JP2002360468A - 真空掃除機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 吸引に伴う排気が一切生じることがなく、極
めて清浄な環境下で使用することが可能で、かつ、構造
が簡単な真空掃除機を提供する。 【解決手段】 予め真空排気され、内部が真空状態とな
った真空容器１と、当該真空容器１の気密を保つととも
に、真空掃除機１００の使用に際して開かれるバルブ２
と、バルブ２に取り付けられる吸引部２０を備えてい
る。バルブ２は、いわゆるゲートバルブであり、バルブ
２内のゲート弁２２を閉じた状態では真空容器１内の気
密は保たれている。バルブ２の真空容器１の取り付け面
とは反対側には、接続口２３が取り付けられており、当
該接続口２３には、ねじ込みにより接続アダプター３１
が取り付けられる構成となっている。そして、接続アダ
プター３１にはフレキシブルな吸引ホース３２等がアタ
ッチメントとして取り付けられる構成となっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は真空掃除機に関し、
特に、吸引に伴う排気が発生しない真空掃除機に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来の真空掃除機の多くは、モータに取
り付けたファンの回転により発生した吸引力により、ゴ
ミを吸引する方式を採用しており、ファンの回転に伴っ
て空気が排気され、この排気とともに、吸引したゴミの
一部が再放出されたり、また、周囲のゴミが吹き飛ばさ
れて、飛散することは避けられなかった。

【０００３】また、手動により真空状態を作り出す真空
掃除機として、アコーディオン状に伸縮するフレキシブ
ル容器に吸入口を取り付け、手動によりフレキシブル容
器の容積を拡大することで容器内に低真空状態を作り出
し、外部との圧力差によって吸入口からゴミを吸引する
方式を採用するものもあるが、再度使用するには、フレ
キシブル容器を縮小させねばならず、その際には、内部
の空気が排気されるので、吸引したゴミの再放出や、排
気によるゴミの飛散は避けられなかった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】モータ駆動による真空
掃除機においては、昨今は、排気量の少ない製品が開発
されているが、それでも排気はゼロではなく、家庭やオ
フィスなど、一般的な環境下で使用するには問題ない
が、半導体装置の製造工場のクリーンルームなど、極め
て清浄な環境下で使用することはできない。

【０００５】クリーンルームなどでは、排気をクリーン
ルーム外にまで導くように設計された特殊な掃除機を用
いるが、このような掃除機は大がかりなものであり、排
気ダクトをクリーンルームの床下に配設するなどの設備
が必要であった。

【０００６】本発明は上記のような問題点を解消するた
めになされたもので、吸引に伴う排気が一切生じること
がなく、極めて清浄な環境下で使用することが可能で、
かつ、構造が簡単な真空掃除機を提供することを目的と
する。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明に係る請求項１記
載の真空掃除機は、予め真空排気され、真空排気後は、
真空排気系から独立して内部を大気圧より低い圧力に保
つ真空容器と、前記真空容器の開口部に接続され、閉じ
ることにより、前記真空容器を気密に保つ第１のバルブ
と、前記第１のバルブを開くことで、前記真空容器の内
外の圧力差により、前記真空容器内に吸引される気体の
流路を規定する吸引部とを備えている。

【０００８】本発明に係る請求項２記載の真空掃除機
は、前記吸引部が、前記第１のバルブに接続され、前記
第１のバルブは、開口状態を調整可能なバルブであり、
前記第１のバルブの開口状態を調整することで、前記吸
引部に吸引される前記気体の吸引力を調整する。

【０００９】本発明に係る請求項３記載の真空掃除機
は、前記第１のバルブがゲートバルブであって、ゲート
弁が開口部を覆う面積により開口状態を調整する。

【００１０】本発明に係る請求項４記載の真空掃除機
は、前記気体の流れに対して、前記第１のバルブよりも
上流側に配設され、開口状態を調整可能な第２のバルブ
をさらに備え、前記吸引部は、前記第２のバルブに接続
され、前記第２のバルブの開口状態を調整することで、
前記吸引部に吸引される前記気体の吸引力を調整する。

【００１１】本発明に係る請求項５記載の真空掃除機
は、前記第２のバルブがゲートバルブであって、ゲート
弁が開口部を覆う面積により開口状態を調整する。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明に係る真空掃除機は、その
開口部にバルブが設けられ、内部が大気圧より低い圧力
に保たれた真空容器を準備し、バルブを開状態とするこ
とで、内外の圧力差により吸引力を発生させてゴミを吸
引するものである。

【００１３】以下、図１〜図８を用いて、本発明に係る
真空掃除機の実施の形態について説明する。

【００１４】＜Ａ．装置構成＞まず、図１に本発明に係
る真空掃除機１００の全体構成を示す。図１において、
真空掃除機１００は、予め真空排気され、内部が真空状
態となった真空容器１と、当該真空容器１の気密を保つ
とともに、真空掃除機１００の使用に際して開かれるバ
ルブ２と、バルブ２に取り付けられる吸引部２０を備え
ている。

【００１５】バルブ２は、いわゆるゲートバルブであ
り、バルブ２内のゲート弁２２を閉じた状態では真空容
器１内の気密は保たれている。ゲート弁２２の開閉はハ
ンドル２１の操作に連動し、ハンドル２１を回転させる
ことでバルブ２内のゲート弁２２を開き、真空容器１内
の圧力と、外部の圧力との差によって吸引力を発生させ
ることができる。なお、ハンドル２１の回転状態によっ
てゲート弁２２の開き状態を調整でき、吸引力を調整で
きる。

【００１６】バルブ２の真空容器１の取り付け面とは反
対側の主面には、接続口２３が取り付けられており、当
該接続口２３には、ねじ込みにより接続アダプター３１
が取り付けられる構成となっている。そして、接続アダ
プター３１にはフレキシブルな吸引ホース３２等がアタ
ッチメントとして取り付けられる構成となっている。な
お、接続アダプター３１と吸引ホース３２とで吸引部２
０を構成する。

【００１７】次に、バルブ２の構成例について図２を用
いて説明する。図２は、図１におけるＡ−Ａ線での断面
を示している。図２に示されるように、バルブ２は、真
空容器１側の円形状の開口部ＯＰを塞ぐことが可能な大
きさの円板状のゲート弁２２を有し、ゲート弁２２の主
面が開口部ＯＰに完全に対面して位置することで、ゲー
ト弁２２の開口部ＯＰ側の主面に設けた、図示しないシ
ール材（Ｏ−リング等）が、バルブ２のケースＣＳの平
面部内面に密着して真空容器１を気密に保つことができ
る。

【００１８】ゲート弁２２は、ハンドル２１の回転を直
線運動に変換する駆動機構ＭＳに接続され、開口部ＯＰ
に対して平行にスライド可能な構成となっている。そし
て、ゲート弁２２が開口部ＯＰ上からずれることで真空
容器１の気密が破られ、ゲート弁２２が開口部ＯＰ上か
らずれるに従って、開口部ＯＰの実効的な開口面積が増
える。

【００１９】従って、ゲート弁２２の開口部ＯＰ上から
のずれ量を調整することで、開口部ＯＰの実効的な開口
面積を変えることができる。

【００２０】なお、バルブ２としては、開口部の開口状
態を調整可能で、吸引力を調整できるのであればゲート
バルブ以外のバルブを使用しても良いが、ゲートバルブ
は、その他のバルブに比べて開口面積を大きくでき、ま
た、気体の流通方向の厚みを薄くできるので、コンパク
トな真空掃除機を得ることができる。

【００２１】駆動機構ＭＳの最も単純な構成としては、
図２に示すように、ハンドル２１の回転力を複数のかさ
歯車ＢＧを介して、ゲート弁２２のスライド方向に平行
に配設されたボールネジＢＴに与え、ボールネジＢＴを
回転させることで、ボールネジＢＴに係合するゲート弁
２２を直線的にスライドさせる構成が考えられる。もち
ろん、ゲート弁２２の駆動機構の構成は上記に限定され
るものではなく、ゲート弁２２をスライドさせることが
できるのであれば何でも良い。

【００２２】次に、図３を用いて接続口２３および接続
アダプター３１の構成について説明する。図３は、バル
ブ２を含めた接続口２３および接続アダプター３１の構
成を示す部分断面図である。

【００２３】図３に示すように、接続口２３は円筒状を
なし、その内周面にはネジ２３１が形成されている。一
方、接続アダプター３１は外周面にネジ３１１が形成さ
れた円筒状をなし、接続口２３のネジ２３１（雌ねじ）
に、接続アダプター３１のネジ３１１（雄ねじ）を係合
させることで、接続口２３に接続アダプター３１を接続
することができる。

【００２４】ここで、接続アダプター３１のネジ３１１
が形成された部分の直径は、他の部分の直径よりも細
く、両者の間に段差が生じている。この段差部分、すな
わち、ネジ３１１の周囲を囲む部分にはシール材（例え
ばＯ−リング）３１２が配設されており、接続アダプタ
ー３１のねじ込みによりシール材３１２が接続口２３の
先端部に接触し、密着することで、接続口２３と接続ア
ダプター３１との間の気密を保つことができる。

【００２５】なお、接続口２３および接続アダプター３
１の接続関係は、逆であっても良い。すなわち、接続口
２３の外周面にネジ２３１を設け、接続アダプター３１
の内周面ネジ３１１を設け、接続アダプター３１を接続
口２３に被せるようにしてねじ込む構成としても良い。

【００２６】また、接続アダプター３１のネジ３１１が
配設された側とは反対側の開口部は、吸引ホース３２を
取り付けるための取り付け口３１３として突出してい
る。なお、本例では、吸引ホース３２は、弾力を有する
樹脂で構成されるものとしており、取り付け口３１３の
外径よりも若干小さな内径の吸引ホース３２を取り付け
口３１３に挿入することで、吸引ホース３２が取り付け
口３１３に密着するものとしているが、これは一例であ
り、吸引ホース３２と接続アダプター３１とをネジ止め
により接続したり、急速継手（quick disconnect join
t）などのようなワンタッチ式の継手を取り付け口３１
３の代わりに設け、吸引ホース３２を着脱自在の構成と
しても良い。

【００２７】なお、図３において、ゲート弁２２の開口
部ＯＰ側の主面の端縁部に、Ｏ−リング等のシール材２
２１が配設された状態を併せて示している。

【００２８】図４は、バルブ２と、吸引部２０との接続
を示しており、バルブ２の接続口２３に接続アダプター
３１をねじ込み、接続アダプター３１の取り付け口３１
３に吸引ホース３２を挿入する状態を示している。

【００２９】＜Ｂ．装置動作＞次に、図５を参照して真
空掃除機１００の動作について説明する。先に説明した
ように、真空掃除機１００は、真空容器１内の圧力と、
外部の圧力との差によって吸引力を発生させ、目的とす
るゴミを吸引するものである。従って、吸引力の持続時
間は真空容器１の容積と、バルブ２内のゲート弁２２の
開き状態によって決まり、吸引時間には限りがある。

【００３０】図５は、時間（横軸）の経過に対する真空
容器内の圧力（縦軸）の変化を示す図であり、ゲート弁
２２に相当する調整弁の開口率を種々変えて、単位時間
当たりの吸引量（Ｓ）を変えた場合のそれぞれの圧力変
化の実測データを示している。

【００３１】すなわち、図５において、白抜き四角
（□）で示すグラフは、吸引量（Ｓ）が０．０５ｌ／se
cの場合の圧力変化を示しており、黒塗り四角（■）で
示すグラフは、吸引量（Ｓ）が０．０７ｌ／secの場合
の圧力変化を示しており、白抜き三角（△）で示すグラ
フは、吸引量（Ｓ）が０．１ｌ／secの場合の圧力変化
を示しており、白抜き丸（○）で示すグラフは、吸引量
（Ｓ）が０．２ｌ／secの場合の圧力変化を示してお
り、黒塗り丸（●）で示すグラフは、吸引量（Ｓ）が
０．３ｌ／secの場合の圧力変化を示している。

【００３２】なお、本実験に用いた真空容器の容積は１
リットル（ｌ）であり、真空容器内の圧力を、当初、１
×１０^-4×１３３Ｐａとし、調整弁を開くことで、それ
が大気圧（７６０×１３３Ｐａ）に戻るまでの圧力変化
を示している。

【００３３】図５に示すように、Ｓ＝０．０５ｌ／sec
の場合は最も変化が緩やかであり、調整弁を開いてから
６０秒経過後も真空容器内は大気圧には至っていない。
一方、Ｓ＝０．３ｌ／secの場合は最も変化が急激であ
り、調整弁を開いてから約１０秒で真空容器内が大気圧
に戻っている。その他の特性は、Ｓ＝０．０５ｌ／sec
の特性と、Ｓ＝０．３ｌ／secの特性の間に存在してい
る。

【００３４】このように、調整弁の開き具合によって吸
引時間が異なり、長ければ６０秒、短い場合には１０秒
で吸引不能となるが、実用的な観点から吸引力を考慮し
た場合、吸引量は０．１ｌ／sec程度とすることが望ま
しく、その場合の吸引時間は２０秒程度となる。

【００３５】なお、真空容器の容積を増やせば吸引時間
を増やすことができ、容積が３リットル程度の真空容器
を用いれば、単純に計算しても、１分間は吸引力を持続
できる。

【００３６】１分間という吸引時間は、一般的な掃除に
は不十分な時間であるが、真空掃除機１００は、クリー
ンルームなど、極めて清浄な環境下で使用することを目
的としており、本来はゴミが存在しない環境下での掃除
に使用されるものである。

【００３７】従って、ゴミと言っても、その量は微量で
あり、例えば半導体製造装置のウエハのロードロック室
において、ウエハが破損して飛散したような場合に、作
業員の手によっては回収できない程度のウエハの微小な
破片を吸引するなど、限定的な場所で、ごく短時間で吸
引を終了するような目的においては１分間という吸引時
間は有効である。

【００３８】なお、ゴミが小さければ吸引力（単位時間
当たりの吸引量）は少なくて済み、ゲート弁２２の開き
状態を調整することで、吸引時間をさらに延ばすことが
できる。

【００３９】そして、真空容器１を複数個準備してお
き、１つが使用不能となれば、新たな真空容器１に付け
替えることで吸引作業を続行できるので、吸引時間は実
質的に無制限となる。

【００４０】真空容器１内に吸引されたゴミは、真空容
器１内が負圧である間は再放出されることはなく、ま
た、真空容器１内が大気圧に戻った場合には、バルブ２
を閉じることで、ゴミが再放出されることを防止でき
る。

【００４１】なお、図１に示すように、接続口２３内に
フィルター２４を設けることで、フィルター２４の網目
よりも大きなゴミがバルブ２内および真空容器１内に侵
入することを防止できる。ただし、フィルター２４の網
目が細かすぎると、コンダクタンスが小さくなり、ゲー
ト弁２２を開いても、所望の吸引力を得られなくなる可
能性があるので、吸引力との兼ね合いでフィルター２４
の網目の大きさを決定する。

【００４２】次に、真空掃除機１００の使用形態の一例
を図６を用いて説明する。真空掃除機１００は、真空容
器１の容積を１〜３リットル程度とすれば、作業者が肩
に掛けたり、背中に背負ったりして使用することができ
る。図６は、作業者が真空掃除機１００を肩から吊して
使用する状態を示しており、作業者は、片手で吸引ホー
ス３２を操作し、残る片手でバルブ２のハンドル２１を
操作することで、バルブ２の開閉を自在に制御できる。

【００４３】図７は、真空容器１の容積をさらに大きく
し、移動用の台車に乗せた構成とした真空掃除機１００
Ａを示している。

【００４４】図７に示す真空掃除機１００Ａは、容積が
１０リットル以上あるような真空容器１を有しており、
真空容器１は移動自在の台車ＣＣに搭載されている。バ
ルブ２の構成は真空掃除機１００と同じで構わないが、
吸引ホース３２の代わりに、作業者の手元に対応する位
置に開閉バルブ４１を有した吸引ホース３２Ａを備えて
いる。

【００４５】開閉バルブ４１は、閉状態にすることで、
開閉バルブ４１から真空容器１Ａまでの気密を保つバル
ブであり、バルブ２のように吸引量を調整するような機
能は特に備わっていなくても良く、開閉動作を即座に行
える構成であれば良い。

【００４６】開閉バルブ４１の一例を図８に示す。図８
に示すバルブは、気体の流路がＳ字を描くのでＳ型バル
ブと呼称されるバルブである。

【００４７】図８において、ハンドル４１１を回転させ
ることで、気体の流路ＦＲを塞ぐ弁４１２を開閉するこ
とができ、弁４１２を閉じた場合には、弁４１２に設け
たシール材４１３により、気密を保つことができる。

【００４８】なお、図８に示すＳ型バルブは、弁４１２
が単純な平板であり、開くか閉じるかの２つの動作しか
できないが、弁の形状を変えることで、弁の位置によっ
て流路ＦＲの開口面積を変更できるような構成のＳ型バ
ルブも公知となっているので、それを使用すれば、作業
者の手元で、吸引量を調整することができる。

【００４９】また、真空掃除機１００を作業者が背負う
ような形態にする場合にも、真空掃除機１００Ａと同様
に、作業者の手元に開閉バルブ４１を設けた構成を採用
すれば良い。

【００５０】＜Ｃ．真空容器の再使用について＞先に説
明したように、真空容器１の容積には限度があり、真空
容器１内が大気圧に戻ると吸引はできなくなる。しか
し、大気圧に戻った真空容器１を真空ポンプに繋ぎ、再
度、真空状態にすることで、何度でも再使用することが
できる。

【００５１】すなわち、使用済みの真空掃除機１００か
ら接続アダプター３１を取り外し、代わりに接続口２３
を真空排気システムの排気ラインに接続して、バルブ２
を開放した状態で真空排気を行い、真空容器１内が、所
定の圧力、例えば、上述した１×１０^-4×１３３Ｐａに
達した時点でバルブ２を閉じることで、真空容器１の再
生が完了する。

【００５２】なお、真空容器１の再生に先だって、吸引
したゴミを取り出し、真空容器１内を清浄化しておくこ
とが望ましいのは言うまでもない。その際は、真空吸引
装置などを使用すれば良いが、真空容器１の再生は、ク
リーンルーム以外の場所で行うので、特別な真空吸引装
置を使用せずとも良い。

【００５３】また、真空排気に際しては、接続口２３内
にフィルター２４を設けている場合には取り外す方が、
真空排気に要する時間を短縮できる。なお、フィルター
２４も再生処理を施すことで再使用できるようにしてお
けば、ランニングコストを低減できる。

【００５４】ここで、真空容器１の真空度であるが、圧
力差による吸引力を発生させるだけなので、高真空であ
る必要はなく、大気圧の１００分の１程度の圧力でも十
分である。そして、真空容器１の真空度を大気圧の１０
０分の１程度とするのであれば、いわゆる油回転ポンプ
の到達真空度の範囲であり、真空排気システムがより簡
便で、安価なものとなる。

【００５５】また、真空容器１の真空度を大気圧の１０
０分の１程度とするのであれば、真空容器１の材質の選
択範囲も広げることができる。すなわち、真空容器１の
圧力が低くなればなるほど、真空容器１の内壁面から放
出されるガスや、真空容器１の内壁面に付着したガスを
無視できなくなるので、真空容器１の材質としてはステ
ンレスなどの金属を使用することになるが、真空度が大
気圧の１００分の１程度であれば、樹脂などを使用する
ことができ、金属の場合に比べて厚みを厚くしたり、補
強のための構造を内部に設けることで、大気による圧力
に耐えるものを得ることは容易である。

【００５６】真空容器１を樹脂等の軽量なもので形成す
ることで、真空掃除機１００の重量を軽減でき、作業者
の負担を軽減できる。また、真空容器１の製造コストも
軽減でき、真空容器１を次々と交換しながら使用する真
空掃除機１００においては、ランニングコストの低減に
つながる。

【００５７】＜Ｄ．真空容器のバリエーション＞図１お
よび図７に示した真空掃除機１００および１００Ａにお
いては、真空容器１にバルブ２が直結された構成を示し
たが、バルブ２を、開口状態が調整可能なゲートバルブ
等で構成する場合、コスト的に高価となり、これを複数
準備することは、真空掃除機１００および１００Ａのラ
ンニングコストの点で望ましくない。

【００５８】そこで、図９に示すように、真空容器１と
バルブ２との間に、単純な構造の開閉バルブ５を配設し
た構成とし、真空容器１の交換に際しては、開閉バルブ
５と真空容器１とを一体として取り外し、また、取り付
けを行うようにすることで、ランニングコストを低減で
きる。

【００５９】なお、開閉バルブ５としては、図８に示す
ようなＳ型バルブを使用すれば良いが、気体の流路が大
きく、開閉動作を迅速に行えるものであれば何でも良
い。

【００６０】また、先に説明したように、Ｓ型バルブで
あっても、気体の流路の開口面積を変更できるようなバ
ルブをバルブ２の代わりに使用することで、コストを低
減することもできる。

【００６１】この場合、図９に示す開閉バルブ５は不要
であり、上述した気体の流路の開口面積を変更できるＳ
型バルブを真空容器１に直結した構成とすれば良いこと
は言うまでもない。

【００６２】＜Ｅ．作用効果＞以上説明したように、本
発明に係る真空掃除機１００および１００Ａによれば、
真空容器１の大気圧より低い内部圧力と、外部の大気圧
との差によって吸引力を発生させ、ゴミを吸引するの
で、吸引に伴う排気が一切生じることがなく、極めて清
浄な環境下、例えば、半導体装置の製造工場や、病院、
無菌室等での使用が可能となる。また、吸引力発生のた
めの構成は真空容器１だけであるので、構造が簡単で、
コンパクトな真空掃除機を得ることができる。また、モ
ータを使用しないので、固体だけでなく液体の吸引にも
適している。

【００６３】

【発明の効果】本発明に係る請求項１記載の真空掃除機
によれば、真空排気系から独立した真空容器の、大気圧
より低い内部圧力と外部の大気圧との差によって吸引力
を発生させ、吸引部を介してゴミを吸引することができ
るので、吸引に伴う排気が一切生じることがなく、極め
て清浄な環境下での使用が可能となる。また、吸引力発
生のための構成は真空容器だけであるので、構造が簡単
で、コンパクトな真空掃除機を得ることができる。

【００６４】本発明に係る請求項２記載の真空掃除機に
よれば、第１のバルブが、開口状態を調整可能なバルブ
であり、第１のバルブの開口状態を調整することで気体
の吸引力を調整することができるので、容積に限りある
真空容器であっても、吸引力を調整することで、吸引時
間を長くすることができる。

【００６５】本発明に係る請求項３記載の真空掃除機に
よれば、第１のバルブがゲートバルブであるので、開口
面積を比較的大きくでき、また、気体の流通方向の厚み
を薄くできるので、コンパクトな真空掃除機を得ること
ができる。

【００６６】本発明に係る請求項４記載の真空掃除機に
よれば、第１のバルブよりも上流側に配設され、開口状
態を調整可能な第２のバルブを備えるので、第１のバル
ブを開閉動作を行うだけの単純な構造のバルブとし、真
空容器の交換に際しては、第１のバルブと真空容器とを
一体で第２のバルブから着脱することで、ランニングコ
ストを低減できる。

【００６７】本発明に係る請求項５記載の真空掃除機に
よれば、第２のバルブがゲートバルブであるので、開口
面積を比較的大きくでき、また、気体の流通方向の厚み
を薄くできるので、コンパクトな真空掃除機を得ること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る実施の形態の真空掃除機を説明
する図である。

【図２】 本発明に係る実施の形態の真空掃除機を構成
するバルブの構成を説明する図である。

【図３】 本発明に係る実施の形態の真空掃除機の部分
構成を説明する部分断面図である。

【図４】 本発明に係る実施の形態の真空掃除機の組立
を説明する図である。

【図５】 時間の経過に対する真空容器内の圧力の変化
を示す図である。

【図６】 本発明に係る実施の形態の真空掃除機の使用
形態の一例を示す図である。

【図７】 本発明に係る実施の形態の真空掃除機の使用
形態の一例を示す図である。

【図８】 本発明に係る実施の形態の真空掃除機に使用
可能なバルブの構成を示す図である。

【図９】 本発明に係る実施の形態の真空掃除機のバリ
エーションを説明する図である。

【符号の説明】

１ 真空容器、２ バルブ、２０ 吸引部、２１ ハン
ドル、２３ ゲート弁、２３ 接続口、３１ 接続アダ
プター、３２ 吸引ホース。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 予め真空排気され、真空排気後は、真空
   排気系から独立して内部を大気圧より低い圧力に保つ真
   空容器と、 前記真空容器の開口部に接続され、閉じることにより、
   前記真空容器を気密に保つ第１のバルブと、 前記第１のバルブを開くことで、前記真空容器の内外の
   圧力差により、前記真空容器内に吸引される気体の流路
   を規定する吸引部とを備える、真空掃除機。
2. 【請求項２】 前記吸引部は、前記第１のバルブに接続
   され、 前記第１のバルブは、開口状態を調整可能なバルブであ
   り、 前記第１のバルブの開口状態を調整することで、前記吸
   引部に吸引される前記気体の吸引力を調整する請求項１
   記載の真空掃除機。
3. 【請求項３】 前記第１のバルブは、ゲートバルブであ
   って、ゲート弁が開口部を覆う面積により開口状態を調
   整する、請求項２記載の真空掃除機。
4. 【請求項４】 前記気体の流れに対して、前記第１のバ
   ルブよりも上流側に配設され、開口状態を調整可能な第
   ２のバルブをさらに備え、 前記吸引部は、前記第２のバルブに接続され、 前記第２のバルブの開口状態を調整することで、前記吸
   引部に吸引される前記気体の吸引力を調整する請求項１
   記載の真空掃除機。
5. 【請求項５】 前記第２のバルブは、ゲートバルブであ
   って、ゲート弁が開口部を覆う面積により開口状態を調
   整する、請求項４記載の真空掃除機。