JP7167003B2 - 吸引装置 - Google Patents
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Description
吸引装置であって、
減圧容器と、
上記減圧容器内に充填されて、吸引対象物と異なる気体を吸着する吸着剤と、
吸引ノズルと、
上記吸引ノズルを開閉するバルブとを備えたことを特徴とする。
以下、本発明の実施形態として、大気中の主に窒素と酸素を含む空気(吸引対象物と異なる気体)を吸引して、他の吸引対象物である塵埃、粒状物、粉状物等の固形物や他の気体などを吸引する吸引装置の例を図面に基づいて詳細に説明する。
次に、吸引装置が、例えばクリーンルームにおいて密閉作業室210の内部でのみ使用されるべきガスがリークした場合に、そのようなガスを吸引する、いわゆる除害装置等として用いられる例を説明する。
110 減圧容器
111 容器
112 蓋
113 吸着剤
114 吸引バルブ
115 排気バルブ
116 圧力計
117 容器側ホース
120 トラップ
121 ノズル側ホース
130 吸引ノズル
131 ノズルバルブ
132 ノズル口
200 クリーンルーム装置
210 密閉作業室
220 配管接続箱
221 開閉バルブ
222 圧力計
223 開閉バルブ
224 マスフローコントローラ
231・232 ボンベ
233・234 ホース
Claims (11)
- 減圧容器と、
上記減圧容器内に充填されて、吸引対象物と異なる気体を吸着する吸着剤と、
吸引ノズルと、
上記吸引ノズルを開閉するバルブとを備え、
上記吸着剤による上記吸引対象物と異なる気体の吸着能力が吸引対象物よりも高いことを特徴とする吸引装置。 - 請求項1の吸引装置であって、
上記吸引ノズルと上記減圧容器との間に、液体、または固形物を捕捉する捕捉部が設けられていることを特徴とする吸引装置。 - 請求項1から請求項2のうち何れか1項の吸引装置であって、
さらに、上記吸引ノズルを介して流れる気体の流量もしくは流速、または吸引ノズル内外の圧力差を制御する制御装置を備えたことを特徴とする吸引装置。 - 請求項1から請求項3のうち何れか1項の吸引装置であって、
さらに、上記減圧容器内の圧力を検出する圧力計を備えたことを特徴とする吸引装置。 - 請求項1から請求項4のうち何れか1項の吸引装置であって、
上記減圧容器は、交換可能、または複数の減圧容器が接続可能に構成されていることを特徴とする吸引装置。 - 請求項1から請求項5のうち何れか1項の吸引装置であって、
上記吸引対象物は気体であることを特徴とする吸引装置。 - 請求項6の吸引装置であって、
さらに、上記吸引対象物の気体を検知して上記バルブを開く制御装置を備えたことを特徴とする吸引装置。 - 請求項1から請求項5のうち何れか1項の吸引装置であって、
上記吸引対象物は固形物であることを特徴とする吸引装置。 - 請求項8の吸引装置であって、
さらに、上記吸引ノズルに吸引対象物を粉砕する粉砕部が設けられていることを特徴とする吸引装置。 - 請求項1から請求項9のうち何れか1項の吸引装置であって、
上記吸着剤は、上記吸引対象物よりも空気の吸着能力が高いことを特徴とする吸引装置。 - 請求項10の吸引装置であって、
上記吸着剤は、窒素と酸素の吸着能力の比が、空気中の窒素と酸素の分圧の比に等しいことを特徴とする吸引装置。
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