R3、R6、R7、R12〜R15は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン原
子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜12のアルケニル基、炭素数2〜12のアルケノイル基、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数6〜12のフェニル基、炭素数3〜20のヘテロアリ−ル基、炭素数7〜12のベンゾイル基、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数3〜20のヘテロアリーロイル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルカノイル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルカノイル基、炭素数3〜20のヘテロアリ−ルオキシキシカルボニルアルカノイル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数3〜20のヘテロアリ−ルオキシキシカルボニルアルキル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基もしくはフェノキシカルボニル基又は、−OR8もしくは−NR1011を示し、R3、R6、R7、R12〜R15は互いに結合して、また、R1aとともに環構造を形成してもよい。
Preferably, R 3 , R 6 , R 7 and R 12 to R 15 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, an optionally substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or 2 to 2 carbon atoms. 12 alkenyl groups, C2-C12 alkenoyl groups, C5-C8 cycloalkyl groups, C6-C12 phenyl groups, C3-C20 heteroaryl groups, C7-C12 Benzoyl group, C2-C12 alkanoyl group, C3-C20 heteroaryloyl group, C3-C20 alkoxycarbonylalkanoyl group, C8-C20 phenoxycarbonylalkanoyl group, C3-C20 A heteroaryloxyxycarbonylalkanoyl group, an alkoxycarbonylalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, a phenoxycarbonylalkyl group having 8 to 20 carbon atoms, carbon A heteroaryloxyoxycarbonylalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group or phenoxycarbonyl group having 2 to 12 carbon atoms, or —OR 8 or —NR 10 R 11 , R 3 , R 6 , R 7 , R 12 to R 15 may be bonded to each other and may form a ring structure together with R 1a .

好ましくは、R16は、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜12のアルケニル基、炭素数2〜12のアルケノイル基、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数6〜12のフェニル基、炭素数3〜20のヘテロアリ−ル基、炭素数7〜12のベンジル基、炭素数7〜12のベンゾイル基、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数3〜20のヘテロアリーロイル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数3〜20のヘテロアリ−ルオキシキシカルボニルアルキル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基もしくはフェノキシカルボニル基、炭素数3〜15のトリアルキルシリル基又は炭素数2〜4のヒドロキシルアルキル基を表す。ここに、R3、R6、R7、R12〜R16は、互いに結
合して、また、R1aとともに環構造を形成してもよい。
Preferably, R 16 is an optionally substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 12 carbon atoms, an alkenoyl group having 2 to 12 carbon atoms, and a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms. A phenyl group having 6 to 12 carbon atoms, a heteroaryl group having 3 to 20 carbon atoms, a benzyl group having 7 to 12 carbon atoms, a benzoyl group having 7 to 12 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms, and a carbon number Heteroarylloyl group having 3 to 20 carbon atoms, alkoxycarbonylalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, phenoxycarbonylalkyl group having 8 to 20 carbon atoms, heteroaryloxyoxycarbonylalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, 2 to 12 carbon atoms An alkoxycarbonyl group or phenoxycarbonyl group, a trialkylsilyl group having 3 to 15 carbon atoms, or a hydroxylalkyl group having 2 to 4 carbon atoms. It is. Here, R < 3 >, R < 6 >, R < 7 >, R < 12 > -R < 16 > may combine with each other and form a ring structure with R <1a> .

ただし、R8は、水素原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル
基、炭素数2〜8のアルカノイル基、炭素数3〜12のアルケニル基、炭素数3〜20のアルケノイル基、炭素数6〜12のフェニル基、−(CH2CH2O)mH(mは1〜20
の整数、好ましくは1〜5)又は炭素数3〜15のトリアルキルシリル基を示し、R9
、水素原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜8のアルカノイル基、炭素数3〜12のアルケニル基又は炭素数6〜12のフェニル基を示し、R10およびR11は、互いに独立して水素原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜4のヒドロキシルアルキル基、炭素数3〜5のアルケニル基または炭素数6〜20のフェニル基を表す。
However, R 8 is a hydrogen atom, each optionally substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 8 carbon atoms, an alkenyl group having 3 to 12 carbon atoms, alkenoyl of 3 to 20 carbon atoms group, a phenyl group having 6 to 12 carbon atoms, - (CH 2 CH 2 O ) m H (m is from 1 to 20
Or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, preferably a trialkylsilyl group having 3 to 15 carbon atoms, and R 9 is a hydrogen atom, an optionally substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or 2 to 2 carbon atoms. 8 represents an alkanoyl group, an alkenyl group having 3 to 12 carbon atoms, or a phenyl group having 6 to 12 carbon atoms, wherein R 10 and R 11 are each independently a hydrogen atom, and each optionally substituted 1 to 1 carbon atom. 12 represents an alkyl group having 12 carbon atoms, a hydroxyl alkyl group having 2 to 4 carbon atoms, an alkenyl group having 3 to 5 carbon atoms, or a phenyl group having 6 to 20 carbon atoms.

Figure 2007199135
Figure 2007199135

(式中、R1b、R2bは、前記一般式(4)におけると同義であり、R3、R6、R7、R12
〜R15、L、及びLは、前記一般式(5)におけると同義である。 )
好ましくは、R1bは、それぞれ置換されていてもよい炭素数6〜15のフェニル基、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜15のアルカノイル基、炭素数7〜15のベンゾイル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基もしくは炭素数7〜12のフェノキシカルボニル基、炭素数1〜15のアミド基、ニトロ基、炭素数2〜15のアルケニル基、炭素数1〜10のヘテロアリールアルキル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数1〜15のヘテロアリールチオアルキル基、炭素数2〜12のジアルキルアミノ基、炭素数1〜15のジアルキルアミノアルキル基、炭素数3〜15のN−アシルオキシ−N−アシルアミノアルキル基であるか、R1aとR3あるいは/およびR7が互いに結合してそれぞれ置換基を有していてもよい炭素数1〜15のアルキレン基、−(CH=CH)n−あるいはその組み合わせを形成する場合である。
(In the formula, R 1b and R 2b have the same meanings as in the general formula (4), and R 3 , R 6 , R 7 , R 12
To R 15, L 1, and L 2 have the same meanings as in the general formula (5). )
Preferably, R 1b is an optionally substituted phenyl group having 6 to 15 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, and an alkanoyl group having 2 to 15 carbon atoms. A benzoyl group having 7 to 15 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 12 carbon atoms or a phenoxycarbonyl group having 7 to 12 carbon atoms, an amide group having 1 to 15 carbon atoms, a nitro group, and an alkenyl group having 2 to 15 carbon atoms , A C1-C10 heteroarylalkyl group, a C3-C20 alkoxycarbonylalkyl group, a C1-C15 heteroarylthioalkyl group, a C2-C12 dialkylamino group, a C1-C15 Or a dialkylaminoalkyl group having 3 to 15 carbon atoms, or R 1a and R 3 or / and R 7 are This is a case where they are bonded to each other to form an alkylene group having 1 to 15 carbon atoms which may have a substituent, — (CH═CH) n — or a combination thereof.

さらに好ましくは、それぞれ置換されていてもよい炭素数6〜15のフェニル基、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数7〜12のベンゾイル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基もしくは炭素数7〜12のフェノキシカルボニル基、炭素数1〜10のアミド基、ニトロ基、炭素数2〜12のアルケニル基、炭素数3〜12のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数1〜10のヘテロアリールチオアルキル基、炭素数2〜8のアミノ基であるか、R1bとR3あるいは/およびR7が互いに結合してそれぞれ置換基を有していてもよい炭素数1〜10のアルキレン基、−(CH=CH)n−あるいはその組み合わせを形成する場合である。なお、上記においてnは0〜
3の整数であるが、1又は2が好ましい。
More preferably, each optionally substituted phenyl group having 6 to 15 carbon atoms, alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms, carbon number 7-12 benzoyl group, C2-C12 alkoxycarbonyl group or C7-C12 phenoxycarbonyl group, C1-C10 amide group, nitro group, C2-C12 alkenyl group, carbon number An alkoxycarbonylalkyl group having 3 to 12 carbon atoms, a phenoxycarbonylalkyl group having 8 to 20 carbon atoms, a heteroarylthioalkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an amino group having 2 to 8 carbon atoms, R 1b and R 3 or / And R 7 may be bonded to each other and each may have a substituent, a C 1-10 alkylene group, — (CH═CH) n — or a combination thereof This is the case of forming a gutter. In the above, n is 0 to 0.
Although it is an integer of 3, 1 or 2 is preferable.

好ましくは、R2bは、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜15のヘテロアリール基、炭素数1〜15のヘテロアリールアルカノイル基、炭素数3〜15のアルコキシカルボニルアルカノイル基、炭素数8〜15のフェノキシカルボニルアルカノイル基、炭素数3〜15のヘテロアリ−ルオキシキシカルボニルアルカノイル基、炭素数2〜10のアミノカルボニル基である。好ましいR3、R6、R7、R12〜R15、L、及びLは、前記
の一般式(5)におけるR3、R6、R7、R12〜R15、L、及びLの好ましい範囲と
同じである。
Preferably, R 2b is an optionally substituted heteroaryl group having 1 to 15 carbon atoms, a heteroarylalkanoyl group having 1 to 15 carbon atoms, an alkoxycarbonylalkanoyl group having 3 to 15 carbon atoms, or 8 to 8 carbon atoms. A phenoxycarbonylalkanoyl group having 15 carbon atoms, a heteroaryloxycarbonylcarbonylalkanoyl group having 3 to 15 carbon atoms, and an aminocarbonyl group having 2 to 10 carbon atoms. Preferred R 3, R 6, R 7 , R 12 ~R 15, L 1, and L 2, R 3, R 6, R 7 in the general formula (5), R 12 ~R 15 , L 1, And the same preferable range of L 2 .

Figure 2007199135
Figure 2007199135

(式中、R1aは、それぞれ前記の一般式(4)におけると同義であり、R2は、前記の一
般式(3)におけるR2a及び一般式(4)におけるR2bを示し、 R3、R6、R7、R12〜R15は、水素原子、ハロゲン原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜12のアルケノイル基、炭素数6〜20のフェニル基、炭素数7〜20のベンジル基もしくはベンゾイル基、又は−NR1011であり、R3、R6、R7、R12
〜R16は互いに結合して環構造を形成してもよく、且つR3、R6、R7、R12〜R16のう
ち少なくとも一つがそれぞれ置換されていてもよい炭素数1〜20のヘテロアリールアルキル基、ヘテロアリールアルカノイル基もしくはヘテロアリーロイル基及び炭素数3〜15のトリアルキルシリル基からなる群より選ばれる少なくとも1種を含む。L、及びLは、前記一般式(5)におけると同義である。)
(Wherein, R 1a has the same meaning as in the general formula respectively (4), R 2 represents an R 2b in R 2a and formula (4) in the above general formula (3), R 3 , R 6 , R 7 , R 12 to R 15 are each a hydrogen atom, a halogen atom, an optionally substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkenoyl group having 2 to 12 carbon atoms, or 6 to 20 carbon atoms. A phenyl group, a C 7-20 benzyl group or a benzoyl group, or —NR 10 R 11 , R 3 , R 6 , R 7 , R 12
˜R 16 may be bonded to each other to form a ring structure, and at least one of R 3 , R 6 , R 7 , R 12 to R 16 may be substituted. It includes at least one selected from the group consisting of a heteroarylalkyl group, a heteroarylalkanoyl group or a heteroaryloyl group, and a trialkylsilyl group having 3 to 15 carbon atoms. L 1 and L 2 have the same meaning as in the general formula (5). )

本発明のオキシムエステル化合物を示す化学式中、R1a、R1a、R2a、R2b、R2〜R16の「それぞれ置換されていてもよい置換基」としては、それぞれ独立に、フッ素原子、
塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子などのハロゲン原子;水酸基;ニトロ基;シアノ基;任意の有機基などを挙げることができ、その任意の有機基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、アミル基、t−アミル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、t−オクチル基等の炭素数1〜18の直鎖又は分岐のアルキル基;シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、アダマンチル基等の炭素数3〜18のシクロアルキル基;ビニル基、プロペニル基、ヘキセニル基等の炭素数2〜18の直鎖又は分岐のアルケニル基;シクロペンテニル基、シクロヘキセニル基等の炭素数3〜18のシクロアルケニル基;メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、イソプロポキシ基、n−ブトキシ基、s−ブトキシ基、t−ブトキシ基、アミルオキシ基、t−アミルオキシ基、n−ヘキシルオキシ基、n−ヘプチルオキシ基、n−オクチルオキシ基、t−オクチルオキシ基等の炭素数1〜18の直鎖又は分岐のアルコキシ基;メチルチオ基、エチルチオ基、n−プロピルチオ基、イソプロピルチオ基、n−ブチルチオ基、s−ブチルチオ基、t−ブチルチオ基、アミルチオ基、t−アミルチオ基、n−ヘキシルチオ基、n−ヘプチルチオ基、n−オクチルチオ基、t−オクチルチオ基等の炭素数1〜18の直鎖又は分岐のアルキルチオ基;フェニル基、トリル基、キシリル基、メシチル基等の炭素数6〜18のアリール基;ベンジル基、フェネチル基等の炭素数7〜18のアラルキル基;ビニルオキシ基、プロペニルオキシ基、ヘキセニルオキシ基等の炭素数2〜18の直鎖又は分岐のアルケニルオキシ基;ビニルチオ基、プロペニルチオ基、ヘキセニルチオ基等の炭素数2〜18の直鎖又は分岐のアルケニルチオ基;−COR17で表されるアシル基;カルボキシル基;−OCOR18で表されるアシルオキシ基;−NR1920で表されるアミノ基;−NHCOR21で表されるアシルアミノ基;−NHCOOR22で表されるカーバメート基;−CONR2324で表されるカルバモイル基;−COOR25で表されるカルボン酸エステル基;−SO3NR2627で表されるスルファモイル基;−SO328で表されるスルホン酸エステル基;2−チエニル基、2−ピリジル基、フリル基、オキサゾリル基、ベンゾキサゾリル基、チアゾリル基、ベンゾチアゾリル基、モルホリノ基、ピロリジニル基、テトラヒドロチオフェンジオキサイド基等の飽和もしくは不飽和の複素環基、トリメチルシリル基などのトリアルキルシリル基等が挙げられる。
In the chemical formulas representing the oxime ester compound of the present invention, R 1a , R 1a , R 2a , R 2b , R 2 to R 16 may each independently represent a fluorine atom,
Halogen atoms such as chlorine atom, bromine atom and iodine atom; hydroxyl group; nitro group; cyano group; any organic group and the like. Examples of the arbitrary organic group include methyl group, ethyl group and n-propyl group. , Isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, t-butyl group, amyl group, t-amyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, t-octyl group, etc. 18 linear or branched alkyl groups; C 3-18 cycloalkyl groups such as cyclopropyl group, cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, adamantyl group; 2 carbon atoms such as vinyl group, propenyl group, hexenyl group -18 linear or branched alkenyl group; cyclopentenyl group, cyclohexenyl group and other C3-C18 cycloalkenyl group; methoxy group, eth Si group, n-propoxy group, isopropoxy group, n-butoxy group, s-butoxy group, t-butoxy group, amyloxy group, t-amyloxy group, n-hexyloxy group, n-heptyloxy group, n-octyl A linear or branched alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms such as oxy group and t-octyloxy group; methylthio group, ethylthio group, n-propylthio group, isopropylthio group, n-butylthio group, s-butylthio group, t A linear or branched alkylthio group having 1 to 18 carbon atoms such as -butylthio group, amylthio group, t-amylthio group, n-hexylthio group, n-heptylthio group, n-octylthio group, t-octylthio group; Aryl groups having 6 to 18 carbon atoms such as tolyl group, xylyl group and mesityl group; a 7 to 18 carbon atoms such as benzyl group and phenethyl group; Alkyl group; linear or branched alkenyloxy group having 2 to 18 carbon atoms such as vinyloxy group, propenyloxy group and hexenyloxy group; linear chain having 2 to 18 carbon atoms such as vinylthio group, propenylthio group and hexenylthio group Or a branched alkenylthio group; an acyl group represented by —COR 17 ; a carboxyl group; an acyloxy group represented by —OCOR 18 ; an amino group represented by —NR 19 R 20 ; an acylamino represented by —NHCOR 21. A carbamate group represented by —NHCOOR 22 ; a carbamoyl group represented by —CONR 23 R 24 ; a carboxylic acid ester group represented by —COOR 25 ; a sulfamoyl group represented by —SO 3 NR 26 R 27 ; -SO 3 sulfonic acid ester group represented by R 28; 2-thienyl, 2-pyridyl group, a furyl group, an oxazolyl group, Benzokisazori Group, a thiazolyl group, a benzothiazolyl group, a morpholino group, a pyrrolidinyl group, a saturated or unsaturated heterocyclic group such as a tetrahydrothiophene dioxide group, and a trialkylsilyl group such as a trimethylsilyl group.

また、本発明の置換基としては、この他に、=N−OC(=O)R2のような置換基が
挙げられる。このような化合物として、R1a、R1bが、=N−OC(=O)R2で置換さ
れている炭素数1〜20のアルキル基、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基、炭素数7〜20のベンゾイル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基もしくはフェノキシカルボニル基、又は炭素数1〜20のアミド基であってもよい。
In addition, examples of the substituent of the present invention include a substituent such as ═N—OC (═O) R 2 . As such compounds, R 1a and R 1b are substituted with ═N—OC (═O) R 2 , an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, and 2 carbon atoms. It may be a -20 alkanoyl group, a benzoyl group having 7 to 20 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group or phenoxycarbonyl group having 2 to 12 carbon atoms, or an amide group having 1 to 20 carbon atoms.

上記において、複数の置換基同士が結合して環を形成してもよく、形成された環は飽和あるいは不飽和の芳香環あるいは複素環であってもよく、環状にさらにそれぞれ置換基を有していてよく、置換基がさらに環を形成してもよい。   In the above, a plurality of substituents may be bonded to each other to form a ring, and the formed ring may be a saturated or unsaturated aromatic ring or heterocyclic ring, and each ring further has a substituent. And the substituent may further form a ring.

17〜R28は、それぞれ水素原子、置換されていてもよいアルキル基、置換されていてもよいアルケニル基、置換されていてもよいアリール基、または置換されていてもよいアラルキル基を表す。これらの位置関係は特に限定されず、複数の置換基を有する場合、同種でも異なっていてもよい。 R 17 to R 28 each represent a hydrogen atom, an optionally substituted alkyl group, an optionally substituted alkenyl group, an optionally substituted aryl group, or an optionally substituted aralkyl group. These positional relationships are not particularly limited, and when they have a plurality of substituents, they may be the same or different.

以上、一般式(5)〜(7)で示される化合物について詳述したが、各置換基の組み合わせにおいて好ましい化合物を総括すると、次の通りである。   As mentioned above, although the compound shown by General formula (5)-(7) was explained in full detail, it is as follows when a preferable compound is put together in the combination of each substituent.

一般式(5)において、R1aが、それぞれ置換されていてもよい炭素数2〜25のアルケニル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基又は炭素数1〜20のアミノアルキル基であるか、またはR1aは、R3あるいはR7とともに環を形成してもよく、その場合R1aとR3あるいは/および
7は互い結合してともに2価あるいは3価の連結基を形成し、その連結基はそれぞれ置
換基を有してもよい炭素数1〜10のアルキレン基、−(CH=CH)n−、−(C≡C
n−、あるいはその組み合わせであり(nは0〜3の整数) 、R2aは、置換されていてもよい炭素数2〜12のアルカノイル基であり、R3、R6、R7、R12〜R15は、水素原
子、ハロゲン原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜12のアルケノイル基、炭素数6〜20のフェニル基、炭素数7〜20のベンジル基もしくはベンゾイル基、又は−NR1011であり、R3、R6、R7、R12〜R15は互いに
結合して環構造を形成してもよく、Lは、直接結合又はケトン基であり、Lは、スルフィド結合又は−N(R16)−である化合物。
In General Formula (5), R 1a is an optionally substituted alkenyl group having 2 to 25 carbon atoms, an alkoxycarbonylalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, a phenoxycarbonylalkyl group having 8 to 20 carbon atoms, or carbon. R 1a may form a ring together with R 3 or R 7 , in which case R 1a and R 3 or / and R 7 are bonded to each other to form 2 A valent or trivalent linking group, each of which may have a substituent, an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms,-(CH = CH) n -,-(C≡C
) N- or a combination thereof (n is an integer of 0 to 3), R 2a is an optionally substituted alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms, and R 3 , R 6 , R 7 , R 12 to R 15 are each a hydrogen atom, a halogen atom, an optionally substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkenoyl group having 2 to 12 carbon atoms, a phenyl group having 6 to 20 carbon atoms, or 7 to 7 carbon atoms. 20 benzyl group or benzoyl group, or —NR 10 R 11 , R 3 , R 6 , R 7 , R 12 to R 15 may be bonded to each other to form a ring structure, and L 1 is directly A compound which is a bond or a ketone group, and L 2 is a sulfide bond or —N (R 16 ) —.

一般式(6)において、R1bが、置換されていてもよい炭素数1〜20のアルキル基であり、 R2bが、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜20のヘテロアリールアルカノイル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルカノイル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルカノイル基又は炭素数2〜10のアミノカルボニル基であり、R3、R6、R7、R12〜R15は、水素原子、ハロゲン原子、それぞれ置換されていてもよい
炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜12のアルケノイル基、炭素数6〜20のフェニル基、炭素数7〜20のベンジル基もしくはベンゾイル基、又は−NR1011であり、R3、R6、R7、R12〜R15は互いに結合して環構造を形成してもよく、Lは、直接結
合又はケトン基であり、Lは、スルフィド結合又は−N(R16)−である化合物。
In General Formula (6), R 1b is an optionally substituted alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, and R 2b is an optionally substituted heteroarylalkanoyl group having 1 to 20 carbon atoms, An alkoxycarbonylalkanoyl group having 3 to 20 carbon atoms, a phenoxycarbonylalkanoyl group having 8 to 20 carbon atoms, or an aminocarbonyl group having 2 to 10 carbon atoms, and R 3 , R 6 , R 7 , R 12 to R 15 are A hydrogen atom, a halogen atom, an optionally substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkenoyl group having 2 to 12 carbon atoms, a phenyl group having 6 to 20 carbon atoms, a benzyl group having 7 to 20 carbon atoms, or benzoyl Group, or —NR 10 R 11 , R 3 , R 6 , R 7 , R 12 to R 15 may be bonded to each other to form a ring structure, and L 1 is a direct bond or a ketone group , 2, sulfide bond or -N (R 16) -, compound.

一般式(7)において、R1bが、置換されていてもよい炭素数1〜20のアルキル基、炭素数2〜25のアルケニル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基又は炭素数1〜20のアミノアルキル基であるか、またはR1aは、R3あるいはR7とともに環を形成してもよく、その場合R1aとR3あるいは/およびR7は互い結合してともに2価あるいは3価の連結基を形成し、その連結基はそれぞれ置換基を有してもよい炭素数1〜10のアルキレン基、−(CH=CH)n−、−(C≡C)n−、あるいはその組み合わせであり(nは0〜3の整数)、R2が 、それぞれ置換されていてもよい炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルカノイル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルカノイル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルカノイル基又は炭素数2〜10のアミノカルボニル基であり、R3、R6、R7、R12〜R15は、水素原子、ハロゲン原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜12のアルケノイル基、炭素数6〜20のフェニル基、炭素数7〜20のベンジル基もしくはベンゾイル基、又は−NR1011であり、R3、R6、R7、R12〜R15は互いに結合して環構造を形成してもよ
く、且つR3、R6、R7、R12〜R15のうち少なくとも一つがそれぞれ置換されていても
よい炭素数1〜20のヘテロアリールアルキル基、ヘテロアリールアルカノイル基もしくはヘテロアリーロイル基及び炭素数3〜15のトリアルキルシリル基からなる群より選ばれる少なくとも1種を含み、Lは、直接結合又はケトン基であり、Lは、スルフィド結合又は−N(R16)−である化合物。
In General Formula (7), R 1b is an optionally substituted alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 25 carbon atoms, an alkoxycarbonylalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, or 8 to 8 carbon atoms. 20 phenoxycarbonylalkyl groups or aminoalkyl groups having 1 to 20 carbon atoms, or R 1a may form a ring together with R 3 or R 7 , in which case R 1a and R 3 or / and R 7 are bonded to each other to form a divalent or trivalent linking group, and each of the linking groups has an optionally substituted alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, — (CH═CH) n —, -(C≡C) n- , or a combination thereof (n is an integer of 0 to 3), and each R 2 is an optionally substituted alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms, having 1 to 20 carbon atoms Heteroarylalkanoyl , Alkoxycarbonyl alkanoyl group having 3 to 20 carbon atoms or an aminocarbonyl group phenoxycarbonyl alkanoyl group or a C2-10 having 8 to 20 carbon atoms, R 3, R 6, R 7, R 12 ~R 15 is , A hydrogen atom, a halogen atom, an optionally substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkenoyl group having 2 to 12 carbon atoms, a phenyl group having 6 to 20 carbon atoms, a benzyl group having 7 to 20 carbon atoms, or A benzoyl group, or —NR 10 R 11 , R 3 , R 6 , R 7 , R 12 to R 15 may be bonded to each other to form a ring structure, and R 3 , R 6 , R 7 , R 12 in at least one of carbon atoms, which may each be substituted 1-20 of to R 15 heteroarylalkyl group, the heteroaryl alkanoyl group or heteroarylene acryloyl group and having 3 to 15 carbon atoms Comprises at least one selected from the group consisting of trialkyl silyl group, L 1 is a direct bond or a ketone group, L 2 is a sulfide bond or -N (R 16) -, compound.

その他、好ましいオキシムエステル系化合物は、下記一般式(8)又は(9)で示される化合物である。   In addition, a preferable oxime ester compound is a compound represented by the following general formula (8) or (9).

Figure 2007199135
Figure 2007199135

(式中、R1aは、それぞれ置換されていてもよい炭素数2〜25のアルケニル基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルキル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数1〜20のヘテロアリールオキシカルボニルアルキル基もしくはヘテロアリールチオアルキル基、炭素数0〜20のアミノ基、又は炭素数1〜20のアミノアルキル基を示し、また、R1aは、Ar1とと
もに環を形成してもよく、その連結基は、それぞれ置換基を有していてもよい炭素数1〜10のアルキレン基、−(CH=CH)n−、−(C≡C)n−あるいはその組み合わせであり(nは0〜3の整数)、R2aは、前記一般式(1)におけると同義であり、Ar1
、置換基を有していてもよい芳香環、ヘテロ芳香環、縮合芳香環又は縮合ヘテロ芳香環を表し、pは、2〜5の整数を表す。)
Wherein R 1a is an optionally substituted alkenyl group having 2 to 25 carbon atoms, a heteroarylalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkoxycarbonylalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, and 8 to 8 carbon atoms. A phenoxycarbonylalkyl group having 20 carbon atoms, a heteroaryloxycarbonylalkyl group having 1 to 20 carbon atoms or a heteroarylthioalkyl group, an amino group having 0 to 20 carbon atoms, or an aminoalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, R 1a may form a ring together with Ar 1 , and each of the linking groups thereof may have a substituent, an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, — (CH═CH) n —, — ( C≡C) n — or a combination thereof (n is an integer of 0 to 3), R 2a has the same meaning as in the general formula (1), and Ar 1 may have a substituent. Represents an aromatic ring, a heteroaromatic ring, a condensed aromatic ring or a condensed heteroaromatic ring, and p represents an integer of 2 to 5.)

一般式(8)において、好ましくは、R1aは、それぞれ置換されていてもよい炭素数2〜25のアルケニル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、又は炭素数1〜20のアミノアルキル基を示す。また、R1aは、Ar1とともに環を形成してもよく、その場合、R1aとAr1は互いに結合してともに2価あるいは3価の連結基を形成し、その連結基は、それぞれ置換基を有していてもよい炭素数1〜10のアルキレン基、−(CH=CH)n−、−(C≡C)n−あるいはその組み合わせであり(nは0〜3の整数)、R2aが、置換されていてもよい炭素数2〜12のアルカノイル基である。 In the general formula (8), R 1a is preferably an optionally substituted alkenyl group having 2 to 25 carbon atoms, an alkoxycarbonylalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, or a phenoxycarbonylalkyl having 8 to 20 carbon atoms. Group or a C1-C20 aminoalkyl group is shown. Also, R 1a may form a ring together with Ar 1, in which case, R 1a and Ar 1 is bonded together form a divalent or trivalent linking group each other, the linkage is respectively substituted An alkylene group having 1 to 10 carbon atoms which may have a group, — (CH═CH) n —, — (C≡C) n — or a combination thereof (n is an integer of 0 to 3), R 2a is an optionally substituted alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms.

Figure 2007199135
Figure 2007199135

(式中、R1bは、それぞれ置換されていてもよい炭素数6〜20のフェニル基、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基、炭素数7〜20のベンゾイル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基もしくはフェノキシカルボニル基、炭素数1〜20のアミド基、ニトロ基、炭素数2〜25のアルケニル基、炭素数1〜10のヘテロアリールアルキル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数1〜20のヘテロアリールオキシカルボニルアルキル基もしくはヘテロアリールチオアルキル基、炭素数0〜20のアミノ基、又は炭素数1〜20のアミノアルキル基を示し、またR1bは、Ar1とともに環を形成してもよく、その連結基は、それぞれ置換基を有していてもよい炭素数1〜10アルキレン基、−(CH=CH)n−、−(C≡C)n−あるいはその組み合わせであり(nは0〜3の整数)、R2bは、前記一般式(2)におけると同義であり、Ar1は、置換基を有していてもよい芳香環、ヘテロ芳香環、縮合芳香環又は縮合ヘテロ芳香環を表し、pは、2〜5の整数を表す。) (In the formula, R 1b is a phenyl group having 6 to 20 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, and an alkanoyl having 2 to 20 carbon atoms, each of which may be substituted. Group, benzoyl group having 7 to 20 carbon atoms, alkoxycarbonyl group or phenoxycarbonyl group having 2 to 12 carbon atoms, amide group having 1 to 20 carbon atoms, nitro group, alkenyl group having 2 to 25 carbon atoms, 1 to carbon atoms 10 heteroarylalkyl group, C3-C20 alkoxycarbonylalkyl group, C8-C20 phenoxycarbonylalkyl group, C1-C20 heteroaryloxycarbonylalkyl group or heteroarylthioalkyl group, carbon number 0-20 amino group, or an amino alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, also R 1b is, form a ring with Ar 1 At best, the linkage is respectively substituent may number 1 to 10 alkylene carbon atoms which may have a, - (CH = CH) n -, - (C≡C) n - or a combination thereof ( n is an integer of 0 to 3), R 2b has the same meaning as in the general formula (2), and Ar 1 is an aromatic ring, heteroaromatic ring, condensed aromatic ring or condensed ring which may have a substituent. Represents a heteroaromatic ring, and p represents an integer of 2 to 5.)

一般式(9)において、好ましくは、R1bは、置換されていてもよい炭素数1〜20のアルキル基であり、R2bは、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜20のヘテロアリール基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルカノイル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルカノイル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルカノイル基又は炭素数2〜10のアミノカルボニル基である。 In the general formula (9), preferably, R 1b is an optionally substituted alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, and R 2b is an optionally substituted heteroaryl having 1 to 20 carbon atoms. Group, a C1-C20 heteroarylalkanoyl group, a C3-C20 alkoxycarbonylalkanoyl group, a C8-C20 phenoxycarbonylalkanoyl group, or a C2-C10 aminocarbonyl group.

また、Ar1は、本発明の化合物が光を吸収するために必要な部分であり、200nm
以上、好ましくは200〜500nm、さらに好ましくは250〜500nmに吸収をもつような化合物であれば好ましく用いられる。具体的にはAr1は、ベンゼン環、フェナ
ントレン環、アズレン環、フルオレン環、アセナフチレン環、インデン環およびその縮合環からなる芳香環、フラン環、チオフェン環、ピロール環、オキサゾール環、イソオキサゾール環、チアゾール環、イソチアゾール環、イミダゾール環、ピラゾール環、フラザン環、トリアゾール環、ピラン環、チアジゾール環、オキサジアゾール環、ピリジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、ピラジン環、およびその縮合環からなる環、さらにはアクリジン環、フェナントリジン環、キサンテン環、カルバゾール環、フェナジン環、フェノチアジン環、フェノキサジン環、ベンゾチアゾール環等の芳香環と複素環からなる縮合環などがあげられる。
Ar 1 is a part necessary for the compound of the present invention to absorb light, and is 200 nm.
As described above, a compound having absorption at 200 to 500 nm, more preferably 250 to 500 nm is preferably used. Specifically, Ar 1 is an aromatic ring composed of a benzene ring, a phenanthrene ring, an azulene ring, a fluorene ring, an acenaphthylene ring, an indene ring and a condensed ring thereof, a furan ring, a thiophene ring, a pyrrole ring, an oxazole ring, an isoxazole ring, A thiazole ring, an isothiazole ring, an imidazole ring, a pyrazole ring, a furazane ring, a triazole ring, a pyran ring, a thiadizole ring, an oxadiazole ring, a pyridine ring, a pyridazine ring, a pyrimidine ring, a pyrazine ring, and a condensed ring thereof, Further examples include condensed rings composed of aromatic and heterocyclic rings such as acridine ring, phenanthridine ring, xanthene ring, carbazole ring, phenazine ring, phenothiazine ring, phenoxazine ring, and benzothiazole ring.

pは、上記の芳香環、ヘテロ芳香環、縮合芳香環又は縮合ヘテロ芳香環から選ばれるAr1中に存在する置換可能な水素原子数に対応するもので、通常2〜5、好ましくは2〜
3の範囲から選択される。
次に、本発明の好ましい化合物の具体例を以下に示す。
p corresponds to the number of substitutable hydrogen atoms present in Ar 1 selected from the above aromatic ring, heteroaromatic ring, condensed aromatic ring or condensed heteroaromatic ring, and is usually 2 to 5, preferably 2 to
A range of 3 is selected.
Next, specific examples of preferred compounds of the present invention are shown below.

Figure 2007199135
Figure 2007199135

Figure 2007199135
Figure 2007199135

Figure 2007199135
Figure 2007199135

Figure 2007199135
Figure 2007199135

前述のように本発明に係る上記オキシム開始剤はそれ自体公知の化合物を含み、例えば前述の特許文献1〜6に記載の化合物の中から適宜使用することが出来る。
尚、本発明の感光性組成物を構成する(b1)オキシム開始剤は、後述する任意の光重合開始剤とを併せた光重合開始剤全体に対して10〜100重量%、好ましくは50〜100重量%、更に好ましくは80〜100重量%含有される。オキシム開始剤が少なすぎると感度の低下を起こしやすい。
As described above, the oxime initiator according to the present invention includes a compound known per se, and can be appropriately used, for example, from the compounds described in Patent Documents 1 to 6 described above.
In addition, (b1) oxime initiator which comprises the photosensitive composition of this invention is 10-100 weight% with respect to the whole photoinitiator combined with the arbitrary photoinitiators mentioned later, Preferably it is 50-. It is contained at 100% by weight, more preferably 80-100% by weight. If the amount of the oxime initiator is too small, the sensitivity tends to decrease.

[1−2−1−2](b1)特定構造を有するオキシム開始剤の平均粒子径
上記特定構造を有するオキシム開始剤は前記特許文献1〜6において公知の化合物を含むものである。本発明においては、該オキシム開始剤の平均粒子径が0.001μm以上、好ましくは0.01μm以上であり、150μm以下、好ましくは50μm以下、更に好ましくは10μm以下、特に好ましくは5μm以下、とりわけ好ましくは2μm以下であることにより、感光性組成物の感度が格段に優れたものとなる。これは、感光性組成物中に十分量のオキシム開始剤が均一に分散されるため、吸光効率が高まり、均一に感光される組成となったためと考えられる。また、感光性組成物の経時におけるオキシム開始剤の析出・結晶化も抑制することが出来る点でも優れる。即ち、上記平均粒径の範囲は、オキシム開始剤が溶剤に対して難溶性であることが前提となる。可溶性では、粒子径の存在するオキシム開始剤は組成物中に存在しないからである。尚、本願に規定する「平均粒子径」は、重量平均粒子径又は数平均粒子径を意味するものであり、公知の測定法により測定することができる。本発明における平均粒子径の規定はオキシム開始剤を微粒化するという技術思想に基くものであり、かかる平均粒子径の範囲においては重量平均粒子径又は数平均粒子径のいずれによる測定値であっても本発明の目的を達成することができる。
また、上記オキシム開始剤の平均粒子径の下限は通常0.001μmであり、好ましくは0.01μmである。
[1-2-1-2] (b1) Average particle diameter of an oxime initiator having a specific structure
The oxime initiator having the specific structure includes compounds known in Patent Documents 1 to 6. In the present invention, the oxime initiator has an average particle size of 0.001 μm or more, preferably 0.01 μm or more, 150 μm or less, preferably 50 μm or less, more preferably 10 μm or less, particularly preferably 5 μm or less, particularly preferably. Is 2 μm or less, the sensitivity of the photosensitive composition is remarkably improved. This is presumably because a sufficient amount of the oxime initiator was uniformly dispersed in the photosensitive composition, so that the light absorption efficiency was increased and the composition was uniformly exposed. Moreover, it is excellent also in the point which can suppress precipitation and crystallization of the oxime initiator over time of the photosensitive composition. That is, the range of the average particle size is premised on that the oxime initiator is hardly soluble in the solvent. This is because the oxime initiator having a particle size is not present in the composition when soluble. The “average particle size” defined in the present application means a weight average particle size or a number average particle size, and can be measured by a known measurement method. The definition of the average particle size in the present invention is based on the technical idea of atomizing the oxime initiator, and in the range of the average particle size, it is a measured value by either the weight average particle size or the number average particle size. Can also achieve the object of the present invention.
The lower limit of the average particle size of the oxime initiator is usually 0.001 μm, preferably 0.01 μm.

本発明において、上記オキシム開始剤の平均粒子径を0.001μm以上150μm以
下とするための方法は特に限定はないが、例えばペイントコンディショナー、サンドグラインダー、ボールミル、ロールミル、ストーンミル、ジェットミル、ピコミル、ホモジナイザー等を用いて十分に分散処理するのが好ましい。分散処理においては、塗布液、分散機能を有する有機結合剤、あるいは、特開2005−128483号公報に記載されるように、ノニオン、カチオン、アニオン等の界面活性剤、高分子分散剤等を適当に併用した系にて処理するのが好ましい。中でも好ましい分散処理としてはサンドグラインダーが挙げられる。
また、分散用ビーズとしては、平均粒子径が通常0.1〜8mm、好ましくは0.2〜2mmの硝子ビーズ又はジルコニアビーズが用いられる。
また、分散温度(気温)は通常0〜100℃であり、好ましくは、室温〜80℃の範囲である。分散時間は分散溶液の組成およびサンドグラインダーの装置サイズ等により、適正時間が異なるため適宜調整される。
In the present invention, the method for adjusting the average particle size of the oxime initiator to 0.001 μm or more and 150 μm or less is not particularly limited. For example, a paint conditioner, a sand grinder, a ball mill, a roll mill, a stone mill, a jet mill, a picomill, It is preferable to sufficiently disperse using a homogenizer or the like. In the dispersion treatment, a coating liquid, an organic binder having a dispersion function, or a surfactant such as nonion, cation, or anion, or a polymer dispersant is appropriately used as described in JP-A-2005-128483. It is preferable to perform the treatment in a system used together. Among these, a sand grinder is preferable as the dispersion treatment.
As the dispersing beads, glass beads or zirconia beads having an average particle diameter of usually 0.1 to 8 mm, preferably 0.2 to 2 mm are used.
Moreover, dispersion temperature (air temperature) is 0-100 degreeC normally, Preferably, it is the range of room temperature-80 degreeC. The dispersion time is appropriately adjusted because the appropriate time varies depending on the composition of the dispersion solution and the size of the sand grinder.

[1−2−1−3](b1)特定構造を有するオキシム開始剤の吸収極大の波長域
本発明の感光性組成物を構成する前記オキシム開始剤は紫外から青紫色半導体レーザー用に用いる場合は、340nm以上、好ましくは345nm以上、更に好ましくは350nm以上、特に好ましくは355nm以上であり、430nm以下、好ましくは415nm以下の波長域に吸収極大を有するものが好ましい。吸収極大が長波長側に寄りすぎると、黄色灯下で感光しやすくなりセーフライト性が低下するか、または黄色灯下でも感光しないように感光性組成物層の透明性を上げた場合には、青紫色レーザー光を吸収しにくくなるので感度が低下する。また、吸収極大が短波長側に寄りすぎると、照射された光エネルギーを効率的に光重合反応に使えないため低感度となる。前記のオキシム開始剤のうち、上述の吸収極大を有するものは、一般に溶剤に難溶性であることが多いが、例えば前述の(X−20)、(X−22)、(X−28)等の様な、複数のアルキル基又はアルキルオキシル基を有するフェニル基を置換基として導入したもの又は長鎖のアルキル基又はアルコキシ基を有するフェニル基を置換基として導入したもの等は、可溶性を示すことがある。かかるオキシム開始剤は感光性組成物との相溶性に優れ、経時による結晶の析出等の問題もないため好ましい。
尚、オキシム開始剤の吸収極大は、例えば光重合開始剤を約10-5モル濃度となるようにテトラヒドロフラン溶媒に溶解させた溶液を通常の紫外、可視光吸収スペクトルメーターで測定する等により容易に求められる。
[1-2-1-3] (b1) Wavelength range of the absorption maximum of the oxime initiator having a specific structure
When the oxime initiator constituting the photosensitive composition of the present invention is used for an ultraviolet to blue-violet semiconductor laser, it is 340 nm or more, preferably 345 nm or more, more preferably 350 nm or more, particularly preferably 355 nm or more, and 430 nm. Hereinafter, those having an absorption maximum in a wavelength region of preferably 415 nm or less are preferable. When the absorption maximum is too close to the long wavelength side, it becomes easier to be exposed to light under yellow light and the safe light property is lowered, or when the transparency of the photosensitive composition layer is increased so as not to be exposed under yellow light. Sensitivity decreases because it becomes difficult to absorb blue-violet laser light. If the absorption maximum is too close to the short wavelength side, the irradiated light energy cannot be used efficiently for the photopolymerization reaction, resulting in low sensitivity. Among the oxime initiators, those having the above-mentioned absorption maximum are generally poorly soluble in a solvent. For example, the above-mentioned (X-20), (X-22), (X-28), etc. Those having a phenyl group having a plurality of alkyl groups or alkyloxyl groups introduced as a substituent, or those having a phenyl group having a long-chain alkyl group or an alkoxy group introduced as a substituent, etc. are soluble. There is. Such an oxime initiator is preferable because it has excellent compatibility with the photosensitive composition and does not have a problem of crystal precipitation with time.
The absorption maximum of the oxime initiator can be easily determined by, for example, measuring a solution obtained by dissolving the photopolymerization initiator in a tetrahydrofuran solvent so as to have a concentration of about 10 −5 mol with a normal ultraviolet or visible light absorption spectrum meter. Desired.

[1−2−2](b2)硫黄原子を含有するベンゾフェノン化合物
本発明に係る(b2)硫黄原子を含有するベンゾフェノン化合物は、光増感剤として作用するだけでなく、前記(b1)のオキシム開始剤との組合せにより、特にソルダーレジスト用途において、感度、解像性、及び現像液に対する感光層の非画線部の溶解性(現像性)の向上の他、耐薬品性を増加させる効果を有する。
本発明に用いられる硫黄原子を含有するベンゾフェノン化合物としては、例えば、4-
ベンゾイルジフェニルスルフィド化合物が挙げられる。この化合物の4-ベンゾイル基が
結合したベンゼン環には、塩素原子、炭素数1〜5のアルキル基、メトキシ基、及びエトキシ基から選ばれる1つ又は2つの置換基が置換されていてもよく、ベンゾイル基が結合していないベンゼン環には、塩素原子、炭素数1〜5のアルキル基、メトキシ基、及びエトキシ基から選ばれる1つの置換基が置換されていてもよい。4-ベンゾイルジフェニル
スルフィド化合物の具体例としては、4-ベンゾイルジフェニルスルフィド、4-ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド(日本化薬社製カヤキュアーBMS)、4-ベン
ゾイル−4’−エチルジフェニルスルフィド、4-ベンゾイル−4’−プロピルジフェニ
ルスルフィド、4-o−メチルベンゾイルジフェニルスルフィド、4-p−メチルベンゾイルジフェニルスルフィド、4-m−メチルベンゾイルジフェニルスルフィド、4-m,m’−ジメチルベンゾイルジフェニルスルフィド、4-o−クロロベンゾイルジフェニルスルフィド、4-p−クロロベンゾイルジフェニルスルフィド、4-p−t−ブチルベンゾイルジフェニルスルフィド、4-m−メトキシベンゾイルジフェニルスルフィド等が挙げられる。
硫黄原子を含有するベンゾフェノン化合物は単独又は2種以上を併用して用いることが出来る。
[1-2-2] (b2) A benzophenone compound containing a sulfur atom The (b2) benzophenone compound containing a sulfur atom according to the present invention not only acts as a photosensitizer, but also exhibits the oxime of (b1). In combination with an initiator, especially in solder resist applications, it has the effect of increasing chemical resistance in addition to improving sensitivity, resolution, and solubility (developability) of the non-image area of the photosensitive layer in the developer. Have.
Examples of the benzophenone compound containing a sulfur atom used in the present invention include 4-
A benzoyl diphenyl sulfide compound is mentioned. The benzene ring to which the 4-benzoyl group of this compound is bonded may be substituted with one or two substituents selected from a chlorine atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, a methoxy group, and an ethoxy group. The benzene ring to which the benzoyl group is not bonded may be substituted with one substituent selected from a chlorine atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, a methoxy group, and an ethoxy group. Specific examples of 4-benzoyldiphenyl sulfide compounds include 4-benzoyldiphenyl sulfide, 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide (Kayacure BMS manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), 4-benzoyl-4′-ethyldiphenyl sulfide, 4 -Benzoyl-4'-propyldiphenyl sulfide, 4-o-methylbenzoyl diphenyl sulfide, 4-p-methylbenzoyl diphenyl sulfide, 4-m-methylbenzoyl diphenyl sulfide, 4-m, m'-dimethylbenzoyl diphenyl sulfide, 4 -o-chlorobenzoyl diphenyl sulfide, 4-p-chlorobenzoyl diphenyl sulfide, 4-pt-butylbenzoyl diphenyl sulfide, 4-m-methoxybenzoyl diphenyl sulfide, and the like.
The benzophenone compound containing a sulfur atom can be used alone or in combination of two or more.

[1−2−3](B)光重合開始系の任意成分
本発明の感光性組成物を構成する(B)成分の光重合開始系は、必要に応じてその他の1以上の光重合開始剤、増感剤等を併用して用いることも出来る。
[1-2-3] (B) Optional component of photopolymerization initiation system
The photopolymerization initiation system of the component (B) constituting the photosensitive composition of the present invention can be used in combination with one or more other photopolymerization initiators, sensitizers and the like, if necessary.

[1−2−3−1]その他の光重合開始剤
上記のその他の1以上の光重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン類、ベンゾフェノン類、ヒドロキシベンゼン類、チオキサントン類、アントラキノン類、ケタール類、ヘキサアリールビイミダゾール類、チタノセン類、ハロゲン化炭化水素誘導体類、有機硼素酸塩類、有機過酸化物類、オニウム塩類、スルホン化合物類、カルバミン酸誘導体類、スルホンアミド類、トリアリールメタノール類、塗布溶媒に可溶性のオキシムエステル化合物等が挙げられる。
そのアセトフェノン類としては、例えば2,2−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、1−ヒドロキシ−1−(p−ドデシルフェニル)ケトン、1−ヒドロキシ−1−メチルエチル−(p−イソプロピルフェニル)ケトン、1−トリクロロメチル−(p −ブチ
ルフェニル)ケトン、α−ヒドロキシ−2−メチルフェニルプロパノン、及び後述するαーアミノアセトフェノン等が、又、ベンゾフェノン類としては、例えば、ベンゾフェノン、2−メチルベンゾフェノン、3−メチルベンゾフェノン、4−メチルベンゾフェノン、2−カルボキシベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、4−ブロモベンゾフェノン、ミヒラーケトン等が、又、ヒドロキシベンゼン類としては、例えば、2−ヒドロキシ−4−n−オクトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−ベンジルベンゾフェノン、2−(2−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、4−ジ−t−ブチルフェニル−3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンゾエート等が、又、チオキサントン類としては、例えば、チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン等が、又、アントラキノン類としては、例えば、2−メチルアントラキノン等が、又、ケタール類としては、例えば、ベンジルジメチルケタール等が、それぞれ挙げられる。
[1-2-3-1] Other photopolymerization initiator Examples of the one or more other photopolymerization initiators include acetophenones, benzophenones, hydroxybenzenes, thioxanthones, anthraquinones, ketals, Hexaarylbiimidazoles, titanocenes, halogenated hydrocarbon derivatives, organoborates, organic peroxides, onium salts, sulfone compounds, carbamic acid derivatives, sulfonamides, triarylmethanols, coating solvents Soluble oxime ester compounds and the like.
Examples of the acetophenones include 2,2-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 1-hydroxy-1- (p-dodecylphenyl) ketone, 1-hydroxy. -1-methylethyl- (p-isopropylphenyl) ketone, 1-trichloromethyl- (p-butylphenyl) ketone, α-hydroxy-2-methylphenylpropanone, α-aminoacetophenone described later, and the like, Examples of benzophenones include benzophenone, 2-methylbenzophenone, 3-methylbenzophenone, 4-methylbenzophenone, 2-carboxybenzophenone, 2-chlorobenzophenone, 4-bromobenzophenone, Michler's ketone, and the like. Examples of the xylbenzenes include 2-hydroxy-4-n-octoxybenzophenone, 2-hydroxy-4-benzylbenzophenone, 2- (2-hydroxy-5-methylphenyl) benzotriazole, 4-di-t-butyl. Phenyl-3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzoate and the like, and as thioxanthones, for example, thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4 -Diethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, etc., as anthraquinones, for example, 2-methylanthraquinone, etc., and as ketals, for example, benzyldimethyl ketal, etc. Can be mentioned.

また、ヘキサアリールビイミダゾール類としては、例えば2,2’−ビス(o−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’ −テトラフェニルビイミダゾール、2,2’
−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(o,p−ジクロロフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(o,p−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(o, p−ジクロロフェニル)ビイミダゾール、2, 2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(p−フルオロフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(o,p−ジブロモフェニル)ビイミダゾール、2, 2’−ビス(o−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(o,p−ジクロロフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(p−クロロナフチル)ビイミダゾール等が挙げられる。中でも、ヘキサフェニルビイミダゾール化合物が好ましく、そのイミダゾール環上の2,2’−位に結合したベンゼン環のo−位がハロゲン原子で置換されたものが更に好ましく、そのイミダゾール環上の4,4’,5,5’−位に結合したベンゼン環が無置換、又は、ハロゲン原子或いはアルコキシカルボニル基で置換されたものが特に好ましい。
Examples of hexaarylbiimidazoles include 2,2′-bis (o-methylphenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole and 2,2′-bis (o-chlorophenyl). -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'
-Bis (o-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (o, p-dichlorophenyl) biimidazole, 2,2'-bis (o, p-dichlorophenyl) -4,4', 5 5′-tetra (o, p-dichlorophenyl) biimidazole, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (p-fluorophenyl) biimidazole, 2,2 ′ -Bis (o-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (o, p-dibromophenyl) biimidazole, 2,2'-bis (o-bromophenyl) -4,4', 5 Examples include 5′-tetra (o, p-dichlorophenyl) biimidazole, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (p-chloronaphthyl) biimidazole, and the like. Among them, hexaphenylbiimidazole compounds are preferable, and those in which the o-position of the benzene ring bonded to the 2,2′-position on the imidazole ring is substituted with a halogen atom are more preferable. It is particularly preferred that the benzene ring bonded to the ', 5,5'-position is unsubstituted or substituted with a halogen atom or an alkoxycarbonyl group.

また、そのチタノセン類としては、例えば、ジシクロペンタジエニルチタニウムジクロライド、ジシクロペンタジエニルチタニウムビスフェニル、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,4−ジフルオロフェニル) 、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス
(2, 6−ジフルオロフェニル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,4,
6−トリフルオロフェニル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,3,5,6−テトラフルオロフェニル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニル)、ジ(メチルシクロペンタジエニル)チタニウムビス(2,6−ジフルオロフェニル)、ジ(メチルシクロペンタジエニル)チタニウムビス(2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス〔2,6−ジフルオロ−3−(1−ピロリル)フェニル〕等が挙げられる。中でも、ジシクロペンタジエニル構造とビフェニル構造を有するチタン化合物が好ましく、ビフェニル環のo−位がハロゲン原子で置換されたものが特に好ましい。
Examples of the titanocenes include dicyclopentadienyl titanium dichloride, dicyclopentadienyl titanium bisphenyl, dicyclopentadienyl titanium bis (2,4-difluorophenyl), and dicyclopentadienyl titanium bis. (2,6-difluorophenyl), dicyclopentadienyl titanium bis (2,4,4)
6-trifluorophenyl), dicyclopentadienyl titanium bis (2,3,5,6-tetrafluorophenyl), dicyclopentadienyl titanium bis (2,3,4,5,6-pentafluorophenyl) , Di (methylcyclopentadienyl) titanium bis (2,6-difluorophenyl), di (methylcyclopentadienyl) titanium bis (2,3,4,5,6-pentafluorophenyl), dicyclopentadi And enyltitanium bis [2,6-difluoro-3- (1-pyrrolyl) phenyl]. Among these, a titanium compound having a dicyclopentadienyl structure and a biphenyl structure is preferable, and a compound in which the o-position of the biphenyl ring is substituted with a halogen atom is particularly preferable.

また、そのハロゲン化炭化水素誘導体類としては、ハロメチル化s−トリアジン誘導体類が挙げられ、例えば、2,4,6−トリス(モノクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(ジクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2 −メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−n−プロピル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(α,α,β−トリクロロエチル)−4, 6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシフェニル)−4, 6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(3,4−エポキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−クロロフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔1−(p −メトキシフェニル)−2,4−ブタジエニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−スチリル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシ−m−ヒドロキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−i−プロピルオキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−トリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−エトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−エトキシカルボニルナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2 −フェニルチオ−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ベンジルチオ−4, 6−ビス(トリクロロメチル )−s−トリアジン、2,4,6−トリス(ジブロモメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(トリブロモメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリブロモメチル)−s−トリアジン、2−メトキシ−4,6−ビス(トリブロモメチル)−s−トリアジン等のハロメチル化s−トリアジン誘導体類が挙げられ、中でも、ビス(トリハロメチル)−s−トリアジン類が好ましい。   Examples of the halogenated hydrocarbon derivatives include halomethylated s-triazine derivatives, such as 2,4,6-tris (monochloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (dichloro). Methyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-n-propyl-4,6 -Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (α, α, β-trichloroethyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) ) -S-triazine, 2- (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (3,4-epoxyphenyl) -4, -Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-chlorophenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [1- (p-methoxyphenyl) -2,4-butadienyl ] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-styryl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxystyryl) -4,6-bis (trichloro) Methyl) -s-triazine, 2- (p-methoxy-m-hydroxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (pi-propyloxystyryl) -4,6- Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-tolyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxynaphthyl) -4 6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-ethoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-ethoxycarbonylnaphthyl) -4,6-bis (Trichloromethyl) -s-triazine, 2-phenylthio-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-benzylthio-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2,4,6 -Tris (dibromomethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (tribromomethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (tribromomethyl) -s-triazine, 2-methoxy Halomethylated s-triazine derivatives such as -4,6-bis (tribromomethyl) -s-triazine, among others, bis (trihalomethyl) ) -S- triazine are preferred.

また、その有機硼素酸塩類としては、例えば、有機硼素アンモニウム錯体、有機硼素ホスホニウム錯体、有機硼素スルホニウム錯体、有機硼素オキソスルホニウム錯体、有機硼素ヨードニウム錯体、有機硼素遷移金属配位錯体等が挙げられ、その有機硼素アニオンとしては、例えば、n−ブチル−トリフェニル硼素アニオン、n−ブチル−トリス(2,4,6−トリメチルフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(p−メトキシフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(p−フルオロフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(m−フルオロフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(3−フルオロ−4−メチルフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(2, 6−ジフルオロフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(2,4,6−トリフルオロフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(p−クロロフェニル)硼素アニオン、n−ブチル−トリス(2,6 −ジフルオロ−3−ピロリルフェニル)−硼素アニオン等のアルキル−トリフェニル硼素アニオンが好ましく、又、対カチオンとしては、アンモニウムカチオン、ホスホニウムカチオン、スルホニウムカチオン、ヨードニウムカチオン等のオニウム化合物が好ましく、テトラアルキルアンモニウム等の有機アンモニウムカチオンが特に好ましい。
また、その有機化酸化物としては、例えば、t−ブチル安息香酸過酸化エステル、3,3’,4,4’−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン等が挙げられる。
Examples of the organic borates include organic boron ammonium complexes, organic boron phosphonium complexes, organic boron sulfonium complexes, organic boron oxosulfonium complexes, organic boron iodonium complexes, and organic boron transition metal coordination complexes. Examples of the organic boron anion include n-butyl-triphenyl boron anion, n-butyl-tris (2,4,6-trimethylphenyl) boron anion, n-butyl-tris (p-methoxyphenyl) boron anion, n-butyl-tris (p-fluorophenyl) boron anion, n-butyl-tris (m-fluorophenyl) boron anion, n-butyl-tris (3-fluoro-4-methylphenyl) boron anion, n-butyl- Tris (2,6-difluorophenyl) boron anion, n-butyl -Tris (2,4,6-trifluorophenyl) boron anion, n-butyl-tris (2,3,4,5,6-pentafluorophenyl) boron anion, n-butyl-tris (p-chlorophenyl) boron Anions and alkyl-triphenyl boron anions such as n-butyl-tris (2,6-difluoro-3-pyrrolylphenyl) -boron anion are preferred, and examples of counter cations include ammonium cation, phosphonium cation, sulfonium cation, Onium compounds such as iodonium cations are preferred, and organic ammonium cations such as tetraalkylammonium are particularly preferred.
Examples of the organic oxide include t-butylbenzoic acid peroxide ester, 3,3 ′, 4,4′-tetra (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone, and the like.

また、そのオニウム塩類としては、例えば、テトラメチルアンモニウムブロマイド、テトラエチルアンモニウムブロマイド等のアンモニウム塩、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ジフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、ジフェニルヨードニウムp−トルエンスルホネート、ジフェニルヨードニウムカンファースルホネート、ジシクロヘキシルヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ジシクロヘキシルヨードニウムテトラフルオロボレート、ジシクロヘキシルヨードニウムp−トルエンスルホネート、ジシクロヘキシルヨードニウムカンファースルホネート等のヨードニウム塩、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリフェニルスルホニウムテトラフルオロボレート、トリフェニルスルホニウムp−トルエンスルホネート、トリフェニルスルホニウムカンファースルホネート、トリシクロヘキシルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリシクロヘキシルスルホニウムテトラフルオロボレート、トリシクロヘキシルスルホニウムp−トルエンスルホネート、トリシクロヘキシルスルホニウムカンファースルホネート等のスルホニウム塩等が挙げられる。   Examples of the onium salts include ammonium salts such as tetramethylammonium bromide and tetraethylammonium bromide, diphenyliodonium hexafluoroarsenate, diphenyliodonium tetrafluoroborate, diphenyliodonium p-toluenesulfonate, diphenyliodonium camphorsulfonate, dicyclohexyliodonium. Hexafluoroarsenate, dicyclohexyliodonium tetrafluoroborate, icyclohexyl salt such as dicyclohexyliodonium p-toluenesulfonate, dicyclohexyliodonium camphorsulfonate, triphenylsulfonium hexafluoroarsenate, triphenylsulfonium tetrafluoroborate, triphenyls Honiumu p- toluenesulfonate, triphenylsulfonium camphorsulfonate, tri-cyclohexyl hexafluoroarsenate, tri-cyclohexyl sulfonium tetrafluoroborate, tri-cyclohexyl sulfonium p- toluenesulfonate, sulfonium salts such as tri-cyclohexyl sulfonium camphorsulfonate, and the like.

また、そのスルホン化合物類としては、例えば、ビス(フェニルスルホニル)メタン、ビス(p−ヒドロキシフェニルスルホニル)メタン、ビス(p−メトキシフェニルスルホニル)メタン、ビス(α−ナフチルスルホニル)メタン、ビス(β−ナフチルスルホニル)メタン、ビス(シクロヘキシルスルホニル)メタン、ビス(t−ブチルスルホニル)メタン、フェニルスルホニル(シクロヘキシルスルホニル)メタン等のビス(スルホニル)メタン化合物、フェニルカルボニル(フェニルスルホニル)メタン、ナフチルカルボニル(フェニルスルホニル)メタン、フェニルカルボニル(ナフチルスルホニル)メタン、シクロヘキシルカルボニル(フェニルスルホニル)メタン、t−ブチルカルボニル(フェニルスルホニル)メタン、フェニルカルボニル(シクロヘキシルスルホニル)メタン、フェニルカルボニル(t−ブチルカルボニル)メタン等のカルボニル(スルホニル)メタン化合物、ビス(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(p−ヒドロキシフェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(p −メトキシフェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(α−ナフチルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(β−ナフチルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(t−ブチルスルホニル)ジアゾメタン、フェニルスルホニル(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(スルホニル)ジアゾメタン化合物、フェニルカルボニル(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、ナフチルカルボニル( フェニルスルホニル)ジアゾメタン、フェニルカルボニル(ナフチルスルホニル)ジアゾメタン、シクロヘキシルカルボニル(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、t−ブチルカルボニル(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、フェニルカルボニル(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、フェニルカルボニル(t−ブチルカルボニル)ジアゾメタン等のカルボニル(スルホニル)ジアゾメタン化合物等が挙げられる。   Examples of the sulfone compounds include bis (phenylsulfonyl) methane, bis (p-hydroxyphenylsulfonyl) methane, bis (p-methoxyphenylsulfonyl) methane, bis (α-naphthylsulfonyl) methane, and bis (β -Naphtylsulfonyl) methane, bis (cyclohexylsulfonyl) methane, bis (t-butylsulfonyl) methane, bis (sulfonyl) methane compounds such as phenylsulfonyl (cyclohexylsulfonyl) methane, phenylcarbonyl (phenylsulfonyl) methane, naphthylcarbonyl (phenyl) Sulfonyl) methane, phenylcarbonyl (naphthylsulfonyl) methane, cyclohexylcarbonyl (phenylsulfonyl) methane, t-butylcarbonyl (phenylsulfonyl) methane, phenyl Carbonyl (sulfonyl) methane compounds such as carbonyl (cyclohexylsulfonyl) methane, phenylcarbonyl (t-butylcarbonyl) methane, bis (phenylsulfonyl) diazomethane, bis (p-hydroxyphenylsulfonyl) diazomethane, bis (p-methoxyphenylsulfonyl) Diazomethane, bis (α-naphthylsulfonyl) diazomethane, bis (β-naphthylsulfonyl) diazomethane, bis (cyclohexylsulfonyl) diazomethane, bis (t-butylsulfonyl) diazomethane, phenylsulfonyl (cyclohexylsulfonyl) diazomethane, bis (sulfonyl) diazomethane compounds , Phenylcarbonyl (phenylsulfonyl) diazomethane, naphthylcarbonyl (phenylsulfonyl) diazomethane, Carbonyl (sulfonyl) diazomethane such as nylcarbonyl (naphthylsulfonyl) diazomethane, cyclohexylcarbonyl (phenylsulfonyl) diazomethane, t-butylcarbonyl (phenylsulfonyl) diazomethane, phenylcarbonyl (cyclohexylsulfonyl) diazomethane, phenylcarbonyl (t-butylcarbonyl) diazomethane Compounds and the like.

また、そのカルバミン酸誘導体類としては、例えば、ベンゾイルシクロヘキシルカルバメート、2−ニトロベンジルシクロヘキシルカルバメート、3,5−ジメトキシベンジルシクロヘキシルカルバメート、3−ニトロフェニルシクロヘキシルカルバメート等が、又
、そのスルホンアミド類としては、例えば、N−シクロヘキシル−4−メチルフェニルスルホンアミド、N−シクロヘキシル−2 −ナフチルスルホンアミド等が、又、そのトリ
アリールメタノール類としては、例えば、トリフェニルメタノール、トリ(4−クロロフェニル)メタノール等が、それぞれ挙げられる。
また、そのオキシムエステル化合物としては、例えば特開2000−80068号公報に記載されているオキシムエステル化合物が挙げられる。具体的には、例えば1,2−オ
クタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−,2−(O-ベンゾイルオキシ
ム)、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O-アセチルオキシム)等が挙げられる。
Examples of the carbamic acid derivatives include benzoyl cyclohexyl carbamate, 2-nitrobenzyl cyclohexyl carbamate, 3,5-dimethoxybenzyl cyclohexyl carbamate, 3-nitrophenyl cyclohexyl carbamate, and the sulfonamides thereof. For example, N-cyclohexyl-4-methylphenylsulfonamide, N-cyclohexyl-2-naphthylsulfonamide and the like, and triarylmethanols thereof include, for example, triphenylmethanol, tri (4-chlorophenyl) methanol and the like. , Respectively.
Examples of the oxime ester compound include oxime ester compounds described in JP 2000-80068 A. Specifically, for example, 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl]-, 2- (O-benzoyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) ) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) and the like.

以上の併用可能な光重合開始剤の中で、本発明においては、アセトフェノン類としてのα−アミノアセトフェノン誘導体が好ましく、下記一般式(VI)で表されるものが特に好ましい。   Among the photopolymerization initiators that can be used in combination, in the present invention, α-aminoacetophenone derivatives as acetophenones are preferred, and those represented by the following general formula (VI) are particularly preferred.

Figure 2007199135
Figure 2007199135

〔式(VI)中、R32は、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリル基、又は置換基を有していてもよいフェニル基を示し、R33は、置換基を有していてもよいアルキル基、又は置換基を有していてもよいアリル基を示し、R34及びR35は各々独立して、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリル基、又は置換基を有していてもよいフェニル基を示し、R34とR35とが互いに連結して、又は、R34若しくはR35とR32若しくはR33とが互いに連結して、環状構造を形成していてもよく、ベンゼン環は置換基を有していてもよい。〕
ここで、前記一般式(VI)におけるR32、R33、R34、及びR35のアルキル基としては、炭素数1〜15、特には1〜10のものが好ましい。又、アルキル基、アリル基、及びフェニル基における置換基としては、アルキル基、アルコキシ基、ヒドロキシアルキル基、ヒドロキシアルコキシ基、アセトキシアルコキシ基、アルコキシアルコキシ基、アルキルカルボニルアルキル基、アルキルチオ基、ハロアルキル基、フェニル基、ハロゲン原子等が挙げられる。又、R34とR35とが互いに連結して、又は、R34若しくはR35とR32若しくはR33とが互いに連結して、形成している環状構造としては、ピロリジン、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、オキサゾリジン、ピリジン等が挙げられる。
[In the formula (VI), R 32 represents an alkyl group which may have a substituent, an allyl group which may have a substituent, or a phenyl group which may have a substituent; R 33 represents an alkyl group which may have a substituent, or an allyl group which may have a substituent, and R 34 and R 35 may each independently have a substituent. A good alkyl group, an allyl group which may have a substituent, or a phenyl group which may have a substituent, wherein R 34 and R 35 are linked to each other, or R 34 or R 35 And R 32 or R 33 may be linked to each other to form a cyclic structure, and the benzene ring may have a substituent. ]
Here, as the alkyl group of R 32 , R 33 , R 34 , and R 35 in the general formula (VI), those having 1 to 15 carbon atoms, particularly 1 to 10 carbon atoms are preferable. Examples of the substituent in the alkyl group, allyl group, and phenyl group include an alkyl group, an alkoxy group, a hydroxyalkyl group, a hydroxyalkoxy group, an acetoxyalkoxy group, an alkoxyalkoxy group, an alkylcarbonylalkyl group, an alkylthio group, a haloalkyl group, A phenyl group, a halogen atom, etc. are mentioned. Further, R 34 and R 35 are connected to each other, or R 34 or R 35 and R 32 or R 33 are connected to each other, and the formed cyclic structure includes pyrrolidine, piperidine, piperazine, morpholine. Oxazolidine, pyridine and the like.

また、ベンゼン環における置換基としては、アルキル基、ヒドロキシ基、アルコキシ基、アリルオキシ基、フェノキシ基、ベンゾイル基、シリルオキシ基、メルカプト基、アルキルチオ基、アリルチオ基、シクロアルキルチオ基、ベンジルチオ基、フェニルチオ基、アルキルスルホニル基、フェニルスルホニル基、アルキルスルフィニル基、アルキルアミノ基、アリルアミノ基、ピロリジニル基、ピペリジニル基、ピペラジニル基、モルホリニル基、ハロゲン原子等が挙げられ、又、ベンゼン環は縮合環を形成していてもよく、その縮合環としては、フルオレノン、ジベンゾスベロン、インドリン、キノキサリン、カルバゾール、フェナジン、アクリダノン、ベンゾジオキソール、ベンゾフラン、キサンテン、キサントン、フェノキサジン、ベンゾチアゾール、フェノチアジン等が挙げられる。   In addition, examples of the substituent in the benzene ring include alkyl groups, hydroxy groups, alkoxy groups, allyloxy groups, phenoxy groups, benzoyl groups, silyloxy groups, mercapto groups, alkylthio groups, allylthio groups, cycloalkylthio groups, benzylthio groups, phenylthio groups, Examples include an alkylsulfonyl group, a phenylsulfonyl group, an alkylsulfinyl group, an alkylamino group, an allylamino group, a pyrrolidinyl group, a piperidinyl group, a piperazinyl group, a morpholinyl group, and a halogen atom, and the benzene ring forms a condensed ring. As the condensed ring, fluorenone, dibenzosuberone, indoline, quinoxaline, carbazole, phenazine, acridanone, benzodioxole, benzofuran, xanthene, xanthone, phenoxazine, Nzochiazoru, phenothiazines, and the like.

以上の前記一般式(VI)で表されるα−アミノアセトフェノン誘導体として、具体的に、化合物の基本骨格により分類してその炭素数毎に例示すれば、以下の化合物が挙げられ、これらの中で、特に好ましいものは、R32及びR33が各々独立して、メチル基、エチル基、又はベンジル基であり、R34とR35が、それぞれメチル基、又は互いに連結して環状構造を形成したモルホリノ基であり、ベンゼン環が、無置換、又は置換基としてメチルチオ基、ジメチルアミノ基、又はモルホリノ基を有する、特に好ましくはp−位にのみモルホリノ基を有する化合物である。   Specific examples of the α-aminoacetophenone derivative represented by the general formula (VI) above include the following compounds when classified according to the basic skeleton of the compound and exemplified for each carbon number. Particularly preferred are R32 and R33 each independently a methyl group, an ethyl group, or a benzyl group, and R34 and R35 are each a methyl group or a morpholino group that is linked to each other to form a cyclic structure. And a compound in which the benzene ring is unsubstituted or has a methylthio group, a dimethylamino group, or a morpholino group as a substituent, particularly preferably a morpholino group only in the p-position.

前記一般式(VI)の基本骨格の炭素数3に分類するプロパン−1−オンとして、1−フェニル−2−ジメチルアミノ−2−メチル−3−(4−メチルフェニル)−プロパン−1−オン、1−フェニル−2−ジメチルアミノ−2−メチル−3−(4−メトキシフェニル)−プロパン−1−オン、1−フェニル−2−ジメチルアミノ−2−メチル−3−(3,4−ジメトキシフェニル)−プロパン−1−オン、1−フェニル−2−ジメチルアミノ−2−メチル−3−(4−メチルチオフェニル)−プロパン−1−オン、1−フェニル−2−ジメチルアミノ−2−メチル−3−(4−フルオロフェニル)−プロパン−1−オン、1−フェニル−2−ジメチルアミノ−2−メチル−3−(2−クロロフェニル)−プロパン−1−オン、1−フェニル−2−ジメチルアミノ−2−メチル−3−(4−クロロフェニル)−プロパン−1−オン、1−フェニル−2−ジメチルアミノ−2−メチル−3−(4−ブロモフェニル)−プロパン−1−オン、1−フェニル−2−ジメチルアミノ−2−メチル−3−(4−ベンゾイルフェニル)−プロパン−1−オン、1−フェニル−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−プロパン−1−オン、1,3−ジフェニル−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−プロパン−1−オン、1−(4−フルオロフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−プロパン−1−オン、1−(4−フルオロフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−3−フェニル−プロパン−1−オン、1−(4−ベンゾイルフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−プロパン−1 −オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノ−2−メチル−プロパン−1−オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−メチル−3−(4−メチルフェニル)−プロパン−1−オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−メチル−3 −(4−メトキシフェニル)−プロパン−1−オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−メチル−3−(3,4−ジメトキシフェニル)−プロパン−1−オン、1−(4 −メチルチオフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−メチル−3−(4−フルオロフェニル)−プロパン−1−オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−メチル−3−(2 −クロロフェニル)−プロパン−1−オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−メチル−3−(4−クロロフェニル)−プロパン−1−オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−メチル−3−(4−ブロモフェニル)−プロパン−1−オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−メチル−3−(4−ベンゾイルフェニル)−プロパン−1−オン、1,3−ビス(4−メチルチオフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−メチル−プロパン−1−オン、1−(4−ブチルチオフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−3−フェニル−プロパン−1−オン、1−(4−シクロヘキシルチオフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−3−フェニル−プロパン−1−オン、1−(4−ベンジルチオフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−プロパン−1−オン、1−(4−ジメチルアミノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−プロパン−1−オン、1−(4−ジメチルアミノフェニル)−2 −ジメチルアミノ−2−ベンジル−3−フェニル−プロパン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−(2−クロロペンテニル)−プロパン−1−オン、1−(4 −モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−プロパン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル) −2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−3−フェニル−プロパン−1−オン、1−(N−メチルインドリン−5−イル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−プロパン−1−オン、1−(N−ブチルフェノキサジン−2−イル)−2−モルホリノ−2−ベンジル−プロパン−1−オン等が挙げられる。   As propan-1-one classified into 3 carbon atoms of the basic skeleton of the general formula (VI), 1-phenyl-2-dimethylamino-2-methyl-3- (4-methylphenyl) -propan-1-one 1-phenyl-2-dimethylamino-2-methyl-3- (4-methoxyphenyl) -propan-1-one, 1-phenyl-2-dimethylamino-2-methyl-3- (3,4-dimethoxy Phenyl) -propan-1-one, 1-phenyl-2-dimethylamino-2-methyl-3- (4-methylthiophenyl) -propan-1-one, 1-phenyl-2-dimethylamino-2-methyl- 3- (4-fluorophenyl) -propan-1-one, 1-phenyl-2-dimethylamino-2-methyl-3- (2-chlorophenyl) -propan-1-one, 1-phenyl- -Dimethylamino-2-methyl-3- (4-chlorophenyl) -propan-1-one, 1-phenyl-2-dimethylamino-2-methyl-3- (4-bromophenyl) -propan-1-one, 1-phenyl-2-dimethylamino-2-methyl-3- (4-benzoylphenyl) -propan-1-one, 1-phenyl-2-dimethylamino-2-benzyl-propan-1-one, 1,3 -Diphenyl-2-dimethylamino-2-benzyl-propan-1-one, 1- (4-fluorophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-propan-1-one, 1- (4-fluorophenyl) 2-dimethylamino-2-benzyl-3-phenyl-propan-1-one, 1- (4-benzoylphenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-prop 1-one, 1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholino-2-methyl-propan-1-one, 1- (4-methylthiophenyl) -2-dimethylamino-2-methyl-3- ( 4-methylphenyl) -propan-1-one, 1- (4-methylthiophenyl) -2-dimethylamino-2-methyl-3- (4-methoxyphenyl) -propan-1-one, 1- (4- Methylthiophenyl) -2-dimethylamino-2-methyl-3- (3,4-dimethoxyphenyl) -propan-1-one, 1- (4-methylthiophenyl) -2-dimethylamino-2-methyl-3- (4-Fluorophenyl) -propan-1-one, 1- (4-methylthiophenyl) -2-dimethylamino-2-methyl-3- (2-chlorophenyl) -propan-1-one 1- (4-methylthiophenyl) -2-dimethylamino-2-methyl-3- (4-chlorophenyl) -propan-1-one, 1- (4-methylthiophenyl) -2-dimethylamino-2-methyl -3- (4-bromophenyl) -propan-1-one, 1- (4-methylthiophenyl) -2-dimethylamino-2-methyl-3- (4-benzoylphenyl) -propan-1-one, , 3-bis (4-methylthiophenyl) -2-dimethylamino-2-methyl-propan-1-one, 1- (4-butylthiophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-3-phenyl-propane -1-one, 1- (4-cyclohexylthiophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-3-phenyl-propan-1-one, 1- (4-benzylthiol Nyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-propan-1-one, 1- (4-dimethylaminophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-propan-1-one, 1- (4-dimethylamino) Phenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-3-phenyl-propan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2- (2-chloropentenyl) -propan-1-one 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-propan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-3-phenyl-propane-1 -One, 1- (N-methylindoline-5-yl) -2-dimethylamino-2-benzyl-propan-1-one, 1- (N-butylphenoxy) 2-yl) -2-morpholino-2-benzyl-- propan 1-one, and the like.

前記一般式(VI)の基本骨格の炭素数4に分類するブタン−1−オンとして、1−フェニル−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−メチルフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−メトキシフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(3,5−ジメチル−4−メトキシフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(3,4−ジメトキシフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(3,4,5−トリメトキシフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−ヒドロキシフェニル)−2−ジメチルアミノ−2 −
ベンジル−ブタン−1−オン、1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−アリルオキシフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−エトキシカルボニルメトキシフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−〔4−(1,1,2−トリメチルプロピルジメチルシリルオキシ)フェニル〕−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−フルオロフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1 −(4−クロロフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(2, 4−ジクロロフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(3,4 −ジクロロフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(3,5−ジクロロフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−ブロモフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−メルカプトフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2 −ジブチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2−ジ(2−メトキシエチル)アミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−〔4−(2−メトキシエチルチオ)フェニル〕−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−〔4−(2 −ヒドロキシエチルチオ)フェニル〕−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−オクチルチオフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1 −(4−メチルスルホニルフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−〔4−(4−メチルフェニルスルホニル)フェニル〕−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−ベンゼンスルホニルフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−メチルスルフィニルフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−アミノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−メチルアミノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−ジメチルアミノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−ジメチルアミノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−(4−メチルベンジル)−ブタン−1−オン、1−(4−ジメチルアミノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−(4−イソプロピルベンジル)−ブタン−1−オン、1−(4−ジメチルアミノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−(4−ドデシルベンジル)−ブタン−1−オン、1−(4−ジメチルアミノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−(1−クロロヘキセニルメチル)−ブタン−1−オン、1−(4−ジメチルアミノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−(2−ピネン−10−イル)−ブタン−1−オン、1−(4−ジメチルアミノ−2−メチルフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−ジメチルアミノ−3−エチルフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−ジエチルアミノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−イソプロピルアミノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ブチル−ブタン−1−オン、1−〔4−(2−メトキシエチルアミノ)フェニル〕−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1 −〔4−(3−メトキシプロピルアミノ)フェニル〕−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−アセチルアミノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−〔4−(N−アセチルメチルアミノ)フェニル〕−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−〔4−(N−アセチル−3−メトキシプロピルアミノ)フェニル〕−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−ピペリジノフェニル) −2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2 −ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−(3,4−ジメチルベンジル)−ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−(4−エチルベンジル)−ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−(4−イソプロピルベンジル)−ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−(4−ブチルベンジル)−ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−(4−イソブチルベンジル)−ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−(4 −ドデシルベンジル)−ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−(4−ヒドロキシメチルベンジル)−ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−(4−アセトキシエチルベンジル)−ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2 −ジメチルアミノ−2−(4−メトキシベンジル)−ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−(4−ブトキシベンジル)−ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)ベンジル〕−ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−〔4−(2−メトキシエトキシ)ベンジル〕−ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−〔4−(2−(2−メトキシエトキシ)エトキシ)ベンジル〕−ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−〔4−(2−(2−メトキシエトキシ)エトキシカルボニル)ベンジル〕−ブタン−1−オン、1−(4 −モルホリノフェニル)−2 −ジメチルアミノ−2−〔4−(2−(2−(2−メトキシエトキシ)エトキシカルボニル)エチル)ベンジル〕−ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル) −2−ジメチルアミノ−2−〔4−(2−ブロモエチル)ベンジル〕−ブタン−1−オン、1−(4 −モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−〔4−( 2−ジエチルアミノエチル)ベンジル〕−ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン−トリフルオロアセテート、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン−ドデシルベンゼンスルホネート、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン−p−トルエンスルホネート、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン−カンファースルホネート、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジエチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジ(2−メトキシエチル)アミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ブチルメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ブチルメチルアミノ−2−(4−イソプロピルベンジル) −ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジブチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ベンジルメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(3−クロロ−4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−〔4−(2,6−ジメチルモルホリン−4−イル)フェニル〕−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(1,4−ジメチル−1,2,3, 4−テトラヒドロキノキサリン−6−イル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(N−ブチルカルバソール−3−イル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(1,3−ベンゾジオキソール−5−イル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(2,3−ジヒドロベンゾフラン−5−イル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(キサンテン−2−イル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、1−(2,3−ジヒドロ−2,3−ジメチルベンゾチアゾール−5 −イル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタン−1−オン、2−(2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタノイル)−フルオレノン、2−(2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタノイル)−ジベンゾスベロン、3,6−ジ(2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ブタノイル)−9 −ブチル−カルバゾール等が挙げられる。
As butan-1-one classified into 4 carbon atoms of the basic skeleton of the general formula (VI), 1-phenyl-2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-methylphenyl) 2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-methoxyphenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (3,5-dimethyl-4 -Methoxyphenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (3,4-dimethoxyphenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (3 , 4,5-trimethoxyphenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-hydroxyphenyl) -2-dimethylamino-2-
Benzyl-butan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-allyloxyphenyl) -2-dimethyl Amino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-ethoxycarbonylmethoxyphenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- [4- (1,1,2- Trimethylpropyldimethylsilyloxy) phenyl] -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-fluorophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1 − (4-Chlorophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (2,4-dichlorophenyl) -2-dimethylamino-2-benzene Zyl-butan-1-one, 1- (3,4-dichlorophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (3,5-dichlorophenyl) -2-dimethylamino-2- Benzyl-butan-1-one, 1- (4-bromophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-mercaptophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl- Butan-1-one, 1- (4-methylthiophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-methylthiophenyl) -2-dibutylamino-2-benzyl-butane 1-one, 1- (4-methylthiophenyl) -2-di (2-methoxyethyl) amino-2-benzyl-butan-1-one, 1- [4- (2-methoxyethylthio) Enyl] -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethylthio) phenyl] -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-octylthiophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-methylsulfonylphenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- [4- (4-Methylphenylsulfonyl) phenyl] -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-benzenesulfonylphenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butane-1 -One, 1- (4-methylsulfinylphenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-aminophenyl) -2-di Methylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-methylaminophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-dimethylaminophenyl) -2- Dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-dimethylaminophenyl) -2-dimethylamino-2- (4-methylbenzyl) -butan-1-one, 1- (4-dimethylamino Phenyl) -2-dimethylamino-2- (4-isopropylbenzyl) -butan-1-one, 1- (4-dimethylaminophenyl) -2-dimethylamino-2- (4-dodecylbenzyl) -butane-1 -One, 1- (4-dimethylaminophenyl) -2-dimethylamino-2- (1-chlorohexenylmethyl) -butan-1-one, 1- (4-dimethylamino Phenyl) -2-dimethylamino-2- (2-pinen-10-yl) -butan-1-one, 1- (4-dimethylamino-2-methylphenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butane -1-one, 1- (4-dimethylamino-3-ethylphenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-diethylaminophenyl) -2-dimethylamino-2- Benzyl-butan-1-one, 1- (4-isopropylaminophenyl) -2-dimethylamino-2-butyl-butan-1-one, 1- [4- (2-methoxyethylamino) phenyl] -2- Dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- [4- (3-methoxypropylamino) phenyl] -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one 1- (4-acetylaminophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- [4- (N-acetylmethylamino) phenyl] -2-dimethylamino-2-benzyl-butane -1-one, 1- [4- (N-acetyl-3-methoxypropylamino) phenyl] -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-piperidinophenyl) − 2-Dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2- Dimethylamino-2- (3,4-dimethylbenzyl) -butan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2- (4-ethylbenzyl) -buta 1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2- (4-isopropylbenzyl) -butan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2 -(4-Butylbenzyl) -butan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2- (4-isobutylbenzyl) -butan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) ) -2-Dimethylamino-2- (4-dodecylbenzyl) -butan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2- (4-hydroxymethylbenzyl) -butane-1- ON, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2- (4-acetoxyethylbenzyl) -butan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl)- 2-dimethylamino-2- (4-methoxybenzyl) -butan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2- (4-butoxybenzyl) -butan-1-one, -(4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2- [4- (2-hydroxyethoxy) benzyl] -butan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2- [ 4- (2-methoxyethoxy) benzyl] -butan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2- [4- (2- (2-methoxyethoxy) ethoxy) benzyl]- Butan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2- [4- (2- (2-methoxyethoxy) ethoxycarbonyl) benzyl] -butane- 1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2- [4- (2- (2- (2-methoxyethoxy) ethoxycarbonyl) ethyl) benzyl] -butan-1-one, 1 -(4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2- [4- (2-bromoethyl) benzyl] -butan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2- [4 -(2-diethylaminoethyl) benzyl] -butan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one-trifluoroacetate, 1- (4-morpholino Phenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one-dodecylbenzenesulfonate, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethyl Amino-2-benzyl-butan-1-one-p-toluenesulfonate, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one-camphorsulfonate, 1- (4-morpholino Phenyl) -2-diethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-di (2-methoxyethyl) amino-2-benzyl-butan-1-one, 1- ( 4-morpholinophenyl) -2-butylmethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-butylmethylamino-2- (4-isopropylbenzyl) -butane-1- ON, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dibutylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (4-morpholinopheny ) -2-Benzylmethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (3-chloro-4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- [4 -(2,6-dimethylmorpholin-4-yl) phenyl] -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (1,4-dimethyl-1,2,3,4-tetrahydroquinoxaline -6-yl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (N-butylcarbazol-3-yl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (1,3-benzodioxol-5-yl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (2,3-dihydrobenzofuran-5-yl) -2-dimethyl Amino-2 Benzyl-butan-1-one, 1- (xanthen-2-yl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 1- (2,3-dihydro-2,3-dimethylbenzothiazole- 5-yl) -2-dimethylamino-2-benzyl-butan-1-one, 2- (2-dimethylamino-2-benzyl-butanoyl) -fluorenone, 2- (2-dimethylamino-2-benzyl-butanoyl) ) -Dibenzosuberone, 3,6-di (2-dimethylamino-2-benzyl-butanoyl) -9-butyl-carbazole and the like.

前記一般式(VI)の基本骨格の炭素数5に分類するペンタン−1−オンとして、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−アリル−ペンタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ペンタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−(2−イソプロピルベンジル)−ペンタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ブチルメチルアミノ−2−(4−イソブチルベンジル)−ペンタン−1−オン、1 −(4−モルホリノフェニル)−2−ブチルメチルアミノ−2−(4−ブトキシベンジル)−ペンタン−1−オン等が挙げられる。   As pentan-1-one classified into carbon number 5 of the basic skeleton of the general formula (VI), 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2-allyl-pentan-1-one, 1- ( 4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-pentan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2- (2-isopropylbenzyl) -pentan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-butylmethylamino-2- (4-isobutylbenzyl) -pentan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-butylmethylamino-2- (4- Butoxybenzyl) -pentan-1-one and the like.

更に、ペンテン−1−オンとして、1−フェニル−2−ジメチルアミノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−フェニル−2−ジメチルアミノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−フェニル−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−4−ペンテン−1−オン、1−フェニル−2−モルホリノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−フェニル−2−モルホリノ−2−ベンジル−4−ペンテン−1−オン、1,2−ジフェニル−2−モルホリノ−4−ペンテン−1−オン、1 −(4−メチルフェニル)−2−モルホ
リノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−ドデシルフェニル)−2−モルホリノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−メトキシフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−メトキシフェニル)−2−ジブチルアミノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−メトキシフェニル)−2−ピペリジノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−メトキシフェニル)−2−オキサゾリジノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−メトキシフェニル)−2−モルホリノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−メトキシフェニル)−2−モルホリノ−2−フェニル−4−ペンテン−1−オン、1−(3,4−ジメトキシフェニル)−2−モルホリノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−〔4−(2−メトキシエトキシ)フェニル〕−2−モルホリノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−〔4−(2−メトキシエトキシ)フェニル〕−2−モルホリノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕−2−モルホリノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4 −イソプロピルオ
キシフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−ブチルオキシフェニル)−2−モルホリノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1 −〔4−(2−アリルオキシエトキシ)フェニル〕−2−モルホリノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−〔4−(2−アリルオキシエトキシ)フェニル〕−2−モルホリノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−トリメチルシリルオキシフェニル)−2−モルホリノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−フルオロフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−フルオロフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−フルオロフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−フルオロフェニル)−2−モルホリノ−2−メチル−4 −ペンテン−1−オン、1−(4−フルオロフェニル)−2−モルホリノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−フルオロフェニル)−2−モルホリノ−2−エチル−4−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−フルオロフェニル)−2−モルホリノ−2−エチル−5−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−フルオロフェニル)−2−モルホリノ−2−ベンジル−4−ペンテン−1−オン、1−(3,4−ジクロロフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(3,5−ジクロロ−4−メトキシフェニル)−2−モルホリノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−ブロモフェニル)−2−モルホリノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−ブロモフェニル)−2−モルホリノ−2−エチル−4 −ペンテン−1−オン、1−(4−ブロモフェニル)−2−モルホリノ−2−t−ブチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−フェニル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−4 −ペンテン−1−オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2−ピペリジノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノ−2−エチル−4−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノ−2−フェニル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノ−2−ベンジル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−エチルチオフェニル)−2−モルホリノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−イソプロピルチオフェニル)−2−モルホリノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−アリルチオフェニル)−2−モルホリノ−2−エチル−4−ペンテン−1 −オン、1−〔4−(2−ヒドロキシエチルチオ)フェニル〕−2−モルホリノ−2−メチル−4 −ペンテン−1−オン、1−〔4−(2−ヒドロキシエチルチオ)フェニル〕−2−モルホリノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−〔4−(2−ヒドロキシエチルチオ)フェニル〕−2 −モルホリノ−2−プロピル−4−ペンテン−1−オン、1−〔4−(2−ヒドロキシエチルチオ)フェニル〕−2−モルホリノ−2−t−ブチル−4−ペンテン−1−オン、1−〔4−(2−メトキシカルボニルエチルチオ)フェニル〕−2−モルホリノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−メチルスルホニルフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−ブチルスルフィニルフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−〔4−(4−メチルフェニルチオ)フェニル〕−2−モルホリノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−〔4−(4−メチルフェニルスルホニル)フェニル〕−2−モルホリノ−2−エチル−4−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−クロロフェニルチオフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−ジメチルアミノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−ジメチルアミノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−ジメチルアミノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−4−ペンテン−1−オン、1−(4 −ジメチルアミノフェニル)−2−メチルフェニルアミノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−ジメチルアミノフェニル)−2−(ピロリジン−1−イル)−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−ジメチルアミノフェニル)−2−モルホリノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−ジメチルアミノフェニル)−2−モルホリノ−2−エチル−4−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4 −ジメチルアミノフェニル)−2−モルホリノ−2−ベンジル−4−ペンテン−1−オン、1−(4 −ジメチルアミノフェニル)−2−(2,6−ジメチルモルホリン−4イル)−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−ジエチルアミノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−4−ペンテン−1−オン、1−〔4−ビス(2−メトキシエチル)アミノフェニル〕−2−モルホリノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−ブチルアミノフェニル)−2−ジブチルアミノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−ブチルアミノフェニル)−2−モルホリノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−ジブチルアミノフェニル)−2−モルホリノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−ジアリルアミノフェニル)−2−モルホリノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−〔4−(ピロリジン−1−イル)フェニル〕−2−モルホリノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−ピペリジノフェニル)−2 −ピペリジノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−〔4−(ピペラジン−1−イル)フェニル〕−2−ジメチルアミノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−〔4−(4−メチルピペラジン−1−イル)フェニル〕−2−モルホリノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−〔4−(N−メチルピペラジン−1−イル)フェニル〕−2−(N−メチルピペラジン−1−イル)−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−イソプロピル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジエチルアミノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジ(2 −メトキシエチル)アミノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ブチルメチルアミノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−アリルメチルアミノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジアリルアミノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ベンジルメチルアミノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−(ピペラジン−1−イル)−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1 −(4−モルホリノフェニル)−2−モルホリノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4 −モルホリノフェニル)−2−モルホリノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−モルホリノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン−ドデシルベンゼンスルホネート、1−(4−モルホリノフェニル)−2−モルホリノ−2−エチル−4−メチル−4 −ペンテン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−モルホリノ−2−ベンジル−4−ペンテン−1−オン、1−〔4−(2,6−ジメチルモルホリン−4−イル)フェニル〕−2−モルホリン−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−〔4−(2,6−ジメチルモルホリン−4 −イル)フェニル〕−2−(2,6−ジメチルモルホリン−4−イル)−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(N−ブチルインドリン−5−イル)−2−モルホリノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(1,4−ジブチル−1,2,3,4−テトラヒドロキノキサリン−6−イル)−2−モルホリノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(N−ブチルカルバゾール−3−イル)−2−モルホリノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(5,10−ジブチル−5,10−ジヒドロフェナジン−6−イル)−2−ジメチルアミノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(1,3−ベンゾジオキソール−5−イル)−2−モルホリノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(ベンゾフラン−3−イル)−2−モルホリノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(ベンゾフラン−6−イル)−2−モルホリノ−2−エチル−4−ペンテン−1−オン、1−(2,3−ジヒドロベンゾフラン−5−イル)−2−モルホリノ−2−メチル−4−ペンテン−1−オン、1−(N −メチルフェノチアジン−2−イル)−2−ジメチルアミノ−2−アリル−4−ペンテン−1−オン、3,6−ジ(2−モルホリノ−2−メチル−4−ペンテノイル)−カルバゾール、2−(2−ジメチルアミノ−2−アリル−4−ペンテノイル)−アクリダノン、2−(2−モルホリノ−2−メチル−4−ペンテノイル)−キサントン、2−(4−モルホリノベンゾイル)−2−エチル−N−メチル−1,2,3,6−テトラヒドロピリジン等が挙げられる。
Furthermore, as penten-1-one, 1-phenyl-2-dimethylamino-2-methyl-4-penten-1-one, 1-phenyl-2-dimethylamino-2-ethyl-4-penten-1-one 1-phenyl-2-dimethylamino-2-benzyl-4-penten-1-one, 1-phenyl-2-morpholino-2-methyl-4-penten-1-one, 1-phenyl-2-morpholino- 2-Benzyl-4-penten-1-one, 1,2-diphenyl-2-morpholino-4-penten-1-one, 1- (4-methylphenyl) -2-morpholino-2-methyl-4-pentene -1-one, 1- (4-dodecylphenyl) -2-morpholino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (4-methoxyphenyl) -2-dimethylamino-2-ethyl-4- Penten-1-one, 1- (4-methoxyphenyl) -2-dibutylamino-2-methyl-4-penten-1-one, 1- (4-methoxyphenyl) -2-piperidino-2-ethyl-4 -Penten-1-one, 1- (4-methoxyphenyl) -2-oxazolidino-2-methyl-4-penten-1-one, 1- (4-methoxyphenyl) -2-morpholino-2-ethyl-4 -Penten-1-one, 1- (4-methoxyphenyl) -2-morpholino-2-phenyl-4-penten-1-one, 1- (3,4-dimethoxyphenyl) -2-morpholino-2-ethyl -4-penten-1-one, 1- [4- (2-methoxyethoxy) phenyl] -2-morpholino-2-methyl-4-penten-1-one, 1- [4- (2-methoxyethoxy) Feni ] -2-morpholino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] -2-morpholino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (4-Isopropyloxyphenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-4-penten-1-one, 1- (4-butyloxyphenyl) -2-morpholino-2-ethyl-4-penten-1-one 1- [4- (2-allyloxyethoxy) phenyl] -2-morpholino-2-methyl-4-penten-1-one, 1- [4- (2-allyloxyethoxy) phenyl] -2-morpholino 2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (4-trimethylsilyloxyphenyl) -2-morpholino-2-methyl-4-penten-1-one, 1- (4-fluoropheny L) -2-dimethylamino-2-methyl-4-penten-1-one, 1- (4-fluorophenyl) -2-dimethylamino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (4 -Fluorophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-4-penten-1-one, 1- (4-fluorophenyl) -2-morpholino-2-methyl-4-penten-1-one, 1- ( 4-fluorophenyl) -2-morpholino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (4-fluorophenyl) -2-morpholino-2-ethyl-4-methyl-4-penten-1-one 1- (4-fluorophenyl) -2-morpholino-2-ethyl-5-methyl-4-penten-1-one, 1- (4-fluorophenyl) -2-morpholino-2-benzyl-4-pentene -1- ON, 1- (3,4-dichlorophenyl) -2-dimethylamino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (3,5-dichloro-4-methoxyphenyl) -2-morpholino-2- Methyl-4-penten-1-one, 1- (4-bromophenyl) -2-morpholino-2-methyl-4-penten-1-one, 1- (4-bromophenyl) -2-morpholino-2- Ethyl-4-penten-1-one, 1- (4-bromophenyl) -2-morpholino-2-tert-butyl-4-penten-1-one, 1- (4-methylthiophenyl) -2-dimethylamino 2-methyl-4-penten-1-one, 1- (4-methylthiophenyl) -2-dimethylamino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (4-methylthiophenyl) -2- Dimethylamino 2-phenyl-4-penten-1-one, 1- (4-methylthiophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-4-penten-1-one, 1- (4-methylthiophenyl) -2- Piperidino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholino-2-methyl-4-penten-1-one, 1- (4-methylthiophenyl) -2- Morpholino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholino-2-ethyl-4-methyl-4-penten-1-one, 1- (4-methylthiophenyl) ) -2-morpholino-2-phenyl-4-penten-1-one, 1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholino-2-benzyl-4-penten-1-one, 1- (4-ethyl) Thiophenyl) -2-morpholino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (4-isopropylthiophenyl) -2-morpholino-2-methyl-4-penten-1-one, 1- (4- Allylthiophenyl) -2-morpholino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethylthio) phenyl] -2-morpholino-2-methyl-4-pentene-1- ON, 1- [4- (2-hydroxyethylthio) phenyl] -2-morpholino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethylthio) phenyl] -2- Morpholino-2-propyl-4-penten-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethylthio) phenyl] -2-morpholino-2-tert-butyl-4-penten-1-one, 1- [ 4 (2-Methoxycarbonylethylthio) phenyl] -2-morpholino-2-methyl-4-penten-1-one, 1- (4-methylsulfonylphenyl) -2-dimethylamino-2-ethyl-4-pentene- 1-one, 1- (4-butylsulfinylphenyl) -2-dimethylamino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- [4- (4-methylphenylthio) phenyl] -2-morpholino- 2-ethyl-4-penten-1-one, 1- [4- (4-methylphenylsulfonyl) phenyl] -2-morpholino-2-ethyl-4-methyl-4-penten-1-one, 1- ( 4-chlorophenylthiophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-4-penten-1-one, 1- (4-dimethylaminophenyl) -2-dimethylamino-2 Methyl-4-penten-1-one, 1- (4-dimethylaminophenyl) -2-dimethylamino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (4-dimethylaminophenyl) -2-dimethyl Amino-2-benzyl-4-penten-1-one, 1- (4-dimethylaminophenyl) -2-methylphenylamino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (4-dimethylaminophenyl) ) -2- (pyrrolidin-1-yl) -2-methyl-4-penten-1-one, 1- (4-dimethylaminophenyl) -2-morpholino-2-methyl-4-penten-1-one, 1- (4-Dimethylaminophenyl) -2-morpholino-2-ethyl-4-methyl-4-penten-1-one, 1- (4-dimethylaminophenyl) -2-morpholino-2-be Zyl-4-penten-1-one, 1- (4-dimethylaminophenyl) -2- (2,6-dimethylmorpholin-4-yl) -2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (4 -Diethylaminophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-4-penten-1-one, 1- [4-bis (2-methoxyethyl) aminophenyl] -2-morpholino-2-methyl-4-pentene- 1-one, 1- (4-butylaminophenyl) -2-dibutylamino-2-methyl-4-penten-1-one, 1- (4-butylaminophenyl) -2-morpholino-2-methyl-4 -Penten-1-one, 1- (4-dibutylaminophenyl) -2-morpholino-2-methyl-4-penten-1-one, 1- (4-diallylaminophenyl) -2-morpholino-2 Methyl-4-penten-1-one, 1- [4- (pyrrolidin-1-yl) phenyl] -2-morpholino-2-methyl-4-penten-1-one, 1- (4-piperidinophenyl) ) -2-piperidino-2-methyl-4-penten-1-one, 1- [4- (piperazin-1-yl) phenyl] -2-dimethylamino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- [4- (4-Methylpiperazin-1-yl) phenyl] -2-morpholino-2-methyl-4-penten-1-one, 1- [4- (N-methylpiperazin-1-yl) phenyl ] -2- (N-methylpiperazin-1-yl) -2-methyl-4-penten-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2-methyl-4-pentene-1 -One, 1- (4-morpholino Enyl) -2-dimethylamino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2-isopropyl-4-penten-1-one, 1- (4 -Morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-4-penten-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-diethylamino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- ( 4-morpholinophenyl) -2-di (2-methoxyethyl) amino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-butylmethylamino-2-methyl-4- Penten-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-allylmethylamino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-di Rylamino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-benzylmethylamino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (4-morpholinophenyl)- 2- (piperazin-1-yl) -2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-morpholino-2-methyl-4-penten-1-one, 1- ( 4-morpholinophenyl) -2-morpholino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-morpholino-2-ethyl-4-penten-1-one-dodecylbenzenesulfonate 1- (4-morpholinophenyl) -2-morpholino-2-ethyl-4-methyl-4-penten-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-morpholin 2-benzyl-4-penten-1-one, 1- [4- (2,6-dimethylmorpholin-4-yl) phenyl] -2-morpholin-2-methyl-4-penten-1-one, 1 -[4- (2,6-dimethylmorpholin-4-yl) phenyl] -2- (2,6-dimethylmorpholin-4-yl) -2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (N -Butylindoline-5-yl) -2-morpholino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (1,4-dibutyl-1,2,3,4-tetrahydroquinoxalin-6-yl)- 2-morpholino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (N-butylcarbazol-3-yl) -2-morpholino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (5 10-dibutyl-5,10-dihydrophena -6-yl) -2-dimethylamino-2-methyl-4-penten-1-one, 1- (1,3-benzodioxol-5-yl) -2-morpholino-2-methyl-4 -Penten-1-one, 1- (benzofuran-3-yl) -2-morpholino-2-ethyl-4-penten-1-one, 1- (benzofuran-6-yl) -2-morpholino-2-ethyl -4-penten-1-one, 1- (2,3-dihydrobenzofuran-5-yl) -2-morpholino-2-methyl-4-penten-1-one, 1- (N-methylphenothiazine-2- Yl) -2-dimethylamino-2-allyl-4-penten-1-one, 3,6-di (2-morpholino-2-methyl-4-pentenoyl) -carbazole, 2- (2-dimethylamino-2) -Allyl-4-pentenoy ) -Acridanone, 2- (2-morpholino-2-methyl-4-pentenoyl) -xanthone, 2- (4-morpholinobenzoyl) -2-ethyl-N-methyl-1,2,3,6-tetrahydropyridine, etc. Is mentioned.

前記一般式(VI)の基本骨格の炭素数6に分類するヘキサン−1−オンとして、1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノ−2−アリル−ヘキサン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ヘキサン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−4,5,5−トリメチル−ヘキサン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ブチルメチルアミノ−2−(4−ブチルベンジル)−ヘキサン−1−オン、1−(4 −モルホリノフェニル)−2−ジオクチルアミノ−2−(4−メチルベンジル)−ヘキサン−1−オン等が挙げられる。   As hexane-1-one classified into carbon number 6 of the basic skeleton of the general formula (VI), 1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholino-2-allyl-hexane-1-one, 1- (4 -Morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-hexane-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-4,5,5-trimethyl-hexane-1- ON, 1- (4-morpholinophenyl) -2-butylmethylamino-2- (4-butylbenzyl) -hexane-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dioctylamino-2- (4 -Methylbenzyl) -hexane-1-one and the like.

更に、ヘキセン−1−オンとして、1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノ−2−エチル−4−メチル−4−ヘキセン−1−オン、1−(4−ジメチルアミノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2,4, 5−トリメチル−4−ヘキセン−1−オン、1−
(4−ジメチルアミノフェニル)−2−モルホリノ−2−エチル−4−ヘキセン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2 −モルホリノ−2−エチル−4−ヘキセン−
1−オン等が挙げられる。
Further, as hexen-1-one, 1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholino-2-ethyl-4-methyl-4-hexen-1-one, 1- (4-dimethylaminophenyl) -2- Dimethylamino-2,4,5-trimethyl-4-hexen-1-one, 1-
(4-Dimethylaminophenyl) -2-morpholino-2-ethyl-4-hexen-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-morpholino-2-ethyl-4-hexene-
1-one etc. are mentioned.

前記一般式(VI)の基本骨格の炭素数7に分類するヘプタン−1−オンとして、1−(4−ジメチルアミノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−〔4−(2−メトキシ)ベンジル〕−ヘプタン−1−オン、1−(4 −モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−ヘプタン−1−オン等が挙げられる。
更に、ヘプタ−1,6−ジエンとして、4−ベンゾイル−4−ジメチルアミノ−ヘプタ−1,6−ジエン、4−(4−メトキシベンゾイル)−4−ジメチルアミノ−ヘプタ−1,6−ジエン、4−(4−メトキシベンゾイル)−4−モルホリノ−ヘプタ−1,6−ジエン、4−(3,4−ジメトキシベンゾイル)−4−ジメチルアミノ−ヘプタ−1,6−ジエン、4−(4−フェノキシベンゾイル)−4−ジメチルアミノ−ヘプタ−1,6−ジエン、4−(4−フルオロベンゾイル)−4−ジメチルアミノ−ヘプタ−1,6−ジエン、4−(4−フルオロベンゾイル)−4−モルホリノ−ヘプタ−1,6−ジエン、4−(4−メチルチオベンゾイル)−4−ジメチルアミノ−ヘプタ−1,6−ジエン、4−(4−メチルチオベンゾイル)−4−モルホリノ−ヘプタ−1,6−ジエン、4 −(4−ジメチルアミノベンゾイル)−4−ジメチルアミノ−ヘプタ−1,6−ジエン、4−(4−ジメチルアミノベンゾイル)−4−モルホリノ−ヘプタ−1,6−ジエン、4−(4−モルホリノベンゾイル)−4−ジメチルアミノ−ヘプタ−1,6−ジエン、4−(4−モルホリノベンゾイル)−4−モルホリノ−ヘプタ−1,6−ジエン等が挙げられる。
1- (4-dimethylaminophenyl) -2-dimethylamino-2- [4- (2-methoxy) benzyl] as heptan-1-one classified into 7 carbon atoms of the basic skeleton of the general formula (VI) -Heptan-1-one, 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-heptan-1-one and the like.
Further, as hepta-1,6-diene, 4-benzoyl-4-dimethylamino-hepta-1,6-diene, 4- (4-methoxybenzoyl) -4-dimethylamino-hepta-1,6-diene, 4- (4-methoxybenzoyl) -4-morpholino-hepta-1,6-diene, 4- (3,4-dimethoxybenzoyl) -4-dimethylamino-hepta-1,6-diene, 4- (4- Phenoxybenzoyl) -4-dimethylamino-hepta-1,6-diene, 4- (4-fluorobenzoyl) -4-dimethylamino-hepta-1,6-diene, 4- (4-fluorobenzoyl) -4- Morpholino-hepta-1,6-diene, 4- (4-methylthiobenzoyl) -4-dimethylamino-hepta-1,6-diene, 4- (4-methylthiobenzoyl) -4 Morpholino-hepta-1,6-diene, 4- (4-dimethylaminobenzoyl) -4-dimethylamino-hepta-1,6-diene, 4- (4-dimethylaminobenzoyl) -4-morpholino-hepta-1 , 6-diene, 4- (4-morpholinobenzoyl) -4-dimethylamino-hepta-1,6-diene, 4- (4-morpholinobenzoyl) -4-morpholino-hepta-1,6-diene, etc. It is done.

前記一般式(VI)の基本骨格の炭素数8に分類するオクタン−1−オンとして、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−ベンジル−オクタン−1−オン、1−(4−モルホリノフェニル)−2−ジメチルアミノ−2−(4−ドデシルベンジル)−オクタン−1−オン等が挙げられる。
本発明の感光性組成物において、前記その他の光重合開始剤の含有割合は、光重合開始剤全体に対して、通常0〜90重量%、好ましくは0〜50重量%、更に好ましくは0〜20重量%含有される。
As octan-1-one classified into 8 carbon atoms of the basic skeleton of the general formula (VI), 1- (4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2-benzyl-octane-1-one, 1- ( 4-morpholinophenyl) -2-dimethylamino-2- (4-dodecylbenzyl) -octan-1-one and the like.
In the photosensitive composition of the present invention, the content ratio of the other photopolymerization initiator is usually 0 to 90% by weight, preferably 0 to 50% by weight, more preferably 0 to 0% by weight with respect to the whole photopolymerization initiator. Contains 20% by weight.

[1−2−3−2]その他の増感色素
本発明の感光性組成物は、組成物の感度向上等の目的として、増感色素成分を含有するのが好ましく、その増感色素としては、波長340〜430nmの紫外〜青紫色領域に吸収極大を有する光吸収色素であり、ジアルキルアミノベンゼン系化合物、ピロメテン系化合物、トリヒドロキシピリミジン誘導体等が挙げられる中で、ジアルキルアミノベンゼン系化合物が好ましい。
[1-2-3-2] Other sensitizing dyes
The photosensitive composition of the present invention preferably contains a sensitizing dye component for the purpose of improving the sensitivity of the composition, and the sensitizing dye has an absorption maximum in the ultraviolet to blue-violet region having a wavelength of 340 to 430 nm. Among them, dialkylaminobenzene compounds are preferable, among which dialkylaminobenzene compounds, pyromethene compounds, trihydroxypyrimidine derivatives, and the like can be given.

その好ましいジアルキルアミノベンゼン系化合物としては、特に、ジアルキルアミノベ
ンゾフェノン系化合物、ベンゼン環上のアミノ基に対してp−位の炭素原子に複素環基を置換基として有するジアルキルアミノベンゼン系化合物、ベンゼン環上のアミノ基に対してp−位の炭素原子にスルホニルイミノ基を含む置換基を有するジアルキルアミノベンゼン系化合物、及びカルボスチリル骨格を形成したジアルキルアミノベンゼン系化合物が好ましい。
The preferred dialkylaminobenzene compounds include, in particular, dialkylaminobenzophenone compounds, dialkylaminobenzene compounds having a heterocyclic group as a substituent at a carbon atom in the p-position with respect to the amino group on the benzene ring, and benzene rings. Dialkylaminobenzene compounds having a substituent containing a sulfonylimino group at the carbon atom in the p-position with respect to the amino group above, and dialkylaminobenzene compounds having a carbostyryl skeleton are preferred.

そのジアルキルアミノベンゾフェノン系化合物としては、下記一般式(VII)で表され
るものが好ましい。
As the dialkylaminobenzophenone compound, those represented by the following general formula (VII) are preferable.

Figure 2007199135
Figure 2007199135

〔式(VII)中、R62、R63、R66、及びR67は各々独立して、置換基を有していてもよ
いアルキル基を示し、R64、R65、R68、及びR69は各々独立して、置換基を有していてもよいアルキル基、又は水素原子を示し、R62とR63、R62とR64、R63とR65、R66とR67、R66とR68、及びR67とR69とは各々独立して、含窒素複素環を形成していてもよい。〕
ここで、式(VII)中のR62、R63、R66、及びR67のアルキル基の炭素数、並びに、
64、R65、R68、及びR69がアルキル基であるときの炭素数は1〜6であるのが好ましい。
[In the formula (VII), R 62 , R 63 , R 66 and R 67 each independently represents an alkyl group which may have a substituent, R 64 , R 65 , R 68 , and R 69 independently represents an alkyl group which may have a substituent, or a hydrogen atom, and R 62 and R 63 , R 62 and R 64 , R 63 and R 65 , R 66 and R 67 , R 66 and R 68 , and R 67 and R 69 may each independently form a nitrogen-containing heterocycle. ]
Here, the carbon number of the alkyl group of R 62 , R 63 , R 66 , and R 67 in formula (VII), and
When R 64 , R 65 , R 68 , and R 69 are alkyl groups, the number of carbon atoms is preferably 1-6.

また、含窒素複素環を形成する場合、5又は6員環であるのが好ましく、R62とR64、R63とR65、R66とR68、又はR67とR69が6員環のテトラヒドロキノリン環を形成しているのが好ましく、R62とR63とR64とR65、又は/及び、R66とR67とR68とR69がジュロリ ジン環を形成しているのが特に好ましい。更に、2位にアルキル基を置換基とし
て有するテトラヒドロキノリン環、或いは該テトラヒドロキノリン環を含むジュロリジン環が殊更好ましい。
Further, when forming a nitrogen-containing heterocyclic ring, it is preferably a 5- or 6-membered ring, and R 62 and R 64 , R 63 and R 65 , R 66 and R 68 , or R 67 and R 69 are 6-membered rings. It is preferable that R 62 and R 63 and R 64 and R 65 , and / or R 66 and R 67 , R 68 and R 69 form a julolidine ring. Is particularly preferred. Furthermore, a tetrahydroquinoline ring having an alkyl group as a substituent at the 2-position or a julolidine ring containing the tetrahydroquinoline ring is particularly preferred.

前記一般式(VII)で表される化合物の具体例としては、例えば、4,4’−ビス(ジ
メチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’ −ビス(ジエチルアミノ) ベンゾフェノン、及び、下記構造の化合物が挙げられる。
Specific examples of the compound represented by the general formula (VII) include 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and compounds having the following structure. It is done.

Figure 2007199135
Figure 2007199135

また、ベンゼン環上のアミノ基に対してp−位の炭素原子に複素環基を置換基として有するジアルキルアミノベンゼン系化合物における複素環基としては、窒素原子、酸素原子、又は硫黄原子を含む5又は6員環のものが好ましく、縮合ベンゼン環を有する5員環が特に好ましく、下記一般式(VIII)で表されるものが好ましい。   In addition, the heterocyclic group in the dialkylaminobenzene compound having a heterocyclic group as a substituent at a carbon atom in the p-position with respect to the amino group on the benzene ring includes a nitrogen atom, an oxygen atom, or a sulfur atom. Alternatively, a 6-membered ring is preferable, a 5-membered ring having a condensed benzene ring is particularly preferable, and a compound represented by the following general formula (VIII) is preferable.

Figure 2007199135
Figure 2007199135

〔式(VIII)中、R70及びR71は各々独立して、置換基を有していてもよいアルキル基を
示し、R72及びR73は各々独立して、置換基を有していてもよいアルキル基、又は水素原子を示し、R70とR71、R70とR72、及びR71とR73とは各々独立して、含窒素複素環を形成していてもよく、X は、酸素原子、硫黄原子、ジアルキルメチレン基、イミノ基、
又はアルキルイミノ基を示し、複素環に縮合するベンゼン環は置換基を有していてもよい。〕
ここで、式(VIII)中のR70及びR71のアルキル基の炭素数、並びに、R72及びR73がアルキル基であるときの炭素数は1〜6であるのが好ましく、又、含窒素複素環を形成する場合、5又は6員環であるのが好ましく、R70とR72、R71とR73が6員環のテトラヒドロキノリン環を形成しているのが好ましく、R70とR71とR72とR73がジュロリジン環を形成しているのが特に好ましい。更に、2位にアルキル基を置換基として有するテトラヒドロキノリン環、或いは該テトラヒドロキノリン環を含むジュロリジン環が殊更好ましい。又、Xがジアルキルメチレン基であるときのアルキル基の炭素数は1〜6であるのが好ましく、アルキルイミノ基であるときのアルキル基の炭素数は1〜6であるのが好ま
しい。
[In the formula (VIII), R 70 and R 71 each independently represents an alkyl group which may have a substituent, and R 72 and R 73 each independently have a substituent. R 70 and R 71 , R 70 and R 72 , and R 71 and R 73 may each independently form a nitrogen-containing heterocyclic ring, , Oxygen atom, sulfur atom, dialkylmethylene group, imino group,
Or the benzene ring which shows an alkylimino group and is condensed to a heterocyclic ring may have a substituent. ]
Here, the number of carbon atoms of the alkyl group of R 70 and R 71 in formula (VIII) and the number of carbon atoms when R 72 and R 73 are an alkyl group are preferably 1 to 6, and when forming a nitrogen heterocycle is preferably a 5- or 6-membered ring, is preferably R 70 and R 72, R 71 and R 73 form a tetrahydroquinoline ring of 6-membered ring, and R 70 R 71 , R 72 and R 73 particularly preferably form a julolidine ring. Furthermore, a tetrahydroquinoline ring having an alkyl group as a substituent at the 2-position or a julolidine ring containing the tetrahydroquinoline ring is particularly preferred. In addition, when X is a dialkylmethylene group, the alkyl group preferably has 1 to 6 carbon atoms, and when X is an alkylimino group, the alkyl group preferably has 1 to 6 carbon atoms.
That's right.

前記一般式(VIII)で表される化合物の具体例としては、例えば、2−(p−ジメチルアミノフェニル)ベンゾオキサゾール、2−(p−ジエチルアミノフェニル)ベンゾオキサゾール、2−(p−ジメチルアミノフェニル)ベンゾ〔4,5〕ベンゾオキサゾール、2−(p−ジメチルアミノフェニル)ベンゾ〔6,7〕ベンゾオキサゾール、2−(p−ジメチルアミノフェニル)ベンゾチアゾール、2−(p−ジエチルアミノフェニル)ベンゾチアゾール、2−(p−ジメチルアミノフェニル)ベンゾイミダゾール、2−(p−ジエチルアミノフェニル)ベンゾイミダゾール、2−(p−ジメチルアミノフェニル)−3,3−ジメチル−3H−インドール、2−(p−ジエチルアミノフェニル)−3,3−ジメチル−3H−インドール、及び、下記構造の化合物が挙げられる。 Specific examples of the compound represented by the general formula (VIII) include, for example, 2- (p-dimethylaminophenyl) benzoxazole, 2- (p-diethylaminophenyl) benzoxazole, 2- (p-dimethylaminophenyl). ) Benzo [4,5] benzoxazole, 2- (p-dimethylaminophenyl) benzo [6,7] benzoxazole, 2- (p-dimethylaminophenyl) benzothiazole, 2- (p-diethylaminophenyl) benzothiazole 2- (p-dimethylaminophenyl) benzimidazole, 2- (p-diethylaminophenyl) benzimidazole, 2- (p-dimethylaminophenyl) -3,3-dimethyl-3H-indole, 2- (p-diethylamino) Phenyl) -3,3-dimethyl-3H-indole, and And compounds having the following structure.

Figure 2007199135
Figure 2007199135

また、前記一般式(VIII)で表される化合物以外の、ベンゼン環上のアミノ基に対して
p−位の炭素原子に複素環基を置換基として有するジアルキルアミノベンゼン系化合物としては、例えば、2−(p−ジメチルアミノフェニル)ピリジン、2−(p−ジエチルアミノフェニル)ピリジン、2−(p−ジメチルアミノフェニル)キノリン、2−(p−ジエチルアミノフェニル)キノリン、2−(p−ジメチルアミノフェニル)ピリミジン、2−(p−ジエチルアミノフェニル)ピリミジン、2,5−ビス(p−ジエチルアミノフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール、2,5 −ビス(p−ジエチルアミノフェニル
)−1,3,4−チアジアゾール等が挙げられる。
Examples of the dialkylaminobenzene compound other than the compound represented by the general formula (VIII) having a heterocyclic group as a substituent at a carbon atom at the p-position with respect to the amino group on the benzene ring include: 2- (p-dimethylaminophenyl) pyridine, 2- (p-diethylaminophenyl) pyridine, 2- (p-dimethylaminophenyl) quinoline, 2- (p-diethylaminophenyl) quinoline, 2- (p-dimethylaminophenyl) ) Pyrimidine, 2- (p-diethylaminophenyl) pyrimidine, 2,5-bis (p-diethylaminophenyl) -1,3,4-oxadiazole, 2,5-bis (p-diethylaminophenyl) -1,3 , 4-thiadiazole and the like.

また、ベンゼン環上のアミノ基に対してp−位の炭素原子にスルホニルイミノ基を含む置換基を有するジアルキルアミノベンゼン系化合物としては、下記一般式(VI) で表され
るものが好ましい。
Further, as the dialkylaminobenzene compound having a substituent containing a sulfonylimino group at the p-position carbon atom with respect to the amino group on the benzene ring, those represented by the following general formula (VI) are preferable.

Figure 2007199135
Figure 2007199135

〔式(IX)中、R74及びR75は各々独立して、置換基を有していてもよいアルキル基を示し、R76及びR77は各々独立して、置換基を有していてもよいアルキル基、又は水素原子を示し、R74とR76、R74とR76、及びR75とR77とは各々独立して、含窒素複素環を形成していてもよく、R78は1価基、又は水素原子を示し、R79は1価基を示す。〕
ここで、式(IX)中のR74及びR75のアルキル基の炭素数、並びに、R76及びR77がアルキル基であるときの炭素数は1〜6であるのが好ましく、又、含窒素複素環を形成する場合、5又は6員環であるのが好ましいが、R76及びR77は水素原子であるのが好ましい。
[In the formula (IX), R 74 and R 75 each independently represents an optionally substituted alkyl group, and R 76 and R 77 each independently represent a substituent. It indicates also alkyl group, or a hydrogen atom, R 74 and R 76, R 74 and R 76, and each, independently of R 75 and R 77, may form a nitrogen-containing heterocycle, R 78 Represents a monovalent group or a hydrogen atom, and R 79 represents a monovalent group. ]
Here, the carbon number of the alkyl group of R 74 and R 75 in formula (IX) and the carbon number when R 76 and R 77 are an alkyl group are preferably 1 to 6, and When forming a nitrogen heterocycle, it is preferably a 5- or 6-membered ring, but R 76 and R 77 are preferably hydrogen atoms.

また、R78及びR79の1価基としては、例えば、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、シクロアルケニル基、アルコキシ基、アルケニルオキシ基、アシル基、アシルオキシ基、アリール基、アリールオキシ基、アラルキル基、アリールアルケニル基、ヒドロキシ基、ホルミル基、カルボキシル基、カルボン酸エステル基、カルバモイル基、アミノ基、アシルアミノ基、カーバメート基、スルホンアミド基、スルホン酸基、スルホン酸エステル基、スルファモイル基、アルキルチオ基、イミノ基、シアノ基、及び複素環基等が挙げられる。これらの中で、R78としては水素原子が、又、R79としてはアリール基が好ましい。
また、カルボスチリル骨格を形成したジアルキルアミノベンゼン系化合物としては、下記一般式(X)で表されるものが好ましい。
Examples of the monovalent group of R 78 and R 79 include an alkyl group, a cycloalkyl group, an alkenyl group, a cycloalkenyl group, an alkoxy group, an alkenyloxy group, an acyl group, an acyloxy group, an aryl group, an aryloxy group, Aralkyl group, arylalkenyl group, hydroxy group, formyl group, carboxyl group, carboxylic acid ester group, carbamoyl group, amino group, acylamino group, carbamate group, sulfonamido group, sulfonic acid group, sulfonic acid ester group, sulfamoyl group, alkylthio Group, imino group, cyano group, heterocyclic group and the like. Of these, R 78 is preferably a hydrogen atom, and R 79 is preferably an aryl group.
Moreover, as a dialkylaminobenzene type compound which formed the carbostyryl skeleton, what is represented by the following general formula (X) is preferable.

Figure 2007199135
Figure 2007199135

〔式(X)中、R80、R81、及びR84は各々独立して、置換基を有していてもよいアルキル基を示し、R82及びR83は各々独立して、置換基を有していてもよいアルキル基、又は水素原子を示し、R80とR81、R80とR82、及びR81とR83とは各々独立して、含窒素複素環を形成していてもよく、R85は置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、又は水素原子を示す。〕
ここで、式(X)中のR80 、R81、及びR84のアルキル基の炭素数、並びに、R82
83、及びR85がアルキル基であるときの炭素数は1〜6であるのが好ましく、又、含窒素複素環を形成する場合、5又は6員環であるのが好ましいが、R82及びR83は水素原子であるのが好ましい。又、R85としてはフェニル基であるのが好ましい。
[In the formula (X), R 80 , R 81 and R 84 each independently represents an alkyl group which may have a substituent, and R 82 and R 83 each independently represents a substituent. An alkyl group which may have, or a hydrogen atom, R 80 and R 81 , R 80 and R 82 , and R 81 and R 83 may each independently form a nitrogen-containing heterocycle; R 85 represents an alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent, or a hydrogen atom. ]
Here, the carbon number of the alkyl group of R 80 , R 81 , and R 84 in formula (X), and R 82 ,
R 83, and the number of carbon atoms when R 85 is an alkyl group is preferably from 1 to 6, also in the case of forming a nitrogen-containing heterocyclic ring, but is preferably in the range 5 or 6-membered ring, R 82 And R 83 is preferably a hydrogen atom. R 85 is preferably a phenyl group.

以上の増感度色素として、本発明においては、前記一般式(VII)で表されるジアルキ
ルアミノベンゾフェノン系化合物、前記一般式(IX)で表される、ベンゼン環上のアミノ基に対してp −位の炭素原子にスルホニルイミノ基を含む置換基を有するジアルキルア
ミノベンゼン系化合物、又は、前記一般式(X)で表される、カルボスチリル骨格を形成したジアルキルアミノベンゼン系化合物が特に好ましい。
本発明の感光性組成物において、前記その他の増感色素の含有割合は、増感剤全体に対して、通常0〜90重量%、好ましくは0〜50重量%、更に好ましくは0〜20重量%含有される。
As the above-mentioned sensitizing dye, in the present invention, the dialkylaminobenzophenone compound represented by the general formula (VII) and the amino group on the benzene ring represented by the general formula (IX) are p −. A dialkylaminobenzene compound having a substituent containing a sulfonylimino group at the carbon atom at the position or a dialkylaminobenzene compound having a carbostyril skeleton represented by the general formula (X) is particularly preferred.
In the photosensitive composition of the present invention, the content of the other sensitizing dye is usually 0 to 90% by weight, preferably 0 to 50% by weight, more preferably 0 to 20% by weight, based on the entire sensitizer. % Content.

[1−3](C)アルカリ可溶性樹脂
本発明の感光性組成物を構成する(C)成分のアルカリ可溶性樹脂としては、フェノール性水酸基含有樹脂、及び、カルボキシル基含有樹脂等が挙げられる。例えば、ポリビニルフェノール樹脂、及び、ノボラック樹脂、レゾール樹脂等のフェノール樹脂、カルボキシル基含有ビニル系樹脂、カルボキシル基含有エポキシ樹脂が好ましく、これらの中で、カルボキシル基含有ビニル系樹脂、カルボキシル基含有エポキシ樹脂が更に好ましい。特に本発明の感光性組成物を塗設した画像形成材料をオーバーコートを用いない単層画像形成材料として用いる際には空気中酸素による感度低下の抑制、更には耐熱性、耐薬品性の向上の目的からカルボキシル基含有エポキシ樹脂が殊更好ましい。以下に好ましい(C)成分としての、カルボキシル基含有ビニル系樹脂、カルボキシル基含有エポキシ樹脂を詳述する。
[1-3] (C) Alkali-soluble resin
Examples of the alkali-soluble resin (C) constituting the photosensitive composition of the present invention include phenolic hydroxyl group-containing resins and carboxyl group-containing resins. For example, a phenolic resin such as a polyvinylphenol resin, a novolak resin, a resol resin, or the like, a carboxyl group-containing vinyl resin, or a carboxyl group-containing epoxy resin is preferable. Among these, a carboxyl group-containing vinyl resin or a carboxyl group-containing epoxy resin is preferable. Is more preferable. In particular, when the image-forming material coated with the photosensitive composition of the present invention is used as a single-layer image-forming material that does not use an overcoat, the reduction in sensitivity due to oxygen in the air is suppressed, and the heat resistance and chemical resistance are improved. For these purposes, a carboxyl group-containing epoxy resin is particularly preferred. Hereinafter, a carboxyl group-containing vinyl resin and a carboxyl group-containing epoxy resin as the preferred component (C) will be described in detail.

[1−3−1]カルボキシル基含有ビニル系樹脂
カルボキシル基含有ビニル系樹脂としては、具体的には、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、シトラコン酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、ヒドロキシスチレン、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、ドデシル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ヒドロキシメチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、N,N−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、N−(メタ)アクリロイルモルホリン、(メタ)アクリロニトリル、(メタ)アクリルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリルアミド、酢酸ビニル等の他のビニル化合物との共重合体等が挙げられる。これらカルボキシル基含有ビニル系樹脂は、酸価が50〜300KOH・mg/gであるのが好ましく、100〜250KOH・mg/gであるのが特に好ましい。又、ポリスチレン換算の重量平均分子量が10,000〜200,000であるのが好ましく、20,000〜100,000であるのが特に好ましい。
[1-3-1] Carboxyl group-containing vinyl resin
Specific examples of the carboxyl group-containing vinyl resin include (meth) acrylic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid, maleic anhydride, itaconic acid, citraconic acid, and other unsaturated carboxylic acids, styrene, α-methylstyrene, hydroxystyrene, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, hydroxymethyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, N, N-dimethylaminoethyl (meth) acrylate, -(Meth) acryloylmorpholine, (meth) acrylonitrile, (meth) acrylamide, N-methylol (meth) acrylamide, N, N-dimethyl (meth) acrylamide, N, N-dimethylaminoethyl (meth) acrylamide, vinyl acetate, etc. And copolymers with other vinyl compounds. These carboxyl group-containing vinyl resins preferably have an acid value of 50 to 300 KOH · mg / g, and particularly preferably 100 to 250 KOH · mg / g. Moreover, it is preferable that the weight average molecular weight of polystyrene conversion is 10,000-200,000, and it is especially preferable that it is 20,000-100,000.

これらの中で、本発明における感光性組成物に含有されるカルボキシル基含有ビニル系樹脂としては、エチレン性不飽和カルボン酸類、アルキル(メタ)アクリレート類、及びスチレン類に由来する構成繰返し単位を含む共重合体であるのが好ましく、その共重合体としては、エチレン性不飽和カルボン酸類、アルキル(メタ)アクリレート類、及びスチレン類に由来する構成繰返し単位を、各々、10〜50重量%、15〜80重量%、及び1〜40重量%の割合で含むのが好ましく、各々、15〜50重量%、15〜80重量%、及び1〜15重量%の割合で含むのが更に好ましく、各々、15〜35重量%、30〜80重量%、及び5〜15重量%で含むのが特に好ましい。   Among these, the carboxyl group-containing vinyl resin contained in the photosensitive composition of the present invention includes structural repeating units derived from ethylenically unsaturated carboxylic acids, alkyl (meth) acrylates, and styrenes. The copolymer is preferably a copolymer, and as the copolymer, 10 to 50% by weight, 15 to 50% by weight of structural repeating units derived from ethylenically unsaturated carboxylic acids, alkyl (meth) acrylates, and styrenes, respectively. Preferably in a proportion of -80 wt% and 1-40 wt%, more preferably in a proportion of 15-50 wt%, 15-80 wt% and 1-15 wt%, respectively, It is particularly preferred to include 15 to 35 wt%, 30 to 80 wt%, and 5 to 15 wt%.

ここで、前記共重合体におけるスチレン系単量体としては、具体的には、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、α−エチルスチレン等のα−置換アルキルスチレン、o−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、2,5−ジメチルスチレン等の核置換アルキルスチレン、o−ヒドロキシスチレン、m−ヒドロキシスチレン、p−ヒドロキシスチレン、ジヒドロキシスチレン等の核置換ヒドロキシスチレン、p−クロロスチレン、p−ブロモスチレン、ジブロモスチレン等の核置換ハロゲン化スチレン等が挙げられ、又、アクリル酸エステル系単量体としては、具体的には、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、i−ブチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。ここで、(メタ)アクリル酸の炭素数は、好ましくは炭素数1〜12、更に好ましくは炭素数1〜8のアルキルエステル、及び、ヒドロキシメチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、アミノエチル(メタ)アクリレート、N,N−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート等の置換アルキルエステル等が挙げられる。   Here, specific examples of the styrene monomer in the copolymer include α-substituted alkylstyrenes such as styrene, α-methylstyrene, α-ethylstyrene, o-methylstyrene, and m-methyl. Nuclear substituted alkyl styrene such as styrene, p-methyl styrene, 2,5-dimethyl styrene, o-hydroxy styrene, m-hydroxy styrene, p-hydroxy styrene, dihydroxy styrene, etc., nuclear substituted hydroxy styrene, p-chlorostyrene, p -Nuclear substituted halogenated styrenes such as bromostyrene and dibromostyrene, and the like. Specific examples of acrylic acid ester monomers include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (Meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, i-butyl Le (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate. Here, the carbon number of (meth) acrylic acid is preferably an alkyl ester having 1 to 12 carbon atoms, more preferably 1 to 8 carbon atoms, and hydroxymethyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, and glycidyl. Examples thereof include substituted alkyl esters such as (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, aminoethyl (meth) acrylate, and N, N-dimethylaminoethyl (meth) acrylate.

尚、前記共重合体としては、前記スチレン系単量体、(メタ)アクリル酸エステル系単量体、及び(メタ)アクリル酸の各単量体に由来する構成繰返し単位の外に、更に、例えば、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、シトラコン酸等の不飽和カルボン酸や、(メタ)アクリロニトリル、(メタ)アクリルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリルアミド等の(メタ)アクリル酸誘導体、及び、酢酸ビニル、塩化ビニル等のビニル化合物等の共重合可能な他単量体に由来する構成繰返し単位を含有していてもよい。これらの他単量体に由来する構成繰返し単位の含有量は、共重合体全体の10モル%以下であるのが好ましい。   In addition, as the copolymer, in addition to the structural repeating unit derived from each monomer of the styrene monomer, (meth) acrylic acid ester monomer, and (meth) acrylic acid, For example, unsaturated carboxylic acids such as crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid, maleic anhydride, itaconic acid, citraconic acid, (meth) acrylonitrile, (meth) acrylamide, N-methylol (meth) acrylamide, N, N- Derived from other copolymerizable monomers such as (meth) acrylic acid derivatives such as dimethyl (meth) acrylamide and N, N-dimethylaminoethyl (meth) acrylamide, and vinyl compounds such as vinyl acetate and vinyl chloride. A constitutional repeating unit may be contained. The content of constituent repeating units derived from these other monomers is preferably 10 mol% or less of the entire copolymer.

また、その他のカルボキシル基含有ビニル系樹脂として、側鎖にエチレン性不飽和結合を有するカルボキシル基含有ビニル系樹脂が挙げられる。カルボキシル基含有ビニル系樹脂としては、例えば、以下のものが挙げられる。
(i)カルボキシル基含有重合体に、脂肪族エポキシ基含有不飽和化合物又は脂環式エポキシ基含有不飽和化合物を反応させて得られた反応生成物。
脂肪族エポキシ基含有不飽和化合物としては、例えばアリルグリシジルエーテル、グリシジル(メタ)アクリレート、α−エチルグリシジル(メタ)アクリレート、グリシジルクロトネート、グリシジルイソクロトネート、クロトニルグリシジルエーテル、イタコン酸モノアルキルモノグリシジルエステル、フマル酸モノアルキルモノグリシジルエステル、マレイン酸モノアルキルモノグリシジルエステル等が挙げられる。
脂環式エポキシ基含有不飽和化合物としては、例えば3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、2,3−エポキシシクロペンチルメチル(メタ)アクリレート、7,8−エポキシ〔トリシクロ[5.2.1.0]デシ−2−イル〕オキシメチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
Other carboxyl group-containing vinyl resins include carboxyl group-containing vinyl resins having an ethylenically unsaturated bond in the side chain. Examples of the carboxyl group-containing vinyl resin include the following.
(I) A reaction product obtained by reacting a carboxyl group-containing polymer with an aliphatic epoxy group-containing unsaturated compound or an alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound.
Examples of the aliphatic epoxy group-containing unsaturated compound include allyl glycidyl ether, glycidyl (meth) acrylate, α-ethyl glycidyl (meth) acrylate, glycidyl crotonate, glycidyl isocrotonate, crotonyl glycidyl ether, and monoalkyl monoitaconate. Examples include glycidyl ester, monoalkyl monoglycidyl fumarate, and monoalkyl monoglycidyl maleate.
Examples of the alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound include 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, 2,3-epoxycyclopentylmethyl (meth) acrylate, 7,8-epoxy [tricyclo [5.2.1]. .0] dec-2-yl] oxymethyl (meth) acrylate and the like.

上記脂肪族エポキシ基含有不飽和化合物又は脂環式エポキシ基含有不飽和化合物を反応させる割合は、カルボキシル基含有重合体の有するカルボキシル基に対して、通常5〜90モル%、好ましくは30〜70モル%である。
(ii)2種以上の不飽和基を有する化合物と、(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸、又は更に不飽和カルボン酸エステルとを共重合させて得られた反応生成物。
2種以上の不飽和基を有する化合物としては、例えばアリル(メタ)アクリレート、3−アリルオキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、シンナミル(メタ)アクリレート、クロトニル(メタ)アクリレート、メタリル(メタ)アクリレート、N,N−ジアリル(メタ)アクリルアミド、ビニル(メタ)アクリレート、1−クロロビニル(メタ)アクリレート、2−フェニルビニル(メタ)アクリレート、1−プロペニル(メタ)アクリレート、ビニルクロトネート、ビニル(メタ)アクリルアミド等が挙げられる。
上記不飽和カルボン酸を反応させる割合は、不飽和基を有する化合物の全体に対して通常10〜90モル%、好ましくは30〜80モル%である。
The proportion of the aliphatic epoxy group-containing unsaturated compound or alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound to be reacted is usually 5 to 90 mol%, preferably 30 to 70, based on the carboxyl group of the carboxyl group-containing polymer. Mol%.
(Ii) A reaction product obtained by copolymerizing a compound having two or more unsaturated groups and an unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid, or an unsaturated carboxylic acid ester.
Examples of the compound having two or more unsaturated groups include allyl (meth) acrylate, 3-allyloxy-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, cinnamyl (meth) acrylate, crotonyl (meth) acrylate, and methallyl (meth) acrylate. , N, N-diallyl (meth) acrylamide, vinyl (meth) acrylate, 1-chlorovinyl (meth) acrylate, 2-phenylvinyl (meth) acrylate, 1-propenyl (meth) acrylate, vinyl crotonate, vinyl (meth) ) Acrylamide and the like.
The ratio with which the unsaturated carboxylic acid is reacted is usually 10 to 90 mol%, preferably 30 to 80 mol%, based on the entire compound having an unsaturated group.

また、前記カルボキシル基含有ビニル系樹脂の側鎖にエチレン性二重結合を有するアクリル系樹脂も好ましく、かかるアクリル系樹脂の使用により、本発明の感光性組成物をカラーフィルター用着色樹脂組成物として用いる場合、光硬化性が向上するので、カラーフィルタの解像性、画素と基板との密着性を一層向上させることができる。
アクリル系樹脂の側鎖にエチレン性二重結合を導入する方法としては、例えば、特公昭50−34443号公報、特公昭50−34444号公報などに記載されている方法、即ち、
(1)アクリル系樹脂が有するカルボキシル基に、グリシジル基やエポキシシクロヘキシル基と(メタ)アクリロイル基とを併せ持つ化合物を反応させる方法
(2)アクリル系樹脂が有する水酸基にアクリル酸クロライド等を反応させる方法
などが挙げられる。
An acrylic resin having an ethylenic double bond in the side chain of the carboxyl group-containing vinyl resin is also preferable. By using such an acrylic resin, the photosensitive composition of the present invention is used as a colored resin composition for a color filter. When used, the photocurability is improved, so that the resolution of the color filter and the adhesion between the pixel and the substrate can be further improved.
As a method for introducing an ethylenic double bond into the side chain of an acrylic resin, for example, the method described in Japanese Patent Publication No. 50-34443, Japanese Patent Publication No. 50-34444, etc.,
(1) A method of reacting a carboxyl group of an acrylic resin with a compound having both a glycidyl group, an epoxycyclohexyl group, and a (meth) acryloyl group
(2) A method of reacting acrylic acid chloride or the like with the hydroxyl group of the acrylic resin
Etc.

具体的には、カルボキシル基や水酸基を有するアクリル系樹脂に、(メタ)アクリル酸グリシジル、アリルグリシジルエーテル、α−エチルアクリル酸グリシジル、クロトニルグリシジルエーテル、(イソ)クロトン酸グリシジルエーテル、(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸クロライド、(メタ)アリルクロライド等の化合物を反応させることにより、側鎖にエチレン性二重結合基を有するアクリル系樹脂を得ることができる。中でも、カルボキシル基や水酸基を有するアクリル系樹脂に、(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチル(メタ)アクリレートの様な脂環式エポキシ化合物を反応させたものが好ましい。   Specifically, an acrylic resin having a carboxyl group or a hydroxyl group is added to glycidyl (meth) acrylate, allyl glycidyl ether, glycidyl α-ethyl acrylate, crotonyl glycidyl ether, (iso) crotonic acid glycidyl ether, (3, By reacting compounds such as 4-epoxycyclohexyl) methyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid chloride, and (meth) allyl chloride, an acrylic resin having an ethylenic double bond group in the side chain can be obtained. it can. Especially, what made the alicyclic epoxy compound like (3,4-epoxycyclohexyl) methyl (meth) acrylate react with acrylic resin which has a carboxyl group and a hydroxyl group is preferable.

[1−3−2]カルボキシル基含有エポキシ樹脂
不飽和基及びカルボキシル基含有エポキシ樹脂としては、具体的には、例えば、ポリエポキシ化合物又はエポキシ樹脂のエポキシ基にα,β−不飽和モノカルボン酸のカルボキ
シル基が開環付加されて形成されたエステル結合(−COO−)を介してエチレン性不飽和結合が付加されていると共に、その際生じた水酸基に多価カルボン酸若しくはその無水物のカルボキシル基が反応して形成されたエステル結合を介して残存するカルボキシル基が付加されたものが挙げられる。
[1-3-2] Carboxyl group-containing epoxy resin
Specifically, the unsaturated group- and carboxyl group-containing epoxy resin is formed, for example, by ring-opening addition of a carboxyl group of an α, β-unsaturated monocarboxylic acid to an epoxy group of a polyepoxy compound or an epoxy resin. An ethylenically unsaturated bond is added via an ester bond (—COO—), and an ester bond formed by reacting the resulting hydroxyl group with a carboxyl group of a polyvalent carboxylic acid or its anhydride. And the remaining carboxyl group added.

ここで、そのエポキシ樹脂としては、例えば前記フェノール性水酸基含有樹脂のフェノール基にエピクロロヒドリン、エピブロモヒドリン、ヒドロキシメチルエポキシ等をアルカリ又は酸触媒等により反応付加させたもの等が挙げられ、具体的にはビスフェノールAエポキシ樹脂、ビスフェノールFエポキシ樹脂、ビスフェノールSエポキシ樹脂、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、トリスフェノールエポキシ樹脂等を挙げることができる。中でも、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、ビフェノールフルオレンジグリシジルエーテル及びその繰り返し単位を有するエポキシ樹脂が特に好ましい。   Here, examples of the epoxy resin include those obtained by reaction addition of epichlorohydrin, epibromohydrin, hydroxymethyl epoxy, etc. to the phenol group of the phenolic hydroxyl group-containing resin with an alkali or an acid catalyst. Specific examples include bisphenol A epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, bisphenol S epoxy resin, phenol novolac epoxy resin, cresol novolac epoxy resin, and trisphenol epoxy resin. Of these, phenol novolac epoxy resins, cresol novolac epoxy resins, biphenol fluorenediglycidyl ether and epoxy resins having repeating units thereof are particularly preferred.

また、そのα,β−不飽和モノカルボン酸としては、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸等、及び、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート無水琥珀酸付加物、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートテトラヒドロ無水フタル酸付加物、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート無水琥珀酸付加物、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート無水フタル酸付加物、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートテトラヒドロ無水フタル酸付加物、(メタ) アクリル酸とε−カプロラクトンとの反応生成物等が挙げ られ、中で、(メタ)アクリル酸が特に好ましい。   Examples of the α, β-unsaturated monocarboxylic acid include (meth) acrylic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, citraconic acid, and the like, and pentaerythritol tri (meth) acrylate anhydride. Acid adduct, pentaerythritol tri (meth) acrylate tetrahydrophthalic anhydride adduct, dipentaerythritol penta (meth) acrylate succinic anhydride adduct, dipentaerythritol penta (meth) acrylate phthalic anhydride adduct, dipentaerythritol penta (Meth) acrylate tetrahydrophthalic anhydride adduct, reaction product of (meth) acrylic acid and ε-caprolactone and the like, and (meth) acrylic acid is particularly preferable.

また、その多価カルボン酸若しくはその無水物としては、具体的には、例えば、琥珀酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、3−メチルテトラヒドロフタル酸、4−メチルテトラヒドロフタル酸、3−エチルテトラヒドロフタル酸、4−エチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、3−メチルヘキサヒドロフタル酸、4−メチルヘキサヒドロフタル酸、3−エチルヘキサヒドロフタル酸、4−エチルヘキサヒドロフタル酸、及びそれらの無水物等が挙げられ、中でも、マレイン酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、又はヘキサヒドロフタル酸無水物が好ましく、テトラヒドロフタル酸無水物が特に好ましい。   Specific examples of the polyvalent carboxylic acid or anhydride thereof include oxalic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, 3-methyltetrahydrophthalic acid, and 4-methyltetrahydrophthalic acid. 3-ethyltetrahydrophthalic acid, 4-ethyltetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, 3-methylhexahydrophthalic acid, 4-methylhexahydrophthalic acid, 3-ethylhexahydrophthalic acid, 4-ethylhexahydrophthalic acid Examples thereof include acids and anhydrides thereof, among which maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, or hexahydrophthalic anhydride is preferable, and tetrahydrophthalic anhydride is particularly preferable.

以上の中で、本発明においては、感光性組成物としての感度、解像性、及び基板に対する密着性等の面から、エポキシ樹脂がフェノールノボラックエポキシ樹脂、ビスフェノールAエポキシ樹脂、ビスフェノールFエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、トリスフェノールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂、トリフェノールとエピクロロヒドリンとの重縮合樹脂、ビフェノールフルオレンジグリシジルエーテル及びその繰り返し単位を有するエポキシ樹脂であり、α,β−不飽和モノカルボン酸が(メタ)アクリル酸であり、多価カルボン酸若しくはその無水物がテトラヒドロフタル酸無水物、又はコハク酸無水物であるものが特に好ましい。具体的には、 例えばビフェノールフルオレンジグリシジルエーテルにペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートテトラヒドロ無水フタル酸付加物を付加させた後、さらにテトラヒドロフタル酸無水物を開環付加させたものが挙げられる。なお、「ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートテトラヒドロ無水フタル酸付加物」は、(メタ)アクリレート基が部分付加反応した構造を有する。   Among the above, in the present invention, the epoxy resin is a phenol novolac epoxy resin, a bisphenol A epoxy resin, a bisphenol F epoxy resin, from the viewpoints of sensitivity, resolution, and adhesion to a substrate as a photosensitive composition. Cresol novolak epoxy resin, trisphenol novolak resin, bisphenol A novolak resin, polycondensation resin of triphenol and epichlorohydrin, biphenol fluorenediglycidyl ether and epoxy resin having its repeating unit, α, β-unsaturated It is particularly preferable that the monocarboxylic acid is (meth) acrylic acid and the polyvalent carboxylic acid or anhydride thereof is tetrahydrophthalic anhydride or succinic anhydride. Specifically, for example, pentaerythritol tri (meth) acrylate tetrahydrophthalic anhydride adduct is added to biphenol fluorene glycidyl ether and then tetrahydrophthalic anhydride is further subjected to ring-opening addition. “Pentaerythritol tri (meth) acrylate tetrahydrophthalic anhydride adduct” has a structure in which a (meth) acrylate group is partially added.

また、酸価が20〜200mg・KOH/gであるものが好ましく、30〜180mg・KOH/gであるのが更に好ましい。又、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーによる重量平均分子量が2,000〜200,000であるものが好ましく、3,000〜150,000であるのが更に好ましい。
本発明における前記不飽和基及びカルボキシル基含有エポキシ樹脂は、従来公知の方法により製造できる。具体的には、前記エポキシ樹脂をメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ジエチレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等の有機溶剤に溶解させる。次いでトリエチルアミン、ベンジルジメチルアミン、トリベンジルアミン等の第3 級アミン類、又は、テトラメチルアンモニ
ウムクロライド、メチルトリエチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライド、テトラブチルアンモニウムクロライド、トリメチルベンジルアンモニウムクロライド等の第4級アンミニウム塩類、トリフェニルホスフィン等の燐化合物、又は、トリフェニルスチビン等のスチビン類等の触媒の存在下、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、メチルハイドロキノン等の熱重合禁止剤の共存下に反応させる。反応は、前記α,β−不飽和モノカルボン酸を、エポキシ樹脂のエポキシ基の1化学当量に対して通常0.7〜1.3化学当量、好ましくは0.9〜1.1化学当量となる量で加え、通常60〜150℃、好ましくは80〜 120℃の温度で付加反応させる。引き続き、多価カルボン酸若しくはその無水物を前記反応で生じた水酸基の1化学当量に対して通常0.1〜1.2化学当量、好ましくは0.2〜1.1化学当量となる量で加えて、前記条件下で反応を続ける等の方法により製造することができる。
Moreover, what has an acid value of 20-200 mg * KOH / g is preferable, and it is still more preferable that it is 30-180 mg * KOH / g. Moreover, the thing whose weight average molecular weights by a gel permeation chromatography are 2,000-200,000 is preferable, and it is still more preferable that it is 3,000-150,000.
The unsaturated group- and carboxyl group-containing epoxy resin in the present invention can be produced by a conventionally known method. Specifically, the epoxy resin is dissolved in an organic solvent such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, diethylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate. Next, tertiary amines such as triethylamine, benzyldimethylamine, and tribenzylamine, or quaternary ammonium salts such as tetramethylammonium chloride, methyltriethylammonium chloride, tetraethylammonium chloride, tetrabutylammonium chloride, and trimethylbenzylammonium chloride The reaction is carried out in the presence of a thermal polymerization inhibitor such as hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether or methyl hydroquinone in the presence of a catalyst such as a phosphorus compound such as triphenylphosphine or a stibine such as triphenylstibine. In the reaction, the α, β-unsaturated monocarboxylic acid is usually 0.7 to 1.3 chemical equivalents, preferably 0.9 to 1.1 chemical equivalents, relative to one chemical equivalent of the epoxy group of the epoxy resin. The addition reaction is usually carried out at a temperature of 60 to 150 ° C, preferably 80 to 120 ° C. Subsequently, the polyvalent carboxylic acid or its anhydride is usually 0.1 to 1.2 chemical equivalents, preferably 0.2 to 1.1 chemical equivalents per 1 chemical equivalent of the hydroxyl group produced in the reaction. In addition, it can be produced by a method such as continuing the reaction under the above conditions.

以上の(C) 成分としての不飽和基及びカルボキシル基含有エポキシ樹脂の構成繰返
し単位の具体例を以下に示す。
Specific examples of the structural repeating unit of the unsaturated group and carboxyl group-containing epoxy resin as the component (C) are shown below.

Figure 2007199135
Figure 2007199135

更に、(C)成分としての不飽和基及びカルボキシル基含有エポキシ樹脂は、フレキシブル配線板等、耐折性が要求される用途において、得られるレジストに可撓性を付与するために、ウレタン結合、シロキサン結合、又はポリアクリロニトリル−ブタジエン構造を導入しても良い。
上記ウレタン結合の導入方法としては、例えば、特開2003−155320号公報等
に記載される様に、エポキシ樹脂とα,β−不飽和モノカルボン酸を反応させ、イソホロンジイソシアネート等の多官能インシアネートとを反応させて得られるウレタン結合を導入する方法が挙げられる。また、上記方法により得られた化合物に、更に必要に応じて2−ジメチロールプロピオン酸等の、分子中の2個の水酸基を有するカルボン酸、不飽和基含有カルボン酸、或いは単価又は多価の酸無水物を反応させても良い。
上記ウレタン結合の導入された樹脂の例としては、ビスフェノールA又はビスフェノールFのウレタン変性樹脂が挙げられる。具体的には日本化薬社製「UXE3002」(酸価100)、「UXE3009」(酸価60)等が挙げられる。
上記シロキサン結合の導入方法としては、エポキシ樹脂のエポキシ基に、モノ又はジアミノシロキサン、モノ又はジメルカプトジメチルシロキサン等をも反応させる方法が挙げられる。また、上記方法により得られた化合物に、更に必要に応じて不飽和基含有カルボン酸、或いは単価又は多価の酸無水物を反応させても良い。
上記ポリアクリロニトリル−ブタジエン構造の導入方法としては、エポキシ樹脂のエポキシ基に、両末端をカルボン酸変性したアクリロニトリル−ブタジエン共重合体を反応させる方法が挙げられる。これによりゴム特性を付与することができる。また、上記方法により得られた化合物に、更に必要に応じて不飽和基含有カルボン酸、或いは単価又は多価の酸無水物を反応させても良い。
Furthermore, the unsaturated group and carboxyl group-containing epoxy resin as the component (C) is a urethane bond in order to impart flexibility to the resulting resist in applications where folding resistance is required, such as flexible wiring boards. Siloxane bonds or polyacrylonitrile-butadiene structures may be introduced.
As a method for introducing the urethane bond, for example, as described in JP-A No. 2003-155320, a polyfunctional isocyanate such as isophorone diisocyanate is reacted with an epoxy resin and an α, β-unsaturated monocarboxylic acid. The method of introduce | transducing the urethane bond obtained by making it react is mentioned. In addition, the compound obtained by the above method may further include a carboxylic acid having two hydroxyl groups in the molecule such as 2-dimethylolpropionic acid, an unsaturated group-containing carboxylic acid, or a unit price or a polyvalent compound. An acid anhydride may be reacted.
Examples of the resin into which the urethane bond is introduced include a urethane-modified resin of bisphenol A or bisphenol F. Specifically, "UXE3002" (acid value 100), "UXE3009" (acid value 60), etc. by Nippon Kayaku Co., Ltd. are mentioned.
Examples of the method for introducing the siloxane bond include a method in which the epoxy group of the epoxy resin also reacts with mono- or diaminosiloxane, mono- or dimercaptodimethylsiloxane, and the like. Further, the compound obtained by the above method may be further reacted with an unsaturated group-containing carboxylic acid, or a unit price or a polyhydric acid anhydride, if necessary.
Examples of the method for introducing the polyacrylonitrile-butadiene structure include a method in which an epoxy group of an epoxy resin is reacted with an acrylonitrile-butadiene copolymer having both ends modified with a carboxylic acid. Thereby, rubber characteristics can be imparted. Further, the compound obtained by the above method may be further reacted with an unsaturated group-containing carboxylic acid, or a unit price or a polyhydric acid anhydride, if necessary.

[1−3−3]その他の好ましい樹脂
その他の好ましい(C)成分のアルカリ可溶性樹脂としては、ポリビニルフェノール樹脂、ノボラック樹脂その他のフェノール性水酸基含有樹脂が挙げられる。
ポリビニルフェノール樹脂としては、例えば、p−ヒドロキシ(α−メチル)スチレン、〔ここで、「(α−メチル)スチレン」とは、「スチレン」又は/及び「α−メチルスチレン」を意味するものとする。〕と(α−メチル)スチレンとの共重合体等が挙げられる。
[1-3-3] Other preferred resins
Other preferable alkali-soluble resins as component (C) include polyvinylphenol resins, novolak resins and other phenolic hydroxyl group-containing resins.
Examples of the polyvinylphenol resin include p-hydroxy (α-methyl) styrene [where “(α-methyl) styrene” means “styrene” and / or “α-methylstyrene”. To do. And a copolymer of (α-methyl) styrene.

ノボラック樹脂その他のフェノール性水酸基含有樹脂としては、例えば、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、2,5−キシレノール、3,5−キシレノール、o−エチルフェノール、m−エチルフェノール、p−エチルフェノール、プロピルフェノール、n−ブチルフェノール、t−ブチルフェノール、1−ナフトール、2−ナフトール、4,4’−ビフェニルジオール、ビスフェノール−A、ピロカテコール、レゾルシノール、ハイドロキノン、ピロガロール、1,2,4−ベンゼントリオール、フロログルシノール、トリフェノールメタン等のフェノール類の少なくとも1種を、アルカリ又は酸触媒下、例えば、ホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、パラアルデヒド、プロピオンアルデヒド、ベンズアルデヒド、フルフラール等のアルデヒド類、又は、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類、エピクロロヒドリン、エピブロモヒドリン、ヒドロキシメチルエポキシ等の脱離基を有するエポキシ化合物、ジシクロペンタジエン等の不飽和多環状炭化水素類の少なくとも1種と重縮合させたものが、それぞれ挙げられる。   Examples of the novolak resin and other phenolic hydroxyl group-containing resins include phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, 2,5-xylenol, 3,5-xylenol, o-ethylphenol, m-ethylphenol, p-ethylphenol, propylphenol, n-butylphenol, t-butylphenol, 1-naphthol, 2-naphthol, 4,4′-biphenyldiol, bisphenol-A, pyrocatechol, resorcinol, hydroquinone, pyrogallol, 1,2,4 -At least one of phenols such as benzenetriol, phloroglucinol, triphenolmethane, etc. under an alkali or acid catalyst, for example, formaldehyde, paraformaldehyde, acetaldehyde, paraaldehyde, propion Aldehydes such as aldehyde, benzaldehyde, furfural, etc., or ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, epoxy compounds having a leaving group such as epichlorohydrin, epibromohydrin, hydroxymethyl epoxy, dicyclopentadiene And those obtained by polycondensation with at least one kind of unsaturated polycyclic hydrocarbons.

なお、これらのフェノール性水酸基含有樹脂は、重量平均分子量が1,500〜50,000であるのが好ましい。
なお、本発明において、(C)成分のアルカリ可溶性樹脂としては、前記[1−3−1]〜[1−3−3]に記載のアルカリ可溶性樹脂以外のアルカリ可溶性樹脂を更に含有していてもよく、そのアルカリ可溶性樹脂としては、例えば、(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリロニトリル、(メタ)アクリルアミド、マレイン酸、スチレン、酢酸ビニル、塩化ビニリデン、マレイミド等の単独又は共重合体、並びに、ポリアミド、ポリエステル、ポリエーテル、ポリウレタン、ポリビニルブチラール、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、アセチルセルロース等が挙げられるが、中で、アルカリ現像性等の面から、カルボキシル基含有ビニル系樹脂が好適である。
These phenolic hydroxyl group-containing resins preferably have a weight average molecular weight of 1,500 to 50,000.
In the present invention, the alkali-soluble resin as component (C) further contains an alkali-soluble resin other than the alkali-soluble resins described in [1-3-1] to [1-3-3]. As the alkali-soluble resin, for example, (meth) acrylic acid, (meth) acrylic acid ester, (meth) acrylonitrile, (meth) acrylamide, maleic acid, styrene, vinyl acetate, vinylidene chloride, maleimide and the like alone Or a copolymer, and a polyamide, polyester, polyether, polyurethane, polyvinyl butyral, polyvinyl alcohol, polyvinyl pyrrolidone, acetyl cellulose, etc. Is preferred.

そのカルボキシル基含有ビニル系樹脂としては、具体的には、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、シトラコン酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、ヒドロキシスチレン、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、ドデシル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ヒドロキシメチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ) アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、N, N−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、N−(メタ)アクリロイルモルホリン、(メタ)アクリロニトリル、(メタ)アクリルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、N, N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリルアミド、酢酸ビニル等のビニル化合物との共重合体等が挙げられる。   Specific examples of the carboxyl group-containing vinyl resin include (meth) acrylic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid, maleic anhydride, itaconic acid, citraconic acid and other unsaturated carboxylic acids, and styrene. , Α-methylstyrene, hydroxystyrene, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate , 2-ethylhexyl (meth) acrylate, hydroxymethyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, N, N-dimethylaminoethyl (meth) acrylate N- (meth) acryloylmorpholine, (meth) acrylonitrile, (meth) acrylamide, N-methylol (meth) acrylamide, N, N-dimethyl (meth) acrylamide, N, N-dimethylaminoethyl (meth) acrylamide, Examples thereof include a copolymer with a vinyl compound such as vinyl acetate.

これらの中で、スチレン−(メタ)アクリレート−(メタ)アクリル酸共重合体が好ましく、スチレン3〜30モル%、(メタ)アクリレート10〜70モル%、(メタ)アクリル酸10〜60モル%からなる共重合体が更に好ましく、スチレン5〜25モル%、(メタ)アクリレート20〜60モル%、(メタ)アクリル酸15〜55モル%からなる共重合体が特に好ましい。又、これらカルボキシル基含有ビニル系樹脂は、酸価が30〜250mg・KOH/g、ポリスチレン換算の重量平均分子量が1,000〜300,000であるのが好ましい。   Among these, a styrene- (meth) acrylate- (meth) acrylic acid copolymer is preferable, and 3-30 mol% of styrene, 10-70 mol% of (meth) acrylate, 10-60 mol% of (meth) acrylic acid. A copolymer consisting of 5 to 25 mol% of styrene, 20 to 60 mol% of (meth) acrylate, and 15 to 55 mol% of (meth) acrylic acid is particularly preferable. These carboxyl group-containing vinyl resins preferably have an acid value of 30 to 250 mg · KOH / g and a polystyrene-equivalent weight average molecular weight of 1,000 to 300,000.

更に、そのカルボキシル基含有ビニル系樹脂として、側鎖にエチレン性不飽和結合を有するものが好適であり、具体的には、例えば、カルボキシル基含有重合体に、アリルグリシジルエーテル、グリシジル(メタ)アクリレート、α−エチルグリシジル(メタ)アクリレート、グリシジルクロトネート、グリシジルイソクロトネート、クロトニルグリシジルエーテル、イタコン酸モノアルキルモノグリシジルエステル、フマル酸モノアルキルモノグリシジルエステル、マレイン酸モノアルキルモノグリシジルエステル等の脂肪族エポキシ基含有不飽和化合物、又は、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、2,3−エポキシシクロペンチルメチル(メタ)アクリレート、7,8−エポキシ〔トリシクロ[5.2.1.0]デシ−2−イル〕オキシメチル(メタ) アクリレー
ト等の脂環式エポキシ基含有不飽和化合物を、カルボキシル基含有重合体の有するカルボキシル基の5〜90モル%、好ましくは30〜70モル%程度を反応させて得られた反応生成物、及び、アリル(メタ)アクリレート、3−アリルオキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、シンナミル(メタ)アクリレート、クロトニル(メタ)アクリレート、メタリル(メタ)アクリレート、N,N−ジアリル(メタ)アクリルアミド等の2種以上の不飽和基を有する化合物、又は、ビニル(メタ)アクリレート、1−クロロビニル(メタ)アクリレート、2−フェニルビニル(メタ)アクリレート、1−プロペニル(メタ) アクリレート、ビニルクロトネート、ビニル(メタ)アクリルアミド等の2種
以上の不飽和基を有する化合物と、(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸、又は更に不飽和カルボン酸エステルとを、前者の不飽和基を有する化合物の全体に占める割合を10〜90モル%、好ましくは30〜80モル%程度となるように共重合させて得られた反応生成物等が挙げられる。
Furthermore, as the carboxyl group-containing vinyl resin, those having an ethylenically unsaturated bond in the side chain are suitable. Specifically, for example, allyl glycidyl ether, glycidyl (meth) acrylate is added to the carboxyl group-containing polymer. , Α-ethyl glycidyl (meth) acrylate, glycidyl crotonate, glycidyl isocrotonate, crotonyl glycidyl ether, itaconic acid monoalkyl monoglycidyl ester, fumaric acid monoalkyl monoglycidyl ester, maleic acid monoalkyl monoglycidyl ester, etc. Group epoxy group-containing unsaturated compound, or 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, 2,3-epoxycyclopentylmethyl (meth) acrylate, 7,8-epoxy [tricyclo [5.2.1. ] Dec-2-yl] oxymethyl (meth) acrylate-containing alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound, 5 to 90 mol%, preferably about 30 to 70 mol% of the carboxyl group of the carboxyl group-containing polymer Reaction products obtained by reacting, and allyl (meth) acrylate, 3-allyloxy-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, cinnamyl (meth) acrylate, crotonyl (meth) acrylate, methallyl (meth) acrylate, Compounds having two or more unsaturated groups such as N, N-diallyl (meth) acrylamide, or vinyl (meth) acrylate, 1-chlorovinyl (meth) acrylate, 2-phenylvinyl (meth) acrylate, 1- Propenyl (meth) acrylate, vinyl crotonate, vinyl (meth) The ratio of the compound having two or more unsaturated groups such as chloramide and the unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid or further unsaturated carboxylic acid ester to the whole compound having the unsaturated group. The reaction product etc. which were copolymerized so that it may become 10-90 mol%, preferably about 30-80 mol% are mentioned.

更に、前記不飽和基及びカルボキシル基含有エポキシ樹脂以外のアルカリ可溶性樹脂としては、フレキシブル配線板等、耐折性が要求される用途用として、両末端をカルボン酸変性したアクリロニトリル−ブタジエン共重合体樹脂、両末端をエポキシ変性したジメチルシロキサン樹脂が挙げられる。更に、例えば、特開平10−142791号公報等の記載される、ペンタエリスリトールトリアクリレート等の水酸基含有(メタ)アクリレートの水酸基、あるいは、フェノールノボラック樹脂等のフェノール樹脂の水酸基と、イソホ
ロンジイソシアネート等の多官能イソシアネートとを反応させて得られるウレタン結合を導入したフェノール樹脂等が挙げられる。
Further, as an alkali-soluble resin other than the unsaturated group and carboxyl group-containing epoxy resin, an acrylonitrile-butadiene copolymer resin in which both ends are modified with a carboxylic acid for applications such as flexible wiring boards that require folding resistance. And dimethylsiloxane resin whose both ends are epoxy-modified. Furthermore, for example, a hydroxyl group of a hydroxyl group-containing (meth) acrylate such as pentaerythritol triacrylate or a hydroxyl group of a phenol resin such as a phenol novolac resin and a number of isophorone diisocyanates described in JP-A-10-142791, etc. Examples thereof include a phenol resin into which a urethane bond obtained by reacting with a functional isocyanate is introduced.

本発明の感光性組成物において、前記(A)成分のエチレン性不飽和化合物は、感光性組成物の全量に対して、(A)成分が通常1重量%以上、好ましくは5重量%以上であり、通常70重量%以下、好ましくは50重量%以下である。
前記(b1)成分のオキシム開始剤は、感光性組成物の全量に対して、通常0.001重量%以上、好ましくは0.01重量%以上であり、通常50重量%以下、好ましくは、20重量%以下である。
前記(b2)成分の硫黄原子を含有するベンゾフェノン化合物は、通常0.1重量%以上、好ましくは0.5重量%以上であり、通常20重量%以下、好ましくは10重量%以下である。
前記(C)成分のアルカリ可溶性樹脂の各含有割合は、通常5重量%以上、好ましくは10重量%以上であり、通常70重量%以下、好ましくは50重量%以下である。
前記各成分が少なすぎる場合は、組成物としての感度、光硬化性等が劣る傾向となる。一方、前記各成分が多すぎる場合は、組成物としてのタック性が不十分となったり、現像時に地汚れが生じる等の問題が発生する傾向となる。
In the photosensitive composition of the present invention, the ethylenically unsaturated compound of the component (A) is usually 1% by weight or more, preferably 5% by weight or more, based on the total amount of the photosensitive composition. It is usually 70% by weight or less, preferably 50% by weight or less.
The oxime initiator as the component (b1) is usually 0.001% by weight or more, preferably 0.01% by weight or more, and usually 50% by weight or less, preferably 20%, based on the total amount of the photosensitive composition. % By weight or less.
The benzophenone compound containing a sulfur atom as the component (b2) is usually 0.1% by weight or more, preferably 0.5% by weight or more, and usually 20% by weight or less, preferably 10% by weight or less.
Each content ratio of the alkali-soluble resin of the component (C) is usually 5% by weight or more, preferably 10% by weight or more, and usually 70% by weight or less, preferably 50% by weight or less.
When there are too few each said components, it will become a tendency for the sensitivity as a composition, photocurability, etc. to be inferior. On the other hand, when there are too many said components, the tackiness as a composition becomes inadequate, or there exists a tendency for the problem that a background stain | pollution | contamination arises at the time of image development generate | occur | produces.

[1−4]その他の成分
本発明の感光性組成物は、前記以外の構成要素に加え、更に下記の成分を含有していても良い。
[1−4−1](D)エポキシ化合物
本発明の感光性組成物は、前記(A)〜(C)成分以外に、更に、光硬化膜の強度向上、耐熱性向上等を目的として、(D)成分のエポキシ化合物を含有するのが好ましい。エポキシ化合物としては、所謂エポキシ樹脂の繰返し単位を構成する、ポリヒドロキシ化合物とエピクロルヒドリンを反応させて得られるポリグリシジルエーテル化合物、ポリカルボン酸化合物とエピクロルヒドリンを反応させて得られるポリグリシジルエステル化合物、及び、ポリアミン化合物とエピクロルヒドリンを反応させて得られるポリグリシジルアミン化合物等であって、低分子量物から高分子量物にわたる化合物が好ましい。
[1-4] Other ingredients
The photosensitive composition of the present invention may further contain the following components in addition to the components other than those described above.
[1-4-1] (D) Epoxy compound
In addition to the components (A) to (C), the photosensitive composition of the present invention further contains an epoxy compound as the component (D) for the purpose of improving the strength and heat resistance of the photocured film. preferable. As the epoxy compound, constituting a repeating unit of a so-called epoxy resin, a polyglycidyl ether compound obtained by reacting a polyhydroxy compound and epichlorohydrin, a polyglycidyl ester compound obtained by reacting a polycarboxylic acid compound and epichlorohydrin, and A polyglycidylamine compound obtained by reacting a polyamine compound and epichlorohydrin, such as a compound ranging from a low molecular weight substance to a high molecular weight substance, is preferred.

そのエポキシ化合物としては、例えば、ポリエチレングリコールのジグリシジルエーテル型エポキシ、ビス(4−ヒドロキシフェニル)のジグリシジルエーテル型エポキシ、ビス(3,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)のジグリシジルエーテル型エポキシ、ビスフェノールFのジグリシジルエーテル型エポキシ、ビスフェノールAのジグリシジルエーテル型エポキシ、テトラメチルビスフェノールAのジグリシジルエーテル型エポキシ、エチレンオキシド付加ビスフェノールAのジグリシジルエーテル型エポキシ及びこれらの繰り返し単位を構成するエポキシ樹脂等のポリグリシジルエーテル化合物、ヘキサヒドロフタル酸のジグリシジルエステル型エポキシ、フタル酸のジグリシジルエステル型エポキシ等のポリグリシジルエステル化合物、ビス(4−アミノフェニル)メタンのジグリシジルアミン型エポキシ等のポリグリシジルアミン化合物、及び[1−3−2]に記載のカルボキシル基含有エポキシ樹脂の前駆体であるエポキシ樹脂等が挙げられる。   Examples of the epoxy compound include diglycidyl ether type epoxy of polyethylene glycol, diglycidyl ether type epoxy of bis (4-hydroxyphenyl), and diglycidyl ether type epoxy of bis (3,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl). , Diglycidyl ether type epoxy of bisphenol F, diglycidyl ether type epoxy of bisphenol A, diglycidyl ether type epoxy of tetramethylbisphenol A, diglycidyl ether type epoxy of ethylene oxide-added bisphenol A, and epoxy resin constituting these repeating units Polyglycidyl ether compounds such as diglycidyl ester type epoxy of hexahydrophthalic acid, diglycidyl ester type epoxy of phthalic acid, etc. Compounds, polyglycidylamine compounds such as diglycidylamine-type epoxy of bis (4-aminophenyl) methane, and epoxy resins that are precursors of carboxyl group-containing epoxy resins described in [1-3-2]. .

更に、例えば、3−エチル−3−ヒドロキシメチルオキセタン、3−エチル−3−(2−エチルヘキシルメチル)オキセタン、1,4−ビス{〔(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ〕メチル}ベンゼン、1,4−ベンゼンカルボン酸ビス〔(3−エチル−3−アキセタニル)メチル〕エステル、フェノールノボラックオキセタン、クレゾールノボラックオキセタン等のオキセタン誘導体が挙げられる。   Further, for example, 3-ethyl-3-hydroxymethyloxetane, 3-ethyl-3- (2-ethylhexylmethyl) oxetane, 1,4-bis {[(3-ethyl-3-oxetanyl) methoxy] methyl} benzene, Examples thereof include oxetane derivatives such as 1,4-benzenecarboxylic acid bis [(3-ethyl-3-axetanyl) methyl] ester, phenol novolac oxetane, and cresol novolac oxetane.

その他、更にエポキシ基を側鎖に有するビニル系重合体と、共重合可能な他のビニル系化合物との共重合体等が挙げられる。
そのエポキシ基を側鎖に有するビニル系重合体としては、例えば、アリルグリシジルエーテル、グリシジル(メタ)アクリレート、α−エチルグリシジル(メタ)アクリレート、グリシジルクロトネート、グリシジルイソクロトネート、クロトニルグリシジルエーテル、イタコン酸モノアルキルモノグリシジルエステル、フマル酸モノアルキルモノグリシジルエステル、マレイン酸モノアルキルモノグリシジルエステル等の脂肪族エポキシ基含有不飽和化合物、又は、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、2,3−エポキシシクロペンチルメチル(メタ)アクリレート、7,8−エポキシ〔トリシクロ[5.2.1.0]デシ−2−イル〕オキシメチル(メタ)アクリレート等の脂環式エポキシ基含有不飽和化合物等が挙げられる。
その共重合可能な他のビニル系化合物ととしては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、特開2001−89533に記載されるジシクロペンタニル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
In addition, a copolymer of a vinyl polymer having an epoxy group in the side chain and another vinyl compound that can be copolymerized may be used.
Examples of the vinyl polymer having an epoxy group in the side chain include allyl glycidyl ether, glycidyl (meth) acrylate, α-ethylglycidyl (meth) acrylate, glycidyl crotonate, glycidyl isocrotonate, crotonyl glycidyl ether, Aliphatic epoxy group-containing unsaturated compounds such as itaconic acid monoalkyl monoglycidyl ester, fumaric acid monoalkyl monoglycidyl ester, maleic acid monoalkyl monoglycidyl ester, or 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, 2, Alicyclic epoxy group-containing unsaturated compounds such as 3-epoxycyclopentylmethyl (meth) acrylate and 7,8-epoxy [tricyclo [5.2.1.0] dec-2-yl] oxymethyl (meth) acrylate And the like.
Examples of other copolymerizable vinyl compounds include styrene, α-methylstyrene, and dicyclopentanyl (meth) acrylate described in JP-A No. 2001-89533.

また、更なる光硬化膜の強度向上、耐熱性向上等を目的として、必要に応じて融点が50℃以上の結晶性エポキシ化合物を含むことが出来る。
その結晶性エポキシ化合物の融点は60〜160℃であるのが好ましく、70〜150℃であるのが特に好ましい。又、該化合物は炭素数が9〜30であるのが好ましく、10〜25であるのが特に好ましく、1〜5官能であるのが好ましく、2〜3官能であるのが特に好ましい。
Moreover, a crystalline epoxy compound having a melting point of 50 ° C. or higher can be included as necessary for the purpose of further improving the strength of the photocured film, improving heat resistance, and the like.
The melting point of the crystalline epoxy compound is preferably 60 to 160 ° C, particularly preferably 70 to 150 ° C. The compound preferably has 9 to 30 carbon atoms, particularly preferably 10 to 25 carbon atoms, preferably 1 to 5 functional groups, and particularly preferably 2 to 3 functional groups.

このような結晶性エポキシ化合物としては、具体的には、例えば、イソシアヌル酸とエピクロルヒドリンとの反応で得られるトリグリシジルアミン型エポキシ化合物であるトリグリシジルイソシアヌレート、及び、ビフェノール誘導体とエピクロルヒドリンとの反応で得られるジグリシジルエーテル型エポキシである、ビキシレノールジグリシジルエーテル、ビキシレノールフルオレンジグリシジルエーテル、ビフェノールフルオレンジグリシジルエーテルなどが挙げられる。
また、上記の結晶性エポキシ化合物に代えて、又は併用して、更に高融点の結晶性エポキシ化合物を使用することが出来る。結晶性のエポキシは、一般に非結晶性のエポキシに比べ、膜強度の向上、耐湿度性の向上、感度の向上等の利点があるが、分散時に分散による発熱のために溶融しやすい。従って、融点が通常150℃以上、好ましくは180℃以上、更に好ましくは195℃以上の結晶性エポキシは分散時の溶融、溶解を防げるので好ましい。
このような高融点の結晶性エポキシ化合物としては、例えば、テトラフェノール誘導体とエピクロルヒドリンとの反応で得られるテトラグリシジルエーテル型エポキシであるテトラグリシジルキシレイルエタン、テトラグリシジルフェニロールエタン等が挙げられる。
Specific examples of such crystalline epoxy compounds include triglycidyl isocyanurate, which is a triglycidylamine-type epoxy compound obtained by reaction of isocyanuric acid and epichlorohydrin, and reaction of biphenol derivatives with epichlorohydrin. Examples of the resulting diglycidyl ether type epoxy include bixylenol diglycidyl ether, bixylenol full orange glycidyl ether, and biphenol full orange glycidyl ether.
Further, instead of or in combination with the above crystalline epoxy compound, a crystalline epoxy compound having a higher melting point can be used. Crystalline epoxy generally has advantages such as improved film strength, improved humidity resistance, and improved sensitivity over amorphous epoxy, but is easily melted due to heat generated by dispersion during dispersion. Accordingly, a crystalline epoxy having a melting point of usually 150 ° C. or higher, preferably 180 ° C. or higher, more preferably 195 ° C. or higher is preferable because melting and dissolution during dispersion can be prevented.
Examples of such a high melting crystalline epoxy compound include tetraglycidyl xylyl ethane and tetraglycidyl phenylol ethane, which are tetraglycidyl ether type epoxies obtained by a reaction of a tetraphenol derivative and epichlorohydrin.

本発明の感光性組成物において、(D)成分のエポキシ化合物の含有割合は、感光性組成物の全量に対して、0.5〜70重量%であるのが好ましく、2〜50重量%であるのが更に好ましい。(D)成分の含有量が少なすぎると、得られる硬化物の強度も不十分となる傾向となる。一方、(D)成分の含有量が多すぎると、画像形成性が低下する傾向となる。   In the photosensitive composition of the present invention, the content of the epoxy compound as the component (D) is preferably 0.5 to 70% by weight, and 2 to 50% by weight with respect to the total amount of the photosensitive composition. More preferably. If the content of the component (D) is too small, the strength of the resulting cured product tends to be insufficient. On the other hand, when there is too much content of (D) component, it will become the tendency for image formability to fall.

[1−4−2](E)アミノ化合物
本発明の感光性組成物は、前記(A)〜(C)成分以外に、更に、得られる硬化物の耐熱性や耐薬品性の向上等を目的として、官能基としてメチロール基、それを炭素数1〜8のアルコール縮合変性したアルコキシメチル基を少なくとも2個有するアミノ化合物(E)成分を含有するのが好ましく、それらのアミノ化合物として、例えば、メラミンとホルムアルデヒドとを重縮合させたメラミン樹脂、ベンゾグアナミンとホルムアルデヒドとを重縮合させたベンゾグアナミン樹脂、グリコールウリルとホルムアルデヒドとを重縮合させたグリコールウリル樹脂、尿素とホルムアルデヒドとを重縮合させた尿素樹脂、メラミン、ベンゾグアナミン、グリコールウリル、又は尿素等の2種以上とホルムアルデヒドとを共重縮合させた樹脂、及び、それら樹脂のメチロール基をアルコール縮合変性した変性樹脂等が挙げられる。
[1-4-2] (E) Amino compound
In addition to the components (A) to (C), the photosensitive composition of the present invention further comprises a methylol group as a functional group and carbon for the purpose of improving the heat resistance and chemical resistance of the resulting cured product. It is preferable to contain an amino compound (E) component having at least two alkoxymethyl groups modified with alcohol condensation of 1 to 8, and as these amino compounds, for example, a melamine resin obtained by polycondensation of melamine and formaldehyde, 2 such as benzoguanamine resin obtained by polycondensation of benzoguanamine and formaldehyde, glycoluril resin obtained by polycondensation of glycoluril and formaldehyde, urea resin obtained by polycondensation of urea and formaldehyde, melamine, benzoguanamine, glycoluril, or urea. A resin obtained by copolycondensation of a seed or more and formaldehyde, and Modified resins of the methylol groups of these resins were alcohol condensation degeneration and the like.

具体的には、メラミン樹脂及びその変性樹脂として、三井サイテック社の「サイメル」(登録商標) 300、301、303、340、736、738、370、771、3
25、327、703、701、266、267、285、2 32、23 5、238、1141、272、254、202、1156、1158、及び、三和ケミカル社の「ニカラック」(登録商標)MW−100LM(旧商品名はE−2151)、MX−750LM、MX−302が、又、ベンゾグアナミン樹脂及びその変性樹脂として、「サイメル」(登録商標)1123、1125、1128、又、グリコールウリル樹脂及びその変性樹脂として、「サイメル」(登録商標)1170、1 171、1174、1172、及び
、「ニカラック」(登録商標)MX−270、又、尿素樹脂及びその変性樹脂として、三井サイテック社の「UFR」(登録商標)65、300、及び、「ニカラック」(登録商標)MX−290、等が挙げられる。
Specifically, as a melamine resin and its modified resin, “Cymel” (registered trademark) 300, 301, 303, 340, 736, 738, 370, 771, 3 of Mitsui Cytec Co., Ltd.
25, 327, 703, 701, 266, 267, 285, 232, 235, 238, 1141, 272, 254, 202, 1156, 1158, and “Nikarak” (registered trademark) MW- from Sanwa Chemical Co., Ltd. 100LM (old product name is E-2151), MX-750LM, MX-302, and benzoguanamine resin and modified resins thereof, “Cymel” (registered trademark) 1123, 1125, 1128, and glycoluril resin and its As modified resins, “Cymel” (registered trademark) 1170, 1171, 1174, 1172, and “Nicalac” (registered trademark) MX-270, and as urea resin and modified resins thereof, “UFR” manufactured by Mitsui Cytec Co., Ltd. (Registered Trademark) 65, 300, “Nikarak” (Registered Trademark) MX-290, etc. That.

これらのアミノ化合物(E)成分として、本発明においては、メラミン樹脂及びその変性樹脂が好ましく、メチロール基の変性割合が、70%以上の変性樹脂が更に好ましく、80%以上の変性樹脂が特に好ましい。
本発明の感光性組成物において、前記(E)成分のアミノ化合物の含有割合は、感光性組成物の全量に対して、0.1〜20重量%であるのが好ましく、0.5〜10重量%であるのが更に好ましい。
As these amino compound (E) components, in the present invention, melamine resins and modified resins thereof are preferable, modified resins having a methylol group modification ratio of 70% or more are more preferable, and modified resins of 80% or more are particularly preferable. .
In the photosensitive composition of the present invention, the content ratio of the amino compound as the component (E) is preferably 0.1 to 20% by weight with respect to the total amount of the photosensitive composition, and preferably 0.5 to 10%. More preferably, it is% by weight.

[1−4−3](F)エポキシ硬化剤
本発明の感光性組成物は、前記(A)〜(C)成分以外に、更に、組成物の光硬化性、熱硬化性の向上等の目的として、エポキシ硬化剤(F)成分を含有していてもよく、その(F)成分のエポキシ硬化剤としては、例えば、琥珀酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、3−メチルテトラヒドロフタル酸、4−メチルテトラヒドロフタル酸、3−エチルテトラヒドロフタル酸、4−エチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、3−メチルヘキサヒドロフタル酸、4−メチルヘキサヒドロフタル酸、3−エチルヘキサヒドロフタル酸、4−エチルヘキサヒドロフタル酸、トリメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸等の多価カルボン酸及びそれらの無水物類、トリブチルホスフィン、トリフェニルホスフィン、トリス−2−シアノエチルホスフィン等の有機ホスフィン類、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール類、ジシアンジアミド、ベンジルメチルアミン、4−メチルベンジル−N,N−ジメチルアミン、4−メトキシベンジル−N,N−ジメチルアミン、4−ジメチルアミノベンジル−N,N−ジメチルアミン等のアミン化合物類、2,4,6−トリアミノ−s−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−s−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−s−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−s−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のアミノ−s−トリアジン類、ベンジルトリメチルアンモニウムクロライド、フェニルトリブチルアンモニウムクロライド等の4級アンモニウム塩類、トリ−n−ブチル−2,5−ジヒドロキシフェニル−ホスホニウムブロマイド、ヘキサデシルトリブチルホスホニウムクロライド等のホスホニウム塩類等が挙げられ、これらの中で、−NH−基を有するものが好ましく、アミン化合物類及びアミノ−s−トリアジン類が好ましく、ジシアンジアミド、2,4,6−トリアミノ−s−トリアジンが特に好ましい。また、2,5−ジヒドロキシ安息香酸、3,4,5−トリヒドロキシ安息香酸等の安息香酸化合物を挙げることも出来る。
本発明の感光性組成物において、前記(F)成分のエポキシ硬化剤の含有割合は、感光性組成物としての経時安定性の面から、感光性組成物の全量に対して、0.1重量%以下であるのが好ましい。
[1-4-3] (F) Epoxy curing agent
In addition to the components (A) to (C), the photosensitive composition of the present invention further contains an epoxy curing agent (F) component for the purpose of improving the photocurability and thermosetting of the composition. As the epoxy curing agent of the component (F), for example, oxalic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, 3-methyltetrahydrophthalic acid, 4-methyltetrahydrophthalic acid, 3 -Ethyltetrahydrophthalic acid, 4-ethyltetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, 3-methylhexahydrophthalic acid, 4-methylhexahydrophthalic acid, 3-ethylhexahydrophthalic acid, 4-ethylhexahydrophthalic acid, Polycarboxylic acids such as trimellitic acid and biphenyltetracarboxylic acid and their anhydrides, tributylphosphine, triphenylphosphine , Organic phosphines such as tris-2-cyanoethylphosphine, imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1- (2- Cyanoethyl) -2-phenylimidazole, imidazoles such as 1- (2-cyanoethyl) -2-ethyl-4-methylimidazole, dicyandiamide, benzylmethylamine, 4-methylbenzyl-N, N-dimethylamine, 4-methoxy Amine compounds such as benzyl-N, N-dimethylamine and 4-dimethylaminobenzyl-N, N-dimethylamine, 2,4,6-triamino-s-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino-s -Triazine, 2-vinyl-4,6-diamino-s-to Amino-s-triazine such as azine / isocyanuric acid adduct, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-s-triazine / isocyanuric acid adduct Quaternary ammonium salts such as benzyltrimethylammonium chloride, phenyltributylammonium chloride, phosphonium salts such as tri-n-butyl-2,5-dihydroxyphenyl-phosphonium bromide, hexadecyltributylphosphonium chloride, etc. Among them, those having a —NH— group are preferred, amine compounds and amino-s-triazines are preferred, and dicyandiamide and 2,4,6-triamino-s-triazine are particularly preferred. Moreover, benzoic acid compounds, such as 2,5-dihydroxybenzoic acid and 3,4,5-trihydroxybenzoic acid, can also be mentioned.
In the photosensitive composition of the present invention, the content of the epoxy curing agent as the component (F) is 0.1% by weight with respect to the total amount of the photosensitive composition in terms of stability over time as the photosensitive composition. % Or less is preferable.

[1−4−4](G)熱酸発生剤
本発明の感光性組成物は、前記(A)〜(C)成分以外に、更に、耐薬品性、密着性向上の目的で、熱の作用により酸を発生させる化合物(熱酸発生剤)(G)成分を含有していてもよい。
(G)成分の熱酸発生剤としては、例えば芳香族ジアゾニウム塩、ジアリールヨードニウム塩、トリアリルスルフォニウム塩、トリアリルセレニウム塩等の各種オニウム塩系化合物、スルフォン酸エステル、ハロゲン化合物等が挙げられる。
具体例として、芳香族ジアゾニウム塩としては、クロロベンゼンジアゾニウムヘキサフルオロフォスフェイト、ジメチルアミノベンゼンジアゾニウムヘキサフルオロアンチモネ−ト、ナフチルジアゾニウムヘキサフルオロフォスフェイト、ジメチルアミノナフチルジアゾニウムテトラフルオロボレート等が挙げられる。ジアリールヨードニウム塩としては、ジフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネ−ト、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロフォスフェイト、ジフェニルヨードニウムトリフレート、4,4´−ジ−t−ブチル−ジフェニルヨードニウムトリフレート、4,4´−ジ−t−ブチル−ジフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、4,4 ´−ジ−t−ブチル−ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロフォスフェイト等が挙げられる。
[1-4-4] (G) Thermal acid generator In addition to the components (A) to (C), the photosensitive composition of the present invention is further heated for the purpose of improving chemical resistance and adhesion. It may contain a compound (thermal acid generator) (G) component that generates an acid by action.
Examples of the thermal acid generator of component (G) include various onium salt compounds such as aromatic diazonium salts, diaryliodonium salts, triallylsulfonium salts, triallyl selenium salts, sulfonate esters, and halogen compounds. It is done.
Specific examples of the aromatic diazonium salt include chlorobenzenediazonium hexafluorophosphate, dimethylaminobenzenediazonium hexafluoroantimonate, naphthyldiazonium hexafluorophosphate, dimethylaminonaphthyldiazonium tetrafluoroborate and the like. Diaryliodonium salts include diphenyliodonium tetrafluoroborate, diphenyliodonium hexafluoroantimonate, diphenyliodonium hexafluorophosphate, diphenyliodonium triflate, 4,4′-di-t-butyl-diphenyliodonium triflate, 4 4,4′-di-t-butyl-diphenyliodonium tetrafluoroborate, 4,4′-di-t-butyl-diphenyliodonium hexafluorophosphate, and the like.

モノフェニルスルフォニウム塩としては、ベンジル−p−ヒドロキシフェニルメチルスルフォニウムヘキサフルオロフォスフェート、p−ヒドロキシフェニルジメチルスルフォニウムヘキサフルオロアンチモネート、p−アセトキシフェニルジメチルスルフォニウムヘキサフルオロアンチモネート、ベンジル−p−ヒドロキシフェニルメチルスルフォニウムヘキサフルオロアンチモネート、下記一般式(10)に示す化合物等モノフェニルスルフォニウム塩タイプ、またはベンジルフェニルスルフォニウム塩タイプ等が挙げられる。
Monophenylsulfonium salts include benzyl-p-hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluorophosphate, p-hydroxyphenyldimethylsulfonium hexafluoroantimonate, p-acetoxyphenyldimethylsulfonium hexafluoroantimonate, Examples thereof include benzyl-p-hydroxyphenylmethylsulfonium hexafluoroantimonate, monophenylsulfonium salt types such as compounds represented by the following general formula (10), and benzylphenylsulfonium salt types.

Figure 2007199135
Figure 2007199135

(式中、Zはフェニル基を示す。)
トリアリルスルフォニウム塩としては、トリフェニルスルフォニウムテトラフルオロボレート、トリフェニルスルフォニウムヘキサフルオロフォスフェイト、トリフェニルスルフォニウムヘキサフルオロアンチモネ−ト、トリ(p−クロロフェニル)スルフォニウムテトラフルオロボレート、トリ(p−クロロフェニル)スルフォニウムヘキサフルオロフォスフェイト、トリ(p−クロロフェニル)スルフォニウムヘキサフルオロアンチモネ−ト、4−t−ブチルトリフェニルスルフォニウムヘキサフルオロフォスフェイト、及び下記一般式(11)に示す化合物で等が挙げられる。
(In the formula, Z represents a phenyl group.)
Triarylsulfonium salts include triphenylsulfonium tetrafluoroborate, triphenylsulfonium hexafluorophosphate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, tri (p-chlorophenyl) sulfonium tetrafluoroborate, Tri (p-chlorophenyl) sulfonium hexafluorophosphate, tri (p-chlorophenyl) sulfonium hexafluoroantimonate, 4-t-butyltriphenylsulfonium hexafluorophosphate, and the following general formula (11 ) And the like.

Figure 2007199135
Figure 2007199135

トリアリルセレニウム塩としては、トリアリルセレニウムテトラフルオロボレート、トリアリルセレニウムヘキサフルオロフォスフェイト、トリアリルセレニウムヘキサフルオロアンチモネ−ト、ジ(クロロフェニル)フェニルセレニウムテトラフルオロボレート、ジ(クロロフェニル)フェニルセレニウムヘキサフルオロフォスフェイト、ジ(クロロフェニル)フェニルセレニウムヘキサフルオロアンチモネ−ト等が挙げられる。   Triallyl selenium salts include triallyl selenium tetrafluoroborate, triallyl selenium hexafluorophosphate, triallyl selenium hexafluoroantimonate, di (chlorophenyl) phenyl selenium tetrafluoroborate, di (chlorophenyl) phenyl selenium hexafluoro Examples thereof include phosphate, di (chlorophenyl) phenyl selenium hexafluoroantimonate, and the like.

スルフォン酸エステルとしては、ベンゾイントシレート、p−ニトロベンジル−9,10−エトキシアントラセンー2−スルフォネート、2−ニトロベンジルトシレート、2,6−ジニトロベンジルトシレート、2,4−ジニトロベンジルトシレート等が挙げられる。
ハロゲン化合物としては、2−クロロ−2−フェニルアセトフェノン、2,2´,4´−トリクロロアセトフェノン、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4´−メトキシ−1´−ナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、ビス−2−(4−クロロフェニル)−1,1,1−トリクロロエタン、ビス−1 −(4−
クロロフェニル)−2,2,2−トリクロロエタノール、ビス−2−(4−メトキシフェニル)−1, 1,1−トリクロロエタン等が挙げられる。
Examples of sulfonic acid esters include benzoin tosylate, p-nitrobenzyl-9,10-ethoxyanthracene-2-sulfonate, 2-nitrobenzyl tosylate, 2,6-dinitrobenzyl tosylate, and 2,4-dinitrobenzyl tosylate. Etc.
Examples of the halogen compound include 2-chloro-2-phenylacetophenone, 2,2 ′, 4′-trichloroacetophenone, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxystyryl)- 4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2- (4'-methoxy-1'-naphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, bis-2- (4-chlorophenyl) -1,1,1-trichloroethane Bis-1- (4-
Chlorophenyl) -2,2,2-trichloroethanol, bis-2- (4-methoxyphenyl) -1,1,1-trichloroethane and the like.

これら熱酸発生剤の中ではモノフェニルスルフォニウム塩タイプ、ベンジルフェニルスルフォニウム塩タイプ、又は上記一般式(11)で表される化合物が好ましい。
本発明の感光性組成物において、前記(G)成分の熱酸発生剤の含有割合は、感光性組成物の全量に対して、通常0.1重量%以上、好ましくは0.5重量%以上であり、通常20重量%以下、好ましくは10重量%以下である。
[1−4−5](H)重合加速剤
本発明の感光性組成物は、前記(A)〜(C)成分以外に、更に、組成物の光重合開始能力の向上等の目的として、重合加速剤(H)成分を含有していてもよく、その(H)成分の重合加速剤として、アミノ酸のエステル又は双極イオン化合物を含むのが好ましく、そのアミノ酸のエステル又は双極イオン化合物としては、下記一般式(X1a) 又は(
X1b)で表されるものが好ましい。
Among these thermal acid generators, a monophenylsulfonium salt type, a benzylphenylsulfonium salt type, or a compound represented by the above general formula (11) is preferable.
In the photosensitive composition of the present invention, the content ratio of the thermal acid generator as the component (G) is usually 0.1% by weight or more, preferably 0.5% by weight or more, based on the total amount of the photosensitive composition. It is usually 20% by weight or less, preferably 10% by weight or less.
[1-4-5] (H) Polymerization accelerator
In addition to the components (A) to (C), the photosensitive composition of the present invention may further contain a polymerization accelerator (H) component for the purpose of improving the photopolymerization initiation ability of the composition. The polymerization accelerator for the component (H) preferably contains an amino acid ester or a dipolar compound, and the amino acid ester or dipolar compound includes the following general formula (X1a) or (
Those represented by X1b) are preferred.

Figure 2007199135
Figure 2007199135

〔式(X1a)及び(X1b)中、R26及びR27は各々独立して、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、置換基を有していてもよい複素環基、又は水素原子を示し、R28及びR29は各々独立して、置換基を有していてもよいアルキル基、又は水素原子を示し、R30は、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基、又は置換基を有していてもよいアリール基を示し、R31は、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、又は置換基を有していてもよい複素環基を示し、sは0〜10の整数である。〕
ここで、式(X1a)及び(X1b)中のR26、R27、R28、R29、R30、及びR31のアルキル基としては、炭素数が1〜8であるのが好ましく、1〜4であるのが更に好ましい。又、R30のアルケニル基としては、例えば、ビニル基、アリル基、イソプロペニル基等が、又、R26、R27、R30、及びR31のアリール基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基等が、又、R26、R27、及びR30の複素環基としては、例えば、フリル基、フラニル基、ピロリル基、ピリジル基等が、それぞれ挙げられる。
[In the formulas (X1a) and (X1b), R 26 and R 27 each independently has an alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent, or a substituent. An optionally substituted heterocyclic group or a hydrogen atom, R 28 and R 29 each independently represents an optionally substituted alkyl group or a hydrogen atom, and R 30 represents a substituent. Represents an alkyl group that may have a substituent, an alkenyl group that may have a substituent, or an aryl group that may have a substituent, and R 31 may have a substituent. An alkyl group, an aryl group which may have a substituent, or a heterocyclic group which may have a substituent is shown, and s is an integer of 0 to 10. ]
Here, the alkyl groups represented by R 26 , R 27 , R 28 , R 29 , R 30 , and R 31 in formulas (X1a) and (X1b) preferably have 1 to 8 carbon atoms. More preferably, it is ~ 4. Examples of the alkenyl group for R 30 include a vinyl group, an allyl group, and an isopropenyl group. Examples of the aryl group for R 26 , R 27 , R 30 , and R 31 include a phenyl group and a naphthyl group. Examples of the heterocyclic group of R 26 , R 27 and R 30 include a furyl group, a furanyl group, a pyrrolyl group, and a pyridyl group.

また、それらのアルキル基、及びアルケニル基における置換基としては、例えば、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルケニルオキシ基、アルケニルオキシカルボニル基、フェニル基、ハロゲン原子等が、又、それらのアリール基、複素環基における置換基としては、例えば、更にアルコキシ基やフェニル基等の置換基を有していてもよいアルキル基、同じくアルコキシ基、同じくアルケニル基、同じくアルケニルオキシ基、同じくアシル基、同じくアシルオキシ基、同じくアルコキシカルボニル基、同じくフェノキシ基、同じくアルキルチオ基、同じくアルキルスルホニル基、及び、アルデヒド基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、スルホ基、ニトロ基、シアノ基、ハロゲン原子等が挙げられる。   Examples of the substituent in the alkyl group and alkenyl group include an alkoxy group, an alkoxycarbonyl group, an alkenyloxy group, an alkenyloxycarbonyl group, a phenyl group, and a halogen atom. Examples of the substituent in the cyclic group include an alkyl group which may further have a substituent such as an alkoxy group or a phenyl group, an alkoxy group, an alkenyl group, an alkenyloxy group, an acyl group, an acyl group. And alkoxycarbonyl groups, phenoxy groups, alkylthio groups, alkylsulfonyl groups, aldehyde groups, carboxyl groups, hydroxyl groups, sulfo groups, nitro groups, cyano groups, halogen atoms, and the like.

本発明において、以上の前記一般式(X1a)又は(X1b)で表されるアミノ酸のエステル又は双極イオン化合物の中で、式(X1a)中のR26及びR27の一方が水素原子で他方が置換基を有していてもよいフェニル基であり、R28及びR29が共に水素原子であり、R30が置換基を有していてもよいアルキル基、又は置換基を有していてもよいフェニル基であり、sが0、1、又は2であるアミノ酸エステル、又は、式(X1b)中のR26及びR27が共に水素原子であるか、或いは一方が置換基を有していてもよいアルキル基であり、R28及びR29が共に水素原子であり、R31が置換基を有していてもよいアルキル基、又は置換基を有していてもよいフェニル基であり、s が0、1、又は2であるアミノ酸双極イオン化合物であるのが好ましい。前記一般式(X1a)においてsが0、R26及びR27の一方が水素原子で他方がフェニル基、R28及びR29が共に水素原子であるN−フェニルグリシンのエステル、中でも、R30がベンジル基であるN−フェニルグリシンベンジルエステル、又は、前記一般式(X1b)においてsが0、R26、R27、R28、及びR29のいずれもが水素原子であり、R31がフェニル基であるN−フェニルグリシンの双極イオン化合物が特に好ましい。 In the present invention, among the amino acid esters or dipolar compounds represented by the above general formula (X1a) or (X1b), one of R 26 and R 27 in formula (X1a) is a hydrogen atom and the other is It is a phenyl group which may have a substituent, R 28 and R 29 are both hydrogen atoms, and R 30 may have an alkyl group which may have a substituent, or may have a substituent. An amino acid ester which is a phenyl group and s is 0, 1, or 2, or R 26 and R 27 in formula (X1b) are both hydrogen atoms, or one of them has a substituent A good alkyl group, R 28 and R 29 are both hydrogen atoms, R 31 is an optionally substituted alkyl group, or an optionally substituted phenyl group, and s 1 is 0 It is an amino acid bipolar ion compound that is 1, or 2. preferable. While the other is a phenyl group with a hydrogen atom in the general formula s is 0 in (X1a), R 26 and R 27, the ester of R 28 and R 29 are both hydrogen atoms N- phenylglycine, among others, R 30 is N-phenylglycine benzyl ester which is a benzyl group, or, in the general formula (X1b), s is 0, R 26 , R 27 , R 28 and R 29 are all hydrogen atoms, and R 31 is a phenyl group A dipolar ionic compound of N-phenylglycine is particularly preferred.

なお、本発明において、(H)成分の重合加速剤としては、前記アミノ酸のエステル又は双極イオン化合物以外の重合加速剤を更に含有していてもよく、その重合加速剤としては、例えば、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、2−メルカプト−4(3H) −キナゾリン、β−メルカプトナフタレン、エチレングリコール
ジチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート等のメルカプト基含有化合物類、ヘキサンジチオール、トリメチロールプロパントリスチオグリコネート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート等の多官能チオール化合物類、N,N−ジアルキルアミノ安息香酸エステル、N−フェニルグリシン又はそのアンモニウム塩やナトリウム塩等の塩等の誘導体、フェニルアラニン又はそのアンモニウムやナトリウム塩等の塩、エステル等の誘導体等の、芳香族環を有するアミノ酸又はその誘導体類等が挙げられる。
本発明の感光性組成物において、前記(H)成分の重合加速剤の含有割合は、感光性組成物の全量に対して、20重量%以下であるのが好ましく、1〜10重量%であるのが更に好ましい。
In the present invention, the polymerization accelerator of the component (H) may further contain a polymerization accelerator other than the ester of amino acid or the dipolar ion compound. Examples of the polymerization accelerator include 2- Mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, 3-mercapto-1,2,4-triazole, 2-mercapto-4 (3H) -quinazoline, β-mercaptonaphthalene, ethylene glycol dithiopropionate Mercapto group-containing compounds such as trimethylolpropane tristhiopropionate, pentaerythritol tetrakisthiopropionate, hexanedithiol, trimethylolpropane tristhioglyconate, pentaerythritol tetrakisthiopropionate, etc. Thiol compounds, N, N-dialkylaminobenzoic acid esters, N-phenylglycine or its derivatives such as ammonium salts and sodium salts thereof, phenylalanine or its salts such as ammonium and sodium salts, derivatives such as esters, etc. Examples include amino acids having an aromatic ring or derivatives thereof.
In the photosensitive composition of the present invention, the content ratio of the polymerization accelerator of the component (H) is preferably 20% by weight or less, and preferably 1 to 10% by weight with respect to the total amount of the photosensitive composition. Is more preferable.

[1−4−5](I)無機充填剤
また、本発明の感光性組成物は、前記(A)〜(C)成分以外に、更に、硬化物としての強度の向上等を目的として、無機充填剤(I)成分を含有していてもよく、その(I)成分の無機充填剤としては、例えば、日本タルク社製「ST−2000」、「BST」等のタルク、日本アエロジル社製「R972」「R974」等のシリカ、アルミナ、堺化学社製「B−30」「BF−1」「BF−40」等の硫酸バリウム、酸化マグネシウム等が挙げられる。これら無機充填剤は、必要に応じてシランカップリング剤等により表面処理を施すことが出来る。平均粒子径は通常0.005μm以上であり、通常50μm以下、好ましくは20μm以下、更に好ましくは10μm以下に分散して用いられる。
[1-4-5] (I) Inorganic filler
In addition to the components (A) to (C), the photosensitive composition of the present invention may further contain an inorganic filler (I) component for the purpose of improving the strength as a cured product. Well, as the inorganic filler of the component (I), for example, talc such as “ST-2000” and “BST” manufactured by Nippon Talc, silica such as “R972” and “R974” manufactured by Nippon Aerosil, alumina, soot Examples thereof include barium sulfate and magnesium oxide such as “B-30”, “BF-1”, and “BF-40” manufactured by Kagaku Co., Ltd. These inorganic fillers can be surface-treated with a silane coupling agent or the like as required. The average particle size is usually 0.005 μm or more, usually 50 μm or less, preferably 20 μm or less, more preferably 10 μm or less.

本発明の感光性組成物において、前記(I)成分の無機充填剤の含有割合は、感光性組成物の全量に対して、70重量%以下であるのが好ましく、1〜50重量%であるのが更に好ましい。   In the photosensitive composition of the present invention, the content of the inorganic filler as the component (I) is preferably 70% by weight or less, and preferably 1 to 50% by weight with respect to the total amount of the photosensitive composition. Is more preferable.

[1−4−6](J)色材
また、本発明の感光性組成物は、前記(A)〜(C)成分以外に、更に、(J)色材を含有していても良い。(J)色材は、特に、本発明の感光性組成物をカラーフィルター、ソルダーレジストその他の着色組成物として使用する際に、該組成物を着色するものをいう。色材としては、染顔料が使用できるが、耐熱性、耐光性等の点から顔料が好ましい。顔料としては青色顔料、緑色顔料、赤色顔料、黄色顔料、紫色顔料、オレンジ顔料、ブラウン顔料、黒色顔料等各種の色の顔料を使用することができる。また、その構造としてはアゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリノン系、ジオキサジン系、インダンスレン系、ペリレン系等の有機顔料の他に種々の無機顔料等も利用可能である。以下に、使用できる顔料の具体例をピグメントナンバーで示す。なお、以下に挙げる「C.I.」は、カラーインデックス(C.I.)を意味する。
[1-4-6] (J) Color material
Moreover, the photosensitive composition of this invention may contain (J) coloring material further in addition to the said (A)-(C) component. (J) A coloring material means a coloring material, particularly when the photosensitive composition of the present invention is used as a color filter, a solder resist or other colored composition. As the coloring material, dyes and pigments can be used, but pigments are preferable from the viewpoint of heat resistance, light resistance and the like. As the pigment, pigments of various colors such as a blue pigment, a green pigment, a red pigment, a yellow pigment, a purple pigment, an orange pigment, a brown pigment, and a black pigment can be used. In addition to organic pigments such as azo, phthalocyanine, quinacridone, benzimidazolone, isoindolinone, dioxazine, indanthrene, and perylene, various inorganic pigments can be used. It is. Specific examples of pigments that can be used are shown below by pigment numbers. Note that “CI” described below means a color index (CI).

赤色顔料としては、C.I.ピグメントレッド1、2、3、4、5、6、7、8、9、
12、14、15、16、17、21、22、23、31、32、37、38、41、47、48、48:1、48:2、48:3、48:4、49、49:1、49:2、50:1、52:1、52:2、53、53:1、53:2、53:3、57、57:1、57:2、58:4、60、63、63:1、63:2、64、64:1、68、69、81、81:1、81:2、81:3、81:4、83、88、90:1、101、101:1、104、108、108:1、109、112、113、114、122、123、144、146、147、149、151、166、168、169、170、172、173、174、175、176、177、178、179、181、184、185、187、188、190、193、194、200、202、206、207、208、209、210、214、216、220、221、224、230、231、232、233、235、236、237、238、239、242、243、245、247、249、250、251、253、254、255、256、257、258、259、260、262、263、264、265、266、267、268、269、270、271、272、273、274、275、276を挙げることができる。この中でも、好ましくはC.I.ピグメントレッド48:1、122、168、177、202、206、207、209、224、242、254、更に好ましくはC.I.ピグメントレッド177、209、224、254を挙げることができる。
Examples of red pigments include C.I. I. Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9,
12, 14, 15, 16, 17, 21, 22, 23, 31, 32, 37, 38, 41, 47, 48, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 49, 49: 1, 49: 2, 50: 1, 52: 1, 52: 2, 53, 53: 1, 53: 2, 53: 3, 57, 57: 1, 57: 2, 58: 4, 60, 63, 63: 1, 63: 2, 64, 64: 1, 68, 69, 81, 81: 1, 81: 2, 81: 3, 81: 4, 83, 88, 90: 1, 101, 101: 1, 104, 108, 108: 1, 109, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 147, 149, 151, 166, 168, 169, 170, 172, 173, 174, 175, 176, 177, 178, 179, 181, 184, 185, 187, 188, 190, 93,194,200,202,206,207,208,209,210,214,216,220,221,224,230,231,232,233,235,236,237,238,239,242,243, 245, 247, 249, 250, 251, 253, 254, 255, 256, 257, 258, 259, 260, 262, 263, 264, 265, 266, 267, 268, 269, 270, 271, 272, 273, 274, 275, 276. Of these, C.I. I. Pigment Red 48: 1, 122, 168, 177, 202, 206, 207, 209, 224, 242, 254, more preferably C.I. I. Pigment red 177, 209, 224, 254.

青色顔料としては、C.I.ピグメントブルー1、1:2、9、14、15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、17、19、25、27、28、29、33、35、36、56、56:1、60、61、61:1、62、63、66、67、68、71、72、73、74、75、76、78、79を挙げることができる。この中でも、好ましくはC.I.ピグメントブルー15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、更に好ましくはC.I.ピグメントブルー15:6を挙げることができる。   Examples of blue pigments include C.I. I. Pigment Blue 1, 1: 2, 9, 14, 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 17, 19, 25, 27, 28, 29, 33, 35, 36, 56, 56: 1, 60, 61, 61: 1, 62, 63, 66, 67, 68, 71, 72, 73, 74, 75, 76, 78, 79. Of these, C.I. I. Pigment Blue 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, more preferably C.I. I. Pigment blue 15: 6.

緑色顔料としては、C.I.ピグメントグリーン1、2、4、7、8、10、13、14、15、17、18、19、26、36、45、48、50、51、54、55を挙げることができる。この中でも、好ましくはC.I.ピグメントグリーン7、36を挙げることができる。
黄色顔料としては、C.I.ピグメントイエロー1、1:1、2、3、4、5、6、9、10、12、13、14、16、17、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、41、42、43、48、5345、61、62、62:1、63、65、73、74、75,81、83、87、93、94、95、97、100、101、104、105、108、109、110、111、116、117、119、120、126、127、127:1、128、129、133、134、136、138、139、142、147、148、150、151、153、154、155、157、158、159、160、161、162、163、164、165、166、167、168、169、170、172、173、174、175、176、180、181、182、183、184、185、188、189、190、191、191:1、192、193、194、195、196、197、198、199、200、202、203、204、205、206、207、208を挙げることができる。この中でも、好ましくはC.I.ピグメントイエロー83、117、129、138、139、150、154、155、180、185、更に好ましくはC.I.ピグメントイエロー83、138、139、150、180を挙げることができる。
Examples of green pigments include C.I. I. Pigment Green 1, 2, 4, 7, 8, 10, 13, 14, 15, 17, 18, 19, 26, 36, 45, 48, 50, 51, 54, 55. Of these, C.I. I. And CI Pigment Green 7 and 36.
Examples of yellow pigments include C.I. I. Pigment Yellow 1, 1: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 9, 10, 12, 13, 14, 16, 17, 24, 31, 32, 34, 35, 35: 1, 36, 36: 1, 37, 37: 1, 40, 41, 42, 43, 48, 5345, 61, 62, 62: 1, 63, 65, 73, 74, 75, 81, 83, 87, 93, 94, 95, 97, 100, 101, 104, 105, 108, 109, 110, 111, 116, 117, 119, 120, 126, 127, 127: 1, 128, 129, 133, 134, 136, 138, 139, 142, 147, 148, 150, 151, 153, 154, 155, 157, 158, 159, 160, 161, 162, 163, 164, 165, 166, 167, 168, 169, 170, 172, 173 174, 175, 176, 180, 181, 182, 183, 184, 185, 188, 189, 190, 191, 191: 1, 192, 193, 194, 195, 196, 197, 198, 199, 200, 202, 203, 204, 205, 206, 207, 208. Of these, C.I. I. Pigment yellow 83, 117, 129, 138, 139, 150, 154, 155, 180, 185, more preferably C.I. I. Pigment yellow 83, 138, 139, 150, 180.

オレンジ顔料としては、C.I.ピグメントオレンジ1、2、5、13、16、17、19、20、21、22、23、24、34、36、38、39、43、46、48、49、61、62、64、65、67、68、69、70、71、72、73、74、75、77、78、79を挙げることができる。この中でも、好ましくは、C.I.ピグメントオレンジ38、71を挙げることができる。   Examples of orange pigments include C.I. I. Pigment Orange 1, 2, 5, 13, 16, 17, 19, 20, 21, 22, 23, 24, 34, 36, 38, 39, 43, 46, 48, 49, 61, 62, 64, 65, 67, 68, 69, 70, 71, 72, 73, 74, 75, 77, 78, 79. Of these, C.I. I. And CI pigment oranges 38 and 71.

紫色顔料としては、C.I.ピグメントバイオレット1、1:1、2、2:2、3、3:1、3:345:1、14、15、16、19、23、25、27、29、31、32、37、39、42、44、47、49、50を挙げることができる。この中でも、好ましくはC.I.ピグメントバイオレット19、23、更に好ましくはC.I.ピグメントバイオレット23を挙げることができる。   Examples of purple pigments include C.I. I. Pigment violet 1, 1: 1, 2, 2: 2, 3, 3: 1, 3: 345: 1, 14, 15, 16, 19, 23, 25, 27, 29, 31, 32, 37, 39, 42, 44, 47, 49, 50. Of these, C.I. I. Pigment violet 19, 23, more preferably C.I. I. And CI Pigment Violet 23.

また、色材としては、黒色の色材を用いることもできる。黒色色材は、黒色色材を単独でも良く、又は赤、緑、青等の混合によるものでも良い。また、これら色材は無機又は有機の顔料、染料の中から適宜選択することができる。   Moreover, a black color material can also be used as the color material. The black color material may be a single black color material or a mixture of red, green, blue, and the like. These color materials can be appropriately selected from inorganic or organic pigments and dyes.

黒色色材を調製するために混合使用可能な色材としては、ビクトリアピュアブルー(42595)、オーラミンO(41000)、カチロンブリリアントフラビン(ベーシック13)、ローダミン6GCP(45160)、ローダミンB(45170)、サフラニンOK70:100(50240)、エリオグラウシンX(42080)、No.120/リオノールイエロー(21090)、リオノールイエローGRO(21090)、シムラーファーストイエロー8GF(21105)、ベンジジンイエロー4T−564D(21095)、シムラーファーストレッド4015(12345)、リオノールレッド7B4401(15850)、ファーストゲンブルーTGR−L(74160)、リオノールブルーSM(26150)、リオノールブルーES(ピグメントブルー15:6)、リオノーゲンレッドGD(ピグメントレッド168)、リオノールグリーン2YS(ピグメントグリーン36)等が挙げられる(なお、上記の( )内の数字は、カラーインデックス(C.I.)を意味する)。   Color materials that can be mixed for preparing a black color material include Victoria Pure Blue (42595), Auramin O (41000), Catillon Brilliant Flavin (Basic 13), Rhodamine 6GCP (45160), Rhodamine B (45170). Safranin OK 70: 100 (50240), Erioglaucine X (42080), No. 120 / Lionol Yellow (21090), Lionol Yellow GRO (21090), Shimla First Yellow 8GF (21105), Benzidine Yellow 4T-564D (21095), Shimler First Red 4015 (12345), Lionol Red 7B4401 (15850), Fast Gen Blue TGR-L (74160), Lionol Blue SM (26150), Lionol Blue ES (Pigment Blue 15: 6), Lionogen Red GD (Pigment Red 168), Lionol Green 2YS (Pigment Green 36), etc. (The numbers in parentheses above mean the color index (CI)).

また、更に他の混合使用可能な顔料についてC.I.ナンバーにて示すと、例えば、C.I.黄色顔料20、24、86、93、109、110、117、125、137、138、147、148、153、154、166、C.I.オレンジ顔料36、43、51、55、59、61、C.I.赤色顔料9、97、122、123、149、168、177、180、192、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、C.I.バイオレット顔料19、23、29、30、37、40、50、C.I.青色顔料15、15:1、15:4、22、60、64、C.I.緑色顔料7、C.I.ブラウン顔料23、25、26等を挙げることができる。   Further, other pigments that can be used in combination are C.I. I. For example, C.I. I. Yellow pigments 20, 24, 86, 93, 109, 110, 117, 125, 137, 138, 147, 148, 153, 154, 166, C.I. I. Orange pigments 36, 43, 51, 55, 59, 61, C.I. I. Red pigments 9, 97, 122, 123, 149, 168, 177, 180, 192, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, C.I. I. Violet pigments 19, 23, 29, 30, 37, 40, 50, C.I. I. Blue pigment 15, 15: 1, 15: 4, 22, 60, 64, C.I. I. Green pigment 7, C.I. I. Examples thereof include brown pigments 23, 25, and 26.

また、単独使用可能な黒色色材としては、カーボンブラック、アセチレンブラック、ランプブラック、ボーンブラック、黒鉛、鉄黒、アニリンブラック、シアニンブラック、チタンブラック等が挙げられる。
これらの中で、カーボンブラック、チタンブラックが遮光率、画像特性の観点から好ましい。カーボンブラックの例としては、以下のようなカーボンブラックが挙げられる。
三菱化学社製:MA7、MA8、MA11、MA100、MA100R、MA220、MA230、MA600、#5、#10、#20、#25、#30、#32、#33、#40、#44、#45、#47、#50、#52、#55、#650、#750、#850、#950、#960、#970、#980、#990、#1000、#2200、#2300、#2340、#2400、#2600、#3050、#3150、#3250、#3600、#3750、#3950、#4000、#4010、OIL7B、OIL9B、OIL11B、OIL30B、OIL31デグサ社製:Printex3、Printex3OP、Printex30、Printex30OP、Printex40、Printex45、Printex55、Printex60、Printex75、Printex80、Printex85、Printex90、Printex A、Printex L、Printex G、Printex P、Printex U、Printex V、PrintexG、SpecialBlack550、SpecialBlack340、SpecialBlack250、SpecialBlack100、SpecialBlack6、SpecialBlack5、SpecialBlack4、Color Black FW1、Color Black FW2、Color Black FW2V、Color Black FW18、Color Black FW18、Color Black FW200、Color Black S160、Color Black S170キャボット社製:Monarch120、Monarch280、Monarch460、Monarch800、Monarch880、Monarch900、Monarch1000、Monarch1100、Monarch1300、Monarch1400、Monarch4630、REGAL99、REGAL99R、REGAL415、REGAL415R、REGAL250、REGAL250R、REGAL330、REGAL400R、REGAL55R0、REGAL660R、BLACK PEARLS480、PEARLS130、VULCAN XC72R、ELFTEX−8コロンビヤン カーボン社製:RAVEN11、RAVEN14、RAVEN15、RAVEN16、RAVEN22RAVEN30、RAVEN35、RAVEN40、RAVEN410、RAVEN420、RAVEN450、RAVEN500、RAVEN780、RAVEN850、RAVEN890H、RAVEN1000、RAVEN1020、RAVEN1040、RAVEN1060U、RAVEN1080U、RAVEN1170、RAVEN1190U、RAVEN1250、RAVEN1500、RAVEN2000、RAVEN2500U、RAVEN3400、RAVEN5000、RAVEN5250、RAVEN5750、RAVEN7000
また、チタンブラックは以下のものが挙げられる。
Examples of the black color material that can be used alone include carbon black, acetylene black, lamp black, bone black, graphite, iron black, aniline black, cyanine black, and titanium black.
Among these, carbon black and titanium black are preferable from the viewpoints of light shielding rate and image characteristics. Examples of carbon black include the following carbon black.
Mitsubishi Chemical Corporation: MA7, MA8, MA11, MA100, MA100R, MA220, MA230, MA600, # 5, # 10, # 20, # 25, # 30, # 32, # 33, # 40, # 44, # 45 # 47, # 50, # 52, # 55, # 650, # 750, # 850, # 950, # 960, # 970, # 980, # 990, # 1000, # 2200, # 2300, # 2340, # 2400, # 2600, # 3050, # 3150, # 3250, # 3600, # 3750, # 3950, # 4000, # 4010, OIL7B, OIL9B, OIL11B, OIL30B, OIL31 Degussa Corporation: Printex3, Printex3OP, Printex30, Printex30OP Printex40, Printex45, Print ex55, Printex60, Printex75, Printex80, Printex85, Printex90, Printex A, Printex L, Printex G, Printex P, Printex U, Printex V, PrintexG, SpecialBlack550, SpecialBlack340, SpecialBlack250, SpecialBlack100, SpecialBlack6, SpecialBlack5, SpecialBlack4, Color Black FW1, Color Black FW2, Color Black FW2V, Color Black FW18, Color Black FW18, Color Black FW200, Color Black S16 0, Color Black S170 manufactured by Cabot Corporation: Monarch120, Monarch280, Monarch460, Monarch800, Monarch880, Monarch900, Monarch1000, Monarch1100, Monarch1300, Monarch1400, Monarch4630, REGAL99, REGAL99R, REGAL415, REGAL415R, REGAL250, REGAL250R, REGAL330, REGAL400R, REGAL55R0, REGAL660R , BLACK PEARLS480, PEARLS130, VULCAN XC72R, ELFTEX-8 Colombian Carbon Co .: RAVEN11, RAVEN14, RAVEN15, RAVEN 6, Raven22 Raven30, Raven35, Raven40, Raven410, Raven420, Raven450, Raven500, Raven780, Raven850, Raven590H, Raven1000, Raven1020, Raven1040, Raven1060U, Raven1080U, Raven1080U, Raven1080U, Raven1080U, Raven1080U RAVEN5750, RAVEN7000
Examples of titanium black include the following.

チタンブラックの作製方法としては、二酸化チタンと金属チタンの混合体を還元雰囲気下で加熱し還元させる方法(特開昭49−5432号公報)、 四塩化チタンの高温加水
分解で得られた超微細二酸化チタンを水素を含む還元雰囲気中で還元する方法(特開昭57−205322号公報)、二酸化チタンまたは水酸化チタンをアンモニア存 在下で高温還元する方法(特開昭60−65069号公報、特開昭61−201610号公報)、二酸化チタンまたは水酸化チタンにバナジウム化合物を付着させ、アンモニア存在下で高温還元する方法(特開昭61−201610号公報)、などがあるがこれらに限定されるものではない。
As a method for producing titanium black, a method of heating and reducing a mixture of titanium dioxide and metallic titanium in a reducing atmosphere (Japanese Patent Laid-Open No. 49-5432), ultrafine obtained by high-temperature hydrolysis of titanium tetrachloride. A method of reducing titanium dioxide in a reducing atmosphere containing hydrogen (Japanese Patent Laid-Open No. 57-205322), a method of reducing titanium dioxide or titanium hydroxide at high temperature in the presence of ammonia (Japanese Patent Laid-Open No. 60-65069, No. 61-201610), and a method of attaching a vanadium compound to titanium dioxide or titanium hydroxide and reducing it at high temperature in the presence of ammonia (Japanese Patent Laid-Open No. 61-201610). It is not a thing.

チタンブラックのの市販品の例としては、三菱マテリアル製チタンブラック10S、12S、13R、13M、13M−C等が挙げられる。
他の黒色顔料の例としては、アニリンブラック、酸化鉄系黒色顔料、及び、赤色、緑色、青色の三色の有機顔料を混合して黒色顔料として用いることができる。
また、顔料として、硫酸バリウム、硫酸鉛、酸化チタン、黄色鉛、ベンガラ、酸化クロム等を用いることもできる。
Examples of commercially available titanium black products include Titanium Black 10S, 12S, 13R, 13M, and 13M-C manufactured by Mitsubishi Materials.
As an example of another black pigment, aniline black, an iron oxide black pigment, and organic pigments of three colors of red, green, and blue can be mixed and used as a black pigment.
In addition, barium sulfate, lead sulfate, titanium oxide, yellow lead, bengara, chromium oxide, and the like can also be used as the pigment.

上述の各種の顔料は、複数種を併用することもできる。例えば、色度の調整のために、顔料として、緑色顔料と黄色顔料とを併用したり、青色顔料と紫色顔料とを併用したりすることができる。
また、色材として使用できる染料としては、アゾ系染料、アントラキノン系染料、フタロシアニン系染料、キノンイミン系染料、キノリン系染料、ニトロ系染料、カルボニル系染料、メチン系染料等が挙げられる。
The above-mentioned various pigments can be used in combination. For example, in order to adjust the chromaticity, a green pigment and a yellow pigment can be used in combination, or a blue pigment and a violet pigment can be used in combination.
Examples of dyes that can be used as the colorant include azo dyes, anthraquinone dyes, phthalocyanine dyes, quinoneimine dyes, quinoline dyes, nitro dyes, carbonyl dyes, and methine dyes.

アゾ系染料としては、例えば、C.I.アシッドイエロー11,C.I.アシッドオレンジ7,C.I.アシッドレッド37,C.I.アシッドレッド180,C.I.アシッドブルー29,C.I.ダイレクトレッド28,C.I.ダイレクトレッド83,C.I.ダイレクトイエロー12,C.I.ダイレクトオレンジ26,C.I.ダイレクトグリーン28,C.I.ダイレクトグリーン59,C.I.リアクティブイエロー2,C.I.リアクティブレッド17,C.I.リアクティブレッド120,C.I.リアクティブブラック5,C.I.ディスパースオレンジ5,C.I.ディスパースレッド58,C.I.ディスパースブルー165,C.I.ベーシックブルー41,C.I.ベーシックレッド18,C.I.モルダントレッド7,C.I.モルダントイエロー5,C.I.モルダントブラック7等が挙げられる。   Examples of the azo dye include C.I. I. Acid Yellow 11, C.I. I. Acid Orange 7, C.I. I. Acid Red 37, C.I. I. Acid Red 180, C.I. I. Acid Blue 29, C.I. I. Direct Red 28, C.I. I. Direct Red 83, C.I. I. Direct Yellow 12, C.I. I. Direct Orange 26, C.I. I. Direct Green 28, C.I. I. Direct Green 59, C.I. I. Reactive Yellow 2, C.I. I. Reactive Red 17, C.I. I. Reactive Red 120, C.I. I. Reactive Black 5, C.I. I. Disperse Orange 5, C.I. I. Disperse thread 58, C.I. I. Disperse Blue 165, C.I. I. Basic Blue 41, C.I. I. Basic Red 18, C.I. I. Molded Red 7, C.I. I. Moldant Yellow 5, C.I. I. Examples thereof include Moldant Black 7.

アントラキノン系染料としては、例えば、C.I.バットブルー4,C.I.アシッドブルー40,C.I.アシッドグリーン25,C.I.リアクティブブルー19,C.I.リアクティブブルー49,C.I.ディスパースレッド60,C.I.ディスパースブルー56,C.I.ディスパースブルー60等が挙げられる。
この他、フタロシアニン系染料として、例えば、C.I.パッドブルー5等が、キノンイミン系染料として、例えば、C.I.ベーシックブルー3,C.I.ベーシックブルー9等が、キノリン系染料として、例えば、C.I.ソルベントイエロー33,C.I.アシッドイエロー3,C.I.ディスパースイエロー64等が、ニトロ系染料として、例えば、C.I.アシッドイエロー1,C.I.アシッドオレンジ3,C.I.ディスパースイエロー42等が挙げられる。
Examples of anthraquinone dyes include C.I. I. Bat Blue 4, C.I. I. Acid Blue 40, C.I. I. Acid Green 25, C.I. I. Reactive Blue 19, C.I. I. Reactive Blue 49, C.I. I. Disper thread 60, C.I. I. Disperse Blue 56, C.I. I. Disperse Blue 60 etc. are mentioned.
Other examples of the phthalocyanine dye include C.I. I. Pad Blue 5 and the like are quinone imine dyes such as C.I. I. Basic Blue 3, C.I. I. Basic Blue 9 and the like are quinoline dyes such as C.I. I. Solvent Yellow 33, C.I. I. Acid Yellow 3, C.I. I. Disperse Yellow 64 and the like are nitro dyes such as C.I. I. Acid Yellow 1, C.I. I. Acid Orange 3, C.I. I. Disperse Yellow 42 and the like.

本発明の感光性組成物に用いられる色材は、例えばソルダーレジスト用途である場合にはハロゲン原子を含まないものを使用するのが好ましい。
また、本発明の感光性組成物の全固形分中に占める色材が無機、有機顔料の場合は、顔料の平均粒子径を通常1μm以下、好ましくは0.5μm以下、更に好ましくは0.25μm以下に分散して用いられる。 なお、顔料分散には分散性、分散安定性の向上のために、分散材及び/または分散助剤を併用する事が好ましい。
分散剤としては、通常、界面活性剤、高分子分散剤などが使用されるが、特に高分子分散剤を用いると経時の分散安定性に優れるので好ましい。高分子分散剤としては、例えば特開2005−126674号公報等に記載される窒素原子含有分散剤が好ましく、このような窒素原子含有分散剤としては、例えばウレタン系分散剤、窒素原子を含有するグラフト共重合体、側鎖に4級アンモニウム塩基を有するAブロックと、4級アンモニウム塩基を有さないBブロックとからなる、A−Bブロック共重合体及び/又はB−A−Bブロック共重合体等が挙げられる。分散剤は、1種を単独で使用しても、2種類以上を混合しても用いても良い。
本発明の感光性組成物の全固形分中に占める(J)色材の割合は、通常1〜70重量%、好ましくは10〜70重量%、更に好ましくは20〜60重量%である。色材の含有割合が少なすぎると、着色力が低くなり、色濃度に対して膜厚が厚くなりすぎて、液晶セル化の際のギャップ制御などに悪影響を及ぼす。また、逆に色材の含有割合が多すぎると、分散安定性が悪化し、再凝集や増粘等の問題が起きる危険性がある。
As the coloring material used in the photosensitive composition of the present invention, for example, in the case of use for a solder resist, it is preferable to use a coloring material containing no halogen atom.
In the case where the coloring material in the total solid content of the photosensitive composition of the present invention is an inorganic or organic pigment, the average particle size of the pigment is usually 1 μm or less, preferably 0.5 μm or less, more preferably 0.25 μm. The following are used in a dispersed manner. In the pigment dispersion, it is preferable to use a dispersing agent and / or a dispersion aid together in order to improve dispersibility and dispersion stability.
As the dispersant, a surfactant, a polymer dispersant, and the like are usually used, but a polymer dispersant is particularly preferable because it is excellent in dispersion stability over time. As the polymer dispersant, for example, a nitrogen atom-containing dispersant described in, for example, JP-A-2005-126673 is preferable, and as such a nitrogen atom-containing dispersant, for example, a urethane-based dispersant and a nitrogen atom are contained. Graft copolymer, AB block copolymer and / or BAB block copolymer consisting of an A block having a quaternary ammonium base in the side chain and a B block having no quaternary ammonium base Examples include coalescence. A dispersing agent may be used individually by 1 type, or may mix and use 2 or more types.
The proportion of the color material (J) in the total solid content of the photosensitive composition of the present invention is usually 1 to 70% by weight, preferably 10 to 70% by weight, and more preferably 20 to 60% by weight. If the content ratio of the color material is too small, the coloring power becomes low, the film thickness becomes too thick with respect to the color density, and adversely affects the gap control at the time of forming a liquid crystal cell. On the other hand, if the content ratio of the coloring material is too large, the dispersion stability is deteriorated and there is a risk that problems such as re-aggregation and thickening occur.

[1−4−7](K)界面活性剤
また、本発明の感光性組成物は、前記(A)〜(C)成分以外に、更に、組成物塗布液としての塗布性、及び感光性組成物層の現像性の向上等を目的として、ノニオン性、アニオン性、カチオン性、両性、及び弗素系等の界面活性剤(K)成分を含有していてもよい。
そのノニオン性界面活性剤としては、具体的には、例えばポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルエステル類、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル類、グリセリン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレングリセリン脂肪酸エステル類、ペンタエリスリット脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンペンタエリスリット脂肪酸エステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル類、ソルビット脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンソルビット脂肪酸エステル類等が挙げられる。これらの市販品としては、花王株式会社製の「エマルゲン104P」、「エマルゲンA60」等のポリオキシエチレン系界面活性剤等が挙げられる。
[1-4-7] (K) Surfactant
In addition to the components (A) to (C), the photosensitive composition of the present invention is further intended to improve applicability as a composition coating solution and developability of the photosensitive composition layer. Nonionic, anionic, cationic, amphoteric, and fluorine-based surfactant (K) components may be contained.
Specific examples of the nonionic surfactant include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene polyoxypropylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkylphenyl ethers, polyoxyethylene alkyl esters, polyoxyethylene. Fatty acid esters, glycerin fatty acid esters, polyoxyethylene glycerin fatty acid esters, pentaerythritol fatty acid esters, polyoxyethylene pentaerythritol fatty acid esters, sorbitan fatty acid esters, polyoxyethylene sorbitan fatty acid esters, sorbite fatty acid esters And polyoxyethylene sorbite fatty acid esters. Examples of these commercially available products include polyoxyethylene surfactants such as “Emulgen 104P” and “Emulgen A60” manufactured by Kao Corporation.

また、フッ素系およびシリコーン系のものを好適に使用することができる。フッ素系界面活性剤としては、末端、主鎖および側鎖の少なくとも何れかの部位にフルオロアルキルまたはフルオロアルキレン基を有する化合物が好適であり、具体的には、1,1,2, 2−テトラフロロオクチル(1,1,2,2 −テトラフロロプロピル) エーテル、 1,1,2,2 −テトラフロロオクチルヘキシルエーテル、オクタエチレングリコールジ(1,1,2,2−テトラフロロブチル) エーテル、ヘキサエチレングリコールジ(1,1,2,2,3,3−ヘキサフロロペンチル)エー テル、オクタプロピレングリコールジ(1,1,2, 2−テトラフロロブチル) エーテル、ヘキ
サプロピレングリコールジ(1,1,2,2,3,3 −ヘキサフロロペンチル) エーテル、パーフロ
ロドデシルスルホン酸ナトリウム、 1,1,2,2,8,8,9,9,10,10 −デカフロロドデカン、1,1,2,2,3,3 −ヘキサフロロデカン等を挙げることができる。またこれらの市販品としては 、BM Chemie 社製「BM−1000」、「BM−1100 」 、大日本インキ化学工業株式会社製「メガファックF142D」、「同F172」 、「同F173」、「同F183」 、「同F470」、住友3M株式会社製「FC430」、ネオス株式会社製「DFX−18」等を挙げることができる。
Further, fluorine-based and silicone-based ones can be preferably used. As the fluorosurfactant, a compound having a fluoroalkyl or fluoroalkylene group in at least one of the terminal, main chain and side chain is preferable. Specifically, 1,1,2,2-tetra Fluorooctyl (1,1,2,2-tetrafluoropropyl) ether, 1,1,2,2-tetrafluorooctyl hexyl ether, octaethylene glycol di (1,1,2,2-tetrafluorobutyl) ether, Hexaethylene glycol di (1,1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether, octapropylene glycol di (1,1,2,2-tetrafluorobutyl) ether, hexapropylene glycol di (1, 1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether, sodium perfluorododecyl sulfonate, 1,1,2,2,8,8,9,9,10,10-decafluorododecane, 1,1 2,2,3,3-hexafluorodecane and the like. These commercially available products include “BM-1000” and “BM-1100” manufactured by BM Chemie, “Megafac F142D”, “Same F172”, “Same F173”, “Same” manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc. F183 "," F470 "," FC430 "manufactured by Sumitomo 3M Corporation," DFX-18 "manufactured by Neos Corporation, and the like.

またシリコーン系界面活性剤としては、例えばトーレシリコーン株式会社製「トーレシリコーンDC3PA」、「同SH7PA」,「同DC11PA」,「同SH21PA」,「同SH28PA」、「同SH29PA」、「同SH30PA」、「同SH8400」、東芝シリコーン株式会社製「TSF−4440」、「TSF−4300」、「TSF−4445」、「TSF−444(4)(5)(6)(7)6」、「TSF−44 60」、「TSF−4452」、シリコーン株式会社製「KP341」、ビッグケミー社製「BYK323」、「BYK330」等の市販品を挙げることができる。   Examples of silicone-based surfactants include “Toray Silicone DC3PA”, “Same SH7PA”, “Same DC11PA”, “Short SH21PA”, “Short SH28PA”, “Short SH29PA”, “Short SH30PA” manufactured by Torre Silicone Co., Ltd. "SH8400", "TSF-4440", "TSF-4300", "TSF-4445", "TSF-444 (4) (5) (6) (7) 6", "TSF" manufactured by Toshiba Silicone Co., Ltd. Commercial products such as “-4460”, “TSF-4452”, “KP341” manufactured by Silicone Co., Ltd., “BYK323”, “BYK330” manufactured by Big Chemie.

これらのうち、シリコーン系界面活性剤が好ましく、ポリエーテル変性シリコーン系界面活性剤が更に好ましい。
また、上記アニオン性界面活性剤としては、例えば、アルキルスルホン酸塩類、アルキルベンゼンスルホン酸塩類、アルキルナフタレンスルホン酸塩類、ポリオキシエチレンアルキルエーテルスルホン酸塩類、アルキル硫酸塩類、アルキル硫酸エステル塩類、高級アルコール硫酸エステル塩類、脂肪族アルコール硫酸エステル塩類、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル硫酸塩類、アルキル燐酸エステル塩類、ポリオキシエチレンアルキルエーテル燐酸塩類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル燐酸塩類、特殊高分子系界面活性剤等が挙げられる。これらのうち、特殊高分子系界面活性剤が好ましく、特殊ポリカルボン酸型高分子系界面活性剤が更に好ましい。
Of these, silicone surfactants are preferred, and polyether-modified silicone surfactants are more preferred.
Examples of the anionic surfactant include alkyl sulfonates, alkyl benzene sulfonates, alkyl naphthalene sulfonates, polyoxyethylene alkyl ether sulfonates, alkyl sulfates, alkyl sulfate esters, and higher alcohol sulfates. Ester salts, aliphatic alcohol sulfates, polyoxyethylene alkyl ether sulfates, polyoxyethylene alkyl phenyl ether sulfates, alkyl phosphate esters, polyoxyethylene alkyl ether phosphates, polyoxyethylene alkyl phenyl ether phosphates, special Examples thereof include polymer surfactants. Of these, special polymer surfactants are preferred, and special polycarboxylic acid type polymer surfactants are more preferred.

市販のものとしては、例えば、アルキル硫酸エステル塩類では、花王株式会社製「エマール10」等、アルキルナフタレンスルホン酸塩類では花王株式会社製「ペレックスNB−L」等、特殊高分子系界面活性剤では花王株式会社製「ホモゲノールL−18」、「ホモゲノールL−100」等が挙げられる。
また、上記カチオン性界面活性剤としては、第4級アンモニウム塩類、イミダゾリン誘導体類、アミン塩類等が、また、両性界面活性剤としては、ベタイン型化合物類、イミダゾリウム塩類、イミダゾリン類、アミノ酸類等が挙げられる。これらのうち、第4級アンモニウム塩類が好ましく、ステアリルトリメチルアンモニウム塩類が更に好ましい。市販のものとしては、例えば、アルキルアミン塩類では花王株式会社製「アセタミン24」等、第4 級アンモニウム塩類では花王株式会社製「コータミン24P」、「コータミン86W 」等が挙げられる。
Examples of commercially available products include alkyl sulfate salts such as “Emar 10” manufactured by Kao Corporation, and alkyl naphthalene sulfonates such as “Perex NB-L” manufactured by Kao Corporation. “Homogenol L-18”, “Homogenol L-100” manufactured by Kao Corporation and the like can be mentioned.
The cationic surfactants include quaternary ammonium salts, imidazoline derivatives, amine salts, and the like, and the amphoteric surfactants include betaine-type compounds, imidazolium salts, imidazolines, amino acids, and the like. Is mentioned. Of these, quaternary ammonium salts are preferred, and stearyltrimethylammonium salts are more preferred. Examples of commercially available products include “Acetamine 24” manufactured by Kao Corporation for alkylamine salts, and “Cotamine 24P” and “Cotamin 86W” manufactured by Kao Corporation for quaternary ammonium salts.

界面活性剤は2種類以上の組み合わせでも良く、シリコーン系界面活性剤/ 弗素系界
面活性剤、シリコーン系界面活性剤/特殊高分子系界面活性剤、弗素系界面活性剤/特殊高分子系界面活性剤の組み合わせ等が挙げられる。中でも、シリコーン系界面活性剤/弗素系界面活性剤が好ましい。このシリコーン系界面活性剤/弗素系界面活性剤の組み合わせでは、ポリエーテル変性シリコーン系界面活性剤/オリゴマー型弗素系界面活性剤等が挙げられる。具体的には、例えば、ジーイー東芝シリコーン社製「TSF4460 」/
ネオス社製「DFX−18」、ビックケミー社製「BYK−300」「BYK−330」/セイミケミカル社製「S−393」、信越シリコーン社製「KP340」/大日本インキ社製「F−478」、トーレシリコーン社製「SH7PA」/ダイキン社製「DS−401」、日本ユニカー社製「L−77」/住友3M社製「FC4430」等が挙げられる。
また、本発明の感光性組成物は、主に上記界面活性剤を適宜選択することにより、該感光性組成物の液滴の清浄ガラス面に対する接触角θ(度)と、表面張力σ(mN/m )
が下記式(1) 、(2) 、及び(3) を満足するように調整するのが好ましい。下記式(1) 、(2) 、及び(3) のいずれかを満足させることにより、塗布ムラと乾燥ムラの発生を防ぐことが出来る。
Two or more kinds of surfactants may be combined. Silicone surfactant / fluorine surfactant, silicone surfactant / special polymer surfactant, fluorine surfactant / special polymer surfactant Examples include combinations of agents. Of these, silicone surfactants / fluorine surfactants are preferred. Examples of the silicone surfactant / fluorine surfactant combination include polyether-modified silicone surfactant / oligomer-type fluorine surfactant. Specifically, for example, “TSF4460” /
Neos "DFX-18", Big Chemie "BYK-300""BYK-330" / Seimi Chemical "S-393", Shin-Etsu Silicone "KP340" / Dainippon Ink "F-478""SH7PA" manufactured by Torre Silicone Co., Ltd., "DS-401" manufactured by Daikin Co., Ltd., "L-77" manufactured by Nihon Unicar Co., Ltd., and "FC4430" manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.
In addition, the photosensitive composition of the present invention mainly has a contact angle θ (degrees) with respect to a clean glass surface of a droplet of the photosensitive composition and a surface tension σ (mN) by appropriately selecting the surfactant. / M)
Is preferably adjusted so as to satisfy the following formulas (1), (2), and (3). By satisfying any of the following formulas (1), (2), and (3), it is possible to prevent the occurrence of coating unevenness and drying unevenness.

θ≦5×(σ0 −σ) (1)
σ≦σ0 −1 (2)
θ≦15 (3)
θ ≦ 5 × (σ 0 −σ) (1)
σ ≦ σ 0 −1 (2)
θ ≦ 15 (3)

〔但し、前記式中、σ0 は感光性組成物に用いられている溶剤単独の表面張力(mN/m)である。〕
また、本発明の感光性組成物は、下記式( 1')、(2')、及び(3')を満足するのが好まし
く、下記式(1'') 、(2'') 、及び(3'') を満足するのが更に好ましく、下記式 (2''')、
及び(3''')を満足するのが特に好ましい。
[In the above formula, σ 0 is the surface tension (mN / m) of the solvent alone used in the photosensitive composition. ]
Further, the photosensitive composition of the present invention preferably satisfies the following formulas (1 ′), (2 ′), and (3 ′), and the following formulas (1 ″), (2 ″), and (3 '') is more preferable, the following formula (2 '''),
And (3 ′ ″) are particularly preferable.

θ≦4×(σ0 −σ) (1')
σ≦σ0 −1.5 (2')
θ≦12 (3')
θ ≦ 4 × (σ 0 −σ) (1 ')
σ ≦ σ 0 −1.5 (2 ')
θ ≦ 12 (3 ')

θ≦3×(σ0 −σ) (1'')
σ≦σ0 −2 (2'')
θ≦9 (3'')
θ ≦ 3 × (σ 0 −σ) (1 '')
σ ≦ σ 0 -2 (2``)
θ ≦ 9 (3``)

σ≦σ0 −2 (2''')
θ≦5 (3''')
σ ≦ σ 0 -2 (2 ''')
θ ≦ 5 (3 ''')

また、本発明の感光性組成物は、レベリング性の面から、該感光性組成物に用いられている溶剤によって溶剤重量が2倍になるまで希釈したときの表面張力σ'(mN/ m)と希釈前の表面張力σ(mN/ m)が、下記式(4) を満足するのが好ましく、下記式(4')
を満足するのが更に好ましく、下記式(4'')を満足するのが特に好ましい。
In addition, the photosensitive composition of the present invention has a surface tension σ ′ (mN / m) when diluted until the solvent weight is doubled by the solvent used in the photosensitive composition in terms of leveling properties. And the surface tension σ (mN / m) before dilution preferably satisfy the following formula (4):
Is more preferable, and it is particularly preferable that the following formula (4 ″) is satisfied.

|σ−σ'|≦0 .4 (4)
|σ−σ'|≦0 .3 (4')
|σ−σ'| ≦0.2 (4'')
| Σ−σ ′ | ≦ 0. 4 (4)
| Σ−σ ′ | ≦ 0. 3 (4 ')
| σ−σ ′ | ≦ 0.2 (4 '')

なお、本発明において、前記接触角、前記表面張力は、それぞれ以下の方法により測定し、前記希釈の方法は、以下の方法による。   In the present invention, the contact angle and the surface tension are measured by the following methods, respectively, and the dilution method is as follows.

<接触角>
(i)液晶パネル用ガラス基板を洗浄剤よって洗浄後、UVオゾン処理により光洗浄を施す。前記洗浄により、純水による接触角が0(ゼロ)度、即ち完全に濡れ広がる清浄なガラス基板とする。なお、洗浄剤は、例えば界面活性剤含有タイプのアルカリ系洗浄剤が挙げられ、無機アルカリが好ましい。具体例としてはライオン社製「サンウォッシュTL−100」、横浜油脂社製「セミクリーンKG」等が挙げられる。UVオゾン処理は低圧水銀灯照射装置(例えばオーク製作所社製「VUM」)にて、照度が通常1〜100mW/cm、好ましくは5〜20mW/cmで10〜300秒間、好ましくは30〜120秒間の条件で行われる。
<Contact angle>
(I) The glass substrate for liquid crystal panel is cleaned with a cleaning agent and then subjected to light cleaning by UV ozone treatment. By the cleaning, the contact angle with pure water is 0 (zero), that is, a clean glass substrate that spreads out completely. Examples of the cleaning agent include a surfactant-containing type alkaline cleaning agent, and an inorganic alkali is preferable. Specific examples include “Sunwash TL-100” manufactured by Lion Corporation, “Semi-clean KG” manufactured by Yokohama Oil Co., Ltd., and the like. UV ozone treatment is performed with a low-pressure mercury lamp irradiation device (for example, “VUM” manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) at an illuminance of usually 1 to 100 mW / cm 2 , preferably 5 to 20 mW / cm 2 for 10 to 300 seconds, preferably 30 to 120. It is performed on condition of second.

(ii)(i)により作製したガラス基板に対する樹脂組成物の静的な接触角を、液滴法による接触角測定装置を使用して23℃において測定する。ここで「静的な接触角」とは、流動等による時間に伴う状態変化が生じない条件における接触角をいう。また、液滴法は通常は液滴を形成した後に1分間以内に測定、好ましくは5秒〜20秒以内に測定することにより行う。接触角測定装置は、例えば直読式、画像処理式等が用いられる。直読式接触角測定装置としては、例えば協和界面科学社製「CA−DT」等が挙げられる。画像処理式接触角測定装置としては、例えば協和界面科学社製「MCA−2」、KRUSS社製「DSA100」等が挙げられる。 (Ii) The static contact angle of the resin composition with respect to the glass substrate produced by (i) is measured at 23 ° C. using a contact angle measuring device by a droplet method. Here, the “static contact angle” refers to a contact angle under a condition in which a state change with time due to flow or the like does not occur. The droplet method is usually performed by measuring within 1 minute after forming a droplet, preferably by measuring within 5 to 20 seconds. As the contact angle measuring device, for example, a direct reading method, an image processing method, or the like is used. Examples of the direct reading contact angle measuring device include “CA-DT” manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd. Examples of the image processing type contact angle measuring device include “MCA-2” manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd. and “DSA100” manufactured by KRUSS.

<表面張力>
表面をアルコールランプ等で充分に赤熱し清浄化した白金プレートを用意し、樹脂組成物の静的な表面張力を、平板法による表面張力計を使用して23℃において測定する。ここで「静的な表面張力」とは、流動等による時間に伴う状態変化が生じない条件における表面張力をいう。表面張力計は、例えば協和界面科学社製「CBVP−A3」、KSV社製「Sigma700」等が挙げられる。
<Surface tension>
A platinum plate whose surface is fully red hot with an alcohol lamp or the like and cleaned is prepared, and the static surface tension of the resin composition is measured at 23 ° C. using a surface tension meter by a flat plate method. Here, “static surface tension” refers to surface tension under conditions in which state change with time due to flow or the like does not occur. Examples of the surface tension meter include “CBVP-A3” manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd. and “Sigma 700” manufactured by KSV Corporation.

<希釈方法>
室温にて、ビーカー中の樹脂組成物に、該樹脂組成物に用いられていると同一の溶媒を、攪拌下で少量ずつ滴下して希釈する。具体的には、例えばマグネチックスターラー等により、30〜120rpm程度に攪拌しながら、10〜30分間かけて滴下希釈する。
尚、本発明の前記式(1) 、(2) 、及び(3)、更には(4)を満足する感光性組成物を調製するのは、前述の(C)アルカリ可溶性樹脂、界面活性剤、溶剤等各成分の種類、量、組合せ等を選択し、界面活性剤の親水性・疎水性、親油性・疎油性、分子量と溶媒の極性のバランスを調整することによって、実現することが重要である。これらの調節は単に具体的な界面活性剤の分子構造等から推察できるというものではなく、組成物全体が前記式を満たすか否かにより特定されるものである。
本発明の感光性組成物において、(K)界面活性剤成分の含有割合は、感光性組成物の全量に対して、10重量%以下であるのが好ましく、0.001〜5重量%であるのが更に好ましい。
<Dilution method>
At room temperature, the same solvent as that used in the resin composition is added dropwise to the resin composition in the beaker while stirring and diluted. Specifically, for example, a magnetic stirrer or the like is added dropwise and diluted for 10 to 30 minutes while stirring at about 30 to 120 rpm.
The photosensitive composition satisfying the above formulas (1), (2), (3), and (4) of the present invention is prepared by the above-mentioned (C) alkali-soluble resin, surfactant. It is important to achieve this by selecting the type, amount, combination, etc. of each component, such as solvent, and adjusting the balance between the hydrophilicity / hydrophobicity of the surfactant, lipophilicity / oleophobicity, and the molecular weight and the polarity of the solvent. It is. These adjustments are not simply inferred from the specific molecular structure of the surfactant, but are determined by whether or not the entire composition satisfies the above formula.
In the photosensitive composition of the present invention, the content ratio of the (K) surfactant component is preferably 10% by weight or less, preferably 0.001 to 5% by weight, based on the total amount of the photosensitive composition. Is more preferable.

[1−4−8]その他添加剤
更に、本発明の感光性組成物は、各種添加剤、例えば、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、2,6−ジ−t−ブチル−p−クレゾール等の熱重合防止剤を、感光性組成物の全量に対して2重量%以下、ジオクチルフタレート、ジドデシルフタレート、トリクレジルホスフェート等の可塑剤を同じく40重量%以下、三級アミンやチオール等の感度特性改善剤を同じく10重量%以下、色素前駆体を同じく30重量%以下、及び非ハロゲン縮合リン酸エステル等の難燃剤(具体的には例えば大八化学社製芳香族縮合リン酸エステル「CR−733S」「CR−741」「CR−747」「PX−200」等が挙げられる)を同じく40重量%以下の割合で含有していてもよい。
[1-4-8] Other additives
Furthermore, the photosensitive composition of the present invention contains various additives such as hydropolymerization inhibitors such as hydroquinone, p-methoxyphenol, 2,6-di-t-butyl-p-cresol, and the like. 2% by weight or less of the total amount, plasticizers such as dioctyl phthalate, didodecyl phthalate, and tricresyl phosphate are similarly 40% by weight or less, and sensitivity property improvers such as tertiary amines and thiols are also 10% by weight or less. The precursor is also 30% by weight or less, and a flame retardant such as a non-halogen condensed phosphate (specifically, for example, aromatic condensed phosphates “CR-733S”, “CR-741”, “CR— 747 "," PX-200 ", etc.) may also be contained in a proportion of 40% by weight or less.

[1−5]分光感度特性及び最小露光量
本発明の感光性組成物は、通常340〜430nm、好ましくは350〜430nm、更に好ましくは355〜430nm、特に好ましくは360〜430nmの波長域に分光感度の極大ピークを有する。分光感度の極大ピークが短波長側に過ぎると、感光性組成物として波長340〜430nmのレーザー光に対する感度が劣る傾向となり、一方、分光感度の極大ピークが長波長側に過ぎると、黄色灯下でのセーフライト性が劣る傾向となる。
[1-5] Spectral sensitivity characteristics and minimum exposure
The photosensitive composition of the present invention usually has a maximum spectral sensitivity peak in the wavelength region of 340 to 430 nm, preferably 350 to 430 nm, more preferably 355 to 430 nm, and particularly preferably 360 to 430 nm. When the maximum peak of spectral sensitivity is on the short wavelength side, the sensitivity to laser light having a wavelength of 340 to 430 nm tends to be inferior as a photosensitive composition. On the other hand, when the maximum peak of spectral sensitivity is on the long wavelength side, It tends to be inferior in safe light property.

なお、本発明において、分光感度の極大ピークとは、例えば、「フォトポリマー・テクノロジー」(山岡亜夫著、昭和63年日刊工業新聞社発行、第262頁)等に詳述されているように、基板表面に光硬化性組成物層を形成した光硬化性画像形成材試料を、分光感度測定装置を用い、キセノンランプ又はタングステンランプ等の光源から分光した光を、横軸方向に露光波長が直線的に、縦軸方向に露光強度が対数的に変化するように設定して照射して露光した後、現像処理することにより、各露光波長の感度に応じた画像が得られ、その画像高さから画像形成可能な露光エネルギーを算出し、横軸に波長、縦軸にその露光エネルギーの逆数をプロットすることにより得られる分光感度曲線における極大ピークを指す。
具体的な測定例としては、例えば以下のものが挙げられる。
画像形成材を50×60mmの大きさに切り出したサンプルを、回折分光照射装置(ナルミ社製「RM−23」)を用い、キセノンランプ(ウシオ電機社製「UI−501C」)を光源として330〜650nmの波長域で分光した光を、横軸方向に露光波長が直線的に、縦軸方向に露光強度が対数的に変化するように設定して10秒間照射して露光する。
In the present invention, the maximum peak of spectral sensitivity is, for example, as described in detail in “Photopolymer Technology” (Akio Yamaoka, published by Nikkan Kogyo Shimbun, 1988, page 262), etc. Light spectrally divided from a light source such as a xenon lamp or a tungsten lamp using a photosensitivity image-forming material sample having a photocurable composition layer formed on the substrate surface is linearly exposed in the horizontal axis direction. In particular, the exposure intensity is set to change logarithmically in the vertical axis direction, and exposure is performed after irradiation, and then development processing is performed, whereby an image corresponding to the sensitivity of each exposure wavelength is obtained. The exposure energy capable of image formation is calculated from the above, and the maximum peak in the spectral sensitivity curve obtained by plotting the wavelength on the horizontal axis and the reciprocal of the exposure energy on the vertical axis is indicated.
Specific measurement examples include the following.
A sample obtained by cutting the image forming material into a size of 50 × 60 mm is 330 using a diffraction spectroscopic irradiation device (“RM-23” manufactured by Narumi) and a xenon lamp (“UI-501C” manufactured by USHIO INC.) As a light source. Exposure is performed by irradiating light dispersed in a wavelength region of ˜650 nm for 10 seconds while setting the exposure wavelength linearly in the horizontal axis direction and logarithmically changing the exposure intensity in the vertical axis direction.

次いで、30℃の1重量%炭酸ナトリウム水溶液を現像液として0.15MPaとなるように吹き付け、最小現像時間の2倍の時間でスプレー現像することにより、各露光波長の感度に応じた画像が得られる。その画像高さから画像形成可能な露光エネルギーを算出し、横軸に波長、縦軸にその露光エネルギーの逆数をプロットすることにより得られる分光感度曲線における極大ピークを読みとる。   Next, an image corresponding to the sensitivity of each exposure wavelength is obtained by spraying a 1% by weight sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C. as a developing solution to a pressure of 0.15 MPa and spray development in a time twice as long as the minimum developing time. It is done. The exposure energy capable of forming an image is calculated from the image height, and the maximum peak in the spectral sensitivity curve obtained by plotting the wavelength on the horizontal axis and the reciprocal of the exposure energy on the vertical axis is read.

また、本発明の感光性組成物は、波長410nmにおける画像形成可能な最小露光量〔S410 〕が50mJ/cm2 以下であるのが好ましく、30mJ/cm2 以下であるのが更に好ましく、20mJ/cm2 以下であるのが特に好ましい。この最小露光量〔S410 〕が多すぎると、レーザー光源の露光強度にもよるが、露光時間が長くなって実用性が低下する傾向となる。尚、この最小露光量〔S410 〕の下限は小さい程好ましいが、通常1mJ/cm2 以上である。 Further, the photosensitive composition of the present invention is preferably an image forming minimum exposure amount capable [S 410] is 50 mJ / cm 2 or less at a wavelength of 410 nm, further preferably at 30 mJ / cm 2 or less, 20 mJ / Cm 2 or less is particularly preferable. If this minimum exposure amount [S 410 ] is too large, the exposure time tends to be longer and the practicality tends to be lowered, depending on the exposure intensity of the laser light source. The lower limit of the minimum exposure amount [S 410 ] is preferably as small as possible, but is usually 1 mJ / cm 2 or more.

また、本発明の感光性組成物は、前記〔S410 〕の波長450nmにおける画像形成可能な最小露光量〔S450 (mJ/cm2 )〕に対する比〔S410 /S450 〕が0.1以下であるのが好ましく、0.05以下であるのが更に好ましい。この比〔S410 /S450 〕が大きすぎると、青紫色レーザー感光性と黄色灯下でのセーフライト性を両立させることが困難な傾向となる。 Further, the photosensitive composition of the present invention has a ratio [S 410 / S 450 ] of 0.1 to the minimum exposure amount [S 450 (mJ / cm 2 )] capable of forming an image at a wavelength of 450 nm of [S 410 ]. Or less, more preferably 0.05 or less. If this ratio [S 410 / S 450 ] is too large, it tends to be difficult to achieve both the blue-violet laser sensitivity and the safe light property under a yellow lamp.

また、本発明の感光性組成物は、波長450nm超過650nm以下の各波長における画像形成可能な最小露光量〔S450-650 (mJ/cm2 )〕の波長450nmにおける画像形成可能な最小露光量〔S450 (mJ/cm2 )〕に対する比〔S450-650 /S450 〕が1超過であるのが好ましい。この比〔S450-650 /S450 〕が前記範囲以下では、青紫色レーザー感光性と黄色灯下でのセーフライト性を両立させることが困難な傾向となる。 In addition, the photosensitive composition of the present invention has a minimum exposure amount capable of forming an image at a wavelength of 450 nm of a minimum exposure amount [S 450-650 (mJ / cm 2 )] capable of forming an image at each wavelength of 450 nm to 650 nm. The ratio [S 450-650 / S 450 ] to [S 450 (mJ / cm 2 )] is preferably more than 1. If this ratio [S 450-650 / S 450 ] is less than the above range, it tends to be difficult to achieve both blue-violet laser sensitivity and safe light performance under a yellow lamp.

尚、前記波長410nmにおける画像形成可能な最小露光量〔S410 〕、波長450nmにおける画像形成可能な最小露光量〔S450 〕、及び、波長450nm超過650nm以下の各波長における画像形成可能な最小露光量〔S450-650 (mJ/cm2 )〕は、前述した分光感度測定装置を用いての分光感度の極大ピークの測定において、得られる画像高さから算出される画像形成可能な露光エネルギーとして求められ、その際の、現像液の種類、現像温度、現像時間等の現像条件を変化させて決定される最適現像条件で画像を形成し得る最小露光量を意味し、その最適現像条件としては、通常、温度25〜40℃、pH11〜14のアルカリ現像液を0.1〜0.5MPaの圧力で0.5〜3分スプレーする条件が採られる。 It should be noted that the minimum exposure capable of forming an image at a wavelength of 410 nm [S 410 ], the minimum exposure capable of forming an image at a wavelength of 450 nm [S 450 ], and the minimum exposure capable of forming an image at a wavelength exceeding 450 nm and not more than 650 nm. The amount [S 450-650 (mJ / cm 2 )] is the exposure energy capable of forming an image calculated from the obtained image height in the measurement of the maximum peak of the spectral sensitivity using the spectral sensitivity measuring apparatus described above. This means the minimum exposure that can be formed under optimum development conditions determined by changing development conditions such as developer type, development temperature, development time, etc. Usually, a condition is employed in which an alkaline developer at a temperature of 25 to 40 ° C. and a pH of 11 to 14 is sprayed at a pressure of 0.1 to 0.5 MPa for 0.5 to 3 minutes.

[2]画像形成材料、画像形成材及び画像形成方法
本発明の感光性組成物は、本発明の画像形成材料を形成するのに用いることができる。画像形成材料は、通常、前記各成分を適当な溶剤に溶解或いは分散させた塗布液として、仮支持フィルム上に塗布し乾燥させ、必要に応じて、形成された感光性組成物層表面を被覆フィルムで覆うことにより形成される。この様な画像形成材料としては、例えばドライフィルムレジスト材等が挙げられる。
[2] Image forming material, image forming material, and image forming method
The photosensitive composition of the present invention can be used to form the image forming material of the present invention. The image forming material is usually coated on a temporary support film as a coating solution in which the above components are dissolved or dispersed in an appropriate solvent and dried, and if necessary, the surface of the formed photosensitive composition layer is coated. It is formed by covering with a film. Examples of such an image forming material include a dry film resist material.

また、上記画像形成材料は、更に本発明の画像形成材を形成するのに用いることができる。画像形成材は、通常、2タイプの作成方法がある。一つは、画像形成材料の感光性組成物層側を、被覆フィルムで覆われている場合にはその被覆フィルムを剥離して、被加工基板上に積層することにより作成される。もう一つは、以下の手順で作成される。(1)前記のネガ型青紫色レーザー感光性組成物の各成分を適当な溶剤に溶解或いは分散させた塗布液とする;(2)被加工基板上に直接に塗布し乾燥させる;(3)被加工基板上に本発明のネガ型青紫色レーザー感光性組成物の層が形成される。
更に、画像形成材は、以下の画像形成方法に好適に用いられる。即ち、画像形成材の感光性組成物層を、例えば波長340〜430nmのレーザー光により走査露光し、現像処理して画像を現出させる 。
The image forming material can be further used to form the image forming material of the present invention. There are usually two types of image forming materials. One is created by peeling the coating film on the photosensitive composition layer side of the image-forming material when it is covered with a coating film and laminating it on the substrate to be processed. The other is created by the following procedure. (1) A coating solution in which each component of the negative blue-violet laser-sensitive composition is dissolved or dispersed in an appropriate solvent; (2) directly coated on a substrate to be processed and dried; (3) A layer of the negative blue-violet laser photosensitive composition of the present invention is formed on the substrate to be processed.
Furthermore, the image forming material is suitably used in the following image forming method. That is, the photosensitive composition layer of the image forming material is scanned and exposed with a laser beam having a wavelength of 340 to 430 nm, for example, and developed to reveal an image.

[2−1]画像形成材料及び画像形成材
本発明の画像形成材料、特にドライフィルムレジスト材等に用いられる仮支持フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等の従来公知のフィルムが用いられる。該仮支持体フィルムは膜厚10〜30μm、ヘイズ値1.5%以下、直径10μm以上のアンチモン等の金属含有粒子またはその凝集体が10個/10cm以下であるものが好ましい。その際、それらのフィルムが画像形成材料の作製時に必要な耐溶剤性や耐熱性等を有しているものであるときは、それらの仮支持フィルム上に直接に感光性組成物塗布液を塗布し乾燥させて本発明の画像形成材料を作製することができ、又、それらのフィルムが耐溶剤性や耐熱性等の低いものであっても、例えば、ポリテトラフルオロエチレンフィルムや離型フィルム等の離型性を有するフィルム上に先ず感光性組成物層を形成した後、その層上に耐溶剤性や耐熱性等の低い仮支持フィルムを積層し、しかる後、離型性を有するフィルムを剥離することにより、本発明の画像形成材料を作製することも出来る。
また、感光層の転写性を高める目的で、例えばポリエチレンテレフタレートフィルム等の仮支持フィルム上に、厚さが通常10〜50μmのエチレン酢酸ビニル共重合体等の熱硬化性転写層を設けることも出来る。
[2-1] Image forming material and image forming material
As a temporary support film used for the image forming material of the present invention, particularly a dry film resist material, conventionally known films such as a polyethylene terephthalate film, a polyimide film, a polyamideimide film, a polypropylene film, and a polystyrene film are used. The temporary support film preferably has a film thickness of 10 to 30 μm, a haze value of 1.5% or less, and metal-containing particles such as antimony having a diameter of 10 μm or more or aggregates thereof of 10/10 cm 2 or less. At that time, when those films have the solvent resistance and heat resistance necessary for the production of the image forming material, the photosensitive composition coating solution is directly applied onto the temporary support film. Then, the image forming material of the present invention can be produced by drying, and even if those films have low solvent resistance or heat resistance, for example, polytetrafluoroethylene film, release film, etc. First, a photosensitive composition layer is formed on a film having releasability, and a temporary support film having low solvent resistance and heat resistance is laminated on the layer, and then a film having releasability is formed. By peeling, the image forming material of the present invention can be produced.
Further, for the purpose of enhancing the transferability of the photosensitive layer, a thermosetting transfer layer such as an ethylene vinyl acetate copolymer having a thickness of usually 10 to 50 μm can be provided on a temporary support film such as a polyethylene terephthalate film. .

又、塗布液に用いられる溶剤としては、使用成分に対して十分な溶解度を持ち、良好な塗膜性を与えるものであれば特に制限はないが、例えば、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート等のセロソルブ系溶剤、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテ
ル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールジメチルエーテル等のプロピレングリコール系溶剤、酢酸ブチル、酢酸アミル、酪酸エチル、酪酸ブチル、ジエチルオキサレート、ピルビン酸エチル、エチル−2−ヒドロキシブチレート、エチルアセトアセテート、乳酸メチル、乳酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル等のエステル系溶剤、ヘプタノール、ヘキサノール、ジアセトンアルコール、フルフリルアルコール等のアルコール系溶剤、シクロヘキサノン、メチルアミルケトン等のケトン系溶剤、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等の高極性溶剤、及びこれらの混合溶剤、更にはこれらに芳香族炭化水素を添加したもの等が挙げられる。溶剤の使用割合は、光硬化性組成物の各成分の総量に対して、通常、重量比で1〜20倍程度の範囲である。
The solvent used in the coating solution is not particularly limited as long as it has sufficient solubility for the components used and gives good coating properties. For example, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, methyl cellosolve acetate Cellosolve solvents such as ethyl cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate, dipropylene glycol dimethyl ether, etc. Propylene glycol solvents, butyl acetate, amyl acetate, ethyl butyrate, butyl butyrate, diethyl oxalate, ethyl pyruvate Ester solvents such as ethyl-2-hydroxybutyrate, ethyl acetoacetate, methyl lactate, ethyl lactate, methyl 3-methoxypropionate, alcohol solvents such as heptanol, hexanol, diacetone alcohol, furfuryl alcohol, cyclohexanone, Examples thereof include ketone solvents such as methyl amyl ketone, highly polar solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide, and N-methylpyrrolidone, mixed solvents thereof, and those obtained by adding aromatic hydrocarbons thereto. The use ratio of the solvent is usually in the range of about 1 to 20 times by weight with respect to the total amount of each component of the photocurable composition.

又、その塗布方法としては、従来公知の方法、例えば、回転塗布、ワイヤーバー塗布、スプレー塗布、ディップ塗布、エアーナイフ塗布、ロール塗布、ブレード塗布、スクリーン塗布、及びカーテン塗布等を用いることができる。その際の塗布量は、後述する画像形成、及びそれに引き続くエッチングやメッキ等の加工性等の面から、乾燥膜厚として5μm以上であるのが好ましく、10μm以上であるのが更に好ましく、又、感度等の面から、200μm以下であるのが好ましく、100μm 以下であるのが更に好ましい。尚、その際の乾燥温度は、例えば、30〜150℃程度、好ましくは40〜110℃程度である。乾燥時間は、例えば、5秒〜60分間程度、好ましくは10秒〜30分間程度である。   As the coating method, conventionally known methods such as spin coating, wire bar coating, spray coating, dip coating, air knife coating, roll coating, blade coating, screen coating, and curtain coating can be used. . The coating amount at that time is preferably 5 μm or more, more preferably 10 μm or more, as a dry film thickness, from the viewpoint of image formation to be described later, and subsequent workability such as etching and plating. In terms of sensitivity and the like, the thickness is preferably 200 μm or less, and more preferably 100 μm or less. In addition, the drying temperature in that case is about 30-150 degreeC, for example, Preferably it is about 40-110 degreeC. The drying time is, for example, about 5 seconds to 60 minutes, preferably about 10 seconds to 30 minutes.

又、ドライフィルムレジスト材等としての画像形成材料として用いられる場合には、その画像形成材料が被加工基板に積層されるまでの間、形成された光感光性組成物層表面を被覆フィルムで覆うことが好ましく、その被覆フィルムとしては、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエステルフィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルム等の従来公知のフィルムが用いられる。具体的には、例えば三菱ポリエステル社製40μm膜厚ポリエステルフィルム「S120」等が好ましく用いられる。また、該被覆フィルムは、膜厚が10〜50μm、直径80μm以上のフィッシュアイが10個/m以下であるものが好ましく、中心線平均粗さ(Ra)が0.1μmであるものが好ましい。 When used as an image forming material as a dry film resist material or the like, the surface of the formed photosensitive composition layer is covered with a coating film until the image forming material is laminated on a substrate to be processed. It is preferable that a conventionally known film such as a polyethylene film, a polypropylene film, a polyester film, or a polytetrafluoroethylene film is used as the covering film. Specifically, for example, a 40 μm-thickness polyester film “S120” manufactured by Mitsubishi Polyester is preferably used. Further, the coated film preferably has a film thickness of 10 to 50 μm, fish eyes having a diameter of 80 μm or more and 10 pieces / m 2 or less, and preferably has a center line average roughness (Ra) of 0.1 μm. .

又、前記画像形成材料の感光性組成物層側を、被覆フィルムで覆われている場合には、その被覆フィルムを剥離して、加熱、加圧等して積層することにより、又は、前記感光性組成物塗布液を直接に塗布し乾燥させることにより、本発明の画像形成材を作製する。その場合、被加工基板は、その上に形成される感光性組成物層をレーザー光等により露光し現像処理することによって現出されたネガ画像をレジストとしてエッチング加工、メッキ加工、或いはソルダー加工等することにより、その表面に回路や電極等のパターンが形成されるものであり、銅、アルミニウム、金、銀、クロム、亜鉛、錫、鉛、ニッケル等の金属板そのものであってもよいが、通常、例えば、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ビスマレイミド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂等の熱硬化性樹脂、飽和ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスルホン樹脂、アクリル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリオレフィン樹脂、弗素樹脂等の熱可塑性樹脂等の樹脂、紙、ガラス、及び、アルミナ、シリカ、硫酸バリウム、炭酸カルシウム等の無機物、又は、ガラス布基材エポキシ樹脂、ガラス不織布基材エポキシ樹脂、紙基材エポキシ樹脂、紙基材フェノール樹脂等の複合材料等からなり、その厚さが0.02〜10mm程度の絶縁性支持体表面に、前記金属或いは酸化インジウム、酸化錫、酸化インジウムドープ酸化錫等の金属酸化物等の金属箔を加熱、圧着ラミネートするか、金属をスパッタリング、蒸着、メッキする等の方法により、その厚さが1〜100μm程度の導電層を形成した金属張積層板が、好ましく用いられる。   Further, when the photosensitive composition layer side of the image forming material is covered with a coating film, the coating film is peeled off and laminated by heating, pressurizing, or the like. The image-forming material of the present invention is produced by directly applying and drying the coating composition liquid. In that case, the substrate to be processed is etched, plated, or soldered using a negative image that has been exposed by developing and exposing the photosensitive composition layer formed thereon with a laser beam or the like. By doing so, patterns such as circuits and electrodes are formed on the surface, and may be a metal plate itself such as copper, aluminum, gold, silver, chromium, zinc, tin, lead, nickel, Usually, for example, thermosetting resins such as epoxy resins, polyimide resins, bismaleimide resins, unsaturated polyester resins, phenol resins, melamine resins, saturated polyester resins, polycarbonate resins, polysulfone resins, acrylic resins, polyamide resins, polystyrene resins, Trees made of thermoplastic resins such as polyvinyl chloride resin, polyolefin resin, and fluorine resin , Paper, glass, and inorganic materials such as alumina, silica, barium sulfate, calcium carbonate, or composites of glass cloth base epoxy resin, glass nonwoven base epoxy resin, paper base epoxy resin, paper base phenol resin, etc. A metal foil made of a material such as metal oxide such as indium oxide, tin oxide, indium oxide doped tin oxide is heated and pressure-bonded on the surface of an insulating support having a thickness of about 0.02 to 10 mm. A metal-clad laminate in which a conductive layer having a thickness of about 1 to 100 μm is formed by laminating or by sputtering, vapor deposition, or plating a metal is preferably used.

尚、前記感光性組成物塗布液を直接に塗布し乾燥させることにより、本発明の画像形成材を作製した場合には、前述の如くして前記被加工基板上に形成された前記感光性組成物層上に、感光性組成物の酸素による重合禁止作用を防止する等のために、感光性組成物層上に、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリエチレンオキサイド、メチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、ヒドロキシメチルセルロース等の溶液を塗布し乾燥させることにより保護層が形成されてもよい。   When the image forming material of the present invention is produced by directly applying and drying the photosensitive composition coating solution, the photosensitive composition formed on the substrate to be processed as described above. A solution of polyvinyl alcohol, polyvinyl pyrrolidone, polyethylene oxide, methylcellulose, carboxymethylcellulose, hydroxymethylcellulose, etc. on the photosensitive composition layer in order to prevent polymerization inhibiting action due to oxygen of the photosensitive composition on the physical layer. The protective layer may be formed by applying and drying.

以上の如くして被加工基板上に積層された感光性組成物層を構成する本発明の感光性組成物は、前記(A)成分のエチレン性不飽和基含有化合物、前記(B)成分の光重合開始剤、及び前記(C)成分のアルカリ可溶性樹脂、並びに、必要に応じて用いられる前記(D)〜(I) 成分等を含有している。前記(D) 成分が、粒子径5μm以下の粒子が全粒子の50%以上を占める微粒子状で前記(A)〜(C)成分を含有する他成分中に分散していることが好ましく、粒子径5μm以下の粒子が全粒子の80%以上を占める微粒子状で分散しているのが好ましく、粒子径3μm以下の粒子が全粒子の80%以上を占める微粒子状で分散しているのが特に好ましい。   The photosensitive composition of the present invention constituting the photosensitive composition layer laminated on the substrate to be processed as described above is composed of the (A) component containing an ethylenically unsaturated group and the (B) component. It contains a photopolymerization initiator, the alkali-soluble resin of the component (C), and the components (D) to (I) used as necessary. The component (D) is preferably dispersed in the other components containing the components (A) to (C) in the form of fine particles in which particles having a particle diameter of 5 μm or less occupy 50% or more of the total particles. Particles having a diameter of 5 μm or less are preferably dispersed in the form of fine particles occupying 80% or more of the total particles, and particles having a particle diameter of 3 μm or less are particularly preferably dispersed in the form of fine particles occupying 80% or more of the total particles. preferable.

前記(D)成分の分散状態が前記微粒子状以外では、感光性組成物としての経時安定性が劣ることとなるか、基板に対する密着性が劣ることとなって、本発明の目的を達成できない。
本発明において、(D)成分を前記の如く微粒子状で分散せしめるには、例えば、前記(D)成分をミルロール等による機械的剪断応力下で前記微粒子状に微粉砕した後、他の各成分と共に塗布溶剤に分散させてもよいが、前記(D)成分を前記(C)成分のアルカリ可溶性樹脂と共に、ミルロール等による機械的剪断応力下で前記微粒子状に微粉砕した後、他の各成分と共に塗布溶剤に分散させる方法を採るのが好ましい。
If the dispersion state of the component (D) is not in the form of fine particles, the stability over time as the photosensitive composition will be inferior, or the adhesion to the substrate will be inferior, and the object of the present invention cannot be achieved.
In the present invention, in order to disperse the component (D) in the form of fine particles as described above, for example, the component (D) is finely pulverized into the fine particles under mechanical shearing stress by a mill roll or the like, and then the other components. The component (D) may be dispersed together with the alkali-soluble resin of the component (C) and finely pulverized into the fine particles under mechanical shear stress by a mill roll or the like, and then the other components. In addition, it is preferable to adopt a method of dispersing in a coating solvent.

[2−2]画像形成方法
そして、本発明の感光性組成物層を被加工基板上に有する本発明の前記画像形成材は、前記画像形成材料により感光性組成物層が形成されている場合には仮支持フィルムを剥離した後、又は、感光性組成物塗布液を直接に塗布し乾燥させることにより感光性組成物層が形成されている場合であって、前記保護層等を有する場合にはその保護層等を剥離した後、その感光性組成物層を、レーザー光を露光光源として走査露光した後、現像処理することにより、前記被加工基板上にネガ画像が形成される。
[2-2] Image forming method
And the said image forming material of this invention which has the photosensitive composition layer of this invention on a to-be-processed substrate peeled the temporary support film, when the photosensitive composition layer is formed with the said image forming material. After, or when the photosensitive composition layer is formed by directly applying and drying the photosensitive composition coating liquid and having the protective layer, the protective layer and the like are peeled off Thereafter, the photosensitive composition layer is subjected to scanning exposure using a laser beam as an exposure light source and then developed to form a negative image on the substrate to be processed.

その露光光源としては、カーボンアーク灯、水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプ、蛍光ランプ、タングステンランプ、ハロゲンランプ、及び、HeNeレーザー、アルゴンイオンレーザー、YAGレーザー、HeCdレーザー、半導体レーザー、ルビーレーザー等のレーザー光源が挙げられるが、特に、波長域340〜430nmの紫外から青紫色領域のレーザー光を発生する光源が好ましく、その中心波長が約405nmのものであるのが更に好ましい。具体的には、405nmの中心波長を発振する窒化インジウムガリウム半導体レーザー等が挙げられる。   As the exposure light source, carbon arc lamp, mercury lamp, xenon lamp, metal halide lamp, fluorescent lamp, tungsten lamp, halogen lamp, and laser such as HeNe laser, argon ion laser, YAG laser, HeCd laser, semiconductor laser, ruby laser, etc. Although a light source is mentioned, the light source which generate | occur | produces the laser beam of the ultraviolet region of the wavelength range of 340-430 nm to the ultraviolet to blue violet region is preferable, and it is still more preferable that the center wavelength is about 405 nm. Specific examples include an indium gallium nitride semiconductor laser that oscillates at a center wavelength of 405 nm.

又、レーザー光源による走査露光方法は、特に限定されるものではないが、例えば、平面走査露光方式、外面ドラム走査露光方式、内面ドラム走査露光方式等が挙げられ、走査露光条件としては、レーザーの出力光強度を、好ましくは1〜100mW、更に好ましくは3〜70mW、発振波長を、好ましくは355〜430nm、更に好ましくは400〜420nm、ビームスポット径を、好ましくは2〜30μm、更に好ましくは4〜20μm、走査速度を、好ましくは50〜500m/秒、更に好ましくは100〜400m/秒、走査密度を、好ましくは2,000dpi以上、更に好ましくは4,000dpi以上として、走査露光する。   The scanning exposure method using a laser light source is not particularly limited, and examples thereof include a plane scanning exposure method, an outer drum scanning exposure method, an inner drum scanning exposure method, and the like. The output light intensity is preferably 1 to 100 mW, more preferably 3 to 70 mW, the oscillation wavelength is preferably 355 to 430 nm, more preferably 400 to 420 nm, and the beam spot diameter is preferably 2 to 30 μm, more preferably 4 Scan exposure is performed at a scanning speed of ˜20 μm, a scanning speed of preferably 50 to 500 m / second, more preferably 100 to 400 m / second, and a scanning density of preferably 2,000 dpi or more, more preferably 4,000 dpi or more.

又、前記レーザー走査露光後の現像処理は、好ましくはアルカリ成分と界面活性剤とを含有する水性現像液を用いてなされる。そのアルカリ成分としては、例えば、珪酸ナトリウム、珪酸カリウム、珪酸リチウム、珪酸アンモニウム、メタ珪酸ナトリウム、メタ珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、炭酸ナトリウム、重炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、第二燐酸ナトリウム、第三燐酸ナトリウム、第二燐酸アンモニウム、第三燐酸アンモニウム、硼酸ナトリウム、硼酸カリウム、硼酸アンモニウム等の無機アルカリ塩、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、モノブチルアミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン等の有機アミン化合物等が挙げられ、その0.1〜5重量%程度の濃度で用いられる。   The development after the laser scanning exposure is preferably performed using an aqueous developer containing an alkali component and a surfactant. Examples of the alkali component include sodium silicate, potassium silicate, lithium silicate, ammonium silicate, sodium metasilicate, potassium metasilicate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, lithium hydroxide, sodium carbonate, sodium bicarbonate, potassium carbonate, Inorganic alkali salts such as dibasic sodium phosphate, tribasic sodium phosphate, dibasic ammonium phosphate, tribasic ammonium phosphate, sodium borate, potassium borate, ammonium borate, monomethylamine, dimethylamine, trimethylamine, monoethylamine, diethylamine, triethylamine, mono Isopropylamine, diisopropylamine, monobutylamine, monoethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, monoisopropanolamine, diisopropanolamine Organic amine compounds and the like, and used at a concentration of about 0.1 to 5 wt%.

又、界面活性剤としては、前記感光性組成物において挙げたと同様の界面活性剤が挙げられ、中で、ノニオン性、アニオン性、又は両性界面活性剤が好ましく、特に両性界面活性剤、就中、ベタイン型化合物類が好ましい。尚、前記界面活性剤は、好ましくは0.0001〜20重量%、更に好ましくは0.0005〜 10重量%、特に好ましくは0.001〜5重量%の濃度で用いられる。   Examples of the surfactant include the same surfactants as mentioned in the photosensitive composition, and among them, nonionic, anionic, or amphoteric surfactants are preferable. Betaine type compounds are preferred. The surfactant is preferably used at a concentration of 0.0001 to 20% by weight, more preferably 0.0005 to 10% by weight, and particularly preferably 0.001 to 5% by weight.

更に、現像液には、例えば、イソプロピルアルコール、ベンジルアルコール、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、フェニルセロソルブ、プロピレングリコール、ジアセトンアルコール等の有機溶剤を必要に応じて含有させることができる。又、現像液のpHは、9〜14 とするのが好ましく、11〜14とするのが更に好ましい。
尚、現像は、通常、前記現像液に画像形成材を浸漬するか、画像形成材に前記現像液をスプレーする等の公知の現像法により、好ましくは10〜50℃程度、更に好ましくは20〜40℃程度の温度で、5秒〜10分程度の時間でなされる。又、現像処理後、硬化物として形成されたネガ画像のレジストとしての耐熱性や耐薬品性等を向上させるため、例えば140〜160℃程度の温度で10分間〜1時間加熱処理することが好ましい。また、必要に応じ加熱処理前に前記の露光光源を用い、50〜1000mJ/cmの全面露光を行うこともできる。
Furthermore, the developing solution can contain an organic solvent such as isopropyl alcohol, benzyl alcohol, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, phenyl cellosolve, propylene glycol, diacetone alcohol, if necessary. Further, the pH of the developer is preferably 9 to 14, and more preferably 11 to 14.
The development is usually about 10 to 50 ° C., more preferably 20 to 20 ° C., by a known development method such as immersing the image forming material in the developer or spraying the developer on the image forming material. It is performed at a temperature of about 40 ° C. for a time of about 5 seconds to 10 minutes. Further, after the development processing, in order to improve heat resistance and chemical resistance as a resist of a negative image formed as a cured product, for example, it is preferable to perform heat treatment at a temperature of about 140 to 160 ° C. for 10 minutes to 1 hour. . Further, if necessary, the entire surface exposure of 50 to 1000 mJ / cm 2 can be performed using the exposure light source before the heat treatment.

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist.

[1]実施例1、2、比較例1
[1−1]ソルダーレジスト用感光性画像形成材料の作成
[1−1−1]実施例1
下記表1に記載の(b1−1)成分以外の成分及びイソブチルメチルアセテート(MIBK)溶液20重量部をペイントシェーカーより分散処理を行い、感光性組成物溶液(PA1)を得た。
次に下記の(b1−1)成分の難溶解性光重合開始剤分散溶液、(b2)成分の下記式
で表される硫黄原子を含有するベンゾフェノン化合物(b2−1)及び感光性組成物溶液(PA1)を混合し、超音波分散機により10分間攪拌し塗布溶液を得た。
[1] Examples 1 and 2 and Comparative Example 1
[1-1] Preparation of photosensitive image forming material for solder resist
[1-1-1] Example 1
Components other than the component (b1-1) listed in Table 1 below and 20 parts by weight of isobutyl methyl acetate (MIBK) solution were subjected to dispersion treatment with a paint shaker to obtain a photosensitive composition solution (PA1).
Next, a hardly soluble photopolymerization initiator dispersion solution of the following component (b1-1), a benzophenone compound (b2-1) containing a sulfur atom represented by the following formula of the component (b2), and a photosensitive composition solution (PA1) was mixed and stirred with an ultrasonic disperser for 10 minutes to obtain a coating solution.

Figure 2007199135
Figure 2007199135

次に、前述の調液した塗布液を、仮支持フィルムとしてのポリエチレンテレフタレートフィルム(厚み19μm)上に、ワイヤーバーを用いて乾燥膜厚が40μmとなる量で塗布し、80 ℃のオーブンで5分間乾燥させ、形成された感光性組成物層上に、被覆フィ
ルムとしてのポリエチレンフィルム(厚み25μm) を積層し感光性画像形成材料を作
製した。
Next, the above-prepared coating solution is applied onto a polyethylene terephthalate film (thickness 19 μm) as a temporary support film in an amount that gives a dry film thickness of 40 μm using a wire bar, and 5% in an oven at 80 ° C. A polyethylene film (thickness 25 μm) as a coating film was laminated on the photosensitive composition layer formed by drying for a minute to prepare a photosensitive image forming material.

[1−1−2]実施例2
実施例1において、光重合開始剤(b1−1)成分の代わりに溶剤に可溶性のオキシム開始剤(b1−3)を用いた外は同様に感光性画像形成材料を作成した(下記表1参照)。
[1−1−3]比較例1
実施例1において、光重合開始剤(b1−1)の代わりに光重合開始剤(b1−2)を用いた外は同様に感光性画像形成材料を作成した(下記表1参照)。
[1-1-2] Example 2
In Example 1, a photosensitive image-forming material was prepared in the same manner except that the oxime initiator (b1-3) soluble in a solvent was used instead of the photopolymerization initiator (b1-1) component (see Table 1 below). ).
[1-1-3] Comparative Example 1
In Example 1, a photosensitive image forming material was prepared in the same manner except that the photopolymerization initiator (b1-2) was used instead of the photopolymerization initiator (b1-1) (see Table 1 below).

Figure 2007199135
Figure 2007199135

*)(b1−1)(b1−2)(b1−3)の含有量は、オキシム開始剤の化合物のみの量を示す。
(A1)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
(B1)1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノ−2−メチル−プロパン−1−オン
(b1−1)下記式で表される光重合開始剤(吸収極大383nm)、アルカリ可溶性樹脂(C1)とイソブチルメチルケトン(MIBK)(重量比 40:30:30重量比)になるように混合した後、アイメックス社製サンドグラインダー(RMH−03型)により分散処理を行い、平均粒子径0.4μmに分散された光重合開始剤分散液。
*) The content of (b1-1) (b1-2) (b1-3) indicates the amount of only the oxime initiator compound.
(A1) Dipentaerythritol hexaacrylate
(B1) 1- (4-Methylthiophenyl) -2-morpholino-2-methyl-propan-1-one
(B1-1) Photopolymerization initiator represented by the following formula (absorption maximum 383 nm), alkali-soluble resin (C1) and isobutyl methyl ketone (MIBK) (weight ratio 40:30:30 weight ratio) After that, a photopolymerization initiator dispersion liquid dispersed in an average particle size of 0.4 μm by performing a dispersion treatment with a sand grinder (RMH-03 type) manufactured by Imex Corporation.

Figure 2007199135
Figure 2007199135

なお、上記光重合開始剤の平均粒子径は、日機装社製レーザー回折散乱型粒度分布測定装置(MT3300EX)を用い測定を行った。
また、上記光重合開始剤分散液を仮支持フィルムとしてのポリエチレンテレフタレートフィルム(厚み19μm) 上に、ワイヤーバーを用いて乾燥膜厚が40μmとなる量で
塗布し、80 ℃のオーブンで5分間乾燥させた塗布試料について、デジタル測長装置を
有するニコン社製光学顕微鏡「L−200」を用いて、塗布膜中の光重合開始剤の粒子径を測定したところ70%以上の光重合開始剤の粒子径が2μm以下であった。
(b1−2)下記式で表される光重合開始剤、及びアルカリ可溶性樹脂(C1)を重量比40:30になるように混合した後、三本ロールミルにより混練処理を行った光重合開始剤分散液。
In addition, the average particle diameter of the said photoinitiator was measured using the Nikkiso Co., Ltd. laser diffraction scattering type particle size distribution measuring apparatus (MT3300EX).
Also, the photopolymerization initiator dispersion is applied on a polyethylene terephthalate film (thickness 19 μm) as a temporary support film in an amount that gives a dry film thickness of 40 μm using a wire bar, and dried in an oven at 80 ° C. for 5 minutes. When the particle diameter of the photopolymerization initiator in the coating film was measured using a Nikon optical microscope “L-200” having a digital length measuring device, the coating sample thus prepared had a photopolymerization initiator of 70% or more. The particle size was 2 μm or less.
(B1-2) A photopolymerization initiator represented by the following formula and an alkali-soluble resin (C1) mixed at a weight ratio of 40:30, and then kneaded with a three-roll mill. Dispersion.

Figure 2007199135
Figure 2007199135

なお、上記光重合開始剤の平均粒子径を日機装社製レーザー回折散乱型粒度分布測定装置(MT3300EX)を用い測定したところ、粒子径が200μm以上の沈降粒子が多数存在したため測定不能であった。
なお、上記光重合開始剤分散液を仮支持フィルムとしてのポリエチレンテレフタレートフィルム(厚み19μm) 上に、ワイヤーバーを用いて乾燥膜厚が40μmとなる量で
塗布し、80 ℃のオーブンで5分間乾燥させた塗布試料について、デジタル測長装置を
有するニコン社製光学顕微鏡「L−200」を用いて、塗布膜中の光重合開始剤の粒子径を測定したところ、70%以上の光重合開始剤の粒子径が170μm以上であった。
(b1−3)下記式で表される光重合開始剤(吸収極大383nm)
In addition, when the average particle diameter of the said photoinitiator was measured using the Nikkiso Co., Ltd. laser diffraction scattering type particle size distribution measuring apparatus (MT3300EX), it was impossible to measure because there were many precipitated particles having a particle diameter of 200 μm or more.
The above photopolymerization initiator dispersion was applied on a polyethylene terephthalate film (thickness 19 μm) as a temporary support film in an amount to give a dry film thickness of 40 μm using a wire bar, and dried in an oven at 80 ° C. for 5 minutes. When the particle diameter of the photopolymerization initiator in the coating film was measured with a Nikon optical microscope “L-200” having a digital length measuring device, the photopolymerization initiator was 70% or more. The particle size of was 170 μm or more.
(B1-3) Photopolymerization initiator represented by the following formula (absorption maximum 383 nm)

Figure 2007199135
Figure 2007199135

(C1)下記の構成繰返し単位の、不飽和基及びカルボキシル基含有エポキシ樹脂(酸価100KOH・mg/g、重量平均分子量5,000、昭和高分子社製「PR−300PG」)のイソプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMA)溶液(固形分63重量%)
(C2)下記の構成繰返し単位の、不飽和基及びカルボキシル基含有エポキシ樹脂(酸価100KOH・mg/g、重量平均分子量4,000、日本化薬社製「カヤラッドZAR−1527」)のイソブチルメチルケトン(MIBK)溶液(固形分濃度70重量%)
(C1) Isopropylene glycol of unsaturated group and carboxyl group-containing epoxy resin (acid value 100 KOH · mg / g, weight average molecular weight 5,000, “PR-300PG” manufactured by Showa Polymer Co., Ltd.) having the following constitutional repeating units Monomethyl ether acetate (PGMA) solution (solid content 63% by weight)
(C2) Isobutylmethyl of an unsaturated group and carboxyl group-containing epoxy resin (acid value 100 KOH · mg / g, weight average molecular weight 4,000, “Kayarad ZAR-1527” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) having the following constitutional repeating unit Ketone (MIBK) solution (solid content: 70% by weight)

Figure 2007199135
Figure 2007199135

(D1) クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(重量平均分子量4,000、ジャパン エポキシレジン社製「180S70」)
(E1) メタノール変性メラミン化合物(三和ケミカル社の「ニカラック」(登録商標 )MW100LM)
(I1)タルク
(I2) 硫酸バリウム
(J1)フタロシアニンブルー
(K1)ビックケミカル社製界面活性剤「BYK330」
(D1) Cresol novolac type epoxy resin (weight average molecular weight 4,000, “180S70” manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.)
(E1) Methanol-modified melamine compound (“Nikarak” (registered trademark) MW100LM from Sanwa Chemical Co., Ltd.)
(I1) Talc
(I2) Barium sulfate
(J1) Phthalocyanine blue
(K1) Surfactant "BYK330" manufactured by Big Chemical Company

[1−2]画像形成材の作成
厚み35μmの銅箔を貼り合わせたポリイミド樹脂の銅張積層基板(厚み1.5mm、大きさ250mm×200mm) の銅箔表面を、住友スリーエム社製「スコッチブラ イトSF」を用いてバフロール研磨し、水洗し、空気流で乾燥させて整面し、次いで、これをオーブンで60℃ に予熱した後、その銅張積層板の銅箔上に、前記で得られた感光性
画像形成材料を、そのポリエチレンフィルムを剥離しながらその剥離面で、ハンド式ロールラミネーターを用いて、ロール温度100℃、ロール圧0.3MPa、ラミネート速度1.5m/分でラミネートすることにより、銅張積層基板上に感光性組成物層が形成された画像形成材を製造した。
[1-2] Creation of image forming material
The copper foil surface of a polyimide resin copper-clad laminate (thickness 1.5 mm, size 250 mm × 200 mm) bonded with a 35 μm thick copper foil is buffed with “Scotchlite SF” manufactured by Sumitomo 3M Limited. After washing with water and drying with an air stream, the surface is then preheated to 60 ° C. in an oven, and the photosensitive image-forming material obtained above is placed on the copper foil of the copper-clad laminate. While peeling the polyethylene film, using a hand-type roll laminator on the peeling surface, laminating at a roll temperature of 100 ° C., a roll pressure of 0.3 MPa, and a laminating speed of 1.5 m / min on the copper-clad laminate. An image forming material on which a photosensitive composition layer was formed was produced.

[1−3]レーザー露光感度
得られた画像形成材の感光性組成物層について、以下に示す方法で露光感度を測定した。結果を表1に示す。即ち、得られた画像形成材の感光性組成物層を、直径7cmのアルミニウム製シリンダー上に固定し、毎分10〜100回転で回転数を変化させながら、中心波長405nm、レーザー出力5mWのレーザー光源(日亜化学工業社製「NLHV500C」)を用いて、像面照度2mW、ビームスポット径20μmで、ビーム走査間隔及び走査速度を変えながら走査露光し、次いで、30℃の1重量%炭酸ナトリウム水溶液を現像液として0.15MPaとなるように吹き付け、最小現像時間の2倍の時間でスプレー現像することによりネガ画像を現出させた。得られた画像について、20μmの線幅が再現するのに要する露光量を求め、青紫色レーザーに対する感度とした。
[1-3] Laser exposure sensitivity
About the photosensitive composition layer of the obtained image forming material, the exposure sensitivity was measured by the method shown below. The results are shown in Table 1. That is, the photosensitive composition layer of the obtained image forming material is fixed on an aluminum cylinder having a diameter of 7 cm, and a laser having a center wavelength of 405 nm and a laser output of 5 mW while changing the rotation speed at 10 to 100 revolutions per minute. Using a light source (“NLHV500C” manufactured by Nichia Corporation), scanning exposure was performed with an image surface illuminance of 2 mW and a beam spot diameter of 20 μm while changing the beam scanning interval and scanning speed, and then 1 wt% sodium carbonate at 30 ° C. An aqueous solution was sprayed as a developing solution to a pressure of 0.15 MPa, and a negative image was revealed by spray development in a time twice as long as the minimum development time. With respect to the obtained image, an exposure amount required for reproducing a line width of 20 μm was obtained and set as sensitivity to a blue-violet laser.

[1−4]分光感度の極大ピーク
更に、以下に示す方法で分光感度の極大ピークを測定したところ、約400nmであった。
画像形成材を50×60 mmの大きさに切り出したサンプルを、回折分光照射装置(ナルミ社製「RM−23」)を用い、キセノンランプ(ウシオ電機社製「UI−501C」)を光源として340 〜650nmの波長域で分光した光を、横軸方向に露光波長が 直線的に、縦軸方向に露光強度が対数的に変化するように設定して10秒間照射して露光し、次いで、30℃の1重量%炭酸ナトリウム水溶液を現像液として0.15MPaとなるように吹き付け、最小現像時間の2倍の時間でスプレー現像することにより、各露光波長の感度に応じた画像が得られ、その画像高さから画像形成可能な露光エネルギーを算出し、横軸に波長、縦軸にその露光エネルギーの逆数をプロットすることにより得られる分光感度曲線における極大ピークを読み取った。
[1-4] Maximum peak of spectral sensitivity
Furthermore, when the maximum peak of spectral sensitivity was measured by the method shown below, it was about 400 nm.
A sample obtained by cutting an image forming material into a size of 50 × 60 mm is used with a diffraction spectroscopic irradiation device (“RM-23” manufactured by Narumi) and a xenon lamp (“UI-501C” manufactured by USHIO INC.) As a light source. The light split in the wavelength range of 340 to 650 nm was exposed by irradiating for 10 seconds with the exposure wavelength linearly changing in the horizontal axis direction and the exposure intensity changing logarithmically in the vertical axis direction. By spraying a 1 wt% sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C. as a developing solution to 0.15 MPa and spray developing in a time twice as long as the minimum developing time, an image corresponding to the sensitivity of each exposure wavelength is obtained, Calculate the exposure energy that can be formed from the image height, plot the wavelength on the horizontal axis, and the reciprocal of the exposure energy on the vertical axis. It took only.

[1−5]〔S410 〕、〔S410 /S450 〕、及び〔S450-650/S450
又、以下に示す方法で、波長410nmにおける画像形成可能な最小露光量〔S410 (mJ/cm2)〕を測定したところ、表1の通りであった。又、波長410nmにおける画像形成可能な該最小露光量〔S410 〕の波長450nmにおける画像形成可能な最小露光量〔S450 (mJ/cm2)〕に対する比〔S410 /S450 〕、及び波長450nm超
過650nm以下の各波長における画像形成可能な最小露光量〔S450-650 (mJ/cm2)〕の波長450nmにおける画像形成可能な最小露光量〔S450 (mJ/cm2)〕に対する比〔S450-650 /S450 〕を測定し、以下の基準で評価したところ、表1の通りであった。
前記と同様にして340〜650nmの波長域で波長を変化させて露光し、現像したときの、波長410nmにおける画像形成可能な最小露光量〔S410 (mJ/cm2)〕と
波長450nmにおける画像形成可能な最小露光量〔S450 (mJ/cm2) 〕、及び、波長450nm超過650nm以下の各波長における画像形成可能な最小露光量〔S450-
650(mJ/cm2)〕をそれぞれ求め、その比〔S410 /S450 〕、及び〔S450-650 /S450 〕を算出し、以下の基準で評価した。
[1-5] [S 410], [S 410 / S 450], and [S 450-650 / S 450]
Further, when the minimum exposure amount [S 410 (mJ / cm 2 )] capable of forming an image at a wavelength of 410 nm was measured by the method shown below, it was as shown in Table 1. Further, the ratio [S 410 / S 450 ] of the minimum exposure amount [S 410 ] capable of forming an image at a wavelength of 410 nm to the minimum exposure amount [S 450 (mJ / cm 2 )] capable of forming an image at a wavelength of 450 nm, and the wavelength ratio 450nm exceeds 650nm minimum exposure amount capable of forming an image at each wavelength below [S 450-650 (mJ / cm 2)] minimum exposure amount capable of forming an image at the wavelength 450nm of [S 450 (mJ / cm 2)] [S 450-650 / S 450 ] was measured and evaluated according to the following criteria.
In the same manner as described above, the minimum exposure amount [S 410 (mJ / cm 2 )] capable of forming an image at a wavelength of 410 nm and an image at a wavelength of 450 nm when the exposure is performed while changing the wavelength in the wavelength region of 340 to 650 nm and development is performed. Minimum exposure amount that can be formed [S 450 (mJ / cm 2 )] and minimum exposure amount that can form an image at each wavelength of 450 nm to 650 nm or less [S 450-
650 (mJ / cm 2 )] were calculated, and the ratios [S 410 / S 450 ] and [S 450-650 / S 450 ] were calculated and evaluated according to the following criteria.

[1−5−1]〔S410 /S450 〕の評価基準
A:S410 /S450 が0.03以下。
B:S410 /S450 が0.03 超過0.0 5以下。
C:S410 /S450 が0.0 5超過0.1以下。
D:S410 /S450 が0.1 超過。
[1−5−2]〔S450-650/S450 〕の評価基準
A:S450-650 /S450 が10超過。
B:S450-650 /S450 が5超過10以下。
C:S450-650/S450 が1超過5以下。
D:S450-650 /S450 が1以下。
[1-5-1] evaluation criteria of the [S 410 / S 450]
A: S410 / S450 is 0.03 or less.
B: S410 / S450 is more than 0.03 and less than or equal to 0.05.
C: S 410 / S 450 is more than 0.05 and 0.1 or less.
D: S 410 / S 450 exceeds 0.1.
[1-5-2] evaluation criteria of the [S 450-650 / S 450]
A: S 450-650 / S 450 is more than 10.
B: S 450-650 / S 450 is more than 5 and 10 or less.
C: S 450-650 / S 450 is more than 1 and 5 or less.
D: S 450-650 / S 450 is 1 or less.

[1−6]黄色灯下でのセーフライト性
別に、得られた感光性画像形成材につき、以下に示す方法で、黄色灯下でのセーフライト性を評価したところ、表1の通りであった。
画像形成材を黄色灯照明(約470nm以下の波長の光を遮断した条件)下に、1分間、2分間、5分間、10分間、20分間、30分間放置した後、前記露光感度の測定におけると同様にして、走査露光及び現像処理を行い、前記に比して画像に変化が生じるまでの放置時間を求め、以下の基準で評価した。
A:20分以上
B:10分以上20分未満
C:1分以上10分未満
D: 1分未満
[1-6] Safe light property under yellow light
Separately, with respect to the obtained photosensitive image forming material, the safelight property under a yellow light was evaluated by the method shown below.
In the measurement of the exposure sensitivity, the image forming material was allowed to stand for 1 minute, 2 minutes, 5 minutes, 10 minutes, 20 minutes, and 30 minutes under yellow light illumination (conditions in which light having a wavelength of about 470 nm or less was blocked). In the same manner as described above, scanning exposure and development processing were performed, and the standing time until the image changed compared to the above was obtained, and evaluated according to the following criteria.
A: More than 20 minutes
B: 10 minutes or more and less than 20 minutes
C: 1 minute or more and less than 10 minutes
D: Less than 1 minute

[1−7]無電解ニッケル金メッキ耐薬品性
三菱瓦斯化学社製化学研磨処理剤CPE900を用い表面化学研磨処理された04mm厚の銅張りガラエポ基板(三菱瓦斯化学社製EL170)を、上村工業社製脱脂剤(ACL009)20十倍希釈液を用いて25℃60秒浸漬、さらに水洗し得られた基板を用いて、前述の実施例1と同様の方法により作成した画像形成材料を画像形成に必要な最小露光量でレーザー露光、ついで、現像処理を施し、幅20μmの細線画像を銅基板上に形成させた。次に、この基板を150℃1時間過熱効果処理を施し、感光層細線を熱硬化させた画像形成材料を得た。
[1-7] Electroless nickel gold plating chemical resistance A 04 mm thick copper-clad glass epoxy substrate (EL170 manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.) subjected to surface chemical polishing treatment using a chemical polishing treatment agent CPE900 manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. An image forming material prepared by the same method as in Example 1 above was used for image formation, using a substrate obtained by immersion at 25 ° C. for 60 seconds using a 20-fold diluted solution of degreasing agent (ACL009) and further washing with water. Laser exposure was performed with the minimum exposure required, followed by development processing, and a thin line image having a width of 20 μm was formed on the copper substrate. Next, this substrate was subjected to an overheating effect treatment at 150 ° C. for 1 hour to obtain an image forming material in which the photosensitive layer fine wires were thermally cured.

この、画像形成材料を上村工業社製 脱脂剤(ACL990)20倍希釈水溶液に50℃5分間の浸漬後、水洗、さらに10重量%硫酸水溶液25℃30分間浸漬、水洗処理を施しメッキ前処理を行った後、1L中に10重量%の過硫酸ナトリウムと1.8体積%硫酸を含有する水溶液中に25℃30分間浸漬、さらに水洗しソフトエッチング処理を行った。続いて、1.8体積%硫酸水溶液中に25℃30分間浸漬させた後、無電解ニッケルメッキ用触媒(1L中に100mlの上村工業社製KAT−450と18mlの硫酸を含有させた水溶液)中に25℃30分間浸漬、ついで水洗処理を行ったのち、無電解ニッケルメッキ溶液(1L中に150mlの上村工業社製に無電ニッケル試薬NPR−M、45mlのニムデン−NPR−A、3mlのニムデン−NPR−Dを含有する水溶液)中に80℃18分間浸漬、水洗、3μm厚のニッケルメッキ層を形成させた。続いて、無電解金メッキ溶液(1L中に50ml上村工業社製 TKK−51 M20とシアン化第一金カリ水溶液)中に85℃7分間浸漬、ついで水洗して0.03μm厚の金メッキ層を形成させた。こうして得られたメッキ処理画像形成材料の細線レジスト部分にセロファンテープ(ニチバン社製)を密着、テープを剥離して、テープに付着転写した細線レジストの割合を測定、メッキ耐薬性の評価を行った。   This image forming material is immersed in a 20-fold diluted aqueous solution of degreasing agent (ACL990) manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd. at 50 ° C. for 5 minutes, washed with water, further immersed in a 10% by weight sulfuric acid aqueous solution at 25 ° C. for 30 minutes, and washed with water. Thereafter, the sample was immersed in an aqueous solution containing 10% by weight of sodium persulfate and 1.8% by volume of sulfuric acid in 1 L, washed at 25 ° C. for 30 minutes, and further subjected to soft etching treatment. Subsequently, after being immersed in a 1.8% by volume sulfuric acid aqueous solution at 25 ° C. for 30 minutes, an electroless nickel plating catalyst (an aqueous solution containing 100 ml of KAT-450 made by Uemura Kogyo Co., Ltd. and 18 ml of sulfuric acid in 1 L) After immersion in water at 25 ° C. for 30 minutes, followed by washing with water, an electroless nickel plating solution (150 ml in 1 L, electroless nickel reagent NPR-M, 45 ml Nimden-NPR-A, 3 ml Nimden -An aqueous solution containing NPR-D) was immersed in water at 80 ° C for 18 minutes, washed with water, and a nickel plating layer having a thickness of 3 µm was formed. Subsequently, it is immersed in an electroless gold plating solution (50 ml of TKK-51 M20 manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd. and 1st gold cyanide potassium solution in 1 L) at 85 ° C. for 7 minutes and then washed with water to form a 0.03 μm thick gold plating layer I let you. Cellophane tape (manufactured by Nichiban Co., Ltd.) was adhered to the fine line resist portion of the plated image forming material thus obtained, the tape was peeled off, the proportion of the fine line resist adhered and transferred to the tape was measured, and the plating chemical resistance was evaluated. .

A:剥離したテープに転写した細線レジストが、元のレジストに対し5%未満であっ
た。
B:剥離したテープに転写した細線レジストが、元のレジストに対し5%以上20%未
満であった。
C:剥離したテープに転写した細線レジストが、元のレジストに対し20%以上50%
未満であった。
D:剥離したテープに転写した細線レジストが、元のレジストに対し50%以上であっ
た。
A: The fine line resist transferred to the peeled tape was less than 5% of the original resist.
It was.
B: The fine line resist transferred to the peeled tape was 5% or more and less than 20% with respect to the original resist.
C: The fine line resist transferred to the peeled tape is 20% to 50% of the original resist
Was less than.
D: The fine line resist transferred to the peeled tape was 50% or more of the original resist.

また、実施例1、2、及び比較例1で、(b2−1)硫黄原子を含有するベンゾフェノン化合物を除いた以外は実施例1、2、及び比較例1と同様にして得られた感光性画像形成材料(実施例1’、2’及び比較例1’とする)について、上記無電解ニッケル金メッキ耐薬品性評価を行ったところ、いずれも評価は「D」であった。
なお、実施例1においては、上記無電解ニッケル金メッキ耐薬品性評価において、銅張りガラエポ基板の代わりに、旭硝子社製カラーフィルター用ガラス板「AN100」に10nm厚に金蒸着を施した基板を用いた以外は、上記評価試験と同じ評価を行っても同様の効果が期待できる。
Further, in Examples 1 and 2 and Comparative Example 1, (b2-1) Photosensitivity obtained in the same manner as in Examples 1 and 2 and Comparative Example 1 except that the benzophenone compound containing a sulfur atom was excluded. When the above electroless nickel gold plating chemical resistance evaluation was performed on the image forming materials (referred to as Examples 1 ′ and 2 ′ and Comparative Example 1 ′), the evaluation was “D”.
In Example 1, in the above electroless nickel gold plating chemical resistance evaluation, instead of a copper-clad glass epoxy substrate, a glass plate “AN100” manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. was used to deposit gold to a thickness of 10 nm. A similar effect can be expected even if the same evaluation as the above evaluation test is performed.

Claims (12)

(A)エチレン性不飽和基含有化合物、(B)光重合開始系、及び(C)アルカリ可溶性樹脂を含有する感光性組成物であって、(B)光重合開始系が(b1)下記一般式(1)又は(2)で表される化合物、及び(b2)硫黄原子を含有するベンゾフェノン化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。
Figure 2007199135
(式中、R1aは、それぞれ置換されていてもよい炭素数2〜25のアルケニル基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルキル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数1〜20のヘテロアリールオキシカルボニルアルキル基もしくはヘテロアリールチオアルキル基、炭素数0〜20のアミノ基、又は炭素数1〜20のアミノアルキル基を示し、また、R1aは、R1'とと
もに環を形成してもよく、その連結基は、それぞれ置換基を有していてもよい炭素数1〜10のアルキレン基、−(CH=CH)n−、−(C≡C)n−あるいはその組み合わせであり(nは0〜3の整数)、 R2aは、それぞれ置換されていてもよい炭素数2〜12の
アルカノイル基、炭素数3〜25のアルケノイル基、炭素数3〜8のシクロアルカノイル基、炭素数7〜20のベンゾイル基、炭素数1〜20のヘテロアリーロイル基、炭素数2〜10のアルコキシカルボニル基又は炭素数7〜20のフェノキシカルボニル基を示し、R1'は芳香環あるいはヘテロ芳香環を含む任意の置換基を示す。):
Figure 2007199135
(式中、R1bは、それぞれ置換されていてもよい炭素数6〜20のフェニル基、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基、炭素数7〜20のベンゾイル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基もしくはフェノキシカルボニル基、炭素数1〜20のアミド基、ニトロ基、炭素数2〜25のアルケニル基、炭素数1〜10のヘテロアリールアルキル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数1〜20のヘテロアリールオキシカルボニルアルキル基もしくはヘテロアリールチオアルキル基、炭素数0〜20のアミノ基、又は炭素数1〜20のアミノアルキル基を示し、またR1bは、R1'とともに環を形成してもよく、その連結基は、それぞれ置換基を有していてもよい炭素数1〜10アルキレン基、−(CH=CH)n−、−(C≡C)n−あるいはその組み合わせであり(nは0〜3の整数)、R2bは、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜20のヘテロアリール基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルカノイル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルカノイル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルカノイル基、炭素数3〜20のヘテロアリ−ルオキシキシカルボニルアルカノイル基、又は炭素数2〜10のアミノカルボニル基を示し、R1'は芳香環あるいはヘテロ
芳香環を含む任意の置換基を示す。)
(A) A photosensitive composition containing an ethylenically unsaturated group-containing compound, (B) a photopolymerization initiation system, and (C) an alkali-soluble resin, wherein (B) the photopolymerization initiation system is (b1) A photosensitive composition comprising a compound represented by formula (1) or (2), and (b2) a benzophenone compound containing a sulfur atom.
Figure 2007199135
Wherein R 1a is an optionally substituted alkenyl group having 2 to 25 carbon atoms, a heteroarylalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkoxycarbonylalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, and 8 to 8 carbon atoms. A phenoxycarbonylalkyl group having 20 carbon atoms, a heteroaryloxycarbonylalkyl group having 1 to 20 carbon atoms or a heteroarylthioalkyl group, an amino group having 0 to 20 carbon atoms, or an aminoalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, R 1a may form a ring together with R 1 ′, and the linking group is an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms that may have a substituent, — (CH═CH) n —, — ( C [identical to] C) n - or a combination thereof (n is an integer of 0 to 3), R 2a are each optionally substituted alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms, 3 carbon 5 alkenoyl group, C3-C8 cycloalkanoyl group, C7-C20 benzoyl group, C1-C20 heteroaryloyl group, C2-C10 alkoxycarbonyl group, or C7-C20 And R1 ′ represents an optional substituent containing an aromatic ring or a heteroaromatic ring.):
Figure 2007199135
(In the formula, R 1b is a phenyl group having 6 to 20 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, and an alkanoyl having 2 to 20 carbon atoms, each of which may be substituted. Group, benzoyl group having 7 to 20 carbon atoms, alkoxycarbonyl group or phenoxycarbonyl group having 2 to 12 carbon atoms, amide group having 1 to 20 carbon atoms, nitro group, alkenyl group having 2 to 25 carbon atoms, 1 to carbon atoms 10 heteroarylalkyl group, C3-C20 alkoxycarbonylalkyl group, C8-C20 phenoxycarbonylalkyl group, C1-C20 heteroaryloxycarbonylalkyl group or heteroarylthioalkyl group, carbon number Represents an amino group having 0 to 20 or an aminoalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, and R 1b forms a ring together with R 1 ′. The linking group may be a C 1-10 alkylene group which may have a substituent, — (CH═CH) n —, — (C≡C) n — or a combination thereof ( n is an integer of 0 to 3), and R 2b is an optionally substituted heteroaryl group having 1 to 20 carbon atoms, a heteroarylalkanoyl group having 1 to 20 carbon atoms, and an alkoxycarbonylalkanoyl group having 3 to 20 carbon atoms. A phenoxycarbonylalkanoyl group having 8 to 20 carbon atoms, a heteroaryloxyoxycarbonylalkanoyl group having 3 to 20 carbon atoms, or an aminocarbonyl group having 2 to 10 carbon atoms, and R1 ′ is an aromatic ring or heterocycle
An optional substituent containing an aromatic ring is shown. )
(b1)の化合物の平均粒子径が0.001μm以上150μm以下である請求項1に記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 1, wherein the compound (b1) has an average particle size of 0.001 μm to 150 μm. (b1)の化合物が、340〜430nmの波長域に吸収極大を有する請求項1又は2に記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 1 or 2, wherein the compound (b1) has an absorption maximum in a wavelength range of 340 to 430 nm. 340〜430nmの波長域に分光感度の極大ピークを有する請求項1乃至3の何れか1項に記載の感光性組成物。   The photosensitive composition of any one of Claims 1 thru | or 3 which has the maximum peak of spectral sensitivity in the wavelength range of 340-430 nm. (b1)一般式(1)又は(2)で示される化合物が、一般式(3)又は(4)で表される化合物である請求項1乃至4の何れか1項に記載の感光性組成物。
Figure 2007199135
(式中、R1aは、それぞれ置換されていてもよい炭素数2〜25のアルケニル基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルキル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数1〜20のヘテロアリールオキシカルボニルアルキル基もしくはヘテロアリールチオアルキル基、炭素数0〜20のアミノ基、又は炭素数1〜20のアミノアルキル基を示し、また、R1aは、R3あるい
はR7とともに環を形成してもよく、その場合、R1aとR3あるいは/およびR7は互いに
結合してともに2価あるいは3価の連結基を形成し、その連結基はそれぞれ置換基を有してもよい炭素数1〜10のアルキレン基、−(CH=CH)n−、−(C≡C)n−あるいはその組み合わせであり(nは0〜3の整数)、R2aは、それぞれ置換されていてもよい炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数3〜25のアルケノイル基、炭素数3〜8のシクロアルカノイル基、炭素数7〜20のベンゾイル基、炭素数1〜20のヘテロアリーロイル基、炭素数2〜10のアルコキシカルボニル基又は炭素数7〜20のフェノキシカルボニル基を示し、R3、R4、R5、R6及びR7は、互いに独立して、水素原子、ハロゲン
原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基、炭素数3〜12のアルケノイル基、炭素数1〜12のアルコキシ基、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数6〜20のフェニル基、炭素数7〜20のベンジル基、炭素数7〜20のベンゾイル基、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数1〜20のヘテロアリーロイル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルカノイル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルカノイル基、炭素数3〜20のヘテロアリ−ルオキシキシカルボニルアルカノイル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基もしくは炭素数7〜20のフェノキシカルボニル基又は、−OR8、−SR9、−SOR9、−SO29もしくは−NR1011を示し、
かつ、R3、R4、R5、R6及びR7の少なくとも一つは、−OR8、−SR9又は−NR10
11を示す。ただし、R8は、水素原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12
のアルキル基、炭素数2〜8のアルカノイル基、炭素数3〜12のアルケニル基、炭素数3〜20のアルケノイル基、炭素数6〜20のフェニル基、−(CH2CH2O)mH(m
は1〜20の整数)、又は炭素数3〜15のトリアルキルシリル基を示し、R9は、水素
原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜8のアルカノイル基、炭素数3〜12のアルケニル基、炭素数3〜15のシクロアルキル基、炭素数6〜20のフェニル基又は炭素数3〜15のトリアルキルシリル基を示し、R10およびR11は、互いに独立して水素原子、それぞれ置換されていてもよい炭素数1〜12のアル
キル基、炭素数2〜4のヒドロキシルアルキル基、炭素数3〜5のアルケニル基または炭素数6〜20のフェニル基を表し、R3〜R7は互いに結合して、またR1と共に環構造を
形成してもよい。):
Figure 2007199135
(式中、R1bは、それぞれ置換されていてもよい炭素数6〜20のフェニル基、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノイル基、炭素数7〜20のベンゾイル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基もしくはフェノキシカルボニル基、炭素数1〜20のアミド基、ニトロ基、炭素数2〜25のアルケニル基、炭素数1〜10のヘテロアリールアルキル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルキル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルキル基、炭素数1〜20のヘテロアリールオキシカルボニルアルキル基もしくはヘテロアリールチオアルキル基、炭素数0〜20のアミノ基、又は炭素数1〜20のアミノアルキル基を示し、またR1bは、R3あるいはR7とともに環を形成してもよく、その場合、R1bとR3あるいは/およ
びR7は互いに結合してともに2価あるいは3価の連結基を形成し、その連結基はそれぞ
れ置換基を有してもよい炭素数1〜10のアルキレン基、−(CH=CH)n−、−(C
≡C)n−あるいはその組み合わせであり(nは0〜3の整数)、R2bは、それぞれ置換
されていてもよい炭素数1〜20のヘテロアリール基、炭素数1〜20のヘテロアリールアルカノイル基、炭素数3〜20のアルコキシカルボニルアルカノイル基、炭素数8〜20のフェノキシカルボニルアルカノイル基、炭素数3〜20のヘテロアリ−ルオキシキシカルボニルアルカノイル基、又は炭素数2〜10のアミノカルボニル基を示し、R3、R4、R5、R6及びR7は一般式(3)におけると同義である。)
(B1) The photosensitive composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the compound represented by the general formula (1) or (2) is a compound represented by the general formula (3) or (4). object.
Figure 2007199135
Wherein R 1a is an optionally substituted alkenyl group having 2 to 25 carbon atoms, a heteroarylalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkoxycarbonylalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, and 8 to 8 carbon atoms. A phenoxycarbonylalkyl group having 20 carbon atoms, a heteroaryloxycarbonylalkyl group having 1 to 20 carbon atoms or a heteroarylthioalkyl group, an amino group having 0 to 20 carbon atoms, or an aminoalkyl group having 1 to 20 carbon atoms, R 1a may form a ring with R 3 or R 7 , in which case R 1a and R 3 or / and R 7 are bonded together to form a divalent or trivalent linking group, linking groups each substituent alkylene group having 1 to 10 carbon atoms which may have a, - (CH = CH) n -, - (C≡C) n - or a combination thereof ( Is an integer of 0 to 3), R 2a are each optionally substituted alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms, alkenoyl of 3 to 25 carbon atoms, cycloalkanoyl group having 3 to 8 carbon atoms, 7 carbon atoms Represents a benzoyl group having 20 to 20 carbon atoms, a heteroaryloyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 10 carbon atoms, or a phenoxycarbonyl group having 7 to 20 carbon atoms, and R 3 , R 4 , R 5 , R 6 And R 7 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, an optionally substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkenoyl group having 3 to 12 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms, A cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, a phenyl group having 6 to 20 carbon atoms, a benzyl group having 7 to 20 carbon atoms, a benzoyl group having 7 to 20 carbon atoms, an alkanoyl group having 2 to 12 carbon atoms, and 1 to 1 carbon atoms 20 Heteroaryloyl group, C3-C20 alkoxycarbonylalkanoyl group, C8-C20 phenoxycarbonylalkanoyl group, C3-C20 heteroaryloxyoxycarbonylalkanoyl group, C2-C12 alkoxycarbonyl group or or phenoxycarbonyl group having a carbon number of 7~20, -OR 8, -SR 9, -SOR 9, shows a -SO 2 R 9 or -NR 10 R 11,
And at least one of R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 is —OR 8 , —SR 9 or —NR 10.
R 11 is shown. However, R 8 is a hydrogen atom, carbon atoms which may each be substituted 1-12
Alkyl group, alkanoyl group having 2 to 8 carbon atoms, alkenyl group having 3 to 12 carbon atoms, alkenoyl group having 3 to 20 carbon atoms, phenyl group having 6 to 20 carbon atoms, — (CH 2 CH 2 O) m H (M
Represents an integer of 1 to 20), or a trialkylsilyl group having 3 to 15 carbon atoms, and R 9 is a hydrogen atom, an optionally substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or 2 to 8 carbon atoms. An alkanoyl group, an alkenyl group having 3 to 12 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 15 carbon atoms, a phenyl group having 6 to 20 carbon atoms or a trialkylsilyl group having 3 to 15 carbon atoms, R 10 and R 11 Are each independently a hydrogen atom, an optionally substituted alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a hydroxyl alkyl group having 2 to 4 carbon atoms, an alkenyl group having 3 to 5 carbon atoms or a carbon atom having 6 to 20 carbon atoms. Represents a phenyl group, R 3 to R 7 may be bonded to each other and may form a ring structure together with R 1 ; ):
Figure 2007199135
(In the formula, R 1b is a phenyl group having 6 to 20 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 5 to 8 carbon atoms, and an alkanoyl having 2 to 20 carbon atoms, each of which may be substituted. Group, benzoyl group having 7 to 20 carbon atoms, alkoxycarbonyl group or phenoxycarbonyl group having 2 to 12 carbon atoms, amide group having 1 to 20 carbon atoms, nitro group, alkenyl group having 2 to 25 carbon atoms, 1 to carbon atoms 10 heteroarylalkyl group, C3-C20 alkoxycarbonylalkyl group, C8-C20 phenoxycarbonylalkyl group, C1-C20 heteroaryloxycarbonylalkyl group or heteroarylthioalkyl group, carbon number A 0-20 amino group or a C1-C20 aminoalkyl group is shown, and R 1b together with R 3 or R 7 In this case, R 1b and R 3 or / and R 7 may be bonded to each other to form a divalent or trivalent linking group, and each of the linking groups has a substituent. A C1-C10 alkylene group,-(CH = CH) n -,-(C
≡C) n -or a combination thereof (n is an integer of 0 to 3), and R 2b is an optionally substituted heteroaryl group having 1 to 20 carbon atoms or heteroarylalkanoyl having 1 to 20 carbon atoms. Group, a C3-C20 alkoxycarbonylalkanoyl group, a C8-C20 phenoxycarbonylalkanoyl group, a C3-C20 heteroaryloxyoxycarbonylalkanoyl group, or a C2-C10 aminocarbonyl group , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 have the same meaning as in general formula (3). )
(C)アルカリ可溶性樹脂がカルボキシル基含有エポキシ樹脂及び/又はカルボキシル基含有ビニル系樹脂である請求項1乃至5の何れか1項に記載の感光性組成物。   (C) The photosensitive composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the alkali-soluble resin is a carboxyl group-containing epoxy resin and / or a carboxyl group-containing vinyl resin. (C)のアルカリ可溶性樹脂が、カルボキシル基含有ビニル系樹脂であって、エチレン性不飽和カルボン酸類、アルキル(メタ)アクリレート類、及びスチレン類に由来する各構成繰返し単位の含有量が、共重合体の全構成繰返し単位に対して、各々、10〜50重量%、15〜80重量%、及び1〜40重量%である請求項1乃至5の何れか1項に記載の感光性組成物。   The alkali-soluble resin (C) is a carboxyl group-containing vinyl resin, and the content of each constituent repeating unit derived from ethylenically unsaturated carboxylic acids, alkyl (meth) acrylates, and styrenes is The photosensitive composition according to any one of claims 1 to 5, which is 10 to 50% by weight, 15 to 80% by weight, and 1 to 40% by weight with respect to all the structural repeating units of the coalescence. さらに(I)無機充填剤を含有することを特徴とする請求項1乃至7に記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to any one of claims 1 to 7, further comprising (I) an inorganic filler. さらに(J)色材を含有することを特徴とする請求項1乃至8に記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 1, further comprising (J) a coloring material. 仮支持フィルム上に請求項1乃至9の何れか1項に記載の感光性組成物の層が形成されてなることを特徴とする画像形成材料。   An image-forming material comprising a layer of the photosensitive composition according to any one of claims 1 to 9 formed on a temporary support film. 被加工基板上に請求項10に記載の画像形成材料が感光性組成物層側で積層されてなることを特徴とする画像形成材。   An image forming material, wherein the image forming material according to claim 10 is laminated on the substrate to be processed on the photosensitive composition layer side. 請求項11に記載の画像形成材の感光性組成物層を、波長340〜430nmのレーザ
ー光により走査露光し、現像処理して画像を現出させることを特徴とする画像形成方法。
12. An image forming method, wherein the photosensitive composition layer of the image forming material according to claim 11 is scanned and exposed with a laser beam having a wavelength of 340 to 430 nm, and developed to reveal an image.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010125721A1 (en) * 2009-04-27 2010-11-04 太陽インキ製造株式会社 Photo-curable and heat-curable resin composition
JP2011215362A (en) * 2010-03-31 2011-10-27 Taiyo Holdings Co Ltd Photocurable resin composition
WO2012173242A1 (en) * 2011-06-17 2012-12-20 太陽インキ製造株式会社 Photocurable/thermosetting resin composition
CN103293855A (en) * 2013-05-20 2013-09-11 常州强力先端电子材料有限公司 Acrylic ester photocuring composition
WO2018225544A1 (en) * 2017-06-06 2018-12-13 日本化薬株式会社 Photocurable composition and electronic component adhesive

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010125721A1 (en) * 2009-04-27 2010-11-04 太陽インキ製造株式会社 Photo-curable and heat-curable resin composition
JP2010256729A (en) * 2009-04-27 2010-11-11 Taiyo Ink Mfg Ltd Photocurable thermosetting resin composition, its dry film and cured product, and printed wiring board using the same
JP2011215362A (en) * 2010-03-31 2011-10-27 Taiyo Holdings Co Ltd Photocurable resin composition
WO2012173242A1 (en) * 2011-06-17 2012-12-20 太陽インキ製造株式会社 Photocurable/thermosetting resin composition
JPWO2012173242A1 (en) * 2011-06-17 2015-02-23 太陽インキ製造株式会社 Photo-curable thermosetting resin composition
US9310680B2 (en) 2011-06-17 2016-04-12 Taiyo Ink Mfg. Co., Ltd. Photocurable/thermosetting resin composition
CN103293855A (en) * 2013-05-20 2013-09-11 常州强力先端电子材料有限公司 Acrylic ester photocuring composition
WO2018225544A1 (en) * 2017-06-06 2018-12-13 日本化薬株式会社 Photocurable composition and electronic component adhesive
JP6486571B1 (en) * 2017-06-06 2019-03-20 日本化薬株式会社 Adhesive for electronic parts
TWI774777B (en) * 2017-06-06 2022-08-21 日商日本化藥股份有限公司 Adhesives for Electronic Parts

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