JP7144126B1 - 流量制御装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2:流量計
3:流量計基板
4:流量調節弁
5:ステッピングモータ
6:位置検出センサ
7:制御基板
8:流路
9:PFAチューブ
10:流入口
11:流出口
12:測定管
13:超音波センサ
14:超音波センサ
15:弁体
16:ダイヤフラム
17:ニードル
18:モータアクチュエータ
19:軸体
20:モータ軸
21:ばね部材
22:弁座
23:コネクタ基板
24:I/Oコネクタ
25:通信コネクタ
26:マグネット
50:外部制御機器
Claims (3)
- 流路を流れる流体の流量を測定する流量計と、
前記流路を流れる流体の流量を調節する流量調節弁と、
前記流量計の測定結果に基づき前記流量調節弁の開度を制御する制御部と、を備え、
前記流量調節弁の開度が全閉で、かつ、流量制御を開始した時点で、前記流量調節弁の開度を全閉から指定開度まで強制的に開くことにより前記流体の流れ出しを早める低流量急速バルブオープン機能と、
前記低流量急速バルブオープン機能の動作直後に、予め設定された待機時間に到達するか、又は、予め設定された流量閾値に到達するまで前記流量調節弁の開度を前記指定開度まで強制的に開いたままの状態で待機することによりオーバーシュートを抑制するオーバーシュート抑制機能と、を有する
ことを特徴とする流量制御装置。 - 前記低流量急速バルブオープン機能において、
前記流量調節弁の開度が全閉で、かつ、前記流量計で測定した瞬時流量値が0L/minの状態で、前記流量調節弁の開度を全閉から指定開度まで強制的に開くように設定されている
ことを特徴とする請求項1に記載の流量制御装置。 - 前記オーバーシュート抑制機能において、
指定変化量以下かつ指定サンプリング回数以上を検知した場合、又は、複数回連続で設定流量値以上を検知した場合に、前記予め設定された流量閾値に到達したと判断する
ことを特徴とする請求項1に記載の流量制御装置。
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