JP7120554B2 - ロール・ツー・ロールプラズマ生成装置を利用した基材の表面洗浄システム及び方法 - Google Patents
ロール・ツー・ロールプラズマ生成装置を利用した基材の表面洗浄システム及び方法 Download PDFInfo
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Description
110:上部ハウジング
112:ガス流入口
114:柔軟性基材排出口
116:柔軟性基材出入口
120:下部ハウジング
122:ガス排出口
124:柔軟性基材流入口
210:第1のプラズマ発生装置
220:第2のプラズマ発生装置
212、222:プラズマヘッド
214、224:プラズマボディ
320:第1の移送ローラー
330:第2の移送ローラー
400:冷却器
410:冷却部
420:供給部
430:水冷配管
440:制御装置
Claims (4)
- ロール・ツー・ロールプラズマ表面洗浄処理システムにおいて、
第1のプラズマ発生装置および前記第1のプラズマ発生装置によって生成されたプラズマビームが吐出されるノズルと対向して柔軟性基材を巻いて移送する第1の移送ローラーを収容し、ガス流入口、前記柔軟性基材が流入される出入口および前記柔軟性基材が排出される排出口が形成されている上部ハウジングと、
前記上部ハウジングの前記出入口と連結され、第2のプラズマ発生装置および前記第2のプラズマ発生装置によって生成されたプラズマビームが吐出されるノズルと対向して前記柔軟性基材を巻いて移送する第2の移送ローラーを収容し、ガス排出口および前記柔軟性基材が流入される流入口が形成されている下部ハウジングとを含み、
前記ガス流入口を介して低温冷媒ガスを導入することにより、前記上部ハウジングが低温の雰囲気が維持されるように構成される、システム。 - 前記第1のプラズマ発生装置は、前記柔軟性基材の表面に形成された酸化膜除去のために窒素(N2)および水素(H2)を含むフォーミングガス(foaming gas)の放電を介してプラズマビームを生成する、請求項1に記載のシステム。
- 前記第2のプラズマ発生装置は、前記柔軟性基材の表面に形成された有機物除去のために圧縮空気を含むフォーミングガスの放電を介してプラズマビームを生成し、
前記ガス排出口は、前記第2のプラズマ発生装置によって除去された有機物を含む異物を排出するように構成される、請求項1に記載のシステム。 - 前記第1の移送ローラーおよび前記第2の移送ローラーの中心部を通過する水冷配管と、
前記水冷配管を介して流れる冷却水の温度を調節する冷却器とをさらに含み、
前記冷却器は、
前記冷却器を通過して流れる冷却水の温度を調節する冷却部と、
前記冷却部によって温度が調節された冷却水を、前記水冷配管を介して前記移送ローラーに供給する供給部とを含む、請求項1に記載のシステム。
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