JP7083869B2 - 画像処理方法および画像処理装置 - Google Patents
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Description
複数のカラムの各々の電磁場を可視化した位相像を取得する工程と、
前記位相像において、前記複数のカラムの各々の電磁場を、磁場成分と電場成分に分離する工程と、
分離された磁場成分に基づいて、磁場の分布を示す画像を生成する工程と、
を含み、
前記複数のカラムの各々の電磁場を磁場成分と電場成分に分離する工程は、
前記複数のカラムのうちの第1カラムの電磁場を、電場が同じ方向である第2カラムの電磁場に基づいて、磁場成分と電場成分に分離する工程を含む。
複数のカラムの各々の電磁場を可視化した位相像を取得する位相像取得部と、
前記位相像において、前記複数のカラムの各々の電磁場を、磁場成分と電場成分に分離する分離処理部と、
分離された磁場成分に基づいて、磁場の分布を示す画像を生成する画像生成部と、
を含み、
前記画像生成部は、
前記複数のカラムのうちの第1カラムの電磁場を、電場が同じ方向である第2カラムの電磁場に基づいて、磁場成分と電場成分に分離する処理を行う。
まず、本発明の一実施形態に係る画像処理方法について図面を参照しながら説明する。本実施形態に係る画像処理方法は、複数のカラムの各々の電磁場を可視化した位相像を取得する工程と、位相像において複数のカラムの各々の電磁場を磁場成分と電場成分に分離する工程と、分離された磁場成分に基づいて磁場の分布を示す画像を生成する工程と、を含む。また、複数のカラムの各々の電磁場を磁場成分と電場成分に分離する工程は、複数のカラムのうちの第1カラムの電磁場を、電場が同じ方向である第2カラムの電磁場に基づいて、磁場成分と電場成分に分離する工程を含む。
図1は、本実施形態に係る画像処理方法の一例を示すフローチャートである。
まず、解析したい視野の位相像を取得する。ここで、位相像とは、試料中の電磁場によって電子線が受ける位相変化を可視化した像である。位相像は、電子線ホログラフィーにより得られた像、および微分位相コントラストイメージング(DPC)法により得られた像を含む。
コントラストが重畳されている。しかしながら、図2に示す位相像Dxでは、磁場のコントラストは確認できない。同様に、位相像Dyには、電場によるコントラストに、図3の画像Cyに示す磁場によるコントラストが重畳されているが、図2に示す位相像Dyでは、磁場のコントラストは確認できない。これは、原子分解能像では、一般的に、原子核による電場の影響が非常に強く、スピンによる磁場の影響が小さいためである。
次に、電場の周期を求める。ここでは、電場の周期として、格子ベクトルを求める。格子ベクトルは、例えば、ADF像IADFをフーリエ変換したときのスポット位置から求めることができる。また、例えば、GPA(Geometrical Phase Analysis)などのソフトウエアを用いて、ADF像IADFから格子ベクトルを求めることができる。
次に、位相像Dxおよび位相像Dyにおいて、複数のカラムの各々の電磁場を、磁場成分と電場成分に分離する。
ている。図5の画像DxK2は、位相像Dxに対して、カーネルK2をコンボリューションした結果を示している。
上記では、観察対象となる第1カラムの磁場成分を、第1カラムの電磁場と第2カラムの電磁場の差を計算することによって抽出したが、第1カラムの磁場成分を抽出する手法はこれに限定されない。
磁場の向きが反対のカラム)と、2つの第3カラム(電場の向きが同じで、かつ、磁場の向きが同じカラム)の平均を計算することで、磁場成分が打ち消され、電場成分の平均を求めることができる。この4つのカラムの電場の平均を、第1カラムの電場と推定する。
図8は、走査透過電子顕微鏡1の構成を示す図である。
を透過した電子を結像する。
場を、磁場成分と電場成分に分離する。分離処理部114は、例えば、位相像Dxに対して、カーネルK2や、カーネルK3、カーネルK4などをコンボリューションすることによって、磁場成分を抽出する。
本実施形態に係る画像処理方法では、複数のカラムの各々の電磁場を磁場成分と電場成分に分離する工程は、複数のカラムのうちの第1カラムの電磁場を、第1カラムと磁場が反対方向であり、かつ、電場が同じ方向である第2カラムの電磁場に基づいて、磁場成分と電場成分に分離する工程を含む。
相像取得部112と、位相像において、複数のカラムの各々の電磁場を、磁場成分と電場成分に分離する分離処理部114と、分離された磁場成分に基づいて、磁場の分布を示す画像を生成する画像生成部116と、を含む。また、画像生成部116は、複数のカラムのうちの第1カラムの電磁場を、第1カラムと磁場が反対方向であり、かつ、電場が同じ方向である第2カラムの電磁場に基づいて、磁場成分と電場成分に分離する処理を行う。そのため、画像処理装置100では、画像処理によって、位相像中のカラムの電磁場を磁場成分と電場成分を分離することができる。したがって、画像処理装置100では、原子レベルの高分解能で、磁場の分布を示す画像を得ることができる。
以下に実施例を示し、本発明をより具体的に説明する。なお、本発明は、以下の実施例によって何ら限定されるものではない。
まず、本実施形態に係る画像処理方法を、反強磁性体のドメイン境界(domain boundary)の観察に適用した場合について説明する。
次に、本実施形態に係る画像処理方法を、らせん磁性体の観察に適用した場合について説明する。
構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
Claims (10)
- 複数のカラムの各々の電磁場を可視化した位相像を取得する工程と、
前記位相像において、前記複数のカラムの各々の電磁場を、磁場成分と電場成分に分離する工程と、
分離された磁場成分に基づいて、磁場の分布を示す画像を生成する工程と、
を含み、
前記複数のカラムの各々の電磁場を磁場成分と電場成分に分離する工程は、
前記複数のカラムのうちの第1カラムの電磁場を、電場が同じ方向である第2カラムの電磁場に基づいて、磁場成分と電場成分に分離する工程を含む、画像処理方法。 - 請求項1において、
前記位相像は、試料中の電磁場によって電子線が受ける位相変化を可視化した像である、画像処理方法。 - 請求項1または2において、
前記第1カラムの電磁場を磁場成分と電場成分に分離する工程では、
前記第1カラムの電磁場と前記第2カラムの電磁場の差に基づいて、前記第1カラムの磁場成分を抽出する、画像処理方法。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
分離された電場成分に基づいて、電場の分布を示す画像を生成する工程を含み、
前記複数のカラムの各々の電磁場を磁場成分と電場成分に分離する工程は、
前記第1カラムの電磁場と前記第2カラムの電磁場の和に基づいて、前記第1カラムの電場成分を抽出する工程を含む、画像処理方法。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記第2カラムは、前記第1カラムと磁場が異なる方向である、画像処理方法。 - 請求項5において、
前記第2カラムは、前記第1カラムと磁場が反対方向である、画像処理方法。 - 請求項1または2において、
前記第1カラムの電磁場を磁場成分と電場成分に分離する工程では、
前記第1カラムの電磁場を、前記第2カラムの電磁場および第3カラムの電磁場に基づいて、磁場成分と電場成分に分離し、
前記第2カラムは、前記第1カラムと磁場が反対方向であり、かつ、電場が同じ方向であり、
前記第3カラムは、前記第1カラムと磁場が同じ方向であり、かつ、電場が同じ方向である、画像処理方法。 - 請求項1ないし7のいずれか1項において、
前記位相像は、反強磁性体の位相像である、画像処理方法。 - 請求項8において、
前記第2カラムは、前記第1カラムに隣り合い、
前記第2カラムのスピンの向きは、前記第1カラムのスピンの向きと反対方向である、画像処理方法。 - 複数のカラムの各々の電磁場を可視化した位相像を取得する位相像取得部と、
前記位相像において、前記複数のカラムの各々の電磁場を、磁場成分と電場成分に分離する分離処理部と、
分離された磁場成分に基づいて、磁場の分布を示す画像を生成する画像生成部と、
を含み、
前記画像生成部は、
前記複数のカラムのうちの第1カラムの電磁場を、電場が同じ方向である第2カラムの電磁場に基づいて、磁場成分と電場成分に分離する処理を行う、画像処理装置。
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