JP7102153B2 - 情報端末および入力支援システム - Google Patents

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Description

本発明の一形態は、情報端末、表示装置、情報端末への入力手段、これらを用いた情報端末への入力方法、入力システム、および入力支援システムに関する。
また、本発明の一形態は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する発明の技術分野は、物、方法、または、製造方法に関するものである。または、本発明の一形態は、プロセス、マシン、マニュファクチャ、または、組成物(コンポジション・オブ・マター)に関するものである。
近年、タッチパネルが設けられた、スマートフォンやタブレット端末などの情報端末の普及により、タッチパネルの操作による情報端末への入力が日常化している。情報端末のユーザは、指や、スタイラスなどのタッチペンを用いて情報端末へ情報の入力を行う。
例えば、表示部に入力部が設けられた表示装置へのペンを用いた情報の入力が知られている(特許文献1)。
特開2002-287900号公報
しかしながら、頚椎損傷などを負い、身体の一部(特に、上肢、手、指先)が自由に動かせないユーザ、指先の感覚が無いユーザ、または身体の一部に欠損があるユーザにとって、タッチパネルに対するタッチによる操作は、困難である。具体的には、頚椎損傷者にとっては、指を動かすこと自体が難しい場合があり、情報端末に設けられた表示部の意図した領域に指を運ぶことが難しい。また、指の触覚も乏しいユーザにとっては、表示部へのタッチが行われたかどうかの判断も難しい。このような場合、ユーザにとって情報端末への情報の入力は煩雑な作業となり、ユーザは情報端末の誤操作や、情報端末に誤入力してしまう恐れがある。また、上肢に欠損があるユーザにとっては、手や指による表示部へのタッチが不可能な場合がある。
上記問題に鑑み、本発明の一態様は、簡便に入力作業を行うことができ、誤操作を抑止する情報端末への入力手段、情報端末への入力方法、および情報端末への入力支援システムを提供することを課題の一とする。
なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。なお、これら以外の課題は、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面、請求項などの記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
なお本発明の一態様の課題は、上記列挙した課題に限定されない。上記列挙した課題は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお他の課題は、以下の記載で述べる、本項目で言及していない課題である。本項目で言及していない課題は、当業者であれば明細書又は図面等の記載から導き出せるものであり、これらの記載から適宜抽出することができる。なお、本発明の一態様は、上記列挙した記載、及び/又は他の課題のうち、少なくとも一つの課題を解決するものである。
本発明の一態様は、表示部にレーザ光検出部が設けられた情報端末である。
本発明の一態様は、支持体に、レーザ発振器が設けられた情報端末への入力手段である。
また、本発明の一態様は、情報端末の表示部が、レーザ光に照射され、レーザ発振器および情報端末の少なくとも一方と有線あるいは無線で接続されたスイッチを操作することにより、タッチをエミュレートする入力システムである。
なお、情報端末への情報の入力には、2種類のレーザ光を用いてもよい。ここで、2種類のレーザ光とは、同一のレーザ発振器から出力され、互いに強度の異なるレーザ光、同一のレーザ発振器から出力され、互いに出力パルスの異なるレーザ光、あるいは、異なるレーザ発振器から出力されるレーザ光のことをいう。
また、レーザ発振器は、眼鏡、帽子、ヘッドギアなどの支持体に設けられるのが好ましい。この場合、レーザ発振器はユーザの頭部に取り付けられ、ユーザの頭の動きに合わせて、情報端末が有する表示部の所望の位置がレーザ光に照射される。これにより、身体の一部(特に、上肢、手、指先)が自由に動かせないユーザ、指先の感覚が無いユーザ、あるいは、身体の一部に欠損があるユーザでも、所望の位置を選択し、情報を入力することができる。
第1のレーザ光にて所望の位置を選択し、第2のレーザ光にて情報を入力してもよい。この場合情報端末の表示部には、少なくとも第2のレーザ光を検出するレーザ光検出部が設けられる。
レーザ発振器と、支持体の間に、ユーザの視線と、レーザ光により照射される場所が一致するようにレーザ光の出力方向を調整できる可動部を設けてもよい。
第2のレーザ光は、スイッチの操作により出力される構成としてもよい。
当該スイッチは、手や指の動きが不自由なユーザでも操作できるスイッチを用いるのが好ましい。例えば、呼気スイッチ、手、腕、足、顎などで操作できる押しボタン型スイッチ、ペダル型スイッチ、ゴム製のボールなどを握ることで操作するスイッチ、瞬きスイッチなどを用いることができる。
また、本発明の一態様は、支持体と、支持体に設けられた可動部と、可動部を介して、支持体に設けられたレーザ発振器と、レーザ発振器と接続されたスイッチを有し、可動部により、レーザ発振器からのレーザ光の出力方向とユーザの視線が一致するようにレーザ光の出力方向を調整可能である情報端末への入力手段である。
なお、支持体は、眼鏡、帽子、ヘルメットおよびヘッドギアのいずれか一からなることが好ましい。
なお、スイッチは、呼気スイッチ、押しボタン型スイッチ、ペダル型スイッチ、および瞬きスイッチから選ばれた一つであることが好ましい。
なお、レーザ発振器は第1のレーザ光と第2のレーザ光を出力し、スイッチは、第1のレーザ光と第2のレーザ光を切り替えるように構成されてもよい。
また、本発明の一態様は、情報端末と、前記情報端末へ入力を行う入力手段と、を有し、入力手段は、レーザ発振器、およびレーザ発振器と接続されたスイッチを有し、情報端末は、表示部を有し、表示部は、センサを有し、レーザ発振器から出力された第1のレーザ光で、表示部上の領域を照射し、第1のレーザ光から第2のレーザ光に切り替え、第2のレーザ光で、当該領域を照射し、当該領域に設けられた、センサは、第2のレーザ光を検出し、第1のレーザ光から第2のレーザ光への切り替えは、スイッチにより行われる情報端末への入力方法である。
なお、第2のレーザ光と第1のレーザ光は、強度が異なることが好ましい。
なお、第2のレーザ光は、第1のレーザ光より、強度が大きいことが好ましい。
なお、第1のレーザ光および第2のレーザ光はパルスレーザ光であることが好ましい。
なお、第2のレーザ光は、第1のレーザ光より、パルス周期が短いことが好ましい。
なお、第2のレーザ光と第1のレーザ光は、デューティー比が異なることが好ましい。
また、本発明の一態様は、情報端末と、情報端末へ入力を行う入力手段と、人工知能と、を有し、入力手段は、レーザ発振器、およびレーザ発振器と接続されたスイッチを有し、情報端末は、表示部を有し、表示部は、センサを有し、レーザ発振器から出力された第1のレーザ光で、表示部上の領域を照射し、第1のレーザ光をセンサにて検出し、スイッチにより情報端末へ情報が入力されるように構成され、人工知能はセンサにて検出された第1のレーザ光の動きのパターンを抽出し、記憶する情報端末への入力支援システムである。
本発明の一形態により、簡便に入力作業を行うことができ、誤操作を抑止する情報端末への入力手段、情報端末への入力方法、および情報端末への入力支援システムを提供することができる。
また、入力手段として、レーザ光を用いることで、ユーザから離れた場所に位置する情報端末や表示装置にも入力が可能となる。このため、本発明における情報端末はスマートフォンやタブレット型コンピュータなどの携帯型の情報端末に限定されない。本発明の構成として、デスクトップコンピュータやラップトップコンピュータのモニタ、テレビ、テレビ会議などの会議などに用いることができ、複数の人で同時に閲覧可能な大型モニタ、あるいは公共施設、商業施設、交通機関などに設置されたデジタルサイネージなど、据え置き型の情報端末や表示装置にも適応可能である。よって、対象となる情報端末や表示装置は多岐にわたる。本明細書では、これらを総称して情報端末、あるいは表示部を有する情報端末と呼ぶことがある。
なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一形態は、これらの効果の全てを有する必要はない。なお、これら以外の効果は、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面、請求項などの記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。
本発明の一態様に係る入力手段、情報端末、および使用例を示す図。 本発明の一態様に係る入力手段を示す図。 本発明の一態様に係る入力手段を示す図。 本発明の一態様に係る入力手段、および使用例を示す図。 本発明の一態様に係る入力操作の例を示すタイミングチャート。 本発明の一態様に係る入力操作の例を示すタイミングチャート。 本発明の一態様に係る入力操作の例を示すタイミングチャート。 本発明の一態様に係る入力操作の例を示すタイミングチャート。 本発明の一態様に係る入力操作の例を示すタイミングチャート。 本発明の一態様に係る入力手段、および情報端末の構成を示すブロック図。 本発明の一態様に係る入力操作の例を説明する図。 人工知能を用いた入力パターンの抽出、および入力支援を説明するフローチャート。 本発明の一態様に係る表示パネルの構成を示すブロック図。 本発明の一態様に係る表示パネルの画素回路を示す図。 本発明の一態様に係る表示パネルの画素回路を示す図。 本発明の一態様に係るフォトセンサの動作を示すタイミングチャート。 本発明の一態様に係る表示パネルの画素回路を示す図。 本発明の一態様に係る表示部を示す断面図。 本発明の一態様に係る表示部を示す断面図。 本発明の一態様に係る表示部を示す断面図。 本発明の一態様に係る電子機器を示す図。 本発明の一態様に係る電子機器を示す図。 本発明の一態様に係る電子機器を示す図。
以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。但し、実施の形態は多くの異なる形態で実施することが可能であり、趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は、以下の実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
また、図面において、大きさ、層の厚さ、または領域は、明瞭化のために誇張されている場合がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。なお図面は、理想的な例を模式的に示したものであり、図面に示す形状または値などに限定されない。
なお、本明細書中において、高電源電圧をHレベル(又はVDD)、低電源電圧をLレベル(又はGND)と呼ぶ場合がある。
また、本明細書は、以下の実施の形態を適宜組み合わせることが可能である。また、1つの実施の形態の中に、複数の構成例が示される場合は、互いに構成例を適宜組み合わせることが可能である。
(実施の形態1)
本実施の形態では、本発明の一形態である情報端末および入力手段について説明を行う。
図1に示す情報端末101は、表示部103を有し、表示部には、レーザ光105を検出するセンサが設けられている。レーザ光105を検出するセンサとしては、フォトセンサやフォトダイオードを用いることができる。当該センサは、受光部におけるレーザ光の強度を検出できるものが好ましい。
なお、表示部103には、常時照明器具からの光や太陽光などの外光が入射していることが考えられる。このような外光と、情報端末への情報入力のための光を区別するため、情報入力のための光はこのような外光よりも高いエネルギーを有していることが好ましい。高いエネルギーを有する光として、レーザ光を用いることが好ましい。
または、表示部内あるいは表示部外の複数のセンサで、それぞれ入射光のエネルギーの強さを比較し、相対的に他のセンサよりも高いエネルギーが検出されたセンサを含む領域を、ユーザが選択した領域と判断してもよい。
また、ユーザが表示部103の所望の領域を選択し、情報を入力するためには、指向性の高い光を用いることが好ましい。このように高い指向性を有する光として、レーザ光を用いることが好ましい。
また、当該センサは、レーザ光105の検出だけでなく、ユーザの指や、スタイラスなどのタッチペンによるタッチを検出するタッチセンサとして機能してもよい。なお、ここでいうタッチとは、指やタッチペンで表示部を直接触れることだけでなく、表示部に触れることなく、表示部近傍まで指やタッチペンを近づけることも含まれる。また、当該センサがレーザ光105を検出したら、情報端末101は、当該レーザ光が照射された領域にポインタ106を表示させてもよい。
入力手段130は、支持体109と、支持体109に設けられたレーザ発振器107を有し、ユーザの頭部などに固定される。本実施の形態ではレーザ発振器107を頭部に固定できるよう、支持体109は頭部に装着するものを例示している。これにより、ユーザの視線に合わせて情報端末101の表示部103をレーザ光で照射することができるので好ましい。一方で、ユーザの利便性を考え、入力手段130は、レーザ発振器107を頭部以外、例えば、首、胸、肩、腕、手、あるいは指に固定できる形態としてもよい。
入力手段130は、さらにスイッチ111を有していることが好ましく、情報端末101への情報の入力には、レーザ発振器107と有線または無線で接続されたスイッチ111を用いることができる。あるいは、情報端末101と有線または無線で接続されたスイッチ111を用いてもよい。
スイッチ111がレーザ発振器107と接続されている場合、スイッチ111は、レーザ発振器107のON/OFF、レーザ発振器107から出力されるレーザ光105の強度、パルス幅、デューティー比の切り替えなどに用いることができる。一方、スイッチ111が情報端末101と接続されている場合、表示部103がレーザ光105に照射されている状態でスイッチ111による操作が行われると、情報端末101は、レーザ光105に照射された部分でタッチパネルにおけるタッチに相当する動作が行われたとみなし、タッチ入力と同様に情報の入力を行うことができる。また、スイッチ111は、2以上のチャンネル(Ch1、Ch2、Ch3、など)を有するのが好ましい。
図2(A)は、支持体109として眼鏡を用いた場合の入力手段130を示す図である。眼鏡は、テンプル113、リム115、ブリッジ116、レンズ117などからなり、レーザ発振器107は、テンプル113に固定されている。ただし、本実施の形態はこれに限らない。レーザ発振器107の大きさや重さに応じて、リム115やブリッジ116に取り付けられていてもよい。レンズ117は、ユーザの視力を矯正する機能を有していても良いし、特定の波長の透過を抑制する機能を有していても良い。特に、波長400nm以下の紫外線や、情報端末の表示部から発せられる光の内、波長380nm以上500nm以下の所謂ブルーライトなどの透過を抑制できることが好ましい。または、レンズ117は設けなくてもよい。
図2(B)は、入力手段130を上方から見た、支持体109およびレーザ発振器107の拡大図である。テンプル113とリム115は、ヒンジ119を介して接続されており、入力手段130は収納時などに折り畳みが可能である。レーザ発振器107は、可動部121を介して支持体109に設けられていてもよい。可動部121を用いてレーザ発振器107から出力されるレーザ光の方向を調整し、ユーザの視線と、表示部上でレーザ光に照射される場所を一致させることができる。
また、レーザ発振器107に用いられる電源は、一次電池、二次電池などの電池や、商用電源などを用いることができる。電池は、乾電池、ボタン型電池、ラミネート型電池、樹脂などでパッケージされた所謂電池パックなどを用いることができる。また、電池は、レーザ発振器107に内蔵されていても良いし、支持体109に設けられていてもよい。電源がレーザ発振器107の外部にあることで、レーザ発振器107を小型かつ軽量にでき、ユーザはレーザ発振器107の重さによるストレスを感じることなく入力手段130を使用できるため好ましい。また、レーザ発振器107の取り付け位置が制限されず、デザインの自由度が増えるという点でも好ましい。さらに、電源として二次電池を用いる場合、テンプル113を湾曲した構造の二次電池や、変形が可能な二次電池とすることで、電池による重さを左右のテンプル113に分散でき、ユーザは重さによるストレスを感じることなく入力手段130を使用できるため好ましい。また、レーザ発振器107を、情報端末101に接続し、情報端末101からレーザ発振器107に電源を供給してもよい。レーザ発振器107と情報端末101の接続には、USBケーブルなどを用いることができる。なお、図示しないが、レーザ発振器107や電源として用いられる二次電池には、電源供給や充電のための端子が設けられる。
図1および図2では、支持体109として、眼鏡を用いる例を示したがこれに限らない。図3(A)に示すように支持体123として、帽子やヘルメットを用いてもよいし、図3(B)に示すように支持体125としてヘッドギアを用いてもよい。図3(A)では、帽子やヘルメットなどの支持体123にレーザ発振器107が設けられ、スイッチ111は、レーザ発振器107と有線あるいは無線で接続されている。なお、図示しないが、レーザ発振器107は、可動部を介して支持体123に設けられているのが好ましい。可動部については、図2(B)に示す可動部121を用いることができる。なお、レーザ発振器が設けられる場所は図示した側頭部に限らない、帽子の正面(額周辺部)に設けられていてもよい。
また、図3(B)では、ヘッドギアなどの支持体125にレーザ発振器107が設けられ、スイッチ111は、レーザ発振器107と有線あるいは無線で接続されている。なお、図示しないが、レーザ発振器107は、可動部を介して支持体125に設けられているのが好ましい。可動部については、図2(B)に示す可動部121を用いることができる。なお、レーザ発振器が設けられる場所は図示した側頭部に限らない、ヘッドギアの正面(額周辺部)に設けられていてもよい。
また、図1乃至図3では、レーザ発振器107にスイッチ111が有線で接続されている例を示している。スイッチ111としては、手や指の動きが不自由なユーザでも操作できるスイッチを用いるのが好ましい。例えば、呼気スイッチ、手、腕、足、口、顎などで操作できる押しボタン型スイッチ、ペダル型スイッチ、ゴム製のボールなどを握ることで操作するスイッチ、瞬きスイッチなどを用いることができる。
例えば、上肢に障害あるいは欠損のあるユーザにとっては、スイッチ111として、呼気スイッチ、口や顎で操作できるスイッチ、ペダル型スイッチ、瞬きスイッチなどを用いればよい。また、下肢に障害あるいは欠損のあるユーザにとっては、スイッチ111として、呼気スイッチ、手、腕、口、顎などで操作できる押しボタン型スイッチ、ゴム製のボールなどを握ることで操作するスイッチ、瞬きスイッチなどを用いればよい。
図4は、支持体109に設けられたレーザ発振器107と、スイッチ111としてペダル型スイッチ127が有線で接続されている例を示している。ペダル型スイッチ127は、床に置いて使用してもよいし、椅子に取り付けられていてもよい。本実施の形態では、車椅子129のフットサポートに取り付けられている例を示しており、上肢に障害あるいは欠損のあるユーザでも情報端末への情報の入力が可能になる。
スイッチ111は、レーザ発振器107と無線で接続されていてもよい。また、スイッチ111は、情報端末101と有線あるいは無線で接続されていてもよい。
<入力操作1>
次に上記入力手段を用いて、情報端末に情報を入力する方法について説明する。なお、本入力方法は、身体の一部(特に、上肢、手、指先)が自由に動かせない、あるいは指先の感覚が無いユーザが利用する想定で説明されるが、本入力方法のユーザはこれに限定されない。ユーザはキーボード、マウス、タッチパネルなどを用いた情報端末への情報の入力を行いつつ、本入力方法を用いてもよいし、ペンなどの筆記具による文章の作成と並行して、本入力方法を用いて情報端末に情報を入力してもよい。また、情報の入力にレーザ光を用いているため、情報端末から離れた位置から情報の入力を行ってもよい。
まず、入力手段のスイッチが、レーザ発振器に接続されている形態について説明する。本形態では、スイッチの操作により、レーザ発振器から出力されたレーザ光が変化することで、情報端末への情報の入力を行う。
ユーザは本実施の形態の入力手段を装着し、情報端末の表示部を見ながらレーザ発振器をONにする。該入力手段が、支持体と、支持体に設けられたレーザ発振器を有する場合、レーザ発振器は可動部を介して支持体に設けられていることが好ましく、レーザ発振器から出力されたレーザ光とユーザの目線が情報端末の表示部上で概略一致するように可動部を調整してもよい。
また、レーザ発振器から出力されたレーザ光が情報端末の表示部にて検出されない場合、レーザ光は意図しない場所を照射している場合がある。特に、レーザ光が人体などに向けられることは危険である。この場合、情報端末はレーザ発振器に信号を送り、レーザ光の出力を停止することは、安全上好ましい。
レーザ光の出力は、スイッチにより制御されてもよい。
ユーザは、情報端末の表示部に表示されたアイコンなど特定の領域がレーザ光で照射されるよう、レーザ光の位置を調整する。特定の領域がレーザ光で照射された状態で、レーザ発振器と有線あるいは無線で接続されたスイッチを操作し、ユーザは情報端末に情報を入力することができる。具体的には、ユーザがスイッチを操作することで、レーザ光の強度の切り替え、レーザ光の出力方法における、連続出力からパルス出力への切り替え、あるいはパルス出力から連続出力への切り替え、あるいはパルス出力における、パルス幅、デューティー比の切り替えを行うことができる。
情報端末の表示部に設けられたセンサは、レーザ光の照射および上記変化を検出し、例えばタッチパネルにおけるタッチ入力が行われるのと同様に、情報端末へ情報の入力が行われる。
例えば、チャンネルを2つ有するスイッチ(Ch1、Ch2)が、レーザ発振器と接続されており、レーザ発振器のON/OFF、およびレーザ光の切り替えを当該スイッチにて行う場合のタイミングチャートを図5(A)、図6および図8に示す。ここで、Ch1、Ch2とは、スイッチの操作により、スイッチから異なる信号が出力されることを意味する。例えば、呼気スイッチの場合、吹く操作をCh1とし、吸う操作をCh2とすることができる。また、押しボタン型スイッチやペダル型スイッチの場合は、スイッチは第1のボタンと第2のボタンを有し、第1のボタンを押す操作をCh1とし、第2のボタンを押す操作をCh2とすることができる。また、単一のチャンネル(Ch1とする)でレーザ発振器のON/OFF、およびレーザ光の切り替えを当該スイッチにて行う場合のタイミングチャートを図5(B)、図7および図9に示す。
図5(A)は、Ch1によりレーザ発振器をONとし、Ch2によりレーザ発振器をOFFする例を示す。また、図5(B)に示すようにレーザ発振器のON/OFFをCh1のみで切り替えてもよい。この場合、Ch1が操作される際、レーザ発振器がOFFならばONとなり、レーザ発振器がONならばOFFとなる。
図6(A)は、Ch1の操作によりレーザ発振器をONとし、レーザ発振器がONの状態でさらにCh1を操作することでレーザ光の出力強度が大きくなり、情報端末への入力を行う例を示している。図6(A)では、レーザ光を出力した後、2回Ch1を操作しており、情報端末に2回情報を入力した後、Ch2の操作によりレーザ光の出力を終了している。1回目の情報の入力と2回目の情報の入力の間に、ユーザはレーザ光に照射される領域を変更することができる。また、1度のレーザ光出力中に入力される情報、すなわちCh1の操作回数は、1回でもよいし、3回以上でもよい。また、1回目のCh1の操作によりレーザ発振器から出力されるレーザ光を第1のレーザ光、2回目以降のCh1の操作により出力強度が大きくなったレーザ光を第2のレーザ光と呼ぶことができる。情報端末の表示部に設けられたセンサは、少なくとも第2のレーザ光を検出する。または、第1のレーザ光と第2のレーザ光を、それぞれ別のレーザ光として検出する。このような操作により、身体の一部(特に、上肢、手、指先)が自由に動かせない、あるいは指先の感覚が無いユーザでも、簡便に情報端末への情報の入力を行うことができる。
図6(B)は、Ch1の操作によりレーザ発振器をONとし、Ch2の操作によりレーザ光の出力強度が大きくなり、情報端末への入力を行う例を示している。図6(B)では、レーザ光を出力した後、2回Ch2を操作しており、情報端末に2回情報を入力した後、Ch1の操作によりレーザ光の出力を終了している。1回目の情報の入力と2回目の情報の入力の間に、ユーザはレーザ光に照射される領域を変更することができる。また、1度のレーザ光出力中に入力される情報、すなわちCh2の操作回数は、1回でもよいし、3回以上でもよい。また、1回目のCh1の操作によりレーザ発振器から出力されるレーザ光を第1のレーザ光、Ch2の操作により出力強度が大きくなったレーザ光を第2のレーザ光と呼ぶことができる。情報端末の表示部に設けられたセンサは、少なくとも第2のレーザ光を検出する。または、第1のレーザ光と第2のレーザ光を、それぞれ別のレーザ光として検出する。このような操作により、身体の一部(特に、上肢、手、指先)が自由に動かせない、あるいは指先の感覚が無いユーザでも、簡便に情報端末への情報の入力を行うことができる。
図7は、スイッチの操作による情報端末への入力毎にレーザ光の出力をOFFにする例を示している。この場合、スイッチに必要なチャンネルは一つでよい(Ch1とする)。ユーザはスイッチを操作し、レーザ発振器からレーザ光を出力し、表示部の所望の領域は該レーザ光に照射される。所望の領域がレーザ光に照射されている状態でユーザは再度スイッチを操作すると、レーザ光の出力強度が大きくなり、情報端末への情報の入力後にレーザ発振器はOFFとなる。続けて情報の入力を行う場合は、再度スイッチを操作してレーザ光を出力し、所望の領域がレーザ光により照射された状態でスイッチを操作し、2回目の情報の入力が行われる。また、1回目のCh1の操作によりレーザ発振器から出力されるレーザ光を第1のレーザ光、2回目のCh1の操作により出力強度が大きくなったレーザ光を第2のレーザ光と呼ぶことができる。情報端末の表示部に設けられたセンサは、少なくとも第2のレーザ光を検出する。または、第1のレーザ光と第2のレーザ光を、それぞれ別のレーザ光として検出する。
本入力方法によると、情報の入力の度にレーザ光の出力がOFFされるため、消費電力の低減や、レーザ光の長時間出力によるレーザ発振器の劣化を抑制することが可能となり、好ましい。このような操作により、身体の一部(特に、上肢、手、指先)が自由に動かせない、あるいは指先の感覚が無いユーザでも、簡便に情報端末への情報の入力を行うことができる。
図8(A)は、1回目のCh1の操作によりレーザ発振器から第1の周期を有するパルスレーザ光を出力し、2回目のCh1の操作によりレーザ光のパルス周期は第2の周期に切り替わり、情報端末への入力を行う例を示している。情報端末の表示部に設けられたセンサは、レーザ光の照射およびレーザ光のパルスを検出する。2回目のCh1の操作によりレーザ光のパルス周期が変化すると、例えばタッチパネルにおけるタッチ入力が行われるのと同様に、情報端末へ情報の入力が行われる。
2回目のCh1の操作後、すなわち情報の入力後、レーザ光のパルス周期は第1の周期に切り替わる。その後、Ch2の操作により、レーザ光の出力を終了する。
図8(A)では、レーザ発振器から出力されるレーザ光がパルスレーザ光である例を示したが、本実施の形態はこれに限定されない。情報入力時のレーザ光、および情報入力前後のレーザ光の一方が連続出力のレーザ光でもよい。
図8(A)では、第2の周期は第1の周期より短い例を示しているがこれに限らない。第2の周期は第1の周期より長くても良い。また、本実施の形態では、パルスの周期を切り替える例を示したが、パルスのデューティー比を切り替えてもよい。あるいは、周期とデューティー比の両方を切り替えてもよい。
図8(A)では、1回目のCh1の操作と、Ch2の操作の間に、2回目のCh1の操作として1度しかCh1の操作を行っていないが、本実施の形態はこれに限定されない。第1の周期のパルスレーザ光を出力後、2回以上Ch1の操作を行ってもよい。この場合、2回目以降のCh1の操作では、レーザ光に照射される領域をそれぞれ変更してもよい。また、第1の周期を有するレーザ光を第1のレーザ光、第2の周期を有するレーザ光を第2のレーザ光と呼ぶことができる。情報端末の表示部に設けられたセンサは、少なくとも第2のレーザ光を検出する。または、第1のレーザ光と第2のレーザ光を、それぞれ別のレーザ光として検出する。このような操作により、身体の一部(特に、上肢、手、指先)が自由に動かせない、あるいは指先の感覚が無いユーザでも、簡便に情報端末への情報の入力を行うことができる。
図8(B)は、1回目のCh1の操作によりレーザ発振器から第1の周期を有するパルスレーザ光を出力し、Ch2の操作によりレーザ光のパルス周期は第2の周期に切り替わり、情報端末への入力を行う例を示している。情報端末の表示部に設けられたセンサは、レーザ光の照射およびレーザ光のパルスを検出する。Ch2の操作によりレーザ光のパルス周期が変化すると、例えばタッチパネルにおけるタッチ入力が行われるのと同様に、情報端末へ情報の入力が行われる。
Ch2の操作後、すなわち情報の入力後、レーザ光のパルス周期は第1の周期に切り替わる。その後、2回目のCh1の操作により、レーザ光の出力を終了する。
図8(B)では、レーザ発振器から出力されるレーザ光がパルスレーザ光である例を示したが、本実施の形態はこれに限定されない。情報入力時のレーザ光、および情報入力前後のレーザ光の一方が連続出力のレーザ光でもよい。
図8(B)では、第2の周期は第1の周期より短い例を示しているがこれに限らない。第2の周期は第1の周期より長くても良い。また、本実施の形態では、パルスの周期を切り替える例を示したが、パルスのデューティー比を切り替えてもよい。あるいは、周期とデューティー比の両方を切り替えてもよい。
図8(B)では、1回目のCh1の操作と、2回目のCh1の操作の間に、1度しかCh2の操作を行っていないが、本実施の形態はこれに限定されない。第1の周期のパルスレーザ光を出力後、2回以上Ch2の操作を行ってもよい。この場合、2回目以降のCh2の操作では、レーザ光に照射される領域をそれぞれ変更してもよい。また、第1の周期を有するレーザ光を第1のレーザ光、第2の周期を有するレーザ光を第2のレーザ光と呼ぶことができる。情報端末の表示部に設けられたセンサは、少なくとも第2のレーザ光を検出する。または、第1のレーザ光と第2のレーザ光を、それぞれ別のレーザ光として検出する。このような操作により、身体の一部(特に、上肢、手、指先)が自由に動かせない、あるいは指先の感覚が無いユーザでも、簡便に情報端末への情報の入力を行うことができる。
図9は、スイッチの操作による情報端末への入力毎にレーザ光の出力をOFFにする例を示している。この場合、スイッチに必要なチャンネルは一つでよい(Ch1とする)。ユーザはスイッチを操作し、レーザ発振器から第1の周期のパルスレーザ光を出力し、表示部の所望の領域はレーザ光に照射される。所望の領域がレーザ光に照射されている状態でユーザは再度スイッチを操作すると、レーザ光は第2の周期のパルスレーザ光に切り替わり、情報端末への情報の入力後にレーザ発振器はOFFとなる。続けて情報の入力を行う場合は、再度スイッチを操作してレーザ光を出力し、所望の領域がレーザ光により照射された状態でスイッチを操作し、2回目の情報の入力が行われる。
図9では、レーザ発振器から出力されるレーザ光がパルスレーザ光である例を示したが、本実施の形態はこれに限定されない。情報入力時のレーザ光、および情報入力前のレーザ光の一方が連続出力のレーザ光でもよい。
図9では、第2の周期は第1の周期より短い例を示しているがこれに限らない。第2の周期は第1の周期より長くても良い。また、本実施の形態では、パルスの周期を切り替える例を示したが、パルスのデューティー比を切り替えてもよい。あるいは、周期とデューティー比の両方を切り替えてもよい。また、第1の周期を有するレーザ光を第1のレーザ光、第2の周期を有するレーザ光を第2のレーザ光と呼ぶことができる。情報端末の表示部に設けられたセンサは、少なくとも第2のレーザ光を検出する。または、第1のレーザ光と第2のレーザ光を、それぞれ別のレーザ光として検出する。
本入力方法によると、情報の入力の度にレーザ光の出力がOFFされるため、消費電力の低減や、レーザ光の長時間出力によるレーザ発振器の劣化を抑制することが可能となり、好ましい。このような操作により、身体の一部(特に、上肢、手、指先)が自由に動かせない、あるいは指先の感覚が無いユーザでも、簡便に情報端末への情報の入力を行うことができる。
<入力操作2>
次に、入力手段のスイッチが、情報端末に有線または無線で接続されている形態について説明する。本形態では、スイッチの操作により、情報端末の表示部に設けられたセンサがレーザ発振器から出力されたレーザ光を検出し、情報端末への情報の入力を行う。
ユーザは、情報端末の表示部に表示されたアイコンなど特定の領域をレーザ光で照射する。特定の領域がレーザ光で照射された状態で、情報端末と有線あるいは無線で接続されたスイッチを操作し、ユーザは情報端末に情報を入力することができる。具体的には、スイッチが操作された時にレーザ光に照射されていたセンサを情報端末は読み取り、当該センサから情報端末へ情報が入力される。
なお、当該スイッチは、情報端末のみでなく、レーザ発振器と接続していてもよい。このような構成とすることで、情報の入力のみでなく、レーザ光の出力も当該スイッチによる制御が可能となる。この場合、スイッチは2つ以上のチャンネルを有していることが好ましい。このような操作により、身体の一部(特に、上肢、手、指先)が自由に動かせない、あるいは指先の感覚が無いユーザでも、簡便に情報端末への情報の入力を行うことができる。
図10に本発明の一形態である情報端末、入力手段および入力方法を説明するブロック図を示す。
入力手段130は、レーザ発振器107、変調部131、スイッチ111を有している。スイッチ111は、レーザ発振器107のON/OFFや、レーザ発振器107から出力されるレーザ光の強度、パルス周期の切り替えに用いる。また、スイッチの操作によりイベント信号を情報端末101に送信する構成としてもよい。変調部131はレーザ発振器107の振幅と位相、幅、位置を変更することで、出力されるレーザ光の強度、パルス周期の切り替えを行う。
情報端末101は、表示部103、イベント検出部133、および画像処理部135を有している。また、表示部103には、センサ137が設けられている。センサ137は、レーザ発振器107から出力されたレーザ光に照射されると、イベント検出部133に信号を出力する。イベント検出部では、センサ137からの信号の有無、信号の大きさ、信号のパルス周期などから、情報端末101への情報の入力有無を検出する。また、入力手段130に設けられたスイッチ111からのイベント信号を受信し、情報端末101への情報の入力有無を検出する構成としてもよい。また、イベント検出部は、入力手段130に信号を送り、レーザ発振器107の制御を行ってもよい。例えば、レーザ発振器107がONのとき、すなわち、レーザ光が出力されているにも関わらず、センサ137からレーザ光の検出信号を受信しない場合、レーザ発振器107をOFFにできる。レーザ発振器107の制御は、スイッチ111を介して行ってもよい。このような構成は、レーザ光が表示部以外の領域、もの、あるいは人などを照射することを防ぐことができるため、安全上好ましい。
画像処理部135は、上記イベントに応じた画像を生成し、ソースドライバや、ゲートドライバを介して、表示部103に画像信号を入力する。例えば、表示部103のレーザ光が照射された領域にポインタを表示させたり、表示部にアプリケーション、写真やイラストなどの画像、ビデオや映画などの動画、様々な情報、あるいはキーボードなどの入力ボタンを表示させることができる。
<入力位置検出方法>
入力手段130に設けられたレーザ発振器107から出力されたレーザ光105は、情報端末101の表示部103に設けられたセンサにて検出される。また、スイッチ111の操作により、レーザ光105が照射されたセンサから情報端末へ情報が入力される。
図11(A)は、情報端末101を示しており、情報端末101の表示部103には、アイコン140が表示されている。なお、アイコン140は、アプリケーションやプログラムを実行するボタン、あるいは文字や記号を入力するキーボードとして機能する。ユーザは所望のアイコン140がレーザ光105に照射されるよう、入力手段を操作する。表示部103に設けられたセンサが、レーザ光105を検出すると、情報端末101は当該領域にポインタ106を表示する。ユーザは、ポインタ106の表示領域を確認後、スイッチの操作により、当該領域から情報端末に情報の入力を行うことができる。この時、スイッチの操作によりレーザ光の強度やパルス周波数が変更され、情報端末に情報が入力されてもよい。または、スイッチと情報端末を無線あるいは有線で通信可能とし、スイッチが操作された時にレーザ光105が照射されている領域、あるいはポインタ106が表示されている領域から情報端末に情報が入力されてもよい。
一方で、入力手段130の取り付け位置において震えが生じるユーザにとっては、所望の領域をレーザで照射することが困難な場合がある。例えば、眼鏡、帽子、ヘルメット、ヘッドギアなどを支持体に用い、頭部に入力手段130を設けるユーザにとっての頭部の震えや、腕に入力手段130を設けるユーザにとっての上肢の震えなどである。このような状況では、表示部103を照射するレーザ光105はブレてしまい、所望の領域をレーザで照射することが困難となってしまう。また、表示部103と入力手段130が離れれば離れるほど、表示部103を照射するレーザ光105のブレは大きくなる。すなわち、障害を持たないユーザにとっても、所望の領域をレーザで照射することが困難となることが考えられる。
上記のようなレーザ光105のブレは、ユーザにとって入力作業が煩雑になり、誤入力を引き起こしかねない。
障害の有無にかかわらず、ユーザの頭部や上肢の震えには固有のパターンがあると考えられる。図11(B)は、横方向に震えが生じやすいユーザによる入力作業を示している。レーザ光105は、実線で示した所望のアイコン140から外れ、点線で示した隣のアイコンもレーザ光105に照射されている。図11(C)は、縦方向に震えが生じやすいユーザによる入力作業を示している。レーザ光105は、実線で示した所望のアイコン140から外れ、点線で示した隣のアイコンもレーザ光105に照射されている。図11(D)は、震えの方向が特定の方向を有していないユーザによる入力作業を示している。レーザ光105は、実線で示した所望のアイコン140から外れ、点線で示した周囲のアイコンもレーザ光105に照射されている。
そこで人工知能(AI)を用い、レーザ光105にブレが生じている場合でもユーザが意図する領域、すなわちユーザが入力を行おうとしているアイコン(以降、入力位置と表記する)を予測する入力支援システムを提供することができる。入力支援システムにより予測された入力位置が正しければ、ユーザはスイッチなどを用いて、情報端末への入力操作を行う。このように人工知能を用いた入力支援システムにより、入力作業を簡便なものにし、誤入力を防ぐことができる。さらに、人工知能はユーザごとの入力パターンを学習し、記憶することができる。また、パターンごとにIDを割り振ってもよい。入力パターンを学習、記憶することで、入力作業を行うユーザのレーザ光の動きを当該ユーザのパターンに当てはめ、入力支援を行うことができる。また、レーザ光の動きを、AIが記憶したパターンと比較することで、入力作業を行っているユーザの特定も可能となる。
人工知能により入力位置が予測されると、情報端末は、当該領域やアイコン上にポインタ106を表示することができる。ユーザは表示されたポインタ106の位置を確認してスイッチを操作する。この時、スイッチの操作によりレーザ光105の強度やパルス周波数が変更され、情報端末に情報が入力されてもよい。スイッチが操作された時にレーザ光に照射される領域がポインタ106からずれてしまったとしても、ポインタ106が表示されている領域から情報の入力を行えばよい。この時、ポインタ106が表示されている領域とは異なる位置のセンサがスイッチの操作を検出する。または、スイッチと情報端末を無線あるいは有線で通信可能とし、スイッチが操作された時にレーザ光105が照射されている領域、あるいはポインタ106が表示されている領域から情報端末に情報が入力されてもよい。なお、人工知能は、情報端末101に設けられてもよいし、情報端末101と有線または無線で通信可能なコンピュータ、サーバ、あるいは入力手段130に設けてもよい。
表示部103に表示されるポインタは、レーザ光105のブレに追随して移動する必要はない。入力位置の特定は、一定の期間(1秒から数秒の間)でより多くの回数レーザ光105に照射された領域やアイコン、より長い時間レーザ光105に照射された領域やアイコン、レーザ光105のブレの幅の中心、およびレーザ光105に照射された領域の中心などを算出し、データとして集計する。これらのデータの一つあるいは複数から総合的に判断して、表示部103にポインタ106を表示させることができる。
さらに、レーザ光105のブレの方向だけでなく、ブレの幅、ブレが往復するときの周期など複数の情報、すなわちより深い情報を収集し、これらからレーザ光105の動きのパターンを抽出および記憶することができる。このように複数の情報からパターンを抽出し記憶する方法を深層学習(Deep Learning:DL)と呼ぶ。このような深層学習には、ディープニューラルネットワーク(Deep Neural Network:DNN)を用いることが好ましい。ディープニューラルネットワークでは、複数の情報をクラス分けし、クラス毎にユーザ情報を抽出し、ユーザ情報を記憶することができる。また、このユーザ情報を情報端末、コンピュータ、あるいはサーバに登録することで、入力作業中のレーザ光105の動きのパターンをクラス毎に判定し、ユーザの特定を行うことができる。ディープニューラルネットワークを用いることで、より正確にユーザ情報の登録を行うことができ、また情報入力を行っているユーザの特定を行うことができる。また、一つの表示部に対して複数のユーザが同時に入力作業を行っているときもそれぞれのレーザ光の動きのパターンを読み取ることでユーザの判別が可能となる。
図12に人工知能を用いた入力支援およびユーザの登録を説明するフローチャートを示す。
図12(A)を用いて、人工知能によるレーザ光の動きの学習およびユーザへのIDの割り振りについて説明する。表示部103に設けられたセンサは、入力手段130から出力されたレーザ光105を検出する。この時、ユーザの頭部、上肢などの震えによるレーザ光105の動き(ブレ)も検出する(S101)。
センサにより検出された情報は、情報端末101、情報端末101と有線あるいは無線で通信可能なコンピュータ、サーバ、あるいは入力手段130に設けられた人工知能(AI)に送られる。人工知能は、レーザ光の動きを学習し、レーザ光の動きの方向、振れ幅、周期などのクラス毎にパターンを抽出し、記憶する(S102)。
また、抽出、記憶したパターンを元に、人工知能はユーザにIDを割り振る(S103)。情報端末101に情報を入力するユーザが複数いる場合は、上記の工程を繰り返し、パターンごとにユーザIDを割り振る。
図12(B)を用いて、記憶したパターンを元に、ユーザの特定や入力支援を行う方法について説明する。
ユーザが入力手段130を用いて情報端末101への入力を始めると、人工知能(AI)はレーザ光105の動きを読み取り、パターンの抽出を行う(S201)。
抽出したパターンを記憶したパターンと比較し、抽出したパターンと一致するパターンからユーザを特定する(S202)。あるいは、ユーザは事前に割り振られたユーザIDを情報端末101に入力してもよい(S203)。
人工知能は、レーザ光の動きを当該ユーザのパターンに当てはめ、入力位置の特定を行う(S204)。
特定された入力位置の情報は画像処理部135に送られ、画像処理部135では入力位置に対応してポインタ106の画像データを生成する(S205)。
生成された画像データは表示部103に送られ、入力位置にポインタ106が表示される(S206)。
ユーザは、表示されたポインタ106が所望のアイコンを示している場合、スイッチを操作し、情報端末に情報の入力を行うことができる。このように人工知能を用いてユーザ情報を学習、記憶し、入力支援を行うことで、ユーザはより簡便に入力を行うことができ、さらに誤入力も低減できる。
本実施の形態に記載された内容の少なくとも一部は、他の実施の形態と組み合わせることが可能である。
(実施の形態2)
本実施の形態では、本発明に用いることができる情報端末の表示部の回路構成について図13乃至図16を参照して説明する。本実施の形態では、表示部に設けられるセンサとしてフォトセンサを用いる例を示す。当該フォトセンサにて、入力手段から出力されるレーザ光を検出する。
表示部の構成について、図13を参照して説明する。表示パネル150は、画素回路151、表示素子制御回路152及びフォトセンサ制御回路153を有する。
画素回路151は、図1における表示部103に対応し、行列方向にマトリクス状に配置された複数の画素154を有する。各々の画素154は、表示素子155とフォトセンサ156を有する。全ての画素154にフォトセンサを設けず、複数の画素毎に設けてもよい。また、画素154の外にフォトセンサを設けてもよい。
画素154の回路図について、図14および図15を用いて説明する。なお、図15は、図14の画素154を拡大したものである。画素154は、トランジスタ201、保持容量202及び液晶素子203を有する表示素子155と、受光素子であるフォトダイオード204、トランジスタ205、トランジスタ206、トランジスタ207を有するフォトセンサ156とを有する。
表示素子155において、トランジスタ201のゲートはゲート信号線208に、ソースおよびドレインの一方はビデオデータ信号線212に、ソースおよびドレインの他方は保持容量202の一方の電極、および液晶素子203の一方の電極に電気的に接続されている。保持容量202の他方の電極、および液晶素子203の他方の電極は、それぞれ一定の電位に保たれている。液晶素子203は、一対の電極と、該一対の電極の間に液晶層を含む素子である。
トランジスタ201は、保持容量202への電荷の注入もしくは放出を制御する機能を有する。例えば、ゲート信号線208に高電位が印加されると、ビデオデータ信号線212の電位を保持容量202と液晶素子203に印加する。保持容量202は、液晶素子203に印加する電圧に相当する電荷を保持する機能を有する。液晶素子203に電圧を印加することで液晶層に含まれる液晶分子の配向方向が変化することを利用して、液晶素子203を透過する光の明暗(階調)を作ることで、画像表示が実現される。液晶素子203を透過する光には、光源(バックライト)によって液晶表示装置の表示面とは反対側の面から照射される光を用いる。
トランジスタ201は、半導体を有しており、シリコンを含む半導体、酸化物半導体、化合物半導体などを用いることができる。また、半導体の結晶性は特に限定されず、非晶質半導体、微結晶半導体、多結晶半導体、または単結晶半導体などを用いることが可能である。特に、酸化物半導体を用い、オフ電流が極めて小さいトランジスタとすることで、表示品質を高めることができる。
なお、ここでは、表示素子155が液晶素子を有する場合について説明したが、発光素子などの他の素子を有していてもよい。発光素子は、電流または電圧によって輝度が制御される素子であり、具体的には発光ダイオード、OLED(Organic Light Emitting Diode)等が挙げられる。
フォトセンサ156において、フォトダイオード204は、一方の電極がフォトダイオードリセット信号線210に、他方の電極がトランジスタ207のソースおよびドレインの一方に電気的に接続されている。トランジスタ205は、ソースおよびドレインの一方がフォトセンサ基準信号線213に、ソースおよびドレインの他方がトランジスタ206のソースおよびドレインの一方に電気的に接続されている。トランジスタ206は、ゲートがゲート信号線211に、ソースおよびドレインの他方がフォトセンサ出力信号線214に電気的に接続されている。トランジスタ207は、ゲートがゲート信号線209に、ソースおよびドレインの他方がトランジスタ205のゲートに電気的に接続されている。
フォトダイオード204は、半導体を有しており、シリコンを含む半導体、酸化物半導体、化合物半導体などを用いることができる。また、半導体の結晶性は特に限定されず、非晶質半導体、微結晶半導体、多結晶半導体、または単結晶半導体などを用いることが可能である。特に、入射光から生成される電気信号の割合(量子効率)を向上させるために、結晶欠陥の少ない単結晶半導体(例えば単結晶シリコン)を用いることが望ましい。また、半導体材料は、結晶性を向上させることが容易であるシリコン又はシリコンゲルマニウム等のシリコンを含む半導体を用いることが好ましい。
トランジスタ205は、半導体を有しており、シリコンを含む半導体、酸化物半導体、化合物半導体などを用いることができる。また、半導体の結晶性は特に限定されず、非晶質半導体、微結晶半導体、多結晶半導体、または単結晶半導体などを用いることが可能である。特に、フォトダイオード204から供給される電荷を出力信号に変換する機能を有するため、単結晶半導体を用い、移動度の高いトランジスタとすることが望ましい。また、半導体材料は、結晶性を向上させることが容易であるシリコン又はシリコンゲルマニウム等のシリコンを含む半導体を用いることが好ましい。
トランジスタ206は、半導体を有しており、シリコンを含む半導体、酸化物半導体、化合物半導体などを用いることができる。また、半導体の結晶性は特に限定されず、非晶質半導体、微結晶半導体、多結晶半導体、または単結晶半導体などを用いることが可能である。特に、フォトセンサ出力信号線214にトランジスタ205の出力信号を供給する機能を有するため、単結晶半導体を用い、移動度の高いトランジスタとすることが望ましい。また、半導体材料は、結晶性を向上させることが容易であるシリコン又はシリコンゲルマニウム等のシリコンを含む半導体を用いることが好ましい。
トランジスタ207は、半導体を有しており、シリコンを含む半導体、酸化物半導体、化合物半導体などを用いることができる。また、半導体の結晶性は特に限定されず、非晶質半導体、微結晶半導体、多結晶半導体、または単結晶半導体などを用いることが可能である。特に、トランジスタ205のゲートの電荷を保持する機能を有するため、酸化物半導体を用い、オフ電流が極めて小さいトランジスタとすることが好ましい。このように、トランジスタに要求される機能に応じて、複数種のトランジスタを配置することで、フォトセンサの性能を向上させることができる。
表示素子制御回路152は、表示素子155を制御するための回路であり、ビデオデータ信号線などの信号線(「ソース信号線」ともいう。)を介して表示素子155に信号を入力する表示素子駆動回路157と、走査線(「ゲート信号線」ともいう。)を介して表示素子155に信号を入力する表示素子駆動回路158を有する。例えば、走査線に電気的に接続された表示素子駆動回路158は、特定の行に配置された画素が有する表示素子を選択する機能を有する。また、信号線に電気的に接続された表示素子駆動回路157は、選択された行の画素が有する表示素子に任意の電位を与える機能を有する。なお、表示素子駆動回路158によりゲート信号線に高電位を印加された表示素子では、トランジスタが導通状態となり、表示素子駆動回路157によりビデオデータ信号線に与えられる電位が供給される。
フォトセンサ制御回路153は、フォトセンサ156を制御するための回路であり、フォトセンサ出力信号線、フォトセンサ基準信号線等の信号線に電気的に接続されたフォトセンサ読み出し回路159と、走査線に電気的に接続されたフォトセンサ駆動回路160を有する。
フォトセンサ駆動回路160は、特定の行に配置された画素が有するフォトセンサ156に対して、後述するリセット動作と累積動作と選択動作とを行う機能を有する。
また、フォトセンサ読み出し回路159は、選択された行の画素が有するフォトセンサ156の出力信号を取り出す機能を有する。なお、フォトセンサ読み出し回路159は、アナログ信号であるフォトセンサ156の出力を、OPアンプを用いてアナログ信号のまま表示パネル外部に取り出す。もしくは、A/D変換回路を用いてデジタル信号に変換してから表示パネル外部に取り出す。
フォトセンサ読み出し回路159を構成するプリチャージ回路について、図14および図15を用いて説明する。なお、図15は、図14の画素154を拡大したものである。図14および図15において、画素1列分のプリチャージ回路200は、トランジスタ216、プリチャージ信号線217から構成される。なお、プリチャージ回路200の後段に、OPアンプやA/D変換回路を接続して、フォトセンサ読み出し回路159を構成することができる。
プリチャージ回路200では、画素内におけるフォトセンサの動作に先立ち、フォトセンサ出力信号線214の電位を基準電位に設定する。図14および図15では、トランジスタ216をp型とし、プリチャージ信号線217を”L(Low)”とし、トランジスタ216を導通させることで、フォトセンサ出力信号線214の電位を基準電位(ここでは高電位とする)に設定することができる。なお、フォトセンサ出力信号線214の電位を安定させるために、フォトセンサ出力信号線214に保持容量を設けることも有効である。なお、基準電位は、低電位とする構成も可能である。この場合、トランジスタ216は、n型トランジスタとして、プリチャージ信号線217を”H(High)”とすることで、フォトセンサ出力信号線214の電位を基準電位に設定することができる。
次に、フォトセンサ156の動作について、図16のタイミングチャートを用いて説明する。図16において、信号301乃至信号306は、図14および図15におけるフォトダイオードリセット信号線210、ゲート信号線209、ゲート信号線211、ゲート信号線215、フォトセンサ出力信号線214、プリチャージ信号線217の電位に相当する。
時刻Aにおいて、フォトダイオードリセット信号線210の電位(信号301)を”H”、ゲート信号線209の電位(信号302)を”H”とする(リセット動作開始)と、フォトダイオード204が導通し、ゲート信号線215の電位(信号304)が”H”となる。また、プリチャージ信号線217の電位(信号306)を”L”とすると、フォトセンサ出力信号線214の電位(信号305)は”H”にプリチャージされる。
時刻Bにおいて、フォトダイオードリセット信号線210の電位(信号301)を”L”とし、ゲート信号線209の電位(信号302)を”H”のままとする(リセット動作終了、累積動作開始)と、フォトダイオード204のオフ電流により、ゲート信号線215の電位(信号304)が低下し始める。フォトダイオード204は、光の入射によりオフ電流が増大するので、入射光の量に応じてゲート信号線215の電位(信号304)は変化する。すなわち、フォトダイオード204は、入射するレーザ光の強度に応じてトランジスタ205のゲートに電荷を供給する機能を有している。そして、トランジスタ205のソースとドレイン間のチャネル抵抗が変化する。
なお、フォトダイオード204には、常時照明器具からの光や太陽光などの外光が入射していることが考えられる。このような外光と、情報端末への情報入力のための光を区別するため、情報入力のための光はこのような外光よりも高いエネルギーを有していることが好ましい。高いエネルギーを有する光として、レーザ光を用いることが好ましい。
または、表示部内あるいは表示部外の複数のフォトダイオードで、それぞれ入射光のエネルギーの強さを比較し、相対的に他のフォトダイオードよりも高いエネルギーが検出されたフォトダイオードを含む領域を、ユーザが選択した領域と判断してもよい。
時刻Cにおいて、ゲート信号線209の電位(信号302)を”L”とする(累積動作終了)と、ゲート信号線215の電位(信号304)は一定となる。ここで、当該電位は、累積動作中にフォトダイオード204がゲート信号線215に供給した電荷により決まる。すなわち、フォトダイオード204への入射するレーザ光の強度に応じてトランジスタ205のゲートに蓄積される電荷が変化する。また、トランジスタ207は、酸化物半導体を用い、オフ電流が極めて小さいトランジスタで構成されているため、後の選択動作を行うまで、蓄積された電荷を一定に保つことが可能である。
時刻Dに、ゲート信号線211の電位(信号303)を”H”にする(選択動作開始)と、トランジスタ206が導通し、フォトセンサ基準信号線213とフォトセンサ出力信号線214とが、トランジスタ205とトランジスタ206とを介して導通する。すると、フォトセンサ出力信号線214の電位(信号305)は、低下していく。なお、時刻D以前に、プリチャージ信号線217の電位(信号306)は”H”とし、フォトセンサ出力信号線214のプリチャージを終了しておく。ここで、フォトセンサ出力信号線214の電位(信号305)が低下する速さは、トランジスタ205のソースとドレイン間の電流に依存する。すなわち、累積動作中にフォトダイオード204が照射されている光の量に応じて変化する。
時刻Eにおいて、ゲート信号線211の電位(信号303)を”L”にする(選択動作終了)と、トランジスタ206が遮断され、フォトセンサ出力信号線214の電位(信号305)は、一定値となる。ここで、一定値となる値は、フォトダイオード204が照射された光の量に応じて変化する。したがって、フォトセンサ出力信号線214の電位を取得することで、累積動作中におけるフォトダイオード204への入射光の量を知ることができる。
以上のように、個々のフォトセンサの動作は、リセット動作と累積動作と選択動作とを繰り返すことで実現される。上述したように、累積動作を制御するトランジスタ207は、酸化物半導体を用い、オフ電流を極めて小さくすることが好ましい。この回路構成により、トランジスタ205のゲートに蓄積された電荷を保持する機能を向上させることができる。そのため、フォトセンサ156は、入射光を正確に電気信号に変換することが可能となる。
(変形例)
次に、図17を用いて、図14および図15におけるフォトセンサ156の回路構成の変形例について説明する。
図17(A)は、図14および図15においてトランジスタ205のゲートに、フォトセンサのリセット動作を制御するためのトランジスタ250を接続した構成を示している。具体的には、トランジスタ250のソース又はドレインの一方がフォトセンサ基準信号線213に電気的に接続され、他方がトランジスタ205のゲートに電気的に接続されている。また、フォトダイオード204の一方の電極は所定の電位(例えばグランド電位)を供給する配線に電気的に接続されている。
トランジスタ250は、半導体を有しており、シリコンを含む半導体、酸化物半導体、化合物半導体などを用いることができる。また、半導体の結晶性は特に限定されず、非晶質半導体、微結晶半導体、多結晶半導体、または単結晶半導体などを用いることが可能である。特に、リセット動作終了後にトランジスタ205のゲートの電荷がトランジスタ250から放出することを防止するため、酸化物半導体を用い、オフ電流の小さいトランジスタとすることが望ましい。
図17(B)は、図17(A)においてトランジスタ205とトランジスタ206との接続関係を逆にした構成を示している。具体的には、トランジスタ205のソース又はドレインの一方がフォトセンサ出力信号線214に電気的に接続され、トランジスタ206のソース又はドレインの一方が、フォトセンサ基準信号線213に電気的に接続されている。
図17(C)は、図17(A)においてトランジスタ206を省略した構成を示す。具体的には、トランジスタ205のソース又はドレインの一方がフォトセンサ基準信号線213に電気的に接続され、他方がフォトセンサ出力信号線214に電気的に接続されている。
なお、図17(A)乃至図17(C)において、トランジスタ250のソース又はドレインの一方は、フォトセンサ基準信号線213とは異なる配線に電気的に接続されていてもよい。
図17(D)は、図17(C)においてトランジスタ250のソース又はドレインの一方がフォトセンサ出力信号線214に電気的に接続され、他方がトランジスタ205のゲートに電気的に接続されている。
図17(A)乃至図17(D)において、トランジスタ207に酸化物半導体を用いることで、オフ電流が低減できるため、トランジスタ205のゲートに蓄積した電荷を一定に保つことが可能となる。
図17において、フォトセンサの回路構成に応じて、フォトダイオード204の二つの電極の接続先を逆にしてもよい。
以上、説明したフォトダイオードを用いて、レーザ光の強度の強弱やパルスレーザ光の周期などを読み取り、情報端末への情報の入力を行うことができる。
(トランジスタ)
トランジスタに用いる半導体材料は特に限定されない。シリコンや、金属化合物、あるいは金属酸化物を用いることができる。
トランジスタに用いる半導体材料の結晶性についても特に限定されず、非晶質半導体、結晶性を有する半導体(微結晶半導体、多結晶半導体、単結晶半導体、または一部に結晶領域を有する半導体)のいずれを用いてもよい。結晶性を有する半導体を用いると、トランジスタ特性の劣化を抑制できるため好ましい。
また、トランジスタに用いる半導体材料としては、エネルギーギャップが2eV以上、好ましくは2.5eV以上、より好ましくは3eV以上である金属酸化物を用いることができる。代表的には、インジウムを含む酸化物などであり、例えば、後述するCAC-OSなどを用いることができる。また、金属酸化物は、その特性から酸化物半導体と呼ばれることもある。
シリコンよりもバンドギャップが広く、且つキャリア密度の小さい金属酸化物を用いたトランジスタは、その低いオフ電流により、トランジスタと直列に接続された容量素子に蓄積した電荷を長期間に亘って保持することが可能である。
半導体層は、例えばインジウム、亜鉛およびM(アルミニウム、チタン、ガリウム、ゲルマニウム、イットリウム、ジルコニウム、ランタン、セリウム、スズ、ネオジムまたはハフニウム等の金属)を含むIn-M-Zn系酸化物で表記される膜とすることができる。
半導体層を構成する金属酸化物がIn-M-Zn系酸化物の場合、In-M-Zn酸化物を成膜するために用いるスパッタリングターゲットの金属元素の原子数比は、In≧M、Zn≧Mを満たすことが好ましい。このようなスパッタリングターゲットの金属元素の原子数比として、In:M:Zn=1:1:1、In:M:Zn=1:1:1.2、In:M:Zn=3:1:2、In:M:Zn=4:2:3、In:M:Zn=4:2:4.1、In:M:Zn=5:1:6、In:M:Zn=5:1:7、In:M:Zn=5:1:8等が好ましい。なお、成膜される半導体層の原子数比はそれぞれ、上記のスパッタリングターゲットに含まれる金属元素の原子数比のプラスマイナス40%の変動を含む。
また、半導体層に金属酸化物を用いることで、多結晶シリコンよりも低温で形成できるため、半導体層よりも下層に用いられる導電体の材料、基板の材料、絶縁膜の材料として、耐熱性の低い材料を用いることが可能となり、材料の選択の幅を広げることができる。例えば、極めて大面積のガラス基板などを用いることができる。また、絶縁膜として、酸化シリコン膜や窒化シリコン膜といった無機絶縁膜の他に、アクリルやポリイミドといった樹脂膜を用いることができ、さらにその膜厚を10μm以下、好ましくは5μm以下、さらに好ましくは2μm以下と薄く形成することができ、材料にかかる費用を削減できるため好ましい。
半導体層としては、キャリア密度の低い金属酸化物を用いる。例えば、半導体層は、キャリア密度が1×1017/cm以下、好ましくは1×1015/cm以下、さらに好ましくは1×1013/cm以下、より好ましくは1×1011/cm以下、さらに好ましくは1×1010/cm未満であり、1×10-9/cm以上のキャリア密度の金属酸化物を用いることができる。そのような金属酸化物を、高純度真性または実質的に高純度真性な金属酸化物と呼ぶ。これにより不純物濃度が低く、欠陥準位密度が低いため、安定な特性を有する金属酸化物であるといえる。
なお、これらに限られず、必要とするトランジスタの半導体特性および電気特性(電界効果移動度、しきい値電圧等)に応じて適切な組成のものを用いればよい。また、必要とするトランジスタの半導体特性を得るために、半導体層のキャリア密度や不純物濃度、欠陥密度、金属元素と酸素の原子数比、原子間距離、密度等を適切なものとすることが好ましい。
半導体層を構成する金属酸化物において、第14族元素の一つであるシリコンや炭素が含まれると、半導体層において酸素欠損が増加し、n型化してしまう。このため、半導体層におけるシリコンや炭素の濃度(二次イオン質量分析法により得られる濃度)を、2×1018atoms/cm以下、好ましくは2×1017atoms/cm以下とする。
また、アルカリ金属およびアルカリ土類金属は、金属酸化物と結合するとキャリアを生成する場合があり、トランジスタのオフ電流が増大してしまうことがある。このため半導体層における二次イオン質量分析法により得られるアルカリ金属またはアルカリ土類金属の濃度を、1×1018atoms/cm以下、好ましくは2×1016atoms/cm以下にする。
また、半導体層を構成する金属酸化物に窒素が含まれていると、キャリアである電子が生じ、キャリア密度が増加し、n型化しやすい。この結果、窒素が含まれている金属酸化物を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。このため半導体層における二次イオン質量分析法により得られる窒素濃度は、5×1018atoms/cm以下にすることが好ましい。
また、半導体層は、例えば非単結晶構造でもよい。非単結晶構造は、例えば、c軸に配向した結晶を有するCAAC-OS(C-Axis Aligned Crystalline Oxide Semiconductor、または、C-Axis Aligned and A-B-plane Anchored Crystalline Oxide Semiconductor)、多結晶構造、微結晶構造、または非晶質構造を含む。非単結晶構造において、非晶質構造は最も欠陥準位密度が高く、CAAC-OSは最も欠陥準位密度が低い。
非晶質構造の金属酸化物は、例えば、原子配列が無秩序であり、結晶成分を有さない。または、非晶質構造の金属酸化物は、例えば、完全な非晶質構造であり、結晶部を有さない。
なお、半導体層が、非晶質構造の領域、微結晶構造の領域、多結晶構造の領域、CAAC-OSの領域、単結晶構造の領域のうち、二種以上を有する混合膜であってもよい。混合膜は、例えば上述した領域のうち、いずれか二種以上の領域を含む単層構造、または積層構造を有する場合がある。
<CAC-OSの構成>
以下では、本発明の一態様で開示されるトランジスタに用いることができるCAC(Cloud-Aligned Composite)-OSの構成について説明する。
CAC-OSとは、例えば、金属酸化物を構成する元素が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上2nm以下、またはその近傍のサイズで偏在した材料の一構成である。なお、以下では、金属酸化物において、一つあるいはそれ以上の金属元素が偏在し、該金属元素を有する領域が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上2nm以下、またはその近傍のサイズで混合した状態をモザイク状、またはパッチ状ともいう。
なお、金属酸化物は、少なくともインジウムを含むことが好ましい。特にインジウムおよび亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。
例えば、In-Ga-Zn酸化物におけるCAC-OS(CAC-OSの中でもIn-Ga-Zn酸化物を、特にCAC-IGZOと呼称してもよい。)とは、インジウム酸化物(以下、InOX1(X1は0よりも大きい実数)とする。)、またはインジウム亜鉛酸化物(以下、InX2ZnY2Z2(X2、Y2、およびZ2は0よりも大きい実数)とする。)と、ガリウム酸化物(以下、GaOX3(X3は0よりも大きい実数)とする。)、またはガリウム亜鉛酸化物(以下、GaX4ZnY4Z4(X4、Y4、およびZ4は0よりも大きい実数)とする。)などと、に材料が分離することでモザイク状となり、モザイク状のInOX1、またはInX2ZnY2Z2が、膜中に均一に分布した構成(以下、クラウド状ともいう。)である。
つまり、CAC-OSは、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域とが、混合している構成を有する複合金属酸化物である。なお、本明細書において、例えば、第1の領域の元素Mに対するInの原子数比が、第2の領域の元素Mに対するInの原子数比よりも大きいことを、第1の領域は、第2の領域と比較して、Inの濃度が高いとする。
なお、IGZOは通称であり、In、Ga、Zn、およびOによる1つの化合物をいう場合がある。代表例として、InGaO(ZnO)m1(m1は自然数)、またはIn(1+x0)Ga(1-x0)(ZnO)m0(-1≦x0≦1、m0は任意数)で表される結晶性の化合物が挙げられる。
上記結晶性の化合物は、単結晶構造、多結晶構造、またはCAAC構造を有する。なお、CAAC構造とは、複数のIGZOのナノ結晶がc軸配向を有し、かつa-b面においては配向せずに連結した結晶構造である。
一方、CAC-OSは、金属酸化物の材料構成に関する。CAC-OSとは、In、Ga、Zn、およびOを含む材料構成において、一部にGaを主成分とするナノ粒子状に観察される領域と、一部にInを主成分とするナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれモザイク状にランダムに分散している構成をいう。従って、CAC-OSにおいて、結晶構造は副次的な要素である。
なお、CAC-OSは、組成の異なる二種類以上の膜の積層構造は含まないものとする。例えば、Inを主成分とする膜と、Gaを主成分とする膜との2層からなる構造は、含まない。
なお、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域とは、明確な境界が観察できない場合がある。
なお、ガリウムの代わりに、アルミニウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれている場合、CAC-OSは、一部に該金属元素を主成分とするナノ粒子状に観察される領域と、一部にInを主成分とするナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれモザイク状にランダムに分散している構成をいう。
CAC-OSは、例えば基板を意図的に加熱しない条件で、スパッタリング法により形成することができる。また、CAC-OSをスパッタリング法で形成する場合、成膜ガスとして、不活性ガス(代表的にはアルゴン)、酸素ガス、および窒素ガスの中から選ばれたいずれか一つまたは複数を用いればよい。また、成膜時の成膜ガスの総流量に対する酸素ガスの流量比は低いほど好ましく、例えば酸素ガスの流量比を0%以上30%未満、好ましくは0%以上10%以下とすることが好ましい。
CAC-OSは、X線回折(XRD:X-ray diffraction)測定法のひとつであるOut-of-plane法によるθ/2θスキャンを用いて測定したときに、明確なピークが観察されないという特徴を有する。すなわち、X線回折から、測定領域のa-b面方向、およびc軸方向の配向は見られないことが分かる。
また、CAC-OSは、プローブ径が1nmの電子線(ナノビーム電子線ともいう。)を照射することで得られる電子線回折パターンにおいて、リング状に輝度の高い領域と、該リング領域に複数の輝点が観測される。従って、電子線回折パターンから、CAC-OSの結晶構造が、平面方向、および断面方向において、配向性を有さないnc(nano-crystal)構造を有することがわかる。
また、例えば、In-Ga-Zn酸化物におけるCAC-OSでは、エネルギー分散型X線分光法(EDX:Energy Dispersive X-ray spectroscopy)を用いて取得したEDXマッピングにより、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域とが、偏在し、混合している構造を有することが確認できる。
CAC-OSは、金属元素が均一に分布したIGZO化合物とは異なる構造であり、IGZO化合物と異なる性質を有する。つまり、CAC-OSは、GaOX3などが主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域と、に互いに相分離し、各元素を主成分とする領域がモザイク状である構造を有する。
ここで、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域は、GaOX3などが主成分である領域と比較して、導電性が高い領域である。つまり、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域を、キャリアが流れることにより、金属酸化物としての導電性が発現する。従って、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域が、金属酸化物中にクラウド状に分布することで、高い電界効果移動度(μ)が実現できる。
一方、GaOX3などが主成分である領域は、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域と比較して、絶縁性が高い領域である。つまり、GaOX3などが主成分である領域が、金属酸化物中に分布することで、リーク電流を抑制し、良好なスイッチング動作を実現できる。
したがって、CAC-OSを半導体素子に用いた場合、GaOX3などに起因する絶縁性と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1に起因する導電性とが、相補的に作用することにより、高いオン電流(Ion)、および高い電界効果移動度(μ)を実現することができる。
また、CAC-OSを用いた半導体素子は、信頼性が高い。従って、CAC-OSは、ディスプレイをはじめとするさまざまな半導体装置に最適である。
または、トランジスタのチャネルが形成される半導体にシリコンを用いてもよい。シリコンとしてアモルファスシリコンを用いてもよいが、特に結晶性を有するシリコンを用いることが好ましい。例えば、微結晶シリコン、多結晶シリコン、単結晶シリコンなどを用いることが好ましい。特に、多結晶シリコンは、単結晶シリコンに比べて低温で形成でき、且つアモルファスシリコンに比べて高い電界効果移動度と高い信頼性を備える。
半導体にシリコンを用いてボトムゲート構造のトランジスタを作製する場合、作製工程を削減できるため好ましい。またこのときアモルファスシリコンを用いることで、多結晶シリコンよりも低温で形成できる。そのため、半導体層よりも下層の配線や電極の材料、基板の材料として、耐熱性の低い材料を用いることが可能となり、材料の選択の幅を広げることができる。例えば、極めて大面積のガラス基板などを好適に用いることができる。一方、後述するトップゲート型のトランジスタを作製する場合、自己整合的に不純物領域を形成しやすいため、特性のばらつきなどを低減することができるため好ましい。このとき特に、多結晶シリコンや単結晶シリコンなどを用いる場合に適している。
本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態3)
本実施の形態では、本発明に用いることができる情報端末の表示部の構造について、図18および図19を用いて説明する。本実施の形態において、表示部はフォトセンサと表示素子を有している。図18において、表示素子は液晶素子であり、図19において、表示素子は発光素子である。
(液晶素子)
図18は、表示素子として液晶素子を有する液晶表示装置の断面の一例を示す図である。フォトセンサ2003が入力手段からのレーザ光105に照射されている状態を示している。
基板2000としてはガラス基板又は石英基板等の透光性基板を用いる。基板2000上には、薄膜トランジスタ2001、薄膜トランジスタ2002、及びフォトセンサ2003が設けられている。フォトセンサ2003は、n型半導体層2010、i型半導体層2011、及びp型半導体層2012が順に積層されて設けられている。n型半導体層2010は、一導電型を付与する不純物元素(例えばリン)を含む。i型半導体層2011は、真性半導体である。p型半導体層2012は、一導電型を付与する不純物元素(例えばボロン)を含む。
図18では、薄膜トランジスタ2001及び薄膜トランジスタ2002としてトップゲート型の薄膜トランジスタを用いたが、これに限定されない。薄膜トランジスタ2001及び薄膜トランジスタ2002としてボトムゲート型の薄膜トランジスタを用いてもよい。また、フォトセンサ2003は、n型半導体層2010、i型半導体層2011、及びp型半導体層2012を有する構成としているが、これに限定されない。
本実施の形態では、薄膜トランジスタ2001及び薄膜トランジスタ2002の半導体に結晶性半導体を用いることができる。例えば、多結晶シリコンを用いることができる。しかしこれに限定されず、薄膜トランジスタ2001及び薄膜トランジスタ2002の半導体に、非晶質シリコン、微結晶シリコン、単結晶シリコン、ペンタセン等の有機半導体、または酸化物半導体等を用いてもよい。なお、基板2000上に単結晶シリコンを用いた半導体層を形成する場合は、表面から所定の深さに損傷領域が設けられた単結晶シリコン基板と基板2000とを接合し、当該損傷領域で単結晶シリコン基板を分離することによって形成することができる。また、酸化物半導体としては、インジウム、ガリウム、アルミニウム、亜鉛及びスズから選んだ元素の複合酸化物を用いることができる。
絶縁層2004は、薄膜トランジスタ2001及び薄膜トランジスタ2002上を覆って設けられている。絶縁層2004上には絶縁層2005が設けられ、絶縁層2005上には絶縁層2006が設けられている。画素電極2007は絶縁層2006上に設けられ、フォトセンサ2003と下部電極2008は絶縁層2005上に設けられている。下部電極2008によって、絶縁層2005に設けられた開口部を介して、フォトセンサ2003と薄膜トランジスタ2001とが電気的に接続される。
また、対向基板2020には、対向電極2021、カラーフィルタ層2022、及びオーバーコート層2023が設けられている。対向基板2020と基板2000はシール材によって固定され、スペーサ2025によって基板間隔が概ね一定の距離に保たれている。画素電極2007と対向電極2021が液晶層2024を挟持することで、液晶素子を構成している。
なお、図18においてカラーフィルタ層2022は、画素電極2007と重なるように設けられ、フォトセンサ2003と重ならないように設けられているが、本実施の形態はこれに限定されず、フォトセンサ2003とも重なるように設けてもよい。
また、フォトセンサ2003は、図18に示すように薄膜トランジスタ2002のゲート電極2013と重なっており、薄膜トランジスタ2002の信号線2014とも重なるように設けるとよい。
本実施の形態の液晶表示装置には、バックライトが設けられている。図18では、バックライトは基板2000側に設けられ、矢印2036で示す方向に光が照射されている。バックライトとしては、冷陰極管(Cold-Cathode Fluorescent Lamp:CCFL)又は白色の発光ダイオードを用いることができる。白色の発光ダイオードは、冷陰極管よりも明るさの調整範囲が広いため好ましい。
また、フォトセンサ2003を例えば駆動回路部にも設けて外光を検出し、使用環境に応じてフォトセンサ2003の感度を調節することもできる。
また、バックライトは上記構成に限定されない。例えば、RGBの発光ダイオード(LED)を用いてバックライトを構成してもよいし、RGBのLEDバックライトを順次点灯させてフィールドシーケンシャル方式でカラー表示してもよい。この場合にはカラーフィルタ層は不要である。
また、フォトセンサ2003は、レーザ光の検出だけでなく、タッチセンサとして機能させてもよい。例えば、ユーザの指や、スタイラスなどのタッチペンが対向基板2020に触れたとき、バックライトからの光は、指やタッチペンで反射する。この反射光がフォトセンサ2003に入射すると、フォトセンサ2003はタッチを検出する。なお、指やタッチペンは直接対向基板2020に触れる必要はない。フォトセンサ2003は対向基板2020近傍の指やタッチペンを検出してもよい。
ここで、図18に示す液晶表示装置の作製方法の一例について簡単に説明する。
まず、活性層として結晶性半導体層を有するトップゲート構造の薄膜トランジスタを作製する。ここではゲート電極2013を有する薄膜トランジスタ2002と、フォトセンサ2003と電気的に接続される薄膜トランジスタ2001を同一基板上に形成する。それぞれのトランジスタとして、n型薄膜トランジスタ又はp型薄膜トランジスタを用いることができる。また、これらのトランジスタと同一の工程で保持容量を形成することができる。なお、保持容量は、半導体層を下部電極とし、容量配線を上部電極とし、薄膜トランジスタ2001及び薄膜トランジスタ2002のゲート絶縁膜と同一の工程で形成される絶縁膜を誘電体とすればよい。
また、薄膜トランジスタの層間絶縁層の一つである絶縁層2004にはコンタクトホールが形成され、それぞれの薄膜トランジスタの半導体層と電気的に接続されるソース電極又はドレイン電極、若しくは、上方の配線と接続される接続電極を形成する。また、フォトセンサ2003と電気的に接続される薄膜トランジスタ2001の信号線も同一の工程で形成される。薄膜トランジスタ2002の信号線2014も同一の工程で形成される。
次に、信号線2014を覆う絶縁層2005を形成する。なお、本実施の形態では、透過型の液晶表示装置を例として示しているので、絶縁層2005には可視光を透過することのできる絶縁性材料を用いる。次に、絶縁層2005にコンタクトホールを形成し、絶縁層2005上に下部電極2008を形成する。
そして、下部電極2008の少なくとも一部と重なるようにフォトセンサ2003を形成する。下部電極2008は、フォトセンサ2003と、薄膜トランジスタ2001とを電気的に接続させる電極である。フォトセンサ2003は、n型半導体層2010、i型半導体層2011及びp型半導体層2012が順に積層されて形成される。本実施の形態では、プラズマCVD法を用いることで、リンを含む微結晶シリコンによりn型半導体層2010を形成し、非晶質シリコンによりi型半導体層2011を形成し、ボロンを含む微結晶シリコンによりp型半導体層2012を形成する。
次に、フォトセンサ2003を覆う絶縁層2006を形成する。透過型の液晶表示装置の場合は、絶縁層2006に可視光を透過することのできる絶縁性材料を用いる。その後、絶縁層2006にコンタクトホールを形成し、絶縁層2006上に画素電極2007を形成する。画素電極2007と同一の層により、配線を形成する。その配線は、フォトセンサ2003の上部電極であるp型半導体層2012と電気的に接続される。
次に、絶縁層2006上にスペーサ2025を形成する。図18では、スペーサ2025として柱状スペーサ(ポストスペーサ)を設けたが、球状スペーサ(ビーズスペーサ)を用いてもよい。
次に、液晶層2024としてTN液晶等を用いる場合には、画素電極2007上に配向膜を塗布し、ラビング処理を行う。
一方で、対向基板2020上にはカラーフィルタ層2022、オーバーコート層2023、対向電極2021を形成し、対向電極2021上に配向膜を塗布し、ラビング処理を行う。
その後、基板2000の配向膜が塗布された面と、対向基板2020の配向膜が塗布された面とを、シール材により貼り合わせる。これらの基板間には液晶滴下法又は液晶注入法により液晶を配置し、液晶層2024を形成する。
なお、液晶層2024は、配向膜を用いないブルー相を示す液晶を用いて形成してもよい。ブルー相は液晶相の一つであり、コレステリック液晶を昇温していくと、コレステリック相から等方相へ転移する直前に発現する相である。ブルー相は狭い温度範囲でしか発現しないため、液晶層2024に適用するには、温度範囲を改善するために5重量%以上のカイラル剤を混合させた液晶組成物を用いる。ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物は、応答速度が10μs以上100μs以下と短く、光学的に等方性であるため配向処理が不要であり、視野角依存性が小さい。
(発光素子)
次に、表示素子として発光素子を有するエレクトロルミネセンス表示装置(以下、「EL表示装置」という。)について説明する。
図19は、上記表示装置において、発光素子としてEL素子(例えば、有機EL素子、無機EL素子、又は有機物及び無機物を含むEL素子)を用いたEL表示素子の断面の一例を示す図である。フォトセンサ2103が入力手段からのレーザ光105に照射されている状態を示している。
図19において、基板2100上には、薄膜トランジスタ2101、薄膜トランジスタ2102、及びフォトセンサ2103が設けられている。フォトセンサ2103は、n型半導体層2110、i型半導体層2111、及びp型半導体層2112が積層されて設けられている。基板2100は、シール材によって対向基板2120に固定されている。
絶縁層2104は、薄膜トランジスタ2101及び薄膜トランジスタ2102上を覆って設けられている。絶縁層2104上には絶縁層2105が設けられ、絶縁層2105上には絶縁層2106が設けられている。EL素子2127は絶縁層2106上に設けられ、フォトセンサ2103は絶縁層2105上に設けられている。フォトセンサ2103のn型半導体層2110によって、絶縁層2105に設けられた開口部を介して、フォトセンサ2103と薄膜トランジスタ2101とが電気的に接続されている。
また、センサ用配線2109によって、p型半導体層2112と他の配線とが電気的に接続されている。
EL素子2127は、画素電極2123、発光層2124、対向電極2125が積層されて設けられている。なお、隔壁2126によって隣り合う画素同士の発光層が区切られている。
薄膜トランジスタ2101及び薄膜トランジスタ2102として、n型薄膜トランジスタ又はp型薄膜トランジスタを用いることができる。画素電極2123が陰極として機能する場合は、電流の向きを考慮して、画素電極2123と電気的に接続する薄膜トランジスタ2102をn型薄膜トランジスタとすることが好ましい。また、画素電極2123が陽極として機能する場合は、薄膜トランジスタ2102をp型薄膜トランジスタとすることが好ましい。
また、フォトセンサ2103は、レーザ光の検出だけでなく、タッチセンサとして機能させてもよい。例えば、ユーザの指や、スタイラスなどのタッチペンが対向基板2120に触れたとき、EL素子2127からの光は、指やタッチペンで反射する。この反射光がフォトセンサ2103に入射すると、フォトセンサ2103はタッチを検出する。なお、指やタッチペンは直接対向基板2120に触れる必要はない。フォトセンサ2103は対向基板2120近傍の指やタッチペンを検出してもよい。
(表示素子の変形例)
図20に、本発明の一態様の表示装置600を示す。表示装置600は、表示素子に自発光型の表示素子と、外光を利用する表示素子を有し、所謂ハイブリッド表示が可能なハイブリッドディスプレイである。
ハイブリッド表示とは、1つのパネルにおいて、反射光と、自発光とを併用して、色調または光強度を互いに補完して、文字または画像を表示する方法である。または、ハイブリッド表示とは、同一画素または同一副画素において複数の表示素子から、それぞれの光を用いて、文字及び/または画像を表示する方法である。ただし、ハイブリッド表示を行っているハイブリッドディスプレイを局所的にみると、複数の表示素子のいずれか一を用いて表示される画素または副画素と、複数の表示素子の二以上を用いて表示される画素または副画素と、を有する場合がある。
なお、本明細書等において、上記構成のいずれか1つまたは複数の表現を満たすものを、ハイブリッド表示という。
また、ハイブリッドディスプレイは、同一画素または同一副画素に複数の表示素子を有する。なお、複数の表示素子としては、例えば、光を反射する反射型素子と、光を射出する自発光素子とが挙げられる。なお、反射型素子と、自発光素子とは、それぞれ独立に制御することができる。ハイブリッドディスプレイは、表示部において、反射光、及び自発光のいずれか一方または双方を用いて、文字及び/または画像を表示する機能を有する。
以下では、自発光型の表示素子として発光素子と、外光を利用する表示素子として反射型の液晶素子とを備え、発光素子からの光の光路上に位置する回路に透光性の材料を用いることで、発光素子の開口率を高めることのできる表示装置について説明する。
図20(A)に、表示装置600の断面概略図を示す。表示装置600は、基板601と基板602の間に、液晶素子610、発光素子620、及び機能層630を有する。液晶素子610は、基板602側に光を反射する反射型の液晶素子である。発光素子620は、基板602側に光を射出する発光素子である。機能層630は、液晶素子610を駆動する回路603、発光素子620を駆動する回路604、フォトセンサなどを有する。機能層630により、液晶素子610と発光素子620とを、それぞれ独立して駆動することができる。
液晶素子610は、電極611、液晶層612、及び電極613を有する。基板602側に設けられる電極613は、可視光を透過し、且つ、共通電位が与えられる。機能層630側に設けられる電極611は、可視光を反射し、且つ、画素電極として機能する。電極611と回路603とは、絶縁層641に設けられた開口を介して電気的に接続されている。なおここでは図示しないが、基板602よりも外側に偏光板を配置する。
液晶素子610からの反射光665rは、基板602側から入射した光のうち、電極611によって反射する光である。なお、反射光665rの光路上にカラーフィルタを配置してもよい。
発光素子620は、機能層630側から電極621、発光性の物質を含む層622、及び電極623を有する。電極621は可視光を透過し、且つ、画素電極として機能する。電極623は、可視光を反射し、且つ共通電位が与えられる。電極621と回路604とは、絶縁層644に設けられた開口を介して電気的に接続されている。また電極621の端部を覆って、絶縁層645が設けられていることが好ましい。また、発光素子620は、封止層631と基板601によって封止されている。
回路603及び回路604は、例えばスイッチ、トランジスタ、容量素子、抵抗素子などの電気素子を有する構成とすることができる。また、これらを接続する配線を有していてもよい。
回路603および回路604で用いられるトランジスタ、容量素子、およびその他の構成要素は、他の実施の形態で用いられている構成要素を用いることができる。
ここで、発光素子620からの光665eは、液晶素子610の電極611が設けられていない領域を通り抜け、基板602側に射出される。なお、光665eの光路上に、カラーフィルタを配置してもよい。
図20(A)に示す領域660は、可視光を反射する電極611が設けられず、且つ、発光素子620と重なる領域であり、発光素子620が発する光665eが射出しうる領域である。領域660は、電極611に設けられた開口と重なる部分であってもよいし、電極に設けられたスリットまたは切欠き部と重なる部分であってもよい。また領域660は、隣接する2つの画素にそれぞれ設けられる2つの電極611の間に位置する領域であってもよい。
図20(A)では、機能層630が有する回路604の一部が、領域660と重ねて設けられている。なお、回路603の一部が、領域660と重ねて設けられていてもよい。回路603、または回路604は、少なくとも発光素子620と重なる部分に、可視光を透過する部材が設けられていることが好ましい。これにより、光665eは、回路603または回路604を透過して、基板602側に射出することができる。
ここで、機能層630が有するトランジスタ、配線、容量素子等には、以下に示す材料を用いることができる。
トランジスタが有する半導体層は、透光性を有する半導体材料を用いて形成することができる。透光性を有する半導体材料としては、金属酸化物、または酸化物半導体等が挙げられる。酸化物半導体は、少なくともインジウムを含むことが好ましい。特にインジウム及び亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。
トランジスタや容量素子等が有する電極や、配線などに、透光性を有する導電性材料を用いて形成することができる。透光性を有する導電性材料は、インジウム、亜鉛、錫の中から選ばれた一種、または複数種を含むことが好ましい。具体的には、In酸化物、In-Sn酸化物、In-Zn酸化物、In-W酸化物、In-W-Zn酸化物、In-Ti酸化物、In-Sn-Ti酸化物、In-Sn-Si酸化物、Zn酸化物、Ga-Zn酸化物などが挙げられる。
また、トランジスタや容量素子等が有する電極や、配線などに、不純物元素を含有させる等して低抵抗化させた酸化物半導体を用いてもよい。当該低抵抗化させた酸化物半導体は、酸化物導電体ということができる。
例えば、酸化物導電体は、酸化物半導体に酸素欠損を形成し、当該酸素欠損に水素を添加することで、伝導帯近傍にドナー準位が形成される。酸化物半導体にドナー準位が形成されることで、酸化物半導体は、導電性が高くなり導電体化する。
なお、酸化物半導体は、エネルギーギャップが大きい(例えば、エネルギーギャップが2.5eV以上である)ため、可視光に対して透光性を有する。また、上述したように酸化物導電体は、伝導帯近傍にドナー準位を有する酸化物半導体である。したがって、酸化物導電体は、ドナー準位による吸収の影響は小さく、可視光に対して酸化物半導体と同程度の透光性を有する。
また、酸化物導電体は、トランジスタが有する半導体膜に含まれる金属元素を一種類以上有することが好ましい。同一の金属元素を有する酸化物半導体を、トランジスタを構成する層のうち2層以上に用いることで、製造装置(例えば、成膜装置、加工装置等)を2以上の工程で共通で用いることが可能となるため、製造コストを抑制することができる。
本実施の形態に示す表示装置が有する画素の構成とすることで、発光素子から射出される光を効率よく使用することができる。したがって、消費電力が抑制された、優れた表示装置を提供することができる。
機能層630の一例として、図20(A)における回路604に用いることのできる構成について、その一部の断面概略図を図20(B)に示す。
図20(B)には、トランジスタ650a、容量素子655、及び電極621を示している。トランジスタ650aは、ボトムゲート型のトランジスタである。
トランジスタ650aは、ゲート電極として機能する導電層651と、導電層651を覆い、一部がゲート絶縁層として機能する絶縁層642と、絶縁層642の一部を覆う半導体層652と、半導体層652と接し、ソース電極またはドレイン電極として機能する導電層653及び導電層653tと、を有する。また容量素子655は、導電層653tの一部と、絶縁層642の一部と、導電層651tと、により構成されている。電極621は、絶縁層644及び絶縁層643に設けられた開口を介して、導電層653tと電気的に接続されている。
なお、トランジスタ650aと電極621の間にフォトセンサが設けられる場合、絶縁層643と絶縁層644の間、あるいは絶縁層644と電極621の間に1層または2層以上の絶縁層がもうけられることがある。
ここで、導電層651t、導電層653t、及び電極621等は、それぞれ可視光に対して透光性を有する導電性材料を用いることが好ましい。特に、金属酸化物を用いることが好ましい。
また半導体層652には、半導体特性を示す金属酸化物(酸化物半導体(OS:Oxide Semiconductor)ともいう)を適用することが好ましい。さらに、半導体層652は、チャネル形成領域を挟む一対の低抵抗領域を有することが好ましい。当該低抵抗領域は、チャネル形成領域よりも導電性が高い部分であり、酸化物導電体(OC:Oxide Conductor)とも言うことができる。
図20(B)では、半導体層652が、導電層651側から半導体層652aと半導体層652bとが積層された、積層構造を有している例を示している。ただし、半導体層652の構成はこれに限定されず、半導体層652を、半導体層652a及び半導体層652bのいずれか一方の単層構造、または3層以上の積層構造としてもよい。例えば半導体層652を3層構造とするとき、半導体層652aを一対の半導体層652bで挟持した積層構造とすることができる。
半導体層652bと半導体層652aは、それぞれInと、M(MはGa、Al、Y、またはSn)と、Znと、を有すると好ましい。また、半導体層652a、半導体層652bは、それぞれInの原子数比がMの原子数比より多い領域を有すると、トランジスタの電界効果移動度を高めることができ、好ましい。一例としては、半導体層652bと半導体層652aに含まれる酸化物半導体膜のIn、M、及びZnの原子数の比を、In:M:Zn=4:2:3またはその近傍、あるいはIn:M:Zn=5:1:7またはその近傍とすると好ましい。
半導体層652aと半導体層652bは、それぞれ組成の異なるターゲットを用いて成膜された半導体膜を用いてもよいが、特に同じ組成のターゲットを用い、大気に曝すことなく連続して成膜された積層膜を用いることが好ましい。これにより、1つの成膜装置で処理を行えるほか、半導体層652aと半導体層652bの間に不純物が残留することを抑制できる。
ここで、例えば半導体層652bは、半導体層652aよりも、結晶性の高い領域を含むことが好ましい。これにより、半導体層652bを、半導体層652aよりもエッチングの耐性に優れた膜とすることができる。そのため、導電層653や導電層653tを加工する際に、半導体層652bがエッチングにより消失してしまうことを防ぐことができる。したがって、図20(B)に示すようなチャネルエッチ構造のトランジスタを実現することができる。さらに、トランジスタ650aのバックチャネル側に位置する半導体層652bに結晶性の高い膜を用いることで、ゲート電極側の半導体層652aへ拡散しうる不純物を低減できるため、信頼性の高いトランジスタ650aを実現できる。
また、半導体層652aに、半導体層652bよりも結晶性の低い領域を含む膜を用いることで、半導体層652a中に酸素が拡散しやすくなり、酸素欠損の割合の低い半導体層652aとすることができる。特に、半導体層652aはゲート電極に近い側に位置し、主としてチャネルが形成されやすい層であるため、このような膜を用いることで信頼性の高いトランジスタを実現できる。
半導体層652aと半導体層652bとは、例えば成膜条件を異ならせることで作り分けることができる。例えば、半導体層652aと半導体層652bとで、それぞれ成膜ガス中の酸素ガスの流量を異ならせることができる。
このとき、半導体層652aの成膜条件として、酸素ガス流量のガス流量全体に占める割合(酸素流量比ともいう)を、0%以上30%以下、好ましくは5%以上15%以下とする。上述の酸素流量比とすることで、半導体層652aの結晶性を低くすることができる。
一方、半導体層652bの成膜条件として、酸素流量比を、30%より大きく100%以下、好ましくは50%以上100%以下、さらに好ましくは70%以上100%以下とする。上述の酸素流量比とすることで、半導体層652bの結晶性を高くすることができる。
また、半導体層652a及び半導体層652bの形成時の基板温度としては、室温(25℃)以上200℃以下、好ましくは室温以上130℃以下とすればよい。基板温度を上記範囲とすることで、大面積のガラス基板を用いる場合に、基板の撓みまたは歪みを抑制することができる。ここで、半導体層652aと半導体層652bとで、基板温度を同じ温度とすると、生産性を高めることができる。また、例えば半導体層652aと半導体層652bとで基板温度を異ならせる場合には、半導体層652bの成膜温度を高くすると、半導体層652bの結晶性をより高めることができる。
ここで、トランジスタ650aのゲート電極として機能する導電層651には、可視光を遮光する導電性材料を用いることが好ましい。これにより、半導体層652のチャネル形成領域に、光が照射されることを防ぐことができ、トランジスタ650aの電気特性の変動を抑制できる。また、このとき、ゲート線(走査線ともいう)の一部を、導電層651として用いることが好ましい。
また、トランジスタ650aのソース電極及びドレイン電極の一方として機能する導電層653には、可視光を遮光する導電性材料を用いてもよい。このとき、ソース線(信号線ともいう)の一部を、導電層653として用いることが好ましい。
図20(B)では、トランジスタ650aの一部、容量素子655、及び導電層653tと電極621のコンタクト部等を含む領域を、透過領域660tとして機能させることができる。
図20(C)には、トップゲート型のトランジスタ650bを用いた場合の例を示す。
トランジスタ650bは、半導体層652を覆って、絶縁層642及び導電層651が積層して設けられ、導電層651を覆って絶縁層643が設けられ、絶縁層643の一部を覆って導電層653及び導電層653tが設けられている。容量素子655は、導電層651tと、導電層653tと、絶縁層643により構成されている。
なお、トランジスタ650bと電極621の間にフォトセンサが設けられる場合、絶縁層643と絶縁層644の間、あるいは絶縁層644と電極621の間に1層または2層以上の絶縁層がもうけられることがある。
半導体層652としては、上記半導体層652a及び半導体層652bのいずれか一方または両方と同様の構成としてもよい。または、半導体層652を単層構造または3層以上の積層構造としてもよい。
図20(C)には、半導体層652のチャネル形成領域を挟む一対の低抵抗領域652cを示している。低抵抗領域652cは、当該チャネル形成領域よりもキャリア濃度が高い領域、または不純物濃度が高い領域とすることができる。半導体層652に、酸化物半導体(OS)を用いた場合、低抵抗領域652cを、酸化物導電体(OC)と呼ぶことができる。
なお、低抵抗領域652cは、半導体層652をn型にした領域である。低抵抗領域652cは、絶縁層643と接し、絶縁層643は窒素または水素を有する。そのため、絶縁層643中の窒素または水素が低抵抗領域652cに入り込み、半導体層652のキャリア濃度を高めることができる。なお、低抵抗領域652cとしては、上記に限定されず、導電層651をマスクとして、不純物を添加することで形成してもよい。当該不純物としては、例えば、水素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、フッ素、窒素、リン、ヒ素、アンチモン、ホウ素、アルミニウムなどが挙げられ、当該不純物の添加は、イオン注入法またはイオンドーピング法を用いて行うことができる。また、上記不純物以外にも、半導体層652の構成元素の一つである、インジウムなどを添加することで低抵抗領域652cを形成してもよい。インジウムを低抵抗領域652cに添加することで、チャネル形成領域よりも低抵抗領域652cの方が、インジウムの濃度が高くなる場合がある。
また、上記の不純物を添加したあとに、熱処理(代表的には100℃以上400℃以下、好ましくは150℃以上350℃以下)を行ってもよい。
また、上記の不純物の添加については、低抵抗領域652cに限定されず、上述した他の酸化物導電体(OC)に適用することもできる。
なお、例えばトランジスタ650bの半導体層652にシリコン、代表的にはアモルファスシリコン、または低温ポリシリコンなどを用いる場合、上述した低抵抗領域652cに相当する領域は、シリコン中にリン、ボロンなどの不純物が含まれた領域となる。また、シリコンのバンドギャップは、概ね1.1eVである。したがって、トランジスタの半導体層にシリコンを用いる場合、半導体層は可視光の一部を吸収するため、当該半導体層を透過させて光を取り出すことが難しい。また、シリコン中にリン、ボロンなどの不純物が含まれると、透光性がさらに低下する場合がある。したがって、シリコン中に形成される低抵抗領域を透過させて光を取り出すことはより難しい場合がある。しかしながら、本発明の一態様では、酸化物半導体(OS)、及び酸化物導電体(OC)ともに、可視光に対して透光性を有するため、画素または副画素における発光素子の開口率を向上させることができる。
以上のように、発光素子620の光路上に位置する導電層及び半導体層等に、可視光を透過する材料を用いることで、発光素子620の有効発光面積を大きくできる。一方、ソース線やゲート線、電位供給線などの配線(バスラインともいう)には、遮光性を有し、低抵抗な材料を用いることで、寄生抵抗を低減することができる。
本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することが可能である。
(実施の形態4)
本実施の形態では、本発明の一態様の情報端末に適用可能な電子機器について図21乃至図23を用いて説明する。
図21(A)、(B)に、携帯情報端末の一例を示す。図21(A)、(B)に示す携帯情報端末800は、タブレット型コンピュータや電子書籍として用いることができる。携帯情報端末800は、筐体801、筐体802、表示部803、表示部804、及びヒンジ部805等を有する。
筐体801と筐体802は、ヒンジ部805で連結されている。携帯情報端末800は、図21(A)に示すように折り畳んだ状態から、図21(B)に示すように筐体801と筐体802を開くことができる。
例えば表示部803及び表示部804に、文書情報を表示することが可能であり、電子書籍端末としても用いることができる。また、表示部803及び表示部804に静止画像や動画像を表示することもできる。
このように、携帯情報端末800は、持ち運ぶ際には折り畳んだ状態にできるため、汎用性に優れる。
なお、筐体801及び筐体802には、電源ボタン、操作ボタン、外部接続ポート、スピーカ、マイク等を有していてもよい。
表示部803及び表示部804の少なくとも一方に先の実施の形態に示したフォトセンサが設けられる。
図21(C)に携帯情報端末の一例を示す。図21(C)に示す携帯情報端末810は、筐体811、表示部812、操作ボタン813、外部接続ポート814、スピーカ815、マイク816、カメラ817等を有する。
表示部812に先の実施の形態に示したフォトセンサが設けられる。
携帯情報端末810は、表示部812を用いて情報の入力を行い、電話を掛ける、或いは文字を入力するなどの操作を行うことができる。
また、操作ボタン813の操作により、電源のON、OFF動作や、表示部812に表示される画像の種類を切り替えることができる。例えば、メール作成画面から、メインメニュー画面に切り替えることができる。
また、携帯情報端末810の内部に、ジャイロセンサまたは加速度センサ等の検出装置を設けることで、携帯情報端末810の向き(縦か横か)を判断して、表示部812の画面表示の向きを自動的に切り替えるようにすることができる。また、画面表示の向きの切り替えは、表示部812を触れること、操作ボタン813の操作、またはマイク816を用いた音声入力等により行うこともできる。
携帯情報端末810は、例えば、電話機、手帳または情報閲覧装置等から選ばれた一つまたは複数の機能を有する。具体的には、スマートフォンとして用いることができる。携帯情報端末810は、例えば、移動電話、電子メール、文章閲覧及び作成、音楽再生、動画再生、インターネット通信、ゲームなどの種々のアプリケーションを実行することができる。
図21(D)はラップトップ型のコンピュータ850を示している。コンピュータ850は、表示部851、筐体852、タッチパッド853、接続ポート854等を有する。
タッチパッド853は、ポインティングデバイスや、ペンタブレット等の入力手段として機能し、指やスタイラス等で操作することができる。
また、タッチパッド853には表示素子が組み込まれている。図21(D)に示すように、タッチパッド853の表面に入力キー855を表示することで、タッチパッド853をキーボードとして使用することができる。このとき、入力キー855に触れた際に、振動により触感を実現するため、振動モジュールがタッチパッド853に組み込まれていてもよい。
表示部851およびタッチパッド853の少なくとも一方に先の実施の形態に示したフォトセンサが設けられる。なお、タッチパッド853の代わりに、公知のキーボードが設けられていてもよい。
図21(E)は、ナビゲーション装置860を示している。図21(E)に示すナビゲーション装置は、表示部861、操作ボタン862、及び外部入力端子863を具備する。
表示部861に先の実施の形態に示したフォトセンサが設けられる。
図22(A)、および図22(B)は、それぞれ折り畳みが可能な電子機器を示している。
図22(A)に示す電子機器900は、筐体901a、筐体901b、ヒンジ903、表示部902等を有する。表示部902は筐体901及び筐体901bに、組み込まれている。
筐体901aと筐体901bとは、ヒンジ903で回転可能に連結されている。電子機器900は、筐体901aと筐体901bとが閉じた状態と、図22(A)に示すように開いた状態と、に変形することができる。これにより、持ち運ぶ際には可搬性に優れ、使用するときには大きな表示領域により、視認性に優れる。
また、ヒンジ903は、筐体901aと筐体901bとを開いたときに、これらの角度が所定の角度よりも大きい角度にならないように、ロック機構を有することが好ましい。例えば、ロックがかかる(それ以上に開かない)角度は、90度以上180度未満であることが好ましく、代表的には、90度、120度、135度、または150度、175度などとすることができる。これにより、利便性、安全性、及び信頼性を高めることができる。
表示部902に先の実施の形態に示したフォトセンサが設けられる。
筐体901aまたは筐体901bのいずれか一には、無線通信モジュールが設けられ、インターネットやLAN(Local Area Network)、Wi-Fi(登録商標)(Wireless Fidelity)などのコンピュータネットワークを介して、データを送受信することが可能である。
表示部902は、一つのフレキシブルディスプレイで構成されていることが好ましい。これにより、筐体901aと筐体901bの間で途切れることのない連続した表示を行うことができる。このとき、筐体901aと筐体901bとが開いた状態において、表示部902を構成するフレキシブルディスプレイは一部が湾曲した状態で保持されることが好ましい。なお、筐体901aと筐体901bのそれぞれに、ディスプレイが設けられる構成としてもよい。
図22(B)に示す電子機器920は、ヒンジ923により連結された筐体921aと筐体921bに亘って、フレキシブルな表示部922が設けられている。
図22(B)では、筐体921aと筐体921bとを開いたときに、表示部922が大きく湾曲した形態で保持されている。例えば、曲率半径を1mm以上50mm以下、好ましくは5mm以上30mm以下の状態で、表示部922が保持された状態とすることができる。表示部922の一部は、筐体921aから筐体921bにかけて、連続的に画素が配置され、曲面状の表示を行うことができる。
ヒンジ923は、上述したロック機構を有しているため、表示部922に無理な力がかかることなく、表示部922が破損することを防ぐことができる。そのため、信頼性の高い電子機器を実現できる。
図23(A)に、モニタ830を示す。モニタ830は、表示部831、筐体832、スピーカ833等を有する。さらに、LEDランプ、操作キー(電源スイッチ、または操作スイッチを含む)、接続端子、各種センサ、マイクロフォン等を有することができる。
モニタ830の表示部831に先の実施の形態に示したフォトセンサが設けられる。またモニタ830は、リモコン操作機834により、操作することができる。
またモニタ830は、放送電波を受信して、テレビジョン装置として機能することができる。
モニタ830が受信できる放送電波としては、地上波、または衛星から送信される電波などが挙げられる。また放送電波として、アナログ放送、デジタル放送などがあり、また映像及び音声、または音声のみの放送などがある。例えばUHF帯(300MHz以上3GHz以下)またはVHF帯(30MHz以上300MHz以下)のうちの特定の周波数帯域で送信される放送電波を受信することができる。また例えば、複数の周波数帯域で受信した複数のデータを用いることで、転送レートを高くすることができ、より多くの情報を得ることができる。これによりフルハイビジョンを超える解像度を有する映像を、表示部831に表示させることができる。例えば、4K-2K、8K-4K、16K-8K、またはそれ以上の解像度を有する映像を表示させることができる。
また、インターネットやLAN(Local Area Network)、Wi-Fi(登録商標)(Wireless Fidelity)などのコンピュータネットワークを介したデータ伝送技術により送信された放送のデータを用いて、表示部831に表示する画像を生成する構成としてもよい。このとき、モニタ830にチューナを有さなくてもよい。
また、モニタ830は、コンピュータと接続し、コンピュータ用モニタとして用いることができる。また、コンピュータと接続したモニタ830は、複数の人が同時に閲覧可能となり、会議システムに用いることができる。また、ネットワークを介したコンピュータの情報の表示や、モニタ830自体のネットワークへの接続により、モニタ830をテレビ会議システムに用いることができる。
また、モニタ830はデジタルサイネージとして用いることもできる。デジタルサイネージについては、図23(B)を用いて後述する。
図23(B)は円柱状の柱842に取り付けられたデジタルサイネージ840を示している。デジタルサイネージ840は、表示部841を有する。
表示部841が広いほど、一度に提供できる情報量を増やすことができる。また、表示部841が広いほど、人の目につきやすく、例えば、広告の宣伝効果を高めることができる。
表示部841に先の実施の形態に示したフォトセンサが設けられる。表示部841に画像または動画を表示するだけでなく、使用者が直感的に操作することができ、好ましい。また、路線情報もしくは交通情報などの情報を提供するための用途に用いる場合には、直感的な操作によりユーザビリティを高めることができる。
101 情報端末、103 表示部、105 レーザ光、106 ポインタ、107 レーザ発振器、109 支持体、111 スイッチ、113 テンプル、115 リム、116 ブリッジ、117 レンズ、119 ヒンジ、121 可動部、123 支持体、125 支持体、127 ペダル型スイッチ、129 車椅子、130 入力手段、131 変調部、133 イベント検出部、135 画像処理部、137 センサ、140 アイコン、150 表示パネル、151 画素回路、152 表示素子制御回路、153 フォトセンサ制御回路、154 画素、155 表示素子、156 フォトセンサ、157 表示素子駆動回路、158 表示素子駆動回路、159 フォトセンサ読み出し回路、160 フォトセンサ駆動回路、200 プリチャージ回路、202 保持容量、203 液晶素子、204 フォトダイオード、208 ゲート信号線、209 ゲート信号線、210 フォトダイオードリセット信号線、211 ゲート信号線、212 ビデオデータ信号線、213 フォトセンサ基準信号線、214 フォトセンサ出力信号線、215 ゲート信号線、217 プリチャージ信号線

Claims (4)

  1. レーザ光が照射された位置を検出する機能を有する表示部を有し、
    人工知能によって前記レーザ光が照射された位置から前記レーザ光のブレを学習し、入力位置を予測し、
    前記予測した入力位置にポインタを表示する情報端末。
  2. 請求項1において、
    学習した前記ブレからパターンを抽出し、ユーザを特定する機能を有する情報端末。
  3. 請求項1または請求項2の情報端末と、入力手段と、を有し、
    前記入力手段は、ユーザの頭部に装着される支持体と、レーザ発振器と、を有し、
    前記レーザ光は、前記レーザ発振器から照射される入力支援システム。
  4. 請求項3において、
    前記支持体は、眼鏡、帽子、ヘルメットまたはヘッドギアのいずれか一からなる入力支援システム。
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