JP7135677B2 - ヘッドユニット及び液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、ノズルから液体を噴射する循環ヘッドを複数具備するヘッドユニット及び液体噴射装置に関し、特に、液体としてインクを吐出するヘッドユニット及びインクジェット式記録装置に関する。

インクジェット式プリンターやプロッター等のインクジェット式記録装置に代表される液体噴射装置は、カートリッジやタンク等に貯留されたインクなどの液体を液滴として噴射可能な液体噴射ヘッドを具備する。

このような液体噴射装置に用いられる液体噴射ヘッドは、単体でノズルの長尺化（多ノズル化）や高密度化を行うのは、液体噴射ヘッドが大型化して歩留まりが低下すると共に、製造コストが高価になってしまうため困難である。このため、複数の液体噴射ヘッドを共通の固定部材に固定してユニット化したヘッドユニットが提案されている。

また、液体噴射ヘッドでは、例えば、インクに含まれる気泡を排出するためや、インクの増粘を抑制するため、インクに含まれる成分が沈降するのを抑制するために、液体噴射ヘッド内のインクを循環するようにした循環ヘッドが知られている（例えば、特許文献１参照）。

このような循環ヘッドを複数並べる場合に、互いに隣り合う循環ヘッドの間のつなぎ目側を同じ供給口又は同じ排出口とすることで、互いに隣り合う循環ヘッドの間で隣り合うノズルから吐出されるインクの重量差を低減するようにしたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１２－１７６５６０号公報

しかしながら、複数の循環ヘッドを有するヘッドユニットを複数並べた場合に、互いに隣り合うヘッドユニットの間で隣り合うノズルから吐出されるインクに重量差が生じ、隣り合うヘッドユニットのつなぎ目において濃度差による塗布むらが生じてしまうという問題がある。

なお、このような問題はインクを吐出するヘッドユニットだけではなく、インク以外の液体を噴射するヘッドユニットにおいても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、複数のヘッドユニットを並べた場合に、隣り合うヘッドユニットのつなぎ目において噴射される液体の重量差を低減して、塗布ムラを抑制することができるヘッドユニット及び液体噴射装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、互いに直交する３つの方向をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向とする場合に、前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向により定めるＸＹ面における位置が互いに異なる複数の循環ヘッドと、外部から供給された液体を、複数の前記循環ヘッドへ供給するための供給管と、複数の前記循環ヘッドから液体を外部に排出するための排出管と、前記循環ヘッドと前記供給管と前記排出管とを接続する流路が形成された流路部材と、を備えるヘッドユニットであって、前記循環ヘッドは、それぞれ複数のノズルが設けられたノズルプレートを備え、前記Ｚ方向から前記循環ヘッドを平面視した際に、前記循環ヘッドの複数の前記ノズルは、前記Ｘ方向の一端側に第１ノズルを備え、前記Ｘ方向の他端側に第２ノズルを備え、循環時において前記第１ノズルにおける液体の圧力は、前記第２ノズルにおける液体の圧力よりも高く、前記Ｚ方向から当該ヘッドユニットを平面視した際に、前記第１ノズルが前記Ｘ方向の両端にある、または、前記第２ノズルが前記Ｘ方向の両端にあることを特徴とするヘッドユニットにある。

また、本発明の他の態様は、互いに直交する３つの方向をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向とする場合に、前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向により定めるＸＹ面における位置が互いに異なる複数の循環ヘッドと、外部から供給された液体を、複数の前記循環ヘッドへ供給するための供給管と、複数の前記循環ヘッドから液体を外部に排出するための排出管と、前記循環ヘッドと前記供給管と前記排出管とを接続する流路が形成された流路部材と、を備えるヘッドユニットであって、前記循環ヘッドは、液体を噴射する複数のノズルと、複数の前記ノズルが共通して連通するマニホールドと、を備え、前記Ｚ方向から前記循環ヘッドを平面視した際に、前記マニホールドに液体を供給する供給口を前記Ｘ方向の一端部側に備え、前記マニホールドの液体を排出する排出口を前記Ｘ方向の他端部側に備え、前記Ｚ方向から当該ヘッドユニットを平面視した際に、前記供給口が前記Ｘ方向の両端にある、または、前記排出口が前記Ｘ方向の両端にあることを特徴とするヘッドユニットにある。

さらに、本発明の他の態様は、上記態様に記載のヘッドユニットを複数具備することを特徴とする液体噴射装置にある。

液体噴射装置の概略構成を示す平面図である。 ヘッドモジュールの分解斜視図である。 ヘッドモジュールの平面図である。 ヘッドユニットの斜視図である。 ヘッドユニットの上側（－Ｚ側）の分解斜視図である。 ヘッドユニットの下側（＋Ｚ側）の分解斜視図である。 ヘッドユニットの噴射面を説明する平面図である。 ヘッドユニットに設けられた循環ヘッドを－Ｚ側から見た平面図である。 ヘッドモジュールのインク重量を示すグラフである。 ヘッドユニットの変形例を示す－Ｚ側から見た平面図である。 循環ヘッドの断面図である。 循環ヘッドの流路構成を模式的に表した図である。 流路を示す概略図である。 ヘッドユニットの流路部材を説明する平面図である。 流路部材の断面図である。 流路部材の断面図である。 流路部材の断面図である。 流路部材の流路構成を模式的に表した図である。 ヘッドユニットの変形例を示す－Ｚ側から見た平面図である。 ヘッドユニットに設けられた循環ヘッドを－Ｚ側から見た平面図である。 ヘッドユニットの流路部材を説明する平面図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。ただし、以下の説明は、本発明の一態様を示すものであって、本発明の範囲内で任意に変更可能である。各図において同じ符号を付したものは、同一の部材を示しており、適宜説明が省略されている。また、各図においてＸ、Ｙ、Ｚは、互いに直交する３つの空間軸を表している。本明細書では、これらの軸に沿った方向をＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向とし、各図の矢印が向かう方向を正（＋）方向、矢印の反対方向を負（－）方向として説明する。また、Ｚ方向は、鉛直方向を示し、＋Ｚ方向は直下向き、－Ｚ方向は鉛直上向きを示す。

（実施形態１）
図１は、液体噴射装置の概略構成を示す平面図である。図１に示すように、本実施形態の液体噴射装置は、液体であるインクを媒体Ｓに噴射するインクジェット方式記録装置である。液体噴射装置Ｉに用いられる媒体Ｓとしては、例えば、紙や樹脂フィルム、布等が挙げられる。

液体噴射装置Ｉには、インクを貯留する液体容器２が固定されている。液体容器２としては、例えば液体噴射装置Ｉに着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、インクを補充可能なインクタンクなどが挙げられる。また、特に図示していないが、液体容器２には、色や種類の異なる複数種類のインクが貯留されている。なお、液体容器２は、液体貯留手段の一例である。

また、液体噴射装置Ｉは、制御部である制御ユニット３と搬送機構４とヘッドモジュール１００とを具備する。

制御ユニット３は、特に図示していないが、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の制御装置と半導体メモリ等の記憶装置とを含んで構成され、記憶装置に記憶されたプログラムを制御装置が実行することで液体噴射装置Ｉの各要素を統括的に制御する。

搬送機構４は、制御ユニット３によって制御されて媒体ＳをＸ方向に搬送するものであり、例えば、搬送ローラー５を有する。なお、媒体Ｓを搬送する搬送機構は、搬送ローラー５に限らず、ベルトやドラムによって媒体Ｓを搬送するものであってもよい。

移動機構６は、制御ユニット３によって制御されてヘッドモジュール１００をＹ方向に往復させる。移動機構６によってヘッドモジュール１００が往復するＹ方向は、媒体Ｓが搬送されるＸ方向に交差する方向である。

具体的には、本実施形態の移動機構６は、搬送体７と搬送ベルト８とを具備する。搬送体７は、ヘッドモジュール１００を支持する略箱形の構造体、所謂、キャリッジであり、搬送ベルト８に固定される。搬送ベルト８は、Ｙ方向に沿って架設された無端ベルトである。制御ユニット３による制御のもとで搬送ベルト８が回転することでヘッドモジュール１００が搬送体７と共にＹ方向に沿って往復する。なお、液体容器２をヘッドモジュール１００と共に搬送体７に搭載することも可能である。

本実施形態では、液体容器２は８個設けられており（同図には纏めて一つを図示している）、１個のヘッドユニット１に対して２個の液体容器２からインクが供給される。１個のヘッドユニット１に対応する２個の液体容器２をそれぞれ液体容器２Ａ、液体容器２Ｂとする。液体容器２Ａには供給チューブＴＡin及び排出チューブＴＡoutが接続されている。液体容器２Ｂには、供給チューブＴＢin及び排出チューブＴＢoutが接続されている。供給チューブＴＡin、排出チューブＴＡout、供給チューブＴＢin及び排出チューブＴＢoutを纏めてチューブとも称する。

供給チューブＴＡin及び供給チューブＴＢinは、ポンプ２００によって所定圧力にされ、ヒーター２０１により所定温度にされた液体容器２Ａ及び液体容器２Ｂのインクをヘッドモジュール１００へ供給するチューブである。排出チューブＴＡout及び排出チューブＴＢoutは、ヘッドモジュール１００から排出されたインクを液体容器２Ａ及び液体容器２Ｂへ排出するチューブである。

このような液体容器２Ａ、液体容器２Ｂ、上記チューブがヘッドユニット１ごとに設けられている。

ヘッドモジュール１００は、液体容器２から供給されたインクを制御ユニット３による制御のもとで媒体Ｓに液滴であるインク滴として噴射する。なお、ヘッドモジュール１００からのインク滴の噴射は、Ｚ方向の正側に向かって行われる。そして、搬送機構４によって媒体ＳがＸ方向に搬送されると共に移動機構６によってヘッドモジュール１００がＹ方向に搬送される際に、ヘッドモジュール１００が媒体Ｓにインク滴を噴射することで、媒体Ｓには所望の画像が形成される。

ヘッドモジュール１００について、図２及び図３を参照して詳細に説明する。図２は、本実施形態に係るヘッドモジュールの分解斜視図である。図３は、ヘッドモジュールの平面図である。

ヘッドモジュール１００は、支持体１０１と複数のヘッドユニット１とを具備する。支持体１０１は、複数のヘッドユニット１を支持する板状部材である。支持体１０１には、各ヘッドユニット１を保持するための支持孔１０２が設けられている。支持孔１０２は、本実施形態では、ヘッドユニット１毎に独立して設けられている。もちろん、支持孔１０２は、複数のヘッドユニット１に亘って連続して設けるようにしてもよい。

ヘッドユニット１は、支持孔１０２に挿通され、後述するヘッドユニット１のフランジ部３５（図４参照）が支持孔１０２の周縁部に支持されている。ヘッドユニット１の循環ヘッド４４（図６参照）側が支持体１０１の＋Ｚ側の面から突出している。

各ヘッドユニット１には、Ｘ方向の両端部に、固定口１０４が設けられている。支持体１０１には、各ヘッドユニット１を固定するためのネジ穴１０５が設けられている。ネジ１０３が固定口１０４を挿通してネジ穴１０５に螺合されることで、各ヘッドユニット１が支持体１０１に固定されている。

本実施形態では、ヘッドユニット１は、Ｘ方向に２個、Ｙ方向に４個、合計８個が支持体１０１に固定されている。各ヘッドユニット１は、後述するノズルＮの並設方向がＸ方向となるように配置されている。

図４～図９を参照してヘッドユニット１について詳細に説明する。図４は、ヘッドユニットの斜視図である。図５はヘッドユニットの上側（－Ｚ側）の分解斜視図である。図６はヘッドユニットの下側（＋Ｚ側）の分解斜視図である。図７はヘッドユニットの噴射面を説明する平面図である。図８はヘッドユニットに設けられた循環ヘッドを－Ｚ側から見た平面図である。図９はヘッドユニットから吐出されるインク滴の重量を示すグラフである。図１０はヘッドユニットの変形例を説明する図である。なお、図８ではヘッドユニットの一部の図示が省略されている。

図５～図８に示すように、ヘッドユニット１は、複数の循環ヘッド４４と、循環ヘッド４４を保持するホルダー３０と、循環ヘッド４４にインクを供給する流路部材６０と、循環ヘッド４４に制御信号等を送受信するための配線が接続されるコネクター７５と、を備えている。本実施形態では、一つのヘッドユニット１は、４つの循環ヘッド４４を備えている。

ここで、本実施形態の循環ヘッド４４について、さらに図１１及び図１２を参照して説明する。なお、図１１は循環ヘッドの断面図である。図１２は循環ヘッドの流路を模式的に表した図である。
図１１及び図１２に示すように、本実施形態の循環ヘッド４４は、圧力室基板４８２と振動板４８３と圧電アクチュエーター４８４と筐体部４８５と保護基板４８６とが流路形成基板４８１の一方側に配置されると共に、他方側にノズルプレート４８７および緩衝板４８８が配置された構造体である。

流路形成基板４８１と圧力室基板４８２とノズルプレート４８７とは例えばシリコンの平板材で形成され、筐体部４８５は例えば樹脂材料の射出成形で形成される。複数のノズルＮはノズルプレート４８７に形成される。ノズルプレート４８７のうち流路形成基板４８１とは反対側の表面がノズル面となっている。

流路形成基板４８１には、開口部４８１Ａと絞り流路である分岐流路４８１Ｂと連通流路４８１Ｃとが形成されている。分岐流路４８１Ｂおよび連通流路４８１ＣはノズルＮ毎に形成された貫通孔であり、開口部４８１Ａは複数のノズルＮに亘って連続する開口である。緩衝板４８８は、流路形成基板４８１のうち圧力室基板４８２とは反対側の表面に設置されて開口部４８１Ａを閉塞する平板材からなるコンプライアンス基板である。開口部４８１Ａ内の圧力変動は緩衝板４８８が可撓変形することによって吸収される。

筐体部４８５には、流路形成基板４８１の開口部４８１Ａに連通する共通液室であるマニホールドＳRが形成される。マニホールドＳRは、複数のノズルＮに供給されるインクを貯留する空間であり、複数のノズルＮに亘って連続して設けられている。また、筐体部４８５には、図１０に示すように、マニホールドＳRにインクが上流側から供給される供給口Ｒinと、マニホールドＳRからインクが下流側に排出される排出口Ｒoutと、が設けられている。なお、図８において供給口Ｒinは「入」、排出口Ｒoutは「出」で示している。供給口Ｒinは、詳しくは後述するが、流路部材６０の供給管ＰＡin、ＰＢinに供給路６１Ａ、６１Ｂを介して接続され、排出口Ｒoutは、流路部材６０の排出管ＰＡout、ＰＢoutに排出路６２Ａ、６２Ｂを介して接続されている。

また、本実施形態では、図８及び図１１に示すように、循環ヘッド４４には、ノズルＮがＸ方向に沿って並設されている。また、循環ヘッド４４には、ノズルＮがＸ方向に並設された列がＹ方向に複数列、本実施形態では、２列設けられている。すなわち、一つの循環ヘッド４４には、供給口Ｒin、ノズルＮの一列に連なるマニホールドＳR、排出口Ｒoutに至るインクの循環流路が２つ形成されている。

このような供給口Ｒinは、ノズルＮの並設方向であるＸ方向において、マニホールドＳRの一端側に配置され、排出口ＲoutはＸ方向においてマニホールドＳRの他端側に配置されている。そして、供給口ＲinからマニホールドＳR内に供給されたインクは、排出口ＲoutからマニホールドＳRの外部に排出される。すなわち、マニホールドＳR内をインクが循環している。

ここで、マニホールドＳR内のインクは循環しており、マニホールドＳRには圧力がかかっているため、マニホールドＳR内の圧力がノズルＮからインクを吐出する際の背圧として圧力室ＳCの圧力に影響を与える。そしてマニホールドＳRには、Ｘ方向の一端部に供給口Ｒinが設けられ、他端部に排出口Ｒoutが設けられているため、上流側である供給口Ｒin側の圧力室ＳCから下流側の排出口Ｒoutの圧力室ＳCに圧力勾配が発生する。したがって、上流側である供給口Ｒin側の圧力室ＳCは、下流側の排出口Ｒoutの圧力室ＳCに対して大きな圧力変動が生じる。このような圧力室ＳCに連通するノズルＮも同様の圧力変動が生じる。よって、インクの吐出量、すなわち、インクの重量も上流側である供給口Ｒin側から下流側である排出口Ｒout側に向かって次第に減少する。

すなわち、マニホールドＳR内をインクが循環している際に、マニホールドＳRに連通する複数のノズルＮにおいて、供給口Ｒin側の一端部のノズルＮ内のインクの圧力は、排出口Ｒout側の他端部のノズル内のインクの圧力よりも高い。本実施形態では、ノズルＮが並設されたＸ方向において供給口Ｒin側の一端部のノズルＮを第１ノズルＮａ、排出口Ｒout側の他端部のノズルＮを第２ノズルＮｂと称する。つまり、循環時において第１ノズルＮａ内のインクの圧力は、第２ノズルＮｂのインクの圧力よりも高い。したがって、第１ノズルＮａから吐出されるインク滴の重量は、第２ノズルＮｂから吐出されるインク滴の重量よりも大きい。

圧力室基板４８２には、ノズルＮ毎に開口部４８２Ａが形成されている。振動板４８３は、圧力室基板４８２のうち流路形成基板４８１とは反対側の表面に設置された弾性変形可能な平板材である。圧力室基板４８２の各開口部４８２Ａの内側で振動板４８３と流路形成基板４８１とに挟まれた空間は、マニホールドＳRから分岐流路４８１Ｂを介して供給されるインクが充填される圧力室ＳCとして機能する。各圧力室ＳCは、流路形成基板４８１の連通流路４８１Ｃを介してノズルＮに連通する。

振動板４８３の圧力室基板４８２とは反対側の表面には、ノズルＮ毎に圧電アクチュエーター４８４が形成される。各圧電アクチュエーター４８４は、圧電素子とも言い相互に対向する電極間に圧電体を介在させた駆動素子である。圧電アクチュエーター４８４は、駆動信号に基づいて変形することで振動板４８３を振動させて、圧力室ＳC内のインクの圧力を変動させることで、圧力室ＳC内のインクがノズルＮから噴射される。また、保護基板４８６は、複数の圧電アクチュエーター４８４を保護する。

なお、圧電アクチュエーター４８４に替えて、流路内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルＮからインク滴を吐出させるものや、振動板４８３と電極との間に静電気力を発生させて、静電気力によって振動板４８３を変形させてノズルＮからインク滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

図５～図８等に示すように、このような循環ヘッド４４が、１つのヘッドユニット１に複数、本実施形態では、４つ設けられている。具体的には、複数の循環ヘッド４４は、ヘッドユニット１の共通するホルダー３０に保持されている。

ホルダー３０は、図５及び図６に示すように、＋Ｚ側の面に開口する凹部３３が設けられ、凹部３３の底面には凹形状の収容部３１が設けられている。凹部３３は、固定板３６が嵌め込まれて固定される大きさ、形状の開口を有する。また、収容部３１は、循環ヘッド４４を収容する程度の大きさ、形状の開口を有する。

ホルダー３０には、－Ｚ側の面にフランジ部３５が設けられている。上述した固定口１０４は、フランジ部３５のＸ方向における両端部に設けられている。

各循環ヘッド４４は、固定板３６に固定されている。具体的には、固定板３６は、凹部３３に収容される形状に形成されており、所定の場所に露出開口部３７が形成されている。そして、各循環ヘッド４４は、緩衝板４８８が固定板３６に覆われ、露出開口部３７からノズルＮ（ノズルプレート４８７）が露出するように、固定板３６に接着剤等で固定されている。このようにして固定板３６に固定された循環ヘッド４４は、ノズルプレート４８７側が＋Ｚ側となるように収容部３１に収容されている。固定板３６は凹部３３に接着剤等で固定されている。また、循環ヘッド４４の－Ｚ側の面は、収容部３１の底部に接着剤で接着されている。

すなわち、収容部３１と固定板３６とによって形成された空間内に循環ヘッド４４が収容され、露出開口部３７からノズルＮが露出している。なお、収容部３１は、複数の循環ヘッド４４に亘って共通して設けられていてもよい。

図７に示すように、ホルダー３０に保持された複数の循環ヘッド４４は、Ｘ方向及びＹ方向により定めるＸＹ面における位置が互いに異なる位置となるように配置されている。すなわち、Ｚ方向から平面視した際に、複数の循環ヘッド４４は、互いに重ならない位置に設けられている。なお、複数の循環ヘッド４４がＸＹ面において互いに異なる位置に配置されているとは、循環ヘッド４４のノズル面同士が互いに異なる位置に設けられていることを言う。このため、複数の循環ヘッドのノズル面以外の部分がＺ方向で重なる位置に設けられていてもよい。

また、循環ヘッド４４は、上述したように、Ｘ方向の一端側に第１ノズルＮａ、Ｘ方向の他端側に第２ノズルＮｂとなるように配置されている。本実施形態では、複数のノズルがＸ方向に沿って並設されてノズル列を構成している。

そして、本実施形態では、複数の循環ヘッド４４は、Ｘ方向に沿って千鳥状に配置されている。複数の循環ヘッド４４をＸ方向に沿って千鳥状に配置するとは、Ｘ方向に並設された循環ヘッド４４を交互にＹ方向にずらして配置することである。すなわち、Ｘ方向に並設された循環ヘッド４４の列がＹ方向に２列並設され、２列の循環ヘッド４４の列をＸ方向に半ピッチずらして配置することである。このように循環ヘッド４４をＸ方向に沿って千鳥状に配置することで、２つの循環ヘッド４４のノズルＮをＸ方向で部分的に重複させて、Ｘ方向に亘って連続したノズルＮの列を形成することができる。

ここで、図７を用いてヘッドユニット１の噴射面１０について説明する。噴射面とは、ノズルＮが開口してヘッドユニット１の媒体Ｓに対向する面である。本実施形態では、固定板３６の＋Ｚ側の面及び露出開口部３７によって露出されたノズルプレート４８７のノズル面が噴射面１０となっている。

噴射面１０を内包する最小面積の長方形をＲとする。本実施形態では、長方形Ｒの長辺Ｅ１はホルダー３０のＸ方向に沿う辺に重なり、長方形Ｒの短辺Ｅ２はホルダー３０のＹ方向に沿う辺に重なっている。このような仮想的な長方形Ｒの長辺Ｅ１に平行な中心線をＬとする。

噴射面１０の平面形状は、中心線Ｌが通過する第１部分Ｐ１（図７のハッチ部分）と、中心線Ｌが通過しない第２部分Ｐ２及び第３部分Ｐ３とを備えている。第３部分Ｐ３は、第１部分Ｐ１を挟んで第２部分Ｐ２とは反対側に配列されている。本実施形態では、第１部分Ｐ１、第２部分Ｐ２及び第３部分Ｐ３は何れも矩形状である。

このような第１部分Ｐ１、第２部分Ｐ２及び第３部分Ｐ３に循環ヘッド４４のノズル面が千鳥状に配置されている。そして、図８に示すように、ヘッドユニット１をＸ方向に並設してヘッドモジュール１００とした場合に、一方のヘッドユニット１の第２部分Ｐ２と、他方のヘッドユニット１の第３部分Ｐ３とがＹ方向で対向するように配置することで、Ｘ方向で互いに隣り合うヘッドユニット１のノズルＮをＸ方向で部分的に重複させて、Ｘ方向に亘って連続したノズルＮの列を形成することができる。また、ヘッドユニットをＸ方向に並設した際に、第２部分Ｐ２及び第３部分Ｐ３を設けることで、Ｙ方向に小型化することができる。

このようなヘッドユニット１では、図８に示すように、複数の循環ヘッド４４は、Ｚ方向から平面視した際に、第２ノズルＮｂが、ヘッドユニット１のＸ方向の両端部となるように配置されている。すなわち、Ｘ方向に並設された複数の循環ヘッド４４を－Ｘ側から＋Ｘ方向に向かって順番に第１循環ヘッド４４Ａ、第２循環ヘッド４４Ｂ、第３循環ヘッド４４Ｃ、第４循環ヘッド４４Ｄとすると、第１循環ヘッド４４Ａの－Ｘ側に第２ノズルＮｂが配置され、第４循環ヘッド４４Ｄの＋Ｘ側に第２ノズルＮｂが配置される。ヘッドユニット１のＸ方向の両端部とは、複数の循環ヘッド４４の全てのノズルＮのうち、－Ｘ方向の端部のノズルＮ及び＋Ｘ方向の端部のノズルＮのことであり、この両端部のノズルＮが、第２ノズルＮｂとなるように循環ヘッド４４は配置されている。

言い換えると、マニホールドＳRにインクを供給する供給口Ｒinは、ノズルＮの並設方向であるＸ方向においてマニホールドＳRの一端側に配置され、排出口ＲoutはマニホールドＳRの他端側に配置されている。そして、本実施形態では、Ｚ方向からヘッドユニットを平面視した際に、排出口ＲoutがＸ方向の両端となるように複数の循環ヘッド４４は配置されている。

したがって、図８に示すように、ヘッドユニット１をＸ方向に並べてヘッドモジュール１００とした場合に、Ｘ方向で互いに隣り合う２つのヘッドユニット１の間において、隣り合うノズルＮの圧力差を低減して、隣り合うノズルＮから吐出されるインクの重量差を低減することができる。すなわち、図９に示すように、ヘッドユニット１の両端部の第２ノズルＮｂから吐出されるインク重量は、第１ノズルＮａよりも小さいため、小さいインクが吐出される第２ノズルＮｂ側同士が同じ端部側となるようにヘッドユニット１をＸ方向に並べることで、ヘッドユニット１の間でノズルＮから吐出されるインク滴の重量差を低減することができる。したがって、各ノズルＮから吐出されたインクの濃度が、互いに隣り合う２つのヘッドユニットの間において急激に変化するのを抑制し、この濃度の変化による塗布ムラ、特にスジ状の塗布ムラが生じるのを抑制することができる。また、複数のヘッドユニット１をＸ方向に並べてヘッドモジュール１００とする際に、ヘッドユニット１の両端部のノズルＮが、第２ノズルＮｂであるため、ヘッドユニット１のＸ方向の向きが規定されることなく、組み立て工程を簡略化することができる。すなわち、本実施形態のヘッドユニット１であれば、第１循環ヘッド４４ＡがＸ方向の＋Ｘ側に配置されていても、－Ｘ側に配置されていても、隣り合うヘッドユニット１の間で、隣り合うノズルＮから吐出されるインクの重量差を低減することができる。

また、本実施形態では、図８に示すように、Ｘ方向で隣り合う２つの循環ヘッド４４、すなわち、Ｙ方向で一部が重なるように配置された２つの循環ヘッド４４は、一方の循環ヘッド４４の他方の循環ヘッド４４側の端部のノズルＮと、他方の循環ヘッドの一方の循環ヘッド側の端部のノズルＮとは、同じ種類のノズルとなるように配置されている。つまり、Ｘ方向で互いに隣り合う２つの循環ヘッドのうち、一方の循環ヘッドの他方の循環ヘッド側の端部のノズルＮが第１ノズルＮａの場合には、他方の循環ヘッドの一方の循環ヘッド側の端部のノズルＮも同じ第１ノズルＮａとなっている。同様に、Ｘ方向で互いに隣り合う２つの循環ヘッドのうち、一方の循環ヘッドの他方の循環ヘッド側の端部のノズルＮが第２ノズルＮｂの場合には、他方の循環ヘッドの一方の循環ヘッド側の端部のノズルＮも同じ第２ノズルＮｂとなっている。

本実施形態では、Ｘ方向で互いに隣り合う第１循環ヘッド４４Ａと、第２循環ヘッド４４Ｂとにおいて、第１循環ヘッド４４Ａの＋Ｘ側の端部のノズルＮは、第１ノズルＮａであり、第２循環ヘッド４４Ｂの－Ｘ側の端部のノズルＮは、第１ノズルＮａである。

同様に、Ｘ方向で互いに隣り合う第２循環ヘッド４４Ｂと、第３循環ヘッド４４Ｃとにおいて、第２循環ヘッド４４Ｂの＋Ｘ側の端部のノズルＮは、第２ノズルＮｂであり、第３循環ヘッド４４Ｃの－Ｘ側の端部のノズルＮは、第２ノズルＮｂである。

同様に、Ｘ方向で互いに隣り合う第３循環ヘッド４４Ｃと、第４循環ヘッド４４Ｄとにおいて、第３循環ヘッド４４Ｃの＋Ｘ側の端部のノズルＮは、第１ノズルＮａであり、第４循環ヘッド４４Ｄの－Ｘ側の端部のノズルＮは、第１ノズルＮａである。

このように、Ｘ方向で互いに隣り合う循環ヘッド４４において、Ｙ方向で重なり合う部分の端部のノズルＮを同じ種類のノズルとすることで、循環時にＸ方向で互いに隣り合う２つの循環ヘッド４４の間で隣り合うノズルＮの圧力差を低減することができる。これにより、図９に示すように、Ｘ方向で隣り合う２つの循環ヘッド４４間において、隣り合うノズルＮから吐出されるインクの重量差を低減することができる。したがって、各ノズルＮから吐出されたインクの濃度が、互いに隣り合う２つの循環ヘッド４４の間において急激に変化するのを抑制し、この濃度の変化が視覚的に色ムラとして認識されるのを抑制することができる。

なお、このようにＸ方向で互いに隣り合う循環ヘッド４４において、Ｙ方向で重なり合う部分の端部のノズルＮを同じ種類のノズルとするためには、循環ヘッド４４の数は、偶数である必要がある。つまり、循環ヘッド４４の数が奇数の場合には、上述したように複数の循環ヘッドをＺ方向から平面視した際に、第２ノズルＮｂが、液体噴射ヘッドユニットのＸ方向の両端部となるように配置すると、全てのＸ方向で互いに隣り合う２つの循環ヘッド４４の間でインク重量差を低減する配置にすることができなくなってしまう。したがって、複数の循環ヘッド４４をＺ方向から平面視した際に、第２ノズルＮｂが、ヘッドユニット１のＸ方向の両端部となるように配置すると共に、Ｘ方向で互いに隣り合う循環ヘッド４４において、Ｙ方向で重なり合う部分の端部のノズルＮを同じ種類のノズルとするためには、循環ヘッド４４の数は偶数である。

なお、本実施形態では、複数の循環ヘッド４４は、Ｚ方向から平面視した際に、第２ノズルＮｂが、ヘッドユニット１のＸ方向の両端部となるように配置されるようにしたが、特にこれに限定されず、図１０に示すように、複数の循環ヘッド４４は、Ｚ方向から平面視した際に、第１ノズルＮａが、ヘッドユニット１のＸ方向の両端部となるように配置されていてもよい。

ただし、図１０に示すように、第１ノズルＮａをヘッドユニット１のＸ方向の両端部となるように配置すると、各循環ヘッド４４の供給口Ｒinが、Ｘ方向の矢印Ｂで示す範囲に亘って分散して設けられてしまう。

これに対して、図８に示すように、第２ノズルＮｂをヘッドユニット１のＸ方向の両端部となるように配置すると、各循環ヘッド４４の供給口Ｒinが、Ｘ方向の矢印Ｂで示す範囲よりも狭い矢印Ａで示す範囲に集中して配置される。したがって、第２ノズルＮｂをヘッドユニット１のＸ方向の両端部となるように配置することで、比較的狭い矢印Ａで示す範囲に設けられた供給口Ｒinに接続する流路部材６０の供給路６１Ａ、６１Ｂ（図１３参照）の経路長を短くして、各供給口Ｒinに接続される各供給路６１Ａ、６１Ｂの流路抵抗にばらつきが生じるのを抑制することができる。この結果、供給路６１Ａ、６１Ｂの流路抵抗のばらつきを低減することで、循環ヘッド４４の各々から吐出されるインク滴の吐出特性のばらつきを低減することができ、複数の循環ヘッド４４の間でのインク滴の重量差を低減して、隣り合う循環ヘッド４４の間で重量差による塗布ムラが生じるのを抑制することができる。また、流路の流路抵抗にばらつきを低減することができるため、供給路の流路抵抗のばらつきを低減するために、供給路の流路断面を大きくする必要がなく、供給路の流路断面を大きくすることによる流路部材６０の大型化を抑制することができる。

ここで、流路部材６０についてさらに図１３及び図１４を参照して説明する。なお、図１３は流路を説明する概略図である。図１４はヘッドユニットの流路部材を説明する平面図である。

図５及び図１３に示すように、流路部材６０は、循環ヘッド４４にインクを供給する流路が形成された部材である。本実施形態では、インクを循環ヘッド４４に供給するための供給路６１Ａ及び供給と６１Ｂと、循環ヘッド４４からインクを排出するための排出路６２Ａ及び排出路６２Ｂと、が形成されている。上述したように、本実施形態の循環ヘッド４４には２つのマニホールドＳRと、マニホールドＳRの各々に供給口Ｒin及び排出口Ｒoutが設けられているため、循環ヘッド４４には、２種類のインクが供給及び排出されて循環する。したがって、流路部材６０には、循環ヘッド４４の２つの供給口Ｒinのそれぞれに連通する供給路６１Ａ及び供給路６１Ｂと、２つの排出口Ｒoutのそれぞれに連通する排出路６２Ａ及び排出路６２Ｂとが設けられている。

また、流路部材６０の－Ｚ側の面には、－Ｚ側に突出した円筒状の供給管ＰＡin、供給管ＰＢin、排出管ＰＡout、排出管ＰＢoutが設けられている。図１３に示すように、供給管ＰＡinは供給路６１Ａに連通し、供給管ＰＢinは、供給路６１Ｂに連通している。また、排出管ＰＡoutは排出路６２Ａに連通し、排出管ＰＢoutは、排出路６２Ｂに連通している。

各供給管ＰＡin、ＰＢin及び排出管ＰＡout、ＰＢoutには、チューブが接続され、または、チューブを取り外すことができるようになっている。供給管ＰＡinには供給チューブＴＡinが接続され、供給管ＰＢinには供給チューブＴＢinが接続される。また、排出管ＰＡoutには排出チューブＴＡoutが接続され、排出管ＰＢoutには排出チューブＴＢoutが接続される。

供給路６１Ａは、詳しくは後述するが、流路部材６０内で４つに分岐している。分岐したそれぞれの流路は、ホルダー３０に形成された連通路３４（図５参照）に連通している。同様に、供給路６１Ｂは、流路部材６０内で４つに分岐している。分岐したそれぞれの流路は、ホルダー３０に形成された連通路３４（図５参照）に連通している。

排出路６２Ａは、流路部材６０内で４つに分岐している。分岐したそれぞれの流路は、ホルダー３０に形成された連通路３４（図５参照）に連通している。同様に、排出路６２Ｂは、流路部材６０内で４つに分岐している。分岐したそれぞれの流路は、ホルダー３０に形成された連通路３４（図５参照）に連通している。

連通路３４は、一つの循環ヘッド４４につき４本設けられている。各連通路３４は、２つの供給口Ｒinと２つの排出口Ｒoutとに連通している。

液体容器２Ａのインクは、ポンプ２００により所定圧力に昇圧され、ヒーター２０１により所定温度にされて供給チューブＴＡin、供給管ＰＡinを経由して供給路６１Ａに供給される。そして、インクは、供給路６１Ａで分岐して、連通路３４を経由し、４つの循環ヘッド４４の一方の供給口Ｒinに供給される。４つの循環ヘッド４４の排出口Ｒoutから排出されたインクは、連通路３４を経由し、排出路６２Ａで合流し、排出管ＰＡout、排出チューブＴＡoutを経由して液体容器２Ａに戻される。液体容器２Ａや供給チューブＴＡin、供給管ＰＡin、排出管ＰＡout、排出チューブＴＡoutは、循環ヘッド４４Ａ、４４Ｂ、４４Ｃ、４４Ｄの各々のノズルＮを所定範囲の負圧に保持する構成が取られる。また、供給口Ｒin、排出口Ｒoutを所定範囲の負圧に保ってもよい。負圧に保持する手段としては、循環ヘッド４４に対して液体容器２Ａの液面の水頭を下げることで一定の負圧を発生させる方法、もしくは、液体容器２Ａ内部を一定圧の負圧に保持する方法等がある。ポンプ２００と液体容器２Ａとの間には必要に応じて逆止弁を設けてもよい。

液体容器２Ｂのインクは、ポンプ２００により所定圧力に昇圧され、ヒーター２０１により所定温度にされて供給チューブＴＢin、供給管ＰＢinを経由して供給路６１Ｂに供給される。そして、インクは、供給路６１Ｂで分岐して、連通路３４を経由し、４つの循環ヘッド４４の他方の供給口Ｒinに供給される。４つの循環ヘッド４４の排出口Ｒoutから排出されたインクは、連通路３４を経由し、排出路６２Ｂで合流し、排出管ＰＢout、排出チューブＴＢoutを経由して液体容器２Ｂに戻される。液体容器２Ｂや供給チューブＴＢin、供給管ＰＢin、排出管ＰＢout、排出チューブＴＢoutも、液体容器２Ａと同様に、循環ヘッド４４Ａ、４４Ｂ、４４Ｃ、４４Ｄの各々のノズルＮを所定範囲の負圧に保持する構成が取られる。また、供給口Ｒin、排出口Ｒoutを所定範囲の負圧に保ってもよい。負圧に保持する手段としては、循環ヘッド４４に対して液体容器２Ｂの液面の水頭を下げることで一定の負圧を発生させる方法、もしくは、液体容器２Ｂ内部を一定圧の負圧に保持する方法等がある。ポンプ２００と液体容器２Ｂとの間には必要に応じて逆止弁を設けてもよい。

なお、上述したように、ホルダー３０にはインクが流通する連通路３４が設けられており、ホルダー３０は流路部材としても機能している。

このような流路部材６０は、図５に示すように、ホルダー３０の－Ｚ側に固定されたカバー部材６５内に収容されている。

また、カバー部材６５には、－Ｚ側の面に、４つの貫通孔６７が設けられており、これらの４つの貫通孔６７から、供給管ＰＡin、供給管ＰＢin、排出管ＰＡout、排出管ＰＢoutが外部に露出している。

また、図４及び図５に示すように、カバー部材６５の内部には、コネクター７５を有する回路基板７３が収容されている。回路基板７３に設けられたコネクター７５は、カバー部材６５の－Ｚ側の面に設けられた貫通孔である接続開口部６３から外部に露出されており、コネクター７５に外部の制御ユニット３に接続するための図示しない配線が接続される。

また、流路部材６０は、図１４に示すように、噴射面１０と同様の平面形状を有している。流路部材６０の平面形状は、噴射面１０とまったく同一形状である必要はないが、上述したような第１部分Ｐ１、第２部分Ｐ２、第３部分Ｐ３と同様の部分を有する形状となっている。ホルダー３０及びカバー部材６５の平面形状についても同様である。

流路部材６０のうち、噴射面１０に対する平面視において、第１部分Ｐ１に重なる部分を第１流路部２１、第２部分Ｐ２に重なる部分を第２流路部２２、第３部分Ｐ３に重なる部分を第３流路部２３と称する。

第２流路部２２には、供給管ＰＡin及び供給管ＰＢinが設けられている。また、第３流路部２３には、排出管ＰＡout及び排出管ＰＢoutが設けられている。また、コネクター７５は、Ｚ方向からの平面視において第１流路部２１に重なる位置に配置されている。

このように第２流路部２２及び第３流路部２３に、供給管ＰＡin及び供給管ＰＢin、排出管ＰＡout及び排出管ＰＢoutを設けることで、流路部材６０に供給管ＰＡin及び供給管ＰＢin、排出管ＰＡout及び排出管ＰＢoutを設けるスペースを第１流路部２１、第２流路部２２及び第３流路部２３よりも外側に設ける必要がなく、流路部材６０が大型化するのを抑制することができる。また、第２流路部２２及び第３流路部２３に、供給管ＰＡin及び供給管ＰＢin、排出管ＰＡout及び排出管ＰＢoutを設けることで、第１流路部２１にコネクター７５を設けることができ、スペースを有効活用して流路部材６０の小型化を図ることができる。

ここで、流路部材６０の供給路６１Ａ及び６１Ｂと排出路６２Ａ及び排出路６２Ｂについてさらに図１５～図１８を参照して説明する。なお、図１５は供給路を説明する流路部材の断面図である。図１６及び図１７は排出路を説明する流路部材の断面図である。図１８は流路部材の流路構成を模式的に表した図である。

図示するように本実施形態の流路部材６０は、Ｚ方向に積層された複数の流路基板８０、本実施形態では、５枚の流路基板８０を具備する。本実施形態では、Ｚ方向に積層された５枚の流路基板を－Ｚ側から＋Ｚ側に向かって順番に第１流路基板８１、第２流路基板８２、第３流路基板８３、第４流路基板８４、第５流路基板８５と称する。

このような流路部材６０に、供給路６１Ａ及び供給路６１Ｂと、排出路６２Ａ及び排出路６２Ｂとが設けられている。そして、流路部材６０には、供給路６１Ａ及び供給路６１Ｂと、排出路６２Ａ及び排出路６２Ｂとによって種類の異なるインクが供給される。本実施形態では、２つのインクをそれぞれインクＩａ、インクＩｂと称する。

ここで、供給路６１Ａは、図１５に示すように、上流側から下流側に向かって第１供給路６１１と第２供給路６１２と第３供給路６１３とフィルター室６１０と第４供給路６１４とを具備する。

第１供給路６１１は、第１流路基板８１の－Ｚ側の面に開口すると共に、＋Ｚ側の面に開口するように第１流路基板８１をＺ方向に貫通して設けられている。そして、第１供給路６１１の－Ｚ側の一端部が供給管ＰＡinに接続されている。

第２供給路６１２は、第１流路基板８１と第２流路基板８２とが互いに固定された第１界面９１に設けられたものであり、Ｚ方向に直交する方向、すなわち、ＸＹ面に延設された水平流路である。第２供給路６１２の一端部は、第１供給路６１１の＋Ｚ側の端部と連通する。なお、第２供給路６１２は、第１流路基板８１と第２流路基板８２との両方に凹部を設け、凹部の開口同士を合わせることで形成されている。もちろん、第２供給路６１２は、第１流路基板８１のみに凹部を設けて形成してもよく、第２流路基板８２のみに凹部を設けて形成してもよい。

第３供給路６１３は、一端が第２供給路６１２の他端に連通すると共に、他端が第２流路基板８２の＋Ｚ側の面に開口するように、第２流路基板８２をＺ方向に貫通して設けられている。このような第３供給路６１３は、本実施形態では、４つ設けられている。すなわち、第２供給路６１２は、第１流路基板８１と第２流路基板８２との界面で４つの第３供給路６１３に分岐して設けられている。

フィルター室６１０は、第２流路基板８２と第３流路基板８３とが互いに固定された第２界面９２に設けられている。このフィルター室６１０は、第２流路基板８２に設けられた凹部と、第３流路基板８３に設けられた凹部との開口同士を合わせることで形成されている。このようなフィルター室６１０には、第３供給路６１３の他端が連通して設けられている。なお、本実施形態では、４つの第３供給路６１３のそれぞれにフィルター室６１０が独立して設けられている。

また、フィルター室６１０内には、供給路６１Ａを横断するフィルター８６が設けられている。本実施形態では、フィルター８６は、第２流路基板８２と第３流路基板８３との第２界面９２に設けられている。このようなフィルター８６は、インクに含まれる気泡やゴミなどの異物を捕捉して、インクを濾過するものであり、例えば、金属や樹脂等の繊維を細かく織る又は編むことで複数の微細孔が形成されたシート状のものや、金属や樹脂等の板状部材に複数の微細孔を貫通させたものなどを用いることができる。また、フィルター８６は、例えば、金属や樹脂等の不織布を用いてもよい。

このように循環ヘッド４４にインクを供給する供給路６１Ａにフィルター８６を設けることで、インクに含まれる気泡やゴミなどの異物を除去して、インクに含まれる異物が循環ヘッドに供給されるのを抑制して、インク滴の吐出不良が発生するのを抑制することができる。

また、供給路６１Ａのフィルター８６が設けられたフィルター室６１０は、図１４に示す流路部材６０の第１流路部２１に設けるのが好ましい。このように、流路部材６０の比較的面積が広い第１流路部２１にフィルター室６１０を設けることで、フィルター８６を設けるスペースを確保して、比較的広い面積のフィルター８６を設けることができ、フィルター８６による圧力損失を低減して、供給不良が生じるのを抑制することができる。なお、供給路６１Ｂのフィルター８６についても同様に第１流路部２１に設けるようにすればよい。また、フィルター室６１０を流路部材６０の第１流路部２１に設けることで、フィルター室６１０と循環ヘッド４４との間の流路長が、複数の循環ヘッド４４間で揃いやすくなる。各フィルター室６１０と各循環ヘッド４４との間の並列流路の流路長のばらつきを抑えることにより、並列流路間での抵抗を揃えることができ、並列流路間での流量のばらつきを低減することができる。

第３供給路６１３は、一端が各フィルター室６１０に連通して、他端が第５流路基板８５の＋Ｚ側の面に開口するように、第３流路基板８３と第４流路基板８４と第５流路基板８５とをＺ方向に亘って貫通して設けられている。このような第３供給路６１３は、４つのフィルター室６１０に対応して４つ設けられている。

流路部材６０には、供給路６１Ｂも設けられているが、供給路６１Ｂの構成は、上述した供給路６１Ａと同じであるため、重複する説明は省略する。

また、排出路６２Ａは、図１６に示すように、下流から上流に向かって第１排出路６２１Ａと第２排出路６２２Ａと第３排出路６２３Ａとを具備する。

第１排出路６２１Ａは、一端が第１流路基板８１の－Ｚ側の面に開口すると共に、他端が第３流路基板８３の＋Ｚ側の面に開口するように、第１流路基板８１、第２流路基板８２及び第３流路基板８３をＺ方向に亘って貫通して設けられている。

第２排出路６２２Ａは、第３流路基板８３と第４流路基板８４とが互いに固定された第３界面９３に設けられたものであり、Ｚ方向に直交する方向、すなわち、ＸＹ面に延設された水平流路である。第２排出路６２２Ａの一端部は、第１排出路６２１Ａの＋Ｚ側の他端と連通する。なお、第２排出路６２２Ａは、第３流路基板８３と第４流路基板８４との両方に凹部を設け、凹部の開口同士を合わせることで形成されている。もちろん、第２排出路６２２Ａは、第３流路基板８３のみに凹部を設けて形成してもよく、第４流路基板８４のみに凹部を設けて形成してもよい。

第３排出路６２３Ａは、一端が第２排出路６２２Ａの他端に連通すると共に、他端が第５流路基板８５の＋Ｚ側の面に開口するように、第４流路基板８４と第５流路基板８５とをＺ方向に亘って貫通して設けられている。このような第３排出路６２３Ａは、本実施形態では、４つ設けられている。すなわち、第２排出路６２２Ａは、第３流路基板８３と第４流路基板８４との第３界面９３で４つの第３排出路６２３Ａに分岐して設けられている。

また、排出路６２Ｂは、図１７に示すように、下流側から上流側に向かって第１排出路６２１Ｂ、第２排出路６２２Ｂ、第３排出路６２３Ｂを有する。このうち、第２排出路６２２Ｂが、第４流路基板８４と第５流路基板８５とが固定された第４界面９４に設けられた水平流路となっている。すなわち、第２排出路６２２Ｂは、第４流路基板８４と第５流路基板８５との界面で４つの第３排出路６２３Ｂに分岐して設けられている。

すなわち、流路部材６０は、図１８に示すように、供給路６１Ａ及び供給路６１Ｂが分岐された界面は、第１流路基板８１と第２流路基板８２との間の第１界面９１が１つだけであるのに対し、排出路６２Ａ及び排出路６２Ｂが分岐された界面は、第３流路基板８３と第４流路基板８４との間の第３界面９３と、第４流路基板８４と第５流路基板８５との間の第４界面９４との２つの界面である。すなわち、排出路６２Ａ、６２Ｂを分岐する界面の数は、供給路６１Ａ、６１Ｂを分岐する界面の数よりも多い。このため、排出路６２Ａ、６２Ｂを設けるスペースは、供給路６１Ａ、６１Ｂを設けるスペースよりも広く取ることができ、排出路６２Ａ、６２Ｂの流路断面積を供給路６１Ａ、６１Ｂに比べて大きくすることができる。このように排出路６２Ａ、６２Ｂの流路断面積を供給路６１Ａ、６１Ｂに比べて大きくすることで、排出路６２Ａ、６２Ｂの流路抵抗を供給路６１Ａ、６１Ｂの流路抵抗よりも小さくすることができ、排出路６２Ａ、６２Ｂの圧力損失を供給路６１Ａ、６１Ｂの圧力損失よりも小さくすることができる。したがって、複数のノズルＮから吐出されるインクの総量が変化したとしても、マニホールドＳR内の圧力変動を抑制して、マニホールドＳR内を安定した圧力とすることができる。つまり、１つの循環ヘッド４４において、例えば、１つのノズルＮからインクを吐出する場合と、全てのノズルＮからインクを吐出する場合とでは、インクの消費量が異なる。そして、排出路６２Ａ、６２Ｂの流路抵抗が高いと、同時に吐出するインクの消費量の違いによってマニホールドＳR内の圧力に差が生じてしまう。これは、インクの消費量の違いによって排出路６２Ａ、６２Ｂを流れる流量が変化すると、循環ヘッド４４から液体容器２Ａ，２Ｂまでの動圧が変化し、循環ヘッド４４の圧力に変動が生じる為である。このようにインク消費量の違いによってマニホールドＳR内の圧力に差が生じると、吐出されるインクの重量に差が生じ、媒体Ｓへのインクの塗布ムラが生じてしまう。特に同じ色のインク滴を吐出するノズルＮの場合、インクの重量に差が生じると、スジ状の塗装ムラが生じ易い。本実施形態では、排出路６２Ａ、６２Ｂの流路抵抗を小さくすることで、吐出されるインク消費量の違いによってマニホールドＳR内の圧力変化が生じ難く、インク滴を同時に吐出するノズルＮの数に関わらず吐出されるインクの重量に差が生じるのを抑制することができる。したがって、媒体Ｓへの塗布ムラが生じるのを抑制することができる。

上述した構成のヘッドユニット１は、液体容器２から流路部材６０を介して循環ヘッド４４にインクが供給されるとともに、制御ユニット３から回路基板７３等を介して循環ヘッド４４に印刷信号等が送信され、印刷信号等に基づいて循環ヘッド４４内の圧電アクチュエーター４８４が駆動することによってノズルＮからインク滴を噴射する。

以上説明したように、本実施形態のヘッドユニット１では、互いに直交する３つの方向をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向とする場合に、Ｘ方向及びＹ方向により定めるＸＹ面における位置が互いに異なる複数の循環ヘッド４４と、外部から供給された液体であるインクを、複数の循環ヘッド４４へ供給するための供給管ＰＡin、ＰＢinと、複数の循環ヘッド４４からインクを外部に排出するための排出管ＰＡout、ＰＢoutと、循環ヘッド４４と供給管ＰＡin、ＰＢinと排出管ＰＡout、ＰＢoutとを接続する流路である供給路６１Ａ、６１Ｂ及び排出路６２Ａ、６２Ｂが形成された流路部材６０と、を備えるヘッドユニット１であって、循環ヘッド４４は、それぞれ複数のノズルＮが設けられたノズルプレート４８７を備え、Ｚ方向から循環ヘッド４４を平面視した際に、循環ヘッド４４の複数のノズルＮは、Ｘ方向の一端側に第１ノズルＮａを備え、Ｘ方向の他端側に第２ノズルＮｂを備え、循環時において第１ノズルＮａにおけるインクの圧力は、第２ノズルＮｂにおけるインクの圧力よりも高く、Ｚ方向からヘッドユニット１を平面視した際に、第１ノズルＮａがＸ方向の両端にある、または、第２ノズルＮｂがＸ方向の両端にある。

このようにヘッドユニット１のＸ方向の両端に第１ノズルＮａがある、または、Ｘ方向の両端に第２ノズルＮｂがあることで、複数のヘッドユニット１をＸ方向に並設した際に、Ｘ方向で隣り合うヘッドユニット１の間で、隣り合うノズルＮから吐出されるインクの重量差を低減することができる。したがって、Ｘ方向で隣り合うヘッドユニット１の間で濃度差による色むらが生じ難く、印刷品質を向上することができる。

また、本実施形態のヘッドユニット１では、互いに直交する３つの方向をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向とする場合に、Ｘ方向及びＹ方向により定めるＸＹ面における位置が互いに異なる複数の循環ヘッド４４と、外部から供給された液体であるインクを、複数の循環ヘッド４４へ供給するための供給管ＰＡin、ＰＢinと、複数の循環ヘッド４４からインクを外部に排出するための排出管ＰＡout、ＰＢoutと、循環ヘッド４４と供給管ＰＡin、ＰＢinと排出管ＰＡout、ＰＢoutとを接続する流路である供給路６１Ａ、６１Ｂ及び排出路６２Ａ、６２Ｂが形成された流路部材６０と、を備えるヘッドユニット１であって、循環ヘッド４４は、インクを噴射する複数のノズルＮと、複数のノズルＮが共通して連通するマニホールドＳRと、を備え、Ｚ方向から循環ヘッド４４を平面視した際に、マニホールドＳRにインクを供給する供給口ＲinをＸ方向の一端部側に備え、マニホールドＳRのインクを排出する排出口ＲoutをＸ方向の他端部側に備え、Ｚ方向からヘッドユニット１を平面視した際に、供給口ＲinがＸ方向の両端にある、または、排出口ＲoutがＸ方向の両端にある。

このようにヘッドユニット１のＸ方向の両端に供給口Ｒinがある、または、Ｘ方向の両端に排出口Ｒoutがあることで、複数のヘッドユニット１をＸ方向に並設した際に、Ｘ方向で隣り合うヘッドユニット１の間で、隣り合うノズルＮから吐出されるインクの重量差を低減することができる。したがって、Ｘ方向で隣り合うヘッドユニット１の間で濃度差による色むらが生じ難く、印刷品質を向上することができる。

また、本実施形態のヘッドユニット１では、Ｚ方向からヘッドユニット１を平面視した場合に、第２ノズルＮｂがＸ方向の両端にあることが好ましい。複数のノズルＮが共通して連通するマニホールドＳRにインクを供給する供給口Ｒinは、Ｘ方向において第１ノズルＮａ側の端部に設けられ、マニホールドＳRからインクを排出する排出口Ｒoutは、Ｘ方向において第２ノズルＮｂ側の端部に設けられている。このため、ヘッドユニット１の第２ノズルＮｂをＸ方向の両端部に配置することで、複数の供給口ＲinをＸ方向に狭い範囲に配置することができ、供給口にインクを供給する供給路の取り回しを容易にして、経路長が長くなるのを抑制して、流路抵抗が大きくなるのを抑制することができる。
もちろん、図１０に示したように、ヘッドユニット１のＸ方向の両端部に第１ノズルＮａが配置されていてもよい。

また、本実施形態のヘッドユニット１では、ノズルＮが形成された噴射面１０のＸＹ面の平面形状は、噴射面１０を内包する最小面積の長方形Ｒの長辺Ｅ１に平行な中心線Ｌが通過する第１部分Ｐ１と、当該中心線Ｌを通過しない第２部分Ｐ２とを、当該長辺Ｅ１の方向に配列した形状であり、かつ、中心線Ｌを通過しない第３部分Ｐ３を、第１部分Ｐ１を挟んで第２部分Ｐ２とは反対側に配列した形状であり、Ｚ方向からの平面視において、流路部材６０の第１部分Ｐ１に重なる部分である第１流路部２１には、液体であるインクを濾過するためのフィルター８６を有することが好ましい。これによれば、比較的広い面積となる第１流路部２１にフィルター８６を設けることで、フィルター８６を比較的広い面積で設けることができ、フィルター８６による圧力損失を低減して、供給不良が生じるのを抑制することができる。また、フィルター８６をノズル面であるＸＹ面に対して直交するＺ方向が面方向となるように配置する場合に比べて、流路部材６０がＺ方向に大型化するのを抑制することができる。また、フィルター８６をノズル面であるＸＹ面に対して直交するＺ方向が面方向となるように配置する場合に比べて、流路部材６０がＺ方向に大型化するのを抑制することができる。もちろん、フィルター８６を第１流路部２１以外の部分、例えば、第２流路部２２や第３流路部２３に設けるようにしてもよく、第１流路部２１と第２流路部２２と第３流路部２３とに亘って設けるようにしてもよい。

また、本実施形態のヘッドユニット１では、排出管ＰＡout、ＰＢoutから循環ヘッド４４までの流路抵抗は、供給管ＰＡin、ＰＢinから循環ヘッド４４までの流路抵抗よりも小さいことが好ましい。このように排出管から循環ヘッドまでの排出路の流路抵抗を、供給管から循環ヘッドまでの供給路の流路抵抗よりも小さくすることで、複数のノズルから同時に吐出するインクの消費量の違いによって複数のノズルに共通して連通するマニホールド内の圧力変化が生じ難くして、ノズルから吐出されるインクの重量に差が生じるのを抑制することができる。この結果、媒体に塗布ムラが生じるのを抑制することができる。もちろん、排出管ＰＡout、ＰＢoutから循環ヘッド４４までの流路抵抗は、供給管ＰＡin、ＰＢinから循環ヘッド４４までの流路抵抗よりも大きくしてもよい。

また、本実施形態のヘッドユニット１では、流路部材６０は、積層された複数の流路基板８０により構成され、循環ヘッド４４と供給管ＰＡin、ＰＢin及び排出管ＰＡout、ＰＢoutとを接続する流路である供給路６１Ａ、６１Ｂ、排出路６２Ａ、６２Ｂが、積層された流路基板８０の界面である第１界面９１、第３界面９３、第４界面９４に形成された水平流路である第２供給路６１２、第２排出路６２２Ａ、６２２Ｂを含み、第２供給路６１２、第２排出路６２２Ａ、６２２Ｂは、少なくとも１つの界面で分岐して設けられており、循環ヘッド４４と排出管ＰＡout、ＰＢoutとを接続する第２排出路６２２Ａ、６２２Ｂが分岐された界面の数は、循環ヘッド４４と供給管ＰＡin、ＰＢinとを接続する第２供給路６１２が分岐された界面の数以上であることが好ましい。このように排出路６２Ａ、６２Ｂを構成する水平流路である第２供給路６１２が分岐された界面の数を、供給路６１Ａ、６１Ｂを構成する水平流路である第２排出路６２２Ａ、６２２Ｂが分岐された界面の数以上とすることで、排出路６２Ａ、６２Ｂを設けるスペースを供給路６１Ａ、６１Ｂを設けるスペースよりも広く取ることができ、排出路６２Ａ、６２Ｂの流路断面積を供給路６１Ａ、６１Ｂに比べて大きくすることができる。したがって、排出路６２Ａ、６２Ｂの流路抵抗を供給路６１Ａ、６１Ｂの流路抵抗よりも小さくすることができる。ちなみに、循環ヘッド４４と排出管ＰＡout、ＰＢoutとを接続する第２排出路６２２Ａ、６２２Ｂが分岐された界面の数は、循環ヘッド４４と供給管ＰＡin、ＰＢinとを接続する第２供給路６１２が分岐された界面の数と同じであっても、供給路６１Ａ、６２Ｂには、フィルター６１０を設けるスペースが必要になるため、排出路６２Ａ、６２Ｂを設けるスペースを供給路６１Ａ、６１Ｂを設けるスペースに比べて広く取ることができる。

なお、本実施形態では、第２供給路６１２は、第２界面９２で分岐されており、界面の数は１つであるのに対し、第２排出路６２２Ａ、６２２Ｂは、それぞれ第３界面９３と第４界面９４で分岐されており、界面の数は２つである。つまり、循環ヘッド４４と排出管ＰＡout、ＰＢoutとを接続する第２排出路６２２Ａ、６２２Ｂが分岐された界面の数は、循環ヘッド４４と供給管ＰＡin、ＰＢinとを接続する第２供給路６１２が分岐された界面の数よりも多い方がより好適である。これにより、排出路６２Ａ、６２Ｂを設けるスペースをさらに広くすることができ、排出路６２Ａ、６２Ｂの流路断面積をより大きくすることができる。

また、本実施形態のヘッドユニット１では、供給管ＰＡin、ＰＢin及び排出管ＰＡout、ＰＢoutのそれぞれにはチューブである供給チューブＴＡin、ＴＢin、排出チューブＴＡout、ＴＢoutが接続されることが好ましい。これによれば、供給管ＰＡin、ＰＢin及び排出管ＰＡout、ＰＢoutのそれぞれにチューブを接続することで、チューブの取り回し及び接続を容易に行うことができると共に、ヘッドユニット１に故障などの不具合が発生した際に、ヘッドモジュール１００全体ではなく、不具合が発生したヘッドユニット１のみを容易に交換することができる。

また、ヘッドユニット１では、外部配線が接続されるコネクター７５をさらに具備することが好ましい。ヘッドユニット１にコネクター７５を設けることで、外部配線の取り回し及び接続を容易に行うことができると共に、ヘッドユニット１に故障などの不具合の発生した際に、ヘッドモジュール１００全体ではなく、不具合が発生したヘッドユニット１のみを容易に交換することができる。

また、ヘッドユニット１では、当該ヘッドユニット１を支持する支持体１０１にネジ１０３により固定される固定口１０４を有することが好ましい。ヘッドユニット１を支持体１０１にネジ１０３で固定することで、ヘッドユニット１と支持体１０１との組立を容易に行うことができると共に、ヘッドユニット１に故障などの不具合の発生した際に、ヘッドモジュール１００全体ではなく、不具合が発生したヘッドユニット１のみを容易に交換することができる。

なお、本実施形態では、１つの循環ヘッドに２つの供給口と２つの排出口とを設けるようにしたが、特にこれに限定されない。ここで、ヘッドユニットの変形例を図１９に示す。図１９に示すように、循環ヘッド４４には、１つの供給口Ｒinと１つの排出口Ｒoutとが設けられている。このため、ヘッドユニット１は、Ｘ方向の両端部が排出口Ｒoutとなるように循環ヘッド４４が配置されている。もちろん、このような循環ヘッド４４であっても、上述した図１０と同様に、ヘッドユニット１のＸ方向の両端部が供給口Ｒinとなるように循環ヘッドが配置されていてもよい。

（実施形態２）
図２０は、本発明の実施形態２に係るヘッドモジュールに設けられた循環ヘッドを－Ｚ側から見た平面図である。図２１は、流路部材を－Ｚ側から見た平面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図２０に示すように、ヘッドユニット１は、循環ヘッド４４を複数、本実施形態では、４つ具備する。

循環ヘッド４４は、ノズルＮの並設方向が、媒体Ｓの搬送方向であるＸ方向及び搬送体７の搬送方向であるＹ方向に対して傾斜したＸａ方向となるように配置されている。このような場合であっても各循環ヘッド４４は、Ｘ方向の一端側に第１ノズルＮａ及び供給口Ｒinが配置され、Ｘ方向の他端側に第２ノズルＮｂ及び排出口Ｒoutが配置されている。そして、複数の循環ヘッド４４は、Ｘ方向に並設されている。本実施形態では、複数の循環ヘッド４４は、Ｙ方向の位置が同じ位置となるように、すなわち、Ｘ方向で重なり合うように配置されている。

このように、ノズルＮの並設方向ＸａをＸ方向及びＹ方向に対して傾斜させて配置すると共に、複数の循環ヘッド４４をＸ方向に並設することで、Ｘ方向で互いに隣り合う循環ヘッド４４のノズルＮの少なくとも一部同士をＹ方向で重なる位置に配置することができる。

また、ヘッドユニット１の噴射面１０は、Ｚ方向から平面視した際に、Ｙ方向の両側の形状は、Ｘａに沿った外形形状となっている。すなわち、噴射面１０のヘッドユニット１の＋Ｚ側におけるＹ方向の両側の側面は、ノズルＮの並設方向であるＸａ方向と同じ方向に傾斜して設けられている。このため、Ｙ方向にヘッドユニット１を並設した際に、Ｙ方向で互いに隣り合う２つのヘッドユニット１のノズルＮの少なくとも一部同士をＸ方向で重なる位置に配することができる。したがって、ヘッドモジュール１００のＹ方向に同様の間隔で並設されたノズルＮを形成することができる。

このようなヘッドユニットでは、Ｘ方向の両端部に第２ノズルＮｂがある、または、Ｘ方向の両端部に第１ノズルＮａがあるように循環ヘッド４４が配置されている。本実施形態では、ヘッドユニット１のＸ方向の両端部に第２ノズルＮｂが配置されるように、循環ヘッド４４が配置されている。すなわち、Ｘ方向に並設された複数の循環ヘッド４４を－Ｘ側から＋Ｘ方向に向かって順番に第１循環ヘッド４４Ａ、第２循環ヘッド４４Ｂ、第３循環ヘッド４４Ｃ、第４循環ヘッド４４Ｄとすると、第１循環ヘッド４４Ａの－Ｘ側に第２ノズルＮｂが配置され、第４循環ヘッド４４Ｄの＋Ｘ側に第２ノズルＮｂが配置される。両端部とは、複数の循環ヘッド４４の全てのノズルＮのうち、－Ｘ方向の端部及び＋Ｘ方向の端部のノズルＮのことであり、この両端部のノズルＮが、第２ノズルＮｂとなるように循環ヘッド４４は配置されている。

このように、ヘッドユニット１のＸ方向の両端のノズルＮを第２ノズルＮｂとすることで、ヘッドユニット１をＸ方向に並べて、ヘッドモジュール１００とした場合に、Ｘ方向で互いに隣り合う２つのヘッドユニット１の間において、隣り合うノズルＮの圧力差を低減して、隣り合うノズルＮから吐出されるインクの重量差を低減することができる。したがって、各ノズルＮから吐出されたインクの濃度が、互いに隣り合う２つのヘッドユニットの間において急激に変化するのを抑制し、この濃度の変化による塗布ムラ、特にスジ状の塗布ムラが生じるのを抑制することができる。

また、本実施形態では、Ｘ方向で隣り合う２つの循環ヘッド４４、すなわち、Ｙ方向で一部が重なるように配置された２つの循環ヘッド４４は、一方の循環ヘッド４４の他方の循環ヘッド４４側の端部のノズルＮと、他方の循環ヘッド４４の一方の循環ヘッド側の端部のノズルＮとは、同じ種類のノズルＮとなるように配置されている。本実施形態では、Ｘ方向で互いに隣り合う第１循環ヘッド４４Ａと、第２循環ヘッド４４Ｂとにおいて、第１循環ヘッド４４Ａの＋Ｘ側の端部のノズルＮは、第１ノズルＮａであり、第２循環ヘッド４４Ｂの－Ｘ側の端部のノズルＮは、第１ノズルＮａである。

同様に、Ｘ方向で互いに隣り合う第２循環ヘッド４４Ｂと、第３循環ヘッド４４Ｃとにおいて、第２循環ヘッド４４Ｂの＋Ｘ側の端部のノズルＮは、第２ノズルＮｂであり、第３循環ヘッド４４Ｃの－Ｘ側の端部のノズルＮは、第２ノズルＮｂである。

同様に、Ｘ方向で互いに隣り合う第３循環ヘッド４４Ｃと、第４循環ヘッド４４Ｄとにおいて、第３循環ヘッド４４Ｃの＋Ｘ側の端部のノズルＮは、第１ノズルＮａであり、第４循環ヘッド４４Ｄの－Ｘ側の端部のノズルＮは、第１ノズルＮａである。

このようにＸ方向で互いに隣り合う循環ヘッド４４において、Ｙ方向で重なり合う部分の端部のノズルＮを同じ種類のノズルＮとすることで、循環時にＸ方向で互いに隣り合う２つの循環ヘッド４４の間で隣り合うノズルＮの圧力差を低減することができる。これにより、Ｘ方向で隣り合う２つの循環ヘッド４４間において、隣り合うノズルＮから吐出されるインクの重量差を低減することができる。したがって、各ノズルＮから吐出されたインクの濃度が、互いに隣り合う２つの循環ヘッド４４の間において急激に変化するのを抑制し、この濃度の変化による塗布ムラ、特にスジ状の塗布ムラが生じるのを抑制することができる。

また、図２１に示すように、流路部材６０は、ヘッドユニット１の噴射面１０と略同じ形状を有する。すなわち、流路部材６０のＸＹ面の平面形状は、Ｘ方向に平行な２つの第１辺Ｅ３と、Ｘ方向及びＹ方向に対して傾斜したＸａ方向に平行な第２辺Ｅ４とを外形に有する平行四辺形状を有する。

そして、流路部材６０は、ＸＹ面において第１辺Ｅ３同士がＹ方向で重なる第１流路部２１を有し、この第１流路部２１に上述した実施形態１と同様の図示しないフィルター８６が設けられている。このように、流路部材６０の比較的広い面積となる第１流路部２１にフィルター８６を設けることで、フィルター８６を比較的広い面積で設けることができ、フィルター８６による圧力損失を低減して、供給不良が生じるのを抑制することができる。また、フィルター８６をノズル面であるＸＹ面に対して直交するＺ方向が面方向となるように配置する場合に比べて、流路部材６０がＺ方向に大型化するのを抑制することができる。

（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。

例えば、上述した各実施形態では、ヘッドユニット１に１つの供給管と１つの排出管とで構成される組を１組又は２組設けるようにしたが、特にこれに限定されず、１つの供給管と１つの排出管とで構成される組を３組以上設けるようにしてもよい。また、供給管と排出管とは、同じ数で設けられているものに限定されず、異なる数で設けられていてもよい。

また、上述した各実施形態では、流路部材６０として、５枚の流路基板８０をＺ方向に積層したものを例示したが、特にこれに限定されず、流路基板８０の数は、１枚でもよく２枚以上の複数枚であってもよい。また、流路基板８０を積層する方向はＺ方向に限定されず、Ｚ方向と交差する方向であってもよい。

また、上述した各実施形態では、循環ヘッド４４は、マニホールドＳRをインクが循環するものを例示したが、特にこれに限定されず、圧力室ＳCをインクが循環する循環ヘッド４４であってもよい。

さらに、上述した各実施形態では、液体噴射装置Ｉは、ヘッドモジュール１００が搬送体７に支持されて、主走査方向であるＹ方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、ヘッドモジュール１００が固定されて、紙等の媒体Ｓを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式の液体噴射装置にも本発明を適用することができる。

なお、上記実施の形態においては、インクを吐出するヘッドユニット１を、また液体噴射装置Ｉの一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広くヘッドユニット及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射するヘッドユニットや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他のヘッドユニットとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のヘッドユニット、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッドユニット、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッドユニット、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドユニット等が挙げられ、かかるヘッドユニットを備えた液体噴射装置にも適用できる。

Ｉ…液体噴射装置、１…ヘッドユニット、２、２Ａ、２Ｂ…液体容器、３…制御ユニット、４…搬送機構、５…搬送ローラー、６…移動機構、７…搬送体、８…搬送ベルト、１０…噴射面、１２…媒体、２１…第１流路部、２２…第２流路部、２３…第３流路部、３０…ホルダー、３１…収容部、３３…凹部、３４…連通路、３５…フランジ部、３６…固定板、３７…露出開口部、４４…循環ヘッド、４４Ａ…第１循環ヘッド、４４Ｂ…第２循環ヘッド、４４Ｃ…第３循環ヘッド、４４Ｄ…第４循環ヘッド、６０…流路部材、６１Ａ、６１Ｂ…供給路、６２Ａ、６２Ｂ…排出路、６３…接続開口部、６５…カバー部材、６７…貫通孔、７３…回路基板、７５…コネクター、８０…流路基板、８１…第１流路基板、８２…第２流路基板、８３…第３流路基板、８４…第４流路基板、８５…第５流路基板、８６…フィルター、９１…第１界面、９２…第２界面、９３…第３界面、９４…第４界面、１００…ヘッドモジュール、１０１…支持体、１０２…支持孔、１０３…ネジ、１０４…固定口、１０５…ネジ穴、２００…ポンプ、２０１…ヒーター、４８１…流路形成基板、４８１Ａ…開口部、４８１Ｂ…分岐流路、４８１Ｃ…連通流路、４８２…圧力室基板、４８２Ａ…開口部、４８３…振動板、４８４…圧電アクチュエーター、４８５…筐体部、４８６…保護基板、４８７…ノズルプレート、４８８…緩衝板、６１０…フィルター室、６１１…第１供給路、６１２…第２供給路、６１３…第３供給路、６１４…第４供給路、６２１Ａ、６２１Ｂ…第１排出路、６２２Ａ、６２２Ｂ…第２排出路、６２３Ａ、６２３Ｂ…第３排出路、Ｅ１…長辺、Ｅ２…短辺、Ｅ３…第１辺、Ｅ４…第２辺、Ｉａ…インク、Ｉｂ…インク、Ｌ…中心線、Ｎ…ノズル、Ｎａ…第１ノズル、Ｎｂ…第２ノズル、Ｐ１…第１部分、Ｐ２…第２部分、Ｐ３…第３部分、ＰＡin…供給管、ＰＡout…排出管、ＰＢin…供給管、ＰＢout…排出管、Ｒ…長方形、Ｒin…供給口、Ｒout…排出口、Ｓ…媒体、ＳC…圧力室、ＳR…マニホールド、ＴＡin…供給チューブ、ＴＡout…排出チューブ、ＴＢin…供給チューブ、ＴＢout…排出チューブ

Claims (12)

1. 互いに直交する３つの方向をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向とする場合に、
   前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向により定めるＸＹ面における位置が互いに異なる複数の循環
   ヘッドと、
   外部から供給された液体を、複数の前記循環ヘッドへ供給するための供給管と、
   複数の前記循環ヘッドから液体を外部に排出するための排出管と、
   前記循環ヘッドと前記供給管と前記排出管とを接続する流路が形成された流路部材と、
   を備えるヘッドユニットであって、
   前記循環ヘッドは、それぞれ複数のノズルが設けられたノズルプレートを備え、
   前記Ｚ方向から前記循環ヘッドを平面視した際に、前記循環ヘッドの複数の前記ノズル
   は、前記Ｘ方向の一端側に第１ノズルを備え、前記Ｘ方向の他端側に第２ノズルを備え、
   循環時において前記第１ノズルにおける液体の圧力は、前記第２ノズルにおける液体の
   圧力よりも高く、
   前記Ｚ方向から当該ヘッドユニットを平面視した際に、前記第１ノズルが前記Ｘ方向の
   両端にある、または、前記第２ノズルが前記Ｘ方向の両端にあり、
   前記ノズルが形成された噴射面のＸＹ面の平面形状は、当該噴射面を内包する最小面積
   の長方形の長辺に平行な中心線が通過する第１部分と、当該中心線を通過しない第２部分
   とを、当該長辺の方向に配列した形状であり、かつ、前記中心線を通過しない第３部分を
   、前記第１部分を挟んで前記第２部分とは反対側に配列した形状であり、
   前記Ｚ方向からの平面視において、前記流路部材の前記第１部分に重なる部分には、液
   体を濾過するためのフィルターを有することを特徴とするヘッドユニット。
2. 互いに直交する３つの方向をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向とする場合に、
   前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向により定めるＸＹ面における位置が互いに異なる複数の循環
   ヘッドと、
   外部から供給された液体を、複数の前記循環ヘッドへ供給するための供給管と、
   複数の前記循環ヘッドから液体を外部に排出するための排出管と、
   前記循環ヘッドと前記供給管と前記排出管とを接続する流路が形成された流路部材と、
   を備えるヘッドユニットであって、
   前記循環ヘッドは、液体を噴射する複数のノズルと、複数の前記ノズルが共通して連通
   するマニホールドと、を備え、
   前記Ｚ方向から前記循環ヘッドを平面視した際に、前記マニホールドに液体を供給する
   供給口を前記Ｘ方向の一端部側に備え、前記マニホールドの液体を排出する排出口を前記
   Ｘ方向の他端部側に備え、
   前記Ｚ方向から当該ヘッドユニットを平面視した際に、前記供給口が前記Ｘ方向の両端
   にある、または、前記排出口が前記Ｘ方向の両端にあり、
   前記ノズルが形成された噴射面のＸＹ面の平面形状は、当該噴射面を内包する最小面積
   の長方形の長辺に平行な中心線が通過する第１部分と、当該中心線を通過しない第２部分
   とを、当該長辺の方向に配列した形状であり、かつ、前記中心線を通過しない第３部分を
   、前記第１部分を挟んで前記第２部分とは反対側に配列した形状であり、
   前記Ｚ方向からの平面視において、前記流路部材の前記第１部分に重なる部分には、液
   体を濾過するためのフィルターを有することを特徴とするヘッドユニット。
3. 前記Ｚ方向から前記ヘッドユニットを平面視した場合に、前記第２ノズルが前記Ｘ方向
   の両端にあることを特徴とする請求項１記載のヘッドユニット。
4. 互いに直交する３つの方向をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向とする場合に、
   前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向により定めるＸＹ面における位置が互いに異なる複数の循環
   ヘッドと、
   外部から供給された液体を、複数の前記循環ヘッドへ供給するための供給管と、
   複数の前記循環ヘッドから液体を外部に排出するための排出管と、
   前記循環ヘッドと前記供給管と前記排出管とを接続する流路が形成された流路部材と、
   を備えるヘッドユニットであって、
   前記循環ヘッドは、それぞれ複数のノズルが設けられたノズルプレートを備え、
   前記Ｚ方向から前記循環ヘッドを平面視した際に、前記循環ヘッドの複数の前記ノズル
   は、前記Ｘ方向の一端側に第１ノズルを備え、前記Ｘ方向の他端側に第２ノズルを備え、
   循環時において前記第１ノズルにおける液体の圧力は、前記第２ノズルにおける液体の
   圧力よりも高く、
   前記Ｚ方向から当該ヘッドユニットを平面視した際に、前記第１ノズルが前記Ｘ方向の
   両端にある、または、前記第２ノズルが前記Ｘ方向の両端にあり、
   前記ノズルが形成された噴射面のＸＹ面の平面形状は、前記Ｘ方向に平行な２つの第１
   辺と、前記Ｙ方向及び前記Ｘ方向に対して傾斜した方向に平行な２つの第２辺とを外形に
   有する平行四辺形状を有し、
   前記噴射面は、前記ＸＹ面において前記第１辺同士が前記Ｙ方向で重なる第１部分を有
   し、
   前記Ｚ方向からの平面視において、前記流路部材の前記第１部分に重なる部分には、液
   体を濾過するためのフィルターを有することを特徴とするヘッドユニット。
5. 互いに直交する３つの方向をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向とする場合に、
   前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向により定めるＸＹ面における位置が互いに異なる複数の循環
   ヘッドと、
   外部から供給された液体を、複数の前記循環ヘッドへ供給するための供給管と、
   複数の前記循環ヘッドから液体を外部に排出するための排出管と、
   前記循環ヘッドと前記供給管と前記排出管とを接続する流路が形成された流路部材と、
   を備えるヘッドユニットであって、
   前記循環ヘッドは、液体を噴射する複数のノズルと、複数の前記ノズルが共通して連通
   するマニホールドと、を備え、
   前記Ｚ方向から前記循環ヘッドを平面視した際に、前記マニホールドに液体を供給する
   供給口を前記Ｘ方向の一端部側に備え、前記マニホールドの液体を排出する排出口を前記
   Ｘ方向の他端部側に備え、
   前記Ｚ方向から当該ヘッドユニットを平面視した際に、前記供給口が前記Ｘ方向の両端
   にある、または、前記排出口が前記Ｘ方向の両端にあり、
   前記ノズルが形成された噴射面のＸＹ面の平面形状は、前記Ｘ方向に平行な２つの第１
   辺と、前記Ｙ方向及び前記Ｘ方向に対して傾斜した方向に平行な２つの第２辺とを外形に
   有する平行四辺形状を有し、
   前記噴射面は、前記ＸＹ面において前記第１辺同士が前記Ｙ方向で重なる第１部分を有
   し、
   前記Ｚ方向からの平面視において、前記流路部材の前記第１部分に重なる部分には、液
   体を濾過するためのフィルターを有することを特徴とするヘッドユニット。
6. 前記排出管から前記循環ヘッドまでの流路抵抗は、前記供給管から前記循環ヘッドまで
   の流路抵抗よりも小さく、
   前記流路部材は、積層された複数の流路基板により構成され、
   前記循環ヘッドと前記供給管及び前記排出管とを接続する流路が、積層された前記流路
   基板の界面に形成された水平流路を含み、
   前記水平流路は、少なくとも１つの前記界面で分岐して設けられており、
   前記循環ヘッドと前記排出管とを接続する前記水平流路が分岐された界面の数は、前記
   循環ヘッドと前記供給管とを接続する前記水平流路が分岐された界面の数以上であること
   を特徴とする請求項１～５の何れか一項に記載のヘッドユニット。
7. 互いに直交する３つの方向をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向とする場合に、
   前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向により定めるＸＹ面における位置が互いに異なる複数の循環
   ヘッドと、
   外部から供給された液体を、複数の前記循環ヘッドへ供給するための供給管と、
   複数の前記循環ヘッドから液体を外部に排出するための排出管と、
   前記循環ヘッドと前記供給管と前記排出管とを接続する流路が形成された流路部材と、
   を備えるヘッドユニットであって、
   前記循環ヘッドは、それぞれ複数のノズルが設けられたノズルプレートを備え、
   前記Ｚ方向から前記循環ヘッドを平面視した際に、前記循環ヘッドの複数の前記ノズル
   は、前記Ｘ方向の一端側に第１ノズルを備え、前記Ｘ方向の他端側に第２ノズルを備え、
   循環時において前記第１ノズルにおける液体の圧力は、前記第２ノズルにおける液体の
   圧力よりも高く、
   前記Ｚ方向から当該ヘッドユニットを平面視した際に、前記第１ノズルが前記Ｘ方向の
   両端にある、または、前記第２ノズルが前記Ｘ方向の両端にあり、
   前記排出管から前記循環ヘッドまでの流路抵抗は、前記供給管から前記循環ヘッドまで
   の流路抵抗よりも小さく、
   前記流路部材は、積層された複数の流路基板により構成され、
   前記循環ヘッドと前記供給管及び前記排出管とを接続する流路が、積層された前記流路
   基板の界面に形成された水平流路を含み、
   前記水平流路は、少なくとも１つの前記界面で分岐して設けられており、
   前記循環ヘッドと前記排出管とを接続する前記水平流路が分岐された界面の数は、前記
   循環ヘッドと前記供給管とを接続する前記水平流路が分岐された界面の数以上であること
   を特徴とするヘッドユニット。
8. 互いに直交する３つの方向をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向とする場合に、
   前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向により定めるＸＹ面における位置が互いに異なる複数の循環
   ヘッドと、
   外部から供給された液体を、複数の前記循環ヘッドへ供給するための供給管と、
   複数の前記循環ヘッドから液体を外部に排出するための排出管と、
   前記循環ヘッドと前記供給管と前記排出管とを接続する流路が形成された流路部材と、
   を備えるヘッドユニットであって、
   前記循環ヘッドは、液体を噴射する複数のノズルと、複数の前記ノズルが共通して連通
   するマニホールドと、を備え、
   前記Ｚ方向から前記循環ヘッドを平面視した際に、前記マニホールドに液体を供給する
   供給口を前記Ｘ方向の一端部側に備え、前記マニホールドの液体を排出する排出口を前記
   Ｘ方向の他端部側に備え、
   前記Ｚ方向から当該ヘッドユニットを平面視した際に、前記供給口が前記Ｘ方向の両端
   にある、または、前記排出口が前記Ｘ方向の両端にあり、
   前記排出管から前記循環ヘッドまでの流路抵抗は、前記供給管から前記循環ヘッドまで
   の流路抵抗よりも小さく、
   前記流路部材は、積層された複数の流路基板により構成され、
   前記循環ヘッドと前記供給管及び前記排出管とを接続する流路が、積層された前記流路
   基板の界面に形成された水平流路を含み、
   前記水平流路は、少なくとも１つの前記界面で分岐して設けられており、
   前記循環ヘッドと前記排出管とを接続する前記水平流路が分岐された界面の数は、前記
   循環ヘッドと前記供給管とを接続する前記水平流路が分岐された界面の数以上であること
   を特徴とするヘッドユニット。
9. 前記供給管及び前記排出管のそれぞれにはチューブが接続されることを特徴とする請求
   項１～８の何れか一項に記載のヘッドユニット。
10. 外部配線が接続されるコネクターをさらに具備することを特徴とする請求項１～９の何
    れか一項に記載のヘッドユニット。
11. 前記ヘッドユニットを支持する支持体にネジにより固定される固定口を有することを特
    徴とする請求項１～１０の何れか一項に記載のヘッドユニット。
12. 請求項１～１１の何れか一項に記載のヘッドユニットを複数具備することを特徴とする
    液体噴射装置。

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