JP7088282B2 - 冷却構造体、電力増幅器及び送信機 - Google Patents

冷却構造体、電力増幅器及び送信機 Download PDF

Info

Publication number
JP7088282B2
JP7088282B2 JP2020505041A JP2020505041A JP7088282B2 JP 7088282 B2 JP7088282 B2 JP 7088282B2 JP 2020505041 A JP2020505041 A JP 2020505041A JP 2020505041 A JP2020505041 A JP 2020505041A JP 7088282 B2 JP7088282 B2 JP 7088282B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pipe
cooling
heating element
plate
cooling structure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020505041A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2019172233A1 (ja
Inventor
孝博 中川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Publication of JPWO2019172233A1 publication Critical patent/JPWO2019172233A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7088282B2 publication Critical patent/JP7088282B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K7/00Constructional details common to different types of electric apparatus
    • H05K7/20Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
    • H05K7/2089Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating for power electronics, e.g. for inverters for controlling motor
    • H05K7/20927Liquid coolant without phase change
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/46Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids
    • H01L23/473Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements involving the transfer of heat by flowing fluids by flowing liquids
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K7/00Constructional details common to different types of electric apparatus
    • H05K7/20Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
    • H05K7/20218Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating using a liquid coolant without phase change in electronic enclosures
    • H05K7/20254Cold plates transferring heat from heat source to coolant
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/58Structural electrical arrangements for semiconductor devices not otherwise provided for, e.g. in combination with batteries
    • H01L23/64Impedance arrangements
    • H01L23/66High-frequency adaptations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Description

本発明は、冷却構造体、電力増幅器及び送信機に関する。
特許文献1には次のようなブロー成形用金型の発明が記載されている。鋼ないし銅のパイプに予め所定の曲げ加工を行い、鋳型内に金型表面に沿って配置しておいて、アルミニウム合金で鋳ぐるむ。それによって金型の強度、剛性を向上させ、鋳抜きにより金型肉厚を薄くすることと、金型全体にわたって金型表面近くに表面プロファイルに沿って加熱冷却媒体の通路を設けることができる、としている。
また特許文献2は水冷式コールドプレートの発明である。アルミニウムプレート3内に蛇行状の金属パイプ2が鋳込まれて冷却水の流路が形成されている。金属パイプの断面形状は、アルミニウムプレートに埋め込まれた部分では偏平、パイプ先端5では丸である。
特開平04-197569号公報 特開平06-030473号公報
特許文献1,2では冷却パイプに比べて発熱体のサイズが大きい。特許文献1では金型自体が鋳込み時に溶湯で加熱される発熱部品であり、当然ながら冷却パイプよりサイズが大きい。特許文献2では図6から分かるように発熱部品1は最も寸法の小さい箇所でも金属パイプ2の径の数倍ある。そのため1つの発熱部品の下に冷却パイプを数回這わせることができ、冷却パイプと発熱体部品の位置関係に多少の誤差があっても、十分冷却可能である。つまり発熱体に対するパイプの配置がおおざっぱでも冷却性能に大きな違いは生じない。しかし発熱体の寸法が冷却パイプの寸法と同程度あるいは発熱体の方が小さい場合だと、冷却パイプを発熱部品に何度も近接させることはできない。発熱部品が高発熱だとこの問題はより深刻になる。
本発明の目的は、以上述べた問題点を解決し、冷却パイプと発熱体との位置関係を適切に保ち、冷却パイプに比べて発熱体のサイズが同程度かそれ以下である場合も十分に冷却できる冷却構造体、電力増幅器及び送信器を提供することである。
本発明は、冷媒の流路が形成された基材と前記基材の外側表面に形成された第1の層を有する冷却パイプと、前記冷却パイプを内部に鋳込んだコールドプレートと、を備え、
前記冷却パイプは、前記コールドプレート上に配置される発熱体から見て前記発熱体の外側45度の範囲内に前記冷却パイプの外形が存在する位置に配置されることを特徴とする冷却構造体である。
本発明によれば、冷却パイプに比べて発熱体のサイズが同程度かそれ以下である場合も十分に冷却できる冷却構造体、電力増幅器及び送信器を提供することが可能になる。
本発明の第1の実施形態の冷却構造体を示す断面図である。 本発明の第1の実施形態の冷却構造体を示す平面図である。 本発明の第1の実施形態の冷却構造体を備えた電力増幅器を示す斜視図である。 図3の電力増幅器を備えた放送用送信機を示す斜視図である。 本発明の第2の実施形態を説明する断面図である。 本発明の第2の実施形態を説明する断面図である。 本発明の第2の実施形態を説明する断面図である。 本発明の第3の実施形態を示す断面図である。 本発明の第3の実施形態を示す断面図である。 本発明の第4の実施形態を示す断面図である。 本発明の第5の実施形態を示す平面図である。 本発明の第6の実施形態の冷却構造体を示す断面図である。 本発明の第7の実施形態の冷却構造体を示す断面図である。
(第1の実施形態)
図1を用いて本発明の第1の実施形態の冷却構造体10を説明する。図1は冷却構造体10の断面図である。冷却構造体10は冷却パイプ20(以下パイプと略称する)、コールドプレート30(以下プレートと略称する)を備えている。プレート30は、所定の厚みを持つ平板状の構造体である。プレート30の形状は本実施形態では略矩形であるが、その他の形状であってもよい。発熱体40はプレート30上に搭載されており、本実施形態では高出力のFET(Field Effect Transistor)である。図1では発熱体40はプレート30の表面を掘って形成した凹みに設置してある。パイプ20はプレート30内に鋳込まれており、パイプ20は、冷却水の流路が形成されたパイプ形状の基材21とこの基材の外側表面に第1の層22を形成して構成している。パイプ20の直径と発熱体40の幅は同程度である。
図1では上下の発熱体40の端から出る45度の線を破線100で示している。パイプ20は、発熱体40の端から見て、発熱体の外側のθ=45度の範囲内にパイプ20の外形が存在する位置に配置すればよい。図1はパイプ20の外形が、45度の2本の破線100の交点にちょうど接している状態、つまり図1はパイプ20が、発熱体40の左右の最外側つまり発熱体40から最も遠い場所二か所に位置した状態を示している。図1内の破線で囲まれた内側領域のどこかにパイプ20の外形が接触していればよい。高発熱体に対してこのような位置関係になるようにパイプを配置すれば、高発熱体とパイプを極めて近接させることができ、発熱体のサイズがパイプに比べて同程度かそれ以下の場合でも十分に冷却することができる。
特許文献1は金型自体が鋳込み時に溶湯で加熱される発熱部品であり、冷却パイプよりも寸法がかなり大きい。また特許文献2の発熱部品の最も寸法の小さい箇所でも金属パイプの径の数倍ある。特許文献1,2では冷却パイプと発熱部品の位置関係に多少の誤差があっても、1つの発熱部品の下に冷却パイプを数回這わせることができることもあって、十分冷却可能である。しかし本実施形態のように発熱体の寸法がパイプの寸法と同程度あるいは発熱体の方が小さい場合だと、冷却パイプを発熱部品に何度も近接させることはできない。発熱部品が高発熱だとこの問題はより深刻になる。しかし本実施形態では上述のように高発熱体とパイプを極めて近接させることができ、この問題を解決できる。
パイプ20の基材21は熱伝導性の良い材料例えば銅(Cu)、銅を含む合金、ステンレス鋼、黒鉛等を用いる。第1の層22は基材21の外側表面にメッキ等で形成した被覆層であり、通常は基材とは別の材料を用いる。材料としては黒鉛の塗装、吹付等による被覆層を用いるか、あるいは鉄(Fe)、クロム(Cr)、銀(Ag)、金(Au)、チタン(Ti)その他の金属やそれらの合金のメッキ層を用いることができる。例えば銅パイプであれば黒鉛で被覆する。なお基材の熱伝導性が良いとは、発熱体を希望の温度まで冷却するのに十分な程度に熱を冷却水に伝達できるという意味である。
なお、プレート30の材料は、アルミニウムまたはアルミニウム合金であることが好ましい。アルミニウムは熱伝導性が高いため、発熱体を冷却するための冷却水の冷却性能を十分に発揮させることができるからである。
なお、鋳込みの際に、プレート30内部にできる空間(鬆)を電気的に除去する必要がある場合、該空間が比較的発生しづらい純アルミニウムを採用するとよい。
なお、第1の層22の厚みは特に限定されず、パイプ20内を流れる冷却水の冷却性能を十分に発揮でき、且つ、パイプ20がプレート30の溶湯によって損傷を受けない厚みであればよい。また、パイプ20の内径および肉厚は特に限定されない。
プレート30の厚みも、特に限定されず、パイプ20の外径よりも大きく、且つ、冷却水の冷却性能を十分に発揮できる厚みであればよい。プレート30は、所望の厚みよりやや厚く成形した後、所望の厚みになるまで切削することで形成してもよい。
図2は図1の冷却構造体10をプレート30の上方から見た平面図である。パイプ20は発熱体40を配置した箇所の下を通るよう蛇行させて配置している。発熱体40の平面形状はほぼ長方形で、長手方向(長さ方向)と短手方向(幅方向)ある。実際にはパイプ20はプレート内に鋳込まれていて外からは見えないが、図2ではそれを露出させて表示している。図中の矢印は冷却水の流れる方向である。プレート側面に設けたパイプ端部201,202で外部のホースと接続して冷却水を循環できるようにする。図2ではパイプ端部201,202はプレート30の同じ側面に設けてあるが、異なる側面に設けても良い。
プレート30上で、発熱体を6個、発熱体の長手方向に直線状に配列し、発熱体の下のプレート内にパイプが走っている。プレート30の裏面上にも発熱体を6個、発熱体の長さ方向に直線状に搭載している(図2では不図示)。図2中のパイプ押さえ35は、鋳込む際に金型内でパイプ20が動かないように、金型に設ける押さえの形状が、プレート30に移ったものである。
図1,図2では、発熱体40をプレート30の両面に搭載しているが、片面にだけ搭載してもよい。その場合も同様であり、発熱体40の端から見て、発熱体40の外側のθ=45度の範囲内にパイプ20の外形が存在すればよい。
図3は図1,2の冷却構造体10を備えた電力増幅器50を示す斜視図である。プレート上には発熱体40としてFET以外に例えばキャパシタ、インダクタ、抵抗等も搭載し、同軸ケーブル等で配線を施し、筐体に収容して電力増幅器50を構成する。図3ではFET以外の部品は示していない。図3では冷却構造体10は1枚しか示していないが複数枚積層しても構わない。
図4は図3で述べた電力増幅器50を備えた放送用送信機60を示す斜視図である。冷却構造体10を備えた電力増幅器50をラック70内に複数個収容している。電力増幅器50は放送用の電波を増幅し、図示しないアンテナに出力する。地上デジタル放送であれば送信電波の周波数は数百MHzである。電力増幅器50の数は特に制限はないが要求出力等に応じて設定する。放送用送信機60は電力増幅器50の他に電力増幅器50の制御を行う制御部、冷却水の流出入機構(いずれも不図示)を備えている。
以下、発熱体がFETの場合の発熱量、寸法等を述べる。FET1個の発熱量はFETの種類によって変わるが、例えば100W,150W、200Wあるいはそれ以上である。150WのFETをパッケージに実装した場合の、パッケージの外形平面寸法は約40mm×約10mmであり、1mm当たりの発熱量が150W/(40mm×10mm)=375mWと、面積当たりの発熱量が極めて高い。
またプレートは矩形であり平面寸法は縦横それぞれ数百mm、厚さは20mmから30mmである。パイプの外径は約12~13mmであり、FETの幅10mmより大きい。
プレートの厚さを25mm、パイプ外径を12mmとすると、パイプとFETが最も接近した箇所で(25-12)/2=6.5mmとなり、両者が非常に近接し、冷却効率が向上する。
また使用するFETは種々あり、パイプの外径13mmと同じ幅もあり、また1、2mm大きいものもある。また1枚のプレート内を蛇行するパイプは引き回し長さが約1000mm-2000mmで、1つのFETの長さの一例(約40mm)に比べて極めて長く、数十倍になる。FETの長さ方向をパイプが伸びる方向と平行に配置した場合、1000/40~2000/40で25倍から50倍である。
(第2の実施形態)
図5は本発明の第2の実施形態を説明する断面図である。本実施形態ではパイプ20はプレート30の両面に搭載した発熱体40の直下に位置するように鋳込んでいる。図5ではパイプ20の基材21と第1の層22を一体に表示している。またパイプ20は図の奥で左側に曲っており、それを205として示している。
本実施形態ではプレート30の主面(面積の広い面)上方から見て上下の発熱体40が同じ位置になるように搭載しており、しかも上下の発熱体40の中心c1、c2を結ぶ線上にパイプ20の中心c3が来るように配置する。このような位置関係に配置すれば、1本のパイプ20を2つの発熱体40に近接させることができ、発熱体40からの放熱が効率よくパイプ20に到達する。パイプ20に到達した熱はその中を流れる冷却水で排出される。2つの発熱体40の発熱量が同じであれば、パイプ20の中心c3は2つの発熱体40から等距離つまり上述の線の中央に位置するように配置するとよい。
しかし設計の都合によって、プレート30の上方から見て上下の発熱体40が同じ位置にならず、ずれることもある。その場合は図6に示すように、上下の発熱体40の中心c1、c2を結ぶ線上にパイプ20の中心c3が位置するように配置するとよい。
設計の都合等によって2つの発熱体40の発熱量が異なる場合は、パイプ20は等距離ではなく、発熱量の大きい発熱体の近くに偏らせて配置するとよい。例えば2つの発熱体の発熱量が2:1である場合、図7に示すように、パイプ20の中心を、上下の発熱体の中心を結ぶ線を1:2に分けた「1」の位置に来るように配置する。パイプには径があるので、このように配置してパイプが発熱量の大きい発熱体に接触したり、パイプと発熱体の間の距離が、鋳込みで十分溶湯が入らないほど薄くなったりすることがある。その場合は、製造技術上可能な範囲でパイプが「1」の位置に近づくようにする。
(第3の実施形態)
図8,図9は本発明の第3の実施形態を示す断面図である。パイプが発熱体40の直下に位置するように鋳込むことに変わりはないが、本実施形態ではパイプを2本(冷却パイプ20a,20b)にしている。冷却パイプ20aと冷却パイプ20bは接している。図8ではプレート30の主面と平行な方向に2本並べ、それぞれの冷却パイプ20a,20bの径は1本だけ配置する場合よりも小さくしている。2本にすると1本の場合よりも発熱体40から見たパイプの表面積が増え、冷却水の流量等他の条件が同じでも、1本の場合に比べ冷却効率が向上する。
図9では2本のパイプ20a,20bをプレート30の厚さ方向に並べている。それぞれのパイプ20a,20bの径は1本だけ配置する場合よりも小さくしている。
(第4の実施形態)
図10は本発明の第4の実施形態を示す断面図である。本実施形態では冷却パイプ23の断面を円形ではなく扁平な形状にする。図10ではプレート30の厚さ方向が主面方向より径を小さくしている。図10ではパイプ断面は陸上競技のトラックに類似した形状である。扁平形状の長い側、図10でいえばトラックの直線コースに相当する側を発熱体40に面するようにする。このようにするとプレート30を薄くすることができ、しかもプレート30の主面の面積に対する扁平パイプの面積の割合が大きくなり冷却効率が向上する。別の言い方をすればプレートの厚さに制限があるときにパイプの断面積を大きくできる。
なおプレート30内に鋳込んだパイプ全体を扁平形状にしても良く、発熱体の下だけを扁平形状にしてもよい。またパイプ断面の形状は、プレートの主面方向に長い楕円形等でもよく、図8、9のように2本にしてもよい。
(第5の実施形態)
図11は本発明の第5の実施形態を示す平面図である。図5では1本のパイプを発熱体40の下に配置したが、本実施形態では発熱体40の下では冷却パイプ20を25a、25bの2本に分岐させ、発熱体40の斜め下のプレート30内に位置するように鋳込む。
本実施形態でも第1の実施形態と同じく、分岐冷却パイプ25a、25bはそれぞれ発熱体から見て45度以内のプレート30内に鋳込んでいる。分岐冷却パイプ25a、25bの径は冷却パイプ20の半分である。分岐冷却パイプ25a、25bの外径は同じである。内径も同様に2本で同じである。
パイプが発熱体直下にあると、他の条件が同じであれば、より効率よく冷却できるが、何らかの理由で直下に配置できないか、配置できても発熱体から距離を取らざるを得ない場合がある。その場合、本実施形態のようにパイプを分岐させ、発熱体の両側の斜め下方から冷却する。例えば次のような場合に分岐が有効である。プレート30の表面にネジ穴を開孔しておき、プレート30に発熱体を固定する際、雄ネジをネジ穴にねじ込んで発熱体の端子を雄ネジとプレート30で挟んで固定する。ネジ穴とパイプ20を接触させるわけにはいかないので、ネジ穴はパイプ20が配置されない位置に開孔する必要がある。そのため発熱体の直下にパイプ20を配置しようとすると、発熱体とパイプの距離を遠くせざるを得ない。すると発熱体の発熱量が大きい場合に十分な冷却ができなくなる恐れがある。しかし本実施形態ではパイプを発熱体40の両脇に分岐させているため、ネジ穴と重ならないようにすることができる。
なお図11ではパイプは発熱体の下で2本に分岐しているが、例えば3本かそれ以上分岐させてもよい。また分岐させたパイプの断面形状を図10のように扁平にしてもよい。
(第6の実施形態)
図12は本発明の第6の実施形態の冷却構造体10を示す断面図である。上述の実施形態ではパイプ表面に形成する被覆層は一層であったが、本実施形態では二層形成する。パイプ20は、パイプ状の基材である銅パイプ81と、銅パイプ81の外側表面に形成された第1の層である第1メッキ層82と、第1メッキ層82の外側に形成された第2の層である第2メッキ層83とを有する。
基材は、冷却水の流路が形成されたパイプである。基材は、熱伝導性が良い材料(第1の材料)で構成される。基材の熱伝導性が良いとは、発熱体を希望の温度まで冷却するのに十分な程度に冷却水に熱を伝導できることを言う。熱伝導性が良い材料とは、例えば、ステンレス鋼よりも高い熱伝導率を有する材料である。なお、本実施形態の基材の材料は、銅であることが好ましい。なぜなら銅パイプ81は、熱伝導性が良く、耐食性が高く、安価であるため、冷却構造体10の生成コストを抑えることができるからである。従って本実施形態では基材が銅パイプであるとして説明する。なお、基材の材料は、銅に限定されず、銅を含む合金であってもよい。
第1の層は、銅パイプ81の外側表面に形成される。第1の層は、鋳込みの際に溶湯に溶けない程度の耐熱性を有し、プレート30の材料と親和性が高い材料(第2の材料)で構成される。なお、第1の層は、鉄で構成された鉄メッキであることが好ましい。なぜならば、鉄で構成された鉄メッキは、耐熱性が高いため、鋳込みの際に高温の溶湯(プレート30の材料の溶湯)に溶融しない。その結果、銅パイプ81が高温の溶湯に接触することを防ぐことができる。従って本実施形態では、第1の層である第1メッキ層82が鉄メッキであるとして説明を行う。なお、第1の層は、鉄で構成される鉄メッキに限定されず、クロムメッキであってもよいし、ニッケルメッキであってもよいし、その他の、耐熱性を有しプレート30の材料と親和性が高い材料であってもよい。
第2の層は、第1メッキ層82の表面に形成される。第2の層は、第1の層の材料と親和性の高く、且つ、プレート30の材料と親和性が高い材料(第3の材料)で構成される。プレート30の材料と親和性が高いとは、鋳込み時に、第3の材料がプレート材料との間で濡れ性が良く、プレート内部に空間(鬆)が発生しにくいことを言う。なお、第2の層の材料は、プレート30の形成に用いる溶湯によって少なくとも一部が熔解するものであることが好ましい。鋳込みの際に第2の層が溶湯によって少なくとも一部が溶融することにより、互いに親和性が高い材料で構成される、第1の層およびプレート30は、これらと親和性が高い材料で構成される、溶け出した第2の層を介して、結合することができる。第2の層としては、銀(Ag)で構成される銀メッキ、金(Au)で構成される金メッキ、チタン(Ti)で構成されるチタンメッキ、その他の金属やその合金で構成されるものを用いることができる。
以上のように、パイプ20は、銅パイプ81に対し、第1メッキ層82が施され、更にその上に第2メッキ層83が施されたものであることが好ましい。また、上述した通り、発熱体40に沿うように形成されたパイプ20がプレート30の内部に鋳込まれるため、パイプ20は、図1-11に示す通り、発熱体40を効果的に冷却可能な位置に配置される。これにより、冷却構造体10は、パイプ20の流路を流れる冷却水によって、発熱体40を効果的に冷却することができる。
なお、パイプ20は、鋳込みの前に発熱体40に沿うような形状に形成されるが、このような形状に形成されるタイミングは、第1メッキ層82および第2メッキ層83が施された後であってもよいが、第1メッキ層82および第2メッキ層83を施される前の方が好ましい。つまり、パイプ20は、発熱体40に沿うように形成された銅パイプ81に対し、第1メッキ層82および第2メッキ層83を施すことによって形成される方が好ましい。これにより、銅パイプ81全体にわたって、第1メッキ層82および第2メッキ層83を、斑になることなく施すことができるからである。
プレート30は、鋳型を用いて、パイプ20(第1メッキ層82及び第2メッキ層83が施された銅パイプ81)を内部に鋳込んで、プレート状に形成されたものである。プレート30は、熱伝導性が良く、第2の材料および第3の材料と親和性が高い材料(第4の材料)で構成される。第4の材料の熱伝導性が良いとは、発熱体を希望の温度まで冷却するのに十分な程度に熱をパイプに伝達できるという意味である。第2の材料および第3の材料と親和性が高いとは、鋳込み時に、第4の材料が第2、第3の材料との間で濡れ性が良く、プレート内部に空間(鬆)が発生しにくいことを言う。
本実施形態の冷却構造体10によれば、サイズを大きくすること無く、冷却水の流路の形状の自由度を上げ、且つ、冷却構造体10の冷却性能を発揮することができる。
例えば、銅などの金属パイプを内部に設置した鋳型に、溶湯に流し込むことにより形成された冷却構造体は、上述した通り、該冷却構造体のサイズが大きくなればなるほど、鋳型内の溶湯の温度が低下するまでに時間がかかり、金属パイプが長時間高温の溶湯にさらされてしまう。従って例えば、100mm×100mm程度のサイズの冷却構造体の場合、金属パイプの機能を有した状態で該金属パイプを鋳込むことができるが、それ以上のサイズの冷却構造の場合、鋳込みの途中で該金属パイプが変形したり溶融したりし、冷却水を十分に流すことができなくなってしまう可能性がある。
しかしながら、本実施形態の冷却構造体10では、パイプ20は銅パイプ81の表面に耐熱性を有する材料で構成された第1メッキ層82が形成されているため、溶湯で溶け出さない。また、第1メッキ層82の材料およびプレート30の材料と親和性が高い材料で形成された第2の層(第2メッキ層83)が第1メッキ層82の表面に形成される。これにより、パイプ20を内部に鋳込んだプレート30は、パイプ20と容易に結合する。従って、パイプ20を流れる冷却水によって、冷却構造体10に搭載される発熱体40を十分に冷却することができ、冷却構造体10の冷却性能を十分に発揮することができる。
従って、送信機のように、冷却構造体10のサイズが大きい装置にも、本実施形態の冷却構造体10を用いることができる。なお、本実施形態に係る冷却構造体10は、ラック内に収納して使用する電力増幅器50に搭載される冷却構造体10であれば、どの様な機器であってもよい。例えば飲料水を冷却する冷却サーバ等にも適用できる。
(第7の実施形態)
図13は本発明の第7の実施形態の冷却構造体90を示す断面図である。
冷却構造体90は、冷却パイプ950と冷却パイプ950を内部に鋳込んだコールドプレート930を備えている。発熱体940はコールドプレート930上に配置する。冷却パイプ950は冷媒の流路が形成された基材91と基材91の外側表面に形成された第1の層92を有する。冷却パイプ950は、コールドプレート930上に配置される発熱体から見て発熱体の外側45度の範囲内に冷却パイプの外形が存在する位置に配置する。
図13では発熱体940から出る45度の線を破線900で示している。冷却パイプ950は、発熱体940から見て、2つの破線900の範囲内にパイプ950の外形が存在する位置に配置すればよい。発熱体940が高発熱体であってもこのような位置関係になるように冷却パイプを配置すれば、高発熱体と冷却パイプを極めて近接させることができ、発熱体のサイズが冷却パイプに比べて同程度かそれ以下の場合でも十分に冷却することができる。
(他の実施形態)
上述の実施形態ではパイプに水を流して発熱体を冷却したが、水よりも低沸点の冷媒例えば代替フロン等を用いた沸騰冷却方式を用いることも可能である。
また上述の実施形態を組み合わせることも可能である。例えば扁平パイプを分岐させる等も可能である。
上記の実施形態の一部または全部は、以下の付記のようにも記載されうるが、以下には限られない。
(付記1)
冷媒の流路が形成された基材と前記基材の外側表面に形成された第1の層を有する冷却パイプと、前記冷却パイプを内部に鋳込んだコールドプレートと、を備え、
前記冷却パイプは、前記コールドプレート上に配置される発熱体から見て前記発熱体の外側45度の範囲内に前記冷却パイプの外形が存在する位置に配置されることを特徴とする冷却構造体。
(付記2)
前記発熱体1つ当たりの発熱量が少なくとも100Wである付記1に記載の冷却構造体。
(付記3)
前記発熱体は前記コールドプレートの両面に設けてある付記1または2に記載の冷却構造体。
(付記4)
前記発熱体の寸法は前記冷却パイプの径と同程度かそれより小さい付記1から3のいずれか一項に記載の冷却構造体。
(付記5)
前記コールドプレート内の前記冷却パイプの長さは前記発熱体の寸法の数十倍である付記1から4のいずれか一項に記載の冷却構造体。
(付記6)
前記冷却パイプは前記発熱体直下の前記コールドプレート内に設ける付記1から5のいずれか一項に記載の冷却構造体。
(付記7)
前記冷却パイプは複数本に分かれ互いに接している付記1から6のいずれか一項に記載の冷却構造体。
(付記8)
前記コールドプレートの厚さ方向において前記冷却パイプの断面が扁平な形状である付記1から7のいずれか一項に記載の冷却構造体。
(付記9)
前記冷却パイプは前記発熱体の下で複数本に分岐している付記1から8のいずれか一項に記載の冷却構造体。
(付記10)
前記基材は熱伝導性の良い第1の材料で形成され、
前記第1の層の外側に第2の層が形成され、前記第1の層は耐熱性を有する第2の材料で構成され、前記第2の層は前記第2の材料と親和性の高い第3の材料で構成され、
前記コールドプレートは、熱伝導性の良い第4の材料で構成され、
前記第2の材料および前記第3の材料は、夫々前記第4の材料と親和性が高い、
付記1から9のいずれか一項に記載の冷却構造体。
(付記11)
付記1から10のいずれか1項に記載の冷却構造体を備える電力増幅器。
(付記12)
付記11に記載の電力増幅器を備える送信機。
以上、上述した実施形態を模範的な例として本発明を説明した。しかしながら、本発明は、上述した実施形態には限定されない。即ち、本発明は、本発明のスコープ内において、当業者が理解し得る様々な態様を適用することができる。
この出願は、2018年3月8日に出願された日本出願特願2018-041922を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
10、90 冷却構造体
20、20a、20b、23、205、950 冷却パイプ
21、91 基材
22、92 第1の層
25a、25b 分岐冷却パイプ
30、930 コールドプレート
35 パイプ押さえ
40、940 発熱体
50 電力増幅器
60 放送用送信機
70 ラック
100、900 45度の破線
201、202 パイプ端部

Claims (9)

  1. 冷媒の流路が形成された基材と前記基材の外側表面に形成された第1の層を有する冷却パイプと、前記冷却パイプを内部に鋳込んだコールドプレートと、を備え、
    前記冷却パイプは、前記コールドプレート上に配置される発熱体から見て前記発熱体の外側45度の範囲内に前記冷却パイプの外形が存在する位置に配置される冷却構造体であって、
    前記基材は熱伝導性の良い第1の材料で形成され、
    前記第1の層の外側に第2の層が形成され、前記第1の層は耐熱性を有する第2の材料で構成され、前記第2の層は前記第2の材料と親和性の高い第3の材料で構成され、
    前記コールドプレートは、熱伝導性の良い第4の材料で構成され、
    前記第2の材料および前記第3の材料は、夫々前記第4の材料と親和性が高い、
    冷却構造体。
  2. 前記発熱体の寸法は前記冷却パイプの径と同程度である請求項1に記載の冷却構造体。
  3. 前記発熱体1つ当たりの発熱量が少なくとも100Wである請求項1または2に記載の冷却構造体。
  4. 前記コールドプレート内の前記冷却パイプの長さは前記発熱体の寸法の数十倍である請求項1から3のいずれか一項に記載の冷却構造体。
  5. 前記冷却パイプは複数本に分かれ互いに接している請求項1から4のいずれか一項に記載の冷却構造体。
  6. 前記コールドプレートの厚さ方向において前記冷却パイプの断面が扁平な形状である請求項1から5のいずれか一項に記載の冷却構造体。
  7. 前記冷却パイプは前記発熱体の下で複数本に分岐している請求項1から6のいずれか一項に記載の冷却構造体。
  8. 請求項1からのいずれか1項に記載の冷却構造体を備える電力増幅器。
  9. 請求項に記載の電力増幅器を備える送信機。
JP2020505041A 2018-03-08 2019-03-05 冷却構造体、電力増幅器及び送信機 Active JP7088282B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018041922 2018-03-08
JP2018041922 2018-03-08
PCT/JP2019/008573 WO2019172233A1 (ja) 2018-03-08 2019-03-05 冷却構造体、電力増幅器及び送信機

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2019172233A1 JPWO2019172233A1 (ja) 2021-02-04
JP7088282B2 true JP7088282B2 (ja) 2022-06-21

Family

ID=67846547

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020505041A Active JP7088282B2 (ja) 2018-03-08 2019-03-05 冷却構造体、電力増幅器及び送信機

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP3764396A4 (ja)
JP (1) JP7088282B2 (ja)
WO (1) WO2019172233A1 (ja)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001168569A (ja) 1999-09-30 2001-06-22 Calsonic Kansei Corp 電子部品用冷却装置
JP2003121039A (ja) 2001-07-17 2003-04-23 Hitachi Kokusai Electric Inc 電子装置の液体冷却方法
JP2003130517A (ja) 2001-07-17 2003-05-08 Hitachi Kokusai Electric Inc 電子装置用冷却装置及び冷却装置付電子装置
JP2005229033A (ja) 2004-02-16 2005-08-25 Hitachi Ltd 液冷システムおよびそれを備えた電子機器
JP2008227434A (ja) 2007-03-16 2008-09-25 Nec Corp 発熱素子の放熱装置
JP2016035945A (ja) 2014-08-01 2016-03-17 株式会社日立製作所 パワーモジュールおよび熱拡散板
JP2017211837A (ja) 2016-05-25 2017-11-30 富士通株式会社 冷却装置及び電子機器

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04197569A (ja) 1990-11-29 1992-07-17 Ube Ind Ltd ブロー成形用金型
JP3347769B2 (ja) 1992-07-09 2002-11-20 マツダ株式会社 多重伝送装置
US6711017B2 (en) * 2001-07-17 2004-03-23 Hitachi Kokusai Electric Inc. Cooling apparatus for electronic unit
US7673389B2 (en) * 2005-07-19 2010-03-09 International Business Machines Corporation Cold plate apparatus and method of fabrication thereof with a controlled heat transfer characteristic between a metallurgically bonded tube and heat sink for facilitating cooling of an electronics component
JP6610475B2 (ja) 2016-09-09 2019-11-27 株式会社ダイフク 容器保管設備
WO2018235726A1 (ja) * 2017-06-19 2018-12-27 日本電気株式会社 冷却構造体、冷却構造体の製造方法、電力増幅器、および、送信機

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001168569A (ja) 1999-09-30 2001-06-22 Calsonic Kansei Corp 電子部品用冷却装置
JP2003121039A (ja) 2001-07-17 2003-04-23 Hitachi Kokusai Electric Inc 電子装置の液体冷却方法
JP2003130517A (ja) 2001-07-17 2003-05-08 Hitachi Kokusai Electric Inc 電子装置用冷却装置及び冷却装置付電子装置
JP2005229033A (ja) 2004-02-16 2005-08-25 Hitachi Ltd 液冷システムおよびそれを備えた電子機器
JP2008227434A (ja) 2007-03-16 2008-09-25 Nec Corp 発熱素子の放熱装置
JP2016035945A (ja) 2014-08-01 2016-03-17 株式会社日立製作所 パワーモジュールおよび熱拡散板
JP2017211837A (ja) 2016-05-25 2017-11-30 富士通株式会社 冷却装置及び電子機器

Also Published As

Publication number Publication date
WO2019172233A1 (ja) 2019-09-12
EP3764396A1 (en) 2021-01-13
EP3764396A4 (en) 2021-04-28
JPWO2019172233A1 (ja) 2021-02-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5788069B1 (ja) 平面型ヒートパイプ
US11134587B2 (en) Power module with integrated cooling device
US6799628B1 (en) Heat exchanger having silicon nitride substrate for mounting high power electronic components
JP5858594B2 (ja) 熱管理装置及び熱管理装置の製造方法
JP2006261555A (ja) 冷却構造体、ヒートシンクおよび発熱体の冷却方法
JP2007335663A (ja) 半導体モジュール
CN102449758A (zh) 受冷却的电结构单元
JP4965242B2 (ja) アルミニューム製ヒートシンクの製造方法
CN107078111A (zh) 冷却装置、用于加工冷却装置的方法和功率电路
JP2008226916A (ja) 放熱部品、その製造方法および放熱構造体
JP7088282B2 (ja) 冷却構造体、電力増幅器及び送信機
JP7003992B2 (ja) 冷却構造体、冷却構造体の製造方法、電力増幅器、および、送信機
JP5093161B2 (ja) ヒートシンク
US9698331B2 (en) Thermoelectric heat exchanger
JP2012028720A (ja) 冷却装置
JP2007073904A (ja) 回路基板
JP5555480B2 (ja) 可撓性接続部材及びその接続構造
WO2024042791A1 (ja) 熱伝導接合構造、熱伝導接合方法、該熱伝導接合構造を有するヒートシンク、並びに該熱伝導接合構造を有する半導体装置
JP6998794B2 (ja) 冷却装置
CN101146431B (zh) 冷却结构体、散热设备及发热体的冷却方法
JP2558075B2 (ja) 電気絶縁型ヒートパイプの製造方法
JP6023965B1 (ja) 放冷用熱伝達器及びその製造方法
JPH0573062B2 (ja)
CN117337618A (zh) 热沉结构
EP1275149A1 (en) Apparatus for heat transport away from heated elements and a method for manufacturing the apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200722

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200722

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210928

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20211020

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20211022

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220315

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220412

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220510

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220523

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 7088282

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151