JP7085758B2 - 光学測定装置、光源装置 - Google Patents
光学測定装置、光源装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7085758B2 JP7085758B2 JP2019090730A JP2019090730A JP7085758B2 JP 7085758 B2 JP7085758 B2 JP 7085758B2 JP 2019090730 A JP2019090730 A JP 2019090730A JP 2019090730 A JP2019090730 A JP 2019090730A JP 7085758 B2 JP7085758 B2 JP 7085758B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- light
- filament
- optical
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 137
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 70
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 51
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 51
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 45
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 22
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 17
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 claims description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 28
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 19
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000005457 Black-body radiation Effects 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 3
- 238000012742 biochemical analysis Methods 0.000 description 2
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 2
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 108010043121 Green Fluorescent Proteins Proteins 0.000 description 1
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 description 1
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N iodine Chemical compound II PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 1
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/10—Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/10—Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry
- G01J2003/102—Plural sources
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/061—Sources
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/062—LED's
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
例えば、図26に示すダイクロイックミラーDMを有する光学装置では、ハロゲンランプ11zのフィラメント111zから出射された光が測定光学系レンズLE1及びダイクロイックミラーDMを介して試料91に照射され、且つ、LED光源12zから出射された光がレンズLE2を通り、試料91とレンズLE1の間に配置されたダイクロイックミラーDMにより反射されて試料に照射され、試料91を通った光が測定光学系側レンズLE3を介して計測用分光器220zに入光する。つまり、図26に示す例では、ダイクロイックミラーDMやLED光源12z、ハロゲンランプ11zやレンズLE1,LE2,LE3等について、煩雑な光軸調整を要する。
複数の波長において測定対象物の吸光度を測定する光学測定装置であって、
光源装置と、
前記光源装置から前記測定対象物に光を照射し、当該測定対象物からの光に基づいて前記測定対象物の光学測定を行う光学測定部とを備え、
前記光源装置は、第1の光源と、第2の光源と、前記第1の光源及び前記第2の光源を駆動する光源制御部とを有し、
前記第1の光源は、ハロゲンランプ又は白熱電球であり、かつ、照射範囲の一部が前記光学測定に利用される有効利用範囲となるものであり、
前記第2の光源は、前記第1の光源のフィラメントに短波長帯の光を照射可能な半導体光源であり、
前記光源制御部は、前記第1の光源を発熱発光駆動するとともに、前記光学測定に必要な強度となるように前記第2の光源から前記短波長帯の光を出射するように、かつ、前記第2の光源の時間変動低減手段を有して前記第2の光源を駆動し、
前記光源装置は、前記第1の光源からの光と、前記第2の光源からの光を前記フィラメントに照射することによって当該フィラメントの表面で拡散反射した光との合波光を前記測定対象物へ照射する
ことを特徴とする。
また、本発明によれば、精度を要求されない簡単な構造で、第1の光源からの光と、第2の光源からの狭帯域の光との合波光が、あたかも第1の光源からの単一の光のように取り扱える光学測定装置に適した光源装置を提供することができる。
また、本発明に係る光学装置は、上記光源装置と、光源装置からの合波光を用いて被照射物の光学測定を行う光学測定部とを有する。
また、この第1の光源は被照射物や光学測定部を通る光軸上に配置されている。
図1は本発明の実施形態に係る光源装置10を示す概念図である。図2は光源装置10の一例を示す図である。
図1、図2に示すように、本発明の実施形態に係る光源装置10は、第1の光源11、及び第2の光源12等を有する。
第1の光源11は、例えば、通電により発熱発光可能(高温発光可能)なフィラメント111を備えるフィラメントランプである。第1の光源11としては、例えば、ハロゲンランプ、白熱電球等を採用することができる。
中空構造のバルブ112内には、クリプトンガスやキセノンガス等の不活性ガスが封入されており、この不活性ガスには微量のハロゲン(ヨウ素、臭素等)が含有されている。
本実施形態では、第1の光源11としてハロゲンランプを採用している。
第2の光源12は、第1の光源11のフィラメント111に、第1の光源の発熱発光による光よりも狭帯域の波長の光を、第1の光源11のフィラメント111に照射可能である。
第2の光源12としてLED光源を採用した場合、例えば、ピーク波長又は中心波長が350~730nmの範囲内の値であり、半値幅が約20nm~100nm程度である。また、第2の光源12として有機EL光源から出射される光の波長帯域のスペクトル幅(半値全幅)は、約70nm~100nmである。
図2に示す例では、長手方向に長い中空構造のバルブ112内に、長手方向に沿ってコイル状のフィラメント111が配置されている。
なお、フィラメント111の一方の端部から引き出された電気線111wが、クランク状に形成されたリード113aに電気的に接続され、他方の端部から引き出された電気線111wがリード113bに電気的に接続されている。
フィラメント111に電気的に接続されているリード113は、封止部材(不図示)を介してバルブ112の外部まで延設されている。このリード113にはランプ点灯のための電流が供給される。
フィラメント111で反射される反射光には、拡散反射光や鏡面反射光がある。反射光は、フィラメント111の形状や表面状態、第2の光源12からフィラメント111に照射される光の入射角度、照射領域の大きさ等により規定される。
本発明に係る光源装置10では、フィラメント111から被照射物に向けて出射される合波光に寄与する反射光の強度が大きくなるように、フィラメント111の形状や表面状態、第2の光源からのフィラメント111に照射される光の入射角度、照射領域の大きさ等が最適化されていることが好ましい。
また、フィラメント111の長手方向に直交し、フィラメント111の略中心を通る線(第1の光源11(フィラメント)と被照射物とを通る光軸LA)と、第2の光源12から出射され、フィラメント111に入射する入射方向とのなす角θが0°以上90°以下の角度範囲、好ましくは、約20°以上70°以下の角度範囲となるように規定されている。
つまり、フィラメント111の合波光の出射側から、第2の光源12からの光がフィラメント111に入射されるように、光源装置10が構成されている。
合波光が照射される被照射物は、光軸上に配置されていてもよいし、合波光のうち鏡面反射光成分の強度が大きくなる位置に被照射物が配置されてもよい。
フィラメント111の長手方向に直交し、フィラメント111の略中心を通る線に沿った方向と、合波光の出射方向とが異なっていてもよい。また、第1の光源11(フィラメント)と被照射物とを通る光軸LAは、フィラメント111の長手方向に直交しなくともよい。
なお、バルブ112は、上記第1の透光部112Raと第2の透光部112Rb以外の領域が光遮蔽部又は光反射部であってもよいし、光を透過する透光部であってもよい。
また、バルブ112の上記第1の透光部112Raと第2の透光部112Rbは、バルブ112の別々の領域に設けられていてもよいし、同じ領域に設けられていてもよいし、一部分重なるように設けられていてもよい。
また、フィラメント111への第2の光源12からの光の入射角度を調整可能な入射角調整手段を、第1の光源11又は第2の光源12に設けてもよい。入射角を容易に調整することができる。
また、合波光や第1の光源11又は第2の光源12からの光を受光する受光手段(受光素子や撮像素子等)を設け、受光手段による受光結果に基づいて、合波光の所定の波長帯域の強度が大きくなるように、光源制御部が回転角調整手段や角度調整手段を制御してもよい。
光学装置100は、光源装置10、フィルタ211、レンズ212、レンズ213、レンズ214、レンズ215、光学測定部としての検出装置220等を有する。
この光学装置100は、光源装置10から出射された光(合波光)がフィルタ211、レンズ212、レンズ213を介して、容器92に収容された、被照射物としての試料91に照射された後、試料91を透過した光が、導光光学系であるレンズ214、レンズ215を介して、光学測定部としての検出装置220に入射される。
検出装置220では、ピンホール221を通過した光を、各波長に分光するグレーティング222(回折格子)により分光し、グレーティング222により分光された各波長の光を受光装置223(受光素子等)により受光し、受光装置223による受光結果を示す信号に基づいて解析装置としてのコンピュータ(不図示)により、試料に関する所定の光学測定処理が行われる。
なお、光学装置100は、上記実施形態に限られるものではなく、本発明に係る光源装置10からの合波光を用いる装置であればよい。
すなわち、第1のモードでは、第1の光源11の高温発光状態のフィラメント111から高温発光による光のみが出射され、第2のモードでは、第1の光源11のフィラメント111の高温発光による光と第2の光源12からの光との合波光がフィラメント111から出射され、その第1のモードと第2のモードを簡単に切替え可能な光源装置10を提供することができる。
図4に示す第2の光源12は、ピーク波長又は中心波長が異なる光を出射可能な複数の半導体光源を備える。詳細には、例えば、半導体光源12Aは、ピーク波長又は中心波長がλa[nm]の波長帯域を含む光を出射し、半導体光源12Bは、ピーク波長又は中心波長がλb[nm]の波長帯域を含む光を出射し、半導体光源12Cは、ピーク波長又は中心波長がλc[nm]の波長帯域を含む光を出射する。
なお、図4では、3個の半導体光源を例示したが、第2の光源12は、2個以上の半導体光源を備えていてもよい。
第1の光源11としてのハロゲンランプは、点灯時の抵抗値は安定する為、電圧制御、電流制御のどちらでも極めて安定した強さの光を出射することができる。これは、点灯時のフィラメント温度と、設置されたランプの雰囲気温度の差が非常に大きく、装置の温度環境等が多少変化してもフィラメント温度への影響が極めて少なく、電気的特性の変化も少ないためである。
つまり、本発明に係る光源装置は、第2の光源12としてのLED素子の発光強度の時間変動を低減する手段(時間変動低減手段)を有することが好ましい。
時間変動低減手段は、LED素子の駆動電流制御を行ってもよく、詳細には、駆動電流制御は、例えばLED素子からの光を受光装置(不図示)で検出し、受光装置による検出値が設定値(一定値又は幅を持つ範囲)となるように、LED素子の駆動電流をフィードバック制御してもよい。
また、時間変動制御手段は、素子温度制御を行ってもよく、詳細には、素子温度制御としては、例えばペルティエ素子等の熱電素子を用いて、第2の光源としてのLED素子の温度が設定値(一定値又は幅を持つ範囲)となるように素子温度を制御する。
また、時間変動制御手段は、駆動電流制御と素子温度制御を組み合わせることにより、上記第2の光源12としてのLED素子の発光強度の時間変動をさらに低減してもよい。
長寿命化のために第1の光源11のフィラメント111を低い温度へ設定した場合、例えば3200Kから2600Kへフィラメントの温度を下げた場合、測定に必要な波長帯域の強度が低下し、充分な光学測定ができない虞がある。
本発明の光源装置10は、フィラメント111から出射される合波光の上記各波長域の強度が測定に必要な強度となるように、第2の光源12から、ピーク波長が900nm、730nm、600nm、480nm等の光をフィラメント111に照射することで、通電により発熱発光したフィラメント111から、所望の波長域の強度の合波光が出射される。
本発明では、例えば、図8に示すように、第1の光源のハロゲンランプ(色温度2850Kと3100Kを比較)による波長340nmでの不足分の光強度を、第2の光源のLED光で補うことができる。また、他の波長での光強度は、要求値に応じて第2の光源からのLED光で補強してもよい。
すなわち、本発明に係る光源装置は、簡単な構成で、第1の光源の長寿化と、比較的低い色温度で第1の光源を駆動時、光測定に用いる波長での光強度の不足分を、波長第2の光源からの光により補うことができる。
本願発明者は、本発明に係る光源装置による効果を確認するために、図9に示すように実際に光源装置を作製した。
第1の光源11としてのフィラメントランプと第2の光源12としてのLED光源(LED素子)との間に集光レンズ13を配置し、LED光源から出射された光を集光レンズ13にて、高温発光状態の第1の光源11のフィラメントランプのフィラメントに照射する。そして、高温発光状態のフィラメントから出射した光と、LED光源からの光の反射光との合波光を撮像装置(不図示)により撮像した。また、その合波光を分光装置(不図示)により分光して、各波長の強度(相対強度)を測定した。
なお、比較のため、第1の比較例の光源装置である高温発光状態のフィラメントランプ(ハロゲンランプ)のみを準備し(LED光の照射をしていない状態)、ハロゲンランプから出射された光を同様に撮像装置(不図示)により撮像した。また、ハロゲンランプから出射された光を分光装置(不図示)により分光して、各波長の強度(相対強度)を測定した。
また、第2の光源12のLED光源からの光を、非通電状態のハロゲンランプのフィラメントに照射して、反射光を同様に撮像装置(不図示)により撮像した。
<第1の比較例>
図10(a)に示すように、通電したフィラメントが高温発光状態となった場合、フィラメントの温度に応じた光がフィラメントから出射される。なお、図10(a)に示す例では、半導体光源からの光はフィラメントに照射されていない。
図10(b)に示すように、非通電時のフィラメントにLED光源から光を照射した場合、その光がフィラメントの表面で反射され、フィラメントから出射される。なお、フィラメントの全部又は一部分にLED光源からの光が照射されるように設定することが好ましい。
図10(c)は、通電により高温発光状態のフィラメントに、半導体光源(LED光源)から出射した光を照射して反射した光と、フィラメントの高温発光による光との合波光の一例を示す写真である。コイル状のフィラメントから合波光が出射しているのを確認することができた。
つまり、本発明に係る光源装置によれば、簡単な構成で、光学測定に必要な波長帯域の合波光を得ることができる。
図13に示すように、本発明に係る光源装置は、ハロゲンランプの色温度を比較的低く設定した場合(色温度2850K)であっても、第2の光源としてのLED光源からのLED光(波長340nm)を第1の光源に照射することにより、合波光の波長340nmの光強度が、ハロゲンランプ単体(色温度3100K)と比較して、同程度の光強度とすることができることを確認できた。 なお、第2の光源のLED光源から出射する光の強度を、光源制御部が適宜調整することで、合波光の上記波長の光強度を容易に制御することができる。
すなわち、本発明に係る光源装置では、光の波長の異なるLED光源からの光をそれぞれ、第1の光源としてのハロゲンランプのフィラメントに照射した場合、第1の光源のフィラメント表面からの合波光が、図14に示すように、上記波長それぞれで光強度を容易に増大させることを確認できた。
図15に示す光学装置100は、第2の光源12としての半導体光源から出射された光が、第1の光源11のフィラメント111に照射され、フィラメント111で拡散反射した光と、フィラメント111の発熱発光による光との合波光が、測定光学系2120(レンズ等)を介して、被照射物としての試料91に照射され、試料91を通った光が測定光学系2140(レンズ等)を介して検出装置220の細孔(アパーチャー220a)に入射するように構成されている。
また、検出装置220では、フィラメント111の有効利用範囲AR220からの光が試料91を通って光学測定に用いられるが、その有効利用範囲AR220の外側については、光学測定にほとんど寄与しない。よって、照射範囲AR12が広すぎることは光学測定としては無駄になるため、第2の光源12は、フィラメント111表面の有効利用範囲AR220と同じ範囲又はそれよりも僅かに広い範囲(照射範囲AR12)に光を照射するように構成されている。例えば、照射範囲増加による光量低下と第2の光源12の微小なズレや誤差とを考慮して、照射範囲AR12は有効利用範囲AR220に比べて縦横辺が各1.4倍以内に光を照射することが好ましい。具体的には□1mmの有効利用範囲AR220に対して□1.4mm(照射範囲AR12)で照射する。なお、上記具体例では1.4倍としたが装置構成等に応じて適宜設定してもよい。
例えば、図17に示す比較例のように、第2の光源12から出射された光の一部がバルブ112の表面で反射して、測定光学系2120に入射してしまうと、迷光として検出装置220に入射され、測定精度が低下する場合がある。
すなわち、本発明に係る光学装置では、例えば図15に示すように、バルブ表面での反射が迷光とならないように構成されているので、高精度に光学測定を行うことができる。
詳細には、図18に示す例では、図15の装置と比較して、被測定物としての試料91を通る光軸LAに対する、フィラメント111の表面の角度はそのままで、バルブ112の表面の角度が大きくなるように配置されている。図18に示す第1の光源11は、例えば、バルブ112内のフィラメント111を、中空の略円柱形のバルブ112の長軸に対して斜めに配置したフィラメントランプを用いることで実現することができる。
図19(a)は平型コイルのフィラメントを有するフィラメントランプの一例を示す図であり、図19(b)はダブルエンド平型コイルを有するフィラメントランプの一例を示す図である。
また、図19(c)は図19(a)に示すフィラメントランプを備えた光源装置の一例を示す図である。
第1の光源11としてのフィラメントランプは、図19(a)~図19(c)に示すように、フィラメント111が平型コイルであってもよい。この平型コイルのフィラメント111は、包絡面が略矩形状の平坦面111fを有する。第2の光源12からの光が平型コイルのフィラメント111の平坦面111fに反射して測定光学系2120(レンズ等)に入射するように配置されることが好ましい。つまり、第2の光源12からの光がフィラメント111の平坦面111fにより反射して測定光学系2120(レンズ等)に入射する強度が最大となるように配置されることが好ましい。すなわち、具体的には、直接反射と仮定して、フィラメント111の平坦面111fの角度を設定する。
第1の光源11としてのフィラメントランプは、図20(a)~図20(c)に示すように、フィラメント111が丸型コイルであってもよい。
また、第2の光源12は、上述した実施形態に限られるものではなく、例えば、複数の半導体光源を上下方向に沿って配置してもよい。
次に、本発明の一実施形態に係る光学装置の光源装置10Cを説明する。
本実施形態では、図23に示すように、点灯している第1の光源11(11W)としての白色LEDに、第2の光源12としてのUV波長LED等からの狭帯域の光を照射し、第1の光源11Wで反射した光と、点灯している第1の光源11W自体の発光による光との合波光を、測定光学系2120(レンズ等)などを介して、被照射物(不図示)や光学測定部(検出装置220)に出射する。
つまり、点灯している白色LEDの発光面に、UV波長のLED光を照射し、白色にUV散乱光を加えた合波光が、第1の光源11Wから被照射物に出射される。
光源装置10Cの第1の光源11Wとしての白色LEDは、例えば、図23に示すように、青色発光する青色LED115を有し、青色LED115の発光面側(光出射面側)に、複数の蛍光体粒子117を含む透光性の封止部材116が設けられている。
封止部材116はポリマー樹脂等の透光性樹脂材から構成されている。
蛍光体粒子117としては、黄色蛍光体、黄色蛍光体と赤色蛍光体、緑色蛍光体と赤色蛍光体などを採用することができる。
蛍光体粒子117は、平均粒径約10μmの略球形である。空気(屈折率約1)と、封止部材116(屈折率1.3~1.5)や蛍光体粒子117は異なる屈折率であり、その界面で一定量の光が屈折率に応じて反射される。入射角によってはその界面で全反射が生じる。
また、第2の光源12からの光は、直接または集光光学系(集光レンズ13)等を介して、第1の光源11Wに照射され、蛍光体粒子117で拡散反射される。
すなわち、第1の光源11Wは、蛍光体粒子117で拡散反射された第2の光源12からの光と、青色LED115から出射された光と、蛍光体粒子117で励起された光との合波光が出射される。
図25は図23に示す光源装置からの合波光の測定結果を示す図である。図25において、横軸に波長を示し、縦軸に分光放射照度を示している。
合波光は、白色LED単体のスペクトルと比較して、波長340nm付近で光の強度が増大したものとなっている。つまり、第2の光源12からの波長340nmの光と白色LED単体の光との合波光を確認することができた。
また、光源装置の第1の光源11は被照射物を通る光軸(LA)上に配置されている。
すなわち、煩雑な光軸調整を行う必要がなく、簡単な構造で、第1の光源11からの光と、第2の光源12からの狭帯域の光との合波光を被照射物へ出射可能な光源装置を提供することができる。
つまり、精度を要求されない簡単な構造で、第1の光源からの光と、第2の光源からの狭帯域の光との合波光が、あたかも第1の光源からの単一の光のように取り扱える光源装置を提供することができる。
また、その光源装置を備えた光学装置を提供することができる。
フィラメントランプのスペクトルは、黒体放射の発光原理によりフィラメント111の温度によって決定される。例えば、フィラメント111へ通電する電流の電流値を通常規定値(または最大規定値)よりも小さくし、第1の光源11の通電による発熱発光状態のフィラメント111からの光に関し、所望の波長域の光の強度が弱い(光量が少ない)場合であっても、本発明に係る光源装置10では、第2の光源12により出射された所望の波長域の光が、発熱発光状態のフィラメントの表面で反射され、その反射光と、フィラメント111の高温発光による光との合波光を、フィラメント111から出射することができるので、簡単な構成により、第1の光源11の通電されたフィラメントの発熱発光による光に、第2の光源12による所望の波長域の光の強度を補った合成波の光を出射可能な光源装置10を提供することができる。
また、本発明に係る光源装置10は、第2の光源12から出射した光を第1の光源11のフィラメント111に照射し、そのフィラメント111で反射した光と、通電により発熱発光状態のフィラメント111からの光との合波光がフィラメント111から出射されるので、例えば、LED光のみを反射するミラーやダイクロイックフィルター等により、LED光とフィラメントからの光を合波する光源装置(比較例)と比較して、光学アライメント等のための複雑な構造を設ける必要がなく、また、光軸合わせ等の調整を行う必要がなく、簡単な構成、合波光をフィラメント111から出射することができる。
つまり、本発明に係る光源装置10では、発光位置が単一なため、すなわち、フィラメント111の位置で発光光と反射光の合波光が出射されるため、例えば複数光源による光軸ずれの問題がない。
一方、本発明に係る光源装置10では、上述したように、第2の光源12からの光を、第1の光源11のフィラメント111に照射して反射させることで、その反射光と第1の光源11からの高温発光による光との合波光が出射されるので、合波光の波長領域の強度は、反射光の波長領域の強度と、高温発光のフィラメントからの光の波長領域の強度との単純な加算となるので、上記比較例のような強度の落ち込みが生じない。
すなわち、簡単な構成で、光学的要請を満たし、且つ長寿命の光源装置10を実現することができる。
すなわち、簡単な構成で、第2の光源12から出射された光をフィラメント111に確実に照射することができ、所望の合波光を得ることができる。
すなわち、第2の光源12は、例えば光学測定に必要なピーク波長又は中心波長の光を出射する1つ又は複数の半導体光源からそれぞれ出射された光をフィラメント111に照射することで、第1の光源11のフィラメント111から所望の合波光を出射することができる。
すなわち、上記光源装置10から出射される合波光の波長帯域の強度が光学測定部による光学測定に充分な強度となるように設定することで、光学測定部(検出装置220)により高精度に光学測定を行うことができる光学装置100を提供することができる。
また、第1の光源11は、被照射物(測定対象)と光学測定部(検出装置220)を通る光軸(LA)上に配置されていることが好ましい。
また、上述の各図で示した実施形態は、その目的及び構成等に特に矛盾や問題がない限り、互いの記載内容を組み合わせることが可能である。
また、各図の記載内容はそれぞれ独立した実施形態になり得るものであり、本発明の実施形態は各図を組み合わせた一つの実施形態に限定されるものではない。
すなわち、簡単な構成で、合波光の強度を大きくすることができる。
また、本発明に係る光源装置は、第1の光源11のフィラメントからの合波光の強度、又は照射領域を検出する光検出部を有し、光源制御部は、光検出部からの検出信号に基づいて、照射領域調整手段により、照射領域を調整してもよい。すなわち、合波光の所定の波長域の強度を最適に調整することができる。
11…第1の光源(フィラメントランプ、半導体光源)
12…第2の光源(LED光源、LD光源、有機EL光源等の半導体光源)
13…集光レンズ(集光光学系、照射領域調整手段)
14…反射部
15…受光部
16…表示入力部(表示部及び入力部)
18…光源制御部
91…試料(被照射物)
100…光学装置(光学測定装置等)
111…フィラメント
112…バルブ
112Ra…第1の透光部
112Rb…第2の透光部
211…フィルタ
212…レンズ
220…検出装置(光学測定部)
Claims (8)
- 複数の波長において測定対象物の吸光度を測定する光学測定装置であって、
光源装置と、
前記光源装置から前記測定対象物に光を照射し、当該測定対象物からの光に基づいて前記測定対象物の光学測定を行う光学測定部とを備え、
前記光源装置は、第1の光源と、第2の光源と、前記第1の光源及び前記第2の光源を駆動する光源制御部とを有し、
前記第1の光源は、ハロゲンランプ又は白熱電球であり、かつ、照射範囲の一部が前記光学測定に利用される有効利用範囲となるものであり、
前記第2の光源は、前記第1の光源のフィラメントに短波長帯の光を照射可能な半導体光源であり、
前記光源制御部は、前記第1の光源を発熱発光駆動するとともに、前記光学測定に必要な強度となるように前記第2の光源から前記短波長帯の光を出射するように、かつ、前記第2の光源の時間変動低減手段を有して前記第2の光源を駆動し、
前記光源装置は、前記第1の光源からの光と、前記第2の光源からの光を前記フィラメントに照射することによって当該フィラメントの表面で拡散反射した光との合波光を前記測定対象物へ照射する
ことを特徴とする光学測定装置。 - 前記第1の光源は、さらに、透光部を有するバルブを有し、
前記フィラメントは、前記バルブ内に収容され、
前記光源装置は、さらに、前記第1の光源の前記フィラメントと前記第2の光源との間に配置され、前記第2の光源からの光を集光し、前記第1の光源の前記バルブの前記透光部を透過して、前記第1の光源の前記フィラメントの全部又は一部分に照射する集光光学系を有し、
前記第1の光源は、発熱発光状態の前記フィラメントからの光と、前記第2の光源から前記集光光学系を透過した光を前記フィラメントに照射することによって当該フィラメントの表面で拡散反射した光との合波光を、前記バルブの前記透光部を透過して前記測定対象物へ照射する
ことを特徴とする請求項1に記載の光学測定装置。 - 前記光源制御部は、前記第1の光源の前記フィラメントに第1の電流値の電流を印加する一方で前記第2の光源を非駆動状態とする第1のモードと、前記第1の光源の前記フィラメントに前記第1の電流値よりも小さい第2の電流値の電流を印加するとともに前記第2の光源を駆動状態とすることによって前記第2の光源から出射した光を前記フィラメントに照射する第2のモードと、を切り替える制御を行う
ことを特徴とする請求項1または2に記載の光学測定装置。 - 前記時間変動低減手段は、前記第2の光源からの光を検出する受光部による検出結果に基づいて、前記第2の光源の発光強度が設定値となるように前記第2の光源への駆動電流を制御する
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の光学測定装置。 - 前記光源装置は、さらに、前記第1の光源からの光、及び前記第2の光源からの光を検出する受光部を有し、
前記光源制御部は、前記受光部による検出結果に基づいて、前記光学測定部により前記測定対象物の吸光度の測定に用いられる波長における光強度が、光学測定に必要な強度となるように、前記第2の光源への駆動電流を制御する
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の光学測定装置。 - 前記集光光学系は、前記第2の光源から前記集光光学系及び前記バルブの透光部を透過して光照射される、前記第1の光源の前記フィラメントにおける照射領域が、前記光学測定部により測定に利用される、前記フィラメントにおける有効利用範囲よりも大きくなるように構成されている
ことを特徴とする請求項2に記載の光学測定装置。 - 前記第2の光源は、ピーク波長又は中心波長が異なる光を出射可能な複数の半導体光源から成ることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の光学測定装置。
- 光源装置から測定対象物に光を照射し、当該測定対象物からの光に基づいて前記測定対象物の吸光度を複数の波長において測定する光学測定装置用の光源装置であって、
第1の光源と、第2の光源と、前記第1の光源及び前記第2の光源を駆動する光源制御部とを有し、
前記第1の光源は、ハロゲンランプ又は白熱電球であり、かつ、照射範囲の一部が前記光学測定に利用される有効利用範囲となるものであり、
前記第2の光源は、前記第1の光源のフィラメントに短波長帯の光を照射可能な半導体光源であり、
前記光源制御部は、前記第1の光源を発熱発光駆動するとともに、前記光学測定装置が行う測定に必要な強度となるように前記第2の光源から前記短波長帯の光を出射するように、かつ、前記第2の光源の時間変動低減手段を有して前記第2の光源を駆動し、
前記光源装置は、前記第1の光源からの光と、前記第2の光源からの光を前記フィラメントに照射することによって当該フィラメントの表面で拡散反射した光との合波光を前記測定対象物へ照射する
ことを特徴とする光学測定装置用の光源装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019090730A JP7085758B2 (ja) | 2019-05-13 | 2019-05-13 | 光学測定装置、光源装置 |
CN202080033341.2A CN113795745A (zh) | 2019-05-13 | 2020-05-11 | 光源装置、光学装置 |
US17/608,117 US11927528B2 (en) | 2019-05-13 | 2020-05-11 | Light source device and optical device |
PCT/JP2020/018829 WO2020230757A1 (ja) | 2019-05-13 | 2020-05-11 | 光源装置、光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019090730A JP7085758B2 (ja) | 2019-05-13 | 2019-05-13 | 光学測定装置、光源装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020186966A JP2020186966A (ja) | 2020-11-19 |
JP2020186966A5 JP2020186966A5 (ja) | 2021-09-24 |
JP7085758B2 true JP7085758B2 (ja) | 2022-06-17 |
Family
ID=73221626
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019090730A Active JP7085758B2 (ja) | 2019-05-13 | 2019-05-13 | 光学測定装置、光源装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11927528B2 (ja) |
JP (1) | JP7085758B2 (ja) |
CN (1) | CN113795745A (ja) |
WO (1) | WO2020230757A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117346887B (zh) * | 2023-12-04 | 2024-02-02 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种腔型绝对辐射计的视场外杂散光测量方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007113751A1 (en) | 2006-04-05 | 2007-10-11 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Lamp system comprising a primary light source and a secondary light source |
JP3137726U (ja) | 2007-09-25 | 2007-12-06 | Ipf株式会社 | 自動車用ハイブリッド電球 |
WO2011142123A1 (ja) | 2010-05-14 | 2011-11-17 | コニカミノルタセンシング株式会社 | 光源、照明光学系、及び反射特性測定装置 |
US20130265795A1 (en) | 2012-01-16 | 2013-10-10 | Scott A. Chalmers | High-lifetime broadband light source for low-power applications |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63182530A (ja) * | 1987-01-26 | 1988-07-27 | Japan Spectroscopic Co | 分光光度計用光源 |
US20060226336A1 (en) * | 2005-03-23 | 2006-10-12 | Tir Systems Ltd. | Apparatus and method for collecting and detecting light emitted by a lighting apparatus |
JP2008002849A (ja) | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Olympus Corp | 分析装置および容器 |
JP5450339B2 (ja) | 2010-10-07 | 2014-03-26 | 富士フイルム株式会社 | 内視鏡用光源装置 |
JP6294186B2 (ja) | 2014-08-12 | 2018-03-14 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 自動分析装置 |
JP2016119150A (ja) * | 2014-12-18 | 2016-06-30 | ウシオ電機株式会社 | 光源装置、プロジェクタ、光源装置の制御方法 |
-
2019
- 2019-05-13 JP JP2019090730A patent/JP7085758B2/ja active Active
-
2020
- 2020-05-11 US US17/608,117 patent/US11927528B2/en active Active
- 2020-05-11 WO PCT/JP2020/018829 patent/WO2020230757A1/ja active Application Filing
- 2020-05-11 CN CN202080033341.2A patent/CN113795745A/zh active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007113751A1 (en) | 2006-04-05 | 2007-10-11 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Lamp system comprising a primary light source and a secondary light source |
JP3137726U (ja) | 2007-09-25 | 2007-12-06 | Ipf株式会社 | 自動車用ハイブリッド電球 |
WO2011142123A1 (ja) | 2010-05-14 | 2011-11-17 | コニカミノルタセンシング株式会社 | 光源、照明光学系、及び反射特性測定装置 |
US20130265795A1 (en) | 2012-01-16 | 2013-10-10 | Scott A. Chalmers | High-lifetime broadband light source for low-power applications |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020186966A (ja) | 2020-11-19 |
US11927528B2 (en) | 2024-03-12 |
CN113795745A (zh) | 2021-12-14 |
US20220221396A1 (en) | 2022-07-14 |
WO2020230757A1 (ja) | 2020-11-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5859527B2 (ja) | 測光において使用可能なダイナミックレンジの拡大 | |
US9642515B2 (en) | Solid state continuous white light source | |
TWI683994B (zh) | 基於複合紫外光led及磷光劑的高光譜校準器 | |
TWI323949B (en) | The light source and the method for fabricating the same | |
JP5976128B2 (ja) | 光学システムにおける光源寿命の延長 | |
JP5688034B2 (ja) | 高品質生物医学装置の照明設計 | |
US20060226336A1 (en) | Apparatus and method for collecting and detecting light emitted by a lighting apparatus | |
US8998468B2 (en) | Solid state light source with hybrid optical and electrical intensity control | |
JP2001183304A (ja) | 表面品質の定量評価のためのデバイス | |
JP2000195683A (ja) | 再現可能な照明を生成するシステムおよび方法 | |
JP2009168478A (ja) | 光度計 | |
WO2006099732A1 (en) | Apparatus and method for collecting and detecting light emitted by a lighting apparatus | |
KR101987506B1 (ko) | 측정 장치 및 측정 방법 | |
JP7085758B2 (ja) | 光学測定装置、光源装置 | |
US20060180763A1 (en) | Gas detector that uses infrared light and method of detecting gas concentration | |
JP5461595B2 (ja) | 発光特性測定装置及び方法 | |
JP3716303B2 (ja) | 光感応型発光素子の発光効率測定方法及び装置 | |
CN105572058B (zh) | 样本分析仪及其吸光度测量装置 | |
JP2005055199A (ja) | Led照明装置 | |
WO2022190369A1 (ja) | 光照射ユニット | |
JP2020030047A (ja) | 計測システム及び解析システム | |
JP2004286645A (ja) | 多波長光源装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210810 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210810 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220524 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220531 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7085758 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |