JP7197817B2 - 光電子デバイスの製造方法、及び光電子デバイス製造支援システム - Google Patents
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Description
本発明者等は、上記ウエハの製造工程、及びそれに続くチップの製造工程について、様々な考察、実験、研究を重ねた結果、ウエハの製造工程で不良品の認定要因となる欠陥の発生が多く生じていることを見出した。
11 光電子デバイス検査装置
12 サーバ
12a1、12a2、12a3 欠陥検査結果取得部
12b データベース(DB)
12c データ処理制御部
D ダスト
L1、L2、L3、L4 信号線
Claims (5)
- 光電子デバイスを製造する段階別な基礎工程で不良品の認定要因となる欠陥の発生に係る異なる複数の工程で欠陥検査を実行した結果の検査結果データを取得する検査データ取得工程と、
前記検査結果データを前記複数の工程について工程別に保管する検査結果保管工程と、
前記基礎工程の前記複数の工程で取得された前記検査結果データに含まれる前記欠陥の情報と正常状態の検査結果を示す比較情報とをそれぞれ比較することで同一の欠陥を示すか否かを判定し、当該判定の結果が当該同一の欠陥又は当該欠陥の状態変化を示す場合に、当該検査結果データを履歴データとして保管すると共に、当該履歴データを後続する前記光電子デバイスを製造する段階別な製品化工程へ反映用に提供する欠陥判定結果反映工程と、を有し、
前記基礎工程をウエハの製造工程とし、
前記製品化工程を前記ウエハのチップ化を経てのチップの製造工程とし、
前記欠陥判定結果反映工程では、前記チップの製造工程におけるデバイス検査の前後段階へ前記履歴データを提供し、
前記チップの製造工程での前記デバイス検査は、前記ウエハの状態のまま電気特性を評価するオンウエハ検査と、前記ウエハをチップ化した後の最終的なチップ検査と、を示す
ことを特徴とする光電子デバイスの製造方法。 - 前記検査データ取得工程では、前記欠陥の情報として、少なくとも当該欠陥の位置を必須とし、当該欠陥のサイズ及び形状を含む1種以上のデータを取得する
ことを特徴とする請求項1に記載の光電子デバイスの製造方法。 - 光電子デバイスを製造する段階別な基礎工程で不良品の認定要因となる欠陥の発生に係る異なる複数の工程で欠陥検査を実行した結果の検査結果データを出力する光電子デバイス検査装置と、
前記光電子デバイス検査装置からの前記検査結果データを前記複数の工程について工程別に取得する欠陥検査結果取得部と、
前記欠陥検査結果取得部から出力される前記検査結果データを前記複数の工程の工程別に保管するデータベースと、
前記基礎工程の前記複数の工程で取得された前記検査結果データに含まれる前記欠陥の情報と正常状態の検査結果を示す比較情報とをそれぞれ比較することで同一の欠陥を示すか否かを判定し、当該判定の結果が当該同一の欠陥又は当該欠陥の状態変化を示す場合に、当該検査結果データを履歴データとして前記データベースに保管すると共に、当該履歴データを後続する前記光電子デバイスを製造する段階別な製品化工程へ反映用に提供するデータ処理制御部と、を備え、
前記基礎工程は、ウエハの製造工程であり、
前記製品化工程は、前記ウエハのチップ化を経てのチップの製造工程であり、
前記データ処理制御部は、前記チップの製造工程におけるデバイス検査となる前記ウエハの状態のまま電気特性を評価するオンウエハ検査と、前記ウエハをチップ化した後の最終的なチップ検査との前後段階へ前記履歴データを提供する
ことを特徴とする光電子デバイス製造支援システム。 - 前記光電子デバイス検査装置は、前記欠陥の情報として、少なくとも当該欠陥の位置を必須とし、当該欠陥のサイズ及び形状を含む1項目以上を画像処理することにより、1種以上のデータを出力する
ことを特徴とする請求項3に記載の光電子デバイス製造支援システム。 - 前記データベースは、前記工程別の前記欠陥の情報として、少なくとも当該欠陥の位置に係る座標を必須とし、当該欠陥のサイズに係る方向及び当該欠陥の形状に係る座標群の1種以上のデータをテーブル形式で保管する
ことを特徴とする請求項4に記載の光電子デバイス製造支援システム。
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