JP7075567B2 - 質量分析計における電子線源 - Google Patents
質量分析計における電子線源 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7075567B2 JP7075567B2 JP2018100057A JP2018100057A JP7075567B2 JP 7075567 B2 JP7075567 B2 JP 7075567B2 JP 2018100057 A JP2018100057 A JP 2018100057A JP 2018100057 A JP2018100057 A JP 2018100057A JP 7075567 B2 JP7075567 B2 JP 7075567B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- fixed
- support
- chip
- radiating material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
12-1 ストレートタイプフィラメント
12-2 コイルタイプフィラメント
12-3 リボンタイプフィラメント
13a,13b 端子
14 イオン化室
14a,14b 穴
15 真空容器
17 試料
18 トラップ
21 ターボ分子ポンプ
20 流量制御バルブ
22 容積ポンプ
30 絶縁体ブロック
31a,31b 電極
40 電子線放射材料
41 支持兼導電部材
42 支持兼導電部材
43 電子線源組立体
45 支持兼導電部材
46 支持兼導電部材
47 支持兼導電部材
48 支持兼導電部材
49 導電発熱線
Claims (5)
- 電子線放射材料と、絶縁体ブロックに所定の間隔を設けて配置された一対の電極とを備え、前記電子線放射材料を加熱して該電子線放射材料から電子線を放射させる質量分析計の電子線源において、
前記電子線放射材料は焼結金属中に仕事関数の低い材料を含浸させるか又は金属に仕事関数の低い物質を含有させて焼結したチップ状電子線放射材料であり、
前記チップ状電子線放射材料の外表面の対向する部分に一対の支持兼導電部材のそれぞれ一端を固着すると共に、該一対の支持兼導電部材の他端を前記一対の電極に固着し、前記電極から前記支持兼導電部材を通って前記チップ状電子線放射材料に通電する電流で直接前記電子線放射材料を加熱することを特徴とする質量分析計の電子線源。 - 請求項1に記載の質量分析計の電子線源において、
前記支持兼導電部材の前記チップ状電子線放射材料に固着される一端部は前記支持兼導電部材の他端部が前記電極に固着された状態で該電極の長手方向で且つ互いに同一方向又は長手方向で且つ互いに反対方向に折り曲げられていることを特徴とする質量分析計の電子線源。 - 請求項1に記載の質量分析計の電子線源において、
前記支持兼導電部材は板金材からなり、前記チップ状電子線放射材料に固着する部分の幅が狭く、前記電極に固着する部分の幅が広くなっていることを特徴とする質量分析計の電子線源。 - 請求項3に記載の質量分析計の電子線源において、
前記板金材からなる一対の支持兼導電部材の前記チップ状電子線放射材料に固着する幅が狭い部分は前記一対の支持兼導電部材の幅が広い部分が前記電極に固着された状態で互いにその先端部が前記電極の長手方向に屈曲しており、該先端部と先端部の間に前記チップ状電子線放射材料が位置するようになっていることを特徴とする質量分析計の電子線源。 - 電子線放射材料と、絶縁体ブロックに所定の間隔を設けて配置された一対の電極とを備え、前記電子線放射材料を加熱して該電子線放射材料から電子線を放射させる質量分析計の電子線源において、
前記電子線放射材料は焼結金属中に仕事関数の低い材料を含浸させるか又は金属に仕事関数の低い物質を含有させて焼結したチップ状電子線放射材料であり、
長尺の導電発熱体を具備し、
前記チップ状電子線放射材料の外周面に前記導電発熱体を巻回するか又は前記チップ状電子線放射材料の少なくとも一部外周面に前記導電発熱体を固着し、該導電発熱体の両端部をそれぞれ前記一対の電極に固着し、前記電極から前記導電発熱体に通電する電流により該導電発熱体から発する熱で前記電子線放射材料を加熱することを特徴とする質量分析計の電子線源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018100057A JP7075567B2 (ja) | 2018-05-24 | 2018-05-24 | 質量分析計における電子線源 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018100057A JP7075567B2 (ja) | 2018-05-24 | 2018-05-24 | 質量分析計における電子線源 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019204721A JP2019204721A (ja) | 2019-11-28 |
JP7075567B2 true JP7075567B2 (ja) | 2022-05-26 |
Family
ID=68727242
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018100057A Active JP7075567B2 (ja) | 2018-05-24 | 2018-05-24 | 質量分析計における電子線源 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7075567B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112151352B (zh) * | 2020-09-24 | 2024-01-26 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种质谱进样电离装置及其工作方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009134974A (ja) | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 電子放出源 |
JP2011258563A (ja) | 2005-01-28 | 2011-12-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 質量分析装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56158053U (ja) * | 1980-04-25 | 1981-11-25 | ||
JPS58186127A (ja) * | 1982-04-26 | 1983-10-31 | Toshiba Corp | 質量分析計イオンソ−ス用ヒ−タ |
JPS585268U (ja) * | 1982-06-08 | 1983-01-13 | 電気化学工業株式会社 | 直接加熱型熱電子放射陰極 |
JPS6177227A (ja) * | 1984-09-21 | 1986-04-19 | Hitachi Ltd | 熱電子放出陰極 |
KR100382062B1 (ko) * | 1996-05-22 | 2003-09-19 | 삼성에스디아이 주식회사 | 직열형 음극 구조체 |
-
2018
- 2018-05-24 JP JP2018100057A patent/JP7075567B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011258563A (ja) | 2005-01-28 | 2011-12-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 質量分析装置 |
JP2009134974A (ja) | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 電子放出源 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019204721A (ja) | 2019-11-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5127042B2 (ja) | 電離真空計 | |
US8300769B2 (en) | Microminiature X-ray tube with triode structure using a nano emitter | |
US20230028580A1 (en) | Electron source | |
JP7075567B2 (ja) | 質量分析計における電子線源 | |
JP2001325910A (ja) | 電子銃とその使用方法 | |
JP3968016B2 (ja) | ガス放電管用傍熱型電極、これを用いたガス放電管及びその点灯装置 | |
JP5170650B2 (ja) | ガス定量分析方法及びガス定量分析装置 | |
US8227764B2 (en) | YTTRIA-metal thermionic filaments | |
JP2005259606A (ja) | 熱電子放出用フィラメント | |
CN111819658A (zh) | 包括电离器的装置 | |
JP7137002B2 (ja) | 電子源、及び荷電粒子線装置 | |
JP7040954B2 (ja) | 質量分析計用のイオン源 | |
JP2017107816A (ja) | 熱電子放出用フィラメント、四重極質量分析計、及び残留ガス分析方法 | |
US7218047B2 (en) | Indirectly heated electrode for gas discharge tube | |
JP2011238459A (ja) | 電子源 | |
JP3999663B2 (ja) | ガス放電管用直熱型電極及びガス放電管 | |
US3496399A (en) | Ion gauge with collector plates anf anodes perpendicular to each other | |
US3755705A (en) | Cathode having a cavity in the emissive element | |
JP4012904B2 (ja) | ガス放電管 | |
JP3114137U (ja) | 電子線源装置 | |
RU97563U1 (ru) | Многолучевой катодный узел | |
KR20230109642A (ko) | 질량 분석계에서 사용하기 위한 다수의 이온화 부피들을 갖는 이온 공급원 조립체 | |
WO2023114166A1 (en) | Ion source assembly with multiple elliptical filaments | |
KR100195172B1 (ko) | 음극 구조체 및 이를 이용한 음극선관용 전자총 | |
JP2023552367A (ja) | 装置及び方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210514 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220330 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220412 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220426 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7075567 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |