JP6923405B2 - 圧力変化測定装置 - Google Patents
圧力変化測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6923405B2 JP6923405B2 JP2017182437A JP2017182437A JP6923405B2 JP 6923405 B2 JP6923405 B2 JP 6923405B2 JP 2017182437 A JP2017182437 A JP 2017182437A JP 2017182437 A JP2017182437 A JP 2017182437A JP 6923405 B2 JP6923405 B2 JP 6923405B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- cavity
- measuring device
- change measuring
- pressure change
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 claims description 8
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 8
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
まず、本発明の第1実施形態に係る圧力変化測定装置の構成について説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係る圧力変化測定装置1を示す構成図である。圧力変化測定装置1は、配線2に接続された回路基板3と、回路基板の開口部4を覆うように配置されたセンサ5と、回路基板のセンサ側に配置されセンサを囲む第1圧力室を形成する第1キャビティ6と、回路基板のセンサと反対側(開口部側)に配置され回路基板の開口部4を覆う第2圧力室を形成する第2キャビティ7とを有する。
次に、本発明の第2実施形態に係る圧力変化測定装置の構成について説明する。図2は、本発明の第2実施形態に係る圧力変化測定装置21を示す構成図である。図1に示す第1実施形態に係る圧力変化測定装置1との違いは、第2実施形態に係る圧力変化測定装置21では、基板の一部に溝10、11を設けている点である。他の構成については、図1に示す第1実施形態に係る圧力変化測定装置1と同じであるので、説明は省略する。
次に、本発明の第3実施形態に係る圧力変化測定装置の構成について説明する。図3(a)は、本発明の第3実施形態に係る圧力変化測定装置31を示す構成図であり、図3(b)は、本発明の第3実施形態に係る圧力変化測定装置32を示す構成図である。図1に示す第1実施形態に係る圧力変化測定装置1との違いは、第3実施形態に係る圧力変化測定装置31および32では、第2圧力通過孔9を覆うように吸音材および/または保温材12が設けられている点である。他の構成については、図1に示す第1実施形態に係る圧力変化測定装置1と同じであるので、説明は省略する。
次に、本発明の第4実施形態に係る圧力変化測定装置の構成について説明する。図4(a)は、本発明の第4実施形態に係る圧力変化測定装置41を示す構成図であり、図4(b)は、本発明の第4実施形態に係る圧力変化測定装置42を示す構成図である。図1に示す第1実施形態に係る圧力変化測定装置1との違いは、第4実施形態に係る圧力変化測定装置41および42では、第2圧力通過孔9の形態が異なる点である。他の構成については、図1に示す第1実施形態に係る圧力変化測定装置1と同じであるので、説明は省略する。
2、52 配線
3、53 回路基板
4、54 開口部
5 センサ(カンチレバー)
6 第1キャビティ
7 第2キャビティ
8 第1圧力通過孔
9、9a、9b、9c 第2圧力通過孔
10、11 溝
12 吸音材・保温材
55 センサ
56 キャビティ
57 圧力通過孔
Claims (8)
- 開口部を有する回路基板と、
前記回路基板の前記開口部を覆うように配置され、第1圧力通過孔を有するセンサと、
前記回路基板のセンサ側に配置され、前記センサを囲む第1圧力室を形成するように構成された第1キャビティと、
前記回路基板のセンサと反対側に配置され、前記開口部を覆う第2圧力室を形成するように構成され、第2圧力通過孔を有する第2キャビティと、
を備えることを特徴とする圧力変化測定装置。 - 前記第1キャビティの形(容量)と前記第2キャビティの形(容量)は略等しく、前記第1キャビティおよび前記第2キャビティは前記回路基板を挟んで対称に配置されている
ことを特徴とする請求項1に記載の圧力変化測定装置。 - 前記第1キャビティの材質と前記第2キャビティの材質は略等しく、前記第1キャビティおよび前記第2キャビティは前記回路基板を挟んで対称に配置されている
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧力変化測定装置。 - 前記第2キャビティは、遮光性を有し熱伝導率の低い材質からなる
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の圧力変化測定装置。 - 前記回路基板の一部の厚さが薄い
ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の圧力変化測定装置。 - 前記第2圧力通過孔は、吸音材または保温材で覆われている
ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の圧力変化測定装置。 - 前記第2圧力通過孔は2つ以上設けられている
ことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の圧力変化測定装置。 - 前記第2圧力通過孔は、前記第2キャビティの1面に設けられたメッシュ形状である
ことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の圧力変化測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017182437A JP6923405B2 (ja) | 2017-09-22 | 2017-09-22 | 圧力変化測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017182437A JP6923405B2 (ja) | 2017-09-22 | 2017-09-22 | 圧力変化測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019056666A JP2019056666A (ja) | 2019-04-11 |
JP6923405B2 true JP6923405B2 (ja) | 2021-08-18 |
Family
ID=66107254
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017182437A Active JP6923405B2 (ja) | 2017-09-22 | 2017-09-22 | 圧力変化測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6923405B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5742323B2 (ja) * | 2011-03-14 | 2015-07-01 | オムロン株式会社 | センサパッケージ |
JP6144540B2 (ja) * | 2013-06-03 | 2017-06-07 | セイコーインスツル株式会社 | 圧力センサ |
US9574959B2 (en) * | 2014-09-02 | 2017-02-21 | Apple Inc. | Various stress free sensor packages using wafer level supporting die and air gap technique |
-
2017
- 2017-09-22 JP JP2017182437A patent/JP6923405B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019056666A (ja) | 2019-04-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10129676B2 (en) | MEMS microphone, apparatus comprising a MEMS microphone and method for fabricating a MEMS microphone | |
JP6349713B2 (ja) | 内部温度センサ | |
US7270011B2 (en) | Combined absolute-pressure and relative-pressure sensor | |
JP6398807B2 (ja) | 温度差測定装置 | |
JP2016523356A5 (ja) | ||
JP2013531248A (ja) | 赤外線温度測定、及び、その安定化 | |
JP6398808B2 (ja) | 内部温度測定装置及びセンサパッケージ | |
WO2016067952A1 (ja) | 内部温度測定装置 | |
JP2005121631A (ja) | 複合技術を有する流量計 | |
WO2015137075A1 (ja) | 内部温度測定方法及び内部温度測定装置 | |
JP5441845B2 (ja) | デュアル圧力センサ及び流量制御弁 | |
WO2016143517A1 (ja) | センサパッケージ | |
JP6923405B2 (ja) | 圧力変化測定装置 | |
US20190293467A1 (en) | Mass air flow sensor with absolute pressure compensation | |
JP6923406B2 (ja) | 圧力変化測定装置 | |
JP6564358B2 (ja) | 物理量測定装置 | |
TWI664396B (zh) | 熱型氣壓高度計 | |
US11125595B2 (en) | Flow rate measurement device and embedded gas meter | |
JP7128946B2 (ja) | 熱伝達率測定素子 | |
JP2019028055A (ja) | ガスセンサ | |
JP2005172445A (ja) | フローセンサ | |
JPWO2017203860A1 (ja) | 湿度測定装置 | |
EP2866012A1 (en) | A sensor element comprising a constraining layer | |
KR101885854B1 (ko) | 박막 파손방지 기구를 갖는 열식유량센서 및 제조방법 | |
JP7005856B2 (ja) | 気流測定装置、及びこれを用いた環境測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200707 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210512 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210518 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210630 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210713 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210729 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6923405 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |