JP7092912B2 - 偏心装置を備えた固定レール - Google Patents
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- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
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- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Clamps And Clips (AREA)
Description
12 ターボ分子ポンプ
14 ポンプフランジ/フランジ部分
16 真空チャンバ
18 表面部分
20 固定システム
22,22’ 固定レール
24,24’ 固定部分
26,26’ ガイド部分
28,28’,28” 偏心装置
30 孔
32 ガイド面
34 端面
36 軸方向のストッパ
38 面取り
40,40’ 操作装置
42 固定ネジ
44 偏心部分
46 横断面もしくは横断面形状/横断面面
48 作用面
50,52 終端面
54 縦方向側面
56 斜面
58 平坦部
60 偏心ネジ
62 ネジヘッド
64 ネジ部分
R ロータ軸
B,E 縦軸
x 位置ズレ
Rx,Ry 半径
Rx1~Rx4 半径
e 中心点距離
Claims (13)
- 真空システム(10)の第1の部品のフランジ部分(14)を真空システム(10)の第2の部品の表面部分(18)に固定するための固定レール(22)であって、
フランジ部分(14)の表面部分(18)とは反対の側と協働するために形成されたガイド部分(26)と、
フランジ部分(14)が、ガイド部分(26)と表面部分(18)の間に導入可能又は挿入可能であるように、固定レール(22)を第2の真空部品に固定するために形成された固定部分(24)と、
ガイド部分(26)内に配置され、クランプ状態と解放状態の間で回転可能で、少なくとも1つの作用面(48)を介して、そのクランプ状態でフランジ部分(14)に表面部分(18)の方向に向いた保持力を作用させる又はフランジ部分のリフティングを発生させ、その解放状態でフランジ部分(14)を解放するために設置された、回転可能に支承された偏心装置(28)を備えるものにおいて、
偏心装置(28)が、少なくとも1つの偏心部分(44)を有し、この偏心部分の横断面(46)が、偏心装置(28)の縦軸(E)に対して垂直な平面内で偏心して形成及び/又は配置され、偏心部分(44)の曲率が、偏心部分(44)の周方向に変化すること、を特徴とする固定レール(22)。 - 偏心装置(28)及び/又はガイド部分(26)が、ガイド部分(26)と表面部分(18)の間のフランジ部分(14)の挿入運動をクランプ状態への偏心装置(28)の回転に変換可能にする手段を備えること、を特徴とする請求項1に記載の固定レール(22)。
- 偏心装置(28)及び/又は偏心部分(44)の縦軸(E)が、少なくとも実質的に固定レール(22)及び/又はガイド部分(26)の縦軸(B)に対して平行に配置されていること、又は、偏心装置(28)及び/又は偏心部分(44)の縦軸(E)が、少なくとも実質的に固定レール(22)及び/又はガイド部分(26)の縦軸(B)に対して垂直に配置されていること、を特徴とする請求項1又は2に記載の固定レール(22)。
- 偏心部分(44)が、偏心装置(28)の縦軸(E)の方向に少なくとも実質的に固定レール(22)及び/又はガイド部分(26)の全長にわたって延在する及び/又は一貫して形成されていること、を特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の固定レール(22)。
- 偏心装置(28)が、離間して配置された少なくとも2つの偏心部分(44)を備えること、を特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の固定レール(22)。
- 偏心装置(28)が、少なくとも1つの係止要素を備え、この係止要素が、クランプ状態での偏心部分(44)の終端位置及び/又は解放状態での偏心部分(44)の終端位置を規定すること、及び/又は、偏心部分(44)の位置又は終端位置が、センサ装置によって検出可能であること、を特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の固定レール(22)。
- 少なくとも1つの偏心部分(44)の形状が、偏心装置(28)の縦方向に変化すること、を特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の固定レール(22)。
- 偏心装置(28)が、複数部材から形成されていること、を特徴とする請求項1~7のいずれか1項に記載の固定レール(22)。
- 少なくとも1つの偏心部分(44)の形状は、クランプ状態で得られるクランプ作用がセルフロック式であるように選択されていること、を特徴とする請求項1~8のいずれか1項に記載の固定レール(22)。
- 固定レール(22)が、少なくとも2つの偏心装置(28)を備え、これら偏心装置の縦軸(E)が、互いに平行に配置されていること、を特徴とする請求項1~9のいずれか1項に記載の固定レール(22)。
- ガイド部分(26)のフランジ部分(14)と協働するガイド面(32)が、少なくとも部分的に斜面(56)及び/又は曲率を備えること、を特徴とする請求項1~10のいずれか1項に記載の固定レール(22)。
- 真空システム(10)の第1の部品を第2の部品に固定するための固定システム(20)であって、部品の一方が真空ポンプ(12)であり、
第1の部品に配置されたフランジ部分(14)と、
第2の部品に配置されかつフランジ部分(14)の接触面と当接可能な表面部分(18)と、
第2の部品に固定された請求項1~11のいずれか1項に記載された少なくとも1つの固定レール(22)を有する、固定システム(20)。 - 請求項12に記載の固定システム(20)によって互いに連結された第1の真空部品と第2の真空部品を備えた真空装置(10)。
Applications Claiming Priority (4)
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EP20167263 | 2020-03-31 | ||
EP20167263 | 2020-03-31 | ||
EP20183561 | 2020-07-01 | ||
EP20183561.8A EP3763944B1 (de) | 2020-03-31 | 2020-07-01 | Befestigungsschiene mit exzentereinrichtung |
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JP7092912B2 true JP7092912B2 (ja) | 2022-06-28 |
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ID=70110183
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JP2021035562A Active JP7092912B2 (ja) | 2020-03-31 | 2021-03-05 | 偏心装置を備えた固定レール |
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JP2010261465A (ja) | 2007-06-15 | 2010-11-18 | Varian Spa | 真空ポンプ用の分割継手およびそれを得る方法 |
WO2015019046A1 (en) | 2013-08-09 | 2015-02-12 | Edwards Limited | Vacuum system securing devices |
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2021
- 2021-03-05 JP JP2021035562A patent/JP7092912B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010261465A (ja) | 2007-06-15 | 2010-11-18 | Varian Spa | 真空ポンプ用の分割継手およびそれを得る方法 |
WO2015019046A1 (en) | 2013-08-09 | 2015-02-12 | Edwards Limited | Vacuum system securing devices |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3763944B1 (de) | 2022-09-07 |
EP3763944A1 (de) | 2021-01-13 |
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