JP7063910B2 - 少なくとも1個の対象物の光学的な検出のための検出器 - Google Patents

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ボンジクノーレ,クリスティアン
ハンドレック,アンケ
ブルーダー,イングマル
ゼント,ロベルト
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トリナミクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
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Description

本発明は、少なくとも1個の対象物の光学的な検出のための検出器、とりわけ、少なくとも1個の対象物の位置を決定するための検出器、具体的には、少なくとも1個の対象物の深さ、幅、または、深さおよび幅の両方に関する位置を決定するための検出器に関する。そのうえ、本発明は、ヒューマンマシンインターフェース、エンターテイメントデバイス、スキャニングデバイス、トラッキングシステム、およびカメラに関する。さらに、本発明は、少なくとも1個の対象物の光学的な検出のための方法に関し、また、検出器のさまざまな使用に関する。そのようなデバイス、方法、および使用は、例えば、日常生活、ゲーミング、交通技術、空間のマッピング、生産技術、セキュリティ技術、医療技術、または科学のさまざまなエリアの中で用いられ得る。しかし、さらなる用途も可能である。
少なくとも1個の対象物を光学的に検出するためのさまざまな検出器が、光学検出器に基づいて知られている。WO2012/110924A1は、少なくとも1つのセンサ領域を示す少なくとも1つの光学センサを含む光学検出器を開示している。本明細書では、光学センサは、センサ領域の照射に依存するように、少なくとも1つのセンサ信号を発生させるように設計されている。いわゆる「FiP効果」にしたがって、センサ信号は、照射の合計パワーが同じであることを所与として、これによって、照射の幾何学形状に依存しており、とりわけ、センサ領域の上の照射のビーム断面に依存している。そのうえ、検出器は、少なくとも1つの評価デバイスを有しており、少なくとも1つの評価デバイスは、センサ信号から少なくとも1つの幾何学的情報項目を発生させるように指定されており、とりわけ、照射および/または対象物についての少なくとも1つの幾何学的情報項目を発生させるように指定されている。
WO2012/110924A1に例示的に開示されているような光学センサは、有機太陽電池、色素太陽電池、および色素増感太陽電池(DSC)、好ましくは、固体色素増感太陽電池(ssDSC)からなる群から選択される。本明細書では、DSCは、一般的に、少なくとも2つの電極を有する構成を表しており、電極のうちの少なくとも1つは、少なくとも部分的に透明になっており、少なくとも1つのn型半導体金属酸化物、少なくとも1つの色素、および少なくとも1つの電解質またはp型半導体材料が、電極同士の間に埋め込まれている。この種類の光学センサでは、センサ信号は、変調された光がセンサ領域の上に焦点を合わせられるときに強化されるac光電流の形態で提供され得る。
WO2014/097181A1は、少なくとも1つの横方向光学センサおよび少なくとも1つの縦方向光学センサを使用することによって、少なくとも1個の対象物の位置を決定するための方法および検出器を開示している。好ましくは、縦方向光学センサのスタックが、とりわけ、高い程度の精度によって、および、曖昧性なしに、対象物の縦方向位置を決定するために用いられる。一般的に、少なくとも2つの個々の「FiPセンサ」、すなわち、FiP効果に基づく光学センサが、曖昧性なしに対象物の縦方向位置を決定するために必要とされ、FiPセンサのうちの少なくとも1つは、照射パワーの考えられる変動を考慮に入れるように、縦方向センサ信号を正規化するために用いられる。さらに、WO2014/097181A1は、対象物の位置を決定するための少なくとも1つのそのような検出器をそれぞれ含む、ヒューマンマシンインターフェース、エンターテイメントデバイス、トラッキングシステム、およびカメラを開示している。
WO2016/092454A1は、少なくとも1つの光学センサであって、少なくとも1つの光学センサは、光ビームを検出するように、および、少なくとも1つのセンサ信号を発生させるように適合されており、光学センサは、少なくとも1つのセンサ領域を有しており、センサ信号は、光ビームによるセンサ領域の照射に対する非線形の依存性を示す、少なくとも1つの光学センサと;少なくとも1つのイメージセンサであって、少なくとも1つのイメージセンサは、光ビームを検出するように、および、少なくとも1つのイメージ信号を発生させるように適合されている、イメージピクセルのピクセルマトリックスを含むピクセル化されたセンサであり、イメージ信号は、光ビームによるイメージピクセルの照射に対して線形の依存性を示す、少なくとも1つのイメージセンサと;センサ信号およびイメージ信号を評価するように適合されている少なくとも1つの評価デバイスとを含む光学検出器を開示している。好適な実施形態では、光学センサは、センサ領域を構成する複数の個々のセンサピクセルを含むピクセルアレイによって少なくとも部分的に確立されるピクセル化された光学センサである。本明細書では、少なくとも1つの電子的なエレメントは、それぞれのセンサピクセルと同じ表面の上に、センサピクセルの付近に、とりわけ、センサピクセルのそれぞれの付近に設置され得、電子的なエレメントは、対応するセンサピクセルによって提供されるような信号の評価に貢献するように適合され得、したがって、容量を含むことが可能であり、したがって、個々のセンサピクセルによって提供されるような信号のより速い読み出しを可能にする。
WO2016/120392A1は、FiP効果を示すことができるさらなる種類の光学センサを開示している。ここでは、光学センサのセンサ領域は、光伝導性材料を含み、光伝導性材料は、好ましくは、硫化鉛(PbS)、セレン化鉛(PbSe)、テルル化鉛(PbTe)、テルル化カドミウム(CdTe)、リン化インジウム(InP)、硫化カドミウム(CdS)、セレン化カドミウム(CdSe)、アンチモン化インジウム(InSb)、水銀カドミウムテルル化物(HgCdTe;MCT)、硫化銅インジウム(CIS)、セレン化銅インジウムガリウム(CIGS)、硫化亜鉛(ZnS)、セレン化亜鉛(ZnSe)、銅亜鉛スズ硫化物(CZTS)、その固溶体および/またはドープされた変形形態から選択される。ここでは、光伝導性材料は、絶縁基板、とりわけ、セラミック基板または透明なもしくは半透明の基板、例えば、ガラスもしくは石英などの上に堆積されている。それに加えて、FiP効果は、センサ領域の中に位置している、水素化アモルファス半導体材料の中に、とりわけ、水素化アモルファスシリコン(a-Si:H)の中に観察され得る。
キャパシターの中の高κ酸化物から始めて、特に、漏洩電流を低減させるために、ゲート誘電体として、CMOSトランジスターの中の薄い二酸化ケイ素層を交換するそれらの能力から始めて、J.Robertson, High dielectric constant oxides, The European Physical Journal Applied Physics, Vol. 28, No. 3, pages 265-291, 2004は、高κ酸化物の選択、それらの構造的な冶金学的な挙動、原子拡散、堆積、インターフェース構造および反応、電子構造、結合、バンドオフセット、移動度劣化、フラットバンド電圧シフト、および電子欠陥をカバーするレビューを提供している。
L.Biana,E.Zhua,J.Tanga,W.Tanga,およびFujun Zhang, Progress in Polymer Science 37, 2012, p. 1292-1331は、有機光起電(OPV)電池に関する共役ポリマーについてのレビューを提供している。ここでは、それらは、ポリマー太陽電池(PSCs)が、とりわけ、溶液処理技法を使用することによって、大面積のフレキシブルデバイスのコスト効率の良い生産の可能性に起因して、代替的な光起電技術として出現したということを説明している。典型的に、PSCは、バルクヘテロ接合部(BJH)アーキテクチャーを採用しており、バルクヘテロ接合部(BJH)アーキテクチャーでは、感光性層が、ドナーポリマーおよび可溶性フラーレンベースの電子アクセプター、例えば、[6,6]-フェニル-C61-酪酸メチルエステル(PC60BM)または[6,6]-フェニル-C71-酪酸メチルエステル(PC71BM)の混合物溶液から鋳造され、2つの電極同士の間に挟まれている。したがって、典型的なBHJ太陽電池は、酸化インジウムスズ(ITO)コーティングされたガラス基板を含み、それは、透明な導電性ポリマー(通常は、PEDOT:PSS)の層によってカバーされている。ドナーポリマーおよびフラーレン誘導体を含む混合物は、PEDOT:PSS層の上に設置されており、金属の薄い層、好ましくは、アルミニウム(Al)または銀(Ag)の薄い層が、カソードとして感光性層の上に堆積されている。本明細書では、ドナーポリマーは、主要な太陽光吸収体として、および、正孔輸送層としての役割を果たしており、一方、小分子は、電子を輸送するように適合されている。
フラーレンが、通常、BHJ OPVの中のアクセプター材料として用いられているが、非フラーレン分子アクセプターも知られている。A.Facchetti, Materials Today, Vol. 16, No. 4, 2013, p. 123-132は、ポリマードナー-ポリマーアクセプター(全ポリマー)BHJ OPVをレビューしており、そこでは、n型半導体ポリマーが、フラーレンまたは別の小分子の代わりに、電子アクセプターとして用いられている。この種類のBHJ OPVは、複数の利点、とりわけ、可視スペクトルおよび近赤外線スペクトルの領域における高い吸収係数、エネルギーレベルのより効率的な調整、ならびに、溶液粘度を制御する際のフレキシビリティーの増加を示す。さらに、感光性ブレンド組成がここで提供されており、それぞれの組成は、選択されるドナーポリマーおよび選択されるアクセプターポリマーを含む。
上述のデバイスおよび検出器によって暗示される利点にかかわらず、簡単でコスト効率的であり依然として信頼性の高い空間的検出器に関する改善に対する要求が依然として存在している。
WO2012/110924A1 WO2014/097181A1 WO2016/092454A1 WO2016/120392A1
J.Robertson, High dielectric constant oxides, The European Physical Journal Applied Physics, Vol. 28, No. 3, pages 265-291, 2004 L.Biana,E.Zhua,J.Tanga,W.Tanga,およびFujun Zhang, Progress in Polymer Science 37, 2012, p. 1292-1331 A.Facchetti, Materials Today, Vol. 16, No. 4, 2013, p. 123-132
したがって、本発明によって対処される課題は、このタイプの公知のデバイスおよび方法の不利益を少なくとも実質的に回避する、少なくとも1個の対象物を光学的に検出するためのデバイスおよび方法を特定するものである。とりわけ、空間の中の対象物の位置を決定するための、改善された簡単でコスト効率的であり依然として信頼性の高い空間的検出器が望ましいこととなる。
さらに具体的には、本発明によって対処される課題は、一方では、衝突する光スポットのサイズの変化による、抽出されたac光電流の強力な非線形の挙動(FIP効果)を示すことが可能であるが、他方では、簡便な準備を可能にすることができる、材料をセンサ領域の中に含む光学検出器を提供することである。この点において、より大きいセンサ信号を取得することができるように、公知のFiPデバイスと同等であり得る照射レベルにおいて、より大きいac光電流が光学検出器の中に観察可能であり得る場合には、それが望ましいだろう。さらに、焦点の合った応答と焦点の外れた応答との比率が光学センサの中で増加されることとなる場合にも、それは望ましいだろう。
この課題は、独立特許請求項の特徴を備えた本発明によって解決される。本発明の有利な発展例は、個別にまたは組み合わせて実現化され得、それは、従属請求項に提示されており、ならびに/または、以下の明細書および詳細な実施形態に提示されている。
本明細書で使用されているように、「有する」、「含む」、および「含有する」という表現、ならびに、その文法上の変化形は、非排他的に使用されている。したがって、「AはBを有する」という表現、および、「AはBを含む」という表現、または「AはBを含有する」という表現は、B以外に、Aが、1個または複数のさらなる構成要素および/または構成要素を含有するという事実、ならびに、B以外に、他の構成要素、構成要素、またはエレメントがAの中には存在していないというケースの両方を表している。
本発明の第1の態様では、光学的な検出のための検出器、とりわけ、少なくとも1個の対象物の位置を決定するための検出器が開示されている。本明細書では、本発明による少なくとも1個の対象物の光学的な検出のための検出器は、
- 少なくとも1つの光学センサであって、光学センサは、少なくとも1つのセンサ領域を有しており、光学センサは、変調された入射光ビームによるセンサ領域の照射に依存するように、少なくとも1つのセンサ信号を発生させるように設計されており、センサ信号は、光ビームの変調周波数に依存しており、センサ領域は、少なくとも1つの容量性デバイスを含み、容量性デバイスは、少なくとも2つの電極を含み、少なくとも1つの絶縁層および少なくとも1つの感光性層が、電極同士の間に埋め込まれており、電極のうちの少なくとも1つは、光ビームに対して少なくとも部分的に光学的に透明になっている、少なくとも1つの光学センサと、
- 少なくとも1つの評価デバイスであって、評価デバイスは、センサ信号を評価することによって、対象物の位置に関する少なくとも1つの情報項目を発生させるように設計されている、少なくとも1つの評価デバイスと
を含む。
「対象物」は、一般的に、生物および非生物から選ばれる任意の対象物であることが可能である。したがって、例として、少なくとも1個の対象物は、1個もしくは複数の物品、および/または、1個もしくは複数の物品のパーツを含むことが可能である。追加的にまたは代替的に、対象物は、1個もしくは複数の生物、および/または、1個または複数の生物のパーツ、例えば、人間、例えば、ユーザ、および/または動物の1個もしくは複数の身体のパーツであることが可能であり、または、それを含むことが可能である。
本明細書で使用されているように、「位置」は、一般的に、空間の中の対象物の場所および/または配向に関する任意の情報項目を表している。この目的のために、例として、1つまたは複数の座標系が使用され得、対象物の位置は、1つの、2つの、3つ以上の座標を使用することによって決定され得る。例として、1つまたは複数のデカルト座標系および/または他のタイプの座標系が使用され得る。1つの例では、座標系は、検出器が所定の位置および/または配向を有する、検出器の座標系であることが可能である。さらに詳細に下記に概説されることとなるように、検出器は、検出器の主要な視線の方向を構成し得る光学軸を有することが可能である。光学軸は、z軸などのような座標系の軸線を形成することが可能である。さらに、1つまたは複数の追加的な軸線が、好ましくは、z軸に対して垂直に設けられ得る。
したがって、例として、検出器は、座標系を構成することが可能であり、その座標系において、光学軸は、z軸を形成しており、また、その座標系において、追加的に、x軸およびy軸も設けられ得、x軸およびy軸は、z軸に対して垂直であり、また、互いに対して垂直である。例として、検出器、および/または、検出器の一部は、この座標系の中の特定の点に存在することが可能であり、例えば、この座標系の原点などに存在することが可能である。この座標系において、z軸に対して平行または逆平行の方向は、「縦方向」とみなされ得、また、z軸に沿った座標は、「縦方向座標」と考えられ得る。縦方向に対して垂直の任意の方向は、「横方向」と考えられ得、また、x座標および/またはy座標は、「横方向座標」と考えられ得る。
代替的に、他のタイプの座標系も使用され得る。したがって、例として、極座標系も使用され得、極座標系において、光学軸は、z軸を形成しており、また、極座標系において、z軸からの距離および極角度は、追加的な座標として使用され得る。繰り返しになるが、z軸に対して平行または逆平行の方向は、縦方向と考えられ得、また、z軸に沿った座標は、縦方向座標と考えられ得る。z軸に対して垂直の任意の方向は、横方向と考えられ得、極座標および/または極角度は、横方向座標と考えられ得る。
本明細書で使用されているように、光学的な検出のための検出器は、一般的に、少なくとも1個の対象物の位置に関する少なくとも1つの情報を提供するように適合されたデバイスである。検出器は、据置型デバイスまたは可動型デバイスであることが可能である。さらに、検出器は、独立型デバイスであることが可能であり、または、コンピュータ、車両、もしくは任意の他のデバイスなどのような、別のデバイスの一部を形成することが可能である。さらに、検出器は、携帯式デバイスであることが可能である。検出器の他の実施形態も実行可能である。
検出器は、任意の実行可能な方式で、少なくとも1個の対象物の位置に関する少なくとも1つの情報項目を提供するように適合され得る。したがって、情報は、例えば、電子的に、視覚的に、聴覚的に、または、それらの任意の組合せで提供され得る。情報は、検出器のデータ記憶装置もしくは別々のデバイスの中にさらに記憶され得、および/または、少なくとも1つのインターフェース、例えば、無線インターフェースおよび/または結線インターフェースなどを介して提供され得る。
本発明のこの態様において、とりわけ、少なくとも1個の対象物の位置を決定するための、光学的な検出のための検出器は、具体的には、少なくとも1個の対象物の縦方向位置(深さ)、少なくとも1個の対象物の横方向位置(幅)、または、少なくとも1個の対象物の空間的位置(深さおよび幅の両方)を決定するように指定され得る。
したがって、本発明の第1の態様において、少なくとも1個の対象物の縦方向位置(深さ)を決定するための検出器が開示されている。本発明による少なくとも1個の対象物の深さの光学的な検出のための検出器は、
- 少なくとも1つの縦方向光学センサであって、縦方向光学センサは、少なくとも1つのセンサ領域を有しており、縦方向光学センサは、変調された入射光ビームによるセンサ領域の照射に依存するように、少なくとも1つの縦方向センサ信号を発生させるように設計されており、縦方向センサ信号は、照射の合計パワーが同じであることを所与として、センサ領域の中の光ビームのビーム断面、および、光ビームの変調周波数に依存しており、センサ領域は、少なくとも1つの容量性デバイスを含み、容量性デバイスは、少なくとも2つの電極を含み、少なくとも1つの絶縁層および少なくとも1つの感光性層が、電極同士の間に埋め込まれており、電極のうちの少なくとも1つは、光ビームに対して少なくとも部分的に光学的に透明になっている、少なくとも1つの縦方向光学センサと、
- 少なくとも1つの評価デバイスであって、評価デバイスは、縦方向センサ信号を評価することによって、対象物の縦方向位置に関する少なくとも1つの情報項目を発生させるように設計されている、少なくとも1つの評価デバイスと
を含む。
本明細書では、上記に列挙されている構成要素は、別々の構成要素であることが可能である。代替的に、上記に列挙されているような構成要素のうちの2つ以上は、1つの構成要素へ一体化され得る。さらに、少なくとも1つの評価デバイスは、縦方向光学センサから独立した別々の評価デバイスとして形成され得るが、好ましくは、縦方向センサ信号を受け取るために縦方向光学センサに接続され得る。代替的に、少なくとも1つの評価デバイスは、縦方向光学センサの中へ完全にまたは部分的に一体化され得る。
本発明のこの態様による検出器は、少なくとも1つの縦方向光学センサを含む。本明細書では、縦方向光学センサは、少なくとも1つのセンサ領域、すなわち、入射光ビームによる照射に対して高感度である縦方向光学センサ内のエリアを有している。本明細書で使用されているように、「縦方向光学センサ」は、一般的に、光ビームによるセンサ領域の照射に依存するように、少なくとも1つの縦方向センサ信号を発生させるように設計されているデバイスであり、縦方向センサ信号は、照射の合計パワーが同じであることを所与として、いわゆる「FiP効果」にしたがって、センサ領域の中の光ビームのビーム断面に依存している。したがって、縦方向センサ信号は、一般的に、縦方向位置を示す任意の信号であることが可能であり、縦方向位置は、また、深さとして示され得る。例として、縦方向センサ信号は、デジタル信号および/もしくはアナログ信号であることが可能であり、または、それを含むことが可能である。例として、縦方向センサ信号は、電圧信号および/もしくは電流信号であることが可能であり、または、それを含むことが可能である。追加的にまたは代替的に、縦方向センサ信号は、デジタルデータであることが可能であり、または、それを含むことが可能である。縦方向センサ信号は、単一の信号値および/または一連の信号値を含むことが可能である。縦方向センサ信号は、2つ以上の個々の信号を組み合わせることによって、例えば、2つ以上の信号を平均することによって、および/または、2つ以上の信号の商を形成することなどによって導出される、任意の信号をさらに含むことが可能である。
本発明によれば、FiP効果は、光学センサによって含まれる容量性デバイスを使用することによって観察可能であり得る。本明細書では、容量性デバイスは、上記に定義されているように入射光ビームによる照射に対して高感度である光学センサの中のエリアを構成するセンサ領域によって含まれている。結果として、本発明による少なくとも1つの容量性デバイスは、実際に、光学センサ自身のセンサ領域によって含まれている。この特徴は、とりわけ、WO2016/092454A1に開示されているような光学検出器とは対照的であり、WO2016/092454A1では、個々のセンサピクセルによって提供される信号のより速い読み出しを可能にするように適合されている少なくとも1つの電子的なエレメント、具体的には、容量が、光学センサのセンサピクセルの付近に、とりわけ、光学センサのセンサピクセルのそれぞれの付近に設置され得、その光学センサは、それぞれのセンサピクセルと同じ表面の上に、センサ領域を構成する複数の個々のセンサピクセルを含む、ピクセル化された光学センサである。換言すれば、WO2016/092454A1の光学センサの中の容量は、センサ領域の光学的な感受性(receptivity)のあらゆる乱れを許容しないために光学センサの周辺に位置しており、その容量は、センサ信号が光学センサによってすでに発生された後で、そのセンサ信号の評価の目的のために使用されるが、本発明による容量性デバイスは、光学センサのセンサ領域によってじかに含まれ、容量性デバイスは、電荷を生成および収集するために、入射光ビームを受け入れるように適合されており、その結果、それによって、光学センサのセンサ信号が発生され得る。その発生の後に、センサ信号は、その後に、1つまたは複数のさらなるデバイス、例えば、より詳細に下記に説明されているような評価デバイスによって含まれるさらなるキャパシターなどによって、伝送および評価され得る。
本明細書で使用されているように、「容量性デバイス」という用語は、少なくとも2つの電極を含むデバイスに関係しており、少なくとも1つの絶縁層および少なくとも1つの感光性層が、少なくとも2つの電極の間に位置している。したがって、この理由のために、容量性デバイスは、代替的に、「光容量性デバイス」または「光活性キャパシター」としても命名され得る。結果的に、本発明による容量性デバイスは、内部の電極同士の間に誘電材料が介在媒体として位置するキャパシターを含み、電極のそれぞれは、特定の電荷のためのストレージ、すなわち、プラスの電荷のための、または、マイナスの電荷のためのストレージとして考えられ得る。従来のキャパシターから知られているように、電極同士の間に誘電材料を適用することは、電極(特定の種類の電荷がその上に貯蔵される)が直接的な電気的接触を達成すること防止し、したがって、電極のうちの少なくとも2つの間の短絡の発生を回避することが可能である。加えて、通常は「誘電率」として命名される誘電材料の特定の材料特性に応じて、キャパシターの電極同士の間の誘電材料は、さらに、電極同士の間に位置している真空を有するキャパシターと比較して、所与の電圧において、キャパシターの中に増加した量の電荷を貯蔵することを可能にすることができる。
本光学センサでは、誘電材料は、少なくとも1つの絶縁層の形態で提供されている。一般的に使用されているように、「層」という用語は、細長い形状および厚さを有する要素を表しており、ラテラル寸法(lateral dimension)における要素の延在は、要素の厚さを超えており、例えば、少なくとも10倍、好ましくは20倍、より好ましくは50倍、最も好ましくは100倍以上などになっている。この定義は、光伝導性層または輸送層などのような、他の種類の層にも適用可能であり得る。さらに、「絶縁層」という用語は、高い電気抵抗を示す層を表しており、したがって、それは、層の中の低い電気伝導性につながる。一般的に、絶縁層は、10-6S/mを下回る値、好ましくは、10-8S/mを下回る値、より好適には、10-10S/cmを下回る値を有する電気伝導性を示すことが可能である。本明細書では、電気伝導性の値は、電流を運搬するための層の能力を決定し、その能力は、絶縁層のケースでは、とりわけ低い。さらに使用されているように、「電気抵抗」は、特定の層に関する電気伝導性の逆数値を示している。
好適な実施形態では、絶縁層は、少なくとも1つの絶縁性材料を含む層を表すことが可能であり、少なくとも1つの絶縁性材料は、「誘電材料」として示されることも可能である。下記では、さまざまな実施形態が、本発明による絶縁層の中に使用されるかまたは本発明による絶縁層として使用されるのに適切な、とりわけ好適な種類の誘電材料に関して提供されている。したがって、絶縁層は、原理的には、容量性デバイスに関して必要とされるような誘電材料を提供する目的のために適切であり得る任意の材料を含むことが可能である。しかし、絶縁層が、とりわけ、入射光ビームが絶縁層を横断することを促進させるために、少なくとも部分的に光学的に透明な特性を示すことが可能であり、入射光ビームが容量性デバイスの他の区分に到達することができ得るようになっているということが有利である可能性がある。代替的に、光ビームに関する経路が絶縁層を横切ることを必要としないように適合され得るという条件で、光学的に不透明な絶縁層も適用可能であり得る。
代替的にまたはそれに加えて、層は、絶縁層としても考えられ得るが、それは、半導体材料などのような非絶縁性材料として考えられ得る少なくとも1つの材料を含むことが可能である。しかし、それにもかかわらず、非絶縁性材料は、依然として、誘電体絶縁層が創生され得るように、配置および/または駆動され得る。とりわけ好適な実施形態では、絶縁層は、したがって、電気絶縁性構成要素を含み、とりわけ、半導体材料の少なくとも2つの層を有するダイオード、または、少なくとも1つの半導体材料の少なくとも1つの層に隣接し得る接合部を含み、電気絶縁性構成要素は、好ましくは、電気絶縁性構成要素を含む層が絶縁層と同等の誘電的特性を示すことができるように、配置および/または駆動され得る。絶縁層としてまたは絶縁層の中で使用されるために、さらなる電気絶縁性構成要素も利用可能であり得る。
本発明の好適な実施形態では、絶縁層は、少なくとも1つの透明な絶縁性の金属含有化合物を含むことが可能であり、金属含有化合物は、好ましくは、Al、Ti、Ta、Mn、Mo、Zr、Hf、La、Y、およびWからなる群から選択される金属を含むことが可能である。本明細書では、少なくとも1つの金属含有化合物は、好ましくは、酸化物、水酸化物、カルコゲニド、プニクチド、炭化物、またはそれらの組合せを含む群から選択され得る。本明細書では、「カルコゲニド」という用語は、酸化物は別として周期表の第VI族元素を含み得る化合物、すなわち、硫化物、セレン化物、およびテルル化物を表している。同様の方式で、「プニクチド」という用語は、周期表の第V族元素を含み得る化合物、好ましくは、二元化合物、すなわち、窒化物、リン化物、ヒ化物、およびアンチモン化物を表している。とりわけ、金属含有化合物は、好ましくは、少なくとも1つの酸化物、少なくとも1つの水酸化物、または、それらの組合せ、好ましくは、Al、Ti、Zr、またはHfの組合せを含むことが可能である。しかし、他の金属および/または金属含有化合物も実行可能であり得る。
好適な実施形態では、少なくとも1つの堆積方法が、基板または下にある層の上に絶縁層を堆積させるために使用され得る。この目的のために、堆積方法は、とりわけ、原子層堆積(ALD)、化学蒸着(CVP)、または、それらの組合せから選択され得る。結果的に、絶縁層は、とりわけ好適な実施形態では、原子堆積層もしくは化学蒸着層であることが可能であり、または、それを含むことが可能であり、原子堆積層が、特に好適であり得る。換言すれば、カバー層は、このとりわけ好適な実施形態では、ALDプロセスによって、または、CVDプロセスによって取得可能であり得、ALDプロセスが、特に好適である。本明細書では、「原子層堆積」という用語、「原子層エピタキシー」または「分子層堆積」という均等の用語、および、それらのそれぞれの省略形「ALD」、「ALE」、または「MLD」は、一般的に、堆積プロセスを表すために使用されており、堆積プロセスは、自己制御プロセス工程およびその後の自己制御反応工程を含むことが可能である。したがって、本発明にしたがって適用されるプロセスは、「ALDプロセス」とも称され得る。ALDプロセスに言及するさらなる詳細に関して、George, Chem. Rev., 110, p. 111-131, 2010が参照され得る。さらに、「化学蒸着」(通常は「CVD」と略される)という用語は、基板の表面または基板の上に位置している層が少なくとも1つの揮発性の前駆体に露出され得る方法を表しており、前駆体は、所望の堆積物を発生させるために、表面の上で反応および/または分解することが可能である。たびたび起こるケースでは、生じ得る副産物が、表面の上にガスフローを適用することによって除去され得る。
とりわけ、薄い酸化アルミニウム(Al)層は、好ましくは、絶縁層として使用され得、本明細書で使用されているような「酸化アルミニウム層」または「Al層」という用語は、当業者に知られているように、アルミニウムおよび酸化物は別として、水酸化物エンティティを含み得る層を表している。本明細書では、薄い酸化アルミニウム(Al)層は、1nmから1000nmの厚さ、好ましくは、10nmから250nmの厚さ、とりわけ、20nmから150nmの厚さを示すことが可能である。本発明の目的のために、Al層は、好ましくは、とりわけ、50℃から250℃の適用温度において、好ましくは、60℃から200℃の適用温度において、原子層堆積(ALD)を使用することによって提供され得る。特に、絶縁層は、低温ALDによって提供され得、低温ALDは、50℃から120℃の温度において、好ましくは、60℃から100℃の温度において実施され得る。より詳細に下記に実証されているように、原子層堆積(Al(ALD)層)によって提供される酸化アルミニウム層は、上述の低減される厚さにおいても、優れた絶縁特性を示すということが見出されたが、この利点は、絶縁層の簡便な準備によって実現されることができた。
代替例として、他の誘電体化合物、とりわけ、透明な絶縁性金属酸化物、例えば、二酸化ジルコニウム(ZrO)、酸化ケイ素(SiO、例えば、SiOなど)、二酸化チタン(TiO)、酸化ハフニウム(HfO)、五酸化タンタル(Ta)、酸化ランタン(La)、もしくは酸化イットリウム(Y)などだけでなく、他の誘電体化合物、例えば、チタン酸ストロンチウム(SrTiO)、炭酸セシウム(CsCO)、ケイ酸ハフニウム(HfSiO)、もしくは窒化ケイ素(Si)など、または、上述の誘電体化合物の組合せも、容量性デバイスのための絶縁層を提供するのに適し得る。また、さらに適切な誘電体化合物が、J.Robertson, High dielectric constant oxides, Eur. Phys. J. Appl. Phys. 28, 265-291 (2004)、または、J.A.Kittlら, High-k Dielectrics for Future Generation Memory Devices, Microelectronic Engineering 86 (2009) 1789-1795にも見出され得る。代替的に、絶縁層は、とりわけ、ポリエチレンイミンエトキシレート(PEIE)ポリエチレンイミン(PEI)、2,9-ジメチル-4,7-ジフェニルフェナントロリン(BCP)、ポリ(ビニールアルコール)(PVA)、ポリ(メチルメタクリレート)(PMMA)、トリス-(8-ヒドロキシキノリン)アルミニウム(Alq3)、または(3-(4-ビ-フェニリル)-4-フェニル-5-(4-tert-ブチルフェニル)-1,2,4-トリアゾール)(TAZ)から選択される透明な有機誘電材料の膜を含むことが可能である。しかし、他の材料も利用可能であり得る。とりわけ、絶縁層に関して使用されるような誘電材料の電気抵抗率、および、誘電材料を堆積させるための方法に応じて、絶縁層は、典型的に、1nmから1000nmの厚さ、好ましくは、10nmから250nmの厚さ、とりわけ、20nmから150nmのみの厚さを有することが可能である。
さらに、絶縁層は、少なくとも2つの隣接する層を有する積層であることが可能であり、または、それを含むことが可能であり、隣接する層は、とりわけ、隣接する層のうちの1つ、両方、いくつか、またはすべてが個々の誘電材料を含むことができるように、それらのそれぞれの組成によって異なっていることが可能である。例として、積層は、隣接する層のスタックとして提供される酸化アルミニウム層および二酸化ジルコニウムを含むことが可能である。しかし、他の組合せも可能であり得る。
絶縁層に加えて、本発明による容量性デバイスは、追加的に、少なくとも1つの感光性層を含む。本明細書で使用されているように、「感光性層」という用語は、入射光ビームの影響を受けやすい材料に関係している。とりわけ、入射光ビームによる感光性層の照射のときに、所定の量の電荷キャリアが、感光性層の中に発生され、発生される電荷キャリアの量は、入射光ビームによる感光性層の照射に依存している。理論に拘束されることなく、感光性層の中に発生される電荷キャリアは、その後に、それぞれのタイプの電荷キャリア、すなわち、電子または正孔を収集するように設計されている対応する電極によって収集され得る。しかし、上記に説明されているように、容量性デバイスは、電極同士の間に埋め込まれている誘電材料を有することによって、キャパシターの特質を示すので、一定の振幅を有する直接的な入射光ビームを提供することは、すべての電極によって、発生される電荷キャリアの収集を実現するのには十分でない可能性がある。その理由は、誘電体として作用する絶縁層が、感光性層(そこで電荷が入射光ビームによって発生される)から対応する電極への電荷の輸送を妨げる可能性があるからである。しかし、キャパシターから知られているように、変調された光ビームが感光性層に当たっているときに、この状況は、本質的に変化することが可能である。結果的に、変調された入射光ビームは、したがって、交互の方式で電荷キャリアを発生させることができる交互の光ビームとして考えられ得、それは、容量性デバイスの中に発生される交流電流を生じさせることが可能である。したがって、センサ領域のアクティブ部分として考えられ得る感光性層を有する容量性デバイスは、1つの縦方向センサ信号が変調された入射光ビームによるセンサ領域の照射に依存するように、縦方向光学センサが少なくとも1つの縦方向センサ信号を発生させることを可能にする。結果として、容量性デバイスを含む検出器は、FiP効果を示す。したがって、容量性デバイスによって提供される縦方向センサ信号は、したがって、変調された入射光ビームが縦方向光学センサによって含まれるセンサ領域のアクティブ部分として感光性層の上に合焦されているときに減少するac光電流の形態になっていることが可能である。
好ましくは、本発明による光学検出器の容量性デバイスの中の少なくとも1つの感光性層は、
- 少なくとも1つの光伝導性材料を含む少なくとも1つの層であって、光伝導性材料は、ナノ粒子状の形態で提供される、少なくとも1つの層;
- 少なくとも2つの個々の光伝導性層であって、少なくとも2つの個々の光伝導性層は、少なくとも1つの光伝導性材料を含み、隣接する層のスタックとして提供されており、光伝導性層は、隣接する層の間の境界において接合部を発生させるように適合されている、少なくとも2つの個々の光伝導性層;
- 少なくとも1つの半導体吸収体層、好ましくは、アモルファスシリコン、とりわけ、水素化アモルファスシリコン(a-Si:H)を含む層;および、
- 少なくとも1つの有機感光性層であって、少なくとも1つの有機感光性層は、少なくとも1つのドナー材料および少なくとも1つのアクセプター材料を含み、有機感光性層の中のドナー材料およびアクセプター材料は、好ましくは、ドナー材料およびアクセプター材料を含む単一の層として配置され得、または、代替的に、ドナー材料およびアクセプター材料のうちの1つをそれぞれ含む少なくとも2つの個々の層の形態で配置され得る、少なくとも1つの有機感光性層
のうちの1つまたは複数の形態で提供され得る。
しかし、さらなる種類の感光性材料も利用可能であり得る。
好適な実施形態では、容量性デバイスの中の少なくとも1つの感光性層は、したがって、光伝導性材料を含むことが可能である。本明細書で使用されているように、「光伝導性材料」という用語は、電流を持続することができる材料を表しており、その材料は、したがって、特定の電気伝導性を示し、ここで、電気伝導性は、材料の照射に依存している。本発明の目的のために、光伝導性材料は、好ましくは、無機の光伝導性材料、有機の光伝導性材料、それらの組合せ、および/または、それらの固溶体、および/または、それらのドープされた変形形態を含むことが可能である。本明細書で使用されているように、「固溶体」という用語は、光伝導性材料の状態を示しており、その状態では、少なくとも1つの溶質が溶媒の中に含まれ得、それによって、均質な相が形成されており、溶媒の結晶構造は、一般的に、溶質の存在によって変わらないことが可能である。本明細書でさらに使用されているように、「ドープされた変形形態」という用語は、光伝導性材料の状態を表すことが可能であり、その状態では、ドープされていない状態で本来の原子によって占有されていた結晶中の跡に、材料そのものの構成とは他の個々の原子が導入されている。本発明による容量性デバイスの感光性層の中に適用可能であり得るさらなる光伝導性材料の選択に関して、WO2016/120392A1によって提供されているような開示が参照され得る。
この点において、無機の光伝導性材料は、とりわけ、セレン、テルル、セレン-テルル合金、金属酸化物、第IV族元素、とりわけ、シリコン、または第IV族化合物、すなわち、少なくとも1つの第IV族元素を有する化学化合物、第III-V族化合物、すなわち、少なくとも1つの第III族元素および少なくとも1つの第V族元素を有する化学化合物、第II-VI族化合物、すなわち、一方では、少なくとも1つの第II族元素または少なくとも1つの第XII族元素を有し、他方では、少なくとも1つの第VI族元素を有する化学化合物、および/またはカルコゲニドのうちの1つまたは複数を含むことが可能である。本明細書では、カルコゲニドは、好ましくは、硫化物カルコゲニド、セレン化物カルコゲニド、テルル化物カルコゲニド、三元カルコゲニド、四元以上のカルコゲニドを含む群から選択され得、好ましくは、縦方向光学センサのセンサ領域の中の光伝導性材料として使用されるのに適当であり得る。しかし、他の無機の光伝導性材料も同等に適当であり得る。
III-V化合物に関して、この種類の半導体材料は、アンチモン化インジウム(InSb)、窒化ホウ素(BN)、リン化ホウ素(BP)、ヒ化ホウ素(BAs)、窒化アルミニウム(AlN)、リン化アルミニウム(AlP)、ヒ化アルミニウム(AlAs)、アンチモン化アルミニウム(AlSb)、窒化インジウム(InN)、リン化インジウム(InP)、ヒ化インジウム(InAs)、アンチモン化インジウム(InSb)、窒化ガリウム(GaN)、リン化ガリウム(GaP)、ヒ化ガリウム(GaAs)、およびアンチモン化ガリウム(GaSb)を含む群から選択され得る。さらに、上述の化合物の、または、この種類の他の化合物の、固溶体および/またはドープされた変形形態も利用可能であり得る。
II-VI化合物に関して、この種類の半導体材料は、硫化カドミウム(CdS)、セレン化カドミウム(CdSe)、テルル化カドミウム(CdTe)、硫化亜鉛(ZnS)、セレン化亜鉛(ZnSe)、テルル化亜鉛(ZnTe)、硫化水銀(HgS)、セレン化水銀(HgSe)、テルル化水銀(HgTe)、カドミウム亜鉛テルル化物(CdZnTe)、水銀カドミウムテルル化物(HgCdTe)、水銀亜鉛テルル化物(HgZnTe)、および水銀セレン化亜鉛(CdZnSe)を含む群から選択され得る。しかし、他のII-VI化合物も利用可能であり得る。さらに、上述の化合物の固溶体、または、この種類の他の化合物の固溶体も適用可能であり得る。
カルコゲニドに関して、硫化物カルコゲニドは、とりわけ、硫化鉛(PbS)、硫化カドミウム(CdS)、硫化亜鉛(ZnS)、硫化水銀(HgS)、硫化銀(AgS)、硫化マンガン(MnS)、三硫化二ビスマス(Bi)、三硫化二アンチモン(Sb)、三硫化ヒ素(As)、硫化スズ(II)(SnS)、二硫化スズ(II)(SnS)、硫化インジウム(In)、硫化銅(CuSまたはCuS)、硫化コバルト(CoS)、硫化ニッケル(NiS)、二硫化モリブデン(MoS)、二硫化鉄(FeS)、および三硫化クロム(CrS)を含む群から選択され得る。
とりわけ、セレン化物カルコゲニドは、セレン化鉛(PbSe)、セレン化カドミウム(CdSe)、セレン化亜鉛(ZnSe)、三セレン化ビスマス(BiSe)、セレン化水銀(HgSe)、三セレン化アンチモン(SbSe)、三セレン化ヒ素(AsSe)、セレン化ニッケル(NiSe)、セレン化タリウム(TlSe)、セレン化銅(CuSeまたはCuSe)、二セレン化モリブデン(MoSe)、セレン化スズ(SnSe)、およびセレン化コバルト(CoSe)、およびセレン化インジウム(InSe)を含む群から選択され得る。さらに、上述の化合物の、または、この種類の他の化合物の、固溶体および/またはドープされた変形形態も利用可能であり得る。
とりわけ、テルル化物カルコゲニドは、テルル化鉛(PbTe)、テルル化カドミウム(CdTe)、テルル化亜鉛(ZnTe)、テルル化水銀(HgTe)、三テルル化二ビスマス(BiTe)、三テルル化二ヒ素(AsTe)、三テルル化二ヒアンチモン(SbTe)、テルル化ニッケル(NiTe)、テルル化タリウム(TlTe)、テルル化銅(CuTe)、二テルル化モリブデン(MoTe)、テルル化スズ(SnTe)、およびテルル化コバルト(CoTe)、テルル化銀(AgTe)、およびテルル化インジウム(InTe)を含む群から選択され得る。さらに、上述の化合物の、または、この種類の他の化合物の、固溶体および/またはドープされた変形形態も利用可能であり得る。
とりわけ、三元カルコゲニドは、水銀カドミウムテルル化物(HgCdTe;MCT)、水銀亜鉛テルル化物(HgZnTe)、水銀カドミウム硫化物(HgCdS)、鉛カドミウム硫化物(PbCdS)、鉛水銀硫化物(PbHgS)、銅インジウム二硫化物(CIS)、硫セレン化カドミウム(CdSSe)、硫セレン化亜鉛(ZnSSe)、硫セレン化タリウム(TlSSe)、カドミウム亜鉛硫化物(CdZnS)、カドミウムクロム硫化物(CdCr)、水銀クロム硫化物(HgCr)、銅クロム硫化物(CuCr)、カドミウム鉛セレン化物(CdPbSe)、銅インジウム二セレン化物(CuInSe)、インジウムガリウムヒ化物(InGaAs)、酸化鉛硫化物(PbOS)、酸化鉛セレン化物(PbOSe)、硫セレン化鉛(PbSSe)、硫化ヒ素テルル化物(AsSeTe)、インジウムガリウムリン化物(InGaP)、ガリウムヒ素リン(GaAsP)、アルミニウムガリウムリン化物(AlGaP)、カドミウムセレナイト(CdSeO)、カドミウム亜鉛テルル化物(CdZnTe)、およびカドミウム亜鉛セレン化物(CdZnSe)、上記に挙げられた二元カルコゲニド、および/または、二元III-V化合物からの化合物を適用することによるさらなる組合せを含む群から選択され得る。さらに、上述の化合物の、または、この種類の他の化合物の、固溶体および/またはドープされた変形形態も利用可能であり得る。
四元以上のカルコゲニドに関して、この種類の材料は、適切な光伝導性特性を示すことが既知であり得る四元以上のカルコゲニドから選択され得る。とりわけ、Cu(In,Ga)S/Se(CIGS)もしくはCuZnSn(S/Se)(CZTS;CZTSe)の組成を有する化合物、または、それらの合金が、この目的のために利用可能であり得る。
とりわけ好適な実施形態では、感光性層に関して使用される光伝導性材料は、量子ドットを含むコロイド状膜の形態で提供され得る。したがって、同じ材料の均質な層に対してわずかにまたは著しく修正された化学的特性および/または物理的特性を示し得る、光伝導性材料のこの状態は、コロイド状量子ドット(CQD)とも示され得る。本明細書で使用されているように、「量子ドット」という用語は、光伝導性材料が、電子または正孔などのような、電気伝導性の粒子を含むことができる、光伝導性材料の状態を表しており、それらは、すべての3つの空間的寸法において、通常は「ドット」と命名される小さい体積に閉じ込められている。本明細書では、量子ドットは、簡単のために、上述の粒子の体積を近似することができる球体の直径と考えられ得るサイズを示すことが可能である。この好適な実施形態では、光伝導性材料の量子ドットは、とりわけ、1nmから100nmのサイズ、好ましくは、2nmから100nmのサイズ、より好適には、2nmから15nmのサイズを示すことが可能である。結果的に、特定の薄膜の中に実際に含まれている量子ドットが、特定の薄膜の厚さを下回るサイズを示すことができるという条件で、光伝導性材料の量子ドットを含む薄膜は、1nmから100nmの厚さ、好ましくは、2nmから100nmの厚さ、より好適には、2nmから15nmの厚さを示すことが可能である。実際には、量子ドットは、ナノメートルスケールの半導体結晶を含むことが可能であり、それは、コロイド状膜を形成するために、界面活性剤分子によってキャップされ、溶液の中に分散され得る。本明細書では、界面活性剤分子は、とりわけ、選択される界面活性剤分子の近似的な空間的な延在由来の結果として、コロイド状膜の中の個々の量子ドット同士の間の平均距離の決定を可能にするように選択され得る。さらに、リガンドの合成に応じて、量子ドットは、親水性のまたは疎水性の特性を示すことが可能である。CQDは、気相、液相、または固相アプローチを適用することによって作り出され得る。これによって、とりわけ、溶射、コロイド状合成、またはプラズマ合成などのような、公知のプロセスを用いることによって、CQDの合成のためのさまざまな方式が可能である。しかし、他の生産プロセスも実行可能であり得る。
さらに、この好適な実施形態では、光伝導性材料は、好ましくは、上記に述べられているような光伝導性材料のうちの1つから選択され得、さらに具体的には、硫化鉛(PbS)、セレン化鉛(PbSe)、テルル化鉛(PbTe)、テルル化カドミウム(CdTe)、リン化インジウム(InP)、硫化カドミウム(CdS)、セレン化カドミウム(CdSe)、アンチモン化インジウム(InSb)、水銀カドミウムテルル化物(HgCdTe;MCT)、硫化銅インジウム(CIS)、セレン化銅インジウムガリウム(CIGS)、硫化亜鉛(ZnS)、セレン化亜鉛(ZnSe)、ペロブスカイト構造の材料ABC、(ここで、Aは、アルカリ金属または有機カチオンを示しており、B=Pb、Sn、またはCuであり、Cは、ハロゲン化合物、および銅亜鉛スズ硫化物(CZTS)である)を含む群から選択され得る。さらに、上述の化合物の固溶体および/もしくはドープされた変形形態、または、この種類の他の化合物の固溶体および/もしくはドープされた変形形態も利用可能であり得る。また、この種類の材料のコアシェル構造の材料も利用可能であり得る。しかし、他の光伝導性材料も利用可能であり得る。
さらなる好適な実施形態では、容量性デバイスの中の少なくとも1つの感光性層は、さらに上記に述べられているように、隣接する層のスタックとして提供される少なくとも2つの個々の光伝導性層を含むことが可能であり、それによって、隣接する層同士の間の境界において、接合部、とりわけ、ホモ接合部、または、好ましくは、ヘテロ接合部を発生させる。本発明によれば、この種類の配置は、とりわけ、半導体材料の隣接する層を提供することによって実現され得、隣接する層は、「ホモ接合部」のケースでは、同じ種類の半導体材料であるが異なるタイプのドーピングを伴うもの、例えば、n型半導体材料およびp型半導体材料などを含み、または、「ヘテロ接合部」のケースでは、異なる種類の半導体材料を含み、それぞれのケースでは、隣接する層は、境界、インターフェース、および/または接合部によって、互いから分離され得る。本明細書で使用されているように、「境界」、「インターフェース」、および「接合部」という用語のいずれかは、関与している材料のスケーリング挙動を表すことが可能であり、すなわち、それらの導電性特性に関して、接合部の2つの側に位置している半導体材料のスケーリング挙動を表すことが可能である。本明細書では、とりわけ、関与している材料の接合部の中に起こるスケーリング挙動は、それらの導電性特性の値の変更を含む。理論では、スケーリング挙動は、非連続的な関数によって説明され得るが、一方、現実の接合部では、常に、連続的な移行が観察され得る。とりわけ、接合部の中の抵抗性挙動は、非線形の形態を含むことが可能である。したがって、好適な実施形態では、接合部の中の電気抵抗の非線形の挙動は、焦点スポット直径に対する光電流の線形の依存性を引き起こすために調整され得る。しかし、この結果は、FiP効果を説明しているのみに他ならず、したがって、FiP効果が、本発明による光学検出器、すなわち、容量性デバイスの感光性層の中に少なくとも1つの接合部を含む光学検出器の中に観察され得る。一般的に、境界を形成する光伝導性材料の2つの隣接する層は、この目的のために使用され得、例えば、より詳細に上記に説明されているような光伝導性材料などから選択される。より詳細に下記に図の中で実証されることとなるように、それぞれ、硫化カドミウム(CdS)およびテルル化カドミウム(CdTe)、または、硫化カドミウム(CdS)および銅亜鉛スズ硫化物(CZTS)を含む隣接する層が、この目的のためにとりわけ適しているということが分かった。代替例として、セレン化銅亜鉛スズ(CZTSe)、対応する硫黄-セレン合金CZTSSe、または、さらなる四元カルコゲニド光伝導性I-II-IV-VI化合物も使用され得る。さらなる代替例は、セレン化銅インジウムガリウム(CIGS)、または、薄膜太陽電池吸収体層として知られる他のカルコゲニド光伝導体を含むことが可能である。
さらに好適な実施形態では、容量性デバイスの中の少なくとも1つの感光性層は、好ましくは、層として、特に薄膜として、適切な基板の上に堆積させることによって取得され得る、少なくとも1つの半導体吸収体層、とりわけアモルファスシリコンを含むことが可能である。しかし、他の方法も適用可能であり得る。さらに、アモルファスシリコンは、最も好ましくは、水素を使用することによって不動態化され得、この適用によって、アモルファスシリコンの中のダングリングボンドの数が数桁も低減され得る。結果として、水素化アモルファスシリコン(通常は「a-Si:H」と略される)は、低い量の欠陥を示すことが可能であり、したがって、光学的なデバイスのためにそれを使用することを可能にする。しかし、本明細書で使用されているように、「アモルファスシリコン」という用語は、また、明示的に示されていなければ、水素化アモルファスシリコンを表すことが可能である。代替例として、シリコンおよび炭素(a-SiC)のアモルファス合金、好ましくは、水素化アモルファスシリコン炭素合金(a-SiC:H)、または、ゲルマニウムおよびシリコンのアモルファス合金(a-GeSi)、好ましくは、水素化アモルファスゲルマニウムシリコン合金(a-GeSi:H)も使用され得る。本明細書では、a-GeSi:Hが、好ましくは、共通の反応器の中でプロセスガスとしてSiH、GeH、およびHを使用することによって生産され得、他の生産方法も実行可能であり得る。半導体吸収体層に関するさらなる代替例として、結晶性シリコン(c-Si)または微結晶性シリコン(μc-Si)、好ましくは、水素化微結晶性シリコン(μc-Si:H)も適用可能であり得る。本明細書では、水素化微結晶シリコン(μc-Si:H)は、好ましくは、SiHおよびHのガス状混合物から作り出され得る。結果として、微結晶を含む基板の上の2相材料が取得され得、微結晶は、5nmから30nmの典型的なサイズを有しており、互いに対して10nmから200nmの間隔を離して配置された基板材料の規則正しい列同士の間に位置している。しかし、他の生産方法も適用可能であり得る。
さらに好適な実施形態では、少なくとも1つの感光性層は、少なくとも1つのドナー材料および少なくとも1つのアクセプター材料を有する少なくとも1つの有機感光性層を含むことが可能である。本明細書では、有機感光性層の中のドナー材料およびアクセプター材料は、好適な実施形態では、ドナー材料およびアクセプター材料の両方を含み得る単一の層として配置され得、または、代替的な実施形態として、少なくとも2つの個々の層の形態で配置され得、個々の層のそれぞれは、ドナー材料のうちの1つおよびアクセプター材料のうちの1つを含む。下記に実証されることとなるように、少なくとも2つの個々の層を補完するように適合された追加的な層も実行可能であり得る。
この実施形態によれば、好ましくは、ドナーポリマー、とりわけ、有機ドナーポリマーを含む、少なくとも1つの電子ドナー材料、および、他方では、好ましくはフラーレンベースの電子アクセプター材料、テトラシアノキノジメタン(TCNQ)、ペリレン誘導体、アクセプターポリマー、および無機ナノ結晶を含む群から選択され得る少なくとも1つの電子アクセプター材料、とりわけ、アクセプター小分子が使用され得る。しかし、他の材料も利用可能であり得る。したがって、特定の実施形態では、電子ドナー材料は、ドナーポリマーを含むことが可能であり、一方、電子アクセプター材料は、アクセプターポリマーを含むことが可能であり、したがって、全ポリマー感光性層の基礎を提供する。特定の実施形態では、コポリマーは、同時に、ドナーポリマーのうちの1つから、および、アクセプターポリマーのうちの1つから構成され得、したがって、コポリマーは、コポリマーの構成要素のそれぞれの各機能に基づいて、「プッシュプルコポリマー」としても命名され得る。
好ましくは、電子ドナー材料および電子アクセプター材料は、混合物の形態で感光性層の中に含まれ得る。一般的に使用されているように、「混合物」という用語は、2つ以上の個々の化合物のブレンドに関し、ここで、混合物の中の個々の化合物は、それらの化学的同一性を維持している。とりわけ好適な実施形態では、本発明による感光性層の中に用いられる混合物は、1:100から100:1の比率で、より好適には、1:10から10:1の比率で、とりわけ、1:2から2:1の比率で、例えば、1:1などの比率で、電子ドナー材料および電子アクセプター材料を含むことが可能である。しかし、それぞれの化合物の他の比率が、また、とりわけ、関与している個々の化合物の種類および数に応じて、適用可能であり得る。好ましくは、感光性層の中の混合物の形態の中に含まれるような電子ドナー材料および電子アクセプター材料は、ドナードメインおよびアクセプタードメインの相互侵入ネットワークを構成することが可能であり、ドナードメインとアクセプタードメインとの間の界面エリアが存在していることが可能であり、パーコレーション経路が、ドメインを電極に接続することが可能である(とりわけ、アノードの機能を担う電極にドナードメインを接続し、カソードの機能を担う電極にアクセプタードメインを接続する)。本明細書で使用されているように、「ドナードメイン」という用語は、感光性層の中の領域を表しており、その領域では、電子ドナー材料が、圧倒的に、とりわけ完全に存在していることが可能である。同様に、「アクセプタードメイン」という用語は、感光性層の中の領域を表しており、その領域では、電子アクセプター材料が、圧倒的に、とりわけ完全に存在していることが可能である。本明細書では、ドメインは、異なる種類の領域同士の間の直接的な接触を可能にするエリア(「界面エリア」として命名される)を示すことが可能であり、それによって、バルクヘテロ接合部が、したがって、感光性層の中に発生され得る。さらに、「パーコレーション経路」という用語は、感光性層の中の伝導性経路を表しており、それに沿って、電子または正孔の輸送が、それぞれ、圧倒的に起こることが可能である。
上記に述べられているように、少なくとも1つの電子ドナー材料は、好ましくは、ドナーポリマー、とりわけ、有機ドナーポリマーを含むことが可能である。本明細書で使用されているように、「ポリマー」という用語は、一般的に多数の分子繰り返し単位を含む高分子組成を表しており、分子繰り返し単位は、通常、「モノマー」または「モノマーユニット」として命名される。しかし、本発明の目的のために、合成有機ポリマーが好適であり得る。この点において、「有機ポリマー」という用語は、一般的に有機化学化合物として帰属し得るモノマーユニットの性質を表している。本明細書で使用されているように、「ドナーポリマー」という用語は、とりわけ、電子ドナー材料として電子を提供するように適合され得るポリマーを表している。
好ましくは、ドナーポリマーは、共役系を含むことが可能であり、共役系では、非局在化電子が、単一結合と多重結合を交互に入れ替えることによって一緒に結合されている原子のグループにわたって分配され得、共役系は、環式、非環式、および線形のうちの1つまたは複数であることが可能である。したがって、有機ドナーポリマーは、好ましくは、以下のポリマー、
- ポリ[3-ヘキシルチオフェン-2,5.ジイル](P3HT)、
- ポリ[3-(4-n-オクチル)-フェニルチオフェン](POPT)、
- ポリ[3-10-n-オクチル-3-フェノチアジン-ビニレンチオフェン-コ-2,5-チオフェン](PTZV-PT)、ポリ[4,8-ビス[(2-エチルヘキシル)オキシ]ベンゾ[1,2-b:4,5-b’]ジチオフェン-2,6-ジイル][3-フルオロ-2-[(2-エチルヘキシル)カルボニル]チエノ[3,4-b]チオフェンジイル](PTB7)、
- ポリ[チオフェン-2,5-ジイル-オルト-[5,6-ビス(ドデシルオキシ)ベンゾ[c][1,2,5]チアジアゾール]-4,7-ジイル](PBT-T1)、
- ポリ[2,6-(4,4-ビス-(2-エチルヘキシル)-4H-シクロペンタ[2,1-b;3,4-b’]ジチオフェン)-オルト-4,7(2,1,3-ベンゾチアジアゾール)](PCPDTBT)、
- ポリ[5,7-ビス(4-デカニル-2-チエニル)-チエノ(3,4-b)ジアチアゾールチオフェン-2,5](PDDTT)、
- ポリ[N-9’-ヘプタデカニル-2,7-カルバゾール-オルト-5,5-(4’,7’-ジ-2-チエニル-2’,1’,3’-ベンゾチアジアゾール)](PCDTBT)、または、
- ポリ[(4,4’-ビス(2-エチルヘキシル)ジチエノ[3,2-b;2’,3’-d]シロール)-2,6-ジイル-オルト-(2,1,3-ベンゾチアジアゾール)-4,7-ジイル](PSBTBT)、
- ポリ[3-フェニルヒドラゾンチオフェン](PPHT)、
- ポリ[2-メトキシ-5-(2-エチルヘキシルオキシ)-1,4-フェニレンビニレン](MEH-PPV)、
- ポリ[2-メトキシ-5-(2’-エチルヘキシルオキシ)-1,4-フェニレン-1,2-エテニレン-2,5-ジメトキシ-1,4-フェニレン-1,2-エテニレン](M3EH-PPV)、
- ポリ[2-メトキシ-5-(3’,7’-ジメチルオクチルオキシ)-1,4-フェニレンビニレン](MDMO-PPV)、
- ポリ[9,9-ジ-オクチルフルオレン-コ-ビス-N,N-4-ブチルフェニル-ビス-N,N-フェニル-1,4-フェニレンジアミン](PFB)、
または、それらの誘導体、修飾体、もしくは混合物、
のうちの1つまたは複数から選択され得る。
しかし、他の種類のドナーポリマーまたはさらなる電子ドナー材料、とりわけ、赤外線スペクトル範囲において、特に、1000nm超において高感度であるポリマー、好ましくは、ジケトピロロピロールポリマー、とりわけ、EP2818493A1に説明されているようなポリマー、より好ましくは、その中で「P-1」から「P-10」として示されているポリマー;WO2014/086722A1に開示されているようなベンゾジチオフェンポリマー、特に、ベンゾジチオフェンユニットを含むジケトピロロピロールポリマー;米国特許出願公開第2015/0132887A1号明細書によるジチエベンゾフランポリマー、特に、ジケトピロロピロールユニットを含むジチエベンゾフランポリマー;米国特許出願公開第2015/0111337A1号明細書に説明されているようなフェナントロ[9,10-B]フランポリマー、特に、ジケトピロロピロールユニットを含むフェナントロ[9,10-B]フランポリマー;および、米国特許出願公開第2014/0217329A1号明細書に開示されているものなどのような、とりわけ、1:10または1:100のオリゴマー-ポリマー比でジケトピロロピロールオリゴマーを含むポリマー組成物も適用可能であり得る。
さらに上記に述べられているように、電子アクセプター材料は、好ましくは、フラーレンベースの電子アクセプター材料を含むことが可能である。一般的に使用されているように、「フラーレン」という用語は、バックミンスターフラーレン(C60)および関連の球体フラーレンを含む、純粋な炭素のケージ状の分子を表している。原理的には、C20からC2000の範囲の中のフラーレンが使用され得、C60からC96の範囲が好適であり、とりわけ、C60、C70、およびC84が好適である。最も好適なものは、化学的に修飾されたフラーレンであり、とりわけ、
- [6,6]-フェニル-C61-酪酸メチルエステル(PC60BM)、
- [6,6]-フェニル-C71-酪酸メチルエステル(PC70BM)、
- [6,6]-フェニル-C84-酪酸メチルエステル(PC84BM)、または、
- インデン-C60ビス付加体(ICBA)、
のうちの1つまたは複数を含むだけでなく、また、1つまたは2つのC60またはC70成分を含む二量体、とりわけ、
- 1つの付着オリゴエーテル(OE)鎖(C70-DPM-OE)を含むジフェニルメタノフラーレン(DPM)成分、もしくは、
- 2つの付着オリゴエーテル(OE)鎖(C70-DPM-OE2)を含むジフェニルメタノフラーレン(DPM)成分、
または、それらの誘導体、修飾体、もしくは混合物
のうちの1つまたは複数である。しかし、TCNQまたはペリレン誘導体も適切であり得る。
代替的にまたはそれに加えて、電子アクセプター材料は、好ましくは、無機ナノ結晶、とりわけ、セレン化カドミウム(CdSe)、硫化カドミウム(CdS)、銅インジウム亜硫酸塩(CuInS)、または硫化鉛(PbS)から選択される無機ナノ結晶を含むことが可能である。本明細書では、無機ナノ結晶は、球形のまたは細長い粒子の形態で提供され得、球形のまたは細長い粒子は、2nmから20nmのサイズ、好ましくは、2nmから10nmのサイズを含むことが可能であり、また、選択されたドナーポリマーとのブレンド、例えば、CdSeナノ結晶およびP3HTの複合体、または、PbSナノ粒子およびMEH-PPVの複合体を形成することが可能である。しかし、他の種類のブレンドも適用可能であり得る。
代替的にまたはそれに加えて、電子アクセプター材料は、好ましくは、アクセプターポリマーを含むことが可能である。本明細書で使用されているように、「アクセプターポリマー」という用語は、とりわけ、電子アクセプター材料として電子を受け入れるように適合され得るポリマーを表している。一般的に、シアネート化ポリ(フェニレンビニレン)、ベンゾチアジアゾール、ペリレンまたはナフタレンジイミドに基づく共役ポリマーが、この目的のために好適である。とりわけ、アクセプターポリマーは、好ましくは、以下のポリマー、
- シアノ-ポリ[フェニレンビニレン](CN-PPV)、例えば、C6-CN-PPVまたはC8-CN-PPVなど、
- ポリ[5-(2-(エチルヘキシルオキシ)-2-メトキシシアノテレフタルイリデン](MEH-CN-PPV)、
- ポリ[オキサ-1,4-フェニレン-1,2-(1-シアノ)-エチレン-2,5-ジオクチルオキシ-1,4-フェニレン-1,2-(2-シアノ)-エチレン-1,4-フェニレン](CN-ether-PPV)、
- ポリ[1,4-ジオクチルオキシ-p-2,5-ジシアノフェニレンビニレン](DOCN-PPV)、
- ポリ[9,9’-ジオクチルフルオレン-コ-ベンゾチアジアゾール](PF8BT)、
または、それらの誘導体、修飾体、もしくは混合物、のうちの1つまたは複数から選択され得る。しかし、他の種類のアクセプターポリマーも適用可能であり得る。
ドナーポリマーまたは電子アクセプター材料として使用され得る上述の化合物に関するさらなる詳細に関して、L.Biana,E.Zhua,J.Tanga,W.Tanga,およびF.Zhang, Progress in Polymer Science 37, 2012, p. 1292-1331、A.Facchetti, Materials Today, Vol. 16, No. 4, 2013, p. 123-132,およびS. GuenesおよびN.S.Sariciftci, Inorganica Chimica Acta 361, 2008, p. 581-588による上述のレビュー記事、ならびに、その中に記載されているそれぞれの参照文献が参照され得る。さらなる化合物は、F.A.Sperlich, Electron Paramagnetic Resonance Spectroscopy of Conjugated Polymers and Fullerenes for Organic Photovoltaics, Julius-Maximilians-Universitaet Wuerzburg, 2013の学術論文、および、その中に記載されている参照文献に説明されている。
代替的な実施形態では、容量性デバイスの中の有機感光性層は、それぞれ、ドナー材料のうちの1つおよびアクセプター材料のうちの1つをそれぞれ含む、個々のドナー材料層および個々のアクセプター材料層を含むことが可能である。とりわけ、ドナー材料層およびアクセプター材料層は、重なり合ってスタックされ得ると共に、異なる種類の材料に起因して、ヘテロ接合部を形成することが可能な接合部によって分離されていてもよい。本明細書では、それぞれの層のそれぞれは、10nmから1000nmの厚さ、好ましくは、10nmから100nmの厚さを示すことが可能である。
好適な実施形態では、アクセプター材料層は、アクセプター材料として、1つまたは複数の蒸着有機小分子を含むことが可能であり、蒸着有機小分子は、好ましくは、C60(バックミンスターフラーレン)、C70、またはペリレン誘導体、好ましくは、ペリレンジイミド誘導体、とりわけ、3,4,9,10-ペリレンテトラカルボン酸ビスベンズイミダゾール(PTCBI)から選択される。アクセプター材料として使用され得るさらなる蒸着有機小分子は、例えば、J.E.Anthony,A.Facchetti,M.Heeny,S.R.Marder,およびX.Zhan, n-Type Organic Semiconductors in Organic Electronics, Adv. Mater. 2010, 22, pp 3876-3892に見出され得る。
好適な実施形態では、ドナー材料層は、また、ドナー材料として、1つまたは複数の蒸着有機小分子を含むことが可能であり、蒸着有機小分子は、好ましくは、フタロシアニン誘導体、好ましくは、銅フタロシアニン(CuPc)、または亜鉛フタロシアニン(ZnPc)、とりわけ、フッ素化された亜鉛フタロシアニン誘導体(F4ZnPc);オリゴチオフェン、好ましくは、ジシアノビニル-テルチオフェン、オリゴチオフェン誘導体、好ましくは、α,α’-ビス(ジシアノビニル)キンキチオフェン(DCV5T)、4,4-ジフルオロ-4-ボラ-3a,4a-ジアザ-s-インダセン(BODIPY)、またはアザ-BODIPY誘導体;スクアライン誘導体、ジケトピロロピロール誘導体、またはベンゾジチオフェン誘導体から選択される。とりわけ、興味深い材料が、T.-Y.Li,T.Meyer,Z.Ma,J.Benduhn,C.Koerner,O.Zeika,K.Vandewal,およびL.Leo, Small Molecule Near-Infrared Boron Dipyrromethene Donors for Organic Tandem Solar Cells, J. Am. Chem. Soc. 2017, 139, 13636-13639に説明されている。さらなる情報に関して、C.Uhrich,R.Schueppel,A.Petrich,M.Pfeiffer,K.Leo,E.Brier,P.Kilickiran,およびP.Baeuerle, Organic Thin-Film Photovoltaic Cells Based on Oligothiophenes with Reduced Bandgap, Adv. Funct. Mater. 2007, 17, pp 2991-2999、または、R.Gresser,M.Hummert,H.Hartmann,K.Leo,およびM.Riede, Synthesis and Characterization of Near-Infrared Absorbing Benzannulated Aza-BODIPY Dyes, Chem. Eur. J. 2011, 17, pp 2939- 2947、A.MishraおよびP.Baeuerle, Small Molecule Organic Semiconductors on the Move: Promises for Future Solar Energy Technology, Angew. Chem. Int. Ed. 2012, 51, 2020 - 2067、または、H.Yao,L.Ye,H.Zhang,S.Li,S.ZhangおよびJ.Hou, Molecular Design of Benzodithiophene-Based Organic Photovoltaic Materials, Chem. Rev. 2016, 116, 7397-7457が参照され得る。
本明細書では、ドナー材料層は、フタロシアニン誘導体およびさらなる小さい有機分子のブレンド、とりわけ、F4ZnPc:C60ブレンド、すなわち、F4ZnPcおよびバックミンスターフラーレンのブレンドを含む層を含むことが可能である。F4ZnPcおよびF4ZnPc:C60層に関するさらなる詳細に関して、とりわけ、M.Riede,C.Uhrich,J.Widmer,R.Timmreck,D.Wynands,G.Schwartz,W.-M.Gnehr,D.Hildebrandt,A.Weiss,J.Hwang,S.Sundarraj,Peter Erk,Martin Pfeiffer,およびK.Leo, Efficient Organic Tandem Solar Cells based on Small Molecules, Adv. Funct. Mater. 2011, 21, pp 3019-3028、または、J.Meiss,A.Merten,M.Hein,C.Schuenemann,S.Schaefer,M.Tietze,C.Uhrich,M.Pfeiffer,K.Leo,およびM.Riede, Fluorinated Zinc Phthalocyanine as Donor for Efficient Vacuum-Deposited Organic Solar Cells, Adv. Funct. Mater. 2012, 22, pp 405-414が参照され得る。しかし、さらなる種類の材料も、有機感光性層に関して適用可能であり得る。
有機感光性層に加えて、容量性デバイスは、上記に説明されているように、電荷キャリアが発生される有機感光性層から隣接する電極へのそれぞれの電荷キャリアの抽出および輸送を促進させるように適合されている、正孔抽出層または電子抽出層のような電荷キャリア抽出層をさらに含むことが可能である。正孔抽出層の好適な例は、9,9-ビス[4-(N,N-ビス-ビフェニル-4-イル-アミノ)フェニル]-9H-フルオレン(BPAPF)およびN,N’-ジフェニル-N,N’-ビス(4’-(N,N-ビス(ナフト-1-イル)-アミノ)-ビフェニル-4-イル)-ベンジジン(DiNPB)を含むが、バソフェナントロリン(BPhen)が電子抽出層に適切な材料に関する好適な例として考えられる。しかし、さらなる材料も適用可能であり得る。
加えて、さらなる層が、その機能を増加させるために、容量性デバイスの中へ導入され得る。とりわけ、さらなるn型ドープされたアクセプター層が、絶縁層とアクセプター材料層との間に導入され得、一方、p型ドープされた抽出層が、正孔抽出層と第2の電極との間に導入され得、ドーパントは、好ましくは、追加的なp型ドーパント層によって提供され得る。また、追加的なn型ドーパント層が、同様に、層のn型ドーピングのために使用され得る。さらなるn型ドープされたアクセプター層を導入することは、透明な電極層から反射する第2の電極への距離を調節するために使用され得、とりわけ、入射光ビームの位相と第2の電極において反射される光ビームの位相とのマッチングを改善するために使用され得、その結果、有機感光性層の中の照射のパワーに関して、容量性層の性能を最適化する。同等の効果が、タンデム太陽電池に関して、R.Schueppel,R.Timmreck,N.Allinger,T.Mueller,M.Furno,C.Uhrich,K.Leo,およびM.Riede, Controlled current matching in small molecule organic tandem solar cells using doped spacer layers, J. Appl. Phys. 107, 044503, 2010によって説明されている。
さらに上記に述べられているように、絶縁層および感光性層の両方が、容量性デバイスによって含まれている2つ以上の電極の間に埋め込まれている。一般的に使用されているように、「電極」という用語は、高度に導電性の材料を表しており、電気伝導度は、金属のまたは高度に伝導性の半導体範囲の中にあることが可能であり、それは、不十分に伝導性のまたは非伝導性の材料と接触した状態に留まっている。とりわけ、容量性デバイスに衝突し感光性層に到着することができる光ビームを促進させる目的のために、電極のうちの少なくとも1つ、とりわけ、入射光ビームの経路の中に位置し得る電極は、少なくとも部分的に光学的に透明であり得る。好ましくは、少なくとも部分的に光学的に透明な電極は、少なくとも1つの透明導電性酸化物(TCO)、とりわけ、インジウムがドープされた酸化スズ(ITO)、フッ素がドープされた酸化スズ(FTO)、またはアルミニウムがドープされた酸化亜鉛(AZO)のうちの少なくとも1つを含み得る。しかし、電極材料として適している考えられる他の種類の光学的に透明な材料も適用可能であり得る。さらに、とりわけ、最小の光学的に透明な材料を使用するが、少なくとも部分的に光学的に透明な電極の機械的な安定性を増加させるときに、光学的に透明な基板は、少なくとも部分的に光学的に透明な電極によって、少なくとも部分的にカバーされ得る。本明細書では、光学的に透明な基板は、とりわけ、ガラス基板から、石英基板から、または、光学的に透明であるが電気絶縁性のポリマー、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)などを含む基板から選択され得る。したがって、この種類のセットアップによって、透明な基板の上に薄い電極層を取得することが可能であり得、それは、それにもかかわらず、一緒に十分な機械的な安定性を示すことが可能である。
少なくとも1つの光学的に透明な電極の他に、残りの1つまたは複数の電極、とりわけ、容量性デバイスに衝突する光ビームの経路の外側に位置している1つまたは複数の電極が、感光性層の中の照射を増加させるために、光学的に不透明になっており、好ましくは、反射型になっていてもよい。この特定の実施形態では、少なくとも1つの光学的に不透明な電極は、好ましくは、金属電極、とりわけ、銀(Ag)電極、プラチナ(Pt)電極、金(Au)電極、アルミニウム(Al)電極、またはモリブデン(Mo)電極のうちの1つまたは複数を含むことが可能である。繰り返しになるが、とりわけ、最小の光学的に不透明な材料を使用するが、光学的に不透明な電極の機械的な安定性を増加させるときに、金属電極は、基板の上に堆積されている金属の薄い層を含み得る。好ましくは、薄い金属層は、10nmから1000nmの厚さ、好ましくは、50nmから500nmの厚さ、とりわけ、100nmから250nmの厚さを示し得る。本明細書では、基板は、また、光学的に不透明になっていることが可能であるが、しかし、少なくとも部分的に光学的に透明な基板も適用可能であり得る。
本発明による容量性デバイスの特定の実施形態を設計するときに、当業者は、入射光ビームが光学検出器の容量性デバイスの中の感光性層に実際に到達することができるように、不透明な特性、部分的に透明な特性、または透明な光学的な特性を有するように配置することを考え得る。したがって、入射光ビームの経路の中に配置されているそれらの層は、好ましくは、透明であり得、すなわち、それらは、少なくとも入射光ビームのスペクトル範囲の区分にわたって入射光ビームの照射パワーの減少を可能な限り小さくし得る透過率を示し得る。一般的に使用されているように、「透過率」という用語は、層を通して伝導され得る入射照射パワーの割合を表している。例として、入射光ビームは、それが感光性層に到達し得るまでに、最初に、透明な基板(例えば、ガラス基板など)、および、その後に、透明な電極(例えば、TCOを含む)を横断することが可能である。さらなる例として、入射光ビームは、それが感光性層に到達し得るまでに、最初に、透明な基板および透明な電極、ならびに、その後に、透明な絶縁層(例えば、AlまたはZrO層など)を横断することが可能である。追加的な層および/または代替的な配置を組み込むことができるさらなる例も考えられ得る。
本発明による光学センサの中で使用されるような容量性デバイスのとりわけ好適な実施形態では、少なくとも1つの電荷キャリア輸送層が、感光性層と電極のうちの少なくとも1つとの間に位置することが可能である。一般的に使用されているように、「電荷キャリア輸送層」という用語は、材料を通る経路の上での、とりわけ、第1の隣接する材料から第2の隣接する材料(それらは両方とも電荷キャリア輸送層に隣接している)へのそれらの経路の上での、特定のタイプの電荷キャリア、すなわち、電子または正孔の輸送を促進させるように適合された材料を表している。代替例として、電荷キャリア輸送層は、「電荷キャリア抽出層」としても示され得る。一般的であるように、容量性デバイスの中で輸送または抽出され得る電荷キャリアは、電子または正孔であることが可能である。理論に拘束されることなく、第1の隣接する材料から第2の隣接する材料へのそれらの経路の上での特定のタイプの電荷キャリアの輸送を促進させる説明されている効果は、電荷キャリア輸送層を用いることによって、第1の隣接する材料および第2の隣接する材料のエネルギーレベルを調節することによって実現され得る。
とりわけ好適な実施形態では、電荷-キャリア輸送層は、正孔輸送層もしくは正孔抽出層であることが可能であり、または、それを含むことが可能である。本明細書では、正孔輸送層は、好ましくは、
- 遷移金属酸化物、とりわけ、酸化モリブデン(MoO)または酸化ニッケル(NiO)、
- ポリ-3,4-エチレンジオキシチオフェン(PEDOT)、好ましくは、少なくとも1つの対イオンによって電気的にドープされたPEDOT、より好ましくは、ナトリウムポリスチレンスルホネートによってドープされたPEDOT(PEDOT:PSS)、
- ポリアニリン(PANI)、および、
- ポリチオフェン(PT)
からなる群から選択され得る。
しかし、他の種類の材料、および、これらの材料の間でのそれらの組合せ、および/または、上述の材料とこれらの材料の組合せも適用可能であり得る。
さらに、容量性デバイスは、追加的に、1つまたは複数の特定の目的のために適合され得る1つまたは複数のさらなる層を含むことが可能である。
本発明による光学センサに適切な容量性デバイスの生産を促進させる目的のために、感光性層および/または電荷キャリア輸送層は、堆積方法を使用することによって、好ましくは、コーティング方法によって、より好適には、スピンコーティング方法、スロット-コーティング方法、ブレード-コーティング方法によって、または、代替的に、蒸着によって提供され得る。したがって、結果として生じる層は、好ましくは、スピンキャスト層、スロットコーティングされた層、ブレードコーティングされた層、または、蒸着によって取得される層であることが可能である。さらに、上記に述べられているように、容量性デバイス内の電極のうちの1つまたは複数は、対応する基板の上に薄い層として提供され得る。また、この目的のために、それぞれの電極材料は、適切な堆積方法によって、例えば、コーティング方法または蒸着方法などによって、対応する基板の上に堆積され得る。
とりわけ、上記に述べられているような理由のために、センサ領域に衝突する少なくとも1つの入射光ビームは、変調された光ビームである。したがって、本発明による検出器は、対象物から検出器へ進行する変調された光ビームを発生させることができ得、その結果、対象物の照射、および/または、検出器の少なくとも1つのセンサ領域、例えば、少なくとも1つの縦方向光学センサの少なくとも1つのセンサ領域などの照射を変調させる、少なくとも1つの変調デバイスを含み得る。好ましくは、変調デバイスは、例えば、周期的なビーム中断デバイスを用いることによって、周期的な変調を発生させるために用いられ得る。例として、検出器は、0.05Hzから1MHzの周波数、例えば、0.1Hzから10kHzの周波数によって、対象物の照射の変調、および/または、検出器の少なくとも1つのセンサ領域、例えば、少なくとも1つの縦方向光学センサの少なくとも1つのセンサ領域などの照射の変調を引き起こすように設計され得る。この点において、「照射の変調」という用語は、照射の合計パワーが、好ましくは、周期的に、とりわけ、単一の変調周波数によって変化させられるか、または、同時におよび/もしくは連続的に、複数の変調周波数によって変化させられるプロセスを表すということが理解される。とりわけ、周期的な変調は、照射の合計パワーの最大値と最小値との間で実現され得る。本明細書では、最小値は、0であることが可能であるが、例として、完全な変調が実現されるべきでないように0を超えていてもよい。とりわけ優先的な様式では、少なくとも1つの変調は、影響を与えられる光ビームの正弦関数の変調、正方形の変調、または三角形の変調などのような、周期的な変調であることが可能であり、または、それを含むことが可能である。さらに、変調は、2つ以上の正弦関数、例えば、正方形の正弦関数、またはsin(t)関数(ここで、tは時間を示す)などの線形の組合せであることが可能である。本発明の特定の効果、利点、および実行可能性を実証するために、正方形の変調は、一般的に、本明細書では、変調の例示的な形状として用いられており、しかし、その表現は、本発明の範囲をこの特定の形状の変調に限定することを意図していない。この例のおかげで、当業者は、異なる形状の変調を用いるときに、関連のパラメータおよび条件をどのように適合させるかということをかなり容易に認識することが可能である。
さらに、変調は、偶関数または奇関数であることが可能であり、または、代替的に、偶関数でも奇関数でもない関数、例えば、光源がスイッチオフされている期間(オフタイム)に続いて短い強力なパルスなどを使用するということがとりわけ有益であり得、ここで、オフタイムの持続期間は、パルスの持続期間(オンタイム)よりも複数倍(例えば、2倍、3倍、4倍、5倍、またはそれ以上)長い。より長いオフタイムと組み合わせた短いオンタイムは、ノイズ統計、背景光の測定、または、乱れている変調された光源もしくは変調されていない光源の測定などのためにオフタイムが使用され得るときに、有益であり得、一方、短いオンタイムは、パルスの光強度がより高いセンサ信号を誘発させるためにはるかに大きくなり得るときに、有益であり得るが、目の安全の考慮事項および目の安全の規則において一般的に考えられる平均の光強度が、長方形関数と比較したときに、一定に留まる。さらに、この理論に拘束されることなく、どのように電荷が発生されるかということ、および、どのようにFiP効果が誘発されるかということに応じて、より長いオフタイムと組み合わせた短いオンタイムを伴う強力なパルスが、非線形性を増加させるために電荷再結合を増加させるのに有益であり得、それにより、非線形のFiP信号に関して、より良好な信号対騒音を結果として生じさせる。さらに、より短いパルスが、変調周波数を、容量性デバイスから抽出するのにより容易であり得るより高い周波数へシフトさせる。
変調は、例えば、前記ビーム経路の中に配置されている少なくとも1つの変調デバイスによって、例えば、対象物と光学センサとの間のビーム経路の中で実現され得る。代替的にまたは追加的に、しかし、変調は、例えば、前記ビーム経路の中に配置されている少なくとも1つの変調デバイスによって、対象物を照射するための下記に説明されているような任意の照射源と対象物との間のビーム経路の中で実現され得る。これらの可能性の組合せも考えられ得る。この目的のために、少なくとも1つの変調デバイスは、例えば、ビームチョッパ、または、好ましくは一定の速度で回転し、それにより、周期的に照射を中断することが可能な少なくとも1つのインタラプタブレードまたはインタラプタホイールを含むようないくつかの他のタイプの周期的なビーム中断デバイスを含むことが可能である。しかし、代替的にまたは追加的に、1つまたは複数の異なるタイプの変調デバイス、例えば、電気光学的な効果および/または音響光学的な効果に基づく変調デバイスを使用することも可能である。また、繰り返しになるが、代替的にまたは追加的に、少なくとも1つの任意の照射源自身は、例えば、前記照射源自身が、変調された強度および/もしくは合計パワー、例えば、周期的に変調された合計パワーを有することによって、および/または、前記照射源が、パルス状照射源として、例えば、パルス状レーザーとして具現化されていることによって、変調された照射を発生させるように設計され得る。したがって、例として、少なくとも1つの変調デバイスは、また、全体的にまたは部分的に照射源の中へ一体化され得る。さらに、代替的にまたはそれに加えて、検出器は、調整可能なレンズなどのような少なくとも1つの任意の伝送デバイスを含むことが可能であり、少なくとも1つの任意の伝送デバイスは、例えば、少なくとも1つの縦方向光学センサに衝突する前に少なくとも1つの伝送デバイスを横切るために少なくとも1つの伝送デバイスに衝突する入射光ビームの合計強度および/または合計パワーを変調させることによって、とりわけ、周期的に変調させることによって、照射を変調させるようにそれ自身が設計され得る。さまざまな可能性が実行可能である。
さらに、照射の合計パワーが同じであることを所与として、センサ信号は、したがって、照射の変調の変調周波数に依存することが可能である。縦方向光学センサおよび縦方向センサ信号の考えられる実施形態に関して(センサ領域の中の光ビームのビーム断面に対するその依存性、および、変調周波数に対するその依存性を含む)、WO2012/110924A1および2014/097181A1に開示されているような光学センサが参照され得る。この点に関して、検出器は、とりわけ、異なる変調のケースにおいて少なくとも2つのセンサ信号を検出するように設計され得、とりわけ、それぞれに異なる変調周波数において、少なくとも2つの縦方向センサ信号を検出するように設計され得る。評価デバイスは、少なくとも2つの縦方向センサ信号から幾何学的情報を発生させるように設計され得る。WO2012/110924A1およびWO2014/097181A1に説明されているように、曖昧性を解消することが可能であり得、および/または、例えば、照射の合計パワーが一般的に知られていないという事実を考慮に入れることが可能である。
本明細書で使用されているように、「評価デバイス」という用語は、一般的に、情報、すなわち、対象物の位置に関する少なくとも1つの情報を発生させるように設計されている任意のデバイスを表している。例として、評価デバイスは、1つもしくは複数の集積回路、例えば、1つもしくは複数の特定用途向け集積回路(ASIC)など、および/または1つもしくは複数のデータ処理デバイス、例えば、1つもしくは複数のコンピュータ、好ましくは、1つもしくは複数のマイクロコンピュータおよび/またはマイクロコントローラなどであることが可能であり、または、それを含むことが可能である。例えば、1つもしくは複数の事前処理デバイスおよび/またはデータ収集デバイスなど、例えば、センサ信号を受け取りおよび/または事前処理するための1つまたは複数のデバイス、例えば、1つもしくは複数のADコンバータ、および/または、1つもしくは複数のフィルタなどの追加的な構成要素が含まれ得る。本明細書で使用されているように、センサ信号は、一般的に、縦方向センサ信号および横方向センサ信号のうちの1つを表すことが可能である。さらに、評価デバイスは、1つまたは複数のデータストレージデバイスを含むことが可能である。さらに、上記に概説されているように、評価デバイスは、1つまたは複数のインターフェース、例えば、1つもしくは複数の無線インターフェース、および/または、1つもしくは複数の結線インターフェースを含むことが可能である。
少なくとも1つの評価デバイスは、少なくとも1つのコンピュータプログラム、例えば、情報を発生させる工程を実施または支持する少なくとも1つのコンピュータプログラムなどを実施するように適合され得る。例として、センサ信号を入力変数として使用することによって、対象物の位置への所定の変換を実施することができる、1つまたは複数のアルゴリズムが実装され得る。
評価デバイスは、とりわけ、センサ信号を評価することによって情報項目を発生させるように設計され得る少なくとも1つのデータ処理デバイス、とりわけ、電子的なデータ処理デバイスを含むことが可能である。したがって、評価デバイスは、センサ信号を入力変数として使用するように設計されており、また、これらの入力変数を処理することによって対象物の縦方向位置および/または横方向位置に関する情報項目を発生させるように設計されている。処理することは、並列に、その後に、または、さらには組み合わせられて行われ得る。評価デバイスは、例えば、少なくとも1つの記憶されたおよび/または既知の関係を計算および/または使用することなどによって、これらの情報項目を発生させるための任意のプロセスを使用することが可能である。センサ信号の他に、1つまたは複数のさらなるパラメータおよび/または情報項目が、前記関係、例えば、変調周波数についての少なくとも1つの情報項目に影響を及ぼすことが可能である。関係は、経験的に、分析的に、または、その他、半経験的に決定され得るかまたは決定可能であり得る。とりわけ、好ましくは、関係は、少なくとも1つの較正曲線、少なくとも1つのセットの較正曲線、少なくとも1つの関数、または、上述の可能性の組合せを含む。1つまたは複数の較正曲線が、例えば、1セットの値、および、その関連の関数値の形態で、例えば、データ記憶装置および/またはテーブルの中に記憶され得る。しかし、代替的にまたは追加的に、少なくとも1つの較正曲線は、また、例えば、パラメータ化された形態で、および/または、関数式として記憶され得る。センサ信号を情報項目に処理するための別々の関係が使用され得る。代替的に、センサ信号を処理するための少なくとも1つの組み合わせられた関係も利用可能である。さまざまな可能性が考えられ、また、組み合わせられ得る。
例として、評価デバイスは、情報項目を決定する目的のためのプログラミングの観点から設計され得る。評価デバイスは、とりわけ、少なくとも1つのコンピュータ、例えば、少なくとも1つのマイクロコンピュータを含むことが可能である。そのうえ、評価デバイスは、1つまたは複数の揮発性のまたは不揮発性のデータメモリを含むことが可能である。データ処理デバイス、とりわけ、少なくとも1つのコンピュータの代替例として、または、それに加えて、評価デバイスは、例えば、電子的なテーブル、および、とりわけ、少なくとも1つのルックアップテーブルなどの情報を決定するように設計されている1つもしくは複数のさらなる電子構成要素、および/または少なくとも1つの特定用途向け集積回路(ASIC)を含むことが可能である。
上記に説明されているように、検出器は、少なくとも1つの評価デバイスを有する。例えば、より詳細に下記に説明されているように、評価デバイスが、少なくとも1つの照射源を制御するように、および/または、検出器の少なくとも1つの変調デバイスを制御するように設計されていることによって、とりわけ、少なくとも1つの評価デバイスは、完全にまたは部分的に検出器を制御または駆動するように設計され得る。評価デバイスは、とりわけ、複数のセンサ信号、例えば、照射の異なる変調周波数において連続的な複数のセンサ信号のような1つまたは複数のセンサ信号をピックアップする、少なくとも1つの測定サイクルを実施するように設計され得る。
上記に説明されているように、評価デバイスは、少なくとも1つのセンサ信号を評価することによって、対象物の位置に関する少なくとも1つの情報を発生させるように設計されている。対象物の位置は、静的であることが可能であるか、または、対象物の少なくとも1つの移動、例えば、検出器またはその部分と対象物またはその部分との間の相対的な移動を含むことさえも可能である。この場合には、相対的な移動は、一般的に、少なくとも1つの線形移動および/または少なくとも1つの回転移動を含むことが可能である。また、移動情報項目は、例えば、異なる時間にピックアップされた少なくとも2つの情報項目の比較によって取得され得、例えば、少なくとも1つの場所情報項目が、少なくとも1つの速度情報項目および/または少なくとも1つの加速度情報項目、例えば、対象物またはその部分と検出器またはその部分との間の少なくとも1つの相対速度についての少なくとも1つの情報項目を含むことが可能であるようになっている。とりわけ、少なくとも1つの場所情報項目は、一般的に、対象物またはその部分と検出器またはその部分との間の距離についての情報項目、とりわけ、光路長さ;対象物またはその部分と任意の伝送デバイスまたはその部分との間の距離または光学的な距離についての情報項目;検出器またはその部分に対する対象物またはその部分の位置決めについての情報項目;検出器またはその部分に対する対象物および/またはその部分の配向についての情報項目;対象物またはその部分と検出器またはその部分との間の相対的な移動についての情報項目;対象物またはその部分の2次元のまたは3次元の空間的構成についての情報項目、とりわけ、対象物の幾何学形状または形態から選択され得る。したがって、一般的に、少なくとも1つの場所情報項目は、例えば、対象物または少なくとも1つのその部分の少なくとも1つの場所についての情報項目;対象物またはその部分の少なくとも1つの配向についての情報;対象物またはその部分の幾何学形状または形態についての情報項目、対象物またはその部分の速度についての情報項目、対象物またはその部分の加速度についての情報項目、検出器の可視範囲の中の対象物またはその部分の存在または不存在についての情報項目からなる群から選択され得る。
少なくとも1つの場所情報項目は、例えば、少なくとも1つの座標系の中で、例えば、検出器またはその部分がその中に存在する座標系の中で特定され得る。代替的にまたは追加的に、場所情報は、また、単純に、例えば、検出器またはその部分と対象物またはその部分との間の距離を含むことが可能である。上述の可能性の組合せも考えられる。
上記に説明されているように、本発明による検出器は、好ましくは、単一の個々の縦方向光学センサを含むことが可能である。しかし、特定の実施形態では、例えば、異なる縦方向光学センサが入射光ビームに対して異なるスペクトル感度を示し得るときなどには、検出器は、2つ以上の縦方向光学センサを含むことが可能であり、それぞれの縦方向光学センサは、少なくとも1つの縦方向センサ信号を発生させるように適合され得る。例として、縦方向光学センサのセンサ領域またはセンサ表面は、したがって、平行に配向され得、ここで、10°以下の、好ましくは5°以下の角度許容差などのようなわずかな角度許容差が許容可能であり得る。本明細書では、好ましくは、検出器の光学軸に沿ってスタックの形態で配置され得る、検出器の縦方向光学センサの好ましくはすべてが、透明になっていることが可能である。したがって、光ビームは、他の縦方向光学センサに衝突する前に、好ましくは、順次、第1の透明な縦方向光学センサを通過することが可能である。したがって、対象物からの光ビームは、順次、光学検出器の中に存在するすべての縦方向光学センサに到達することが可能である。
さらに、本発明による検出器は、とりわけ、1つまたは複数の縦方向光学センサと1つまたは複数の横方向光学センサとを組み合わせて、WO2014/097181A1に開示されているような光学センサのスタックを含むことが可能である。例として、1つまたは複数の横方向光学センサは、対象物の方を向く少なくとも1つの縦方向光学センサの側に位置することが可能である。代替的にまたは追加的に、1つまたは複数の横方向光学センサは、対象物から離れる方を向く少なくとも1つの縦方向光学センサの側に位置することが可能である。繰り返しになるが、追加的にまたは代替的に、1つまたは複数の横方向光学センサは、スタックの中に配置されている少なくとも2つの縦方向光学センサの間に間置され得る。さらに、光学センサのスタックは、単一の個々の縦方向光学センサと単一の個々の横方向光学センサとの組合せであることが可能である。しかし、対象物の深さだけを決定することが望まれ得る場合のように、単一の個々の縦方向光学センサのみを含み横方向光学センサを含まないことが可能である実施形態も依然として有利であり得る。
上記に述べられているように、光学的な検出のための検出器、とりわけ、少なくとも1個の対象物の位置を決定するための検出器は、具体的には、少なくとも1個の対象物の縦方向位置(深さ)、少なくとも1個の対象物の横方向位置(幅)、または、少なくとも1個の対象物の空間的位置(深さおよび幅の両方)を決定するように指定され得る。
したがって、さらに、本発明の第1の態様では、少なくとも1個の対象物の横方向位置(幅)を決定するための検出器が開示されている(それは、「横方向光学センサ」として命名され得る)。横方向光学センサは、本明細書で説明されているような縦方向光学センサに対する代替例として、または、本明細書で説明されているような縦方向光学センサに加えて使用され得るということが述べられ得る。さらなる代替例として、本明細書で説明されているような縦方向光学センサは、公知の横方向光学センサに加えて、例えば、公知の位置感応型デバイス(PSD)に加えて、例えば、WO2012/110924A1、WO2014/097181A1、またはWO2016/120392A1に開示されているようなものなどに加えて使用され得る。
本発明による、少なくとも1個の対象物の幅の光学的な検出のための検出器は、
- 少なくとも1つの横方向光学センサであって、横方向光学センサは、少なくとも1つのセンサ領域を有しており、センサ領域は、少なくとも1つの容量性デバイスを含み、容量性デバイスは、少なくとも2つの電極を含み、少なくとも1つの絶縁層および少なくとも1つの感光性層が、電極同士の間に埋め込まれており、電極のうちの少なくとも1つは、光ビームに対して少なくとも部分的に光学的に透明になっており、電極のうちの1つは、入射光ビームがセンサ領域に衝突した位置を決定するように指定された低い電気伝導性を有する電極層であり、横方向光学センサは、入射光ビームがセンサ領域に衝突した位置および光ビームの変調周波数に依存する少なくとも1つの横方向センサ信号を発生させるように設計されている、少なくとも1つの横方向光学センサと、
- 少なくとも1つの評価デバイスであって、評価デバイスは、横方向センサ信号を評価することによって、対象物の横方向位置に関する少なくとも1つの情報を発生させるように設計されている、少なくとも1つの評価デバイスと
を含む。
本明細書で使用されているように、「横方向光学センサ」という用語は、一般的に、対象物から検出器へ進行する少なくとも1つの光ビームの横方向位置を決定するように適合されたデバイスを表している。「位置」という用語に関して、上記の定義が参照され得る。したがって、好ましくは、横方向位置は、検出器の光学軸に対して垂直の少なくとも1次元の少なくとも1つの座標であることが可能であり、または、それを含むことが可能である。例として、横方向位置は、例えば、横方向光学センサの感光センサ表面の上など、光学軸に対して垂直の平面の中に光ビームによって発生される光スポットの位置であることが可能である。例として、平面の中の位置は、デカルト座標および/または極座標で与えられ得る。他の実施形態も実行可能である。横方向光学センサのさらなる詳細に関して、WO2014/097181A1が参照され得る。
本発明によれば、横方向光学センサのセンサ領域は、少なくとも2つの電極を有する少なくとも1つの容量性デバイスを含み、少なくとも1つの絶縁層および少なくとも1つの感光性層が、電極同士の間に埋め込まれている。入射光ビームが少なくとも1つの感光性層に到達することを可能にするために、電極のうちの少なくとも1つは、入射光ビームに対して少なくとも部分的に光学的に透明になっている。繰り返しになるが、この配置は、とりわけ、WO2016/092454A1に開示されているような光学検出器と比較して、より詳細に上記に説明されているようなものである。
さらに、横方向光学センサの中の電極のうちの1つは、低い電気伝導性を有する電極層であり、したがって、入射光ビームがセンサ領域に衝突した横方向位置を電極層が決定することを可能にする。したがって、電極層は、100Ω/sqから20000Ω/sqのシート抵抗、好ましくは、100Ω/sqから10000Ω/sqのシート抵抗、より好適には、125Ω/sqから1000Ω/sqのシート抵抗、具体的には、150Ω/sqから500Ω/sqのシート抵抗を示すことが可能である。一般的に使用されているように、「Ω/sq」という単位は、SI単位Ωと次元的に等しいが、シート抵抗だけのためのものである。例として、10Ω/sqのシート抵抗を有する正方形のシートは、正方形のサイズにかかわらず、10Ωの実際の抵抗を有している。シート抵抗が示されている範囲にある結果として、容量性デバイスは、公知の位置感応型デバイス(PSD)と同様のアプローチを使用することによって、横方向検出器として作用することが可能である。この特徴は、絶縁体層を通るac電流を誘発させることができ得る変調された光を使用することによって、この目的のために用いられ得る。さらに、電極層は、また、少なくとも部分的に光学的に透明な特性を示すように選択され得、したがって、透明な導電性有機ポリマーの層を含むことが可能である。とりわけ、ポリ(3,4-エチレン-ジオキシ-チオフェン)(PEDOT)、または、PEDOTおよびポリスチレンスルホン酸の分散体(PEDOT:PSS)が、この目的のために選択され得る。他方では、ビームバス(beam bath)が電極層を横断することができないように、他の電極がすでに少なくとも部分的に透明になっていることが可能であるケースでは、より大きいさまざまな異なる材料(光学的に不透明な材料を含む)が、電極層に関して用いられ得る。
したがって、横方向光学センサは、少なくとも1つの横方向センサ信号を提供するように指定されている。本明細書では、横方向センサ信号は、一般的に、横方向位置を示す任意の信号であることが可能である。例として、横方向センサ信号は、デジタル信号および/またはアナログ信号であることが可能であり、または、それを含むことが可能である。例として、横方向センサ信号は、電圧信号および/または電流信号であることが可能であり、または、それを含むことが可能である。追加的にまたは代替的に、横方向センサ信号は、デジタルデータであることが可能であり、または、それを含むことが可能である。横方向センサ信号は、単一の信号値および/または一連の信号値を含むことが可能である。横方向センサ信号は、2つ以上の個々の信号を組み合わせることによって、例えば、2つ以上の信号を平均することによって、および/または、2つ以上の信号の商を形成することなどによって導出される、任意の信号をさらに含むことが可能である。さらに、少なくとも1つの横方向センサ信号は、入射光ビームがセンサ領域に衝突した位置、および、入射光ビームの変調周波数に依存している。
とりわけ、横方向光信号を記録する目的のために、横方向光学センサは、少なくとも2つの部分電極を有するスプリット電極を含むことが可能である。したがって、スプリット電極が位置している伝導性層が、対応するスプリット電極の電気抵抗と比較して、より高い電気抵抗を示すことができる限りにおいて、横方向センサ信号は、横方向光学センサの感光性層の中に光ビームによって発生される光スポットの位置を示すことが可能である。一般的に、本明細書で使用されているように、「部分電極」という用語は、好ましくは、他の部分電極から独立して、少なくとも1つの電流および/または電圧信号を測定するように適合された複数の電極のうちの1つの電極を表している。したがって、複数の部分電極が設けられているケースでは、それぞれの電極は、独立して測定および/または使用され得る少なくとも2つの部分電極を介して、複数の電位、および/または電流、および/または電圧を提供するように適合されている。さらに、とりわけ、より良好な電子的接触を可能にするために、金属接触部をそれぞれ含むことができる少なくとも2つの部分電極を有するスプリット電極が、伝導性層のうちの1つの上に配置され得、好ましくは、導電性ポリマーの層を含み得る第2の伝導性層上に配置され得る。本明細書では、スプリット電極は、好ましくは、追加的に、導電性ポリマーの層を含み得る第2の伝導性層の上に配置される蒸着金属接触部を含むことが可能であり、蒸着金属接触部は、とりわけ、銀、アルミニウム、プラチナ、チタン、クロム、または金のうちの1つまたは複数を含むことが可能である。金属接触部は、好ましくは、蒸着された接触部もしくはスパッタリングされた接触部、または、代替的に、プリントされた接触部もしくはコーティングされた接触部のうちの1つであることが可能であり、その製造のために、導電性インクが用いられ得る。しかし、他の種類の配置も実行可能であり得る。
横方向光学センサは、部分電極を通る電流にしたがって横方向センサ信号を発生させるようにさらに適合され得る。したがって、2つの水平方向の部分電極を通る電流の比率が形成され得、それによって、x座標を発生させ、および/または、2つの垂直方向の部分電極を通る電流の比率が形成され得、それによって、y座標を発生させる。検出器、好ましくは、横方向光学センサ、および/または評価デバイスは、部分電極を通る電流の少なくとも1つの比率から対象物の横方向位置に関する情報を導出するように適合され得る。部分電極を通る電流を比較することによって位置座標を発生させる他の方式も実行可能である。
感光性層の中の光ビームの位置を決定するために、部分電極は、一般的に、さまざまな方式で定義され得る。したがって、2つ以上の水平方向の部分電極が、水平方向の座標またはx座標を決定するために提供され得、また、2つ以上の垂直方向の部分電極が、垂直方向の座標またはy座標を決定するために提供され得る。とりわけ、光ビームの横方向位置を測定するために可能な限り多くのエリアを維持するために、部分電極は、横方向光学センサのリムに設けられ得、横方向光学センサの内部スペースは、第2の伝導性層によってカバーされる。好ましくは、スプリット電極は、4つの部分電極を含むことが可能であり、4つの部分電極は、正方形または長方形の横方向光学センサの4つの辺に配置される。代替的に、横方向光学センサは、デュオラテラルタイプのものであることが可能であり、デュオラテラル横方向光学センサは、感光性層を埋め込む2つの伝導性層のうちの1つにそれぞれ位置する2つの別々のスプリット電極を含むことが可能であり、2つの伝導性層のそれぞれは、対応するスプリット電極と比較して、より高い電気抵抗を示し得る。しかし、とりわけ、横方向光学センサの形態に応じて、他の実施形態も実行可能であり得る。上記に説明されているように、第2の伝導性層材料は、好ましくは、スプリット電極と比較してより高い電気抵抗を示し得る透明電極材料、例えば、透明導電性酸化物など、および/または、最も好ましくは、透明な導電性ポリマーであることが可能である。
横方向光学センサを使用することによって(電極のうちの1つが2つ以上の部分電極を備えるスプリット電極である)、部分電極を通る電流は、感光性層の中の光ビームの位置に依存していることが可能であり、したがって、感光性層は、「センサ領域」としても示され得る。この種類の効果は、一般的に、オーム損失または抵抗損失が、感光性層の上に衝突する光の位置から部分電極への道の上で電荷キャリアに関して生じ得るという事実に起因し得る。したがって、電荷キャリアの発生および/または修正の位置から第1の伝導性層を通って部分電極への道の上のオーム損失に起因して、部分電極を通るそれぞれの電流は、電荷キャリアの発生および/または修正の位置に依存し、したがって、感光性層の中の光ビームの位置に依存している。電子および/または正孔に関して閉じた回路を達成するために、上記に説明されているような第2の伝導性層が、好ましくは用いられ得る。光ビームの位置を決定することに関するさらなる詳細に関して、下記の好適な実施形態が参照され得、また、WO2014/097181A1またはWO2016/120392A1の開示が参照され得る。
本発明のさらなる実施形態は、対象物から検出器へ伝播する光ビームの性質に言及した。本明細書で使用されているように、「光」という用語は、一般的に、可視スペクトル範囲、紫外線スペクトル範囲、および赤外線スペクトル範囲のうちの1つまたは複数の中の電磁放射線を表している。その場合に、可視スペクトル範囲という用語は、一般的に、380nmから780nmのスペクトル範囲を表している。赤外線(IR)スペクトル範囲という用語は、一般的に、780nmから1000μmの電磁放射線を表しており、ここで780nmから1.5μmの範囲は、通常、近赤外線(NIR)スペクトル範囲として命名され、1.5μmから15μmの範囲は、中赤外線範囲(MidIR)として命名され、15μmから1000μmの範囲は、遠赤外線(FIR)スペクトル範囲として命名される。紫外線スペクトル範囲という用語は、一般的に、1nmから380nmの、特に、100nmから380nmの電磁放射線を表している。好ましくは、本発明に関して使用されるような光は、赤外線光であり、とりわけ、NIRスペクトル範囲の中の光である。
「光ビーム」という用語は、一般的に、特定の方向へ放出された所定の量の光を表している。したがって、光ビームは、光ビームの伝播の方向に対して垂直の方向に所定の延在を有する光線の束であることが可能である。好ましくは、光ビームは、1個もしくは複数のガウシアン光ビームであることが可能であり、または、それを含むことが可能であり、ガウシアン光ビームは、1個または複数のガウシアンビームパラメータ、例えば、ビームウエスト、レイリー長、もしくは、任意の他のビームパラメータのうちの1つもしくは複数など、または、ビーム直径および/もしくは空間内のビーム伝播の発達を特徴付けるのに適しているビームパラメータの組合せによって、特徴付けられ得る。
光ビームは、対象物自身によって放出され得、すなわち、対象物から発することが可能である。追加的にまたは代替的に、光ビームの別の起源も利用可能である。したがって、さらに詳細に下記に概説されるように、1つまたは複数の照射源が設けられ得、1つまたは複数の照射源が、例えば、所定の特質を有する1つまたは複数の一次的な光線またはビームなどのような、1つまたは複数の一次的な光線またはビームを使用することなどによって、対象物を照射する。後者の場合には、対象物から検出器へ伝播する光ビームは、対象物、および/または、対象物に接続された反射デバイスによって、反射される光ビームであることが可能である。
上記に概説されているように、少なくとも1つの縦方向センサ信号は、光ビームによる照射の合計パワーが同じであることを所与として、FiP効果にしたがって、少なくとも1つの縦方向光学センサのセンサ領域の中の光ビームのビーム断面に依存する。本明細書で使用されているように、「ビーム断面」という用語は、一般的に、特定の場所において光ビームによって発生される光ビームまたは光スポットの側方延在を表している。円形の光スポットが発生されるケースでは、半径、直径、または、ガウシアンビームウエスト、もしくは、ガウシアンビームウエストの2倍が、ビーム断面の測定値として機能することが可能である。非円形の光スポットが発生されるケースでは、任意の他の実行可能な方式で、例えば、非円形の光スポットと同じ面積を有する円形の断面(それは、等価ビーム断面とも称される)を決定することなどによって、断面が決定され得る。この点において、例えば、光学レンズによって影響を与えるように、材料がフォーカルポイントにまたはフォーカルポイントの近くに位置し得るときなどに、光起電力材料などのような、対応する材料が、最小限の断面を有する光ビームによって衝突され得る条件の下で、縦方向センサ信号の極値、すなわち、最大または最小、とりわけ、全域的極値の観察を用いることが可能であり得る。極値が最大であるケースでは、この観察は、「プラスのFiP効果」として命名され得、一方、極値が最小であるケースでは、この観察は、「マイナスのFiP効果」として命名され得る。下記の例において実証されているように、本発明によるセンサ領域の中に感光性層を有する容量性デバイスを含む光学センサは、FiP効果、とりわけ、マイナスのFiP効果を示す。
したがって、センサ領域の中に実際に含まれる材料に関係なく、しかし、光ビームによるセンサ領域の照射の合計パワーが同じであることを所与として、第1のビーム直径またはビーム断面を有する光ビームは、第1の縦方向センサ信号を発生させることが可能であり、一方、第1のビーム直径またはビーム断面とは異なる第2のビーム直径またはビーム断面を有する光ビームは、第1の縦方向センサ信号とは異なる第2の縦方向センサ信号を発生させる。WO2012/110924A1に説明されているように、縦方向センサ信号を比較することによって、ビーム断面に関する少なくとも1つの情報、具体的には、ビーム直径に関する少なくとも1つの情報が発生され得る。したがって、合計パワーおよび/もしくは光ビームの強度に関する情報を得るために、ならびに/または、合計パワーおよび/または光ビームの合計強度に関して、縦方向センサ信号および/もしくは対象物の縦方向位置に関する少なくとも1つの情報を正規化するために、縦方向光学センサによって発生される縦方向センサ信号が比較され得る。したがって、例として、縦方向光学センサ信号の最小値が検出され得、すべての縦方向センサ信号が、この最小値によって割られ、それにより、その後に上述の既知の関係を使用することによって対象物に関する少なくとも1つの縦方向の情報へと変換され得る、正規化された縦方向光学センサ信号を発生させることが可能である。例えば、縦方向センサ信号の平均値を使用し、すべての縦方向センサ信号を平均値によって割る正規化など、正規化の他の方式も実行可能である。他の選択も可能である。
この実施形態は、とりわけ、光ビームのビーム断面と対象物の縦方向位置との間の既知の関係の中の曖昧性を解消するために、評価デバイスによって使用され得る。したがって、対象物から検出器へ伝播する光ビームのビーム特性が完全にまたは部分的に既知である場合にも、多くのビームにおいて、ビーム断面は、焦点に到達する前に狭まり、その後に再び拡がるということが知られている。したがって、光ビームが最も狭いビーム断面を有している焦点の前および後において、光ビームの伝播の軸線に沿って、光ビームが同じ断面を有する位置が生じる。したがって、例として、焦点の前および後の距離z0において、光ビームの断面は同一である。したがって、光学検出器が単一の縦方向光学センサだけを含むケースにおいて、光ビームの全体的なパワーまたは強度が既知である場合に、光ビームの特定の断面が決定され得る。この情報を使用することによって、焦点からのそれぞれの縦方向光学センサの距離z0が決定され得る。しかし、それぞれの縦方向光学センサが焦点の前または後のいずれに位置し得るかということを決定するために、追加的な情報、例えば、対象物および/もしくは検出器の移動の履歴、ならびに/または、検出器が焦点の前もしくは後のいずれに位置しているかということに関する情報などが、必要とされる。
対象物から検出器へ伝播する光ビームの1つまたは複数のビーム特性が既知であるケースでは、対象物の縦方向位置に関する少なくとも1つの情報は、したがって、少なくとも1つの縦方向センサ信号と対象物の縦方向位置との間の既知の関係から導出され得る。既知の関係は、アルゴリズムとして、および/または、1つもしくは複数の較正曲線として、評価デバイスの中に記憶され得る。例として、具体的には、ガウシアンビームに関して、ビーム直径またはビームウエストと対象物の位置との間の関係が、ビームウエストと縦方向座標との間のガウシアン関係を使用して容易に導出され得る。したがって、WO2014/097181A1に説明されているように、また、本発明によれば、評価デバイスは、好ましくは、光ビームの伝播の方向への少なくとも1つの伝播座標に対する光ビームのビーム直径の既知の依存性から、および/または、光ビームの既知のガウシアンプロファイルから、対象物の縦方向位置に関する少なくとも1つの情報を決定するために、ビーム断面および/または光ビームの直径と光ビームの既知のビーム特性とを比較するように適合され得る。
対象物の少なくとも1つの縦方向座標に加えて、対象物の少なくとも1つの横方向座標が決定され得る。したがって、一般的に、評価デバイスは、少なくとも1つの横方向光学センサの上の光ビームの位置を決定することによって、対象物の少なくとも1つの横方向座標を決定するようにさらに適合され得、少なくとも1つの横方向光学センサは、WO2014/097181A1にもさらに概説されているように、ピクセル化された、セグメント化された、または、大面積の横方向光学センサであることが可能である。
加えて、検出器は、共通の光学軸に沿ってさらに配置され得る少なくとも1つの伝送デバイス、例えば、光学的なレンズなど、とりわけ、1つまたは複数の屈折レンズ、とりわけ、薄い収束性屈折レンズ、例えば、凸形または両凸の薄いレンズ、および/または、1つもしくは複数の凸形ミラーを含み得る。最も好ましくは、対象物から出現する光ビームは、このケースでは、最初に、少なくとも1つの伝送デバイスを通って、その後に、単一の透明な縦方向光学センサ、または、透明な縦方向光学センサのスタックを通って、最後にそれがイメージングデバイスの上に衝突するまで、進行することが可能である。本明細書で使用されているように、「伝送デバイス」という用語は、対象物から検出器の中の光学センサへ、すなわち、少なくとも2つの縦方向光学センサおよび少なくとも1つの任意の横方向光学センサへ出現する少なくとも1つの光ビームを伝送するように構成され得る光学要素を表している。したがって、伝送デバイスは、対象物から検出器へ、光学センサへ伝播する光を給送するように設計され得、この給送は、イメージングの手段によって、または、その他、伝送デバイスの非イメージング特性によって、任意に実現され得る。とりわけ、伝送デバイスは、また、電磁放射線が横方向光学センサおよび/または縦方向光学センサに給送される前に、電磁放射線を収集するように設計され得る。
それに加えて、少なくとも1つの伝送デバイスは、イメージング特性を有することが可能である。結果的に、伝送デバイスは、少なくとも1つのイメージング要素、例えば、少なくとも1つのレンズ、および/または、少なくとも1つの湾曲したミラーを含む。その理由は、そのようなイメージング要素のケースでは、例えば、センサ領域の上の照射の幾何学形状が、伝送デバイスと対象物との間の相対的な位置決め、例えば、距離に依存し得るからである。本明細書で使用されているように、対象物から出る電磁放射線がセンサ領域に完全に伝送されるように、例えば、とりわけ、対象物が検出器の可視範囲の中に配置されている場合に、センサ領域の上に完全に焦点を合わせられるように、伝送デバイスは設計され得る。
加えて、伝送デバイスは、また、例えば、変調式の伝送デバイスを使用することなどによって、光ビームを変調させるために用いられ得る。本明細書では、変調式の伝送デバイスは、光ビームが縦方向光学センサの上に衝突し得る前に、入射光ビームの周波数および/または強度を変調させるように適合され得る。本明細書では、変調式の伝送デバイスは、光ビームを変調させるための手段を含むことが可能であり、および/または、変調デバイスによって制御され得、変調デバイスは、評価デバイスの構成要素部であることが可能であり、および/または、別々のユニットとして少なくとも部分的に実装され得る。
さらに、検出器は、少なくとも1つのイメージングデバイス、すなわち、少なくとも1つのイメージを獲得することができるデバイスを含むことが可能である。イメージングデバイスは、さまざまな方式で具現化され得る。したがって、イメージングデバイスは、例えば、検出器ハウジングの中の検出器のパーツであることが可能である。しかし、代替的にまたは追加的に、イメージングデバイスは、また、検出器ハウジングの外側に、例えば、別々のイメージングデバイスとして配置され得る。また、代替的にまたは追加的に、イメージングデバイスは、検出器に接続されるか、または、検出器のパーツにも接続され得る。好適な配置では、透明な縦方向光学センサおよびイメージングデバイスのスタックが、共通の光学軸に沿って整合されており、光ビームは共通の光学軸に沿って進行する。したがって、光ビームが、透明な縦方向光学センサのスタックを通って、イメージングデバイスの上にそれが衝突するまで進行するように、イメージングデバイスを光ビームの光路の中に位置させることが可能であり得る。しかし、他の配置も可能である。
本明細書で使用されているように、「イメージングデバイス」は、一般的に、対象物またはそのパーツの1次元の、2次元の、または3次元のイメージを発生させることができるデバイスとして理解される。とりわけ、検出器は、少なくとも1つの任意のイメージングデバイスの有無にかかわらず、例えば、IRカメラ、またはRGBカメラ、すなわち、赤色、緑色、および青色として指定される3つの基本色を3つの別々の接続の上に送達するように設計されたカメラなどのカメラとして完全にまたは部分的に使用され得る。したがって、例として、少なくとも1つのイメージングデバイスは、ピクセル化された有機カメラ要素、好ましくは、ピクセル化された有機カメラチップ;ピクセル化された無機カメラ要素、好ましくは、ピクセル化された無機カメラチップ、より好ましくは、CCD-チップまたはCMOS-チップ;モノクロームのカメラ要素、好ましくは、モノクロームのカメラチップ;マルチカラーカメラ要素、好ましくは、マルチカラーカメラチップ;フルカラーカメラ要素、好ましくは、フルカラーカメラチップからなる群から選択される少なくとも1つのイメージングデバイスであることが可能であり、または、それを含むことが可能である。イメージングデバイスは、モノクロームのイメージングデバイス、マルチクロームのイメージングデバイス、および、少なくとも1つのフルカラーイメージングデバイスからなる群から選択される少なくとも1つのデバイスであることが可能であり、または、それを含むことが可能である。マルチクロームのイメージングデバイス、および/または、フルカラーイメージングデバイスは、当業者が認識するように、フィルタ技法を使用することによって、および/または、真性色感度または他の技法を使用することによって、発生され得る。イメージングデバイスの他の実施形態も可能である。
イメージングデバイスは、対象物の複数の部分的な領域を、連続的におよび/または同時にイメージングするように設計され得る。例として、対象物の部分的な領域は、例えば、イメージングデバイスの分解能限界によって定められ且つ電磁放射線が出てくる対象物の1次元の、2次元の、または3次元の領域であることが可能である。この文脈において、イメージングは、対象物のそれぞれの部分的な領域から出現する電磁放射線が、例えば、検出器の少なくとも1つの任意の伝送デバイスによって、イメージングデバイスの中へ給送されることを意味すると理解されるべきである。電磁線は、対象物自身によって、例えば、発光放射線の形態で発生され得る。代替的にまたは追加的に、少なくとも1つの検出器は、対象物を照射するための少なくとも1つの照射源を含むことが可能である。
とりわけ、イメージングデバイスは、順次、例えば、スキャニング方法によって、とりわけ、少なくとも1つの行スキャンおよび/またはラインスキャンを使用して、複数の部分的な領域を順次イメージングするように設計され得る。また、しかし、他の実施形態、例えば複数の部分的な領域が同時にイメージングされる実施形態も可能である。イメージングデバイスは、対象物の部分的な領域のこのイメージングの間に、部分的な領域に関連付けられる信号、好ましくは、電子信号を発生させるように設計される。信号は、アナログ信号および/またはデジタル信号であることが可能である。例として、電子信号は、それぞれの部分的な領域に関連付けられ得る。したがって、電子信号は、同時に、または、その他、時間的に互い違いに発生され得る。例として、行スキャンまたはラインスキャンの間に、例えば、一列につなぎ合わせられている、対象物の部分的な領域に対応する一連の電子信号を発生させることが可能である。さらに、イメージングデバイスは、電子信号を処理および/または事前処理するための1つもしくは複数のフィルタおよび/またはアナログ-デジタル-コンバータなどのような、1つまたは複数の信号処理デバイスを含むことが可能である。
対象物から出る光は、対象物自身の中で発することが可能であるが、任意に、異なる起源を有することも可能であり、この起源から対象物へ、および、その後に光学センサに向けて伝播することが可能である。後者のケースは、例えば、少なくとも1つの照射源が使用されることによって、影響を与えられ得る。照射源は、さまざまな方式で具現化され得る。したがって、照射源は、例えば、検出器ハウジングの中の検出器のパーツであることが可能である。しかし、代替的にまたは追加的に、少なくとも1つの照射源は、また、検出器ハウジングの外側に、例えば、別々の光源として配置され得る。照射源は、対象物から別々に配置され得、所定の距離から対象物を照射することが可能である。また、代替的にまたは追加的に、照射源は、例として、対象物から出現する電磁放射線が、照射源によって直接的に発生され得るように、対象物に接続されているか、または、対象物のパーツであることさえも可能である。例として、少なくとも1つの照射源は、対象物の上および/または中に配置され得、電磁放射線を直接的に発生させることが可能であり、電磁放射線によってセンサ領域が照射される。この照射源は、例えば、周囲光源であることが可能であり、もしくは、それを含むことが可能であり、および/または、人工的な照射源であることが可能であり、もしくは、それを含むことが可能である。例として、少なくとも1つの赤外線エミッター、および/または、可視光のための少なくとも1つのエミッター、および/または、紫外光のための少なくとも1つのエミッターが、対象物の上に配置され得る。例として、少なくとも1つの発光ダイオード、および/または、少なくとも1つのレーザーダイオードが、対象物の上および/または中に配置され得る。照射源は、とりわけ、1つまたは複数の以下の照射源、すなわち、レーザー、とりわけ、レーザーダイオード(しかし、原理的には、代替的にまたは追加的に、他のタイプのレーザーも使用され得る);発光ダイオード;白熱ランプ;ネオンライト;火炎源;有機光源、とりわけ、有機発光ダイオード;構造化された光源を含むことが可能である。代替的にまたは追加的に、他の照射源も使用され得る。例えば、多くのレーザーが少なくともおおよそそうであるように、ガウシアンビームプロファイルを有する1つまたは複数の光ビームを発生させるように、照射源が設計されている場合には、とりわけ好適である。任意の照射源のさらに考えられる実施形態に関して、WO2012/110924A1およびWO2014/097181A1のうちの1つが参照され得る。さらに、他の実施形態も実行可能である。
少なくとも1つの任意の照射源は、一般的に、紫外線スペクトル範囲、好ましくは、200nmから380nmの範囲;可視スペクトル範囲、すなわち、(380nmから780nmの範囲;赤外線スペクトル範囲、好ましくは、780nmから15μmの範囲のうちの少なくとも1つの中の光を放出することが可能である。最も好ましくは、少なくとも1つの照射源は、NIRスペクトル範囲の中の、好ましくは、780nmから1500nmの範囲の中の光を放出するように適合されている。したがって、本明細書では、とりわけ、十分な信号対雑音比を有する高分解能評価を可能にし得る高い強度で、それぞれの照射源によって照射され得る光学センサがセンサ信号を提供することができることを保証するように、照射源が、光学センサのスペクトル感度に関連し得るスペクトル範囲を示すことが可能であるときに、とりわけ好適である。
本発明のさらなる態様では、先行する実施形態のいずれかによる少なくとも2つの検出器を含む配置が提案される。本明細書では、少なくとも2つの検出器は、好ましくは、同一の光学的な特性を有することが可能であるが、互いから異なっていることも可能である。加えて、その配置は、少なくとも1つの照射源をさらに含むことが可能である。本明細書では、少なくとも1個の対象物は、1次的な光を発生させる少なくとも1つの照射源を使用することによって照射され得、少なくとも1個の対象物は、弾性的にまたは非弾性的に1次的な光を反射し、それによって、少なくとも2つの検出器のうちの1つへ伝播する複数の光ビームを発生させる。少なくとも1つの照射源は、少なくとも2つの検出器のそれぞれの構成要素部を形成してもよく、または、形成しなくてもよい。例として、少なくとも1つの照射源自身は、周囲光源であることが可能であり、もしくは、周囲光源を含むことが可能であり、および/または、人工的な照射源であることが可能であり、もしくは、人工的な照射源を含むことが可能である。この実施形態は、好ましくは、少なくとも2つの検出器、優先的には、2つの同一の検出器が、深さ情報を獲得するために、とりわけ、単一の検出器の固有の測定体積を拡張する測定体積を提供する目的のために用いられる、用途に適している。
本発明のさらなる態様では、ユーザとマシンとの間で少なくとも1つの情報を交換するためのヒューマンマシンインターフェースが提案される。提案されているようなヒューマンマシンインターフェースは、上記に述べられているような実施形態またはさらに詳細に下記に述べられているような実施形態のうちの1つまたは複数の中の上述の検出器が、情報および/またはコマンドをマシンに提供するために、1人または複数のユーザによって使用され得るという事実を利用することが可能である。したがって、好ましくは、ヒューマンマシンインターフェースは、制御コマンドを入力するために使用され得る。
ヒューマンマシンインターフェースは、本発明による少なくとも1つの検出器、例えば、上記に開示されている実施形態のうちの1つもしくは複数による少なくとも1つの検出器、および/または、さらに詳細に下記に開示されているような実施形態のうちの1つもしくは複数による少なくとも1つの検出器などを含み、ヒューマンマシンインターフェースは、検出器によってユーザの少なくとも1つの幾何学的情報項目を発生させるように設計されており、ヒューマンマシンインターフェースは、その幾何学的情報を少なくとも1つの情報項目に、とりわけ、少なくとも1つの制御コマンドに割り当てるように設計されている。
本発明のさらなる態様では、少なくとも1つのエンターテイメント機能を実施するためのエンターテイメントデバイスが開示されている。本明細書で使用されているように、エンターテイメントデバイスは、以下では1人または複数人のプレイヤとも称される、1人または複数人のユーザのレジャーおよび/またはエンターテイメントの目的を果たすことができるデバイスである。例として、エンターテイメントデバイスは、ゲーミング、好ましくは、コンピュータゲーミングの目的を果たすことが可能である。追加的にまたは代替的に、エンターテイメントデバイスは、また、一般的に、エクササイズ、スポーツ、理学療法、またはモーショントラッキングなどのような、他の目的のために使用され得る。したがって、エンターテイメントデバイスは、コンピュータ、コンピュータネットワーク、またはコンピュータシステムの中へ実装され得、または、1個または複数のゲーミングソフトウェアプログラムを走らせる、コンピュータ、コンピュータネットワーク、またはコンピュータシステムを含むことが可能である。
エンターテイメントデバイスは、本発明による少なくとも1つのヒューマンマシンインターフェース、例えば、上記に開示されている実施形態のうちの1つもしくは複数による少なくとも1つのヒューマンマシンインターフェース、および/または、下記に開示されている実施形態のうちの1つもしくは複数による少なくとも1つのヒューマンマシンインターフェースなどを含む。エンターテイメントデバイスは、ヒューマンマシンインターフェースによって、少なくとも1つの情報項目がプレイヤによって入力されることを可能にするように設計されている。その少なくとも1つの情報項目は、エンターテイメントデバイスのコントローラおよび/もしくはコンピュータへ送信され得、ならびに/または、それらによって使用され得る。
本発明のさらなる態様では、少なくとも1個の移動可能な対象物の位置をトラッキングするためのトラッキングシステムが提供される。本明細書で使用されているように、トラッキングシステムは、少なくとも1個の対象物または対象物の少なくとも1つの部分の一連の過去の位置に関する情報を集めるように適合されたデバイスである。追加的に、トラッキングシステムは、少なくとも1個の対象物または対象物の少なくとも1つの部分の少なくとも1つの予測される将来の位置に関する情報を提供するように適合され得る。トラッキングシステムは、電子デバイスとして、好ましくは、少なくとも1つのデータ処理デバイスとして、より好ましくは、少なくとも1つのコンピュータまたはマイクロコントローラとして、完全にまたは部分的に具現化され得る、少なくとも1つのトラックコントローラを有することが可能である。繰り返しになるが、少なくとも1つのトラックコントローラは、少なくとも1つの評価デバイスを含むことが可能であり、および/または、少なくとも1つの評価デバイスの一部であることが可能であり、および/または、完全にもしくは部分的に少なくとも1つの評価デバイスと同一になっていることが可能である。
トラッキングシステムは、例えば、上記に列挙されている実施形態のうちの1つもしくは複数の中に開示されているような少なくとも1つの検出器、および/または、下記の実施形態のうちの1つもしくは複数の中に開示されているような本発明による少なくとも1つの検出器を含む。トラッキングシステムは、少なくとも1つのトラックコントローラをさらに含む。トラッキングシステムは、1個、2個、またはそれ以上の検出器、とりわけ、2つ以上の同一の検出器を含むことが可能であり、それは、2つ以上の検出器の間の重複する量の中の少なくとも1個の対象物についての深さ情報の信頼性の高い獲得を可能にする。トラックコントローラは、対象物の一連の位置をトラッキングするように適合されており、それぞれの位置は、特定の時点における対象物の位置に関する少なくとも1つの情報を含む。
トラッキングシステムは、対象物に接続可能な少なくとも1つのビーコンデバイスをさらに含むことが可能である。ビーコンデバイスの潜在的な定義に関して、WO2014/097181A1が参照され得る。トラッキングシステムは、好ましくは、検出器が少なくとも1つのビーコンデバイスの対象物の位置に関する情報を発生させることができるように適合されており、とりわけ、特定のスペクトル感度を示す特定のビーコンデバイスを含む対象物の位置に関する情報を発生させるように適合されている。したがって、異なるスペクトル感度を示す2つ以上のビーコンが、好ましくは同時に、本発明の検出器によってトラッキングされ得る。本明細書では、ビーコンデバイスは、アクティブビーコンデバイスとして、および/または、パッシブビーコンデバイスとして、完全にまたは部分的に具現化され得る。例として、ビーコンデバイスは、検出器へ送信されることとなる少なくとも1つの光ビームを発生させるように適合された少なくとも1つの照射源を含むことが可能である。追加的にまたは代替的に、ビーコンデバイスは、少なくとも1つの反射体を含むことが可能であり、少なくとも1つの反射体は、照射源によって発生される光を反射するように適合されており、それによって、検出器へ送信されることとなる反射された光ビームを発生させる。
本発明のさらなる態様では、少なくとも1個の対象物の少なくとも1つの位置を決定するためのスキャニングシステムが提供される。本明細書で使用されているように、スキャニングシステムは、少なくとも1個の対象物の少なくとも1つの表面に位置する少なくとも1つのドットを照射するために、および、少なくとも1つのドットとスキャニングシステムとの間の距離についての少なくとも1つの情報を発生させるために構成されている少なくとも1つの光ビームを放出するように適合されているデバイスである。少なくとも1つのドットとスキャニングシステムとの間の距離についての少なくとも1つの情報項目を発生させる目的のために、スキャニングシステムは、例えば、上記に列挙されている実施形態のうちの1個または複数に開示されているような検出器、および/または、下記の実施形態のうちの1個または複数に開示されているような検出器のうちの少なくとも1個のような、本発明による検出器のうちの少なくとも1個を含む。
したがって、スキャニングシステムは、少なくとも1個の対象物の少なくとも1つの表面に位置する少なくとも1つのドットを照射するように構成されている少なくとも1つの光ビームを放出するように適合された、少なくとも1つの照射源を含む。本明細書で使用されているように、「ドット」という用語は、例えば、スキャニングシステムのユーザによって、照射源によって照射されるように選択され得る、対象物の表面の一部の上の小さいエリアを表している。好ましくは、ドットは、一方では、スキャニングシステムによって含まれる照射源と、ドットがその上に位置し得る対象物の表面の一部との間の距離に関する値を可能な限り正確にスキャニングシステムが決定することを可能にするために、可能な限り小さくなっていることが可能であり、また、他方では、スキャニングシステムのユーザまたはスキャニングシステム自身が、とりわけ、自動的な手順によって、対象物の表面の関連部分の上のドットの存在を検出することを可能にするために、可能な限り大きくなっていることが可能な、或るサイズを示し得る。
この目的のために、照射源は、人工的な照射源を含むことが可能であり、とりわけ、少なくとも1つのレーザー供給源および/または少なくとも1つの白熱ランプおよび/または少なくとも1つの半導体光源、例えば、少なくとも1つの発光ダイオード、とりわけ、有機発光ダイオードおよび/または無機発光ダイオードを含むことが可能である。その一般的に画定されたビームプロファイル、および、取り扱い性の他の特性の理由で、照射源として少なくとも1つのレーザー供給源を使用することがとりわけ好適である。本明細書では、単一のレーザー供給源を使用することは、とりわけ、それが、ユーザによって容易に保管可能および輸送可能であり得るコンパクトなスキャニングシステムを提供するために重要である可能性があるケースでは、好適である可能性がある。したがって、照射源は、好ましくは、検出器の構成要素部であることが可能であり、また、したがって、とりわけ、検出器に一体化され、例えば、検出器のハウジングなどに一体化され得る。好適な実施形態では、とりわけ、スキャニングシステムのハウジングは、例えば、読み易い様式などで、距離関連の情報をユーザに提供するように構成されている、少なくとも1つのディスプレイを含むことが可能である。さらに好適な実施形態では、とりわけ、スキャニングシステムのハウジングは、それに加えて、1個または複数の動作モードを設定するようにスキャニングシステムに関連する少なくとも1つの機能を動作させるために構成され得る、少なくとも1つのボタンを含み得る。さらなる好適な実施形態では、とりわけ、スキャニングシステムのハウジングは、それに加えて、とりわけ、距離測定の精度を向上させるために、および/または、ユーザによるスキャニングシステムの操作性を向上させるために、磁気材料を含む、ラバーフット、ベースプレートまたはウォールホルダーのような少なくとも1つの締結ユニットを含み得る。
とりわけ好適な実施形態では、スキャニングシステムの照射源は、したがって、対象物の表面に位置する単一のドットを照射するように構成され得る単一のレーザービームを放出することが可能である。したがって、本発明による検出器のうちの少なくとも1個を使用することによって、少なくとも1つのドットとスキャニングシステムとの間の距離についての少なくとも1つの情報項目が発生され得る。これにより、好ましくは、スキャニングシステムによって含まれるような照射システムと、照射源によって発生されるような単一のドットとの間の距離は、例えば、少なくとも1つの検出器によって含まれるような評価デバイスを用いることなどによって決定され得る。しかし、スキャニングシステムは、とりわけ、この目的のために適合され得る追加的な評価システムをさらに含むことが可能である。代替的にまたはそれに加えて、スキャニングシステムのサイズ、とりわけ、スキャニングシステムのハウジングのサイズが考慮に入れられ得、したがって、ハウジングの前方縁部または後方縁部などのような、スキャニングシステムのハウジングの上の特定のポイントと単一のドットとの間の距離が、代替的に決定され得る。
代替的に、スキャニングシステムの照射源は、ビームの放出の方向同士の間に、直角などのようなそれぞれの角度を提供するように構成され得、それによって、同じ対象物の表面に位置する2つのそれぞれのドット、または、2個の別々の対象物における2つの異なる表面に位置する2つのそれぞれのドットが照射され得る2つの個々のレーザービームを放出することが可能である。しかし、2つの個々のレーザービーム同士の間のそれぞれの角度に関する他の値も実行可能であり得る。この特徴は、とりわけ、スキャニングシステムとドットとの間の1個または複数の障害物の存在などに起因して、直接的にアクセスすることができないか、または、そうでなければ、到達することが困難である可能性があるといったような間接的な測定機能のために用いられ、例えば、間接的な距離を導出するために用いられ得る。したがって、例として、それは、2つの個々の距離を測定することによって、および、ピタゴラスの公式を使用することによって高さを導出することによって、対象物の高さに関する値を決定するように実行可能であり得る。とりわけ、対象物に対して所定のレベルを維持することができるように、スキャニングシステムは、ユーザによって所定のレベルを維持するために使用され得る、少なくとも1つのレベリングユニット、とりわけ、一体型のバブルバイアルをさらに含むことが可能である。
さらなる代替例として、スキャニングシステムの照射源は、互いに対して、それぞれのピッチ、とりわけ、規則的なピッチを示すことが可能であり、また、少なくとも1個の対象物の少なくとも1つの表面の上に位置するドットのアレイを発生させるように配置され得る、レーザービームアレイのような複数の個々のレーザービームを放出することが可能である。この目的のために、説明されているレーザービームのアレイの発生し得るビームスプリッティングデバイスおよびミラーなどのような、特別に適合された光学エレメントが設けられ得る。
したがって、スキャニングシステムは、1個または複数の対象物の1個または複数の表面の上に設置されている1個または複数のドットの静的な配置を提供することが可能である。代替的に、スキャニングシステムの照射源、とりわけ、1個または複数のレーザービーム、例えば、レーザービームの上述のアレイなどは、時間の経過とともに変化する強度を示し得る1個または複数の光ビーム、および/または、時間の経過にしたがって放出の方向が交互になり得る1個または複数の光ビームを提供するように構成され得る。したがって、照射源は、スキャニングデバイスの少なくとも1つの照射源によって発生されるときに交互になる特徴を有する1個または複数の光ビームを使用することによって、少なくとも1個の対象物の少なくとも1つの表面の一部をイメージとしてスキャンするように構成され得る。とりわけ、スキャニングシステムは、したがって、少なくとも1つの行スキャンおよび/またはラインスキャンを使用し、例えば、1個または複数の対象物の1つまたは複数の表面を連続してまたは同時にスキャンすることなどが可能である。
本発明のさらなる態様では、少なくとも1個の対象物の少なくとも1つの単一の円形の3次元のイメージを発生させるための立体視システムが提供される。本明細書で使用されているように、上記におよび/または下記に開示されているような立体視システムは、光学センサとして、FiPセンサのうちの少なくとも2つを含むことが可能であり、第1のFiPセンサは、トラッキングシステムの中に含まれ得、とりわけ、本発明によるトラッキングシステムの中に含まれ得、一方、第2のFiPセンサは、スキャニングシステムの中に含まれ得、とりわけ、本発明によるスキャニングシステムの中に含まれ得る。本明細書では、FiPセンサは、好ましくは、例えば、FiPセンサを光学軸に対して平行に整合させることなどによって、コリメートされた配置において、別々のビーム経路の中に配置され得、また、立体視システムの光学軸に対して垂直に個別に変位させられ得る。したがって、FiPセンサは、特に、個々のFiPセンサから導出される視覚的情報の組合せによって深さ情報を取得することによって、深さ情報の知覚を発生させるかまたは増加させることが可能であり得、個々のFiPセンサは、重なり合う視野を有しており、好ましくは、個々の変調周波数に対して感度が高い。この目的のために、個々のFiPセンサは、好ましくは、光学軸に対して垂直の方向に決定されるように、1cmから100cmの距離、好ましくは、10cmから25cmの距離だけ、互いから間隔を離して配置され得る。この好適な実施形態では、トラッキングシステムは、したがって、変調されたアクティブターゲットの位置を決定するために用いられ得、一方、1個または複数の対象物の1つまたは複数の表面の上に1個または複数のドットを投射するように適合されているスキャニングシステムは、少なくとも1つのドットとスキャニングシステムとの間の距離についての少なくとも1つの情報項目を発生させるために使用され得る。それに加えて、立体視システムは、本出願の他の場所に説明されているような、イメージの中の少なくとも1個の対象物の横方向位置に関する情報項目を発生させるように適合されている別々の位置感応性デバイスをさらに含むことが可能である。
立体視覚を可能にすることの他に、2つ以上の光学センサの使用に主に基づく立体視システムのさらなる特定の利点は、とりわけ、合計の強度の増加、および/または、検出閾値の低下を含むことが可能である。さらに、少なくとも2つの従来の位置感応性デバイスを含む従来の立体視システムでは、それぞれのイメージの中の対応するピクセルが、かなりのコンピュータ計算の労力を適用することによって決定されなければならないが、一方、少なくとも2つのFiPセンサを含む本発明による立体視システムでは、それぞれのイメージの中の対応するピクセルが、FiPセンサを使用することによって記録され、FiPセンサのそれぞれが、異なる変調周波数によって動作され得、互いに対して明白に割り当てられ得る。したがって、本発明による立体視システムは、対象物の縦方向位置に関する少なくとも1つの情報、および、対象物の横方向位置に関する少なくとも1つの情報を、低減された労力で発生させることを可能にすることができるということが強調され得る。
立体視システムのさらなる詳細に関して、トラッキングシステムおよびスキャニングシステムの説明がそれぞれ参照され得る。
本発明のさらなる態様では、少なくとも1個の対象物をイメージングするためのカメラが開示されている。カメラは、上記に与えられている実施形態またはさらに詳細に下記に与えられている実施形態のうちの1つまたは複数の中に開示されているような本発明による少なくとも1つの検出器を含む。したがって、検出器は、写真撮影デバイスの一部、具体的には、デジタルカメラの一部であることが可能である。具体的には、検出器は、3D写真撮影に関して、具体的には、デジタル3D写真撮影に関して使用され得る。したがって、検出器は、デジタル3Dカメラを形成することが可能であり、または、デジタル3Dカメラの一部であることが可能である。本明細書で使用されているように、「写真撮影」という用語は、一般的に、少なくとも1個の対象物のイメージ情報を獲得する技術を表している。本明細書でさらに使用されているように、「カメラ」は、一般的に、写真撮影を実施するように適合されたデバイスである。本明細書でさらに使用されているように、「デジタル写真撮影」という用語は、一般的に、照射の強度を示す電気信号、好ましくは、デジタル電気信号を発生させるように適合された複数の感光性要素を使用することによって、少なくとも1個の対象物のイメージ情報を獲得する技術を表している。本明細書でさらに使用されているように、「3D写真撮影」という用語は、一般的に、3次元空間的な少なくとも1個の対象物のイメージ情報を獲得する技術を表している。したがって、3Dカメラは、3D写真撮影を実施するように適合されているデバイスである。カメラは、一般的に、単一の3Dイメージなどのような、単一のイメージを獲得するために適合され得、または、一連のイメージなどのような、複数のイメージを獲得するように適合され得る。したがって、カメラは、デジタルビデオシーケンスを獲得するようなビデオの用途のために適合され得る、ビデオカメラであり得る。
したがって、一般的に、本発明は、少なくとも1個の対象物をイメージングするためのカメラをさらに表しており、具体的には、デジタルカメラ、より具体的には、3Dカメラまたはデジタル3Dカメラを表している。上記に概説されているように、イメージングという用語は、本明細書で使用されているように、一般的に、少なくとも1個の対象物のイメージ情報を獲得することを表している。カメラは、本発明による少なくとも1つの検出器を含む。カメラは、上記に概説されているように、単一のイメージを獲得するように適合され得、または、イメージシーケンスなどのような、複数のイメージを獲得するように適合され得、好ましくは、デジタルビデオシーケンスを獲得するように適合され得る。したがって、例として、カメラは、ビデオカメラであることが可能であり、または、それを含むことが可能である。後者のケースでは、カメラは、好ましくは、イメージシーケンスを記憶するためのデータメモリを含む。
本発明のさらなる態様では、少なくとも1個の対象物の位置を決定するための方法が開示されている。方法は、好ましくは、上記に開示されているかまたはさらに詳細に下記に開示されている実施形態のうちの1つまたは複数による少なくとも1つの検出器のような本発明による少なくとも1つの検出器を利用することが可能である。したがって、方法の任意の実施形態に関して、検出器のさまざまな実施形態の説明が参照され得る。
方法は、以下の工程を含み、以下の工程は、所与の順序で、または、異なる順序で実施され得る。さらに、列挙されていない追加的な方法工程が提供され得る。さらに、方法工程のうちの2つ以上またはさらにはすべてが、少なくとも部分的に、同時に実施され得る。さらに、方法工程のうちの2つ以上またはさらにはすべてが、2回またはさらには3回以上、繰り返して実施され得る。
本発明による方法は、
- センサ領域を有する少なくとも1つの光学センサを使用することによって、少なくとも1つのセンサ信号を発生させる工程であって、センサ信号は、変調された入射光ビームによる光学センサのセンサ領域の照射に依存しており、センサ信号は、光ビームの変調周波数にさらに依存しており、センサ領域は、少なくとも1つの容量性デバイスを含み、容量性デバイスは、少なくとも2つの電極を含み、少なくとも1つの絶縁層および少なくとも1つの感光性層が、電極の間に埋め込まれており、電極のうちの少なくとも1つは、光ビームに対して少なくとも部分的に光学的に透明になっている、工程と、
- センサ信号からの対象物の位置に関する情報を決定することによって、光学センサのセンサ信号を評価する工程と
を含む。
本発明による方法に関するさらなる詳細に関して、上記および/または下記に提供されているような光学検出器の説明が参照され得る。
本発明のさらなる態様では、本発明による検出器を使用することが開示されている。その場合に、対象物の位置、とりわけ、対象物の側方位置を決定する目的のために検出器を使用することが提案され、検出器は、好ましくは、同時に、少なくとも1つの縦方向光学センサとして使用され得るか、または、とりわけ、位置測定、とりわけ、交通技術における位置測定;エンターテイメントの用途;セキュリティの用途;ヒューマンマシンインターフェースの用途;トラッキングの用途;スキャニングの用途;立体視覚の用途;写真撮影の用途;イメージングの用途もしくはカメラの用途;少なくとも1つの空間のマップを発生させるためのマッピングの用途;車両のためのホーミングまたはトラッキングビーコン検出器;サーマルシグネチャー(背景よりも熱いかまたは冷たい)による対象物の位置測定;マシンビジョンの用途;ロボットの用途からなる群から選択される使用の目的のために、少なくとも1つの追加的な縦方向光学センサと組み合わせられ得る。
また、本発明による光学検出器のさらなる使用は、すでに公知の用途、例えば、対象物の存在または不存在を決定すること;光学的な用途、例えば、カメラ露出制御、オートスライドフォーカス、自動化されたバックミラー、電子スケール、自動利得制御(とりわけ、変調された光源の中の)、自動ヘッドライトディマー、ナイト(ストリート)ライト制御、油バーナーフレームアウト、もしくは煙検出器を拡張すること;または、他の用途、例えば、デンシトメーターなどにおける用途、例えば、フォトコピーマシンの中のトナーの密度を決定すること;または、比色分析測定における用途などとの組合せを表すことも可能である。
さらに、本発明によるデバイスは、赤外線検出の用途、熱検出の用途、温度計の用途、熱追跡の用途、火炎検出の用途、火災検出の用途、煙検出の用途、温度センシングの用途、または、分光法の用途などのために使用され得る。さらに、本発明によるデバイスは、フォトコピーまたはゼログラフィーの用途において使用され得る。さらに、本発明によるデバイスは、排気ガスをモニタリングするために使用され得るか、燃焼プロセスをモニタリングするために使用され得るか、汚染をモニタリングするために使用され得るか、産業プロセスをモニタリングするために使用され得るか、化学的なプロセスをモニタリングするために使用され得るか、食品加工プロセスをモニタリングするために使用され得るか、水品質を評定するために使用され得るか、または、空気品質を評定するなどのために使用され得る。さらに、本発明によるデバイスは、品質制御、温度制御、モーション制御、排気制御、ガスセンシング、ガス分析学、モーションセンシング、または、化学的なセンシングなどのために使用され得る。
好ましくは、光学検出器、少なくとも1個の対象物の位置を決定するための方法、ヒューマンマシンインターフェース、エンターテイメントデバイス、トラッキングシステム、カメラ、および、さまざまな検出器を使用することのさらなる考えられる詳細に関して、とりわけ、伝送デバイス、横方向光学センサ、縦方向光学センサ、評価デバイス、変調デバイス、照射源、およびイメージングデバイスに関して、具体的には、考えられる材料、セットアップ、およびさらなる詳細に関して、WO2012/110924A1、WO2014/097181A1、およびWO2016/120392A1のうちの1つまたは複数が参照され得、そのすべての全内容が、参照により本明細書に含まれている。
上記に説明されている検出器、方法、ヒューマンマシンインターフェース、およびエンターテイメントデバイス、ならびに、また、提案されている使用は、先行技術を上回るかなりの利点を有している。したがって、一般的に、空間の中の少なくとも1個の対象物の位置を正確に決定するための、簡単でありながらも依然として効率的な検出器が提供され得る。その場合に、例として、対象物またはその一部の3次元座標が、高速かつ効率的な方式で決定され得る。
当技術分野で公知のデバイス、とりわけ、色素増感太陽電池(DSC)を用いるFiPデバイスと比較したときに、より大きいac光電流が、同等の照射レベルにおいて、本発明による光学検出器の中に観察可能であり得る。したがって、より大きいセンサ信号が取得され得る。同じことが、焦点の合った応答と焦点の外れた応答との比率に関しても該当し得、一方、周波数応答(バンド幅)が、同様の挙動を示すことが可能である。代表的な例に関して、下記の図を参照されたい。
要約すると、本発明の文脈において、以下の実施形態が、とりわけ好適であると考えられる。
実施形態1: 少なくとも1個の対象物の光学的な検出のための検出器は、
- 少なくとも1つの光学センサであって、光学センサは、少なくとも1つのセンサ領域を有しており、光学センサは、変調された入射光ビームによるセンサ領域の照射に依存するように、少なくとも1つのセンサ信号を発生させるように設計されており、縦方向センサ信号は、光ビームの変調周波数に依存しており、センサ領域は、少なくとも1つの容量性デバイスを含み、容量性デバイスは、少なくとも2つの電極を含み、少なくとも1つの絶縁層および少なくとも1つの感光性層が、電極同士の間に埋め込まれており、電極のうちの少なくとも1つは、光ビームに対して少なくとも部分的に光学的に透明になっている、少なくとも1つの光学センサと、
- 少なくとも1つの評価デバイスであって、評価デバイスは、センサ信号を評価することによって、対象物の位置に関する少なくとも1つの情報項目を発生させるように設計されている、少なくとも1つの評価デバイスと
を含む。
実施形態2: 光学センサは、
- 少なくとも1つの縦方向光学センサであって、縦方向光学センサは、少なくとも1つの縦方向センサ信号を発生させるように設計されており、縦方向センサ信号は、照射の合計パワーが同じであることを所与として、センサ領域の中の光ビームのビーム断面にさらに依存しており、評価デバイスは、縦方向センサ信号を評価することによって、対象物の縦方向位置に関する少なくとも1つの情報項目を発生させるように設計されている、少なくとも1つの縦方向光学センサ、または、
- 少なくとも1つの横方向光学センサであって、電極のうちの1つは、入射光ビームがセンサ領域に衝突した位置を決定するように指定された低い電気伝導性を有する電極層であり、横方向光学センサは、入射光ビームがセンサ領域に衝突した位置に依存する少なくとも1つの横方向センサ信号を発生させるように設計されており、評価デバイスは、横方向センサ信号を評価することによって、対象物の横方向位置に関する少なくとも1つの情報項目を発生させるように設計されている、少なくとも1つの横方向光学センサ
から選択される、実施形態1に記載の検出器。
実施形態3: 絶縁層は、それぞれが、10-6S/mを下回る電気伝導性、好ましくは、10-8S/mを下回る電気伝導性、より好適には、10-10S/cmを下回る電気伝導性を有する、絶縁性材料または電気絶縁性構成要素を含む、実施形態1または2に記載の検出器。
実施形態4: 絶縁性材料は、少なくとも1つの透明な絶縁性の金属含有化合物を含み、金属含有化合物は、好ましくは、Al、Ti、Ta、Mn、Mo、Zr、Hf、La、Y、およびWからなる群から選択される金属を含み、少なくとも1つの金属含有化合物は、酸化物、水酸化物、カルコゲニド、プニクチド、炭化物、または、それらの組合せを含む群から選択される、実施形態3に記載の検出器。
実施形態5: 透明な金属含有化合物は、絶縁性金属酸化物または透明な誘電材料であるか、または、それを含み、絶縁性金属酸化物は、とりわけ、酸化アルミニウム(Al)、二酸化ジルコニウム(ZrO)、酸化ケイ素(SiO、例えば、SiOなど)、二酸化チタン(TiO)、酸化ハフニウム(HfO)、五酸化タンタル(Ta)、酸化ランタン(La)、または酸化イットリウム(Y)からなる群から選択され、透明な誘電材料は、とりわけ、チタン酸ストロンチウム(SrTiO)、炭酸セシウム(CsCO)、ケイ酸ハフニウム(HfSiO)、および窒化ケイ素(Si)からなる群から選択される、実施形態4に記載の検出器。
実施形態6: 透明な絶縁層は、とりわけ、ポリエチレンイミンエトキシレート(PEIE)ポリエチレンイミン(PEI)、2,9-ジメチル-4,7-ジフェニルフェナントロリン(BCP)、ポリ(ビニールアルコール)(PVA)、ポリ(メチルメタクリレート)(PMMA)、トリス-(8-ヒドロキシキノリン)アルミニウム(Alq3)、または(3-(4-ビ-フェニリル)-4-フェニル-5-(4-tert-ブチルフェニル)-1,2,4-トリアゾール)(TAZ)から選択される少なくとも1つの透明な有機誘電材料の膜を含む、実施形態3に記載の検出器。
実施形態7: 絶縁層は、原子層堆積によって取得可能であり、原子層堆積は、とりわけ、50℃から250℃の温度において、好ましくは、60℃から200℃の温度において実施される、実施形態4から6のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態8: 絶縁層は、低温原子層堆積によって取得可能であり、低温原子層堆積は、50℃から120℃の温度において、好ましくは、60℃から100℃の温度において実施される、実施形態6または7に記載の検出器。
実施形態9: 絶縁層は、1nmから1000nmの厚さ、好ましくは、10nmから250nmの厚さ、とりわけ、20nmから150nmのみの厚さを示す、実施形態1から8のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態10: 絶縁層は、少なくとも2つの隣接する層を有する積層であるか、または、それを含み、隣接する層は、それぞれの組成によって異なっている、実施形態1から9のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態11: 感光性層は、光ビームが感光性層に到着することができるように、電極同士の間に位置している、実施形態1から10のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態12: 感光性層は、
- ナノ粒子状の形態の少なくとも1つの光伝導性材料を含む少なくとも1つの層;
- 少なくとも2つの個々の光伝導性層であって、少なくとも2つの個々の光伝導性層は、少なくとも1つの光伝導性材料を含み、少なくとも1つの境界を有する隣接する層として提供されており、光伝導性層は、隣接する層の間の境界において接合部を発生させるように適合されている、少なくとも2つの個々の光伝導性層;
- 少なくとも1つの半導体吸収体層;および、
- 少なくとも1つの電子ドナー材料および少なくとも1つの電子アクセプター材料を含む、少なくとも1つの有機感光性層
のうちの1つまたは複数として提供されている、実施形態1から11のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態13: 光伝導性材料は、第IV族元素、とりわけ、シリコン、第IV族化合物、III-V化合物、第II-VI族化合物、およびカルコゲニドからなる群から選択される無機の光伝導性材料である、実施形態12に記載の検出器。
実施形態14: 光伝導性材料は、硫化鉛(PbS)またはセレン化鉛(PbSe)から選択される、実施形態13に記載の検出器。
実施形態15: 光伝導性材料は、ナノ粒子状の形態で提供されている、実施形態1から14のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態16: ナノ粒子状の光伝導性材料は、硫化鉛(PbS)、セレン化鉛(PbSe)、硫化カドミウム(CdS)、セレン化カドミウム(CdSe)、テルル化カドミウム(CdTe)、セレン化亜鉛(ZnSe)、硫化銅インジウム(CIS)、またはセレン化銅インジウムガリウム(CIGS)から選択される、実施形態15に記載の検出器。
実施形態17: 個々の光伝導性層のための光伝導性材料は、硫化鉛(PbS)、セレン化鉛(PbSe)、硫化カドミウム(CdS)、セレン化カドミウム(CdSe)、テルル化カドミウム(CdTe)、セレン化亜鉛(ZnSe)、硫化銅インジウム(CIS)、セレン化銅インジウムガリウム(CIGS)、または四元カルコゲニド光伝導性I-II-IV-VI化合物、とりわけ、銅亜鉛スズ硫化物(CZTS)、セレン化銅亜鉛スズ(CZTSe)、または銅亜鉛スズ硫黄-セレン合金CZTSSeから選択される、実施形態12に記載の検出器。
実施形態18: 半導体吸収体層は、結晶性シリコン(c-Si)、微結晶性シリコン(μc-Si)、水素化微結晶性シリコン(μc-Si:H)、アモルファスシリコン(a-Si)、水素化アモルファスシリコン(a-Si:H)、アモルファスシリコン炭素合金(a-SiC)、水素化アモルファスシリコン炭素合金(a-SiC:H)、ゲルマニウムシリコン合金(a-GeSi)、または水素化アモルファスゲルマニウムシリコン合金(a-GeSi:H)のうちの1つまたは複数を含む、実施形態12に記載の検出器。
実施形態20: 有機感光性層の中のドナー材料およびアクセプター材料は、ドナー材料およびアクセプター材料を含む単一の層として配置されている、実施形態12に記載の検出器。
実施形態21: 電子ドナー材料は、ドナーポリマーを含み、電子ドナー材料は、有機ドナーポリマーを含む、実施形態20に記載の検出器。
実施形態22: ドナーポリマーは、共役系を含み、共役系は、環式、非環式、および線形のうちの1つまたは複数である、実施形態21に記載の検出器。
実施形態23: 有機ドナーポリマーは、ポリ[3-ヘキシルチオフェン-2,5.ジイル](P3HT)、ポリ[3-(4-n-オクチル)-フェニルチオフェン](POPT)、ポリ[3-10-n-オクチル-3-フェノチアジン-ビニレンチオフェン-コ-2,5-チオフェン](PTZV-PT)、ポリ[4,8-ビス[(2-エチルヘキシル)オキシ]ベンゾ[1,2-b:4,5-b’]ジチオフェン-2,6-ジイル][3-フルオロ-2-[(2-エチルヘキシル)カルボニル]チエノ[3,4-b]チオフェンジイル](PTB7)、ポリ[チオフェン-2,5-ジイル-オルト-[5,6-ビス(ドデシルオキシ)ベンゾ[c][1,2,5]チアジアゾール]-4,7-ジイル](PBT-T1)、ポリ[2,6-(4,4-ビス-(2-エチルヘキシル)-4H-シクロペンタ[2,1-b;3,4-b’]ジチオフェン)-オルト-4,7(2,1,3-ベンゾチアジアゾール)](PCPDTBT)、ポリ[5,7-ビス(4-デカニル-2-チエニル)-チエノ(3,4-b)ジアチアゾールチオフェン-2,5](PDDTT)、ポリ[N-9’-ヘプタデカニル-2,7-カルバゾール-オルト-5,5-(4’,7’-ジ-2-チエニル-2’,1’,3’-ベンゾチアジアゾール)](PCDTBT)、ポリ[(4,4’-ビス(2-エチルヘキシル)ジチエノ[3,2-b;2’,3’-d]シロール)-2,6-ジイル-オルト-(2,1,3-ベンゾチアジアゾール)-4,7-ジイル](PSBTBT)、ポリ[3-フェニルヒドラゾンチオフェン](PPHT)、ポリ[2-メトキシ-5-(2-エチルヘキシルオキシ)-1,4-フェニレンビニレン](MEH-PPV)、ポリ[2-メトキシ-5-(2’-エチルヘキシルオキシ)-1,4-フェニレン-1,2-エテニレン-2,5-ジメトキシ-1,4-フェニレン-1,2-エテニレン](M3EH-PPV)、ポリ[2-メトキシ-5-(3’,7’-ジメチルオクチルオキシ)-1,4-フェニレンビニレン](MDMO-PPV)、ポリ[9,9-ジ-オクチルフルオレン-コ-ビス-N,N-4-ブチルフェニル-ビス-N,N-フェニル-1,4-フェニレンジアミン](PFB)、または、それらの誘導体、修飾体、もしくは混合物のうちの1つである、実施形態22に記載の検出器。
実施形態24: 電子アクセプター材料は、フラーレンベースの電子アクセプター材料である、実施形態12に記載の検出器。
実施形態25: フラーレンベースの電子アクセプター材料は、[6,6]-フェニル-C61-酪酸メチルエステル(PC60BM)、[6,6]-フェニル-C71-酪酸メチルエステル(PC70BM)、[6,6]-フェニル-C84-酪酸メチルエステル(PC84BM)、インデン-C60ビス付加体(ICBA)、または、それらの誘導体、修飾体、もしくは混合物のうちの少なくとも1つを含む、実施形態24に記載の検出器。
実施形態26: フラーレンベースの電子アクセプター材料は、1つまたは2つのC60またはC70成分を含む二量体を含み、フラーレンベースの電子アクセプターは、好ましくは、1つまたは2つの付着オリゴエーテル(OE)鎖(それぞれ、C70-DPM-OEまたはC70-DPM-OE2)を含むジフェニルメタノフラーレン(DPM)成分を含む、実施形態24または25に記載の検出器。
実施形態27: 電子アクセプター材料は、テトラシアノキノジメタン(TCNQ)、ペリレン誘導体、または無機ナノ粒子のうちの1つまたは複数である、実施形態12に記載の検出器。
実施形態28: 電子アクセプター材料は、アクセプターポリマーを含む、実施形態12に記載の検出器。
実施形態29: アクセプターポリマーは、シアネート化ポリ(フェニレンビニレン)、ベンゾチアジアゾール、ペリレン、またはナフタレンジイミドのうちの1つまたは複数に基づく共役ポリマーを含む、実施形態28に記載の検出器。
実施形態30: アクセプターポリマーは、シアノ-ポリ[フェニレンビニレン](CN-PPV)、ポリ[5-(2-(エチルヘキシルオキシ)-2-メトキシシアノテレフタルイリデン](MEH-CN-PPV)、ポリ[オキサ-1,4-フェニレン-1,2-(1-シアノ)-エチレン-2,5-ジオクチルオキシ-1,4-フェニレン-1,2-(2-シアノ)-エチレン-1,4-フェニレン](CN-ether-PPV)、ポリ[1,4-ジオクチルオキシ-p-2,5-ジシアノフェニレンビニレン](DOCN-PPV)、ポリ[9,9’-ジオクチルフルオレン-コ-ベンゾチアジアゾール](PF8BT)、または、それらの誘導体、修飾体、もしくは混合物のうちの1つまたは複数から選択される、実施形態29に記載の検出器。
実施形態31: 電子ドナー材料および電子アクセプター材料が、混合物を形成している、実施形態12および実施形態19から30のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態32: 混合物は、1:100から100:1の比率で、より好適には、1:10から10:1の比率で、とりわけ、1:2から2:1の比率で、電子ドナー材料および電子アクセプター材料を含む、実施形態31に記載の検出器。
実施形態33: 電子ドナー材料および電子アクセプター材料は、ドナードメインおよびアクセプタードメインの相互侵入ネットワーク、ドナードメインとアクセプタードメインとの間の界面エリア、および、ドメインを電極に接続するパーコレーション経路を含み、それによって、バルクヘテロ接合部が感光性層の中に発生される、実施形態1から32のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態34: 有機感光性層は、ドナー材料を含む個々のドナー材料層と、アクセプター材料を含む個々のアクセプター材料層とを含み、好ましくは、重なり合ってスタックされているドナー材料層およびアクセプター材料層は、接合部によって分離されている、実施形態12に記載の検出器。
実施形態35: ドナー材料は、フタロシアニン誘導体、オリゴチオフェン、オリゴチオフェン誘導体、4,4-ジフルオロ-4-ボラ-3a,4a-ジアザ-s-インダセン(BODIPY)誘導体、アザ-BODIPY誘導体、スクアライン誘導体、ジケトピロロピロール誘導体、またはベンゾジチオフェン誘導体を含む小さい有機分子から選択され、アクセプター材料は、C60、C70、またはペリレン誘導体から選択される、実施形態33または34に記載の検出器。
実施形態36: 光ビームに対して少なくとも部分的に光学的に透明な電極は、少なくとも1つの透明導電性酸化物(TCO)を含む、実施形態1から35のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態37: 少なくとも部分的に光学的に透明な電極は、インジウムがドープされた酸化スズ(ITO)、フッ素がドープされた酸化スズ(FTO)、およびアルミニウムがドープされた酸化亜鉛(AZO)のうちの少なくとも1つを含む、実施形態36に記載の検出器。
実施形態38: 光学的に透明な基板は、少なくとも部分的に光学的に透明な電極によって少なくとも部分的にカバーされている、実施形態35から37のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態39: 光学的に透明な基板は、ガラス基板、石英基板、または、光学的に透明な絶縁性ポリマー、とりわけポリエチレンテレフタレート(PET)から選択される、実施形態38に記載の検出器。
実施形態40: 電極のうちの1つは、光学的に不透明であり、および/または反射型になっており、また、金属電極を含む、実施形態1から39のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態41: 金属電極は、銀(Ag)電極、プラチナ(Pt)電極、金(Au)電極、およびアルミニウム(Al)電極のうちの1つまたは複数である、実施形態40に記載の検出器。
実施形態42: 金属電極は、基板の上に堆積されている金属の薄い層を含み、薄い層は、10nmから1000nmの厚さ、好ましくは、50nmから500nmの厚さ、とりわけ、100nmから250nmの厚さを有している、実施形態41に記載の検出器。
実施形態43: 容量性デバイスは、少なくとも1つの電荷キャリア輸送層をさらに含み、電荷キャリア輸送層は、感光性層と電極のうちの1つとの間に位置している、実施形態1から42のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態44: 電荷キャリア輸送層は、正孔輸送層である、実施形態43に記載の検出器。
実施形態45: 正孔輸送層は、ポリ-3,4-エチレンジオキシチオフェン(PEDOT)、または、少なくとも1つの対イオンによって電気的にドープされたPEDOT、とりわけ、ナトリウムポリスチレンスルホネートによってドープされたPEDOT(PEDOT:PSS);ポリアニリン(PANI);ポリチオフェン(PT)、遷移金属酸化物、とりわけ、酸化ニッケル(NiO)または酸化モリブデン(MoO);9,9-ビス[4-(N,N-ビス-ビフェニル-4-イル-アミノ)フェニル]-9H-フルオレン(BPAPF)またはN,N’-ジフェニル-N,N’-ビス(4’-(N,N-ビス(ナフト-1-イル)-アミノ)-ビフェニル-4-イル)-ベンジジン(DiNPB)のうちの1つまたは複数を含む、実施形態44に記載の検出器。
実施形態46: 電荷キャリアは、スピンキャスト層、ブレードコーティングされた層、スロットコーティングされた層、または、蒸着によって取得される層のうちの1つである、実施形態43から45のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態47: 縦方向光学センサのセンサ領域は、厳密に1つの連続的なセンサ領域であり、縦方向センサ信号は、センサ領域全体に関する均一なセンサ信号である、実施形態1から46のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態48: 光学センサは、センサ領域の少なくとも1つの部分の電気抵抗または伝導率を測定することの1つまたは複数によって、センサ信号を発生させるように適合されている、実施形態1から47のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態49: 光学センサは、少なくとも1つの電流-電圧測定および/または少なくとも1つの電圧-電流測定を実施することによって、センサ信号を発生させるように適合されている、実施形態48に記載の検出器。
実施形態50: 検出器は、照射を変調させるための少なくとも1つの変調デバイス(144)をさらに含む、実施形態1から49のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態51: 検出器は、異なる変調の場合において少なくとも2つのセンサ信号を検出するように設計されており、とりわけ、それぞれに異なる変調周波数において、少なくとも2つのセンサ信号を検出するように設計されており、評価デバイスは、少なくとも2つのセンサ信号を評価することによって、対象物の位置に関する少なくとも1つの情報項目を発生させるように設計されている、実施形態50に記載の検出器。
実施形態52: 少なくとも1つの照射源をさらに含む、実施形態1から51のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態53: 対象物に少なくとも部分的に接続されており、および/または、対象物と少なくとも部分的に同一になっている、照射源;1次放射によって対象物を少なくとも部分的に照射するように設計されている照射源から、照射源は選択される、実施形態52に記載の検出器。
実施形態54: 光ビームは、対象物の上での1次放射の反射によって、および/または、1次放射によって刺激される対象物自身による光の放出によって、発生される、実施形態53に記載の検出器。
実施形態55: 光学センサのスペクトル感度は、照射源のスペクトル範囲によってカバーされている、実施形態52から54のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態56: 検出器は、少なくとも2つの光学センサを有しており、光学センサはスタックされている、実施形態1から55のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態57: 光学センサは、光学軸に沿ってスタックされている、実施形態56に記載の検出器。
実施形態58: 横方向光学センサによって含まれる少なくとも1つの電極層は、100Ω/sqから20000Ω/sqのシート抵抗、好ましくは、100Ω/sqから10000Ω/sqのシート抵抗、より好適には、125Ω/sqから1000Ω/sqのシート抵抗、具体的には、150Ω/sqから500Ω/sqのシート抵抗を示す、実施形態2に記載の検出器。
実施形態59: 電極層は、透明な導電性有機ポリマー、とりわけ、ポリ(3,4-エチレン-ジオキシチオフェン)(PEDOT)、または、PEDOTおよびポリスチレンスルホン酸の分散体(PEDOT:PSS)を含む、実施形態58に記載の検出器。
実施形態60: 横方向光学センサは、スプリット電極を使用することによって、入射光ビームがセンサ領域に衝突した位置を決定するように指定されている、実施形態58または59に記載の検出器。
実施形態61: スプリット電極は、電極層の上に位置している、実施形態60に記載の検出器。
実施形態62: スプリット電極は、少なくとも2つの部分電極を含む、実施形態60または61のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態63: 少なくとも4つの部分電極が提供されている、実施形態1から62のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態64: 部分電極を通る電流は、センサ領域の中の光ビームの位置に依存している、実施形態62または63に記載の検出器。
実施形態65: 横方向光学センサは、部分電極を通る電流にしたがって、横方向センサ信号を発生させるように適合されている、実施形態64に記載の検出器。
実施形態66: 検出器、好ましくは、横方向光学センサ、および/または評価デバイスは、部分電極を通る電流の少なくとも1つの比率から対象物の横方向位置に関する情報を導出するように適合されている、実施形態64または65に記載の検出器。
実施形態67: 検出器は、少なくとも1つのイメージングデバイスをさらに含む、実施形態1から66のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態68: イメージングデバイスは、対象物から最も遠い位置に位置している、実施形態69に記載の検出器。
実施形態69: 光ビームは、イメージングデバイスを照射する前に少なくとも1つの光学センサを通過する、実施形態67または68に記載の検出器。
実施形態70: イメージングデバイスは、カメラを含む、実施形態67から69のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態71: イメージングデバイスは、無機カメラ;モノクロームカメラ;マルチクロームカメラ;フルカラーカメラ;ピクセル化された無機チップ;ピクセル化された有機カメラ;CCDチップ、好ましくは、マルチカラーCCDチップまたはフルカラーCCDチップ;CMOSチップ;IRカメラ;RGBカメラのうちの少なくとも1つを含む、実施形態67から70のいずれか1つに記載の検出器。
実施形態72: 実施形態1から71のいずれか1つに記載の少なくとも2つの検出器を含む配置。
実施形態73: 配置は、少なくとも1つの照射源をさらに含む、実施形態71または72に記載の配置。
実施形態74: ユーザとマシンとの間で少なくとも1つの情報項目を交換するための、とりわけ、制御コマンドを入力するためのヒューマンマシンインターフェースであって、ヒューマンマシンインターフェースは、検出器に関する実施形態1から80のいずれか1つに記載の少なくとも1つの検出器を含み、ヒューマンマシンインターフェースは、検出器によってユーザの少なくとも1つの幾何学的情報項目を発生させるように設計されており、ヒューマンマシンインターフェースは、少なくとも1つの情報項目、とりわけ少なくとも1つの制御コマンドを、幾何学的情報に割り当てるように設計されている、ヒューマンマシンインターフェース。
実施形態75: ユーザの少なくとも1つの幾何学的情報項目は、ユーザの身体の位置;ユーザの少なくとも1つの身体部分の位置;ユーザの身体の配向;ユーザの少なくとも1つの身体部分の配向からなる群から選択される、実施形態74に記載のヒューマンマシンインターフェース。
実施形態76: ヒューマンマシンインターフェースは、ユーザに接続可能な少なくとも1つのビーコンデバイスをさらに含み、ヒューマンマシンインターフェースは、検出器が少なくとも1つのビーコンデバイスの位置に関する情報を発生させることができるように適合されている、実施形態74または75に記載のヒューマンマシンインターフェース。
実施形態77: ビーコンデバイスは、検出器へ伝送される少なくとも1つの光ビームを発生させるように適合された少なくとも1つの照射源を含む、実施形態76に記載のヒューマンマシンインターフェース。
実施形態78: 少なくとも1つのエンターテイメント機能、とりわけ、ゲームを実施するためのエンターテイメントデバイスであって、エンターテイメントデバイスは、ヒューマンマシンインターフェースを参照する実施形態74から77のいずれか1つに記載の少なくとも1つのヒューマンマシンインターフェースを含み、エンターテイメントデバイスは、ヒューマンマシンインターフェースによって、少なくとも1つの情報がプレイヤによって入力されることを可能にするように設計されており、エンターテイメントデバイスは、情報にしたがってエンターテイメント機能を変化させるように設計されている、エンターテイメントデバイス。
実施形態79: 少なくとも1個の移動可能な対象物の位置をトラッキングするためのトラッキングシステムであって、トラッキングシステムは、検出器を参照する実施形態1から71のいずれか1つに記載の少なくとも1つの検出器を含み、トラッキングシステムは、少なくとも1つのトラックコントローラをさらに含み、トラックコントローラは、対象物の一連の位置をトラッキングするように適合されており、それぞれの位置は、特定の時点における対象物の位置に関する少なくとも1つの情報を含む、トラッキングシステム。
実施形態80: トラッキングシステムは、対象物に接続可能な少なくとも1つのビーコンデバイスをさらに含み、トラッキングシステムは、検出器が少なくとも1つのビーコンデバイスの対象物の位置に関する情報を発生させることができるように適合されている、実施形態79に記載のトラッキングシステム。
実施形態81: 少なくとも1個の対象物の少なくとも1つの位置を決定するためのスキャニングシステムであって、スキャニングシステムは、検出器に関する実施形態1から71のいずれか1つに記載の少なくとも1つの検出器を含み、スキャニングシステムは、少なくとも1つの照射源をさらに含み、少なくとも1つの照射源は、少なくとも1個の対象物の少なくとも1つの表面に位置する少なくとも1つのドットの照射のために構成された少なくとも1つの光ビームを放出するように適合されており、スキャニングシステムは、少なくとも1つの検出器を使用することによって、少なくとも1つのドットとスキャニングシステムとの間の距離についての少なくとも1つの情報項目を創生させるように設計されている、スキャニングシステム。
実施形態82: 照射源は、少なくとも1つの人工的な照射源、とりわけ、少なくとも1つのレーザー供給源、および/または、少なくとも1つの白熱ランプ、および/または、少なくとも1つの半導体光源を含む、実施形態81に記載のスキャニングシステム。
実施形態83: 照射源は、複数の個々の光ビームを放出し、とりわけ、それぞれのピッチ、とりわけ、規則的なピッチを示す光ビームのアレイを放出する、実施形態81または82に記載のスキャニングシステム。
実施形態84: スキャニングシステムは、少なくとも1つのハウジングを含む、実施形態81から83のいずれか1つに記載のスキャニングシステム。
実施形態85: 少なくとも1つのドットとスキャニングシステムとの間の距離についての少なくとも1つの情報項目は、少なくとも1つのドットと、スキャニングシステムのハウジングの上の特定のポイント、とりわけ、ハウジングの前方縁部または後方縁部との間で決定される、実施形態84に記載のスキャニングシステム。
実施形態86: ハウジングは、ディスプレイ、ボタン、締結ユニット、レベリングユニットのうちの少なくとも1つを含む、実施形態84または85に記載のスキャニングシステム。
実施形態87: 少なくとも1個の対象物をイメージングするためのカメラであって、カメラは、検出器を参照する実施形態1から71のいずれか1つに記載の少なくとも1つの検出器を含む、カメラ。
実施形態88: とりわけ、検出器に関する実施形態1から71のいずれか1つに記載の検出器を使用して、少なくとも1個の対象物の光学的な検出のための方法であって、
- 少なくとも1つの光学センサを使用することによって、少なくとも1つのセンサ信号を発生させる工程であって、センサ信号は、変調された入射光ビームによる光学センサのセンサ領域の照射に依存しており、センサ信号は、光ビームの変調周波数にさらに依存しており、センサ領域は、少なくとも1つの容量性デバイスを含み、容量性デバイスは、少なくとも2つの電極を含み、少なくとも1つの絶縁層および少なくとも1つの感光性層が、電極の間に埋め込まれており、電極のうちの少なくとも1つは、光ビームに対して少なくとも部分的に光学的に透明になっている、工程と、
- センサ信号からの対象物の位置に関する情報項目を決定することによって、光学センサのセンサ信号を評価する工程と
を含む、方法。
実施形態89: 距離測定、とりわけ、交通技術における距離測定;位置測定、とりわけ、交通技術における位置測定;エンターテイメントの用途;セキュリティの用途;ヒューマンマシンインターフェースの用途;スキャニングの用途、トラッキングの用途;ロジスティクスの用途;マシンビジョンの用途;安全の用途;監視の用途;データ収集の用途;写真撮影の用途;イメージングの用途、またはカメラの用途;少なくとも1つの空間のマップを発生させるためのマッピングの用途からなる群から選択された使用の目的のための、実施形態88に記載の検出器を使用すること。
本発明のさらなる任意の詳細および特徴は、従属請求項に関連して下記に続く好適な例示的な実施形態の説明から明らかである。この文脈において、特定の特徴は、単独で、または、組み合わされた特徴と共に実装され得る。本発明は、例示的な実施形態に限定されない。例示的な実施形態は、図の中に概略的に示されている。個々の図における同一の参照番号は、同一の要素、もしくは、同一の機能を備える要素、または、それらの機能に関して互いに対応している要素を表している。
本発明による、少なくとも1個の対象物の光学的な検出のための検出器の好適な例示的な実施形態を概略的に図示しており、検出器が、少なくとも1つの容量性デバイスを含むセンサ領域を有する少なくとも1つの縦方向光学センサを含むことを示す図である。 縦方向光学センサの中での適用に関して、容量性デバイスのとりわけ好適な例示的な構成の断面を概略的に図示する図である。 縦方向光学センサの中での適用に関して、容量性デバイスのとりわけ好適な例示的な構成の断面を概略的に図示する図である。 縦方向光学センサの中での適用に関して、容量性デバイスの第1の例示的な実施形態の2つの好適な例の断面を概略的に図示する図である。 縦方向光学センサの中での適用に関して、容量性デバイスの第1の例示的な実施形態の2つの好適な例の断面を概略的に図示する図である。 対象物までのセンサ領域の距離の関数として光電流を図示する図である。 変調された入射光ビームの変調周波数の関数として光電流を図示する図である。 容量性デバイスの電流対電圧の特徴付けを図示する図である。 容量性デバイスの電流対電圧の特徴付けを図示する図である。 対象物までのセンサ領域の距離の関数として光電流を図示する図である。 変調された入射光ビームの変調周波数の関数として光電流を図示する図である。 変調された入射光ビームの変調周波数の関数として光電流を図示する図である。 対象物までのセンサ領域の距離の関数として光電流を図示する図である。 対象物までのセンサ領域の距離の関数として光電流を図示する図である。 変調された入射光ビームの変調周波数の関数として光電流を図示する図である。 変調された入射光ビームの変調周波数の関数として光電流を図示する図である。 対象物までのセンサ領域の距離の関数として光電流を図示する図である。 縦方向光学センサの中での適用に関して、容量性デバイスの第2の例示的な実施形態の好適な例の断面を概略的に図示する図である。 対象物までのセンサ領域の距離の関数として光電流を図示する図である。 対象物までのセンサ領域の距離の関数として光電流を図示する図である。 対象物までのセンサ領域の距離の関数として光電流を図示する図である。 対象物までのセンサ領域の距離の関数として光電流を図示する図である。 変調された入射光ビームの変調周波数の関数として光電流を図示する図である。 変調された入射光ビームの変調周波数の関数として光電流を図示する図である。 縦方向光学センサの中での適用に関して、容量性デバイス134の第3の例示的な実施形態の2つの好適な例の断面を概略的に図示する図である。 縦方向光学センサの中での適用に関して、容量性デバイス134の第3の例示的な実施形態の2つの好適な例の断面を概略的に図示する図である。 対象物までのセンサ領域の距離の関数として光電流を図示する図である。 対象物までのセンサ領域の距離の関数として光電流を図示する図である。 対象物までのセンサ領域の距離の関数として光電流を図示する図である。 対象物までのセンサ領域の距離の関数として光電流を図示する図である。 対象物までのセンサ領域の距離の関数として光電流を図示する図である。 変調された入射光ビームの変調周波数の関数として光電流を図示する図である。 変調された入射光ビームの変調周波数の関数として光電流を図示する図である。 縦方向光学センサの中での適用に関して、容量性デバイスの第4の例示的な実施形態の好適な例の断面を概略的に図示する図である。 対象物までのセンサ領域の距離の関数として光電流を図示する図である。 対象物までのセンサ領域の距離の関数として光電流を図示する図である。 変調された入射光ビームの変調周波数の関数として光電流を図示する図である。 変調された入射光ビームの変調周波数の関数として光電流を図示する図である。 縦方向光学センサの中での適用に関して、容量性デバイスの第5の例示的な実施形態の2つの好適な例の断面を概略的に図示する図である。 縦方向光学センサの中での適用に関して、容量性デバイスの第5の例示的な実施形態の2つの好適な例の断面を概略的に図示する図である。 対象物までのセンサ領域の距離の関数として光電流を図示する図である。 変調された入射光ビームの変調周波数の関数として光電流を図示する図である。 対象物までのセンサ領域の距離の関数として光電流を図示する図である。 変調された入射光ビームの変調周波数の関数として光電流を図示する図である。 容量性デバイスの電流対電圧の特徴付けを図示する図である。 対象物までのセンサ領域の距離の関数として光電流を図示する図である。 変調された入射光ビームの変調周波数の関数として光電流を図示する図である。 光学検出器の例示的な実施形態、ならびに、本発明による光学検出器をそれぞれ含む、検出器システム、ヒューマンマシンインターフェース、エンターテイメントデバイス、トラッキングシステム、およびカメラの例示的な実施形態を概略的に示す図である。 横方向光学センサの中での適用に関して、容量性デバイスの第6の例示的な実施形態の好適な例の断面を概略的に図示する図である。 その他の方法で入手可能である実際の位置と比較して、本発明による検出器を使用することによって決定されるような複数の測定ポイント位置を図示する図である。 その他の方法で入手可能である実際の位置と比較して、本発明による検出器を使用することによって決定されるような複数の測定ポイント位置を図示する図である。 横方向光学センサの中の容量性デバイスの第7の例示的な実施形態の好適な例の断面を概略的に図示する図である。 横方向光学センサの中の容量性デバイスの第7の例示的な実施形態の好適な例の断面を概略的に図示する図である。 横方向光学センサの中の容量性デバイスの第7の例示的な実施形態の好適な例の断面を概略的に図示する図である。
図1は、少なくとも1個の対象物112の位置を決定するための、本発明による検出器110の第1の例示的な実施形態を、極めて概略的な説明図で図示している。しかし、他の実施形態も実行可能である。一般的に、ここで表示されているような図およびさまざまな要素は、正しい縮尺になっていない。
図1に概略的に示されているような検出器110は、この特定の実施形態で、検出器110の光学軸116に沿って配置されている、少なくとも1つの縦方向光学センサ114を含む。具体的には、光学軸116は、光学センサ114の構成の対称軸および/または回転軸であることが可能である。光学センサ114は、検出器110のハウジング118の内側に位置することが可能である。さらに、少なくとも1つの伝送デバイス120、好ましくは、屈折レンズ122が含まれ得る。ハウジング118の中の開口部124は、とりわけ、好ましくは、検出器110の視線の方向126を画定している光学軸116に関して同心円状に位置し得る。座標系128が定義され得、座標系128では、光学軸116に対して平行または逆平行の方向は、縦方向として定義され、一方、光学軸116に対して垂直の方向は、横方向として定義され得る。図1に象徴的に示されている座標系128では、縦方向は、「z」によって示されており、横方向は、それぞれ、「x」および「y」によって示されている。しかし、他のタイプの座標系128も実行可能である。
さらに、縦方向光学センサ114は、変調された入射光ビーム132による、縦方向光学センサ114によって含まれるセンサ領域130の照射に依存するように、少なくとも1つの縦方向センサ信号を創生させるように設計されている。したがって、FiP効果にしたがって、縦方向センサ信号は、照射の合計パワーが同じであることを所与として、それぞれのセンサ領域130の中の光ビーム132のビーム断面、および、変調された光ビーム132の変調周波数に依存する。本発明によれば、および、とりわけ、WO2016/092454A1に開示されている光学検出器とは対照的に、縦方向光学センサ110のセンサ領域130は、とりわけ、図2A、図2B、図3A、図3B、図4A、図5A、図5B、図6A、図7A、図7B、図10A、図10B、もしくは図10C、または、その組合せの中でより詳細に説明されている好適な実施形態のうちの1つの中の少なくとも1つの容量性デバイス134を含む。
縦方向光学センサ114のセンサ領域130を照らすための変調された光ビーム132は、変調された様式で照射を提供することができる発光性対象物112によって発生され得る。代替的にまたはそれに加えて、光ビーム132は、好ましくは、光学軸116に沿って開口部124を通って光学検出器110のハウジング118に進入することによって、光ビーム132が縦方向光学センサ114のセンサ領域130に到達することができるように、照射源136によって発生される光の少なくとも一部を対象物112が反射し得る様式で対象物112を照射するように適合され得る、周囲光源、および/または、発光ダイオード(LED)140のような人工的な光源138を含み得る個別の照射源136によって発生され得る。
したがって、照射源136は、変調された光源142であることが可能であり、照射源の1つまたは複数の変調特性は、少なくとも1つの変調デバイス144によって制御され得る。代替的にまたはそれに加えて、変調は、照射源と対象物112との間の第1のビーム経路146の中で、および/または、対象物112と縦方向光学センサ114との間の第2のビーム経路148の中で実現され得る。さらなる可能性も考えられ得る。この特定の実施形態では、評価デバイス150の中の対象物112の位置に関する少なくとも1つの情報を決定するために横方向光学センサ114のセンサ信号を評価するときに、変調特性のうちの1つまたは複数、とりわけ、変調周波数を考慮に入れるということが有利である可能性がある。
評価デバイス150は、一般的に、縦方向光学センサ114のセンサ信号を評価することによって、対象物112の位置に関する少なくとも1つの情報を発生させるように設計されている。本明細書では、評価デバイス150は、センサ信号を評価するために、縦方向評価ユニット152(「z」によって示されている)によって象徴的に示されている1つまたは複数の電子デバイスおよび/または1つまたは複数のソフトウェア構成要素を含み得る。この目的のために、評価デバイス150は、好ましくは、縦方向光学センサ114の2つ以上の縦方向センサ信号を比較することによって、対象物112の縦方向位置に関する少なくとも1つの情報を決定するように適合され得る。上記に説明されているように、変調された光ビーム132による衝突のときに縦方向光学センサ114によって提供されるような縦方向センサ信号は、光ビーム132によるセンサ領域130の照射に依存しており、縦方向センサ信号は、照射の合計パワーが同じであることを所与として、センサ領域130の中の光ビーム132のビーム断面、および、光ビーム132の変調周波数に依存している。例えば、WO2012/110924A1においてより詳細に説明されているように、評価デバイス150は、したがって、縦方向光学センサ114の2つ以上の縦方向センサ信号を比較することによって、対象物112の縦方向位置に関する少なくとも1つの情報を決定するように適合され得る。
一般的に、評価デバイス150は、データ処理デバイスの一部であることが可能であり、および/または、1つもしくは複数のデータ処理デバイスを含むことが可能である。評価デバイス150は、ハウジング118の中に完全にもしくは部分的に一体化され得、および/または、無線もしくは結線の方式で、例えば、1つまたは複数の信号リード線154などを介して、縦方向光学センサ114に電気的に接続されている別々のデバイスとして、完全にもしくは部分的に具現化され得る。評価デバイス150は、1つまたは複数の追加的な構成要素、例えば、1つもしくは複数の電子的なハードウェア構成要素および/または1つもしくは複数のソフトウェア構成要素など、例えば、1つもしくは複数の測定ユニット、および/または、1つもしくは複数の評価ユニット(図1には示されていない)、および/または、1つもしくは複数の制御ユニットなど、例えば、変調された光源142の変調特性を制御するように適合されている変調デバイス144などをさらに含むことが可能である。さらに、評価デバイス150は、コンピュータ156であることが可能であり、および/または、データ処理デバイス158を含むコンピュータシステムを含むことが可能である。しかし、他の実施形態も実行可能であり得る。
図1の好適な実施形態では、光学検出器110は、少なくとも1つの横方向光学センサ160をさらに含み、少なくとも1つの横方向光学センサ160は、この特定の実施形態では、また、検出器110の光学軸116に沿って配置されている。本明細書では、横方向光学センサ160は、好ましくは、対象物112から光学検出器110へ進行する変調された光ビーム132の横方向位置を決定するように適合され得る。本明細書では、横方向位置は、この特定の実施形態で、座標系128にしたがって、それぞれ「x」および「y」によって示されている、光学検出器110の光学軸116に対して垂直な少なくとも1次元の位置である。ここで使用されているような横方向光学センサ160は、好ましくは、図9の下記の例示的な実施形態に図示されているような構成を示すことが可能である。しかし、例えば、公知の位置感応型デバイス(PSD)、とりわけ、例えば、WO2012/110924A1もしくはWO2014/097181A1に開示されているような光検出器、または、例えば、WO2016/120392A1に開示されているような光伝導体を使用することなどによって、他の構成も実行可能であり得る。しかし、横方向光学センサ160の他の構成も、ここで適用可能であり得る。
横方向位置を決定する目的のために、横方向光学センサ160は、少なくとも1つの横方向センサ信号を発生させるようにさらに適合され得る。横方向センサ信号は、無線、または、例えば、1つまたは複数の信号リード線154などを介した結線の方式で、横方向センサ信号を評価することによって対象物112の横方向位置に関する少なくとも1つの情報項目を発生させるようにさらに設計され得る評価デバイス150へ送信され得る。この目的のために、評価デバイス150は、センサ信号を評価するために、横方向評価ユニット162によって象徴的に示されている(「z」によって示されている)1つまたは複数の電子デバイスおよび/または1つまたは複数のソフトウェア構成要素をさらに含み得る。したがって、さらに評価ユニット152、162によって導出される結果を組み合わせることによって、位置情報164、好ましくは、3次元の位置情報が、発生され得る(ここでは、「x、y、z」によって象徴的に示されている)。
光学検出器110は、直線ビーム経路もしくは傾斜ビーム経路、角度の付いたビーム経路、分岐ビーム経路、偏向もしくは分割ビーム経路、または、他のタイプのビーム経路を有することが可能である。さらに、光ビーム132は、一方向または二方向に、一回または反復して、それぞれのビーム経路または部分的なビーム経路に沿って伝播することが可能である。それによって、上記に列挙されている構成要素、または、さらに詳細に下記に列挙されている任意のさらなる構成要素は、完全にまたは部分的に、縦方向光学センサ114の前におよび/または縦方向光学センサ114の後ろに位置することが可能である。
図2Aおよび図2Bは、とりわけ、縦方向光学センサ114の中に使用するための容量性デバイス134の好適な例の例示的なセットアップの断面を、極めて概略的な方式でそれぞれ図示している。図2Aに示されているように、容量性デバイス134は、光学的に透明な第1の電極166を有している。好ましくは、容量性デバイス134は、光学的に透明な第1の電極166が、変調された入射光ビーム132に向けて位置し得るように配置され得る。光学的に透明な第1の電極166は、1つまたは複数の透明導電性酸化物168(TCO)、とりわけ、インジウムがドープされた酸化スズ(ITO)の層を含むことが可能である。しかし、他の種類の光学的に透明な材料、例えば、フッ素がドープされた酸化スズ(FTO)、または、アルミニウムがドープされた酸化亜鉛(AZO)が、また、この目的のために適切であり得る。最小の光学的に透明な酸化物168を使用するが、光学的に透明な第1の電極166を依然として機械的に安定な状態に維持することができるように、光学的に透明な酸化物168は、好ましくは、コーティング方法または蒸着方法などのような、堆積方法を使用することによって、光学的に透明な基板170の上に、とりわけ、ガラス基板172の上に設置され得る。代替的に、石英基板、または、光学的に透明であるが電気絶縁性のポリマー、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)などを含む基板が、また、この目的のために使用され得る。
さらに、容量性デバイス134は、第2の電極174を有しており、第2の電極174は、光学的に不透明になっていることが可能であり、したがって、変調された光ビーム132がここで反射されることを可能にする。したがって、容量性デバイス134は、光学的に不透明な第2の電極174が、変調された入射光ビーム132から離れて位置し得るように配置され得る。しかし、他の実施形態では、第2の電極174は、また、変調された入射光ビーム132に関して、少なくとも部分的に透明になっていることが可能である。
縦方向光学センサ114を提供するために、第2の電極174は、この特定の実施形態では、金属電極176、例えば、銀(Ag)電極、プラチナ(Pt)電極、金(Au)電極、アルミニウム(Al)電極、またはモリブデン(Mo)電極などを含むことが可能である。しかし、他の種類の金属も利用可能であり得る。好ましくは、金属電極176は、基板の上に堆積され得る金属の薄い層、例えば、さらなる層などを含むことが可能である。
横方向光学センサ160を提供するために、第2の電極174は、電荷が実際に発生されて、合理的に、入射光ビームがセンサ領域130に衝突した位置として考えられ得る位置を決定することを可能にするように適合され得る、低い電気伝導性の電極を含むことが可能である。この目的のために、第2の電極174は、追加的に、少なくとも1つのスプリット電極を装備していることが可能である。さらなる詳細に関して、下記の図9Aの説明が参照され得る。
さらに、本発明による容量性デバイス134は、第1の電極166と第2の電極174との間の介在媒体として位置している誘電材料の形態で提供され得る絶縁層178を含む。しかし、絶縁層178は、代替的にまたはそれに加えて、ダイオードまたは接合部を有する配置などのような、電気絶縁性構成要素(ここでは示されていない)の形態で提供され得る。第1の電極166と第2の電極174との間に誘電的特性を有する絶縁層178を適用することは、とりわけ有利である可能性がある。その理由は、それが、第1の電極166および第2の電極174が直接的な電気的接触を実現することを防止し、したがって、第1の電極166と第2の電極174との間の短絡を回避することが可能であるからである。加えて、絶縁層178の誘電率に応じて、第1の電極166と第2の電極174との間の絶縁層178は、さらに、その電極同士の間に位置する真空を有することとなる容量性デバイスと比較して、所与の電圧において、容量性デバイス134の中に増加した量の電荷を貯蔵することを可能にすることができる。
図2Aの例示的な実施形態では、絶縁層178は、入射光ビーム132が絶縁層178を少なくとも部分的に横断することを可能にするために、光学的に少なくとも部分的に透明な絶縁層である。したがって、絶縁層178は、好ましくは、所定の透過率を示すことが可能であり、透過率は、入射光ビーム132のスペクトル範囲にわたって、入射光ビーム132の照射パワーを可能な限り小さく減少させることが可能であり得る。この文献の中の他の場所でより詳細に説明されているように、光学的に少なくとも部分的に透明な特性を示すことができる絶縁層178は、好ましくは、とりわけ、酸化アルミニウムAlまたは二酸化ジルコニウムZrOの層を含む、透明な金属酸化物となるように選ばれ得る。しかし、他の種類の材料も絶縁層178に関して使用され得る。
絶縁層178に加えて、本発明による容量性デバイス134は、追加的に、変調された入射光ビーム132の影響を受けやすい少なくとも1つの材料を含む、少なくとも1つの感光性層180を有している。この文献の中の他の場所で説明されているように、変調された入射光ビーム132による感光性層180の照射のときに、所定の量の電荷キャリアが、感光性層180の中に発生され、この方式で発生される電荷キャリアの量は、感光性層180の照射、および、変調された入射光ビーム132の変調の周波数に依存している。本明細書では、変調された入射光ビーム132は、交互の方式で電荷キャリアを発生させることができる交互の光ビームとして考えられ得、したがって、容量性デバイス134の中に交流電流(ac)を生じさせる。結果として、ここで説明されているような感光性層180を有する容量性デバイス134は、センサ領域130の照射、および、変調された入射光ビーム132の変調の周波数の両方に応じて、縦方向光学センサ114が少なくとも1つのac縦方向センサ信号を発生させることを可能にする。したがって、容量性デバイス134を含む検出器110は、FiP効果を示し、それは、容量性デバイス134によって提供される縦方向センサ信号が、したがって、変調された入射光ビーム134が縦方向光学センサ114のセンサ領域130として感光性層180の上に焦点を合わせられているときに減少するac光電流の形態になっていることが可能であるということを意味している。この文献の中の他の場所でより詳細に説明されているように、例えば、図3A、図3B、図4A、図5A、図5B、図6A、図7A、図7B、図9A、図10A、図10B、もしくは図10Cのいずれか1つ、または、それらの組合せの中に概略的に示されているような実施形態の中などにより詳細に説明されているように、感光性層180は、さまざまな構成を使用することによって実装され得る。
図2Aとは対照的に、図2Bに示されているような容量性デバイス134の例示的な実施形態では、変調された入射光ビーム132は、第1の透明な電極166を横断した後に、絶縁層178に到達し得る前に、最初に感光性層180に衝突する。結果的に、絶縁層178は、この特定の実施形態では、追加的に、入射光ビーム132を感光性層180の中へ反射することができ、したがって、感光性層180の中の光の強度を増加させることが可能である不透明な絶縁層である得るか、または、それを含み得る。しかし、絶縁層178は、それにもかかわらず、透明な絶縁層であり得るか、または、それを含み得、その場合には、入射光ビーム132が、隣接する第2の電極174によって感光性層180の中へ反射され得、それによって、同等の利点を提供することができる。したがって、図2Bに示されているような配置は、絶縁層178に関して、より幅広い範囲の材料を使用することを可能にすることができる。
図3Aおよび図3Bは、とりわけ、縦方向光学センサ114の中で使用するための、容量性デバイス134の第1の例示的な実施形態のセットアップの好適な例の断面を概略的にそれぞれ図示しており、一方、図3Cから図3Nは、それにしたがって配置されているような容量性デバイス134に関して取得される実験結果を提供している。
図3Aおよび図3Bによれば、容量性デバイス134の第1の例示的な実施形態は、ガラス基板172を含み、ガラス基板172は、図3Aの例では、インジウムがドープされた酸化スズ(ITO)を含み、図3Bの例では、フッ素がドープされた酸化スズ(FTO)を含む透明導電性酸化物(TCO)168の層によってコーティングされている。しかし、両方の材料が、また、両方の例において使用され得る。代替的に、アルミニウムがドープされた酸化亜鉛(AZO)の層、または、別のTCOの層が、また、透明導電性酸化物168として使用され得る。ガラス基板172に対する代替例として、石英基板、または、光学的に透明な電気絶縁性のポリマー、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)などを含む基板も実行可能であり得る。
さらに、第1の例示的な実施形態における容量性デバイス134は、絶縁層178として、おおよそ120nmの厚さを有する薄い絶縁性の酸化アルミニウム(Al)層を含み、Al層は、この例では、おおよそ200℃において、ITOコーティングされたガラス基板172の上に直接的に原子層堆積(ALD)を適用することによって提供されている。より詳細に下記に実証されることとなるように、1nmから1000nmの厚さでも、好ましくは、10nmから250nmの厚さでも、とりわけ、20nmから150nmの厚さでも、優れた絶縁特性を示すことが見出されたAl(ALD)層は、感光性層180として適切な材料を追加的に使用することによって、光活性キャパシターの簡便な準備を可能にすることができる。
この目的のために、容量性デバイス134は、薄い絶縁性のAl(ALD)層に加えて、容量性デバイス134の中の感光性層180として作用する、ナノ粒子状の硫化鉛(np-PbS)の層を含む。代替的に、ナノ粒子状の硫化鉛は、「PbSナノ粒子」として、または、「PbS量子ドット」(「PbS-QD」と略される)としても命名され得る。この特定の例では、感光性層180は、np-PbSを含み、そのPbSナノ粒子は、8nmの粒子サイズにおいて最大を有する狭い粒子サイズ分布と組み合わせられた球形の形状を示した。これらの種類のPbSナノ粒子は、放出時に1000nmから1600nmの赤外線波長範囲をカバーすることが知られており、ナノ粒子の吸収特性は、それらの粒子サイズによって決定され、8nmの粒子サイズが、1550nmの辺りで吸収を実現することが予期される。np-PbSは、スピンコーティングによってオクタンの中の懸濁液から堆積された(オクタンの中の50mg/mlのnp-PbS、4000rpmにおいてスピンキャストされた)。
感光性層180の中に発生される電荷キャリアを、感光性層180の中のそれらの発生の場所から、隣接する金属電極176へ輸送することを促進させるために、図3Bに図示されているようなさらなる例では、容量性デバイス134は、とりわけこの目的のために構成されている電荷キャリア輸送層182をさらに含む。この実施形態では、電荷キャリア輸送層182は、酸化モリブデン(MoO)の正孔輸送層を含む。したがって、おおよそ200nmの銀(Ag)の薄い層を薄いMoO層の上に堆積させる前に、おおよそ15nmのMoOの薄い層がnp-PbS感光性層180の上に堆積された。電荷キャリア輸送層182に関して、可能な材料の代替例は、酸化ニッケル(NiO)、ポリ-3,4-エチレンジオキシ-チオフェン(PEDOT)、好ましくは、少なくとも1つの対イオンが電気的にドープされたPEDOT、より好ましくは、ナトリウムポリスチレンスルホネートがドープされたPEDOT(PEDOT:PSS)、ポリアニリン(PANI)、またはポリチオフェン(PT)であることが可能である。さらなる代替例として、電荷キャリア抽出層(ここでは示されていない)が、また、感光性層180の中に発生される電荷キャリアをそれらの発生の場所から電極へ輸送することを促進させるために実行可能であり得る。
結果として、変調された入射光ビーム132は、図3Aおよび図3Bの両方の例による第1の実施形態の容量性デバイス134を含む検出器110の中の感光性層180の中の電荷キャリアとして、正孔を発生させることが可能であり、電荷キャリアの量は、np-PbS層の中の光ビーム132のビーム断面、および、変調された入射光ビーム132の変調周波数の両方とともに変化することが可能である。最初の効果は、図3Cに示されているように、対象物112までのセンサ領域130の距離d(mmで示されている)による交流(ac)光電流I(nAで示されている)の変化に見ることが可能であるが、後者の効果は、変調された入射光ビーム132の変調周波数(Hzで示されている)によるac光電流I(nAで示されている)の変化を表示する図3Dに図示されている。結果的に、この例示的な実施形態による容量性デバイス134は、衝突する光スポットのサイズの変化による、抽出されたac光電流Iの強力な非線形の挙動(「FIP効果」として示される)を示す。
フォトダイオードまたは光伝導体に基づく公知のFIPデバイスとは対照的に(そこでは、入射光ビーム132の変調周波数の増加に伴って、FIP信号の減少が、典型的に観察され得る)、図3Bの例に関して図3Dにしたがって記録されるようなFIP信号の周波数応答は、FIP信号に関する最大値が1kHzから5kHzの辺りの領域において実現されるまで、変調周波数の増加とともに最初に増加し、それから、入射光ビーム132の変調周波数のさらなる増加に対して、FIP信号は減少する。入射光ビーム132の変調周波数の増加に伴うFIP信号の初期の増加は、本発明による縦方向光学センサ114によって含まれるような容量性デバイス134の容量性性質に帰する可能性がある。
さらに、図3Eは、図3Bの例による容量性デバイス134の電流対電圧の特徴付けを表示している。本明細書では、光電流Iの密度j(mA/cmで示されている)の変化が、容量性デバイス134を横切って印加されるような電圧U(Vで示されている)の変化に関して示されている。したがって、入射光子密度とac光電流Iとの間の顕著な非線形性が、この例示的な実施形態において観察され得、一方、直流(dc)光電流は、無視できるということが見出された。上記に述べられているように、光電流Iは、dc光条件において検出されることができないが、一方、変調された光は、感知できるほどの光電流Iを生み出す。
同様に、図3Fは、1つの太陽白色光照射においてシミュレートされた図3Aおよび図3Bによる両方の例に関する電流対電圧の特徴付けの比較を表示している。本明細書では、感知できるほどのdc光電流Iは、短絡条件において検出されず、したがって、電流密度jの消滅にもつながる。Ag電極だけを備えた図3Aの例の中の並列抵抗は、MoO電荷キャリア輸送層182およびAg電極(0.4MΩ)の両方を備えた図3Bの例と比較して、かなり大きくなっている(3.4MΩ)。さらに、図3Gから図3Iに提示されているような実験結果を取得するために、発光ダイオード(LED)140が、850nmの波長、375Hzの変調周波数、および165μWの照射パワーにおいて動作された。50mm対物レンズが、LED140まで83cmの距離において用いられた。焦点の合った状態184と比較して(焦点の合った状態184では、焦点がセンサ領域130の中に位置している)、焦点の合っていない状態186は、LED140を約12.5mm移動させることによって取得された。
とりわけ、図3Gは、図3Aおよび図3Bの両方の例に関して、対象物までのセンサ領域130の距離d(mmで示されている)による、交流(ac)光電流I(nAで示されている)の変化の比較を図示している。さらに、図3Hおよび図3Iは、それぞれ、図3Aの例(図3H)および図3Bの例(図3I)に関して、焦点の合った状態184および焦点の合っていない状態186の両方に関して、変調された入射光ビーム132の変調周波数(Hzで示されている)による、ac光電流I(nAで示されている)の変化の比較をそれぞれ表示している。
さらに、図3Jは、図3Aおよび図3Bの両方の例に関して、850nmの波長および3777Hzの変調周波数でLED140を動作させることによって実現されたFIP信号の最大値において、対象物までのセンサ領域130の距離d(mmで示されている)による、交流(ac)光電流I(nAで示されている)の変化の比較を示している。
さらに、図3Kから図3Mに提示されているような実験結果を取得するために、LED140が、1550nmの波長、375Hzの変調周波数、および未知の照射パワーで動作された。50mm対物レンズが、LED140まで20.5cmの距離において用いられた。繰り返しになるが、その後、焦点の合った状態184に関してLED140を約12.5mm移動させることによって、焦点の合っていない状態186が取得された。
とりわけ、図3Kは、図3Aおよび図3Bの両方の例に関して、対象物までのセンサ領域130の距離d(mmで示されている)による、交流(ac)光電流I(nAで示されている)の変化の比較を図示している。さらに、図3Lおよび図3Mは、それぞれ、図3Aの例(図3L)および図3Bの例(図3M)に関して、焦点の合った状態184および焦点の合っていない状態186の両方に関して、変調された入射光ビーム132の変調周波数(Hzで示されている)による、ac光電流I(nAで示されている)の変化の比較をそれぞれ表示している。
さらに、図3Nは、図3Aおよび図3Bの両方の例に関して、1550nmの波長および3777Hzの変調周波数でLED140を動作させることによって実現されたFIP信号の最大値において、対象物までのセンサ領域130の距離d(mmで示されている)による、交流(ac)光電流I(nAで示されている)の変化の比較を示している。
図4Aは、とりわけ、縦方向光学センサ114の中で使用するための、容量性デバイス134の第2の好適な例示的な実施形態の断面を概略的に図示しており、一方、図4Bから図4Gは、この実施形態による配置を示す容量性デバイス134に関して取得される実験結果を提供している。
図4Aによる容量性デバイス134の第2の例示的な実施形態は、繰り返しになるが、インジウムがドープされた酸化スズ(ITO)を含む透明導電性酸化物(TCO)168の層によってコーティングされたガラス基板172を含む。上記に述べられているように、フッ素がドープされた酸化スズ(FTO)の層、アルミニウムがドープされた酸化亜鉛(AZO)の層、または別のTCOの層が、代替的に、ガラス基板172をコーティングする透明導電性酸化物168として使用され得、または、代替例として、石英基板、または、光学的に透明な電気絶縁性のポリマー、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)として使用され得る。
図3Aおよび図3Bの例示的な実施形態とは対照的に、図4Aの第2の例示的な実施形態における感光性層180は、より複雑な構造を有する異なる配置を示している。本明細書では、感光性層180は、2つの個々の光伝導性層188、188’を含み、2つの個々の光伝導性層188、188’の間の境界は、入射光ビーム132による照射のときに、電荷キャリアを発生させるように適合された接合部190を形成している。図4Aに示されているように、2つの個々の光伝導性層188、188’は、おおよそ300℃における堆積によって提供される硫化カドミウム(CdS)およびテルル化カドミウム(CdTe)を含む。しかし、他の種類の適切な光伝導性材料が、また、本発明の目的のために使用され得る。
感光性層180の中に発生される電荷キャリアを、2つの個々の光伝導性層188、188’によって提供される接合部190の中のそれらの発生の場所から、隣接する電極(ここでは、インジウムがドープされた酸化スズ(ITO)を含む透明導電性酸化物(TCO)168を例示的に含む)へ輸送することを促進させるために、図4Aの実施形態における容量性デバイス134は、とりわけ、この目的のために構成された電荷キャリア輸送層182をさらに含む。入射光ビーム132が接合部190に衝突することを可能にするために、図4Aに示されているような実施形態における電荷キャリア輸送層182が、入射光ビーム132に対して少なくとも部分的に透明であり得ることが有利であり得るので、電荷キャリア輸送層182は、したがって、透明な材料、好ましくは、透明な酸化物、とりわけ、二酸化スズ(SnO)を含むことが可能である。準備の間に、ITO層の上に堆積されているSnOは、約45分にわたって、おおよそ400℃で、塩化カドミウム(CdCl)を伴う処理によって活性化された。しかし、適切な電荷キャリア輸送および光学的な特性を示す他の種類の材料、ならびに、この層を発生させるための他の生産方法も利用可能であり得る。
さらに、第2の例示的な実施形態における容量性デバイス134は、また、絶縁層178として、おおよそ80nmの厚さを有する薄い絶縁性の酸化アルミニウム(Al)層を含み、Al層は、この例では、おおよそ60℃の温度において、CdS層の上に直接的に低温原子層堆積(ALD)を適用することによって提供されている。
さらに、この実施形態では、容量性デバイス134は、第2の電極174として金属電極176を含む。本明細書では、おおよそ200nmの銀(Ag)の薄い層が、薄い絶縁性の酸化アルミニウム(Al)層感光性層180の上に堆積された。上記に述べられているように、プラチナ(Pt)、金(Au)、またはアルミニウム(Al)が、また、第2の電極174の中の代替的な電極材料として、ここで使用され得る。
結果として、この実施形態の容量性デバイス134は、Ag電極176、薄い絶縁性のAl(ALD)層178、およびCdTe感光性層180を含む金属-絶縁体-半導体(MIS)デバイス192を構成している。図4Bから図4Gに示されているように、衝突する光スポットのサイズの変化による、ac光電流Iの強力な非線形の挙動が観察され得、したがって、この第2の例示的な実施形態による容量性デバイス134の中のFIP効果の発生の明確な証拠を提供する。
図4Bから図4Eは、対象物112までのセンサ領域130の距離d(mmで示されている)の関数として、この第2の実施形態の容量性デバイス134を含む検出器110の光電流I(nAで示されている)をそれぞれ図示しており、それぞれの曲線は、対応する図に示されているようなプリセット電流に関して、光電流Iの変化を表しており、それぞれのプリセット電流は、対応する容量性デバイス134の感光性層180を照射するために提供されているLED140を動作させるために使用される。変調された入射光ビーム132に関する変調周波数が、図4Bから図4Eのすべての中で、375Hzとして選ばれた。図4Bおよび図4Cに表示されているような曲線を記録するために、660nmの波長がLED140によって提供される一方、LED140は、図4Dおよび図4Eに示されているような曲線を獲得するために、850nmの波長を提供した。図4Bおよび図4Dに表示されているような曲線は、むき出しのLED140を使用して記録される一方、それぞれ図4Cおよび図4Eに示されているような曲線を記録するためにディフューザーディスクが用いられた。本明細書では、ディフューザーディスクは、より低い照射パワーにおいて、センサ領域130の中により大きい光スポットを有することを可能にするように適合されており、したがって、センサ領域130の上に映し出されるときに、より低い集中度の照射を結果として生じさせる。
さらに、図4Fおよび図4Gは、焦点の合った状態184と焦点の合っていない状態186との間で、変調された入射光ビーム132の変調周波数(Hzで示されている)による、ac光電流I(μAで示されている)の変化の比較をそれぞれ表示している。本明細書では、焦点の合っていない状態186は、LED140を焦点から約12mm移動させることによって取得され、LED140は、焦点の合った状態184において、50mm対物レンズから約82cm離れて位置している。本明細書では、図4Fにおける曲線は、660nmの波長において記録され、一方、図4Gにおける曲線は、850nmの波長において記録される。
図5Aおよび図5Bは、とりわけ、縦方向光学センサ114の中で使用するための、容量性デバイス134の第3の例示的な実施形態の好適な例の断面を概略的にそれぞれ図示しており、一方、図5Cから図5Iは、同様の材料であるが発散構成を有する材料を使用する太陽電池配置と比較して、この実施形態による配置を示す容量性デバイス134に関して取得される実験結果を提供している。
この特定の実施形態の両方の例では、金属電極176が、基板170の上に配置され得る不透明なモリブデン(Mo)電極として提供されており、基板も不透明な光学的な特性を示すことが可能である。しかし、この文献の中の他の場所で説明されているように、ガラス基板などのような透明な基板を用いることも実行可能であり得る。
図4Aに示されているような容量性デバイス134の第2の例示的な実施形態と同様に、図5Aおよび図5Bの第3の例示的な実施形態は、それぞれが硫化カドミウム(CdS)の層および銅亜鉛スズ硫化物(CZTS)の層を含む2つの個々の光伝導性層188、188’の間の境界によって形成される接合部190を含む。したがって、CZTS層は、図4Aによる実施形態のCdTeに取って代わるものとして考えられ得る。CZTSに対する代替例として、セレン化銅亜鉛スズ(CZTSe)、対応する硫黄-セレン合金CZTSSe、または、さらなる四元カルコゲニド光伝導性I-II-IV-VI化合物が、この目的のために適用され得る。さらなる代替例は、セレン化銅インジウムガリウム(CIGS)、または、薄膜の太陽電池吸収体層として知られる他のカルコゲニド光伝導体を含むことが可能である。
図4Aによる容量性デバイス134の第2の例示的な実施形態と同様に、薄いAl層(それは、好ましくは、おおよそ70nmの厚さを有することが可能である)が、繰り返しになるが、図5Aに概略的に示されているように、絶縁体層178として使用される。図5Bは、絶縁体層178に関する代替例を示しており、そこでは、重なり合って提供される個別のZrO層および個別のAl層を含むダブル層が適用された。本明細書では、両方の個々の層のそれぞれは、おおよそ70nmの厚さを示した。加えて、両方の個々の層は、高い透明性を示しており、したがって、入射光ビーム132が感光性層180の中の接合部190に到達することを可能にする。しかし、絶縁体層178として使用される個々の層およびその厚さの他の種類の組合せも実行可能であり得る。
図5Aおよび図5Bによる容量性デバイス134は、図2A、図2B、図3A、図3B、図4A、図6A、図7A、図7B、図10A、図10B、または図10Cの実施形態とは対照的に、この特定の実施形態では、上部接触電極として設計される第1の電極166としてITOの堆積によって仕上げられ得る。しかし、図5Aおよび図5Bによる容量性デバイス134の第3の例示的な実施形態における第1の電極166は、底部接触電極としても提供され得、一方、この配置が、依然として入射光ビーム132が感光性層180に到達することを可能にすることができ得るという条件で、他の実施形態における第1の電極166は、上部接触電極としても指定され得る。
図5Cから図5Iから導出され得るように、図5Aおよび図5Bの両方の例による第3の実施形態の容量性デバイス134を含む検出器110は、衝突する光スポットのサイズの変化による、ac光電流Iの強力な非線形の挙動を示し、したがって、FiP効果を作り出す。とりわけ図5Cから図5Gに示されているように、FiP効果は、入射光ビーム132の低い光強度においても重要である。それとは対照的に、最適化された光起電性能のためにフォトダイオードの形態で提供されているCZTSベースの太陽電池194は、圧倒的にかなり大きい光強度において、マイナスのFiP効果を示すことが証明された。本明細書では、第3の実施形態の容量性デバイス134と太陽電池基準デバイスとしての太陽電池194との間の特定の差は、容量性デバイス134が絶縁層178を含むが、太陽電池194には絶縁層178がないということにある。加えて、太陽電池194におけるFiP効果は、検出器110の焦点の周りの狭い範囲のみで観察可能であり得る。図5Cから図5Iの中のデータは、50mm対物レンズによって焦点を合わせられた、むき出しのLED140によって提供される660nmの波長の赤色光によって取得された。
図5Cは、0,36μWの低い強度の入射光ビーム132においても、感知できるほどのFiP効果が、第3の実施形態の容量性デバイス134の中に観察され得るが、一方、それとは対照的に、CZTSベースの太陽電池194は、同じ強度において、感知できるほどのFiP効果を示さなかったということを図示している。本明細書では、LED140に印加される電流レベルは、容量性デバイス134および基準太陽電池194の両方に関して同等であった。
図5Dおよび図5Eは、20.6μWへの入射光ビーム132の強度の増加に伴って、FiP応答はより広くなり、したがって、容量性デバイス134の電流レベルと基準として使用されるCZTSベースの太陽電池194との間の不一致が広がるということを示している。本明細書では、375Hzにおける光電流I応答は、それぞれ、図5Dでは、絶対的な数として提供されており、図5Eでは、最大値に対して正規化されたものとして提供されている。
図5Fおよび図5Gは、恐らく極めて広いマイナスのFiPが原因で、容量性デバイス134が、1.54mWにおける高い強度の入射光ビーム132で、非常に低い光電流レベルを示すということを図示している。同じ強度レベルにおいて、CZTSベースの太陽電池194におけるマイナスのFiP効果は、同様に、かなりの応答を提供する。375Hzにおける光電流I応答は、それぞれ、図5Fでは、絶対的な数として提供されており、図5Gでは、最大値に対して正規化されたものとして提供されている。
1.54mWでの高い強度の入射光ビーム132における変調された光電流Iのスペクトル応答は、同様に、図5Hでは、絶対値として提供されており、図5Iでは、最大値に対して正規化されたものとして提供されている。CZTSベースの太陽電池194は、およそ10Hzとおよそ10kHzとの間で広くてほとんど一定の周波数応答を示しているが、容量性デバイス134は、1kHzの上方において顕著なピークを示し、その容量性挙動を実証している。
図6Aは、とりわけ、縦方向光学センサ114の中で使用するための、容量性デバイス134の第4の例示的な実施形態の好適な例の断面を概略的に図示しており、一方、図6Bから図6Eは、この種類の配置を示す容量性デバイス134に関して取得される実験結果を提供している。
図6Aによれば、容量性デバイス134の第4の例示的な実施形態のこの例は、ガラス基板172の上に位置しているFTO電極168が第1の電極166として作用し、一方、第2の電極174がおおよそ60℃の温度で低温原子層堆積(ALD)によって取得されるAlのおおよそ90nm厚さの絶縁層178の上に堆積された金(Au)電極176を含む配置を示す。
さらに、本明細書で提示されているような他の実施形態とは対照的に、感光性層180は、ここでは、半導体吸収体層196、とりわけ、おおよそ500nmの厚さを有する水素化アモルファスシリコン(a-Si:H)吸収体層を含む。したがって、結果として、この実施形態の容量性デバイス134は、繰り返しになるが、Au電極176、薄い絶縁性のAl(ALD)層178、および、アモルファスシリコン(a-Si:H)の感光性層180を含む金属-絶縁体-半導体(MIS)デバイス192を構成する。とりわけ図6Bから図6Eに示されているように、容量性デバイス134のこの特定の実施形態は、繰り返しになるが、衝突する光スポットのサイズの変化による、光電流Iの強力な非線形の挙動を示しており、したがって、FIP効果の証拠を提供している。図6Bから図6Eの中のデータは、50mm対物レンズを使用することによって記録され、それによって、LED140から対物レンズの間の距離が、0.8mに調節された。
図6Bおよび図6Cは、衝突する光スポットのサイズの変化によるac光電流Iの強力な非線形の挙動を表示することによって、容量性デバイス134の第4の実施形態を含む検出器110のサンプルにおけるFiP効果の発生を図示している。特徴付けの目的のために、LED140は、375Hz変調周波数で、660nmの波長で放出し、これによって、デューティーサイクルは、50%に達した。図6Bは、LED140の前に据え付けられた15mmの直径を有するディフューザーディスクの適用による結果を示しており、一方、図6Cは、ディフューザーディスクを適用することなしに、むき出しのLED140を使用することによって取得された対応する結果を表示している。
図6Dおよび図6Eは、上述の50mm対物レンズを使用することによって取得される焦点の合った状態184と焦点の合っていない状態186との間で、660nmの波長における光応答の差を、変調された入射光ビーム132の変調周波数を関数として図示しており、しかし、光スポットは、依然として、センサ領域130の50%超を呈した。図6Dでは、15mmの直径を有するディフューザーディスクが使用され、したがって、照射パワーは4.23μWになったが、図6Eでは、ディフューザーディスクが適用されず、おおよそ459μWの照射パワーを結果として生じさせた。
図7Aおよび図7Bは、とりわけ、縦方向光学センサ114の中で使用するための、容量性デバイス134の第5の例示的な実施形態の好適な例の断面を概略的にそれぞれ図示しており、一方、図7Cから図7Iは、この実施形態による配置を示す容量性デバイス134に関して取得される実験結果を提供している。
本明細書では、図7Aに示されているような容量性デバイス134の例は、図3Bに示されているような容量性デバイス134の例と同様である。したがって、ガラス基板172の上に位置しているITO電極168は、第1の電極166として作用し、おおよそ200℃の温度において原子層堆積(ALD)によって取得されるAlの薄い絶縁層178が、例えば、300堆積サイクルを適用することなどによって、第1の電極166の上に堆積されている。さらに、第2の電極174は、電荷キャリア輸送層182の上に、とりわけ、おおよそ15nmMoOの厚さを示す酸化モリブデン(MoO)の上記に説明されている正孔輸送層の上に堆積された、おおよそ200nm厚さの銀(Ag)電極176を含む。可能な材料の代替例に関して、図3Bの説明が参照され得る。
しかし、図3Bの例とは対照的に、容量性デバイス134の第5の例示的な実施形態による感光性層180は、有機感光性層198を有している。本明細書では、有機感光性層198は、好ましくは、特に、ドナードメインおよびアクセプタードメインの相互侵入ネットワーク、ドナードメインとアクセプタードメインとの間の界面エリア、および、ドメインを電極に接続するパーコレーション経路として、単一の層の中に配置され、それによって感光性層180の中にバルクヘテロ接合部を発生させる、少なくとも1つの電子ドナー材料および少なくとも1つの電子アクセプター材料を含む。
この特定の実施形態では、電子ドナー材料は、有機ドナーポリマーを含み、電子アクセプター材料は、フラーレンベースの電子アクセプター材料を含む。図7Aおよび図7Bの両方において、使用される有機ドナーポリマーは、ポリ(3-ヘキシルチオフェン-2,5-ジイル)(P3HT)であり、一方、フラーレンベースの電子アクセプター材料は、[6,6]-フェニル-C61-酪酸メチルエステル(PCBM)である。しかし、より詳細に上記に述べられているように、他の種類の電子ドナー材料および/または電子アクセプター材料は、また、本発明による容量性デバイス134の中で使用されることとなる有機感光性層198に関して、利用可能であり得る。とりわけ、50mg/mlP3HTおよび32mg/mlPCBMが、クロロベンゼンの中に溶解され、おおよそ3000rpmのスピン回転周波数を適用することによって鋳造され、それによって、溶液処理されたポリマー:フラーレン膜が、絶縁性のAl(ALD)層178の上に取得された。
代替例として、図7Bは、絶縁性のAl(ALD)層178を使用する代わりに、おおよそ500nmの厚さを有するポリエチレンイミンエトキシレート(PEIE)の膜を含む厚い層が適用された、容量性デバイス134の第5の例示的な実施形態のさらなる例を図示する。さらなる代替例として、絶縁層178は、とりわけ、ポリエチレンイミン(PEI)、2,9-ジメチル-4,7-ジフェニルフェナントロリン(BCP)、ポリ(ビニールアルコール)(PVA)、ポリ(メチルメタクリレート)(PMMA)、トリス-(8-ヒドロキシキノリン)アルミニウム(Alq3)、または(3-(4-ビ-フェニリル)-4-フェニル-5-(4-tert-ブチルフェニル)-1,2,4-トリアゾール)(TAZ)から選択される、少なくとも1つの透明な有機誘電材料を含む膜から選択され得る。
図7Cおよび図7Eは、衝突する光スポットのサイズの変化によるac光電流Iの強力な非線形の挙動を表示することによって、図7Aに表示されているような容量性デバイス134の実施形態を含む検出器110のサンプルにおけるFiP効果の発生を図示している。本明細書では、それぞれの曲線は、対応する図の中に示されているようなプリセット電流に関して、光電流Iの変化を表しており、それぞれのプリセット電流は、LED140を作動させるために使用される。結果として、マイナスのFiP応答が、低い光強度においても、常に取得される。さらに、図7Dおよび図7Fは、焦点の合った状態184および焦点の合っていない状態186において、変調された入射光ビーム132の変調周波数の変化によるac光電流Iを表示しており、焦点の合っていない状態186は、焦点から約12.5mm外すようにLED140を移動させることによって取得される。さらに、図7Gは、電流密度jを図示する容量性デバイス134のI-V特質を示しており、その特性は、公知のフォトダイオード構成と比較してdc電流が少なくとも2桁抑えられているがゆえに漏洩電流だけが観察され得るということを明らかにしている。
特徴付けの目的のために、ここで使用されるLED140は、375Hz変調周波数で、530nmの波長で放出した。図7Cおよび図7Dは、ディフューザーディスクを適用することなしに、むき出しのLED140を使用することによって、したがって、上記165μWの照射パワーを提供することによって取得される結果を示しており、一方、図7Eおよび図7Fは、LED140の前に据え付けられているディフューザーディスクの適用による、したがって、照射パワーを1.26μWまで低減させることによる、対応する結果を表示している。本明細書では、ディフューザーディスクは、より低い照射パワーにおいて、センサ領域130の中により大きい光スポットを有することを可能にするように適合されており、したがって、センサ領域130の上に映し出されるときに、より低い集中度の照射を結果として生じさせる。
さらに、図7Hおよび図7Iは、入射光ビーム132に関して850nmの波長で記録された図7Aに表示されているような容量性デバイス134の実施形態を含む検出器110のさらなるサンプルに関して、それぞれ、対象物までのセンサ領域130の距離の関数として、および、変調された入射光ビーム132の変調周波数の関数として、光電流を図示している。
図8は、図2A、図2B、図3A、図3B、図4A、図5A、図5B、図6A、図7A、または図7Bに示されている実施形態のうちの1つまたは複数の中に開示されているような容量性デバイス134、または、それらの組合せを含む光学検出器110などのような、少なくとも1つの光学検出器110を含む検出器システム200の例示的な実施形態を示している。本明細書では、光学検出器110は、イメージおよび/またはイメージシーケンス、例えば、デジタルビデオクリップなどを獲得するために作製され得るカメラ202として、具体的には、3Dイメージングのためのカメラ202として用いられ得る。さらに、図8は、少なくとも1つの検出器110および/または少なくとも1つの検出器システム200を含むヒューマンマシンインターフェース204の例示的な実施形態を示しており、さらに、そのヒューマンマシンインターフェース204を含むエンターテイメントデバイス206の例示的な実施形態を示している。図8は、上記検出器110および/または検出器システム200を含む、少なくとも1個の対象物112の位置をトラッキングするように適合されたトラッキングシステム208の実施形態をさらに示す。
光学検出器110および検出器システム200に関して、本出願の全開示が参照され得る。基本的に、検出器110のすべての考えられる実施形態が、また、図8に示されている実施形態の中に具現化され得る。評価デバイスは、とりわけ、信号リード線154によって、少なくとも2つの縦方向光学センサのそれぞれに接続され得る。上記に説明されているように、1つまたは複数の縦方向光学センサ114は、縦方向センサ信号を提供するために使用されている。評価デバイス150は、とりわけ、信号リード線154によって、少なくとも1つの任意の横方向光学センサ160にさらに接続され得る。例として、信号リード線154、および/または、無線インターフェースおよび/または結線インターフェースであり得る1つもしくは複数のインターフェースが提供され得る。さらに、信号リード線154は、センサ信号を発生させるための、および/または、センサ信号を修正するための、1つもしくは複数のドライバーおよび/または1つもしくは複数の測定デバイスを含むことが可能である。さらに、繰り返しになるが、少なくとも1つの伝送デバイス120が、とりわけ、屈折レンズ122または凸形ミラーとして提供され得る。光学検出器110は、例として、構成要素のうちの1つまたは複数を収納し得る少なくとも1つのハウジング118をさらに含むことが可能である。
さらに、評価デバイス150は、光学センサの中に、および/または、光学検出器110の他の構成要素の中に、完全にまたは部分的に一体化され得る。また、評価デバイス150は、ハウジング118の中に、および/または、別々のハウジングの中に囲まれ得る。評価デバイス150は、センサ信号を評価するために、縦方向評価ユニット152(「z」によって示されている)および横方向評価ユニット162(「x y」によって示されている)によって象徴的に示される1つもしくは複数の電子デバイスおよび/または1つもしくは複数のソフトウェア構成要素を含み得る。これらの評価ユニットによって導出される結果を組み合わせることによって、位置情報164、好ましくは、3次元の位置情報が、発生され得る(「x y z」によって示されている)。
少なくとも1つの任意の横方向光学センサ160が、好ましくは、図9の例示的な実施形態において以下に図示されているような構成の中に提供され得る。しかし、例えば、公知のPSD、とりわけ、例えば、WO2012/110924A1またはWO2014/097181A1に開示されているような光検出器、または、例えば、WO2016/120392A1に開示されているような光伝導体などを使用することなどによって、他の構成も実行可能であり得る。しかし、横方向光学センサ160の他のセットアップも実行可能であり得る。
さらに、光学検出器110および/または検出器システム200は、さまざまな方式で構成され得るイメージングデバイス210を含むことが可能である。したがって、図8に示されているように、イメージングデバイスは、例えば、検出器ハウジング118の中の検出器110の一部であることが可能である。本明細書では、イメージングデバイス信号は、1つまたは複数の信号リード線154によって、検出器110の評価デバイス150へ送信され得る。代替的に、イメージングデバイス210は、検出器ハウジング118の外側に別々に位置することが可能である。イメージングデバイス210は、完全にまたは部分的に、透明または不透明になっていることが可能である。イメージングデバイス210は、有機イメージングデバイスもしくは無機イメージングデバイスであることが可能であり、または、これらを含むことが可能である。好ましくは、イメージングデバイス210は、ピクセルの少なくとも1つのマトリックスを含むことが可能であり、ここで、ピクセルのマトリックスは、とりわけ、無機半導体センサデバイス、例えば、CCDチップおよび/またはCMOSチップなど;有機半導体センサデバイスからなる群から選択され得る。
例示的な実施形態では、図8に示されているように、例として、検出されることとなる対象物112は、スポーツ用品として設計され得、および/または、制御エレメント212を形成することが可能であり、制御エレメント212の位置および/または配向は、ユーザ214によって操作され得る。したがって、一般的に、図8に示されている実施形態において、または、検出器システム200、ヒューマンマシンインターフェース204、エンターテイメントデバイス206、またはトラッキングシステム208の任意の他の実施形態において、対象物112自身は、上述のデバイスの一部であることが可能であり、また、具体的には、少なくとも1つの制御エレメント212を含むことが可能であり、具体的には、少なくとも1つの制御エレメント212は、1つまたは複数のビーコンデバイス216を有しており、制御エレメント212の位置および/または配向は、好ましくは、ユーザ214によって操作され得る。例として、対象物112は、バット、ラケット、クラブ、または、任意の他のスポーツ用品および/もしくは擬似スポーツ用品のうちの1つまたは複数であることが可能であり、または、それらを含むことが可能である。他のタイプの対象物112も可能である。さらに、ユーザ214は、対象物112として考えられ得、その位置は、検出されるべきである。例として、ユーザ214は、自分の身体に直接的にまたは間接的に取り付けられているビーコンデバイス216のうちの1つまたは複数を担持することが可能である。
光学検出器110は、ビーコンデバイス216のうちの1つまたは複数の縦方向位置に関する少なくとも1つの情報項目、および、任意に、その横方向位置に関する少なくとも1つの情報項目、および/または、対象物112の縦方向位置に関する少なくとも1つの他の情報項目、および、任意に、対象物112の横方向位置に関する少なくとも1つの情報項目を決定するように適合され得る。とりわけ、光学検出器110は、色を識別するように適合され得、および/または、対象物112、例えば、対象物112の異なる色など、さらに具体的には、異なる色を含み得るビーコンデバイス216の色をイメージングするように適合され得る。ハウジングの中の開口部は、好ましくは、検出器110の光学軸に関して同心円状に位置することが可能であり、開口部は、好ましくは、光学検出器110の視線の方向を画定することが可能である。
光学検出器110は、少なくとも1個の対象物112の位置を決定するために適合され得る。追加的に、光学検出器110、具体的には、カメラ202を含む実施形態は、対象物112の少なくとも1つのイメージ、好ましくは、3Dイメージを獲得するために適合され得る。上記に概説されているように、光学検出器110および/または検出器システム200を使用することによって、対象物112および/またはその一部の位置を決定することは、少なくとも1つの情報項目をマシン218に提供するためのヒューマンマシンインターフェース204を提供するために使用され得る。図8に概略的に示されている実施形態では、マシン218は、データ処理デバイス158を含む少なくとも1つのコンピュータおよび/またはコンピュータシステムであることが可能であり、または、それらを含むことが可能である。他の実施形態も実行可能である。評価デバイス150は、コンピュータ156であることが可能であり、および/または、コンピュータ156を含むことが可能であり、および/または、別々のデータ処理デバイス158として完全にまたは部分的に具現化され得、および/または、マシン218の中に、とりわけ、コンピュータの中に、完全にまたは部分的に一体化され得る。同じことが、評価デバイス150および/またはマシン218の一部を完全にまたは部分的に形成し得る、トラッキングシステム208のトラックコントローラ220にも当てはまる。
同様に、上記に概説されているように、ヒューマンマシンインターフェース204は、エンターテイメントデバイス206の一部を形成することが可能である。したがって、対象物112として機能するユーザ214によって、および/または、対象物112を扱うユーザ214によって、および/または、対象物112として機能する制御要素212によって、ユーザ214は、少なくとも1つの情報項目、例えば、少なくとも1つの制御コマンドなどを、マシン218の中へ、とりわけ、別々のデータ処理デバイス158の中へ入力し、それによって、コンピュータゲームの過程を制御することなどのような、エンターテイメント機能を変化させることが可能である。
図9は、とりわけ、横方向光学センサ160の中で使用するための、容量性デバイス134の第6の例示的な実施形態の好適な例の断面を概略的に図示しており、一方、図9Bおよび図9Cは、この実施形態による配置を示す容量性デバイス134に関して取得される実験結果を提供している。
本明細書では、図9Aに示されているような容量性デバイス134の例は、図3Aに示されているような容量性デバイス134の例と同様である。したがって、ガラス基板172の上に位置しているITO電極168は、第1の電極166として作用し、原子層堆積(ALD)によって取得されるAlの薄い絶縁層178が、第1の電極166の上に堆積されている。さらに、容量性デバイス134は、感光性層180として作用するナノ粒子状の硫化鉛(np-PbS)の層を含む。第1の電極166、ガラス基板172、絶縁層178、および感光性層180に関するさらなる詳細ならびに可能な材料の代替例に関して、図3A、図3B、図4A、図5A、図5B、図6A、図7A、および図7Bの説明が参照され得る。
しかし、図3Bの例とは対照的に、高い電気伝導性の金属層176の代わりに、容量性デバイス134の第6の例示的な実施形態は、ここで第2の電極174として使用されている低い電気伝導性を有する電極層222を有している。とりわけ、電極層222は、100Ω/sqから20000Ω/sqのシート抵抗、好ましくは、100Ω/sqから10000Ω/sqのシート抵抗、より好適には、125Ω/sqから1000Ω/sqのシート抵抗、具体的には、150Ω/sqから500Ω/sqのシート抵抗を示すことが可能であり、したがって、電荷が感光性層180の中で実際に発生された位置を決定すること、および、入射光ビームがセンサ領域130に衝突した位置を結論付けることを可能にする。シート抵抗が指定された範囲の中にある結果として、容量性デバイス134(容量性デバイス134では、第2の電極174が、少なくとも1つのスプリット電極224をさらに装備していることが可能である)は、横方向検出器160として作用することが可能である。結果的に、図9Aに示されているような容量性デバイス134は、公知の位置感応型デバイス(PSD)と同様のアプローチを使用することによって、衝突する光ビーム132の位置に対して所定の面内感度を示す。この特徴は、絶縁体層178を通るac電流を誘導することができ得る変調された光を使用することによって、この目的のために用いられ得る。
好ましくは、低い電気伝導性の電極層222は、この目的に関して適切であり得る透明な導電性有機ポリマーの層を含むことが可能である。とりわけ、ポリ(3、4-エチレンジオキシ-チオフェン)(PEDOT)、または、PEDOTおよびポリスチレンスルホン酸の分散体(PEDOT:PSS)が、透明な導電性ポリマーとして選択され得る。他方では、第1の電極166はすでに少なくとも部分的に透明になっていることが可能であるので、光学的に不透明な材料を含む、より大きいさまざまな異なる材料が、この目的のために用いられ得る。
図9Bは、この目的のために図9Aに概略的に図示されている横方向光学センサ160の適用可能性を実証する実験結果を示している。ここでは、感光性層180としてナノ粒子状の硫化鉛(np-PbS)の層を含む横方向光学センサ160が、1mWのパワーを有する850nmの波長を放出するように適合された近赤外線の(NIR)レーザーダイオードによって照射されている。さらに、NIRレーザーダイオードに関して、375Hzの変調周波数が使用され得る。本明細書では、レーザーダイオードとセンサ領域130との間の距離は、20cmであった。
図9Bは、x方向およびy方向における横方向光学センサ160のセンサ領域130を概略的に図示している。本明細書では、複数の測定ポイントに関して、本発明による検出器110の評価デバイス140の適用によって決定されるような位置226は、横方向光学センサ160の既知の構成を使用した幾何学的考慮を用いるような他の種類の方右方によって利用可能であった実際の位置228と比較されている。
横方向光学センサ160の適用によって測定ポイントの位置226を決定するために、以下の手順が使用され得る。例として(ここでは示されていない)、スプリット電極224が適用され得る。とりわけ、スプリット電極224は、部分電極、とりわけ、例えば、第2の電極174の4つのリムの上に位置し得る4つの部分電極を含むことが可能であり、第2の電極174は、正方形または長方形の形態を示すことが可能であり、それが、用いられ得る。しかし、他の種類の配置も実行可能であり得る。
本明細書では、感光性層180の中の電荷を発生させることによって、それぞれの場合にiからiによって示されるac電極電流が取得され得る。本明細書で使用されているように、電極電流i、iは、y方向に位置している部分電極を通るac電極電流を示すことが可能であり、一方、電極電流i、iは、x方向に位置している部分電極を通るac電極電流を示すことが可能である。電極電流は、1つまたは複数の適当な電極測定デバイスによって、同時にまたは連続して測定され得る。電極電流を評価することによって、調査中の測定ポイントの位置226の所望のx座標およびy座標、すなわち、xおよびyが決定され得る。したがって、以下の式が使用され得る。
Figure 0007063910000001
本明細書では、fは、任意の既知の関数、例えば、既知のストレッチファクターおよび/またはオフセットの追加を伴う電流の割合の単純な乗算であることが可能である。したがって、一般的に、電極電流iからiは、横方向光学センサ114によって発生される横方向センサ信号を提供することが可能であり、一方、評価デバイス140は、所定のまたは決定可能な変換アルゴリズムおよび/または既知の関係を使用することによって横方向センサ信号を変換することによって、横方向位置に関する情報、例えば、少なくとも1つのx座標および/または少なくとも1つのy座標などを発生させるように適合され得る。
図9Bに示されているような結果は、ここで提示されているような測定ポイントの数に関して、本発明の第6の実施形態による横方向光学センサ160の適用によって決定されるような位置226が、別の種類の方法によって記録される実際の位置228と合理的に同程度であるということを実証している。
上記にすでに述べられているように、本発明の第6の実施形態による横方向光学センサ160は、同時に、z位置を決定するように追加的に適合され得る縦方向光学センサ114として用いられ得る。この目的のために、y方向に位置している部分電極を通る電極電流i、iの総和、および、x方向に位置している部分電極を通る電極電流i、iの総和が、好適な実施形態では使用され得、ここで、電極電流は、z座標を決定するために、同時にまたは連続して、1つまたは複数の適当な電極測定デバイスによって測定され得る。これらの電極電流を評価することによって、調査中の測定ポイントの位置226の所望のz座標、すなわち、zが、以下の式を使用することによって決定され得る。

=f(i+i+i+i
所望のz座標を取得するために電極電流を評価することについてのさらなる詳細に関して、WO2012/110924A1またはWO2014/097181A1が参照され得る。
図9Cは、センサ領域130の中心230をカバーする図9Bの区分を示している。結果として、図9Cは、測定ポイント位置226とその他の方法で決定されるような実際の位置228との間の優れた相関関係が、とりわけ、センサ領域130の中心230の中に観察され得るということを実証している。図9Bに示されているように観察され得るセンサ領域130の縁部232に向けてのずれは、このタイプのデバイスに関して予期される通りに振る舞い、適切な補正アルゴリズムによって是正され得る。
図10Aから図10Cは、容量性デバイス134の第7の例示的な実施形態の好適な例の断面を図示しており、容量性デバイス134の感光性層180は、少なくとも1つの有機感光性層198であるか、または、少なくとも1つの有機感光性層198を含み、有機感光性層198の中のドナー材料およびアクセプター材料は、ドナー材料およびアクセプター材料のうちの1つをそれぞれ含む少なくとも2つの個々の層の形態で配置されている。
図10Aおよび図10Bに概略的に示されているように、容量性デバイス134は、繰り返しになるが、第1の電極166として透明導電性酸化物(TCO)168の層を含み、また、第2の電極174として金属電極174を含み、それらの間に、絶縁層178および感光性層180が設けられている。便宜の理由のために、絶縁層178は、基板の上に直接的に堆積され得、基板は、伝導性コーティングを含み、また、第1の電極166として適している。しかし、第7の例示的な実施形態のこの特定の例によれば、有機感光性層198は、とりわけ、図7Aおよび図7Bの実施形態とは対照的に、重なり合ってスタックされた2つの個々の層として配置されたドナー材料層234およびアクセプター材料層236を有している。図10Aおよび図10Bの特定の実施形態では、ドナー材料層234およびアクセプター材料層236は、接合部190によって分離されており、接合部190は、ここでは、異なる種類の材料に起因して、ヘテロ接合部を形成している。したがって、1つのタイプの電荷キャリアの効率的な抽出を維持しながら、容量性デバイス134を提供するように適合された、図10Aおよび図10Bに図示されているような2つの異なる種類の層スタックが実行可能である。
図10Aの例と図10Bの例との間の比較は、電極の構成に対して、とりわけ、第2の電極174に対して、ドナー材料層234およびアクセプター材料層236のそれらのそれぞれの配置によって、両方の例が異なるということを明らかにしている。図10Aの例では、アクセプター材料層236は、第2の電極174に隣接して設置されており、電荷キャリア抽出層182だけによって分離されており、一方、図10Bの例では、ドナー材料層234は、第2の電極174に隣接して設置されており、繰り返しになるが、電荷キャリア抽出層182だけによって分離されている。したがって、隣接する電荷キャリア材料によって提供されるような対応する電荷を抽出および輸送することができるようにするために、図10Aの例の中の電荷キャリア抽出層182は、電子抽出層238として適合されており、一方、図Bの例の中の電荷キャリア抽出層182は、結果的に、正孔抽出層240として適合されている。
図10Cは、図10Bに示されているような実施形態に基づくさらなる例を図示している。ここでは、同じ種類の層が、図10Bに示されているような同じタイプの配置の中で使用されており、しかし、ドナー材料層234およびアクセプター材料層236が、単一の感光性層180の中に含まれており、それによって、図7Aおよび図7Bの実施形態と同様に、バルクヘテロ接合部が、この種の感光性層180の中に発生されている。加えて、さらなる層が、その機能を増加させるために容量性デバイス134の中へ導入される。とりわけ、さらなるn型ドープされたアクセプター層242およびさらなる電子抽出層238が、絶縁層178とアクセプター材料層236との間に導入されており、一方、p型ドープされた抽出層244(ドーパントが、追加的なp型ドーパント層246によって提供される)が、正孔抽出層240と第2の電極174との間に導入されている。さらなるn型ドープされたアクセプター層242の導入、または、容量性デバイスの特定の配置に応じて、代替的に、追加的なp型ドープされたアクセプター層を導入することは、ITO層168から反射する第2の電極174への距離を調節するために使用され得、とりわけ、入射光ビーム132の位相と第2の電極174において反射される光ビームの位相との整合を改善するために使用され得、したがって、有機感光性層198の中の照射のパワーに関して、容量性層134の性能を最適化する。
さらに具体的には、図10Cの例示的な容量性デバイス134の中の上述の層は、図10Cに示されているような容量性デバイス134の底部から始めて上部への順序で、好ましくは、以下の材料を含むことが可能であり、以下の材料、すなわち
- 上に説明されるような、インジウムがドープされた酸化スズ(ITO)の第1の電極166としての層;
- 好ましくは、ALDによって提供され、とりわけ、おおよそ200℃で処理され、およそ70nmの好適な厚さを有する、上に説明されるような、絶縁層178としてのAl層;
- n型ドーパントによって処理され、とりわけ、10%NDN-26によって処理され、おおよそ140℃で処理され、好ましくは、およそ15nmの厚さを有する、n型ドープされたアクセプター層242としてのn-C60層、すなわち、n型ドープされたバックミンスターフラーレン層;
- おおよそ400℃で処理され、好ましくは、およそ10nmの厚さを有する、電子抽出層238としてのC60層、すなわち、ドープされていないバックミンスターフラーレン層;
- おおよそ335℃で処理され、110℃の温度を有する基板の上に堆積され、好ましくは、およそ70nmの厚さを示し、バルクヘテロ接合部を示す単一の層の中にドナー材料層234およびアクセプター材料層236を統合する、単一の感光性層180としてのF4ZnPc:C60層、すなわち、フッ素化された亜鉛フタロシアニン誘導体(F4ZnPc)およびバックミンスターフラーレンの1:1ブレンドを含む層;
- 好ましくは、およそ10nmの厚さを有する正孔抽出層240としての、ドープされていない9,9-ビス[4-(N,N-ビス-ビフェニル-4-イル-アミノ)フェニル]-9H-フルオレン(BPAPF)の層;
- p型ドーパント、とりわけ、NDP-9によって処理され、おおよそ140℃で処理され、好ましくは、およそ30~40nmの厚さを有する、p型ドープされた抽出層244としてのp-BPAPF、すなわち、p型ドープされたBPAPF;および、
- 好ましくは、およそ1~2nmの厚さを有する、追加的なp型ドーパント層246としてのNDP-9層;および、
- 上に説明されるような、第2の電極174としての銀(Ag)層
が、それぞれの層をそれぞれ形成している。
しかし、容量性デバイスの中のそれぞれの層に適している他の種類の材料も利用可能であり得る。これによって、とりわけ、本明細書で説明されているような他の実施形態が参照され得る。
さらに、N,N’-ジフェニル-N,N’-ビス(4’-(N,N-ビス(ナフト-1-イル)-アミノ)-ビフェニル-4-イル)-ベンジジン(DiNPB)が、正孔抽出層240の中のBPAPFの代替例として使用され得る。同様に、バソフェナントロリン(BPhen)が、図10Aの例に基づき得る同等の配置の中の電子抽出層238として使用され得る。
さらに、「NDN」および「NDP」という用語は、それぞれ、Novaled GmbHによって提供される、n-サイドまたはd-サイドのドーパントを表している。したがって、NDN-26およびNDP-9は、特定のn-サイドまたはd-サイドのドーパントを表している。しかし、他の種類のn型ドーパントまたはp型ドーパントも、それぞれ実行可能であり得る。
110 検出器
112 対象物
114 縦方向光学センサ
116 光学軸
118 ハウジング
120 伝送デバイス
122 屈折レンズ
124 開口部
126 視線の方向
128 座標系
130 センサ領域
132 変調された光ビーム
134 容量性デバイス
136 照射源
138 人工的な照射源
140 発光ダイオード
142 変調された照射源
144 変調デバイス
146 第1のビーム経路
148 第2のビーム経路
150 評価デバイス
152 縦方向評価ユニット
154 信号リード線
156 コンピュータ
158 データ処理デバイス
160 横方向光学センサ
162 横方向評価ユニット
164 位置情報
166 第1の電極
168 透明導電性酸化物
170 光学的に透明な基板
172 ガラス基板
174 第2の電極
176 金属電極
178 絶縁層
180 感光性層
182 電荷キャリア輸送層または電荷キャリア抽出層
184 焦点の合った状態
186 焦点の合っていない状態
188、188’ 個々の光伝導性層
190 接合部
192 金属-絶縁体-半導体デバイス
194 太陽電池(基準デバイス)
196 半導体吸収体層
198 有機感光性層
200 検出器システム
202 カメラ
204 ヒューマンマシンインターフェース
206 エンターテイメントデバイス
208 トラッキングシステム
210 イメージングデバイス
212 制御エレメント
214 ユーザ
216 ビーコンデバイス
218 マシン
220 トラックコントローラ
222 電極層
224 スプリット電極
226 測定ポイント位置
228 実際の位置
230 中心
232 縁部
234 ドナー材料層
236 アクセプター材料層
238 電子抽出層
240 正孔抽出層
242 n型ドープされたアクセプター層
244 p型ドープされた正孔抽出層
246 p型ドーパント層

Claims (20)

  1. 少なくとも1個の対象物(112)を光学的に検出するための検出器(110)であって、
    - 少なくとも1つの光学センサであって、前記光学センサは、少なくとも1つのセンサ領域(130)を有しており、前記光学センサは、変調された入射光ビーム(132)による前記センサ領域(130)の照射に依存するように、少なくとも1つのセンサ信号を発生させるように設計されており、前記センサ信号は、前記光ビーム(132)の変調周波数に依存しており、前記センサ領域(130)は、少なくとも1つの容量性デバイス(134)を含み、前記容量性デバイス(134)は、少なくとも2つの電極(166、174)を含み、少なくとも1つの絶縁層(178)および少なくとも1つの感光性層(180)が、前記電極(166、174)同士の間に埋め込まれており、前記電極(166、174)のうちの少なくとも1つは、前記光ビーム(132)に対して少なくとも部分的に光学的に透明になっている、少なくとも1つの光学センサと、
    - 少なくとも1つの評価デバイス(150)であって、前記評価デバイス(150)は、前記センサ信号を評価することによって、前記対象物(112)の位置に関する少なくとも1つの情報を発生させるように設計されている、少なくとも1つの評価デバイス(150)と
    を含む、検出器(110)。
  2. 前記光学センサは、
    - 少なくとも1つの縦方向光学センサ(114)であって、前記縦方向光学センサ(114)は、少なくとも1つの縦方向センサ信号を発生させるように設計されており、前記縦方向センサ信号は、照射の合計パワーが同じであることを所与として、前記センサ領域(130)の中の前記光ビーム(132)のビーム断面にさらに依存しており、前記評価デバイス(150)は、前記縦方向センサ信号を評価することによって、前記対象物(112)の縦方向位置に関する少なくとも1つの情報項目を発生させるように設計されている、少なくとも1つの縦方向光学センサ(114)、または、
    - 少なくとも1つの横方向光学センサ(160)であって、前記電極(166、174)のうちの1つは、前記入射光ビーム(132)が前記センサ領域(130)に衝突した位置を決定するように指定された低い電気伝導性を有する電極層(222)であり、前記横方向光学センサ(160)は、前記入射光ビーム(132)が前記センサ領域(130)に衝突した前記位置に依存する少なくとも1つの横方向センサ信号を発生させるように設計されており、前記評価デバイス(150)は、前記横方向センサ信号を評価することによって、前記対象物(112)の横方向位置に関する少なくとも1つの情報項目を発生させるように設計されている、少なくとも1つの横方向光学センサ(160)
    から選択される、請求項1に記載の検出器(110)。
  3. 前記絶縁層(178)は、絶縁性材料または電気絶縁性構成要素を含む、請求項1または2に記載の検出器(110)。
  4. 前記絶縁性材料は、少なくとも1つの透明な絶縁性の金属含有化合物を含み、前記金属含有化合物は、Al、Ti、Ta、Mn、Mo、Zr、Hf、La、Y、およびWからなる群から選択される金属を含み、前記少なくとも1つの金属含有化合物は、酸化物、水酸化物、カルコゲニド、プニクチド、炭化物、または、それらの組合せを含む群から選択される、請求項3に記載の検出器(110)。
  5. 前記絶縁性材料は、原子層堆積によって取得可能である、請求項4に記載の検出器(110)。
  6. 前記感光性層(180)は、
    - ナノ粒子状の形態の少なくとも1つの光伝導性材料を含む少なくとも1つの層;
    - 少なくとも2つの個々の光伝導性層(188、188’)であって、前記少なくとも2つの個々の光伝導性層(188、188’)は、少なくとも1つの光伝導性材料を含み、少なくとも1つの境界を有する隣接する層として提供されており、前記光伝導性層は、前記隣接する層の間の前記境界において接合部(190)を発生させるように適合されている、少なくとも2つの個々の光伝導性層(188、188’);
    - 少なくとも1つの半導体吸収体層(196);および、
    - 少なくとも1つの電子ドナー材料および少なくとも1つの電子アクセプター材料を含む、少なくとも1つの有機感光性層(198)
    のうちの1つまたは複数として提供されている、請求項1から5のいずれか一項に記載の検出器(110)。
  7. 前記ナノ粒子状の形態の前記光伝導性材料及び前記光伝導性層(188、188’)に含まれる前記光伝導性材料は、何れも、第IV族元素、第IV族化合物、III-V化合物、第II-VI族化合物、およびカルコゲニドからなる群から選択される無機の光伝導性材料である、請求項6に記載の検出器(110)。
  8. 前記半導体吸収体層(196)は、結晶性シリコン(c-Si)、微結晶性シリコン(μc-Si)、水素化微結晶性シリコン(μc-Si:H)、アモルファスシリコン(a-Si)、水素化アモルファスシリコン(a-Si:H)、アモルファスシリコン炭素合金(a-SiC)、水素化アモルファスシリコン炭素合金(a-SiC:H)、ゲルマニウムシリコン合金(a-GeSi)、または水素化アモルファスゲルマニウムシリコン合金(a-GeSi:H)のうちの1つまたは複数を含む、請求項6に記載の検出器(110)。
  9. 前記有機感光性層(198)は、前記電子ドナー材料を含む個々のドナー材料層(234)と、前記電子アクセプター材料を含む個々のアクセプター材料層(236)とを含み、または、前記有機感光性層(198)の中の前記電子ドナー材料および前記電子アクセプター材料は、前記電子ドナー材料および前記電子アクセプター材料を含む単一の層として配置されている、請求項6に記載の検出器(110)。
  10. 前記電子ドナー材料は、フタロシアニン誘導体、オリゴチオフェン、オリゴチオフェン誘導体、4,4-ジフルオロ-4-ボラ-3a,4a-ジアザ-s-インダセン(BODIPY)誘導体、アザ-BODIPY誘導体、スクアライン誘導体、ジケトピロロピロール誘導体、またはベンゾジチオフェン誘導体を含む小さい有機分子から選択され、前記アクセプター材料は、C60、C70、またはペリレン誘導体から選択される、請求項9に記載の検出器(110)。
  11. 前記電子ドナー材料は、有機ドナーポリマーを含み、前記電子アクセプター材料は、フラーレンベースの電子アクセプター材料を含み、前記有機ドナーポリマーは、
    - ポリ[3-ヘキシルチオフェン-2,5.ジイル](P3HT)、
    - ポリ[3-(4-n-オクチル)-フェニルチオフェン](POPT)、
    - ポリ[3-10-n-オクチル-3-フェノチアジン-ビニレンチオフェン-コ-2,5-チオフェン](PTZV-PT)、ポリ[4,8-ビス[(2-エチルヘキシル)オキシ]ベンゾ[1,2-b:4,5-b’]ジチオフェン-2,6-ジイル][3-フルオロ-2-[(2-エチルヘキシル)カルボニル]チエノ[3,4-b]チオフェンジイル](PTB7)、
    - ポリ[チオフェン-2,5-ジイル-オルト-[5,6-ビス(ドデシルオキシ)ベンゾ[c][1,2,5]チアジアゾール]-4,7-ジイル](PBT-T1)、
    - ポリ[2,6-(4,4-ビス-(2-エチルヘキシル)-4H-シクロペンタ[2,1-b;3,4-b’]ジチオフェン)-オルト-4,7(2,1,3-ベンゾチアジアゾール)](PCPDTBT)、
    - ポリ[5,7-ビス(4-デカニル-2-チエニル)-チエノ(3,4-b)ジアチアゾールチオフェン-2,5](PDDTT)、
    - ポリ[N-9’-ヘプタデカニル-2,7-カルバゾール-オルト-5,5-(4’,7’-ジ-2-チエニル-2’,1’,3’-ベンゾチアジアゾール)](PCDTBT)、または、
    - ポリ[(4,4’-ビス(2-エチルヘキシル)ジチエノ[3,2-b;2’,3’-d]シロール)-2,6-ジイル-オルト-(2,1,3-ベンゾチアジアゾール)-4,7-ジイル](PSBTBT)、
    - ポリ[3-フェニルヒドラゾンチオフェン](PPHT)、
    - ポリ[2-メトキシ-5-(2-エチルヘキシルオキシ)-1,4-フェニレンビニレン](MEH-PPV)、
    - ポリ[2-メトキシ-5-(2’-エチルヘキシルオキシ)-1,4-フェニレン-1,2-エテニレン-2,5-ジメトキシ-1,4-フェニレン-1,2-エテニレン](M3EH-PPV)、
    - ポリ[2-メトキシ-5-(3’,7’-ジメチルオクチルオキシ)-1,4-フェニレンビニレン](MDMO-PPV)、
    - ポリ[9,9-ジ-オクチルフルオレン-コ-ビス-N,N-4-ブチルフェニル-ビス-N,N-フェニル-1,4-フェニレンジアミン](PFB)、
    または、それらの誘導体、修飾体、もしくは混合物
    のうちの1つまたは複数から選択され、
    前記フラーレンベースの電子アクセプター材料は、
    - [6,6]-フェニル-C61-酪酸メチルエステル(PC60BM)、
    - [6,6]-フェニル-C71-酪酸メチルエステル(PC70BM)、
    - [6,6]-フェニル-C84-酪酸メチルエステル(PC84BM)、
    - インデン-C60ビス付加体(ICBA)、
    または、それらの誘導体、修飾体、もしくは混合物
    のうちの1つまたは複数から選択される、請求項に記載の検出器(110)。
  12. 前記容量性デバイス(134)は、少なくとも1つの電荷キャリア輸送層(182)をさらに含み、前記電荷キャリア輸送層(182)は、前記感光性層(180)と前記電極(166、174)のうちの1つとの間に位置している、請求項1から11のいずれか一項に記載の検出器(110)。
  13. 前記検出器は、照射を変調させるための少なくとも1つの変調デバイス(144)をさらに含む、請求項1から12のいずれか一項に記載の検出器(110)。
  14. ユーザ(214)とマシン(218)との間で少なくとも1つの情報項目を交換するためのヒューマンマシンインターフェース(204)であって、前記ヒューマンマシンインターフェース(204)は、検出器(110)に関する請求項1から13のいずれか一項に記載の少なくとも1つの検出器(110)を含み、前記ヒューマンマシンインターフェース(204)は、前記検出器(110)によって、ユーザの身体の位置;ユーザの少なくとも1つの身体部分の位置;ユーザの身体の配向;ユーザの少なくとも1つの身体部分の配向からなる群から選択される前記ユーザ(214)の少なくとも1つの幾何学的情報を発生させるように設計されており、前記ヒューマンマシンインターフェース(204)は、少なくとも1つの情報項目を前記幾何学的情報に割り当てるように設計されている、ヒューマンマシンインターフェース(204)。
  15. 少なくとも1つのエンターテイメント機能を実施するためのエンターテイメントデバイス(206)であって、前記エンターテイメントデバイス(206)は、請求項14に記載の少なくとも1つのヒューマンマシンインターフェース(204)を含み、前記エンターテイメントデバイス(206)は、前記ヒューマンマシンインターフェース(204)によって、少なくとも1つの情報項目がプレイヤによって入力されることを可能にするように設計されており、前記エンターテイメントデバイス(206)は、前記情報にしたがって前記エンターテイメント機能を変更させるように設計されている、エンターテイメントデバイス(206)。
  16. 少なくとも1個の移動可能な対象物(112)の位置をトラッキングするためのトラッキングシステム(208)であって、前記トラッキングシステム(208)は、検出器(110)を参照する請求項1から13のいずれか一項に記載の少なくとも1つの検出器(110)を含み、前記トラッキングシステム(208)は、少なくとも1つのトラックコントローラ(220)をさらに含み、前記トラックコントローラ(220)は、前記対象物(112)の一連の位置をトラッキングするように適合されており、それぞれの位置は、特定の時点における前記対象物(112)の少なくとも1つの位置に関する少なくとも1つの情報項目を含む、トラッキングシステム(208)。
  17. 少なくとも1個の対象物(112)の少なくとも1つの位置を決定するためのスキャニングシステムであって、前記スキャニングシステムは、検出器(110)に関する請求項1から13のいずれか一項に記載の少なくとも1つの検出器(110)を含み、前記スキャニングシステムは、少なくとも1つの照射源(136)をさらに含み、前記少なくとも1つの照射源(136)は、前記少なくとも1個の対象物(112)の少なくとも1つの表面に位置する少なくとも1つのドットの照射のために構成された少なくとも1つの光ビーム(132)を放出するように適合されており、前記スキャニングシステムは、前記少なくとも1つの検出器(110)を使用することによって、前記少なくとも1つのドットと前記スキャニングシステムとの間の距離についての少なくとも1つの情報項目を発生させるように設計されている、スキャニングシステム。
  18. 少なくとも1個の対象物(112)をイメージングするためのカメラ(202)であって、前記カメラ(202)は、検出器(110)を参照する請求項1から13のいずれか一項に記載の少なくとも1つの検出器(110)を含む、カメラ(202)。
  19. 少なくとも1個の対象物(112)の光学的な検出のための方法であって、前記方法は、
    - センサ領域(130)を有する少なくとも1つの光学センサを使用することによって、少なくとも1つのセンサ信号を発生させる工程であって、前記センサ信号は、変調された入射光ビーム(132)による前記光学センサの前記センサ領域(130)の照射に依存しており、前記センサ信号は、前記光ビーム(132)の変調周波数にさらに依存しており、前記センサ領域(130)は、少なくとも1つの容量性デバイス(134)を含み、前記容量性デバイス(134)は、少なくとも2つの電極(166、174)を含み、少なくとも1つの絶縁層(178)および少なくとも1つの感光性層(180)が、前記電極(166、174)の間に埋め込まれており、前記電極(166、174)のうちの少なくとも1つは、前記光ビーム(132)に対して少なくとも部分的に光学的に透明になっている、工程と、
    - 前記センサ信号からの前記対象物(112)の位置に関する情報項目を決定することによって、前記光学センサの前記センサ信号を評価する工程と
    を含む、方法。
  20. 距離測定、とりわけ、交通技術における距離測定;位置測定、とりわけ、交通技術における位置測定;エンターテイメントの用途;セキュリティの用途;ヒューマンマシンインターフェースの用途;トラッキングの用途;ロジスティクスの用途;マシンビジョンの用途;安全の用途;監視の用途;データ収集の用途;スキャニングの用途、写真撮影の用途;イメージングの用途、またはカメラの用途;少なくとも1つの空間のマップを発生させるためのマッピングの用途からなる群から選択された使用の目的のための、検出器(110)を参照する請求項1から13のいずれか一項に記載の検出器(110)の使用。
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