JP7144605B2 - アライメントセンサの検出システム - Google Patents
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Description
[0001] この出願は、2018年10月12日に出願された欧州出願18200138.8の優先権を主張し、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
Claims (19)
- 少なくとも1つの検出回路と、
前記少なくとも1つの検出回路に測定信号を輸送するための複数の光ファイバコアと、を備え、
前記複数の光ファイバコアの少なくとも1つのサブセットが、検出状態と非検出状態との間で選択的に切り替え可能であることによって、設定可能な検出スポットが画定され、
前記少なくとも1つの検出回路は、前記複数の光ファイバコアの一部に光学的に結合される第1の検出回路と、前記複数の光ファイバコアの他の全てに光学的に結合される第2の検出回路と、を含む、アライメントセンサの検出システム。 - 前記複数の光ファイバコアを束ねて、前記測定信号を受信するための光入力を画定する、請求項1に記載の検出システム。
- 前記複数の光ファイバコアがマルチコア・マルチモード光ファイバを含む、請求項1又は2に記載の検出システム。
- 前記検出システムが、前記複数の光ファイバコアの第1のサブセットだけが検出状態にある第1の検出モード、及び前記複数の光ファイバコアの第2のサブセットだけが検出状態にある第2の検出モードで動作可能であり、前記第1のサブセットが前記第2のサブセットより小さいことによって、前記第2の検出モードより前記第1の検出モードにおいてより小さい検出スポットが画定される、請求項1から3のいずれかに記載の検出システム。
- 前記第2のサブセットが前記第1のサブセットを含む、請求項4に記載の検出システム。
- 前記第1のサブセットが、前記第2のサブセットに対してほぼ中央に位置する、請求項4又は5に記載の検出システム。
- 前記第1のサブセットが単一のファイバコアを含む、請求項4から6のいずれかに記載の検出システム。
- 前記第2のサブセットが前記複数のファイバコアの全てを含む、請求項4から7のいずれかに記載の検出システム。
- 光ファイバコアの前記第1のサブセットが前記第1の検出回路に光学的に結合され、前記第1のサブセットの一部ではない光ファイバコアの前記第2のサブセットが、前記第2の検出回路に光学的に結合される、請求項4から8のいずれかに記載の検出システム。
- 複数の光ファイバコアを含む光ファイバコアの前記第1のサブセット及び前記第2のサブセットのそれぞれについて、前記複数の光ファイバコアが、単一の大径の光ファイバコアを介して各検出回路に光学的に結合される、請求項9に記載の検出システム。
- 前記第1の検出回路及び前記第2の検出回路のそれぞれが、前記検出システムにより検出される各波長及び/又は各波長帯域用の単一の光電変換器を備える、請求項9又は10に記載の検出システム。
- 前記検出システムが、複数の波長及び/又は波長帯域を測定するように動作可能であり、前記検出回路のそれぞれが、前記複数の波長及び/又は波長帯域を分離するためのスペクトルフィルタを、前記光ファイバコアと前記光電変換器との間に備える、請求項11に記載の検出システム。
- 前記複数の光ファイバコアの第3のサブセットだけが検出状態にある、少なくとも第3の検出モードでさらに動作可能であり、光ファイバコアの前記第3のサブセットが前記第1のサブセットより大きく、前記第2のサブセットより小さい、請求項4から12のいずれかに記載の検出システム。
- 前記第1のサブセットの外側にある光ファイバコアの少なくとも1つが、他の光ファイバコアの少なくとも1つにより検出される信号の利得制御に使用されるように動作可能である、請求項4から13のいずれかに記載の検出システム。
- 前記検出システムが、前記測定信号を処理するためのプロセッサを備え、前記プロセッサがまた、前記ファイバコアの検出状態間の切り替え、ひいては検出モード間の切り替えを制御するように動作可能である、請求項4から14のいずれかに記載の検出システム。
- 前記プロセッサが、測定されているアライメントマークの補正を、光ファイバコアの前記対応するサブセットの個別の光ファイバコアにより検出される、前記アライメントマークの異なるサブ領域の考慮に基づいて行うように動作可能である、請求項15に記載の検出システム。
- 請求項1から16の検出システムを備えたアライメントセンサシステムであって、前記複数の光ファイバコアの光入力が、前記アライメントセンサの検出面に位置し、前記光入力が前記アライメントセンサシステムに有効な視野絞りとして動作可能である、アライメントセンサシステム。
- 相対的に180°回転させたアライメントマークの2つの重複する像を投影するための自己参照干渉計を備え、前記検出システムが、前記自己参照干渉計の瞳面の複数の異なる位置における光強度を検出するように動作可能である、請求項17のアライメントセンサシステム。
- 放射の投影ビームを提供するための放射システムと、
前記投影ビームを所望のパターンに従ってパターン形成するのに使用されるパターニングデバイスを支持するための支持構造と、
基板を保持するための基板テーブルと、
前記パターン形成されたビームを前記基板のターゲット部分に投影するための投影システムと、
前記基板テーブル及び/又は前記支持構造を位置合わせするための、請求項18のアライメントシステムと、を備えるリソグラフィ投影装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP18200138.8 | 2018-10-12 | ||
EP18200138 | 2018-10-12 | ||
PCT/EP2019/075677 WO2020074250A1 (en) | 2018-10-12 | 2019-09-24 | Detection system for an alignment sensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022502696A JP2022502696A (ja) | 2022-01-11 |
JP7144605B2 true JP7144605B2 (ja) | 2022-09-29 |
Family
ID=63840712
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021516376A Active JP7144605B2 (ja) | 2018-10-12 | 2019-09-24 | アライメントセンサの検出システム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11556068B2 (ja) |
JP (1) | JP7144605B2 (ja) |
CN (1) | CN112840274B (ja) |
NL (1) | NL2023884A (ja) |
WO (1) | WO2020074250A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2019
- 2019-09-24 JP JP2021516376A patent/JP7144605B2/ja active Active
- 2019-09-24 WO PCT/EP2019/075677 patent/WO2020074250A1/en active Application Filing
- 2019-09-24 US US17/284,009 patent/US11556068B2/en active Active
- 2019-09-24 CN CN201980067050.2A patent/CN112840274B/zh active Active
- 2019-09-24 NL NL2023884A patent/NL2023884A/en unknown
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JP2018529104A (ja) | 2015-09-18 | 2018-10-04 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置のためのアライメントセンサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
NL2023884A (en) | 2020-05-07 |
JP2022502696A (ja) | 2022-01-11 |
CN112840274A (zh) | 2021-05-25 |
CN112840274B (zh) | 2024-06-18 |
US20210382404A1 (en) | 2021-12-09 |
US11556068B2 (en) | 2023-01-17 |
WO2020074250A1 (en) | 2020-04-16 |
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