JP7164021B2 - 冷却構造体 - Google Patents

冷却構造体 Download PDF

Info

Publication number
JP7164021B2
JP7164021B2 JP2021509345A JP2021509345A JP7164021B2 JP 7164021 B2 JP7164021 B2 JP 7164021B2 JP 2021509345 A JP2021509345 A JP 2021509345A JP 2021509345 A JP2021509345 A JP 2021509345A JP 7164021 B2 JP7164021 B2 JP 7164021B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flow path
cooling
diffusion portion
cooling structure
heat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2021509345A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2020196333A1 (ja
Inventor
広明 庄田
孝宏 山下
和武 藤澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Showa Denko Materials Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd, Showa Denko Materials Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Publication of JPWO2020196333A1 publication Critical patent/JPWO2020196333A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7164021B2 publication Critical patent/JP7164021B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K7/00Constructional details common to different types of electric apparatus
    • H05K7/20Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
    • H05K7/20218Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating using a liquid coolant without phase change in electronic enclosures
    • H05K7/20263Heat dissipaters releasing heat from coolant
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/367Cooling facilitated by shape of device
    • H01L23/3677Wire-like or pin-like cooling fins or heat sinks
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/373Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
    • H01L23/3737Organic materials with or without a thermoconductive filler
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/46Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids
    • H01L23/467Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids by flowing gases, e.g. air
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/46Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids
    • H01L23/473Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids by flowing liquids
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K7/00Constructional details common to different types of electric apparatus
    • H05K7/14Mounting supporting structure in casing or on frame or rack
    • H05K7/1422Printed circuit boards receptacles, e.g. stacked structures, electronic circuit modules or box like frames
    • H05K7/1427Housings
    • H05K7/1432Housings specially adapted for power drive units or power converters
    • H05K7/14329Housings specially adapted for power drive units or power converters specially adapted for the configuration of power bus bars
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K7/00Constructional details common to different types of electric apparatus
    • H05K7/20Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
    • H05K7/2039Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating characterised by the heat transfer by conduction from the heat generating element to a dissipating body
    • H05K7/20409Outer radiating structures on heat dissipating housings, e.g. fins integrated with the housing
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K7/00Constructional details common to different types of electric apparatus
    • H05K7/20Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
    • H05K7/2089Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating for power electronics, e.g. for inverters for controlling motor
    • H05K7/20927Liquid coolant without phase change

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)

Description

本発明は、冷却構造体に関する。
ハイブリッド自動車、電気自動車等のモータを搭載する車両には、モータを駆動する駆動手段が搭載されている。駆動手段は、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)等のパワー半導体を複数備えるパワーモジュール、キャパシタ等の電子部品、これら電子部品を電気的に接合するバスバーなどから構成される。
モータを駆動する際には、パワー半導体、キャパシタ等、これら電子部品を接合するバスバーに大電流の流れることがある。この場合、スイッチング損失、抵抗損失等によって駆動手段が発熱するため、駆動手段を効率的に冷却する必要がある。
駆動手段を冷却するための冷却手段としては、熱伝導性の高さから、アルミニウム、銅等の金属製のヒートシンクが用いられる(例えば、特許文献1参照)。
特開2010-182831号公報
しかしながら、金属製のヒートシンクを製造するためには、押出成形、スカイブ加工、カシメ加工等の複雑な製造工程を経る必要がある。そのため、金属製のヒートシンクはコストが高くなりやすい。
また、金属製のヒートシンクを駆動手段等の冷却対象に組み込むためには、多くの工数を要することがある。そのため、加工が容易で駆動手段等に容易に組み込むことが可能な樹脂製の冷却手段が求められている。
しかしながら、樹脂製の冷却手段は金属製のヒートシンクに比較して熱伝導性に劣るため、冷却効率に改善の余地がある。
本発明の一形態は上記従来の事情に鑑みてなされたものであり、冷却効率に優れる樹脂製の冷却構造体を提供することを目的とする。
前記課題を達成するための具体的手段は以下の通りである。
<1> 冷媒を流通させる流路を形成する樹脂製の流路形成部材と、前記流路形成部材に埋設された、又は、前記流路形成部材に接合された、板状かつ金属製である熱拡散部と、前記熱拡散部から前記流路内に延設され、少なくとも表面が樹脂製の1つ又は複数の冷却フィンと、を備える冷却構造体。
<2> 前記冷却フィンは、樹脂製である、又は金属製の芯材の表面が樹脂で被覆されている<1>に記載の冷却構造体。
<3> 前記熱拡散部はメッシュ状又はパンチングメタルである<1>又は<2>に記載の冷却構造体。
<4> 前記熱拡散部を構成する金属はアルミニウム、鉄、銅、金、銀及びステンレスからなる群より選択される少なくともいずれか1つであり、前記冷却フィンを構成する樹脂は、ポリフェニレンサルファイド系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリフタルアミド系樹脂、ポリブチレンテレフタレート系樹脂、フェノール系樹脂及びエポキシ系樹脂からなる群より選択される少なくともいずれか1つである<1>~<3>のいずれか1つに記載の冷却構造体。
<5> 前記熱拡散部は、主面が前記流路と対向する<1>~<4>のいずれか1つに記載の冷却構造体。
<6> 前記熱拡散部の前記主面の面積に対する、前記主面と平行な方向における、前記熱拡散部から前記流路内に延設された前記冷却フィンの断面積の合計の比率は、30%以上である<5>に記載の冷却構造体。
<7> 前記熱拡散部の前記流路側の面から前記流路形成部材の内壁までの最小距離hは、0.3mm~2.5mmである<1>~<6>のいずれか1つに記載の冷却構造体。
<8> 前記熱拡散部に伝熱することで冷却される被冷却体が配置された<1>~<7>のいずれか1つに記載の冷却構造体。
<9> 前記流路形成部材の外壁の少なくとも一部に、金属層が設けられた<1>~<8>のいずれか1つに記載の冷却構造体。
<10> 前記金属層が、金属溶射層である<9>に記載の冷却構造体。
本発明の一形態によれば、冷却効率に優れる樹脂製の冷却構造体を提供することができる。
冷却構造体の一実施形態についての要部断面を示す図である。 冷却構造体10における冷却フィン24の設けられた領域の一例を示す図である。 冷却構造体10における冷却フィン24の設けられた領域の他の一例を示す図である。 冷却構造体の変形例の要部を示す断面図である。 金属層の磁界シールド性能の評価結果を示す図である。 冷却性能の評価方法を説明するために図である。
<冷却構造体>
本開示の冷却構造体は、冷媒を流通させる流路を形成する樹脂製の流路形成部材と、前記流路形成部材に埋設された、又は、前記流路形成部材に接合された、板状かつ金属製である熱拡散部と、前記熱拡散部から前記流路内に延設され、少なくとも表面が樹脂製の1つ又は複数の冷却フィンと、を備える。本開示の冷却構造体は、板状かつ金属製である熱拡散部と、熱拡散部から流路内に延設された、少なくとも表面が樹脂製の冷却フィンと、を備えるため、熱伝導性に優れる熱拡散部が受け取った熱が板状の熱拡散部の面方向に拡散され、広範囲に拡散された熱が放熱性に優れる冷却フィンの表面から放熱される。これにより、本開示の冷却構造体は、板状の樹脂部材と、この樹脂部材から流路内に延設された、樹脂製の冷却フィンとを備える樹脂製の冷却手段と比較して冷却効率に優れる。
以下、本開示の冷却構造体を、図面を参照して説明する。なお、各図における部材の大きさは概念的なものであり、部材間の大きさの相対的な関係はこれに限定されない。また、実質的に同一の機能を有する部材には全図面を通して同じ符号を付与し、重複する説明は省略する場合がある。
図1に示す冷却構造体10は、冷媒を流通させる流路12を形成する樹脂製の流路形成部材14を備える。流路の形状は、図1に示すように断面が略矩形であってもよく、断面が円形、楕円形、矩形以外の多角形等であってもよい。
流路12は、対向する一対の内壁のうちの一方側の内壁に相当する上部内壁16及び他方側の内壁に相当する下部内壁18並びに上部内壁16及び下部内壁18を接続する側部内壁20及び側部内壁22に取り囲まれて構成されている。
上部内壁16側では、板状かつ金属製である熱拡散部34から流路12内に円筒状の冷却フィン24が複数延設されている。冷却フィン24は、流路12と同様に樹脂製とされる。図1では、冷却フィン24の一部が想像線で示されている。
熱拡散部34の冷却フィン24が延設されている側とは反対側では、熱拡散部34に伝熱することで冷却される被冷却体であるバスバー26が、ボルト28とナット30とで固定されている。ナット30は、ナット本体32とナット本体32のボルト28が挿入される側とは反対側に設けられた熱拡散部34とを有する。熱拡散部34は、矩形の板状物とされ、ナット本体32と一体化されている。
バスバー26は、パワー半導体、キャパシタ等の不図示の電子部品と接続されている。
ナット30における熱拡散部34の全体及びナット本体32のボルト28が挿入される側とは反対側は、流路形成部材14に埋設されている。なお、熱拡散部は、流路形成部材に埋設された構成に限定されず、流路形成部材に接合された構成、例えば、流路と接触せずに流路形成部材の外壁に接合された構成であってもよい。例えば、レーザー粗化による樹脂金属接合技術を用い、熱拡散部を流路形成部材に接合させてもよい。
また、複数の冷却フィン24はいずれも熱拡散部34から流路12内に延設されている。これにより、熱拡散部34にて面方向に拡散された熱が冷却フィン24にて放熱されやすい構造となっている。
図2は、図1の冷却構造体10における冷却フィン24の設けられた領域を、ボルト28の挿入方向から見た図である。冷却フィン24と熱拡散部34との位置関係をわかりやすくするため、図2では、バスバー26等の記載を割愛している。また、冷却フィン24と熱拡散部34との位置関係がわかりやすいように、熱拡散部34を点線で表している。なお、図1は、図2に示すAA線で切断したときの断面図である。
図2に示すように、冷却フィン24は7本とされており、熱拡散部34の配置された範囲内に冷却フィン24が設けられている。また、熱拡散部34の主面は流路12と対向している。
ここで、バスバー26に電流が流れると、抵抗損失によってバスバー26自体が発熱する。また、バスバー26は不図示の電子部品と接続されており、通電によりこれら電子部品から生じた熱がバスバー26を通じて拡散される。そのため、バスバー26は高温状態になりやすい。
バスバー26自体から生じた熱及びバスバー26を通じて拡散された熱は、ボルト28及びナット本体32を介して熱拡散部34のナット本体と一体化されている箇所に伝達される。熱拡散部34は矩形の板状物とされているため、熱拡散部34に伝達された熱は熱拡散部34の面方向に拡散され、広範囲に熱を拡散することができる。
熱拡散部34は冷却フィン24の根元部に配置されており、熱拡散部34まで拡散された熱は、流路形成部材14を介して冷却フィン24の根元部に到達する。冷却フィン24の根元部に到達した熱は、冷却フィン24を通じて冷却フィン24の根元部から流路12内に向けて移動する。このときに、流路12を流通する冷媒により冷却フィン24から熱が冷媒に移動する。このようにして、バスバー26等の被冷却体が冷却される。
冷却構造体10では、冷却フィン24が上部内壁16から下部内壁18にまで到達せずに、冷却フィン24の先端部が流路12内に位置している。冷却フィン24に触れる冷媒の量を増加させて冷却構造体10の冷却効率を高める観点から、冷却フィン24の先端部が下部内壁18に接触していてもよい。また、冷却フィン24の先端部が下部内壁18に接触している場合、例えば、上部内壁16から下部内壁18に向けて(又は、下部内壁18から上部内壁16に向けて)荷重がかかった際に、冷却構造体10の強度を高めることが可能となる。
図1において、流路12の冷却フィン24の設けられた領域を冷媒が流通する方向上流側から観察したときに、流路12の面積に占める冷却フィン24の観察される部分の面積(面積比率A)は、冷却効率を向上する観点から、30%以上であることが好ましく、70%以上であることがより好ましく、100%であることがさらに好ましい。
図1において、熱拡散部34の流路12側の面から流路形成部材14の内壁までの最小距離hは、絶縁性の観点から、0.3mm以上であることが好ましく、成形性の観点から、0.5mm以上であることがより好ましく、1.5mm以上であることがさらに好ましい。また、前述の最小距離hは、冷却効率の観点から2.5mm以下であることが好ましい。
図2において、熱拡散部34の主面の面積に対する、熱拡散部34の主面と平行な方向における、熱拡散部34から流路12内に延設された冷却フィン24の断面積の合計の比率(面積比率B)は、冷却効率を向上する観点から、30%以上であることが好ましく、70%以上であることがさらに好ましい。前述の面積比率Bは、流路12内の抵抗の観点から、70%以下であることが好ましく、30%以下であることがさらに好ましい。
図2では、熱拡散部34は矩形の板状物となっているが、矩形に限定されず、円形、楕円形、矩形以外の多角形等であってもよい。
冷却フィン24は、少なくとも表面が樹脂製であればよく、冷却フィン24全体が樹脂製であってもよいし、金属製の棒状の芯材を有し、この芯材の表面が樹脂で被覆されていてもよい。芯材の一端は、冷却効率を向上する観点から、熱拡散部34と接続されていてもよい。
図1においては、冷却フィン24の先端は冷却フィン24の延設方向に直交する平坦状とされているが、冷却フィン24の先端の形状は特に限定されるものではなく、半球状、円錐状、角錐状等であってもよい。
被冷却体としては、バスバー26の他に、パワー半導体、キャパシタ等の電子部品が挙げられる。被冷却体が電子部品である場合、冷却構造体の電子部品の配置される箇所に冷却フィンを設けてもよい。
熱拡散部34から流路12内に延設された冷却フィン24の本数は、1本であってもよく、2本以上であってもよい。
例えば、図3に示すように、熱拡散部34から外れた位置に冷却フィン24が配置されていてもよい。
(冷却構造体の変形例)
本開示の冷却構造体の変形例は、流路形成部材の外壁の少なくとも一部に金属層が設けられており、好ましくは、被冷却体であるパワー半導体、キャパシタ等が流路形成部材の外壁上に配置され、被冷却体の少なくとも一部が接触するように金属層が設けられている。被冷却体の少なくとも一部が接触するように金属層が設けられていることにより、被冷却体にて生じた熱が金属層を介して流路を流通する冷媒に移動するため、被冷却体を効率よく冷却することができる。
以下、本開示の冷却構造体の変形例について、図4を用いて説明する。図4は、冷却構造体の変形例の要部を示す断面図である。図4は、冷却構造体44における流路12の冷媒が流通する方向に平行な断面を示す。なお、図4では、冷却フィンの記載を省略している。
図4に示す冷却構造体44では、被冷却体であるパワー半導体46が、流路形成部材14の外壁に設けられた金属層48を介して流路形成部材14と接している。パワー半導体46にはバスバー26が接続されており、不図示の他のパワー半導体、その他の電子部品等と導通が確保されている。流路形成部材14のパワー半導体46と接触する箇所には、不図示の冷却フィンが上部内壁16から下部内壁18に向けて延設されている。つまり、不図示の冷却フィンの根元部に、パワー半導体46が配置されている。
パワー半導体46から生じた熱は、金属層48を介して流路形成部材14の外壁に達し、さらに不図示の冷却フィンの根元部に到達した熱は、冷却フィンを通じて冷却フィンの根元部から下部内壁18に向けて移動する。このときに、流路12を流通する冷媒により冷却フィンから熱が冷媒に移動する。パワー半導体46が金属層48を介して流路形成部材14と接するため、パワー半導体46から生じた熱が、効率的に冷却フィンへ移動しやすくなり、冷却効率が向上する。
また、金属層48は、パワー半導体46から発生する低周波域(特に、ラジオ帯)の磁界をシールドすることができる。そのため、流路形成部材14の外壁に金属層48を設けることは磁界シールドの観点から有効である。金属層48は、流路形成部材14の外壁の少なくとも一部に設ければよい。なお、金属層48は導電性であるため、絶縁性を求められる箇所には金属層48を設けなくともよい。また、流路形成部材14の外壁に金属層48を形成し、さらに絶縁性を求められる箇所の金属層48を樹脂層で覆ってもよい。
金属層48は、例えば、流路形成部材14における被冷却体の配置された側とは反対側の外壁に設けることが好ましい。また、図4に示すように、金属層48が流路形成部材14における被冷却体の配置された側の外壁の一部に設けられている場合、流路形成部材14における被冷却体の配置された側とは反対側の外壁には、金属層48の設けられていない領域50が存在してもよい。さらに、図4における熱拡散部34の配置された箇所とは反対側の外壁には、金属層48の設けられていない領域が存在してもよい。
本開示の冷却構造体の製造方法は、特に限定されるものではなく、インジェクション成形法、ダイスライドインジェクション成形法、ブロー成形法、圧縮成形法、トランスファ成形法、押出成形法、注型成形法等の通常の樹脂成形体の成形方法を採用することができる。なお、冷却構造体10の製造には高い位置精度を要求される場合があることから、ダイスライドインジェクション成形法が好ましい。
また、ナット30の流路形成部材14に埋設されている箇所は、別途インサート成形法により製造してもよい。
流路形成部材14及び冷却フィン24を構成する樹脂の種類は特に限定されるものではない。樹脂としては、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂(PP)、複合ポリプロピレン系樹脂(PPC)、ポリフェニレンサルファイド系樹脂(PPS)、ポリフタルアミド系樹脂(PPA)、ポリブチレンテレフタレート系樹脂(PBT)、エポキシ系樹脂、フェノール系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリエチレンテレフタレート系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、塩化ビニル系樹脂、アイオノマー系樹脂、ポリアミド系樹脂、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン共重合樹脂(ABS)及びポリカーボネート系樹脂が挙げられる。流路形成部材14及び冷却フィン24を構成する樹脂は同じであっても異なっていてもよい。
流路形成部材14及び冷却フィン24を構成する樹脂は、無機充填材を含有してもよい。無機充填材としては、例えば、シリカ、アルミナ、ジルコン、酸化マグネシウム、珪酸カルシウム、炭酸カルシウム、チタン酸カリウム、炭化珪素、窒化珪素、窒化ホウ素、ベリリア及びジルコニアが挙げられる。さらに、難燃効果のある無機充填材としては、水酸化アルミニウム、硼酸亜鉛等が挙げられる。
流路形成部材14及び冷却フィン24を構成する樹脂に含まれる無機充填材は、同じであっても異なっていてもよい。また、流路形成部材14を構成する樹脂及び冷却フィン24を構成する樹脂の一方に無機充填材が含まれ、他方に無機充填材が含まれなくてもよい。
熱拡散部34を構成する金属は、アルミニウム、鉄、銅、金、銀、ステンレス等の金属、合金などが挙げられる。
熱拡散部34は、流路形成部材14及び冷却フィン24を構成する樹脂と熱拡散部34を構成する金属との熱膨張係数差による冷却構造体10への負荷を抑制する観点から、メッシュ状、パンチングメタル等であってもよい。
冷却構造体10では、熱拡散部34の熱の面方向への拡散性及び冷却フィン24の放熱性の観点から、熱拡散部34を構成する金属はアルミニウム、鉄、銅、金、銀及びステンレスからなる群より選択される少なくともいずれか1つであり、冷却フィン24を構成する樹脂は、ポリフェニレンサルファイド系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリフタルアミド系樹脂、ポリブチレンテレフタレート系樹脂、フェノール系樹脂及びエポキシ系樹脂からなる群より選択される少なくともいずれか1つであることが好ましい。好ましいポリアミド系樹脂としては、ナイロン6、ナイロン66等が挙げられる。
流路を流通する冷媒の種類は、特に限定されるものではない。冷媒としては、水、有機溶媒等の液体、空気等の気体などが挙げられる。冷媒として用いられる水には、不凍液等の成分が含まれていてもよい。
金属層48を構成する成分は特に限定されるものではなく、亜鉛、アルミニウム、亜鉛・アルミニウム合金、炭素鋼、ステンレス鋼、ニッケル、ニッケル合金、スズ、銅、銅合金、銀、銀合金、金、金合金、モリブデン等が挙げられる。これらの中でも、磁界シールド効果を高める観点からは、銀及び銅が好ましい。一方、被冷却体の冷却効率の観点からは、銀及び金が好ましい。
金属層48を形成する方法は特に限定されるものではなく、電解メッキ、無電解メッキ、蒸着、金属板の張り付け、金属溶射等が挙げられる。金属層48は、形成性の観点から、金属溶射法により形成された金属溶射層であることが好ましく、加工性の観点から亜鉛が好ましい。
金属層48の厚みは特に限定されるものではなく、1μm~2mmが好ましい。
被冷却体であるパワー半導体46と接触する金属層48の平均厚みは、冷却効率の観点から、200μm~2mmが好ましく、500μm~2mmがより好ましい。
流路形成部材14における被冷却体の配置された側とは反対側の外壁に設けられた金属層48の平均厚みは、磁界シールドの観点から、1μm~2mmが好ましく、200μm~2mmが好ましく、500μm~2mmがより好ましい。
冷却構造体10は、冷媒の温度を測定する温度センサを備えていてもよく、流路12内の冷却フィン24が延設された領域よりも下流に温度センサを備えていてもよい。また、温度センサの温度に応じて冷媒の量を調節してもよく、温度センサの温度に応じて冷媒の量を調節する制御部を備えていてもよい。
本開示の冷却構造体は、ハイブリッド自動車、電気自動車等のモータを搭載する車両における、パワー半導体を複数備えるパワーモジュール、キャパシタ等の電子部品、これら電子部品を電気的に接合するバスバーの冷却に有効である。
以下、実験例に基づいて、金属層の磁界シールド性能及び冷却性能を検証した。
-磁界シールド性能評価-
縦120mm、横120mm、厚み5mmのPPS樹脂板を準備し、試験片1とした。
試験片1の一方の面に、溶射法により平均厚み200μmの亜鉛層を形成した。これを試験片2とした。
また、縦120mm、横120mm、厚み500μmのアルミニウム板を試験片3とした。
試験片1、試験片2及び試験片3について、磁界シールド性能を以下に示すKEC法(500Hzから1GHz)における磁界シールド効果評価用装置で評価した。
得られた結果を図5に示す。図5から明らかなように、試験片2及び試験片3によれば、試験片1に比較して優れた磁界シールド効果の得られることがわかる。
-冷却性能評価-
PPS樹脂を用いて、外径が横30mm×縦15mmで、内径が横25mm×縦10mmで、長さが110mmの断面矩形の水路モデル1を形成した。水路モデル1における110mm×30mmの外壁の上面に、溶射法により平均厚み200μmの亜鉛層48を形成した。これを水路モデル2とした。
水路モデル1の110mm×30mmの外壁及び水路モデル2の亜鉛層48を形成した面上に、各々、100℃に熱した95mm×25mm×15mmの大きさの鉄ブロック52を図6に示すようにして配置し、各水路モデル内に20℃の水を8L/分の流量で流通させた。
鉄ブロック52の配置直後から、図6に示すA~Dの計4箇所の温度変化を、株式会社KEYENCE製 高機能レコーダ GR-3500を用いて測定したところ、鉄ブロック52の配置から17分後の各測定箇所の温度は、下記表1に示すとおりであり、亜鉛層48は被冷却体の冷却に有効であることが明らかとなった。
Figure 0007164021000001
2019年3月22日に出願された日本国特許出願2019-055694の開示はその全体が参照により本明細書に取り込まれる。
本明細書に記載された全ての文献、特許出願、及び技術規格は、個々の文献、特許出願、及び技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書中に参照により取り込まれる。
10、44 冷却構造体
12 流路
14 流路形成部材
16 上部内壁
18 下部内壁
20 側部内壁
22 側部内壁
24 冷却フィン
26 バスバー
28 ボルト
30 ナット
32 ナット本体
34 熱拡散部
46 パワー半導体
48 金属層
50 領域
52 鉄ブロック

Claims (10)

  1. 冷媒を流通させる流路を形成する樹脂製の流路形成部材と、
    前記流路形成部材に埋設された、又は、前記流路と接触せずに前記流路形成部材の外壁に接合された、板状かつ金属製である熱拡散部と、
    前記熱拡散部から前記流路内に延設され、少なくとも表面が樹脂製の1つ又は複数の冷却フィンと、
    前記熱拡散部の前記1つ又は複数の冷却フィンが延設されている側とは反対側にてボルト及びナットで固定され、前記熱拡散部に伝熱することで冷却されるバスバーと、
    を備える冷却構造体。
  2. 前記冷却フィンは、樹脂製である、又は金属製の芯材の表面が樹脂で被覆されている請求項1に記載の冷却構造体。
  3. 前記熱拡散部はメッシュ状又はパンチングメタルである請求項1又は請求項2に記載の冷却構造体。
  4. 前記熱拡散部を構成する金属はアルミニウム、鉄、銅、金、銀及びステンレスからなる群より選択される少なくともいずれか1つであり、
    前記冷却フィンを構成する樹脂は、ポリフェニレンサルファイド系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリフタルアミド系樹脂、ポリブチレンテレフタレート系樹脂、フェノール系樹脂及びエポキシ系樹脂からなる群より選択される少なくともいずれか1つである請求項1~請求項3のいずれか1項に記載の冷却構造体。
  5. 前記熱拡散部は、主面が前記流路と対向する請求項1~請求項4のいずれか1項に記載の冷却構造体。
  6. 前記熱拡散部の前記主面の面積に対する、前記主面と平行な方向における、前記熱拡散部から前記流路内に延設された前記冷却フィンの断面積の合計の比率は、30%以上である請求項5に記載の冷却構造体。
  7. 前記熱拡散部の前記流路側の面から前記流路形成部材の内壁までの最小距離hは、0.3mm~2.5mmである請求項1~請求項6のいずれか1項に記載の冷却構造体。
  8. 前記熱拡散部に伝熱することで冷却される被冷却体が配置された請求項1~請求項7のいずれか1項に記載の冷却構造体。
  9. 前記流路形成部材の外壁の少なくとも一部に、金属層が設けられた請求項1~請求項8のいずれか1項に記載の冷却構造体。
  10. 前記金属層が、金属溶射層である請求項9に記載の冷却構造体。
JP2021509345A 2019-03-22 2020-03-19 冷却構造体 Active JP7164021B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019055694 2019-03-22
JP2019055694 2019-03-22
PCT/JP2020/012485 WO2020196333A1 (ja) 2019-03-22 2020-03-19 冷却構造体

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2020196333A1 JPWO2020196333A1 (ja) 2021-10-21
JP7164021B2 true JP7164021B2 (ja) 2022-11-01

Family

ID=72609398

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021509345A Active JP7164021B2 (ja) 2019-03-22 2020-03-19 冷却構造体

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11778776B2 (ja)
EP (1) EP3929975A4 (ja)
JP (1) JP7164021B2 (ja)
WO (1) WO2020196333A1 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102019101973A1 (de) * 2019-01-28 2020-07-30 Eugen Forschner Gmbh Verbindungsanordnung zum Verbinden einer Stromschiene mit einem Gehäuse

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003003248A (ja) 2001-06-25 2003-01-08 Sawaki Kogyo:Kk 金属溶射層被覆シート
JP2012015240A (ja) 2010-06-30 2012-01-19 Denso Corp 半導体装置及びその製造方法
JP2013016615A (ja) 2011-07-04 2013-01-24 Toyota Motor Corp 半導体モジュール
WO2016080333A1 (ja) 2014-11-21 2016-05-26 株式会社村田製作所 モジュール

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08204068A (ja) * 1995-01-20 1996-08-09 Fuji Electric Co Ltd モジュール構造の半導体装置
US6019165A (en) * 1998-05-18 2000-02-01 Batchelder; John Samuel Heat exchange apparatus
US6483705B2 (en) * 2001-03-19 2002-11-19 Harris Corporation Electronic module including a cooling substrate and related methods
US7078803B2 (en) * 2002-09-27 2006-07-18 Isothermal Systems Research, Inc. Integrated circuit heat dissipation system
US7215545B1 (en) * 2003-05-01 2007-05-08 Saeed Moghaddam Liquid cooled diamond bearing heat sink
WO2006029527A1 (en) * 2004-09-13 2006-03-23 Lighthaus Logic Inc. Structures for holding cards incorporating electronic and/or micromachined components
DE102006058327B3 (de) * 2006-12-11 2008-05-15 Siemens Ag Stromschienenpaket
US7477517B2 (en) * 2007-01-29 2009-01-13 International Business Machines Corporation Integrated heat spreader and exchanger
JP5120284B2 (ja) 2009-02-04 2013-01-16 株式会社豊田自動織機 半導体装置
JP2012009498A (ja) 2010-06-22 2012-01-12 Fujitsu Ten Ltd 発熱体の放熱構造と放熱構造を備えたオーディオアンプ
JP5447433B2 (ja) * 2011-05-13 2014-03-19 株式会社安川電機 電子機器および電子機器が設けられた電力変換装置
JP6124742B2 (ja) * 2013-09-05 2017-05-10 三菱電機株式会社 半導体装置
US9357675B2 (en) * 2013-10-21 2016-05-31 International Business Machines Corporation Pump-enhanced, immersion-cooling of electronic component(s)
JP2017161204A (ja) * 2016-03-11 2017-09-14 富士通株式会社 冷却装置、冷却装置の製造方法、及び電子機器
JP6923404B2 (ja) 2017-09-21 2021-08-18 本田技研工業株式会社 鞍乗り型車両
JP7004749B2 (ja) * 2018-01-25 2022-01-21 三菱電機株式会社 回路装置および電力変換装置
US10743442B2 (en) * 2018-12-11 2020-08-11 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Cooling devices including jet cooling with an intermediate mesh and methods for using the same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003003248A (ja) 2001-06-25 2003-01-08 Sawaki Kogyo:Kk 金属溶射層被覆シート
JP2012015240A (ja) 2010-06-30 2012-01-19 Denso Corp 半導体装置及びその製造方法
JP2013016615A (ja) 2011-07-04 2013-01-24 Toyota Motor Corp 半導体モジュール
WO2016080333A1 (ja) 2014-11-21 2016-05-26 株式会社村田製作所 モジュール

Also Published As

Publication number Publication date
WO2020196333A1 (ja) 2020-10-01
EP3929975A1 (en) 2021-12-29
US20220192053A1 (en) 2022-06-16
US11778776B2 (en) 2023-10-03
EP3929975A4 (en) 2022-06-15
JPWO2020196333A1 (ja) 2021-10-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9888611B2 (en) Power semiconductor module
CN105742252B (zh) 一种功率模块及其制造方法
JP5432085B2 (ja) 電力半導体装置
CN101312183A (zh) 半导体装置
JP6775374B2 (ja) 放熱ユニットの製造方法
JP2013123014A (ja) 半導体装置
US20160190032A1 (en) Wiring board and semiconductor package including wiring board
JP7164021B2 (ja) 冷却構造体
JP5267238B2 (ja) 半導体装置及び半導体装置の製造方法
JP7164019B2 (ja) 冷却構造体
JP7164018B2 (ja) 冷却構造体
JP7164023B2 (ja) 冷却構造体
CN106415827B (zh) 冷却器一体型半导体模块
JP4968150B2 (ja) 半導体素子冷却装置
JP7164020B2 (ja) 冷却構造体
JP7164022B2 (ja) 冷却構造体
US10748835B2 (en) Aluminum heat sink having a plurality of aluminum sheets and power device equipped with the heat sink
WO2022163418A1 (ja) 冷却構造体
CN107408512A (zh) 半导体模块
JP2016081988A (ja) 半導体遮断器の放熱構造
CN117157753A (zh) 具有冷却体和至少一个半导体模块的半导体模块组件
KR20140063210A (ko) 전력용 반도체 장치 및 이의 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210608

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220802

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220829

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220920

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20221003

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 7164021

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350