JP7558693B2 - 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関する。

インク等の液体を吐出して記録を行うインクジェット記録分野において、記録の高精細化のために、複数の吐出口を高密度に配置して記録の解像度を上げる方法が知られている。また、より高品位の記録を実現するために、吐出口に連通する圧力室の液体を強制的に流れさせ、圧力室内の増粘した液体を流出させる方法が知られている。しかし、複数の吐出口を高密度に配置して、吐出口列を構成する吐出口の数が多くなると、吐出口列の列方向（吐出口の配列方向）において吐出口が広い範囲に分布するため、列方向に並ぶ複数の圧力室間において液体の循環流量や圧力のばらつきが生じ易い。また、複数の吐出口列を高密度に配置すると、隣接する流路との関係で、列方向に延在する流路の幅（複数の吐出口列が並ぶ方向の長さ）を大きくすることが困難であり、圧力損失の影響が大きくなる。いずれの場合も、列方向に並ぶ圧力室同士の間で、液体の循環流量のばらつきや圧力のばらつきが生じ易い。その結果、複数の吐出口の間で吐出特性や色材濃度の差異が大きくなるという課題があった。

特許文献１の液体吐出ヘッドは、圧力室に連通する流路に、供給口列および共通供給路を介して液体を供給する供給側連通口と、流路内の液体を回収口列および共通回収路を介して回収する回収側連通口とを有する。供給側連通口と回収側連通口の少なくとも一方は複数設けられている。この液体吐出ヘッドによると、圧力損失の影響が小さく、複数の圧力室における液体の循環流量や圧力のばらつきを抑制できる。

特開２０１７－１２４６１９号公報

特許文献１の液体吐出ヘッドは、素子基板に供給側連通口と回収側連通口が複数設けられ、かつそれらが同数である構成である場合がある。このような素子基板が２つ以上並べられたいわゆるライン型の液体吐出ヘッドでは、隣接する素子基板同士の間で温度差が生じ、温度差に伴う画像ムラ（濃度ムラ）が発生するおそれがある。

本発明の目的は、複数の圧力室間の液体の循環流量や圧力のばらつきを抑制するとともに、隣接する素子基板間の温度分布の差を抑え、画像ムラを抑制することができる液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置を提供することにある。

本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出する複数の吐出口が列状に並んだ吐出口列を備えた素子基板を含む複数の吐出モジュールを前記吐出口列の並び方向に沿って配列して構成される液体吐出ヘッドであって、前記吐出モジュールは、前記吐出口列を構成する各吐出口を通り当該吐出口列が延びる方向に沿って当該吐出モジュールの両端部までそれぞれ延びる線分を挟んで前記吐出口列の両側に、前記吐出口列に連通する複数の開口をそれぞれ有し、互いに隣接して配置された前記吐出モジュールのうちの一方の吐出モジュールは、前記線分を挟んで一方の側に位置する複数の前記開口を通して液体が供給され、前記線分を挟んで他方の側に位置する複数の前記開口を通して液体が回収され、互いに隣接して配置された前記吐出モジュールのうちの他方の吐出モジュールは、前記線分を挟んで前記他方の側に位置する複数の前記開口を通して液体が供給され、前記線分を挟んで前記一方の側に位置する複数の前記開口を通して液体が回収されることを特徴とする。

本発明によれば、複数の圧力室間の液体の循環流量や圧力のばらつきを抑制するとともに、隣接する素子基板間の温度分布の差を抑え、画像ムラを抑制することができる液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置を提供できる。

本発明の一実施形態の液体吐出装置の概略構成を示す斜視図である。 図１に示す液体吐出装置の循環流路を示す図である。 本発明の第１の実施形態の液体吐出ヘッドの斜視図である。 図３に示す液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 図３に示す液体吐出ヘッドの各流路部材の平面図及び底面図である。 図５に示す流路部材の透視図である。 図３に示す液体吐出ヘッドの吐出モジュールの斜視図及び分解斜視図である。 図３に示す液体吐出ヘッドの記録素子基板の平面図、拡大平面図、及び背面図である。 図３に示す液体吐出ヘッドの一部切欠斜視図である。 図３に示す液体吐出ヘッドの隣り合う２つの記録素子基板の隣接部を示す要部拡大平面図である。 図３に示す液体吐出ヘッドの隣り合う２つの吐出モジュールの液体の流れを示す平面図である。 比較例の液体吐出ヘッドを示す要部拡大平面図と、隣り合う２つの吐出モジュールの液体の流れと温度分布をそれぞれ示す模式図およびグラフである。 本発明の一実施例の液体吐出ヘッドを示す要部拡大平面図と、隣り合う２つの吐出モジュールの液体の流れと温度分布をそれぞれ示す模式図およびグラフである。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置について説明する。本発明の液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置は、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わされた産業記録装置に適用可能である。本発明の液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置は、例えば、バイオチップ作製や電子回路印刷などの用途にも用いることができる。以下に述べる各実施形態は、本発明の適切な具体例であり、技術的に好ましい様々な構成要件を有している。しかし、本発明は、以下に記す実施形態やその他の具体例に限定されるものではなく、技術的思想を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。

（インクジェット記録装置の基本構成の説明）
本発明の液体吐出装置、特にインクを吐出して記録を行うインクジェット記録装置１０００（以下、記録装置とも称する）の概略構成を図１に示す。記録装置１０００は、記録媒体２を搬送する搬送部１と、記録媒体の搬送方向と略直交して配置されるライン型（ページワイド型）の液体吐出ヘッド３とを備えている。この記録装置１０００は、複数の記録媒体２を連続的もしくは間欠的に搬送しながら１パスで連続記録を行うライン型記録装置である。記録媒体２はカット紙に限らず、連続したロール紙であってもよい。また、液体吐出ヘッド３から紙等の記録媒体に直接に液体を吐出せず、まず中間転写体に液体を吐出して転写体上に像を形成した後に、その像を紙等の記録媒体上に転写する中間転写型の記録装置においても本発明を適用可能である。液体吐出ヘッド３は、例えばＣＭＹＫ（シアン、マゼンタ、イエロー、ブラック）インクによるカラー印刷が可能であってよく、後述するように液体を液体吐出ヘッド３へ供給する液体供給手段、メインタンクおよびバッファタンクが流体接続される。また、液体吐出ヘッド３には、液体吐出ヘッド３へ電力および吐出制御信号を伝送する電気制御部が電気的に接続される。吐出ヘッド３内における液体経路および電気信号経路については後述する。

（第１の循環経路の説明）
本実施形態の記録装置１０００は、後述するタンクと液体吐出ヘッド３との間でインク等の液体を循環させる形態のインクジェット記録装置である。液体の循環は、例えば、液体吐出ヘッド３の下流側で２つの循環ポンプ（高圧用ポンプおよび低圧用ポンプ）を作動させることによって行うことができる。この循環形態について以下に説明する。
図２は、本実施形態の記録装置に含まれる液体経路の一形態である第１の循環経路を示す模式図である。液体吐出ヘッド３は、循環経路内の圧力（負圧）を制御する負圧制御ユニット２３０と、負圧制御ユニット２３０と流体連通した液体供給ユニット２２０と、液体供給ユニット２２０へのインクの供給口および排出口となる液体接続部１１１と、を備えている。さらに、液体吐出ヘッド３は、循環経路を内包する筺体８０（図４参照）を備えている。この液体吐出ヘッド３は、第１循環ポンプ（高圧側）１００１、第１循環ポンプ（低圧側）１００２、及びバッファタンク１００３等に流体的に接続されている。図２では、説明を簡略化するためにＣＭＹＫインクのうちの１色のインクが流れる循環経路のみを示しているが、実際には４色分の循環経路が、液体吐出ヘッド３及び記録装置本体に設けられる。メインタンク１００６と接続されるサブタンクであるバッファタンク１００３は、タンク内部と外部とを連通する大気連通口（不図示）を有し、インク中の気泡を外部に排出することが可能である。バッファタンク１００３は、補充ポンプ１００５とも接続されている。バッファタンク１００３とメインタンク１００６との間には、補充ポンプ１００５が設けられている。補充ポンプ１００５は、液体吐出による記録や吸引回復等、液体吐出ヘッドの吐出口から液体を吐出（排出）することによって液体吐出ヘッド３で液体が消費された際に、消費された分の液体をメインタンク１００６からバッファタンク１００３へ移送する。

２つの第１循環ポンプ１００１，１００２は、液体吐出ヘッド３の液体接続部１１１から液体を吸引してバッファタンク１００３へ流す役割を有する。第１循環ポンプとしては定量的な送液能力を有する容積型ポンプが好ましい。具体的にはチューブポンプ、ギアポンプ、ダイヤフラムポンプ、シリンジポンプ等が挙げられるが、例えば一般的な定流量弁やリリーフ弁をポンプ出口に配して一定流量を確保する形態であってもよい。液体吐出ヘッド３の駆動時には第１循環ポンプ（高圧側）１００１及び第１循環ポンプ（低圧側）１００２によって、それぞれ共通供給路２１１と共通回収路２１２の内部をある一定量のインクが流れる。この流量は、液体吐出ヘッド３内の各記録素子基板１０間の温度差が記録画質に影響しない程度の大きさに設定することが好ましい。もっとも、あまりに大きな流量を設定すると、液体吐出ユニット３００内の流路の圧力損失の影響により、各記録素子基板１０で負圧差が大きくなり過ぎて画像の濃度ムラが生じてしまう。そのため、各記録素子基板１０間の温度差と負圧差とを考慮して流量を設定することが好ましい。このように液体を流すことで、液体吐出時の液体吐出ヘッド３の温度を最適の温度に維持している。

負圧制御ユニット２３０は、第２循環ポンプ１００４と液体吐出ユニット３００との間の経路中に設けられている。これは、単位面積あたりの吐出量の差によって循環系の流量が変動した場合でも、負圧制御ユニット２３０よりも下流側（液体吐出ユニット３００側）の圧力を予め設定した一定圧力に維持するように動作する機能を有する。負圧制御ユニット２３０を構成する２つの圧力調整機構としては、それ自体よりも下流の圧力を、所望の設定圧を中心として一定の範囲以下の変動に制御できるものであれば、どのような機構を用いてもよい。一例としては、いわゆる「減圧レギュレーター」と同様の機構を採用することができる。減圧レギュレーターを用いた場合には、図２に示したように、第２循環ポンプ１００４によって、液体供給ユニット２２０を介して負圧制御ユニット２３０の上流側を加圧するようにすることが好ましい。このようにすると、バッファタンク１００３の液体吐出ヘッド３に対する水頭圧の影響を抑制できるので、記録装置１０００におけるバッファタンク１００３のレイアウトの自由度を高めることができる。第２循環ポンプ１００４としては、液体吐出ヘッド３の駆動時に使用する液体循環流量の範囲において、一定圧以上の揚程圧を有するものであればよく、ターボ型ポンプや容積型ポンプなどを使用できる。具体的には、ダイヤフラムポンプ等が採用可能である。また第２循環ポンプ１００４の代わりに、例えば負圧制御ユニット２３０に対してある一定の水頭差をもって配置された水頭タンクも採用可能である。

図２に示したように負圧制御ユニット２３０は、それぞれに対して互いに異なる制御圧が設定された２つの圧力調整機構を備えている。２つの負圧調整機構のうち、相対的な高圧設定側（図２にＨと記載）と相対的な低圧設定側（図２にＬと記載）は、液体供給ユニット２２０内を経由して、液体吐出ユニット３００内の共通供給路２１１と共通回収路２１２にそれぞれ接続されている。液体吐出ユニット３００には、共通供給路（共通供給流路）２１１と、共通回収路（共通回収流路）２１２と、各記録素子基板と連通する個別供給路（個別供給流路）２１３および個別回収路（個別回収流路）２１４とが設けられている。個別流路２１３，２１４は共通供給路２１１および共通回収路２１２と連通しているので、液体の一部が、共通供給路２１１から記録素子基板１０の内部流路を通過して共通回収路２１２へ至る流れ（図２の矢印）が発生する。これは、共通供給路２１１には圧力調整機構Ｈが、共通回収路２１２には圧力調整機構Ｌがそれぞれ接続されているために、２つの共通流路の間に差圧が生じているからである。複数の共通供給路２１１は液体吐出ヘッド３の長手方向に沿って互いに並置して設けられている。

この第１の循環経路によると、メインタンク１００６内の液体は、補充ポンプ１００５によってバッファタンク１００３に供給され、さらに、第２循環ポンプ１００４によって液体接続部１１１から液体吐出ヘッド３の液体供給ユニット２２０に供給される。その後、液体は、液体供給ユニット２２０に接続された負圧制御ユニット２３０で異なる２つの負圧（高圧、低圧）に調整され、高圧側と低圧側の２つの流路に分かれて循環する。液体吐出ヘッド３内の液体は、液体吐出ヘッド３の下流の第１循環ポンプ（高圧側）１００１および第１循環ポンプ（低圧側）１００２の作用で液体吐出ヘッド３内を循環し、液体接続部１１１から液体吐出ヘッド３外に排出されてバッファタンク１００３に戻る。

このようにして、液体吐出ユニット３００では、共通供給路２１１および共通回収路２１２内をそれぞれ通過するように液体を流しつつ、一部の液体が各記録素子基板１０内を通過するような流れを生起させる。このため、各記録素子基板１０で発生する熱を、共通供給路２１１および共通回収路２１２を流れるインクによって記録素子基板１０の外部へ排出することができる。また、このような構成により、液体吐出ヘッド３による記録を行っている際に、吐出を行っていない吐出口や圧力室においてもインクの流れを生じさせることができる。これによって、吐出口内で増粘したインクの粘度を低下させ、インクの増粘を抑制することができる。また、増粘したインクやインク中の異物を共通回収路２１２へと排出することができる。このため、本実施形態の液体吐出ヘッド３は、高速で高画質な記録が可能である。

（液体吐出ヘッドの構成の説明）
本実施形態の液体吐出ヘッド３の構成について説明する。図３（ａ）および図３（ｂ）は、本実施形態の液体吐出ヘッド３を示す斜視図である。液体吐出ヘッド３は、１つでシアンＣ／マゼンタＭ／イエローＹ／ブラックＫの４色のインクを吐出可能な記録素子基板１０が直線上に１５個配列（インラインに配置）されたライン型の液体吐出ヘッドである。
図３（ａ）に示すように、液体吐出ヘッド３は、各記録素子基板１０と、フレキシブル配線基板４０および電気配線基板９０を介して電気的に接続された信号入力端子９１と電力供給端子９２とを備える。信号入力端子９１および電力供給端子９２は、記録装置１０００の制御部と電気的に接続され、それぞれ吐出駆動信号と吐出に必要な電力とを記録素子基板１０に供給する。電気配線基板９０内の電気回路によって配線を集約することで、信号入力端子９１および電力供給端子９２の数を記録素子基板１０の数に比べて少なくすることができる。これにより、記録装置１０００に対して液体吐出ヘッド３を組み付ける時または液体吐出ヘッド３の交換時に取り外しが必要な電気接続部数が少なくて済む。図３（ｂ）に示すように、液体吐出ヘッド３の両端部に設けられた液体接続部１１１は、記録装置１０００の液体供給系と接続される。これによりシアンＣ／マゼンタＭ／イエローＹ／ブラックＫの４色のインクが記録装置１０００の供給系から液体吐出ヘッド３に供給され、また液体吐出ヘッド３内を通ったインクが記録装置１０００の供給系へ回収されるようになっている。このように各色のインクは、記録装置１０００の経路と液体吐出ヘッド３の経路を介して循環可能である。

図４は、液体吐出ヘッド３を構成する各部品またはユニットを示した分解斜視図である。液体吐出ユニット３００、液体供給ユニット２２０および電気配線基板９０が筺体８０に取り付けられている。液体供給ユニット２２０には液体接続部１１１（図３（ｂ）参照）が設けられ、液体供給ユニット２２０の内部には、供給されるインク中の異物を取り除くため、液体接続部１１１の各開口と連通する各色別のフィルタ２２１（図２参照）が設けられている。２つの液体供給ユニット２２０のそれぞれには、２色分のフィルタ２２１が設けられている。フィルタ２２１を通過した液体は、それぞれの色に対応して液体供給ユニット２２０上に配置された負圧制御ユニット２３０へ供給される。負圧制御ユニット２３０は、各色別の負圧制御弁からなるユニットであり、それぞれの内部に設けられる弁やバネ部材などの働きによって以下の作用を生じる。すなわち、負圧制御ユニット２３０は、液体の流量の変動に伴って生じる記録装置１０００の供給系（液体吐出ヘッド３の上流側の供給系）内の圧力損失の変化を大幅に減衰させる。それにより、負圧制御ユニット２３０よりも下流側（液体吐出ユニット３００側）の負圧変化を、ある一定の範囲内に収まるように安定化させることができる。各色の負圧制御ユニット２３０内には、図２に記載したように、各色毎に２つの負圧制御弁が内蔵されている。２つの負圧制御弁はそれぞれ異なる制御圧力に設定され、高圧側が液体吐出ユニット３００内の共通供給路２１１（図２参照）と、低圧側が共通回収路２１２（図２参照）と、液体供給ユニット２２０を介してそれぞれ連通している。

筐体８０は、液体吐出ユニット支持部８１と電気配線基板支持部８２とから構成され、液体吐出ユニット３００および電気配線基板９０を支持するとともに、液体吐出ヘッド３の剛性を確保している。電気配線基板支持部８２は、電気配線基板９０を支持するためのものであり、液体吐出ユニット支持部８１にネジ止めによって固定されている。液体吐出ユニット支持部８１は、液体吐出ユニット３００の反りや変形を矯正して、複数の記録素子基板１０の相対位置精度を確保する役割を有し、それにより記録物におけるスジやムラの発生を抑える。そのため、液体吐出ユニット支持部８１は、十分な剛性を有することが好ましく、材質としてはステンレス（ＳＵＳ）やアルミニウムなどの金属材料、もしくはアルミナなどのセラミックが好適である。液体吐出ユニット支持部８１には、ジョイントゴム１００が挿入される開口８３、８４が設けられている。液体供給ユニット２２０から供給される液体は、ジョイントゴムを介して、液体吐出ユニット３００を構成する第３流路部材７０へと導かれる。

液体吐出ユニット３００は、複数の吐出モジュール２００と流路部材２１０とを有し、液体吐出ユニット３００の記録媒体側の面にはカバー部材１３０が取り付けられる。ここで、カバー部材１３０は、図４に示したように長尺の開口１３１が設けられた額縁状の表面を持つ部材であり、吐出モジュール２００に含まれる記録素子基板１０および封止部材１１０（後述する図７参照）が開口１３１から露出している。開口１３１の周囲の枠部は、記録待機時に液体吐出ヘッド３をキャップするキャップ部材の当接面としての機能を有する。このため、開口１３１の周囲に沿って接着剤、封止材、充填材等を塗布し、液体吐出ユニット３００の吐出口面上の凹凸や隙間を埋めることで、キャップ時に閉空間が形成されるようにすることが好ましい。

次に、液体吐出ユニット３００に含まれる流路部材２１０の構成について説明する。図４に示したように、流路部材２１０は、第１流路部材５０、第２流路部材６０および第３流路部材７０が積層されたものであり、液体供給ユニット２２０から供給された液体を各吐出モジュール２００へと分配する。また、流路部材２１０は、吐出モジュール２００から環流する液体を液体供給ユニット２２０へと戻す。流路部材２１０は、液体吐出ユニット支持部８１にネジ止めで固定されており、それにより流路部材２１０の反りや変形が抑制されている。

図５（ａ）～（ｆ）は、第１～第３流路部材５０，６０，７０の各々の表面と裏面を示した図である。図５（ａ）は、第１流路部材５０の、吐出モジュール２００が搭載される側の面を示し、図５（ｆ）は、第３流路部材７０の、液体吐出ユニット支持部８１と当接する側の面を示す。第１流路部材５０と第２流路部材６０とは、夫々の当接面である図５（ｂ）に示されている面と図５（ｃ）に示されている面とが対向するように接合される。第２流路部材６０と第３流路部材７０とは、夫々の当接面である図５（ｄ）に示されている面と図５（ｅ）に示されている面とが対向するように接合される。第２流路部材６０と第３流路部材７０を接合することで、各々に形成された共通流路溝６２，７１から、流路部材６０，７０の長手方向に延在する８本の共通流路２１１ａ，２１１ｂ，２１１ｃ，２１１ｄ，２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ，２１２ｄが形成される。これにより、各色の共通供給路２１１と共通回収路２１２のセットが流路部材２１０内に形成される。共通供給路２１１から液体吐出ヘッド３にインクが供給され、液体吐出ヘッド３に供給されたインクは共通回収路２１２によって回収される。第３流路部材７０の連通口７２（図５（ｆ）参照）は、ジョイントゴム１００の各穴と連通しており液体供給ユニット２２０（図４参照）と流体的に流通している。第２流路部材６０の共通流路溝６２の底面には、連通口６１（共通供給路２１１と連通する連通口と共通回収路２１２と連通する連通口）が複数形成されており、第１流路部材５０の個別流路溝５２の一端部と連通している。第１流路部材５０の個別流路溝５２の他端部には連通口５１が形成されており、連通口５１を介して複数の吐出モジュール２００と流体的に連通している。この個別流路溝５２により流路部材の中央側へ流路を集約することが可能となる。第１の流路部材５０の記録素子基板側の面に形成された溝５２と、溝５２と連通し第１の流路部材５０の記録素子基板側と反対側の面に開口する孔（連通口５１）とによって個別流路２１３，２１４が形成されている。

第１～第３流路部材５０～７０は、液体に対して耐腐食性を有するとともに、線膨張率の低い材質からなることが好ましい。材質としては例えば、アルミナを用いることができる。また、ＬＣＰ（液晶ポリマ）、ＰＰＳ（ポリフェニルサルファイド）やＰＳＦ（ポリサルフォン）や変性ＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）を母材としてシリカ微粒子やファイバなどの無機フィラーを添加した複合材料（樹脂材料）を好適に用いることができる。流路部材２１０は、３つの流路部材５０，６０，７０を積層して互いに接着して形成してもよく、樹脂複合樹脂材料からなる各流路部材５０，６０，７０を用いる場合には、それらを互いに溶着させて形成してもよい。

図６は、図５（ａ）のα部を示しており、第１～第３流路部材５０，６０，７０を接合して形成された流路部材２１０内の流路を、第１の流路部材５０の、吐出モジュール２００Ａ，２００Ｂが搭載される面側から一部を拡大して示した透視図である。複数の共通供給路２１１と複数の共通回収路２１２とが、流路部材２１０の、各流路２１１，２１２に直交する方向（図６の上下方向）において交互に並ぶように配置されている。流路部材２１０内の各流路の接続関係について説明する。流路部材２１０には、色毎に液体吐出ヘッド３の長手方向に伸びる共通供給路２１１（２１１ａ，２１１ｂ，２１１ｃ，２１１ｄ）および共通回収路２１２（２１２ａ，２１２ｂ，２１２ｃ，２１２ｄ）が設けられている。各色の共通供給路２１１には、個別流路溝５２によって形成される複数の個別供給路２１３が連通口６１を介して接続されている。また、各色の共通回収路２１２には、個別流路溝５２によって形成される複数の個別回収路２１４が連通口６１を介して接続されている。図６では、吐出モジュール２００Ａに接続される個別供給路および個別回収路を符号２１３Ａ，２１４Ａで表し、吐出モジュール２００Ｂに接続される個別供給路および個別回収路を符号２１３Ｂ，２１４Ｂで表している。このような流路構成により、各共通供給路２１１から個別供給路２１３を介して、流路部材の中央部に位置する記録素子基板１０にインクを集約することができる。また、記録素子基板１０から個別回収路２１４を介して各共通回収路２１２にインクを回収することができる。

各色の共通供給路２１１は、図２に示すように、対応する色の負圧制御ユニット２３０（高圧側）と、液体供給ユニット２２０を介して接続され、共通回収路２１２は負圧制御ユニット２３０（低圧側）と、液体供給ユニット２２０を介して接続されている。この負圧制御ユニット２３０により、共通供給路２１１と共通回収路２１２の間に差圧（圧力差）を生じさせるようになっている。このため、図６に示したように各流路を接続した本実施形態の液体吐出ヘッド内では、各色で、共通供給路２１１、個別供給路２１３、記録素子基板１０、個別回収路２１４、共通回収路２１２へと順に流れる流れが発生する。

（吐出モジュールの説明）
図７（ａ）は吐出モジュール２００の斜視図、図７（ｂ）はその分解斜視図である。この吐出モジュール２００の製造方法としては、まず記録素子基板１０およびフレキシブル配線基板４０を、予め液体連通口３１が設けられた支持部材３０上に接着する。その後、記録素子基板１０の端子１６とフレキシブル配線基板４０の端子４１とをワイヤーボンディングによって電気接続し、その後にワイヤーボンディング部（電気接続部）を封止部材１１０で覆って封止する。フレキシブル配線基板４０の記録素子基板１０と反対側の端子４２は、電気配線基板９０の接続端子９３（図４参照）と電気接続される。支持部材３０は、記録素子基板１０を支持する支持体であるとともに、記録素子基板１０と流路部材２１０とを流体的に連通させる流路部材であるため、平面度が高く、また十分に高い信頼性をもって記録素子基板と接合できるものが好ましい。材質としては例えばアルミナや樹脂材料が好ましい。

（記録素子基板の構造の説明）
図８（ａ）は記録素子基板１０の吐出口１３が形成される側の面を示す平面図、図８（ｂ）は図８（ａ）のＡ部の拡大平面図、図８（ｃ）はその背面図である。図８は本発明が適用される液体吐出ヘッドの概要を模式的に示している。図９は図８（ａ）のＢ－Ｂ線断面図である。図８に示す記録素子基板１０の吐出口形成部材１２に、各色のインクに対応する４列の吐出口列１４が形成されている。複数の吐出口１３が配列される吐出口列１４が延びる方向を「吐出口列の列方向」と称する。図８（ｂ）に示すように、各吐出口１３に対応した位置に、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子である記録素子１５が配置されている。記録素子１５の一例は、液体を発泡させる熱エネルギーを発生する発熱素子である。隔壁２２により、記録素子１５を内部に備える圧力室２３が区画されている。記録素子１５は、記録素子基板１０に設けられた電気配線（不図示）によって、端子１６と電気的に接続されている。そして、記録素子１５は、記録装置１０００の制御回路から電気配線基板９０（図４参照）およびフレキシブル配線基板４０（図７参照）を介して入力されるパルス信号に基づいて発熱して、圧力室２３内の液体を沸騰させる。この沸騰による発泡の力で液体を吐出口１３から吐出する。図８（ｂ）に示すように、各吐出口列１４に沿って、各吐出口列１４を挟んで一方の側には液体供給路１８が、他方の側には液体回収路１９が延在している。液体供給路１８および液体回収路１９は記録素子基板１０に設けられた吐出口列の列方向に延びた流路であり、それぞれ供給口１７ａ、回収口１７ｂを介して圧力室２３および吐出口１３と連通している。

図８（ｃ）および図９に示すように、記録素子基板１０の、吐出口１３が形成された面の裏面にはシート状の蓋部材２０が積層されており、蓋部材２０には、液体供給路１８および液体回収路１９に連通する開口２１が複数設けられている。本実施形態においては、１本の液体供給路１８に対して２個の開口２１、１本の液体回収路１９に対して２個の開口２１が、蓋部材２０にそれぞれ設けられている。図８（ｂ）に示すように蓋部材２０の夫々の開口２１は、図５（ａ）に示した複数の連通口５１と連通している。蓋部材２０は、液体に対して十分な耐食性を有していることが好ましく、また、混色防止の観点から、開口２１の形状および位置には高い精度が求められる。このため、蓋部材２０の材質として感光性樹脂材料やシリコンを用い、フォトリソグラフィプロセスによって開口２１を設けることが好ましい。このように蓋部材２０は、開口２１によって流路のピッチを変換するものであり、圧力損失を考慮すると厚さは薄いことが望ましく、フィルム状の部材で構成されることが望ましい。

記録素子基板１０内の液体の流れについて説明する。記録素子基板１０は、Ｓｉにより形成される基板１１と感光性の樹脂により形成される吐出口形成部材１２とが積層されており、基板１１の裏面には蓋部材２０が接合されている。基板１１の一方の面側には、記録素子１５が形成されており（図８参照）、その裏面側には、吐出口列１４に沿って延在する液体供給路１８および液体回収路１９を構成する溝が形成されている。蓋部材２０は、記録素子基板１０の基板１１に形成される液体供給路１８および液体回収路１９の壁の一部を形成する蓋としての機能を有する。基板１１と蓋部材２０とによって形成される液体供給路１８および液体回収路１９は、それぞれ流路部材２１０内の共通供給路２１１と共通回収路２１２と接続されており、液体供給路１８と液体回収路１９との間には差圧が生じている。一部の吐出口１３から液体を吐出して記録を行っている際に、吐出を行っていない吐出口１３では、差圧によって、基板１１内に設けられた液体供給路１８内の液体が供給口１７ａ、圧力室２３、回収口１７ｂを介して液体回収路１９へ流れる（図９の矢印Ｃ）。この流れによって、記録を休止している吐出口１３や圧力室２３において、吐出口１３からの蒸発によって生じる増粘インクや、泡および異物などを液体回収路１９へ回収することができる。また吐出口１３や圧力室２３のインクが増粘するのを抑制することができる。液体回収路１９へ回収された液体は、蓋部材２０の開口２１および支持部材３０の液体連通口３１（図７（ｂ））を通じて、流路部材２１０内の連通口５１、個別回収路２１４、共通回収路２１２の順に回収され、記録装置１０００の回収路へ回収される。

記録装置本体から液体吐出ヘッド３へ供給される液体は、下記の順に流動し、供給および回収される。図２～５に示すように、液体は、まず液体供給ユニット２２０の液体接続部１１１から液体吐出ヘッド３の内部に流入する。液体は、ジョイントゴム１００、第３流路部材７０に設けられた連通口７２および共通流路溝７１、第２流路部材６０に設けられた共通流路溝６２および連通口６１、第１流路部材５０に設けられた個別流路溝５２および連通口５１の順に供給される。その後、液体は、支持部材３０に設けられた液体連通口３１（図７参照）、蓋部材２０に設けられた開口２１（図８参照）、基板１１に設けられた液体供給路１８および供給口１７ａを順に通って圧力室２３に供給される。圧力室２３に供給された液体のうち、吐出口１３から吐出されなかった液体は、基板１１に設けられた回収口１７ｂおよび液体回収路１９、蓋部材２０に設けられた開口２１、支持部材３０に設けられた液体連通口３１を順に流れる。その後、液体は、第１流路部材５０に設けられた連通口５１および個別流路溝５２、第２流路部材６０に設けられた連通口６１および共通流路溝６２、第３流路部材７０に設けられた共通流路溝７１および連通口７２、ジョイントゴム１００を順に流れる。そして液体は、液体供給ユニット２２０に設けられた液体接続部１１１から液体吐出ヘッド３の外部へ流出する。

図２に示す循環経路においては、液体接続部１１１から液体吐出ヘッド３に流入した液体は、負圧制御ユニット２３０を経由した後にジョイントゴム１００に供給される。また、図示しない変形例の循環経路では、圧力室２３から移動して回収された液体が、ジョイントゴム１００を通過した後に、負圧制御ユニット２３０を介して液体接続部１１１から液体吐出ヘッドの外部へ流出する。いずれの場合も、液体吐出ユニット３００の共通供給路２１１の一端から流入した全ての液体が、個別供給路２１３を経由して圧力室２３に供給されるわけではない。つまり、共通供給路２１１の一端から流入した液体の一部は、個別供給路２１３に流入することなく、共通供給路２１１の他端から液体供給ユニット２２０に流出する。このように、液体が記録素子基板１０を経由することなく流れる経路を備えることで、本実施形態のような微細で流路抵抗の大きい流路を備える記録素子基板１０を備える場合であっても、液体の循環流の逆流を抑制することができる。それにより、本実施形態の液体吐出ヘッド３では、圧力室２３や吐出口１３の近傍の液体の増粘を抑制することができるので、液体吐出の方向の不安定さや不吐出を抑制することができ、結果として高画質の記録を行うことができる。

（隣り合う記録素子基板同士の位置関係の説明）
図１０は、隣り合う２つの吐出モジュール２００Ａ，２００Ｂの記録素子基板１０同士が隣接する部分を拡大して示した平面図である。本実施形態では略平行四辺形の記録素子基板１０が用いられる。各記録素子基板１０の複数の吐出口１３が構成する各吐出口列１４ａ～１４ｄは、液体吐出ヘッド３の長手方向に対し一定の角度で傾くように配置されている。そして、記録素子基板１０同士が互いに隣接する部分（隣接部）において、１つの吐出口列の少なくとも１つの吐出口１３が、他の吐出口列の少なくとも１つの吐出口１３と、記録媒体の搬送方向においてオーバーラップするようになっている。図１０では、線Ｄ上の２つの吐出口１３が互いにオーバーラップする関係にある。このような配置によって、仮に記録素子基板１０の位置が所定位置から多少ずれた場合でも、オーバーラップする吐出口１３の駆動を適宜に制御することによって、記録画像の黒スジや白抜けを目立たなくすることができる。複数の記録素子基板１０を千鳥配置ではなく直線上（インライン）に配置した場合も、図１０に示すような構成により、液体吐出ヘッド３の記録媒体搬送方向の長さの増大を抑えつつ、記録素子基板１０同士の隣接部における黒スジや白抜けを抑制できる。なお、本実施形態では、平面形状が平行四辺形の記録素子基板１０を用いているが、これに限られず、例えば長方形や台形やその他の平面形状の記録素子基板１０を用いる場合にも、本発明の構成を好適に採用することができる。

（本発明の特徴）
本発明は、前記した構成を有する液体吐出装置において、特に以下に記載する特徴を備えていることによって、優れた効果を奏する。まず、図１１を参照して、本発明の概念を説明する。図１１は、本発明の概念を説明するために、隣接した２つの吐出モジュール２００Ａ，２００Ｂと、それらが接合される流路部材２１０の要部を模式的に示す拡大平面図であり、図８に模式的に示されている構成をより正確に図示したものである。前述した通り、本実施形態の液体吐出ユニット３００は、第１流路部材５０、第２流路部材６０、第３流路部材７０が積層された流路部材２１０と、記録素子基板１０、蓋部材２０、支持部材３０が積層された吐出モジュール２００とを有する。流路部材２１０に複数の吐出モジュール２００が取り付けられている。１つの吐出モジュール２００を構成する記録素子基板１０は、吐出口１３と、記録素子１５と、圧力室２３と、をそれぞれ複数有している。複数の吐出口１３は列状に並んで配置されて吐出口列１４を構成している。同様に、複数の圧力室２３が列状に並んで配置されて圧力室列を構成している。吐出口列と圧力室列は互いに平行であって実質的に同一直線上にある。複数の圧力室２３のそれぞれに対して、液体を供給する供給口１７ａと、吐出されずに圧力室を通過した液体を回収する回収口１７ｂが連結されている。１つの記録素子基板１０に設けられた複数の供給口１７ａは１つの液体供給路１８に連通し、複数の回収口１７ｂは１つの液体回収路１９に連通している。

図１１に示す構成では、隣接する２つの吐出モジュール２００Ａ，２００Ｂにおいて、液体供給路１８Ａ，１８Ｂに対して、流路部材２１０に設けられた個別供給路２１３Ａ，２１３Ｂから液体が供給される。それぞれの個別供給路２１３Ａ，２１３Ｂは共に共通供給路２１１に接続され、共通供給路２１１から液体が供給される。また、吐出モジュール２００Ａ，２００Ｂの液体回収路１９Ａ，１９Ｂから、流路部材２１０に設けられた２つの個別回収路２１４Ａ，２１４Ｂを介して液体が回収される。さらに、それぞれの個別回収路２１４Ａ，２１４Ｂが共に接続された共通回収路２１２を介して液体が回収される。共通供給路２１１から供給された液体は、連通口６１を介して個別供給路２１３Ａ，２１３Ｂに供給される。そして、その液体は、個別供給路２１３Ａ，２１３Ｂから第１流路部材５０の開口、支持基板３０の開口、蓋部材２０の開口２１Ａ１，２１Ｂ１を通って液体供給路１８Ａ，１８Ｂに至る。そして、液体供給路１８Ａ，１８Ｂに供給された液体は、供給口１７ａを介して圧力室２３に供給され、記録素子１５の動作に応じて吐出口１３から吐出される。吐出されずに圧力室２３を通過した液体は、回収口１７ｂから液体回収路１９Ａ，１９Ｂに回収される。そして、その液体は、蓋部材２０の開口２１Ａ２，２１Ｂ２、支持部材３０の開口、第１流路部材５０の開口を経由して個別回収路２１４Ａ，２１４Ｂを通り、連通口６１から共通回収路２１２に回収される。このように共通供給路２１１から共通回収路２１２に至る液体の流れを循環供給と表現することがある。本明細書では、供給側開口と回収側開口とを区別する際に、供給側の開口の符号に添字「１」を付けて表し、回収側の開口の符号に添字「２」を付けて表す場合がある。

本発明では、隣接する２つの吐出モジュール２００Ａ，２００Ｂが、それらの隣接部における温度差ができるだけ小さくなるように、同等の温度条件を有する開口を、吐出モジュール２００Ａ，２００Ｂの互いに近接する部分にそれぞれ配置している。例えば、図１１に示される構成では、吐出モジュール２００Ａの液体供給路１８Ａおよび液体回収路１９Ａの配置と、吐出モジュール２００Ｂの液体供給路１８Ｂおよび液体回収路１９Ｂの配置とが、反対に配置された構成となっている。例えば、互いに隣接する吐出モジュール２００Ａ，２００Ｂのうちの一方では、全ての圧力室２３に対して一方の側（図１１上側）から液体が供給される。そして、全ての圧力室２３から他方の側（図１１の下側）に液体が回収される。それに対し、互いに隣接する吐出モジュール２００Ａ，２００Ｂのうちの他方では、全ての圧力室２３に対して他方の側（図１１の下側）から液体が供給される。そして、全ての圧力室２３から一方の側（図１１の上側）に液体が回収される。

吐出モジュール２００Ａ，２００Ｂは、吐出口列１４を挟んで両側にそれぞれ位置する複数の開口を有する。一方の吐出モジュール２００Ａでは、流路部材２１０の共通供給路２１１から、連通口６１および個別供給路２１３Ａを介して、吐出口列１４を挟んで一方の側（図１１の上側）に設けられた開口２１Ａ１に接続されている。さらに、開口２１Ａ１は、一方の側（図１１の上側）に位置する液体供給路１８Ａを介して、圧力室２３および吐出口１３に接続されている。それにより、全ての吐出モジュール２００に液体を供給する共通供給路２１１から、圧力室２３および吐出口１３に至る液体供給側の流路が構成されている。また、圧力室２３および吐出口１３には、吐出口列１４を挟んで他方の側（図１１の下側）に位置する液体回収路１９Ａが接続され、さらに、他方の側（図１１の下側）に設けられた開口２１Ａ２を介して個別回収路２１４Ａに接続されている。個別回収路２１４Ａは、連通口６１を介して、全ての吐出モジュール２００から液体を回収する共通回収路２１２に接続されている。それにより、圧力室２３および吐出口１３から、全ての吐出モジュール２００から液体を回収する共通回収路２１２に至る液体回収側の流路が構成されている。このような構成であるため、圧力室２３および吐出口１３には、吐出口列１４を挟んで一方の側（図１１の上側）から液体が供給される。そして、圧力室２３および吐出口１３を通過した液体は、吐出口列１４を挟んで他方の側（図１１の下側）に回収される。

前述した吐出モジュール２００Ａに隣接する他方の吐出モジュール２００Ｂでは、共通供給路２１１が、連通口６１および個別供給路２１３Ｂを介して、吐出口列１４を挟んで他方の側（図１１の下側）に設けられた開口２１Ｂ１に接続されている。さらに、開口２１Ｂ１は、他方の側（図１１の下側）に位置する液体供給路１８Ｂを介して、圧力室２３および吐出口１３に接続されている。それにより、全ての吐出モジュール２００に液体を供給する共通供給路２１１から、圧力室２３および吐出口１３に至る液体供給側の流路が構成されている。また、圧力室２３および吐出口１３には、吐出口列１４を挟んで一方の側（図１１の上側）に位置する液体回収路１９Ｂが接続され、さらに、一方の側（図１１の上側）に設けられた開口２１Ｂ２を介して個別回収路２１４Ｂに接続されている。個別回収路２１４Ｂは、連通口６１を介して、全ての吐出モジュール２００から液体を回収する共通回収路２１２に接続されている。それにより、圧力室２３および吐出口１３から、全ての吐出モジュール２００から液体を回収する共通回収路２１２に至る液体回収側の流路が構成されている。このような構成であるため、圧力室２３および吐出口１３には、吐出口列１４を挟んで他方の側（図１１の下側）から液体が供給される。圧力室２３および吐出口１３を通過した液体は、吐出口列１４を挟んで一方の側（図１１の上側）に回収される。図１１に示すように、吐出モジュール２００Ｂでは、個別供給路２１３Ｂが、吐出口列１４の列方向に実質的に直交する方向において、圧力室２３および吐出口１３の形成位置を越えて延伸している。それによって、他方の側（図１１の下側）から圧力室２３および吐出口１３に液体を供給できる。同様に、個別供給路２１４Ｂが、吐出口列の列方向に実質的に直交する方向において圧力室２３および吐出口１３の形成位置を越えて延伸することによって、圧力室２３および吐出口１３から一方の側（図１１の上側）に液体を回収できる。

一方の吐出モジュール２００Ａでは、吐出口列１４の列方向に沿って吐出口列１４の一端側から他端側（図１１の左側から右側）に向かって、供給側の開口２１Ａ１、回収側の開口２１Ａ２、供給側の開口２１Ａ１、回収側の開口２１Ａ２の順に配置されている。従って、一方の吐出モジュール２００Ａの他端（図１１の右端）、すなわち他方の吐出モジュール２００Ｂとの隣接部に位置するのは、回収側の開口２１Ａ２である。他方の吐出モジュール２００Ｂでは、吐出口列１４の列方向に沿って、吐出口列１４の一端側から他端側（図１１の左側から右側）に向かって、回収側の開口２１Ｂ２、供給側の開口２１Ｂ１、回収側の開口２１Ｂ２、供給側の開口２１Ｂ１の順に配置されている。従って、他方の吐出モジュール２００Ｂの一端（図１１の左端）、すなわち一方の吐出モジュール２００Ａとの隣接部に位置するのは、回収側の開口２１Ｂ２である。このように、吐出モジュール２００Ａ，２００Ｂの隣接部には、互いに同種の開口（回収側の開口２１Ａ２，２１Ｂ２）が位置している。従って、吐出モジュール２００Ａ，２００Ｂは、それらの隣接部における温度差が小さい。

この構成では、使用される全ての吐出モジュール２００において同一の位置に開口部分２１が設けられている。そして、吐出モジュール２００が取り付けられる流路部材２１０の個別供給路２１３と個別回収路２１４の構成のみが変更されている。具体的には、第１流路部材５０（図５参照）の個別供給路２１３と個別回収路２１４を構成する溝５２の形状と連通口５１の位置を、吐出モジュール２００Ａに対応する部分と吐出モジュール２００Ｂに対応する部分とで異ならせればよい。それ以外の流路部材６０，７０や吐出モジュール２００については何ら変更する必要はない。このように、本実施形態によると、全く同じ構成の複数の吐出モジュール２００を並べて配置する構成において、隣接する開口２１の温度条件を同程度にして、吐出モジュール２００の隣接部における温度ギャップを低減することができる。

［比較例］
本実施形態の液体吐出ヘッドと対比するための比較例の液体吐出ヘッドについて説明する。図１２（ａ）は、比較例の液体吐出ヘッドの、隣接する液体吐出モジュール２００Ａ，２００Ｂに対応する流路部材２１０の第１の流路部材５０内の流路を記録素子１５側から見た透視図である。図１２（ｂ）は、図１２（ａ）に示す２つの吐出モジュール２００Ａ，２００Ｂのそれぞれの、１つの吐出口列１４に対応する開口２１Ａ１，２１Ａ２，２１Ｂ１，２１Ｂ２の位置と、その記録素子基板１０の温度プロファイルを模式的に示している。便宜上、比較例に関しても、前述した実施形態と同様な符号を用いて説明する。
本比較例では、個別供給路２１３Ａ，２１３Ｂと個別回収路２１４Ａ，２１４Ｂとが、吐出口列方向に沿って交互に配置されており、供給側の開口２１Ａ１，２１Ｂ１と回収側の開口２１Ａ２，２１Ｂ２とが、吐出口列方向に沿って交互に配置されている。全ての吐出モジュール２００に亘って、この配列は変わることなく規則的に配列されている。従って、全ての吐出モジュール２００において、吐出口列１４を挟んで一方の側（例えば図１２の上側）に回収側の開口２１が配置され、他方の側（例えば図１２の下側）に供給側の開口２１が配置されている。また、各吐出口１３に対して同数の供給側の開口２１と回収側の開口２１とが設けられるため、各吐出モジュール２００における供給側の開口２１の総数と回収側の開口２１の総数は一致する。従って、このような吐出モジュール２００同士の隣接部には、互いに異なる種類の開口２１が位置する。例えば、吐出モジュール２００Ａの、吐出モジュール２００Ｂとの隣接部には回収側の開口２１Ａ２が位置し、吐出モジュール２００Ｂの、吐出モジュール２００Ａとの隣接部には供給側の開口２１Ｂ１が位置する。

このような液体吐出ヘッドにおいて、供給側の開口２１から、圧力室２３を通って、回収側の開口２１に至る液体の流れを発生させると、発熱素子である記録素子１５が発熱した際に高温になった液体（インク）は回収側に流れる。そのため、回収側の液体の温度が高くなる。さらに、印字濃度（吐出デューティ）が高くなって、吐出口１３から吐出する液体の量が、圧力室２３に流入する液体の量よりも大きくなると、回収側の開口２１からも圧力室２３に液体が流入する（循環とは逆方向の逆流が生じる）ことがある。そのような場合には、高温の液体の一部が回収側の開口２１から吐出モジュール２００の外部へ流出せず、圧力室２３に向かって流れるため、回収側の開口２１付近において、高温の液体に接する記録素子基板１０の温度がさらに高くなる。従って、回収側の開口２１付近と、供給側の開口２１付近との温度差はさらに大きくなる。そのため、図１２（ｂ）の模式的な温度分布図に示すように、隣接する液体吐出モジュール２００同士の間に大きな温度差が生じてしまう。特に、液体吐出モジュール２００が多数連続して配列されたライン型の液体吐出ヘッド３では、隣接する記録素子基板１０の間の温度差が顕著であり、この液体吐出ヘッド３からの液体吐出により形成された画像には、視認され易い画像ムラが生じる。なお、並んで配列されている多数の吐出モジュール２００のうちのどの２つの吐出モジュール２００をとっても、前述した関係を有しているため、図１２には「chip n」「chip n+1」と記載している。

［実施例］
前述した比較例の問題を解決するための、本発明の液体吐出ヘッドの実施例について、図１３を用いて説明する。図１３（ａ）は、本実施例の液体吐出ヘッドの、隣接する液体吐出モジュール２００Ａ，２００Ｂに対応する流路部材２１０の第１の流路部材５０内の流路を記録素子１０側から見た透視図である。図１３（ｂ）は、図１３（ａ）に示す２つの吐出モジュール２００Ａ，２００Ｂのそれぞれの、１つの吐出口列１４に対応する開口２１の位置と、その記録素子基板１０の温度プロファイルを模式的に示している。
本実施例の各吐出モジュール２００では、比較例と同様に、個別供給路２１３と個別回収路２１４とが、吐出口列方向に沿って交互に配置されており、供給側の開口２１と回収側の開口２１とが、吐出口列方向に沿って交互に配置されている。ただし、一方の吐出モジュール２００Ａでは、最も一端部（図１３の左端部）に近い位置に供給側の開口２１Ａ１が配置され、他端側（図１３の右側）に向けて、供給側の開口２１Ａ１と回収側の開口２１Ａ２とが交互に配置されている。それに隣接する他方の吐出モジュール２００Ｂでは、最も一端部（図１３の左端部）に近い位置に回収側の開口２１Ｂ２が配置され、他端側（図１３の右側）に向けて、回収側の開口２１Ｂ２と供給側の開口２１Ｂ１とが交互に配置されている。その結果、各吐出モジュール２００における供給側の開口２１の総数と回収側の開口２１の総数が一致する構成では、吐出モジュール２００同士の隣接部には、互いに同じ種類の開口が位置する。例えば、吐出モジュール２００Ａの、吐出モジュール２００Ｂとの隣接部には回収側の開口２１Ａ２が位置し、吐出モジュール２００Ｂの、吐出モジュール２００Ａとの隣接部にも回収側の開口２１Ｂ２が位置する。回収側の開口付近と供給側の開口付近との間に大きな温度差が生じるとしても、本実施例では、吐出モジュール２００同士の隣接部には同種の開口（図１３に示す例では回収側の開口２１Ａ２と２１Ｂ２）が位置するため、さほど大きな温度差は生じない。従って、液体吐出モジュール２００が連続して複数配列されたライン型の液体吐出ヘッド３でも、液体吐出により形成された画像に画像ムラが生じることが抑制できる。

そして、設計変更を最小限にしつつ、隣接する吐出モジュール２００において回収側の開口２１と供給側の開口２１の並ぶ順番を変えることは、各開口２１に接続される流路部材２１０の個別供給路２１３と個別回収路２１４の長さを変えることで可能である。隣接する吐出モジュール２００のそれぞれの開口２１の平面位置が同じであっても、一方の吐出モジュール２００Ａでは一方の開口２１を共通供給路２１１に接続し、他方の吐出モジュール２００Ｂでは、同じ位置の開口２１を共通回収路２１２に接続すればよい。そのために、共通供給路２１１または共通回収路２１２と各開口２１とを接続する個別供給路２１３と個別回収路２１４の長さを変えればよい。それにより、隣接する吐出モジュール２００において、吐出口列１４を中心とした供給側の開口２１と回収側の開口２１との位置関係を反対にすることができる。例えば、一方の吐出モジュール２００Ａでは、吐出口列１４を挟んで一方の側（図１３の上側）の開口を供給側の開口２１Ａ１、他方の側（図１３の下側）の開口を回収側の開口２１Ａ２にする。そして、他方の吐出モジュール２００Ｂでは、吐出口列１４を挟んで一方の側（図１３の上側）の開口を回収側の開口２１Ｂ２、他方の側（図１３の下側）の開口を供給側の開口２１Ｂ１にする。それにより、前述した比較例からの設計変更はごく微細なものでありながら、隣接する吐出モジュール２００Ａ，２００Ｂにおいて回収側の開口２１Ａ２，２１Ｂ２と供給側の開口２１Ａ１，２１Ｂ１の並ぶ順番を変えることができる。それにより、吐出モジュール２００Ａと２００Ｂの隣接部に、互いに同じ種類の開口が位置する構成が実現できる。そして、吐出モジュール２００Ａ，２００Ｂの隣接部における温度差を抑制し、液体吐出により形成された画像の画像ムラを抑えることができる。

なお、以上の説明および各図面は、１種類の液体（例えば１色のインク）が流れる流路に関する部分のみに関する。複数種類の液体（例えば多色のインク）を吐出する液体吐出ヘッドにおいて本発明を採用する場合には、前述した流路を含む機構が、液体の種類の数だけ設けられるとよい。

３ 液体吐出ヘッド
１０ 素子基板（記録素子基板）
１３ 吐出口
１４ 吐出口列
２００，２００Ａ，２００Ｂ 吐出モジュール

Claims (13)

1. 液体を吐出する複数の吐出口が列状に並んだ吐出口列を備えた素子基板を含む複数の吐出モジュールを前記吐出口列の並び方向に沿って配列して構成される液体吐出ヘッドであって、
   前記吐出モジュールは、前記吐出口列を構成する各吐出口を通り当該吐出口列が延びる方向に沿って当該吐出モジュールの両端部までそれぞれ延びる線分を挟んで両側に、当該吐出口列に連通する複数の開口をそれぞれ有し、
   互いに隣接して配置された前記吐出モジュールのうちの一方の吐出モジュールは、前記線分を挟んで一方の側に位置する複数の前記開口を通して液体が供給され、前記線分を挟んで他方の側に位置する複数の前記開口を通して液体が回収され、
   互いに隣接して配置された前記吐出モジュールのうちの他方の吐出モジュールは、前記線分を挟んで前記他方の側に位置する複数の前記開口を通して液体が供給され、前記線分を挟んで前記一方の側に位置する複数の前記開口を通して液体が回収されることを特徴とする、液体吐出ヘッド。
2. 液体を吐出する複数の吐出口が列状に並んだ吐出口列を備えた素子基板を含む複数の吐出モジュールを前記吐出口列の並び方向に沿って配列して構成される液体吐出ヘッドであって、
   前記吐出モジュールは、前記吐出口列を構成する各吐出口を通り当該吐出口列が延びる方向に沿って当該吐出モジュールの両端部までそれぞれ延びる線分を挟んで両側にそれぞれ位置する複数の開口を有し、
   前記複数の開口は、前記液体が供給される供給側の開口と、前記液体が回収される回収側の開口とを含み、
   互いに隣接して配置された前記吐出モジュールのうちの一方の吐出モジュールは、前記線分を挟んで一方の側に位置する供給側の前記開口を通して液体が供給され、前記線分を挟んで他方の側に位置する回収側の前記開口を通して液体が回収され、
   互いに隣接して配置された前記吐出モジュールのうちの他方の吐出モジュールは、前記線分を挟んで前記他方の側に位置する供給側の前記開口を通して液体が供給され、前記線分を挟んで前記一方の側に位置する回収側の前記開口を通して液体が回収され、
   前記吐出口列の列方向の一端から他端に向かって、供給側の前記開口と回収側の前記開口とが交互に千鳥状に配置されており、
   供給側の前記開口と回収側の前記開口とは、前記一方の吐出モジュールと前記他方の吐出モジュールとの隣接部分において前記一方の吐出モジュールと前記他方の吐出モジュールとに同じ種類の前記開口が位置するように配置されていることを特徴とする、液体吐出ヘッド。
3. 各々の前記吐出モジュールに設けられた前記開口は、液体が供給される供給側の開口と、液体が回収される回収側の開口とを含み、
   前記吐出口列の配列方向の一端から他端に向かって、供給側の前記開口と回収側の前記開口とが交互に千鳥状に配置されていることを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
4. 供給側の前記開口と回収側の前記開口とは、前記一方の吐出モジュールと前記他方の吐出モジュールとの隣接部分において、前記一方の吐出モジュールと前記他方の吐出モジュールとに同じ種類の前記開口が位置するように配置されていることを特徴とする、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 互いに隣接する前記吐出モジュールのうちの一方の前記吐出モジュールでは、前記吐出口列の列方向の一端側に最も近い前記開口が供給側の開口であって、他端側に最も近い前記開口が回収側の開口であり、
   互いに隣接する前記吐出モジュールのうちの他方の前記吐出モジュールでは、前記一端側に最も近い前記開口が回収側の開口であって、他端側に最も近い前記開口が供給側の開口であることを特徴とする、請求項２または４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記素子基板は、前記吐出口から液体を吐出するためのエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子と、前記吐出口と前記エネルギー発生素子とを備えた複数の圧力室と、をさらに有し、複数の前記圧力室は列状に並んで配置されており、
   供給側の前記開口を通して供給された前記液体は前記圧力室に供給され、前記圧力室の前記液体の一部は前記吐出口から吐出され、他の一部は回収側の前記開口を通して回収されることを特徴とする、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記吐出モジュールには、各々の前記圧力室に対して、前記圧力室に接続された供給口と、前記供給口に接続されるとともに供給側の前記開口が設けられている液体供給路と、前記圧力室に接続された回収口と、前記回収口に接続されるとともに回収側の前記開口が設けられている液体回収路と、が設けられており、前記供給口および前記液体供給路と、前記回収口および前記液体回収路とは、前記線分を挟んで互いに反対側にそれぞれ位置していることを特徴とする、請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記吐出モジュールに対する前記液体の供給と前記吐出モジュールからの前記液体の回収とを行う流路部材をさらに有し、
   前記流路部材には、複数の前記吐出モジュールに液体を供給する共通供給路と、前記共通供給路と複数の供給側の前記開口とをそれぞれ接続する複数の個別供給路と、複数の前記吐出モジュールから液体を回収する共通回収路と、前記共通回収路と複数の回収側の前記開口とをそれぞれ接続する複数の個別回収路と、を備えており、
   互いに隣接する前記吐出モジュールのうちの一方の前記吐出モジュールでは、前記個別供給路は、前記線分を挟んで一方の側に位置する前記液体供給路に開口した供給側の前記開口と前記共通供給路とを接続し、前記個別回収路は、前記線分を挟んで他方の側に位置する前記液体回収路に開口した回収側の前記開口と前記共通回収路とを接続しており、
   互いに隣接する前記吐出モジュールのうちの他方の前記吐出モジュールでは、前記個別供給路は、前記他方の側に位置する供給側の前記開口と前記共通供給路とを接続し、前記個別回収路は、前記一方の側に位置する回収側の前記開口と前記共通回収路とを接続していることを特徴とする、請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記共通供給路から、前記個別供給路、供給側の前記開口、前記液体供給路、前記供給口、前記圧力室、前記回収口、前記液体回収路、回収側の前記開口、前記個別回収路、前記共通回収路の順番に液体が流れる流路が構成されていることを特徴とする、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 全ての前記吐出モジュールの同じ平面位置にそれぞれ前記開口が設けられていることを特徴とする、請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
11. 請求項１から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を搬送する搬送部と、を備えていることを特徴とする液体吐出装置。
12. 液体を吐出する吐出口と、吐出口から液体を吐出するために駆動される記録素子と、前記吐出口と前記記録素子とを備えた圧力室と、前記圧力室に対して前記液体を供給する供給口と、前記圧力室を経由して前記液体を前記圧力室から移動させる回収口と、を複数、列状に備え、前記複数の供給口と連通するとともに前記供給口に前記液体を供給する液体供給路と、前記圧力室に対して液体供給路と反対側に配され、前記複数の回収口と連通するとともに前記回収口から前記液体を回収する液体回収路と、を備えた記録素子基板と、
    前記記録素子基板を支持し、前記液体供給路に前記液体を供給する少なくとも２つの供給側の開口と、前記液体回収路から前記液体を回収する少なくとも２つの回収側の開口と、を備えた支持部材と、
    を備えた吐出モジュールと、
    前記吐出モジュールを、前記吐出口が列状に配列されるように複数配列するとともに、前記吐出モジュールの前記供給側の開口に接続され前記液体を供給する個別供給流路と、前記回収側の開口に接続され前記液体を回収する個別回収流路と、前記複数の吐出モジュールに設けられた前記個別供給流路の夫々が接続する共通供給流路と、前記複数の吐出モジュールに設けられた前記個別回収流路の夫々が接続する共通回収流路と、を備えた流路部材と、
    を備えた液体吐出ユニットと、
    を備えた液体吐出ヘッドであって、
    前記複数の吐出モジュールのうち第１の吐出モジュールの前記液体供給路と前記液体回収路とは前記圧力室を挟んで一方の側に前記液体供給路が、他方の側に前記液体回収路が配されており、前記液体供給路と連通する前記供給側の開口と、前記液体回収路と連通する前記回収側の開口とは、前記吐出口の配列方向に関して一方から他方に向かって供給側の開口、回収側の開口、供給側の開口、回収側の開口の順で交互に配列されるとともに、
    前記第１の吐出モジュールに隣接して配置される第２の吐出モジュールの前記液体供給路と前記液体回収路は前記第１の吐出モジュールとは前記圧力室を挟んで一方の側に前記液体回収路が、他方の側に前記液体供給路が配されており、前記液体供給路と連通する前記供給側の開口と、前記液体回収路と連通する前記回収側の開口とは、前記吐出口の配列方向に関して、一方から他方に向かって回収側の開口、供給側の開口、回収側の開口、供給側の開口の順で配列されており、
    前記第１及び第２のモジュールそれぞれに設けられた前記供給側の開口に対して同じ共通供給流路から個別供給流路を介して接続され、前記第１及び第２のモジュールそれぞれに設けられた前記回収側の開口に対して同じ共通回収流路から個別回収流路を介して接続されているとともに、
    前記吐出モジュールを構成する前記記録素子基板に設けられた各開口部分の位置は前記第１及び第２の吐出モジュールで同一の位置であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
13. 前記液体吐出ユニットは、前記共通供給流路、前記個別供給流路、前記供給側の開口、前記液体供給路、前記供給口、前記圧力室、前記回収口、前記液体回収路、前記回収側の開口、前記個別回収流路、前記共通回収流路の順に液体の流れを生起させることを特徴とする請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。