JP7092478B2 - レジスト除去方法およびレジスト除去装置 - Google Patents
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Description
請求項13に記載の発明は、表面に変質層が形成されたレジストのパターンを主面上に有する基板の前記レジストを除去するレジスト除去方法であって、a)外部から遮断された処理空間において、所定の温度に加熱されたホットプレートに対して隙間を空けた第1処理位置に前記基板を配置しつつ、前記主面に対してオゾンガスを供給することにより、前記変質層を除去する工程と、b)前記a)工程の後、前記第1処理位置よりも前記隙間が小さい第2処理位置に前記基板を配置しつつ、前記主面に対して前記オゾンガスを供給することにより、前記レジストを除去する工程とを備え、前記オゾンガスは、前記処理空間を形成する処理空間形成部の前記ホットプレートに対向する部分に設けられた加熱部により加熱されて前記主面に対して供給される。
請求項14に記載の発明は、レジスト除去装置であって、外部から遮断された処理空間を形成する処理空間形成部と、前記処理空間に配置され、所定の温度に加熱されるホットプレートと、表面に変質層が形成されたレジストのパターンを主面上に有する基板を前記処理空間において保持する保持部と、前記保持部を前記ホットプレートに対して相対的に移動する移動機構と、前記主面に対してオゾンガスを供給するオゾンガス供給部と、前記処理空間形成部において、前記オゾンガスの供給口の周囲で、前記オゾンガスを加熱するために前記処理空間形成部の前記ホットプレートに対向する部分に設けられた加熱部と、前記ホットプレートに対して隙間を空けた第1処理位置に前記基板を配置して前記加熱部で加熱された前記オゾンガスによる前記変質層の除去を行い、続いて、前記移動機構を制御することにより、前記第1処理位置よりも前記隙間が小さい第2処理位置に前記基板を配置して前記オゾンガスによる前記レジストの除去を行う制御部とを備える。
2 チャンバ
4 ホットプレート
6 オゾンガス供給部
9 基板
10 制御部
20 処理空間
24 加熱部
31 蓋部昇降機構
32 ピン昇降機構
51 リフトピン
72 濃度測定部
91 上面
95 レジスト
96 変質層
641 ガス供給口
S11~S21 ステップ
Claims (14)
- 表面に変質層が形成されたレジストのパターンを主面上に有する基板の前記レジストを除去するレジスト除去方法であって、
a)外部から遮断された処理空間において、所定の温度に加熱されたホットプレートに対して隙間を空けた第1処理位置に前記基板を配置しつつ、前記主面に対してオゾンガスを供給することにより、前記変質層を除去する工程と、
b)前記a)工程の後、前記第1処理位置よりも前記隙間が小さい第2処理位置に前記基板を配置しつつ、前記主面に対して前記オゾンガスを供給することにより、前記レジストを除去する工程と、
を備え、
c)前記a)工程に並行して、前記処理空間から排出されるガスにおける所定成分の濃度を測定することにより、前記変質層の除去の終点を検出する工程をさらに備えることを特徴とするレジスト除去方法。 - 請求項1に記載のレジスト除去方法であって、
前記c)工程において、前記所定成分の濃度の変化率に基づいて前記変質層の除去の終点が検出されることを特徴とするレジスト除去方法。 - 請求項1または2に記載のレジスト除去方法であって、
前記b)工程に並行して、前記処理空間から排出されるガスにおける前記所定成分の濃度を測定することにより、前記レジストの除去の終点を検出する工程をさらに備えることを特徴とするレジスト除去方法。 - 請求項1ないし3のいずれか1つに記載のレジスト除去方法であって、
前記処理空間が開閉可能であり、
前記処理空間を開放した際に、前記第1処理位置よりも前記ホットプレートから離れた位置に前記基板を配置した状態において、前記基板を保持する保持部から外部の搬送機構に対して前記基板が渡されることを特徴とするレジスト除去方法。 - 請求項1ないし4のいずれか1つに記載のレジスト除去方法であって、
前記処理空間を形成する処理空間形成部において、前記オゾンガスの供給口の周囲に加熱部が設けられることを特徴とするレジスト除去方法。 - 請求項1ないし5のいずれか1つに記載のレジスト除去方法であって、
前記ホットプレートの前記所定の温度が、前記変質層が形成された前記レジストにおいて、内部の膨張による前記変質層の破裂が発生する温度以上であることを特徴とするレジスト除去方法。 - レジスト除去装置であって、
外部から遮断された処理空間を形成する処理空間形成部と、
前記処理空間に配置され、所定の温度に加熱されるホットプレートと、
表面に変質層が形成されたレジストのパターンを主面上に有する基板を前記処理空間において保持する保持部と、
前記保持部を前記ホットプレートに対して相対的に移動する移動機構と、
前記主面に対してオゾンガスを供給するオゾンガス供給部と、
前記処理空間から排出されるガスにおける所定成分の濃度を測定する濃度測定部と、
前記ホットプレートに対して隙間を空けた第1処理位置に前記基板を配置して前記オゾンガスによる前記変質層の除去を行い、続いて、前記移動機構を制御することにより、前記第1処理位置よりも前記隙間が小さい第2処理位置に前記基板を配置して前記オゾンガスによる前記レジストの除去を行う制御部と、
を備え、
前記制御部が、前記濃度測定部の測定値に基づいて前記変質層の除去の終点を検出することを特徴とするレジスト除去装置。 - 請求項7に記載のレジスト除去装置であって、
前記制御部が、前記所定成分の濃度の変化率に基づいて前記変質層の除去の終点を検出することを特徴とするレジスト除去装置。 - 請求項7または8に記載のレジスト除去装置であって、
前記制御部が、前記濃度測定部の測定値に基づいて前記レジストの除去の終点を検出することを特徴とするレジスト除去装置。 - 請求項7ないし9のいずれか1つに記載のレジスト除去装置であって、
前記処理空間を開閉する開閉機構をさらに備え、
前記処理空間を開放した際に、前記制御部が、前記第1処理位置よりも前記ホットプレートから離れた位置に前記基板を配置し、前記保持部から外部の搬送機構に対して前記基板が渡されることを特徴とするレジスト除去装置。 - 請求項7ないし10のいずれか1つに記載のレジスト除去装置であって、
前記処理空間形成部において、前記オゾンガスの供給口の周囲に加熱部が設けられることを特徴とするレジスト除去装置。 - 請求項7ないし11のいずれか1つに記載のレジスト除去装置であって、
前記ホットプレートの前記所定の温度が、前記変質層が形成された前記レジストにおいて、内部の膨張による前記変質層の破裂が発生する温度以上であることを特徴とするレジスト除去装置。 - 表面に変質層が形成されたレジストのパターンを主面上に有する基板の前記レジストを除去するレジスト除去方法であって、
a)外部から遮断された処理空間において、所定の温度に加熱されたホットプレートに対して隙間を空けた第1処理位置に前記基板を配置しつつ、前記主面に対してオゾンガスを供給することにより、前記変質層を除去する工程と、
b)前記a)工程の後、前記第1処理位置よりも前記隙間が小さい第2処理位置に前記基板を配置しつつ、前記主面に対して前記オゾンガスを供給することにより、前記レジストを除去する工程と、
を備え、
前記オゾンガスは、前記処理空間を形成する処理空間形成部の前記ホットプレートに対向する部分に設けられた加熱部により加熱されて前記主面に対して供給されることを特徴とするレジスト除去方法。 - レジスト除去装置であって、
外部から遮断された処理空間を形成する処理空間形成部と、
前記処理空間に配置され、所定の温度に加熱されるホットプレートと、
表面に変質層が形成されたレジストのパターンを主面上に有する基板を前記処理空間において保持する保持部と、
前記保持部を前記ホットプレートに対して相対的に移動する移動機構と、
前記主面に対してオゾンガスを供給するオゾンガス供給部と、
前記処理空間形成部において、前記オゾンガスの供給口の周囲で、前記オゾンガスを加熱するために前記処理空間形成部の前記ホットプレートに対向する部分に設けられた加熱部と、
前記ホットプレートに対して隙間を空けた第1処理位置に前記基板を配置して前記加熱部で加熱された前記オゾンガスによる前記変質層の除去を行い、続いて、前記移動機構を制御することにより、前記第1処理位置よりも前記隙間が小さい第2処理位置に前記基板を配置して前記オゾンガスによる前記レジストの除去を行う制御部と、
を備えることを特徴とするレジスト除去装置。
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