JP7085951B2 - レーザ加工装置およびレーザ加工方法 - Google Patents
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レーザ光源から出射されるレーザビームの光路上に互いに直列に配置されて、レーザ光源から出射されるレーザビームを順次に入射され、互いに直交する二軸方向に、各々入力された超音波の周波数に応じた角度で偏向させて出射させる第1のAODおよび第2のAODの、複数の組と、
第1のAODおよび第2のAODの複数の組から出射されるレーザビームの光路上に互いに直列に配置されるとともに、互いに直角な軸線周りにガルバノミラーが回動するように組み合わされて、第1のAODおよび第2のAODの複数の組から出射されるレーザビームを順次に入射され、各々ガルバノミラーでの反射により偏向させて出射させる第1のガルバノスキャナおよび第2のガルバノスキャナと、
第1のAODおよび第2のAODの複数の組と第1のガルバノスキャナとの間のレーザビームの光路上に配置されて、第1のAODおよび第2のAODの複数の組から出射されるレーザビームの第1のAODの偏向方向の走査焦点および第2のAODの偏向方向の走査焦点をそれぞれ第1のガルバノスキャナおよび第2のガルバノスキャナの何れか一方の位置またはその近傍、好ましくは第1のガルバノスキャナおよび第2のガルバノスキャナの間の位置に位置させるレンズ光学系と、
第2のガルバノスキャナから出射されるレーザビームを加工対象物に垂直に入射させ、その加工対象物の位置で収束させるfθレンズと、
を具えるものである。
レーザ光源から出射されるレーザビームの光路上に互いに直列に配置されて、レーザ光源から出射されるレーザビームを順次に入射され、互いに直交する二軸方向に、各々入力された超音波の周波数に応じた角度で偏向させて出射させる第1のAODおよび第2のAODの、複数の組により、レーザ光源から出射されるレーザビームを前記互いに直交する二軸方向に偏向させて出射させることと、
第1のAODおよび第2のAODの複数の組から出射されるレーザビームの光路上に互いに直列に配置されるとともに、互いに直角な軸線周りにガルバノミラーが回動するように組み合わされて、第1のAODおよび第2のAODの複数の組から出射されるレーザビームを順次に入射され、各々ガルバノミラーでの反射により偏向させる第1のガルバノスキャナおよび第2のガルバノスキャナにより、第1のAODおよび第2のAODの複数の組から出射されるレーザビームを前記互いに直交する二軸方向に偏向させて出射させることと、
第1のAODおよび第2のAODの複数の組と第1のガルバノスキャナとの間のレーザビームの光路上に配置されたレンズ光学系により、第1のAODおよび第2のAODの複数の組から出射されるレーザビームの第1のAODの偏向方向の走査焦点および第2のAODの偏向方向の走査焦点をそれぞれ第1のガルバノスキャナおよび第2のガルバノスキャナの何れか一方の位置またはその近傍、好ましくは第1のガルバノスキャナおよび第2のガルバノスキャナの間の位置に位置させることと、
第2のガルバノスキャナから出射されるレーザビームをfθレンズにより、加工対象物に垂直に入射させ、その加工対象物の位置で収束させることと、
を含んでいる。
2 第1のAOD(音響光学偏向器)
3 第2のAOD(音響光学偏向器)
4 マスク
5 レンズ光学系
6 第1のガルバノスキャナ
7 第2のガルバノスキャナ
8 fθレンズ
9 第2のアパーチャグリル
10 AODユニット
11 1/2波長板
12 反射ミラー
B レーザビーム
FX X軸走査焦点
FY Y軸走査焦点
W 加工対象物
Claims (4)
- 加工対象物にレーザビームを照射して微細な穴空け加工を行うレーザ加工装置であって、
レーザ光源から出射されるレーザビームの光路上に互いに直列に配置されて、レーザ光源から出射されるレーザビームを順次に入射され、互いに直交する二軸方向に、各々入力された超音波の周波数に応じた角度で偏向させて出射させる第1のAODおよび第2のAODの、複数の組と、
第1のAODおよび第2のAODの複数の組から出射されるレーザビームの光路上に互いに直列に配置されるとともに、互いに直角な軸線周りにガルバノミラーが回動するように組み合わされて、第1のAODおよび第2のAODの複数の組から出射されるレーザビームを順次に入射され、各々ガルバノミラーでの反射により偏向させて出射させる第1のガルバノスキャナおよび第2のガルバノスキャナと、
第1のAODおよび第2のAODの複数の組と第1のガルバノスキャナとの間のレーザビームの光路上に配置されて、第1のAODおよび第2のAODの複数の組から出射されるレーザビームの第1のAODの偏向方向の走査焦点および第2のAODの偏向方向の走査焦点をそれぞれ第1のガルバノスキャナおよび第2のガルバノスキャナの何れか一方の位置またはその近傍に位置させるレンズ光学系と、
第2のガルバノスキャナから出射されるレーザビームを加工対象物に垂直に入射させ、その加工対象物の位置で収束させるfθレンズと、
を具える。 - 請求項1記載のレーザ加工装置であって、
前記レンズ光学系は、第1のAODおよび第2のAODの複数の組から出射されるレーザビームの第1のAODの偏向方向の走査焦点および第2のAODの偏向方向の走査焦点をそれぞれ第1のガルバノスキャナおよび第2のガルバノスキャナの間に位置させる。 - 加工対象物にレーザビームを照射して微細な穴空け加工を行うレーザ加工方法であって、
レーザ光源から出射されるレーザビームの光路上に互いに直列に配置されて、レーザ光源から出射されるレーザビームを順次に入射され、互いに直交する二軸方向に、各々入力された超音波の周波数に応じた角度で偏向させて出射させる第1のAODおよび第2のAODの、複数の組により、レーザ光源から出射されるレーザビームを前記互いに直交する二軸方向に偏向させて出射させることと、
第1のAODおよび第2のAODの複数の組から出射されるレーザビームの光路上に互いに直列に配置されるとともに、互いに直角な軸線周りにガルバノミラーが回動するように組み合わされて、第1のAODおよび第2のAODの複数の組から出射されるレーザビームを順次に入射され、各々ガルバノミラーでの反射により偏向させる第1のガルバノスキャナおよび第2のガルバノスキャナにより、第1のAODおよび第2のAODの複数の組から出射されるレーザビームを前記互いに直交する二軸方向に偏向させて出射させることと、
第1のAODおよび第2のAODの複数の組と第1のガルバノスキャナとの間のレーザビームの光路上に配置されたレンズ光学系により、第1のAODおよび第2のAODの複数の組から出射されるレーザビームの第1のAODの偏向方向の走査焦点および第2のAODの偏向方向の走査焦点をそれぞれ第1のガルバノスキャナおよび第2のガルバノスキャナの何れか一方の位置またはその近傍に位置させることと、
第2のガルバノスキャナから出射されるレーザビームをfθレンズにより、加工対象物に垂直に入射させ、その加工対象物の位置で収束させることと、
を含んでいる。 - 請求項3に記載のレーザ加工方法であって、
前記レンズ光学系により、第1のAODおよび第2のAODの複数の組から出射されるレーザビームの第1のAODの偏向方向の走査焦点および第2のAODの偏向方向の走査焦点をそれぞれ第1のガルバノスキャナおよび第2のガルバノスキャナの間に位置させる。
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JP2018166319A JP7085951B2 (ja) | 2018-09-05 | 2018-09-05 | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
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