JP7151452B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
12:半導体基板
14:上面電極
16:下面電極
18:保護膜
20:絶縁膜
30:封止体
Claims (1)
- 半導体基板と、
前記半導体基板の一表面上に設けられており、酸化シリコンで構成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上に設けられており、樹脂材料で構成された保護膜と、を備え、
前記保護膜は、前記半導体基板の外周縁に沿って延びるとともに、前記半導体基板の前記外周縁から間隔を空けて設けられており、
前記絶縁膜は、前記半導体基板の前記一表面のうち、前記保護膜下に位置する領域だけでなく、前記保護膜よりも外側に位置するダイシング領域にも形成されており、
前記ダイシング領域では、前記半導体基板の前記外周縁から中央に向かう方向において、前記絶縁膜が断続的に存在するパターンで形成されている、
半導体装置。
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JP2018235482A JP7151452B2 (ja) | 2018-12-17 | 2018-12-17 | 半導体装置 |
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