JP7040089B2 - Photosensitive resin composition for partition wall formation, partition wall, organic electroluminescent element, image display device and lighting - Google Patents

Photosensitive resin composition for partition wall formation, partition wall, organic electroluminescent element, image display device and lighting Download PDF

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Description

本発明は、隔壁を形成するために用いられる隔壁形成用感光性樹脂組成物に関し、特に隔壁形成用感光性樹脂組成物で構成される隔壁や、該隔壁を備える有機電界発光素子、該有機電界発光素子を含む画像表示装置及び照明に関する。 The present invention relates to a partition wall forming photosensitive resin composition used for forming a partition wall, in particular, a partition wall made of the partition wall forming photosensitive resin composition, an organic electric field light emitting element provided with the partition wall, and the organic electric field. The present invention relates to an image display device including a light emitting element and lighting.

従来から、有機電界ディスプレイや有機電界照明などに含まれる有機電界発光素子は、基板上に、隔壁(バンク)を形成した後に、隔壁に囲まれた領域内に、種々の機能層を積層して製造されている。このような隔壁を容易に形成する方法として、感光性樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィー法により形成する方法が知られている。 Conventionally, an organic electroluminescent element included in an organic field display or an organic electric field illumination has a partition wall (bank) formed on a substrate, and then various functional layers are laminated in a region surrounded by the partition wall. It is manufactured. As a method for easily forming such a partition wall, a method of forming by a photolithography method using a photosensitive resin composition is known.

また、隔壁に囲まれた領域内に種々の機能層を積層する方法としては、まず機能層を構成する材料を含むインクを調製し、次いで、調製したインクを隔壁に囲まれた領域内に注入する方法が知られている。この方法の中でも、所定量のインクを所定の箇所に正確に注入しやすいことから、インクジェット法が採用されることが多い。 Further, as a method of laminating various functional layers in the region surrounded by the partition wall, first, an ink containing the material constituting the functional layer is prepared, and then the prepared ink is injected into the region surrounded by the partition wall. How to do it is known. Among these methods, the inkjet method is often adopted because it is easy to accurately inject a predetermined amount of ink into a predetermined location.

さらに、インクを用いて機能層を形成する場合、隔壁へのインクの付着の予防や、隣接する領域間に注入されるインク同士が混合されることを防ぐ目的等で、隔壁に撥インク性を付与することが求められる場合がある。また近年、隔壁には撥インク性以外にも種々の特性が要求されており、種々の感光性樹脂組成物が開発されている。例えば特許文献1には特定のアルカリ可溶性樹脂、特定の撥液剤及び特定の界面活性剤を用いることで、電極の断線がなく、高解像度の画像に対応できると記載されている。
一方で、特許文献2には、ビスフェノールA型エポキシ樹脂に、(メタ)アクリル酸を付加させ、更に無水コハク酸を付加させた後、更にビスフェノールA型エポキシ樹脂を付加させた樹脂を用いることで、耐熱着色性に優れた塗膜が得られると記載されている。
Further, when the functional layer is formed by using ink, the partition wall is provided with ink repellency for the purpose of preventing the ink from adhering to the partition wall and preventing the inks injected between adjacent regions from being mixed with each other. It may be required to grant. Further, in recent years, various properties other than ink repellency are required for partition walls, and various photosensitive resin compositions have been developed. For example, Patent Document 1 describes that by using a specific alkali-soluble resin, a specific liquid repellent agent, and a specific surfactant, there is no disconnection of electrodes and high-resolution images can be supported.
On the other hand, in Patent Document 2, a resin obtained by adding (meth) acrylic acid to a bisphenol A type epoxy resin, further adding anhydrous succinic acid, and then further adding a bisphenol A type epoxy resin is used. , It is described that a coating film having excellent heat-resistant coloring property can be obtained.

特開2010-061093号公報JP-A-2010-061093 特開2010-150397号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-15397

近年、素子の駆動寿命を向上させるため、隔壁、素子形成後の素子発光時に、隔壁から発生するアウトガスを低減する要望がある。高輝度化の要求も高まり、より高度な性能が要求されている。
本発明者らが検討したところ、特許文献1に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物では発光素子稼働時におけるアウトガス量を十分に低減することが困難であった。
特許文献2には隔壁に関する記載がなく、また、本発明者らが特許文献2に記載の感光性樹脂組成物の隔壁への適用検討を行ったところ、得られる隔壁のテーパー角が低く、隔壁で囲まれた開口部の面積が小さくなり、十分な発光部面積を確保することが困難であった。
そこで本発明は、発光素子稼働時のアウトガス量が少なく信頼性が高く、テーパー角が高く、十分な発光部面積を確保可能な隔壁形成用感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
また本発明は、当該隔壁形成用感光性樹脂組成物を用いて形成された隔壁、当該隔壁を備える有機電界発光素子、該有機電界発光素子を含む画像表示装置及び照明を提供することを目的とする。
In recent years, in order to improve the drive life of an element, there is a demand to reduce the outgas generated from the partition wall when the partition wall and the element emit light after the element is formed. The demand for higher brightness is also increasing, and higher performance is required.
As a result of studies by the present inventors, it has been difficult to sufficiently reduce the amount of outgas during operation of the light emitting element with the photosensitive resin composition for forming a partition wall described in Patent Document 1.
Patent Document 2 does not describe a partition wall, and when the present inventors examined the application of the photosensitive resin composition described in Patent Document 2 to a partition wall, the taper angle of the obtained partition wall was low, and the partition wall was obtained. The area of the opening surrounded by is small, and it is difficult to secure a sufficient area of the light emitting part.
Therefore, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition for forming a partition wall, which has a small amount of outgas during operation of a light emitting element, is highly reliable, has a high taper angle, and can secure a sufficient area of a light emitting portion.
Another object of the present invention is to provide a partition wall formed by using the photosensitive resin composition for forming a partition wall, an organic electroluminescent element provided with the partition wall, an image display device including the organic electroluminescent element, and lighting. do.

本発明者らが鋭意検討した結果、感光性樹脂組成物の酸価を特定範囲のものとし、さらに、アルカリ可溶性樹脂として特定の部分構造を有する樹脂を用いることで上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。
即ち本発明の要旨は以下の通りである。
As a result of diligent studies by the present inventors, it has been found that the above-mentioned problems can be solved by setting the acid value of the photosensitive resin composition within a specific range and further using a resin having a specific partial structure as an alkali-soluble resin. The present invention has been completed.
That is, the gist of the present invention is as follows.

[1] (A)エチレン性不飽和化合物、(B)光重合開始剤及び(C)アルカリ可溶性樹脂を含有する隔壁形成用感光性樹脂組成物であって、
前記隔壁形成用感光性樹脂組成物の酸価が全固形分に対して20mgKOH/g以上であり、
前記(C)アルカリ可溶性樹脂が、下記一般式(1)で表される部分構造を有するアルカリ可溶性樹脂(c)を含有することを特徴とする隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[1] A photosensitive resin composition for forming a partition wall containing (A) an ethylenically unsaturated compound, (B) a photopolymerization initiator, and (C) an alkali-soluble resin.
The acid value of the photosensitive resin composition for forming a partition wall is 20 mgKOH / g or more with respect to the total solid content, and the acid value is 20 mgKOH / g or more.
A photosensitive resin composition for forming a partition wall, wherein the alkali-soluble resin (C) contains an alkali-soluble resin (c) having a partial structure represented by the following general formula (1).

Figure 0007040089000001
Figure 0007040089000001

(前記式(1)中、R1は置換基を有していてもよい炭素数1~4の2価の炭化水素基を表す。*は結合手を表す。) (In the above formula (1), R 1 represents a divalent hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms which may have a substituent. * Represents a bond.)

[2] 前記アルカリ可溶性樹脂(c)が、カルボキシル基及びエチレン性不飽和基を有する樹脂である、[1]に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[3] 前記アルカリ可溶性樹脂(c)が、(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂を含む、[1]又は[2]に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[4] 前記(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂が、下記一般式(i)で表される繰り返し単位構造を含むエポキシ(メタ)アクリレート樹脂、下記一般式(ii)で表される部分構造を含むエポキシ(メタ)アクリレート樹脂、及び下記一般式(iii)で表される部分構造を含むエポキシ(メタ)アクリレート樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種を含有する、[3]に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[2] The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to [1], wherein the alkali-soluble resin (c) is a resin having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group.
[3] The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to [1] or [2], wherein the alkali-soluble resin (c) contains (c1) an epoxy (meth) acrylate resin.
[4] The (c1) epoxy (meth) acrylate resin has an epoxy (meth) acrylate resin containing a repeating unit structure represented by the following general formula (i), and a partial structure represented by the following general formula (ii). The partition wall formation according to [3], which contains at least one selected from the group consisting of an epoxy (meth) acrylate resin containing an epoxy (meth) acrylate resin and an epoxy (meth) acrylate resin containing a partial structure represented by the following general formula (iii). For photosensitive resin compositions.

Figure 0007040089000002
Figure 0007040089000002

(式(i)中、Raは水素原子又はメチル基を表し、Rbは置換基を有していてもよい2価の炭化水素基を表す。式(i)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。*は結合手を表す。) (In formula (i), R a represents a hydrogen atom or a methyl group, and R b represents a divalent hydrocarbon group which may have a substituent. The benzene ring in formula (i) further represents. It may be substituted with any substituent. * Represents a bond.)

Figure 0007040089000003
Figure 0007040089000003

(式(ii)中、Rcは各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。Rdは、環状炭化水素基を側鎖として有する2価の炭化水素基を表す。*は結合手を表す。) (In formula (ii), R c independently represents a hydrogen atom or a methyl group. R d represents a divalent hydrocarbon group having a cyclic hydrocarbon group as a side chain. * Represents a bond. .)

Figure 0007040089000004
Figure 0007040089000004

(式(iii)中、Reは水素原子又はメチル基を表し、γは単結合、-CO-、置換基を有していてもよいアルキレン基、又は置換基を有していてもよい2価の環状炭化水素基を表す。式(iii)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。*は結合手を表す。) (In the formula (iii), R e represents a hydrogen atom or a methyl group, and γ may have a single bond, —CO—, an alkylene group which may have a substituent, or a substituent. 2 Represents a cyclic hydrocarbon group of valence. The benzene ring in formula (iii) may be further substituted with any substituent. * Represents a bond.)

[5] 前記(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂が、エポキシ樹脂にエチレン性不飽和結合を有する酸又はエステル化合物を付加し、更に多塩基酸又はその無水物を付加させた樹脂である、[3]又は[4]に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[6] さらに(D)撥液剤を含有する、[1]~[5]のいずれかに記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[7] 前記(D)撥液剤が、架橋基を有する撥液剤を含有する、[6]に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[8] さらに連鎖移動剤を含有する、[1]~[7]のいずれかに記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[9] さらに紫外線吸収剤を含有する、[1]~[8]のいずれかに記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
[5] The (c1) epoxy (meth) acrylate resin is a resin obtained by adding an acid or an ester compound having an ethylenically unsaturated bond to the epoxy resin and further adding a polybasic acid or an anhydride thereof. 3] or [4]. The photosensitive resin composition for forming a partition wall.
[6] The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to any one of [1] to [5], which further contains (D) a liquid repellent.
[7] The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to [6], wherein the liquid repellent (D) contains a liquid repellent having a cross-linking group.
[8] The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to any one of [1] to [7], which further contains a chain transfer agent.
[9] The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to any one of [1] to [8], which further contains an ultraviolet absorber.

[10] [1]~[9]のいずれかに記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物で構成される隔壁。
[11] [10]に記載の隔壁を備える有機電界発光素子。
[12] [11]に記載の有機電界発光素子を含む画像表示装置。
[13] [11]に記載の有機電界発光素子を含む照明。
[10] A partition wall composed of the photosensitive resin composition for forming a partition wall according to any one of [1] to [9].
[11] The organic electroluminescent device provided with the partition wall according to [10].
[12] An image display device including the organic electroluminescent element according to [11].
[13] Lighting including the organic electroluminescent device according to [11].

本発明により、発光素子稼働時のアウトガス量が少なく信頼性が高く、テーパー角が高く、十分な発光部面積を確保可能な隔壁形成用感光性樹脂組成物を提供することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY According to the present invention, it is possible to provide a photosensitive resin composition for forming a partition wall, which has a small amount of outgas during operation of a light emitting element, is highly reliable, has a high taper angle, and can secure a sufficient area of a light emitting portion.

図1は、隔壁のテーパー角の評価方法の説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a method for evaluating a taper angle of a partition wall.

以下、本発明を詳細に説明する。なお、以下の記載は本発明の実施形態の一例であり、本発明はその要旨を超えない限り、これらに特定されない。
なお、本発明において、「(メタ)アクリル」とは、「アクリル及び/又はメタクリル」を意味するものとし、「(メタ)アクリレート」とは「アクリレート及び/又はメタクリレート」を意味するものとし、また、「全固形分」とは、感光性樹脂組成物における溶剤以外の全成分を意味するものとする。さらに、本発明において「~」を用いて表される数値範囲は、「~」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
また、本発明において、「(共)重合体」とは、単一重合体(ホモポリマー)と共重合体(コポリマー)の双方を含むことを意味し、また、「(酸)無水物」、「(無水)…酸」とは、酸とその無水物の双方を含むことを意味する。
本発明において、「多塩基酸(無水物)」とは、「多塩基酸及び/又は多塩基酸無水物」を意味する。
本発明において、重量平均分子量とは、GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)によるポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)をさす。
Hereinafter, the present invention will be described in detail. The following description is an example of an embodiment of the present invention, and the present invention is not specified thereto unless the gist thereof is exceeded.
In the present invention, "(meth) acrylic" means "acrylic and / or methacrylic", and "(meth) acrylate" means "acrylate and / or methacrylate". , "Total solid content" shall mean all components other than the solvent in the photosensitive resin composition. Further, the numerical range represented by using "-" in the present invention means a range including the numerical values before and after "-" as the lower limit value and the upper limit value.
Further, in the present invention, the "(co) polymer" means that both a monopolymer (homopolymer) and a copolymer (copolymer) are contained, and also "(acid) anhydride" and "" (Anhydrous) ... acid "means to include both an acid and its anhydride.
In the present invention, "polybasic acid (anhydride)" means "polybasic acid and / or polybasic acid anhydride".
In the present invention, the weight average molecular weight refers to the polystyrene-equivalent weight average molecular weight (Mw) by GPC (gel permeation chromatography).

本発明において、隔壁材とはバンク材、壁材、ウォール材をさし、同様に、隔壁とはバンク、壁、ウォールをさす。
また本発明において、発光部とは電気エネルギーを与えた場合に光を放出する部分をさす。
本発明において、化学式中の*は結合手を表す。
In the present invention, the partition wall material refers to a bank material, a wall material, and a wall material, and similarly, the partition wall material refers to a bank, a wall, and a wall.
Further, in the present invention, the light emitting portion refers to a portion that emits light when electric energy is applied.
In the present invention, * in the chemical formula represents a bond.

[1]隔壁形成用感光性樹脂組成物
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(A)エチレン性不飽和化合物、(B)光重合開始剤及び(C)アルカリ可溶性樹脂を含有する隔壁形成用感光性樹脂組成物であって、前記隔壁形成用感光性樹脂組成物の酸価が全固形分に対して20mgKOH/g以上であり、かつ前記(C)アルカリ可溶性樹脂が、後述の一般式(1)で表される部分構造を有するアルカリ可溶性樹脂(c)を含有することを特徴とする。必要に応じてさらにその他の成分を含んでいてもよく、例えば(D)撥液剤や、連鎖移動剤や、紫外線吸収剤を含んでいてもよい。
[1] Photosensitive resin composition for forming a partition wall The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention contains (A) an ethylenically unsaturated compound, (B) a photopolymerization initiator, and (C) an alkali-soluble resin. A photosensitive resin composition for forming a partition wall, wherein the acid value of the photosensitive resin composition for forming a partition wall is 20 mgKOH / g or more with respect to the total solid content, and the alkali-soluble resin (C) is described later. It is characterized by containing an alkali-soluble resin (c) having a partial structure represented by the general formula (1). If necessary, other components may be further contained, and for example, (D) a liquid repellent agent, a chain transfer agent, or an ultraviolet absorber may be contained.

本発明において隔壁とは、例えば、アクティブ駆動型有機電界発光素子における機能層(有機層、発光部)を区画するためのものであり、区画された領域(画素領域)に機能層を構成するための材料であるインクを吐出、乾燥することで、機能層及び隔壁からなる画素等を形成させていくために使用されるものである。 In the present invention, the partition wall is for partitioning the functional layer (organic layer, light emitting portion) in the active drive type organic electroluminescent element, and for forming the functional layer in the partitioned region (pixel region). It is used to form pixels and the like composed of a functional layer and a partition wall by ejecting and drying the ink which is the material of the above.

[1-1]隔壁形成用感光性樹脂組成物の成分および組成
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物を構成する成分およびその組成について説明する。
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物(以下、単に「感光性樹脂組成物」という場合がある)は、(A)エチレン性不飽和化合物、(B)光重合開始剤及び(C)アルカリ可溶性樹脂を含有し、さらに通常は、溶剤も含有する。また、本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、撥液性の隔壁を形成するために用いることが好ましく、係る観点からは(D)撥液剤を含有することが好ましく、また、前記(A)~(C)成分として撥液剤としての作用を示すものを用いてもよい。
[1-1] Components and Composition of Photosensitive Resin Composition for Forming a Partition walls The components constituting the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention and their compositions will be described.
The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention (hereinafter, may be simply referred to as “photosensitive resin composition”) is (A) an ethylenically unsaturated compound, (B) a photopolymerization initiator and (C) an alkali. It contains a soluble resin and, more usually, a solvent. Further, the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention is preferably used for forming a liquid-repellent partition wall, and from such a viewpoint, it is preferable to contain (D) a liquid-repellent agent. As the components A) to (C), those exhibiting an action as a liquid repellent may be used.

[1-1-1](A)成分;エチレン性不飽和化合物
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(A)エチレン性不飽和化合物を含有する。(A)エチレン性不飽和化合物を含むことで、高感度となると考えられる。
ここで使用されるエチレン性不飽和化合物としては、エチレン性不飽和結合を分子内に1個以上有する化合物を意味するが、重合性、架橋性、およびそれに伴う露光部と非露光部の現像液溶解性の差異を拡大できる等の点から、エチレン性不飽和結合を分子内に2個以上有する化合物であることが好ましく、また、その不飽和結合は(メタ)アクリロイルオキシ基に由来するもの、つまり、(メタ)アクリレート化合物であることがさらに好ましい。
[1-1-1] Component (A); Ethylene Unsaturated Compound The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention contains (A) an ethylenically unsaturated compound. (A) It is considered that the sensitivity becomes high by containing the ethylenically unsaturated compound.
The ethylenically unsaturated compound used here means a compound having one or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule, and is polymerizable, crosslinkable, and a developing solution for exposed and non-exposed parts associated therewith. A compound having two or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule is preferable from the viewpoint of expanding the difference in solubility, and the unsaturated bond is derived from a (meth) acryloyloxy group. That is, it is more preferably a (meth) acrylate compound.

本発明においては、特に、1分子中にエチレン性不飽和結合を2個以上有する多官能エチレン性単量体を使用することが望ましい。多官能エチレン性単量体が有するエチレン性不飽和基の数は特に限定されないが、好ましくは2個以上、より好ましくは3個以上、さらに好ましくは4個以上、特に好ましくは5個以上であり、また、好ましくは15個以下、より好ましくは10個以下、さらに好ましくは8個以下、特に好ましくは7個以下である。前記下限値以上とすることで重合性が向上して高感度となる傾向があり、前記上限値以下とすることで現像性がより良好となる傾向がある。
エチレン性不飽和化合物の具体例としては、脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル;芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル;脂肪族ポリヒドロキシ化合物、芳香族ポリヒドロキシ化合物等の多価ヒドロキシ化合物と、不飽和カルボン酸及び多塩基性カルボン酸とのエステル化反応により得られるエステルなどが挙げられる。
In the present invention, it is particularly desirable to use a polyfunctional ethylenic monomer having two or more ethylenically unsaturated bonds in one molecule. The number of ethylenically unsaturated groups contained in the polyfunctional ethylenically monomer is not particularly limited, but is preferably 2 or more, more preferably 3 or more, still more preferably 4 or more, and particularly preferably 5 or more. Further, the number is preferably 15 or less, more preferably 10 or less, still more preferably 8 or less, and particularly preferably 7 or less. When it is at least the above lower limit value, the polymerizable property tends to be improved and the sensitivity tends to be high, and when it is at least the above upper limit value, the developability tends to be better.
Specific examples of the ethylenically unsaturated compound include an ester of an aliphatic polyhydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid; an ester of an aromatic polyhydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid; an aliphatic polyhydroxy compound and an aromatic polyhydroxy compound. Examples thereof include an ester obtained by an esterification reaction between an unsaturated carboxylic acid and a polybasic carboxylic acid with a polyvalent hydroxy compound such as the above.

前記脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルとしては、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、グリセロールアクリレート等の脂肪族ポリヒドロキシ化合物のアクリル酸エステル、これら例示化合物のアクリレートをメタクリレートに代えたメタクリル酸エステル、同様にイタコネートに代えたイタコン酸エステル、クロネートに代えたクロトン酸エステルもしくはマレエートに代えたマレイン酸エステル等が挙げられる。 Examples of the ester of the aliphatic polyhydroxy compound and the unsaturated carboxylic acid include ethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, trimethylol propanetriacrylate, trimethylol ethanetriacrylate, pentaerythritol diacrylate, and pentaerythritol triacrylate. Acrylic acid esters of aliphatic polyhydroxy compounds such as pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and glycerol acrylate, and methacrylic acid esters in which the acrylates of these exemplary compounds are replaced with methacrylates. Similarly, an itaconic acid ester replaced with itaconate, a crotonic acid ester replaced with clonate, a maleic acid ester replaced with maleate, and the like can be mentioned.

芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルとしては、ハイドロキノンジアクリレート、ハイドロキノンジメタクリレート、レゾルシンジアクリレート、レゾルシンジメタクリレート、ピロガロールトリアクリレート等の芳香族ポリヒドロキシ化合物のアクリル酸エステル及びメタクリル酸エステル等が挙げられる。
脂肪族ポリヒドロキシ化合物、芳香族ポリヒドロキシ化合物等の多価ヒドロキシ化合物と、不飽和カルボン酸及び多塩基性カルボン酸とのエステル化反応により得られるエステルとしては必ずしも単一物ではないが、代表的な具体例を挙げれば、アクリル酸、フタル酸、及びエチレングリコールの縮合物、アクリル酸、マレイン酸、及びジエチレングリコールの縮合物、メタクリル酸、テレフタル酸及びペンタエリスリトールの縮合物、アクリル酸、アジピン酸、ブタンジオール及びグリセリンの縮合物等が挙げられる。
Examples of the ester of the aromatic polyhydroxy compound and the unsaturated carboxylic acid include the acrylic acid ester and the methacrylic acid ester of the aromatic polyhydroxy compound such as hydroquinone diacrylate, hydroquinone dimethacrylate, resorcindiacrylate, resorcindimethacrylate, and pyrogalloltriacrylate. And so on.
The ester obtained by the esterification reaction of a polyvalent hydroxy compound such as an aliphatic polyhydroxy compound or an aromatic polyhydroxy compound with an unsaturated carboxylic acid or a polybasic carboxylic acid is not necessarily a single substance, but is representative. Specific examples thereof include condensates of acrylic acid, phthalic acid, and ethylene glycol, condensates of acrylic acid, maleic acid, and diethylene glycol, condensates of methacrylic acid, terephthalic acid, and pentaerythritol, acrylic acid, adipic acid, and the like. Examples thereof include a condensate of butanediol and glycerin.

その他、本発明に用いられる多官能エチレン性単量体の例としては、ポリイソシアネート化合物と水酸基含有(メタ)アクリル酸エステル又はポリイソシアネート化合物とポリオール及び水酸基含有(メタ)アクリル酸エステルを反応させて得られるようなウレタン(メタ)アクリレート類;多価エポキシ化合物とヒドロキシ(メタ)アクリレート又は(メタ)アクリル酸との付加反応物のようなエポキシアクリレート類;エチレンビスアクリルアミド等のアクリルアミド類;フタル酸ジアリル等のアリルエステル類;ジビニルフタレート等のビニル基含有化合物等が有用である。
上記ウレタン(メタ)アクリレート類としては、例えば、DPHA-40H、UX-5000、UX-5002D-P20、UX-5003D、UX-5005(日本化薬社製)、U-2PPA、U-6LPA、U-10PA、U-33H、UA-53H、UA-32P、UA-1100H(新中村化学工業社製)、UA-306H、UA-510H、UF-8001G(共栄社化学社製)、UV-1700B、UV-7600B、UV-7605B、UV-7630B、UV7640B(日本合成化学工業社製)等が挙げられる。
In addition, as an example of the polyfunctional ethylenic monomer used in the present invention, a polyisocyanate compound is reacted with a hydroxyl group-containing (meth) acrylic acid ester or a polyisocyanate compound is reacted with a polyol and a hydroxyl group-containing (meth) acrylic acid ester. Urethane (meth) acrylates as obtained; epoxy acrylates such as an addition reaction product of a polyvalent epoxy compound and hydroxy (meth) acrylate or (meth) acrylic acid; acrylamides such as ethylenebisacrylamide; diallyl phthalate. Allyl esters such as; vinyl group-containing compounds such as divinyl phthalate are useful.
Examples of the urethane (meth) acrylates include DPHA-40H, UX-5000, UX-5002D-P20, UX-5003D, UX-5005 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), U-2PPA, U-6LPA, U. -10PA, U-33H, UA-53H, UA-32P, UA-1100H (manufactured by Shin Nakamura Chemical Industry Co., Ltd.), UA-306H, UA-510H, UF-8001G (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), UV-1700B, UV -7600B, UV-7605B, UV-7630B, UV7640B (manufactured by Nippon Kayaku Kagaku Kogyo Co., Ltd.) and the like can be mentioned.

これらの中でも、適正なテーパー角と感度の観点から(A)エチレン性不飽和化合物として、エステル(メタ)アクリレート類又はウレタン(メタ)アクリレート類を用いることが好ましく、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、2-トリス(メタ)アクリロイロキシメチルエチルフタル酸、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートの二塩基酸無水物付加物、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートの二塩基酸無水物付加物等を用いることがより好ましい。
これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
Among these, ester (meth) acrylates or urethane (meth) acrylates are preferably used as the (A) ethylenically unsaturated compound from the viewpoint of appropriate taper angle and sensitivity, and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate is preferable. , Dipentaerythritol penta (meth) acrylate, 2-tris (meth) acryloyloxymethylethyl phthalic acid, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate It is more preferable to use a basic acid anhydride adduct, a dibasic acid anhydride adduct of pentaerythritol tri (meth) acrylate, and the like.
These may be used alone or in combination of two or more.

本発明において、(A)エチレン性不飽和化合物の分子量は特に限定されないが、感度、撥液性、テーパー角の観点から、好ましくは100以上、より好ましくは150以上で、さらに好ましくは200以上、よりさらに好ましくは300以上、特に好ましくは400以上、最も好ましくは500以上であり、好ましくは1000以下、より好ましくは700以下である。また、(A)エチレン性不飽和化合物の炭素数は特に限定されないが、感度、撥液性、テーパー角の観点から、好ましくは7以上、より好ましくは10以上、さらに好ましくは15以上、よりさらに好ましくは20以上、特に好ましくは25以上であり、好ましくは50以下、より好ましくは40以下、さらに好ましくは35以下、特に好ましくは30以下である。
また、感度、撥液性、テーパー角の観点から、エステル(メタ)アクリレート類、エポキシ(メタ)アクリレート類、およびウレタン(メタ)アクリレート類が好ましく、中でも、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートなど3官能以上のエステル(メタ)アクリレート類、2,2,2-トリス(メタ)アクリロイロキシメチルエチルフタル酸、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートの二塩基酸無水物付加物等の3官能以上のエステル(メタ)アクリレート類への酸無水物の付加物が、感度、撥液性、テーパー角の面でさらに好ましい。
In the present invention, the molecular weight of the (A) ethylenically unsaturated compound is not particularly limited, but is preferably 100 or more, more preferably 150 or more, still more preferably 200 or more, from the viewpoint of sensitivity, liquid repellency, and taper angle. It is even more preferably 300 or more, particularly preferably 400 or more, most preferably 500 or more, preferably 1000 or less, and even more preferably 700 or less. The carbon number of the (A) ethylenically unsaturated compound is not particularly limited, but is preferably 7 or more, more preferably 10 or more, still more preferably 15 or more, and even more, from the viewpoint of sensitivity, liquid repellency, and taper angle. It is preferably 20 or more, particularly preferably 25 or more, preferably 50 or less, more preferably 40 or less, still more preferably 35 or less, and particularly preferably 30 or less.
Ester (meth) acrylates, epoxy (meth) acrylates, and urethane (meth) acrylates are preferable from the viewpoints of sensitivity, liquid repellency, and taper angle, and among them, pentaerythritol tetra (meth) acrylate and pentaerythritol. Tri (meth) acrylates Dipentaerythritol hexa (meth) acrylates, dipentaerythritol penta (meth) acrylates and other trifunctional or higher-functional ester (meth) acrylates, 2,2,2-tris (meth) acryloyloxymethylethylphthal Addition of acid anhydride to trifunctional or higher functional ester (meth) acrylates such as acid, dibasic acid anhydride adduct of dipentaerythritol penta (meth) acrylate is a surface of sensitivity, liquid repellency and taper angle. Is even more preferable.

本発明の感光性樹脂組成物中の(A)エチレン性不飽和化合物の含有割合は、全固形分に対して通常5質量%以上、好ましくは10質量%以上、より好ましくは20質量%以上、さらに好ましくは30質量%以上、特に好ましくは40質量%以上、通常80質量%以下、好ましくは70質量%以下、より好ましくは60質量%以下、さらに好ましくは55質量%以下、特に好ましくは50質量%以下である。前記下限値以上とすることで露光時の感度やテーパー角が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることで現像性が良好となる傾向がある。 The content ratio of the (A) ethylenically unsaturated compound in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 5% by mass or more, preferably 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, based on the total solid content. More preferably 30% by mass or more, particularly preferably 40% by mass or more, usually 80% by mass or less, preferably 70% by mass or less, more preferably 60% by mass or less, still more preferably 55% by mass or less, particularly preferably 50% by mass. % Or less. When it is set to the lower limit value or more, the sensitivity and the taper angle at the time of exposure tend to be good, and when it is set to the upper limit value or less, the developability tends to be good.

また、(C)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対する(A)エチレン性不飽和化合物の含有割合は、通常15質量部以上、好ましくは30質量部以上、より好ましくは50質量部以上、さらに好ましくは80質量部以上、特に好ましくは90質量部以上であり、通常150質量部以下、好ましくは130質量部以下、より好ましくは120質量部以下、さらに好ましくは110質量部以下である。前記下限値以上とすることで露光時に感度が良好となり、テーパー角が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることで現像性が良好となる傾向がある。 The content ratio of (A) ethylenically unsaturated compound to 100 parts by mass of (C) alkali-soluble resin is usually 15 parts by mass or more, preferably 30 parts by mass or more, more preferably 50 parts by mass or more, still more preferably 80 parts by mass. By mass or more, particularly preferably 90 parts by mass or more, usually 150 parts by mass or less, preferably 130 parts by mass or less, more preferably 120 parts by mass or less, still more preferably 110 parts by mass or less. When it is set to the lower limit value or more, the sensitivity tends to be good at the time of exposure and the taper angle tends to be good, and when it is set to the upper limit value or less, the developability tends to be good.

[1-1-2](B)成分;光重合開始剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(B)光重合開始剤を含有する。光重合開始剤は、活性光線により、前記(A)エチレン性不飽和化合物が有するエチレン性不飽和結合を重合させる化合物であれば特に限定されるものではなく、公知の光重合開始剤を用いることができる。
[1-1-2] Component (B); Photopolymerization Initiator The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention contains (B) a photopolymerization initiator. The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it is a compound that polymerizes the ethylenically unsaturated bond of the (A) ethylenically unsaturated compound with active light, and a known photopolymerization initiator may be used. Can be done.

本発明の感光性樹脂組成物は、(B)光重合開始剤として、この分野で通常用いられている光重合開始剤を使用することができる。このような光重合開始剤としては、例えば、ヘキサアリールビイミダゾール系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤、オキシム系光重合開始剤、アセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、ヒドロキシベンゼン系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤、アントラキノン系光重合開始剤、ケタール系光重合開始剤、チタノセン系光重合開始剤、ハロゲン化炭化水素誘導体系光重合開始剤、有機硼素酸塩系光重合開始剤、オニウム塩系光重合開始剤、スルホン化合物系光重合開始剤、カルバミン酸誘導体系光重合開始剤、スルホンアミド系光重合開始剤、トリアリールメタノール系光重合開始剤が挙げられる。 In the photosensitive resin composition of the present invention, a photopolymerization initiator usually used in this field can be used as the (B) photopolymerization initiator. Examples of such photopolymerization initiators include hexaarylbiimidazole-based photopolymerization initiators, acylphosphine oxide-based photopolymerization initiators, oxime-based photopolymerization initiators, acetophenone-based photopolymerization initiators, and benzophenone-based photopolymerization initiators. Agent, hydroxybenzene photopolymerization initiator, thioxanthone photopolymerization initiator, anthraquinone photopolymerization initiator, ketal photopolymerization initiator, titanosen photopolymerization initiator, halogenated hydrocarbon derivative photopolymerization initiator, organic Boranolate-based photopolymerization initiator, onium salt-based photopolymerization initiator, sulfone compound-based photopolymerization initiator, carbamate derivative-based photopolymerization initiator, sulfonamide-based photopolymerization initiator, triarylmethanol-based photopolymerization initiator Can be mentioned.

ヘキサアリールビイミダゾール系光重合開始剤としては、吸光度および感度、紫外線吸収剤の吸収波長とのマッチング性の観点から、下記一般式(1-1)及び/又は下記一般式(1-2)で表されるヘキサアリールビイミダゾール系化合物が好ましい。 The hexaarylbiimidazole-based photopolymerization initiator is represented by the following general formula (1-1) and / or the following general formula (1-2) from the viewpoint of absorbance and sensitivity and matching with the absorption wavelength of the ultraviolet absorber. The hexaarylbiimidazole-based compound represented is preferable.

Figure 0007040089000005
Figure 0007040089000005

上記式中、R11~R13は、各々独立に、置換基を有してもよい炭素数1~4のアルキル基、置換基を有してもよい炭素数1~4のアルコキシ基、又はハロゲン原子を表し、m、n及びlは、各々独立に0~5の整数を表す。 In the above formula, R 11 to R 13 are independently an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms which may have a substituent, an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms which may have a substituent, or an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms. Representing a halogen atom, m, n and l each independently represent an integer of 0 to 5.

11~R13のアルキル基の炭素数は1~4の範囲内であれば特に限定されないが、感度の観点から、好ましくは3以下、より好ましくは2以下である。アルキル基は鎖状のものでも、環状のものでもよい。アルキル基の具体例としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基が挙げられ、中でもメチル基、エチル基が好ましい。R11~R13の炭素数1~4のアルキル基が有してもよい置換基としては、水素を除く1価の非金属原子団の基が用いられ、好ましい例としては、ハロゲン原子(-F、-Br、-Cl、-I)、ヒドロキシル基、アルコキシ基が挙げられる。 The carbon number of the alkyl group of R 11 to R 13 is not particularly limited as long as it is in the range of 1 to 4, but from the viewpoint of sensitivity, it is preferably 3 or less, more preferably 2 or less. The alkyl group may be chain-like or cyclic. Specific examples of the alkyl group include, for example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group and an isopropyl group, and among them, a methyl group and an ethyl group are preferable. As the substituent which the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms of R 11 to R 13 may have, a group of a monovalent non-metal atomic group excluding hydrogen is used, and a preferred example is a halogen atom (-). Examples thereof include F, -Br, -Cl, -I), a hydroxyl group, and an alkoxy group.

また、R11~R13のアルコキシ基の炭素数は1~4の範囲内であれば特に限定されないが、感度の観点から、好ましくは3以下、より好ましくは2以下である。アルコキシ基のアルキル基部分は鎖状のものでも、環状のものでもよい。アルコキシ基の具体例とは、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロピルオキシ基、ブトキシ基が挙げられ、中でもメトキシ基、エトキシ基が好ましい。R11~R13の炭素数1~4のアルコキシ基が有してもよい置換基としてはアルキル基、アルコキシ基が挙げられるが、好ましくはアルキル基である。 Further, the carbon number of the alkoxy group of R 11 to R 13 is not particularly limited as long as it is in the range of 1 to 4, but from the viewpoint of sensitivity, it is preferably 3 or less, more preferably 2 or less. The alkyl group portion of the alkoxy group may be chain-like or cyclic. Specific examples of the alkoxy group include, for example, a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, an isopropyloxy group, and a butoxy group, and among them, a methoxy group and an ethoxy group are preferable. Examples of the substituent which the alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms of R 11 to R 13 may have are an alkyl group and an alkoxy group, but an alkyl group is preferable.

また、R11~R13のハロゲン原子とは、例えば、塩素原子、ヨウ素原子、臭素原子、フッ素原子が挙げられ、中でも合成容易性の観点から、塩素原子又はフッ素原子が好ましく、塩素原子がより好ましい。
これらの中でも、感度や合成容易性の観点から、R11~R13は各々独立にハロゲン原子であることが好ましく、塩素原子であることがより好ましい。
Examples of the halogen atoms of R 11 to R 13 include chlorine atom, iodine atom, bromine atom, and fluorine atom. Among them, chlorine atom or fluorine atom is preferable, and chlorine atom is more preferable from the viewpoint of easiness of synthesis. preferable.
Among these, from the viewpoint of sensitivity and ease of synthesis, it is preferable that R 11 to R 13 are independently halogen atoms, and more preferably chlorine atoms.

m、n及びlは、各々独立に0~5の整数を表すが、合成容易性の観点から、m、n及びlの少なくとも1つが1以上の整数であることが好ましく、m、n及びlのうちいずれか1つが1であり、かつ、残りの2つが0であることがより好ましい。 Although m, n and l each independently represent an integer of 0 to 5, from the viewpoint of ease of synthesis, it is preferable that at least one of m, n and l is an integer of 1 or more, and m, n and l. It is more preferable that any one of them is 1 and the remaining 2 are 0.

一般式(1-1)及び/又は一般式(1-2)で表されるヘキサアリールビイミダゾール系化合物としては、例えば、2,2’-ビス(o-クロロフェニル)-4,5,4’,5’-テトラフェニルビイミダゾール、2,2’-ビス(o-メチルフェニル)-4,5,4’,5’-テトラフェニルビイミダゾール、2,2’-ビス(o-クロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラ(o,p-ジクロロフェニル)ビイミダゾール、2,2’-ビス(o,p-ジクロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラ(o,p-ジクロロフェニル)ビイミダゾール、2,2’-ビス(o-クロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラ(p-フルオロフェニル)ビイミダゾール、2,2’-ビス(o-クロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラ(o,p-ジブロモフェニル)ビイミダゾール、2,2’-ビス(o-ブロモフェニル)-4,4’,5,5’-テトラ(o,p-ジクロロフェニル)ビイミダゾール、2,2’-ビス(o-クロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラ(p-クロロナフチル)ビイミダゾール等が挙げられる。中でも、ヘキサフェニルビイミダゾール化合物が好ましく、そのイミダゾール環上の2,2’-位に結合したベンゼン環のo-位がメチル基、メトキシ基、又はハロゲン原子で置換されたものが更に好ましく、そのイミダゾール環上の4,4’,5,5’-位に結合したベンゼン環が無置換、又は、ハロゲン原子若しくはメトキシ基で置換されたもの等が好ましい。 Examples of the hexaarylbiimidazole-based compound represented by the general formula (1-1) and / or the general formula (1-2) include 2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4,5,4'. , 5'-Tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o-methylphenyl) -4,5,4', 5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4 , 4', 5,5'-tetra (o, p-dichlorophenyl) biimidazole, 2,2'-bis (o, p-dichlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra (o, p-) Dichlorophenyl) biimidazole, 2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra (p-fluorophenyl) biimidazole, 2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4 , 4', 5,5'-tetra (o, p-dibromophenyl) biimidazole, 2,2'-bis (o-bromophenyl) -4,4', 5,5'-tetra (o, p-) Examples thereof include dichlorophenyl) biimidazole, 2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra (p-chloronaphthyl) biimidazole and the like. Of these, a hexaphenylbiimidazole compound is preferable, and a compound in which the o-position of the benzene ring bonded to the 2,2'-position on the imidazole ring is substituted with a methyl group, a methoxy group, or a halogen atom is more preferable. It is preferable that the benzene ring bonded to the 4,4', 5,5'-position on the imidazole ring is unsubstituted or substituted with a halogen atom or a methoxy group.

(B)光重合開始剤として、一般式(1-1)で表されるヘキサアリールビイミダゾール系化合物と一般式(1-2)で表されるヘキサアリールビイミダゾール系化合物のいずれかを用いても良く、両者を併用して用いても良い。併用して用いる場合には、その比率については特に限定されない。なお、実施例で用いたb-1は、一般式(1-1)を満足する構造を有する。 (B) As the photopolymerization initiator, either a hexaarylbiimidazole-based compound represented by the general formula (1-1) or a hexaarylbiimidazole-based compound represented by the general formula (1-2) is used. It is also good, and both may be used in combination. When used in combination, the ratio is not particularly limited. The b-1 used in the examples has a structure satisfying the general formula (1-1).

また、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤としては、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド等を好ましいものとして挙げることができる。 Further, as the acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine oxide and the like can be mentioned as preferable ones. ..

オキシム系光重合開始剤としては、特表2004-534797号公報、特開2000-80068号公報、特開2006-36750号公報、特開2008-179611号公報、特表2012-526185号公報、特表2012-519191号公報等に記載されているオキシムエステル化合物が挙げられる。中でも感度の観点からN-アセトキシ-N-{4-アセトキシイミノ-4-[9-エチル-6-(o-トルオイル)-9H-カルバゾール-3-イル]ブタン-2-イル}アセトアミド、N-アセトキシ-N-{3-(アセトキシイミノ)-3-[9-エチル-6-(1-ナフトイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-1-メチルプロピル}アセトアミド、4-アセトキシイミノ-5-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-5-オキソペンタン酸メチルが、また製品名として、OXE-01、OXE-02、OXE-03(BASF社製)、TR-PBG-304、TR-PBG-305(常州強力社製)、NCI-831、NCI-930(ADEKA社製)等を好ましいものとして挙げることができる。 Examples of the oxime-based photopolymerization initiator include JP-A-2004-534797, JP-A-2000-80068, JP-A-2006-36750, JP-A-2008-179611, JP-A-2012-526185, and Japanese Patent Publication No. 2012-526185. Examples thereof include oxime ester compounds described in Table 2012-591991. Above all, from the viewpoint of sensitivity, N-acetoxy-N- {4-acetoxyimimino-4- [9-ethyl-6- (o-toluoil) -9H-carbazole-3-yl] butane-2-yl} acetamide, N- Acetoxy-N- {3- (acetoxyimino) -3- [9-ethyl-6- (1-naphthoyl) -9H-carbazole-3-yl] -1-methylpropyl} acetamide, 4-acetoxyimimino-5 [9-Ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole-3-yl] -methyl 5-oxopentanoate is also available as product names, OXE-01, OXE-02, OXE-03 (BASF). , TR-PBG-304, TR-PBG-305 (manufactured by Changshu Power Co., Ltd.), NCI-831, NCI-930 (manufactured by ADEKA) and the like can be mentioned as preferable ones.

アセトフェノン系光重合開始剤としては、例えば、2,2-ジエトキシアセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、1-ヒドロキシ-1-(p-ドデシルフェニル)ケトン、1-ヒドロキシ-1-メチルエチル-(p-イソプロピルフェニル)ケトン、1-トリクロロメチル-(p-ブチルフェニル)ケトン、α-ヒドロキシ-2-メチルフェニルプロパノン、2-メチル-1[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)ブタノン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)ブタン-1-オン、4-ジメチルアミノエチルベンゾエート、4-ジメチルアミノイソアミルベンゾエート、4-ジエチルアミノアセトフェノン、4-ジメチルアミノプロピオフェノン、2-エチルヘキシル-1,4-ジメチルアミノベンゾエート、2,5-ビス(4-ジエチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、4-(ジエチルアミノ)カルコン等が挙げられる。
ベンゾフェノン系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、2-メチルベンゾフェノン、3-メチルベンゾフェノン、4-メチルベンゾフェノン、2-カルボキシベンゾフェノン、2-クロロベンゾフェノン、4-ブロモベンゾフェノン、ミヒラーケトン等が挙げられる。
Examples of the acetophenone-based photopolymerization initiator include 2,2-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, and 1-hydroxy-1- (p-dodecylphenyl) ketone. , 1-Hydroxy-1-methylethyl- (p-isopropylphenyl) ketone, 1-trichloromethyl- (p-butylphenyl) ketone, α-hydroxy-2-methylphenylpropanol, 2-methyl-1 [4- (Methylthio) Phenyl] -2-morpholinopropane-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1 -(4-Morphorinophenyl) butane-1-one, 4-dimethylaminoethylbenzoate, 4-dimethylaminoisoamylbenzoate, 4-diethylaminoacetophenone, 4-dimethylaminopropiophenone, 2-ethylhexyl-1,4-dimethyl Examples thereof include aminobenzoate, 2,5-bis (4-diethylaminobenzal) cyclohexanone, 4- (diethylamino) chalcone and the like.
Examples of the benzophenone-based photopolymerization initiator include benzophenone, 2-methylbenzophenone, 3-methylbenzophenone, 4-methylbenzophenone, 2-carboxybenzophenone, 2-chlorobenzophenone, 4-bromobenzophenone, and Michler ketone.

ヒドロキシベンゼン系光重合開始剤としては、例えば、2-ヒドロキシ-4-n-オクトキシベンゾフェノン、2-ヒドロキシ-4-ベンジルベンゾフェノン、2-(2-ヒドロキシ-5-メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、4-ジ-tert-ブチルフェニル-3,5-ジ-tert-ブチル-4-ヒドロキシベンゾエート等が挙げられる。
チオキサントン系光重合開始剤としては、例えば、チオキサントン、2-エチルチオキサントン、2-イソプロピルチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2,4-ジイソプロピルチオキサントン、2-クロロチオキサントン等が挙げられる。
アントラキノン系光重合開始剤としては、例えば、2-メチルアントラキノン等が、また、ケタール系光重合開始剤としては、例えば、ベンジルジメチルケタール等が、それぞれ挙げられる。
Examples of the hydroxybenzene-based photopolymerization initiator include 2-hydroxy-4-n-octoxybenzophenone, 2-hydroxy-4-benzylbenzophenone, 2- (2-hydroxy-5-methylphenyl) benzotriazole, and 4-. Examples thereof include di-tert-butylphenyl-3,5-di-tert-butyl-4-hydroxybenzoate.
Examples of the thioxanthone-based photopolymerization initiator include thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone and the like. Can be mentioned.
Examples of the anthraquinone-based photopolymerization initiator include 2-methylanthraquinone and the like, and examples of the ketal-based photopolymerization initiator include benzyldimethyl ketal and the like.

チタノセン系光重合開始剤としては、例えば、ジシクロペンタジエニルチタニウムジクロライド、ジシクロペンタジエニルチタニウムビスフェニル、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,4-ジフルオロフェニル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,6-ジフルオロフェニル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,4,6-トリフルオロフェニル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,3,5,6-テトラフルオロフェニル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,3,4,5,6-ペンタフルオロフェニル)、ジ(メチルシクロペンタジエニル)チタニウムビス(2,6-ジフルオロフェニル)、ジ(メチルシクロペンタジエニル)チタニウムビス(2,3,4,5,6-ペンタフルオロフェニル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス〔2,6-ジフルオロ-3-(1-ピロリル)フェニル〕等が挙げられる。中でも、感度の観点からジシクロペンタジエニル構造とビスフェニル構造を有するチタン化合物が好ましく、ビスフェニル環のo-位がハロゲン原子で置換されたものが特に好ましい。 Examples of the titanosen-based photopolymerization initiator include dicyclopentadienyltitanium dichloride, dicyclopentadienyltitanium bisphenyl, dicyclopentadienyltitanium bis (2,4-difluorophenyl), and dicyclopentadienyltitanium. Bis (2,6-difluorophenyl), dicyclopentadienyl titanium bis (2,4,6-trifluorophenyl), dicyclopentadienyl titanium bis (2,3,5,6-tetrafluorophenyl), Dicyclopentadienyl Titanium bis (2,3,4,5,6-pentafluorophenyl), di (methylcyclopentadienyl) Titanium bis (2,6-difluorophenyl), di (methylcyclopentadienyl) Examples thereof include titanium bis (2,3,4,5,6-pentafluorophenyl) and dicyclopentadienyl titanium bis [2,6-difluoro-3- (1-pyrrolill) phenyl]. Among them, a titanium compound having a dicyclopentadienyl structure and a bisphenyl structure is preferable from the viewpoint of sensitivity, and a compound in which the o-position of the bisphenyl ring is substituted with a halogen atom is particularly preferable.

ハロゲン化炭化水素誘導体系光重合開始剤としては、ハロメチル化s-トリアジン誘導体類が挙げられ、例えば、2,4,6-トリス(モノクロロメチル)-s-トリアジン、2,4,6-トリス(ジクロロメチル)-s-トリアジン、2,4,6-トリス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-メチル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-n-プロピル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(α,α,β-トリクロロエチル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-フェニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-メトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(3,4-エポキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-クロロフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-〔1-(p-メトキシフェニル)-2,4-ブタジエニル〕-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-スチリル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-メトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-メトキシ-m-ヒドロキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-i-プロピルオキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-トリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-メトキシナフチル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-エトキシナフチル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(p-エトキシカルボニルナフチル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-フェニルチオ-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-ベンジルチオ-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2,4,6-トリス(ジブロモメチル)-s-トリアジン、2,4,6-トリス(トリブロモメチル)-s-トリアジン、2-メチル-4,6-ビス(トリブロモメチル)-s-トリアジン、2-メトキシ-4,6-ビス(トリブロモメチル)-s-トリアジン、2-(4-メトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン等のハロメチル化s-トリアジン誘導体類が挙げられ、中でも感度の観点から、ビス(トリハロメチル)-s-トリアジン類が好ましい。 Examples of the halogenated hydrocarbon derivative-based photopolymerization initiator include halomethylated s-triazine derivatives, for example, 2,4,6-tris (monochromomethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (1,4,6-tris). Dichloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-n-propyl-4, 6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (α, α, β-trichloroethyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloro) Methyl) -s-triazine, 2- (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (3,4-epoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2- (p-chlorophenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [1- (p-methoxyphenyl) -2,4-butadienyl] -4,6- Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-styryl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine , 2- (p-methoxy-m-hydroxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (pi-propyloxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl)- s-triazine, 2- (p-tolyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2 -(P-ethoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-ethoxycarbonylnaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-phenylthio- 4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-benzylthio-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (dibromomethyl) -s-triazine, 2, 4,6-Tris (tribromomethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (tribromomethyl) -s-triazine, 2-methoxy-4,6-bis (tribromomethyl) -s -Triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazi Examples thereof include halomethylated s-triazine derivatives such as bis (trihalomethyl) -s-triazines from the viewpoint of sensitivity.

また、有機硼素酸塩系光重合開始剤としては、例えば、有機硼素アンモニウム錯体、有機硼素ホスホニウム錯体、有機硼素スルホニウム錯体、有機硼素オキソスルホニウム錯体、有機硼素ヨードニウム錯体、有機硼素遷移金属配位錯体等が挙げられ、その有機硼素アニオンとしては、例えば、n-ブチル-トリフェニル硼素アニオン、n-ブチル-トリス(2,4,6-トリメチルフェニル)硼素アニオン、n-ブチル-トリス(p-メトキシフェニル)硼素アニオン、n-ブチル-トリス(p-フルオロフェニル)硼素アニオン、n-ブチル-トリス(m-フルオロフェニル)硼素アニオン、n-ブチル-トリス(3-フルオロ-4-メチルフェニル)硼素アニオン、n-ブチル-トリス(2,6-ジフルオロフェニル)硼素アニオン、n-ブチル-トリス(2,4,6-トリフルオロフェニル)硼素アニオン、n-ブチル-トリス(2,3,4,5,6-ペンタフルオロフェニル)硼素アニオン、n-ブチル-トリス(p-クロロフェニル)硼素アニオン、n-ブチル-トリス(2,6-ジフルオロ-3-ピロリルフェニル)硼素アニオン等のアルキル-トリフェニル硼素アニオンが感度の観点から好ましく、また、対カチオンとしては、アンモニウムカチオン、ホスホニウムカチオン、スルホニウムカチオン、ヨードニウムカチオン等のオニウム化合物が感度の観点から好ましく、テトラアルキルアンモニウム等の有機アンモニウムカチオンが感度の観点から特に好ましい。 Examples of the organic boronic acid salt-based photopolymerization initiator include an organic boron ammonium complex, an organic boron phosphonium complex, an organic boron sulfonium complex, an organic boron oxosulfonium complex, an organic boron iodonium complex, and an organic boron transition metal coordination complex. Examples of the organic boron anion include n-butyl-triphenylborone anion, n-butyl-tris (2,4,6-trimethylphenyl) boron anion, and n-butyl-tris (p-methoxyphenyl). ) Borone anion, n-butyl-tris (p-fluorophenyl) boron anion, n-butyl-tris (m-fluorophenyl) boron anion, n-butyl-tris (3-fluoro-4-methylphenyl) boron anion, n-butyl-tris (2,6-difluorophenyl) boron anion, n-butyl-tris (2,4,6-trifluorophenyl) boron anion, n-butyl-tris (2,3,4,5,6) Alkyl-triphenyl boron anion such as -pentafluorophenyl) boron anion, n-butyl-tris (p-chlorophenyl) boron anion, n-butyl-tris (2,6-difluoro-3-pyrrolillphenyl) boron anion As the counter cation, an onium compound such as an ammonium cation, a phosphonium cation, a sulfonium cation, and an iodonium cation is preferable from the viewpoint of sensitivity, and an organic ammonium cation such as tetraalkylammonium is particularly preferable from the viewpoint of sensitivity. ..

また、オニウム塩系光重合開始剤としては、例えば、テトラメチルアンモニウムブロマイド、テトラエチルアンモニウムブロマイド等のアンモニウム塩、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ジフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、ジフェニルヨードニウムp-トルエンスルホネート、ジフェニルヨードニウムカンファースルホネート、ジシクロヘキシルヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ジシクロヘキシルヨードニウムテトラフルオロボレート、ジシクロヘキシルヨードニウムp-トルエンスルホネート、ジシクロヘキシルヨードニウムカンファースルホネート等のヨードニウム塩、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリフェニルスルホニウムテトラフルオロボレート、トリフェニルスルホニウムp-トルエンスルホネート、トリフェニルスルホニウムカンファースルホネート、トリシクロヘキシルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリシクロヘキシルスルホニウムテトラフルオロボレート、トリシクロヘキシルスルホニウムp-トルエンスルホネート、トリシクロヘキシルスルホニウムカンファースルホネート等のスルホニウム塩等が挙げられる。 Examples of the onium salt-based photopolymerization initiator include ammonium salts such as tetramethylammonium bromide and tetraethylammonium bromide, diphenyliodonium hexafluoroarsenate, diphenyliodonium tetrafluoroborate, diphenyliodonium p-toluenesulfonate, and diphenyliodonium camphor. Iodonium salts such as sulfonate, dicyclohexyliodonium hexafluoroarsenate, dicyclohexyliodonium tetrafluoroborate, dicyclohexyliodonium p-toluenesulfonate, dicyclohexyliodonium camphorsulfonate, triphenylsulfonium hexafluoroarsenate, triphenylsulfonium tetrafluoroborate, triphenylsulfonium p -Sulfonium salts such as toluene sulfonate, triphenyl sulfonium camphor sulfonate, tricyclohexyl sulfonium hexafluoroarsenate, tricyclohexyl sulfonium tetrafluoroborate, tricyclohexyl sulfonium p-toluene sulfonate, tricyclohexyl sulfonium camphor sulfonate and the like can be mentioned.

また、スルホン化合物系光重合開始剤としては、例えば、ビス(フェニルスルホニル)メタン、ビス(p-ヒドロキシフェニルスルホニル)メタン、ビス(p-メトキシフェニルスルホニル)メタン、ビス(α-ナフチルスルホニル)メタン、ビス(β-ナフチルスルホニル)メタン、ビス(シクロヘキシルスルホニル)メタン、ビス(tert-ブチルスルホニル)メタン、フェニルスルホニル(シクロヘキシルスルホニル)メタン等のビス(スルホニル)メタン化合物、フェニルカルボニル(フェニルスルホニル)メタン、ナフチルカルボニル(フェニルスルホニル)メタン、フェニルカルボニル(ナフチルスルホニル)メタン、シクロヘキシルカルボニル(フェニルスルホニル)メタン、tert-ブチルカルボニル(フェニルスルホニル)メタン、フェニルカルボニル(シクロヘキシルスルホニル)メタン、フェニルカルボニル(tert-ブチルカルボニル)メタン等のカルボニル(スルホニル)メタン化合物、ビス(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(p-ヒドロキシフェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(p-メトキシフェニルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(α-ナフチルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(β-ナフチルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(tert-ブチルスルホニル)ジアゾメタン、フェニルスルホニル(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(スルホニル)ジアゾメタン、フェニルカルボニル(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、ナフチルカルボニル(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、フェニルカルボニル(ナフチルスルホニル)ジアゾメタン、シクロヘキシルカルボニル(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、tert-ブチルカルボニル(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、フェニルカルボニル(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、フェニルカルボニル(tert-ブチルカルボニル)ジアゾメタン等のカルボニル(スルホニル)ジアゾメタン化合物等が挙げられる。 Examples of the sulfonyl compound-based photopolymerization initiator include bis (phenylsulfonyl) methane, bis (p-hydroxyphenylsulfonyl) methane, bis (p-methoxyphenylsulfonyl) methane, and bis (α-naphthylsulfonyl) methane. Bis (sulfonyl) methane compounds such as bis (β-naphthylsulfonyl) methane, bis (cyclohexylsulfonyl) methane, bis (tert-butylsulfonyl) methane, phenylsulfonyl (cyclohexylsulfonyl) methane, phenylcarbonyl (phenylsulfonyl) methane, naphthyl. Carbonyl (phenylsulfonyl) methane, phenylcarbonyl (naphthylsulfonyl) methane, cyclohexylcarbonyl (phenylsulfonyl) methane, tert-butylcarbonyl (phenylsulfonyl) methane, phenylcarbonyl (cyclohexylsulfonyl) methane, phenylcarbonyl (tert-butylcarbonyl) methane Carbonyl (sulfonyl) methane compounds such as bis (phenylsulfonyl) diazomethane, bis (p-hydroxyphenylsulfonyl) diazomethane, bis (p-methoxyphenylsulfonyl) diazomethane, bis (α-naphthylsulfonyl) diazomethane, bis (β-naphthyl) Sulfonyl) diazomethane, bis (cyclohexylsulfonyl) diazomethane, bis (tert-butylsulfonyl) diazomethane, phenylsulfonyl (cyclohexylsulfonyl) diazomethane, bis (sulfonyl) diazomethane, phenylcarbonyl (phenylsulfonyl) diazomethane, naphthylcarbonyl (phenylsulfonyl) diazomethane, Carbonyl (sulfonyl) diazomethanes such as phenylcarbonyl (naphthylsulfonyl) diazomethane, cyclohexylcarbonyl (phenylsulfonyl) diazomethane, tert-butylcarbonyl (phenylsulfonyl) diazomethane, phenylcarbonyl (cyclohexylsulfonyl) diazomethane, phenylcarbonyl (tert-butylcarbonyl) diazomethane Examples include compounds.

また、カルバミン酸誘導体系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイルシクロヘキシルカルバメート、2-ニトロベンジルシクロヘキシルカルバメート、3,5-ジメトキシベンジルシクロヘキシルカルバメート、3-ニトロフェニルシクロヘキシルカルバメート等が挙げられる。
スルホンアミド系光重合開始剤としては、例えば、N-シクロヘキシル-4-メチルフェニルスルホンアミド、N-シクロヘキシル-2-ナフチルスルホンアミド等が、また、トリアリールメタノール系光重合開始剤としては、例えば、トリフェニルメタノール、トリ(4-クロロフェニル)メタノール等が、それぞれ挙げられる。
Examples of the carbamic acid derivative-based photopolymerization initiator include benzoylcyclohexylcarbamate, 2-nitrobenzylcyclohexylcarbamate, 3,5-dimethoxybenzylcyclohexylcarbamate, 3-nitrophenylcyclohexylcarbamate and the like.
Examples of the sulfonamide-based photopolymerization initiator include N-cyclohexyl-4-methylphenylsulfonamide and N-cyclohexyl-2-naphthylsulfonamide, and examples of the triarylmethanol-based photopolymerization initiator include. Examples thereof include triphenylmethanol and tri (4-chlorophenyl) methanol.

これらの光重合開始剤は、感光性樹脂組成物中にその1種が単独で含まれていてもよく、2種以上が含まれていてもよい。これらの光重合開始剤の中で、ヘキサアリールビイミダゾール系化合物は、吸光度が高いことから表面硬化性が高く、また、高い撥液性と高いテーパー角が得られる点で特に好ましい。 One of these photopolymerization initiators may be contained alone in the photosensitive resin composition, or two or more of these photopolymerization initiators may be contained. Among these photopolymerization initiators, the hexaarylbiimidazole-based compound is particularly preferable because it has high surface curability because of its high absorbance and high liquid repellency and high taper angle.

本発明の感光性樹脂組成物中の(B)光重合開始剤の含有割合としては、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常0.01質量%以上、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、さらに好ましくは1質量%以上、特に好ましくは1.5質量%以上であり、通常25質量%以下、好ましくは10質量%以下、より好ましくは8質量%以下、さらに好ましくは5質量%以下、特に好ましくは3質量%以下である。前記下限値以上とすることで現像時に膜減りを生じずに塗膜が形成され、また十分な撥液性が生じる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望のパターン形状が形成しやすくなる傾向がある。 The content ratio of the (B) photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 0.01% by mass or more, preferably 0.1% by mass, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. % Or more, more preferably 0.5% by mass or more, further preferably 1% by mass or more, particularly preferably 1.5% by mass or more, usually 25% by mass or less, preferably 10% by mass or less, more preferably 8 It is mass% or less, more preferably 5% by mass or less, and particularly preferably 3% by mass or less. When it is at least the above lower limit value, a coating film is formed without causing film loss during development, and there is a tendency for sufficient liquid repellency to occur, and when it is at least the above upper limit value, a desired pattern shape is formed. It tends to be easier to do.

また、感光性樹脂組成物中の(A)エチレン性不飽和化合物に対する(B)光重合開始剤の配合比としては、(A)エチレン性不飽和化合物100質量部に対して、1質量部以上が好ましく、2質量部以上がより好ましく、3質量部以上がさらに好ましく、また、200質量部以下が好ましく、100質量部以下がより好ましく、50質量部以下がさらに好ましく、20質量部以下がよりさらに好ましく、10質量部以下が特に好ましく、5質量部以下が最も好ましい。前記下限値以上とすることで適切な感度となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望のパターン形状が形成しやすくなる傾向がある。 The compounding ratio of the (B) photopolymerization initiator to the (A) ethylenically unsaturated compound in the photosensitive resin composition is 1 part by mass or more with respect to 100 parts by mass of the (A) ethylenically unsaturated compound. Is preferable, 2 parts by mass or more is more preferable, 3 parts by mass or more is further preferable, 200 parts by mass or less is preferable, 100 parts by mass or less is more preferable, 50 parts by mass or less is further preferable, and 20 parts by mass or less is more preferable. More preferably, 10 parts by mass or less is particularly preferable, and 5 parts by mass or less is most preferable. When it is at least the lower limit value, the sensitivity tends to be appropriate, and when it is at least the upper limit value, it tends to be easy to form a desired pattern shape.

また(B)光重合開始剤と併用して、連鎖移動剤を用いることが好ましい。連鎖移動剤を含むことでテーパー角が高くなる傾向があり、また、接触角も高くなる傾向がある。
連鎖移動剤としてはメルカプト基含有化合物や、四塩化炭素等が挙げられ、連鎖移動効果が高い傾向があることからメルカプト基を有する化合物を用いることがより好ましい。S-H結合エネルギーが小さいことによって結合開裂が起こりやすく、連鎖移動反応を起こしやすいため、酸素阻害等による表面近傍におけるラジカル失活を改善して表面硬化性を高めることができ、テーパー角を大きくするのに有効であると考えられる。また、表面硬化性を高めることにより、撥液剤の流出を抑制でき、撥液剤を表面近傍に固定しやすく接触角を高くするのに有効であると考えられる。
Further, it is preferable to use a chain transfer agent in combination with (B) a photopolymerization initiator. The inclusion of the chain transfer agent tends to increase the taper angle and also tends to increase the contact angle.
Examples of the chain transfer agent include a mercapto group-containing compound, carbon tetrachloride, and the like, and since the chain transfer effect tends to be high, it is more preferable to use a compound having a mercapto group. Since the binding energy is small, bond cleavage is likely to occur and a chain transfer reaction is likely to occur. Therefore, radical deactivation in the vicinity of the surface due to oxygen inhibition or the like can be improved to improve surface curability, and the taper angle is increased. It is considered to be effective for doing so. Further, it is considered that by enhancing the surface curability, the outflow of the liquid repellent can be suppressed, the liquid repellent can be easily fixed in the vicinity of the surface, and the contact angle can be increased.

連鎖移動剤の中でも、テーパー角、表面硬化性の観点から、芳香族環を有するメルカプト基含有化合物と脂肪族系のメルカプト基含有化合物が好ましい。 Among the chain transfer agents, a mercapto group-containing compound having an aromatic ring and an aliphatic mercapto group-containing compound are preferable from the viewpoint of taper angle and surface curability.

芳香族環を有するメルカプト基含有化合物としては、テーパー角の観点から、下記一般式(1-3)で表される化合物が好適に用いられる。 As the mercapto group-containing compound having an aromatic ring, a compound represented by the following general formula (1-3) is preferably used from the viewpoint of the taper angle.

Figure 0007040089000006
Figure 0007040089000006

式(1-3)中、Zは-O-、-S-又は-NH-を表し、R61~R64は各々独立に、水素原子又は1価の置換基を表す。
このうち、テーパー角の観点から、Zは-S-又は-NH-が好ましく、-NH-がより好ましい。
またテーパー角の観点から、R61~R64は各々独立に、水素原子、炭素数1~4アルキル基又は炭素数1~4のアルコキシ基が好ましく、水素原子がより好ましい。
In formula (1-3), Z represents —O—, —S— or —NH—, and R 61 to R 64 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent substituent.
Of these, from the viewpoint of the taper angle, Z is preferably —S— or —NH—, and more preferably —NH—.
Further, from the viewpoint of the taper angle, R 61 to R 64 are each independently preferably a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, and a hydrogen atom is more preferable.

具体的には、2-メルカプトベンゾチアゾール、2-メルカプトベンゾイミダゾール、2-メルカプトベンゾオキサゾール、3-メルカプト-1,2,4-トリアゾール、2-メルカプト-4(3H)-キナゾリン、β-メルカプトナフタレン、1,4-ジメチルメルカプトベンゼン等の芳香族環を有するメルカプト基含有化合物が挙げられ、テーパー角の観点から、2-メルカプトベンゾチアゾール、2-メルカプトベンゾイミダゾールが好ましい。 Specifically, 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, 3-mercapto-1,2,4-triazole, 2-mercapto-4 (3H) -quinazoline, β-mercaptonaphthalene. , 1,4-dimethylmercaptobenzene and the like, examples thereof include mercapto group-containing compounds having an aromatic ring, and 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzimidazole are preferable from the viewpoint of taper angle.

一方で脂肪族系のメルカプト基含有化合物としては、表面硬化性の観点から、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、又は下記一般式(1-4)で表される化合物が好適に用いられる。 On the other hand, as the aliphatic mercapto group-containing compound, hexanedithiol, decandithiol, or a compound represented by the following general formula (1-4) is preferably used from the viewpoint of surface curability.

Figure 0007040089000007
Figure 0007040089000007

式(1-4)中、mは0~4の整数、nは2~4の整数を表す。R71及びR72は各々独立に、水素原子又は炭素数1~4のアルキル基を表す。Xはn価の基を表す。 In equation (1-4), m represents an integer of 0 to 4, and n represents an integer of 2 to 4. R 71 and R 72 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. X represents an n-valent group.

前記一般式(1-4)において、合成容易性の観点から、mは1又は2であることが好ましい。また、表面硬化性の観点から、nは3又は4であることが好ましく、4がより好ましい。
また、R71及びR72のアルキル基としては、表面硬化性の観点から、炭素数1~3のものが好ましい。表面硬化性の観点から、R71及びR72のうちの少なくとも一方、例えばR72は水素原子であることが好ましく、この場合において、R71は水素原子又は炭素数1~3のアルキル基であることが好ましい。
In the general formula (1-4), m is preferably 1 or 2 from the viewpoint of ease of synthesis. Further, from the viewpoint of surface curability, n is preferably 3 or 4, more preferably 4.
The alkyl groups of R 71 and R 72 are preferably those having 1 to 3 carbon atoms from the viewpoint of surface curability. From the viewpoint of surface curability, at least one of R 71 and R 72 , for example, R 72 is preferably a hydrogen atom, in which case R 71 is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms. Is preferable.

nが2である場合、表面硬化性の観点から、Xはエーテル結合及び/又は枝分かれ部を有しても良い炭素数1~6のアルキレン基が好ましい。表面硬化性、合成容易性の観点から、中でも炭素数1~6のアルキレン基がより好ましく、炭素数4のアルキレン基がさらに好ましい。 When n is 2, from the viewpoint of surface curability, X is preferably an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms which may have an ether bond and / or a branched portion. From the viewpoint of surface curability and easiness of synthesis, an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms is more preferable, and an alkylene group having 4 carbon atoms is further preferable.

nが3である場合、表面硬化性、合成容易性の観点から、Xは下記一般式(1-5)又は(1-6)で表される構造であることが好ましい。 When n is 3, from the viewpoint of surface curability and ease of synthesis, X is preferably a structure represented by the following general formula (1-5) or (1-6).

Figure 0007040089000008
Figure 0007040089000008

式(1-5)中、R73は水素原子、炭素数1~6のアルキル基、又はメチロール基を表す。R73の中でも、テーパー角の観点から、エチル基が好ましい。 In formula (1-5), R 73 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or a methylol group. Among R 73 , an ethyl group is preferable from the viewpoint of the taper angle.

Figure 0007040089000009
Figure 0007040089000009

式(1-6)中、R74は炭素数1~4のアルキレン基を表す。R74の中でも、テーパー角の観点から、エチレン基が好ましい。 In formula (1-6), R 74 represents an alkylene group having 1 to 4 carbon atoms. Among R 74 , an ethylene group is preferable from the viewpoint of the taper angle.

一方で、nが4である場合、Xは下記一般式(1-7)で表される構造であることが好ましい。 On the other hand, when n is 4, it is preferable that X has a structure represented by the following general formula (1-7).

Figure 0007040089000010
Figure 0007040089000010

具体的には、ブタンジオールビス(3-メルカプトプロピオネート)、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビス(3-メルカプトプロピオネート)、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールトリス(3-メルカプトプロピオネート)、ブタンジオールビス(3-メルカプトブチレート)、エチレングリコールビス(3-メルカプトブチレート)、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールトリス(3-メルカプトブチレート)、1,3,5-トリス(3-メルカプトブチルオキシエチル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6(1H,3H,5H)-トリオン等が挙げられる。 Specifically, butanediol bis (3-mercaptopropionate), butanediol bisthioglycolate, ethylene glycol bis (3-mercaptopropionate), ethylene glycol bisthioglycolate, trimethyl propanthris (3-). Mercaptopropionate), Trimethylol Propanetristhioglycolate, Trishydroxyethyl Tristhiopropionate, Pentaerythritol Tetrakiss (3-Mercaptopropionate), Pentaerythritol Tris (3-Mercaptopropionate), Butanediolbis (3-Mercaptobutyrate), Ethylene Glycolbis (3-Mercaptobutyrate), Trimethylol Propanthris (3-Mercaptobutyrate), Pentaerythritol Tetrakiss (3-Mercaptobutyrate), Pentaerythritol Tris (3-Mercaptobutyrate) Rate), 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione and the like.

このうち、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールトリス(3-メルカプトプロピオネート)、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールトリス(3-メルカプトブチレート)、1,3,5-トリス(3-メルカプトブチルオキシエチル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6(1H,3H,5H)-トリオンが好ましく、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)がより好ましい。 Of these, trimethylolpropanthris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritoltris (3-mercaptopropionate), trimethylolpropanthris (3-mercaptobutyrate) ), Pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tris (3-mercaptobutyrate), 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2, 4,6 (1H, 3H, 5H) -trion is preferable, and pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate) and pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate) are more preferable.

これらは種々のものが1種を単独で、或いは2種以上を混合して使用できる。 Various of these can be used alone or in admixture of two or more.

これらの中でも、テーパー角を高める観点から、2-メルカプトベンゾチアゾール、2-メルカプトベンゾイミダゾール、及び2-メルカプトベンゾオキサゾールからなる群から選択された1以上と、光重合開始剤とを組み合わせて、光重合開始剤系として使用することが好適である。例えば、2-メルカプトベンゾチアゾールを用いても良く、2-メルカプトベンゾイミダゾールを用いても良く、2-メルカプトベンゾチアゾールと2-メルカプトベンゾイミダゾールとを併用して用いても良い。
また、表面硬化性の観点から、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)、及びペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)からなる群から選択された1以上を用いることが好ましい。
Among these, from the viewpoint of increasing the taper angle, one or more selected from the group consisting of 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzimidazole, and 2-mercaptobenzoxazole are combined with a photopolymerization initiator to obtain light. It is suitable to be used as a polymerization initiator system. For example, 2-mercaptobenzothiazole may be used, 2-mercaptobenzimidazole may be used, or 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzimidazole may be used in combination.
Further, from the viewpoint of surface curability, it is preferable to use one or more selected from the group consisting of pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate) and pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate).

さらに、テーパー角を高める観点から、芳香族環を有するメルカプト基含有化合物と脂肪族系のメルカプト基含有化合物を併用して使用することが好適である。例えば、2-メルカプトベンゾチアゾール、2-メルカプトベンゾイミダゾール、及び2-メルカプトベンゾオキサゾールよりなる群から選択された1以上と、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)よりなる群から選択された1以上と、光重合開始剤とを組み合わせて用いることが好ましい。 Further, from the viewpoint of increasing the taper angle, it is preferable to use a mercapto group-containing compound having an aromatic ring and an aliphatic mercapto group-containing compound in combination. For example, one or more selected from the group consisting of 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzimidazole, and 2-mercaptobenzoxazole, and pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercapto). It is preferable to use one or more selected from the group consisting of (butylate) in combination with a photopolymerization initiator.

本発明の感光性樹脂組成物中の、連鎖移動剤の含有割合としては、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常0.01質量%以上、好ましくは0.025質量%以上、より好ましくは0.05質量%以上、さらに好ましくは0.1質量%以上、特に好ましくは1質量%以上であり、通常5質量%以下、好ましくは4質量%以下、より好ましくは3質量%以下である。前記下限値以上とすることで感度が高く、テーパー角や接触角が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望のパターンを形成しやすくなる傾向がある。 The content ratio of the chain transfer agent in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 0.01% by mass or more, preferably 0.025% by mass or more, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. It is more preferably 0.05% by mass or more, further preferably 0.1% by mass or more, particularly preferably 1% by mass or more, and usually 5% by mass or less, preferably 4% by mass or less, more preferably 3% by mass or less. Is. When it is set to the lower limit value or more, the sensitivity tends to be high, and the taper angle and the contact angle tend to be high, and when it is set to the upper limit value or less, a desired pattern tends to be easily formed.

また連鎖移動剤として、芳香族環を有するメルカプト基含有化合物と脂肪族系のメルカプト基含有化合物を併用して使用するときのその含有割合としては、芳香族環を有するメルカプト基含有化合物100質量部に対して、脂肪族系のメルカプト基含有化合物を通常10質量部以上、好ましくは50質量部以上、より好ましくは80質量部以上であり、通常400質量部以下、好ましくは300質量部以下、より好ましくは200質量部以下、さらに好ましくは150質量部以下である。前記下限値以上とすることでテーパー角が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで表面硬化性が高く接触角が高くなる傾向がある。 When a mercapto group-containing compound having an aromatic ring and an aliphatic mercapto group-containing compound are used in combination as a chain transfer agent, the content ratio thereof is 100 parts by mass of the mercapto group-containing compound having an aromatic ring. On the other hand, the aliphatic mercapto group-containing compound is usually 10 parts by mass or more, preferably 50 parts by mass or more, more preferably 80 parts by mass or more, and usually 400 parts by mass or less, preferably 300 parts by mass or less. It is preferably 200 parts by mass or less, more preferably 150 parts by mass or less. When it is at least the lower limit value, the taper angle tends to be high, and when it is at least the upper limit value, the surface curability tends to be high and the contact angle tends to be high.

また、感光性樹脂組成物中の(B)光重合開始剤に対する、連鎖移動剤の配合比としては、(B)光重合開始剤100質量部に対して、10質量部以上が好ましく、25質量部以上がより好ましく、50質量部以上がさらに好ましく、80質量部以上が特に好ましく、また、500質量部以下が好ましく、400質量部以下がより好ましく、300質量部以下がさらに好ましく、200質量部以下がよりさらに好ましく、150質量部以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで高感度となり、テーパー角や接触角が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望のパターンを形成しやすくなる傾向がある。 The blending ratio of the chain transfer agent to the (B) photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition is preferably 10 parts by mass or more, preferably 25 parts by mass, based on 100 parts by mass of the (B) photopolymerization initiator. More than parts are more preferable, 50 parts by mass or more is further preferable, 80 parts by mass or more is particularly preferable, 500 parts by mass or less is more preferable, 400 parts by mass or less is more preferable, 300 parts by mass or less is further preferable, and 200 parts by mass is more preferable. The following is even more preferable, and 150 parts by mass or less is particularly preferable. When it is set to the lower limit value or more, the sensitivity tends to be high, and the taper angle and the contact angle tend to be high, and when it is set to the upper limit value or less, a desired pattern tends to be easily formed.

また上記光重合開始剤と併用して、増感剤を用いてもよい。増感剤により感度が向上すると同時に、感光性樹脂組成物内部への光透過率が減少することで、テーパー角が大きくなる傾向がある。 Further, a sensitizer may be used in combination with the above-mentioned photopolymerization initiator. The sensitizer improves the sensitivity and at the same time reduces the light transmittance inside the photosensitive resin composition, so that the taper angle tends to increase.

増感剤としては、この分野で通常用いられている増感剤を使用することができる。増感剤は、吸収して得たエネルギーを光重合開始剤に移行、もしくは光重合開始剤との電子の授受を起こし、効率よく反応ラジカル重合反応を促進させる特徴がある。このような増感剤としては、例えば、カルコン誘導体やジベンザルアセトン等に代表される不飽和ケトン類、ベンジルやカンファーキノン等に代表される1,2-ジケトン系化合物、ベンゾイン系化合物、フルオレン系化合物、ナフトキノン系化合物、アントラキノン系化合物、キサンテン系化合物、チオキサンテン系化合物、キサントン系化合物、チオキサントン系化合物、クマリン系化合物、ケトクマリン系化合物、シアニン系化合物、メロシアニン系化合物、オキソノ-ル誘導体等のポリメチン色素、アクリジン系化合物、アジン系化合物、チアジン系化合物、オキサジン系化合物、インドリン系化合物、アズレン系化合物、アズレニウム系化合物、スクアリリウム系化合物、ポルフィリン系化合物、テトラフェニルポルフィリン系化合物、トリアリールメタン系化合物、テトラベンゾポルフィリン系化合物、テトラピラジノポルフィラジン系化合物、フタロシアニン系化合物、テトラアザポルフィラジン系化合物、テトラキノキサリロポルフィラジン系化合物、ナフタロシアニン系化合物、サブフタロシアニン系化合物、ピリリウム系化合物、チオピリリウム系化合物、テトラフィリン系化合物、アヌレン系化合物、スピロピラン系化合物、スピロオキサジン系化合物、チオスピロピラン系化合物、金属アレーン錯体、有機ルテニウム錯体、ベンゾフェノン系化合物等が挙げられる。
これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
As the sensitizer, a sensitizer usually used in this field can be used. The sensitizer has a characteristic that the energy obtained by absorption is transferred to the photopolymerization initiator or causes electron transfer with the photopolymerization initiator to efficiently promote the reaction radical polymerization reaction. Examples of such a sensitizer include unsaturated ketones represented by chalcone derivatives and dibenzalacetone, 1,2-diketone compounds represented by benzyl and camphorquinone, benzoin compounds, and fluorene. Phosphorus compounds, naphthoquinone compounds, anthraquinone compounds, xanthene compounds, thioxanthene compounds, xanthone compounds, thioxanthone compounds, coumarin compounds, ketocoumarin compounds, cyanine compounds, merocyanine compounds, oxonoal derivatives, etc. Polymethine dyes, acridin-based compounds, azine-based compounds, thiazine-based compounds, oxazine-based compounds, indolin-based compounds, azulene-based compounds, azulene-based compounds, squarylium-based compounds, porphyrin-based compounds, tetraphenylporphyrin-based compounds, triarylmethane-based compounds. , Tetrabenzoporphyrin-based compounds, tetrapyrazinoporphyrazine-based compounds, phthalocyanine-based compounds, tetraazaporphyrazine-based compounds, tetraquinoxalyloporphyrazine-based compounds, naphthalocyanine-based compounds, subphthalocyanine-based compounds, pyririum-based compounds, thiopyrilium Examples thereof include system compounds, tetraphyllin system compounds, anurene compounds, spiropyran compounds, spiroxazine compounds, thiospiropirane compounds, metal arene complexes, organic ruthenium complexes, benzophenone compounds and the like.
These may be used alone or in combination of two or more.

これらの中でも、感度向上とテーパー角増大の観点から、チオキサントン系化合物、ベンゾフェノン系化合物が好ましい。 Among these, thioxanthone-based compounds and benzophenone-based compounds are preferable from the viewpoint of improving sensitivity and increasing the taper angle.

チオキサントン系化合物としては、チオキサントン、2-メチルチオキサントン、4-メチルチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、2-エチルチオキサントン、4-エチルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2-イソプロピルチオキサントン、4-イソプロピルチオキサントン、2,4-ジイソプロピルチオキサントン、2-クロロチオキサントン、4-クロロチオキサントン、2,4-ジクロロチオキサントンなどが挙げられる。これらの中でも、感度向上とテーパー角増大の観点から2,4-ジエチルチオキサントンが好ましい。 Examples of the thioxanthone compound include thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 4-methylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 4-ethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone and 4-isopropyl. Examples thereof include thioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 4-chlorothioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone and the like. Among these, 2,4-diethylthioxanthone is preferable from the viewpoint of improving sensitivity and increasing the taper angle.

ベンゾフェノン系化合物としては、ベンゾフェノン、4,4’-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’-ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられる。これらの中でも、感度向上とテーパー角増大の観点から4,4’-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。 Examples of the benzophenone compound include benzophenone, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, and 4,4'-bis (ethylmethylamino) benzophenone. Among these, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone is preferable from the viewpoint of improving sensitivity and increasing the taper angle.

感光性樹脂組成物中の増感剤の含有割合は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常0.1質量%以上、好ましくは0.3質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、さらに好ましくは0.8質量%以上、よりさらに好ましくは1質量%以上、特に好ましくは1.2質量%以上であり、また通常10質量%以下、好ましくは7質量%以下、より好ましくは5質量%以下、さらに好ましくは3質量%以下である。前記下限値以上とすることで感度を向上し、テーパー角を高くすることができる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで所望のパターンを形成しやすくなる傾向がある。 The content ratio of the sensitizer in the photosensitive resin composition is usually 0.1% by mass or more, preferably 0.3% by mass or more, more preferably 0.% by mass, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. 5% by mass or more, more preferably 0.8% by mass or more, still more preferably 1% by mass or more, particularly preferably 1.2% by mass or more, and usually 10% by mass or less, preferably 7% by mass or less. It is more preferably 5% by mass or less, still more preferably 3% by mass or less. When it is set to the lower limit value or more, the sensitivity tends to be improved and the taper angle tends to be increased, and when it is set to the upper limit value or less, it tends to be easy to form a desired pattern.

[1-1-3](C)成分;アルカリ可溶性樹脂
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(C)アルカリ可溶性樹脂を含有する。本発明において、アルカリ可溶性樹脂としては現像液で現像可能なものであれば特に限定されないが、現像液としてはアルカリ現像液が好ましいため、本発明においてはアルカリ可溶性樹脂を用いる。アルカリ可溶性樹脂としては、カルボキシル基又は水酸基を含有する各種樹脂などが挙げられる。中でも、適度なテーパー角の隔壁が得られること及びポストベーク時に隔壁表面の熱溶融による撥液剤の流出が抑えられ撥液性を保持できることなどより、カルボキシル基を有する樹脂が好ましく、カルボキシル基及びエチレン性不飽和基を有する樹脂がより好ましい。
[1-1-3] Component (C); Alkali-soluble resin The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention contains (C) an alkali-soluble resin. In the present invention, the alkali-soluble resin is not particularly limited as long as it can be developed with a developing solution, but since an alkaline developing solution is preferable as the developing solution, an alkali-soluble resin is used in the present invention. Examples of the alkali-soluble resin include various resins containing a carboxyl group or a hydroxyl group. Among them, a resin having a carboxyl group is preferable because a partition wall having an appropriate taper angle can be obtained and the outflow of the liquid repellent agent due to thermal melting of the partition wall surface during post-baking can be suppressed and the liquid repellent property can be maintained. A resin having a sex unsaturated group is more preferable.

(一般式(1)で表される部分構造を有するアルカリ可溶性樹脂(c))
本発明において、アルカリ可溶性樹脂の中でも、下記一般式(1)で表される部分構造を有するアルカリ可溶性樹脂(c)(以下、「樹脂(c)」と略記する場合がある。)が好ましい。このように、一般式(1)で表される部分構造、つまり、炭素数が短く熱分解しやすい酸成分に対応する部分構造を有するアルカリ可溶性樹脂を用いることで、隔壁を形成する際の熱硬化時に当該酸成分の多くがガスとして取り除かれるため、有機電界発光素子駆動時のアウトガス発生量が少なく、信頼性が高くなるものと考えられる。
(Alkali-soluble resin (c) having a partial structure represented by the general formula (1))
In the present invention, among the alkali-soluble resins, the alkali-soluble resin (c) having a partial structure represented by the following general formula (1) (hereinafter, may be abbreviated as “resin (c)”) is preferable. As described above, by using an alkali-soluble resin having a partial structure represented by the general formula (1), that is, a partial structure corresponding to an acid component having a short carbon number and easily being thermally decomposed, heat when forming a partition wall is used. Since most of the acid component is removed as gas during curing, it is considered that the amount of outgas generated when driving the organic electric field light emitting element is small and the reliability is high.

Figure 0007040089000011
Figure 0007040089000011

前記式(1)中、R1は置換基を有していてもよい炭素数1~4の2価の炭化水素基を表す。*は結合手を表す。 In the formula (1), R 1 represents a divalent hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms which may have a substituent. * Represents a bond.

(R1
前記一般式(1)において、R1は置換基を有していてもよい炭素数1~4の2価の炭化水素基を表す。2価の炭化水素基としては、アルキレン基、アルケニレン基が挙げられる。
(R 1 )
In the general formula (1), R 1 represents a divalent hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms which may have a substituent. Examples of the divalent hydrocarbon group include an alkylene group and an alkenylene group.

アルキレン基は直鎖でも、分岐鎖でもよいが、現像溶解性の観点から直鎖であることが好ましい。その炭素数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、また通常4以下、3以下が好ましい。前記下限値以上とすることで残膜率が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで素子発光時のアウトガス発生量が少なくなる傾向がある。 The alkylene group may be a straight chain or a branched chain, but is preferably a straight chain from the viewpoint of development solubility. The number of carbon atoms is not particularly limited, but is usually preferably 1 or more and 2 or more, and usually 4 or less and 3 or less. When the value is equal to or higher than the lower limit, the residual film ratio tends to increase, and when the value is equal to or higher than the upper limit, the amount of outgas generated during light emission of the device tends to decrease.

アルキレン基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基が挙げられ、アウトガス低減の観点から、メチレン基又はエチレン基が好ましく、エチレン基がより好ましい。 Specific examples of the alkylene group include a methylene group, an ethylene group, a propylene group and a butylene group. From the viewpoint of reducing outgas, a methylene group or an ethylene group is preferable, and an ethylene group is more preferable.

また、アルケニレン基は直鎖でも、分岐鎖でもよいが、現像溶解性の観点から直鎖であることが好ましい。その炭素数は特に限定されないが、通常2以上、また通常4以下、3以下が好ましい。前記下限値以上とすることで残膜率が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで素子発光時のアウトガス発生量が少なくなる傾向がある。 The alkenylene group may be a straight chain or a branched chain, but is preferably a straight chain from the viewpoint of development solubility. The number of carbon atoms is not particularly limited, but is usually 2 or more, and usually 4 or less and 3 or less is preferable. When the value is equal to or higher than the lower limit, the residual film ratio tends to increase, and when the value is equal to or higher than the upper limit, the amount of outgas generated during light emission of the device tends to decrease.

アルケニレン基の具体例としては、エテニレン基、プロペニレン基、ブチレニレン基が挙げられ、アウトガスの観点から、エテニレン基が好ましい。 Specific examples of the alkenylene group include an ethenylene group, a propenylene group and a butyleneylene group, and an ethenylene group is preferable from the viewpoint of outgas.

炭素数1~4の2価の炭化水素基が有していてもよい置換基は特に限定されないが、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、ベンゾイル基、水酸基などが挙げられ、合成の容易さの観点からは無置換であることが好ましい。 The substituent that the divalent hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms may have is not particularly limited, and examples thereof include a halogen atom, an alkoxy group, a benzoyl group, and a hydroxyl group, from the viewpoint of ease of synthesis. It is preferable that it is not substituted.

これらの中でもアウトガス低減の観点から、R1が炭素数1~4の2価のアルキレン基であることが好ましく、メチレン基又はエチレン基であることがより好ましく、エチレン基であることがさらに好ましい。 Among these, from the viewpoint of reducing outgas, R 1 is preferably a divalent alkylene group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a methylene group or an ethylene group, and even more preferably an ethylene group.

アルカリ可溶性樹脂(c)としては、前記一般式(1)で表される部分構造を有するものであれば、その具体的構造は特に限定されないが、現像溶解性の観点から、(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂及び/又は(c2)アクリル共重合樹脂が好ましい。また、アウトガス低減の観点からは(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂が好ましく、一方で、テーパー角の観点からは(c2)アクリル共重合樹脂が好ましい。
以下に、(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂について詳述する。
The alkali-soluble resin (c) is not particularly limited as long as it has a partial structure represented by the general formula (1), but from the viewpoint of development solubility, the (c1) epoxy (c1) epoxy ( Meta) acrylate resin and / or (c2) acrylic copolymer resin are preferable. Further, from the viewpoint of reducing outgas, (c1) epoxy (meth) acrylate resin is preferable, while (c2) acrylic copolymer resin is preferable from the viewpoint of taper angle.
The (c1) epoxy (meth) acrylate resin will be described in detail below.

[(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂]
(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂は、エポキシ樹脂にエチレン性不飽和モノカルボン酸又はエステル化合物を付加し、任意でイソシアネート基含有化合物を反応させた後、更に多塩基酸又はその無水物を付加させた樹脂である。例えば、エポキシ樹脂のエポキシ基に、不飽和モノカルボン酸のカルボキシル基が開環付加されることにより、エポキシ樹脂にエステル結合(-COO-)を介してエチレン性不飽和結合が付加されると共に、その際生じた水酸基に、多塩基酸又はその無水物の一方のカルボキシ基が付加されたものが挙げられる。また多塩基酸又はその無水物を付加するときに、多価アルコールを同時に添加して付加されたものも挙げられる。さらに、上記反応で得られた樹脂のカルボキシ基に、更に反応し得る官能基を有する化合物を反応させて得られる樹脂も、上記(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂に含まれる。
このように、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂は化学構造上、実質的にエポキシ基を有さず、かつ「(メタ)アクリレート」に限定されるものではないが、エポキシ化合物(エポキシ樹脂)が原料であり、かつ、「(メタ)アクリレート」が代表例であるので慣用に従いこのように命名されている。
[(C1) Epoxy (meth) acrylate resin]
(C1) In the epoxy (meth) acrylate resin, an ethylenically unsaturated monocarboxylic acid or an ester compound is added to the epoxy resin, and an isocyanate group-containing compound is optionally reacted, and then a polybasic acid or an anhydride thereof is further added. It is a resin that has been made to. For example, by opening and adding a carboxyl group of an unsaturated monocarboxylic acid to the epoxy group of an epoxy resin, an ethylenically unsaturated bond is added to the epoxy resin via an ester bond (-COO-), and at the same time, an ethylenically unsaturated bond is added. Examples thereof include a hydroxyl group generated at that time to which a carboxy group of one of a polybasic acid or an anhydride thereof is added. Further, when a polybasic acid or an anhydride thereof is added, a polyhydric alcohol may be added at the same time to add the polyhydric acid. Further, the resin obtained by reacting the carboxy group of the resin obtained by the above reaction with a compound having a functional group capable of further reacting is also included in the (c1) epoxy (meth) acrylate resin.
As described above, the epoxy (meth) acrylate resin has substantially no epoxy group due to its chemical structure and is not limited to "(meth) acrylate", but the epoxy compound (epoxy resin) is the raw material. Yes, and since "(meth) acrylate" is a typical example, it is named in this way according to convention.

ここで、エポキシ樹脂とは、熱硬化により樹脂を形成する以前の原料化合物をも含めて言うこととし、そのエポキシ樹脂としては、公知のエポキシ樹脂の中から適宜選択して用いることができる。また、エポキシ樹脂は、フェノール性化合物とエピハロヒドリンとを反応させて得られる化合物を用いることができる。フェノール性化合物としては、2価もしくは2価以上のフェノール性水酸基を有する化合物が好ましく、単量体でも重合体でもよい。
具体的には、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、ビフェニルノボラックエポキシ樹脂、トリスフェノールエポキシ樹脂、フェノールとジシクロペンタンとの重合エポキシ樹脂、ジハイドロオキシルフルオレン型エポキシ樹脂、ジハイドロオキシルアルキレンオキシルフルオレン型エポキシ樹脂、9,9-ビス(4’-ヒドロキシフェニル)フルオレンのジグリシジルエーテル化物、1,1-ビス(4’-ヒドロキシフェニル)アダマンタンのジグリシジルエーテル化物、などが挙げられ、このように主鎖に芳香族環を有するものを好適に用いることができる。
Here, the epoxy resin includes a raw material compound before forming the resin by thermosetting, and the epoxy resin can be appropriately selected from known epoxy resins and used. Further, as the epoxy resin, a compound obtained by reacting a phenolic compound with epihalohydrin can be used. The phenolic compound is preferably a compound having a divalent or divalent or higher phenolic hydroxyl group, and may be a monomer or a polymer.
Specifically, for example, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol novolac epoxy resin, cresol novolak epoxy resin, biphenyl novolak epoxy resin, trisphenol epoxy resin, phenol and dicyclopentane. Polymerized epoxy resin with, dihydrooxylfluorene type epoxy resin, dihydrooxylalkyleneoxylfluorene type epoxy resin, 9,9-bis (4'-hydroxyphenyl) fluorene diglycidyl etherified product, 1,1-bis (4) '-Hydroxyphenyl) adamantan diglycidyl etherified product, etc., and those having an aromatic ring in the main chain as described above can be preferably used.

中でも、高い硬化膜強度の観点から、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、フェノールとジシクロペンタジエンとの重合エポキシ樹脂、9,9-ビス(4’-ヒドロキシフェニル)フルオレンのジグリシジルエーテル化物、などが好ましく、ビスフェノールA型エポキシ樹脂が更に好ましい。 Among them, from the viewpoint of high cured film strength, bisphenol A type epoxy resin, phenol novolac epoxy resin, cresol novolac epoxy resin, polymerized epoxy resin of phenol and dicyclopentadiene, 9,9-bis (4'-hydroxyphenyl) fluorene. The diglycidyl etherified product of the above is preferable, and the bisphenol A type epoxy resin is more preferable.

エチレン性不飽和モノカルボン酸としては、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸等、および、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート無水コハク酸付加物、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートテトラヒドロ無水フタル酸付加物、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート無水コハク酸付加物、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート無水フタル酸付加物、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートテトラヒドロ無水フタル酸付加物、(メタ)アクリル酸とε-カプロラクトンとの反応生成物などが挙げられる。中でも、感度の観点から、(メタ)アクリル酸が好ましい。 Examples of the ethylenically unsaturated monocarboxylic acid include (meth) acrylic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, citraconic acid and the like, and pentaerythritol tri (meth) acrylate anhydride succinic acid adduct, pentaerythritoltri ( Meta) Acrylate Tetrahydrochloride Hydrochloride Additive, Dipentaerythritol Penta (Meta) Acrylate Anhydrous Crotonic Acid Additive, Dipentaerythritol Penta (Meta) Acrylate Anhydrous Crotonic Acid Additive, Dipentaerythritol Penta (meth) Acrylate Tetrahydrochloride Anhydrous phthalic acid Additives, reaction products of (meth) acrylic acid and ε-caprolactone, and the like can be mentioned. Of these, (meth) acrylic acid is preferable from the viewpoint of sensitivity.

多塩基酸(無水物)としては、例えば、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、3-メチルテトラヒドロフタル酸、4-メチルテトラヒドロフタル酸、3-エチルテトラヒドロフタル酸、4-エチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、3-メチルヘキサヒドロフタル酸、4-メチルヘキサヒドロフタル酸、3-エチルヘキサヒドロフタル酸、4-エチルヘキサヒドロフタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、およびそれらの無水物などが挙げられる。これらは1種を単独でも用いてもよく、2種以上を併用して用いてもよい。これらの中でも、前記一般式(1)で表される部分構造を樹脂中に導入するとの観点から、コハク酸無水物、マレイン酸無水物、イタコン酸無水物が好ましく、コハク酸無水物がより好ましい。 Examples of the polybasic acid (anhydride) include succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, 3-methyltetrahydrophthalic acid, 4-methyltetrahydrophthalic acid, 3-ethyltetrahydrophthalic acid, and 4 -Ethyltetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, 3-methylhexahydrophthalic acid, 4-methylhexahydrophthalic acid, 3-ethylhexahydrophthalic acid, 4-ethylhexahydrophthalic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid , Benzophenone tetracarboxylic acid, biphenyltetracarboxylic acid, and their anhydrides and the like. These may be used alone or in combination of two or more. Among these, succinic acid anhydride, maleic anhydride, and itaconic acid anhydride are preferable, and succinic acid anhydride is more preferable, from the viewpoint of introducing the partial structure represented by the general formula (1) into the resin. ..

多価アルコールを用いることで、(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂の分子量を増大させ、分子中に分岐を導入することが出来、分子量と粘度のバランスをとることができる傾向がある。また、分子中への酸基の導入率を増やすことができ、感度や密着性等のバランスがとれやすい傾向がある。
多価アルコールとしては、例えばトリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリメチロールエタン、1,2,3-プロパントリオールの中から選ばれる1種又は2種以上の多価アルコールであることが好ましい。
By using a polyhydric alcohol, the molecular weight of the (c1) epoxy (meth) acrylate resin can be increased, branches can be introduced into the molecule, and the molecular weight and viscosity tend to be balanced. In addition, the rate of introduction of acid groups into the molecule can be increased, and there is a tendency for the sensitivity, adhesion, and the like to be easily balanced.
The polyhydric alcohol may be, for example, one or more polyhydric alcohols selected from trimethylolpropane, ditrimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, trimethylolethane, and 1,2,3-propanetriol. It is preferable to have.

(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂の酸価は特に限定されないが、10mgKOH/g以上が好ましく、20mgKOH/g以上がより好ましく、40mgKOH/g以上がさらに好ましく、60mgKOH/g以上がよりさらに好ましく、80mgKOH/g以上が特に好ましく、また、200mgKOH/g以下が好ましく、180mgKOH/g以下がより好ましく、150mgKOH/g以下がさらに好ましく、120mgKOH/g以下がよりさらに好ましく、100mgKOH/g以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで残渣が低減し、テーパー角が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで素子発光時のアウトガスが低減する傾向がある。 The acid value of the (c1) epoxy (meth) acrylate resin is not particularly limited, but is preferably 10 mgKOH / g or more, more preferably 20 mgKOH / g or more, further preferably 40 mgKOH / g or more, still more preferably 60 mgKOH / g or more. 80 mgKOH / g or more is particularly preferable, 200 mgKOH / g or less is preferable, 180 mgKOH / g or less is more preferable, 150 mgKOH / g or less is further preferable, 120 mgKOH / g or less is further preferable, and 100 mgKOH / g or less is particularly preferable. When it is set to the lower limit value or more, the residue tends to be reduced and the taper angle tends to be high, and when it is set to the upper limit value or less, the outgas at the time of light emission of the element tends to be reduced.

(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂の重量平均分子量(Mw)は特に限定されないが、通常1000以上、好ましくは2000以上、より好ましくは3000以上、さらに好ましくは4000以上、よりさらに好ましくは5000以上、特に好ましくは6000以上、最も好ましくは7000以上であり、また、通常30000以下、好ましくは20000以下、より好ましくは15000以下、さらに好ましくは10000以下である。前記下限値以上とすることで素子発光時のアウトガスが低減する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 (C1) The weight average molecular weight (Mw) of the epoxy (meth) acrylate resin is not particularly limited, but is usually 1000 or more, preferably 2000 or more, more preferably 3000 or more, still more preferably 4000 or more, still more preferably 5000 or more. Particularly preferably 6000 or more, most preferably 7,000 or more, and usually 30,000 or less, preferably 20,000 or less, more preferably 15,000 or less, still more preferably 10,000 or less. When it is set to the lower limit value or more, the outgas at the time of light emission of the element tends to be reduced, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

(C)アルカリ可溶性樹脂に含まれる(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂の含有割合は特に限定されないが、30質量%以上が好ましく、50質量%以上がより好ましく、70質量%以上がさらに好ましく、80質量%以上がよりさらに好ましく、90質量%以上が特に好ましく、また、通常100質量%以下である。前記下限値以上とすることでアウトガスが低減する傾向がある。 The content ratio of the (c1) epoxy (meth) acrylate resin contained in the (C) alkali-soluble resin is not particularly limited, but is preferably 30% by mass or more, more preferably 50% by mass or more, still more preferably 70% by mass or more. 80% by mass or more is more preferable, 90% by mass or more is particularly preferable, and usually 100% by mass or less. Outgas tends to decrease when the value is equal to or higher than the lower limit.

(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂は、従来公知の方法により合成することができる。具体的には、前記エポキシ樹脂を有機溶剤に溶解させ、触媒と熱重合禁止剤の共存下、前記エチレン性不飽和結合を有する酸(エチレン性不飽和モノカルボン酸)又はエステル化合物を加えて付加反応させ、更に多塩基酸又はその無水物を加えて反応を続ける方法を用いることができる。 (C1) The epoxy (meth) acrylate resin can be synthesized by a conventionally known method. Specifically, the epoxy resin is dissolved in an organic solvent, and an acid having an ethylenically unsaturated bond (ethylenically unsaturated monocarboxylic acid) or an ester compound is added in the coexistence of a catalyst and a thermal polymerization inhibitor. A method of reacting and further adding a polybasic acid or an anhydride thereof to continue the reaction can be used.

ここで、反応に用いる有機溶剤としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ジエチレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどの有機溶剤の1種または2種以上が挙げられる。また、上記触媒としては、トリエチルアミン、ベンジルジメチルアミン、トリベンジルアミン等の第3級アミン類、テトラメチルアンモニウムクロライド、メチルトリエチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライド、テトラブチルアンモニウムクロライド、トリメチルベンジルアンモニウムクロライドなどの第4級アンミニウム塩類、トリフェニルホスフィンなどの燐化合物、トリフェニルスチビンなどのスチビン類などの1種または2種以上が挙げられる。更に、熱重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、メチルハイドロキノンなどの1種または2種以上が挙げられる。 Here, examples of the organic solvent used in the reaction include one or more organic solvents such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, diethylene glycol ethyl ether acetate, and propylene glycol monomethyl ether acetate. Examples of the catalyst include tertiary amines such as triethylamine, benzyldimethylamine and tribenzylamine, tetramethylammonium chloride, methyltriethylammonium chloride, tetraethylammonium chloride, tetrabutylammonium chloride, trimethylbenzylammonium chloride and the like. Examples thereof include one or more of quaternary ammonium salts, phosphorus compounds such as triphenylphosphine, and stibins such as triphenylstibin. Further, examples of the thermal polymerization inhibitor include one or more of hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, methylhydroquinone and the like.

また、エチレン性不飽和結合を有する酸又はエステル化合物としては、エポキシ樹脂のエポキシ基の1化学当量に対して通常0.7~1.3化学当量、好ましくは0.9~1.1化学当量となる量とすることができる。また、付加反応時の温度としては、通常60~150℃、好ましくは80~120℃の温度とすることができる。更に、多塩基酸又はその無水物の使用量としては、前記付加反応で生じた水酸基の1化学当量に対して、通常0.1~1.2化学当量、好ましくは0.2~1.1化学当量となる量とすることができる。 The acid or ester compound having an ethylenically unsaturated bond is usually 0.7 to 1.3 chemical equivalents, preferably 0.9 to 1.1 chemical equivalents, relative to one chemical equivalent of the epoxy group of the epoxy resin. It can be an amount that becomes. The temperature at the time of the addition reaction is usually 60 to 150 ° C, preferably 80 to 120 ° C. Further, the amount of the polybasic acid or its anhydride used is usually 0.1 to 1.2 chemical equivalents, preferably 0.2 to 1.1, with respect to one chemical equivalent of the hydroxyl group generated in the addition reaction. It can be an amount that is a chemical equivalent.

(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂は、前記一般式(1)以外の部分構造を含むものであってもよく、素子発光時のアウトガスの観点から、下記一般式(i)で表される繰り返し単位構造を含むエポキシ(メタ)アクリレート樹脂、下記一般式(ii)で表される部分構造を含むエポキシ(メタ)アクリレート樹脂、及び下記一般式(iii)で表される部分構造を含むエポキシ(メタ)アクリレート樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種を含有することが好ましい。 (C1) The epoxy (meth) acrylate resin may contain a partial structure other than the general formula (1), and is repeatedly represented by the following general formula (i) from the viewpoint of outgas at the time of light emission of the element. An epoxy (meth) acrylate resin containing a unit structure, an epoxy (meth) acrylate resin containing a partial structure represented by the following general formula (ii), and an epoxy (meth) containing a partial structure represented by the following general formula (iii). ) It is preferable to contain at least one selected from the group consisting of acrylate resins.

(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂は、素子発光時のアウトガスの観点から、下記一般式(i)で表される繰り返し単位を含むエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(c1-1)であることが好ましい。理由の一つとしては、剛直な主骨格を有することで熱に対して分解しづらいことなどが類推される。 The epoxy (meth) acrylate resin (c1) is preferably an epoxy (meth) acrylate resin (c1-1) containing a repeating unit represented by the following general formula (i) from the viewpoint of outgassing when the device emits light. .. It is inferred that one of the reasons is that it is difficult to decompose with heat because it has a rigid main skeleton.

Figure 0007040089000012
Figure 0007040089000012

式(i)中、Raは水素原子又はメチル基を表し、Rbは置換基を有していてもよい2価の炭化水素基を表す。式(i)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。*は結合手を表す。 In formula (i), R a represents a hydrogen atom or a methyl group, and R b represents a divalent hydrocarbon group which may have a substituent. The benzene ring in formula (i) may be further substituted with any substituent. * Represents a bond.

(Rb
前記式(i)において、Rbは置換基を有していてもよい2価の炭化水素基を表す。
2価の炭化水素基としては、2価の脂肪族基、2価の芳香族環基、1以上の2価の脂肪族基と1以上の2価の芳香族環基とを連結した基が挙げられる。
(R b )
In the formula (i), R b represents a divalent hydrocarbon group which may have a substituent.
As the divalent hydrocarbon group, a divalent aliphatic group, a divalent aromatic ring group, a group in which one or more divalent aliphatic groups and one or more divalent aromatic ring groups are linked is used. Can be mentioned.

2価の脂肪族基は、直鎖状、分岐鎖状、環状のものが挙げられる。これらの中でも現像溶解性の観点からは直鎖状のものが好ましく、一方で露光部への現像液の浸透低減の観点からは環状のものが好ましい。その炭素数は通常1以上であり、3以上が好ましく、6以上がより好ましく、また、20以下が好ましく、15以下がより好ましく、10以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Examples of the divalent aliphatic group include linear, branched and cyclic groups. Among these, a linear one is preferable from the viewpoint of development solubility, while a cyclic one is preferable from the viewpoint of reducing the penetration of the developer into the exposed portion. The carbon number is usually 1 or more, preferably 3 or more, more preferably 6 or more, more preferably 20 or less, still more preferably 15 or less, still more preferably 10 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

2価の直鎖状の脂肪族基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、n-プロピレン基、n-ブチレン基、n-ヘキシレン基、n-ヘプチレン基等が挙げられる。これらの中でも残渣低減の観点から、メチレン基が好ましい。
2価の分岐鎖状の脂肪族基の具体例としては、前述の2価の直鎖状脂肪族基に、側鎖としてメチル基、エチル基、n-プロピル基、iso-プロピル基、n-ブチル基、iso-ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基等を有する構造が挙げられる。
2価の環状の脂肪族基が有する環の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、また、通常10以下、5以下が好ましい。前記下限値以上とすることで残膜率が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。2価の環状の脂肪族基の具体例としては、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロデカン環、シクロドデカン環、ノルボルナン環、イソボルナン環、アダマンタン環、シクロドデカン環等の環から水素原子を2つ除した基が挙げられる。これらの中でも現像密着性の観点から、アダマンタン環から水素原子を2つ除した基が好ましい。
Specific examples of the divalent linear aliphatic group include a methylene group, an ethylene group, an n-propylene group, an n-butylene group, an n-hexylene group, an n-heptylene group and the like. Among these, a methylene group is preferable from the viewpoint of reducing the residue.
Specific examples of the divalent branched chain aliphatic group include the above-mentioned divalent linear aliphatic group and the side chains of a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an iso-propyl group and an n-. Examples thereof include a structure having a butyl group, an iso-butyl group, a sec-butyl group, a tert-butyl group and the like.
The number of rings contained in the divalent cyclic aliphatic group is not particularly limited, but is usually preferably 1 or more and 2 or more, and usually 10 or less and 5 or less. When it is set to the lower limit value or more, the residual film ratio tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced. Specific examples of the divalent cyclic aliphatic group include two hydrogen atoms removed from a ring such as a cyclohexane ring, a cycloheptane ring, a cyclodecane ring, a cyclododecane ring, a norbornane ring, an isobornane ring, an adamantane ring, or a cyclododecane ring. The group that was used is mentioned. Among these, from the viewpoint of development adhesion, a group obtained by removing two hydrogen atoms from the adamantane ring is preferable.

2価の脂肪族基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基等の炭素数1~5のアルコキシ基;水酸基;ニトロ基;シアノ基;カルボキシル基等が挙げられる。これらの中でも合成容易性の観点から、無置換であることが好ましい。 Examples of the substituent that the divalent aliphatic group may have include an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms such as a methoxy group and an ethoxy group; a hydroxyl group; a nitro group; a cyano group; a carboxyl group and the like. Among these, unsubstituted is preferable from the viewpoint of easiness of synthesis.

また、2価の芳香族環基としては、2価の芳香族炭化水素環基及び2価の芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は通常4以上であり、5以上が好ましく、6以上がより好ましく、また、20以下が好ましく、15以下がより好ましく、10以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Examples of the divalent aromatic ring group include a divalent aromatic hydrocarbon ring group and a divalent aromatic heterocyclic group. The carbon number is usually 4 or more, preferably 5 or more, more preferably 6 or more, more preferably 20 or less, still more preferably 15 or less, still more preferably 10 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

2価の芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよい。2価の芳香族炭化水素環基としては、例えば、2個の遊離原子価を有する、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などの基が挙げられる。
また、芳香族複素環基における芳香族複素環としては、単環であっても縮合環であってもよい。2価の芳香族複素環基としては、例えば、2個の遊離原子価を有する、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などの基が挙げられる。これらの中でも光硬化性の観点から、2個の遊離原子価を有するベンゼン環又はナフタレン環が好ましく、2個の遊離原子価を有するベンゼン環がより好ましい。
The aromatic hydrocarbon ring in the divalent aromatic hydrocarbon ring group may be a monocyclic ring or a condensed ring. Examples of the divalent aromatic hydrocarbon ring group include a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, a phenanthrene ring, a perylene ring, a tetracene ring, a pyrene ring, a benzpyrene ring, and a chrysene ring, which have two free atomic valences. Examples thereof include groups such as a triphenylene ring, an acenaphthene ring, a fluorene ring, and a fluorene ring.
Further, the aromatic heterocycle in the aromatic heterocyclic group may be a monocyclic ring or a condensed ring. Examples of the divalent aromatic heterocyclic group include a furan ring, a benzofuran ring, a thiophene ring, a benzothiophene ring, a pyrazole ring, a pyrazole ring, an imidazole ring, an oxadiazole ring, and an indole having two free atomic valences. Ring, Carbazole Ring, Pyrroloimidazole Ring, Pyrrolopyrazole Ring, Pyrrolopyrrole Ring, Thienopyrazole Ring, Thienothiophene Ring, Flopyrole Ring, Flofuran Ring, Thienofuran Ring, Benzoisoxazole Ring, Benzimidazole Ring, Benzoimidazole Ring, pyridine Ring, Examples include groups such as pyrazine ring, pyridazine ring, pyrimidin ring, triazine ring, quinoline ring, isoquinoline ring, sinoline ring, quinoxalin ring, phenanthridine ring, benzimidazole ring, perimidine ring, quinazolin ring, quinazolinone ring, and azulene ring. .. Among these, from the viewpoint of photocurability, a benzene ring or a naphthalene ring having two free valences is preferable, and a benzene ring having two free valences is more preferable.

2価の芳香族環基が有していてもよい置換基としては、ヒドロキシル基、メチル基、メトキシ基、エチル基、エトキシ基、プロピル基、プロポキシ基等が挙げられる。これらの中でも硬化性の観点から、無置換が好ましい。 Examples of the substituent that the divalent aromatic ring group may have include a hydroxyl group, a methyl group, a methoxy group, an ethyl group, an ethoxy group, a propyl group, a propoxy group and the like. Of these, no substitution is preferable from the viewpoint of curability.

また、1以上の2価の脂肪族基と1以上の2価の芳香族環基とを連結した基としては、前述の2価の脂肪族基を1以上と、前述の2価の芳香族環基を1以上とを連結した基が挙げられる。
2価の脂肪族基の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、通常10以下、5以下が好ましく、3以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
2価の芳香族環基の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、通常10以下、5以下が好ましく、3以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
Further, as a group in which one or more divalent aliphatic groups and one or more divalent aromatic ring groups are linked, the above-mentioned divalent aliphatic group is 1 or more, and the above-mentioned divalent aromatic group is used. Examples thereof include a group in which one or more ring groups are linked.
The number of divalent aliphatic groups is not particularly limited, but is usually preferably 1 or more, 2 or more, usually 10 or less, 5 or less, and more preferably 3 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.
The number of divalent aromatic ring groups is not particularly limited, but is usually preferably 1 or more, 2 or more, usually 10 or less, 5 or less, and more preferably 3 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

1以上の2価の脂肪族基と1以上の2価の芳香族環基とを連結した基の具体例としては、下記式(i-A)~(i-E)で表される基等が挙げられる。これらの中でも骨格の剛直性と膜の疎水化の観点から、下記式(i-A)で表される基が好ましい。 Specific examples of a group in which one or more divalent aliphatic groups and one or more divalent aromatic ring groups are linked include groups represented by the following formulas (ia) to (iE). Can be mentioned. Among these, the group represented by the following formula (iA) is preferable from the viewpoint of the rigidity of the skeleton and the hydrophobicity of the membrane.

Figure 0007040089000013
Figure 0007040089000013

前記のとおり、式(i)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。該置換基としては、例えば、ヒドロキシル基、メチル基、メトキシ基、エチル基、エトキシ基、プロピル基、プロポキシ基等が挙げられる。置換基の数も特に限定されず、1つでもよいし、2つ以上でもよい。
これらの中でも硬化性の観点から、無置換であることが好ましい。
As described above, the benzene ring in the formula (i) may be further substituted with any substituent. Examples of the substituent include a hydroxyl group, a methyl group, a methoxy group, an ethyl group, an ethoxy group, a propyl group, a propoxy group and the like. The number of substituents is not particularly limited, and may be one or two or more.
Among these, from the viewpoint of curability, it is preferably unsubstituted.

また、前記一般式(i)で表される繰り返し単位構造は、現像溶解性の観点から、下記一般式(i-1)で表される繰り返し単位構造であることが好ましい。なお、式(i-1)で表される繰り返し単位構造は、式中に前記一般式(1)で表される部分構造を含む。 Further, the repeating unit structure represented by the general formula (i) is preferably a repeating unit structure represented by the following general formula (i-1) from the viewpoint of development solubility. The repeating unit structure represented by the formula (i-1) includes the partial structure represented by the general formula (1) in the formula.

Figure 0007040089000014
Figure 0007040089000014

式(i-1)中、Ra及びRbは、前記式(i)のものと同義である。R1は前記式(1)のものと同義である。*は結合手を表す。式(i-1)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。 In formula (i-1), R a and R b have the same meaning as those in formula (i). R 1 has the same meaning as that of the above formula (1). * Represents a bond. The benzene ring in formula (i-1) may be further substituted with any substituent.

エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(c1-1)1分子中に含まれる、前記式(i-1)で表される繰り返し単位構造は、1種でも2種以上でもよい。 The repeating unit structure represented by the above formula (i-1) contained in one molecule of the epoxy (meth) acrylate resin (c1-1) may be one kind or two or more kinds.

また、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(c1-1)1分子中に含まれる、前記式(i)で表される繰り返し単位構造の数は特に限定されないが、1以上が好ましく、2以上がより好ましく、3以上がさらに好ましく、また、10以下が好ましく、8以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 The number of repeating unit structures represented by the formula (i) contained in one molecule of the epoxy (meth) acrylate resin (c1-1) is not particularly limited, but 1 or more is preferable, and 2 or more is more preferable. 3 or more is more preferable, 10 or less is preferable, and 8 or less is further preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

また、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(c1-1)1分子中に含まれる、前記式(i-1)で表される繰り返し単位構造の数は特に限定されないが、1以上が好ましく、2以上がより好ましく、3以上がさらに好ましく、また、10以下が好ましく、8以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Further, the number of repeating unit structures represented by the above formula (i-1) contained in one molecule of the epoxy (meth) acrylate resin (c1-1) is not particularly limited, but 1 or more is preferable, and 2 or more is preferable. More preferably, 3 or more is further preferable, 10 or less is preferable, and 8 or less is further preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

以下にエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(c1-1)の具体例を挙げる。 Specific examples of the epoxy (meth) acrylate resin (c1-1) are given below.

Figure 0007040089000015
Figure 0007040089000015

Figure 0007040089000016
Figure 0007040089000016

Figure 0007040089000017
Figure 0007040089000017

Figure 0007040089000018
Figure 0007040089000018

また一方で、(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂は、現像密着性の観点から、下記一般式(ii)で表される部分構造を含むエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(c1-2)であることが好ましい。 On the other hand, the (c1) epoxy (meth) acrylate resin is an epoxy (meth) acrylate resin (c1-2) containing a partial structure represented by the following general formula (ii) from the viewpoint of development adhesion. Is preferable.

Figure 0007040089000019
Figure 0007040089000019

式(ii)中、Rcは各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。Rdは、環状炭化水素基を側鎖として有する2価の炭化水素基を表す。*は結合手を表す。 In formula (ii), R c each independently represents a hydrogen atom or a methyl group. R d represents a divalent hydrocarbon group having a cyclic hydrocarbon group as a side chain. * Represents a bond.

(Rd
前記式(ii)において、Rdは、環状炭化水素基を側鎖として有する2価の炭化水素基を表す。
環状炭化水素基としては、脂肪族環基又は芳香族環基が挙げられる。
(R d )
In the formula (ii), R d represents a divalent hydrocarbon group having a cyclic hydrocarbon group as a side chain.
Examples of the cyclic hydrocarbon group include an aliphatic ring group and an aromatic ring group.

脂肪族環基が有する環の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、また、通常10以下、5以下が好ましく、3以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
また、脂肪族環基の炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、8以上がより好ましく、また、40以下が好ましく、30以下がより好ましく、20以下がさらに好ましく、15以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
脂肪族環基における脂肪族環の具体例としてはシクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロデカン環、シクロドデカン環、ノルボルナン環、イソボルナン環、アダマンタン環、シクロドデカン環等が挙げられる。これらの中でも現像密着性の観点から、アダマンタン環が好ましい。
The number of rings contained in the aliphatic ring group is not particularly limited, but is usually preferably 1 or more and 2 or more, and usually 10 or less, 5 or less is preferable, and 3 or less is more preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.
The carbon number of the aliphatic ring group is usually 4 or more, preferably 6 or more, more preferably 8 or more, preferably 40 or less, more preferably 30 or less, further preferably 20 or less, and particularly preferably 15 or less. preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.
Specific examples of the aliphatic ring in the aliphatic ring group include cyclohexane ring, cycloheptane ring, cyclodecane ring, cyclododecane ring, norbornane ring, isobornane ring, adamantane ring, cyclododecane ring and the like. Among these, the adamantane ring is preferable from the viewpoint of development adhesion.

一方で、芳香族環基が有する環の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、3以上がより好ましく、また、通常10以下、5以下が好ましく、4以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで残渣が低減する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像密着性が向上する傾向がある。
芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基、芳香族複素環基が挙げられる。また、芳香族環基の炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、8以上がより好ましく、10以上がよりさらに好ましく、12以上が特に好ましく、また、40以下が好ましく、30以下がより好ましく、20以下がさらに好ましく、15以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで残渣が低減する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像密着性が向上する傾向がある。
芳香族環基における芳香族環の具体例としては、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環等が挙げられる。これらの中でもパターニング特性の観点から、フルオレン環が好ましい。
On the other hand, the number of rings contained in the aromatic ring group is not particularly limited, but usually 1 or more, 2 or more is preferable, 3 or more is more preferable, and usually 10 or less, 5 or less is preferable, and 4 or less is more preferable. When it is at least the lower limit value, the residue tends to be reduced, and when it is at least the upper limit value, the development adhesion tends to be improved.
Examples of the aromatic ring group include an aromatic hydrocarbon ring group and an aromatic heterocyclic group. The carbon number of the aromatic ring group is usually 4 or more, preferably 6 or more, more preferably 8 or more, still more preferably 10 or more, particularly preferably 12 or more, and preferably 40 or less, preferably 30 or less. More preferably, 20 or less is further preferable, and 15 or less is particularly preferable. When it is at least the lower limit value, the residue tends to be reduced, and when it is at least the upper limit value, the development adhesion tends to be improved.
Specific examples of the aromatic ring in the aromatic ring group include a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, a phenanthrene ring, a perylene ring, a tetracene ring, a pyrene ring, a benzpyrene ring, a chrysene ring, a triphenylene ring, an acenaphthene ring, and a fluoranthene ring. Examples include fluorene rings. Among these, the fluorene ring is preferable from the viewpoint of patterning characteristics.

また、環状炭化水素基を側鎖として有する2価の炭化水素基における、2価の炭化水素基は特に限定されないが、例えば、2価の脂肪族基、2価の芳香族環基、1以上の2価の脂肪族基と1以上の2価の芳香族環基とを連結した基が挙げられる。 Further, the divalent hydrocarbon group in the divalent hydrocarbon group having a cyclic hydrocarbon group as a side chain is not particularly limited, but for example, a divalent aliphatic group, a divalent aromatic ring group, 1 or more. Examples thereof include a group in which a divalent aliphatic group of 1 or more and a divalent aromatic ring group of 1 or more are linked.

2価の脂肪族基は、直鎖状、分岐鎖状、環状のものが挙げられる。これらの中でも現像溶解性の観点からは直鎖状のものが好ましく、一方で露光部への現像液の浸透低減の観点からは環状のものが好ましい。その炭素数は通常1以上であり、3以上が好ましく、6以上がより好ましく、また、25以下が好ましく、20以下がより好ましく、15以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Examples of the divalent aliphatic group include linear, branched and cyclic groups. Among these, a linear one is preferable from the viewpoint of development solubility, while a cyclic one is preferable from the viewpoint of reducing the penetration of the developer into the exposed portion. The carbon number is usually 1 or more, preferably 3 or more, more preferably 6 or more, preferably 25 or less, more preferably 20 or less, still more preferably 15 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

2価の直鎖状の脂肪族基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、n-プロピレン基、n-ブチレン基、n-ヘキシレン基、n-ヘプチレン基等が挙げられる。これらの中でも残渣の観点から、メチレン基が好ましい。
2価の分岐鎖状の脂肪族基の具体例としては、前述の2価の直鎖状脂肪族基に、側鎖としてメチル基、エチル基、n-プロピル基、iso-プロピル基、n-ブチル基、iso-ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基等を有する構造が挙げられる。
2価の環状の脂肪族基が有する環の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、また、通常10以下、5以下が好ましく、3以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。2価の環状の脂肪族基の具体例としては、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロデカン環、シクロドデカン環、ノルボルナン環、イソボルナン環、アダマンタン環、シクロドデカン環等の環から水素原子を2つ除した基が挙げられる。これらの中でも現像密着性の観点から、アダマンタン環から水素原子を2つ除した基が好ましい。
Specific examples of the divalent linear aliphatic group include a methylene group, an ethylene group, an n-propylene group, an n-butylene group, an n-hexylene group, an n-heptylene group and the like. Among these, a methylene group is preferable from the viewpoint of residue.
Specific examples of the divalent branched chain aliphatic group include the above-mentioned divalent linear aliphatic group and the side chains of a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an iso-propyl group and an n-. Examples thereof include a structure having a butyl group, an iso-butyl group, a sec-butyl group, a tert-butyl group and the like.
The number of rings contained in the divalent cyclic aliphatic group is not particularly limited, but is usually preferably 1 or more, 2 or more, and usually 10 or less, 5 or less, more preferably 3 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced. Specific examples of the divalent cyclic aliphatic group include two hydrogen atoms removed from a ring such as a cyclohexane ring, a cycloheptane ring, a cyclodecane ring, a cyclododecane ring, a norbornane ring, an isobornane ring, an adamantane ring, or a cyclododecane ring. The group that was used is mentioned. Among these, from the viewpoint of development adhesion, a group obtained by removing two hydrogen atoms from the adamantane ring is preferable.

2価の脂肪族基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基等の炭素数1~5のアルコキシ基;水酸基;ニトロ基;シアノ基;カルボキシル基等が挙げられる。これらの中でも合成容易性の観点から、無置換であることが好ましい。 Examples of the substituent that the divalent aliphatic group may have include an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms such as a methoxy group and an ethoxy group; a hydroxyl group; a nitro group; a cyano group; a carboxyl group and the like. Among these, unsubstituted is preferable from the viewpoint of easiness of synthesis.

また、2価の芳香族環基としては、2価の芳香族炭化水素環基及び2価の芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は通常4以上であり、5以上が好ましく、6以上がより好ましく、また、30以下が好ましく、20以下がより好ましく、15以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Examples of the divalent aromatic ring group include a divalent aromatic hydrocarbon ring group and a divalent aromatic heterocyclic group. The carbon number is usually 4 or more, preferably 5 or more, more preferably 6 or more, preferably 30 or less, more preferably 20 or less, still more preferably 15 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

2価の芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよい。2価の芳香族炭化水素環基としては、例えば、2個の遊離原子価を有する、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などの基が挙げられる。
また、芳香族複素環基における芳香族複素環としては、単環であっても縮合環であってもよい。2価の芳香族複素環基としては、例えば、2個の遊離原子価を有する、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などの基が挙げられる。これらの中でも光硬化性の観点から、2個の遊離原子価を有するベンゼン環又はナフタレン環が好ましく、2個の遊離原子価を有するベンゼン環がより好ましい。
The aromatic hydrocarbon ring in the divalent aromatic hydrocarbon ring group may be a monocyclic ring or a condensed ring. Examples of the divalent aromatic hydrocarbon ring group include a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, a phenanthrene ring, a perylene ring, a tetracene ring, a pyrene ring, a benzpyrene ring, and a chrysene ring, which have two free atomic valences. Examples thereof include groups such as a triphenylene ring, an acenaphthene ring, a fluorene ring, and a fluorene ring.
Further, the aromatic heterocycle in the aromatic heterocyclic group may be a monocyclic ring or a condensed ring. Examples of the divalent aromatic heterocyclic group include a furan ring, a benzofuran ring, a thiophene ring, a benzothiophene ring, a pyrazole ring, a pyrazole ring, an imidazole ring, an oxadiazole ring, and an indole having two free atomic valences. Ring, Carbazole Ring, Pyrroloimidazole Ring, Pyrrolopyrazole Ring, Pyrrolopyrrole Ring, Thienopyrazole Ring, Thienothiophene Ring, Flopyrole Ring, Flofuran Ring, Thienofuran Ring, Benzoisoxazole Ring, Benzimidazole Ring, Benzoimidazole Ring, pyridine Ring, Examples include groups such as pyrazine ring, pyridazine ring, pyrimidin ring, triazine ring, quinoline ring, isoquinoline ring, sinoline ring, quinoxalin ring, phenanthridine ring, benzimidazole ring, perimidine ring, quinazolin ring, quinazolinone ring, and azulene ring. .. Among these, from the viewpoint of photocurability, a benzene ring or a naphthalene ring having two free valences is preferable, and a benzene ring having two free valences is more preferable.

2価の芳香族環基が有していてもよい置換基としては、ヒドロキシル基、メチル基、メトキシ基、エチル基、エトキシ基、プロピル基、プロポキシ基等が挙げられる。これらの中でも硬化性の観点から、無置換が好ましい。 Examples of the substituent that the divalent aromatic ring group may have include a hydroxyl group, a methyl group, a methoxy group, an ethyl group, an ethoxy group, a propyl group, a propoxy group and the like. Of these, no substitution is preferable from the viewpoint of curability.

また、1以上の2価の脂肪族基と1以上の2価の芳香族環基とを連結した基としては、前述の2価の脂肪族基を1以上と、前述の2価の芳香族環基を1以上とを連結した基が挙げられる。
2価の脂肪族基の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、通常10以下、5以下が好ましく、3以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
2価の芳香族環基の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、通常10以下、5以下が好ましく、3以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
Further, as a group in which one or more divalent aliphatic groups and one or more divalent aromatic ring groups are linked, the above-mentioned divalent aliphatic group is 1 or more, and the above-mentioned divalent aromatic group is used. Examples thereof include a group in which one or more ring groups are linked.
The number of divalent aliphatic groups is not particularly limited, but is usually preferably 1 or more, 2 or more, usually 10 or less, 5 or less, and more preferably 3 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.
The number of divalent aromatic ring groups is not particularly limited, but is usually preferably 1 or more, 2 or more, usually 10 or less, 5 or less, and more preferably 3 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

1以上の2価の脂肪族基と1以上の2価の芳香族環基とを連結した基の具体例としては、前記式(i-A)~(i-E)で表される基等が挙げられる。これらの中でも残渣低減の観点から、前記式(i-C)で表される基が好ましい。 Specific examples of a group in which one or more divalent aliphatic groups and one or more divalent aromatic ring groups are linked include groups represented by the above formulas (ia) to (iE). Can be mentioned. Among these, the group represented by the above formula (iC) is preferable from the viewpoint of reducing the residue.

これらの2価の炭化水素基に対して、側鎖である環状炭化水素基の結合態様は特に限定されないが、例えば、脂肪族基や芳香族環基の水素原子1つを該側鎖で置換した態様や、脂肪族基の炭素原子の1つを含めて側鎖である環状炭化水素基を構成した態様が挙げられる。 The bonding mode of the cyclic hydrocarbon group, which is a side chain, is not particularly limited with respect to these divalent hydrocarbon groups, but for example, one hydrogen atom of an aliphatic group or an aromatic ring group is substituted with the side chain. Examples thereof include the above-mentioned embodiment and the embodiment in which a cyclic hydrocarbon group as a side chain is formed including one of the carbon atoms of the aliphatic group.

また、前記一般式(ii)で表される部分構造は、現像密着性の観点から、下記一般式(ii-1)で表される部分構造であることが好ましい。 Further, the partial structure represented by the general formula (ii) is preferably a partial structure represented by the following general formula (ii-1) from the viewpoint of development adhesion.

Figure 0007040089000020
Figure 0007040089000020

式(ii-1)中、Rcは前記式(ii)と同義である。Rαは、置換基を有していてもよい1価の環状炭化水素基を表す。nは1以上の整数である。式(ii-1)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。 In the formula (ii-1), R c is synonymous with the above formula (ii). represents a monovalent cyclic hydrocarbon group which may have a substituent. n is an integer of 1 or more. The benzene ring in the formula (ii-1) may be further substituted with any substituent.

(Rα
前記式(ii-1)において、Rαは、置換基を有していてもよい1価の環状炭化水素基を表す。
環状炭化水素基としては、脂肪族環基又は芳香族環基が挙げられる。
(R α )
In the formula (ii-1), R α represents a monovalent cyclic hydrocarbon group which may have a substituent.
Examples of the cyclic hydrocarbon group include an aliphatic ring group and an aromatic ring group.

脂肪族環基が有する環の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、また、通常6以下、4以下が好ましく、3以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
また、脂肪族環基の炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、8以上がより好ましく、また、40以下が好ましく、30以下がより好ましく、20以下がさらに好ましく、15以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
脂肪族環基における脂肪族環の具体例としてはシクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロデカン環、シクロドデカン環、ノルボルナン環、イソボルナン環、アダマンタン環、シクロドデカン環等が挙げられる。これらの中でも現像密着性の観点から、アダマンタン環が好ましい。
The number of rings contained in the aliphatic ring group is not particularly limited, but is usually preferably 1 or more and 2 or more, and usually 6 or less, 4 or less is preferable, and 3 or less is more preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.
The carbon number of the aliphatic ring group is usually 4 or more, preferably 6 or more, more preferably 8 or more, preferably 40 or less, more preferably 30 or less, further preferably 20 or less, and particularly preferably 15 or less. preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.
Specific examples of the aliphatic ring in the aliphatic ring group include cyclohexane ring, cycloheptane ring, cyclodecane ring, cyclododecane ring, norbornane ring, isobornane ring, adamantane ring, cyclododecane ring and the like. Among these, the adamantane ring is preferable from the viewpoint of development adhesion.

一方で、芳香族環基が有する環の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、3以上がより好ましく、また、通常10以下、5以下が好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基、芳香族複素環基が挙げられるまた、芳香族環基の炭素数は通常4以上であり、5以上が好ましく、6以上がより好ましく、また、30以下が好ましく、20以下がより好ましく、15以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
芳香族環基における芳香族環の具体例としては、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、フルオレン環等が挙げられる。これらの中でも現像密着性の観点から、フルオレン環が好ましい。
On the other hand, the number of rings contained in the aromatic ring group is not particularly limited, but is usually preferably 1 or more, 2 or more, more preferably 3 or more, and usually 10 or less and 5 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.
Examples of the aromatic ring group include an aromatic hydrocarbon ring group and an aromatic heterocyclic group. The aromatic ring group usually has 4 or more carbon atoms, preferably 5 or more, more preferably 6 or more, and more preferably. , 30 or less is preferable, 20 or less is more preferable, and 15 or less is further preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.
Specific examples of the aromatic ring in the aromatic ring group include a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, a phenanthrene ring, a fluorene ring and the like. Among these, the fluorene ring is preferable from the viewpoint of development adhesion.

環状炭化水素基が有していてもよい置換基としては、ヒドロキシル基、メチル基、エチル基、n-プロピル基、iso-プロピル基、n-ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、アミル基、iso-アミル基等の炭素数1~5のアルキル基;メトキシ基、エトキシ基等の炭素数1~5のアルコキシ基;水酸基;ニトロ基;シアノ基;カルボキシル基等が挙げられる。これらの中でも合成の容易性の観点から、無置換が好ましい。 Examples of the substituent that the cyclic hydrocarbon group may have include a hydroxyl group, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an iso-propyl group, an n-butyl group, a sec-butyl group and a tert-butyl group. Examples thereof include an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms such as an amyl group and an iso-amyl group; an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms such as a methoxy group and an ethoxy group; a hydroxyl group; a nitro group; a cyano group; a carboxyl group and the like. Of these, no substitution is preferable from the viewpoint of ease of synthesis.

nは1以上の整数を表すが、2以上が好ましく、また、3以下が好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Although n represents an integer of 1 or more, 2 or more is preferable, and 3 or less is preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

これらの中でも、強固な膜硬化度と電気特性の観点から、Rαが1価の脂肪族環基であることが好ましく、アダマンチル基であることがより好ましい。 Among these, from the viewpoint of strong film hardening degree and electrical characteristics, is preferably a monovalent aliphatic ring group, and more preferably an adamantyl group.

前記のとおり、式(ii-1)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。該置換基としては、例えば、ヒドロキシル基、メチル基、メトキシ基、エチル基、エトキシ基、プロピル基、プロポキシ基等が挙げられる。置換基の数も特に限定されず、1つでもよいし、2つ以上でもよい。これらの中でも硬化性の観点から、無置換であることが好ましい。 As described above, the benzene ring in the formula (ii-1) may be further substituted with any substituent. Examples of the substituent include a hydroxyl group, a methyl group, a methoxy group, an ethyl group, an ethoxy group, a propyl group, a propoxy group and the like. The number of substituents is not particularly limited, and may be one or two or more. Among these, from the viewpoint of curability, it is preferably unsubstituted.

以下に前記式(ii-1)で表される部分構造の具体例を挙げる。 Specific examples of the partial structure represented by the above formula (ii-1) will be given below.

Figure 0007040089000021
Figure 0007040089000021

Figure 0007040089000022
Figure 0007040089000022

Figure 0007040089000023
Figure 0007040089000023

Figure 0007040089000024
Figure 0007040089000024

Figure 0007040089000025
Figure 0007040089000025

また、前記一般式(ii)で表される部分構造は、現像密着性の観点から、下記一般式(ii-2)で表される部分構造であることが好ましい。 Further, the partial structure represented by the general formula (ii) is preferably a partial structure represented by the following general formula (ii-2) from the viewpoint of development adhesion.

Figure 0007040089000026
Figure 0007040089000026

式(ii-2)中、Rcは前記式(ii)と同義である。Rβは、置換基を有していてもよい2価の環状炭化水素基を表す。式(ii-2)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。 In the formula (ii-2), R c is synonymous with the above formula (ii). represents a divalent cyclic hydrocarbon group which may have a substituent. The benzene ring in the formula (ii-2) may be further substituted with any substituent.

(Rβ
前記式(ii-2)において、Rβは、置換基を有していてもよい2価の環状炭化水素基を表す。
環状炭化水素基としては、脂肪族環基又は芳香族環基が挙げられる。
(R β )
In the formula (ii-2), R β represents a divalent cyclic hydrocarbon group which may have a substituent.
Examples of the cyclic hydrocarbon group include an aliphatic ring group and an aromatic ring group.

脂肪族環基が有する環の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、また、通常10以下、5以下が好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
また、脂肪族環基の炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、8以上がより好ましく、また、40以下が好ましく、35以下がより好ましく、30以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
脂肪族環基における脂肪族環の具体例としては、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロデカン環、シクロドデカン環、ノルボルナン環、イソボルナン環、アダマンタン環、シクロドデカン環等が挙げられる。これらの中でも現像密着性の観点から、アダマンタン環が好ましい。
The number of rings contained in the aliphatic ring group is not particularly limited, but is usually preferably 1 or more and 2 or more, and usually 10 or less and 5 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.
The carbon number of the aliphatic ring group is usually 4 or more, preferably 6 or more, more preferably 8 or more, preferably 40 or less, more preferably 35 or less, still more preferably 30 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.
Specific examples of the aliphatic ring in the aliphatic ring group include cyclohexane ring, cycloheptane ring, cyclodecane ring, cyclododecane ring, norbornane ring, isobornane ring, adamantane ring, cyclododecane ring and the like. Among these, the adamantane ring is preferable from the viewpoint of development adhesion.

一方で、芳香族環基が有する環の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、3以上がより好ましく、また、通常10以下、5以下が好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基、芳香族複素環基が挙げられるまた、芳香族環基の炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、8以上がより好ましく、10以上がさらに好ましく、また、40以下が好ましく、30以下がより好ましく、20以下がさらに好ましく、15以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
芳香族環基における芳香族環の具体例としては、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、フルオレン環等が挙げられる。これらの中でも現像密着性の観点から、フルオレン環が好ましい。
On the other hand, the number of rings contained in the aromatic ring group is not particularly limited, but is usually preferably 1 or more, 2 or more, more preferably 3 or more, and usually 10 or less and 5 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.
Examples of the aromatic ring group include an aromatic hydrocarbon ring group and an aromatic heterocyclic group. The aromatic ring group usually has 4 or more carbon atoms, preferably 6 or more, more preferably 8 or more, and 10 or more. The above is more preferable, 40 or less is preferable, 30 or less is more preferable, 20 or less is further preferable, and 15 or less is particularly preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.
Specific examples of the aromatic ring in the aromatic ring group include a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, a phenanthrene ring, a fluorene ring and the like. Among these, the fluorene ring is preferable from the viewpoint of development adhesion.

環状炭化水素基が有していてもよい置換基としては、ヒドロキシル基、メチル基、エチル基、n-プロピル基、iso-プロピル基、n-ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、アミル基、iso-アミル基等の炭素数1~5のアルキル基;メトキシ基、エトキシ基等の炭素数1~5のアルコキシ基;水酸基;ニトロ基;シアノ基;カルボキシル基等が挙げられる。これらの中でも合成の簡易性の観点から、無置換が好ましい。 Examples of the substituent that the cyclic hydrocarbon group may have include a hydroxyl group, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an iso-propyl group, an n-butyl group, a sec-butyl group and a tert-butyl group. Examples thereof include an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms such as an amyl group and an iso-amyl group; an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms such as a methoxy group and an ethoxy group; a hydroxyl group; a nitro group; a cyano group; a carboxyl group and the like. Of these, no substitution is preferable from the viewpoint of simplicity of synthesis.

これらの中でも、硬化性の観点から、Rβが2価の脂肪族環基であることが好ましく、2価のアダマンタン環基であることがより好ましい。
一方で、現像密着性の観点から、Rβが2価の芳香族環基であることが好ましく、2価のフルオレン環基であることがより好ましい。
Among these, from the viewpoint of curability, R β is preferably a divalent aliphatic ring group, and more preferably a divalent adamantane ring group.
On the other hand, from the viewpoint of development adhesion, R β is preferably a divalent aromatic ring group, and more preferably a divalent fluorene ring group.

前記のとおり、式(ii-2)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。該置換基としては、例えば、ヒドロキシル基、メチル基、メトキシ基、エチル基、エトキシ基、プロピル基、プロポキシ基等が挙げられる。置換基の数も特に限定されず、1つでもよいし、2つ以上でもよい。これらの中でも硬化性の観点から、無置換であることが好ましい。 As described above, the benzene ring in the formula (ii-2) may be further substituted with any substituent. Examples of the substituent include a hydroxyl group, a methyl group, a methoxy group, an ethyl group, an ethoxy group, a propyl group, a propoxy group and the like. The number of substituents is not particularly limited, and may be one or two or more. Among these, from the viewpoint of curability, it is preferably unsubstituted.

以下に前記式(ii-2)で表される部分構造の具体例を挙げる。 Specific examples of the partial structure represented by the above formula (ii-2) will be given below.

Figure 0007040089000027
Figure 0007040089000027

Figure 0007040089000028
Figure 0007040089000028

Figure 0007040089000029
Figure 0007040089000029

Figure 0007040089000030
Figure 0007040089000030

一方で、前記一般式(ii)で表される部分構造は、硬化性の観点から、下記一般式(ii-3)で表される部分構造であることが好ましい。なお、式(ii-3)で表される部分構造は、式中に前記一般式(1)で表される部分構造を含む。 On the other hand, the partial structure represented by the general formula (ii) is preferably a partial structure represented by the following general formula (ii-3) from the viewpoint of curability. The partial structure represented by the formula (ii-3) includes the partial structure represented by the general formula (1) in the formula.

Figure 0007040089000031
Figure 0007040089000031

式(ii-3)中、Rc及びRdは前記式(ii)と同義である。R1は前記式(1)と同義である。 In the formula (ii-3), R c and R d are synonymous with the above formula (ii). R 1 has the same meaning as the above equation (1).

エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(c1-2)1分子中に含まれる、前記式(ii-3)で表される部分構造は、1種でも2種以上でもよい。 The partial structure represented by the above formula (ii-3) contained in one molecule of the epoxy (meth) acrylate resin (c1-2) may be one kind or two or more kinds.

また、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(c1-2)1分子中に含まれる、前記式(ii)で表される部分構造の数は特に限定されないが、1以上が好ましく、3以上がより好ましく、また、20以下が好ましく、15以下がより好ましく、10以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Further, the number of partial structures represented by the above formula (ii) contained in one molecule of the epoxy (meth) acrylate resin (c1-2) is not particularly limited, but 1 or more is preferable, and 3 or more is more preferable. Further, 20 or less is preferable, 15 or less is more preferable, and 10 or less is further preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

また一方で、(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂は、素子発光時のアウトガス低減の観点から、下記一般式(iii)で表される部分構造を含むエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(c1-3)であることが好ましい。 On the other hand, the (c1) epoxy (meth) acrylate resin is an epoxy (meth) acrylate resin (c1-3) containing a partial structure represented by the following general formula (iii) from the viewpoint of reducing outgas during light emission of the device. Is preferable.

Figure 0007040089000032
Figure 0007040089000032

式(iii)中、Reは水素原子又はメチル基を表し、γは単結合、-CO-、置換基を有していてもよいアルキレン基、又は置換基を有していてもよい2価の環状炭化水素基を表す。式(iii)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。*は結合手を表す。 In formula (iii), R e represents a hydrogen atom or a methyl group, and γ is a single bond, —CO—, an alkylene group which may have a substituent, or a divalent group which may have a substituent. Represents a cyclic hydrocarbon group of. The benzene ring in the formula (iii) may be further substituted with any substituent. * Represents a bond.

(γ)
前記式(iii)において、γは単結合、-CO-、置換基を有していてもよいアルキレン基、又は置換基を有していてもよい2価の環状炭化水素基を表す。
(Γ)
In the formula (iii), γ represents a single bond, —CO—, an alkylene group which may have a substituent, or a divalent cyclic hydrocarbon group which may have a substituent.

アルキレン基は直鎖でも、分岐鎖でもよいが、現像溶解性の観点からは直鎖であることが好ましく、現像密着性の観点からは分岐鎖であることが好ましい。その炭素数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、また通常6以下、4以下が好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 The alkylene group may be a straight chain or a branched chain, but is preferably a straight chain from the viewpoint of development solubility and is preferably a branched chain from the viewpoint of development adhesion. The number of carbon atoms is not particularly limited, but is usually preferably 1 or more and 2 or more, and usually 6 or less and 4 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

アルキレン基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、へキシレン基、ヘプチレン基が挙げられ、現像密着性と現像溶解性の両立の観点から、エチレン基又はプロピレン基が好ましく、プロピレン基がより好ましい。 Specific examples of the alkylene group include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a butylene group, a hexylene group and a heptylene group, and an ethylene group or a propylene group is preferable from the viewpoint of achieving both development adhesion and development solubility. , Propylene groups are more preferred.

アルキレン基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基等の炭素数1~5のアルコキシ基;水酸基;ニトロ基;シアノ基;カルボキシル基等が挙げられる。これらの中でも合成容易性の観点から、無置換であることが好ましい。 Examples of the substituent that the alkylene group may have include an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms such as a methoxy group and an ethoxy group; a hydroxyl group; a nitro group; a cyano group; and a carboxyl group. Among these, unsubstituted is preferable from the viewpoint of easiness of synthesis.

2価の環状炭化水素基としては、2価の脂肪族環基又は2価の芳香族環基が挙げられる。 Examples of the divalent cyclic hydrocarbon group include a divalent aliphatic ring group and a divalent aromatic ring group.

脂肪族環基が有する環の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、また、通常10以下、5以下が好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
また、脂肪族環基の炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、8以上がより好ましく、また、40以下が好ましく、35以下がより好ましく、30以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
脂肪族環基における脂肪族環の具体例としては、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロデカン環、シクロドデカン環、ノルボルナン環、イソボルナン環、アダマンタン環、シクロドデカン環等が挙げられる。これらの中でも現像密着性の観点から、アダマンタン環が好ましい。
The number of rings contained in the aliphatic ring group is not particularly limited, but is usually preferably 1 or more and 2 or more, and usually 10 or less and 5 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.
The carbon number of the aliphatic ring group is usually 4 or more, preferably 6 or more, more preferably 8 or more, preferably 40 or less, more preferably 35 or less, still more preferably 30 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.
Specific examples of the aliphatic ring in the aliphatic ring group include cyclohexane ring, cycloheptane ring, cyclodecane ring, cyclododecane ring, norbornane ring, isobornane ring, adamantane ring, cyclododecane ring and the like. Among these, the adamantane ring is preferable from the viewpoint of development adhesion.

一方で、芳香族環基が有する環の数は特に限定されないが、通常1以上、2以上が好ましく、3以上がより好ましく、また、通常10以下、5以下が好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基、芳香族複素環基が挙げられる。また、芳香族環基の炭素数は通常4以上であり、6以上が好ましく、8以上がより好ましく、10以上がさらに好ましく、また、40以下が好ましく、30以下がより好ましく、20以下がさらに好ましく、15以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
芳香族環基における芳香族環の具体例としては、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、フルオレン環等が挙げられる。これらの中でも現像密着性の観点から、フルオレン環が好ましい。
On the other hand, the number of rings contained in the aromatic ring group is not particularly limited, but is usually preferably 1 or more, 2 or more, more preferably 3 or more, and usually 10 or less and 5 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.
Examples of the aromatic ring group include an aromatic hydrocarbon ring group and an aromatic heterocyclic group. The carbon number of the aromatic ring group is usually 4 or more, preferably 6 or more, more preferably 8 or more, further preferably 10 or more, preferably 40 or less, more preferably 30 or less, and further preferably 20 or less. It is preferable, and 15 or less is particularly preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.
Specific examples of the aromatic ring in the aromatic ring group include a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, a phenanthrene ring, a fluorene ring and the like. Among these, the fluorene ring is preferable from the viewpoint of development adhesion.

環状炭化水素基が有していてもよい置換基としては、ヒドロキシル基、メチル基、エチル基、n-プロピル基、iso-プロピル基、n-ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、アミル基、iso-アミル基等の炭素数1~5のアルキル基;メトキシ基、エトキシ基等の炭素数1~5のアルコキシ基;水酸基;ニトロ基;シアノ基;カルボキシル基等が挙げられる。これらの中でも合成の簡易性の観点から、無置換が好ましい。 Examples of the substituent that the cyclic hydrocarbon group may have include a hydroxyl group, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an iso-propyl group, an n-butyl group, a sec-butyl group and a tert-butyl group. Examples thereof include an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms such as an amyl group and an iso-amyl group; an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms such as a methoxy group and an ethoxy group; a hydroxyl group; a nitro group; a cyano group; a carboxyl group and the like. Of these, no substitution is preferable from the viewpoint of simplicity of synthesis.

これらの中でも、残渣低減の観点から、γが置換基を有していてもよいアルキレン基であることが好ましく、ジメチルメチレン基であることがより好ましい。 Among these, from the viewpoint of residue reduction, γ is preferably an alkylene group which may have a substituent, and more preferably a dimethylmethylene group.

前記のとおり、式(iii)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。該置換基としては、例えば、ヒドロキシル基、メチル基、メトキシ基、エチル基、エトキシ基、プロピル基、プロポキシ基等が挙げられる。置換基の数も特に限定されず、1つでもよいし、2つ以上でもよい。これらの中でも硬化性の観点から、無置換であることが好ましい。 As described above, the benzene ring in the formula (iii) may be further substituted with any substituent. Examples of the substituent include a hydroxyl group, a methyl group, a methoxy group, an ethyl group, an ethoxy group, a propyl group, a propoxy group and the like. The number of substituents is not particularly limited, and may be one or two or more. Among these, from the viewpoint of curability, it is preferably unsubstituted.

一方で、前記式(iii)で表される部分構造は、現像溶解性の観点から、下記式(iii-1)で表される部分構造であることが好ましい。なお、式(iii-1)で表される部分構造は、式中に前記一般式(1)で示される部分構造を含む。 On the other hand, the partial structure represented by the formula (iii) is preferably a partial structure represented by the following formula (iii-1) from the viewpoint of development solubility. The partial structure represented by the formula (iii-1) includes the partial structure represented by the general formula (1) in the formula.

Figure 0007040089000033
Figure 0007040089000033

式(iii-1)中、Re及びγは前記式(iii)と同義である。R1は前記式(1)のものと同義である。*は結合手を表す。式(iii-1)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。 In the formula (iii-1), R e and γ are synonymous with the above formula (iii). R 1 has the same meaning as that of the above formula (1). * Represents a bond. The benzene ring in the formula (iii-1) may be further substituted with any substituent.

また、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(c1-3)1分子中に含まれる、前記式(iii)で表される繰り返し単位構造の数は特に限定されないが、1以上が好ましく、5以上がより好ましく、10以上がさらに好ましく、また、18以下が好ましく、15以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Further, the number of repeating unit structures represented by the above formula (iii) contained in one molecule of the epoxy (meth) acrylate resin (c1-3) is not particularly limited, but 1 or more is preferable, and 5 or more is more preferable. 10 or more is more preferable, 18 or less is preferable, and 15 or less is further preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

また、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂(c1-3)1分子中に含まれる、前記式(iii-1)で表される繰り返し単位構造の数は特に限定されないが、1以上が好ましく、3以上がより好ましく、5以上がさらに好ましく、また、18以下が好ましく、15以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Further, the number of repeating unit structures represented by the above formula (iii-1) contained in one molecule of the epoxy (meth) acrylate resin (c1-3) is not particularly limited, but 1 or more is preferable, and 3 or more is preferable. More preferably, 5 or more is further preferable, 18 or less is preferable, and 15 or less is further preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

以下にエポキシ(メタ)アクリレート樹脂(c1-3)の具体例を挙げる。 Specific examples of the epoxy (meth) acrylate resin (c1-3) are given below.

Figure 0007040089000034
Figure 0007040089000034

Figure 0007040089000035
Figure 0007040089000035

[(c2)アクリル共重合樹脂]
次に、(c2)アクリル共重合樹脂について詳述する。(c2)アクリル共重合樹脂は、前記一般式(1)で表される部分構造を有するものであれば特に限定されないが、硬化性の観点から、側鎖にエチレン性不飽和基を有するものであることが好ましい。
[(C2) Acrylic copolymer resin]
Next, (c2) the acrylic copolymer resin will be described in detail. (C2) The acrylic copolymer resin is not particularly limited as long as it has a partial structure represented by the general formula (1), but from the viewpoint of curability, it has an ethylenically unsaturated group in the side chain. It is preferable to have.

(一般式(I)で表される部分構造)
(c2)アクリル共重合樹脂に含まれる、エチレン性不飽和基を有する側鎖を含む部分構造は特に限定されないが、現像溶解性の観点から、例えば、下記一般式(I)で表される部分構造を含むことが好ましい。
(Partial structure represented by the general formula (I))
(C2) The partial structure containing the side chain having an ethylenically unsaturated group contained in the acrylic copolymer resin is not particularly limited, but from the viewpoint of development solubility, for example, the portion represented by the following general formula (I). It preferably contains a structure.

Figure 0007040089000036
Figure 0007040089000036

式(I)中、RAは水素原子又はメチル基を表す。RBは置換基を有していてもよいアルケニル基又は下記一般式(II)で表される基を表す。*は結合手を表す。 In formula (I), RA represents a hydrogen atom or a methyl group. RB represents an alkenyl group which may have a substituent or a group represented by the following general formula (II). * Represents a bond.

Figure 0007040089000037
Figure 0007040089000037

式(II)中、RCは置換基を有していてもよいアルケニル基を表す。αは置換基を有していてもよいアルキレン基、置換基を有していてもよいアリーレン基、又は置換基を有していてもよいアルケニレン基を表す。*はカルボニル炭素との結合手を表す。 In formula (II), RC represents an alkenyl group which may have a substituent. α represents an alkylene group which may have a substituent, an arylene group which may have a substituent, or an alkenylene group which may have a substituent. * Represents a bond with a carbonyl carbon.

(RB
前記式(I)において、RBは置換基を有していてもよいアルケニル基又は前記一般式(II)で表される基を表す。
( RB )
In the formula (I), RB represents an alkenyl group which may have a substituent or a group represented by the general formula (II).

Bにおけるアルケニル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルケニル基が挙げられる。その炭素数は、2以上であることが好ましくまた、20以下であることが好ましく、16以下であることがより好ましく、12以下であることがさらに好ましく、8以下であることがよりさらに好ましく、6以下であることが特に好ましく、4以下であることが最も好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また前記上限値以下とすることで硬化性が向上する傾向がある。 Examples of the alkenyl group in RB include linear, branched or cyclic alkenyl groups. The carbon number is preferably 2 or more, preferably 20 or less, more preferably 16 or less, further preferably 12 or less, still more preferably 8 or less. It is particularly preferably 6 or less, and most preferably 4 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the curability tends to be improved.

アルケニル基の具体例としては、エテニル基、プロペニル基、ブチレニル基、シクロヘキセニル基等が挙げられる。これらの中でも硬化性の観点から、エテニル基又はプロペニル基が好ましく、エテニル基がより好ましい。 Specific examples of the alkenyl group include an ethenyl group, a propenyl group, a butylenel group, a cyclohexenyl group and the like. Among these, an ethenyl group or a propenyl group is preferable, and an ethenyl group is more preferable, from the viewpoint of curability.

また、アルケニル基が有していてもよい置換基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、アルコキシ基、ヒドロキシアルキル基、チオール基、スルフィド基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、アルキル基又はアルケニル基が好ましく、アルキル基がより好ましい。置換基を2以上有する場合には、置換基同士が連結して環を形成していてもよい。 The substituents that the alkenyl group may have include an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, a hydroxyl group, a carboxyl group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, an alkoxy group, a hydroxyalkyl group and a thiol group. Examples include sulfide groups. Among these, an alkyl group or an alkenyl group is preferable, and an alkyl group is more preferable, from the viewpoint of developability. When it has two or more substituents, the substituents may be linked to form a ring.

Bとしては、これらの中でも現像性と硬化性の観点から、エテニル基又はプロペニル基が好ましく、エテニル基がより好ましい。 Among these, RB is preferably an ethenyl group or a propenyl group, and more preferably an ethenyl group, from the viewpoint of developability and curability.

(RC
前記式(II)においてRCは置換基を有していてもよいアルケニル基を表す。
( RC )
In the formula (II), RC represents an alkenyl group which may have a substituent.

Cにおけるアルケニル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルケニル基が挙げられる。その炭素数は、2以上であることが好ましくまた、20以下であることが好ましく、16以下であることがより好ましく、12以下であることがさらに好ましく、8以下であることがよりさらに好ましく、6以下であることが特に好ましく、4以下であることが最も好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで硬化性が向上する傾向がある。 Examples of the alkenyl group in RC include a linear, branched chain or cyclic alkenyl group. The carbon number is preferably 2 or more, preferably 20 or less, more preferably 16 or less, further preferably 12 or less, still more preferably 8 or less. It is particularly preferably 6 or less, and most preferably 4 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the curability tends to be improved.

アルケニル基の具体例としては、エテニル基、プロペニル基、ブチレニル基、シクロヘキセニル基等が挙げられる。これらの中でも硬化性の観点から、エテニル基又はプロペニル基が好ましく、エテニル基がより好ましい。 Specific examples of the alkenyl group include an ethenyl group, a propenyl group, a butylenel group, a cyclohexenyl group and the like. Among these, an ethenyl group or a propenyl group is preferable, and an ethenyl group is more preferable, from the viewpoint of curability.

また、アルケニル基が有していてもよい置換基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、アルコキシ基、ヒドロキシアルキル基、チオール基、スルホン基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、アルキル基又はアルケニル基が好ましく、アルキル基がより好ましい。置換基を2以上有する場合には、置換基同士が連結して環を形成していてもよい。 The substituents that the alkenyl group may have include an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, a hydroxyl group, a carboxyl group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, an alkoxy group, a hydroxyalkyl group and a thiol group. Examples include a sulfone group. Among these, an alkyl group or an alkenyl group is preferable, and an alkyl group is more preferable, from the viewpoint of developability. When it has two or more substituents, the substituents may be linked to form a ring.

このように、RCは置換基を有していてもよいアルケニル基を表すが、これらの中でも現像性の観点から、エテニル基又はプロペニル基であることが好ましく、エテニル基であることがより好ましい。 As described above, RC represents an alkenyl group which may have a substituent, and among these, an ethenyl group or a propenyl group is preferable, and an ethenyl group is more preferable, from the viewpoint of developability. ..

(α)
前記式(II)においてαは、置換基を有していてもよいアルキレン基、置換基を有していてもよいアリーレン基、又は置換基を有していてもよいアルケニレン基を表す。
αにおけるアルキレン基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキレン基が挙げられる。その炭素数は、1以上であることが好ましく、2以上であることがより好ましく、また、22以下であることが好ましく、20以下であることがより好ましく、18以下であることがさらに好ましく、16以下であることがよりさらに好ましく、14以下であることが特に好ましく、12以下であることが最も好ましい。前記下限値以上とすることで密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで硬化性が向上する傾向がある。
(Α)
In the formula (II), α represents an alkylene group which may have a substituent, an arylene group which may have a substituent, or an alkenylene group which may have a substituent.
Examples of the alkylene group in α include a linear, branched or cyclic alkylene group. The carbon number is preferably 1 or more, more preferably 2 or more, preferably 22 or less, more preferably 20 or less, still more preferably 18 or less. It is more preferably 16 or less, particularly preferably 14 or less, and most preferably 12 or less. When it is at least the lower limit value, the adhesion tends to be improved, and when it is at least the upper limit value, the curability tends to be improved.

アルキレン基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、シクロヘキシレン基、メチルシクロヘキシレン基、ビシクロ[2.2.1]ヘプタン基、メチルビシクロ[2.2.1]ヘプタン基等が挙げられる。これらの中でも硬化性の観点から、エチレン基、シクロヘキシレン基又はメチルシクロヘキシレン基が好ましく、エチレン基がより好ましい。 Specific examples of the alkylene group include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a cyclohexylene group, a methylcyclohexylene group, a bicyclo [2.2.1] heptane group, a methylbicyclo [2.2.1] heptane group and the like. Can be mentioned. Among these, an ethylene group, a cyclohexylene group or a methylcyclohexylene group is preferable, and an ethylene group is more preferable, from the viewpoint of curability.

また、アルキレン基が有していてもよい置換基としては、アルケニル基、アルキニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、アルコキシ基、ヒドロキシアルキル基、チオール基、スルフィド基等が挙げられる。これらの中でも現像密着性の観点から、アルケニルが好ましい。また、置換基を2以上有する場合には、置換基同士が連結して環を形成していてもよい。 Examples of the substituent that the alkylene group may have include an alkenyl group, an alkynyl group, a hydroxyl group, a carboxyl group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, an alkoxy group, a hydroxyalkyl group, a thiol group, a sulfide group and the like. Can be mentioned. Among these, alkenyl is preferable from the viewpoint of development adhesion. Further, when it has two or more substituents, the substituents may be linked to each other to form a ring.

また、αにおけるアリーレン基としては、2価の芳香族炭化水素環基及び2価の芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は6以上であることが好ましく、また、24以下であることが好ましく、22以下であることがより好ましく、20以下であることがさらに好ましく、18以下であることがよりさらに好ましく、16以下であることが特に好ましく、14以下であることが最も好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などが挙げられる。
また、芳香族複素環基における芳香族複素環基としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などが挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、ベンゼン環基、又はナフタレン環基が好ましく、ベンゼン環基がより好ましい。
Further, examples of the arylene group in α include a divalent aromatic hydrocarbon ring group and a divalent aromatic heterocyclic group. The number of carbon atoms is preferably 6 or more, preferably 24 or less, more preferably 22 or less, further preferably 20 or less, still more preferably 18 or less. It is particularly preferably 16 or less, and most preferably 14 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.
The aromatic hydrocarbon ring in the aromatic hydrocarbon ring group may be a monocyclic ring or a fused ring, and may be, for example, a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, a phenanthrene ring, a perylene ring, a tetracene ring, or pyrene. Examples thereof include a ring, a benzpyrene ring, a chrysene ring, a triphenylene ring, an acenaphthene ring, a fluorene ring, and a fluorene ring.
The aromatic heterocyclic group in the aromatic heterocyclic group may be a monocyclic ring or a fused ring, and may be, for example, a furan ring, a benzofuran ring, a thiophene ring, a benzothiophene ring, a pyrazole ring, or a pyrazole ring. , Imidazole ring, oxadiazole ring, indole ring, carbazole ring, pyrrolobymidazole ring, pyrrolopyrazole ring, pyrrolopyrrole ring, thienopyrazole ring, thienothiophene ring, flopyrol ring, furofran ring, thienofran ring, benzoisoxazole ring, benzoiso Thiazol ring, benzimidazole ring, pyridine ring, pyrazine ring, pyridazine ring, pyrimidine ring, triazine ring, quinoline ring, isoquinoline ring, sinoline ring, quinoxalin ring, phenanthridine ring, benzimidazole ring, perimidine ring, quinazoline ring, quinazolinone Examples include a ring and an aromatic ring. Among these, a benzene ring group or a naphthalene ring group is preferable, and a benzene ring group is more preferable, from the viewpoint of developability.

また、アリーレン基が有していてもよい置換基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、アルコキシ基、ヒドロキシアルキル基、チオール基、スルホン基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、ヒドロキシル基又はカルボキシル基が好ましく、カルボキシル基がより好ましい。また、置換基を2以上有する場合には、置換基同士が連結して環を形成していてもよい。 The substituents that the arylene group may have include an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, a hydroxyl group, a carboxyl group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, an alkoxy group, a hydroxyalkyl group and a thiol group. Examples include a sulfone group. Among these, a hydroxyl group or a carboxyl group is preferable, and a carboxyl group is more preferable, from the viewpoint of developability. Further, when it has two or more substituents, the substituents may be linked to each other to form a ring.

置換基を有するアリーレン基の具体例としては、カルボキシルベンゼン環基等が挙げられる。 Specific examples of the arylene group having a substituent include a carboxylbenzene ring group and the like.

また、αにおけるアルケニレン基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルケニレン基が挙げられる。その炭素数は、2以上であることが好ましくまた、22以下であることが好ましく、20以下であることがより好ましく、18以下であることがさらに好ましく、16以下であることがよりさらに好ましく、14以下であることが特に好ましく、12以下であることが最も好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Examples of the alkenylene group in α include a linear, branched or cyclic alkenylene group. The carbon number is preferably 2 or more, preferably 22 or less, more preferably 20 or less, further preferably 18 or less, still more preferably 16 or less. It is particularly preferably 14 or less, and most preferably 12 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

アルケニレン基の具体例としては、エテニレン基、プロペニレン基、シクロヘキセニレン基、メチルエテニレン基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、エテニレン基、シクロヘキセニレン基が好ましく、エテニレン基がより好ましい。 Specific examples of the alkenylene group include an ethenylene group, a propenylene group, a cyclohexenylene group, a methylethenylene group and the like. Among these, from the viewpoint of developability, an ethenylene group and a cyclohexenylene group are preferable, and an ethenylene group is more preferable.

また、アルケニレン基が有していてもよい置換基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、アルコキシ基、ヒドロキシアルキル基、チオール基、スルフィド基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、アルキル基又はアルケニル基が好ましく、アルキル基がより好ましい。また、置換基を2以上有する場合には、置換基同士が連結して環を形成していてもよい。 The substituents that the alkenylene group may have include an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, a hydroxyl group, a carboxyl group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, an alkoxy group, a hydroxyalkyl group and a thiol group. Examples include sulfide groups. Among these, an alkyl group or an alkenyl group is preferable, and an alkyl group is more preferable, from the viewpoint of developability. Further, when it has two or more substituents, the substituents may be linked to each other to form a ring.

このように、αは置換基を有していてもよいアルキレン基、置換基を有していてもよいアリーレン基、又は置換基を有していてもよいアルケニレン基を表すが、これらの中でも現像性の観点から、アルキレン基又はアルケニレン基であることが好ましく、アルキレン基であることがより好ましい。 As described above, α represents an alkylene group which may have a substituent, an arylene group which may have a substituent, or an alkenylene group which may have a substituent. From the viewpoint of properties, it is preferably an alkylene group or an alkenylene group, and more preferably an alkylene group.

また、前記一般式(I)で表される繰り返し単位構造は、現像性の観点から、下記一般式(I-1)で表される繰り返し単位構造であることが好ましい。なお、式(I-1)で表される繰り返し単位構造は、式中に前記一般式(1)で表される部分構造を含む。 Further, the repeating unit structure represented by the general formula (I) is preferably a repeating unit structure represented by the following general formula (I-1) from the viewpoint of developability. The repeating unit structure represented by the formula (I-1) includes the partial structure represented by the general formula (1) in the formula.

Figure 0007040089000038
Figure 0007040089000038

式(I-1)中、RA及びRBは、前記式(I)のものと同義である。R1は前記式(1)のものと同義である。 In formula (I - 1), RA and RB have the same meaning as those in formula (I). R 1 has the same meaning as that of the above formula (1).

また、前記一般式(I)で表される繰り返し単位構造は、感度の観点から、下記一般式(I-2)で表される繰り返し単位構造であることが好ましい。 Further, the repeating unit structure represented by the general formula (I) is preferably a repeating unit structure represented by the following general formula (I-2) from the viewpoint of sensitivity.

Figure 0007040089000039
Figure 0007040089000039

式(I-2)中、RA及びRBは、前記式(I)のものと同義である。 In formula (I - 2), RA and RB have the same meaning as those in formula (I).

(c2)アクリル共重合樹脂に含まれる前記一般式(I)で表される部分構造の含有割合は特に限定されないが、5モル%以上が好ましく、20モル%以上がより好ましく、30モル%以上がさらに好ましく、50モル%以上がよりさらに好ましく、70モル%以上が特に好ましく、80モル%以上が最も好ましく、また、99モル%以下が好ましく、97モル%以下がより好ましく、95モル%以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで残渣が低減する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像密着性が向上する傾向がある。 (C2) The content ratio of the partial structure represented by the general formula (I) contained in the acrylic copolymer resin is not particularly limited, but is preferably 5 mol% or more, more preferably 20 mol% or more, and 30 mol% or more. Is even more preferable, 50 mol% or more is further preferable, 70 mol% or more is particularly preferable, 80 mol% or more is most preferable, 99 mol% or less is preferable, 97 mol% or less is more preferable, and 95 mol% or less. Is even more preferable. When it is at least the lower limit value, the residue tends to be reduced, and when it is at least the upper limit value, the development adhesion tends to be improved.

(c2)アクリル共重合樹脂に含まれる前記一般式(I-1)で表される部分構造の含有割合は特に限定されないが、1モル%以上が好ましく、5モル%以上がより好ましく、10モル%以上がさらに好ましく、15モル%以上がよりさらに好ましく、20モル%以上が特に好ましく、また、99モル%以下が好ましく、60モル%以下がより好ましく、40モル%以下がさらに好ましく、30モル%以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで感度が高くなり、残渣が低減する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像密着性が向上する傾向がある。 (C2) The content ratio of the partial structure represented by the general formula (I-1) contained in the acrylic copolymer resin is not particularly limited, but is preferably 1 mol% or more, more preferably 5 mol% or more, and 10 mol. % Or more is further preferable, 15 mol% or more is further preferable, 20 mol% or more is particularly preferable, 99 mol% or less is preferable, 60 mol% or less is more preferable, 40 mol% or less is further preferable, and 30 mol is more preferable. % Or less is particularly preferable. When it is at least the above lower limit value, the sensitivity tends to be high and the residue tends to be reduced, and when it is at least the above upper limit value, the development adhesion tends to be improved.

(c2)アクリル共重合樹脂に含まれる前記一般式(I-2)で示される部分構造の含有割合は特に限定されないが、5モル%以上が好ましく、10モル%以上がより好ましく、20モル%以上がさらに好ましく、30モル%以上がよりさらに好ましく、40モル%以上が特に好ましく、50モル%以上が最も好ましく、また、99モル%以下が好ましく、90モル%以下がより好ましく、80モル%以下がさらに好ましく、70モル%以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで感度が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像性が向上する傾向がある。 (C2) The content ratio of the partial structure represented by the general formula (I-2) contained in the acrylic copolymer resin is not particularly limited, but is preferably 5 mol% or more, more preferably 10 mol% or more, and 20 mol%. The above is further preferable, 30 mol% or more is further preferable, 40 mol% or more is particularly preferable, 50 mol% or more is most preferable, 99 mol% or less is preferable, 90 mol% or less is more preferable, and 80 mol% is more preferable. The following is more preferable, and 70 mol% or less is particularly preferable. When it is at least the lower limit value, the sensitivity tends to be high, and when it is at least the upper limit value, the developability tends to be improved.

(一般式(I’)で表される部分構造)
(c2)アクリル共重合樹脂が前記一般式(I)で表される部分構造を含む場合、他に含まれる部分構造は特に限定されないが、現像密着性の観点から、例えば、下記一般式(I’)で表される部分構造が含まれることが好ましい。
(Partial structure represented by the general formula (I'))
(C2) When the acrylic copolymer resin contains the partial structure represented by the general formula (I), the other partial structures are not particularly limited, but from the viewpoint of development adhesion, for example, the following general formula (I) It is preferable that the partial structure represented by') is included.

Figure 0007040089000040
Figure 0007040089000040

上記式(I’)中、RDは水素原子又はメチル基を表し、REは置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、又は置換基を有していてもよいアルケニル基を表す。 In the above formula (I'), R D represents a hydrogen atom or a methyl group, and RE represents an alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent, or a substituent. Represents an alkenyl group that may have.

(RE
前記式(I’)において、REは置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、又は置換基を有していてもよいアルケニル基を表す。
Eにおけるアルキル基としては直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が挙げられる。その炭素数は、1以上であることが好ましく、3以上であることがより好ましく、5以上であることがさらに好ましく、また、20以下であることが好ましく、18以下であることがより好ましく、16以下であることがさらに好ましく、14以下であることがよりさらに好ましく、12以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで膜強度が高くなり、現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
( RE )
In the formula (I'), RE represents an alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent, or an alkenyl group which may have a substituent.
Examples of the alkyl group in RE include linear, branched or cyclic alkyl groups. The carbon number is preferably 1 or more, more preferably 3 or more, further preferably 5 or more, preferably 20 or less, and even more preferably 18 or less. It is more preferably 16 or less, further preferably 14 or less, and particularly preferably 12 or less. When it is at least the above lower limit value, the film strength tends to be high and the development adhesion tends to be improved, and when it is at least the above upper limit value, the residue tends to be reduced.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、シクロヘキシル基、ジシクロペンタニル基、ドデカニル基等が挙げられる。これらの中でも膜強度の観点から、ジシクロペンタニル基又はドデカニル基が好ましく、ジシクロペンタニル基がより好ましい。
また、アルキル基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。
Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a cyclohexyl group, a dicyclopentanyl group, a dodecanyl group and the like. Among these, from the viewpoint of film strength, a dicyclopentanyl group or a dodecanyl group is preferable, and a dicyclopentanyl group is more preferable.
The substituents that the alkyl group may have include a methoxy group, an ethoxy group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, a hydroxy group, an amino group, an epoxy group, an oligoethylene glycol group, a phenyl group and a carboxyl group. , Acryloyl group, methacryloyl group and the like, and a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable from the viewpoint of developability.

Eにおけるアリール基としては、1価の芳香族炭化水素環基及び1価の芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は6以上であることが好ましく、また、24以下であることが好ましく、22以下であることがより好ましく、20以下であることがさらに好ましく、18以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環などが挙げられる。
また、芳香族複素環基における芳香族複素環基としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ベンゾイミダゾール環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環などが挙げられる。これらの中でも硬化性の観点から、ベンゼン環基、又はナフタレン環基が好ましく、ベンゼン環基がより好ましい。
また、アリール基が有していてもよい置換基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。
Examples of the aryl group in RE include a monovalent aromatic hydrocarbon ring group and a monovalent aromatic heterocyclic group. The carbon number is preferably 6 or more, preferably 24 or less, more preferably 22 or less, further preferably 20 or less, and particularly preferably 18 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.
The aromatic hydrocarbon ring in the aromatic hydrocarbon ring group may be a monocyclic ring or a fused ring, and may be, for example, a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, a phenanthrene ring, a perylene ring, a tetracene ring, or pyrene. Examples thereof include a ring, a benzpyrene ring, a chrysene ring, a triphenylene ring, an acenaphthene ring, a fluorene ring, and a fluorene ring.
The aromatic heterocyclic group in the aromatic heterocyclic group may be a monocyclic ring or a fused ring, and may be, for example, a furan ring, a benzofuran ring, a thiophene ring, a benzothiophene ring, a pyrazole ring, or a pyrazole ring. , Imidazole ring, oxadiazole ring, indole ring, carbazole ring, pyrrolobymidazole ring, pyrrolopyrazole ring, pyrrolopyrrole ring, thienopyrazole ring, thienothiophene ring, flopyrol ring, furofran ring, thienofran ring, benzoisoxazole ring, benzoiso Thiazol ring, benzimidazole ring, pyridine ring, pyrazine ring, pyridazine ring, pyrimidine ring, triazine ring, quinoline ring, isoquinoline ring, sinoline ring, quinoxalin ring, phenanthridine ring, benzimidazole ring, perimidine ring, quinazoline ring, quinazolinone Examples include a ring and an aromatic ring. Among these, a benzene ring group or a naphthalene ring group is preferable, and a benzene ring group is more preferable, from the viewpoint of curability.
The substituents that the aryl group may have include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a methoxy group, an ethoxy group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, a hydroxy group, an amino group, an epoxy group and an oligo. Examples thereof include an ethylene glycol group, a phenyl group and a carboxyl group, and a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable from the viewpoint of developability.

Eにおけるアルケニル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルケニル基が挙げられる。その炭素数は、2以上であることが好ましく、また、22以下であることが好ましく、20以下であることがより好ましく、18以下であることがさらに好ましく、16以下であることがよりさらに好ましく、14以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Examples of the alkenyl group in RE include linear, branched or cyclic alkenyl groups. The carbon number is preferably 2 or more, preferably 22 or less, more preferably 20 or less, further preferably 18 or less, still more preferably 16 or less. , 14 or less is particularly preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

アルケニル基の具体例としては、エテニル基、プロペニル基、ブチレニル基、シクロヘキセニル基等が挙げられる。これらの中でも硬化性の観点から、エテニル基又はプロペニル基が好ましく、エテニル基がより好ましい。
また、アルケニル基が有していてもよい置換基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。
Specific examples of the alkenyl group include an ethenyl group, a propenyl group, a butylenel group, a cyclohexenyl group and the like. Among these, an ethenyl group or a propenyl group is preferable, and an ethenyl group is more preferable, from the viewpoint of curability.
The substituents that the alkenyl group may have include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a methoxy group, an ethoxy group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, a hydroxy group, an amino group, an epoxy group and an oligo. Examples thereof include an ethylene glycol group, a phenyl group and a carboxyl group, and a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable from the viewpoint of developability.

このように、REは置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、又は置換基を有していてもよいアルケニル基を表すが、これらの中でも現像性の観点から、アルキル基又はアルケニルが好ましく、アルキル基がより好ましい。 As described above, RE represents an alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent, or an alkenyl group which may have a substituent. From the viewpoint of developability, an alkyl group or an alkenyl is preferable, and an alkyl group is more preferable.

(c2)アクリル共重合樹脂に含まれる前記一般式(I’)で表される部分構造の含有割合は特に限定されないが、0.5モル%以上が好ましく、1モル%以上がより好ましく、1.5モル%以上がさらに好ましく、2モル%以上が特に好ましく、また、90モル%以下が好ましく、70モル%以下がより好ましく、50%モル以下がさらに好ましく、30モル%以下がよりさらに好ましく、10モル%以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 (C2) The content ratio of the partial structure represented by the general formula (I') contained in the acrylic copolymer resin is not particularly limited, but is preferably 0.5 mol% or more, more preferably 1 mol% or more, and 1 .5 mol% or more is more preferable, 2 mol% or more is particularly preferable, 90 mol% or less is preferable, 70 mol% or less is more preferable, 50% mol or less is further preferable, and 30 mol% or less is further preferable. 10 mol% or less is particularly preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

(一般式(I’’)で表される部分構造)
(c2)アクリル共重合樹脂が前記一般式(I)で表される部分構造を含む場合、他に含まれる部分構造として、耐熱性、膜強度の観点から下記一般式(I’’)で表される部分構造が含まれることが好ましい。
(Partial structure represented by the general formula (I''))
(C2) When the acrylic copolymer resin contains the partial structure represented by the general formula (I), it is represented by the following general formula (I'') from the viewpoint of heat resistance and film strength as the other partial structure contained. It is preferable that the partial structure to be used is included.

Figure 0007040089000041
Figure 0007040089000041

上記式(I’’)中、RFは水素原子又はメチル基を表し、RGは置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ハロゲン原子、置換基を有していてもよいアルコキシ基、チオール基、又は置換基を有していてもよいアルキルスルフィド基を表す。tは0~5の整数を表す。 In the above formula (I''), RF represents a hydrogen atom or a methyl group, and RG is an alkyl group which may have a substituent, an alkenyl group which may have a substituent, a hydroxyl group, and the like. Represents a carboxyl group, a halogen atom, an alkoxy group which may have a substituent, a thiol group, or an alkyl sulfide group which may have a substituent. t represents an integer from 0 to 5.

(RG
前記式(I’’)においてRGは置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基、置換基を有していてもよいアルキニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ハロゲン原子、置換基を有していてもよいアルコキシ基、チオール基、又は置換基を有していてもよいアルキルスルフィド基を表す。
Gにおけるアルキル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が挙げられる。その炭素数は、1以上であることが好ましく、3以上であることがより好ましく、5以上であることがさらに好ましく、また、20以下であることが好ましく、18以下であることがより好ましく、16以下であることがさらに好ましく、14以下であることがよりさらに好ましく、12以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
( RG )
In the above formula (I''), RG is an alkyl group which may have a substituent, an alkenyl group which may have a substituent, an alkynyl group which may have a substituent, a hydroxyl group, and the like. Represents a carboxyl group, a halogen atom, an alkoxy group which may have a substituent, a thiol group, or an alkyl sulfide group which may have a substituent.
Examples of the alkyl group in RG include linear, branched or cyclic alkyl groups. The carbon number is preferably 1 or more, more preferably 3 or more, further preferably 5 or more, preferably 20 or less, and even more preferably 18 or less. It is more preferably 16 or less, further preferably 14 or less, and particularly preferably 12 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、シクロヘキシル基、ジシクロペンタニル基、ドデカニル基等が挙げられる。これらの中でも現像密着性の観点から、ジシクロペンタニル基又はドデカニル基が好ましく、ジシクロペンタニル基がより好ましい。
また、アルキル基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。
Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a cyclohexyl group, a dicyclopentanyl group, a dodecanyl group and the like. Among these, a dicyclopentanyl group or a dodecanyl group is preferable, and a dicyclopentanyl group is more preferable, from the viewpoint of development adhesion.
The substituents that the alkyl group may have include a methoxy group, an ethoxy group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, a hydroxy group, an amino group, an epoxy group, an oligoethylene glycol group, a phenyl group and a carboxyl group. , Acryloyl group, methacryloyl group and the like, and a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable from the viewpoint of developability.

Gにおけるアルケニル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルケニル基が挙げられる。その炭素数は、2以上であることが好ましく、また、22以下であることが好ましく、20以下であることがより好ましく、18以下であることがさらに好ましく、16以下であることがよりさらに好ましく、14以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Examples of the alkenyl group in RG include linear, branched or cyclic alkenyl groups. The carbon number is preferably 2 or more, preferably 22 or less, more preferably 20 or less, further preferably 18 or less, still more preferably 16 or less. , 14 or less is particularly preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

アルケニル基の具体例としては、エテニル基、プロペニル基、ブチレニル基、シクロヘキセニル基等が挙げられる。これらの中でも硬化性の観点から、エテニル基又はプロペニル基が好ましく、エテニル基がより好ましい。
また、アルケニル基が有していてもよい置換基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。
Specific examples of the alkenyl group include an ethenyl group, a propenyl group, a butylenel group, a cyclohexenyl group and the like. Among these, an ethenyl group or a propenyl group is preferable, and an ethenyl group is more preferable, from the viewpoint of curability.
The substituents that the alkenyl group may have include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a methoxy group, an ethoxy group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, a hydroxy group, an amino group, an epoxy group and an oligo. Examples thereof include an ethylene glycol group, a phenyl group and a carboxyl group, and a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable from the viewpoint of developability.

Gにおけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられ、これらの中でも撥液性の観点からはフッ素原子が好ましい。 Examples of the halogen atom in RG include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom, and among these, a fluorine atom is preferable from the viewpoint of liquid repellency.

Gにおけるアルコキシ基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルコキシ基が挙げられる。その炭素数は、1以上であることが好ましく、また、20以下であることが好ましく、18以下であることがより好ましく、16以下であることがさらに好ましく、14以下であることがよりさらに好ましく、12以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Examples of the alkoxy group in RG include linear, branched or cyclic alkoxy groups. The carbon number is preferably 1 or more, preferably 20 or less, more preferably 18 or less, further preferably 16 or less, and even more preferably 14 or less. , 12 or less is particularly preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

また、アルコシ基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。 The substituents that the alcohol group may have include a methoxy group, an ethoxy group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, a hydroxy group, an amino group, an epoxy group, an oligoethylene glycol group, a phenyl group and a carboxyl group. , Acryloyl group, methacryloyl group and the like, and a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable from the viewpoint of developability.

Gにおけるアルキルスルフィド基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキルスルフィド基が挙げられる。その炭素数は、1以上であることが好ましく、また、20以下であることが好ましく、18以下であることがより好ましく、16以下であることがさらに好ましく、14以下であることがよりさらに好ましく、12以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 Examples of the alkyl sulfide group in RG include linear, branched or cyclic alkyl sulfide groups. The carbon number is preferably 1 or more, preferably 20 or less, more preferably 18 or less, further preferably 16 or less, and even more preferably 14 or less. , 12 or less is particularly preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

アルキルスルフィド基の具体例としては、メチルスルフィド基、エチルスルフィド基、プロピルスルフィド基、ブチルスルフィド基等が挙げられる。これらの中でも現像性の観点から、メチルスルフィド基又はエチルスルフィド基が好ましい。
また、アルキルスルフィド基におけるアルキル基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられ、現像性の観点から、ヒドロキシ基、オリゴエチレングリコール基が好ましい。
Specific examples of the alkyl sulfide group include a methyl sulfide group, an ethyl sulfide group, a propyl sulfide group, a butyl sulfide group and the like. Among these, a methyl sulfide group or an ethyl sulfide group is preferable from the viewpoint of developability.
The substituents that the alkyl group in the alkyl sulfide group may have include a methoxy group, an ethoxy group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, a hydroxy group, an amino group, an epoxy group, an oligoethylene glycol group and a phenyl group. Examples thereof include a group, a carboxyl group, an acryloyl group and a methacryloyl group, and a hydroxy group and an oligoethylene glycol group are preferable from the viewpoint of developability.

このように、RGは置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、ハロゲン原子、アルコキシ基、ヒドロキシアルキル基、チオール基、又は置換基を有していてもよいアルキルスルフィド基を表すが、これらの中でも現像性の観点から、ヒドロキシル基又はカルボキシル基が好ましく、カルボキシル基がより好ましい。 As described above, RG has an alkyl group which may have a substituent, an alkenyl group which may have a substituent, a hydroxyl group, a carboxyl group, a halogen atom, an alkoxy group, a hydroxyalkyl group, a thiol group, and the like. Alternatively, it represents an alkyl sulfide group which may have a substituent, and among these, a hydroxyl group or a carboxyl group is preferable, and a carboxyl group is more preferable, from the viewpoint of developability.

(t)
前記式(I’’)においてtは0~5の整数を表す。現像性の観点から、2以下が好ましく、1以下がより好ましく、0がさらに好ましい。
(T)
In the above equation (I''), t represents an integer of 0 to 5. From the viewpoint of developability, 2 or less is preferable, 1 or less is more preferable, and 0 is further preferable.

(c2)アクリル共重合樹脂に含まれる前記一般式(I’’)で表される部分構造の含有割合は特に限定されないが、1モル%以上が好ましく、2モル%以上がより好ましく、3モル%以上がさらに好ましく、5モル%以上が特に好ましく、また、90モル%以下が好ましく、70モル%以下がより好ましく、50モル%以下がさらに好ましく、30モル%以下がよりさらに好ましく、20モル%以下が特に好ましく、10モル%以下が最も好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 (C2) The content ratio of the partial structure represented by the general formula (I'') contained in the acrylic copolymer resin is not particularly limited, but is preferably 1 mol% or more, more preferably 2 mol% or more, and 3 mol. % Or more is more preferable, 5 mol% or more is particularly preferable, 90 mol% or less is preferable, 70 mol% or less is more preferable, 50 mol% or less is further preferable, 30 mol% or less is further preferable, and 20 mol is more preferable. % Or less is particularly preferable, and 10 mol% or less is most preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

(一般式(I’’’)で表される部分構造)
(c2)アクリル共重合樹脂が前記一般式(I)で表される部分構造を含む場合、他に含まれる部分構造として、現像性の観点から下記一般式(I’’’)で表される部分構造が含まれることが好ましい。
(Partial structure represented by the general formula (I'''))
(C2) When the acrylic copolymer resin contains the partial structure represented by the general formula (I), it is represented by the following general formula (I''') as the other partial structure contained from the viewpoint of developability. It is preferable that a partial structure is included.

Figure 0007040089000042
Figure 0007040089000042

上記式(I’’’)中、RHは水素原子又はメチル基を表す。 In the above formula (I'''), RH represents a hydrogen atom or a methyl group.

(c2)アクリル共重合樹脂に含まれる前記一般式(I’’’)で示される部分構造の含有割合は特に限定されないが、5モル%以上が好ましく、10モル%以上がより好ましく、30モル%以上がさらに好ましく、また、90モル%以下が好ましく、80モル%以下がより好ましく、70モル%以下がさらに好ましく、50モル%以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで残渣が低減する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像密着性が向上する傾向がある。一方で、アウトガスの観点から、0%、つまり、前記一般式(I’’’)で示される部分構造を含まないことが好ましい。 (C2) The content ratio of the partial structure represented by the general formula (I''') contained in the acrylic copolymer resin is not particularly limited, but is preferably 5 mol% or more, more preferably 10 mol% or more, and 30 mol. % Or more is further preferable, 90 mol% or less is preferable, 80 mol% or less is more preferable, 70 mol% or less is further preferable, and 50 mol% or less is particularly preferable. When it is at least the lower limit value, the residue tends to be reduced, and when it is at least the upper limit value, the development adhesion tends to be improved. On the other hand, from the viewpoint of outgas, it is preferable that it does not contain 0%, that is, the partial structure represented by the general formula (I ″ ″).

(c2)アクリル共重合樹脂の酸価は特に限定されないが、5mgKOH/g以上が好ましく、10mgKOH/g以上がより好ましく、30mgKOH/g以上がさらに好ましく、40mgKOH/g以上がよりさらに好ましく、50mgKOH/g以上が特に好ましく、また、100mgKOH/g以下が好ましく、90mgKOH/g以下がより好ましく、70mgKOH/g以下がさらに好ましく、60mgKOH/g以下がよりさらに好ましい。前記下限値以上とすることで残渣が低減する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像密着性が向上する傾向がある。 (C2) The acid value of the acrylic copolymer resin is not particularly limited, but is preferably 5 mgKOH / g or more, more preferably 10 mgKOH / g or more, further preferably 30 mgKOH / g or more, further preferably 40 mgKOH / g or more, and even more preferably 50 mgKOH / g. G or more is particularly preferable, 100 mgKOH / g or less is preferable, 90 mgKOH / g or less is more preferable, 70 mgKOH / g or less is further preferable, and 60 mgKOH / g or less is further preferable. When it is at least the lower limit value, the residue tends to be reduced, and when it is at least the upper limit value, the development adhesion tends to be improved.

(c2)アクリル共重合樹脂の重量平均分子量(Mw)は特に限定されないが、好ましくは1000以上、より好ましくは2000以上、さらに好ましくは3000以上、よりさらに好ましくは4000以上、特に好ましくは5000以上であり、また、通常30000以下、好ましくは20000以下、より好ましくは15000以下、さらに好ましくは10000以下である。特に好ましくは7000以下である。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。 (C2) The weight average molecular weight (Mw) of the acrylic copolymer resin is not particularly limited, but is preferably 1000 or more, more preferably 2000 or more, still more preferably 3000 or more, still more preferably 4000 or more, and particularly preferably 5000 or more. Also, it is usually 30,000 or less, preferably 20,000 or less, more preferably 15,000 or less, still more preferably 10,000 or less. Especially preferably, it is 7000 or less. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the residue tends to be reduced.

(C)アルカリ可溶性樹脂に含まれる(c2)アクリル共重合樹脂の含有割合は特に限定されないが、現像性の観点から、5質量%以上が好ましく、10質量%以上がより好ましく、15質量%以上がさらに好ましく、20質量%以上が特に好ましく、また、通常100質量%以下が好ましく、80質量%以下がより好ましく、50質量%以下がさらに好ましい。前記下限値以上とすることで現像溶解性が良好となる傾向があり、前記上限値以下とすることでテーパー角が高くなる傾向がある。 The content ratio of the (c2) acrylic copolymer resin contained in the (C) alkali-soluble resin is not particularly limited, but is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, and 15% by mass or more from the viewpoint of developability. Is more preferable, 20% by mass or more is particularly preferable, and usually 100% by mass or less is preferable, 80% by mass or less is more preferable, and 50% by mass or less is further preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development solubility tends to be good, and when it is set to the upper limit value or less, the taper angle tends to be high.

(C)アルカリ可溶性樹脂中には、(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂又は(c2)アクリル共重合樹脂のいずれかが単独で含まれていてもよく、両者が含まれていてもよい。さらに、(c1)及び(c2)以外の樹脂が含まれていてもよい。例えば、フッ素原子含有官能基を有するアルカリ可溶性樹脂を含ませることで、(C)アルカリ可溶性樹脂自体に撥液性を付与してもよい。 In the (C) alkali-soluble resin, either (c1) epoxy (meth) acrylate resin or (c2) acrylic copolymer resin may be contained alone, or both may be contained. Further, a resin other than (c1) and (c2) may be contained. For example, the (C) alkali-soluble resin itself may be imparted with liquid repellency by containing an alkali-soluble resin having a fluorine atom-containing functional group.

本発明の感光性樹脂組成物中における(C)アルカリ可溶性樹脂の含有割合は、全固形分に対して、通常5質量%以上、好ましくは10質量%以上、より好ましくは20質量%以上、さらに好ましくは30質量%以上、特に好ましくは40質量%以上、また、通常90質量%以下、好ましくは70質量%以下、より好ましくは60質量%以下、特に好ましくは50質量%以下である。前記下限値以上とすることで現像性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで素子発光時のアウトガスを低減する傾向がある。 The content ratio of the (C) alkali-soluble resin in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 5% by mass or more, preferably 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, and further, with respect to the total solid content. It is preferably 30% by mass or more, particularly preferably 40% by mass or more, and usually 90% by mass or less, preferably 70% by mass or less, more preferably 60% by mass or less, and particularly preferably 50% by mass or less. When it is set to the lower limit value or more, the developability tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the outgas at the time of light emission of the element tends to be reduced.

本発明の感光性樹脂組成物中におけるアルカリ可溶性樹脂(c)の含有割合は、全固形分に対して、通常5質量%以上、好ましくは10質量%以上、より好ましくは20質量%以上、さらに好ましくは30質量%以上、特に好ましくは40質量%以上、また、通常90質量%以下、好ましくは70質量%以下、より好ましくは60質量%以下、特に好ましくは50質量%以下である。前記下限値以上とすることで素子発光時のアウトガスが低減する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで膜減りを抑えられる傾向がある。 The content ratio of the alkali-soluble resin (c) in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 5% by mass or more, preferably 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, and further, with respect to the total solid content. It is preferably 30% by mass or more, particularly preferably 40% by mass or more, and usually 90% by mass or less, preferably 70% by mass or less, more preferably 60% by mass or less, and particularly preferably 50% by mass or less. When it is set to the lower limit value or more, the outgas at the time of light emission of the element tends to be reduced, and when it is set to the upper limit value or less, the film reduction tends to be suppressed.

(C)アルカリ可溶性樹脂中におけるアルカリ可溶性樹脂(c)の含有割合は、通常10質量%以上、好ましくは30質量%以上、より好ましくは50質量%以上、さらに好ましくは70質量%以上、特に好ましくは90質量%以上、また、通常100質量%以下である。前記下限値以上とすることで現像性が向上し、また、素子発光時のアウトガスが低減する傾向がある。 The content ratio of the alkali-soluble resin (c) in the (C) alkali-soluble resin is usually 10% by mass or more, preferably 30% by mass or more, more preferably 50% by mass or more, still more preferably 70% by mass or more, and particularly preferably. Is 90% by mass or more, and usually 100% by mass or less. By setting the value to the lower limit or more, the developability tends to be improved and the outgas at the time of light emission of the element tends to be reduced.

また、全固形分中における(A)エチレン性不飽和化合物及び(C)アルカリ可溶性樹脂の含有割合は、全固形分に対して、通常5質量%以上、好ましくは10質量%以上、より好ましくは30質量%以上、さらに好ましくは50質量%以上、よりさらに好ましくは70質量%以上、特に好ましくは80質量%以上であり、最も好ましくは85質量%以上であり、また、通常99質量%以下、好ましくは97質量%以下、より好ましくは95質量%以下である。前記下限値以上とすることで硬化性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで素子発光時のアウトガス低減する傾向がある。 The content of the (A) ethylenically unsaturated compound and (C) alkali-soluble resin in the total solid content is usually 5% by mass or more, preferably 10% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, based on the total solid content. 30% by mass or more, more preferably 50% by mass or more, still more preferably 70% by mass or more, particularly preferably 80% by mass or more, most preferably 85% by mass or more, and usually 99% by mass or less. It is preferably 97% by mass or less, more preferably 95% by mass or less. When it is set to the lower limit value or more, the curability tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the outgas during light emission of the device tends to be reduced.

また、感光性樹脂組成物中の(A)エチレン性不飽和化合物に対する(C)アルカリ可溶性樹脂の配合比としては、(A)エチレン性不飽和化合物100質量部に対して、50質量部以上が好ましく、60質量部以上がより好ましく、70質量部以上がさらに好ましく、80質量部以上が特に好ましく、また、400質量部以下が好ましく、300質量部以下がより好ましく、200質量部以下がさらに好ましく、100質量部以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向があり、また、前記上限値以下とすることで硬化性が向上する傾向がある。 The compounding ratio of the (C) alkali-soluble resin to the (A) ethylenically unsaturated compound in the photosensitive resin composition is 50 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the (A) ethylenically unsaturated compound. Preferably, 60 parts by mass or more is more preferable, 70 parts by mass or more is further preferable, 80 parts by mass or more is particularly preferable, 400 parts by mass or less is preferable, 300 parts by mass or less is more preferable, and 200 parts by mass or less is further preferable. , 100 parts by mass or less is particularly preferable. When it is set to the lower limit value or more, the development adhesion tends to be improved, and when it is set to the upper limit value or less, the curability tends to be improved.

[1-1-4](D)成分;撥液剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(D)撥液剤を含有していてもよい。特に、インクジェット法で有機電界発光素子を作成する場合には(D)撥液剤を含有することが好ましく、(D)撥液剤を含有することでそれが隔壁の表面に撥液性を付与できることから、得られる隔壁を有機層の発光部(画素)ごとの混色を防ぐものとすることができると考えられる。
撥液剤としては、シリコーン含有化合物やフッ素系化合物が挙げられ、好ましくは、架橋基を有する撥液剤(以下、「架橋基含有撥液剤」と称す場合がある。)が挙げられる。架橋基としては、エポキシ基又はエチレン性不飽和基が挙げられ、現像液の撥液成分の流出抑制の観点から、好ましくはエチレン性不飽和基である。
架橋基含有撥液剤を用いる場合には、形成した塗布膜を露光する際にその表面での架橋反応を加速することができ、撥液剤が現像処理で流出しにくくなり、その結果、得られる隔壁を高い撥液性を示すものとすることができると考えられる。
[1-1-4] Component (D); Liquid repellent agent The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention may contain (D) a liquid repellent agent. In particular, when an organic electroluminescent element is produced by an inkjet method, it is preferable to contain (D) a liquid repellent agent, and by containing (D) a liquid repellent agent, it is possible to impart liquid repellent property to the surface of the partition wall. It is considered that the obtained partition wall can prevent color mixing for each light emitting portion (pixel) of the organic layer.
Examples of the liquid repellent include silicone-containing compounds and fluorine-based compounds, and preferable examples thereof include a liquid repellent having a cross-linking group (hereinafter, may be referred to as a “cross-linking group-containing liquid repellent”). Examples of the cross-linking group include an epoxy group and an ethylenically unsaturated group, and an ethylenically unsaturated group is preferable from the viewpoint of suppressing the outflow of the liquid-repellent component of the developing solution.
When a cross-linking group-containing liquid repellent is used, the cross-linking reaction on the surface of the formed coating film can be accelerated when the coating film is exposed, and the liquid repellent is less likely to flow out in the developing process, resulting in a partition wall. Is considered to be able to exhibit high liquid repellency.

撥液剤としてフッ素系化合物を用いた場合には、当該フッ素化合物が隔壁の表面に配向して、インキのにじみや混色を防止する働きをする傾向がある。さらに詳しくは、フッ素原子を有する基が、インキをはじき、インキが隔壁を越えて隣接する領域に進入することによるインキのにじみや混色を防ぐ働きをする傾向がある。 When a fluorine-based compound is used as the liquid repellent, the fluorine compound tends to be oriented toward the surface of the partition wall to prevent ink bleeding and color mixing. More specifically, the group having a fluorine atom tends to repel the ink and prevent the ink from bleeding or mixing due to the ink entering the adjacent region beyond the partition wall.

架橋基含有撥液剤、特にエチレン性不飽和基含有フッ素系化合物の具体例としては、例えばパーフルオロアルキルスルホン酸、パーフルオロアルキルカルボン酸、パーフルオロアルキルアルキレンオキシド付加物、パーフルオロアルキルトリアルキルアンモニウム塩、パーフルオロアルキル基と親水基を含むオリゴマー、パーフルオロアルキル基と親油基を含むオリゴマー、パーフルオロアルキル基と親水基と新油基を含むオリゴマー、パーフルオロアルキルと親水基を含むウレタン、パーフルオロアルキルエステル、パーフルオロアルキル燐酸エステルなどのフッ素含有有機化合物を挙げることができる。これらのフッ素含有化合物の市販品としては、DIC社製「メガファックF116」、「メガファックF120」、「メガファックF142D」、「メガファックF144D」、「メガファックF150」、「メガファックF160」、「メガファックF171」、「メガファックF172」、「メガファックF173」、「メガファックF177」、「メガファックF178A」、「メガファックF178K」、「メガファックF179」、「メガファックF183」、「メガファックF184」、「メガファックF191」、「メガファックF812」、「メガファックF815」、「メガファックF824」、「メガファックF833」、「メガファックRS101」、「メガファックRS102」「メガファックRS105」、「メガファックRS201」、「メガファックRS202」、「メガファックRS301」、「メガファックRS303」「メガファックRS304」、「メガファックRS401」、「メガファックRS402」、「メガファックRS501」、「メガファックRS502」、「メガファックRS-72-K」、「DEFENSA MCF300」、「DEFENSA MCF310」、「DEFENSA MCF312」、「DEFENSA MCF323」、スリーエムジャパン社製「フロラードFC430」、「フロラードFC431」、「FC-4430」、「FC-4432」、旭硝子社製「アサヒガードAG710」、「サーフロンS-382」、「サーフロンSC-101」、「サーフロンSC-102」、「サーフロンSC-103」、「サーフロンSC-104」、「サーフロンSC-105」、「サーフロンSC-106」、ダイキン工業社製「オプツールDAC―HP」などの商品名で市販されている含フッ素有機化合物を使用することができる。 Specific examples of the cross-linking group-containing liquid repellent, particularly the ethylenically unsaturated group-containing fluorine-based compound, include, for example, perfluoroalkylsulfonic acid, perfluoroalkylcarboxylic acid, perfluoroalkylalkylene oxide adduct, and perfluoroalkyltrialkylammonium salt. , Oligomers containing perfluoroalkyl groups and hydrophilic groups, oligomers containing perfluoroalkyl groups and parent oil groups, oligomers containing perfluoroalkyl groups and hydrophilic groups and new oil groups, urethanes containing perfluoroalkyl and hydrophilic groups, per Examples thereof include fluorine-containing organic compounds such as fluoroalkyl esters and perfluoroalkyl phosphate esters. Commercially available products of these fluorine-containing compounds include "Megafuck F116", "Megafuck F120", "Megafuck F142D", "Megafuck F144D", "Megafuck F150", and "Megafuck F160" manufactured by DIC. "Mega Fuck F171", "Mega Fuck F172", "Mega Fuck F173", "Mega Fuck F177", "Mega Fuck F178A", "Mega Fuck F178K", "Mega Fuck F179", "Mega Fuck F183", "Mega" "Fuck F184", "Mega Fuck F191", "Mega Fuck F812", "Mega Fuck F815", "Mega Fuck F824", "Mega Fuck F833", "Mega Fuck RS101", "Mega Fuck RS102", "Mega Fuck RS105" , "Mega Fuck RS201", "Mega Fuck RS202", "Mega Fuck RS301", "Mega Fuck RS303", "Mega Fuck RS304", "Mega Fuck RS401", "Mega Fuck RS402", "Mega Fuck RS501", "Mega" "Fuck RS502", "Mega Fuck RS-72-K", "DEFENSA MCF300", "DEFENSA MCF310", "DEFENSA MCF312", "DEFENSA MCF323", "Fluorard FC430", "Fluorard FC431", "FC" -4430, FC-4432, Asahi Guard AG710, Surflon S-382, Surflon SC-101, Surflon SC-102, Surflon SC-103, Surflon SC Fluorine-containing organic compounds commercially available under trade names such as "-104", "Surflon SC-105", "Surflon SC-106", and "Optur DAC-HP" manufactured by Daikin Industries, Ltd. can be used.

このように、撥液剤としてフッ素系化合物を用いる場合において、撥液剤中のフッ素原子含有量は特に制限されないが、好ましくはフッ素原子含有量が1質量%以上が好ましく、5質量%以上がより好ましく、また、50質量%以下が好ましく、25質量%以下がより好ましい。前記下限値以上とすることで画素部への流出を抑制できる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで高い接触角を示す傾向がある。 As described above, when the fluorine-based compound is used as the liquid repellent, the fluorine atom content in the liquid repellent is not particularly limited, but the fluorine atom content is preferably 1% by mass or more, more preferably 5% by mass or more. Further, 50% by mass or less is preferable, and 25% by mass or less is more preferable. When it is set to the lower limit value or more, the outflow to the pixel portion tends to be suppressed, and when it is set to the upper limit value or less, a high contact angle tends to be exhibited.

撥液剤の分子量は特に制限されず、低分子量の化合物でも、高分子量体であってもよい。高分子量体の撥液剤の方が、ポストベークによる撥液剤の流動性が抑えられるため、バンクから撥液剤の流出を抑えることができるため好ましく、係る観点から撥液剤の数平均分子量は、100以上が好ましく、500以上がより好ましく、100000以下が好ましく、10000以下がより好ましい。 The molecular weight of the liquid repellent is not particularly limited, and it may be a low molecular weight compound or a high molecular weight compound. A high molecular weight liquid repellent is preferable because the fluidity of the liquid repellent due to post-baking can be suppressed and the outflow of the liquid repellent can be suppressed from the bank. From this viewpoint, the number average molecular weight of the liquid repellent is 100 or more. Is preferable, 500 or more is more preferable, 100,000 or less is preferable, and 10,000 or less is more preferable.

本発明の感光性樹脂組成物中の(D)撥液剤の含有割合は、全固形分に対して通常0.01質量%以上、好ましくは0.05質量%以上、より好ましくは0.1質量%以上、通常1質量%以下、好ましくは0.5質量%以下、より好ましくは0.3質量%以下である。前記下限値以上とすることで高い撥液性を示す傾向があり、また、前記上限値以下とすることで画素部への流出を抑制できる傾向がある。 The content ratio of the liquid repellent (D) in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 0.01% by mass or more, preferably 0.05% by mass or more, and more preferably 0.1% by mass with respect to the total solid content. % Or more, usually 1% by mass or less, preferably 0.5% by mass or less, and more preferably 0.3% by mass or less. When it is set to the lower limit value or more, it tends to show high liquid repellency, and when it is set to the upper limit value or less, it tends to suppress outflow to the pixel portion.

一方で、本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、(D)撥液剤と共に界面活性剤を用いてもよく、また、(D)撥液剤に代えて界面活性剤を用いてもよい。界面活性剤は、隔壁形成用感光性樹脂組成物の塗布液としての塗布性、および塗布膜の現像性の向上などを目的として用いることができ、中でもフッ素系又はシリコーン系の界面活性剤が好ましい。
特に、現像の際、未露光部から感光性樹脂組成物の残渣を除去する作用があり、また、濡れ性を発現する機能を有することから、シリコーン系界面活性剤が好ましく、ポリエーテル変性シリコーン系界面活性剤がさらに好ましい。
On the other hand, in the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention, a surfactant may be used together with the (D) liquid repellent agent, or a surfactant may be used instead of the (D) liquid repellent agent. The surfactant can be used for the purpose of improving the coatability of the photosensitive resin composition for forming a partition wall as a coating liquid and the developability of the coating film, and among them, a fluorine-based or silicone-based surfactant is preferable. ..
In particular, a silicone-based surfactant is preferable because it has an action of removing the residue of the photosensitive resin composition from the unexposed portion and a function of developing wettability during development, and a polyether-modified silicone-based material is preferable. Surfactants are more preferred.

フッ素系界面活性剤としては、末端、主鎖および側鎖の少なくとも何れかの部位にフルオロアルキルまたはフルオロアルキレン基を有する化合物が好適である。具体的には、1,1,2,2-テトラフルオロオクチル(1,1,2,2-テトラフルオロプロピル)エーテル、1,1,2,2-テトラフルオロオクチルヘキシルエーテル、オクタエチレングリコールジ(1,1,2,2-テトラフルオロブチル)エーテル、ヘキサエチレングリコールジ(1,1,2,2,3,3-ヘキサフルオロペンチル)エーテル、オクタプロピレングリコールジ(1,1,2,2-テトラフルオロブチル)エーテル、ヘキサプロピレングリコールジ(1,1,2,2,3,3-ヘキサフルオロペンチル)エーテル、パーフルオロドデシルスルホン酸ナトリウム、1,1,2,2,8,8,9,9,10,10-デカフルオロドデカン、1,1,2,2,3,3-ヘキサフルオロデカンなどを挙げることができる。これらの市販品としては、例えば、BM Chemie社製「BM-1000」、「BM-1100」、DIC社製「メガファックF142D」、「メガファックF172」、「メガファックF173」、「メガファックF183」、「メガファックF470」、「メガファックF475」、スリーエムジャパン社製「FC430」、ネオス社製「DFX-18」などを挙げることができる。 As the fluorine-based surfactant, a compound having a fluoroalkyl or fluoroalkylene group at at least one of the terminal, main chain and side chain is suitable. Specifically, 1,1,2,2-tetrafluorooctyl (1,1,2,2-tetrafluoropropyl) ether, 1,1,2,2-tetrafluorooctylhexyl ether, octaethylene glycol di (1,1,2,2-tetrafluoropropyl) ether, octaethylene glycol di (1,1,2,2-tetrafluorooctylhexyl ether). 1,1,2,2-tetrafluorobutyl) ether, hexaethylene glycol di (1,1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether, octapropylene glycol di (1,1,2,2- Tetrafluorobutyl) ether, hexapropylene glycol di (1,1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether, sodium perfluorododecylsulfonate, 1,1,2,2,8,8,9, 9,10,10-decafluorododecane, 1,1,2,2,3,3-hexafluorodecane and the like can be mentioned. Examples of these commercially available products include "BM-1000" and "BM-1100" manufactured by BM Chemie, "Megafuck F142D", "Megafuck F172", "Megafuck F173" and "Megafuck F183" manufactured by DIC. , "Mega Fuck F470", "Mega Fuck F475", "FC430" manufactured by 3M Japan Ltd., "DFX-18" manufactured by Neos, and the like.

また、シリコーン系界面活性剤としては、例えば、東レ・ダウコーニング社製「DC3PA」、「SH7PA」、「DC11PA」、「SH21PA」、「SH28PA」、「SH29PA」、「8032Additive」、「SH8400」、ビックケミー社製「BYK323」、「BYK330」などの市販品を挙げることができる。
界面活性剤として、フッ素系界面活性剤及びシリコーン系界面活性剤以外のものを含んでいてもよく、その他、界面活性剤としては、ノニオン性、アニオン性、カチオン性、両性界面活性剤などが挙げられる。
Examples of the silicone-based surfactant include "DC3PA", "SH7PA", "DC11PA", "SH21PA", "SH28PA", "SH29PA", "8032Adaptive", and "SH8400" manufactured by Toray Dow Corning. Commercially available products such as "BYK323" and "BYK330" manufactured by Big Chemie can be mentioned.
The surfactant may contain other than a fluorine-based surfactant and a silicone-based surfactant, and other surfactants include nonionic, anionic, cationic, and amphoteric surfactants. Be done.

上記ノニオン性界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルエステル類、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル類、グリセリン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレングリセリン脂肪酸エステル類、ペンタエリスリット脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンペンタエリスリット脂肪酸エステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル類、ソルビット脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンソルビット脂肪酸エステル類などが挙げられる。これらの市販品としては、例えば、花王社製の「エマルゲン104P」、「エマルゲンA60」などのポリオキシエチレン系界面活性剤などが挙げられる。 Examples of the nonionic surfactant include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene polyoxypropylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl phenyl ethers, polyoxyethylene alkyl esters, and polyoxyethylene fatty acid esters. Glycerin fatty acid esters, polyoxyethylene glycerin fatty acid esters, pentaerythrit fatty acid esters, polyoxyethylene pentaerythrit fatty acid esters, sorbitan fatty acid esters, polyoxyethylene sorbitan fatty acid esters, sorbit fatty acid esters, polyoxy Examples thereof include polyethylene sorbit fatty acid esters. Examples of these commercially available products include polyoxyethylene-based surfactants such as "Emargen 104P" and "Emargen A60" manufactured by Kao Corporation.

また、上記アニオン性界面活性剤としては、例えば、アルキルスルホン酸塩類、アルキルベンゼンスルホン酸塩類、アルキルナフタレンスルホン酸塩類、ポリオキシエチレンアルキルエーテルスルホン酸塩類、アルキル硫酸塩類、アルキル硫酸エステル塩類、高級アルコール硫酸エステル塩類、脂肪族アルコール硫酸エステル塩類、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル硫酸塩類、アルキル燐酸エステル塩類、ポリオキシエチレンアルキルエーテル燐酸塩類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル燐酸塩類、特殊高分子系界面活性剤などが挙げられる。中でも、特殊高分子系界面活性剤が好ましく、特殊ポリカルボン酸型高分子系界面活性剤がさらに好ましい。このようなアニオン性界面活性剤としては市販品を用いることができ、例えば、アルキル硫酸エステル塩類では、花王社製「エマール10」等、アルキルナフタレンスルホン酸塩類では花王社製「ペレックスNB-L」など、特殊高分子系界面活性剤では花王社製「ホモゲノールL-18」、「ホモゲノールL-100」などが挙げられる。 Examples of the anionic surfactant include alkyl sulfonates, alkylbenzene sulfonates, alkylnaphthalene sulfonates, polyoxyethylene alkyl ether sulfonates, alkyl sulfates, alkyl sulfate esters, and higher alcohol sulfates. Ester salts, aliphatic alcohol sulfate esters, polyoxyethylene alkyl ether sulfates, polyoxyethylene alkylphenyl ether sulfates, alkyl phosphate ester salts, polyoxyethylene alkyl ether phosphates, polyoxyethylene alkyl phenyl ether phosphates, special Examples include high molecular weight surfactants. Of these, special polymer-based surfactants are preferable, and special polycarboxylic acid-type polymer-based surfactants are even more preferable. Commercially available products can be used as such anionic surfactants. For example, Kao's "Emar 10" is used for alkyl sulfate esters, and Kao's "Perex NB-L" is used for alkylnaphthalene sulfonates. Examples of the special polymer-based surfactant include "Homogenol L-18" and "Homogenol L-100" manufactured by Kao Corporation.

さらに、上記カチオン性界面活性剤としては、第4級アンモニウム塩類、イミダゾリン誘導体類、アルキルアミン塩類などが、また、両性界面活性剤としては、ベタイン型化合物類、イミダゾリウム塩類、イミダゾリン類、アミノ酸類などが挙げられる。これらのうち、第4級アンモニウム塩類が好ましく、ステアリルトリメチルアンモニウム塩類がさらに好ましい。市販のものとしては、例えば、アルキルアミン塩類では花王社製「アセタミン24」など、第4級アンモニウム塩類では花王社製「コータミン24P」、「コータミン86W」などが挙げられる。
また、界面活性剤は2種類以上の組み合わせで用いてもよく、例えば、シリコーン系界面活性剤/フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤/特殊高分子系界面活性剤、フッ素系界面活性剤/特殊高分子系界面活性剤の組み合わせなどが挙げられる。中でも、シリコーン系界面活性剤/フッ素系界面活性剤の組み合わせが好ましい。このシリコーン系界面活性剤/フッ素系界面活性剤の組み合わせでは、例えば、/ネオス社製「DFX-18」、ビックケミー社製「BYK-300」または「BYK-330」/AGCセイミケミカル社製「S-393」、信越シリコーン社製「KP340」/DIC社製「F-478」または「F-475」、東レ・ダウコーニング社製「SH7PA」/ダイキン社製「DS-401」、NUC社製「L-77」/スリーエムジャパン社製「FC4430」などが挙げられる。
Further, as the above-mentioned cationic surfactant, quaternary ammonium salts, imidazoline derivatives, alkylamine salts and the like are used, and as amphoteric surfactants, betaine-type compounds, imidazolium salts, imidazolines, amino acids and the like are used. And so on. Of these, quaternary ammonium salts are preferred, and stearyltrimethylammonium salts are even more preferred. Examples of commercially available products include "Acetamine 24" manufactured by Kao Corporation for alkylamine salts, and "Cotamin 24P" and "Cotamin 86W" manufactured by Kao Corporation for quaternary ammonium salts.
Further, the surfactant may be used in a combination of two or more kinds, for example, a silicone-based surfactant / fluorine-based surfactant, a silicone-based surfactant / special polymer-based surfactant, and a fluorine-based surfactant. / Examples include a combination of special polymer-based surfactants. Above all, a combination of a silicone-based surfactant / a fluorine-based surfactant is preferable. In this combination of silicone-based surfactant / fluorine-based surfactant, for example, / Neos's "DFX-18", Big Chemie's "BYK-300" or "BYK-330" / AGC Seimi Chemical's "S" -393 ", Shinetsu Silicone" KP340 "/ DIC" F-478 "or" F-475 ", Toray Dow Corning" SH7PA "/ Daikin" DS-401 ", NUC" Examples include "L-77" / "FC4430" manufactured by 3M Japan.

[1-1-5]重合禁止剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、重合禁止剤を含有してもよい。重合禁止剤を含有することでそれがラジカル重合を阻害することから、得られる隔壁のテーパー角を大きくすることができると考えられる。
重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、メチルヒドロキノン、メトキシフェノール、2,6-ジ-tert-ブチル-4-クレゾール(BHT)などが挙げられる。これらの中でも重合禁止能力の観点から、ハイドロキノン又はメトキシフェノールが好ましく、メチルハイドロキノンがより好ましい。
[1-1-5] Polymerization Inhibitor The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention may contain a polymerization inhibitor. It is considered that the taper angle of the obtained partition wall can be increased because the inclusion of the polymerization inhibitor inhibits the radical polymerization.
Examples of the polymerization inhibitor include hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, methylhydroquinone, methoxyphenol, 2,6-di-tert-butyl-4-cresol (BHT) and the like. Among these, hydroquinone or methoxyphenol is preferable, and methylhydroquinone is more preferable, from the viewpoint of polymerization inhibitory ability.

重合禁止剤は、1種又は2種以上を含有することが好ましい。通常、(C)アルカリ可溶性樹脂を製造する際に、当該樹脂中に重合禁止剤が含まれることがあり、それを本発明の重合禁止剤として用いてもよいし、樹脂中の重合禁止剤の他に、それと同一、又は異なる重合禁止剤を感光性樹脂組成物製造時に添加してもよい。 The polymerization inhibitor preferably contains one kind or two or more kinds. Usually, when (C) an alkali-soluble resin is produced, a polymerization inhibitor may be contained in the resin, which may be used as the polymerization inhibitor of the present invention, or the polymerization inhibitor in the resin. Alternatively, the same or different polymerization inhibitor may be added at the time of producing the photosensitive resin composition.

感光性樹脂組成物中の重合禁止剤の含有割合は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常0.0005質量%以上、好ましくは0.001質量%以上、より好ましくは0.01質量%以上であり、また通常0.3質量%以下、好ましくは0.2質量%以下、より好ましくは0.1質量%以下である。前記下限値以上とすることでテーパー角を高くすることができる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで高感度を保つことができる傾向がある。 The content ratio of the polymerization inhibitor in the photosensitive resin composition is usually 0.0005% by mass or more, preferably 0.001% by mass or more, more preferably 0.% by mass, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. It is 01% by mass or more, and usually 0.3% by mass or less, preferably 0.2% by mass or less, and more preferably 0.1% by mass or less. When it is set to the lower limit value or more, the taper angle tends to be increased, and when it is set to the upper limit value or less, high sensitivity tends to be maintained.

[1-1-6]紫外線吸収剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、紫外線吸収剤を含有してもよい。紫外線吸収剤は、露光に用いられる光源の特定の波長を紫外線吸収剤によって吸収させることにより、光硬化分布を制御する目的で添加されるものである。紫外線吸収剤の添加により、現像後のテーパー角形状を改善したり、現像後に非露光部に残る残渣をなくしたりするなどの効果が得られる。紫外線吸収剤としては、開始剤の光吸収の阻害の観点から、例えば、波長250nmから400nmの間に吸収極大を有する化合物を用いることができる。
紫外線吸収剤の例としては、ベンゾトリアゾール系化合物、トリアジン系化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾエート化合物、桂皮酸誘導体、ナフタレン誘導体、アントラセン及びその誘導体、ジナフタレン化合物、フェナントロリン化合物、染料等が挙げられる。
これらの紫外線吸収剤は、単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。
[1-1-6] Ultraviolet absorber The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention may contain an ultraviolet absorber. The ultraviolet absorber is added for the purpose of controlling the photocuring distribution by absorbing a specific wavelength of the light source used for exposure with the ultraviolet absorber. By adding the ultraviolet absorber, effects such as improving the taper angle shape after development and eliminating the residue remaining in the unexposed portion after development can be obtained. As the ultraviolet absorber, for example, a compound having an absorption maximum between the wavelengths of 250 nm and 400 nm can be used from the viewpoint of inhibiting the light absorption of the initiator.
Examples of the ultraviolet absorber include benzotriazole compounds, triazine compounds, benzophenone compounds, benzoate compounds, cinnamic acid derivatives, naphthalene derivatives, anthracene and its derivatives, dinaphthalene compounds, phenanthroline compounds, dyes and the like.
These UV absorbers can be used alone or in combination of two or more.

これらの中でも、テーパー角を高める観点から、ベンゾトリアゾール系化合物及び/又はヒドロキシフェニルトリアジン系化合物が好ましく、ベンゾトリアゾール系化合物が特に好ましい。 Among these, benzotriazole-based compounds and / or hydroxyphenyltriazine-based compounds are preferable, and benzotriazole-based compounds are particularly preferable, from the viewpoint of increasing the taper angle.

ベンゾトリアゾール系化合物の中でも、テーパー形状の点から、下記の一般式(Z1)で記載されるベンゾトリアゾール化合物が好ましい。 Among the benzotriazole compounds, the benzotriazole compound represented by the following general formula (Z1) is preferable from the viewpoint of the tapered shape.

Figure 0007040089000043
Figure 0007040089000043

上記式(Z1)中、R1e及びR2eは各々独立に、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、下記一般式(Z2)で表される基、又は下記一般式(Z3)で表される基を表す。R3eは、水素原子又はハロゲン原子を表す。 In the above formula (Z1), R 1e and R 2e are independently hydrogen atoms, an alkyl group which may have a substituent, a group represented by the following general formula (Z2), or the following general formula (Z3). ) Represents a group. R 3e represents a hydrogen atom or a halogen atom.

Figure 0007040089000044
Figure 0007040089000044

上記式(Z2)中、R4eは置換基を有していてもよいアルキレン基を表し、R5eは置換基を有していてもよいアルキル基を表す。 In the above formula (Z2), R 4e represents an alkylene group which may have a substituent, and R 5e represents an alkyl group which may have a substituent.

Figure 0007040089000045
Figure 0007040089000045

上記式(Z3)中、R6eは置換基を有していてもよいアルキレン基を表し、R7eは水素原子またはメチル基を表す。 In the above formula (Z3), R 6e represents an alkylene group which may have a substituent, and R 7e represents a hydrogen atom or a methyl group.

(R1e及びR2e
前記式(Z1)において、R1e及びR2eは各々独立に、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、一般式(Z2)で表される基、又は一般式(Z3)で表される基を表す。
アルキル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が挙げられる。その炭素数は、1以上であることが好ましく、2以上であることがより好ましく、4以上であることがさらに好ましく、また、10以下であることが好ましく、6以下であることがより好ましく、4以下であることがさらに好ましい。
(R 1e and R 2e )
In the above formula (Z1), R 1e and R 2e are independently represented by a hydrogen atom, an alkyl group which may have a substituent, a group represented by the general formula (Z2), or a general formula (Z3). Represents the group represented.
Examples of the alkyl group include linear, branched or cyclic alkyl groups. The carbon number is preferably 1 or more, more preferably 2 or more, further preferably 4 or more, preferably 10 or less, and even more preferably 6 or less. It is more preferably 4 or less.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert-ブチル基等が挙げられる。これらの中でもtert-ブチル基が好ましい。
また、アルキル基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられる。
Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, a tert-butyl group and the like. Of these, the tert-butyl group is preferred.
The substituents that the alkyl group may have include a methoxy group, an ethoxy group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, a hydroxy group, an amino group, an epoxy group, an oligoethylene glycol group, a phenyl group and a carboxyl group. , Acryloyl group, methacryloyl group and the like.

(R3e
前記式(Z1)において、R3eは、水素原子又はハロゲン原子を表す。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子などが挙げられる。
これらの中でも合成の観点から、R3eが水素原子であることが好ましい。
(R 3e )
In the above formula (Z1), R 3e represents a hydrogen atom or a halogen atom.
Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom.
Among these, from the viewpoint of synthesis, it is preferable that R 3e is a hydrogen atom.

(R4e
前記式(Z2)において、R4eは置換基を有していてもよいアルキレン基を表す。
アルキレン基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキレン基が挙げられる。その炭素数は通常1以上であり、2以上が好ましく、また6以下が好ましく、4以下がより好ましく、3以下がさらに好ましい。
(R 4e )
In the formula (Z2), R 4e represents an alkylene group which may have a substituent.
Examples of the alkylene group include a linear, branched or cyclic alkylene group. The carbon number is usually 1 or more, preferably 2 or more, preferably 6 or less, more preferably 4 or less, still more preferably 3 or less.

アルキレン基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、プロピレン基、ブチレン基等が挙げられる。これらの中でもエチレン基が好ましい。
また、アルキレン基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられる。
Specific examples of the alkylene group include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a propylene group, a butylene group and the like. Of these, an ethylene group is preferable.
The substituents that the alkylene group may have include a methoxy group, an ethoxy group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, a hydroxy group, an amino group, an epoxy group, an oligoethylene glycol group, a phenyl group and a carboxyl group. , Acryloyl group, methacryloyl group and the like.

これらの中でも、R4eがエチレン基であることが好ましい。 Among these, it is preferable that R 4e is an ethylene group.

(R5e
前記式(Z2)において、置換基を有していてもよいアルキル基を表す。
アルキル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が挙げられる。その炭素数は、4以上であることが好ましく、5以上であることがより好ましく、7以上であることがさらに好ましく、また、15以下であることが好ましく、10以下であることがより好ましく、9以下であることがさらに好ましい。
(R 5e )
In the above formula (Z2), it represents an alkyl group which may have a substituent.
Examples of the alkyl group include linear, branched or cyclic alkyl groups. The carbon number is preferably 4 or more, more preferably 5 or more, further preferably 7 or more, preferably 15 or less, and even more preferably 10 or less. It is more preferably 9 or less.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプシル基、オクチル基、ノニル基等が挙げられる。
また、アルキル基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられる。
これらの中でもテーパー形状の観点から、R5eがヘプチル基、オクチル基、ノニル基であることが好ましい。
Specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a pentyl group, a hexyl group, a hepsy group, an octyl group, a nonyl group and the like.
The substituents that the alkyl group may have include a methoxy group, an ethoxy group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, a hydroxy group, an amino group, an epoxy group, an oligoethylene glycol group, a phenyl group and a carboxyl group. , Acryloyl group, methacryloyl group and the like.
Among these, from the viewpoint of the tapered shape, it is preferable that R 5e is a heptyl group, an octyl group, or a nonyl group.

(R6e
前記式(Z3)において、R6eは置換基を有していてもよいアルキレン基を表す。
アルキレン基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキレン基が挙げられる。その炭素数は通常1以上であり、2以上が好ましく、また6以下が好ましく、4以下がより好ましく、3以下がさらに好ましい。
(R 6e )
In the formula (Z3), R 6e represents an alkylene group which may have a substituent.
Examples of the alkylene group include a linear, branched or cyclic alkylene group. The carbon number is usually 1 or more, preferably 2 or more, preferably 6 or less, more preferably 4 or less, still more preferably 3 or less.

アルキレン基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、プロピレン基、ブチレン基等が挙げられる。これらの中でもエチレン基が好ましい。
また、アルキレン基が有していてもよい置換基としては、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられる。
Specific examples of the alkylene group include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a propylene group, a butylene group and the like. Of these, an ethylene group is preferable.
The substituents that the alkylene group may have include a methoxy group, an ethoxy group, a chloro group, a bromo group, a fluoro group, a hydroxy group, an amino group, an epoxy group, an oligoethylene glycol group, a phenyl group and a carboxyl group. , Acryloyl group, methacryloyl group and the like.

これらの中でもテーパー形状の観点から、R1eがtert-ブチル基、R2eが前記式(Z2)で表される基(ただしR4eがエチレン基、R5eが炭素数7~9のアルキル基)、R3eが水素原子である化合物、又はR1eが水素原子、R2eが前記式(Z3)で表される基(ただしR6eがエチレン基、R7eがメチル基)、R3eが水素原子である化合物が好ましく、R1eがtert-ブチル基、R2eが前記式(Z2)で表される基(ただしR4eがエチレン基、R5eが炭素数7~9のアルキル基)、R3eが水素原子である化合物がより好ましい。 Among these, from the viewpoint of the tapered shape, R 1e is a tert-butyl group, R 2e is a group represented by the above formula (Z 2) (however, R 4e is an ethylene group and R 5e is an alkyl group having 7 to 9 carbon atoms). , R 3e is a hydrogen atom, or R 1e is a hydrogen atom, R 2e is a group represented by the above formula (Z3) (where R 6e is an ethylene group and R 7e is a methyl group), and R 3e is a hydrogen atom. R 1e is a tert-butyl group, R 2e is a group represented by the above formula (Z2) (where R 4e is an ethylene group and R 5e is an alkyl group having 7 to 9 carbon atoms), R 3e . A compound in which is a hydrogen atom is more preferable.

ベンゾトリアゾール系化合物の具体例としては、2-(5-メチル-2-ヒドロキシフェニル)ベンゾトリアゾール、2-(2-ヒドロキシ-5-tert-ブチルフェニル)-2H-ベンゾトリアゾール、オクチル-3[3-tert-ブチル-4-ヒドロキシ-5-(5-クロロ-2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)フェニル]プロピオネートと2-エチルヘキシル-3-[3-tert-ブチル-4-ヒドロキシ-5-(5-クロロ-2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)フェニル]プロピオネートの混合物、2-[2-ヒドロキシ-3,5-ビス(α,α-ジメチルベンジル)フェニル]-2H-ベンゾトリアゾール、2-(3-tert-ブチル-5-メチル-2-ヒドロキシフェニル)-5-クロロベンゾトリアゾール、2-(3,5-ジ-tert-アミル-2-ヒドロキシフェニル)ベンゾトリアゾール、2-(2’-ヒドロキシ-5’-tert-オクチルフェニル)ベンゾトリアゾール、ベンゼンプロパン酸、3-(2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)-5-(1,1-ジメチルエチル)-4-ヒドロキシ、C7-9側鎖及び直鎖アルキルエステルの化合物、2-(2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)-4,6-ビス(1-メチル-1-フェニルエチル)フェノール、2-(2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)-6-(1-メチル-1-フェニルエチル)-4-(1,1,3,3-テトラメチルブチル)フェノール、が挙げられる。これらの中でも、テーパー角と露光感度の観点から、3-(2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)-5-(1,1-ジメチルエチル)-4-ヒドロキシ、C7-9側鎖及び直鎖アルキルエステルの化合物が好ましい。 Specific examples of the benzotriazole-based compound include 2- (5-methyl-2-hydroxyphenyl) benzotriazole, 2- (2-hydroxy-5-tert-butylphenyl) -2H-benzotriazole, and octyl-3 [3]. -Tert-Butyl-4-hydroxy-5- (5-chloro-2H-benzotriazole-2-yl) phenyl] propionate and 2-ethylhexyl-3- [3-tert-butyl-4-hydroxy-5- (5) -Chloro-2H-benzotriazole-2-yl) phenyl] propionate mixture, 2- [2-hydroxy-3,5-bis (α, α-dimethylbenzyl) phenyl] -2H-benzotriazole, 2- (3) -Tert-Butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole, 2- (3,5-di-tert-amyl-2-hydroxyphenyl) benzotriazole, 2- (2'-hydroxy- 5'-tert-octylphenyl) benzotriazole, benzenepropanoic acid, 3- (2H-benzotriazole-2-yl) -5- (1,1-dimethylethyl) -4-hydroxy, C7-9 side chain and direct Compound of chain alkyl ester, 2- (2H-benzotriazole-2-yl) -4,6-bis (1-methyl-1-phenylethyl) phenol, 2- (2H-benzotriazole-2-yl) -6 -(1-Methyl-1-phenylethyl) -4- (1,1,3,3-tetramethylbutyl) phenol. Among these, from the viewpoint of taper angle and exposure sensitivity, 3- (2H-benzotriazole-2-yl) -5- (1,1-dimethylethyl) -4-hydroxy, C7-9 side chain and linear alkyl Ester compounds are preferred.

市販されているベンゾトリアゾール系化合物としては例えば、スミソーブ200、スミソーブ250、スミソーブ300、スミソーブ340、スミソーブ350(住友化学製)、JF77、JF78、JF79、JF80、JF83(城北化学工業製)、TINUVIN PS、TINUVIN99-2、TINUVIN109、TINUVIN384-2、TINUVIN326、TINUVIN900、TINUVIN928、TINUVIN1130(BASF製)、EVERSORB70、EVERSORB71、EVERSORB72、EVERSORB73、EVERSORB74、EVERSORB75、EVERSORB76、EVERSORB234、EVERSORB77、EVERSORB78、EVERSORB80、EVERSORB81(台湾永光化学工業製)、トミソーブ100、トミソーブ600(エーピーアイコーポレーション製)、SEESORB701、SEESORB702、SEESORB703、SEESORB704、SEESORB706、SEESORB707、SEESORB709(シプロ化成製)、RUVA-93(大塚化学株式会社)などが挙げられる。 Examples of commercially available benzotriazole compounds include Sumisorb 200, Sumisorb 250, Sumisorb 300, Sumisorb 340, Sumisorb 350 (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), JF77, JF78, JF79, JF80, JF83 (manufactured by Johoku Chemical Industry Co., Ltd.), and TINUVIN PS. , TINUVIN99-2, TINUVIN109, TINUVIN384-2, TINUVIN326, TINUVIN900, TINUVIN928, TINUVIN1130 (manufactured by BASF), EVERSORB70, EVERSORB71, EVERSORB72, EVERSORB73, EVERSORB74, EVERSORB75, EVERSORB76, EVERSORB234, EVERSORB77, EVERSORB78, EVERSORB80, EVERSORB81 (Taiwan Yongguang chemical (Industrial), Tomisorb 100, Tomisorb 600 (manufactured by AP Corporation), SEESORB701, SEESORB702, SEESORB703, SEESORB704, SEESORB706, SEESORB707, SEESORB709 (Cipro Chemical Co., Ltd.), RUVA-93 (Otsuka Chemical Co., Ltd.) and the like.

トリアジン系化合物としては、2-[4,6-ジ(2,4-キシリル)-1,3,5-トリアジン-2-イル]-5-オクチルオキシフェノール、2‐[4,6‐ビス(2,4‐ジメチルフェニル)‐1,3,5‐トリアジン‐2‐イル]‐5‐[3‐(ドデシルオキシ)‐2‐ヒドロキシプロポキシ]フェノール、2-(2,4-ジヒドロキシフェニル)-4,6-ビス(2,4-ジメチルフェニル)-1,3,5-トリアジンと(2-エチルヘキシル-グリシド酸エステルの反応生成物、2,4-ビス「2-ヒドロキシ-4-ブトキシフェニル」-6-(2,4-ジブトキシフェニル)-1,3-5-トリアジン等が挙げられる。これらの中でも、テーパー角と露光感度の観点から、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物が好ましい。
市販されているトリアジン系化合物としては例えば、TINUVIN400、TINUVIN405、TINUVIN460、TINUVIN477、TINUVIN479(BASF製)などを挙げることができる。
Examples of triazine compounds include 2- [4,6-di (2,4-kisilyl) -1,3,5-triazine-2-yl] -5-octyloxyphenol, 2- [4,6-bis (4,6-bis). 2,4-dimethylphenyl) -1,3,5-triazine-2-yl] -5- [3- (dodecyloxy) -2-hydroxypropoxy] phenol, 2- (2,4-dihydroxyphenyl) -4 , 6-Bis (2,4-dimethylphenyl) -1,3,5-triazine and (2-ethylhexyl-glycidate ester reaction product, 2,4-bis "2-hydroxy-4-butoxyphenyl"- Examples thereof include 6- (2,4-dibutoxyphenyl) -1,3-5-triazine. Among these, a hydroxyphenyltriazine compound is preferable from the viewpoint of taper angle and exposure sensitivity.
Examples of commercially available triazine compounds include TINUVIN400, TINUVIN405, TINUVIN460, TINUVIN477, and TINUVIN479 (manufactured by BASF).

その他の紫外線吸収剤としては、例えば、スミソーブ130(住友化学製)、EVERSORB10、EVERSORB11、EVERSORB12(台湾永光化学工業製)、トミソーブ800(エーピーアイコーポレーション製)、SEESORB100、SEESORB101、SEESORB101S、SEESORB102、SEESORB103、SEESORB105、SEESORB106、SEESORB107、SEESORB151(シプロ化成製)などのベンゾフェノン化合物;スミソーブ400(住友化学製)、サリチル酸フェニルなどのベンゾエート化合物;桂皮酸2-エチルヘキシル、パラメトキシ桂皮酸2-エチルヘキシル、メトキシケイ皮酸イソプロピル、メトキシケイ皮酸イソアミル等の桂皮酸誘導体;α-ナフトール、β-ナフトール、α-ナフトールメチルエーテル、α-ナフトールエチルエーテル、1,2-ジヒドロキシナフタレン、1,3-ジヒドロキシナフタレン、1,4-ジヒドロキシナフタレン、1,5-ジヒドロキシナフタレン、1,6-ジヒドロキシナフタレン、1,7-ジヒドロキシナフタレン、1,8-ジヒドロキシナフタレン、2,3-ジヒドロキシナフタレン、2,6-ジヒドロキシナフタレン、2,7-ジヒドロキシナフタレン等のナフタレン誘導体;アントラセン、9,10-ジヒドロキシアントラセン等のアントラセン及びその誘導体;アゾ系染料、ベンゾフェノン系染料、アミノケトン系染料、キノリン系染料、アントラキノン系染料、ジフェニルシアノアクリレート系染料、トリアジン系染料、p-アミノ安息香酸系染料等の染料;等が挙げられる。これらの中でも、露光感度の観点から、桂皮酸誘導体、ナフタレン誘導体を用いることが好ましく、桂皮酸誘導体を用いることが特に好ましい。 Examples of other ultraviolet absorbers include Sumisorb 130 (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), EVERSORB10, EVERSORB11, EVERSORB12 (manufactured by Taiwan Eiko Chemical Industry Co., Ltd.), Tomisorb 800 (manufactured by API Corporation), SEESORB100, SEESORB101, SEESORB101S, SEESORB102, SEESOR. Benzophenone compounds such as SEESORB105, SEESORB106, SEESORB107, SEESORB151 (Cipro Chemical); benzoate compounds such as Sumisorb 400 (Sumitomo Chemical Co., Ltd.), phenyl salicylate; , Cycillic acid derivatives such as isoamyl methoxycinnamate; α-naphthal, β-naphthal, α-naphthalmethyl ether, α-naphthal ethyl ether, 1,2-dihydroxynaphthalene, 1,3-dihydroxynaphthalene, 1,4- Dihydroxynaphthalene, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 1,7-dihydroxynaphthalene, 1,8-dihydroxynaphthalene, 2,3-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, 2,7-dihydroxyl Naphthalene derivatives such as naphthalene; anthracene such as anthracene and 9,10-dihydroxyanthracene and its derivatives; azo dyes, benzophenone dyes, aminoketone dyes, quinoline dyes, anthracinone dyes, diphenylcyanoacrylate dyes, triazine dyes , P-Aminobenzoic acid dyes and the like; and the like. Among these, from the viewpoint of exposure sensitivity, it is preferable to use a cinnamic acid derivative and a naphthalene derivative, and it is particularly preferable to use a cinnamic acid derivative.

本発明の感光性樹脂組成物中の紫外線吸収剤の含有割合は、全固形分に対して、通常0.01質量%以上、好ましくは0.05質量%以上、より好ましくは0.1質量%以上、さらに好ましくは0.5質量%以上、特に好ましくは1質量%以上であり、また、通常15質量%以下、好ましくは10質量%以下、より好ましくは5質量%以下、さらに好ましくは3質量%以下である。前記下限値以上とすることでテーパー角が大きくなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで高感度となる傾向がある。 The content ratio of the ultraviolet absorber in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 0.01% by mass or more, preferably 0.05% by mass or more, more preferably 0.1% by mass, based on the total solid content. The above is more preferably 0.5% by mass or more, particularly preferably 1% by mass or more, and usually 15% by mass or less, preferably 10% by mass or less, more preferably 5% by mass or less, still more preferably 3% by mass. % Or less. When it is at least the lower limit value, the taper angle tends to be large, and when it is at least the upper limit value, the sensitivity tends to be high.

また、(B)光重合開始剤に対する配合比としては、(B)光重合開始剤100質量部に対する紫外線吸収剤の配合量として、通常1質量部以上、好ましくは10質量部以上、より好ましくは30質量部以上、さらに好ましくは50質量部以上、特に好ましくは80質量部以上であり、通常500質量部以下、好ましくは300質量部以下、より好ましくは200質量部以下、さらに好ましくは150質量部以下である。前記下限値以上とすることでテーパー角が大きくなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで高感度となる傾向がある。 The blending ratio of (B) to the photopolymerization initiator is usually 1 part by mass or more, preferably 10 parts by mass or more, more preferably 10 parts by mass or more, as the blending amount of the ultraviolet absorber with respect to 100 parts by mass of (B) the photopolymerization initiator. 30 parts by mass or more, more preferably 50 parts by mass or more, particularly preferably 80 parts by mass or more, usually 500 parts by mass or less, preferably 300 parts by mass or less, more preferably 200 parts by mass or less, still more preferably 150 parts by mass. It is as follows. When it is at least the lower limit value, the taper angle tends to be large, and when it is at least the upper limit value, the sensitivity tends to be high.

[1-1-7]熱重合開始剤
さらに、本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物には、熱重合開始剤が含有されていてもよい。熱重合開始剤を含有することで、膜の架橋度を高くできる傾向がある。このような熱重合開始剤の具体例としては、例えば、アゾ系化合物、有機過酸化物および過酸化水素などが挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
[1-1-7] Thermal Polymerization Initiator Further, the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention may contain a thermal polymerization initiator. By containing a thermal polymerization initiator, there is a tendency that the degree of cross-linking of the film can be increased. Specific examples of such a thermal polymerization initiator include azo compounds, organic peroxides, hydrogen peroxide and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

なお、光重合開始剤に感度向上や膜の架橋密度の増大を期待して熱重合開始剤を併用する場合、これらの含有割合の合計が、前述の感光性樹脂組成物中の光重合開始剤の含有割合となるようにすることが好ましく、また、光重合開始剤と熱重合開始剤との併用割合としては、感度の観点から、光重合開始剤100質量部に対して熱重合開始剤を5~300質量部とすることが好ましい。 When a thermal polymerization initiator is used in combination with the photopolymerization initiator in anticipation of an increase in sensitivity and a crosslink density of the film, the total content of these photopolymerization initiators is the total of the above-mentioned photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition. The content ratio of the photopolymerization initiator is preferably such that the content ratio of the photopolymerization initiator is 100 parts by mass of the photopolymerization initiator from the viewpoint of sensitivity. It is preferably 5 to 300 parts by mass.

[1-1-8]アミノ化合物
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物には、熱硬化を促進するためにアミノ化合物が含まれていてもよい。この場合、感光性樹脂組成物中のアミノ化合物の含有割合としては、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常40質量%以下、好ましくは30質量%以下である。また、通常0.5質量%以上、好ましくは1質量%以上である。前記上限値以下とすることで保存安定性を維持できる傾向があり、前記下限値以上とすることで十分な熱硬化性を確保できる傾向がある。
[1-1-8] Amino Compound The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention may contain an amino compound in order to promote thermosetting. In this case, the content ratio of the amino compound in the photosensitive resin composition is usually 40% by mass or less, preferably 30% by mass or less, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. Further, it is usually 0.5% by mass or more, preferably 1% by mass or more. When it is set to the upper limit value or less, the storage stability tends to be maintained, and when it is set to the lower limit value or more, sufficient thermosetting property tends to be secured.

アミノ化合物としては、例えば、官能基としてメチロール基、それを炭素数1~8のアルコール縮合変性したアルコキシメチル基を少なくとも2個有するアミノ化合物が挙げられる。具体的には、例えば、メラミンとホルムアルデヒドとを重縮合させたメラミン樹脂;ベンゾグアナミンとホルムアルデヒドとを重縮合させたベンゾグアナミン樹脂;グリコールウリルとホルムアルデヒドとを重縮合させたグリコールウリル樹脂;尿素とホルムアルデヒドとを重縮合させた尿素樹脂;メラミン、ベンゾグアナミン、グリコールウリル、または尿素などの2種以上とホルムアルデヒドとを共重縮合させた樹脂;上述の樹脂のメチロール基をアルコール縮合変性した変性樹脂などが挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。アミノ化合物としては中でも、メラミン樹脂およびその変性樹脂が好ましく、メチロール基の変性割合が、70%以上の変性樹脂が更に好ましく、80%以上の変性樹脂が特に好ましい。 Examples of the amino compound include an amino compound having a methylol group as a functional group and at least two alkoxymethyl groups obtained by alcohol condensation modification having 1 to 8 carbon atoms thereof. Specifically, for example, a melamine resin obtained by polycondensing melamine and formaldehyde; a benzoguanamine resin obtained by polycondensing benzoguanamine and formaldehyde; a glycol uryl resin obtained by polycondensing glycoluryl and formaldehyde; urea and formaldehyde. Polycondensation urea resin; resin obtained by polycondensation of two or more kinds such as melamine, benzoguanamine, glycol uryl, or urea and formaldehyde; modified resin obtained by alcohol condensation modification of the methylol group of the above-mentioned resin and the like. These may be used alone or in combination of two or more. Among the amino compounds, a melamine resin and a modified resin thereof are preferable, a modified resin having a methylol group modification ratio of 70% or more is more preferable, and a modified resin having a modification ratio of 80% or more is particularly preferable.

上記アミノ化合物の具体例として、メラミン樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「サイメル」(登録商標)300、301、303、350、736、738、370、771、325、327、703、701、266、267、285、232、235、238、1141、272、254、202、1156、1158、および、三和ケミカル社製の「ニカラック」(登録商標)MW-390、MW-100LM、MX-750LM、MW-30M、MX-45、MX-302などが挙げられる。また、上記ベンゾグアナミン樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「サイメル」(登録商標)1123、1125、1128などが挙げられる。また、上記グリコールウリル樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「サイメル」(登録商標)1170、1171、1174、1172、および、三和ケミカル社製の「ニカラック」(登録商標)MX-270などが挙げられる。また、上記尿素樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「UFR」(登録商標)65、300、および、三和ケミカル社製の「ニカラック」(登録商標)MX-290などが挙げられる。 As specific examples of the above amino compounds, examples of the melamine resin and its modified resin include "Simel" (registered trademark) 300, 301, 303, 350, 736, 738, 370, 771, 325, 327 manufactured by Cytec. 703, 701, 266, 267, 285, 232, 235, 238, 1141, 272, 254, 202, 1156, 1158, and "Nicarac" (registered trademark) MW-390, MW-100LM manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd. , MX-750LM, MW-30M, MX-45, MX-302 and the like. Examples of the benzoguanamine resin and its modified resin include "Simel" (registered trademark) 1123, 1125, 1128 manufactured by Cytec. Examples of the glycoluril resin and its modified resin include "Simel" (registered trademark) 1170, 1171, 1174, 1172 manufactured by Cytec Co., Ltd. and "Nicarac" (registered trademark) MX manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd. -270 and the like. Examples of the urea resin and its modified resin include "UFR" (registered trademark) 65 and 300 manufactured by Cytec Co., Ltd. and "Nicarac" (registered trademark) MX-290 manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd. Be done.

[1-1-9]着色剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物には、隔壁を着色させる目的で着色剤が含まれていてもよい。着色剤としては、顔料、染料等公知の着色剤を用いることができる。また、例えば、顔料を用いる際に、その顔料が凝集したりせずに安定して感光性樹脂組成物中に存在できるように、公知の分散剤や分散助剤が併用されてもよい。特に撥液性隔壁を黒色に着色することで、鮮明な画素表示が得られる効果がある。黒色着色剤としては黒色染料や黒色顔料、カーボンブラック、チタンブラックなどの他、有機顔料を混合させて黒く着色することも低導電性を持たせる効果として有効である。着色剤の含有割合としては製版性と色特性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常60質量%以下、好ましくは40質量%以下である。
一方で、隔壁からのアウトガスを低減させる目的の場合、隔壁を透明にするのが望ましく、その場合の着色剤の含有割合は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、好ましくは10質量%以下、より好ましくは5質量%以下、特に好ましくは0質量%である。
[1-1-9] Colorant The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention may contain a colorant for the purpose of coloring the partition wall. As the colorant, known colorants such as pigments and dyes can be used. Further, for example, when a pigment is used, a known dispersant or dispersion aid may be used in combination so that the pigment can stably exist in the photosensitive resin composition without agglomeration. In particular, coloring the liquid-repellent partition wall in black has the effect of obtaining a clear pixel display. As the black colorant, in addition to black dyes, black pigments, carbon black, titanium black, etc., mixing organic pigments to color black is also effective as an effect of imparting low conductivity. The content ratio of the colorant is usually 60% by mass or less, preferably 40% by mass or less, based on the total solid content of the photosensitive resin composition from the viewpoint of plate-making property and color characteristics.
On the other hand, for the purpose of reducing the outgas from the partition wall, it is desirable to make the partition wall transparent, and the content ratio of the colorant in that case is preferably 10 mass by mass with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition. % Or less, more preferably 5% by mass or less, and particularly preferably 0% by mass.

[1-1-10]塗布性向上剤、現像改良剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物には、塗布性や現像溶解性を向上するために塗布性向上剤や現像改良剤が含まれていてもよい。塗布性向上剤あるいは現像改良剤としては、例えば公知の、カチオン性、アニオン性、ノニオン性、フッ素系、シリコーン系界面活性剤を用いることができる。また、現像改良剤として、有機カルボン酸或いはその無水物など公知のものを用いることもできる。また、その含有割合は、感度の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常20質量%以下、好ましくは10質量%以下である。
[1-1-10] Coatability improver and development improver The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention contains a coatability improver and a development improver in order to improve coatability and development solubility. It may be. As the coatability improver or the development improver, for example, known cationic, anionic, nonionic, fluorine-based, and silicone-based surfactants can be used. Further, as the development improving agent, a known substance such as an organic carboxylic acid or an anhydride thereof can also be used. Further, the content ratio is usually 20% by mass or less, preferably 10% by mass or less, based on the total solid content of the photosensitive resin composition from the viewpoint of sensitivity.

[1-1-11]シランカップリング剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物には、基板との密着性を改善するため、シランカップリング剤を添加することも好ましい。シランカップリング剤の種類としては、エポキシ系、メタクリル系、アミノ系、イミダゾール系など種々の物が使用できるが、密着性向上の観点から、特にエポキシ系、イミダゾール系のシランカップリング剤が好ましい。その含有量は、密着性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常20質量%以下、好ましくは15質量%以下である。
[1-1-11] Silane Coupling Agent It is also preferable to add a silane coupling agent to the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention in order to improve the adhesion to the substrate. Various types of silane coupling agents such as epoxy-based, methacrylic-based, amino-based, and imidazole-based agents can be used, but from the viewpoint of improving adhesion, epoxy-based and imidazole-based silane coupling agents are particularly preferable. The content thereof is usually 20% by mass or less, preferably 15% by mass or less, based on the total solid content of the photosensitive resin composition from the viewpoint of adhesion.

[1-1-12]リン酸系密着向上剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物には、基板との密着性を改善するため、リン酸系密着向上剤を添加することも好ましい。リン酸系密着向上剤としては、(メタ)アクリロイルオキシ基含有ホスフェート類が好ましく、中でも下記一般式(Va)、(Vb)、(Vc)で表されるものが好ましい。
[1-1-12] Phosphoric acid-based adhesion improver It is also preferable to add a phosphoric acid-based adhesion improver to the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention in order to improve the adhesion to the substrate. As the phosphoric acid-based adhesion improver, (meth) acryloyloxy group-containing phosphates are preferable, and among them, those represented by the following general formulas (Va), (Vb) and (Vc) are preferable.

Figure 0007040089000046
Figure 0007040089000046

上記一般式(Va)、(Vb)、(Vc)において、R8は水素原子又はメチル基を示し、r及びr’は各々独立に1~10の整数、sは1、2又は3である。 In the above general formulas (Va), (Vb) and (Vc), R 8 represents a hydrogen atom or a methyl group, r and r'are independently integers of 1 to 10, and s is 1, 2 or 3. ..

本発明の感光性樹脂組成物中のリン酸系密着向上剤の含有割合は、全固形分に対して、通常0.01質量%以上、好ましくは0.05質量%以上、より好ましくは0.1質量%以上、さらに好ましくは0.2質量%以上、特に好ましくは0.4質量%以上であり、また、通常15質量%以下、好ましくは10質量%以下、より好ましくは5質量%以下、さらに好ましくは3質量%以下、特に好ましくは1質量%以下である。前記下限値以上とすることで密着性が良好となる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで感光性組成物の保存性を維持できる傾向がある。 The content ratio of the phosphoric acid-based adhesion improver in the photosensitive resin composition of the present invention is usually 0.01% by mass or more, preferably 0.05% by mass or more, more preferably 0. 1% by mass or more, more preferably 0.2% by mass or more, particularly preferably 0.4% by mass or more, and usually 15% by mass or less, preferably 10% by mass or less, more preferably 5% by mass or less. It is more preferably 3% by mass or less, and particularly preferably 1% by mass or less. When it is at least the above lower limit value, the adhesion tends to be good, and when it is at least the above upper limit value, the storage stability of the photosensitive composition tends to be maintained.

[1-1-13]無機充填剤
また、本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、さらに、硬化物としての強度の向上と共に、アルカリ可溶性樹脂との適度な相互作用(マトリックス構造の形成)による塗布膜の優れた平坦性とテーパー角の向上等を目的として、無機充填剤を含有していてもよい。そのような無機充填剤としては、例えば、タルク、シリカ、アルミナ、硫酸バリウム、酸化マグネシウム、或いは、これらを各種シランカップリング剤により表面処理したものなどが挙げられる。
[1-1-13] Inorganic Filler Further, the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention further improves the strength as a cured product and has an appropriate interaction with an alkali-soluble resin (formation of a matrix structure). ) May contain an inorganic filler for the purpose of improving the flatness of the coating film and improving the taper angle. Examples of such an inorganic filler include talc, silica, alumina, barium sulfate, magnesium oxide, and those surface-treated with various silane coupling agents.

これら無機充填剤の平均粒子径としては、通常0.005~20μm、好ましくは0.01~10μmである。ここで本実施の形態にいう平均粒子径とは、ベックマン・コールター社製などのレーザ回折散乱粒度分布測定装置にて測定した値である。これらの無機充填剤のうち、特に、シリカゾルおよびシリカゾル変性物は、分散安定性と共にテーパー角の向上効果に優れる傾向があるため、好ましく配合される。本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物がこれらの無機充填剤を含む場合、その含有量としては、感度の観点から、全固形分に対して、通常5質量%以上、好ましくは10質量%以上であり、通常80質量%以下、好ましくは70質量%以下である。 The average particle size of these inorganic fillers is usually 0.005 to 20 μm, preferably 0.01 to 10 μm. Here, the average particle size referred to in this embodiment is a value measured by a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring device manufactured by Beckman Coulter. Among these inorganic fillers, silica sol and silica sol modified product are preferably blended because they tend to be excellent in the effect of improving the taper angle as well as the dispersion stability. When the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention contains these inorganic fillers, the content thereof is usually 5% by mass or more, preferably 10% by mass, based on the total solid content from the viewpoint of sensitivity. It is usually 80% by mass or less, preferably 70% by mass or less.

[1-1-14]溶剤
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、通常溶剤を含有し、前述の各成分を溶剤に溶解または分散させた状態で使用される(以下、溶剤を含む感光性樹脂組成物を「感光性樹脂組成物溶液」と記すことがある)。その溶剤としては、特に制限は無いが、例えば、以下に記載する有機溶剤が挙げられる。
[1-1-14] Solvent The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention usually contains a solvent and is used in a state where each of the above-mentioned components is dissolved or dispersed in the solvent (hereinafter, contains a solvent). The photosensitive resin composition may be referred to as "photosensitive resin composition solution"). The solvent is not particularly limited, and examples thereof include the organic solvents described below.

エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ-n-ブチルエーテル、プロピレングリコール-t-ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ-n-ブチルエーテル、メトキシメチルペンタノール、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、3-メチル-3-メトキシブタノール、3-メトキシ-1-ブタノール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテルのようなグリコールモノアルキルエーテル類;エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテルのようなグリコールジアルキルエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ-n-ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、3-メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノ-n-ブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3-メチル-3-メトキシブチルアセテート、3-メトキシ-1-ブチルアセテートのようなグリコールアルキルエーテルアセテート類;エチレングリコールジアセテート、1,3-ブチレングリコールジアセテート、1,6-ヘキサノールジアセテートなどのグリコールジアセテート類;シクロヘキサノールアセテートなどのアルキルアセテート類;アミルエーテル、ジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジアミルエーテル、エチルイソブチルエーテル、ジヘキシルエーテルのようなエーテル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソアミルケトン、ジイソプロピルケトン、ジイソブチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、エチルアミルケトン、メチルブチルケトン、メチルヘキシルケトン、メチルノニルケトン、メトキシメチルペンタノンのようなケトン類;メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリエチレングリコール、メトキシメチルペンタノール、グリセリン、ベンジルアルコールのような1価又は多価アルコール類;n-ペンタン、n-オクタン、ジイソブチレン、n-ヘキサン、ヘキセン、イソプレン、ジペンテン、ドデカンのような脂肪族炭化水素類;シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、メチルシクロヘキセン、ビシクロヘキシルのような脂環式炭化水素類;ベンゼン、トルエン、キシレン、クメンのような芳香族炭化水素類;アミルホルメート、エチルホルメート、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸プロピル、酢酸アミル、メチルイソブチレート、エチレングリコールアセテート、エチルプロピオネート、プロピルプロピオネート、酪酸ブチル、酪酸イソブチル、イソ酪酸メチル、エチルカプリレート、ブチルステアレート、エチルベンゾエート、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、3-メトキシプロピオン酸メチル、3-メトキシプロピオン酸エチル、3-メトキシプロピオン酸プロピル、3-メトキシプロピオン酸ブチル、γ-ブチロラクトンのような鎖状又は環状エステル類;3-メトキシプロピオン酸、3-エトキシプロピオン酸のようなアルコキシカルボン酸類;ブチルクロライド、アミルクロライドのようなハロゲン化炭化水素類;メトキシメチルペンタノンのようなエーテルケトン類;アセトニトリル、ベンゾニトリルのようなニトリル類:テトラヒドロフラン、ジメチルテトラヒドロフラン、ジメトキシテトラヒドロフランのようなテトラヒドロフラン類などである。 Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether, propylene glycol-t-butyl ether, diethylene glycol monomethyl Ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, methoxymethylpentanol, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, 3-methyl-3-methoxybutanol, 3-methoxy-1-butanol, tri Glycol monoalkyl ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, tripropylene glycol methyl ether; ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether , Glycoldialkyl ethers such as dipropylene glycol dimethyl ether; ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol mono-n-butyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol Monopropyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate, methoxybutyl acetate, 3-methoxybutyl acetate, methoxypentyl acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol mono-n-butyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate Glycolalkyl ether acetates such as triethylene glycol monomethyl ether acetate, triethylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methoxy-1-butyl acetate; ethylene glycol diacetate, 1 , 3-butylene glycol diacetate, glycol diacetates such as 1,6-hexanol diacetate; alkyl acetates such as cyclohexanol acetate; amyl ether, diethyl ether, dipropyl ether, diisopropyl ether, dibutyl ether, diamyl ether , Ethylisobutyl ethers, ethers such as dihexyl ethers; acetone, methylethylketone, methylamylketone, methylisopropylketone, methylisoamylketone, diisopropylketone, diisobutylketone, methylisobutylketone, cyclohexanone, ethylamylketone, methylbutylketone, methyl Ketones such as hexyl ketones, methylnonyl ketones, methoxymethylpentanones; methanol, ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, propylene glycol, butanediol, diethylene glycol, dipropylene glycol, triethylene glycol, methoxy Monovalent or polyvalent alcohols such as methylpentanol, glycerin, benzyl alcohol; aliphatic hydrocarbons such as n-pentane, n-octane, diisobutylene, n-hexane, hexene, isoprene, dipentene, dodecane; Alicyclic hydrocarbons such as cyclohexane, methylcyclohexane, methylcyclohexene, bicyclohexyl; aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene, cumene; amylformates, ethylformates, ethyl acetate, butyl acetate, Propyl acetate, amyl acetate, methyl isobutyrate, ethylene glycol acetate, ethyl propionate, propyl propionate, butyl butyrate, isobutyl butyrate, methyl isobutyrate, ethyl caprilate, butyl stearate, ethyl benzoate, 3-ethoxypropion Chain or cyclic esters such as methyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, propyl 3-methoxypropionate, butyl 3-methoxypropionate, γ-butyrolactone Alkoxycarboxylic acids such as 3-methoxypropionic acid, 3-ethoxypropionic acid; halogenated hydrocarbons such as butyl chloride and amilkloride; ether ketones such as methoxymethylpentanone; acetonitrile, benzonitrile. Una nitriles: Tetrahydrofurans such as tetrahydrofuran, dimethyltetrahydrofuran, dimethoxytetrahydrofuran and the like.

上記に該当する市販の溶剤としては、ミネラルスピリット、バルソル#2、アプコ#18ソルベント、アプコシンナー、ソーカルソルベントNo.1およびNo.2、ソルベッソ#150、シェルTS28 ソルベント、カルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート、ジグライム(いずれも商品名)などが挙げられる。 Examples of commercially available solvents corresponding to the above include Mineral Spirit, Barsol # 2, Apco # 18 Solvent, Apco Thinner, and Sokal Solvent No. 1 and No. 2. Solvento # 150, shell TS28 solvent, carbitol, ethyl carbitol, butyl carbitol, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, ethyl cellosolve acetate, methyl cellosolve acetate, jiglime (all trade names) and the like can be mentioned.

上記溶剤は、感光性樹脂組成物中の各成分を溶解または分散させることができるもので、本発明の感光性樹脂組成物の使用方法に応じて選択されるが、塗布性の観点から、大気圧下(1013.25hPa)における沸点が60~280℃の範囲のものを選択するのが好ましい。より好ましくは70℃以上、260℃以下の沸点をもつものであり、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテル、3-メトキシ-1-ブタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3-メトキシ-1-ブチルアセテート、が好ましい。 The solvent can dissolve or disperse each component in the photosensitive resin composition, and is selected according to the method of use of the photosensitive resin composition of the present invention, but is large from the viewpoint of coatability. It is preferable to select one having a boiling point in the range of 60 to 280 ° C. under atmospheric pressure (1013.25 hPa). More preferably, it has a boiling point of 70 ° C. or higher and 260 ° C. or lower, and for example, propylene glycol monomethyl ether, 3-methoxy-1-butanol, propylene glycol monomethyl ether acetate, and 3-methoxy-1-butyl acetate are preferable.

これらの溶剤は1種を単独でもしくは2種以上を混合して使用することができる。また、これらの溶剤は、感光性樹脂組成物溶液中の全固形分の割合が、通常10質量%以上、好ましくは15質量%以上、より好ましくは20質量%以上、通常90質量%以下、好ましくは50質量%以下、より好ましくは40質量%以下、さらに好ましくは30質量%以下となるように使用されることが好ましい。前記下限値以上とすることで高い膜厚に対しても塗膜が得られる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで適度な塗布均一性が得られる傾向がある。 These solvents may be used alone or in admixture of two or more. Further, in these solvents, the ratio of the total solid content in the photosensitive resin composition solution is usually 10% by mass or more, preferably 15% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, and usually 90% by mass or less, preferably 90% by mass or less. Is preferably used so as to be 50% by mass or less, more preferably 40% by mass or less, still more preferably 30% by mass or less. When it is at least the above lower limit value, a coating film tends to be obtained even for a high film thickness, and when it is at least the above upper limit value, an appropriate coating uniformity tends to be obtained.

[1-2]隔壁形成用感光性樹脂組成物の物性
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物の物性として、酸価が挙げられる。本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、全固形分に対する酸価が20mgKOH/g以上である。隔壁形成用感光性樹脂組成物を前記下限値以上とすることにより、現像液への溶解性が高くなり、未露光部が十分に溶解、除去でき、得られる隔壁のテーパー角が高くなるものと考えられる。
[1-2] Physical characteristics of the photosensitive resin composition for forming a partition wall As a physical property of the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention, an acid value can be mentioned. The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention has an acid value of 20 mgKOH / g or more with respect to the total solid content. By setting the photosensitive resin composition for partition wall formation to the above lower limit value or more, the solubility in a developing solution is increased, the unexposed portion can be sufficiently dissolved and removed, and the taper angle of the obtained partition wall is increased. Conceivable.

隔壁形成用感光性樹脂組成物の全固形分に対する酸価は、20mgKOH/g以上であれば特に限定されず、22mgKOH/g以上が好ましく、24mgKOH/g以上がより好ましく、26mgKOH/g以上がさらに好ましく、28mgKOH/g以上が特に好ましく、また、通常60mgKOH/g以下、55mgKOH/g以下が好ましく、50mgKOH/g以下がより好ましく、40mgKOH/g以下がさらに好ましく、35mgKOH/g以下が特に好ましい。前記下限値以上とすることで現像液への溶解性が高く、未露光部が十分に溶解、除去できることでテーパー角が高くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで現像密着性が良好となる傾向がある。 The acid value of the photosensitive resin composition for forming a partition wall with respect to the total solid content is not particularly limited as long as it is 20 mgKOH / g or more, preferably 22 mgKOH / g or more, more preferably 24 mgKOH / g or more, and further more preferably 26 mgKOH / g or more. Preferably, 28 mgKOH / g or more is particularly preferable, and usually 60 mgKOH / g or less, 55 mgKOH / g or less is preferable, 50 mgKOH / g or less is more preferable, 40 mgKOH / g or less is further preferable, and 35 mgKOH / g or less is particularly preferable. When it is set to the lower limit value or more, the solubility in the developing solution is high, and the taper angle tends to be high because the unexposed portion can be sufficiently dissolved and removed. Tends to be good.

[1-3]隔壁形成用感光性樹脂組成物の調製方法
本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物は、上記の各成分を撹拌機で混合することにより調製される。なお、調製された感光性樹脂組成物が均一なものとなるよう、メンブランフィルタ等を用いて濾過してもよい。
[1-3] Method for preparing a photosensitive resin composition for forming a partition wall The photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention is prepared by mixing each of the above components with a stirrer. In addition, you may filter using a membrane filter or the like so that the prepared photosensitive resin composition becomes uniform.

[2]隔壁及び隔壁の形成方法
本発明の感光性樹脂組成物は隔壁、特に有機電界発光素子の有機層(発光部)を区画するための隔壁を形成するために好適に用いることができる。
以上説明した隔壁形成用感光性樹脂組成物を用いて隔壁(バンク)を形成する方法は特に限定されず、従来公知の方法を採用することができる。隔壁の形成方法としては、例えば、隔壁形成用感光性樹脂組成物を、基板上に塗布し、感光性樹脂組成物層を形成する塗布工程と、感光性樹脂組成物層を露光する露光工程と、を含む方法が挙げられる。このようなバンクの形成方法の具体例としては、フォトリソグラフィー法が挙げられる。
[2] Septum and method for forming a partition The photosensitive resin composition of the present invention can be suitably used for forming a partition for partitioning a partition, particularly an organic layer (light emitting portion) of an organic electroluminescent device.
The method for forming a partition wall (bank) using the photosensitive resin composition for forming a partition wall described above is not particularly limited, and a conventionally known method can be adopted. As a method for forming the partition wall, for example, a coating step of applying a photosensitive resin composition for forming a partition wall on a substrate to form a photosensitive resin composition layer, and an exposure step of exposing the photosensitive resin composition layer. , Including methods. A specific example of such a bank forming method is a photolithography method.

フォトリソグラフィー法では、隔壁形成用感光性樹脂組成物を、基板の隔壁が形成される領域全面に塗布して感光性樹脂組成物層を形成する。形成された感光性樹脂組成物層を、所定の隔壁のパターンに応じて露光した後、露光された感光性樹脂組成物層を現像して、基板上に隔壁が形成される。 In the photolithography method, a photosensitive resin composition for forming a partition wall is applied to the entire surface of a region where a partition wall is formed on a substrate to form a photosensitive resin composition layer. The formed photosensitive resin composition layer is exposed according to a predetermined partition wall pattern, and then the exposed photosensitive resin composition layer is developed to form a partition wall on the substrate.

フォトリソグラフィー法における、感光性樹脂組成物を基板上に塗布する塗布工程では、隔壁が形成されるべき基板上に、ロールコーター、リバースコーター、バーコーター等の接触転写型塗布装置やスピンナー(回転式塗布装置)、カーテンフローコーター等の非接触型塗布装置を用いて感光性樹脂組成物を塗布し、必要に応じて、乾燥により溶媒を除去して、感光性樹脂組成物層を形成する。 In the coating process of applying the photosensitive resin composition on the substrate in the photolithography method, a contact transfer type coating device such as a roll coater, a reverse coater, a bar coater, or a spinner (rotary type) is placed on the substrate on which the partition wall should be formed. The photosensitive resin composition is applied using a non-contact coating device such as a coating device) or a curtain flow coater, and if necessary, the solvent is removed by drying to form a photosensitive resin composition layer.

次いで、露光工程では、ネガ型のマスクを利用して、感光性樹脂組成物に紫外線、エキシマレーザー光等の活性エネルギー線を照射し、感光性樹脂組成物層をバンクのパターンに応じて部分的に露光する。露光には、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、カーボンアーク灯等の紫外線を発する光源を用いることができる。露光量は感光性樹脂組成物の組成によっても異なるが、例えば10~400mJ/cm2程度が好ましい。 Next, in the exposure step, the photosensitive resin composition is irradiated with active energy rays such as ultraviolet rays and excimer laser light using a negative mask, and the photosensitive resin composition layer is partially formed according to the bank pattern. To be exposed to. For the exposure, a light source that emits ultraviolet rays such as a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, a xenon lamp, and a carbon arc lamp can be used. The amount of exposure varies depending on the composition of the photosensitive resin composition, but is preferably about 10 to 400 mJ / cm 2 , for example.

次いで、現像工程では、隔壁のパターンに応じて露光された感光性樹脂組成物層を現像液で現像することにより隔壁を形成する。現像方法は特に限定されず、浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液の具体例としては、ジメチルベンジルアミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系のものや、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、4級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。又、現像液には、消泡剤や界面活性剤を添加することもできる。 Next, in the developing step, the partition wall is formed by developing the photosensitive resin composition layer exposed according to the pattern of the partition wall with a developing solution. The developing method is not particularly limited, and a dipping method, a spraying method, or the like can be used. Specific examples of the developing solution include organic ones such as dimethylbenzylamine, monoethanolamine, diethanolamine and triethanolamine, and aqueous solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, ammonia and quaternary ammonium salts. Can be mentioned. Further, an antifoaming agent or a surfactant can be added to the developing solution.

その後、現像後の隔壁にポストベークを施して加熱硬化する。ポストベークは、150~250℃で15~60分間が好ましい。 Then, the partition wall after development is post-baked and heat-cured. Post-baking is preferably at 150-250 ° C. for 15-60 minutes.

隔壁の形成に用いる基板は特に限定されず、隔壁が形成された基板を用いて製造される有機電界発光素子の種類に合わせて適宜選択される。好適な基板の材料としては、ガラスや、各種の樹脂材料が挙げられる。樹脂材料の具体例としては、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル;ポリエチレン、及びポリプロピレン等のポリオレフィン;ポリカーボネート;ポリ(メタ)メタアクリル樹脂;ポリスルホン;ポリイミドが挙げられる。これらの基板の材料の中では、耐熱性に優れることからガラス、及びポリイミドが好ましい。また、製造される有機電界発光素子の種類に応じて、隔壁が形成される基板の表面には、予めITOやZnO等の透明電極層を設けておいてもよい。 The substrate used for forming the partition wall is not particularly limited, and is appropriately selected according to the type of the organic electroluminescent device manufactured by using the substrate on which the partition wall is formed. Suitable substrate materials include glass and various resin materials. Specific examples of the resin material include polyester such as polyethylene terephthalate; polyethylene and polyolefin such as polypropylene; polycarbonate; poly (meth) methacrylic resin; polysulfone; polyimide. Among these substrate materials, glass and polyimide are preferable because they have excellent heat resistance. Further, depending on the type of the organic electroluminescent element to be manufactured, a transparent electrode layer such as ITO or ZnO may be provided in advance on the surface of the substrate on which the partition wall is formed.

[3]有機電界発光素子
本発明の有機電界発光素子は、前述の隔壁形成用感光性樹脂組成物で構成される隔壁を備える。
以上説明した方法により製造された隔壁パターンを備える基板を用いて、種々の光学素子が製造される。有機電界発光素子を形成する方法は特に限定されないが、好ましくは、上記方法により基板上に隔壁のパターンを形成した後に、基板上の隔壁により囲まれた領域内にインクを注入して画素等の有機層を形成することによって、有機電界発光素子が製造される。
有機電界発光素子のタイプとしては、ボトムエミッション型やトップエミッション型が挙げられる。
ボトムエミッション型では、例えば、透明電極を積層したガラス基板上に隔壁を形成し、隔壁で囲まれた開口部に正孔輸送層、発光層、電子輸送層、金属電極層を積層して作成される。一方でトップエミッション型では、例えば、金属電極層を積層したガラス基板上に隔壁を形成し、隔壁で囲まれた開口部に電子輸送層、発光層、正孔輸送層、透明電極層を積層して作成される。
なお、発光層としては、特開2009-146691号公報や特許第5734681号公報に記載されているような有機電界発光層が挙げられる。また、特許第5653387号公報や特許第5653101号公報に記載されているような量子ドットを用いてもよい。
[3] Organic electroluminescent device The organic electroluminescent device of the present invention includes a partition wall made of the above-mentioned photosensitive resin composition for forming a partition wall.
Various optical elements are manufactured using the substrate having the partition wall pattern manufactured by the method described above. The method for forming the organic electroluminescent element is not particularly limited, but preferably, after forming the partition wall pattern on the substrate by the above method, ink is injected into the region surrounded by the partition wall on the substrate to form a pixel or the like. By forming the organic layer, an organic electroluminescent device is manufactured.
Examples of the type of the organic electroluminescent element include a bottom emission type and a top emission type.
In the bottom emission type, for example, a partition wall is formed on a glass substrate on which transparent electrodes are laminated, and a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and a metal electrode layer are laminated in an opening surrounded by the partition wall. To. On the other hand, in the top emission type, for example, a partition wall is formed on a glass substrate on which a metal electrode layer is laminated, and an electron transport layer, a light emitting layer, a hole transport layer, and a transparent electrode layer are laminated in an opening surrounded by the partition wall. Is created.
Examples of the light emitting layer include an organic electroluminescent layer as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-146691 and Japanese Patent No. 5734681. Further, quantum dots as described in Japanese Patent No. 5653387 and Japanese Patent No. 5653101 may be used.

隔壁のテーパー角が低く、隔壁の下部が図1のようなすそ引き形状である場合、その部分の上部に蒸着層を形成しても発光しないため、発光面積は小さくなってしまう。またインクジェット方式で発光層を作成する場合には、有機層形成用のインクが隔壁のすそ部分で弾かれるため、隔壁によって囲まれた領域内が有機層形成用のインクにより均一に被覆されない場合がある。それに対して、テーパー角が高く、すそ引きのない良好な形状とすることで、隔壁により囲まれた領域内を発光させることができ、また、インクジェット方式においては有機層形成用のインクにより均一に被覆することができる。これにより、例えば、有機EL表示素子におけるハレーションの問題を解消することができる。 When the taper angle of the partition wall is low and the lower portion of the partition wall has a skirt shape as shown in FIG. 1, even if a thin-film deposition layer is formed on the upper portion of the partition wall, light emission is not performed, so that the light emission area becomes small. When the light emitting layer is created by the inkjet method, the ink for forming the organic layer is repelled at the skirt of the partition wall, so that the area surrounded by the partition wall may not be uniformly covered with the ink for forming the organic layer. be. On the other hand, by having a good shape with a high taper angle and no skirting, it is possible to emit light in the area surrounded by the partition wall, and in the inkjet method, the ink for forming the organic layer makes it uniform. Can be covered. Thereby, for example, the problem of halation in the organic EL display element can be solved.

有機層形成用のインクを形成する際に使用される溶媒としては、水、有機溶剤、及びこれらの混合溶剤を用いることができる。有機溶剤は、インクの注入後に形成された皮膜から除去可能であれば特に限定されない。有機溶剤の具体例としては、トルエン、キシレン、アニソール、メシチレン、テトラリン、シクロヘキシルベンゼン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、及び酢酸ブチル、3-フェノキシトルエン、等が挙げられる。また、インクには、界面活性剤、酸化防止剤、粘度調整剤、紫外線吸収剤等を添加することができる。 As the solvent used when forming the ink for forming the organic layer, water, an organic solvent, and a mixed solvent thereof can be used. The organic solvent is not particularly limited as long as it can be removed from the film formed after the ink is injected. Specific examples of the organic solvent include toluene, xylene, anisole, mesitylene, tetraline, cyclohexylbenzene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, ethyl acetate, and butyl acetate, 3-phenoxytoluene. And so on. Further, a surfactant, an antioxidant, a viscosity modifier, an ultraviolet absorber and the like can be added to the ink.

隔壁により囲まれた領域内にインクを注入する方法としては、少量のインクを所定の箇所に容易に注入可能であることから、インクジェット法が好ましい。有機層の形成に使用されるインクは、製造される有機電界発光素子の種類に応じて適宜選択される。インクをインクジェット法により注入する場合、インクの粘度はインクをインクジェットヘッドから良好に吐出できる限り特に限定されないが、4~20mPa・sが好ましく、5~10mPa・sがより好ましい。インクの粘度は、インク中の固形分含有量の調整、溶媒の変更、粘度調整剤の添加等により調整することができる。 As a method of injecting ink into the region surrounded by the partition wall, an inkjet method is preferable because a small amount of ink can be easily injected into a predetermined place. The ink used for forming the organic layer is appropriately selected according to the type of the organic electroluminescent device to be manufactured. When the ink is injected by the inkjet method, the viscosity of the ink is not particularly limited as long as the ink can be satisfactorily ejected from the inkjet head, but 4 to 20 mPa · s is preferable, and 5 to 10 mPa · s is more preferable. The viscosity of the ink can be adjusted by adjusting the solid content in the ink, changing the solvent, adding a viscosity adjusting agent, and the like.

[4]画像表示装置
本発明の画像表示装置は、前述の有機電界発光素子を含むものである。有機電界発光素子を含むものであれば、画像表示装置の型式や構造については特に制限はなく、例えばアクティブ駆動型有機電界発光素子を用いて常法に従って組み立てることができる。例えば、「有機ELディスプレイ」(オーム社、平成16年8月20日発行、時任静士、安達千波矢、村田英幸著)に記載されているような方法で、本発明の画像表示装置を形成することができる。例えば、白色光を発光する有機電界発光素子とカラーフィルターとを組み合わせて画像表示させてもよいし、RGB等の発光色の異なる有機電界発光素子を組み合わせて画像表示させてもよい。
[4] Image Display Device The image display device of the present invention includes the above-mentioned organic electroluminescent element. The type and structure of the image display device are not particularly limited as long as they include an organic electroluminescent element, and can be assembled according to a conventional method using, for example, an active drive type organic electroluminescent element. For example, the image display device of the present invention is formed by a method as described in "Organic EL Display" (Ohmsha, published on August 20, 2004, by Shizushi Tokito, Chihaya Adachi, Hideyuki Murata). can do. For example, an organic electroluminescent element that emits white light and a color filter may be combined to display an image, or an organic electroluminescent element having a different emission color such as RGB may be combined to display an image.

[5]照明
本発明の照明は、前述の有機電界発光素子を含むものである。型式や構造については特に制限はなく、本発明の有機電界発光素子を用いて常法に従って組み立てることができる。有機電界発光素子としては、単純マトリックス駆動方式としてもよいし、アクティブマトリックス駆動方式としてもよい。
本発明の照明が白色光を発光するものとするために、白色光を発光する有機電界発光素子を用いてもよい。また、発光色の異なる有機電界発光素子を組み合わせて、各色が混色して白色となるよう構成してもよいし、混色比率を調整できるように構成して調色機能を付与してもよい。
[5] Lighting The lighting of the present invention includes the above-mentioned organic electroluminescent element. The model and structure are not particularly limited, and the organic electroluminescent device of the present invention can be used for assembly according to a conventional method. The organic electroluminescent device may be a simple matrix drive system or an active matrix drive system.
In order for the illumination of the present invention to emit white light, an organic electroluminescent element that emits white light may be used. Further, organic electroluminescent elements having different emission colors may be combined so that the colors are mixed to be white, or the color mixing ratio may be adjusted to provide a toning function.

以下、本発明の隔壁形成用感光性樹脂組成物について、具体的な実施例を挙げて説明するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, the photosensitive resin composition for forming a partition wall of the present invention will be described with reference to specific examples, but the present invention is not limited to the following examples as long as the gist of the present invention is not exceeded.

[1] 隔壁形成用感光性樹脂組成物の調製
各成分を表1に記載の配合割合(質量部)で用い、かつ、全固形分の含有割合が25質量%となるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用いて、各成分を均一になるまで撹拌して実施例及び比較例の隔壁形成用感光性樹脂組成物を調製した。なお、表1中の数値は固形分の値を意味する。
なお、表中の記号は以下のものを表す。
[1] Preparation of photosensitive resin composition for partition wall formation Propylene glycol monomethyl ether so that each component is used in the blending ratio (part by mass) shown in Table 1 and the content ratio of the total solid content is 25% by mass. Using acetate, each component was stirred until uniform to prepare a photosensitive resin composition for forming a partition wall of Examples and Comparative Examples. The numerical values in Table 1 mean the values of solid content.
The symbols in the table represent the following.

a-1:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(DPHA)(日本化薬社製)
b-1:2,2’-ビス(2-クロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラフェニル-1,2’-ビイミダゾール(保土ヶ谷化学社製)
a-1: Dipentaerythritol hexaacrylate (DPHA) (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
b-1: 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole (manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.)

d-1:メガファック RS-72-K(DIC社製、フッ素系、エチレン性二重結合を有するオリゴマー)
e-1:2-メルカプトベンゾイミダゾール(東京化成社製)
e-2:ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオナート)(淀化学社製)
f-1:TINUVIN384-2(BASF社製、紫外線吸収剤)
g-1:KAYAMER PM-21(日本化薬社製)
d-1: Megafuck RS-72-K (manufactured by DIC, fluorine-based, oligomer having an ethylenic double bond)
e-1: 2-Mercaptobenzimidazole (manufactured by Tokyo Kasei Co., Ltd.)
e-2: Pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropionate) (manufactured by Yodo Kagaku Co., Ltd.)
f-1: TINUVIN384-2 (made by BASF, UV absorber)
g-1: KAYAMER PM-21 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

c-1:以下のエチレン性不飽和基含有樹脂((c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂/前記一般式(1)で表される部分構造及び前記一般式(iii)で表される部分構造を含む樹脂に相当)
下記式で表されるビスフェノールA型エポキシ化合物(エポキシ当量186g/eq、式中のnが1~20のものの混合物)100質量部、アクリル酸40質量部、p-メトキシフェノール0.06質量部、トリフェニルホスフィン2.4質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート126質量部を反応容器に仕込み、酸価が5mgKOH/g以下になるまで95℃で撹拌した。次いで、上記反応により得られた反応液80質量部にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート12質量部を加え、無水コハク酸4.5質量部を添加し、95℃で3時間反応させ、固形分酸価60mgKOH/g、GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が8000のアルカリ可溶性樹脂(c-1)溶液を得た。
c-1: The following ethylenically unsaturated group-containing resin ((c1) epoxy (meth) acrylate resin / partial structure represented by the general formula (1) and partial structure represented by the general formula (iii). Equivalent to the resin contained)
100 parts by mass of bisphenol A type epoxy compound represented by the following formula (epoxy equivalent 186 g / eq, mixture of compounds having n of 1 to 20 in the formula), 40 parts by mass of acrylic acid, 0.06 parts by mass of p-methoxyphenol, 2.4 parts by mass of triphenylphosphine and 126 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate were charged in a reaction vessel, and the mixture was stirred at 95 ° C. until the acid value became 5 mgKOH / g or less. Next, 12 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was added to 80 parts by mass of the reaction solution obtained by the above reaction, 4.5 parts by mass of anhydrous succinic acid was added, and the mixture was reacted at 95 ° C. for 3 hours to have a solid acid value of 60 mgKOH. An alkali-soluble resin (c-1) solution having a polystyrene-equivalent weight average molecular weight (Mw) of / g and a polystyrene-equivalent weight average molecular weight (Mw) of 8000 was obtained.

Figure 0007040089000047
Figure 0007040089000047

c-2:以下のエチレン性不飽和基含有樹脂((c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂/前記一般式(1)で表される部分構造及び前記一般式(iii)で表される部分構造を含む樹脂に相当)
c-1と同様に上記式で表されるビスフェノールA型エポキシ化合物(エポキシ当量186g/eq、式中のnが1~20のものの混合物)100質量部、アクリル酸40質量部、p-メトキシフェノール0.06質量部、トリフェニルホスフィン2.4質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート126質量部を反応容器に仕込み、酸価が5mgKOH/g以下になるまで95℃で撹拌した。次いで、上記反応により得られた反応液80質量部にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート12質量部を加え、無水コハク酸2.3質量部を添加し、95℃で3時間反応させ、固形分酸価30mgKOH/g、GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が8300のアルカリ可溶性樹脂(c-2)溶液を得た。
c-2: The following ethylenically unsaturated group-containing resin ((c1) epoxy (meth) acrylate resin / partial structure represented by the general formula (1) and partial structure represented by the general formula (iii). Equivalent to the resin contained)
Similar to c-1, 100 parts by mass of bisphenol A type epoxy compound (epoxy equivalent 186 g / eq, mixture of 1 to 20 n in the formula) represented by the above formula, 40 parts by mass of acrylic acid, p-methoxyphenol. 0.06 parts by mass, 2.4 parts by mass of triphenylphosphine and 126 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate were charged in a reaction vessel, and the mixture was stirred at 95 ° C. until the acid value became 5 mgKOH / g or less. Next, 12 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was added to 80 parts by mass of the reaction solution obtained by the above reaction, 2.3 parts by mass of anhydrous succinic acid was added, and the mixture was reacted at 95 ° C. for 3 hours to have a solid acid value of 30 mgKOH. An alkali-soluble resin (c-2) solution having a polystyrene-equivalent weight average molecular weight (Mw) of 8300 at / g and measured by GPC was obtained.

c-3:以下のアクリル共重合樹脂((c2)アクリル共重合樹脂/前記一般式(1)で表される部分構造及び前記一般式(I)で表される部分構造を含む樹脂に相当)
トリシクロデカンメタクリレート/スチレン/グリシジルメタクリレート(モル比:0.02/0.045/0.935)を構成モノマーとする共重合樹脂に、アクリル酸を前記グリシジルメタクリレートと等量付加反応させ、さらに無水コハク酸を上記の共重合樹脂1モルに対してモル比0.095になるように付加した、アルカリ可溶性のアクリル共重合樹脂(c-3)溶液。溶媒はプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートである。GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)は9700、固形分酸価は23.8mgKOH/g。
c-3: The following acrylic copolymer resin ((c2) acrylic copolymer resin / corresponding to the resin containing the partial structure represented by the general formula (1) and the partial structure represented by the general formula (I))
An equal amount of acrylic acid is added to a copolymer resin containing tricyclodecane methacrylate / styrene / glycidyl methacrylate (molar ratio: 0.02 / 0.045 / 0.935) as a constituent monomer, and an equal amount of acrylic acid is added to the copolymer, and the mixture is further anhydrous. An alkali-soluble acrylic copolymer resin (c-3) solution to which succinic acid was added so as to have a molar ratio of 0.095 with respect to 1 mol of the above copolymer resin. The solvent is propylene glycol monomethyl ether acetate. The polystyrene-equivalent weight average molecular weight (Mw) measured by GPC is 9700, and the solid acid value is 23.8 mgKOH / g.

c-4:以下のアクリル共重合樹脂((c2)アクリル共重合樹脂/前記一般式(1)で表される部分構造及び前記一般式(I)で表される部分構造を含む樹脂に相当)
トリシクロデカンメタクリレート/スチレン/グリシジルメタクリレート(モル比:0.032/0.069/0.899)を構成モノマーとする共重合樹脂に、アクリル酸を前記グリシジルメタクリレートと等量付加反応させ、さらに無水コハク酸を上記の共重合樹脂1モルに対してモル比0.24になるように付加した、アルカリ可溶性のアクリル共重合樹脂(c-4)溶液。溶媒はプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートである。GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)は4800、固形分酸価は62.1mgKOH/g。
c-4: The following acrylic copolymer resin ((c2) acrylic copolymer resin / corresponding to the resin containing the partial structure represented by the general formula (1) and the partial structure represented by the general formula (I))
An equal amount of acrylic acid is added to a copolymer resin containing tricyclodecane methacrylate / styrene / glycidyl methacrylate (molar ratio: 0.032 / 0.069 / 0.899) as a constituent monomer, and an equal amount of acrylic acid is added to the copolymer, and the mixture is further anhydrous. An alkali-soluble acrylic copolymer resin (c-4) solution to which succinic acid was added so as to have a molar ratio of 0.24 with respect to 1 mol of the above copolymer resin. The solvent is propylene glycol monomethyl ether acetate. The polystyrene-equivalent weight average molecular weight (Mw) measured by GPC is 4800, and the solid acid value is 62.1 mgKOH / g.

c-5:以下のアクリル共重合樹脂
トリシクロデカンメタクリレート/スチレン/グリシジルメタクリレート(モル比:0.3/0.1/0.6)を構成モノマーとする共重合樹脂に、アクリル酸をグリシジルメタクリレートと等量付加反応させ、さらに無水テトラヒドロフタル酸を上記の共重合樹脂1モルに対してモル比0.39になるように付加した、アルカリ可溶性のアクリル共重合樹脂(c-5)溶液。溶媒はプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートである。GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)は8400、固形分酸価は81.4mgKOH/g。
c-5: The following acrylic copolymer resin Tricyclodecane methacrylate / styrene / glycidyl methacrylate (molar ratio: 0.3 / 0.1 / 0.6) is a copolymer resin containing the constituent monomer, and acrylic acid is glycidyl methacrylate. An alkali-soluble acrylic copolymer resin (c-5) solution, which was further subjected to an addition reaction in equal amounts with the above, and further added with tetrahydrophthalic anhydride so as to have a molar ratio of 0.39 with respect to 1 mol of the above copolymer resin. The solvent is propylene glycol monomethyl ether acetate. The polystyrene-equivalent weight average molecular weight (Mw) measured by GPC is 8400, and the solid acid value is 81.4 mgKOH / g.

隔壁形成用感光性樹脂組成物の物性評価は以下に記載の方法で行った。 The physical characteristics of the photosensitive resin composition for forming a partition wall were evaluated by the method described below.

(酸価の測定)
酸価はJIS K 0070-1992記載の方法で測定ができる。感光性樹脂組成物の酸価は感光性樹脂組成物を直接測定する他、樹脂の酸価と含有量より算出してもよい。実施例1、2、比較例1~3の感光性樹脂組成物の全固形分に対する酸価(レジスト酸価)の算出値を表1に示した。
(Measurement of acid value)
The acid value can be measured by the method described in JIS K 0070-1992. The acid value of the photosensitive resin composition may be calculated from the acid value and content of the resin, in addition to directly measuring the photosensitive resin composition. Table 1 shows the calculated acid values (resist acid values) of the photosensitive resin compositions of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 3 with respect to the total solid content.

(ガス量測定用基板の作成)
ガラス基板上にスピナーを用いて、加熱硬化(ポストベーク)後に1.7μmの厚みになるように前記隔壁形成用感光性樹脂組成物を塗布した。その後95℃で2分間ホットプレート上で加熱乾燥し、得られた塗膜をマスクを使用せずに、露光量100mJ/cm2で全面露光した。この時の波長365nmにおける強度は7.5mW/cm2であった。次いで24℃の2.38質量%TMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)水溶液で60秒間スプレー現像した後、純水で10秒間洗浄した。この基板を、オーブン中230℃で30分間加熱硬化(ポストベーク)させ、硬化物付きのガス量測定用基板が得られた。
(Creation of substrate for gas amount measurement)
The photosensitive resin composition for forming a partition wall was applied onto a glass substrate using a spinner so as to have a thickness of 1.7 μm after heat curing (post-baking). Then, it was heated and dried on a hot plate at 95 ° C. for 2 minutes, and the obtained coating film was entirely exposed to an exposure amount of 100 mJ / cm 2 without using a mask. At this time, the intensity at a wavelength of 365 nm was 7.5 mW / cm 2 . Then, it was spray-developed with a 2.38 mass% TMAH (tetramethylammonium hydroxide) aqueous solution at 24 ° C. for 60 seconds, and then washed with pure water for 10 seconds. This substrate was heat-cured (post-baked) at 230 ° C. for 30 minutes in an oven to obtain a substrate for measuring the amount of gas with a cured product.

(ガス量の測定)
作成したガス量測定用基板(40mm×8mm、4枚)を加熱炉内で230℃、20分間加熱した際のアウトガスをGC/MS(Agilent Technologies社製、商品名「5973N」)にて分析し、検出されたピーク全成分の面積の総和を計算した。ただし、TMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)水溶液由来の、テトラメチルアンモニウムに対応するピークは除いて計算を行った。次に、検出されたピーク面積の総和より検量線を用いてトルエン量に換算し、測定した基板面積で除し、単位面積あたりのトルエン換算のアウトガス量(ng/cm2)を算出した。結果を表1に示した。なお検量線は、濃度既知のトルエンを用いてGC/MSを測定し、トルエン量と検出されるガスのピーク面積値をプロットして作成した。
(Measurement of gas amount)
The outgas when the prepared gas quantity measuring substrate (40 mm × 8 mm, 4 sheets) was heated in a heating furnace at 230 ° C. for 20 minutes was analyzed by GC / MS (manufactured by Agilent Technologies, trade name “5973N”). , The sum of the areas of all detected peak components was calculated. However, the calculation was performed excluding the peak corresponding to tetramethylammonium derived from the TMAH (tetramethylammonium hydroxide) aqueous solution. Next, the sum of the detected peak areas was converted into the amount of toluene using a calibration curve, divided by the measured substrate area, and the amount of outgas in terms of toluene per unit area (ng / cm 2 ) was calculated. The results are shown in Table 1. The calibration curve was created by measuring GC / MS using toluene having a known concentration and plotting the amount of toluene and the peak area value of the detected gas.

(接触角測定用基板の作成)
ガラス基板上にスピナーを用いて、加熱硬化(ポストベーク)後に1.7μmの厚みになるように前記隔壁形成用感光性樹脂組成物を塗布した。その後95℃で2分間ホットプレート上で加熱乾燥し、得られた塗膜をマスクを使用せずに、露光量100mJ/cm2で全面露光した。この時の波長365nmにおける強度は7.5mW/cm2であった。次いで24℃の2.38質量%TMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)水溶液で60秒間スプレー現像した後、純水で10秒間洗浄した。この基板を、オーブン中230℃で30分間加熱硬化(ポストベーク)させ、硬化物付きの接触角測定用基板が得られた。
(Creation of substrate for contact angle measurement)
The photosensitive resin composition for forming a partition wall was applied onto a glass substrate using a spinner so as to have a thickness of 1.7 μm after heat curing (post-baking). Then, it was heated and dried on a hot plate at 95 ° C. for 2 minutes, and the obtained coating film was entirely exposed to an exposure amount of 100 mJ / cm 2 without using a mask. At this time, the intensity at a wavelength of 365 nm was 7.5 mW / cm 2 . Then, it was spray-developed with a 2.38 mass% TMAH (tetramethylammonium hydroxide) aqueous solution at 24 ° C. for 60 seconds, and then washed with pure water for 10 seconds. This substrate was heat-cured (post-baked) at 230 ° C. for 30 minutes in an oven to obtain a substrate for measuring the contact angle with a cured product.

(接触角の測定)
接触角の測定は協和界面科学社製Drop Master 500接触角測定装置により、23℃湿度50%の条件下で行った。前記接触角測定用基板の硬化物上にプロピレングリコールメチルエーテルアセテートを0.7μL滴下し1秒後の接触角を測定した。測定結果を表1に示した。接触角が大きい方が、撥液性が高いことを表す。
(Measurement of contact angle)
The contact angle was measured by a Drop Master 500 contact angle measuring device manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd. under the condition of 23 ° C. and 50% humidity. 0.7 μL of propylene glycol methyl ether acetate was dropped onto the cured product of the contact angle measuring substrate, and the contact angle after 1 second was measured. The measurement results are shown in Table 1. The larger the contact angle, the higher the liquid repellency.

[2] 隔壁の形成及び評価
以下に性能評価の方法を説明する。
(隔壁の形成)
表面にITO膜を形成したガラス基板の該ITO膜上にスピナーを用いて、加熱硬化(ポストベーク)後に1.7μmの厚みになるように前記隔壁形成用感光性樹脂組成物を塗布した。その後95℃で2分間ホットプレート上で加熱乾燥して、得られた塗膜に、フォトマスク(80μm×280μmの被覆部を40μm間隔で複数有するマスク)を用い、露光ギャップ16μmで、波長365nmにおける強度が7.5mW/cm2である紫外線を用いて、露光量が100mJ/cm2となるよう露光した。この際の紫外線照射は空気下で行った。次いで24℃の2.38質量%TMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)水溶液で60秒間スプレー現像した後、純水で1分間洗浄した。これらの操作により、不要な部分を除去してパターンの形成された基板を、オーブン中230℃で30分間加熱硬化(ポストベーク)させ、格子状の隔壁を形成した。
[2] Formation and evaluation of partition walls The method of performance evaluation will be described below.
(Formation of partition wall)
Using a spinner on the ITO film of the glass substrate having the ITO film formed on the surface, the photosensitive resin composition for forming a partition wall was applied so as to have a thickness of 1.7 μm after heat curing (post-baking). Then, it was heated and dried on a hot plate at 95 ° C. for 2 minutes, and a photomask (a mask having a plurality of 80 μm × 280 μm coating films at 40 μm intervals) was used for the obtained coating film at an exposure gap of 16 μm and a wavelength of 365 nm. Exposure was performed with an exposure amount of 100 mJ / cm 2 using ultraviolet rays having an intensity of 7.5 mW / cm 2 . The ultraviolet irradiation at this time was performed under air. Then, it was spray-developed with a 2.38 mass% TMAH (tetramethylammonium hydroxide) aqueous solution at 24 ° C. for 60 seconds, and then washed with pure water for 1 minute. By these operations, the substrate on which the pattern was formed by removing unnecessary portions was heat-cured (post-baked) at 230 ° C. for 30 minutes in an oven to form a grid-like partition wall.

(隔壁物のテーパー角および線幅、開口部の面積の評価)
前述の格子状の隔壁をカットして断面観察用のサンプルを作成し、走査型電子顕微鏡(SEM、キーエンス社製)を用いて隔壁の断面形状を観察し、そのテーパー角及び線幅を測定した。隔壁の断面形状は略台形状に観察された。
この断面図において、図1のように隔壁1とITO膜2との境界面をS、隔壁の高さをHとした。隔壁の斜辺において、境界面Sと接する斜辺との接線をTとし、接線Tと境界面Sのなす角を測定し、テーパー角とした。テーパー角は高いほど現像性が良好で残渣が発生しにくい傾向があり、インクジェット塗布において、より濡れ広がりやすい傾向がある。
また隔壁の下部の開口幅(横幅、縦幅)を測定し、それらを乗ずることで開口部の面積を算出した。テーパー角、テーパー下部の線幅および開口部の面積の結果を表1に記載した。なお、開口部の面積は、対応するマスク遮蔽部の面積に対する相対値である。テーパー角が小さいほど、隔壁の線幅が大きくなり、開口部の面積は小さくなる。
(Evaluation of taper angle and line width of partition wall, area of opening)
The above-mentioned lattice-shaped partition wall was cut to prepare a sample for cross-sectional observation, the cross-sectional shape of the partition wall was observed using a scanning electron microscope (SEM, manufactured by KEYENCE), and the taper angle and line width were measured. .. The cross-sectional shape of the partition wall was observed to be substantially trapezoidal.
In this cross-sectional view, as shown in FIG. 1, the boundary surface between the partition wall 1 and the ITO film 2 is S, and the height of the partition wall is H. On the hypotenuse of the partition wall, the tangent line of the hypotenuse in contact with the boundary surface S was defined as T, and the angle formed by the tangent line T and the boundary surface S was measured and used as a taper angle. The higher the taper angle, the better the developability and the tendency for residue to be less likely to occur, and the more likely it is to get wet and spread in inkjet coating.
In addition, the opening width (horizontal width, vertical width) at the bottom of the partition wall was measured, and the area of the opening was calculated by multiplying them. Table 1 shows the results of the taper angle, the line width at the bottom of the taper, and the area of the opening. The area of the opening is a relative value to the area of the corresponding mask shielding portion. The smaller the taper angle, the larger the line width of the partition wall and the smaller the area of the opening.

Figure 0007040089000048
Figure 0007040089000048

表1より、コハク酸を付加した樹脂(c-1)~(c-4)を各々含む感光性樹脂組成物を用いて得た基板のアウトガスの発生量は、テトラヒドロフタル酸を付加した樹脂(c-5)を含む感光性樹脂組成物を用いて得た基板のものと比較して、大幅に少ないことがわかった。
これより、コハク酸のように炭素鎖が短い酸を付加した樹脂を含む感光性樹脂組成物の方が、テトラヒドロフタル酸のように炭素鎖が長い酸を付加した樹脂を含む感光性樹脂組成物よりも、230℃30分間のポストベークによる加熱硬化後の、230℃加熱のガス測定条件において、アウトガスの発生量が小さくなることが確認された。これは、コハク酸のような炭素鎖が短い酸はポストベーク時に殆どが脱離除去されて、その後の230℃加熱時にはガスが発生しないためだと考えられる。
From Table 1, the amount of outgas generated on the substrate obtained by using the photosensitive resin composition containing the resins (c-1) to (c-4) to which succinic acid was added was the resin to which tetrahydrophthalic acid was added ( It was found that the amount was significantly less than that of the substrate obtained by using the photosensitive resin composition containing c-5).
From this, the photosensitive resin composition containing a resin having a short carbon chain added such as succinic acid is a photosensitive resin composition containing a resin having a long carbon chain added such as tetrahydrophthalic acid. It was confirmed that the amount of outgas generated was smaller under the gas measurement conditions of heating at 230 ° C. after heating and curing by post-baking at 230 ° C. for 30 minutes. It is considered that this is because most of the acids having a short carbon chain such as succinic acid are desorbed and removed at the time of post-baking, and no gas is generated at the time of subsequent heating at 230 ° C.

表1より、酸価の低い比較例1、2の感光性樹脂組成物を使用するとテーパー角が低く、一方で酸価の高い実施例1、2の感光性樹脂組成物を使用するとテーパー角が高くなることがわかった。さらにこれに付随して、酸価の低い感光性樹脂組成物を使用すると開口部の面積が小さく、酸価の高い感光性樹脂組成物を使用すると開口部の面積が大きくなることが確認された。感光性樹脂組成物の酸価が低いと、未露光部の現像液への溶解性が低くなり、塗膜の深層部が十分に現像されにくくなりテーパー角が低くなるが、感光性樹脂組成物の酸価を高くすることで、未露光部の現像液への溶解性を高くすることができ、未露光部が十分に溶解、除去でき、テーパー角が高くなると考えられる。 From Table 1, when the photosensitive resin compositions of Comparative Examples 1 and 2 having a low acid value are used, the taper angle is low, while when the photosensitive resin compositions of Examples 1 and 2 having a high acid value are used, the taper angle is low. It turned out to be higher. Further, it was confirmed that when a photosensitive resin composition having a low acid value was used, the area of the opening was small, and when a photosensitive resin composition having a high acid value was used, the area of the opening was large. .. When the acid value of the photosensitive resin composition is low, the solubility of the unexposed portion in the developer becomes low, the deep part of the coating film becomes difficult to develop sufficiently, and the taper angle becomes low. It is considered that by increasing the acid value of the unexposed portion, the solubility of the unexposed portion in the developing solution can be increased, the unexposed portion can be sufficiently dissolved and removed, and the taper angle becomes high.

1:隔壁
2:ITO膜
3:ガラス基板
T:境界面Sと接する斜辺との接線
H:隔壁の高さ
S:隔壁とITO膜との境界面
1: Partition 2: ITO film 3: Glass substrate T: Tangent line with the hypotenuse in contact with the boundary surface S H: Height of the partition wall S: Boundary surface between the partition wall and the ITO film

Claims (12)

(A)エチレン性不飽和化合物、(B)光重合開始剤(C)アルカリ可溶性樹脂及び着色剤を含有する隔壁形成用感光性樹脂組成物であって、
前記隔壁形成用感光性樹脂組成物の酸価が全固形分に対して20mgKOH/g以上であり、
前記(C)アルカリ可溶性樹脂が、下記一般式(1)で表される部分構造を有するアルカリ可溶性樹脂(c)を含有し、
前記アルカリ可溶性樹脂(c)が、(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂を含み、
前記(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂が、エポキシ樹脂にエチレン性不飽和結合を有する酸又はエステル化合物を付加し、更に多塩基酸又はその無水物を付加させた樹脂であり、
前記着色剤の含有割合が感光性樹脂組成物の全固形分に対して、5質量%以下であることを特徴とする隔壁形成用感光性樹脂組成物。
Figure 0007040089000049

(前記式(1)中、Rは置換基を有していてもよい炭素数1~4の2価の炭化水素基を表す。*は結合手を表す。)
A photosensitive resin composition for forming a partition wall containing (A) an ethylenically unsaturated compound, (B) a photopolymerization initiator , (C) an alkali-soluble resin and a colorant .
The acid value of the photosensitive resin composition for forming a partition wall is 20 mgKOH / g or more with respect to the total solid content, and the acid value is 20 mgKOH / g or more.
The alkali-soluble resin (C) contains an alkali-soluble resin (c) having a partial structure represented by the following general formula (1) .
The alkali-soluble resin (c) contains (c1) epoxy (meth) acrylate resin.
The (c1) epoxy (meth) acrylate resin is a resin obtained by adding an acid or an ester compound having an ethylenically unsaturated bond to the epoxy resin and further adding a polybasic acid or an anhydride thereof.
A photosensitive resin composition for forming a partition wall , wherein the content ratio of the colorant is 5% by mass or less with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition.
Figure 0007040089000049

(In the above formula (1), R 1 represents a divalent hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms which may have a substituent. * Represents a bond.)
前記着色剤の含有割合が感光性樹脂組成物の全固形分に対して、0質量%である請求項1に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to claim 1, wherein the content ratio of the colorant is 0% by mass with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition. 前記アルカリ可溶性樹脂(c)が、カルボキシル基及びエチレン性不飽和基を有する樹脂である、請求項1又は2に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to claim 1 or 2 , wherein the alkali-soluble resin (c) is a resin having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group. 前記(c1)エポキシ(メタ)アクリレート樹脂が、下記一般式(i)で表される繰り返し単位構造を含むエポキシ(メタ)アクリレート樹脂、下記一般式(ii)で表される部分構造を含むエポキシ(メタ)アクリレート樹脂、及び下記一般式(iii)で表される部分構造を含むエポキシ(メタ)アクリレート樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種を含有する、請求項1又は2に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。
Figure 0007040089000050

(式(i)中、Rは水素原子又はメチル基を表し、Rは置換基を有していてもよい2価の炭化水素基を表す。式(i)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。*は結合手を表す。)
Figure 0007040089000051

(式(ii)中、Rは各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。Rは、環状炭化水素基を側鎖として有する2価の炭化水素基を表す。*は結合手を表す。)
Figure 0007040089000052

(式(iii)中、Rは水素原子又はメチル基を表し、γは単結合、-CO-、置換基を有していてもよいアルキレン基、又は置換基を有していてもよい2価の環状炭化水素基を表す。式(iii)中のベンゼン環は、更に任意の置換基により置換されていてもよい。*は結合手を表す。)
The (c1) epoxy (meth) acrylate resin is an epoxy (meth) acrylate resin containing a repeating unit structure represented by the following general formula (i), and an epoxy containing a partial structure represented by the following general formula (ii). The partition wall forming according to claim 1 or 2 , which contains at least one selected from the group consisting of a meta) acrylate resin and an epoxy (meth) acrylate resin containing a partial structure represented by the following general formula (iii). Photosensitive resin composition.
Figure 0007040089000050

(In the formula (i), Ra represents a hydrogen atom or a methyl group, and R b represents a divalent hydrocarbon group which may have a substituent. The benzene ring in the formula (i) further represents. It may be substituted with any substituent. * Represents a bond.)
Figure 0007040089000051

(In formula (ii), R c independently represents a hydrogen atom or a methyl group. R d represents a divalent hydrocarbon group having a cyclic hydrocarbon group as a side chain. * Represents a bond. .)
Figure 0007040089000052

(In the formula (iii), Re represents a hydrogen atom or a methyl group, and γ may have a single bond, —CO—, an alkylene group which may have a substituent, or a substituent. Represents a cyclic hydrocarbon group of valence. The benzene ring in formula (iii) may be further substituted with any substituent. * Represents a bond.)
さらに(D)撥液剤を含有する、請求項1~のいずれか1項に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to any one of claims 1 to 4 , further comprising (D) a liquid repellent. 前記(D)撥液剤が、架橋基を有する撥液剤を含有する、請求項に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to claim 5 , wherein the liquid repellent (D) contains a liquid repellent having a cross-linking group. さらに連鎖移動剤を含有する、請求項1~のいずれか1項に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to any one of claims 1 to 6 , further comprising a chain transfer agent. さらに紫外線吸収剤を含有する、請求項1~のいずれか1項に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition for forming a partition wall according to any one of claims 1 to 7 , further comprising an ultraviolet absorber. 請求項1~のいずれか1項に記載の隔壁形成用感光性樹脂組成物で構成される隔壁。 A partition wall made of the photosensitive resin composition for forming a partition wall according to any one of claims 1 to 8 . 請求項に記載の隔壁を備える有機電界発光素子。 The organic electroluminescent device comprising the partition wall according to claim 9 . 請求項10に記載の有機電界発光素子を含む画像表示装置。 An image display device including the organic electroluminescent element according to claim 10 . 請求項10に記載の有機電界発光素子を含む照明。
Lighting including the organic electroluminescent device according to claim 10 .
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