JP7062365B2 - 電界放出装置 - Google Patents
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(S1)ラマン分光分析によって測定されるG/D比が50以上のCNTを用意する。
(S2)このCNTを少なくとも10-5Paを超える減圧下に配置させる。
(S3)CNTに電界を印加する。
ここに開示される電界放出方法では、工程S1において、エミッタ2として、上記の高G/D比を備えるCNT21を用意する。かかるCNT21は、例えば、流動気相CVD法によって好ましく合成することができる。流動気相CVD方法では、まず、炭素原料とともに触媒(または触媒前駆体)や反応促進剤(好ましくは有機硫黄化合物)を含む溶液を、高温の加熱炉に噴霧して導入する。このことにより、流動する気相中で炭素原料を熱分解させてCNTを合成する。かかる方法において、噴霧条件や反応場条件を適切に制御することで、G/D比が従来に比して高められたCNTを、所望の寸法のものとして得ることができる。ここで制御条件としては、一例として、加熱炉温度を1300℃以上1400℃以下程度の高温とすることや、気相流動のためのキャリアガスとして還元性ガス(例えばH2ガス)を用いること等が挙げられる。これにより、上記の高G/D比のCNTを得ることができる。かかるCNTは、典型的には、極少量(例えば5質量%以下)のMWNTを含むSWNTが網状ないしは薄シート状に連なったバッキーペーパーの形態で得ることができる。このバッキーペーパーを、例えば所望の膜状体となるよう圧縮および成形することで、SWNT膜とすることができる。なお、CNT21は、例えば市販の高結晶度のCNT(例えば粉末状)やCNTシートを入手することで用意してもよい。かかるCNTやCNTシートとしては、例えば、株式会社名城ナノカーボン製の「EC1.0」、「EC1.5」、「EC2.0」、「1.5-P」等を採用することができる。
工程S2においては、用意したCNT21を少なくとも10-5Paを超える減圧下に配置する。ここで上記の電界放出装置1を使用する場合、例えば、用意したCNT21を導電性基板31に載置、固定する。固定の方法は特に制限されず、例えば、市販の導電性接着剤や導電性ペーストを用いることができる。例えば、CNT21および導電性ペースト等を混練してCNTペーストとし、これを導電性基板31上に塗布し、乾燥させることで、導電性基板31上にCNT21を固定することができる。あるいは、例えば、導電性基板31上に導電性ペーストを塗布したのち、その上にCNT21を載置して乾燥させることで、導電性基板31上にCNT21を固定することができる。
工程S3では、CNTに電界を印加する。具体的には、電源5によって導電性基板31およびゲート電極32の間に電圧を印加することで、導電性基板31およびゲート電極32の間に配置されたエミッタ2に電界を印加する。導電性基板31およびゲート電極32間に印加する電圧は、使用するCNTのG/D比やその形態等にもよるため特に制限されない。例えば、膜状CNTをエミッタ材料とした場合の電界放出に際しては、印加電圧は、10V以上とすることができ、200V以上が好ましく、400V以上がより好ましい。また、かかる印加電圧は、3000V以下とすることができ、2000V以下が好ましく、1500V以下がより好ましく、例えば、1200V以下とすることができる。これにより、エミッタ2としてのCNT21の先端から、電子を放出させることができる。なお、上記電圧は、例えば、汎用されている乾電池等の公称電圧でカバーされ得る。したがって、省電力な電界放出装置1が実現される。
ここに開示される電界放出装置は、エミッタとして高G/D比のCNTを使用することから、上記のように比較的緩やかな真空条件での電界放出を安定的に実現することができる。したがって、例えば電界放出の都度、減圧環境を用意する必要のある用途においては、排気装置として簡素化された構成のものを採用することができる。また、エミッタとして高G/D比のCNTを使用することから、電源についても簡素化された構成(例えば省電力設計)のものを採用することができる。これらのことから、ここに開示される技術により、例えば、比較的コンパクトで、使用場所等の制限の少ない電界放出装置が提供される。このような電界放出装置は、電化製品や医療器具等における電子源、発光素子、X線発生源等として好適に利用することができる。とりわけ、据え置き型ではなく、ポータブル(可搬型)の電化製品や医療器具に特に好ましく用いることができる。
上記で用意したCNTシートを直径10mmの円形に切り出してエミッタとした。このエミッタを、直径35mmのアルミニウム製基板(カソード電極)に銀ペーストで固定した。このエミッタ付きカソード電極を、チャンバ内のステンレス製ステージ上に載置した。また、チャンバ内のカソード電極に対向する位置に、メッシュ状のゲート電極を配置した。カソード電極とゲート電極との間には絶縁性のセラミックガラスをスペーサとして挿入し、両電極を約1mm離間するように調整した。また、カソード電極およびゲート電極は電源装置に接続した。これにより、電界放出装置を作製した。
その後、チャンバ内を排気し、(a)約10-1Paまたは(b)約10-6Paを目安に減圧した。なお、チャンバ内のガスは特に置換することなく大気のままとした。次いで、カソード電極に電圧を印加し、電圧とエミッタから放出される電子電流とを測定することで、電界放出特性を調べた。その結果を図3Aおよび図3Bに示した。
また、図3Aおよび図3Bに示す各電界放出時のチャンバ内圧力の実測値は、例1の(a)中真空が3.56×10-1Pa、(b)高真空が5.63×10-6Paであり、例2の(a)中真空が1.74×10-1Pa、(b)高真空が2.30×10-6Paであり、例3の(a)中真空が5.88×10-1Paであった。
次に、上記と同様の例1~3のCNTシートを用いて電界放出装置を用意し、チャンバ内を(a)約10-1Paまたは(b)約10-5Paに減圧した。このときチャンバ内のガスは特に置換することなく大気のままとした。そして、初期電流密度がおよそ0.5mA/cm2となるように例1~3のCNTシートに印加する電圧を調整し、その後の電流の減衰の様子を測定した。なお、例1における印加電圧は953Vであり、例2については455Vであり、例3については1337Vであった。その結果を図4Aおよび図4Bに示した。
また、図4Aおよび図4Bに示す各電界放出時のチャンバ内圧力の実測値は、例1の(a)中真空が1.04×10-0Pa、(b)高真空が7.16×10-5Paであり、例2の(a)中真空が2.69×10-1Pa、(b)高真空が3.30×10-5Paであり、例3の(a)中真空が6.00×10-1Paであった。
2 エミッタ
21 カーボンナノチューブ
3 電界発生部
31 導電性基板
32 ゲート電極
4 ステージ
5 電源
6 チャンバ
7 排気装置
Claims (6)
- エミッタと、電界発生部とを備え、
前記エミッタは、ラマン分光分析によって測定されるG/D比が100以上の全体の90質量%以上が単層カーボンナノチューブであり、平均長さが10μm以上であるカーボンナノチューブを含み、
前記カーボンナノチューブは、複数のものが絡み合うことでバインダなしで一体化されて、かさ密度が0.3g/cm 3 以上1g/cm 3 以下である膜を構成しており、
少なくとも10-5Paを超える減圧下において電界を印加されることで電子が放出される、電界放出装置。 - 前記カーボンナノチューブの平均直径は、0.4nm以上10nm以下である、請求項1に記載の電界放出装置。
- 前記カーボンナノチューブの平均アスペクト比は100以上である、請求項1または2に記載の電界放出装置。
- 10-1Pa以上の減圧下において電界を印加されることで電子が放出される、請求項1~3のいずれか1項に記載の電界放出装置。
- 前記減圧の雰囲気は大気を含む、請求項1~4のいずれか1項に記載の電界放出装置。
- 複数のカーボンナノチューブが絡み合うことでバインダなしで一体化された、かさ密度が0.3g/cm 3 以上1g/cm 3 以下である膜状体を含み、
前記カーボンナノチューブはラマン分光分析によって測定されるG/D比が100以上であって全体の90質量%以上が単層カーボンナノチューブであり、平均長さが10μm以上であり、
少なくとも10-5Paを超える減圧下において電界を印加されることで電子が放出される、電界放出膜。
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