JP7068945B2 - 光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、光ファイバの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、光ファイバの製造方法に関する。

光ファイバ通信システムの伝送容量の増大を実現するために、近年、種々構造の光ファイバが提案されてきている。その一例として、例えばマルチコアファイバを挙げることができる。マルチコアファイバは、複数のコアの外周が１つのクラッドにより囲まれた構造であり、それぞれのコアを伝搬する光により、複数の信号を伝送させることができる。このため、マルチコアファイバは、コアが１本のみの光ファイバに比べて伝送情報量を飛躍的に増大させることができる。

光ファイバの構造に応じて光ファイバの製造に用いる母材の製造方法についても種々の提案が行なわれている。例えば、マルチコアファイバの製造のための母材（以下、マルチコアファイバ母材、とも言う）を得るための製造方法は、孔開法（穿孔法）やスタックアンドドロー法が知られている。
孔開法では、まず、クラッドとなるガラスロッドに複数の貫通孔をドリル等を用いて形成する。そして、マルチコアファイバのコアとなるコアロッドをそれぞれの貫通孔内に挿入し、これらを加熱一体化してマルチコアファイバ母材とする。
スタックアンドドロー法では、クラッドの外周部分となるガラス管の貫通孔内に、マルチコアファイバのコアとなるコアロッドがクラッドの一部となるクラッドガラス層で被覆されたコア被覆ロッドを挿入し、ガラス管とコア被覆ロッドとの隙間に複数のガラスロッドを挿入し、これらを加熱一体化してマルチコアファイバ母材とする。

上述の孔開法（穿孔法）やスタックアンドドロー法といった方法で製造された母材からマルチコアファイバを線引きする工程は、母材の線引き端とは逆端（以下、後端、とも言う）側から母材内を真空引きしながら行なうことが多い。
母材内の真空引きは、具体的には、母材後端に溶着して母材後端から母材と同軸に延出するように取り付けたガラス製のダミー管に配管接続用のコネクタを取り付け、コネクタに配管を介して真空ポンプを接続し、真空ポンプが発生した真空圧を配管、コネクタ、ダミー管を介して母材内に作用させる（例えば特許文献１）。
なお、孔開法（穿孔法）やスタックアンドドロー法による母材の製造、及び得られた母材の後端から真空引きしながら光ファイバを線引きすることは、マルチコアファイバ以外の光ファイバの製造に使用する母材の製造にも利用される（例えば、ガラス管の貫通孔にコアロッド以外のガラスロッドを挿入して母材を製造する）。

特開２０１４－２０１４９４号公報

母材後端にダミー管が溶着されたダミー管付き母材全体の長さは線引き装置に設置可能な範囲で制約がある。また、母材から伝達する熱による密閉用部品の加熱抑制のため、ダミー管に取り付けたコネクタの母材からの距離を大きく確保する必要がある。ダミー管に取り付けたコネクタの母材からの距離を大きく確保することは、母材において光ファイバの線引きに使用される領域（線引き有効領域）の長尺化の障害になっていた。

ダミー管は、母材後端外周部に突き合わせるようにして溶着され、内側に母材内の空隙と連通する空間を確保する筒状構成のものである。
ダミー管が溶着された母材を加熱炉に送り込んでいくと、加熱炉のヒートゾーン（最加熱領域）に入るよりもかなり手前で熱によってダミー管が母材よりも先に潰れてしまう可能性がある。このため、ダミー管の潰れを避けるために、母材に、線引きせずに残す残母材長をかなり長くとる必要があった。残母材長を長く確保することは、母材における線引き有効領域の長尺化の障害になっていた。

本発明は、残母材長の短縮、母材における線引き有効領域の長尺化を実現できる光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、光ファイバの製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明では以下の態様を提供する。
第１の態様の光ファイバ母材の製造方法は、光ファイバのクラッドとなるクラッドガラス体を貫通する貫通孔にガラスロッドを挿入するロッド挿入工程と、前記クラッドガラス体の一端部を加熱して前記クラッドガラス体一端部に前記貫通孔の開口部を塞ぐ中実のダミー石英棒を一体化するか、あるいは前記クラッドガラス体の一端部に前記貫通孔の開口部を塞ぐ基端側封止部を形成し前記基端側封止部に中実のダミー石英棒を一体化するダミー棒一体化工程と、前記クラッドガラス体の他端部を加熱して変形させることで前記クラッドガラス体の他端部に開口する前記貫通孔の開口部を塞ぐ先端側封止工程とを有し、前記ロッド挿入工程を前記ダミー棒一体化工程及び前記先端側封止工程の一方または両方の完了前に行い、前記ロッド挿入工程と前記ダミー棒一体化工程と前記先端側封止工程とを完了させることで、前記貫通孔の両端が封止された構成の内孔を形成する。
前記クラッドガラス体は前記貫通孔に前記ガラスロッドを複数収容する筒状に形成され、前記ロッド挿入工程では、前記クラッドガラス体の前記貫通孔に前記ガラスロッドを複数挿入し、前記ダミー棒一体化工程では、前記クラッドガラス体の一端部に開口する前記貫通孔の開口部に前記ダミー石英棒を挿入し、前記クラッドガラス体の一端部を加熱して前記ダミー石英棒に一体化し前記貫通孔の開口部を塞いでも良い。
第２の態様の光ファイバ母材の製造方法は、光ファイバのクラッドとなるクラッドガラス体を貫通する貫通孔にガラスロッドを挿入するロッド挿入工程と、前記クラッドガラス体の一端部に予め溶着しておいた接続用ガラス管に中実のダミー石英棒を挿入し、前記接続用ガラス管を加熱して前記ダミー石英棒に一体化し前記接続用ガラス管の開口部を塞ぐダミー棒一体化工程と、前記クラッドガラス体の他端部を加熱して変形させることで前記クラッドガラス体の他端部に開口する前記貫通孔の開口部を塞ぐ先端側封止工程とを有し、前記ロッド挿入工程を前記ダミー棒一体化工程及び前記先端側封止工程の一方または両方の完了前に行い、前記ロッド挿入工程と前記ダミー棒一体化工程と前記先端側封止工程とを完了させることで、前記貫通孔の両端が封止された構成の内孔を形成する。
前記ロッド挿入工程及び前記ダミー棒一体化工程の完了後に前記先端側封止工程を行なうとき、前記先端側封止工程は、前記クラッドガラス体の前記貫通孔内を前記クラッドガラス体の他端側から真空引きしながら、前記クラッドガラス体の他端部を加熱して変形させることで前記クラッドガラス体の他端部に開口する前記貫通孔の開口部を塞いでも良い。
前記ダミー棒一体化工程及び前記先端側封止工程は、前記ガラスロッドを前記クラッドガラス体の前記貫通孔の軸線方向片端あるいは両端から離隔させて前記貫通孔に前記ガラスロッドが挿入されていない領域を確保した状態で行い、前記先端側封止工程の完了時点で前記一端側に前記ガラスロッドが挿入されていない空隙部を確保しても良い。
第３の態様の光ファイバ母材の製造方法は、光ファイバのクラッドとなるクラッドガラス体を貫通する貫通孔にガラスロッドが挿入され、かつ前記クラッドガラス体の一端部に位置する前記貫通孔の一端部が封止された状態にて、前記クラッドガラス体の前記貫通孔にその他端から石英粉末を充填する石英粉末充填工程と、前記石英粉末充填工程の完了後に、前記クラッドガラス体の他端部を加熱して変形させ前記貫通孔の他端の開口部を封止して前記貫通孔の両端が封止された構成の内孔を形成する他端側封止工程とを有し、前記石英粉末充填工程では、前記クラッドガラス体にその一端部に中実のダミー石英棒が一体化されたものを用いる。
上述の光ファイバ母材の製造方法では、前記他端側封止工程にて前記貫通孔の他端の開口部を封止して形成された基端側封止部を加熱して前記基端側封止部に中実のダミー石英棒を一体化する基端側ダミー棒一体化工程をさらに有し、前記他端側封止工程では、前記クラッドガラス体の他端部における前記石英粉末が存在しない部分を加熱して変形させて前記基端側封止部を形成して、前記内孔における前記基端側封止部と前記貫通孔内に充填された前記石英粉末との間に空隙部を確保しても良い。
上述の光ファイバ母材の製造方法では、前記貫通孔の両端が封止された構成の前記内孔を２０ｋＰａ以下の内圧を確保して形成しても良い。
上述の光ファイバ母材の製造方法では、前記内孔に確保する内圧が１ｋＰａ以下としても良い。
第４の態様の光ファイバ母材は、光ファイバのクラッドとなるロッド状のクラッドガラス体と、前記クラッドガラス体内に前記クラッドガラス体の軸線方向に沿って存在する内孔に収容されたガラスロッドと、前記クラッドガラス体の一端部に固定されて前記内孔の一端を塞ぐ中実のダミー石英棒、あるいは前記クラッドガラス体の前記内孔の一端を塞ぐ一端部に固定された中実のダミー石英棒、あるいは前記クラッドガラス体の一端部に固定された接続用ガラス管に収容、一体化されて前記接続用ガラス管の開口部を塞ぐ中実のダミー石英棒、とを有し、前記クラッドガラス体の他端部は前記内孔の他端を塞ぐ先端側封止部を備える。
上述の光ファイバ母材は、前記内孔の一端側の内部に前記ガラスロッドが挿入されていない空隙部が確保されていても良い。
上述の光ファイバ母材は、前記内孔にその全体を埋め込む量または前記内孔の一端部に空隙部を確保可能な量の石英粉末が収容されていても良い。
上述の光ファイバ母材は、前記内孔に２０ｋＰａ以下の内圧が確保されていても良い。
上述の光ファイバ母材は、前記内孔の内圧が１ｋＰａ以下であっても良い。
第５の態様の光ファイバの製造方法は、第４の態様の光ファイバ母材を前記先端側封止部側から加熱炉に挿入して加熱し、前記光ファイバ母材の前記加熱炉への送り込みの継続により前記ガラスロッドを前記クラッドガラス体に一体化しながら、前記光ファイバ母材の前記加熱炉に挿入されている側の先端から光ファイバを線引きする。

本発明の態様に係る光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、光ファイバの製造方法によれば、残母材長の短縮、母材における線引き有効領域の長尺化を実現でき、その結果、光ファイバの線引き長の長尺化を実現できる。

本発明の第１実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法のダミー石英管溶着工程を説明する断面図である。 図１の工程の後に行なうロッド挿入工程を説明する断面図である。 図２の工程の後に行なうダミー棒一体化工程を説明する断面図である。 図３の工程の後に行なう真空引き工程を説明する断面図である。 図４の工程の後に行なう先端側封止工程におけるクラッドガラス体の他端部先端の溶断を説明する断面図である。 図５の先端側封止工程の完了によって得られる光ファイバ母材の構造を示す断面図である。 光ファイバ母材から光ファイバを線引きする線引き装置の一例を示す正面図である。 本発明の第２実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法のダミー石英管溶着工程を説明する断面図である。 図８の工程の後に行なうロッド挿入工程を説明する断面図である。 図９の工程の後に行なう片端溶断工程を説明する断面図である。 図１０の工程の後に行なうダミー棒一体化工程を説明する断面図である。 図１１の工程の後に行なう真空引き工程を説明する断面図である。 図１２の工程の後に行なう先端側封止工程におけるクラッドガラス体の他端部先端の溶断を説明する断面図である。 図１３の先端側封止工程の完了によって得られる光ファイバ母材を示す断面図である。 本発明の第３実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法のロッド挿入工程を説明する断面図である。 図１５の工程の後に行なう片端溶断工程を説明する断面図である。 図１６の工程の後に行なうダミー棒一体化工程を説明する断面図である。 図１７の工程の後に行なう真空引き工程を説明する断面図である。 図１８の工程の後に行なう先端側封止工程におけるクラッドガラス体の他端部先端の溶断を説明する断面図である。 図１８の工程の後に行なう先端側封止工程の完了によって得られる光ファイバ母材を示す断面図である。 本発明の第４実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法のロッド挿入工程を説明する断面図である。 図２１の工程の後に行なうダミー棒一体化工程におけるクラッドガラス体一端部へのダミー石英棒の挿入を説明する断面図である。 ダミー棒一体化工程において図２２の工程の後にクラッドガラス体の一端部を加熱してダミー石英棒に一体化する工程を説明する断面図である。 図２３の工程の後に行なう真空引き工程を説明する断面図である。 図２４の工程の後に行なう先端側封止工程におけるクラッドガラス体の他端部先端の溶断を説明する断面図である。 図２５の先端側封止工程の完了によって得られる光ファイバ母材を示す断面図である。 本発明の第５実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法のロッド挿入工程及びダミー石英管溶着工程を説明する断面図である。 図２７の工程の後に行なうダミー棒一体化工程におけるクラッドガラス体一端部へのダミー石英棒の挿入を説明する断面図である。 ダミー棒一体化工程において図２８の工程の後に第１ダミー石英管を加熱してダミー石英棒に一体化する工程を説明する断面図である。 図２９の工程の後に行なう真空引き工程を説明する断面図である。 図３０の工程の後に行なう先端側封止工程におけるクラッドガラス体の他端部先端の溶断を説明する断面図である。 図３１の先端側封止工程の完了によって得られる光ファイバ母材を示す断面図である。 本発明の第６実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法のダミー石英管溶着工程を説明する断面図である。 図３３Ａの工程の後に行なうロッド挿入工程を説明する断面図である。 図３３Ｂの工程の後に行なう片端溶断工程を説明する断面図である。 図３３Ｃの工程の後に行なうダミー棒一体化工程を説明する断面図である。 図３３Ｄの工程の後に行なう真空引き工程を説明する断面図である。 図３３Ｅの工程の後に行なう先端側封止工程におけるクラッドガラス体の他端部先端の溶断を説明する断面図である。 図３３Ｆの先端側封止工程の完了によって得られる光ファイバ母材を示す断面図である。 本発明の第７実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法のダミー石英管溶着工程を説明する断面図である。 図３４Ａの工程の後に行なうロッド挿入工程を説明する断面図である。 図３４Ｂの工程の後に行なう片端溶断工程を説明する断面図である。 図３４Ｃの工程の後に行なうダミー棒一体化工程を説明する断面図である。 図３４Ｄの工程の後に行なう真空引き工程を説明する断面図である。 図３４Ｅの工程の後に行なう先端側封止工程におけるクラッドガラス体の他端部先端の溶断を説明する断面図である。 図３４Ｆの先端側封止工程の完了によって得られる光ファイバ母材を示す断面図である。 本発明の第８実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法のダミー石英管溶着工程を説明する断面図である。 図３５Ａの工程の後に行なうロッド挿入工程を説明する断面図である。 図３５Ｂの工程の後に行なう片端溶断工程を説明する断面図である。 図３５Ｃの工程の後に行なうダミー棒一体化工程を説明する断面図である。 図３５Ｄの工程の後に行なう真空引き工程を説明する断面図である。 図３５Ｅの工程の後に行なう先端側封止工程におけるクラッドガラス体の他端部先端の溶断を説明する断面図である。 図３５Ｆの先端側封止工程の完了によって得られる光ファイバ母材を示す断面図である。 本発明の第９実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法のダミー石英管溶着工程を説明する断面図である。 図３６Ａの工程の後に行なうロッド挿入工程を説明する断面図である。 図３６Ｂの工程の後に行なうダミー棒一体化工程を説明する断面図である。 図３６Ｃの工程の後に行なう真空引き工程を説明する断面図である。 図３６Ｄの工程の後に行なう先端側封止工程におけるクラッドガラス体の他端部先端の溶断を説明する断面図である。 図３６Ｅの先端側封止工程の完了によって得られる光ファイバ母材の構造を示す断面図である。 本発明の第１０実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法のダミー石英管溶着工程を説明する断面図である。 図３７Ａの工程の後に行なうロッド挿入工程を説明する断面図である。 図３７Ｂの工程の後に行なうダミー棒一体化工程を説明する断面図である。 図３７Ｃの工程の後に行なう真空引き工程を説明する断面図である。 図３７Ｄの工程の後に行なう先端側封止工程におけるクラッドガラス体の他端部先端の溶断を説明する断面図である。 図３７Ｅの先端側封止工程の完了によって得られる光ファイバ母材の構造を示す断面図である。 本発明の第１１実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法のダミー石英管溶着工程を説明する断面図である。 図３８Ａの工程の後に行なうロッド挿入工程を説明する断面図である。 図３８Ｂの工程の後に行なうダミー棒一体化工程を説明する断面図である。 図３８Ｃの工程の後に行なう真空引き工程を説明する断面図である。 図３８Ｄの工程の後に行なう先端側封止工程におけるクラッドガラス体の他端部先端の溶断を説明する断面図である。 図３８Ｅの先端側封止工程の完了によって得られる光ファイバ母材の構造を示す断面図である。 本発明の第１２実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法の石英粉末充填工程に使用するガラス材ユニットの組立方法の一例を説明する断面図である。 図３９Ａの組立方法により組み立てられるガラス材ユニットを説明する断面図である。 本発明の第１２実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法の石英粉末充填工程を説明する断面図である。 図３９Ｃの工程の後に行なう真空引き工程を説明する断面図である。 図３９Ｄの工程の後に行なう先端側封止工程を説明する断面図である。 本発明の第１３実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法の石英粉末充填工程の完了後に行う真空引き工程を説明する断面図である。 図４０Ａの工程の後に行なう基端側封止工程を説明する断面図である。 図４０Ｂの工程の後に工程の後に行なう基端側ダミー棒一体化工程を説明する断面図である。 図４０Ｃの工程の後に行なう先端側封止工程を説明する断面図である。 石英粉末充填工程に使用する変形例のガラス材ユニットの組立方法における一端側封止部を形成する工程を説明する断面図である。 図４１Ａの工程にて形成した一端側封止部を加熱してダミー棒を溶着、一体化する工程を説明する断面図である。 図４１Ｂの工程を完了して得られるガラス材ユニットを示す断面図である。 石英粉末充填工程に使用する他の変形例のガラス材ユニットを示す断面図である。

以下、本発明の実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、光ファイバの製造方法について、図面を参照して説明する。

（第１実施形態）
まず、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、光ファイバの製造方法の第１実施形態について、図１～図６を参照して説明する。
この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、図６に示す光ファイバ母材１Ａを製造するものである。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、まず、図１に示すように、貫通孔１２が複数形成された円柱状のクラッドガラス体１１を用意し、このクラッドガラス体１１の軸線方向片端にダミー石英管１３を溶着して接続する（ダミー石英管溶着工程）。
クラッドガラス体１１はその全体が石英ガラス製の一体成形品である。
クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２はクラッドガラス体１１にその中心軸線に平行に貫通形成されている。貫通孔１２の軸線方向両端はそれぞれ、クラッドガラス体１１の軸線方向の端面に開口されている。

クラッドガラス体１１の貫通孔１２は、例えば、クラッドガラス体１１の径方向中央部を取り囲むようにクラッドガラス体１１の径方向中央部の周囲の複数箇所に形成される。
図１～図６では、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２の配置を模式的に示している。図１～図６に示すクラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２は、必ずしもクラッドガラス体１１のその径方向に垂直の特定断面（平面）に位置する貫通孔１２を示すものではない。図１～図６に図示された貫通孔１２は、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２の一部または全部を示す。

ダミー石英管１３は石英ガラス製の円筒状部材である。
図１に示すように、ダミー石英管１３は、その軸線方向一端の端面をクラッドガラス体１１の軸線方向片端の端面に突き合わせるようにしてクラッドガラス体１１に溶着、一体化する。
ダミー石英管１３は、クラッドガラス体１１と同軸になるようにしてクラッドガラス体１１に溶着する。

クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２は、クラッドガラス体１１のその軸線方向に垂直の横断面における外周部よりも内側の領域に形成されている。クラッドガラス体１１には、その横断面方向において貫通孔１２が存在しない外周部が確保されている。
ダミー石英管１３は、クラッドガラス体１１に同軸に溶着したときに、クラッドガラス体１１の軸線方向端面に開口する各貫通孔１２の開口部を密封せず、各貫通孔１２の開口部の少なくとも一部の開口状態を維持可能な内径を有するものを用いる。クラッドガラス体１１に溶着されたダミー石英管１３はクラッドガラス体１１の各貫通孔１２の開口部の一部に重なっていても良い。クラッドガラス体１１に溶着されたダミー石英管１３の内側空間は、クラッドガラス体１１の全ての貫通孔１２と連通する。

ダミー石英管溶着工程は、乾燥気体（例えば空気あるいは不活性ガス）をクラッドガラス体１１の各貫通孔１２にクラッドガラス体１１のダミー石英管１３を溶着する側とは反対の側（一端側）からダミー石英管１３を溶着する側（他端側）へ通過するように流しながら行なっても良い。クラッドガラス体１１の各貫通孔１２に供給した乾燥空気は、クラッドガラス体１１にダミー石英管１３が接続（溶着）されるまでは、貫通孔１２を通過した後にクラッドガラス体１１とダミー石英管１３との間から排出される。また、クラッドガラス体１１にダミー石英管１３が接続（溶着）された後は、クラッドガラス体１１の各貫通孔１２に供給した乾燥空気は、貫通孔１２及びダミー石英管１３の内側空間を通過して、ダミー石英管１３のクラッドガラス体１１とは反対側（図１においては左側）の端の開口部（先端開口部）から排出される。

ダミー石英管溶着工程におけるクラッドガラス体１１の各貫通孔１２への乾燥空気の供給は、ダミー石英管１３のクラッドガラス体１１への溶着に使用する酸水素火炎によってクラッドガラス体１１の各貫通孔１２の中に水分が入ることを防ぐ。
また、ダミー石英管溶着工程におけるクラッドガラス体１１の各貫通孔１２への乾燥空気の供給は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に大気中の不純物が入り込むことの防止にも有効に寄与する。
また、ダミー石英管溶着工程におけるクラッドガラス体１１の各貫通孔１２への乾燥空気の供給は、溶着作業時の加熱によってクラッドガラス体１１の端面が溶融して貫通孔１２が塞がれてしまうことを防ぐ。

また、ダミー石英管溶着工程では、例えば、クラッドガラス体１１の各貫通孔１２の一端側、及びダミー石英管１３のクラッドガラス体１１とは反対側の端の開口部（先端開口部）、の両方から乾燥気体を供給しながら、ダミー石英管１３をクラッドガラス体１１に溶着する作業を行なっても良い。貫通孔１２の一端側、及びダミー石英管１３の先端開口部の両方から供給した乾燥気体は、クラッドガラス体１１にダミー石英管１３が接続（溶着）されるまでは、クラッドガラス体１１とダミー石英管１３との間から排出される。但し、貫通孔１２の一端側、及びダミー石英管１３の先端開口部の両方から乾燥気体を供給する場合は、クラッドガラス体１１の各貫通孔１２一端側への乾燥気体の供給流量の合計が、ダミー石英管１３の先端開口部からの乾燥気体の供給流量よりも大きくなるようにする。
クラッドガラス体１１の各貫通孔１２の一端側、及びダミー石英管１３の先端開口部からの乾燥気体の供給は、クラッドガラス体１１にダミー石英管１３を当接させた後、クラッドガラス体１１へのダミー石英管１３の接続（溶着）が完了する前に停止する。クラッドガラス体１１にダミー石英管１３が接続（溶着）された後は、ダミー石英管１３の先端開口部にリーク弁等の乾燥気体出口を確保し、クラッドガラス体１１の各貫通孔１２の一端側のみから乾燥気体を供給し、供給した乾燥気体をリーク弁等の乾燥気体出口から排出させる。

ダミー石英管溶着工程を完了したら、次に、図２に示すように、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２のそれぞれに、光ファイバ母材１Ａ（図６参照）の線引きによって光ファイバのコアとなるガラスロッド１４（以下、コア用ガラスロッド、とも言う）を挿入するロッド挿入工程を行なう。
コア用ガラスロッド１４は、例えば、クラッドガラス体１１のダミー石英管１３とは反対側（一端側）の端面に開口する貫通孔１２の開口部から貫通孔１２に挿入する。但し、クラッドガラス体１１の貫通孔１２へのコア用ガラスロッド１４の挿入は、ダミー石英管１３側からダミー石英管１３の内側空間を介して行なっても良い。

なお、ロッド挿入工程では、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２のうち１つ以上の貫通孔に、コア用ガラスロッド１４ではなくコア識別マーカ用ガラスロッドを挿入することを含んでも良い。コア識別マーカ用ガラスロッドは、例えばクラッドガラス体１１及びコア用ガラスロッド１４の両方に対して屈折率が異なるガラスロッドや、色ガラスによって形成されたもの等、周知の構成のものを採用できる。クラッドガラス体１１の貫通孔１２へのコア識別マーカ用ガラスロッドの挿入は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２へのコア用ガラスロッド１４の挿入と同様に行なうことができる。

ロッド挿入工程によって、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２のそれぞれにコア用ガラスロッド１４が挿入された構成のガラス材ユニットＵ１が得られる。
なお、ガラス材ユニットＵ２について、クラッドガラス体１１軸線方向を軸線方向、クラッドガラス体１１軸線方向一端を一端、クラッドガラス体１１軸線方向他端を他端として説明する。

ダミー石英管溶着工程とロッド挿入工程との間では、クラッドガラス体１１の各貫通孔１２の内面をエッチングガスもしくはエッチング液によりエッチングするエッチング工程、貫通孔１２内を洗浄する洗浄工程、乾燥工程を行なっても良い。
エッチング工程にて使用するエッチングガスは、例えば、ＳＦ_６(六フッ化硫黄)ガス、Ｃ_２Ｆ_６（六フッ化エタン）ガス、等を採用できる。エッチング液には例えばフッ化水素酸（ＨＦ）などを採用できる。
洗浄工程では、例えばエタノール等のアルコールや純水などの洗浄液を貫通孔１２に流して貫通孔１２内を洗浄する。乾燥工程では、洗浄工程の後、貫通孔１２に乾燥気体（空気または不活性ガス等）を流して貫通孔１２を乾燥させる。

ロッド挿入工程が完了したら、次に、図３に示すように、クラッドガラス体１１の一端側の端部（一端部）に石英ガラス製の中実なダミー石英棒１５を溶着、一体化して、クラッドガラス体１１の一端側端面に開口する各貫通孔１２の開口部をダミー石英棒１５によって塞ぐ（気密に封止する）ダミー棒一体化工程を行なう。
この実施形態において、ダミー石英棒１５は、クラッドガラス体１１の一端側端面に突き合わせるようにしてクラッドガラス体１１に同軸に位置合わせして溶着し一体化する。
ダミー石英棒１５は円柱状に形成されている。ダミー石英棒１５は、クラッドガラス体１１に溶着したときに、クラッドガラス体１１の一端側端面に開口する全ての貫通孔１２の開口部を塞ぐことが可能な外径を有するものを使用する。

クラッドガラス体１１へのダミー石英棒１５の溶着は、ダミー石英管１３の先端開口部からダミー石英管１３内側空間を介してクラッドガラス体１１の各貫通孔１２へ乾燥気体を供給しながら行なっても良い。
ダミー石英管１３の先端開口部からクラッドガラス体１１の各貫通孔１２へ供給された乾燥気体は、クラッドガラス体１１の一端側端面に開口する貫通孔１２開口部がダミー石英棒１５の端面によって塞がれるまで、貫通孔１２開口部から継続的に放出される。このため、クラッドガラス体１１の各貫通孔１２には、クラッドガラス体１１の一端側端面に開口する貫通孔１２開口部がダミー石英棒１５の端面によって塞がれるまで、クラッドガラス体１１他端側から一端側への乾燥気体の流れが維持される。その結果、クラッドガラス体１１にダミー石英棒１５を溶着する作業において、クラッドガラス体１１の一端側から貫通孔１２へ水分やその他の不純物等が入り込むことを防ぐことができる。

ダミー棒一体化工程が完了したら、次に、図４に示すように、ダミー石英管１３のクラッドガラス体１１とは反対側の開口端に図示略の真空ポンプを接続し、真空ポンプの駆動によってクラッドガラス体１１の貫通孔１２内を真空引きする真空引き工程を行なう。
真空引き工程では、クラッドガラス体１１の全ての貫通孔１２内を、ダミー石英管１３の内側空間を介してクラッドガラス体１１の一端部とは反対の他端部側から真空引きする。

真空引き工程では、例えば、ダミー石英管１３の開口端に接続したガス送給装置からクラッドガラス体１１の貫通孔１２へのヘリウムガスの送給と、真空ポンプによる真空引きとを交互に行なうことも可能である。

図５、図６に示すように、この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、真空引き工程の開始後に、真空ポンプによる真空引きを継続した状態で、火炎１６（例えば酸水素炎）等を利用してクラッドガラス体１１他端部を含むガラス材ユニットＵ１他端部を加熱縮径させてクラッドガラス体１１他端部に開口する全ての貫通孔１２の開口部を塞ぐ（気密に封止する）先端側封止工程を行なう。

先端側封止工程にて全ての貫通孔１２の開口部を気密に封止した状態のガラス材ユニットＵ１他端部を、以下、先端側封止部１７、とも言う。先端側封止部１７は、クラッドガラス体１１他端部をその内側のコア用ガラスロッド１４先端部とともに加熱縮径して中実化したものである。
なお、クラッドガラス体１１の貫通孔１２の１つ以上にコア識別マーカ用ガラスロッドを挿入した場合は、クラッドガラス体１１他端部をその内側のコア用ガラスロッド１４先端部及びコア識別マーカ用ガラスロッド先端部とともに加熱縮径して中実化した構成の先端側封止部１７を形成する。

図６に示すように、この実施形態の先端側封止工程では、ガラス材ユニットＵ１他端部を先細りのテーパ状に加工した先端側封止部１７を形成する。
また、この実施形態の先端側封止工程では、先細りのテーパ状の先端側封止部１７を形成する過程においてガラス材ユニットＵ１他端部の先端を溶断してクラッドガラス体１１からダミー石英管１３を除去する。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、先端側封止工程の完了によって完了し、図６に示す光ファイバ母材１Ａを得ることができる。
図６の光ファイバ母材１Ａのクラッドガラス体１１の内部には、貫通孔１２の一端側がダミー石英棒１３によって気密に封止され、他端側が先端側封止部１７によって気密に封止された内孔１８が確保される。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、真空ポンプによる貫通孔１２の真空引きを継続したまま先端側封止工程を行なって先端側封止部１７を形成することで、先端側封止工程の完了後の光ファイバ母材１Ａの内孔１８内の圧力（気圧）が負圧（大気圧に対して陰圧）の状態を確保する。

先端側封止工程では、クラッドガラス体１１他端部を加熱して縮径させて中実化し、加熱により軟化したクラッドガラス体１１他端部をテーパ状に加工して先端側封止部１７を形成する。
先端側封止工程において先端側封止部１７の形成によって確保される内孔１８の内圧は、真空ポンプが先端側封止部１７を形成前のクラッドガラス体１１の貫通孔１２に作用させる真空圧と同等の圧力（内圧）となる。

先端側封止工程では、真空ポンプを使用してクラッドガラス体１１の貫通孔１２内を大気圧から１００ｋＰａ程度減圧した状態で先端側封止部１７を形成する。先端側封止部１７を形成後のクラッドガラス体１１の貫通孔１２の内圧は１ｋＰａ以下であることが好適である。先端側封止工程では、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に１ｋＰａ以下の真空圧を作用させながら先端側封止部１７を形成することで、内圧が１ｋＰａ以下の内孔１８を有する光ファイバ母材１Ａが得られる。

図７は、線引き装置５０に取り付けた光ファイバ母材１Ａから線引きして光ファイバ２を製造する製造方法（光ファイバの製造方法。以下、線引き工程、とも言う）を説明する図である。
図７に示すように、線引き装置５０は、光ファイバ母材１Ａを吊支する母材昇降装置５１と、母材昇降装置５１に吊支された光ファイバ母材１Ａの下端部（先端部）を加熱するリング状の加熱炉５２とを有する。母材昇降装置５１は、昇降フレーム５１ａと、昇降フレーム５１ａを昇降させる昇降装置本体５１ｂとを有する。昇降フレーム５１ａは、加熱炉５２の上方に配置され、昇降装置本体５１ｂによって昇降される。

光ファイバ母材１Ａは、クラッドガラス体１１から突出するダミー石英棒１５の突端部を線引き装置５０の母材昇降装置５１の昇降フレーム５１ａに取り付けて、先端側封止部１７が下端部となるように昇降フレーム５１ａから吊り下げる。昇降フレーム５１ａに吊り下げ状態に支持させた光ファイバ母材１Ａの下端部の先端側封止部１７は、リング状の加熱炉５２の内側貫通孔５２ａ（母材挿入孔）に挿入する。

線引き装置５０を用いた光ファイバ母材１Ａからの光ファイバ２の製造（光ファイバ２の製造方法、線引き工程）は、昇降フレーム５１ａに吊り下げ状態に支持（吊支）させた光ファイバ母材１Ａの加熱炉５２（具体的にはその内側貫通孔５２ａ）に挿入された下端部を加熱炉５２によって加熱してガラス粘度を低下（軟化）させた状態を保ったまま、光ファイバ母材１Ａ下端部から下方へ光ファイバ２を線引きする。
また、線引き装置５０を用いた光ファイバ母材１Ａからの光ファイバ２の製造では、昇降フレーム５１ａの下降によって光ファイバ母材１Ａを加熱炉５２（具体的にはその内側貫通孔５２ａ）へ送り込みながら、光ファイバ母材１Ａ下端部からの光ファイバ２の線引きを継続する。

光ファイバ母材１Ａ下端部は、光ファイバ２の線引きが可能なレベルまでガラス粘度が低下（軟化）する温度（線引き時加熱温度）に加熱されることでガラス粘度の低下とともに光ファイバ母材１Ａを形成するガラス材の収縮が起き、縮径したクラッドガラス体１１がコア用ガラスロッド１４に一体化する。クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されたコア識別マーカ用ガラスロッドが存在する場合は、線引き時加熱温度に加熱された光ファイバ母材１Ａ下端部にてクラッドガラス体１１はコア用ガラスロッド１４だけでなくコア識別マーカ用ガラスロッドにも一体化される。

クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されたコア用ガラスロッド１４、コア識別マーカ用ガラスロッドといったガラスロッド（以下、挿入ガラスロッド、とも言う）に対するクラッドガラス体１１の一体化は、昇降フレーム５１ａの下降による光ファイバ母材１Ａの加熱炉５２への送り込みに伴い進行する。
すなわち、ここで説明する光ファイバ母材１Ａからの光ファイバ２の線引き（光ファイバ２の製造方法。線引き工程）は、光ファイバ母材１Ａの加熱炉５２への送り込み進行によって挿入ガラスロッドへのクラッドガラス体１１の一体化を進行しながら行われる。

線引き時加熱温度に加熱された挿入ガラスロッド及びクラッドガラス体１１は常温時に比べて軟化し表面張力が低下する。線引き時加熱温度に加熱されたクラッドガラス体１１は内孔１８の内圧の影響を受けやすくなる。
光ファイバ母材１Ａ下端部が線引き時加熱温度に加熱されたとき、クラッドガラス体１１はクラッドガラス体１１を形成するガラスの収縮の他、負圧の内孔１８の内圧の影響も受けて貫通孔１２の縮径を伴う全体の縮径を生じ、挿入ガラスロッドに一体化される。したがい、この光ファイバ母材１Ａによれば、その下端部（先端部）から光ファイバ２を線引きする工程（線引き工程）において、内圧が負圧の内孔１８の存在により、クラッドガラス体１１の挿入ガラスロッドへの一体化を効率良く行なえる。

挿入ガラスロッドへのクラッドガラス体１１の一体化は、光ファイバ母材１Ａの加熱炉５２への送り込みに伴い、クラッドガラス体１１の内孔１８内面と挿入ガラスロッドとの間の隙間を潰しながら進行していく。
上述の光ファイバ２の製造方法ではクラッドガラス体１１の貫通孔１２内面とコア用ガラスロッド１４等の挿入ガラスロッドとの間の隙間が潰されて内孔１８の容積が縮小する。

光ファイバ母材１Ａのクラッドガラス体１１のダミー石英棒１５が溶着された側の端部（一端部。以下、基端部、とも言う）は、ダミー石英棒１５との溶着の影響で、クラッドガラス体１１の軸線方向両端部の間の部分に比べて大きい変形が生じやすい。このため、光ファイバ母材１Ａ下端部（先端部）からの光ファイバ２の線引きは、光ファイバ２の断面構造の安定維持のため、クラッドガラス体１１の基端部が線引きに使用される前に停止（完了）させる。光ファイバ母材１Ａ下端部（先端部）からの光ファイバ２の線引きは、内孔１８の容積が消滅する前に完了する。
線引き開始前の光ファイバ母材１Ａの内孔１８の内圧は、光ファイバ２の線引き完了時点で負圧であるように確保する。これにより、光ファイバ２の線引き開始から完了まで光ファイバ母材１Ａの内孔１８の内圧を負圧に維持できる。光ファイバ母材１Ａの製造における先端側封止工程では、光ファイバ２の線引き完了時点で内孔１８に負圧が確保されるように真空ポンプによってクラッドガラス体１１の貫通孔１２を真空引きしながら内孔１８を形成する。

光ファイバ母材１Ａの製造に使用するコア用ガラスロッド１４等の挿入ガラスロッドは、その外径がクラッドガラス体１１の貫通孔１２の内径の８０～９８％であるものを好適に使用できる。線引きによって得られる光ファイバ２におけるコア位置精度の安定確保の点で、コア用ガラスロッド１４等の挿入ガラスロッドの外径は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２の内径の９０～９８％であることがより好ましく、９５～９８％であることがさらに好ましい。

先端側封止工程は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２内を大気圧から１００ｋＰａ程度減圧した状態で先端側封止部１７を形成し、内圧が１ｋＰａ以下の内孔１８を確保することに限定されない。
内孔１８の内圧は、線引き工程の開始から完了まで負圧を維持できるように設定すれば良く、例えば１ｋＰａ超～２０ｋＰａ程度であっても良い。
但し、先端側封止工程にて形成した内孔１８の真空度が低い（例えば内孔１８の内圧が１ｋＰａ超～２０ｋＰａ）場合は、内孔１８の内圧は、１ｋＰａ以下の場合に比べてクラッドガラス体１１の温度の影響を受けやすくなる。このため、先端側封止工程にて真空ポンプが貫通孔１２に作用させる真空圧は、線引き工程の進行に伴う内孔１８容積の縮小に加えて、クラッドガラス体１１等の母材１Ａ構成部材の温度変化に伴う内孔１８の内圧の変動も考慮して、線引き工程において内孔１８内が負圧の状態を安定維持できるように設定する。
先端側封止工程では、例えば内圧が２０ｋＰａ以下の内孔１８を形成して、線引き工程において負圧の内孔１８の内圧を確保する。線引き開始前の光ファイバ母材１Ａの内孔１８の内圧が２０ｋＰａ以下であれば、線引き工程において内孔１８の内圧の負圧を維持したまま充分な長さの光ファイバを線引きすることが可能である。
内孔１８の内圧は、例えば２０ｋＰａ以下であるが、１０ｋＰａ以下、あるいは１ｋＰａ以下であっても良い。

光ファイバ母材１Ａを用いた線引き工程では、別途、内孔１８を真空引きするための真空ポンプを光ファイバ母材１Ａに接続する必要が無い。光ファイバ母材１Ａには真空ポンプを接続するためのコネクタを設ける必要が無い。光ファイバ母材１Ａは、内孔１８に真空ポンプを接続するためのコネクタを有していない。光ファイバ母材１Ａでは、真空ポンプを接続するためのコネクタとともに設置される密閉用部品のその耐熱温度を超える温度への加熱を防ぐことの考慮の必要が無い。したがい、光ファイバ母材１Ａのダミー石英棒１５の長さ（軸線方向寸法）は、ダミー管を用いる従来構成の光ファイバ母材のダミー管の長さ（軸線方向寸法）に比べて短くすることができる。

従来構成の光ファイバ母材のダミー管は、ダミー管にコネクタとともに設置される密閉用部品への熱伝達の軽減あるいは防止のために、ひだ管加工、すりガラス加工、不透明化等の加工を行なえば、強度確保の点で不利となる。
これに対して本発明の実施形態に係る光ファイバ母材１Ａは、構造が単純でダミー管に比べて強度確保に有利な中実のダミー石英棒１５を使用するので、線引き装置５０の母材昇降装置５１の昇降フレーム５１ａへの吊支に要するダミー石英棒１５強度の確保が容易である。中実のダミー石英棒１５は、線引き工程において加熱されてもダミー管に比べて強度確保の点で有利であり、線引き装置５０の母材昇降装置５１の昇降フレーム５１ａに対する光ファイバ母材１Ａの吊支に要する強度確保を容易に実現できる。

図７に示すように、線引き装置５０の母材昇降装置５１の昇降フレーム５１ａに吊支させた光ファイバ母材１Ａのダミー石英棒１５は光ファイバ母材１Ａの最上部に位置する。
線引き工程において、ダミー石英棒１５は、その下方の加熱炉５２からの放射熱や、クラッドガラス体１１から伝達する伝達熱によって加熱される。中実のダミー石英棒１５は、ダミー管に比べて加熱に対して格段に変形しにくい。

ダミー管を用いる従来構成の光ファイバ母材は、母材を加熱炉へ送り込んで行くことでダミー管が母材よりも先に潰れてしまうことを防ぐために、線引きに使用しない残母材長を長く確保する必要があった。これに対して本発明の実施形態に係る光ファイバ母材１Ａは、ダミー管に比べて加熱に対して格段に変形しにくい中実のダミー石英棒１５を使用する構成であるため、ダミー管を用いる従来構成の光ファイバ母材に比べて残母材長を短くすることができる。その結果、光ファイバ母材１Ａは、その軸線方向において残母材長部分よりも前側（先端側）の光ファイバ２の線引きに使用される領域（線引き有効領域）の軸線方向寸法を大きく確保でき、光ファイバ２の長尺化に有効に寄与する。

以上のことから、光ファイバ母材１Ａは、ダミー管を用いる従来構成の光ファイバ母材に比べて、線引き有効領域の軸線方向寸法を大きくすることを容易に実現できる。その結果、光ファイバ母材１Ａは、線引きによって得る光ファイバ２の長尺化を容易に実現できる。また、リング状の加熱炉５２は内径がより大きいものを使用することが可能となる。

（第２実施形態）
次に、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、光ファイバの製造方法の第２実施形態について、図８～図１４を参照して説明する。
なお、図８～図１４において、図１～図６と同様の構成部分には共通の符号を付し、その説明を省略あるいは簡略化する。

図１４は、この実施形態の光ファイバ母材１Ｂを示す断面図である。
この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、図１４に示す光ファイバ母材１Ｂを製造するものである。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、図８に示すように、まず、クラッドガラス体１１を用意し、このクラッドガラス体１１の軸線方向両端にダミー石英管１３１、１３２を溶着して接続する（ダミー石英管溶着工程）。
以下、クラッドガラス体１１の軸線方向両端のうち、図８～図１４における右側の端を一端、左側の端を他端とも言う。
また、以下、クラッドガラス体１１の軸線方向両端に溶着されるダミー石英管１３１、１３２のうち、クラッドガラス体１１の一端に溶着されるダミー石英管１３１を第１ダミー石英管、クラッドガラス体１１の他端に溶着されるダミー石英管１３２を第２ダミー石英管、とも言う。

ダミー石英管１３１、１３２は石英ガラス製の円筒状部材である。
図８に示すように、ダミー石英管１３１、１３２は、その軸線方向一端の端面をクラッドガラス体１１の軸線方向の端面に突き合わせるようにしてクラッドガラス体１１に溶着、一体化する。
ダミー石英管１３１、１３２は、クラッドガラス体１１と同軸になるようにしてクラッドガラス体１１に溶着する。ダミー石英管１３１、１３２は、クラッドガラス体１１に同軸に溶着したときに、クラッドガラス体１１の軸線方向端面に開口する各貫通孔１２の開口部を密封せず、各貫通孔１２の開口部の少なくとも一部の開口状態を維持可能な内径を有するものを用いる。クラッドガラス体１１に溶着されたダミー石英管１３１、１３２はクラッドガラス体１１の各貫通孔１２の開口部の一部に重なっていても良い。クラッドガラス体１１に溶着されたダミー石英管１３１、１３２の内側空間は、クラッドガラス体１１の全ての貫通孔１２と連通する。

ダミー石英管溶着工程は、クラッドガラス体１１の軸線方向両端の一方にダミー石英管を溶着する溶着作業（石英管第１溶着作業）の後に、クラッドガラス体１１の軸線方向両端の他方にダミー石英管を溶着する溶着作業（石英管第２溶着作業）を行なう手順で、各溶着作業を、乾燥気体（例えば空気あるいは不活性ガス）をクラッドガラス体１１の各貫通孔１２にクラッドガラス体１１のダミー石英管を溶着する側とは反対の側からダミー石英管を溶着する側へ通過させるように流しながら行なっても良い。
なお、以下、石英管第１溶着作業にてクラッドガラス体１１に溶着するダミー石英管を第１溶着ダミー石英管、石英管第２溶着作業にてクラッドガラス体１１に溶着するダミー石英管を第２溶着ダミー石英管、とも言う。

一例として、第１ダミー石英管１３１をクラッドガラス体１１の一端に溶着（石英管第１溶着作業）した後に、第２ダミー石英管１３２をクラッドガラス体１１の他端に溶着（石英管第２溶着作業）する場合について説明する。この例は、第１溶着ダミー石英管に第１ダミー石英管１３１、第２溶着ダミー石英管に第２ダミー石英管１３２、を採用するものである。
この場合、第１ダミー石英管１３１をクラッドガラス体１１の一端に溶着する溶着作業（石英管第１溶着作業）は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２にクラッドガラス体１１他端側から一端側へ通過させるように乾燥気体を流しながら行なう。クラッドガラス体１１の各貫通孔１２に供給した乾燥空気は、クラッドガラス体１１に第１ダミー石英管１３１が接続（溶着）されるまでは、貫通孔１２を通過した後にクラッドガラス体１１と第１ダミー石英管１３１との間から排出される。また、クラッドガラス体１１に第１ダミー石英管１３１が接続（溶着）された後は、クラッドガラス体１１の各貫通孔１２に供給した乾燥空気は、貫通孔１２及び第１ダミー石英管１３１の内側空間を通過して、第１ダミー石英管１３１のクラッドガラス体１１とは反対側（図１においては右側）の端の開口部（先端開口部）から排出される。

第２ダミー石英管１３２をクラッドガラス体１１の他端に溶着する溶着作業（石英管第２溶着作業）は、クラッドガラス体１１一端に溶着済みの第１ダミー石英管１３１の内側空間にクラッドガラス体１１とは反対の側（先端開口部）から乾燥気体を供給し、この乾燥気体をクラッドガラス体１１の貫通孔１２にクラッドガラス体１１一端側から他端側へ通過させるように流しながら行なう。第１ダミー石英管１３１の内側空間から供給されクラッドガラス体１１の各貫通孔１２を通過した乾燥空気は、クラッドガラス体１１に第２ダミー石英管１３２が接続（溶着）されるまでは、クラッドガラス体１１と第２ダミー石英管１３２との間から排出される。また、クラッドガラス体１１の貫通孔１２を通過した乾燥空気は、クラッドガラス体１１に第１ダミー石英管１３１が接続（溶着）された後は、貫通孔１２から第２ダミー石英管１３２の内側空間を通過して第２ダミー石英管１３２のクラッドガラス体１１とは反対側（図１においては左側）の端の開口部（先端開口部）から排出される。

クラッドガラス体１１の軸線方向の端にダミー石英管を溶着する溶着作業を、クラッドガラス体１１の各貫通孔１２に乾燥気体をクラッドガラス体１１のダミー石英管を溶着する側とは反対の側からダミー石英管を溶着する側へ通過させるように流しながら行なうことは、ダミー石英管のクラッドガラス体１１への溶着に使用する酸水素火炎によってクラッドガラス体１１の各貫通孔１２の中に水分が入ることを防ぐ。また、このように、クラッドガラス体１１の各貫通孔１２に乾燥気体を流しながら行なうダミー石英管溶着工程は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に大気中の不純物が入り込むことの防止にも有効に寄与する。
また、ダミー石英管溶着工程におけるクラッドガラス体１１の各貫通孔１２への乾燥空気の供給は、溶着作業時の加熱によってクラッドガラス体１１の端面が溶融して貫通孔１２が塞がれてしまうことを防ぐ。

ダミー石英管溶着工程において、クラッドガラス体１１の軸線方向両端の一方に第１溶着ダミー石英管を溶着する石英管第１溶着作業は、クラッドガラス体１１の軸線方向両端の他方、及び第１溶着ダミー石英管のクラッドガラス体１１とは反対側の端の開口部（先端開口部）の両方から乾燥気体を供給しながら行っても良い。石英管第１溶着作業の完了後、クラッドガラス体１１の軸線方向両端の他方に第２ダミー石英管を溶着する石英管第２溶着作業は、クラッドガラス体１１の軸線方向両端の一方、及び第２溶着ダミー石英管のクラッドガラス体１１とは反対側の端の開口部（先端開口部）の両方から乾燥気体を供給しながら行っても良い。

石英管第１溶着作業では、クラッドガラス体１１にダミー石英管（第１溶着ダミー石英管）が接続（溶着）されるまで、クラッドガラス体１１の軸線方向両端の一方の貫通孔１２開口部（一方側開口部）、及びダミー石英管のクラッドガラス体１１とは反対側の端の開口部（先端開口部）、の両方から乾燥気体の供給を継続する。但し、クラッドガラス体１１の各貫通孔１２への乾燥気体の供給流量の合計は、ダミー石英管の先端開口部からの乾燥気体の供給流量よりも大きくする。クラッドガラス体１１の各貫通孔１２の一方側開口部、及びダミー石英管の先端開口部から供給された乾燥気体は、クラッドガラス体１１にダミー石英管が接続（溶着）されるまでは、クラッドガラス体１１とダミー石英管との間から排出される。
クラッドガラス体１１の各貫通孔１２の一方側開口部、及びダミー石英管の先端開口部からの乾燥気体の供給は、クラッドガラス体１１にダミー石英管を当接させた後、クラッドガラス体１１へのダミー石英管の接続（溶着）が完了する前に停止させる。クラッドガラス体１１にダミー石英管が接続（溶着）された後は、ダミー石英管の先端開口部にリーク弁等の乾燥気体出口を確保し、クラッドガラス体１１の各貫通孔１２の一方側開口部のみから乾燥気体を供給し、供給した乾燥気体をリーク弁等の乾燥気体出口から排出させる。

石英管第２溶着作業では、クラッドガラス体１１にダミー石英管（第２溶着ダミー石英管）が接続（溶着）されるまで、クラッドガラス体１１に溶着済みの第１溶着ダミー石英管の先端開口部、及び第２溶着ダミー石英管のクラッドガラス体１１とは反対側の端の開口部（先端開口部）、の両方から乾燥気体の供給を継続する。但し、第１溶着ダミー石英管の先端開口部からの乾燥気体の供給流量は、第２溶着ダミー石英管の先端開口部からの乾燥気体の供給流量よりも大きくする。第１溶着ダミー石英管の先端開口部、及び第２溶着ダミー石英管から供給された乾燥気体は、クラッドガラス体１１に第２溶着ダミー石英管が接続（溶着）されるまでは、クラッドガラス体１１と第２溶着ダミー石英管との間から排出される。
第１溶着ダミー石英管の先端開口部、及び第２溶着ダミー石英管の先端開口部からの乾燥気体の供給は、クラッドガラス体１１に第２溶着ダミー石英管を当接させた後、クラッドガラス体１１への第２溶着ダミー石英管の接続（溶着）が完了する前に停止させる。クラッドガラス体１１に第２溶着ダミー石英管が接続（溶着）された後は、第２溶着ダミー石英管の先端開口部にリーク弁等の乾燥気体出口を確保し、第１溶着ダミー石英管の先端開口部のみから乾燥気体を供給し、供給した乾燥気体をリーク弁等の乾燥気体出口から排出させる。

なお、ダミー石英管溶着工程は、第１溶着ダミー石英管に第１ダミー石英管１３１、第２溶着ダミー石英管に第２ダミー石英管１３２を採用して、石英管第１溶着作業の完了後に石英管第２溶着作業を行なう構成、第１溶着ダミー石英管に第２ダミー石英管１３１、第２溶着ダミー石英管に第１ダミー石英管１３１を採用して、石英管第１溶着作業の完了後に石英管第２溶着作業を行なう構成、のいずれも採用可能である。

ダミー石英管溶着工程を完了したら、次に、図９に示すように、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２のそれぞれにコア用ガラスロッド１４を挿入するロッド挿入工程を行なう。コア用ガラスロッド１４は、第１ダミー石英管１３１の内側空間あるいは第２ダミー石英管１３２の内側空間を介してクラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入する。
コア用ガラスロッド１４は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２の長さ（軸線方向寸法）と同等の長さを有するものを使用する。

ロッド挿入工程は、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２のうち１つ以上の貫通孔に、コア用ガラスロッド１４ではなくコア識別マーカ用ガラスロッドを挿入することを含んでも良い。コア識別マーカ用ガラスロッドは、例えばクラッドガラス体１１及びコア用ガラスロッド１４の両方に対して屈折率が異なるガラスロッドや、色ガラスによって形成されたもの等、周知の構成のものを採用できる。クラッドガラス体１１の貫通孔１２へのコア識別マーカ用ガラスロッドの挿入は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２へのコア用ガラスロッド１４の挿入と同様に行なうことができる。

ロッド挿入工程によって、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２のそれぞれにコア用ガラスロッド１４が挿入された構成のガラス材ユニットＵ２が得られる。
なお、ガラス材ユニットＵ２について、クラッドガラス体１１軸線方向を軸線方向、クラッドガラス体１１軸線方向一端を一端、クラッドガラス体１１軸線方向他端を他端として説明する。

ダミー石英管溶着工程とロッド挿入工程との間では、クラッドガラス体１１の各貫通孔１２の内面をエッチングガスもしくはエッチング液によりエッチングするエッチング工程、貫通孔１２内を洗浄する洗浄工程、乾燥工程を行なっても良い。
エッチング工程にて使用するエッチングガスは、例えば、ＳＦ_６(六フッ化硫黄)ガス、Ｃ_２Ｆ_６（六フッ化エタン）ガス、等を採用できる。エッチング液には例えばフッ化水素酸（ＨＦ）などを採用できる。
洗浄工程では、例えばエタノール等のアルコールや純水などの洗浄液を貫通孔１２に流して貫通孔１２内を洗浄する。乾燥工程では、洗浄工程の後、貫通孔１２に乾燥気体（空気または不活性ガス等）を流して貫通孔１２を乾燥させる。

ロッド挿入工程が完了したら、次に、図１０に示すように、クラッドガラス体１１の一端側の端部（一端部）の先端を溶断して第１ダミー石英管１３１をクラッドガラス体１１から除去するとともにクラッドガラス体１１に各貫通孔１２の一端側の端を塞ぐ（気密に封止する）基端側封止部を形成（片端溶断工程）し、図１１に示すように基端側封止部にダミー石英棒１５を溶着、一体化するダミー棒一体化工程を行なう。

この実施形態では、図１０に示すように、片端溶断工程にて、クラッドガラス体１１の一端部を貫通孔１２内のコア用ガラスロッド１４とともに先細りのテーパ状に形成する。
図１１に示すように、ダミー棒一体化工程では、先細りのテーパ状に形成されたクラッドガラス体１１一端部を加熱しながらダミー石英棒１５を押し当て、ダミー石英棒１５をクラッドガラス体１１に同軸に位置合わせして溶着し一体化する。

ダミー棒一体化工程が完了したら、次に、図１２に示すように、第２ダミー石英管１３２のクラッドガラス体１１とは反対側の開口端に図示略の真空ポンプを接続し、真空ポンプの駆動によってクラッドガラス体１１の貫通孔１２内を真空引きする真空引き工程を行なう。
真空引き工程では、クラッドガラス体１１の全ての貫通孔１２内を、第２ダミー石英管１３２の内側空間を介してクラッドガラス体１１の他端側から真空引きする。

真空引き工程では、例えば、第２ダミー石英管１３２の開口端に接続したガス送給装置からクラッドガラス体１１の貫通孔１２へのヘリウムガスの送給と、真空ポンプによる真空引きとを交互に行なうことも可能である。

図１３、図１４に示すように、この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、真空引き工程の開始後に、真空ポンプによる真空引きを継続した状態で、火炎１６（例えば酸水素炎）等を利用してクラッドガラス体１１他端部を含むガラス材ユニットＵ２他端部を加熱縮径させてクラッドガラス体１１他端部に開口する全ての貫通孔１２の開口部を塞ぐ（気密に封止する）先端側封止工程を行なう。

先端側封止工程にて全ての貫通孔１２の開口部を気密に封止した状態のガラス材ユニットＵ２他端部を、以下、先端側封止部１７、とも言う。先端側封止部１７は、クラッドガラス体１１他端部をその内側のコア用ガラスロッド１４先端部とともに加熱縮径して中実化したものである。

図１４に示すように、この実施形態の先端側封止工程では、ガラス材ユニットＵ２他端部を先細りのテーパ状に加工した先端側封止部１７を形成する。
また、この実施形態の先端側封止工程では、先細りのテーパ状の先端側封止部１７を形成する過程においてガラス材ユニットＵ２他端部の先端を溶断してクラッドガラス体１１から第２ダミー石英管１３２を除去する。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、先端側封止工程の完了によって完了し、図１４に示す光ファイバ母材１Ｂを得ることができる。
図１４の光ファイバ母材１Ｂのクラッドガラス体１１の内部には、貫通孔１２の一端側がダミー石英棒１３によって気密に封止され、他端側が先端側封止部１７によって気密に封止された内孔１８が確保される。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、真空ポンプによる貫通孔１２の真空引きを継続したまま先端側封止工程を行なって先端側封止部１７を形成することで、先端側封止工程の完了後の光ファイバ母材１Ｂの内孔１８内の圧力（気圧）が負圧（大気圧に対して陰圧）の状態を確保する。

先端側封止工程では、ガラス材ユニットＵ２他端部を加熱して縮径させて中実化し、加熱により軟化したガラス材ユニットＵ２他端部をテーパ状に加工して先端側封止部１７を形成する。
先端側封止工程において先端側封止部１７の形成によって確保される内孔１８の内圧は、真空ポンプが先端側封止部１７を形成前のクラッドガラス体１１の貫通孔１２に作用させる真空圧と同等の圧力（内圧）となる。

先端側封止工程では、真空ポンプを使用してクラッドガラス体１１の貫通孔１２内を大気圧から１００ｋＰａ程度減圧した状態で先端側封止部１７を形成する。真空ポンプがクラッドガラス体１１の貫通孔１２に作用させる真空圧は例えば１ｋＰａ以下であることが好適である。クラッドガラス体１１の貫通孔１２に１ｋＰａ以下の真空圧を作用させながら先端側封止部１７を形成することで、内圧が１ｋＰａ以下の内孔１８を有する光ファイバ母材１Ｂが得られる。

光ファイバ母材１Ｂも、線引き装置５０（図７参照）を用いた光ファイバ２の製造（光ファイバ２の製造方法、線引き工程）に適用できる。
線引き装置５０を用いた光ファイバ母材１Ｂからの光ファイバ２の製造は、線引き装置５０の昇降フレーム５１ａに吊り下げ状態に支持（吊支）させた光ファイバ母材１Ｂの下端部を加熱炉５２（具体的にはその内側貫通孔５２ａ）に挿入し、光ファイバ母材１Ｂ下端部を加熱炉５２によって線引き時加熱温度に加熱してガラス粘度を低下（軟化）させた状態を保ったまま、光ファイバ母材１Ｂ下端部から下方へ光ファイバ２を線引きする。

また、線引き装置５０を用いた光ファイバ母材１Ｂからの光ファイバ２の製造では、昇降フレーム５１ａの下降による光ファイバ母材１Ｂの加熱炉５２（具体的にはその内側貫通孔５２ａ）への送り込みを進行させることでクラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されたコア用ガラスロッド１４、コア識別マーカ用ガラスロッドといった挿入ガラスロッドに対するクラッドガラス体１１の一体化を進行させながら、光ファイバ母材１Ｂ下端部からの光ファイバ２の線引きを継続する。

光ファイバ母材１Ｂ下端部（先端部）からの光ファイバ２の線引きは、挿入ガラスロッドに対するクラッドガラス体１１の一体化進行に伴い縮小する内孔１８の容積が消滅する前に完了とする。線引き開始前の光ファイバ母材１Ｂの内孔１８の内圧は、光ファイバ２の線引き完了時点で負圧であるように確保する。これにより、光ファイバ２の線引き開始から完了まで光ファイバ母材１Ｂの内孔１８の内圧を負圧に維持できる。
内孔１８の内圧は、線引き工程の開始から完了まで負圧を維持できるように設定すれば良く、例えば１ｋＰａ超～２０ｋＰａ程度であっても良い。
先端側封止工程では、例えば内圧が２０ｋＰａ以下の内孔１８を形成して、線引き工程において負圧の内孔１８の内圧を確保する。線引き開始前の光ファイバ母材１Ｂの内孔１８の内圧が２０ｋＰａ以下であれば、線引き工程において内孔１８の内圧の負圧を維持したまま充分な長さの光ファイバを線引きすることが可能である。
内孔１８の内圧は、例えば２０ｋＰａ以下であるが、１０ｋＰａ以下、あるいは１ｋＰａ以下であっても良い。

光ファイバ母材１Ｂの製造に使用するコア用ガラスロッド１４等の挿入ガラスロッドは、その外径がクラッドガラス体１１の貫通孔１２の内径の８０～９８％であるものを好適に使用できる。線引きによって得られる光ファイバ２におけるコア位置精度の安定確保の点で、コア用ガラスロッド１４等の挿入ガラスロッドの外径は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２の内径の９０～９８％であることがより好ましく、９５～９８％であることがさらに好ましい。

（第３実施形態）
次に、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、光ファイバの製造方法の第３実施形態について、図１５～図２０を参照して説明する。

図２０は、この実施形態の光ファイバ母材１Ｃを示す断面図である。
この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、図２０に示す光ファイバ母材１Ｃを製造するものである。

図１５等に示すように、この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、円筒状のクラッドガラス体２１を用いるものである。クラッドガラス体２１は、光ファイバ母材１Ｃから線引きした光ファイバのクラッドの一部を形成する。
この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、図１５に示すように、まず、クラッドガラス体２１を用意し、クラッドガラス体２１内側の貫通孔２２にガラスロッド２３を複数挿入するロッド挿入工程を行なう。

クラッドガラス体２１内側の貫通孔２２に挿入する複数のガラスロッド２３のうち１つ以上のガラスロッドは、光ファイバ母材１Ｃ（図２０参照）の線引きによって光ファイバのコアとなるコア用ガラスロッドである。また、クラッドガラス体２１内側の貫通孔２２に挿入する複数のガラスロッド２３は、光ファイバ母材１Ｃの線引きによって光ファイバのクラッドの一部となるクラッド用ガラスロッドを１つ以上含んでいても良い。
この実施形態にて使用するコア用ガラスロッドは、線引きによって光ファイバのコアとなる部分の周囲が光ファイバのクラッドの一部となる部分によって覆われた構造のものである。但し、コア用ガラスロッドは、その全体が、光ファイバのコアとなる構成のものも採用可能である。

ロッド挿入工程を行なうことで、クラッドガラス体２１の貫通孔２２にガラスロッド２３が複数挿入された構成のガラス材ユニットＵ３が得られる。
なお、ガラス材ユニットＵ３について、クラッドガラス体２１の貫通孔２２の軸線方向を軸線方向として扱う。また、クラッドガラス体２１及びガラス材ユニットＵ３について、図１５～図２０の右側を一端、左側を他端として説明する。

ロッド挿入工程が完了したら、次に、図１６に示すように、クラッドガラス体２１の一端側の端部（一端部）の先端を溶断し、加熱したクラッドガラス体２１一端部によってクラッドガラス体２１の貫通孔２２の開口部を塞ぐ（気密に封止する）基端側封止部２４を形成し（片端溶断工程）、次いで図１７に示すように、基端側封止部２４にダミー石英棒２５を溶着、一体化するダミー棒一体化工程を行なう。

この実施形態では、図１６に示すように、片端溶断工程にて、ガラス材ユニットＵ３の一端部を先細りのテーパ状に形成する。先細りのテーパ状に形成したガラス材ユニットＵ３一端部は、クラッドガラス体２１の一端部を貫通孔２２内のガラスロッド２３とともに加熱縮径させて中実化したものである。
図１７に示すように、ダミー棒一体化工程では、先細りのテーパ状に形成されたクラッドガラス体２１一端部を加熱しながら基端側封止部２４に中実のダミー石英棒２５を押し当て、ダミー石英棒２５をクラッドガラス体２１に同軸に位置合わせして基端側封止部２４に溶着し一体化する。

ダミー棒一体化工程が完了したら、次に、図１８に示すように、クラッドガラス体２１の他端に図示略の真空ポンプを接続し、真空ポンプの駆動によってクラッドガラス体２１の貫通孔２２内を真空引きする真空引き工程を行なう。
真空引き工程では、例えば、クラッドガラス体２１の他端に接続したガス送給装置からクラッドガラス体２１の貫通孔２２へのヘリウムガスの送給と、真空ポンプによる真空引きとを交互に行なうことも可能である。

図１９、図２０に示すように、この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、真空引き工程の開始後に、真空ポンプによる真空引きを継続した状態で、火炎２６（例えば酸水素炎）等を利用してクラッドガラス体２１他端部を含むガラス材ユニットＵ３他端部を加熱縮径させてクラッドガラス体２１他端に開口する貫通孔２２の開口部を塞ぐ（気密に封止する）先端側封止工程を行なう。

先端側封止工程にて貫通孔２２の開口部を気密に封止した状態のガラス材ユニットＵ３他端部を、以下、先端側封止部２７、とも言う。先端側封止部２７は、クラッドガラス体２１他端部をその内側のガラスロッド２３先端部とともに加熱縮径して中実化したものである。

図２０に示すように、この実施形態の先端側封止工程では、ガラス材ユニットＵ３他端部を先細りのテーパ状に加工した先端側封止部２７を形成する。
また、この実施形態の先端側封止工程では、ガラス材ユニットＵ３他端部の先端を溶断して、先細りのテーパ状の先端側封止部２７を形成する。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、先端側封止工程の完了によって完了し、図２０に示す光ファイバ母材１Ｃを得ることができる。
図２０の光ファイバ母材１Ｃのクラッドガラス体２１の内部には、貫通孔２２の一端側が基端側封止部２４によって気密に封止され、他端側が先端側封止部２７によって気密に封止された内孔２８が確保される。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、真空ポンプによる貫通孔２２の真空引きを継続したまま先端側封止工程を行なって先端側封止部２７を形成することで、先端側封止工程の完了後の光ファイバ母材１Ｃの内孔２８内の圧力（気圧）が負圧（大気圧に対して陰圧）の状態を確保する。

先端側封止工程では、ガラス材ユニットＵ３他端部を加熱して縮径させて中実化し、加熱により軟化したガラス材ユニットＵ３他端部をテーパ状に加工して先端側封止部２７を形成する。
先端側封止工程において先端側封止部２７の形成によって確保される内孔２８の内圧は、真空ポンプが先端側封止部２７を形成前のクラッドガラス体２１の貫通孔２２に作用させる真空圧と同等の圧力（内圧）となる。

先端側封止工程では、真空ポンプを使用してクラッドガラス体２１の貫通孔２２内を大気圧から１００ｋＰａ程度減圧した状態で先端側封止部２７を形成する。真空ポンプがクラッドガラス体２１の貫通孔２２に作用させる真空圧は例えば１ｋＰａ以下であることが好適である。クラッドガラス体２１の貫通孔２２に１ｋＰａ以下の真空圧を作用させながら先端側封止部２７を形成することで、内圧が１ｋＰａ以下の内孔２８を有する光ファイバ母材１Ｃが得られる。

光ファイバ母材１Ｃからの光ファイバ２の製造（光ファイバ２の製造方法、線引き工程）も、線引き装置５０（図７参照）を用いることで、ガラスロッド２３に対するクラッドガラス体１１の一体化を進行させながら光ファイバ２の線引きを継続できる。
線引き装置５０を用いた光ファイバ母材１Ｃからの光ファイバ２の線引きは、線引き装置５０の昇降フレーム５１ａに吊り下げ状態に支持（吊支）させた光ファイバ母材１Ｃの下端部を加熱炉５２（具体的にはその内側貫通孔５２ａ）に挿入して線引き時加熱温度に加熱しガラス粘度を低下（軟化）させた状態を保ったまま、光ファイバ母材１Ｃ下端部から下方へ光ファイバ２を線引きする。また、昇降フレーム５１ａの下降による光ファイバ母材１Ｃの加熱炉５２（具体的にはその内側貫通孔５２ａ）への送り込みを進行させることでガラスロッド２３に対するクラッドガラス体１１の一体化を進行させながら、光ファイバ母材１Ｃ下端部からの光ファイバ２の線引きを継続する。

線引き開始前の光ファイバ母材１Ｃの内孔２８内圧は、線引き工程の開始から完了まで負圧を維持できるように設定すれば良く、例えば１ｋＰａ超～２０ｋＰａ程度であっても良い。先端側封止工程では、例えば内圧が２０ｋＰａ以下の内孔２８を形成して、線引き工程において負圧の内孔２８内圧を確保する。線引き開始前の光ファイバ母材１Ｃの内孔２８内圧が２０ｋＰａ以下であれば、線引き工程において内孔２８内圧の負圧を維持したまま充分な長さの光ファイバを線引きすることが可能である。
内孔２８内圧は、例えば２０ｋＰａ以下であるが、１０ｋＰａ以下、あるいは１ｋＰａ以下であっても良い。

（第４実施形態）
次に、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、光ファイバの製造方法の第４実施形態について、図２１～図２６を参照して説明する。
なお、図２１～図２６において、図１５～図２０と同様の構成部分については共通の符号を付し、その説明を省略または簡略化する。

図２６は、この実施形態の光ファイバ母材１Ｄを示す断面図である。
この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、図２６に示す光ファイバ母材１Ｄを製造するものである。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、図２１に示すように、まず、円筒状のクラッドガラス体２１を用意し、クラッドガラス体２１内側の貫通孔２２にガラスロッド２３を複数挿入するロッド挿入工程を行なう。
このロッド挿入工程は、光ファイバ母材の製造方法の第３実施形態のロッド挿入工程と同様に行なうことができる。クラッドガラス体２１内側の貫通孔２２に挿入する複数のガラスロッド２３も、光ファイバ母材の製造方法の第３実施形態のロッド挿入工程と同様の構成を採用できる。すなわち、クラッドガラス体２１内側の貫通孔２２に挿入する複数のガラスロッド２３は、１つ以上のコア用ガラスロッドを含む。また、クラッドガラス体２１内側の貫通孔２２に挿入する複数のガラスロッド２３は、クラッド用ガラスロッドを１つ以上含んでいても良い。コア用ガラスロッドは、光ファイバ母材の製造方法の第３実施形態にて採用可能な構成のものを用いることができる。

ロッド挿入工程を行なうことで、クラッドガラス体２１の貫通孔２２にガラスロッド２３が複数挿入された構成のガラス材ユニットＵ４が得られる。
なお、ガラス材ユニットＵ４について、クラッドガラス体２１の貫通孔２２の軸線方向を軸線方向として扱う。また、クラッドガラス体２１及びガラス材ユニットＵ４について、図２１～図２６の右側を一端、左側を他端として説明する。

但し、図２１に示すように、ガラスロッド２３は、クラッドガラス体２１の長さ（軸線方向寸法）に比べて長さが短いものを使用する。
クラッドガラス体２１の貫通孔２２に挿入する複数のガラスロッド２３は、互いに概ね同じ長さのものを用いる。

ロッド挿入工程が完了したら、次に、図２２、図２３に示すように、クラッドガラス体２１の一端側の端部（一端部）に挿入したダミー石英棒２５にクラッドガラス体２１の一端部を加熱、一体化するダミー棒一体化工程を行なう。
このダミー棒一体化工程は、まず、図２２に示すように、クラッドガラス体２１の一端側の端部（一端部）にダミー石英棒２５を挿入する。ここで、クラッドガラス体２１の貫通孔２２内の複数のガラスロッド２３は、クラッドガラス体２１の一端からクラッドガラス体２１他端側へずれた位置に配置する。また、図２２では、クラッドガラス体２１の一端部に挿入したダミー石英棒２５の先端を、クラッドガラス体２１の貫通孔２２内の複数のガラスロッド２３のクラッドガラス体２１一端側の先端に突き当てている。

クラッドガラス体２１の一端部へのダミー石英棒２５の挿入を完了したら、次いで、図２３に示すように、クラッドガラス体２１の一端部を火炎２６（例えば酸水素炎）等を用いて加熱縮径させてダミー石英棒２５に一体化する。その結果、クラッドガラス体２１の一端側の開口部をダミー石英棒２５に塞ぐ（気密に封止する）。
ダミー石英棒２５は、クラッドガラス体２１一端部に挿入した部分の他に、クラッドガラス体２１一端から突出する部分を確保できる長さを有するものを使用する。ダミー石英棒２５は、ダミー棒一体化工程の完了後も、クラッドガラス体２１一端から突出する部分を有する。

ダミー棒一体化工程が完了したら、次に、図２４に示すように、クラッドガラス体２１の他端に図示略の真空ポンプを接続し、真空ポンプの駆動によってクラッドガラス体２１の貫通孔２２内を真空引きする真空引き工程を行なう。
真空引き工程では、例えば、クラッドガラス体２１の他端に接続したガス送給装置からクラッドガラス体２１の貫通孔２２へのヘリウムガスの送給と、真空ポンプによる真空引きとを交互に行なうことも可能である。

図２５、図２６に示すように、この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、真空引き工程の開始後に、真空ポンプによる真空引きを継続した状態で、火炎２６（例えば酸水素炎）等を利用してクラッドガラス体２１他端部を含むガラス材ユニットＵ４他端部を加熱縮径させてクラッドガラス体２１他端に開口する貫通孔２２の開口部を塞ぐ（気密に封止する）先端側封止工程を行なう。
先端側封止工程では、ガラス材ユニットＵ４他端部に、クラッドガラス体２１他端部をその内側のコア用ガラスロッド２３先端部とともに加熱縮径して中実化した先端側封止部２７を形成して、貫通孔２２の開口部を気密に封止する。

図２６に示すように、この実施形態の先端側封止工程では、ガラス材ユニットＵ４他端部を先細りのテーパ状に加工した先端側封止部２７を形成する。
また、この実施形態の先端側封止工程では、ガラス材ユニットＵ４他端部の先端を溶断して、先細りのテーパ状の先端側封止部２７を形成する。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、先端側封止工程の完了によって完了し、図２６に示す光ファイバ母材１Ｄを得ることができる。
図２６の光ファイバ母材１Ｄのクラッドガラス体２１の内部には、貫通孔２２の一端側が基端側封止部２４によって気密に封止され、他端側が先端側封止部２７によって気密に封止された内孔２８が確保される。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法でも、光ファイバ母材の製造方法の第３実施形態と同様に、真空ポンプによる貫通孔２２の真空引きを継続したまま先端側封止工程を行なって先端側封止部２７を形成することで、先端側封止工程の完了後の光ファイバ母材１Ｄの内孔２８内の圧力（気圧）が負圧（大気圧に対して陰圧）の状態を確保する。
先端側封止工程にて、真空ポンプを使用してクラッドガラス体２１の貫通孔２２内を大気圧から１００ｋＰａ程度減圧した状態で先端側封止部２７を形成すること、も光ファイバ母材の製造方法の第３実施形態と同様である。先端側封止工程において先端側封止部２７の形成によって確保される内孔２８の内圧は、真空ポンプが先端側封止部２７を形成前のクラッドガラス体２１の貫通孔２２に作用させる真空圧と同等の圧力（内圧）となる。
真空ポンプがクラッドガラス体２１の貫通孔２２に作用させる真空圧は例えば１ｋＰａ以下であることが好適である。

光ファイバ母材１Ｄを用いた光ファイバの製造（光ファイバの製造方法）は、線引き装置５０（図７参照）を用いて第３実施形態の光ファイバ母材１Ｃからの光ファイバの製造と同様に行なう。
線引き開始前の光ファイバ母材１Ｄの内孔２８内圧は２０ｋＰａ以下とする。線引き開始前の内孔２８内圧が２０ｋＰａ以下の光ファイバ母材１Ｄであれば、線引き工程において内孔２８内圧の負圧を維持したまま充分な長さの光ファイバを線引きすることが可能である。
内孔２８内圧は、例えば２０ｋＰａ以下であるが、１０ｋＰａ以下、あるいは１ｋＰａ以下であっても良い。

（第５実施形態）
次に、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、光ファイバの製造方法の第５実施形態について、図２７～図３２を参照して説明する。
なお、図２７～図３２において、図８～図１４と同様の構成部分については共通の符号を付し、その説明を省略または簡略化する。

図３２は、この実施形態の光ファイバ母材１Ｅを示す断面図である。
この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、図３２に示す光ファイバ母材１Ｅを製造するものである。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、図２７に示すように、まず、第２実施形態の光ファイバ母材の製造方法と同様に、貫通孔１２が複数形成されたクラッドガラス体１１の軸線方向両端にダミー石英管１３１、１３２を溶着して接続するダミー石英管溶着工程と、クラッドガラス体１１の貫通孔１２にコア用ガラスロッド１４を挿入するロッド挿入工程とを行なう。
この実施形態の光ファイバ母材の製造方法においても、第１実施形態の光ファイバ母材の製造方法と同様に、ダミー石英管溶着工程とロッド挿入工程との間にて、クラッドガラス体１１の各貫通孔１２の内面をエッチングガスもしくはエッチング液によりエッチングするエッチング工程、貫通孔１２内を洗浄する洗浄工程、乾燥工程を行なっても良い。

ダミー石英管溶着工程及びロッド挿入工程を完了したら、次に、図２８に示すように第１ダミー石英管１３１にダミー石英棒１５を挿入し、図２９に示すように第１ダミー石英管１３１を加熱縮径させてダミー石英棒１５に一体化するダミー棒一体化工程を行なう。
ダミー棒一体化工程では、酸水素炎等の火炎１６を利用して第１ダミー石英管１３１を加熱縮径させてダミー石英棒１５に一体化し、第１ダミー石英管１３１のクラッドガラス体１１とは反対側に開口する開口部を塞ぐ（気密に封止する）。

ダミー石英棒１５は第１ダミー石英管１３１を介してクラッドガラス体１１に固定される。第１ダミー石英管１３１は、ダミー石英棒１５をクラッドガラス体１１に接続するための接続用ガラス管の役割を果たす。

図２８では、第１ダミー石英管１３１に挿入したダミー石英棒１５の先端をクラッドガラス体１１の一端に突き当てている。ダミー石英棒１５は、その先端をクラッドガラス体１１の一端に突き当たときに、第１ダミー石英管１３１からクラッドガラス体１１とは反対側に突出する長さを有するものを使用する。
図２９に示すように、ダミー棒一体化工程では、ダミー石英棒１５の先端をクラッドガラス体１１の一端に突き当てた状態を維持したまま、第１ダミー石英管１３１を加熱縮径させてダミー石英棒１５に一体化させる。その結果、ダミー石英棒１５の第１ダミー石英管１３１内に挿入された部分の全体に第１ダミー石英管１３１が一体化される。

ダミー棒一体化工程を完了したら、次に、図３０に示すように、第２ダミー石英管１３２のクラッドガラス体１１とは反対側の開口端に接続した図示略の真空ポンプを用いてクラッドガラス体１１の貫通孔１２内を真空引きする真空引き工程を行なう。
真空引き工程は、第２実施形態の光ファイバ母材の製造方法の真空引き工程と同様に行なうことができる。

また、この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、図３１、図３２に示すように、真空引き工程の開始後に、真空ポンプによる真空引きを継続した状態で、第２実施形態の光ファイバ母材の製造方法の先端側封止工程と同様の先端側封止工程を行なう。
先端側封止工程では、ガラス材ユニットＵ２他端部に先端側封止部１７を形成する。
図３２に示すように、ガラス材ユニットＵ２他端部を先細りのテーパ状に加工した先端側封止部１７を形成すること、先端側封止部１７を形成する過程においてガラス材ユニットＵ２他端部の先端を溶断してクラッドガラス体１１から第２ダミー石英管１３２を除去することも、第２実施形態の光ファイバ母材の製造方法の先端側封止工程と同様である。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、先端側封止工程の完了によって完了し、図３２に示す光ファイバ母材１Ｅを得ることができる。
図３２の光ファイバ母材１Ｅのクラッドガラス体１１の内部には、貫通孔１２の一端側がダミー石英棒１３によって気密に封止され、他端側が先端側封止部１７によって気密に封止された内孔１８が確保される。

先端側封止工程では、真空ポンプを使用してクラッドガラス体１１の貫通孔１２内を大気圧から１００ｋＰａ程度減圧した状態で先端側封止部１７を形成する。真空ポンプがクラッドガラス体１１の貫通孔１２に作用させる真空圧は例えば１ｋＰａ以下であることが好適である。クラッドガラス体１１の貫通孔１２に１ｋＰａ以下の真空圧を作用させながら先端側封止部１７を形成することで、内圧が１ｋＰａ以下の内孔１８を有する光ファイバ母材１Ｅが得られる。

光ファイバ母材１Ｅを用いた光ファイバの製造（光ファイバの製造方法）は、線引き装置５０（図７参照）を用いて第２実施形態の光ファイバ母材１Ｂからの光ファイバの製造と同様に行なう。
線引き開始前の光ファイバ母材１Ｅの内孔１８の内圧は２０ｋＰａ以下とする。線引き開始前の内孔１８の内圧が２０ｋＰａ以下の光ファイバ母材１Ｅであれば、線引き工程において内孔１８の内圧の負圧を維持したまま充分な長さの光ファイバを線引きすることが可能である。
内孔１８の内圧は、例えば２０ｋＰａ以下であるが、１０ｋＰａ以下、あるいは１ｋＰａ以下であっても良い。

光ファイバ母材１Ｅの製造に使用するコア用ガラスロッド１４等の挿入ガラスロッドは、その外径がクラッドガラス体１１の貫通孔１２の内径の８０～９８％であるものを好適に使用できる。線引きによって得られる光ファイバ２におけるコア位置精度の安定確保の点で、コア用ガラスロッド１４等の挿入ガラスロッドの外径は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２の内径の９０～９８％であることがより好ましく、９５～９８％であることがさらに好ましい。

第１～第５実施形態の光ファイバ母材の製造方法及び光ファイバ母材によれば、光ファイバ母材内に内圧が負圧の内孔が確保されるため、光ファイバの線引き時に母材内の真空引きを行なう必要が無い。その結果、光ファイバ母材における線引き有効領域の母材軸線方向寸法を大きく確保でき、光ファイバの線引き長の増大、長尺化を容易に実現できる。

なお、第２～第５実施形態の光ファイバ母材についても、第１実施形態の光ファイバ母材１Ａと同様に、図７に例示した線引き装置５０を光ファイバの線引きに利用できる。
第２～第５実施形態の光ファイバ母材は、それぞれ、クラッドガラス体あるいはクラッドガラス体の一端に溶着された第１ダミー石英管１３１（図２９参照）から、クラッドガラス体軸線方向他端とは反対の方向に突出する突出部が確保されたダミー石英棒を有する。
第２～第５実施形態の光ファイバ母材は、図７に例示した線引き装置５０を光ファイバの線引きに利用する場合、クラッドガラス体あるいはクラッドガラス体の一端に溶着された第１ダミー石英管１３１（図２９参照）からクラッドガラス体軸線方向他端とは反対の方向に突出するダミー石英棒の突出部を昇降フレーム５１ａに取り付け、先端側封止部が下端となるように昇降フレーム５１ａに吊支させる。

第１～第５実施形態の光ファイバ母材の製造方法及び光ファイバ母材によれば、光ファイバ母材内に内圧が負圧の内孔が確保されるため、光ファイバの線引き時に母材内の真空引きを行なう必要が無い。その結果、光ファイバ母材における線引き有効領域の母材軸線方向寸法を大きく確保でき、光ファイバの線引き長の増大、長尺化を容易に実現できる。

なお、第２～第５実施形態の光ファイバ母材についても、第１実施形態の光ファイバ母材１Ａと同様に、図７に例示した線引き装置５０を光ファイバの線引きに利用できる。
第２～第５実施形態の光ファイバ母材は、それぞれ、クラッドガラス体あるいはクラッドガラス体の一端に溶着された第１ダミー石英管１３１（図２９参照）から、クラッドガラス体軸線方向他端とは反対の方向に突出する突出部が確保されたダミー石英棒を有する。
第２～第５実施形態の光ファイバ母材は、図７に例示した線引き装置５０を光ファイバの線引きに利用する場合、クラッドガラス体あるいはクラッドガラス体の一端に溶着された第１ダミー石英管１３１（図２９参照）からクラッドガラス体軸線方向他端とは反対の方向に突出するダミー石英棒の突出部を昇降フレーム５１ａに取り付け、先端側封止部が下端となるように昇降フレーム５１ａに吊支させる。

（第６実施形態）
次に、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、光ファイバの製造方法の第６実施形態について、図３３Ａ～図３３Ｇを参照して説明する。
なお、図３３Ａ～図３３Ｇにおいて、図８～図１４（第２実施形態）と同様の構成部分については共通の符号を付し、その説明を省略または簡略化する。
図３３Ｇは、この実施形態の光ファイバ母材１Ｆを示す断面図である。
この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、図３３Ｇに示すように内部に空隙部１９が確保された光ファイバ母材１Ｆを製造するものである。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、第２実施形態の光ファイバ母材の製造方法について、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入したコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の一端から他端側へ離隔させ、コア用ガラスロッド１４の反対側の端部をクラッドガラス体１１の他端から突出させた状態で、ダミー棒一体化工程（図３３Ｃ及び図３３Ｄ）及び先端側封止工程（図３３Ｆ）を行なうように変更したものである。
図３３Ｇに示す光ファイバ母材１Ｆの空隙部１９は、ロッド挿入工程の後のダミー棒一体化工程及び先端側封止工程によってクラッドガラス体１１の貫通孔１２の軸線方向両端を封止して確保される内孔１８の一端（図３３Ｇ右端）側に確保された、コア用ガラスロッド１４が挿入されていない領域（空間）である。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、まず、第２実施形態の光ファイバ母材の製造方法と同様に、ダミー石英管溶着工程（図３３Ａ）、及びロッド挿入工程（図３３Ｂ）を行なう。
ダミー石英管溶着工程では、第１ダミー石英管１３１をクラッドガラス体１１の一端に溶着する石英管第１溶着作業と、第２ダミー石英管１３２をクラッドガラス体１１の他端に溶着石英管第２溶着作業とを、クラッドガラス体１１の各貫通孔１２に乾燥空気を流しながら行なうこと等、第２実施形態に係るダミー石英管溶着工程にて採り得る種々の手法を採用できる。ダミー石英管溶着工程にて採用可能な手法は、第２実施形態に係るダミー石英管溶着工程と同様であるため、ここではその詳細説明を省略する。

ダミー石英管溶着工程の完了後、ロッド挿入工程を行なうことで、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２のそれぞれにコア用ガラスロッド１４が挿入された構成のガラス材ユニットＵ６が得られる。
ガラス材ユニットＵ６について、クラッドガラス体１１軸線方向を軸線方向、クラッドガラス体１１軸線方向一端を一端、クラッドガラス体１１軸線方向他端を他端として説明する。
但し、この実施形態のロッド挿入工程は、図３３Ｂに示すように、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入したコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の一端から他端側へ離隔させ、コア用ガラスロッド１４の反対側の端部をクラッドガラス体１１の他端から突出させた状態とすることを含んでいても良い。

なお、ロッド挿入工程は、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２のうち１つ以上の貫通孔に、コア用ガラスロッド１４ではなくコア識別マーカ用ガラスロッドを挿入することを含んでも良い。コア用ガラスロッド１４、コア識別マーカ用ガラスロッドといった挿入ガラスロッドは、いずれも、クラッドガラス体１１に対して、この実施形態にて説明するコア用ガラスロッド１４の挿入形態と同様の挿入形態を採用する。

ダミー石英管溶着工程とロッド挿入工程との間では、クラッドガラス体１１の各貫通孔１２の内面をエッチングガスもしくはエッチング液によりエッチングするエッチング工程、貫通孔１２内を洗浄する洗浄工程、乾燥工程を行なっても良い。
エッチング工程、洗浄工程、乾燥工程は、第２実施形態の光ファイバ母材の製造方法にて説明したものと同様に行なうことができ、ここではその詳細説明を省略する。

ロッド挿入工程が完了したら、次に、図３３Ｃに示すように、クラッドガラス体１１の一端側の端部（一端部）の先端を溶断して第１ダミー石英管１３１をクラッドガラス体１１から除去（片端溶断工程）し、図３３Ｄに示すように、第１ダミー石英管１３１を除去後のクラッドガラス体１１の一端部にダミー石英棒１５を溶着、一体化するダミー棒一体化工程を行なう。

ダミー棒一体化工程は、図３３Ｃ、図３３Ｄに示すように、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されたコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の一端から他端側へ離隔させ、コア用ガラスロッド１４の反対側の端部をクラッドガラス体１１の他端から突出させた状態とする以外は、第２実施形態に係るダミー棒一体化工程と同様に行なうことができる。

図３３Ｃに示すように、片端溶断工程では、クラッドガラス体１１の一端部の先端を溶断するとともに、クラッドガラス体１１の一端部を先細りのテーパ状に形成する。
第１ダミー石英管１３１を除去後のクラッドガラス体１１の一端部にダミー石英棒１５を溶着、一体化する作業（基端側ダミー棒一体化工程）は、先細りのテーパ状に形成されたクラッドガラス体１１一端部を加熱しながらダミー石英棒１５を押し当て、ダミー石英棒１５をクラッドガラス体１１に同軸に位置合わせして溶着し一体化する。
基端側ダミー棒一体化工程は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されたコア用ガラスロッド１４を基端側封止部から貫通孔１２の他端側へ離隔させた状態にて行うことで、コア用ガラスロッド１４への基端側封止部の熱溶着等を回避できる。

ダミー棒一体化工程が完了したら、次に、図３３Ｅに示すように、第２ダミー石英管１３２のクラッドガラス体１１とは反対側の開口端に図示略の真空ポンプを接続し、真空ポンプの駆動によってクラッドガラス体１１の貫通孔１２内を真空引きする真空引き工程を行なう。真空引き工程は、第２実施形態にて説明した真空引き工程と同様に行なうことができる。

図３３Ｆ、図３３Ｇに示すように、この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、真空引き工程の開始後に、ガラス材ユニットＵ６他端部を加熱縮径させてクラッドガラス体１１他端部に開口する全ての貫通孔１２の開口部を塞ぐ（気密に封止する）先端側封止工程を行なう。
先端側封止工程は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されたコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の一端から他端側へ離隔させ、コア用ガラスロッド１４の反対側の端部をクラッドガラス体１１の他端から突出させた状態とする以外は、第２実施形態に係る先端側封止工程と同様に行なうことができる。

先端側封止工程では、真空ポンプによる真空引きを継続した状態で、火炎１６（例えば酸水素炎）等を利用してクラッドガラス体１１他端部を含むガラス材ユニットＵ６他端部を加熱縮径させて、クラッドガラス体１１他端部に開口する全ての貫通孔１２の開口部を塞ぐ（気密に封止する）先端側封止部１７を形成する。先端側封止部１７は、クラッドガラス体１１他端部をその内側のコア用ガラスロッド１４先端部とともに加熱縮径して中実化したものである。

図３３Ｇに示すように、この実施形態の先端側封止工程では、ガラス材ユニットＵ６他端部を先細りのテーパ状に加工した先端側封止部１７を形成する。
また、この実施形態の先端側封止工程では、先細りのテーパ状の先端側封止部１７を形成する過程においてガラス材ユニットＵ６他端部の先端を溶断してクラッドガラス体１１から第２ダミー石英管１３２及びコア用ガラスロッド１４のうちクラッドガラス体１１の他端部から突出した部分を除去する。

先端側封止工程が完了すれば、クラッドガラス体１１の内部に、貫通孔１２の一端側がダミー石英棒１３によって気密に封止され、他端側が先端側封止部１７によって気密に封止された内孔１８が確保される。
先端側封止工程では、真空ポンプによる真空引きによってクラッドガラス体１１の貫通孔１２に１ｋＰａ以下の真空圧を作用させながら先端側封止部１７を形成することで、内圧が負圧（例えば１ｋＰａ以下）の内孔１８を有する光ファイバ母材１Ｆを得る。

但し、図３３Ｆに示すように、先端側封止工程は、貫通孔１２内のコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の一端側の端から他端側へ離隔させた状態で行なう。
このため、先端側封止工程が完了したとき、クラッドガラス体１１内には、一端（図３３Ｇ右端）側にコア用ガラスロッド１４が挿入されていない空隙部１９を有する構成の内孔１８が確保される。内孔１８の空隙部１９以外の領域にはコア用ガラスロッド１４が挿入されている。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、先端側封止工程の完了によって完了し、図３３Ｇに示すように、クラッドガラス体１１の内部に空隙部１９を有する内孔１８が確保された光ファイバ母材１Ｆを得ることができる。

光ファイバ母材１Ｆを用いた光ファイバの製造（光ファイバの製造方法）は、線引き装置５０（図７参照）を用いて第２実施形態の光ファイバ母材１Ｂからの光ファイバの製造と同様に行なう。
線引き開始前の光ファイバ母材１Ｆの内孔１８の内圧は２０ｋＰａ以下とする。
光ファイバ母材１Ｆを用いた光ファイバの製造は、クラッドガラス体１１内のコア用ガラスロッド１４、コア識別マーカ用ガラスロッドといった挿入ガラスロッドに対するクラッドガラス体１１の一体化を進行させながら先端側封止部１７からの光ファイバ２の線引きを継続する。クラッドガラス体１１の内孔１８の容積は、挿入ガラスロッドに対するクラッドガラス体１１の一体化進行に伴い縮小していく。

光ファイバ母材１Ｆを用いた光ファイバの製造では、挿入ガラスロッドに対するクラッドガラス体１１の一体化進行に伴い内孔１８の容積が縮小しても、クラッドガラス体１１内の空隙部１９によって内孔１８の内圧の上昇を抑えることができる。その結果、光ファイバ母材１Ｆを用いた光ファイバの製造では、線引き工程において内孔１８の内圧の負圧を維持したまま充分な長さの光ファイバを線引きすることが可能である。

（第７実施形態）
次に、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、光ファイバの製造方法の第７実施形態について、図３４Ａ～図３４Ｇを参照して説明する。
なお、図３４Ａ～図３４Ｇにおいて、図３３Ａ～図３３Ｇ（第６実施形態）と同様の構成部分については共通の符号を付し、その説明を省略または簡略化する。

図３４Ｇは、この実施形態の光ファイバ母材１Ｇを示す断面図である。
この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、図３４Ｇに示すように内部に空隙部１９が確保された光ファイバ母材１Ｇを製造するものである。
なお、図３４Ｇの光ファイバ母材１Ｇの構成は、第６実施形態にて説明した光ファイバ母材１Ｆ（図３３Ｇ）の構成と同様である。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、第６実施形態の光ファイバ母材の製造方法について、クラッドガラス体１１の貫通孔１２軸線方向寸法に比べて短尺のコア用ガラスロッド１４を用いるものである。
この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入したコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の一端から他端側へ離隔させ、かつコア用ガラスロッド１４の反対側の端部の位置をクラッドガラス体１１の他端部に揃えコア用ガラスロッド１４をクラッドガラス体１１の他端から突出させない状態で、ダミー棒一体化工程（図３４Ｃ及び図３４Ｄ）及び先端側封止工程（図３４Ｆ）を行なう。
図３４Ｇに示す光ファイバ母材１Ｆの空隙部１９は、ロッド挿入工程の後のダミー棒一体化工程及び先端側封止工程によってクラッドガラス体１１の貫通孔１２の軸線方向両端を封止して確保される内孔１８の一端（図３４Ｇ右端）側の、コア用ガラスロッド１４が挿入されていない領域（空間）である。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、まず、第７実施形態の光ファイバ母材の製造方法と同様に、ダミー石英管溶着工程（図３４Ａ）、及びロッド挿入工程（図３４Ｂ）を行なう。
ダミー石英管溶着工程にて採用可能な手法は、第２実施形態に係るダミー石英管溶着工程と同様であるため、ここではその詳細説明を省略する。例えば、ダミー石英管溶着工程では、第１ダミー石英管１３１をクラッドガラス体１１の一端に溶着する石英管第１溶着作業と、第２ダミー石英管１３２をクラッドガラス体１１の他端に溶着石英管第２溶着作業とを、クラッドガラス体１１の各貫通孔１２に乾燥空気を流しながら行なうこと等、第２実施形態に係るダミー石英管溶着工程にて採り得る種々の手法を採用できる。

ダミー石英管溶着工程の完了後、ロッド挿入工程を行なうことで、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２のそれぞれにコア用ガラスロッド１４が挿入された構成のガラス材ユニットＵ７が得られる。
ガラス材ユニットＵ７について、クラッドガラス体１１軸線方向を軸線方向、クラッドガラス体１１軸線方向一端を一端、クラッドガラス体１１軸線方向他端を他端として説明する。
但し、この実施形態のロッド挿入工程は、図３４Ｂに示すように、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入したコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の一端から他端側へ離隔させ、コア用ガラスロッド１４の反対側の端部の位置をクラッドガラス体１１の他端部に揃え、コア用ガラスロッド１４をクラッドガラス体１１の他端から突出させない状態とすることを含んでいても良い。

なお、ロッド挿入工程は、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２のうち１つ以上の貫通孔に、コア用ガラスロッド１４ではなくコア識別マーカ用ガラスロッドを挿入することを含んでも良い。コア用ガラスロッド１４、コア識別マーカ用ガラスロッドといった挿入ガラスロッドは、いずれも、クラッドガラス体１１に対して、この実施形態にて説明するコア用ガラスロッド１４の挿入形態と同様の挿入形態を採用する。

ダミー石英管溶着工程とロッド挿入工程との間では、第６実施形態と同様に、エッチング工程、洗浄工程、乾燥工程を行なっても良い。
エッチング工程、洗浄工程、乾燥工程は、第２実施形態の光ファイバ母材の製造方法にて説明したものと同様に行なうことができ、ここではその詳細説明を省略する。

ロッド挿入工程が完了したら、次に、図３４Ｃ、図３４Ｄに示すように、ダミー棒一体化工程を行なう。
ダミー棒一体化工程では、まず、図３４Ｃに示すように、クラッドガラス体１１の一端側の端部（一端部）の先端を溶断して第１ダミー石英管１３１をクラッドガラス体１１から除去（片端溶断工程）し、図３４Ｄに示すように、第１ダミー石英管１３１を除去後のクラッドガラス体１１の一端部にダミー石英棒１５を溶着、一体化する。

図３４Ｃ、図３４Ｄに示すように、ダミー棒一体化工程は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入したコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の一端から他端側へ離隔させ、コア用ガラスロッド１４の反対側の端部の位置をクラッドガラス体１１の他端部に揃え、コア用ガラスロッド１４をクラッドガラス体１１の他端から突出させない状態で行う。
すなわち、この実施形態のダミー棒一体化工程は、コア用ガラスロッド１４の片端の位置をクラッドガラス体１１の他端部に揃え、コア用ガラスロッド１４をクラッドガラス体１１の他端から突出させない状態とする以外は、第６実施形態に係るダミー棒一体化工程と同様に行なう。

ダミー棒一体化工程が完了したら、次に、図３４Ｅに示すように、第２実施形態及び第６実施形態と同様に、真空引き工程を行なう。

図３４Ｆ、図３４Ｇに示すように、この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、真空引き工程の開始後に、ガラス材ユニットＵ７他端部を加熱縮径させてクラッドガラス体１１他端部に開口する全ての貫通孔１２の開口部を塞ぐ（気密に封止する）先端側封止工程を行なう。
先端側封止工程は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入したコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の一端から他端側へ離隔させ、コア用ガラスロッド１４の反対側の端部の位置をクラッドガラス体１１の他端部に揃え、コア用ガラスロッド１４をクラッドガラス体１１の他端から突出させない状態とする以外は第７実施形態に係る先端側封止工程と同様に行なう。

先端側封止工程では、真空ポンプによる真空引きを継続した状態で、火炎１６（例えば酸水素炎）等を利用してクラッドガラス体１１他端部を含むガラス材ユニットＵ７他端部を加熱縮径させて、クラッドガラス体１１他端部に開口する全ての貫通孔１２の開口部を塞ぐ（気密に封止する）先端側封止部１７を形成する。先端側封止部１７は、クラッドガラス体１１他端部をその内側のコア用ガラスロッド１４先端部とともに加熱縮径して中実化したものである。

図３４Ｇに示すように、この実施形態の先端側封止工程では、ガラス材ユニットＵ７他端部を先細りのテーパ状に加工した先端側封止部１７を形成する。
また、この実施形態の先端側封止工程では、先細りのテーパ状の先端側封止部１７を形成する過程においてガラス材ユニットＵ７他端部の先端を溶断してクラッドガラス体１１から第２ダミー石英管１３２を除去する。

先端側封止工程が完了すれば、クラッドガラス体１１の内部に、貫通孔１２の一端側がダミー石英棒１３によって気密に封止され、他端側が先端側封止部１７によって気密に封止された内孔１８が確保される。
先端側封止工程では、真空ポンプによる真空引きによってクラッドガラス体１１の貫通孔１２に１ｋＰａ以下の真空圧を作用させながら先端側封止部１７を形成することで、内圧が負圧（例えば１ｋＰａ以下）の内孔１８を有する光ファイバ母材１Ｆを得る。

先端側封止工程が完了したとき、クラッドガラス体１１内には、一端（図３４Ｇ右端）側にコア用ガラスロッド１４が挿入されていない空隙部１９を有する構成の内孔１８が確保される。内孔１８の空隙部１９以外の領域にはコア用ガラスロッド１４が挿入されている。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、先端側封止工程の完了によって完了し、図３４Ｇに示すように、クラッドガラス体１１の内部に空隙部１９を有する内孔１８が確保された光ファイバ母材１Ｆを得ることができる。

（第８実施形態）
次に、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、光ファイバの製造方法の第８実施形態について、図３５Ａ～図３５Ｇを参照して説明する。
なお、図３５Ａ～図３５Ｇにおいて、図３３Ａ～図３３Ｇ（第６実施形態）と同様の構成部分については共通の符号を付し、その説明を省略または簡略化する。

図３５Ｇは、この実施形態の光ファイバ母材１Ｈを示す断面図である。
この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、図３５Ｇに示すように内部に空隙部１９が確保された光ファイバ母材１Ｈを製造するものである。
なお、図３５Ｇの光ファイバ母材１Ｈの構成は、第６実施形態にて説明した光ファイバ母材１Ｆ（図３３Ｇ）の構成と同様である。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、第６実施形態の光ファイバ母材の製造方法について、クラッドガラス体１１の貫通孔１２軸線方向寸法に比べて短尺のコア用ガラスロッド１４を用いるものである。
この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入したコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の軸線方向両端から中央部側へ離隔させた状態で、ダミー棒一体化工程（図３５Ｃ及び図３５Ｄ）及び先端側封止工程（図３５Ｆ）を行なう。

図３５Ｇに示す光ファイバ母材１Ｈの空隙部１９は、ロッド挿入工程の後のダミー棒一体化工程及び先端側封止工程によってクラッドガラス体１１の貫通孔１２の軸線方向両端を封止して確保される内孔１８の一端（図３５Ｇ右端）側の、コア用ガラスロッド１４が挿入されていない領域（空間）である。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、まず、第６実施形態の光ファイバ母材の製造方法と同様に、ダミー石英管溶着工程（図３５Ａ）、及びロッド挿入工程（図３５Ｂ）を行なう。
ダミー石英管溶着工程にて採用可能な手法は、第２実施形態に係るダミー石英管溶着工程と同様であるため、ここではその詳細説明を省略する。例えば、ダミー石英管溶着工程では、第１ダミー石英管１３１をクラッドガラス体１１の一端に溶着する石英管第１溶着作業と、第２ダミー石英管１３２をクラッドガラス体１１の他端に溶着石英管第２溶着作業とを、クラッドガラス体１１の各貫通孔１２に乾燥空気を流しながら行なうこと等、第２実施形態に係るダミー石英管溶着工程にて採り得る種々の手法を採用できる。

ダミー石英管溶着工程の完了後、ロッド挿入工程を行なうことで、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２のそれぞれにコア用ガラスロッド１４が挿入された構成のガラス材ユニットＵ８が得られる。
ガラス材ユニットＵ８について、クラッドガラス体１１軸線方向を軸線方向、クラッドガラス体１１軸線方向一端を一端、クラッドガラス体１１軸線方向他端を他端として説明する。
但し、この実施形態のロッド挿入工程は、図３５Ｂに示すように、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入したコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の軸線方向両端から中央部側へ離隔させた状態とすることを含んでいても良い。

なお、ロッド挿入工程は、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２のうち１つ以上の貫通孔に、コア用ガラスロッド１４ではなくコア識別マーカ用ガラスロッドを挿入することを含んでも良い。コア用ガラスロッド１４、コア識別マーカ用ガラスロッドといった挿入ガラスロッドは、いずれも、クラッドガラス体１１に対して、この実施形態にて説明するコア用ガラスロッド１４の挿入形態と同様の挿入形態を採用する。

ダミー石英管溶着工程とロッド挿入工程との間では、第６実施形態と同様に、エッチング工程、洗浄工程、乾燥工程を行なっても良い。
エッチング工程、洗浄工程、乾燥工程は、第２実施形態の光ファイバ母材の製造方法にて説明したものと同様に行なうことができ、ここではその詳細説明を省略する。

ロッド挿入工程が完了したら、次に、図３５Ｃ、図３５Ｄに示すように、ダミー棒一体化工程を行なう。
ダミー棒一体化工程では、まず、図３５Ｃに示すように、クラッドガラス体１１の一端側の端部（一端部）の先端を溶断して第１ダミー石英管１３１をクラッドガラス体１１から除去（片端溶断工程）し、図３５Ｄに示すように、第１ダミー石英管１３１を除去後のクラッドガラス体１１の一端部にダミー石英棒１５を溶着、一体化する。

図３５Ｃ、図３５Ｄに示すように、ダミー棒一体化工程は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入したコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の軸線方向両端から中央部側へ離隔させた状態で行う。
すなわち、この実施形態のダミー棒一体化工程は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されたコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の軸線方向両端から中央部側へ離隔させた状態とする以外は、第６実施形態に係るダミー棒一体化工程と同様に行なう。

ダミー棒一体化工程が完了したら、次に、図３５Ｅに示すように、第２実施形態及び第６実施形態と同様に、真空引き工程を行なう。

図３５Ｆ、図３５Ｇに示すように、この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、真空引き工程の開始後に、ガラス材ユニットＵ８他端部を加熱縮径させてクラッドガラス体１１他端部に開口する全ての貫通孔１２の開口部を塞ぐ（気密に封止する）先端側封止工程を行なう。

先端側封止工程では、真空ポンプによる真空引きを継続した状態で、火炎１６（例えば酸水素炎）等を利用してガラス材ユニットＵ８他端部及びコア用ガラスロッド１４を加熱縮径させて、クラッドガラス体１１他端部に開口する全ての貫通孔１２の開口部を塞ぐ（気密に封止する）先端側封止部１７を形成する。先端側封止部１７は、クラッドガラス体１１他端部及びコア用ガラスロッド１４を加熱縮径して中実化したものである。

図３５Ｇに示すように、この実施形態の先端側封止工程では、ガラス材ユニットＵ８他端部を先細りのテーパ状に加工した先端側封止部１７を形成する。
また、この実施形態の先端側封止工程では、先細りのテーパ状の先端側封止部１７を形成する過程においてガラス材ユニットＵ８他端部の先端側を溶断してクラッドガラス体１１から第２ダミー石英管１３２を除去する。

但し、先端側封止工程は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されているコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の軸線方向両端から中央部側へ離隔させた状態で開始し、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されているコア用ガラスロッド１４のクラッドガラス体１１他端側の先端も除去するようにガラス材ユニットＵ８他端部を溶断して、クラッドガラス体１１から第２ダミー石英管１３２を除去する。そして、この実施形態の先端側封止工程では、溶断後のガラス材ユニットＵ８他端部をその内部のコア用ガラスロッド１４とともに加熱縮径させて先端側封止部１７を形成する。

この実施形態の先端側封止工程は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されているコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の軸線方向両端から中央部側へ離隔させた状態で開始し、ガラス材ユニットＵ８他端部の先端側を溶断してクラッドガラス体１１から第２ダミー石英管１３２及びコア用ガラスロッド１４先端を除去する以外は、第６実施形態の先端側封止工程と同様に行う。

先端側封止工程が完了すれば、クラッドガラス体１１の内部に、貫通孔１２の一端側がダミー石英棒１３によって気密に封止され、他端側が先端側封止部１７によって気密に封止された内孔１８が確保される。
先端側封止工程では、真空ポンプによる真空引きによってクラッドガラス体１１の貫通孔１２に１ｋＰａ以下の真空圧を作用させながら先端側封止部１７を形成することで、内圧が負圧（例えば１ｋＰａ以下）の内孔１８を有する光ファイバ母材１Ｈを得る。

先端側封止工程が完了したとき、クラッドガラス体１１内には、一端（図３５Ｇ右端）側にコア用ガラスロッド１４が挿入されていない空隙部１９を有する構成の内孔１８が確保される。内孔１８の空隙部１９以外の領域にはコア用ガラスロッド１４が挿入されている。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、先端側封止工程の完了によって完了し、図３５Ｇに示すように、クラッドガラス体１１の内部に空隙部１９を有する内孔１８が確保された光ファイバ母材１Ｈを得ることができる。

（第９実施形態）
次に、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、光ファイバの製造方法の第９実施形態について、図３６Ａ～図３６Ｆを参照して説明する。
なお、図３６Ａ～図３６Ｆにおいて、図１～図６（第１実施形態）と同様の構成部分については共通の符号を付し、その説明を省略または簡略化する。

図３６Ｆは、この実施形態の光ファイバ母材１Ｉを示す断面図である。
この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、図３６Ｆに示すように内部に空隙部１９が確保された光ファイバ母材１Ｉを製造するものである。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、第１実施形態の光ファイバ母材の製造方法について、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入したコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の一端から他端側へ離隔させ、コア用ガラスロッド１４の反対側の端部をクラッドガラス体１１の他端から突出させた状態で、ダミー棒一体化工程（図３６Ｃ及び図３６Ｄ）及び先端側封止工程（図３６Ｆ）を行なうように変更したものである。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、図３６Ａに示すように、まず、第１実施形態のダミー石英管溶着工程と同様に、クラッドガラス体１１の軸線方向片端にダミー石英管１３を溶着して接続するダミー石英管溶着工程を行う。
このダミー石英管溶着工程は、第１実施形態のダミー石英管溶着工程と同様に行うものであり、その詳細説明を省略する。

次に、図３６Ｂに示すように、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２のそれぞれに、コア用ガラスロッド１４を挿入するロッド挿入工程を行なう。
ロッド挿入工程は、第１実施形態のロッド挿入工程と同様に行うことができる。
但し、ロッド挿入工程は、図３６Ｂに示すように、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入したコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の一端から他端側へ離隔させ、コア用ガラスロッド１４の反対側の端部をクラッドガラス体１１の他端から突出させた状態とすることを含んでいても良い。

ロッド挿入工程を行なうことで、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２のそれぞれにコア用ガラスロッド１４が挿入された構成のガラス材ユニットＵ９が得られる。
ガラス材ユニットＵ９について、クラッドガラス体１１軸線方向を軸線方向、クラッドガラス体１１軸線方向一端を一端、クラッドガラス体１１軸線方向他端を他端として説明する。

なお、ロッド挿入工程は、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２のうち１つ以上の貫通孔に、コア用ガラスロッド１４ではなくコア識別マーカ用ガラスロッドを挿入することを含んでも良い。コア用ガラスロッド１４、コア識別マーカ用ガラスロッドといった挿入ガラスロッドは、いずれも、クラッドガラス体１１に対して、この実施形態にて説明するコア用ガラスロッド１４の挿入形態と同様の挿入形態を採用する。

ダミー石英管溶着工程とロッド挿入工程との間では、第１実施形態と同様に、エッチング工程、洗浄工程、乾燥工程を行なっても良い。
エッチング工程、洗浄工程、乾燥工程は第１実施形態と同様のため、その詳細説明を省略する。

ロッド挿入工程が完了したら、次に、図３６Ｃに示すように、クラッドガラス体１１の一端側の端部（一端部）に石英ガラス製の中実なダミー石英棒１５を溶着、一体化して、クラッドガラス体１１の一端側端面に開口する各貫通孔１２の開口部をダミー石英棒１５によって塞ぐ（気密に封止する）ダミー棒一体化工程を行なう。

但し、図３６Ｃに示すように、ダミー棒一体化工程は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されたコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の一端から他端側へ離隔させ、コア用ガラスロッド１４の反対側の端部をクラッドガラス体１１の他端から突出させた状態で行う。
ダミー棒一体化工程は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されたコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の一端から他端側へ離隔させ、コア用ガラスロッド１４の反対側の端部をクラッドガラス体１１の他端から突出させた状態とする以外は、第１実施形態のダミー棒一体化工程と同様に行う。このためダミー棒一体化工程の詳細説明を省略する。

ダミー棒一体化工程が完了したら、次に、図３６Ｄに示すように、第１実施形態の真空引き工程と同様に、ダミー石英管１３のクラッドガラス体１１とは反対側の開口端に図示略の真空ポンプを接続し、真空ポンプの駆動によってクラッドガラス体１１の貫通孔１２内を真空引きする真空引き工程を行なう。
真空引き工程は、第１実施形態の真空引き工程と同様であるので、詳細説明を省略する。

図３６Ｅ、図３６Ｆに示すように、この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、真空引き工程の開始後に、真空ポンプによる真空引きを継続した状態で、火炎１６（例えば酸水素炎）等を利用してクラッドガラス体１１他端部を含むガラス材ユニットＵ９他端部を加熱縮径させてクラッドガラス体１１他端部に開口する全ての貫通孔１２の開口部を塞ぐ（気密に封止する）先端側封止工程を行なう。
先端側封止工程は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されたコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の一端から他端側へ離隔させ、コア用ガラスロッド１４の反対側の端部をクラッドガラス体１１の他端から突出させた状態とする以外は、第１実施形態に係る先端側封止工程と同様に行なうことができる。

先端側封止工程にて全ての貫通孔１２の開口部を気密に封止した状態のガラス材ユニットＵ９他端部を、以下、先端側封止部１７、とも言う。先端側封止部１７は、クラッドガラス体１１他端部をその内側のコア用ガラスロッド１４先端部とともに加熱縮径して中実化したものである。

図３６Ｆに示すように、この実施形態の先端側封止工程では、ガラス材ユニットＵ９他端部を先細りのテーパ状に加工した先端側封止部１７を形成する。
また、この実施形態の先端側封止工程では、先細りのテーパ状の先端側封止部１７を形成する過程においてガラス材ユニットＵ９他端部の先端を溶断してクラッドガラス体１１からダミー石英管１３及びコア用ガラスロッド１４のクラッドガラス体１１他端部から突出した部分を除去する。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、先端側封止工程の完了によって完了し、図３６Ｆに示す光ファイバ母材１Ｉを得ることができる。
図３６Ｆの光ファイバ母材１Ｉのクラッドガラス体１１の内部には、貫通孔１２の一端側がダミー石英棒１３によって気密に封止され、他端側が先端側封止部１７によって気密に封止された内孔１８が確保される。

先端側封止工程では、真空ポンプによる真空引きによってクラッドガラス体１１の貫通孔１２に１ｋＰａ以下の真空圧を作用させながら先端側封止部１７を形成することで、内圧が負圧（例えば１ｋＰａ以下）の内孔１８を有する光ファイバ母材１Ｉを得る。

但し、図３６Ｅに示すように、先端側封止工程は、貫通孔１２内のコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の一端側の端から他端側へ離隔させた状態で行なう。
このため、先端側封止工程が完了したとき、クラッドガラス体１１内には、一端（図３６Ｆ右端）側にコア用ガラスロッド１４が挿入されていない空隙部１９を有する構成の内孔１８が確保される。内孔１８の空隙部１９以外の領域にはコア用ガラスロッド１４が挿入されている。

（第１０実施形態）
次に、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、光ファイバの製造方法の第１０実施形態について、図３７Ａ～図３７Ｆを参照して説明する。
なお、図３７Ａ～図３７Ｆにおいて、図３６Ａ～図３６Ｆ（第９実施形態）と同様の構成部分については共通の符号を付し、その説明を省略または簡略化する。

図３７Ｆは、この実施形態の光ファイバ母材１Ｊを示す断面図である。
この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、図３７Ｆに示すように内部に空隙部１９が確保された光ファイバ母材１Ｊを製造するものである。
なお、図３７Ｆの光ファイバ母材１Ｊの構成は、第９実施形態にて説明した光ファイバ母材１Ｉ（図３６Ｇ）の構成と同様である。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、第９実施形態の光ファイバ母材の製造方法について、クラッドガラス体１１の貫通孔１２軸線方向寸法に比べて短尺のコア用ガラスロッド１４を用いるものである。
この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入したコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の一端から他端側へ離隔させ、かつコア用ガラスロッド１４の反対側の端部の位置をクラッドガラス体１１の他端部に揃え、コア用ガラスロッド１４をクラッドガラス体１１の他端から突出させない状態で、ダミー棒一体化工程（図３７Ｃ）及び先端側封止工程（図３７Ｅ、図３７Ｆ）を行なう。
図３７Ｆに示す光ファイバ母材１Ｊの空隙部１９は、ロッド挿入工程の後のダミー棒一体化工程及び先端側封止工程によってクラッドガラス体１１の貫通孔１２の軸線方向両端を封止して確保される内孔１８の一端（図３７Ｆ右端）側の、コア用ガラスロッド１４が挿入されていない領域（空間）である。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、図３７Ａに示すように、まず、第９実施形態のダミー石英管溶着工程と同様に、クラッドガラス体１１の軸線方向片端にダミー石英管１３を溶着して接続するダミー石英管溶着工程を行う。
このダミー石英管溶着工程は、第９実施形態のダミー石英管溶着工程と同様に行うものであり、その詳細説明を省略する。

次に、図３７Ｂに示すように、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２のそれぞれに、コア用ガラスロッド１４を挿入するロッド挿入工程を行なう。
ロッド挿入工程は、第９実施形態のロッド挿入工程と同様に行うことができる。
但し、ロッド挿入工程は、図３７Ｂに示すように、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入したコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の一端から他端側へ離隔させ、かつコア用ガラスロッド１４の反対側の端部の位置をクラッドガラス体１１の他端部に揃え、コア用ガラスロッド１４をクラッドガラス体１１の他端から突出させない状態とすることを含んでいても良い。

ロッド挿入工程を行なうことで、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２のそれぞれにコア用ガラスロッド１４が挿入された構成のガラス材ユニットＵ１０が得られる。
ガラス材ユニットＵ１０について、クラッドガラス体１１軸線方向を軸線方向、クラッドガラス体１１軸線方向一端を一端、クラッドガラス体１１軸線方向他端を他端として説明する。

なお、ロッド挿入工程は、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２のうち１つ以上の貫通孔に、コア用ガラスロッド１４ではなくコア識別マーカ用ガラスロッドを挿入することを含んでも良い。コア用ガラスロッド１４、コア識別マーカ用ガラスロッドといった挿入ガラスロッドは、いずれも、クラッドガラス体１１に対して、この実施形態にて説明するコア用ガラスロッド１４の挿入形態と同様の挿入形態を採用する。

ダミー石英管溶着工程とロッド挿入工程との間では、第９実施形態と同様に、エッチング工程、洗浄工程、乾燥工程を行なっても良い。
エッチング工程、洗浄工程、乾燥工程は第９実施形態と同様のため、その詳細説明を省略する。

ロッド挿入工程が完了したら、次に、図３７Ｃに示すように、クラッドガラス体１１の一端側の端部（一端部）に石英ガラス製の中実なダミー石英棒１５を溶着、一体化して、クラッドガラス体１１の一端側端面に開口する各貫通孔１２の開口部をダミー石英棒１５によって塞ぐ（気密に封止する）ダミー棒一体化工程を行なう。

但し、図３７Ｃに示すように、ダミー棒一体化工程は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されたコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の一端から他端側へ離隔させ、かつコア用ガラスロッド１４の反対側の端部の位置をクラッドガラス体１１の他端部に揃え、コア用ガラスロッド１４をクラッドガラス体１１の他端から突出させない状態で行う。
ダミー棒一体化工程は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されたコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の一端から他端側へ離隔させ、かつコア用ガラスロッド１４の反対側の端部の位置をクラッドガラス体１１の他端部に揃え、コア用ガラスロッド１４をクラッドガラス体１１の他端から突出させない状態とする以外は、第９実施形態のダミー棒一体化工程と同様であり、その詳細説明を省略する。

ダミー棒一体化工程が完了したら、次に、図３７Ｄに示すように、第９実施形態の真空引き工程と同様に、ダミー石英管１３のクラッドガラス体１１とは反対側の開口端に図示略の真空ポンプを接続し、真空ポンプの駆動によってクラッドガラス体１１の貫通孔１２内を真空引きする真空引き工程を行なう。
真空引き工程は、第９実施形態の真空引き工程と同様であるので、詳細説明を省略する。

図３７Ｅ、図３７Ｆに示すように、この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、真空引き工程の開始後に、クラッドガラス体１１他端部を含むガラス材ユニットＵ１０他端部を加熱縮径させてクラッドガラス体１１他端部に開口する全ての貫通孔１２の開口部を塞ぐ（気密に封止する）先端側封止工程を行なう。
先端側封止工程は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されたコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の一端から他端側へ離隔させ、かつコア用ガラスロッド１４の反対側の端部の位置をクラッドガラス体１１の他端部に揃え、コア用ガラスロッド１４をクラッドガラス体１１の他端から突出させない状態とする以外は、第９実施形態に係る先端側封止工程と同様に行なうことができる。

先端側封止工程では、真空ポンプによる真空引きを継続した状態で、火炎１６（例えば酸水素炎）等を利用してクラッドガラス体１１他端部を含むガラス材ユニットＵ７他端部を加熱縮径させて、クラッドガラス体１１他端部に開口する全ての貫通孔１２の開口部を塞ぐ（気密に封止する）先端側封止部１７を形成する。
先端側封止部１７は、クラッドガラス体１１他端部をその内側のコア用ガラスロッド１４先端部とともに加熱縮径して中実化したものである。

図３７Ｆに示すように、この実施形態の先端側封止工程では、ガラス材ユニットＵ１０他端部を先細りのテーパ状に加工した先端側封止部１７を形成する。
また、この実施形態の先端側封止工程では、先細りのテーパ状の先端側封止部１７を形成する過程においてガラス材ユニットＵ１０他端部の先端を溶断してクラッドガラス体１１からダミー石英管１３を除去する。

先端側封止工程が完了すれば、クラッドガラス体１１の内部に、貫通孔１２の一端側がダミー石英棒１３によって気密に封止され、他端側が先端側封止部１７によって気密に封止された内孔１８が確保される。
先端側封止工程では、真空ポンプによる真空引きによってクラッドガラス体１１の貫通孔１２に１ｋＰａ以下の真空圧を作用させながら先端側封止部１７を形成することで、内圧が負圧（例えば１ｋＰａ以下）の内孔１８を有する光ファイバ母材１Ｊを得る。

先端側封止工程が完了したとき、クラッドガラス体１１内には、一端（図３７Ｆ右端）側にコア用ガラスロッド１４が挿入されていない空隙部１９を有する構成の内孔１８が確保される。内孔１８の空隙部１９以外の領域にはコア用ガラスロッド１４が挿入されている。

（第１１実施形態）
次に、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、光ファイバの製造方法の第１１実施形態について、図３８Ａ～図３８Ｆを参照して説明する。
なお、図３８Ａ～図３８Ｆにおいて、図３６Ａ～図３６Ｆ（第９実施形態）と同様の構成部分については共通の符号を付し、その説明を省略または簡略化する。

図３８Ｆは、この実施形態の光ファイバ母材１Ｋを示す断面図である。
この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、図３８Ｆに示すように内部に空隙部１９が確保された光ファイバ母材１Ｋを製造するものである。
なお、図３８Ｆの光ファイバ母材１Ｋの構成は、第９実施形態にて説明した光ファイバ母材１Ｉ（図３６Ｇ）の構成と同様である。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、第９実施形態の光ファイバ母材の製造方法について、クラッドガラス体１１の貫通孔１２軸線方向寸法に比べて短尺のコア用ガラスロッド１４を用いるものである。
この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入したコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の軸線方向両端から中央部側へ離隔させた状態で、ダミー棒一体化工程（図３８Ｃ）及び先端側封止工程（図３８Ｅ、図３８Ｆ）を行なう。

図３８Ｆに示す光ファイバ母材１Ｋの空隙部１９は、ロッド挿入工程の後のダミー棒一体化工程及び先端側封止工程によってクラッドガラス体１１の貫通孔１２の軸線方向両端を封止して確保される内孔１８の一端（図３８Ｆ右端）側の、コア用ガラスロッド１４が挿入されていない領域（空間）である。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、図３８Ａに示すように、まず、第９実施形態のダミー石英管溶着工程と同様に、クラッドガラス体１１の軸線方向片端にダミー石英管１３を溶着して接続するダミー石英管溶着工程を行う。
このダミー石英管溶着工程は、第９実施形態のダミー石英管溶着工程と同様に行うものであり、その詳細説明を省略する。

次に、図３８Ｂに示すように、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２のそれぞれに、コア用ガラスロッド１４を挿入するロッド挿入工程を行なう。
ロッド挿入工程は、第９実施形態のロッド挿入工程と同様に行うことができる。
但し、ロッド挿入工程は、図３８Ｂに示すように、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入したコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の軸線方向両端から中央部側へ離隔させた状態とすることを含んでいても良い。

ロッド挿入工程を行なうことで、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２のそれぞれにコア用ガラスロッド１４が挿入された構成のガラス材ユニットＵ１１が得られる。
ガラス材ユニットＵ１１について、クラッドガラス体１１軸線方向を軸線方向、クラッドガラス体１１軸線方向一端を一端、クラッドガラス体１１軸線方向他端を他端として説明する。

なお、ロッド挿入工程は、クラッドガラス体１１の複数の貫通孔１２のうち１つ以上の貫通孔に、コア用ガラスロッド１４ではなくコア識別マーカ用ガラスロッドを挿入することを含んでも良い。コア用ガラスロッド１４、コア識別マーカ用ガラスロッドといった挿入ガラスロッドは、いずれも、クラッドガラス体１１に対して、この実施形態にて説明するコア用ガラスロッド１４の挿入形態と同様の挿入形態を採用する。

ダミー石英管溶着工程とロッド挿入工程との間では、第９実施形態と同様に、エッチング工程、洗浄工程、乾燥工程を行なっても良い。
エッチング工程、洗浄工程、乾燥工程は第９実施形態と同様のため、その詳細説明を省略する。

ロッド挿入工程が完了したら、次に、図３８Ｃに示すように、クラッドガラス体１１の一端側の端部（一端部）に石英ガラス製の中実なダミー石英棒１５を溶着、一体化して、クラッドガラス体１１の一端側端面に開口する各貫通孔１２の開口部をダミー石英棒１５によって塞ぐ（気密に封止する）ダミー棒一体化工程を行なう。

但し、図３８Ｃに示すように、ダミー棒一体化工程は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されたコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の軸線方向両端から中央部側へ離隔させた状態で行う。
ダミー棒一体化工程は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されたコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の軸線方向両端から中央部側へ離隔させた状態とする以外は、第９実施形態のダミー棒一体化工程と同様であり、その詳細説明を省略する。

ダミー棒一体化工程が完了したら、次に、図３８Ｄに示すように、第９実施形態の真空引き工程と同様に、ダミー石英管１３のクラッドガラス体１１とは反対側の開口端に図示略の真空ポンプを接続し、真空ポンプの駆動によってクラッドガラス体１１の貫通孔１２内を真空引きする真空引き工程を行なう。
真空引き工程は、第９実施形態の真空引き工程と同様であるので、詳細説明を省略する。

図３８Ｅ、図３８Ｆに示すように、この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、真空引き工程の開始後に、クラッドガラス体１１他端部を含むガラス材ユニットＵ１１他端部を加熱縮径させてクラッドガラス体１１他端部に開口する全ての貫通孔１２の開口部を塞ぐ（気密に封止する）先端側封止工程を行なう。
先端側封止工程は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されたコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の軸線方向両端から中央部側へ離隔させた状態とする以外は、第９実施形態に係る先端側封止工程と同様に行なうことができる。

先端側封止工程では、真空ポンプによる真空引きを継続した状態で、火炎１６（例えば酸水素炎）等を利用してクラッドガラス体１１他端部を含むガラス材ユニットＵ７他端部を加熱縮径させて、クラッドガラス体１１他端部に開口する全ての貫通孔１２の開口部を塞ぐ（気密に封止する）先端側封止部１７を形成する。
先端側封止部１７は、クラッドガラス体１１他端部をその内側のコア用ガラスロッド１４先端部とともに加熱縮径して中実化したものである。

図３８Ｆに示すように、この実施形態の先端側封止工程では、ガラス材ユニットＵ１１他端部を先細りのテーパ状に加工した先端側封止部１７を形成する。
また、この実施形態の先端側封止工程では、先細りのテーパ状の先端側封止部１７を形成する過程においてガラス材ユニットＵ１１他端部の先端を溶断してクラッドガラス体１１からダミー石英管１３を除去する。

但し、先端側封止工程は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されているコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の軸線方向両端から中央部側へ離隔させた状態で開始し、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されているコア用ガラスロッド１４のクラッドガラス体１１他端側の先端も除去するようにガラス材ユニットＵ１１他端部を溶断して、クラッドガラス体１１からダミー石英管１３を除去する。そして、この実施形態の先端側封止工程では、溶断後のガラス材ユニットＵ１１他端部をその内部のコア用ガラスロッド１４とともに加熱縮径させて先端側封止部１７を形成する。

この実施形態の先端側封止工程は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２に挿入されているコア用ガラスロッド１４を貫通孔１２の軸線方向両端から中央部側へ離隔させた状態で開始し、ガラス材ユニットＵ１１他端部の先端側を溶断してクラッドガラス体１１からダミー石英管１３及びコア用ガラスロッド１４先端を除去する以外は、第１０実施形態の先端側封止工程と同様に行う。

先端側封止工程が完了すれば、クラッドガラス体１１の内部に、貫通孔１２の一端側がダミー石英棒１３によって気密に封止され、他端側が先端側封止部１７によって気密に封止された内孔１８が確保される。
先端側封止工程では、真空ポンプによる真空引きによってクラッドガラス体１１の貫通孔１２に１ｋＰａ以下の真空圧を作用させながら先端側封止部１７を形成することで、内圧が負圧（例えば１ｋＰａ以下）の内孔１８を有する光ファイバ母材１Ｋを得る。

先端側封止工程が完了したとき、クラッドガラス体１１内には、一端（図３８Ｆ右端）側にコア用ガラスロッド１４が挿入されていない空隙部１９を有する構成の内孔１８が確保される。内孔１８の空隙部１９以外の領域にはコア用ガラスロッド１４が挿入されている。

本発明に係る実施形態の光ファイバ母材の製造に使用するコア用ガラスロッド１４等の挿入ガラスロッドは、その外径がクラッドガラス体１１の貫通孔１２の内径の８０～９８％であるものを好適に使用できる。線引きによって得られる光ファイバ２におけるコア位置精度の安定確保の点で、コア用ガラスロッド１４等の挿入ガラスロッドの外径は、クラッドガラス体１１の貫通孔１２の内径の９０～９８％であることがより好ましく、９５～９８％であることがさらに好ましい。

第６～第１１実施形態の光ファイバ母材の製造方法及び光ファイバ母材においても、光ファイバ母材内に内圧が負圧の内孔が確保されるため、光ファイバの線引き時に母材内の真空引きを行なう必要が無い。その結果、光ファイバ母材における線引き有効領域の母材軸線方向寸法を大きく確保でき、光ファイバの線引き長の増大、長尺化を容易に実現できる。

また、第６実施形態のみならず第７～第１１実施形態の光ファイバ母材の製造方法及び光ファイバ母材においても、光ファイバ母材を用いた光ファイバの製造では、挿入ガラスロッドに対するクラッドガラス体１１の一体化進行に伴い内孔１８容積が縮小しても、クラッドガラス体１１内の空隙部１９によって内孔１８の内圧の上昇を抑えることができる。その結果、光ファイバ母材を用いた光ファイバの製造では、線引き工程において内孔１８の内圧の負圧を維持したまま充分な長さの光ファイバを線引きすることが可能である。

なお、第７～第１１実施形態の光ファイバ母材についても、第１実施形態の光ファイバ母材１Ａと同様に、図７に例示した線引き装置５０を光ファイバの線引きに利用できる。
第７～第１１実施形態の光ファイバ母材は、それぞれ、クラッドガラス体からクラッドガラス体軸線方向他端とは反対の方向に突出する突出部が確保されたダミー石英棒を有する。
第７～第１１実施形態の光ファイバ母材は、図７に例示した線引き装置５０を光ファイバの線引きに利用する場合、クラッドガラス体からクラッドガラス体軸線方向他端とは反対の方向に突出するダミー石英棒の突出部を昇降フレーム５１ａに取り付け、先端側封止部が下端となるように昇降フレーム５１ａに吊支させる。

（第１２実施形態）
次に、光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、光ファイバの製造方法の第１２実施形態について、図３９Ａ～図３９Ｅを参照して説明する。
なお、図３９Ａ～図３９Ｅにおいて、図１５～図２０（第３実施形態）と同様の構成部分については共通の符号を付し、その説明を省略または簡略化する。

図３９Ｅは、この実施形態の光ファイバ母材１Ｌを示す断面図である。
この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、図３９Ｅに示すように石英粉末４１が充填された内孔２８を内部に有する光ファイバ母材１Ｌを製造するものである。

この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、まず、図３９Ｂに示す構成のガラス材ユニットＵ１２を用意し、図３９Ｃに示すように、ガラス材ユニットＵ１２の円筒状のクラッドガラス体２１の貫通孔２２に石英粉末４１を充填する石英粉末充填工程を行う。
ガラス材ユニットＵ１２は、円筒状のクラッドガラス体２１の一端部にクラッドガラス体２１内側の貫通孔２２の端部（一端部）を封止する中実のダミー石英棒２５が溶着、一体化され、ダミー石英棒２５に一端が溶着されたガラスロッド２３がクラッドガラス体２１の貫通孔２２内に複数配置された構成である。

ガラスロッド２３は、ダミー石英棒２５によってクラッドガラス体２１の貫通孔２２の軸線に沿った向きに支持されている。
図３９Ｂに示すガラス材ユニットＵ１２の複数本のガラスロッド２３は、ダミー石英棒２５によって、互いに間隔を空けて支持されている。また、ガラスロッド２３は、ダミー石英棒２５によって、クラッドガラス体２１の貫通孔２２内面から離間した位置に支持されている。

ガラス材ユニットＵ１２は、例えば、図３９Ａに示すように、クラッドガラス体２１の貫通孔２２にガラスロッド２３を挿入し、ガラスロッド２３のクラッドガラス体２１一端部から突出させた一端部をダミー石英棒２５に溶着して、ガラスロッド２３がダミー石英棒２５の片端に固定された構成のロッドユニット４２を作製し、ダミー石英棒２５をクラッドガラス体２１の一端部に溶着、一体化して組み立てられる。
但し、ガラス材ユニットＵ１２の組み立て方法は図３９Ａに例示した方法に限定されず、適宜変更可能である。

図３９Ｃに示すように、石英粉末充填工程は、クラッドガラス体２１の他端部に開口する貫通孔２２の他端部から貫通孔２２内に石英粉末を充填する工程である。
図３９Ｃでは、石英粉末充填工程にて、ガラスロッド２３のダミー石英棒２５側とは逆側の他端部を残して、クラッドガラス体２１の貫通孔２２内におけるガラスロッド２３他端部よりも一端部側の領域全体を埋め込むように貫通孔２２内に石英粉末４１を充填する構成を例示した。図３９Ｃに示す石英粉末充填工程では、クラッドガラス体２１の貫通孔２２軸線方向におけるガラスロッド２３他端部が位置する領域及びこの領域から貫通孔２２他端側の領域には石英粉末４１を充填しない。

但し、石英粉末充填工程では、クラッドガラス体２１の貫通孔２２軸線方向における石英粉末４１の充填長が、クラッドガラス体２１の貫通孔２２内におけるガラスロッド２３の収容長（収容ロッド長）よりも長く、貫通孔２２内に位置するガラスロッド２３の収容ロッド長全体を石英粉末４１によって埋め込んで良い。

石英粉末充填工程が完了したら、次に、図３９Ｄに示すように、クラッドガラス体２１の他端に図示略の真空ポンプを接続し、真空ポンプの駆動によってクラッドガラス体１１の貫通孔２２内を真空引きする真空引き工程を行なう。
真空引き工程は、第１実施形態及び第３実施形態の真空引き工程と同様であるので詳細説明を省略する。

図３９Ｄ、図３９Ｅに示すように、この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、真空引き工程の開始後に、クラッドガラス体２１他端部を含むガラス材ユニットＵ１２他端部を加熱縮径させてクラッドガラス体２１他端部に開口する貫通孔２２の開口部を塞ぐ（気密に封止する）他端側封止工程を行なう。
他端側封止工程は、第３実施形態に係る先端側封止工程と同様に行なうことができる。

他端側封止工程では、真空ポンプによる真空引きを継続した状態で、火炎２６（例えば酸水素炎）等を利用してクラッドガラス体２１他端部を含むガラス材ユニットＵ１２他端部を加熱縮径させて、クラッドガラス体２１他端部に開口する貫通孔２２の開口部を塞ぐ先端側封止部２７を形成する。
先端側封止部２７は、クラッドガラス体２１他端部をその内側のガラスロッド２３先端部（他端部）とともに加熱縮径して中実化したものである。
なお、本実施形態において、以下、他端側封止工程を先端側封止工程とも言う。

図３９Ｅに示すように、この実施形態の先端側封止工程では、ガラス材ユニットＵ１２他端部を先細りのテーパ状に加工した先端側封止部２７を形成する。
先端側封止工程が完了すれば、クラッドガラス体２１の内部に、貫通孔２２の一端側がダミー石英棒２５によって気密に封止され、他端側が先端側封止部２７によって気密に封止された内孔２８が確保される。
先端側封止工程では、真空ポンプによる真空引きによってクラッドガラス体２１の貫通孔２２に１ｋＰａ以下の真空圧を作用させながら先端側封止部２７を形成することで、内圧が負圧（例えば１ｋＰａ以下）の内孔２８を有する光ファイバ母材１Ｌを得る。

また、この実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、図３９Ｅに示すように、内孔２８に石英粉末４１が充填された構成の光ファイバ母材１Ｌが得られる。
図３９Ｅに示す光ファイバ母材１Ｌは、内孔２８にその全体を埋め込む量の石英粉末４１が充填された構成となっている。

第１２実施形態の光ファイバ母材の製造方法及び光ファイバ母材においても、光ファイバ母材１２Ｍ内に内圧が負圧の内孔２８が確保されるため、光ファイバの線引き時に母材内の真空引きを行なう必要が無い。その結果、光ファイバ母材における線引き有効領域の母材軸線方向寸法を大きく確保でき、光ファイバの線引き長の増大、長尺化を容易に実現できる。

また、内孔２８内に充填された石英粉末４１の領域（以下、石英粉末領域４１Ａ）中には無数の微小な空隙が存在する。
石英粉末４１が充填された内孔２８を有する光ファイバ母材を用いた光ファイバの製造では、ガラスロッド２３に対するクラッドガラス体２１の一体化進行に伴い内孔２８容積が縮小しても、クラッドガラス体２１内の石英粉末領域４１Ａ中の空隙によって内孔２８内圧の上昇を抑えることができる。その結果、光ファイバ母材を用いた光ファイバの製造では、線引き工程において内孔２８内圧の負圧を維持したまま充分な長さの光ファイバを線引きすることが可能である。

（第１３実施形態）
次に、光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、光ファイバの製造方法の第１３実施形態について、図４０Ａ～図４０Ｄを参照して説明する。
なお、図４０Ａ～図４０Ｄにおいて、図３９Ａ～図３９Ｅ（第１２実施形態）と同様の構成部分については共通の符号を付し、その説明を省略または簡略化する。

図４０Ｄは、この実施形態の光ファイバ母材１Ｍを示す断面図である。
この実施形態の光ファイバ母材の製造方法は、図４０Ｄの光ファイバ母材１Ｍを製造するものである。
この実施形態の光ファイバ母材１Ｍの製造方法は、まず、第１２実施形態と同様にガラス材ユニットＵ１２に対して石英粉末充填工程及び真空引き工程を行う。次いで、図４０Ａ、図４０Ｂに示すように、真空引き工程を継続しながら、クラッドガラス体２１他端部を含むガラス材ユニットＵ１２他端部を加熱縮径させてクラッドガラス体２１他端部に開口する貫通孔２２の開口部を塞ぐ（気密に封止する）他端側封止工程を行い、先端側封止部２７と同様の構成の基端側封止部４３を形成する。
なお、この実施形態における他端側封止工程を、以下、基端側封止工程、とも言う。

基端側封止工程が完了すれば、クラッドガラス体２１の内部に、貫通孔２２の一端側がダミー石英棒２５によって気密に封止され、他端側が基端側封止部４３によって気密に封止された内孔２８が確保される。
基端側封止工程では、真空ポンプによる真空引きによってクラッドガラス体２１の貫通孔２２に１ｋＰａ以下の真空圧を作用させながら基端側封止部４３を形成することで、内圧が負圧（例えば１ｋＰａ以下）の内孔２８を形成する。

また、図４０Ｂに示すように、基端側封止工程では、内孔２８の他端部、具体的には、内孔２８における基端側封止部４３と貫通孔２２内の石英粉末領域４１Ａとの間に石英粉末４１が充填されていない空隙部４４を確保する。

ガラス材ユニットＵ１２について、以下、クラッドガラス体２１の一端部が位置する部分を一端部、クラッドガラス体２１の他端部が位置する部分を他端部、として説明する。
第１２実施形態の先端側封止工程（他端側封止工程）では、火炎２６（例えば酸水素炎）等を利用してガラス材ユニットＵ１２における石英粉末領域４１Ａのクラッドガラス体２１軸線方向他端側の端部（図３９Ｄにおける石英粉末領域４１Ａの左側端部）に対応する領域、及びこの領域からガラス材ユニットＵ１２他端側の領域を加熱縮径して先端側封止部２７を形成する。
これに対して、図４０Ａに示すように、第１３実施形態の基端側封止工程（他端側封止工程）では、火炎２６（例えば酸水素炎）等を利用して、クラッドガラス体２１の他端部における石英粉末４１が存在しない部分を加熱縮径させて基端側封止部４３を形成し（図４０Ｂ参照）、内孔２８における基端側封止部４３と石英粉末領域４１Ａとの間の空隙部４４を確保する。

基端側封止工程が完了したら、図４０Ｃに示すように、基端側封止部４３を加熱して基端側封止部４３に中実のダミー石英棒４５を溶着、一体化する基端側ダミー棒一体化工程を行う。
ダミー石英棒４５は、ガラス材ユニットＵ１２に対してクラッドガラス体２１と同軸になるように位置合わせして、その片端を基端側封止部４３に溶着する。

基端側ダミー棒一体化工程が完了したら、次に、図４０Ｃ、図４０Ｄに示すように、ガラス材ユニットＵ１２の一端部を加工して先端側封止部４６を形成するとともにクラッドガラス体２１一端部からダミー石英棒２５を除去する一端側加工工程を行い、図４０Ｃに示す光ファイバ母材１Ｍを得る。

図４０Ｃ、図４０Ｄに示すように、一端側加工工程では、ガラス材ユニットＵ１２の一端部を火炎２６（例えば酸水素炎）等を利用して加熱縮径してガラス材ユニットＵ１２一端部を先細りのテーパ状に加工した先端側封止部４６を形成する。また、一端側加工工程では、先端側封止部４６を形成する過程において、クラッドガラス体２１一端部からダミー石英棒２５を除去する。

先端側封止部４６は、クラッドガラス体２１一端部をその内側のガラスロッド２３先端部（他端部）とともに加熱縮径して中実化したものである。先端側封止部４６は、クラッドガラス体２１の貫通孔２２内の石英粉末４１が加熱によってガラス化したものを含んでいても良い。
先端側封止部４６は、内孔２８の一端部を気密に封止する。

図４０Ｄの光ファイバ母材１Ｍを製造する製造方法は、基端側封止工程の完了後の基端側ダミー棒一体化工程及び一端側加工工程の順序を逆にした構成も採用可能である。
また、図４０Ｄの光ファイバ母材１Ｍを製造する製造方法は、上述の製造方法について、一端側加工工程を、石英粉末充填工程の前、あるいは石英粉末充填工程の完了後かつ真空引き工程の前、に行うように変更した構成も採用可能である。

図４０Ｄの光ファイバ母材１Ｍについては、ダミー石英棒４５が位置する側を一端（あるいは基端）、先端側封止部４６が位置する側を他端（あるいは先端）、として扱う。
図４０Ｄの光ファイバ母材１Ｍを用いた光ファイバの製造では、ガラスロッド２３に対するクラッドガラス体２１の一体化進行に伴い内孔２８容積が縮小しても、クラッドガラス体２１内の石英粉末領域４１Ａ）中の空隙及び内孔２８内の空隙部４４が内孔２８内圧の上昇抑制に寄与する。その結果、光ファイバ母材１Ｍを用いた光ファイバの製造では、線引き工程において内孔２８内圧の負圧を維持したまま充分な長さの光ファイバを線引きすることが可能である。

第１２実施形態、第１３実施形態に係る光ファイバ母材１Ｍの製造方法では、真空引き工程にて、クラッドガラス体２１の他端に接続したガス送給装置からクラッドガラス体２１の貫通孔２２へのヘリウムガスの送給と、真空ポンプによる真空引きとを交互に行なった後、真空引きを継続しながら基端側封止工程を行うことがより好ましい。この構成であれば、クラッドガラス体２１の貫通孔２２内に残存するガスをヘリウムガスに限定することができる。ヘリウムガスは基端側封止工程によって形成される内孔２８内に残留しても、光ファイバ母材１Ｍからの光ファイバの線引きに伴う石英粉末４１のガラス化時にガラスから抜けやすい。このため、クラッドガラス体２１の貫通孔２２内に残存するガスをヘリウムガスに限定することは、光ファイバへの気泡混入防止に有効に寄与する。

第１２実施形態、第１３実施形態にて使用するガラス材ユニットは、図３９Ｂに例示した構成に限定されない。
ガラス材ユニットは、例えば図４１Ｃに示すように、クラッドガラス体２１一端部に開口する貫通孔２２の開口部を気密に封止して形成された一端側封止部４７にダミー石英棒２５が溶着、一体化された構成のもの（ガラス材ユニットＵ１２Ａ）も採用可能である。
図４１Ｃのガラス材ユニットＵ１２Ａの組み立て方法は、まず、図４１Ａに示すように、クラッドガラス体２１の貫通孔２２にガラスロッド２３を挿入する。次いで、図４１Ａ、図４１Ｂに示すように、酸水素炎等の火炎２６を用いてクラッドガラス体２１一端部とその内側のガラスロッド２３一端部とを加熱縮径して一端側封止部４７を形成して、クラッドガラス体２１一端部に開口する貫通孔２２の開口部を気密に封止する。次いで、図４１Ｂ、図４１Ｃに示すように、一端側封止部４７にダミー石英棒２５を溶着、一体化する。

なお、図４１Ａ～図４１Ｃに示すガラス材ユニットＵ１２Ａの組み立て方法では、クラッドガラス体２１の貫通孔２２に、ガラスロッド２３を複数本束ねたガラスロッド束を挿入し、クラッドガラス体２１一端部とその内側のガラスロッド束一端部とを加熱縮径した一端側封止部４７を形成している。
但し、ガラス材ユニットは、例えばガラスロッド２３から取り外し可能なロッド支持具等を用いて互いに間隔を空けて支持した複数本のガラスロッド２３のそれぞれの一端部をクラッドガラス体２１一端部とともに加熱縮径した一端側封止部を有する構成も採用可能である。

ガラス材ユニットは、例えば図４２に示すように、クラッドガラス体２１の一端部に貫通孔２２の開口部を気密に封止するダミー石英棒２５が溶着され、クラッドガラス体２１の貫通孔２２に、ガラスロッド２３と、ロッド支持孔４８ａが貫通形成されたロッド支持具４８が収容された構成（ガラス材ユニットＵ１２Ｂ）も採用可能である。
図４２のガラス材ユニットＵ１２Ｂのガラスロッド２３は、ロッド支持具４８のロッド支持孔４８ａに挿入され、ロッド支持具４８によってクラッドガラス体２１の軸線に沿った向きに支持されている。
図４２のロッド支持具４８には、複数のロッド支持孔４８ａがクラッドガラス体２１の軸線に沿った向きに貫通形成されている。図４２のロッド支持具４８は、複数本のガラスロッド２３を互いに間隔を空けた状態に支持することができる。

図４２のガラス材ユニットＵ１２Ｂを用いた光ファイバ母材１Ｍの製造では、基端側封止工程の完了後に行う一端側加工工程にて、先端側封止部４６を形成する過程において、ロッド支持具４８をダミー石英棒２５とともにクラッドガラス体２１から除去する。
また、ロッド支持具４８に光ファイバのクラッドの一部となるガラス製のものを採用した場合は、基端側封止工程の完了後に行う一端側加工工程にて、ロッド支持具４８の一部を含む先端側封止部４６を形成しても良い。

石英粉末充填工程及び先端側封止工程を有する光ファイバ母材の製造方法は、第１２実施形態及び第１３実施形態に限定されず、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法の種々の実施形態に適用可能である。

なお、第１２、第１３実施形態の光ファイバ母材についても、第１実施形態の光ファイバ母材１Ａと同様に、図７に例示した線引き装置５０を光ファイバの線引きに利用できる。
第１２、第１３実施形態の光ファイバ母材は、図７に例示した線引き装置５０を光ファイバの線引きに利用する場合、ダミー石英棒４５を昇降フレーム５１ａに取り付け、先端側封止部４６が下端となるように昇降フレーム５１ａに吊支させる。

本発明に係る実施形態の光ファイバ母材の内孔の線引き開始前の内圧は、線引き工程の開始から完了まで負圧を維持できるように設定すれば良く、例えば１ｋＰａ超～２０ｋＰａ程度であっても良い。光ファイバ母材の製造では、例えば内圧が２０ｋＰａ以下の内孔を形成して、線引き工程において負圧の内孔内圧を確保する。線引き開始前の光ファイバ母材の内孔内圧が２０ｋＰａ以下であれば、線引き工程において内孔内圧の負圧を維持したまま充分な長さの光ファイバを線引きすることが可能である。
内孔内圧は、例えば２０ｋＰａ以下であるが、１０ｋＰａ以下、あるいは１ｋＰａ以下であっても良い。

以上、本発明を最良の形態に基づいて説明してきたが、本発明は上述の最良の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。
例えば、内圧が１０ｋＰａ以下の内孔を有する光ファイバ母材を製造する方法（光ファイバ母材の製造方法）は、真空引き工程を省略し、先端側封止工程にて加熱した光ファイバ母材の先端側封止工程完了後の冷却に伴う内孔内圧の低下によって１０ｋＰａ以下の内孔内圧を確保しても良い。
また、光ファイバ母材の製造方法のロッド挿入工程は、ダミー棒一体化工程及び先端側封止工程の一方または両方の完了前に行えば良く、上述した実施形態の工程順に限定されない。

光ファイバ母材の製造方法では、ダミー棒一体化工程を、クラッドガラス体の貫通孔に挿入されているコア用ガラスロッド１４を貫通孔の他端から一端側に離隔させ、貫通孔一端側には空隙部を確保せず貫通孔他端側のみに空隙部を確保した状態で行ない、先端側封止工程を、コア用ガラスロッド１４を貫通孔の他端から一端側に離隔させ貫通孔他端側のみに空隙部を確保した状態で開始する構成も採用可能である。この場合、先端側封止工程では、ガラス材ユニット他端部を加熱縮径する際に、クラッドガラス体１１からダミー石英管１３及びコア用ガラスロッド１４先端を除去するガラス材ユニット他端部先端側を溶断し、溶断後のガラス材ユニット他端部の加熱縮径により先端側封止部を形成する。
光ファイバ母材の製造方法は、例えば、第６～１１実施形態の光ファイバ母材の製造方法について、ダミー棒一体化工程及び先端側封止工程を上述のダミー棒一体化工程及び先端側封止工程に変更した構成も採用可能である。

１Ａ～１Ｍ…光ファイバ母材、２…光ファイバ、１１…クラッドガラス体、１２…貫通孔、１３…ダミー石英管、１３１…第１ダミー石英管、１３２…第２ダミー石英管、１４…ガラスロッド（コア用ガラスロッド）、１５…ダミー石英棒、１６…火炎、１７…先端側封止部、１８…内孔、１９…空隙部、２１…クラッドガラス体、２２…貫通孔、２３…ガラスロッド、２４…基端側封止部、２５…ダミー石英棒、２６…火炎、２７…先端側封止部、２８…内孔、３１…クラッドガラス体、３２…貫通孔、３３…先端側封止部、３４…内孔、４１…石英粉末、４１Ａ…石英粉末領域、４２…ロッドユニット、４３…基端側封止部、４４…空隙部、４５…ダミー石英棒、４６…先端側封止部、４７…一端側封止部、４８…ロッド支持具、４８ａ…ロッド支持孔、５０…線引き装置。

Claims (17)

1. 光ファイバのクラッドとなるクラッドガラス体を貫通する貫通孔にガラスロッドを挿入するロッド挿入工程と、
   前記クラッドガラス体の一端部を加熱して前記クラッドガラス体一端部に前記貫通孔の開口部を塞ぐ中実のダミー石英棒を一体化するか、あるいは前記クラッドガラス体の一端部に前記貫通孔の開口部を塞ぐ基端側封止部を形成し前記基端側封止部に中実のダミー石英棒を一体化するダミー棒一体化工程と、
   前記クラッドガラス体の他端部を加熱して変形させることで前記クラッドガラス体の他端部に開口する前記貫通孔の開口部を塞ぐ先端側封止工程とを有し、
   前記ロッド挿入工程を前記ダミー棒一体化工程及び前記先端側封止工程の一方または両方の完了前に行い、前記ロッド挿入工程と前記ダミー棒一体化工程と前記先端側封止工程とを完了させることで、前記貫通孔の両端が封止された構成の内孔を形成し、
   前記ロッド挿入工程及び前記ダミー棒一体化工程の完了後に前記先端側封止工程を行なうとき、前記先端側封止工程は、前記クラッドガラス体の前記貫通孔内を前記クラッドガラス体の他端側から真空引きしながら、前記クラッドガラス体の他端部を加熱して変形させて前記クラッドガラス体の他端部に開口する前記貫通孔の開口部を塞ぐことで、前記内孔の内圧を負圧とする光ファイバ母材の製造方法。
2. 前記クラッドガラス体は前記貫通孔に前記ガラスロッドを複数収容する筒状に形成され、
   前記ロッド挿入工程では、前記クラッドガラス体の前記貫通孔に前記ガラスロッドを複数挿入し、
   前記ダミー棒一体化工程では、前記クラッドガラス体の一端部に開口する前記貫通孔の開口部に前記ダミー石英棒を挿入し、前記クラッドガラス体の一端部を加熱して前記ダミー石英棒に一体化し前記貫通孔の開口部を塞ぐ請求項１に記載の光ファイバ母材の製造方法。
3. 光ファイバのクラッドとなるクラッドガラス体を貫通する貫通孔にガラスロッドを挿入するロッド挿入工程と、
   前記クラッドガラス体の一端部に予め溶着しておいた接続用ガラス管に中実のダミー石英棒を挿入し、前記接続用ガラス管を加熱して前記ダミー石英棒に一体化し前記接続用ガラス管の開口部を塞ぐダミー棒一体化工程と、
   前記クラッドガラス体の他端部を加熱して変形させることで前記クラッドガラス体の他端部に開口する前記貫通孔の開口部を塞ぐ先端側封止工程とを有し、
   前記ロッド挿入工程を前記ダミー棒一体化工程及び前記先端側封止工程の一方または両方の完了前に行い、前記ロッド挿入工程と前記ダミー棒一体化工程と前記先端側封止工程とを完了させることで、前記貫通孔の両端が封止された構成の内孔を形成し、
   前記ロッド挿入工程及び前記ダミー棒一体化工程の完了後に前記先端側封止工程を行なうとき、前記先端側封止工程は、前記クラッドガラス体の前記貫通孔内を前記クラッドガラス体の他端側から真空引きしながら、前記クラッドガラス体の他端部を加熱して変形させて前記クラッドガラス体の他端部に開口する前記貫通孔の開口部を塞ぐことで、前記内孔の内圧を負圧とする光ファイバ母材の製造方法。
4. 前記ダミー棒一体化工程及び前記先端側封止工程を、前記ガラスロッドを前記クラッドガラス体の少なくとも前記一端部から離隔させて前記貫通孔に前記ガラスロッドが挿入されていない領域を確保した状態で行い、前記領域を含む空隙部を確保する請求項１～３のいずれか１項に記載の光ファイバ母材の製造方法。
5. 光ファイバのクラッドとなるクラッドガラス体を貫通する貫通孔にガラスロッドが挿入され、かつ前記クラッドガラス体の一端部に位置する前記貫通孔の一端部が封止された状態にて、前記クラッドガラス体の前記貫通孔にその他端から石英粉末を充填する石英粉末充填工程と、
   前記石英粉末充填工程の完了後に、前記クラッドガラス体の他端部を加熱して変形させ前記貫通孔の他端の開口部を封止して前記貫通孔の両端が封止された構成の内孔を形成する他端側封止工程とを有し、
   前記石英粉末充填工程では、前記クラッドガラス体にその一端部に中実のダミー石英棒が一体化されたものを用い、
   前記他端側封止工程では、前記クラッドガラス体の前記貫通孔内を前記クラッドガラス体の他端側から真空引きしながら、前記クラッドガラス体の他端部を加熱して変形させて前記クラッドガラス体の他端部に開口する前記貫通孔の開口部を塞ぐことで、前記内孔の内圧を負圧とする光ファイバ母材の製造方法。
6. 前記他端側封止工程にて前記貫通孔の他端の開口部を封止して形成された基端側封止部を加熱して前記基端側封止部に中実のダミー石英棒を一体化する基端側ダミー棒一体化工程をさらに有し、
   前記他端側封止工程では、前記クラッドガラス体の他端部における前記石英粉末が存在しない部分を加熱して変形させて前記基端側封止部を形成して、前記内孔における前記基端側封止部と前記貫通孔内に充填された前記石英粉末との間に空隙部を確保する請求項５に記載の光ファイバ母材の製造方法。
7. 前記貫通孔の両端が封止された構成の前記内孔を２０ｋＰａ以下の内圧を確保して形成する請求項１～６のいずれか１項に記載の光ファイバ母材の製造方法。
8. 前記内孔に確保する内圧が１ｋＰａ以下である請求項７に記載の光ファイバ母材の製造方法。
9. 光ファイバのクラッドとなるロッド状のクラッドガラス体と、
   前記クラッドガラス体内に前記クラッドガラス体の軸線方向に沿って存在する、気密に封止された内孔に収容されたガラスロッドと、
   前記クラッドガラス体の一端部に固定されて前記内孔の一端を塞ぐ中実のダミー石英棒、あるいは前記クラッドガラス体の前記内孔の一端を塞ぐ一端部に固定された中実のダミー石英棒、あるいは前記クラッドガラス体の一端部に固定された接続用ガラス管に収容、一体化されて前記接続用ガラス管の開口部を塞ぐ中実のダミー石英棒、とを有し、
   前記クラッドガラス体の他端部は前記内孔の他端を塞ぐ先端側封止部を備え、
   前記内孔の内圧が負圧である光ファイバ母材。
10. 前記ガラスロッドのうち、前記軸線方向において前記ダミー石英棒に近い側の端部は、前記クラッドガラス体の一端部から離隔して配置され、
    前記内孔の一端側の内部に前記ガラスロッドが挿入されていない空隙部が確保され、
    前記空隙部は、少なくとも、前記ガラスロッドの前記端部と前記クラッドガラス体の前記一端部との間に存在している請求項９に記載の光ファイバ母材。
11. 前記内孔にその全体を埋め込む量または前記内孔の一端部に空隙部を確保可能な量の石英粉末が収容されている請求項９または１０に記載の光ファイバ母材。
12. 前記内孔に２０ｋＰａ以下の内圧が確保されている請求項９～１１のいずれか１項に記載の光ファイバ母材。
13. 前記内孔の内圧が１ｋＰａ以下である請求項１２に記載の光ファイバ母材。
14. 前記ダミー石英棒の端面が、前記クラッドガラス体の端面と面接触している請求項９～１３のいずれか１項に記載の光ファイバ母材。
15. 前記クラッドガラス体の一端部に固定された接続用ガラス管に収容、一体化されて前記接続用ガラス管の開口部を塞ぐ中実のダミー石英棒を有し、
    前記接続用ガラス管の先端は、前記ダミー石英棒と一体化されている請求項９～１４のいずれか１項に記載の光ファイバ母材。
16. 前記クラッドガラス体内には、コアとなる複数の前記ガラスロッドがそれぞれ収容された複数の前記内孔が存在している請求項９～１５のいずれか１項に記載の光ファイバ母材。
17. 請求項９～１６のいずれか１項に記載の光ファイバ母材を前記先端側封止部側から加熱炉に挿入して加熱し、前記光ファイバ母材の前記加熱炉への送り込みの継続により前記ガラスロッドを前記クラッドガラス体に一体化しながら、前記光ファイバ母材の前記加熱炉に挿入されている側の先端から光ファイバを線引きする光ファイバの製造方法。

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