JP7177496B2 - マイクロ光学ベンチコンポーネントを用いる、面内光学軸を備えた光学mems構造のバッチ試験用の集積化光学プローブカード及びシステム - Google Patents
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Description
本出願は、2016年11月21日に米国特許商標庁に出願された仮出願第62/425,028号、及び2017年11月20日に米国特許商標庁に出願された米国特許出願第15/818,736号の優先権及び利益を主張し、それらの出願の内容全体が、あたかもその全体において以下で完全に明らかにされるかのように、且つ全ての適用可能な目的のために、参照によって本明細書に援用される。
Claims (18)
- ミラー及びアクチュエータを含む光学MEMS構造をバッチ試験するための集積化光学プローブカードにおいて、
入力ビームを生成するように、且つ光学MEMS構造の方へ前記入力ビームを提供するように構成されたソースであって、前記光学MEMS構造が、面内光学軸を含む、ソースと、
前記光学MEMS構造からの出力ビームを受信するように光学的に結合された検出器と、
前記面内光学軸に垂直な面外方向に伝搬する前記入力ビームを前記ソースから受信するように、且つ前記光学MEMS構造の前記面内光学軸を含む面内方向に前記入力ビームを方向転換して、前記入力ビームを前記面内方向で前記光学MEMS構造に注入するように、前記集積化光学プローブカード上に集積された、且つ光学的に結合されたマイクロ光学ベンチコンポーネントであって、前記面内方向に伝搬する前記出力ビームを前記光学MEMS構造から受信するように、且つ前記検出器の方へ、前記面外方向に前記出力ビームを方向転換するように、更に光学的に結合されたマイクロ光学ベンチコンポーネントと、
含み、
前記マイクロ光学ベンチコンポーネントが、前記光学MEMS構造を構成するウェーハの被エッチング層であるデバイス層に形成され、
前記入力ビームが伝搬する前記面外方向に延びる光学プローブカードヘッド及び前記出力ビームが伝搬する前記面外方向に延びる光学プローブカードヘッドが、前記デバイス層の被エッチング部分に光学的に結合されることを特徴とする集積化光学プローブカード。 - 請求項1に記載の集積化光学プローブカードにおいて、
前記マイクロ光学ベンチコンポーネントが、
前記光学MEMS構造内の前記入力ビームの伝搬用に、前記面外方向から前記面内方向に前記入力ビームを方向転換するように光学的に結合された第1のマイクロ光学ベンチコンポーネントと、
前記面内方向から前記面外方向に前記出力ビームを方向転換するように光学的に結合された第2のマイクロ光学ベンチコンポーネントと、
を含むことを特徴とする集積化光学プローブカード。 - 請求項2に記載の集積化光学プローブカードにおいて、
前記第1のマイクロ光学ベンチコンポーネントが、第1の切断面を生成するために、45度の切断角度で切断された第1の光ファイバを含み、
前記第2のマイクロ光学ベンチコンポーネントが、第2の切断面を生成するために、45度の切断角度で切断された第2の光ファイバを含むことを特徴とする集積化光学プローブカード。 - 請求項3に記載の集積化光学プローブカードにおいて、
前記第1の切断面が、全内部反射を利用して前記光学MEMS構造の方へ、前記面外方向から前記面内方向に前記入力ビームを方向転換するように構成され、
前記第2の切断面が、全内部反射を利用して前記検出器の方へ、前記面内方向から前記面外方向に前記出力ビームを方向転換するように構成されることを特徴とする集積化光学プローブカード。 - 請求項3に記載の集積化光学プローブカードにおいて、
前記第1の切断面が、前記光学MEMS構造の方へ、前記面外方向から前記面内方向に前記入力ビームを方向転換するように構成された第1の反射コーティングを含み、
前記第2の切断面が、前記検出器の方へ、前記面内方向から前記面外方向に前記出力ビームを方向転換するように構成された第2の反射コーティングを含むことを特徴とする集積化光学プローブカード。 - 請求項5に記載の集積化光学プローブカードにおいて、
前記第1及び前記第2の光ファイバのそれぞれが、それぞれの集積化grinレンズを含むことを特徴とする集積化光学プローブカード。 - 請求項2に記載の集積化光学プローブカードにおいて、
前記第1のマイクロ光学ベンチコンポーネントが、第1のマイクロプリズムを含み、前記第2のマイクロ光学ベンチコンポーネントが、第2のマイクロプリズムを含み、
前記ソースから前記入力ビームを受信するように、且つ前記第1のマイクロプリズムの方へ前記入力ビームを導くように光学的に結合された入力光ファイバと、
前記第2のマイクロプリズムから前記出力ビームを受信するように、且つ前記検出器の方へ前記出力ビームを導くように光学的に結合された出力光ファイバと、
を更に含むことを特徴とする集積化光学プローブカード。 - 請求項7に記載の集積化光学プローブカードにおいて、
前記第1のマイクロプリズムが、前記光学MEMS構造の方へ、前記面外方向から前記面内方向に前記入力ビームを方向転換するように構成された第1の金属化表面を含み、
前記第2のマイクロプリズムが、前記検出器の方へ、前記面内方向から前記面外方向に前記出力ビームを方向転換するように構成された第2の金属化表面を含むことを特徴とする集積化光学プローブカード。 - 請求項8に記載の集積化光学プローブカードにおいて、
前記第1の金属化表面及び前記第2の金属化表面が、各々の曲面をそれぞれ含むことを特徴とする集積化光学プローブカード。 - 請求項8に記載の集積化光学プローブカードにおいて、
前記入力光ファイバが、前記第1のマイクロプリズムを介して、前記光学MEMS構造に前記入力ビームを集束させるように光学的に結合された第1の集積化レンズを含み、
前記出力光ファイバが、前記検出器の方へ、前記出力ビームを集束させるように光学的に結合された第2の集積化レンズを含むことを特徴とする集積化光学プローブカード。 - 請求項7に記載の集積化光学プローブカードにおいて、
前記第1のマイクロプリズムが、全内部反射を利用して前記光学MEMS構造の方へ、前記面外方向から前記面内方向に前記入力ビームを方向転換するように構成され、
前記第2のマイクロプリズムが、全内部反射を利用して前記検出器の方へ、前記面内方向から前記面外方向に前記出力ビームを方向転換するように構成されることを特徴とする集積化光学プローブカード。 - 請求項11に記載の集積化光学プローブカードにおいて、
前記第1のマイクロプリズム及び前記第2のマイクロプリズムが、各々の曲面をそれぞれ含むことを特徴とする集積化光学プローブカード。 - 請求項1に記載の集積化光学プローブカードにおいて、
前記面外方向に伝搬する前記入力ビームを前記マイクロ光学ベンチコンポーネントの方へ導くように光学的に結合された、且つ前記マイクロ光学ベンチコンポーネントから前記面外方向に伝搬する前記出力ビームを受信するように更に光学的に結合されたシングルコア光ファイバと、
前記シングルコア光ファイバ、前記ソース及び前記検出器に光学的に結合された方向性結合器であって、前記ソースからの前記入力ビームを前記シングルコア光ファイバに導くように、且つ前記シングルコア光ファイバからの前記出力ビームを前記検出器に導くように構成される方向性結合器と、
を更に含むことを特徴とする集積化光学プローブカード。 - 請求項1に記載の集積化光学プローブカードにおいて、
前記ソースからの前記入力ビームを前記マイクロ光学ベンチコンポーネントの方へ導くように光学的に結合された、且つ前記マイクロ光学ベンチコンポーネントからの前記出力ビームを前記検出器に導くように更に光学的に結合されたデュアルコア光ファイバ又は光ファイバ束を更に含むことを特徴とする集積化光学プローブカード。 - 請求項1に記載の集積化光学プローブカードにおいて、
電子プローブカードに取り付けられることを特徴とする集積化光学プローブカード。 - 請求項15に記載の集積化光学プローブカードにおいて、
前記電子プローブカードの1つ又は複数の電子ニードルに接して組み立てられることを特徴とする集積化光学プローブカード。 - 請求項1に記載の集積化光学プローブカードにおいて、
前記マイクロ光学ベンチコンポーネントが作製されるプローブカード本体を更に含み、且つ少なくとも1つの光ファイバを受け入れるように構成される、前記プローブカード本体上に作製される少なくとも1つのグルーブを更に含むことを特徴とする集積化光学プローブカード。 - ウェーハ試験を実行するためのシステムにおいて、
試験下の複数のダイを含むウェーハであって、試験下の前記ダイのそれぞれが、ミラー及びアクチュエータを含む複数の光学MEMS構造のそれぞれの1つを含み、前記複数の光学MEMS構造のそれぞれが、面内光学軸を含む、ウェーハと、
光学プローブカードであって、
入力ビームを生成するように、且つ前記複数の光学MEMS構造における光学MEMS構造の方へ前記入力ビームを提供するように構成されたソースと、
前記光学MEMS構造から出力ビームを受信するように光学的に結合された検出器と、
前記面内光学軸に垂直な面外方向に伝搬する前記入力ビームを前記ソースから受信するように、且つ前記光学MEMS構造の前記面内光学軸を含む面内方向に前記入力ビームを方向転換して、前記入力ビームを前記面内方向で前記光学MEMS構造に注入するように、前記光学プローブカード上に集積された、且つ光学的に結合されたマイクロ光学ベンチコンポーネントであって、前記面内方向に伝搬する前記出力ビームを前記光学MEMS構造から受信するように、且つ前記検出器の方へ、前記面外方向に前記出力ビームを方向転換するように、更に光学的に結合されたマイクロ光学ベンチコンポーネントと、を含む光学プローブカードと、
を含み、
前記マイクロ光学ベンチコンポーネントが、前記ウェーハの被エッチング層であるデバイス層に形成され、
前記入力ビームが伝搬する前記面外方向に延びる光学プローブカードヘッド及び前記出力ビームが伝搬する前記面外方向に延びる光学プローブカードヘッドが、前記デバイス層の被エッチング部分に光学的に結合されることを特徴とするシステム。
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