JP7184075B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。本開示の半導体装置は、第一の接触領域を含むベース板と、第二の接触領域を含む金属板と、ベース板と金属板との間に配置され、第一の接触領域および第二の接触領域と接触して金属板とベース板とを接合する接合材と、金属板上に配置される絶縁板と、絶縁板と接触して絶縁板上に配置される回路部材と、回路部材上に搭載される半導体素子と、金属板、接合材、絶縁板、回路部材、および半導体素子を覆って、ベース板上の空間を封止する封止材とを備える。金属板の第二の面は、第二の接触領域の外側に、接合材と接触しない非接触領域を含む。ベース板には、非接触領域に対向し、第一の接触領域を取り囲む溝部が設けられている。ベース板の板厚方向に見た平面視において、溝部の角部の内縁は第一の曲線を有する。
次に、本開示の一実施形態に係る半導体装置を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照符号を付しその説明は繰り返さない。
図1は、本開示の一実施形態に係る半導体装置の構成を示す概略断面図である。図2は、図1に示す半導体装置の一部を拡大して示す断面図である。図2は、図1に示す半導体装置において、封止材等を取り除いた状態を示している。図1および図2は、半導体装置をベース板の板厚方向に沿って切断した断面に相当する。図3は、図1に示す半導体装置を構成する部材の一部を分解して示す分解斜視図である。図4は、図1に示す半導体装置を構成する部材の一部をベース板の板厚方向に見た平面視を示す図である。図4は、図1に示す矢印IVで示す方向から見た場合に相当する。また、理解の容易の観点から、図4において、平面的に見て金属板と重なるベース板の壁面の内縁を図示している。
実施の形態1において、内縁接続部53は、外周に向かって凸状となる一つの円弧状の第一の曲線から構成される場合について説明したが、内縁接続部53は、複数の曲線から構成されていてもよい。図5は、本開示の他の実施形態である実施の形態2に係る半導体装置11が備える金属板13およびベース板12の一部を示す図である。図5は、図4中の破線で示す円の内部の領域に相当する図である。図5を参照して、ベース板12の内縁接続部53は、複数の曲線から構成されている。具体的には、内縁接続部53は、外周側に凸状となる二つの円弧状の曲線61、62と、中央に向かって凸状となる一つの円弧状の曲線63とを含む。言葉を換えて言えば、ベース板12の板厚方向に見た平面視において、溝部41の角部の内縁は、複数の曲線を61、62、及び63を有する。なお、図5は溝部41の4つの角部のうちの一つを示すが、他の角部も同様の構成であってもよい。曲線61は、第一内縁領域および曲線63に接続されている。曲線62は、第二内縁領域および曲線63に接続されている。曲線63は、曲線61、62にそれぞれ接続されている。実施の形態2に係る半導体装置は、特に図5中の破線で示す内縁接続部53の外周側の領域において、内縁接続部53と金属板13の外縁との距離が短くなるおそれを低減することができる。このようにすることによっても、接合材14と封止材21との界面剥離および封止材21のクラックの発生を抑制して、信頼性の高い半導体装置11とすることができる。
実施の形態1および実施の形態2においては、内縁接続部53は、曲線のみから構成される場合について説明したが、内縁接続部53は、ベース板12の板厚方向に見た平面視において、直線と、直線の両端のそれぞれに接続される複数の曲線とから構成されていてもよい。図6は、本開示のさらに他の実施形態である実施の形態3に係る半導体装置11に備えられる金属板13およびベース板12の一部を示す図である。図6は、図4中の破線で示す円の内部の領域に相当する図である。図6を参照して、ベース板12の内縁接続部53は、ベース板12の板厚方向に見た平面視において、直線と、直線の両端のそれぞれに接続される複数の曲線とから構成されている。具体的には、内縁接続部53は、外周側に凸状となる二つの円弧状の曲線66、67と、第一の方向および第二の方向の双方に傾斜して延びる直線68とを含む。言葉を換えて言えば、ベース板12の板厚方向に見た平面視において、溝部41の角部の内縁は、直線68と、直線68の両端にそれぞれ接続される曲線66及び67を有する。なお、図6は溝部41の4つの角部のうちの一つを示すが、他の角部も同様の構成であってもよい。曲線66は、第一内縁領域51および直線68に接続されている。曲線67は、第二内縁領域52および直線68に接続されている。直線68は、両端のそれぞれに曲線66、67が接続されている。実施の形態3に係る半導体装置は、特に図6中の破線で示す内縁接続部53の外周側の領域において、内縁接続部53と金属板13の外縁との距離が短くなるおそれを低減することができる。このようにすることによっても、接合材14と封止材21との界面剥離および封止材21のクラックの発生を抑制して、信頼性の高い半導体装置11とすることができる。
内縁接続部53はさらに多くの曲線および直線を含むこととしてもよい。図7は、本開示のさらに他の実施形態である実施の形態4に係る半導体装置11に備えられる金属板13およびベース板12の一部を示す図である。図7は、図4中の破線で示す円の内部の領域に相当する図である。図7を参照して、ベース板12の内縁接続部53は、三つの曲線71、72、73と二つの直線74、75とを含む。言葉を換えて言えば、ベース板12の板厚方向に見た平面視において、溝部41の角部の内縁は、曲線71、72、73と二つの直線74、75を有する。なお、図7は溝部41の4つの角部のうちの一つを示すが、他の角部も同様の構成であってもよい。曲線71は、第一内縁領域51および直線74に接続されている。曲線72は、第二内縁領域52および直線75に接続されている。曲線73は、直線74、75に接続されている。曲線73は、外周に向かって凸状である。直線74の両端はそれぞれ、曲線71、73に接続されている。直線75の両端はそれぞれ、曲線72、73に接続されている。実施の形態4に係る半導体装置は、特に図7中の破線で示す内縁接続部53の外周側の領域において、内縁接続部53と金属板13の外縁との距離が短くなるおそれを低減することができる。このようにすることによっても、接合材14と封止材21との界面剥離および封止材21のクラックの発生を抑制して、信頼性の高い半導体装置11とすることができる。
図8は、本開示のさらに他の実施形態である実施の形態5に係る半導体装置11の一部を示す断面図である。図9は、図8に示す半導体装置を構成する部材の一部をベース板の板厚方向に見た平面視を示す図である。
12 ベース板
13 金属板
14,17 接合材
15 絶縁板
16 回路部材
18,19 半導体素子
21 封止材
22,23 端子
24 外枠
25,26,27 外縁
28 露出領域
29 被覆層
31,32,33,34,35,36,37 面
38,39 ボンディングワイヤ
41 溝部
42 内壁面
43 外壁面
44 底壁面
45 内縁
46 第一の接触領域
47 第二の接触領域
48 中央
51 第一内縁領域
52 第二内縁領域
53 内縁接続部
54 第一延長線
55 第二延長線
56 第一の曲線
57 第一外縁領域
58 第二外縁領域
59 外縁接続部
60 第二の曲線
61,62,63,66,67,71,72,73 曲線
68,74,75 直線
Claims (5)
- 第一の面を有し、前記第一の面内に第一の接触領域を含むベース板と、
第二の面を有し、前記第二の面が前記第一の面と対向するように配置され、前記第二の面内に第二の接触領域を含む金属板と、
前記第一の面と前記第二の面との間に配置され、前記第一の接触領域および前記第二の接触領域と接触して前記金属板と前記ベース板とを接合する接合材と、
前記金属板上に配置される絶縁板と、
前記絶縁板上に配置される回路部材と、
前記回路部材上に搭載される半導体素子と、
前記金属板、前記接合材、前記絶縁板、前記回路部材、および前記半導体素子を覆って、前記ベース板上の空間を封止する封止材とを備え、
前記第二の面は、前記第二の接触領域の外側に、前記接合材と接触しない非接触領域を含み、
前記ベース板には、前記非接触領域に対向し、前記第一の接触領域を取り囲む溝部が設けられており、
前記ベース板の板厚方向に見た平面視において、前記溝部の角部の内縁は第一の曲線を有し、
前記ベース板の板厚方向に見た平面視において、前記金属板の角部の外縁は第二の曲線を有し、
前記第一の曲線は、外周に向かって凸状となる円弧状を有し、
前記第二の曲線は、外周に向かって凸状となる円弧状を有し、
前記第一の曲線の曲率半径は、前記第二の曲線の曲率半径よりも大きい、半導体装置。 - 第一の面を有し、前記第一の面内に第一の接触領域を含むベース板と、
第二の面を有し、前記第二の面が前記第一の面と対向するように配置され、前記第二の面内に第二の接触領域を含む金属板と、
前記第一の面と前記第二の面との間に配置され、前記第一の接触領域および前記第二の接触領域と接触して前記金属板と前記ベース板とを接合する接合材と、
前記金属板上に配置される絶縁板と、
前記絶縁板上に配置される回路部材と、
前記回路部材上に搭載される半導体素子と、
前記金属板、前記接合材、前記絶縁板、前記回路部材、および前記半導体素子を覆って、前記ベース板上の空間を封止する封止材とを備え、
前記第二の面は、前記第二の接触領域の外側に、前記接合材と接触しない非接触領域を含み、
前記ベース板には、前記非接触領域に対向し、前記第一の接触領域を取り囲む溝部が設けられており、
前記ベース板の板厚方向に見た平面視において、前記溝部の角部の内縁は第一の曲線を有し、
前記非接触領域には、前記金属板よりも濡れ性の低い被覆層が形成される、半導体装置。 - 第一の面を有し、前記第一の面内に第一の接触領域を含むベース板と、
第二の面を有し、前記第二の面が前記第一の面と対向するように配置され、前記第二の面内に第二の接触領域を含む金属板と、
前記第一の面と前記第二の面との間に配置され、前記第一の接触領域および前記第二の接触領域と接触して前記金属板と前記ベース板とを接合する接合材と、
前記金属板上に配置される絶縁板と、
前記絶縁板上に配置される回路部材と、
前記回路部材上に搭載される半導体素子と、
前記金属板、前記接合材、前記絶縁板、前記回路部材、および前記半導体素子を覆って、前記ベース板上の空間を封止する封止材とを備え、
前記第二の面は、前記第二の接触領域の外側に、前記接合材と接触しない非接触領域を含み、
前記ベース板には、前記非接触領域に対向し、前記第一の接触領域を取り囲む溝部が設けられており、
前記ベース板の板厚方向に見た平面視において、前記溝部の角部の内縁は、直線と前記直線の両端にそれぞれ接続される複数の曲線を有する、半導体装置。 - 前記ベース板の板厚方向に見た平面視において、前記溝部の内縁は、前記角部の一端に接続される第一の直線と、前記角部の他端に接続される第二の直線と、を有し、
前記ベース板の板厚方向に見た平面視において、前記角部は、前記第一の直線と前記第二の直線とを延長することで規定される領域の内側に位置する、請求項1~請求項3のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記非接触領域は、前記ベース板の板厚方向に見た平面視において、前記角部の外周側の領域を含む、請求項1~請求項4のいずれか1項に記載の半導体装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018044936 | 2018-03-13 | ||
JP2018044936 | 2018-03-13 | ||
PCT/JP2019/000931 WO2019176260A1 (ja) | 2018-03-13 | 2019-01-15 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019176260A1 JPWO2019176260A1 (ja) | 2021-02-25 |
JP7184075B2 true JP7184075B2 (ja) | 2022-12-06 |
Family
ID=67908328
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020505618A Active JP7184075B2 (ja) | 2018-03-13 | 2019-01-15 | 半導体装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11393733B2 (ja) |
JP (1) | JP7184075B2 (ja) |
WO (1) | WO2019176260A1 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005353945A (ja) | 2004-06-14 | 2005-12-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2016195224A (ja) | 2015-04-01 | 2016-11-17 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5041901A (en) * | 1989-05-10 | 1991-08-20 | Hitachi, Ltd. | Lead frame and semiconductor device using the same |
WO2013118478A1 (ja) * | 2012-02-09 | 2013-08-15 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
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US9397053B2 (en) * | 2014-10-15 | 2016-07-19 | Hong Kong Applied Science and Technology Research Institute Company Limited | Molded device with anti-delamination structure providing multi-layered compression forces |
JP6724449B2 (ja) * | 2016-03-18 | 2020-07-15 | 富士電機株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
-
2019
- 2019-01-15 US US16/971,089 patent/US11393733B2/en active Active
- 2019-01-15 WO PCT/JP2019/000931 patent/WO2019176260A1/ja active Application Filing
- 2019-01-15 JP JP2020505618A patent/JP7184075B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005353945A (ja) | 2004-06-14 | 2005-12-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2016195224A (ja) | 2015-04-01 | 2016-11-17 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11393733B2 (en) | 2022-07-19 |
US20200395255A1 (en) | 2020-12-17 |
WO2019176260A1 (ja) | 2019-09-19 |
JPWO2019176260A1 (ja) | 2021-02-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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