JP7203600B2 - 温度制御装置 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態に係る温度制御装置1の一例を示す模式図である。図1に示すように、温度制御装置1は、ポンプ2と、平滑器3と、温調器4と、第1温度センサ5と、第2温度センサ6と、フィードフォワード制御部7と、フィードバック制御部8と、出力部9と、記憶部10とを備える。
次に、温度制御装置1による温度制御方法について説明する。図6は、実施形態に係る温度制御方法の一例を示すフローチャートである。
以上説明したように、実施形態によれば、平滑器3が設けられることにより、温調器4に供給される流体Fの温度変動が抑制される。また、実施形態によれば、フィードフォワード制御部7によるフィードフォワード制御とフィードバック制御部8によるフィードバック制御とが組み合わせられる。フィードフォワード制御が実行されることにより、温調部50を高い応答性で制御することができる。これにより、流体Fの温度は精度良く調整される。
図8は、実施形態に係るコンピュータシステム1000の一例を示すブロック図である。フィードフォワード制御部7、フィードバック制御部8、出力部9、及び記憶部10のそれぞれは、コンピュータシステム1000を含む。コンピュータシステム1000は、CPU(Central Processing Unit)のようなプロセッサ1001と、ROM(Read Only Memory)のような不揮発性メモリ及びRAM(Random Access Memory)のような揮発性メモリを含むメインメモリ1002と、ストレージ1003と、入出力回路を含むインターフェース1004とを有する。上述のフィードフォワード制御部7、フィードバック制御部8、出力部9、及び記憶部10のそれぞれの機能は、プログラムとしてストレージ1003に記憶されている。プロセッサ1001は、プログラムをストレージ1003から読み出してメインメモリ1002に展開し、プログラムに従って上述の処理を実行する。なお、プログラムは、ネットワークを介してコンピュータシステム1000に配信されてもよい。
次に、平滑器3の性能を確認するために実施した性能試験の結果について説明する。図1に示したように、ポンプ2、平滑器3、及び温調器4を備える温度制御装置1について性能試験を行った。
上述の実施形態においては、第1温度センサ5は、平滑器3に設けられ、平滑化流路32を流通する流体Fの温度を検出することとした。第1温度センサ5は、第1入口31に設けられ、第1入口31に流入する流体Fの温度Tを検出してもよい。第1温度センサ5は、第1管11に設けられ、第1管11を流通する流体Fの温度Tを検出してもよい。
Claims (7)
- 流体が流入する第1入口、前記第1入口から流入した前記流体が流通する平滑化流路、及び前記平滑化流路を流通した前記流体が流出する第1出口を有し、前記第1出口における前記流体の温度変動量を前記第1入口における前記流体の温度変動量よりも小さくする平滑器と、
前記第1出口から流出した前記流体が流入する第2入口、前記第2入口から流入した前記流体が流通する温調流路、前記温調流路を流通する前記流体の温度を調整する温調部、及び前記温調流路を流通した前記流体が流出する第2出口を有する温調器と、
前記平滑化流路に設定された第1位置において前記流体の温度を検出する第1温度センサと、
前記第2出口よりも下流の第2位置において前記流体の温度を検出する第2温度センサと、
前記第1温度センサの検出データに基づいて、前記温調部による温度調整量を算出するフィードフォワード制御部と、
前記第2温度センサの検出データに基づいて、前記温調部による温度調整量を算出するフィードバック制御部と、を備え、
前記流体が前記第1位置から前記第2入口まで流通するのに要する流通所要時間は、前記温調部のむだ時間よりも長い、
温度制御装置。 - 前記フィードフォワード制御部は、前記温調部のむだ時間を含む動特性と前記第1温度センサの動特性とに基づいて、前記温度調整量を算出する、
請求項1に記載の温度制御装置。 - 前記フィードフォワード制御部は、前記第1温度センサの検出データとむだ時間を含む前記温調器の動特性と前記第1温度センサの動特性と前記流通所要時間とに基づいて、前記第1位置における前記流体の温度の目標温度に対する変動をキャンセルするように、前記温度調整量を算出する、
請求項1に記載の温度制御装置。 - 前記第1位置は、前記平滑化流路に設定される、
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の温度制御装置。 - 前記平滑化流路は、屈曲部を有する、
請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の温度制御装置。 - 前記平滑化流路の内面は、凹凸部を含む、
請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の温度制御装置。 - 前記温調部は、熱電モジュールを含み、
前記温度調整量は、前記熱電モジュールによる吸熱量及び発熱量の少なくとも一方を含む、
請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の温度制御装置。
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