JP7064425B2 - 光学式エンコーダ - Google Patents
光学式エンコーダ Download PDFInfo
- Publication number
- JP7064425B2 JP7064425B2 JP2018198268A JP2018198268A JP7064425B2 JP 7064425 B2 JP7064425 B2 JP 7064425B2 JP 2018198268 A JP2018198268 A JP 2018198268A JP 2018198268 A JP2018198268 A JP 2018198268A JP 7064425 B2 JP7064425 B2 JP 7064425B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scale
- measurement scale
- scanning
- partial beam
- beam bundles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 107
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 201
- 230000006798 recombination Effects 0.000 claims description 36
- 238000005215 recombination Methods 0.000 claims description 36
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 35
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 11
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims description 11
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 5
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 34
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 23
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 7
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 5
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 238000004513 sizing Methods 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- NCGICGYLBXGBGN-UHFFFAOYSA-N 3-morpholin-4-yl-1-oxa-3-azonia-2-azanidacyclopent-3-en-5-imine;hydrochloride Chemical compound Cl.[N-]1OC(=N)C=[N+]1N1CCOCC1 NCGICGYLBXGBGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 230000001010 compromised effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/026—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring distance between sensor and object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/344—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using polarisation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
- G01D5/34715—Scale reading or illumination devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
ここで
γ:=対称面に対する測定目盛上に入射する1つのビーム束の入射角度
k:=λ/dM
λ:=光波長
dM:=測定目盛の目盛周期
α:=対称面に対する測定目盛の傾斜角度
であることが提唱され得る。
-前記測定目盛上に当たり、この測定目盛上で2つの異なる対称な回折次数に相当する2つの部分ビーム束に分岐し、前記走査装置に向かってV字状に戻り反射し、
-当該戻り反射した両部分ビーム束、前記走査装置内で前記2つの第1走査格子を前記2つの反射器の方向に透過し、このときに、入射方向に対して反平行に指向した回折作用と、専ら前記目盛方向に対して直角な集光作用とを受け、
-次いで、こうして回折され集光された複数の部分ビーム束がそれぞれ、前記反射器上に当たり、前記測定スケールの方向に戻り反射し、
-次いで、当該戻り反射した両部分ビーム束が、前記2つの第2走査格子を前記測定スケールの方向に透過し、このときに、前記目盛方向への回折作用と、専ら前記目盛方向に対して直角なコリメート作用とを受ける結果、このときに、当該両部分ビーム束が、前記測定スケールの方向にV字状に伝播し、
-重畳した複数の部分ビーム束が、前記測定スケールで新たに回折し、前記走査装置の方向に戻り反射するように、前記走査装置が構成され得る。
dR=dM・cosα
にしたがって選択されていて、
ここで、
dR:=走査格子の目盛周期
dM:=測定目盛の目盛周期
α:=対称面に対する測定目盛の傾斜角度
であることがさらに提唱され得る。
1つの第1走査格子及び1つの第2走査格子が、前記走査板の前記測定スケールに面した側面上に配置されていて、1つの再結合格子が、当該側面に対して反対の側面上に配置されている結果、1つの光源から放射した1つのビーム束が、
-前記測定目盛上に当たり、この測定目盛上で2つの異なる対称な回折次数に相当する2つの部分ビーム束に分岐し、前記走査装置に向かってV字状に戻り反射し、
-当該戻り反射した両部分ビーム束が、前記走査装置内で前記第1走査格子及び前記第2走査格子を透過し、前記再結合格子の方向に伝播し、
-新たな回折が、前記再結合格子で発生し、引き続き、重畳した部分ビーム束の複数の対が、複数の検出素子を有する1つの検出装置の方向に伝播することも可能である。
-前記測定目盛上に当たり、この測定目盛上で2つの異なる対称な回折次数に相当する2つの部分ビーム束に分岐し、前記走査装置に向かってV字状に戻り反射し、
-当該戻り反射した両部分ビーム束が、それぞれ1つの反射器によって第1の前記ビームスプリッターキューブの方向に偏向され、当該戻り反射した両部分ビーム束が、複数の偏光光学素子の透過後に第1の前記ビームスプリッターキューブで重畳し、1つの検出素子の方向に部分的に再び伝播し、第2の前記ビームスプリッターキューブの方向に部分的に再び伝播し、そして
-第2の前記ビームスプリッターキューブ内で別の複数の検出素子の方向に伝播する重畳した少なくとも2つのさらなる部分ビーム束に分岐され、
-当該分岐され重畳した複数の部分ビーム束が、前記複数の検出素子上に当たる前に複数の別の偏光光学素子をそれぞれ透過する結果、位相シフトされている走査信号が、前記複数の検出素子ごとによって生成可能である。
-1つの第1の前記ビームスプリッターキューブ内で2つの部分ビーム束に分岐され、
-次いで、当該両部分ビーム束が、それぞれ1つの反射器によって前記測定目盛の方向に偏向される結果、これらの部分ビーム束が、測定目盛の方向にV字状に伝播し、これらの部分ビーム束がそれぞれ、この測定目盛で対称な複数の回折次数に分岐される結果、共線状に重畳した複数の部分ビーム束が、第2の前記ビームスプリッターキューブの方向に伝播し、当該共線状に重畳した複数の部分ビーム束が、複数の偏光光学素子の透過後に前記第2の前記ビームスプリッターキューブで重畳し、1つの検出素子の方向に部分的に再び伝播し、第3の前記ビームスプリッターキューブの方向に部分的に再び伝播し、そして
-第3の前記ビームスプリッターキューブ内で別の複数の検出素子の方向に伝播する重畳した少なくとも2つのさらなる部分ビーム束に分岐され、
-当該分岐され重畳した複数の部分ビーム束が、前記複数の検出素子上に当たる前に複数の別の偏光光学素子をそれぞれ透過する結果、位相シフトされている走査信号が、前記複数の検出素子ごとによって生成可能であることが可能である。
前記入射角度は、
β2,1=sin-1(sin(γ-α)±k)-α (方程式1)
ここで、
β1:=測定スケールに対する-1次の回折次数の回折角度
β2:=測定スケールに対する+1次の回折次数の回折角度
α:=対称面に対する測定目盛の傾斜角度
γ:=対称面に対する入射ビーム束の入射角度
k:=λ/dM
λ:=光波長
dM:=測定目盛の目盛周期
である。
dR=dM・cosα (方程式3)
ここで、
dR:=走査格子の偏向作用にしたがう目盛周期
dM:=測定目盛の目盛周期
α:=対称面に対する測定目盛の傾斜角度
である。
SPx′=1/4・dM (方程式4)
になる。
ここで、
SPx′:=x′方向の相対移動時の走査信号の信号周期
dM:=測定目盛の目盛周期
である。
dR2:=再結合格子の目盛周期
dM:=測定目盛の目盛周期
α:=対称面に対する測定目盛の傾斜角度
a:=測定目盛と走査格子との間の間隔
b:=走査格子と再結合格子との間の間隔
λ:=光波長
nr:=走査格子と再結合格子との間の媒体の屈折率
である。
走査信号が、これらの検出素子4291~4293で発生する。
11 目盛キャリア
12 測定目盛
20 走査装置
21 走査板
22A1 第1走査格子
22B1 第1走査格子
22A2 第2走査格子
22B2 第2走査格子
23A 反射器
23B 反射器
24A 偏向光学素子
24B 偏向光学素子
25 検出装置
26 光源
128 再結合格子
Claims (15)
- 互いに相対可動な2つの物体の位置を検出するための光学式エンコーダであって、当該光学式エンコーダは、
-前記2つの物体のうちの1つの物体に結合されている1つの測定スケールと、
-他方の物体に配置された複数の光学素子を有する1つの走査装置とを備え、
前記測定スケールが、なくとも1つの目盛方向(x)に沿った複数の目盛領域の周期的な配列を成す1つの測定目盛を有し、
1つの走査ビーム経路が、前記走査装置の前記複数の光学素子の配列及び構成によって形成され、この走査ビーム経路内では、分岐され干渉する複数の部分ビーム束が、1つの対称面に対してミラー対称に伝播し、前記測定スケール上にV字状に入射し、及び/又は前記測定スケールからV字状に戻り反射し、
前記対称面が、1つの回転軸を中心にして前記測定スケールに対して所定の傾斜角度(α)だけ傾いていて、この回転軸は、前記測定スケールの表面に対して平行に指向されていて、且つ前記目盛方向に対して直角に延在し、
前記測定目盛で対称な複数の回折次数に回折される複数の部分ビーム束が干渉する当該光学式エンコーダにおいて、
前記複数の部分ビーム束(A,B)が、その分岐とその再結合との間で同じ光路長を進行することを特徴とする光学式エンコーダ。 - 前記測定目盛(12;112;212;312;412)で+1次の回折次数と-1次の回折次数とから発生する複数の部分ビーム束(A,B)が干渉する請求項1に記載の光学式エンコーダ。
- 前記測定目盛(12;112;212;312;412)は、信号を生成するために使用される前記複数の回折次数の高い回折効率に最適化されている反射位相格子として形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の光学式エンコーダ。
- 前記複数の部分ビーム束(A,B)の同じ光路長が、これらの部分ビーム束(A,B)の分岐と再結合との間で発生するように、前記対称面(SE)に対する前記測定目盛(12;112;212;312;412)上に入射する1つのビーム束(SIN)の入射角度(γ)が選択されていることを特徴とする請求項1に記載の光学式エンコーダ。
- 前記走査装置は、複数の光学素子を有する少なくとも1つの走査板を備え、当該走査板は、前記対称面に対して直角に配置されていることを特徴とする請求項4に記載の光学式エンコーダ。
- 前記走査装置(20;120)内に配置された1つの走査板(21;121)が透過性に形成されていて、
2つの第1走査格子及び2つの第2走査格子(22A1,22A2,22B1,22B2;122A1,122A2,122B1,122B2)が、前記走査板(21;121)の前記測定スケール(10;110)に面した側面上に配置されていて、2つの反射器(23A,23B;23A,23B;)が、当該側面に対して反対の側面上に配置されていて、
前記反射器(23A,23B;23A,23B)の反射面が、前記測定スケール(10;110)の方向に指向されていることを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の光学式エンコーダ。 - 1つの光源(26;126)から放射した1つのビーム束(SIN)が、
-前記測定目盛(12;112)上に当たり、この測定目盛(12;112)上で2つの異なる対称な回折次数に相当する2つの部分ビーム束(A,B)に分岐し、前記走査装置(20;120)に向かってV字状に戻り反射し、
-当該戻り反射した両部分ビーム束(A,B)が、前記走査装置(20;120)内で前記2つの第1走査格子(22A1,22B1,122A1,122B1)を前記2つの反射器(23A,23B;23A,23B)の方向に透過し、このときに、入射方向に対して反平行に指向した回折作用と、専ら前記目盛方向(x)に対して直角な集光作用とを受け、
-次いで、こうして回折され集光された複数の部分ビーム束(A,B)がそれぞれ、前記反射器(23A,23B;23A,23B)上に当たり、前記測定スケール(10;110)の方向に戻り反射し、
-次いで、当該戻り反射した両部分ビーム束(A,B)が、前記2つの第2走査格子(22A2,22B2,122A2,122B2)を前記測定スケール(10;110)の方向に透過し、このときに、前記目盛方向(x)への回折作用と、専ら前記目盛方向(x)に対して直角なコリメート作用とを受ける結果、当該両部分ビーム束(A,B)が、前記測定スケール(10;110)の方向にV字状に伝播し、
-重畳した複数の部分ビーム束(A,B)が、前記測定スケール(10;110)で新たに回折し、前記走査装置(20;120)の方向に戻り反射するように、前記走査装置(20;120)が構成されていることを特徴とする請求項7に記載の光学式エンコーダ。 - 全ての走査格子(22A1,22A2,22B1,22B2;122A1,122A2,122B1,122B2;)の目盛周期(dR)が、
dR=dM・cosα
にしたがって選択されていて、
ここで、
dR:=走査格子の目盛周期
dM:=測定目盛の目盛周期
α:=対称面に対する測定目盛の傾斜角度
であることを特徴とする請求項7に記載の光学式エンコーダ。 - 1つの再結合格子(128)が、前記測定スケール(110)に面している前記走査板(121)の側面上にさらに配置されていて、前記測定スケール(110)から戻り反射した前記重畳した複数の部分ビーム束(A,B)が、この再結合格子(128)上に入射し、この再結合格子(128)を透過することで重畳した部分ビーム束(A,B)の複数の対に分岐され、これらの対が、空間的に分離して、位相シフトされている走査信号を生成するための複数の検出素子を有する1つの検出装置(127)の方向に伝播することを特徴とする請求項8に記載の光学式エンコーダ。
- 前記第1走査格子及び前記第2走査格子(122A1,122A2,122B1,122B2)が、異なる目盛周期(dR1,dR2)を有する結果、前記複数の部分ビーム束(A,B)が、前記測定スケール(110)での2回目の反射後に異なる角度を成して前記再結合格子(128)上に当たることを特徴とする請求項10に記載の光学式エンコーダ。
- 前記走査装置(220)内に配置された1つの走査板(221)が、透過性に形成されていて、
1つの第1走査格子及び1つの第2走査格子(222A1,222B1)が、前記走査板(221)の前記測定スケール(210)に面した側面上に配置されていて、1つの再結合格子(228)が、当該側面に対して反対の側面上に配置されている結果、1つの光源(226)から放射した1つのビーム束(SIN)が、
-前記測定目盛(212)上に当たり、この測定目盛(212)上で2つの異なる対称な回折次数に相当する2つの部分ビーム束(A,B)に分岐し、前記走査装置(220)に向かってV字状に戻り反射し、
-当該戻り反射した両部分ビーム束(A,B)が、前記走査装置(220)内で前記第1走査格子及び前記第2走査格子(222A1,222B1)を透過し、前記再結合格子(228)の方向に伝播し、
-新たな回折が、前記再結合格子(228)で発生し、引き続き、重畳した部分ビーム束(A,B)の複数の対が、複数の検出素子を有する1つの検出装置(225)の方向に伝播することを特徴とする請求項1に記載の光学式エンコーダ。 - 前記走査装置(320)が、少なくとも2つの反射器(328A,328B)と2つのビームスプリッターキューブ(3251,3252)とを有する結果、1つの光源(326)から放射した1つのビーム束(SIN)が、
-前記測定目盛(312)上に当たり、この測定目盛(312)上で2つの異なる対称な回折次数に相当する2つの部分ビーム束(A,B)に分岐し、前記走査装置(320)に向かってV字状に戻り反射し、
-当該戻り反射した両部分ビーム束(A,B)が、それぞれ1つの反射器(328A,328B)によって第1の前記ビームスプリッターキューブ(3251)の方向に偏向され、当該戻り反射した両部分ビーム束(A,B)が、複数の偏光光学素子(324A,324B)の透過後に第1の前記ビームスプリッターキューブ(3251)で重畳し、1つの検出素子(3281)の方向に部分的に再び伝播し、第2の前記ビームスプリッターキューブ(3252)の方向に部分的に再び伝播し、そして
-第2の前記ビームスプリッターキューブ(3252)内で別の複数の検出素子(3282,3283)の方向に伝播する重畳した少なくとも2つのさらなる部分ビーム束(A,B)に分岐され、
-当該分岐され重畳した複数の部分ビーム束(A,B)が、前記複数の検出素子(3281,3282,3283)上に当たる前に複数の別の偏光光学素子(3271,3272,3273)をそれぞれ透過する結果、位相シフトされている走査信号が、前記複数の検出素子(3281,3282,3283)ごとによって生成可能であることを特徴とする請求項1に記載の光学式エンコーダ。 - 前記走査装置(420)が、少なくとも2つの反射器(428A,428B)と3つのビームスプリッターキューブ(424,4271,4272)とを有する結果、1つの光源(426)から放射した1つのビーム束(SIN)が、
-1つの第1の前記ビームスプリッターキューブ(424)内で2つの部分ビーム束(A,B)に分岐され、
-次いで、当該両部分ビーム束(A,B)が、それぞれ1つの反射器(428A,428B)によって前記測定目盛(412)の方向に偏向される結果、これらの部分ビーム束(A,B)が、測定目盛(412)の方向にV字状に伝播し、これらの部分ビーム束(A,B)がそれぞれ、この測定目盛(412)で対称な複数の回折次数に分岐される結果、共線状に重畳した複数の部分ビーム束(A,B)が、第2の前記ビームスプリッターキューブ(4271)の方向に伝播し、当該共線状に重畳した複数の部分ビーム束(A,B)が、複数の偏光光学素子(425A,425B)の透過後に前記第2の前記ビームスプリッターキューブ(4271)で重畳し、1つの検出素子(4291)の方向に部分的に再び伝播し、第3の前記ビームスプリッターキューブ(4272)の方向に部分的に再び伝播し、そして
-第3の前記ビームスプリッターキューブ(4272)内で別の複数の検出素子(4292,4293)の方向に伝播する重畳した少なくとも2つのさらなる部分ビーム束(A,B)に分岐され、
-当該分岐され重畳した複数の部分ビーム束(A,B)が、前記複数の検出素子(4291,4292,4293)上に当たる前に複数の別の偏光光学素子(4281,4282,4283)をそれぞれ透過する結果、位相シフトされている走査信号が、前記複数の検出素子(4291,4292,4293)ごとによって生成可能であることを特徴とする請求項1に記載の光学式エンコーダ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102017219125.2 | 2017-10-25 | ||
DE102017219125.2A DE102017219125A1 (de) | 2017-10-25 | 2017-10-25 | Optische Positionsmesseinrichtung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019082470A JP2019082470A (ja) | 2019-05-30 |
JP7064425B2 true JP7064425B2 (ja) | 2022-05-10 |
Family
ID=63840647
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018198268A Active JP7064425B2 (ja) | 2017-10-25 | 2018-10-22 | 光学式エンコーダ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10527405B2 (ja) |
EP (1) | EP3477264B1 (ja) |
JP (1) | JP7064425B2 (ja) |
CN (1) | CN109708569B (ja) |
DE (1) | DE102017219125A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110044394A (zh) * | 2019-05-08 | 2019-07-23 | 浙江大学昆山创新中心 | 一种新型光波导相控阵扫描系统 |
DE102020202080A1 (de) * | 2020-02-19 | 2021-08-19 | Dr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mit Beschränkter Haftung | Optische Positionsmesseinrichtung |
CN115993088A (zh) | 2021-10-20 | 2023-04-21 | 约翰内斯.海德汉博士有限公司 | 光学位置测量设备 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6399940B1 (en) | 1999-05-10 | 2002-06-04 | Fanuc America Corporation | Optical rotary position encoder |
JP2016156805A (ja) | 2015-02-23 | 2016-09-01 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングDr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung | 光学位置測定装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0255905A (ja) * | 1988-08-22 | 1990-02-26 | Fujitsu Ltd | パターン転写方法 |
US5974464A (en) | 1995-10-06 | 1999-10-26 | Silicon Image, Inc. | System for high speed serial video signal transmission using DC-balanced coding |
EP1805917A2 (en) | 2004-09-10 | 2007-07-11 | Avid Technology, Inc. | System for live audio presentations |
DE102005043569A1 (de) | 2005-09-12 | 2007-03-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
DE102006021484A1 (de) * | 2006-05-09 | 2007-11-15 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmesseinrichtung |
DE102006042743A1 (de) * | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
DE102007035345A1 (de) * | 2006-11-20 | 2008-05-21 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
NL2005545A (en) | 2009-11-17 | 2011-05-18 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method. |
JP5618898B2 (ja) * | 2010-08-31 | 2014-11-05 | Dmg森精機株式会社 | 変位検出装置 |
DE102014208988A1 (de) | 2013-09-11 | 2015-03-12 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmesseinrichtung |
DE102014215633A1 (de) * | 2013-11-28 | 2015-05-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
-
2017
- 2017-10-25 DE DE102017219125.2A patent/DE102017219125A1/de not_active Withdrawn
-
2018
- 2018-10-09 US US16/154,750 patent/US10527405B2/en active Active
- 2018-10-12 EP EP18200009.1A patent/EP3477264B1/de active Active
- 2018-10-22 JP JP2018198268A patent/JP7064425B2/ja active Active
- 2018-10-25 CN CN201811248872.4A patent/CN109708569B/zh active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6399940B1 (en) | 1999-05-10 | 2002-06-04 | Fanuc America Corporation | Optical rotary position encoder |
JP2016156805A (ja) | 2015-02-23 | 2016-09-01 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングDr. Johannes Heidenhain Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung | 光学位置測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019082470A (ja) | 2019-05-30 |
DE102017219125A1 (de) | 2019-04-25 |
US20190120609A1 (en) | 2019-04-25 |
CN109708569B (zh) | 2022-08-16 |
EP3477264B1 (de) | 2020-12-09 |
EP3477264A1 (de) | 2019-05-01 |
US10527405B2 (en) | 2020-01-07 |
CN109708569A (zh) | 2019-05-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107462159B (zh) | 位移检测装置 | |
US7471397B2 (en) | Position-measuring device | |
CN100460826C (zh) | 位移探测装置、位移测量装置以及定点探测装置 | |
US7375820B2 (en) | Interference measuring apparatus for detecting a plurality of stable phase difference signals | |
JP7064425B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
US20110310396A1 (en) | Displacement detecting device | |
JP6181978B2 (ja) | 干渉式間隔測定装置 | |
JP2012237644A (ja) | 変位検出装置 | |
CN105547338B (zh) | 光学编码器 | |
JP2012127939A (ja) | 光学式位置測定装置 | |
US9733069B2 (en) | Optical position-measuring device | |
KR20130089191A (ko) | 위치 측정 장치와 복수의 위치 측정 장치를 구비하는 시스템 | |
JP2020197452A (ja) | 光学式角度センサ | |
JP2004144581A (ja) | 変位検出装置 | |
JP2017223674A (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP5933190B2 (ja) | 光学式距離測定機器 | |
JPH1038517A (ja) | 光学式変位測定装置 | |
JP5786270B2 (ja) | 2色干渉計測装置 | |
JP5235554B2 (ja) | 光学式変位測定装置 | |
US6570660B2 (en) | Measuring instrument | |
JPH06174424A (ja) | 測長または測角装置 | |
JP6251126B2 (ja) | 変位検出装置 | |
JP2020051782A (ja) | 光学式角度センサ | |
US10627215B1 (en) | Optical sensor | |
TWI414756B (zh) | Dual grating signal measurement system |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20200703 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210528 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211208 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220208 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220413 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220422 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7064425 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |