JP7140351B2 - センサユニット - Google Patents
センサユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP7140351B2 JP7140351B2 JP2018110911A JP2018110911A JP7140351B2 JP 7140351 B2 JP7140351 B2 JP 7140351B2 JP 2018110911 A JP2018110911 A JP 2018110911A JP 2018110911 A JP2018110911 A JP 2018110911A JP 7140351 B2 JP7140351 B2 JP 7140351B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- sensor unit
- airflow
- flow path
- component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
- G01F15/14—Casings, e.g. of special material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6842—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow with means for influencing the fluid flow
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6845—Micromachined devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
- G01F15/02—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature
- G01F15/022—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature using electrical means
- G01F15/024—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature using electrical means involving digital counting
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
- G01F15/06—Indicating or recording devices
- G01F15/065—Indicating or recording devices with transmission devices, e.g. mechanical
- G01F15/066—Indicating or recording devices with transmission devices, e.g. mechanical involving magnetic transmission devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F5/00—Measuring a proportion of the volume flow
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P13/00—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement
- G01P13/02—Indicating direction only, e.g. by weather vane
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P5/00—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Indicating Or Recording The Presence, Absence, Or Direction Of Movement (AREA)
Description
気流センサを備える第1の部品と、
第2の部品と、
第3の部品とを有し、
前記第1の部品は、前記第2の部品又は前記第3の部品と選択的に接続可能な下端部と、前記第3の部品又は前記第2の部品と選択的に接続可能な上端部とを有する、センサユニットを提供する。
Claims (10)
- 気流センサを備える第1の部品と、
第2の部品と、
第3の部品とを有し、
前記第1の部品は、前記第2の部品又は前記第3の部品と選択的に接続可能な下端部と、前記第3の部品又は前記第2の部品と選択的に接続可能な上端部とを有する、センサユニット。 - 前記第2の部品は、前記下端部又は前記上端部に選択的に接続可能な第1の端部を有し、
前記第3の部品は、前記上端部又は前記下端部に選択的に接続可能な第2の端部を有する、請求項1に記載のセンサユニット。 - 前記第1の端部は、前記下端部又は前記上端部に選択的に嵌まる第1の周縁部を有し、
前記第2の端部は、前記上端部又は前記下端部に選択的に嵌まる第2の周縁部を有する、請求項2に記載のセンサユニット。 - 前記第2の部品は、前記第1の端部とは反対側の第3の端部を有し、
前記第3の部品は、前記第2の端部とは反対側の第4の端部を有し、
前記第3の端部又は前記第4の端部は、センサユニット外部の固定部に取り付け可能である、請求項2又は3に記載のセンサユニット。 - 前記第2の部品は、分離可能な第1のブロックと第2のブロックとを含み、
前記第1のブロックは、前記第1の端部を有し、
前記第2のブロックは、前記固定部に取り付け可能な前記第3の端部を有する、請求項4に記載のセンサユニット。 - 前記気流センサは、前記第1の部品の外周部に開口する流路口と連通する空間に前記流路口と異なる高さに配置される、請求項1から5のいずれか一項に記載のセンサユニット。
- 前記第1の部品は、
第1の流路板と、
前記第1の流路板と対向して配置される第2の流路板と、
前記気流センサが配置される空間が前記第1の流路板と前記第2の流路板との間に形成されるように前記第1の流路板に対して前記第2の流路板を支持する少なくとも一つの支柱と、
前記第2の流路板に設置され、前記気流センサが実装される第1の基板と、
前記第1の流路板に設置され、前記支柱の中を通る導体を介して前記第1の基板に接続される第2の基板とを有する、請求項1から6のいずれか一項に記載のセンサユニット。 - 前記第2の部品は、前記第2の基板に導電的に接続される第3の基板を有する、請求項7に記載のセンサユニット。
- 前記第2の部品は、少なくとも一つの他のセンサとセンサ信号を取得する制御部との少なくとも一方を備え、
前記他のセンサ又は前記制御部は、前記第3の基板に実装される、請求項8に記載のセンサユニット。 - 前記第2の部品は、少なくとも一つの他のセンサとセンサ信号を取得する制御部との少なくとも一方を備える、請求項1から8のいずれか一項に記載のセンサユニット。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018110911A JP7140351B2 (ja) | 2018-06-11 | 2018-06-11 | センサユニット |
US16/433,451 US11041747B2 (en) | 2018-06-11 | 2019-06-06 | Sensor unit and airflow measurement apparatus |
CN201910502264.XA CN110579621B (zh) | 2018-06-11 | 2019-06-11 | 传感器单元以及气流测定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018110911A JP7140351B2 (ja) | 2018-06-11 | 2018-06-11 | センサユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019215171A JP2019215171A (ja) | 2019-12-19 |
JP7140351B2 true JP7140351B2 (ja) | 2022-09-21 |
Family
ID=68764813
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018110911A Active JP7140351B2 (ja) | 2018-06-11 | 2018-06-11 | センサユニット |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11041747B2 (ja) |
JP (1) | JP7140351B2 (ja) |
CN (1) | CN110579621B (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4295768B2 (ja) | 2005-02-03 | 2009-07-15 | 統寶光電股▲ふん▼有限公司 | 有機発光ディスプレイ装置およびその画像を表示する方法 |
JP2009204626A (ja) | 2009-06-19 | 2009-09-10 | Horiba Stec Co Ltd | 差圧流量計 |
JP6117679B2 (ja) | 2008-09-22 | 2017-04-19 | ベクトン・ディキンソン・アンド・カンパニーBecton, Dickinson And Company | 光分解化学的気相堆積法および/または熱化学的気相堆積法を使用して容器の内部を被覆するシステム |
US20170153651A1 (en) | 2015-11-30 | 2017-06-01 | Axetris Ag | Flow rate measuring unit and flow rate control unit |
WO2017146920A1 (en) | 2016-02-25 | 2017-08-31 | Physical Optics Corporation | Power-oriented weather sensor |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04295768A (ja) * | 1991-03-25 | 1992-10-20 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 流体検出装置 |
JP2510962B2 (ja) * | 1992-10-06 | 1996-06-26 | 三菱重工業株式会社 | 複合薄膜センサモジュ―ル |
US6928865B2 (en) * | 2002-05-29 | 2005-08-16 | Ckd Corporation | Thermal flowmeter having a laminate structure |
JP4177183B2 (ja) * | 2003-06-18 | 2008-11-05 | 株式会社日立製作所 | 熱式空気流量計 |
US7415895B2 (en) * | 2005-08-26 | 2008-08-26 | Smc Kabushiki Kaisha | Flow meter with a rectifying module having a plurality of mesh members |
DE102006038620A1 (de) * | 2006-08-17 | 2008-02-21 | Hydrometer Gmbh | Durchflussmesser |
CN103134944A (zh) * | 2011-11-29 | 2013-06-05 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 一种流速测量装置 |
JP5541298B2 (ja) * | 2012-01-26 | 2014-07-09 | 株式会社デンソー | 空気流量測定装置 |
JP5704129B2 (ja) * | 2012-06-22 | 2015-04-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置のデータ取得方法及びセンサ用基板 |
US9891087B2 (en) * | 2014-10-28 | 2018-02-13 | Supertrapp Industries, Inc. | Mass airflow sensor for internal combustion engines |
US10324104B2 (en) * | 2016-01-04 | 2019-06-18 | Bradley Charles Ashmore | Device for measuring the speed and direction of a gas flow |
CN106771341B (zh) * | 2016-12-13 | 2024-01-30 | 武汉中地依舸科技有限公司 | 流速传感器、流速流向测定装置及方法 |
-
2018
- 2018-06-11 JP JP2018110911A patent/JP7140351B2/ja active Active
-
2019
- 2019-06-06 US US16/433,451 patent/US11041747B2/en active Active
- 2019-06-11 CN CN201910502264.XA patent/CN110579621B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4295768B2 (ja) | 2005-02-03 | 2009-07-15 | 統寶光電股▲ふん▼有限公司 | 有機発光ディスプレイ装置およびその画像を表示する方法 |
JP6117679B2 (ja) | 2008-09-22 | 2017-04-19 | ベクトン・ディキンソン・アンド・カンパニーBecton, Dickinson And Company | 光分解化学的気相堆積法および/または熱化学的気相堆積法を使用して容器の内部を被覆するシステム |
JP2009204626A (ja) | 2009-06-19 | 2009-09-10 | Horiba Stec Co Ltd | 差圧流量計 |
US20170153651A1 (en) | 2015-11-30 | 2017-06-01 | Axetris Ag | Flow rate measuring unit and flow rate control unit |
WO2017146920A1 (en) | 2016-02-25 | 2017-08-31 | Physical Optics Corporation | Power-oriented weather sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11041747B2 (en) | 2021-06-22 |
JP2019215171A (ja) | 2019-12-19 |
US20190376829A1 (en) | 2019-12-12 |
CN110579621A (zh) | 2019-12-17 |
CN110579621B (zh) | 2023-03-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8572993B2 (en) | Apparatus for detecting fogged window of vehicle | |
US10859523B2 (en) | Gas sensor | |
US11143614B2 (en) | Gas sensor | |
JP7084886B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP2009230510A (ja) | 火災警報器 | |
JP7140351B2 (ja) | センサユニット | |
JP6815352B2 (ja) | ガスセンサ | |
KR102156339B1 (ko) | 항공기의 통합 대기 자료 시스템 | |
JP6582769B2 (ja) | 電子機器 | |
US10024813B2 (en) | Gas detection apparatus | |
JP3318855B2 (ja) | カルマン渦式流量計 | |
JP7005856B2 (ja) | 気流測定装置、及びこれを用いた環境測定装置 | |
JP7055680B2 (ja) | ガスセンサ | |
KR102479685B1 (ko) | 미세먼지 측정장치 | |
JP2005172445A (ja) | フローセンサ | |
JP6475081B2 (ja) | 熱式流量計及びその傾斜誤差改善方法 | |
KR20190090267A (ko) | 침수 및 수위 감지용 센서 모듈 및 그 제어방법 | |
KR20230084921A (ko) | 열전도식 가스감지센서 및 이를 이용한 가스 측정방법 | |
TWI841861B (zh) | 高穩定度溫度計結構及使用該溫度計結構的系統 | |
JPH0991561A (ja) | 煙感知器 | |
JP6923405B2 (ja) | 圧力変化測定装置 | |
CN105486357A (zh) | 智能电子冷热水表装置 | |
US10996189B2 (en) | Method of venting oxygen sensors | |
JP6545030B2 (ja) | 室内用温度センサ | |
TWM566807U (zh) | Fluid steady flow structure of the pipeline |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20190530 |
|
A625 | Written request for application examination (by other person) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 Effective date: 20210510 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220301 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220428 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220809 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220830 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7140351 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |